Vous êtes sur la page 1sur 46

8.

0 – Propriétés optiques des couches minces


Plan
8.0 – Propriétés optiques des couches minces
8.1 – Introduction
8.1.1 - La nature fait bien les choses…
8.1.2 - Historique
8.2 – Relations de dispersion
8.2.1 - Équation de Lorentz-Lorenz
8.2.2 - Dispersion de Sellmeier
8.2.3 - Les types de polarisation
8.2.4 -Théorie des milieux effectifs

8.3 – Matériaux optiques


8.3.1 - Les revêtements optiques
8.3.2 - L’interaction lumière-matière
8.3.3 - Les couches métalliques
8.3.4 - Les couches diélectriques
8.3.5 - Les couches semiconductrices
8.3.6 - Les couches conductrices transparentes

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 1

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


8.4 – L’optique des couches minces
8.4.1 – Les bases
8.4.2 – R et T d’une couche mince
8.4.3 – Les structures multicouches
8.4.4 – Les systèmes optiques (design)
8.5 – Mesure de l’épaisseur d’une couche par des méthodes optiques
8.5.1 - La méthode par absorption
8.5.2 - Méthodes basées sur l’interférence
8.5.3 - Franges d’égale épaisseur – Méthode Tolansky
8.5.4 - Microscope interférométrique
8.5.5 - Franges d’ordre chromatique égal (FECO)
8.5.6 - Interférométrie des couches transparentes
8.6 – La colorimétrie
8.6.1 – La vision
8.6.2 – Le diagramme des couleurs
8.6.3 – Exemple de calcul de couleurs
8.6.4 – Autres espaces de couleurs
8.7 – Bibliographie
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 2

PHS4312 - Couches minces 1


8.0 – Propriétés optiques des couches minces
8.1 – Introduction
8.1.1 - La nature fait bien les choses…
Les phénomènes d’interférences sont présents partout autour de nous.
Exemples:

• Bulles de savons
• Papillons (Morpho)
• Paons
• Abalones
• Etc.

L’homme étant curieux de nature,


plusieurs personnes ont tenté de
comprendre ces phénomènes à travers
les siècles. Ceci dit, l’interférence et la
lumière étant intimement liées, il est
évident qu’une description juste du
phénomène ne peut être possible sans
un modèle de la lumière adéquat.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 3

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.1.2 - Historique

D’un point de vue théorique et expérimental:

Robert Boyle (1663) et Robert Hooke (1665) découvrent le phénomène


que l’on appelle aujourd’hui les anneaux de Newton (1704).

Thomas Young (12 novembre 1801) énonce le principe de l’interférence


de la lumière.
Temps

Fresnel développe la nature transverse (1816) de la lumière ainsi que


toute la théorie de la diffraction (avec les principes de Huygens). C’est
également à Fresnel que l’on doit les équations permettant de connaître
l’amplitude et la phase d’un rayon réfléchi et transmis à une interface.

Maxwell qui est à la base des équations de la nature électromagnétique


de la lumière (Electricity and Magnetism -1873).

Lord Rayleigh vérifie les équations de Fresnel (1886).

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 4

PHS4312 - Couches minces 2


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

D’un point de vue pratique:


Joseph Fraunhofer crée les premiers filtres antireflets en 1817.

Dennis Taylor augmente la transmission de lentilles en 1891.


En 1899, on voit l’apparition de l’interféromètre de Fabry-Perrot
C’est à partir de 1930 que l’on voit vraiment le domaine des couches
Temps

minces prendre de l’ampleur.


On peut expliquer cet essor par l’apparition de pompes à diffusion
permettant d’obtenir un vide suffisamment élevé afin de rendre la
déposition par évaporation ou par pulvérisation possible. La guerre a
également permis d’accroître l’importance des couches minces
(augmentation de la transmittance dans le visible et l’infrarouge).

1936 J. Strong crée une couche inhomogène antireflet et en 1939 W.


Geffcken fabrique des filtres optiques.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 5

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


8.2 – Relations de dispersion
Qu’est-ce qu’une relation de dispersion?

C’est une expression empirique reliant n, l’indice de réfraction et k , le


coefficient d’extinction, à la longueur d’onde.

Pourquoi utilise-t’on des relations de dispersion?

Dans le but d’avoir des solution réalistes de n et de k . On les utilise surtout


lors du design de filtres optiques ou lors de la caractérisation de couches
après déposition.

Exemple:
« Fit » de n et k
douteux à partir
d’un spectre en
réflexion.

Tirée de [1].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 6

PHS4312 - Couches minces 3


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Quels sont les avantages?

- On impose une condition de continuité sur n et k en fonction de la longueur


d’onde.
- On peut ainsi caractériser une couche sur tout le spectre concerné et ce, en
même temps.

8.2.1 Équation de Lorentz-Lorenz [1]

La réponse diélectrique d’un matériau (non-polaire) est intimement liée à sa


microstructure. La réponse que l’on observe est en fait la moyenne de la
réponse individuelle des éléments microscopiques. Tout comme on utilise la
pression et la température d’un gaz pour le définir (au lieu de connaître le
déplacement de chacune des molécules), on applique le même concept dans
le cas des diélectriques.

Utilisons donc un modèle classique du début du XIX e siècle pour relier les
caractéristiques microscopiques d’un matériau à son comportement
macroscopique.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 7

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Supposons que notre matériau diélectrique est constitué d’une série de globules
sphériques polarisables (molécules) séparés par une matrice non conductrice (de
l’air par exemple).

Pour ce faire, introduisons la notion du champ local (champ moléculaire). Celui-ci


correspond au champ effectif présent au centre d’un des globules, c’est-à-dire la
sommation du champ extérieur et tous les champs produits par les autres globules.

Posons le moment dipolaire du globule induit par un champ extérieur comme étant :
r r
p = αE loc
Avec a la polarisabilité et Eloc le champ local

S’il y a N globules par unité de volume, alors le moment dipolaire électrique par
unité de volume devient:
r r
P = NαE loc

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 8

PHS4312 - Couches minces 4


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Calculons le champ effectif local. Supposons une sphère assez grande à


l’intérieur du diélectrique uniforme centrée sur un globule (molécule). Cette sphère
sépare les molécules éloignées, qui peuvent être traitées comme un continuum, de
celles qui sont plus rapprochées et doivent être considérées exp licitement.

On obtient donc: r r r r r
E loc = E 0 + E1 + E 2 + E 3
E0 est le champ extérieur (entre les bornes d’un condensateur par exemple)
E1 le champ dépolarisant (densité de charges induites à la surface du diélectrique)
E2 le champ produit par les molécules à l’extérieur de la sphère (champ de Lorentz)
et E3 la contribution des molécules à l’intérieur de la sphère

Schématisation du champ local


+ E0 _
_ Sphère
+ _ +
Condensateur + _ _ + _ _
P _ + _
+ _ + + Molécule
+ _ _
_ + _ +
+ E2 _
E1 + _ +
+ _ + _
+ _ +
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 9

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On peut démontrer que E2 = P/3e0 grâce à une intégrale sur la sphère et sa charge
superficielle.

Si on suppose un réseau de molécule régulier (idéalement cubique ) et considérant


la symétrie de la sphère, on peut considérer E3 comme étant égal à 0.

