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Betriebsanweisung

I Operating instruction

I
Instruction de service

t PM 800 061 BD
PM 800 061 BE
PM 800 061 BF

.•'
I

fur Turbo-Molekularpumpen
for Turbo-Molecular Pumps
pour Pompes turbo-moleculain
TPH 110
TPU 110
Antriebs-Elektronik
Electronic Drive Unit
Commande electronique
TCP 270

ARTHUR PFEIFFER
Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
0-6334 Asslar · Postfach 1280 · Telefon (06441) 802-1
I'
BALZERS
Telex 0483859 · Telegramm: vacupfeif

Ausgabe
Issue 7904/N 1453
Edition
1, Beschreibung 1. Description 1. Description
1, 1 Anwendungen 1. 1 Application 1. 1 Utilisation
1.2 Arbeitsweise 1.2 Mode of Operation 1 .2 Fonctionnement
1.3 Technische Details 1.3 Technical details 1.3 D€tails techniques
1.4 Saugvermtigen 1 ,4 Volume flow rate 1.4 D€bit volume
1.5 Kompression (K-Wert) 1 .5 Compression (value K) 1.5 Compression (valeur de K)
1.6 Restgas 1 .6 Residual gas 1.6 Gaz residue!
1 .7 Enddruck 1 .7 Ultimate pressure 1.7 Pression finale
2. Beschreibung der Antriebs- 2. Description of the electro- 2. Description de l'entraine-
elektronik nic drive ment E:lectroniques
2. 1 Allgemein 2. 1 General 2. 1 GE:lnE:lral
2.2 Arbeitsweise 2.2 Mode of Operation 2.2 Mode de fonctionnement
2,3 Pumpstandsteuerung 2.3 Pumping unit control 2,3 Commande de groupe de pompage
2.4 Aufbau 2.4 Design 2,4 Construction
2.5 Uberwachungselektronik und 2.5 Control electronics and 2.5 Electronique de contr6le et
Signalausgcinge signal outputs sorties de signaux
3. Technische Doten 3. Technical Data 3. Caract8ristiques Techniques
4. ZubehOr und Bestellnummern 4. Accessories and Code-numbers 4. Accessoires et No. de commande
5. Installation 5, Installation 5, Installation
5, 1 Hinweis 5. 1 Nate 5, l Remarque
5.2 HochvokuumanschluB 5.2 High vacuum connection 5.2 Connexion vide Elleve
5,3 VorvakuumanschluB 5,3 Fore-Vacuum Connection 5.3 Raccordement vide primoire
5.4 Vorpumpe 5.4 Fore-Pump 5.4 Pompe primaire
5,5 KUhlung 5,5 Cooling 5.5 Refroidissement
5, 5, l WasserkUhlung 5.5, l Water cooling 5. 5. l Refroidissement par eau
5,5.2 LuftkUhlung 5.5.2 Air cooling 5.5.2 Refroidissement par air
5.6 Flut□nschluB 5.6 Venting connection 5.6 Roccord de remise a l'air
5.7 Elektrischer AnschluB 5,7 Wiring 5,7 Branchement e1ectrique
6. Betrieb 6. Operation 6, Fonctiannement
6. 1 Inbetriebnohme der Pumpe 6,1 Starting up the Pump 6. l Mise en service de la pompe
6.2 Heizen der Turbo-Molekular-· 6.2 Heating the Turbo Molecular 6.2 Etuvage de lo pompe turbo-
pumpe Pump mol0culaire
6.3 Ausheizen der MeG-Systeme 6.3 Bake-out of the Measuring 6.3 Etuvage du systeme de mesure
Systems
6.4 Abschalten 6.4 Stopping 6,4
Arret de la pompe
6.5 Justierung der Uberwachungs­ 6,5 Adjustment of the control 6.5
R0glage de 1'0lectronique de
elektronik in TCP fUr ouBer­ electronics in the TCP unit contr6le dons le TCP pour
gewOhnliche Anwendungsfolle for special applications certoins utilisations portie­
(siehe 2.2) (cf. 2.5) culieres (voir 2.5)
6.6 Ausw�chseln des Steuerprint 6.6 Replacing the control print 6.6 Remplacement du circuit im-
prim0 de commonde
7. Wortung 7. Maintenance 7. Entretien
7. 1 Olwechsel 7. 1 Oil change 7. 1 Chongement d'huile
7.2 Reinigung 7.2 Cleaning 7.2 Nettoyage
7.3 Lagerwechsel 7,3 Replacement of the bearings 7.3 Remplacement des paliers
8, StOrungen und deren Behebung 8. Troubles and their remedies 8, Pannes et moyens d'y rem0dier
8.1 Check-Liste TCP 270 8. 1 Check-List TCP 270 8.1 Check List TCP 270
8.2 Steuerprint 8,2 Control print 8.2 Circuit imprime de commande
8,2. 1 Auskloppen des Steuerprints 8.2.1 Unfolding the control print 8,2.1 Enlivement du circuit
imprim0 de commande
8,2.2 PrUfen des Steuerprints 8.2.2 Checking the control print 8.2.2 VE:lrification du circuit
imprim0 de commande
9. Ersotzteile 9. Spore Parts 9. Pieces de rechange
Betriebsanweisung PM 800 061 BO Operating instruction PM 800 061 BE Instruction de service PM 800 061 BF

fi.ir for pour


PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO PFEIFFER
TPH 110 TPU 110 TPH 110 TPU 110 TPH 110 TPU 110
Antriebselektronik Electronic Drive Commonde electronique
TCP 270 TCP 270 TCP 270

TPH 110 PM P0l 109 TPH 110 PM P0l 109 TPH 110 PM P0l 109
TPU 110 PM P0l 119 TPU 110 PM P0l 119 TPU 110 PM P0l 119

Ausgabe 7904/ N 1453 Issue 7904/ N 1 453 Edition 7904/ N 1453


Hersteller Manufacturer Fabricant
ARTHUR PFEIFFER ARTHUR PFEIFFER ARTHUR PFEIFFER
Vakuumtechnik Wetzlor GmbH Vakuumtechnik Wetzler GmbH Vakuumtechnik Wetzlor GmhH
D - 6334 Asslor - Postfach 1280 D - 6334 Asslar - Postfoch 1280 D - 6334 Asslor - Postfach 1280

Lesen Sie bitte vor dem Betreiben Before putting the pump into ope­ Avant d'operer lo pompe lisez s.
der Pumpe die Betriebsanweisung ration please read the operating v.p. !'instruction de service et
und halten Sie sie in allen Punk­ instruction and follow the rules observez !'execution de laquelle
ten ein. Die Betriebsanweisung given there in all points. The en tousles points, L'instruction
ist nach DIN 8418 erstellt. operating instruction are made de service est produite selon DIN
according to DIN 8418, 8418.

