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12 • Revêtements obtenus 12.

2 Dépôt physique
en phase gazeuse en phase vapeur (PVD)

Substrat
Revêtement en cours
de condensation
Propagation
des espèces

Source Système de chauffage


de matière par bombardement
électronique – BE –

ofppt.scholarvox.com:OFPPT:1186524699:40001189:105.155.218.242:1605651396
A

REVÊTEMENTS
Système de pompage
vide secondaire

Figure 12.5 – Représentation schématique du dépôt physique


en phase vapeur par évaporation. D

REVÊTEMENTS
Le transfert des espèces s’effectue en écoulement moléculaire sous une pression
inférieure à 10– 2 mbar, si bien que seules, les surfaces en vue de la source reçoivent
un dépôt. La condensation des espèces et la croissance du revêtement se font sans
apport d’énergie supplémentaire à l’énergie thermique (0,1 eV).
Cette technique peut assurer des vitesses de déposition relativement importantes
(plus de 200 µm/h), avec de faibles températures de traitement permettant le dépôt
sur matières plastiques, mais les dépôts sont peu adhérents et souvent pulvérulents
car réalisés avec une phase vapeur de faible énergie. Il est souvent nécessaire de
chauffer le substrat vers 300/400 °C ou de réaliser un traitement thermique posté-
rieur au dépôt pour améliorer l’adhérence, tout en limitant l’épaisseur globale à
quelques µm. La technique d’évaporation est très largement utilisée dans l’industrie
optique, en décoration, ainsi que pour le conditionnement de substrats en feuilles.
Les grands domaines d’application sont les suivants :
– l’aéronautique avec les composants de turbines et des revêtements d’alliages
MCrAlY,
– les réflecteurs de lumière dans de nombreux domaines avec des revêtements
d’aluminium,
© Dunod – La photocopie non autorisée est un délit.

– l’industrie sidérurgique avec les dépôts de zinc ou d’alliages de zinc sur produits
plats en acier.
La grande vitesse de déposition est tout à fait compatible avec la technique de
dépôt en continu et depuis quelques années, de nombreuses installations pilotes et
industrielles se sont développées au Japon et en Europe en utilisant l’évaporation
de zinc sur produits plats en acier avec une émission de vapeur métallique par effet
Joule ou faisceau d’électrons. La figure 12.6 montre à titre d’exemple une installa-
tion industrielle de Nisshin Steel au Japon susceptible de réaliser des dépôts de zinc
de quelques µm d’épaisseur à des vitesses comprises entre 20 et 200 m/min sur des
tôles de largeur comprise entre 0,75 et 1,25 m. Après 7 sas pour passer de la pres-

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