La superposition de tous ces champs nous donne:


r r 1 r
Eloc = E + P
3ε 0
Avec E = E0 + E1

Puisque la susceptibilité électrique χ permet de relier P avec E:


r r
P = ε 0 χE
Et que la permittivité diélectrique est reliée à ? par:

ε r =1 + χ

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 10

PHS4312 - Couches minces 5


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On trouve l’équation de Clausius-Mossotti:

3ε 0 ε r − 1
α=
N εr + 2

avec la relation de Maxwell (ε r = n 2 ) on obtient l’équation de Lorentz-Lorenz:

3ε 0 n 2 − 1
α=
N n2 + 2

Nous voyons donc que nous avons un lien entre la polarisabilité, une
propriété microscopique et l’indice de réfraction qui est une
propriété macroscopique. Par contre, cette équation n’est valable
que pour le cas d’un champ extérieur statique.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 11

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.2.2 - Dispersion de Sellmeier [2]

On cherche donc à exprimer la polarisabilité de nos globules en fonction de la


longueur d’onde.
Supposons une onde électromagnétique. Sous l’effet de cette onde, les
électrons des atomes se déplaceront sous l’influence de la force de Lorentz (F
= e(Eloc + v x B) avec e la charge de l’électron, v la vitesse et B le champ
magnétique). On peut supposer que l’électron décrira un mouvement
harmonique retenu par une force de rappel quasi-élastique : Q = -qr (reliant
l’électron au noyau). L’équation du mouvement est donc (si on néglige la
composante magnétique) :
d2 r r r
m 2
r + qr = eE loc avec m la masse de l’électron
dt
Si on pose l’équation de l’onde incidente comme étant:
r r r
Eloc = E0e −iωt avec ω la fréquence angulaire
r r
et la solution de l’équation du mouvement comme ayant la forme: r = r0 e − iω t
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 12

PHS4312 - Couches minces 6


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On obtient: r
r eEloc
r=
m(ω 02 − ω 2 )
avec ω 0 la fréquence de résonance du mouvement électronique
égale à (q/m)(1/2)

Si on suppose qu’il y a un électron effectif par molécule avec une fréquence de


résonance de ω 0, on trouve :
r r r
P = Np = Ne r
Ce qui avec notre expression de P précédente, nous donne:

e2
Nα = N
m(ω02 − ω 2 )

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 13

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Cette équation nous indique que n tendrait vers l’infini lorsque ω tend vers ω 0,
mais ceci est évidemment faux. En fait, près de ω 0, les électrons oscillant
émettent de la radiation, ce qui les freine (similaire au frottement en mécanique).
On appelle ces zones d’absorption les « régions de dispersions anormales ». Il
existe d’autres causes de pertes d’énergie comme par exemple, les collisions
entre atomes. On peut ajouter une force de résistance dans l’équation
différentielle précédente (gdr/dt). On trouve alors:

r
r eE loc
r=
m(ω 02 − ω 2 ) − iωg

Tirée de [1].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 14

PHS4312 - Couches minces 7


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Si on considère plus d’une fréquences de résonance, l’équation précédente devient


(en combinant avec l’équation de Lorentz-Lorenz) :

n 2 −1 N e2 fk
= ∑
n + 2 3ε 0 m k (ω k − ω 2 )
2 2

avec fk le nombre d’électrons par molécules ayant comme fréquence


de résonance ωk

Dans le cas d’un gaz, on peut faire la supposition que n ≈ 1 et donc que n2 + 2≈ 3:

Nα N e 2 fk
n 2 −1 =
ε0
=
ε0 m
∑ (ω
k
2
− ω2 )
k

On sait que ω = 2πc/λ et on pose que ρk = (Ne 2/4π2mε 0)fk :

Nα ρ λ2 λ2
n 2 −1 = = ∑ 2k 2 k 2
ε0 k c (λ − λk )

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 15

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Dans un solide, n n’est pas égale à 1, mais on peut trouver une relation
équivalente :
n2 −1 n 2 −1 x Nα
= = =
n + 2 ( n − 1) + 3 x + 3 3ε 0
2 2

Si on isole x, on obtient :
3 Nα
n2 −1 =
3ε 0 − N α

Si on veut écrire cette équation sous forme de fractions partielles, on trouve les
racines du dénominateur :
ρ k λ2 λk2
3ε 0 − Nα = 3ε 0 − ε 0 ∑ =0
k c 2 ( λ2 − λ2k )

Si on pose λ’k comme étant les racine, on écrit :


ρ ' k λ 2λ ' 2k
n2 −1 = ∑
k c 2 ( λ2 − λ '2k )
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 16

PHS4312 - Couches minces 8


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On trouve ainsi la relation de Sellmeier :

bk
n 2 −1 = a + ∑
k λ2 − λ ' k2
1 1
avec a =
c2
∑ρ
k
k λ ' 2k et b=
c2
ρ k λ ' 4k

λ2 λ '2k
Note: L’identité suivante a été utilisée : = 1 +
(λ 2 − λ ' 2k ) (λ 2 − λ ' 2k )

On retrouve également cette expression sous la forme suivante :

Aj Cj
n2 = 1+ ∑ et pour k k =∑
j 1 − B 2j λ2 j nD j λ + E j λ + 1 λ3

Nous avons négligé le mouvement des noyaux, puisque ceux-ci bougent peu par
rapport aux électrons. Par contre, il faudrait en tenir compte dans l’infrarouge.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 17

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Dans le cas des diélectriques, l’indice de réfraction dans le visible est souvent
modélisé grâce à l’équation de Cauchy (qui découle de l’équation de Sellmeier):

B C
n = A+ +
λ2 λ4
Avec A, B et C des constantes empiriques

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 18

PHS4312 - Couches minces 9


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.2.3 - Les types de polarisation [3]


Avant de poursuivre, il est intéressant de se poser la question suivante: Le spectre
lumineux s'étant sur une si vaste gamme de longueurs d’onde, les mécanismes de
polarisations sont-ils les mêmes sur toute cette gamme?
La réponse est non, il existe plusieurs types de polarisation dans le cas des
diélectriques. Les voici:
Si la molécule est non polaire:
• Polarisation électronique (f = 1014 Hz et plus). Présente dans tous les
diélectriques.
• Polarisation atomique ou ionique (1011 Hz < f < 1013 Hz). Surtout dans
les cristaux ioniques.

Si la molécule est polaire:


• Polarisation dipolaire ou par orientation (105 Hz < f < 1010 Hz).
Alignement des molécules contre l’effet de l’agitation thermique (molécules
possédant un dipôle permanent).

Dans le cas des diélectriques hétérogènes:


• Il peut y avoir polarisation interfaciale (f < 104 Hz), puisque des charges
peuvent s’accumuler aux frontières.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 19

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

À basse fréquence, tous les


types de polarisations peuvent
atteindre la valeur qu’ils
auraient dans un champ
statique. Par contre, lorsque la
fréquence croît, la polarisation
n’a plus le temps d’atteindre
cette valeur. Lorsque la
fréquence est trop élevée, il y a
apparition d’absorption, donc
de dispersion.

Tirée de [3].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 20

PHS4312 - Couches minces 10


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.2.4 - Théorie des milieux effectifs [4]

Nous avons supposé jusqu’à maintenant que nos milieux étaient homogènes,
mais que se passe-t-il lorsqu’un milieu est composé de deux phases distinctes.

Exemples:
- Couches composites (grains de métal dans une matrice diélectrique).
- Couches poreuses.
- Surface rugueuse (approximée par une couche poreuse).

Expression d’un milieu effectif selon la relation de Lorentz-Lorenz

Si nous sommes en présence de deux phases polarisables distinctes, l’équation


de Clausius-Mossotti devient:

ε − 1 4π
= ( N1α1 + N 2α 2 )
ε +2 3

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 21

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

qui peut se transformer en:

ε −1 ε −1 ε −1
= fa a + fb b
ε +2 εa + 2 εb + 2
N a ,b
avec f a ,b = fractions volumiques des phases a et b
Na + Nb
Ce modèle suppose que leurs phases sont sous forme de globules sphériques
suffisamment grands pour avoir leur propre permittivité, qu’ils sont petits devant la
longueur d’onde et uniformément distribués dans la matrice.
Expression de Maxwell-Garnett d’un milieu effectif
Dans ce modèle, les deux phases ne sont plus mélangées à l’échelle atomique,
mais forment des régions beaucoup plus grandes. On ne peut plus considérer la
matrice comme étant du vide. L’équation des milieux effectifs de Lorentz-Lorenz
devient alors:
ε −εm ε −ε ε −ε ε m est la permittivité
= fa a m + fb b m
ε + 2ε m ε a + 2ε m ε b + 2ε m de la matrice

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 22

PHS4312 - Couches minces 11


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Si fa >> fb , on peut poser la permittivité de la matrice comme étant égale à celle de la


phase a. Ce modèle est efficace si fb <= 0.35 et sous forme de petites sphères.
L’équation précédente devient:
ε −ε a ε −ε
= fb b a
ε + 2ε a ε b + 2ε a

qui est la relation de Maxwell-Garnett.