Pumpen, die aus irgendwelchen Pumps returned to us for any rea­ Pompes retournees d notre usine
Grunden (z.B. Wartung) an uns zu­ son e.g. servicing must be free par des causes quelconques (p.ex.
rUckgeschickt werden, mUssen frei from harmful and poisonous agents. travoux d'entretien) doivent &tre
sein von Schad- und Giftstaffen. exemptes des matieres nuisibles et
toxiques,
1. Beschreibung 1• Description 1. Description
1. 1 Anwendungen 1. 1 Application 1. 1 Utilisation
Die Turbo-Molekularpumpe ist die The turbo-molecular pump is the Lo pompe turbo-moleculaire est la
einzige rein mechanische Vakuum­ only purely mechanical vacuum seule pompe entierement mecanique
pumpe, mit der es mOglich ist, pump which enables the user to qui permette d 1 otteindre des pres­
DrUcke von < 1 -1 o-1O mbar ohne Ver­ reach pressures of..::. l•lQ-10 mbar sions de ...::.. 1 ■ 1Q-10 mbar sans uti­
wendung van KLihlfallen und OlfOn­ without utilizing cold traps and liser de pieges d froid ni de col­
gern zu erreichen. oil traps. lecteurs d'huile.
Wegen ihrer hohen Zuverlassigkeit Because of its high dependability, En raison de leur grande fiabilite,
kann die PFEIFFER-TURBO als uni­ the PFEIFFER TURBO can be employ­ les pompes turbo-mol8culaires
verselle Vakuumpumpe zur Erzeugung ed with practically no limitation PFEIFFER peuvent etre utilisees
van Hoch- und Ultrahochvakuum as an all-purpose vacuum pump for pratiquement dans taus les cos oU
praktisch unbeschrankt eingesetzt creating high and ultrahigh va­ il s'agit d 1 obtenir un vide 8leve
werden. Geradezu ideal ist ihre cuum. It is truly ideal for app­ ou un ultravide. Leur utilisation
Verwendung dann, wenn ihr morkan­ lications where its most striking se revele id0ole lorsque leur avan­
tester Vorteil - kohlenwasserstoff­ feature - a hydro-carbon free va­ tage principal - vide exempt d 1 hy­
freies Vakuum - zugleich Bedingung cuum - is also a must. drocarbures - est en m@me temps
ist. une condition imperative.

1.2 Arbeitsweise 1.2 Mode of Operation 1.2 Fonctionnement


Die Turbo-Molekularpumpe arbeitet The turbo-molecular pump is most Lo pompe turbo-moleculaire tra­
optimal im molekularen StrOmungs­ effective in the molecular flow vaille de fa�on optimale dons le
gebiet, d.h. in einem Druckbereich, range; i.e. in a pressure range domaine mol8culaire, c.d d. dans
in dem die freien Weglangen der where the mean free paths of the un domaine de pressions oU les
Gasteilchen so groB sind, daB die gas particles are so long that parcours de mol8cules gazeuses
Teilchen, ohne sich gegenseitig the particles con' pass from wall sont tels que ces molecules, sans
zu behindern, van Wand zu Wand to wall without interfering with se g@ner mutuellement, puissent
fliegen kOnnen. each other. A particle hitting a rebondir de paroi en paroi.
Ein Teilchen, das auf eine beweg­ moving wall (rotor discs), on Une molecule qui bute sur une pa­
te Wand (die Rotorscheiben) trifft, leaving this wall, will have a roi mobile (ici les disques du ro­
besitzt nach dem Verlassen dieser speed component in the direction tor) poss€de, apr€s avoir quitte
Wand zusOtzlich zu seiner eigenen of the wall movement, in addition cette paroi, en dehors de so vi­
thermischen Geschwindigkeit eine to its own thermal speed. These tesse thermique une composante de
Geschwindigkeitskomponente in two speeds overlap and indicate vitesse supplementaire dons le
Richtung der Wandbewegung. Aus der the overall speed and direction sens du mouvement de la paroi. Lo
Uberlagerung dieser beiden Ge­ in which the particles travel. superposition de ces deux vites­
schwindigkeiten ergibt sich die This process is repeated with the ses donne lo vitesse totale et la
Gesamtgeschwindigkeit und die Rich­ next impingement on the wall. direction dons laquelle les mol�­
tung, in der die Teilchen fort­ cules se mouvent. A chaque nou�
fliegen. Bei einem erneuten Wand­ veau choc centre lo paroi, ce pro­
stoB wiederholt sich dieser Vor­ cessus se renouvelle.
gang .
Aus einer ungerichteten thermi­ Thus, a non-directed thermal mo­ Le mauvement thermique non dirig0
schen Bewegung wird so eine ge­ vement turns into a directed par­ des mol0cules devient oinsi un
richtete Bewegung der Teilchen - ticle movement - the pumping pro­ mouvement dirige, c.d d. un pro­
der Pumpenprozess. Findet der Var­ cess. If the process takes place cessus de pompage. Si le processus
gang im molekularen StrOmungsge­ in the molecular flow range, the a lieu dans le domoine mol0culaire,
biet statt, so stoBen die Teil­ particles collide relatively sel­ les molecules butent relativement
chen relativ selten miteinander dom while impingements on the wall peu souvent les unes centre les ou­
zusommen, wOhrend die WandstOBe ore much more frequent. In this tres, olors que les chocs centre
viel h□ufiger sind. Auf diese Art manner, the particles get the full la paroi sont beoucoup plus fre­
und Weise erhalten die Teilchen wall speed as an additional com­ quents. C'est ainsi que les mole­
die volle Wandgeschwindigkeit als ponent. If the pressure is high cules maintiennent la pleine vites­
Zusatzkomponente. I�t der Druck so enough to allow for the process se de poroi comme composonte supp­
hoch, doB der Vorgang im lamina­ taking place in the laminar flow lementaire. Si la pression est
ren StrOmungsgebiet stattfindet, range, the effect of moving wall telle que le processus se produ­
so wird die Wirkung der Wand durch will be limited due to frequent ise dons le domaine laminaire,
haufige ZusammenstOBe der Teil­ collisions of the particles, and l 1 effet de paroi sera limite par
chen untereinander begrenzt und the volume flow rate will be re­ les chocs frequents des molecules
dos SaugvermOgen reduziert. duced. entre elles et le debit s'en trou­
vera reduit.
Durch intensive Grundlogenfor­ By intensive basic research, an Des recherches de base opprofon­
schung wurde mit Hilfe elektroni­ optimum blading of the PFEIFFER dies ovec l'aide de programmo­
scher Progrommrechner und unter TURBO was obtained by means of teurs 8lectroniques et !'utilisa­
Verwendung hochwertiger Werkstaf­ electronic program computers and tion de materiaux de haute quali­
fe eine optimole Beschoufelung by utilizing high-quality materi­ te ant permis d'equiper les TUR­
der PFEIFFER-TURBO erreicht. als. BO-PFEIFFER d'un oilettage opti­
mal.
Fig. 1
TPH 110 wassergekUhlt TPH 110 luftgekuhlt
wot er-cooled air-cooled
a refroidissement par eou a refroidissement par air

Fur horizontole bis vertikale


-t Einbaulage
For horizontal to vertical po­
sition
Pour position horizontole d ver­
ticale

Fig. 2

Pumpe immer mit VorvokuumanschluB Arrange the pump always with sue� Installer la pompe toujours ovec
nach unten einbauen. In Sonder­ tion port downward. A maximum de­ tubulure d'aspirotion en bas. Dans
fallen ist eine moximole Abwei­ viation of approx. 20 ° left or des cos exeptionels une deviation
chung von co. 20° noch links oder right is possible os exeption. maximals de 20° env. vers la gauche
rechts moglich, ou vers lo droite est possible.

