BAO KHAC AN Ute re ORS tte TECHNOLOGY Wy i Oa pct Sa-7. kee} Wen AMALTac gla Bao Kho An t6t nghiep tnaong Bai hoe KF thuat Budapest — Hungary nam 1971 ; nh hoe vj Pho Tién si Todn ~ Li ném 1984 va hoc vi Tién si Khoa hoc nm 1990 tai Vien Han lam Khoa hoc Hungary. Lam viec ‘ai Vign Vat fi — Wien Khoa hoe Viet Nam tir nam 1973 dén nam 1993, Sau 46, am vige tai Vien Khoa hoc Vat liga thude Vien Khoa hoe va Cong nghg Viet Nam Tac gia a Giao sur VBN i, Nohien cau vign cao cp, 48 lam viéc ti : Trung tam Nghién clu va Phat tién fin kign ban dn — IC thud Héng Tungsram (1971 ~ 1972), Nha may ban dn NIS (Serbia) olla Nam Tu (1876 - 197), Vien Vi ign tir ~ vin Vat i tung tam (KFK) thug Vign Han lm Khoa hoo Hungary va. Hang Microelectronics, _Bucapest (1985 ~ 1991). La the gid va ‘éng tac gid ca gin 150 bal bao, Dao 40 khioa hoe da duge ctng b6. Tac gid a tham gia va chit nhiéu a6 tai nghién oft koa hoe op quéc gia v8 vat lidu finh kien bén én ign ti, sensor; 1a thann Vien trong Ban bign 189 cla Tap chi Solid State phenomena (SSP) trong he théng tap chi online htfpv/wmw:scientifi net thuoe Nha xuat ban Trans Tech Publications ‘Thuy, St gia thépritn 1980 én nay. Tac gié 48 tham gia viét va bien soan mét 86 gido trinh, séch chuyén Khao, dich sch... trong 46 mot 36 cuén sch da dugc Nha xuat Dn ai hhoe Quéc gia Ha Nb va Nha xu bn lao due Viet Nam in, phat hah, ‘Bia chi mail cia tac gid = andk@ims.vast.ac.vnBAO KHAC ANDAO KHAC AN CONG NGHE MICRO v4 NANO DIEN TU @ NHA XUAT BAN GIAO DUC VIET NAMCong ty e6 phin Dich vy xuit bin Gido dyc Ha Noi — Nha xuat bin Gido duc Vier Nam giit quyén cOng b6 tée phir 138-2000/CXB/1~189/GD Ma sb: 7B614H9.NDNoi noi daw ~udn séch duoc bién soa nhim trinh bay nhang kién thiic co ban vé mot s6 cong nghé duoc cap nhat cho dén aay trong tinh yuc cng nghé micro dién tava nané dien tte Cong nghe dién tr bao gdm rat nhiéu Tinh vyc, trong do c6 linh vuc ché tao vat lieu, ché tao linh kién dién tir ban dan va vi mach. Cong nghé nay da dang phat trién nhanh chong va cé énh hung manh dén su phat trién cua xa hdl. Tir nhing, thap nien cudi ca thé ki XX va nhong nam dau cla thé ki XXI, tn co sé cia cong nghé micro dien to va tich hop voi nhiéu Jién nganh khac, cong them mot sé finh vuc cong nghé mai ra doi (cong nghé nand sinh hoc, cong nghe dign tu phan te, cong nghé micro va nané co dién tu...), cOng aghé nano ndi chung va cong nghé nand dién tu ndi riéng chiém mot vai tro dic biét quan trong, dang rat duoc chi trong phat trién hign nay. Hi vong trong tuong lai khong xa, chung sé mang lai nhing didu ki diéu cé nhang dnh hudng to lon dén nhieu mat cua su phat trién xa hoi. Ban than cong nghé micra va nand dign tte cng la mot link vuc rat rong lon, rét duoe chu trong phat trién trong hon béin thap ki qua. Tinh tir nam 1960, n6 da g0p phan mang lai cac thanh qua to lon lam thay déi nhiéu dién mao trong cudc séing va x3 hdi loai ngudi. Mot vi dy €6 thé thay rat ro la nhdr CO cng aghé micro dien ta ma céc thé hé vi mach khde nhau ra doi, trong, do c6 cac bé nho may tinh CPU, tao nén cac thé he may tinh cd nhan dang c6 vai tro to lon, cé su dnh huéng sau sic dén sy phat trién xa hdi loai ngudi. Linh vuc céng nghé micro va nano dién tt phat trién nhanh va manh nat, co vai tr dac biét quan trong trong, nganh dign ti, chinh fa linh vuc ché tao vat iu va linh kien ban din, mach t6 hop, cae linh kien cam bién 3thong minh, linh kien quang dién tu ban dan va cac linh vuc vat ligu mdi, linh kin méi nhu dign te hoc phan td... Cac linh kién ban dan vi dign ti ta nén tang dé ché tao cac thiét bi dién tw tién tién, cdc hé thong thiét bi truyén thong, cong nghé thong tin, may tinh quang lugng tu, ngudi may, do luong dieu khién... da, dang va sé phat ign rét manh trong thé ki XXI nay. Linh kign ban dan va mach t6 hop da phat trién nhu vo bao tir sau khi phat minh ra tranzito luong cuc béi J. Bardeen, H. Bratiain va W, Shockley ; phat minh ra laze béi G. Basov, M. Prokhorov va H. Townes vao nam 1952 ; phat minh ra Ji thuyét sigu dan, hiéu Ging Josephson ; phat minh ra soi quang suy hao thip 6 ving bude séng 0,8 um,1,3 um va 1,55 ym... Cae phat minh nay da duoc trao gidi thuéng Nobel. Vio nhimg nam 1959 - 1960, mach té hop (IC) dau tién ra doi do S. Kilby dé xuat va dén nam 2000 cung duoc tng gidi thuéng Nobel. Trong 1@ ki niem 50 nam ngay phat minh ra tranzito, tap chi Thong tin Khoa hoc cua My da goi thé ki XX la thé ki cla mach ran (solid state century). Nam 2004, Hang CNN da t6 chtic mot cude tham dé vé cac thanh qua