Expression de Bruggeman d’un milieu effectif


Si on n’arrive pas à distinguer laquelle des phases est la plus présente, on peut
poser que ε m est égale à ε :

εa −ε ε −ε
0 = fa + fb b
ε a + 2ε ε b + 2ε
qui est la relation de Bruggeman.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 23

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.3 – Les matériaux optiques

8.3.1 - Les revêtements optiques


Les critères de sélections dans le cas des revêtements optiques sont les suivants:
• L’indice de réfraction.
• La transmission.
• L’absorption
• Critère(s) arbitraire(s)
Typiquement on note que: ncouche mince < ncouche épaisse < nen volume

Ceci est dû au fait que la densité des couches est généralement plus faible
que le matériau en volume. Cette baisse en densité est causée par la
présence de porosités et à une structure différente (colonnaire par exemple).

Exemple: ZnS: ncouche = 2.27 et nen volume = 2.35


Si3N4: ncouche = 1.90 – 2.00 et nen volume = 2.10

D’où la compacité que l’on définie comme étant:

P = volume du solide / volume total (solide + porosités)

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 24

PHS4312 - Couches minces 12


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On peut ensuite définir la loi des mélanges (relation linéaire):

ncouche = nen volumeP + nporosité(1 – P)


Si on isole P:
P = (ncouche – nporosité) / (nen volume – nporosité)

Typiquement, P varie entre 0.7 et 1.0 dans le cas d’une couche ayant une structure
composée de colonnes cylindriques compactes avec un diamètre identique.

• PC = 0.907 pour des colonnes


contractées.
• P < PC dans le cas de colonnes
coniques.
• P > PC dans le cas de colonnes
hexagonales.

Tirée de [5].
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 25

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Tableau 1: Influence des variables de dépôt sur les propriétés optiques des couches minces

Tirée de [5].
S = strong effet; E = established effet; P = possible effet.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 26

PHS4312 - Couches minces 13


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.3.2 - L’interaction lumière-matière

Grâce aux équations de Maxwell on peut définir la permittivité:

ε (λ ) = N 2
Avec N, l’indice de réfraction complexe:

N (λ ) = n (λ ) − ik (λ )

n est l’indice de réfraction et k le coefficient d’extinction (indice d’absorption)

On défini le coefficient d’absorption comme étant:

4πk ( λ )
α (λ ) = [ cm −1 ]
λ

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 27

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

L’amplitude du champ électrique d’une onde électromagnétique se propageant


dans la direction de l’axe des x est donnée par:

E = E 0 exp{− i( 2πN λ ) x} = E0 exp{− ( 2πk λ ) x}exp{− ( 2πn λ ) xi}

Composante réelle Composante imaginaire


Absorption Réflexion

L’atténuation en intensité est donnée par:

I ∝ EE* ∝ E0 exp{( − 4π λ ) x} ⇒ I = I 0 exp(−αx)


2

Avec I0 l’intensité de la radiation incidente [W/m2]

L’atténuation est souvent donnée en décibels:

dB = 10 log10 I0/I 1 dB/cm = 4.34a


Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 28

PHS4312 - Couches minces 14


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Exemples:
• Fibre optique (silice): environ 1 dB/km
• Métal: environ 1 dB dans quelques Å
• Dispositifs optoélectroniques: 0.1 – 1.0 dB/cm

L’énergie d’une onde électromagnétique lorsqu’elle passe d’un milieu à un autre


est donnée par les composantes suivantes:

R+T+A+S=1
Avec R la composante réfléchie,
T la composante transmise,
A la composante absorbée et
S la composante diffusée: dû aux imperfections de surface (rugosité) ou de
volume (surfaces internes, porosité, fluctuation de densité, défauts, particules
d’impuretés).

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 29

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.3.3 - Couches métalliques

Dans les métaux, il y a excitation des électrons de la bande de


conduction. Ceci à pour effet de causer :
• de l’absorption
• des collisions avec les ions du réseau
-> le chauffage du réseau (phonons)
• la ré-emission de photons
• une réflexion élevée

Il y présence d’une forte absorption dans le visible, ce qui fait en sorte que la
transmission est pratiquement nulle pour des épaisseurs de quelq ues
centaines Å. La couleur que nous observons en réflexion est donc fonction de
l’absorption dans le visible (complément).

Par exemple, dans le cas de l’or, la portion verte du spectre est absorbée, ce
qui explique sa couleur jaune orangée, puisque le complément est réfléchi.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 30

PHS4312 - Couches minces 15


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Dans le cas de l’argent et de l’aluminium, toutes les portions sont également


réfléchies dans le visible ce qui explique leur couleur blanche.

Remarquez la réflexion élevée dans l’infrarouge et l’UV de Al et du Rh. Par


contre l’Au et l’Ag on une faible réflexion dans l’UV.

Réflexion pour Al, Ag, Au, Cu, Rh et Pt utilisés comme couches réfléchissantes
(UV, VIS, IR) Tirée de [5].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 31

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Tableau 2: n et k en fonction de la longueur d’onde pour différents métaux


Longueurs d'ondes Argent Or Cuivre Aluminium
(microns) n k n k n k n k
0.40 0.075 1.930 1.450 0.850 0.400 3.920
0.45 0.055 2.420 1.400 1.880 0.870 2.200 0.490 4.320
0.50 0.050 2.870 0.840 1.840 0.880 2.420 0.620 4.800
0.55 0.055 3.320 0.340 2.370 0.720 2.420 0.760 5.320
0.60 0.060 3.750 0.230 2.970 0.170 3.070 0.970 6.000
0.65 0.070 4.200 0.190 3.500 0.130 3.650 1.240 6.600
0.70 0.075 4.620 0.170 3.970 0.120 4.170 1.550 7.000
0.75 0.080 5.050 0.160 4.420 0.120 4.620 1.800 7.120
0.80 0.090 5.450 0.160 4.840 0.120 5.070 1.990 7.050
0.85 0.100 5.850 0.170 5.300 0.120 5.470 2.080 7.150
0.90 0.105 6.220 0.180 5.720 0.130 5.860 1.960 7.700
0.95 0.110 6.560 0.190 6.100 0.130 6.220 1.750 8.500
2.00 0.480 14.400 0.540 11.200 2.300 16.500
3.00 1.220 17.100
4.00 1.890 28.700 1.490 22.200 5.970 30.300
6.00 4.150 42.600 3.010 33.000 11.000 42.400
7.00 5.250 40.700
8.00 7.140 56.100 5.050 43.500 17.000 55.000
10.00 10.690 69.000 7.410 53.400 25.400 67.300

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 32

PHS4312 - Couches minces 16


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Microstructure

La microstructure influence grandement la réflexion dans le cas des métaux.

Les propriétés dépendent des conditions de dépôts : présence de contamination


et de défauts.

Il est également difficile de modéliser n(λ) et k (λ) lorsque les épaisseurs sont
plus faibles que 10 nm.

Exemples :
- Si on augmente le taux de dépôt de l’Al, on diminue l’oxydation, par contre, on
augmente la porosité.
- Si on chauffe le substrat lors du dépôt, on influence la taille des grains qui se
formeront. Dans le cas du Rh, sa réflexion peut augmenter entre 2 à 6% (entre
0.4 et 2.2 µm) à 400 °C comparativement à 40 °C. Par contre, on note le
phénomène inverse dans le cas de l’Al, l’Ag, l’Au, etc.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 33

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Nous pouvons donc dire que selon le modèle de structure de zones généralisé,
les paramètres suivants auront un effet:
• La température du substrat
• La température de fusion du métal
• La vitesse de dépôt
• L’énergie dissipée pendant le dépôt

Application - Les miroirs

Les matériaux généralement utilisés sont: Al, Ag et Rh


Les problèmes qui peuvent se présenter :
• Corrosion par oxydation (Al).
• Ternissure de l’Ag par le souffre.
• Rayures mécaniques.
• Délamination (adhérence avec le verre ou polymère).
Solutions :
• Couches protectrices (offre une plus grand stabilité chimique et dureté).
Par contre, il faut s’assurer qu’elle ne modifie pas l’apparence du métal.
Matériaux utilisés : SiO, SiO 2, Al2O3, etc.
• Couches intermédiaires afin d’augmenter l’adhérence : Al2O3, NiCr.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 34

PHS4312 - Couches minces 17


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

L’or est souvent utilisé comme miroir dans l’IR où il réfléchi pratiquement
autant que l’argent dans le visible. Puisque l’or adhère mal au verre, on ajoute
une couche de chrome entre les deux.