2
1.3 Technische Details 1.3 Technical details 1.3 Details techniques
Die PFEIFFER-TURBO TPH 110 und The PFEIFFER TURBO TPH 110 and Les TURBO-PFEIFFER TPH 110 et TPU
TPU 110 ist die kleinste ihrer TPU 110 is the smallest one of 110 sont les plus petits modeles
Art. Der Druckstufensatz ist in its kind. The pressure stage set de ce type. Le jeu d 1 etages de
einem kurzen zylindrischen GehOu­ has been arranged in a short cy­ pression est place dons une cour­
se aus Edelstahl mit Ansaugflansch lindrical casing of stainless te carcosse cylindrique qui com­
angeordnet. Der fliegend gelager­ steel which is equipped with an porte la bride d'aspiration. Le
te Rotor l□uft in zwei Hochgenau­ inlet flange. The overhung rotor rotor monte en porte-d-faux tour­
Kugellagern mit Dochtschmierung. runs in two high-precision ball ne dons les deux roulements d bil­
Die Dochte sind mit 01 getr□nkt. bearings with wick lubrication. les de haute precision d graissa­
Somit entfallen blpumpe und 01- The wicks are impregnated with oil. ge par meches alimentees en huile.
fluBkontrolle. Der Antriebsmotor Thus, the need for an oil pump Ceci supprime la pompe d huile et
und die Lagerung des Rotors sind and oil flow monitor is elimina­ le contr6le de circulation d 1 huile.
serienm□Big im wassergekUhlten ted. The drive motor and the bea­ Le moteur d'entrainement et les pa­
YorvakuumgehOuse angeordnet. Auf rings of the rotor in the standard liers du rotor sont dons les pom­
Wunsch kann die Pumpe auf LuftkUh­ construction are located in the pes de serie loges dons la partie
lung umgestellt werden. Die Luft­ wotercooled forevacuum housing vide preliminare refroidie d eau.
kuhlung ist als ZubehOr nachtr□g­ of the pump. On requirement the A demande la pompe peut �tre modi­
lich lieferbar. pump con be changed for air coo­ fiee pour refroidissement d air.
ling. Air cooling can be furnished Les composants pour le refroidisse­
subsequently as an accessory. ment d air peuvent @tre fournis
comme accessoire.

Die Pumpe kann vertikal bis hori­ The pump can be flanged vertical­ La pompe se raccorde soit vertica­
zontal (siehe Fig. 2) angeflanscht ly or horizontally (see fig. 2) lement, soit horizontalement (voir
werden. Hierdruch entfallen teure thus eliminating the need for ex­ fig. 2). Ceci permet de supprimer
WinkelstUcke. Das SaugvermOgen der pensive angle plates. The volume des raccords coudes souvent coO­
Pumpe wird am Rezipienten voll flow rate of the pump being fully teux et d'utiliser pleinement la
nutzbar. utilizable at the vacuum chamber. capacite d'aspirotion de la pompe
sur l'enceinte d vider.

Der Rotor besteht im wesentlichen The rotor mainly consists of the Le rotor se compose essentielle­
aus der Welle und den mit Schau­ shaft and the rotor discs which ment de l'arbre et des diques mu­
feln versehenen Rotorscheiben. are equipped with blades, The nis d'ailettes. Les disques du
Die Statorscheiben sind spiegel­ stator discs are formed in a ho­ stator sont la reproduction in­
bildlich zu den Rotorscheiben aus­ mologous manner. One rotor disc verse des disques du rotor. Cheque
gebildet. Je eine Rotor- und eine and one stator disc each form disque de rotor et disque de sta­
Statorscheibe bilden eine Druck­ a pressure stage. Due to the op­ tor forme un etage de pression.
stufe. Aufgrund der optimalen Be­ timum blading (pressure stages En raison de la conception opti­
schaufelung (Druckstufen mit hohen with high k-values), the PFEIFFER mole de l'ailettage (etages de
K-Werten) kommt die PFEIFFER-TURBO TURBO only needs a small number pression d v□leur K elevee), lo
mit einer geringen Anzahl Druck­ of pressure stages. This results TURBO-PFEIFFER ne prhente qu'un
stufen aus. Hieraus ergeben sich in low rotor weight and small ro­ nombre reduit d'8tages de pres­
niedrige Rotorgewichte und kleine tor bearings. Due to these small sion, d'oU un poids du rotor peu
Rotorlager. Infolge dieser kleinen bearings, rather low circumferen­ e1ev8 et des poliers de petites
Lager treten ouch bei hohen Dreh­ tial speeds appear in the ball dimensions. Par suite des dimen­
zahlen relativ niedrige Umfangs­ bearings, even in the case of sions r8duites des paliers, les
geschwindigkeiten in den Kugella­ high speeds, This results in a vitesse peripheriques des roule­
gern auf. Dadurch wird eine lange long life of the bearings and ments d billes d haute allure sont
Lebensdauer der Lager und eine ho­ high operational reliability. The relativement foibles. On obtient
he Betriebssicherheit erreicht. rotor is driven electronically. ainsi une longue duree de vie des
Der Antrieb des Rotors erfolgt The vibration-free and low-noise paliers et une grande fiabilite.
elektronisch. Der vibrations- und run of the PFEIFFER TURBO is a L'entroinement du rotor est elec­
ger□uscharme Lauf der PFEIFFER­ result of the dynamic rotor ba­ tronique. La morche silencieuse
TURBO ist dos Ergebnis von dyna­ lancing and vibrations-absorbing et sans vibrations des TURBO-PFEIF­
mischer Rotorwuchtung und schwin­ selection of the components. FER est le resultat d'un equili­
gungsdOmpfender Abstimmung der The PFEIFFER TURBO is sofe br□ge dynamique du rotor et des
Bauteile. Die PFEIFFER-TURBO ist against air inrushes. amortisseurs qui equipent !'en­
lufteinbruchsicher. semble. La TURBO-PFEIFFER est in­
sensible aux entrees d 1 air,