khoa hoc cong nghé vi dai nhat trong thai gian qua. Két qua la, cang nghé micrd dién ter (ao nén cac mach 16 hop duoc danh gia 1a mot thanh qua khoa hoc cong nghé cé tac dong lon hat. Phat minh ra mach vi dién tur duoc xép vao vi tri 56 mot, lisp do mdi dén cdc phat minh vé may tinh ca nhan, dién thoai di dong, may bay phan luc, TV. Dy doa trang thé ki XX1, Khi cong nghé mand duoc phat trién manh dén muc hoan thién thi con co nhiéu két qué moi ra doi ma con ngudi kho C6 thé doan han trude Trén thé gioi da c6 rat nhieu sach xust ban trong inh, vue nay. Thong tin trén internet co hang trigu tai ligu dé cp dén cac linh vue nay. Ngay c4 nhang ngudi lam trong chuyén mon nay cdng khé co thé theo doi va nam bat dugc kip thoi vé cac thanh qua dang dat dugc hang ngay, hang gie day s0i dong, Vi day Ia mot linh 4vue rat rong, cho nén dé viét mot quyén sch co mot noi dung day dus bao quat vé linh vyc nay sé vd cing kho khan va rat kho dap ung duge nhu céu cua cée doc gid muén hiéu sau vé van dé nay. Mat khédc, linh vuc micrd va nand dién tir trén thé gidi da va dang phat trign rt nhanh chéng, trong khi do 6 Viét Nam, linh vue cong nghé micrd va nan dién tt lai chua dugc phat trign dang ké Tuy vay, mot s6 phéng thi nghiém & mot 56 vién nghién ctu va trudng dai hoc & Viet Nam it nhiéu da quan tam nghién cuu trién khai mot 86 cong nghé ché tao linh kién ban dan roi rac, mot sé khau cong nghé micro va nané dién tit... nhim ché tao cdc mau vat liéu, mau linh kién ban dan, linh kién cém bign (sensor) va vi mach tich hop thdp... nham phuc vu cho nghién ctu, ging day va ung dung. Trong tuong lai gan, vi xu thé toan cdu hod, Viel Nam khong thé khong phat trién céc nganh cong nghiep mai nhon nhu nganh nang lugng, co khi, luyén kim, dién tir, tu dong hod, vat ligu moi, cong nghé sinh hoc... trong d6 6 nganh cong nghiép micro va nand dien ta. Cac nude cé nén kinh té manh hin nay khong nude Nac bd qua nganh cong nghiép micrd va nand dign tw, tham chi con duoc quan tim dac biét Cuén sach nay duoc viél nham gigi thigu mot cach tuonig déi khai quat vé cong nghé micro va nano dien ti, trong do cong nghé nand dién te 14 mot tinh vuc trong yéu bao chim ba finh vuc cua cong nghé nand (ban dan dign ta, dient phan ti va dién t& nand sink hoc) dang rat duoc quan tam hién nay. Sony dé nim bit duge cong nghé nano dién tu, nhat thiet phai hiéu vé cong nghé micrd dién ti trén vat liéu ban dan, dac biet 1a en ban dn Si, GaAs, vi day la thanh qua da dat duge va né con kéo dai it nhat trong nhigu thap ki nda trong thé ki XI. Cuén sach viét vé mot chuyén nganh rat rong, bao gém nhiéu linh vyc khéc nhau : vat li chat rén, vat li ban dan, khoa hoc vat ligu, hoa — I, sinh hoc, dien tit, mach dién tu, thiét ké vi mach, mo phong..., cdc linh vue nay lai dang phat trién thay déihang ngay hang gid nén trong qua trinh bién soan cudn sich, ching toi gap khong it Kho khan, nhat la mat thuat nga khoa hoc cong nghé (rong linh vue méi nay 6 Vigt Nam chua c6 tinh théng nhat cao. Noi dung cuén sach duoc viet mot phan dua trén co se téng ket mot sé kink nghiém lim viée, nghién cuu ctia tée gid trong thoi gian tu nam 1972 dén nay & mot sé vien nghién cuu, cong ty ché tao linh kién ban dan, vi mach trong va ngoai nude ; mot phan dua trén co’ sé giao Wrinh mon hoc Cong nghé nand — Dign tir nand do tac gid bién soan dé giéng day cho cac lap cao hoc Dien tl — Vien thong cha Hoc vién Cong nghé Buu chinh ~ Vién thong tir nam 2002 dén nam 2009 va mot phan noi duunyg kha quan trong dua tren cdc tai ligu khoa hoc cng nghé moi thu thap tir sach, tap chi va tir cde thong tin co trén internet hien nay r4i bién soan lai. Tuy nhien, cdc kién thie mai vé cong nghé hand ~ dién tir nand dang phat eign ahanh chéng, thay d6i hang ngay, cho nén cudn sich khong thé tranh khéi khiém khuyél vé ndi dung va hinh thie, Tac gid rat mong cac nha chuyén mén, cac ban ding nghiép va ban doc xa gan dong gop ¥ kién dé cucin sich nay ngay cang duoc hoan thién hon. Moi y kién gép y xin gui vé cong ty cé phan Dich vy xuat ban Giao duc Ha Noi — Nha xuat bin Gido duc Viet Nam, 187B Giang Vo, Ha Noi Ha Noi, thang 8 nam 2009 GS. TSKH. Bao Khac AnPsina CONG NGHE MICRO DIEN TUCheong 1 KHAI QUAT NHUNG VAN DE CHUNG LIEN QUAN DEN LINH VUC MICRO VA NANO DIEN TU 1.1. LINH VUC DIEN TU - CONG NGHIEP DIEN TU. Y nghia cla tir “dién tw” theo nghia hep [a hat électron c6 dién tich 1.6.10°' C, c6 koi lngng nghi 1a 0,91095.10-2° kg. Khdi niém dién tir con co nghia rong, nghia tng qudt, d6 1a nganh dien thay linh vuc dién