8.3.4 - Couches diélectriques


Contrairement aux métaux, les matériaux diélectriques possèdent un coefficient
d’absorption très faible dans le visible et/ou l’infrarouge (a < 103 cm-1).
Exemples:
• VIS et IR : Fluorures (MgF2), oxydes (Al2O3, TiO2, SiO2), etc.
• IR: Chalcogénures (contenant un élément de la colonne 16 du
tableau périodique: S, Se, Te et Po)

Ces matériaux possèdent généralement des liaisons covalentes ou ioniques.

L’indice de réfraction n (qui représente le rapport des vitesses d’une onde se


propageant dans le vide et dans le matériau en question) dépend de la densité
d’électrons.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 35

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Matériaux polaires (verres, oxydes, semiconducteurs composés)

L’interaction de la radiation incidente avec les dipôles permanents crée


un retardement.

Matériaux nonpolaires (diamant, Si)

Moment dipolaire induit par le décalage des électrons.

Si on reprend l’équation de Lorenz-Lorentz:

3Mε 0 n2 − 1 Où N a été remplacé par NAρ/M


α= avec NA le nombre d’Avogradro, ρ la
NAρ n2 + 2
densité et M la masse moléculaire.

Plus la polarisabilité augmente, plus l’indice de réfraction sera élevé. Par


exemple, a augmente avec la taille d’un ion et sa charge dans le cas de la
polarisabilité ionique.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 36

PHS4312 - Couches minces 18


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

De plus, n varie en fonction de la compacité.


Exemple: SiO2 avec une densité qui augmente.
nverre = 1.46
ntridymite = 1.47
ncristoballite = 1.49
nquartz = 1.55

Les matériaux covalents possèdent un n plus élevé que les matériaux ioniques.
Exemple: Selon leur degré de liaison covalente.
nZnCl2 = 1.68
nZnO = 2.08
nZnS = 2.37
nZnSc = 2.57
nZnTe = 3.56
Il existe toujours une longueur d’onde critique dans l’ultraviolet où l’absorption
apparaît:
λc = hc / E g ( λc [ µm] = 1.24 / E g [eV ] )
où Eg est le « gap » d’énergie, soit l’énergie nécessaire afin qu’un électron
passe de la bande de valence (pleine) vers le bande de conduction (vide).
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 37

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

La limite d’absorption dans l’infrarouge est causée par des vibrations du réseau.

8.3.5 - Couches semiconductrices

Dans le cas des semiconducteurs:

Si λ > λc : le matériau est transparent


et on est donc dans le régime
diélectrique.
Applications: couches AR dans l’IR.

Si λ< λc: le matériau est réfléchissant


et on est donc dans le régime
métallique.
Applications: Photodétecteurs,
cellules solaires (lumière absorbée).
Si λ ≈ λc : Applications pour les
diodes emmetrices et les lasers. Tirée de [5].

Coefficient d’absorption pour certains semiconducteurs


Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 38

PHS4312 - Couches minces 19


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Leur relation de dispersion est donnée par (métaux aussi):

( nc q 2 ) (γ nc q 2 )
n − k = ε1 −
2 2
2nk =
m * ε 0 (ω 2 + γ 2 ) m * ε 0ω (ω 2 + γ 2 )

Avec ε 0 et ε1 les permittivités du vide et du solide


nc, m* et q la concentration, masse effective et la charge des
porteurs dans la bande de conduction
et ω = 2πc/λ et γ = 1/τ avec τ le temps de relaxation qui
augmente avec la conductivité

Lorsque n = k, les propriétés optiques des semiconducteurs changent


complètement. On appelle la fréquence à laquelle ceci se produit, la fréquence
plasma. À cette fréquence, la conductivité est élevée et γ2 peut être négligé. On
trouve que la longueur d’onde plasma est :
1 λ > λp : métal
2πc  ε 0ε 1m * 
2
λp =  
q  nc  λ < λp : diélectrique

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 39

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.3.6 - Couches conductrices transparentes


On peut utiliser une couche métallique très mince: Au, Pt, Rh, Ag, Cu, Fe, Ni,
etc. Pas la meilleure solution: couches discontinues, agglomérats, effet de
l’environnement, stabilité.
Les oxydes de semiconducteurs sont un meilleur choix: SnO 2, In2O, CdO, ITO
(indium-tin-oxyde), In2O3 dopé au Sn, Sb; SnO 2 dopé au F, Cl.

Réflexion en fonction de
la résistance de surface
pour une couche de
In2O3:Sn. Les variations
d’épaisseur ainsi que la
concentration de porteur
sont responsables pour la
plage de valeur de ρ/d.

Tirée de [5].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 40

PHS4312 - Couches minces 20


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Les applications sont nombreuses:


• Décongélation des fenêtres dans le
domaine de l’aviation et de l’automobile.
• Écrans à cristaux liquides.
• Électrodes de cellules solaires.
• Revêtements antistatiques.
• Réflecteurs IR.
• Électrodes pour dispositifs électrochromiques.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 41

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


Propriétés optiques de matériaux souvent utilisés:
Zone de transmission élevée pour des
films diélectriques

Tirée de [5]. Tirée de [5].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 42

PHS4312 - Couches minces 21


8.0 – Propriétés optiques des couches minces
8.4 – L’optique des couches minces
8.4.1 – Les bases
Pour tout ce qui suit, nous faisons les suppositions suivantes:
• L’onde incidente est plane, monochromatique et harmonique.
• Les matériaux sont isotropes et leurs interfaces sont parallèles.
• Les surfaces sont infinies.
La lumière polarisée
Il y a deux polarisations:
• Polarisation p (ondes TM): parallèle au plan d’incidence.
• Polarisation s (ondes TE): perpendiculaire au plan d’incidence.
E0p+
En z = 0, pour l’onde incidente, réfléchie et transmise,
E+ E0s- E0p-
nous avons:
( )
0s

φ0 φ0
Milieu 0: E0 x = E0+p + E0−p cosϕ 0 n0 x
E0 y = E0+s + E0−s n1

( )
H 0 x = n0 − E0+s + E0−s cosϕ0 φ1 E1p+

(
H 0 y = n0 E0+p − E0−p ) y
z E1s+

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 43

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Tirée de www.wikipedia.org

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 44

PHS4312 - Couches minces 22


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Milieu 1: E1x = E1+p cosϕ1


E1 y = E1+s
H1 x = −n1 E1+s cosϕ1
H 1y = n1E1+p

En appliquant les conditions frontières, on trouve les coefficients de Fresnel,


c’est-à-dire les rapports des amplitudes réfléchies et transmises en fonction de
l’onde incidente:

En réflexion En transmission
Polarisation s
E0−s n0 cos φ0 − n1 cos φ1 E1+s 2n0 cos ϕ0
= = r1s = = t1s
E0+s n0 cos φ0 + n1 cos φ1 E0+s n0 cos φ0 + n1 cos φ1
Polarisation p
E0−p n cos φ1 − n1 cos φ0 E1+p 2n0 cos ϕ0
+
= 0 = r1 p +
= = t1 p
E 0p n0 cos φ1 + n1 cos φ0 E0p n0 cos φ1 + n1 cos φ0

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 45

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

La réflectance et la transmittance (les rapports des énergies) sont données par:

Réflectance Transmittance

( E0−p )2 n1 ( E1+p ) 2 n1 2
RRpp = + 2
=r2
1p TTpp = + 2
= t1 p
(E )
0p n0 ( E )
0p n0

( E0−s ) 2 n1 ( E1+s ) 2 n1 2
RRss = + 2 = r12s TTss = = t1s
( E0 s ) n0 ( E0+s ) 2 n0

On voit que lorsque l’onde est à incidence normal, nous obtenons:


2
 n0 − n1  4n0n1
RRpp = Rss =   TTpp = TTss =
(n0 + n1 )2
(R + T = 1)
n +
 0 1 n

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 46

PHS4312 - Couches minces 23


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Réflectance en fonction de l’angle d’incidence


On peut noter la présence de
l’angle de Brewster. La
composante TM de la lumière
incidente ne subit aucune réflexion
à cet angle qui est donné par la
relation suivante:

n 
θ B = arctan  sub 
 n0 

TE

TM

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 47

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Lorsque l’onde est réfléchie à la surface d’un milieu absorbant:

Nous avons vu que l’indice de réfraction est complexe : N = n1 – ik1


Selon la loi de Snell:
n0 sin φ0
sin ϕ1 =
n1 − ik1

L’angle f 1 est complexe et on n’obtient plus tout simplement l’angle de


réfraction, sauf à incidence normal (f 0 = f 1 = 0):

n0 − n1 + ik1 ( n0 − n1 ) 2 + k12
r1 p = r1 s = Rpp = R
Rss =
n0 + n1 − ik1 ( n0 + n1 ) 2 + k12

Dans les autres situations, l’expression pour la réflectance devient très


compliquée. Par contre, dans le cas des métaux, il est possible de faire une
approximation. En effet, n2 + k2 est souvent beaucoup plus grand que 1 dans
le visible (exemple Al à 600 nm : n = 0,97 et k = 6).