3
5

Fig. 3

1 Rotor 1 Rotor 1 Rotor


2 Heizmonschette 2 Heating jacket 2 Chemise Chouffonte
3 Vorvokuumflansch 3 Fore-vacuum flange 3 Bride vide primoire
4 Motor 4 Motor 4 Moteur
5 UHV-Anschlul3 5 UHV connection 5 Connexion ultro-vide
6 Flutonschlul3 6 Air inlet connection 6 Roccord remise d l'oir
7 KUhlwosseronschluB 7 Cooling water connection 7 Bronchement eau de refroidis-
sement

Antrieb Drive Commande


Die PFEIFFER-TURBO TPH/TPU 110 The TPU/TPH 110 PFEIFFER TURBO Lo TURBO-PFEIFFER TPH/TPU 110 est
ist mit kollektorlosem Gleich­ is equipped with o brushless equipe d'un moteur o couront con­
strommotor mit Hollsondensteuerung d.c. motor with Holl probe con­ tinu sons collecteur ovec common­
ousgerustet. trol. de por sondes de Holl.

Die Antriebselektronik der PFEIF­ The electronic drive of the PFEIF­ Le systeme d'entrainement electro­
FER-TURBO ist els seporotes Gerat FER TURBO has been designed as o nique des TURBO-PFEIFFER se pre-­
TCP 270 ausgefUhrt. Die Elektronik separate unit TCP 270. It con thus sente sous la forme d'un opporeil
konn somit bei Bedorf in grol3erem be placed at larger distances to separe TCP 270. Ceci permet de
Abstand zur Pumpe ploziert werden, the pump when needed, The unit is placer l'electronique d distance
Das Gerat ist an die PFEIFFER-TUR­ optimally adjusted to the PFEIFFER de la pompe si necessaire. L'op­
BO optimal ongepa13t. Es beschleu­ TURBO pump. It accelerates and re­ pareil est porfoitement adopte a
nigt und regelt vollautomotisch gulates the pump rotor to nominal cheque pompe. 11 accelere et regle
den Pumpenrotor ouf Nenndrehzahl. speed in a fully automatic manner. de fo�on entierement automatique
Die Leistung ist so ousgelegt, The output is designed in such o le rotor de lo pompe ace qu'on
da13 die Nenndrehzohl in ca. 1 Mi­ woy as to allow for attaining the obtienne en une minutes environ
nute erreicht wird (siehe 2.). nominal speed in approx. one mi­ la vitesse nominole (voir 2.).
nutes (see 2.).

Flutanschlul3 Venting connection Roccord de remise d l'oir


Zurn souberen Fluten befindet sich For clean venting, o small flange Sur la corcosse de lo pompe se
om Pumpengehouse ein Kleinflonsch DN 10 KF (6) is provided at the trouve une petite bride (6)
(6) DN 10 KF, dessen Bohrung zwi­ pump cosing, the borehole of DN 10 KF permettant d'effectuer
schen den Stotorschoufeln mUndet. which ends between the stator une entree d'oir sec et dent le
vanes. per�oge oboutit entre !es palettes
du stator.
Im Gegensatz zum Fluten van der Contrary to venting from the Contrairement a une remise a l'oir
Vorvakuumseite wird mit dieser fore-vacuum side, this arrange­ par le c6te vide primoire, cette
Anordnung dos Verschleppen von ment will prevent the entroine­ disposition permet d'eviter !'in­
Kohlenwosserstoffen (houptsochlich ment of hydrocarbons (mainly oil troduction d'hydrocorbures (prin­
Vorpumpen-Oldompfe) ouf die Hoch­ vapours From the backing pump) cipalement !es vopeurs d'huile
vokuumseite vermieden. to the high vacuum side. des pompes primoires) du c6te vide
eleve.

4
AusfUhrungen Models Executions
Die AusfUhrungen der PFEIFFER-TUR­ The PFEIFFER TURBO TPH and TPU Lo construction et les caract0-
BO TPH und TPU sind im Aufbau und models have identical design and ristiques techniques des TURBO­
in den Leistungs-Daten vOllig performance data. They only fea­ PFEIFFER TPH et TPU sont identi­
gleich. Sie unterscheiden sich le­ ture o different inlet flange. ques. La seule difference reside
diglich im Ansaugflansch. Die The TPH pumps ore equipped with dons lo bride d'aspiration. Les
Pumpen TPH sind mit ISO-K-Flansch, on ISO K flange, the TPU pumps pompes TPH sont 0quip0es d 1 une
die Pumpen TPU mit CF-Flansch ver­ with a CF flange. bride ISO-K, les pompes TPU d 1 une
sehen. bride CF.

Heizmonschette Heating jacket Chemise chauffonte


Um den Enddruck schneller zu er­ In order to be able to attain the Pour atteindre plus rapidement le
reichen, ist es notwendig, den UHV­ ultimate pressure more rapidly, vide final, il est necessoire de
Teil der Pumpe durch Heizen zu ent­ degassing of the UHV portion of d0gozer par etuvoge lo partie UHV
gasen. Bei den Pumpen TPU ist die the pump by heating is required. de la pompe. Surles pompes TPU,
Heizmanschette im Lieferumfang The heating jacket for the TPU la chemise chouffante est comprise
enthalten. Die Pumpen TPH kOnnen pumps is contained in the scope dons la fourniture. Toutes les pom­
nochtrOglich mit Heizmonschette of delivery. The pumps TPH can be pes TPH peuvent @tre 0quip0es ul­
ausgerUstet werden. equipped with heating jackets la­ terieurement d'une chemise chauf­
ter on, too. fante.