né, Theo quan nigm trudc day, vao dau thé ki XX, khi d6 Tinh vuc dign tt cha phat trign lim, nganh dién thutng duge chia t Dign nang bao gém céc Tinh vue sin xudt dign nang, truyén tai 1g. ha din 4p béi céc tram bign dp, phan phéi cung cép dién nang qua cdc dudng day cao thé dén cdc noi céin thiét, cung cp dign cho céc trang thiét bi, va cdc nha méy, bigh déi chinh Iw dong dign véi cong suat T6n... ngay nay thutmg duge goi chung 1a nganh dién, Cdn Tinh vuc dién nhe duge higu 1a finh vuc lien quan dén dign tir vii céic ki thuat telex, dien bdo, truyén tin, radio. Vé sau vai serxing dung céc phat minh lien quan dén dién tit, nganh nay phat trién rdf nhanh phan chia thanh rat nhiéu cdc Tinh vue chuyén mon nhé khac nia nhu v6 tuyén dign, truyén hinh, diéu khién tir xa, do luting, may tinh, cOng nghé thong tin va rat nhiéu linh vue khdc nia... Ngay nay, ngici (a thutmg néi véi cai tén nganh dign va dign tit hoge Ki thugt dign va dign tit (electrical and electronics engineering). Dén nay, khé e6 thé vach ra r6 ranh gigi gitta cdc Tinh vuc, nhat 1a trong cong cude céch mang khoa hoc Ki thuat dang phat trién nbur vi bo hign nay, ki thuat dién va dién tir d3 dan xen vo nnhau va xm nhap vao hu het cic nginh cdc linh vue khée nhau, Tir“ngink, inh hai finh vue : “dién ndng” va 9 Chuore 1din” theo tén got tnwée day di dé ra hai fin vue chinh c6 cac dc thi riéng kha 16 rét do 1a dién va dién ni. Trong Tinh vue dién ty lai ré nhdnh thanh nhiéu ng: inh quan trong khac nhur nganh vat ligu dién tit, ng’nh cong nghe linh kign dign tit, nganh thiét bi dién th, he théng thiét bj dign tir va cae ching Joai thiet bi may tinh... Ngay nay, cae Tinh vye nh cong nghe bin dn, tin hoc. diéu khién tir xa, tir dong hod, may robot, if tue nhan tao, quang dién ti, dign tir hang khong ~ va try, nang lug sach... 1 céc Tinh vue méi hon thumg duge nhac dén, Nhimg nginh nay Iai lign quan mat thiét véi nhau, khé ai cé thé dinh ra ranh gidi 15 ring. Cong nghigp dien va cong nghigp din tit bao gém tat cd céc Tinh vue sin xuat ché tao va céc hoat dong khac... lién quan étn Tinh vuc dién va dien tit, D6 1a cde hoat dong lién quan d¢n sin suat ra cde sin pham dien ~ dien tit. Trong Tinh vue nay, doi khi ngudi ta con phan chia ra céc nganh cong aghigp nho hun nhu cong nghiep vat ligu dign tit, cong nghigp vat lieu bin din, cong nghiép sin sutit linh kign dign tit ~ ban din vi mach, cong nghiep cché tao thiét bi dign tir..., efe hoat dong vé mua ban cde san phim dign va dign wi la thong mai diem ~ dign tit Newai ta con c6 thé phan chia finh vuc dign — dign tir ra cdc chuyén nganh nhé khéc nhau theo dc tha sit dung (nhur dign tir cOng nghiep, dién tit quan su, dien tir gia dung...) hoac phan chia theo dac thi vit View ché tao hoe theo chite nang cla chting nhu cdc sin pham dién tir ban dan, cdc san pl dign tir g6m sit, cdc Tinh kién dign tir thy dong, cdc Tinh kien tich cue, céc vi mach, cde mach dign tir thong minh... C6 thé néi, nganh dien tir c6 tam quan trong dac biet, khong c6 ng’nh nay thi khong thé tign hanh cong nghiep hod duge. Bign va dién tir c6 vai trd vi nur he than kinh trong co thé con ngwdi dura céc tin higu va nang Iugng dén céc b6 phan trong co‘ thé dé tham gia vio cdc qué trinh s6ng. Do vay, c6 thé néi, phan dign ~ dién tir trong cac thiet bi 1a “phan hén™, va & moi 36 teuting hgp n6 C6 vai trd nhu 1a “bo ndo ~ tr4i tim”, vi nhu céc CPU trong cde may tinh c4 nhan hay trong cdc robot Gong sql, sane va sano digs 101.2. MOT SO KHAI NIEM TRONG LINH VUC DIEN TU 1.2.1. VAT LIEU DIEN TU a) Vat ligu dign ti adi chung Ta tt ca céc loai vat Higu ding dé ché tao 1a cde sin phan dign tit, né c6 rat nhigu logi khée nhay. Sin phim dign tr cang da dang thi nhu eu vé vat ligu dign tir cing da dang. Dén nay, ngudi ta a thong ke ¢6 hang nghin loai vat ligu dign tir khée nhau. Vi dy, ching loai vat ligu lam day dan dién nhu Cu, Al, Au, Ag. va cdc ching loai hgp kim cita chiing. cde chiing logi vat ligu gém sit diing trong ché tao céc Linh kién dién ti, cae chiing loai vat ligu bin din, ho vat ligu cach dién, ho vat ligu polime. ede vat ligu quy hii. b) Mot sé chiing loai vat liéu dién tur: Neubs ta c6 thé phan loai vat ligu dign tir ra rat nhiéu ho khdée nhau dua theo tinh chait cia ching. O day c6 thé néu ra mot vai loai vat ligu dién tir c6 lien quan sé duge ban trong cudn sch ~ Céc ho vat ligu kim loai khée nhau sir dung trong Tinh vue dign ti, thay 15 nhait 18 cdc kim loai Cu, Au, PI, Al, Ni, Sn, Sb fam day din va rat nhiéu ting dung khde nhau ; = Céic ho vat ligu hop kim = Clic ho vat liu gém sit; ~ Cie ho vat ligu ech dign ; c ho vat ligu tir, vat ligu siéu dln nhigt do cao ; = Cc ho vat ligu ban dan don chat : Cc ho vat liéu bin dn hgp chat hai, ba, béin thanh phan ; ~ Céc ho vat ligu vo dinh hinh nh thuy tinh, SiO}... ~ Céc vat ligu sir dung trong tich trit va chuyén hos aang luong ; Ho vat ligu potime ding trong dign tir; ~ Cic ho vat Tieu mdi cé tinh nang dic bit ding trong cong nghiep dién tir; ©) Vat ligu ban dan 1a ho vat lidu dign ti quan trong nha, n6 c6 46 din (cB 10+ 108 O-/.eme!) va dd rong ving cém (cé khoang 1 eV) nam gitta vat ligu kim loai va dign moi, duge sit dung dé che tao céc linh kien bén din tich cue va vi mach. Dén nay ¢6 khoang d6 20 + 30 loai vat ligu bin dn don. chat va hop chat ca chiing duge sit dung trong ché tao link kien bin din Mot trong cée dac tinh quan trong nhat cia vat ligu ban din fa tinh dan di¢n vi mol 86 dic tinh khéc 6 thé diéu khién dargc bai ndng do pha tap hod béi thich khdc nhau nhw nhiée, dign ti, quang, co hoc. " Cheong 14) Céc phu kin kéi néi, lam chan ra, tod nhies ding trong link kign lam tit vat lagu kim ogi 1) Céc chi tit kop kim Pb — Sn dé han, gin két ede b6 phan trong link kign dign tit lam te vg ligu hop kim. Conc, ng micro va nano diew ri 12én diing dé ngdn cach giita cde chén ra va cdc b6 in ait, bain adn ) Cée 60 phan ctia v6 link kién hodte dé mit cach dién c6 ee Ib dua cde chan ra, va ciing diing dé tod nhigt nhanh trong nhitng ndm tit 1970, B Chuong #¢) Cae dé cé cae chan ciia link kign roi rac va IC 6 dién duge sit dun hing nam 1965 iré di sit dung mot sO vat ligu quy hiém nhue teflon, kim loai Au, Pt, Cr, Ni, Pd. Hinh 1.4. Cac chi tié lam ti nbiéu loai vat ligu khdc nhau ding trong ché tao linh kién ban dan rii rac va mach t6 hgp (IC). Trong céc ho vat ligu dién tir 6 trén, xét vé khfa canh cong nghé micro va nano dign tir thi ho céc vat ligu ban din, vat ligu tir siéu din nhiét 9 cao, mot sO vat liu méi nhu polime din dang c6 vai trd rat quan trong. Viée tmg dung ciia ching ciing rit quan trong, vi dy céc vat ligu kim Jogi quy biém (Au, Pt, Ag, Ni, Pd, Cu...) dugc sit dung rat nhiéu trong béc bay tao cdc dign, cuc vaday din, Vat ligu ban din don hgp chat da va dang gid vai tr chit dao dé ché tao céc linh kign ban din micro mach siéu c& 16n, va g6m dign tir dang c6 vai tro ngay cang In trong Tinh vuc linh kien tt, dien tir spin va vat ligu siéa din uhiét 49 cao. Trong mdi loai vat lieu, tuy theo & mute do sit dung va tinh quan trong déu c6 thé phin ra hai loai khéic nhau vat ligu thong dung duge ché tao véi cdc cong nghe thong dung va vat ligu ic ho vat ligu tir chat Iugng cao durge ché tao v6i cong nghé cao (cong nghé micro va nano dign tit) phuc vu cho céc mue dich khée nhau1.2.2. LINH KIEN DIEN TU VA LINH KIEN BAN DAN a) Linh kign dign tira mot cau hinh xéc dinh, durge ché tao trén mot hay nhiéu loai vat ligu dign tir theo nguyén Ii rhat dinh dé thyc hign mot chic nang nhiem vy nhdt dinh trong mach dien tir hay thiet bi dien tit. Den nay c6 rit nhigu ho linh kign dign tir khéc nhau, trong méi ho lai c6 mhiéu logi Linh kien khdc nhau, vi dy réng ho ty dién o6 céc chiing loai tu gidy, ty hod, tu sd, ty mica, ty dau véi hang tram loai khic nhau. b) Linh kign ban din [& mot cau hinh Jinh kién xéc dinh, duge thiét ke che'tao va hoat dong dura vao tinh chat cla vat ligu bin din dé thuc hien mot chute nang nio day theo nguyén If x4e dinh trong mach dign tit, hay thiét by dign tit. Trong cic linh kién bén dan khong phai chi sir dung vat ligu ban dan ma cn si dung nhigu Joai vat ligu khdc, vi dy trong didt bin din khong chi 6 tigp gidp pn bin din ma con c6 cd vang (Au) dé lam dign cue, v6 thuy tink hay kim loai, cdc day din kim loai néi céc dien cue ra ngoai ©) Cac ho linh kign din tit, ban dan duoc phan theo muc dich sir dung, hoac dic diém tinh chat : c6 thé phan loai theo moi trudng vat chat ma linh kien hoat dong (b6ng dén chin khong, bong ban din, ty div. tu dign gom st, ty gidiy...) hoac phan loai theo tin sé hoat dong (linh kién cao tin, siéu cao {8n...), phan Joai theo cong suit nhur Linh kién cong suat Ién.... phan loai theo {inh nang nguyen If hogt dong nhu céc linh kign quang dign t, tinh kign hoat dong trén nguyen If tir siu din, linh kign cém bién hodc phan loai theo chat Iugng va Linh vuc img dung nh tinh kign dign ti mang tinh thong phim, linh kien dign tir phuc vy cho cong nghiép, cho quan su, cho vii tru... Céc ho linh kign dign ti, bin din cn duge phan theo muc dich