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 48

PHS4312 - Couches minces 24


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On trouve dans cette situation:

(n + k ) cos φ0 − 2n cosϕ 0 + 1
2 2 2
Rpp = 2
R
(n + k ) cos φ0 + 2n cos ϕ0 + 1
2 2

(n 2 + k 2 ) − 2n cos ϕ0 + cos2 φ0
RRs =
(n 2 + k 2 ) + 2n cos ϕ0 + cos2 φ0

Les coefficients en transmission ne sont pas donnés, car ceux-ci dépendent de


l’épaisseur de la couche.

8.4.2 - Réflexion et transmission d’une couche simple

Nous allons maintenant considérer le cas d’une couche mince. On considère que
le milieu incident et le substrat sont semi-infini. Voici donc une représentation de
la situation:

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 49

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Milieu incident
φ0
On voit que le faisceau
n0
incident est divisé en
plusieurs éléments transmis et
réfléchis. Il s’agit donc de Couche mince
d1
faire la sommation de ces n1
éléments et ce, grâce aux
coefficients de Fresnel.
Substrat
n2
On suppose que le faisceau incident à une longueur d’onde λ, que les surface sont
planes, les interfaces parallèles, la couche est homogène, isotrope et d’une
épaisseur d1, l’angle d’incidence est φ0.
Pour le cas à incidence normal:
Lorsque l’on passe du milieu incident à la couche: r1 = (n0 – n1)/(n0 + n1)
t1 = 2n0/(n0 + n1)
Lorsque l’on passe de la couche au milieu incident : r1’ = (n1 – n0)/(n1 + n0)
t1’ = 2n1/(n0 + n1)
r1’ = - r1
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 50

PHS4312 - Couches minces 25


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Il faut également tenir compte du changement de phase lors du passage dans la


couche:

δ1 = n1d1 cosϕ1
λ

Pour l’onde positive on multiplie donc par: e iδ


et pour l’onde négative : e -iδ

Les amplitudes successivement réfléchies dans le milieu incident sont:


r1, t1t1’r2, -t1t1’r1 r22, t1t1’r12 r23…
Les amplitudes transmises:
t1t2, -t1t2r1 r2, t1t2r12r22…

L’amplitude totale réfléchie est donc donnée par:

R = r1 + t1t1 ' r2e −2iδ1 − t1t1 ' r1r22 e−4i δ1 + ...

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 51

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

t1t1 ' r2e −2iδ1


R = r1 +
1 + r1r2e −2iδ1
Les facteurs dépendant du temps ne sont pas inclus.
Puisque pour un milieu non-absorbant t1t1’ = 1 – r12:

r1 + r2e −2iδ1
R=
1 + r1r2e −2iδ1
Et pour l’amplitude totale en transmission:

T = t1t 2 e −iδ1 − t1t 2 r1r2e −3iδ1 + t1t 2 r1 r2 e −5iδ1 − ...


2 2

t1t2e −iδ1
T=
1 + r1r2 e − 2iδ1
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 52

PHS4312 - Couches minces 26


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Dépendamment de la polarisation, on choisit les équations appropriées pour r1,


r2, t1 et t2. Lorsque le milieu est absorbant, on remplace l’indice de réfraction
par son équivalent complexe.

On obtient finalement la réflectance et la transmittance:

r12 + 2r1r2 cos 2δ1 + r22 n2 t12t 22


R=
R T=
T
1 + 2r1r2 cos 2δ1 + r12 r22 n0 (1 + 2r1r2 cos 2δ 1 + r12 r22 )

À angle d’incidence normal, on obtient avec:


n0 − n1 2n0
r1 = t1 =
n0 + n1 n0 + n1

n1 − n2 2n1
r2 = t2 =
n1 + n2 n1 + n2

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 53

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Dans ce cas-ci:
(n0 − n1 )(n1 + n2 )e iδ1 + ( n0 + n1 )(n1 − n2 )e −iδ1
R=
(n0 + n1 )(n1 + n2 )e iδ1 + (n0 − n1 )(n1 − n2 )e −iδ1

4n0 n1
T=
(n0 + n1 )(n1 + n2 )e + (n0 − n1 )(n1 − n2 )e −iδ1
iδ 1

La réflectance et la transmittance sont alors:

(n02 + n12 )(n12 + n22 ) − 4n0 n12 n2 + (n02 − n12 )(n12 − n22 ) cos 2δ1
R=
R
(n02 + n12 )(n12 + n22 ) + 4n0n12 n2 + (n02 − n12 )(n12 − n22 ) cos 2δ1

8n0 n12n2
TT =
(n02 + n12 )(n12 + n22 ) + 4n0n12 n2 + (n02 − n12 )(n12 − n22 ) cos 2δ1

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 54

PHS4312 - Couches minces 27


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Les équations précédentes peuvent être simplifiées lorsque les coefficients de


Fresnel ri sont suffisamment petits:

R ≈ r1 + r2e −2i δ1

T ≈ (1 + r1 + r2 )e − iδ 1
Et donc:

R ≈ ( r12 + 2 r1r2 cos 2δ1 + r22 )


n
T ≈ 2 (1 + r1 + r2 )
2

n0
8.4.3 - Les structures multicouches
Nous venons de découler les équations pour le cas d’une seule couche, mais
que faire lorsque nous avons plus d’une couche? Trois méthodes s’offrent à
nous:
• La méthode des ondes résultantes
• L’admittance optique
• L’approche matricielle
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 55

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

La méthode des ondes résultantes

Cette méthode utilise les coefficients de Fresnel. Illustrons c ette méthode à l’aide
d’un exemple:
Nous avons dans ce cas-ci, deux
Milieu n0
couches minces sur un substrat.
Imaginons que nous déposions incident
ce filtre couche par couche.
Initialement, nous aurions tout n1 Couche 2 d1
simplement la couche 1 sur le
substrat. L’expression de r pour n2 Couche 1 d2
cet agencement est:
r2 + r3e −2 iδ 2 Substrat n3
R1 =
1 + r2 r3 e− 2iδ 2
Continuons le filtre, en déposant la couche 2. Viens maintenant l’astuce de la
méthode des ondes résultantes. Nous allons définir la réflexion de l’interface entre la
couche 1 et la couche 2, r2 comme étant égale à la valeur trouvée pour la couche
précédente.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 56

PHS4312 - Couches minces 28


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

n0
r + R1e−2i δ1
R filtre = 1
1 + r1R1e− 2iδ1
n1 Couche 2 d1
On substituant, on trouve:
Couche ayant pour r la valeur
−2 iδ1 −2 i (δ1 +δ 2 ) −2iδ 2 trouvé pour la couche 1 et le
r1 + r2 e + r3e + r1r2 r3 e
R= −2 iδ1 − 2i (δ 1 + δ 2 )
substrat.
1 + r1r2 e + r1r3 e + r2 r3e −2 iδ 2

Pour un système de k couche, on aurait alors pour la dernière couche déposée:

rk +1 + ρ (k + 1)e −2iδ k +1
ρ (k ) = Pour k = 0,1,2… nombre de couches
1 + rk +1ρ ( k + 1)e − 2iδk +1

On obtient ainsi un équation récursive.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 57

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

L’admittance et l’approche matricielle


Ces méthodes seront présentées lors du cours de couches minces grades
supérieurs. On peut par contre se contenter de dire que chaque couche se trouve
a être représentée par une matrice et que le produit de ces matrices permet de
trouver la réflexion et transmission finale d’un système multicouches.