5
1.4 Saugvermogen 1.4 Volume flow rate 1,4 Debit volume
Turbomolekularpumpen erreichen Turbo-molecular pumps attain their Les pompes turbo-moleculaires at­
ihr maximales Saugvermogen im mo­ maximum volume flow rate in the teignent leur debit volume maxi­
lekularen Stromungsbereich. Daher molecular flow range. For econo­ mal dons le domaine moleculaire.
benotigen sie, um wirtschaftlich mic and practical operation, they Pour que leur fonctionnement soit
und sinnvoll zu arbeiten, Vorpum­ need baking pumps, Whilst the ma­ volable et rentable, il faut done
pen. Wohrend das maximale Saug­ ximum volume flow rate remains qu'elles soient munies de pompes
vermogen bis zu einigen 10-3 mbar constant up to some 10-3 mbor, its primaires, Alors que le debit vo­
konstant ist, hongt sein Wert bei value is for higher pressures re­ lume maximal est constant dons la
hoheren DrUcken von der GroBe der lated to the size of the bocking gamme depression allant a quel­
verwendeten Vorpumpe ab. Das Saug­ pump. The volume flow rate of a ques l0-3 mbor, lo grandeur du de­
vermogen einer Turbomolekularpum­ turbo-molecular pump for light bit volume pour des pressions plus
pe fur leichte Gase ist van der gases is a function of the com­ elevees depend des dimensions de
Hohe des Kompressionsverhaltnisses pression ratio (k-value), i.e., la pompe primaire utilisee. Le de­
(K-Wertes), d.h. dem Verholtnis the ratio of the partial pressure bit volume d'une pompe turbo-mo­
des Partialdruckes einer Gaskompo­ of a gas component on the backing leculoire pour des gaz legers de­
nente auf der Vorvakuumseite zu pressure side and that on the high pend etroitement de la hauteur du
dem auf der Hochvakuumseite, fur vacuum side for these gases. For toux de compression (valeur K)
diese Gase abhongig. Um z.B. ein instance: in order to attain a vo­ pour ces gaz. Pour obtenir par ex.
Wosserstoffsaugvermogen von ca. lume flow rate for hydrogen of un debit volume de l'hydrogene
80% des Stickstoffsaugvermogens approx, 80% of that of nitrogen, d'environ 80% du debit volume de
zu erreichen, muB der K-Wert fUr the k-value for hydrogen has to l'azote, il faut que lo voleur K
Wasserstaff mindestens 250 betra­ be at least 250. For higher hydro­ pour l'hydrogene soit d'ou mains
gen. Bei hoheren K-Werten fUr Wos­ gen k-values, the hydrogen volume 250. Pour des valuers K pour l'hy­
serstoff steigt das Wasserstaff­ flow rate increases up to approx. drogene plus elevees, le debit vo­
Saugvermogen bis zu ca. 130% des 130% of the nitrogen volume flow lume de l'hydrogene s'accroit
Stickstoffsaugvermogens. Bei K­ rate. Fork-values below 250, the jusqu-d environ 130% du debit vo­
Werten unter 250 sinkt das Wasser­ hydrogen volume flow rate descends lume de l'ozote, Pour des valeurs
stoffsaugvermogen, j e nach Gri:!Be to 10-20% of the nitrogen rate in K situees au-dessous de 250, le
des K-Wertes, bis ouf 10-20% des relation to the k-value. The con­ debit volume de l'hydrogene tombe,
Stickstoffsaugvermogens ob. dition of o sufficiently high k­ selon lo grandeur de la valeur K,
Die Bedingung eines genUgend hohen volue has been satisfied for all jusqu'd 10-20% du debit volume de
K-Wertes ist bei allen AusfUhrun­ models of the PFEIFFER TURBO, so l'azote, La condition pour obtenir
gen der PFEIFFER-TURBO erfUllt, so that a volume flow rate of up to une valeur K suffisomment eleve
daB z.B. fUr Wasserstoff ein Saug­ 130% of the nitrogen volume flow est remplie dons toutes les pom­
vermogen bis zu ca. 130% des Stick­ rate is available for hydrogen, pes turbo-moleculaires des series
stoffsaugvermogens zur VerfUgung TPH et TPU, si bien que meme pour
steht. l'hydrogene, on dispose d'un de­
bit volume d'environ d 130% de
celui de l'azote.

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TPH 2000 TPU 2000
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TPH 270 TPU 270
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10-10 10-0 10-• 10�• 10-• 10-• 10-3 10-• 10-'
- p, [mba�

Fig. 4
Sougvermogen TPH/TPU 110 - 2000 Volume flow rote TPH/TPU 110 - Debit TPH/TPU 110 - 2000 pour ni­
for Stickstoff 2000 for nitrogen tragene

6
l.5 Kompression (K-Wert) 1.5 Compression (value K) 1.5 Compression (valeur de K)

Beim Betrieb von Turbo-Molekular­ During the operation of turbo-mo­ La principale c□ract,ristique des
pumpen stromen keine schweren Koh­ lecular pumps, no heavy hydro-car­ pompes turbo-moleculaires est
lenwasserstoffe (Oldampfe) durch bons (ail vapours) stream bock qu'en fonctionnement, aucun hy­
die Pumpe ouf die Ansougseite zu­ through the pump ta the inlet droc□rbure lourd (vapeur d'huile)
rUck. Das erzeugte Vakuum ist kah­ side. The vacuum created is free ne reflue d travers la pompe vers
lenwosserstafffrei. from hydro-carbons. This effect le c6te aspiration, Le vide ob­
Diese Tatsache beruht auf der Wir­ is based on the operation charac­ tenu est exempt de vapeurs d'hui­
kungsweise von Turbo-Molekularpum­ teristics of turbo-molecular pumps. le.
pen. Darcus geht hervor, daB der Accordingly, the k-value increa­ Ce fait repose sur le mode de
K-Wert bei gegebener Pumpengeome­ ses exponentially with the root fonctionnement des pompes turbo­
trie exponentiell mit der Wurzel of the molecular weight M of the moleculaires. Il apparait que la
aus dem Molekulargewicht M des ge­ gas being pumped, with a given valeur K, pour une geometrie de
pumpten Gases ansteigt. pump geometry. pompe donnee, augmente exponenti­
ellement avec la racine du poids
moleculaire M du gaz pompe.

G: kanstanter Geometriefaktor G constant geometry factor G: focteur geometrique constant


u: Umfongsgeschwindigkeit u = circumferential speed u: vitesse circonferentielle
Demnach ist der K-Wert am klein­ Therefore, the k-value is at its Il en decoule que c'est pour
sten fUr Wasserstoff, und steigt minimum for hydrogen and rises to l'hydrogene que lo valeur K est
am hochsten fUr schwere MolekUle its maximum for heavy molecules lo plus foible et qu'elle est la
(z.B. Kohlenwasserstoffe). (e.g. hydrocarbons). plus elevee pour les molecules
lourdes (par ex. h□xdrocarbures).

l.6 Restgos 1,6 Residual gas 1,6 G□z Residuel


Die Restgaszusommensetzung auf der The residual gas composition on La composition du g□z 11esiduel
Hochvakuumseite der Turbo-Moleku­ the high-vacuum side of the tur­ du cote vide eleve de la pompe
larpumpe hangt wesentlich von der bo-molecular pump largely depends turbo-moleculaire depend essen­
Gaszusommensetzung_auf der Vorva­ on the gas composition on the tiellement de la composition des
kuumseite ob. Der Partialdruck p 0 backing pressure side, The par­ gaz du c6te vide primaire. La
eines Gases auf der Vorvakuumsei­ tial pressure p 0 of a gas on the pression partielle P 0 d'un gaz du
te, dividiert <lurch den K-Wert backing pressure side, divided by cote vide primaire, divisee par
dieses Gases, ergibt dessen Par­ the k-value of this gas, gives its la v□leur K de ce gaz, donne so
tioldruck Pf auf der Hochvokuum­ partial pressure Pf on the high p:ess�on �artielle Pf du cote
seite • vacuum side. vide eleve.
...
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+' Q)
C C "'O