sir ding hoae dac diém tinh chat “ic ho linh kign dign ti ri rac thong dung ding cho cic muc dich ngoai thuong din dung (dign 6, w dign, didt, tranzito, MOSFET, céc 1C thong dung, CCD...). Cac loai linh kien chayén dung cho quan su, hing khong — vil tru, bao g6m nhiéu logi hinh kiée nhau nhumg véi do tin cay va chat lugng rat cao. ah kign quang dien tir (photadetecta, optronic, laze va cde ngaén sing phan to khdc, khuéch dai quang, dng din séng, chuyén mach), — Céc ho linb kién cém bien (sensor) véi hang tram loai — C&e inh kign chuyén hod nang lung, pin Mat Troi w Cheaye | }Hinh 1.2. Anh vé mot 86 linh kign dign tif bao gém mat s6 loai dién trd, ty dién, tranzito Iuong cuc, MOSFET, phdtodit, laze, cong tc éng md, cc mach t8 hgp va cic card dung trong may tinh. ~ Cie ching logi mach t6 hop luting cuc (bipolar) c6 mat do nl, tru binh, 16a va siéu 1én, céc mach IC thong minh. ~ Cée chiing loai mach t6 hgp mot cuc (unpolar) c6 mat d6 nhd. trung binh, In va siéu 16n, cdc mach IC thong minh. — Cie ho linh kign méi dya tren cde higu ting lugng tir 6 kich thude and mét, Cée Linh kign dién ti, ban din gidt vai trd rat quan tong trong sur phat trién cita nganh dién ti, né rat da dang va la cdc vién gach tao nén céc thiét bi va he thong dign tit. Khi 06 céc inh kign méi véi cde tinh nang méi thi Juon 1udn ¢6 thé tao ra ec Loai hinh thigt bi mdi c6 tinh mang t6t hon, Chinh vi vay, ngudi ta rat coi trong phat trién cOng nghiep lam linh kien dien w. Trong cudin sich nay, & ede phin sau sé d biéu ciia mo s6 ho linh kign nano cho téi nay. im qua mot sO thanh qua teu 1.2.3. MACH DIEN, MODUN, VI MACH VA MACH TO HOP. Su thu nhé linh kign, mach dign va thiét bi dién tie 1A nhu céu ddi hoi Khéch quan tat yéu ciia qua trinh phét trign nhim phyc vu cho nhu céu ngay ting cia con ngudi. Trong xa hoi ngay cang phat trién véi trinh dé cao c linh kia, mach dign va thiét bi dign tircang ngay cang duge phat trién hoan thign cho thich img. Con ngudi cing ngay cing muén ch€ tgo cdc tinh kien thiét bi nhd gon hon, 6 nbiéu tinh nang sit dung tign Igi, c6 kich thude cling nho cang tt (con ngudi dang mun ch€ tao may tinh cm tay, dién thoi Cons, ncfie micno va nano dieu 1d 16di dong c6 da tinh nang nhur goi dién, tra intemet, xem tivi, chup anh...). Viee thu nhé linh kien, mach din va thiét bj luon luon duge dat ra. Negay tirnhiing nam 1950, ngudi ta da ch€ tao duge cdc linh kign 6 kich thuée nhé bé dé lap rap trén tam mach in, sau 46 cde mgch in ngay cang duge hoan thign modun & dang kh6i nh6 hon dé dua vao sit dung trong linh vue quan su. Tranzito ban din ra doi da mé ra vige thay thé céc béng dén chan Khong to, ti¢u thy cong suat Ién, bing cdc linh kién ban dan va mach 16 hop vi kich thudc nhé dang ké. Vé sau, dé la céic mOdun, céc micrO modun duwge ch€ tgo ngay cng nhiéu trong céc thiét bi quan su. Trong nhiing nam tir 1950 d€n 1960, vige ché tao ra céc linh kién c6 kich thuéc tuong 46i gidng nhau 3 duge dat ra dé tu dong hod viée Lip rép, nhait 1a trong linh vuc ché tao tivi. Vao thai ki d6, RCA dai ché tao duoc cic modun 6 kich thud 7,9 x 7,9 x 2.5 mm}. Céc mach dign c6 rift nhiéu loai, tir cdc mach in dén cdc vi mach mat do sieu c& 16. Mot mach t6 hgp vin duge coi 1a mot cau kign gém nhiéu linh kign 6 dang dac biet, tuy nhién do tém quan trong, 6 day chiing ta dua vao mot muc riéng. a) So dé mach dién So dé mach dign 1A mot bn vé thé hign su két noi day dén gitta cdc linh kign dién tit khéc nhau (bao gém ed cdc linh kign roi rac, cdc Khoi modun hoa cdc vi mach...) cia mot mach dién xde dink nio dé. Thong thutng, mach dign nay khi dugc thiét ké xong sé c6 khd nang thyc hign m6t hay mot 86 chife nang trong Tinh vue dién tir (nhu khuéch dai, én dp, bién déi A/D, D/A, nhan chia...). let: TLo72 inh 1,3. Vi dy vé mOt s0 46 mach dign cé ki higu cdc linh kign, déu va0, du ra, ° coe |‘Trén so d6 mach dign, ngudi ta thudng ghi chi day di ten, ki higu tinh kien va gid tri ciia céc Linh kién c6 trong mach (vi du : gid tri dign tré, tu dién, tranzito, IC...). So d6 mach dién c6 thé la so dé chi tiét hay so d6 kh6i. Tirso 46 mach dign da thiet ké, cdc nha cong nghé c6 thé thiét lap cée cong nghé dé ché tgo chting & dang modun hay vi mach, mach 16 hgp. Hinh 1.3 1& mot vi du vé mot so dé mach dign. b) Mach dien Khai nigm chung phé bién, mach dién chinh la 16 hep ciia mt so hay rat nhiéu (6 thé lén tdi hang tram trigu) linh kién dién ut (bao gdm cd cdc link kign roi rac, ede link kién tich cule va thu déng, IC) dat duge sdp dat trén dé cach dign theo