8.4.4 - Les systèmes optiques (design)

Un système optique permet généralement de sélectionner une partie spécifique


de la lumière incidente soit en réflexion ou en transmission.

Les étapes à suivre lors du design d’un filtre optique sont:


• On défini tout d’abord T et R en fonction de la longueur d’onde.
• On identifie les matériaux nécessaires et disponibles (en fonction de n et k ).
• On optimise le nombre de couches et leur épaisseur.

Exemples:
Les filtres constitués de couches demi-onde et quart d’onde sont très souvent
utilisés dans l’industrie.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 58

PHS4312 - Couches minces 29


8.0 – Propriétés optiques des couches minces
Une couche quart d’onde se définie comme suit: d = λ 4n
(L’épaisseur optique est nd = λ 4 )

Une couche demi-onde: d = λ 2n


On obtient dans le cas d’un couche quart d’onde un déphase d de p /2 et de p
pour une demi-onde.
1 2
Voici donc ce qui se produit:
n0 = 1

d
n1 = 2.2

n2 = 1.45
La phase du faisceau 2 par rapport au faisceau 1 est :
Faisceau 1
Truc mnémotechnique
Déphasage de π
Ceci se produit en réflexion lorsque l’onde « Low to High phase shift Pi
passe d’un milieu ayant un indice de High to Low phase shift Zero »
réfraction inférieur au milieu suivant.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 59

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Faisceau 2
Déphasage de π (2 fois δ)
Les deux faisceaux sont donc en phase et il y aura interférence constructive.
La réflexion sera alors maximale à la longueur d’onde sélectionnée.

Dans le cas de l’épaisseur demi-onde, il y aura interférence destructive et donc


un minimum en réflexion. En fait, à la longueur d’onde sélectionnée, on aura la
réflexion du substrat. C’est tout comme si la couche n’existait pas.

Lorsque l’on empile un série de quarts d’onde (quarter-wave stack), on choisi un


matériau à indice élevé (noté H) et un à indice faible (noté L).
Par exemple : verre/HLHLHLHLHLHLH/air ou verre/(HL)6H/air
« beamspliter »: verre/LLH/air
antireflet: une couche quart d’onde.
Dans le cas de filtre HL, la réflectance à la longueur d’onde de référence est
donnée par: 2
 n z +1 − n z−1n 
Rλ / 4 =  Hz +1 Lz −1 sub  Avec z est le nombre de couches
 n H + nL n sub 
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 60

PHS4312 - Couches minces 30


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Tirée de [5].

Réflectance d’un empilement de couches quart d’ondes de ZnS et de MgF 2 sur un


substrat de verre (n = 1.52) en fonction de 2πnd/λ. La longueur d’onde de
référence est 460 nm.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 61

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Voici des exemples de spectres pouvant être obtenus à l’aide de filtres optiques:
R R R « Neutral
Miroir Beamsplitter »
Antireflet diélectrique

λ λ λ
T Dichroique T Dichroique T
ou passe- ou passe- Monochro
bas haut matique
(fréquence) (fréquence)

λ λ λ
T T T
Filtre « Shaping
filter » R¦
soustractif R- Polariseur

λ λ λ
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 62

PHS4312 - Couches minces 31


8.0 – Propriétés optiques des couches minces
Couches antireflets
Ces couches permettent de réduire la réflexion et ainsi augmenter la transmission.
La couche la plus simple qui peut être fabriquée doit avoir une épaisseur quart
d’onde et un indice de réfraction égal à:
n = n0 nsub
Avec n0 l’indice de réfraction du milieu
incident et nsub celui du substrat
Ceci dit, la réflexion sera nulle seulement à la longueur d’onde de référence.
Par exemple, pour une couche déposée sur
du verre (nsub = 1.52), l’indice de la couche
devra être 1.23.

Solution: MgF2 qui a un indice de 1.38.


Voici un graphique d’une couche de MgF2
d’épaisseur quart d’onde à 550 nm
déposé sur du verre (n = 1.52). (On ne
tient pas compte de la réflexion de la face
arrière du substrat).

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 63

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


Dans l’infrarouge par exemple, le Ge a un indice de 4.0 ce qui fait en sorte que la
réflexion est d’environ 36% à chaque interface. Une couche de sulfide d’indice de
2.2 est donc souvent utilisé afin de réduire R.
Le cas idéal sera une couche inhomogène dont l’indice de réfraction varie entre
celui du milieu incident et le substrat. Par contre ceci en pratique impossible.
Comme compromis, on peut fabriquer des antireflets à plusieurs couches
permettant d’élargir la région de basse réflexion et/ou diminuer encore plus la
réflexion. Par contre, l’épaisseur des couches devient alors très critique. Tirée de [9].

Dans le cas d’un filtre à deux couches


on peut démontrer que:
n2 ns
=
n1 n0
et que les deux épaisseurs soient des
quarts d’onde. Si n0 est l’air et ns est du
verre (1.52) le rapport de n2/n1 doit être
de 1.23. Si on choisie du MgF2 pour n1,
n2 doit être de 1.7. On appelle se type Réflectance de trois “V coatings” sur verre (λ 0 = 540
nm): 1.00 | LH | 1.52 avec nL = 1.38 et nH = 1.7
de filtre « V coatings » étant donné leur (courbe pleine), nL = 1.86 et nH = 2.3 (tirets), 1.00 |
forme. 1.29L 0.211H | 1.52 nL = 1.38 et nH = 2.30 (points).
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 64

PHS4312 - Couches minces 32


8.0 – Propriétés optiques des couches minces
Il est possible d’ajouter une couche demi-onde par-dessus une couche quart
d’onde telle que vue initialement. Celle-ci ne modifie pas la valeur de R à la
longueur d’onde de référence, mais par contre élargie la zone où R est minimale.
Ces filtres sont appelés « W coatings », encore une fois dû à leur forme
particulière.

On peut faire la même chose avec le design à deux couches en insérant la


couche demi-onde entre les deux.
Des antireflets beaucoup plus complexes existent. Par contre, leur design final
est généralement obtenu grâce à des logiciels d’optimisation.

Réflectance de trois “W coatings” sur verre


(λ 0 = 510 nm): 1.00 | LHH | 1.52 avec nL =
1.38 et nH = 1.60 (courbe pleine), nH = 2.00
(tirets) et nH = 2.50 (points).

Tirée de [9].
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 65

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Réflectance de trois filtres sur verre (λ 0 = 520


nm): 1.00 | LHHM | 1.52 avec nL = 1.38, nM =
1.70 et nH = 2.08 (courbe pleine), nH = 2.15
(tirets) et nH = 2.35 (points).

Tirée de [9].

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 66

PHS4312 - Couches minces 33


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Filtres Fabry-Pérot
Basé sur l’interféromètre de Fabry et Pérot (1899). Le montage est simple: deux
plaques ayant une réflectance élevée et une cavité entre les deux. Initialement,
on utilisait des couches métalliques comme couches miroirs, mais de nos jours,
afin de palier à l’absorption, on utilise des miroirs diélectriques. Donc le design
typique de ce types de filtres est le suivant:
(HL)n HH (LH)n avec n un entier

On reconnaît les paires HL qui forment des miroirs et la cavité qui est
d’épaisseur demi-onde.

Voici, à droite, un graphique présentant le


spectre en transmission d’un filtre Fabry-
Pérot en fonction de la valeur de l’entier n
qui détermine l’efficacité des miroirs
diélectriques.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 67

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Miroir froid
Laisse passer l’IR et réfléchi le visible.

Applications:

Pour les lampes très intenses.

Miroir chaud Tirée de [5].

Laisse passer une partie du visible et


réfléchi l’IR.

Applications:

Lampes au sodium.
Fenêtres de maisons et d’édifices.

Tirée de [5].
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 68

PHS4312 - Couches minces 34


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.5 - Mesure de l’épaisseur d’une couche par des méthodes optiques


Lorsqu’un rayon frappe un substrat sur lequel est déposé une couche mince, il
est évident que ce qui est réfléchi ou transmis diffère d’un substrat sans
couche. Il est donc possible de déterminer l’épaisseur de la couche par
diverses techniques optiques.