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Q) Q)
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50 60 70 80 90 100
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Fig. 5
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Restgosspektrum
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Q) �iii 1111 I lj iii 11 CHijHliilllfjil ilff 11 ljllll iillijlll iliHljiill Iii I ijllldlilijlhi 1111 lj ii IIIIIHJ Residual Gas Spectrum
Cl
k k k
C.. c..
0 10 W � � � W M � � m Spectre de gaz residue!
m·•

Die Abbildung zeigt die typische The illustration shows the typi­ Le schema represente la composi­
Restgaszus□mmensetzung einer Tur­ cal residual gas composition of tion typique du gaz residuel d'une
bo-Molekulorpumpe mit einer zwei­ a turbo-molecular pump with a two­ pompe turbo-moleculaire avec une
stufigen Vorpumpe bei einem Totol­ stage backing pump, for a total pompe primaire d 2 etages, pour
druck van «'..8°10-10 mbor (Stick­ pressure of ..:. 8, l0-10 mbar (nitro­ une pression totale ,,,:. 8°1Q-10mbar
stoffaquivalent), Das Restgos be­ gen equivalent). The residual gas (equivalent d l'□zote). Le g□z
steht Uberwiegend aus Wosserstoff. mainly consists of hydrogen. Then, residue! se compose princip□le­
Donach werden Anteile von Wasser­ some water vapour, carbon monoxide, ment d'hydrogene. On trouve ega­
dampf, Kohlenmonoxid, Stickstoff nitrogen and carbon dioxide is lement des traces de v□peur d'eau,
und Kohlendioxid gefunden. Schwe­ found. Heavier gases ore not d'oxyde de carbone, d'azote et de
rere Gase sind im Spektrum nicht traceable in the spectrum. The g□z c□rbonique. On ne trouve tra­
nachweisbar. Bei den durchkreuz­ heavy masses marked by a cross ce d'aucun gaz plus lourd dons le
ten schweren Massen, handelt es are double or triple ionized metal spectre. Les masses lourdes mar­
sich um zwei- bzw. dreifach ioni­ vapours of the rhenium cathode of quees d'une croix sont de v□-
sierte Metalldampfe der Rhenium­ the Quadrupole mass spectrometer peurs metalliques deux ou trois
kathode des verwendeten Ouadrupol­ used model: BALZERS, QMG 101. fois ionisees proven□nt de la ca­
Massenspektrometers Typ: BALZERS thode en rhenium du spectrometre
QMG 101. de m□sse quadripole utilise,
type BALZERS, QMG 101.
7
1.7 Enddruck 1.7 Ultimate Pressure l. 7 Pression finale
Unter dem Enddruck, d.h. der Summe The ultimate pressure, i.e. the Selon PNEUROP 1 ), on entend par
oller Rest-Partialdrucke von Tur­ sum of all residual gas partial pression finale, c,d d, la somme
ba-Malekulorpumpen wird nach PNEU­ pressures of turbo-molecular pumps, de toutes les pressions partiel­
ROPl) der Druckwert verstonden, is the pressure value which the les residuelles d'une pompe tur­
dem sich der Druck innerholb des pressure within the test dome ap­ ba-moleculaire, la valeur dont lo
Testdomes asymptotisch nahert. Er proaches asymptotically in accor­ pression d l'interieur du d6me
i?t der niedrigste Druck, der mit dance with PNEUROP. It is the lo­ d'essai se rapproche asymptotique­
der Pumpe erreicht werden kann. west pressure which can be attai­ ment. C'est la pression la plus
ned by means of the pump, basse que l'on peut atteindre avec
la pampe.

Fur die PFEIFFER-TURBO liegt der The ultimate pressure value of Pour la TURBO-PFEIFFER, lo pres­
Enddruckwert im 10-ll mbor-Bereich. the PFEIFFER TURBO is in the range sion finale se situe dons le do­
Do aber in diesen Druckbereichen of 10-ll mbor. However, as in maine des l0-11 mbar. Mais etant
die Dichtungs- und Ausheiztechnik these pressure ranges the sealing donne que dons ce domaine de pres­
sowie die Ubrigen Arbeitsbedingun­ and baking-out techniques as well sions, les joints et l'etuvage
gen (Vorpumpensystem, Sauberkeit, as the other working conditions ainsi que les autres conditions
AnlagengroBe, Vakuummeter) einen (bocking pump system, cleanliness, de travail (systeme de pompoge
entscheidenden EinfluB ouf die er­ plant size, vacuum gauge) essen­ primoire, proprete, dimension de
reichten Druckwerte nehmen, wird tially affect the pressure values l' installation, jauge d vide) ant
ols Enddruck der sogenonnte Be­ attained, the so-called ultimate une jnfluence determinante sur
triebsenddruck angegeben. operational pressure is given as les pressions que l'on peut ot­
the ultimate pressure. teindre, on designe comme pres­
sion finale ce qu'on appelle la
pression limite aperationelle.

Betriebsenddruck Ultimate_operational pressure


-----------------------------
Pression limite operationelle
Unter dem Betriebsenddruck van In accordance with PNEUROP speci­ Par pression limite operationelle
Turba-Molekulorpumpen wird noch ficotionsl), the ultimate opera­ d'une pompe turbo moleculaire,
PNEUROPl) der Druck verstonden, tiooal pressure of turbo-molecular on entend, selon PNEUROPl), la
der in einem MeBdom 48 Stunden pumps is the pressure being at­ pression obtenue dons un d6me de
nach dem Ausheizen erreicht wird. tained in a measuring dome 48 mesure 48 heures opres etuvoge.
Der Betriebsenddruck fur die hours ofter baking it out. The
ultimate operational pressure for Selan les differents systemes de
PFEIFFER-TURBO liegt je nach ver­
the PFEIFFER TURBO, in relation pompage primaire, les pressions
wendeten Vorpumpensystem bei fol­
to the backing pump systems used, limite operationelle de la
genden Werten:
has the following values: TURBO-PFEIFFER sont les suivantes:

Betriebsenddruck Dichtung fur Ansaug­


Ultimate operational Vorpumpensystem Fore-Pump Combination Combinaison de flansch
pressure pompes primaires Seal for Intake Socket
Pression finale ope­ Joint pour bride d'as­
rationelle piration

© ""'- 1 • 10-10 mb□r zweistufige Dreh­


schieberpumpe und
two-stage rotary vane
pump and turbo-mole­
Pompe rotative a 2
etages et pompe
Metall
Metal
PFEIFFER-TURBO cular pump turbo-moleculaire Metallique

zweistufige Dreh­ two-stage rotary vane Pompe rotative a 2 Metall


schieberpurnpe und pump and oil-diffusion etages et pompe a Metal
�ldiffusionspumpe pump diffusion a huile Metallique

@ ..,. l , 1 o-9 mbar zweistufige Dreh­ two-stage rotary vane Pompe rotative d 2 Metall
schieberpurnpe pump etages Metal
Metallique