mot céiu hinh thiet ké'xdc dinh dé thuc hién mot chite nang nhiém vu nao dé (Khuéch dai, bién dét tin hiéu, tao dao dong) trong thiét bi dign tiz. Mach dien 14 mot phin co'ban trong thiét bi dign tit, né ra dai va phat trién ciing véi su phat trién cia thiét bi dign tit, Nguoi ta c6 thé phan loai mach dign theo nhiéu céch dy tren cong nghe lap rap mach dign = Mach in 1 mot cau hinh t6 hop gém céc linh kién dién tir ri rac, ce modun va IC...) dugc két néi bing céc day din nim trén mot hoac hai mat ciia mot tm cdch dién bakelit. = Mach lai gém mot s6 linh kign rai rac thy dong, céc IC va cing mot 6 linh kign ban dan chua d6ng v6 & dang chip, thug duge lip dat trén mot dé cich di¢n gém st két noi bang day din véi nhau. ~ Mach té hop trén mot phién (monolit integrated circuit) 1a mach t6 hop duge ché tao 26m céc linh kign duge lam trén mot d& ban dn (nhur St...) ‘v6i mot loai cong ngh¢ planar Mach dign con c6 thé durge phan loai theo chife nang nhiém vu nhw mach khuéch dai, mach tao dao dong, mach loc, mach tign khuéch dai, mach khuéch dai cong suat, mach bién déi thé higu sang tin sO, mach dién tir thong minh. Hinh 1.4. Mot mach éign bao gém céc inh kign va IC trén 48 mach in. Cong Nohe micro vA nano dieu ry 1B©) Modun dién tir Theo nghia rong, modun dign tir thutmg 18 mot khoi mach dién tit 3D cb kich thud duoc thu nko Iai, thc hign mot chite nang dign ti nhét dinh. Xu thé 1m gidm céc kich thuée cho gon nhe va dé ft titu hao nang Iuong lun dat ra vao moi thoi diém. Cae dang modun dién titra doi tir nhimg nim 1930, dc biet trong cae thiét bi din ti quan sy, n6 thudng dugc bao phi kin trong vat ligu bao ve nhu epoxi, nha duimg... dé c6 thé lam viée trong moi diéu kign nhurnéng ‘im, trong nuée bién, trong rimg su... Céc n dang ké kich thude ciia nhiéu thiét bi dign ti va hoat dong rét én dinh, rat bén, khi hang héc né 06 thé dugc thay thé rat dé dang, chi céin thdo rit ra thay médun méi vao la xong. Cac may tinh va cdc he mdy dign tir ngay nay thudng duge ché tao theo céch nay dudi dang cde card ket noi voi nhaw. dun da Lam Hinh 1.5. Vi dy vé mot médun quang dign tir ngay nay 8 dang kh ) Vi mach (microcircuit) Vi mach chinh ban than a6 da thé hign sur thu nhé Iai kich thutéc ca kich thudc linh kin va kich thusic mach dign. Theo nghia rong nay, vi mach dign tit c6 thé bao gém cdc loai mach dién thu nhé t6i ich thutéc micromét. Céc vi mach nay ¢6 thé ché tao bang cac cong nghé khdc nhau. N6 cé thé bao g6m mach fai, cic mach 16 hop (IC), ede mach vi co dién (MEMS), nano co dién (NEMS), céc mach dign thong minh... dugc thiét ké ché tao theo mot cfu hinh xc dinh nham thyc hign mot t6 hop chtte nang nhiém vy ndo daly trong mot thiét bi dién ti, e) Mach té hop (Integrated Circuit - 1C) Mach t6 hgp 1a mét ching loai mach dién tit thuge ho mach vi dién tie duuge thiét ké ché'tgo tich hgp trén mét chip ban dan nhd voi cong nghé cao wong 1 | ch |xde dink (cong nghé planar, cong nghé micrd va nand co dién (MEMS, NEMS...)), trong d6 cdc link kién ban dan co moi lién két voi nhaw theo thiét ké’ khong thé téch roi, dé thee hién mot nhiém vu hay mot t6 hop cdc nhiém vu xdc dinh trong mét mach dién hay trong thiéi bi dién ut. Mach 16 hop dién tir dau tien duge phat minh béi Nicola va Killby vao nam 1960, Nam 2000, phat minh tren da duge ting gidi thuong Nobel. Phat minh nay 4 ma dau cho str phat trién cia mot ki nguyen méi cho nganh dign tit, né lam bién Adi sau siic rat nhiéu Tinh vuc cia xa h6i loai nguéi, nha 12 tir khi cdc thé hé may tinh cA nhan lin uot ra ddi. Theo théi gian, lic déu mat do mach tich hop 1a nhd (SSL — Small Scale Integrated Circuit), sau d6 c6 mat do tich hgp trung, binh (MSI), mat d6 tich hop 1én (LSD va hién nay c6 mat dO tich hop siéu In (ULSI - Ultra Large Scale Integrated). IC ngay nay cé thé chita tdi c& gan ti inh kign (10° Linh kign) trén mot chip ban dn. inh 1.6. Phién ban dan Si trén 46 nhiéu 6 giéng nhau, méi 6 vudng la m6t mach té hgp (IC). Khi cdt ra cdc 6 nay goi la cac “chip”. [Theo goldmine. elec-produets.com/prodinfo asp] Cac mach 16 hop duge ché tao trén mot phién vat ligu bin din (Si hay GaAs) v6i mot hay mot s6 cong nghé xic dink. Mdi mOt 6 trén phigh bin din ¢6 kich thude tit vai milimét dén c& xentimét 1A mot mach t6 hgp chia hang trigu linh kién ; céc 6 trén phign bin din sau khi cat ra duge goi 1a chip”. Mot phién ban din tren d6 c6 thé ché tgo hang tram chip, mdi chip 1 mot mach t6 hop (hay mot linh kign don trong trudmg hgp che tao linh kign ri rac). Tren hinh 1.6 1a mot phigh