17º CBECIMat - Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais, 15 a 19 de Novembro de 2006, Foz do Iguaçu, PR, Brasil.

DIAGNÓSTICO POR ESPECTROSCOPIA DE EMISSÃO ÓPTICA DA

NITRETAÇÃO EM GAIOLA CATÓDICA

F.O. de Araújo a(*) , C. Alves Jr b , R.R.M. de Sousa c, J.C.P. Barbosa b, E.S.

Medeiros b, J.A.P. da Costa d.
a
Universidade Federal Rural do Semi-Árido, Departamento de Ciências Ambientais,
Mossoró, RN, Brazil.(*) odolbert@yahoo.com.br
b
Labplasma, Departamento de Física – UFRN, Campus Universitário, 59072-970
Natal, RN, Brazil.
c
Centro Federal de Educação Tecnológica do Piauí, Departamento de Mecânica,
Teresina, PI, Brazil
d
Departamento de Física – UFC, Fortaleza, CE, Brazil.

RESUMO

Nos últimos quatro anos surgiu uma nova técnica de nitretação a plasma,
denominada de ASPN (Active Screen Plasma Nitriding), na qual as amostras são
envolvidas por uma tela polarizada catodicamente. Com esta nova metodologia é
possível obter uma camada perfeitamente uniforme, independente da geometria da
amostra. Como o plasma atua na tela e não na superfície das amostras, o
mecanismo de atuação se dá num regime de pós-descarga e os defeitos inerentes
ao processo de nitretação dc convencional são eliminados. Neste trabalho utilizamos
a espectroscopia de emissão óptica para investigar as espécies presentes no
plasma em diferentes condições de tratamento, monitorando sistematicamente a
composição e a densidade de espécies ativas e confrontado os resultados com a
análise das camadas formadas em amostras de aço AISI 316, com a finalidade de
determinar as melhores faixas de pressão e os seus efeitos sobre o aumento na
espessura da camada de nitretos.

Palavras-chave: Pós-descarga, gaiola catódica, espectroscopia de emissão óptica.

INTRODUÇÃO

A nitretação a plasma é utilizada na melhoria das propriedades superficiais

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como dureza, resistência ao desgaste e à corrosão, com o objetivo de aumentar a

vida útil das peças nitretadas. No entanto apresenta alguns inconvenientes como
efeito de borda, efeito cátodo oco, temperatura não uniforme e abertura de arcos,
especialmente no tratamento de peças com geometria complexa (1-4). O efeito cátodo
oco aparece quando as superfícies de furos, canaletas, ou de superfícies planas
estão posicionadas a uma distância próxima o suficiente para que haja sobreposição
das regiões luminescentes do plasma. Os elétrons são confinados nestas regiões e
oscilam, causando a ionização e a excitação adicional dos átomos (5).
Para corrigir efeitos indesejáveis como estes várias alternativas ao processo de
nitretação iônica foram criadas tais como plasma pulsado, I3P (6,7)
. Recentemente
surgiu mais uma técnica alternativa, denominada ASPN(Active Screen Plasma
Nitriding), em que as amostras são envolvidas por uma tela, na qual um alto
potencial catódico é aplicado. Desta forma o plasma atua na tela e não na superfície
das amostras. As amostras são colocadas sobre a superfície de um isolante,
permanecendo em potencial flutuante ou submetidas a uma baixa tensão de
polarização e são tratadas num regime de pós-descarga (2).
Neste trabalho, utilizamos o mesmo princípio que a ASPN, porém com um
(8)
arranjo experimental modificado, denominado gaiola catódica , para permitir um
estudo sistemático do efeito cátodo oco produzido em cada furo da gaiola, cuja
configuração é apresentada na figura 01. Como o plasma é formado diretamente na
superfície da gaiola metálica, os defeitos inerentes ao processo convencional sobre
(8-11)
as amostras são eliminados . Além disso, a intensificação no bombardeio iônico
na gaiola conduz a um rápido aumento na sua temperatura. Devido à sua geometria,
o calor proveniente da gaiola se difunde e aquece as amostras até a temperatura de
tratamento.
Neste trabalho é apresentado um estudo sistemático da variação da pressão
com a tensão e a corrente sobre a intensidade da radiação luminosa característica
de cada espécie presente no plasma, obtida por meio da espectroscopia de emissão
óptica(OES), e sua relação com a formação da camada de nitretos sobre amostras
de aço AISI 316.

CONFIGURAÇÃO EXPERIMENTAL

A gaiola catódica foi confeccionada em aço inoxidável AISI 316 com 0,8 mm de

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espessura, 76 mm de diâmetro, 25 mm de altura, contendo uma tampa removível.