@ ..., 5 • 10-8 mbor einstufige Dreh­ single-stage rotary Pompe rotative a 1


Viton
schieberpumpe vane pump et□ge

Jede PFEIFFER-TURBO erreicht bzw. Each PFEIFFER TURBO attains or routes les TURBO-PFEIFFER atteig­
unterschreitet wahrend der Endab­ falls below the ultimate opera­ nent ou depassent pendant lo con­
nahme die Betriebsenddruckwerte tional pressure value CD or ® tr6le finale les pressions limites
Q) bzw. � wobei der Betriebs­ during th2 final acceptance, CD ou 0 lo pression limite G)
enddruck CT) ohne Ausheizen der where the ultimate operating pres­ s'obtenont sons etuvage de la pam­
Pumpen erreicht wird. sure @ is being attained with­ pe,
out any baking-out of the pumps.

l) l)Acceptonce Specification, l)
Abnahmeregeln Vakuumpumpen, p ompes o' vie
"d Cond't'
i ions der'-e-
Teil III ( 1973) Vacuum Pumps, Part III (1973) ception Portie.

8
't 11 II

,•

Fig. 6

2. Beschreibung der Antriebs­ 2. Description of the eledr.onic 2. Description de l'entralne-


elektronik drive ment electronigues

2. 1 Allgemein 2.1 General 2,1 General


Die Antriebselektronik ist ein The electronic drive is part of L'entrainement electranique est
Bestondteil des Antriebs der PFEIF­ the drive of the PFEIFFER TURBO une composont de lo commonde de
FER-TURBO TPH 110 und TPU 110. TPH 110 and TPU 110. The unit re­ lo PFEIFFER TURBO TPH 110 et TPU
Dos Gerat regelt und Uberwacht gulates and controls the rotatio­ 110. L'appareil commande et sur­
die Nenndrehzahl des Rotors der nal speed of the pump automatical­ veille le nombre de tours de la
jeweiligen Pumpe vollautomatisch. ly. pompe correspondonte d 1 une mou­
riere completement outomatique.

Wichtiger Hinweis Important note Note importante


Es dUrfen nur TCP 270 mit der ein­ Only TCP 270 with the adjusted fre­ Seulement des TCP 270, dent lo
gestellten Frequenz Von 716 Hz quency of 716 Hz may be used. When frequence est regl�e a 716 Hz sont
benutzt werden. Beim Einsotz des using a unit with a frequency of a utiliser. L'emploi de l'appa�
Gerates mit einer Frequenz von 1000 Hz the pump TPH 110 or TPU reil avec la frequence de '1000 Hz
1000 Hz wird die Pumpe TPH 110 110 will be destroyed, va detouine lo pompe TPH 110 au
oder TPU 110 zerstort. TPU 110.
PrUfung und Umbou wie unter i.5 Testing and rebuilding a� under Verification et modification com­
und 6.5. 2.5 and 6,5. me sous les points 2.5 et 6. 5 .

Linter Betriebsverhaltnissen, bei Under operating conditions which Dans des conditions de fonctionne­
denen durch Luft- oder Gosreibung do not permit the ultimate speed ment au, par suite de frottement
die Enddrehzohl nicht errcicht to be achieved because of air or d'oir ou de gaz, on ne peut pas
werden kann, stellt sich oufgrund gas friction, a correspondingly atteindrc la vitesse finale, il
der wirksomen Leistuhgsbegrenzung lower speed is set as a result of s'et□blit en raison de lo limi­
eine entsprechend niedrigerc Drch­ the efficient output limitation, tation de puissonce efficace, une
zohl ein, d.h. dos Gerat ist ouch i.e. the unit can be employed in vitesse relativement plus foible,
in diesen Fallen noch einsatzfahig. these cases, too.The electronic c.d d. que l'appareil est toujours
Die Antriebselektronik ist durch drive unit is protected against un­ utilisoble meme dons ce cos. Un
eine eingebaute Temperaturbegren­ permissibly high heating-up by systeme de limitation thermique
zung gegen unzulassige Erwarmung a built-in temperature limiter. incorporc protege la commande elec­
geschUtzt. tronique d'entrainement contre une
Bei steigender Temperotur wird die With rising temperature, the out­ surchauffe inadmissible.
Ausgangsleistung durch die im TCP put is reduced by the PTC resi­ Lorsque la temperature augmente,
und der Pumpe cingebouten PTC-Wi­ stors ins-Lolled .in the TCP and la puiss□nce de sortie se trouve
derstandc rcduziert. the pump. reduite par les resistance PTC
Die Rotordrehzahl kann om eingc­ The rotor speed can be roughly montees dons le TCP ct dons la
bauten Anzeigeinstrument (ROTA­ read from the installed indicator pompe.
TION) in etwa abgeschatzt werden. (ROTATim�). On peut evaluer lo vitesse du ro­
tor sur l'opp□reil indicoteur en­
castre (ROTATIO�).

2.2 Arbeitsweise 2.2 Made of Operation 2.2 l'fode de fonctionnement


Der Antrieb der Turbomolekular­ The turbo molecular pumps TPH 110 L'entra1nement des pampes TPH et
pumpe TPH 110 und TPU 110 er­ and TPU 110 are driven by a collec­ TPU 110 se fait par une mateur a
folgt durch einen kollektarlasen tor-less D.C. motor with Hall probe couront continu sans collecteur,
Gleichstrommotor mit Hallsonden­ control. Thjs motor consists of a ovec commonde par sondes de Hall.
steuerung. Dieser besteht aus ei- two-pole permanent magnet as the Ce mateur se compose d'un aimant

9
nem zweipoligen Permanentmagneten rotor, and the stator with the ex­ permanent bipolairc comme rotor
als Rotor und dem Stator mit den citer windings. The printed-cir­ et d'unc stator ovec les bobines
Erregerwicklungen. Im Statorpaket cuit strip with the two Hall pro­ d'excitation. Le circuit imprim€
ist der Printstreifen mit den bei­ bes and the associaled balancing avec les deux sondes de Hall et
den Hallsonden und den dazugehOri­ resistors ore cost into the sta­ les resistances de compensation
gen Abgleichwiderst□nden einge­ tor pock. The Holl probes are correspondantes est scell€ dons
gossen. Dadurch sind die Hallson­ thereby fixed at the correct or1gle le stator. De ce foit les sondes
den im richtigen Winkel zu den to the stator poles. de Hall sont fixees selon !'angle
Statorpolen fixiert. voulu par rapport aux p6les du
stator.