ban din Si trén d6 di ché tao ra cde mach 16 hgp. Hinh 1.7 18 mot anh khai quét ben trong chip ban dn. Day 14 mot bo vi xit If prescott ciia Hang Intel ché tao, Cone qi micro vA nano dies 1-20B6 vi xi li Prescott cba Hang Intel ~ ©6 150 trigu tranzito ~ Tan $6 dng hé la 3,4 GHz = Bue thiét ké theo kich thuée 90 nm ~ Cf chip DRAM : cdc chip 4 GB (cd 10° tranzito /om?). Hinh 1.7. Anh khdi quat ban trong ctia mét chip vi xt Khi tign t6i gidi han Iuong tit, dy doan vao nam 2013, mat do cdn tang Jén nhiéu va t6c do may tinh khi d6 sé dat t6c 46 si¢u nhanh khodng 254 GHz hoac 16n hon. ) Phan loai cdc mach t6 hop Neu ta o6 thé phan chia mach t6 hop theo nhiéu céich khéc nhau, vi dy : ~ Theo chiie nang : mach A/D, D/A, mach khuéch dai, mach dao dong, IC dac chiing (ASIC), mach dign thong minh (inteligent IC), — Phan loai theo céch ché tao lip rép : mach dign tren dé mach in, trén 4€ céch dign, mach lai (hybrid circuit). — Phan chia theo in s6 hoat dong : mach tin s6 thap, tan s6 cao. = Phan chia mach IC theo mic d9 t6 hgp (SSI, MSI, LSI, ULSL...). ~ Phan chia theo kiéu hat tii hoge theo téc nhn tinh chat hoat dong : bipolar IC, unpolar IC, cfc mach vi dién tir quang dign (OEIC). — Phan chia theo cng nghe ché tao : cde mach vi co dign (MEMS), nano co dién (NEMS). g) Thu nho kich thusc linh kién va mach té hop la xu hudng tat yéu nhung dy nhimg thach thie Lam nhé lai thi rat kh6, d0i hai ki thuat cao, cong nghé cao va kéo theo d4u tw 16n, gié thanh thanh phém sé cao néu khong sin xudt hang loat 1én, Trai qua hon nifa thé ki, tir nam 1948 dén nay, vige thu nhd linh kign bain dn ri rac Va mach 16 hgp lu6n phat trién, Tren hinh 1.8 1A anh cia tranzito va modun mach IC truée day va hién nay. a Chung 1‘80nm CMOS Transitor = @—pe a Hinh 1.8. Qua trinh thu nhd cdc linh kign va IC truéc kia va hign nay a) Linh kign don, kich thutéc milimét ; b) Linh kin dan CMOS, kich thuéc 80 nm ; c), d) Vi dign ti mat 46 thdp ; e) Vi dién tir mat 46 siéu cao, 108 linh kign tran mot chip (5 x 5 mm?) Mot s6 théch thite chinh trong qué trinh thu nbé thudng gap nhu sau — Gidi quyét van d@ tod mbit trong cfc IC. Day 1a vain dé rat phute tap. Khi cé hing ti Linh kign hoat dong tieu thu nang lugng trong mot kich thude rat nhé, 1am sao c6 thé dan nhiét ra ngoai dé céc linh kign hoat dong binh thutng, khong mat én dinh. Viée thu nhé chi e6 thé dat dén gidi han Ivong tirma thoi. Tuy nhién, do cdn nhiéu gidi han khéc nhu gidi han cong nghé, truyén nang Iugng... nén khong thé gidm thigu kich thuéc tuy § ~ Thach thifc vé cong nghé lip rép ciing rat 16n khi mat do len hing «i linh kign trén mot chip c6 dién tich c& vai milimét vuong. Cong nghe lip rép mach rat phiic tap, nhu cong nghe han dien cuc bing day Au, cong nghe déng Vo & cde chip c6 nhiéu l6p voi mat do linh kign 1én. 1 . CAC CHUNG LOAI THIET By DIEN TU Cé thé phan chia thiét bi dign tir theo nhigu cach, ac tinh va muc dich sir dung nhu duéi day ~ Cac ho thiét bi dign tir dan dung (radié, tivi, ti lan, dign thoai...). — Céc ho thiét bi ign tir ding trong quan sv. ~ Cc ho thiét bi dién tir thuge Tinh vue hing khong ~ va tru. lu phan chia theo Cong, sche mieno vi nano din wi 22= Cac ho thiét bi nghién citu khoa hoc, vi du nhu céc kinh hién vi cién til, ee may gia tc, cde mAy phan tich... = Cac ho thiét bi cong nghé, may edi. — Cac ho thiét bi dign tit ding trong do lung, thir nghi¢m. ~ Cc ho thiét bi cém bign thong minh, diéu khign tit xa. — Ngudi may (robot). — Hg thong dinh vj toan cdu va thong tin dia Ii (GPS, GIS). = Cie ho may tinh lon, may vi tinh, Khi cong ngh¢ micro va nano dién tir phat trién thi cdc thiét bi dién tir luon bign d6i va phat trién theo huting ngay cing nho dan, Hinh 1.9 thé hién su gidm ich thude nhanh chéng theo thdi gian cia chiing loai may tfnh cé nhan. ich thud hé théng L + W + H theo inch ay tinh ban (Desktop) | 30 ‘May tinh ach tay (Notebo0%) 20 May ton cm tay _ (Palriop) “Tob tn dong (Crest ear} 1bng hd aign td ist watch) Pin nan (Lape pny — ot That gan Hinh 1.9, Xu thé gidm kich thuée cla may tinh theo thei gian, 1.2.5, MOT SO KI THUAT DIEN TU C6 rat nhigu loai ki thuat dign tir khéc nhau duge phan chia theo nhiéu ich, vi dy mot sO KI thuat chinh thudmg gap nhur sau : B Chuone, 1Ki thuat tuong ts (analog) ~ Ki thuat $6 (digital) ~ Céc Ki thugt do dign, eo quang, tt — Ki thuat do Tuong va digu khién tir xa ~ Ki thuat héng ngosi Cac ki thugt thu phat song vo tuyén dign — Ki thuat truyén dan xir If sO lieu — Ki thuat thu pit digu khién tin Ki thuat vign tham. qua vé