Ces techniques se basent sur différents aspects:


• Déplacement de franges d’interférence.
• La couleur ou la longueur d’onde à laquelle les maximums et les minimums
d’intensité se produisent.
• L’intensité de la lumière réfléchie ou transmise.
• L’état de polarisation de la lumière réfléchie.

8.5.1 - La méthode par absorption


Cette méthode est généralement utilisée dans le cas des métaux. Puisque la
couche absorbe une partie de la lumière incidente, il est possible d’évaluer
l’épaisseur d’une couche pendant sa croissance. L’intensité obtenue après le
passage dans la couche étant donnée par:
I = I 0 (1 − R ) 2 exp(−αt ) Avec t l’épaisseur

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 69

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Cette méthode est également utilisée afin de faire des mesures d’uniformité de
l’épaisseur.

8.5.2 - Méthodes basées sur l’interférence

Selon l’image, on peut poser:

∆l = (OC + CO1 )n − OF = 2t n 2 − sin 2 α


Dans le cas de la réflexion, nous savons
qu’il peut y avoir un déphasage de π. Dans
ce cas là, le déphasage final sera:
λ
Tirée de [5]. ∆l f = ∆l − 0
2
Pour avoir une interférence constructive et donc un maximum:
λ λ
∆l f = ∆l − 0 = 2 k 0
2 2
λ
Ce qui nous donne: ∆l = (2 k + 1) 0

2
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 70

PHS4312 - Couches minces 35


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Nous aurons un minimum pour:


λ0 λ
∆l f = ∆l − = ( 2k − 1) 0
2 2
λ0
Ce qui nous donne: ∆l = 2 k
2

Pour ce qui est de la transmission, nous obtenons l’inverse:

λ0
Maximum: ∆l = 2 k
2
λ0
Minimum: ∆l = (2 k + 1)
2

On peut démontrer que l’intensité obtenue après interférence est donnée par:

 4R 2πnt 
I = I max 1 + sin 2 cos α 
 (1 − R ) λ
2

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 71

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Plusieurs méthodes ont été développées:

1. Si λ et t sont gardés constants – on obtient de franges d’égale inclinaison


(interféromètre de Fabry-Perot).
2. Si λ et α sont gardés constants – on obtient des franges d’égale épaisseur
(interféromètre de Fizeau).
3. Si α constant et lumière blanche – on obtient des franges de t/λ égales (du
même ordre chromatique) (FECO).
4. Si t est constant et lumière blanche – on obtient des franges de tcosα/λ
égales (Fabry-Perrot en lumière blanche).

8.5.3 - Franges d’égale épaisseur – Méthode Tolansky


Ce sont les franches que l’on observe avec une lame d’épaisseur
variable.
Si on envoie une lumière monochromatique sur une couche
ayant la forme d’un cale, une série de franges sombres et
claires parallèles apparaîtront.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 72

PHS4312 - Couches minces 36


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

On dépose une couche


réfléchissante (Al ou Ag) sur la
couche que l’on veut mesurer. On
ajoute une autre couche
réfléchissante légèrement inclinée
au-dessus du substrat. Le faisceau
monochromatique est envoyé à la
surface d’un miroir semi-
transparent à un angle de 45°. Si la
réflexion est suffisamment élevée et
l’espace entre les plaques faible,
Tirée de [5]. les franges seront nettes (1/40 L).
a. Méthode Tolansky b. Déplacement des franges à la
marche.
À l’endroit où se trouve la marche (créée lors du dépôt ou après par gravure) sur le
substrat, un déplacement ∆L sera observé. L’épaisseur de la couche est alors
donnée par: ∆L λ
t=
L 2
Cette méthode permet d’obtenir une résolution maximale d’un nanomètre. En effet, la
précision est affectée par la rugosité de surface.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 73

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.5.4 - Microscope interférométrique

Cette méthode est simple, mais offre une


résolution inférieure à la méthode Tolansky. En
effet, l’épaisseur minimale pouvant être
mesurée est de 10 nm avec une résolution
maximale de 2 nm. Par contre, aucune
modification de la couche n’est nécessaire (pas Tirée de [5].
de dommage).
Microscope interférométrique – S:
source monochromatique; R: Miroir;
F: couche mince; M: Microscope
8.5.5 -Franges d’ordre chromatique égal (FECO)
On utilise le même système que la méthode Tolansky. Par contre dans ce cas-
ci, de la lumière blanche est envoyée sur le substrat et la lumière réfléchie est
analysée par un spectrophotomètre.
λ2 ∆λ
d= Avec λ2 < λ1
2 λ1 − λ2
La résolution maximale est de 5 Å, mais l’ajustement est difficile.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 74

PHS4312 - Couches minces 37


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.5.6 - Interférométrie des couches transparentes


En lumière monochromatique Une série de minimums et de
maximums seront observés à
mesure que la couche augmente
en épaisseur
En réflexion:
cas où nf > nsub:
λ 3λ 5λ
Maximums: d = , , ...
4n f 4n f 4n f
λ 2λ 3λ
Minimums: d = , , ...
2n f 2n f 2n f

cas où nf < nsub:


λ 2λ 3λ
Maximums: d = , , ...
2n f 2n f 2n f
Tirée de [5]. λ 3λ 5λ
Minimums: d = , , ...
4n f 4n f 4n f
Note: Cette technique s’applique bien au monitoring optique.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 75

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

En lumière blanche

Dans le cas de l’illumination en lumière blanche, une série de couleurs


interférentielles apparaîtront. On peut ainsi définir un tableau des couleurs pour
un type de matériau donnée. Par exemple dans le cas du SiO2 sur Si. Cette
méthode permet d’approximer l’épaisseur d’une couche à environ 20 nm.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 76

PHS4312 - Couches minces 38


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.6 - La colorimétrie
8.6.1 – La vision
La vision humaine est basée sur deux types de photorécepteurs: les cônes
(système photopique) et les bâtonnets (système scotopique).

Le système photopique est responsable de la vision à fort éclairage et le


système scotopique à faible éclairage.

La densité de cônes est la plus élevée


à la fovéa (partie de la rétine où l’image
se forme lorsque l’on fixe un objet). De
plus, leur taille est plus petite.
Conséquence meilleure résolution
lorsque l’on fixe un objet.

La densité de bâtonnets suit la


tendance inverse.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 77

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


Les différences principales entre les bâtonnets et les cônes:

Les bâtonnets:
• sont sensibles aux faibles lumières.
• offrent une faible acuité visuelle.
• ne discriminent pas les couleurs.

Les cônes:
• sont insensibles aux faibles lumières.
• offrent une acuité visuelle élevée.
• permettent la perception des couleurs.

Les cônes permettent la vision des couleurs, car il en existe trois types. Ces trois
types sont chacun à base d’un photopigment différent (erythrolabe, chlorolabe et
cyanolabe). Chacun de ces photopigments possède un maximum d’absorption à
une longueur d’onde spécifique, soit 559 nm, 531 nm et 419 nm.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 78

PHS4312 - Couches minces 39


8.0 – Propriétés optiques des couches minces
Le visible se divise en une gamme de couleurs.

Longueur Couleur (teinte) On peut exprimer la couleur selon trois


d’onde (nm) paramètres:
380-400 Violet Teinte:
400-410 Indigo La couleur d’une onde
monochromatique. Le tableau à
410-440 Bleu
gauche présente la gamme de
440-485 Bleu vert teintes visible par l’œil humain.
485-495 Vert bleu
Saturation:
495-535 Vert bleuâtre
Indique la pureté d’un teinte. Une
535-555 Vert onde monochromatique à un
555-565 Vert jaunâtre saturation maximale (100%).
Lorsque l’on ajoute de la lumière
565-575 Vert jaune
blanche à une couleur pure, on
575-580 Jaune diminue sa saturation.
580-585 Orange Luminosité:
585-600 Orange rouge La valeur énergétique du spectre
600-780 Rouge lumineux.
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 79

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Plusieurs compositions spectrales peuvent donner la même sensation colorée, on


appelle se phénomène le métamérisme. On parle alors de couleurs métamériques.