Os furos de 8 mm de diâmetro são uniformemente distribuídos, com distância de
(8)
9,2 mm entre centros de furos adjacentes . Este dispositivo é instalado num
sistema para nitretação convencional, que consiste de uma fonte (tensão máxima
1500 V, corrente máxima 2A), uma câmara de vácuo cilíndrica montada
verticalmente (40 cm de diâmetro e 40 cm de altura confeccionada de aço
inoxidável) e um sistema de evacuação. Duas amostras de cada altura foram
posicionadas sobre um disco isolante de alumina, conforme disposição mostrada na
figura 01. O plasma é formado na gaiola catódica, que é o cátodo e não diretamente
na superfície das amostras e as paredes da câmara funcionam como anodo.
Para análise dos efeitos da variação da pressão sobre a camada de nitretos
produzida, amostras cilíndricas de aço AISI 316 foram usinadas com alturas de 1, 3,
5 e 10 mm, previamente recozidas e lixadas com lixas 320, 400, 600 e 1200 mesh e
polidas em disco de feltro com pasta de diamante de 1 e 0,3 µm. Depois, foram
limpas com acetona em ultra-som, antes de serem colocadas na câmara de
nitretação.

Reator de nitretação a plasma Gaiola Catódica

Visor

Amostras
Isolante
Termopar

Figura 01 - Vista em corte do reator de tratamento com o dispositivo ASPN e

disposição espacial das amostras no interior da gaiola.

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A temperatura de tratamento utilizada foi de 723 K por 5 horas. Antes da

nitretação, o sistema foi evacuado até alcançar a pressão residual de 1 Pa. Então
uma mistura nitretante de 80% N2 / H2, com fluxo de 10 sccm, foi introduzida através
de um controlador de fluxo. As pressões de tratamento foram medidas por um
manômetro de capacitância barocel e ajustadas manualmente. Após a nitretação as
amostras foram lixadas, polidas e atacadas em marble.
A composição de fases e textura foram analisadas usando difração de raios-X
(Shimadzu, XRD-6000). Os espectros foram obtidos usando linhas Cu
Kα(comprimento de onda: 0.154 nm), operado em 40 KV. A microscopia óptica foi
usada para observar a morfologia e espessura da camada nitretada.

ESPECTROSCOPIA ÓPTICA

Para investigar a natureza do confinamento do plasma nos furos da gaiola,

diversas medidas de espectroscopia óptica foram feitas. O sistema OES é composto
por um espectrômetro Acton Spectrapro 2500i com comprimento focal de 500 mm,
resolução espectral de 0.05 nm e uma rede tripla de difração e um cabo de fibra
óptica de 5 m de comprimento. Neste trabalho foi utilizada a face de 1200 g/mm.
Como detector, um fotodiodo de silício de 10 mm de diâmetro responsável pela
variação de 200-1100 nm.
A fibra óptica foi posicionada no visor da câmara, apontado diretamente para
descarga luminescente durante todas as medidas. O nosso estudo foi feito
relacionando a pressão de trabalho e a intensidade luminosa emitida, mantendo fixa
ora a tensão aplicada, ora a corrente da descarga.
Foram realizadas varreduras ao longo da faixa de 350-800 nm para as
pressões de 1, 2,5 e 5 mbar, fixando-se independentemente a corrente e a tensão,
mantendo fixos os demais parâmetros, a citar, a temperatura e o fluxo de gases.
Observamos a presença de três principais linhas de emissão. Duas de N2+ (B2 Σu+ →
X2 Σg+, v'=0, v''=0 e B2 Σu+ → X2 Σg+, v'=1, v''=0) e uma de Hα (n=3 → n=2, Balmer),
conforme espectros apresentados nas figuras 02 e 03, que apresentam
comportamento semelhante, tanto para os espectros obtidos com a tensão como
com a corrente constantes, variando as suas intensidades, permitindo assim a
avaliação de todas.

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RESULTADOS E DISCUSSÃO

Para medidas com corrente elétrica fixa (0,35 A), a intensidade luminosa é
inversamente proporcional à pressão. Para pressões mais baixas, a maior
luminosidade, ou seja, o aumento da intensidade das linhas de emissão se deve ao
fato de haver menos partículas de gás e ao conseqüente aumento da tensão
aplicada para que a corrente permaneça constante. Desta forma, a tensão variou de
460 V à pressão de 1 mbar, para 505 V à pressão de 2,5 mbar, chegando a 687 V
quando a pressão utilizada foi de 5 mbar.
Intensidade (u.a.)

Hα

+
1 mbar
N2 2.5 mbar
5 mbar
+
N2

+ N2
N2 Hβ N
N2

400 500 600 700 800

λ(nm)
te
sIn

β
H
N

Figura 02 – Espectros obtidos da gaiola nas pressões de 1, 2,5 e 5 mbar mantendo-

se fixa a corrente (0,35 A).

Quando mantida constante a tensão, o comportamento inverte-se, isto é, a

luminosidade é diretamente proporcional à pressão. Esta tendência é causada pelo
aumento no número de portadores de carga que recebe energia. Assim, para baixas
pressões, o número de portadores de cargas é menor, resultando numa
luminosidade menor. Por exemplo, à pressão de 1 mbar a corrente obtida foi de 0,09
A. Em altas pressões, ao contrário, a corrente deve ser muito maior para manter
constante a tensão. Desta forma quando a pressão utilizada foi de 2,5 mbar
obtivemos uma corrente 0,4 A, atingindo 0,88 A para 5 mbar.