tinh — Ki thuai xir If, truyén tin tin higu quang — Céic ki thuat din tit do Iudg trong nong nghiep, y té, gido duc 1.3. CAC CHUNG LOAI CONG NGHE DIEN TO Binh thudng, c6 bao nhieu chiing loai vat ligu dign tir thi c6 bay nhieu cong nghé sin sudt. Tuong ty, ¢6 bao nhieu ching loi linh kign dign tir cfing cé bay nhiéu ching Joai cong nghé ché tao ra ching, cing tuong ny déi vi cdc thiét bi hoac hé thong dién tir. Tuy nhién, & day cé mot s6 chiing loai cong nghé giif vai tro quan trong nhdt trong su phat trién cha nganh dién wr va g6p phn khong hd thiic day su phat trién kinh té thé gigi, 86 18 c&c loai cong nghé ché'tgo vat lieu ban din va céc loai cong nghé ché tao linh kien ban din va vi mach, bao gém cdc chiing loai cong nghé ché wo mach t6 hop. lung cuc dén cée ching loai cong nghé ché'tg0 mach t6 hgp dem cuc (MOS, CMOS, BiCMOS...), vi hign nay con ngudi dang quan tam dén cong nghe nano dién tik, cong nghé MEMS, NEMS... cc cong nghé nay dang hinh thanh timg bude va dn hodn thién. Chiing c6 vai tr quan trong khong chi trong Tinh vyc vat ligu linh kign ban dén ma con dang trién khai manh ra mot s6 Tinh vye vat ligu khdc nhur dién tir phan tir, polime, dng nand cacbon, dign tir spin ‘Trong cac phin sau cia cudn sach nay, ching ta sé tap trung dé xem xét hai ching loai cong nghé chinh, d6 1a cong nghg micrd dig tr tren vat ligu ban dn va cong nghé nano dign ti dang rat duge quan tam hién nay. Traée khi di sau hon vao céc van dé nay, chiing ta phac théo mot s6 ching loai cong nghé chinh ding trong ché tao cée loai vat ligu, linh kign dign tir ban dan, sensor, cdc thiét bi va hé thong didn tit. Ching loai cong nghé nao cing co cée qué trinh phat trién lien tuc cita n6 tir thp dén cao, tir don gidn dén phic tap vi c6 su phat trién k¢ tiép nhau. Cone, nqlic wicno va sano diew nd 24C6 rat nhiéu céch phan chia céc ching loai cong nghé hu : cong nghe ché tao mot loai vat ligu dign tir, cong nghé ché tao mdt loai linh kien xéc dinh, cong nghé ché tao mach dién, céng nghé ché'tgo IC, cong nghé ché tao thi¢t bi... Trong méi chiing loai cng nghé lai phai sit dung mot hay mot s6 cong nghé don Ié khdc nhau dé tao nén cdc phén cita linh kién. Vi du, khi ché tao mot tranzito ban din cén khong 30 bude cOng nghé khéc nhau méi ra duge sin phim, cdn ché t20 mot mach té hop IC phite tap cfn sir dung tren dudi 100 bude cong nghé khéc nhau, méi bude hay mot nhém bube cong nghé nay thudc mdt ching loai cong nghé (vi du : Khi ché tao IC sé c6 tir 4 dén 5 cOng doan cong nghé lién quan dén quang khac, hang chyc bude cong nghé ign quan dén xir If hod hoc....). Dui day, c6 thé chia khdi quat ra mot s6 ching logi cong nghé dign tir trade khi bin sau vé cong nghé micro va nano dign tir trong quyén sich nay, 46 1a : ~ Céc logi cong nghé truyén thong, vi du cong nghé ché tg0 céc loai day ign nhur day déng, day nhom, niken tip dn 1A céc loai day dign tr3 trén co. sd céc hop kim, va tigp sau 8 céc loai day cap déng, c4p hom tren co si t6 hgp céc loai day dan d6, Khi cong ngh¢ micrd va nand dién tir phat trién thi van dé tao day din trong cdc mach IC tré lén 1a mot trong céc vin dé nan gidi rat kho gidi quyét nhur da neu ra 6 wen. Vi dy, trong mot IC mat do cao, chiéu dai day din t6i 6 = 10 km, 46 manh cia day din cd nanomét cing 14 mot gidi han lugng ti trong cong nghé nano. Cc chiing loai cong nghé ché tao Ong din séng 6 dai vi ba va buée s6ng quang. Hign nay, cdc cong nghé ché tao cdc Ong dan s6ng & dang phang, cong nghé ché tao soi quang va cép quang trén co so céc vat Tieu khdée nhau dong trong théng tin quang va cdc tng dung khéc nhu sensor quang cing dang duoc quan tam chi ¥ dic biet. = Cong nghé che tao céc chiing loai vat ligu céch dién lam tir vat lieu Khoi dén mang méng véi kich thude nano, vi dy nhu céc 16p ngan trong mach vi dign tir va nano dign tit, lbp oxit céch dign trong cong nghé MOS dén nay a gidm xudng cO 40 nm... Day 1 mot Tinh vyc dac bigt quan trong trong, Tinh vuc dign va dign tis hign nay. Khi cong nghé micré dién tit hay nano dién ti phat trién thi ching loai cong nghé nay luén Iudn tién trién theo dé dap img cdc yeu céu cla ki thust dién tir = Cie ching loai cong nghe dé ché tao céc ching loai dién tré tuyén thdng, vi du nhu cOng nghé ché' 140 dign tr khoi, mang than, cong nghé ché tao dign tre mang ming kim loai, cong nghé ché tao dien tri day, cOng nghe che tao dign tro g6m sif cong suat 1én... Khi cOng nghé micré va nand dign titra di thi cde cOng nghé ché tao din trd trong céc mach nay cing duge phat 5 Chuang 1