Il existe trois méthodes (additives) pour recréer une couleur:

1. On choisit une longueur d’onde spécifique (grâce à un monochromateur) qui


a la même teinte que la couleur que l’on veut reproduire (longueur d’onde
dominante). La couleur est ensuite désaturée (avec une lumière blanche) et
sa luminosité ajustée.
2. Cette deuxième méthode est similaire à la première. Par contre afin de
diminuer la saturation, on utilise la couleur complémentaire. Par exemple, le
bleu est complémentaire au jaune. Lorsque ces deux couleurs sont
mélangées selon certaines quantités, on obtient du blanc.
3. Méthode de colorimétrie trichromatique. On utilise dans ce cas-ci, trois
sources de lumière de teintes différentes (couleurs primaires). Par contre,
contrairement aux deux techniques précédentes, il est impossible de
reproduire tout le spectre de lumière par l’addition des trois couleurs
primaires. Il est par contre possible de le faire en soustrayant une couleur
primaire, c’est-à-dire en éclairant la couleur témoin avec une couleur
primaire. On parle alors de couleurs négatives.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 80

PHS4312 - Couches minces 40


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.6.2 - La diagramme des couleurs

C’est en 1931, que la Commission Internationale de l’Éclairage (CIE) procède à des


expériences sur la perception des couleurs chez l’homme afin de normaliser un
domaine encore très subjectif.
C’est de ces recherches qu’est né l’espace de couleur xyz.

Les trois couleurs primaires utilisées par la CIE

Par l’addition de trois couleurs z


primaires (que l’on dit imaginaires, car x
elles ont été modifiées afin d’éviter
y
d’inclure des couleurs négatives dans
le modèle) on peut recréer tout
l’espace des couleurs. Les trois
quantité trouvées s’appellent les
valeurs tristimulus.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 81

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


Longueur d’onde dominante de G
Voici l’espace xyz.
Chaque couleur est donnée par D
trois coordonnées. De plus : x + Lotus spectral
y + z = 1.

On voit que si on fait passer une


D
droite allant d’une teinte G
spécifique vers le blanc, la J
prolongation de celle-ci indique
la couleur complémentaire Blanc
(Point C).

De plus, la longueur d’onde


croisée par l’autre bout de la C
droite est le longueur d’onde
dominante (point D)

Couleur complémentaire à J
Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 82

PHS4312 - Couches minces 41


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Puisque l’espace xyz n’est pas linéaire, d’autres espaces qui tentent de linéariser
l’espace des couleurs ont été créés. Nous en verrons un sous peu.
La couleur d’un objet

La couleur d’un objet dépend donc de trois facteurs:


• Ses propriétés spectrales (réflexion, transmission, absorption, etc.)
• La source de lumière qui l’éclaire (illuminant).
• La personne qui l’observe.

Les illuminants
La CIE a également défini une série d’illuminants qui permettent de faire des
calculs de couleurs sous différentes sources d’illumination.
En voici une liste partielle:
Illuminant Coordonnées (x,y)
CIE – A (lampe incandescente) (0.4476, 0.4075)
CIE – C (lumière du jour) (0.3101, 0.3162)
CIE – D65 (lumière du jour) (0.3127, 0.3290)

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 83

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.6.3 - Exemple de calcul de couleur

Soit le spectre suivant:

On veut déterminer la couleur que l’on va observer, qui à première vue, n’est
pas évidente à prévoir.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 84

PHS4312 - Couches minces 42


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

780 780 780


X = ∑ x ⋅ T (λ ) ⋅ S (λ )
λ = 380 nm
Y= ∑ y ⋅ T (λ ) ⋅ S (λ )
λ = 380 nm
Z= ∑ z ⋅ T (λ ) ⋅ S (λ )
λ = 380 nm

avec T la transmission et S l’illuminant utilisé

Voici un graphique
présentant la distribution
en puissance relative de
l’illuminant C.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 85

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

En faisant les calculs nécessaires, on trouve:

X Ces valeurs sont obtenues en normalisant par la


32.93
valeur de Y de l’illuminant et en multipliant par
Y 43.16 100. 780

Z 30.42
YI = ∑ y ⋅ S (λ )
λ = 380 nm

Afin de trouver x, y et z, on utilise les relations suivantes:

X Y Z
x= y= z=
X +Y +Z X +Y + Z X +Y + Z

On trouve ainsi:
x 0.309
y 0.405
z 0.286
Total 1.000

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 86

PHS4312 - Couches minces 43


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

Puisque la somme de x, y et z est égale à 1, on présente généralement les


résultats sous la forme suivante:

xyY = (0.309, 0.405, 43.16)

La couleur complémentaire (en réflexion) est : (0.311, 0.271, 56.84)

De plus, si nous calculons les coordonnées xyY d’un objet parfaitement réflecteur
sur toute la gamme du visible, on obtient les coordonnées de l’illuminant utilisé:

X 98.074 x 0.310 Coordonnées xyY de


Y 100.000 y 0.316 l’illuminant C:
Z 118.232 z 0.374 (0.310, 0.316, 100)

Si le même calcul est fait avec une source de lumière « blanche » (puissance
égale à toutes les longueurs d’onde), on obtient: xyY = (0.33, 0.33, 100).

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 87

8.0 – Propriétés optiques des couches minces


8.6.4 – Autres espaces de couleurs
On remarque que l’espace xyz n’est pas linéaire. D’autres espaces de couleurs ont
donc été créés. Par exemple l’espace L*a*b* :
1
Y  3
L* = 116  − 16 Y Y0 > 0.008856
 Y0 

 
1
3
Y 
1
3 
X
a* = 500  −    X X 0 and Y Y0 > 0.008856
 X 0   Y0  
 

 Y 
1
3
 Z 
1
3 
b* = 200   −    Y Y0 and Z Z 0 > 0.008856
 Y0   Z0  
 

avec X0 Y0 Z0 les coordonnées de l’illuminant utilisé


a* est la quantité de vert / rouge
b* est la quantité de jaune / bleu

Les différences entre, par exemple deux verts ou deux bleus, sont plus
comparables dans l’espace L*a*b* étant donné la plus grande linéarité.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 88

PHS4312 - Couches minces 44


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

D’autres espaces bien connus sont l’espace RGB (Red, Green, Blue) utilisé
pour la technologie des écrans et l’espace CYMK (Cyan, Yellow, Magenta,
Black) utilisé pour la technologie d’impression.

On ne rentrera pas dans les détails de conversion de ces deux espaces. Par
contre il est important de savoir qu’ils ne permettent pas de recréer toutes les
couleurs du lotus spectral.

De plus, l’espace CMYK ne


recouvre qu’une certaine
partie de l’espace RGB, ce
qui explique pourquoi il est
toujours important, lorsque
l’on travaille en graphisme
par exemple, de s’assurer
que les couleurs que l’on
utilise sont disponibles en
CMYK.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 89

8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.7 - Bibliographie
[1] Michel Meunier, Ludvik Martinu et Michel R. Wertheimer, Couches minces –
Volume 2 – Notes de cours PHS6310, École Polytechnique de Montréal, 2004.

[2] Max Born and Emil Wolf, Principles of Optics – 7th edition, Cambridge
University Press, London, 1999.

[3] M. R. Wertheimer, Diélectriques – Notes de cours 8.533, École


Polytechnique de Montréal, 1999.

[4] D. E. Aspnes, Optical properties of thin films, Thin Solid Films, 89 (1982),
249-262.
[5] Milton Ohring, The Materials Science of Thin Films, Academic Press
Limited, San Diego, USA, 1992.

[6] Ludmila Eckertová, Physics of Thin Films, second edition, Plenum


Publishing, New York, USA, 1986.

[7] D.L. MacAdam, Color Measurement Theme and Variations, Second


Edition, Springer-Verlag, Germany, 1985.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 90

PHS4312 - Couches minces 45


8.0 – Propriétés optiques des couches minces

8.7 - Bibliographie
[8] G.A Agoston, Color Theory and Its Application in Art and Design, Springer,
1979.

[9] Alfred Thelen, Design of Optical Interference Coatings, McGraw-Hill Inc.,


USA, 1989.

Hiver 2005 PHS4312 – Couches minces 91

PHS4312 - Couches minces 46