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+
N2 Hα
1 mbar
2,5 mbar
+
N2 5 mbar
N2
Intensidade (u.a.)

+
N2 N2 Hβ

400 500 600 700 800

λ (nm)

te
sIn
Figura 03 – Espectros obtidos da gaiola nas pressões de 1, 2,5 e 5 mbar com tensão
constante (550 V).

Estes comportamento difere do observado para plasma convencionais, onde

observa-se um incremento nas intensidades das espécies excitadas com o
incremento na pressão de trabalho(12).
Para relacionar os parâmetros do plasma com a morfologia das camadas
formadas, um perfil das espessuras das camadas de compostos das amostras
nitretadas a 773 K, nas pressões de 2,5 e 5 mbar é apresentado na figura 04.
Observa-se que as espessuras das amostras tratadas a 2,5 mbar são
sistematicamente maiores, o que indica que esta pressão apresenta uma maior
eficiência no confinamento das partículas energéticas presentes no plasma, o que
favorece uma elevação na taxa de sputtering da superfície da tela, com o
conseqüente aumento na espessura da camada de nitretos formada. Observa-se
ainda uma pequena variação na espessura das camadas nitretadas, o que indica
que há uma distribuição uniforme de temperatura no interior da gaiola catódica.

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35

Espessura (micrômetro)
30
2,5 mbar
25
5 mbar
20
15
10
5
0
1 3 5 10
Altura (milímetro)

Figura 04 - Gráficos comparativos de espessuras de camadas de compostos para as

amostras de 1, 3, 5 e 10 mm em função da temperatura.

Uma análise da composição destas camadas, apresentadas na figura 05,

’
confirma a o favorecimento das fases ε – Fe3N e γ – Fé4N, que são os nitretos
formadores da zona de compostos e principalmente da fase “S” ou austenita
expandida, que apresenta elevadas dureza e resistência ao desgaste e excelente
resistência à corrosão.

S γ' + ε S
Feα Inox 316 - 10mm
ε ε S γ'
γ' ε Feα
S Inox 316 - 10mm
Intensidade (u.a)

Intensidade (u.a)

Inox 316 - 5mm

Inox 316 - 5mm

Inox 316 - 3mm

Inox 316 - 3mm

Inox 316 - 1mm

Inox 316 - 1mm

30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80
2θ graus 2θ graus
(a) (b)

Figura 05. Difratogramas de raios-x das amostras de 1, 3, 5 e 10 mm de altura

nitretadas a (a) 2,5 e (b) 5 mbar, com 80% de N2, na temperatura de 773 K.

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CONCLUSÕES

A técnica de nitretação a plasma com gaiola catódica baseia-se no princípio

geral da nitretação em pós-descarga. A avaliação das camadas formadas mostra
que a maior eficiência dos processos de nitretação de aço inoxidável austenítico
AISI 316 com gaiola catódica ocorre à pressão de 2,5 mbar. Este fato, associado ao
favorecimento dos íons de N2+ indica que os átomos de ferro arrancados da gaiola
reagem no plasma com as moléculas de nitrogênio, produzindo os compostos de
nitreto de ferro, que condensam-se na superfície das amostra. Além disso, e devido
ao aquecimento da superfície das amostra pela radiação proveniente da gaiola,
ocorre a difusão do nitrogênio.
Na análise dos difratogramas de raios-x das amostras de aço AISI 316
nitretadas através da técnica gaiola catódica as fases presentes são as mesmas
(13)
normalmente presentes na nitretação a plasma planar convencional , merecendo
destaque a fase S (ou austenita expandida).

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stainless steel, Wear 256 (2004) 1144 - 1152.
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the microstructure of d.c.-plasma-nitrided layers, Surf. Coat. Tech. 122 (1999) 112 -

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plasma nitrided austentic stainless steels, Journal of Materials Science 34 (1999)
4793-4802.

OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY OF THE CATHODIC CAGE NITRIDING

ABSTRACT

In last four years appeared a new plasma nitriding technique, called ASPN (Active
Screen Plasma Nitriding), where the samples are placed inside a cage in which the
cathodic potential is applied. Such methodology, allows getting a layer perfectly
uniform, independent of geometry of sample. The plasma just act in the screen. In
this case, the process occurs in a pos-discharge stage and defects inherent nitriding
DC, are eliminated with ASPN technique.
In this work, has been used optical emission spectroscopy to investigate behavior of
species presents in the plasma in different treatment conditions. A systematic study
to monitor composition and densities of active species and the results were
compared with analysis of layer formed in samples of steel stainless austenitic AISI
316, to determine the best pressure reach and how those ones act on increase of
thickness of nitriding layer.

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Key-words: post-discharge, cathodic cage, optical emission spectroscopy.

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