Die Antriebs-Elektronik speist die The Holl probes arc fed, with a Le bloc d'□limentation olimente
Hallsonden mit einem konstanten constant current by the electro­ les sondes de Hall avec un cou­
Strom. Die Hallsonden geben ein nic drive unit. They transmit a rant constant. Les sondes de Holl
Signal ab, welches van der Stel­ signal which is dependent upon emettent un signal qui depend de
lung des Rotors zum Statorpaket the position of the rotor to the lo position du rotor par rapport
□bh□ ngig ist. Dieses Signal wird stator. This signal is amplified au poquet du stator, Ce signal
verst □ rkt und steuert die Endstu­ and controls the transistors at est amplifi€ et commande les tran­
fentransistoren. Aufgrund der so the end stage, By the resultant sistors de l'etage de sortie.
erzeugten Phasenverschiebung er­ phase shift the rotor is accele­ Le d€cologe de phase ainsi pro­
fOhrt der Rotor eine Beschleuni­ rated. With incieasing speed the duit provoque une acc&leration
gung. Mit zunehmender Drehzahl er­ inductive resistance of the sta­ du rotor. La resistance inducti­
hoht sich der induktive Widerstand tor windings is also increased ve des bobines du stator augmen­
der Statorwicklungen, was eine Ab­ which could result in a decrease te en m@me temps que lo vitesse,
nohme der Stromoufnahme zur Folge of the charging rate. The control ce qui ourait pour consequence
hOtte. Die Regelschaltung sorgt circuit, however, provides for on une diminution du couront absor­
jedoch fur eine automotische automatic check of frequency and b€. Mais le circuit reguloteur
NachfUhrung van Frequenz und Span­ voltage up to a set limit value veille d ce qu'il se produise un
nung bis zu einem eingestellten from 716 Hz which corresponds to guidage automatique de la fre­
Grenzwert van 716 Hz, welcher der the final speed of the rotor. quence et de la tension jusqu'd
Enddrehzahl des Rotor entspricht, une voleur limite pre-etablie
d 716 Hz laquelle correspond d la
vitesse finale du rotor.
2.3 Pumpstondsteuerung 2.� Pumping unit control 2.3 Commande de groupe de pompage
Im Ger□t TCP 270 ist oufier der An­ Besides the drive electronic ac­ Dans l'appareil TCP 270 il ya en
triebselektronik, nach Scholtplan cording to diagram PM 001 980 -S dehors de la commande 8lectronique
PM 001 980 -5, eine Steuerung fur there is integrated in the device d'apres diagramme PM 001 980 -5
den Pumpsatz mit der Vorpumpe DUO TCP 270 a pumping unit control for une commande pour le groupe de
1,5 A nach Schaltplan PM 001 985 -S the pumping unit with the DUO 1,5A pampage avec la DUO 1.5 A comme
integriert. as backing pump according to dia­ pompe primaire d'apres le dia­
gram PM 001 985 -S. gramme PM 001 985 -S.

Durch den Einsatz van Relois (ouf The pumping unit and the TURBO En ajoutont un relais (sur comman­
besondere Bestellung) k□nn mit heater can be switched by pressing de speciole), les boutons-pous­
den Druckscholtern auf der Front­ the pushbuttons on the TCP front soirs sur la plaque frontole du
platte des TCP der Pumpstand und panel, if a relay is employed TCP peuvent mettre en marche le
die TURBO-Heizung geschaltet wer­ (upon special request). groupe de pompage et le chauffage
den. de la TURBO.
Fur andere Vorpumpen ist eine For other backing pumps a pumping Pour d'autres pompes primoires
Pumpstandsteuerung TCS erforder­ unit control TCS is necessary. une commande TCS pour le groupe
lich. de pompage est necessaire.
Die Steuerung beinholtet eine op­ The control features optimum inter­ La commande comporte un verrouil­
timale Verriegelung. AnschlUsse locking. Provisions have been made lage optimal. Des roccords sont
fur alle mOglichen Komponenten for connection of all kinds of com­ prevus pour toutes sortes de com­
(siehe Punkt 4 - Zubehor) sind ponents (see Point 4 - Accessories). posonts (voir parag. 4 Accessoires)
vorgesehen. Dem Einsatzfall ent­ In accordance with the application, Selan !'utilisation □ laquelle le
sprechend k ann eine Reduzierung a reduction is possible. groupe est destine, on peut en
vorgenommen werden, supprimer un certain nombre,
- Nach Betatigen des Schalters bi - Upon actuation of switch bl - En manoevrant l'interrupteur bl
''pumping unit'' erholt der KUhl­ ''pumping unit'', the cooling wa­ 11
pumping unit'', le contrBleur
wosserwOchter TCW 001, das KUhl­ ter flow monitor TCW 001, the d'eau de refroidissement TCW 001,
aggregat TZK 350 und Uber den cooling unit TZK 350 and the re­ le systeme de refroidissement
TCW-Kontakt cias Relais c8 Span­ lay c8 (via the TCW contact) are TZK 350 et le relais c8, par
nung. made alive. l' intermedioire d'J --�ontact TCW,
sont mis sous tension.
- Gleichzeitig wird das Flutsteu­ - Simultaneously, the vent con­ - En meme temps, l'orpareil de
ergerOt TCF 101, dos bei ausge­ trol unit TCF 101, being alive commande de remise d l'air TCF
schaltetem Pumpstand Uber den via the make-and-break contact 101 qui est sous tension lorsque

10
Wechselkontakt 61 an Spannung bl when the pumping unit is le groupe est d l'arr8t par l'in­
liegt, nun Uber Relais c8 ge­ switched off, is now fed via termBdiaire de l'inverseur bl,
speist. contact c8. se trouve alimente par le con­
tact c8,
- Uber Relais c8 erholt der Uber­ - The monitoring transformer m3 - Par le contact c8, le transfor­
wachungstrafo m3 Spannung, wo­ is made alive via contact c8, moteur de contrale m3 est mis
raufhin Kontakt d2 schlieBt, whereupon contact d2 closes. sous tension, □pres quoi le con­
tact d2 se ferme.
- Der Steuerstromkreis ist Uber - The control circuit is closed - Le circuit de commande est fer­
den Thermoschutzkontakt der Vor­ via the thermal safety contact m� par le contact de protection
pumpe geschlossen. of the backing pump. thermique de la pompc primaire.
- Relais cl zieht an und die An­ - Relay c7 attracts, and the in­ - Le relais cl est attire et la
zeigelampe hl erhtilt Spannung, dicator lamp h1 is made alive, lampe-temoin hl est mise sous
tension,
- Uber Relais cl werden Vorpumpe - The backing pump DUO 1.5 A and - Par l'interm8diaire du contact
DUO 1.5 A und die Antriebselek­ the drive electronic unit (m2) of cl, la pompe prim□ire DUO 1.5 A
tronik (m2) der PFEIFFER-TURBO the PFEIFFER TURBO are switched et le systeme de commande Blec­
eingeschaltet. on by contact cl. tronique (m2) de lo TURBO-PFEIF­
FER sont mis en marche,

2.4 Aufbau 2.4 Design 2.4 Construction


Das Gertit TCP ist in einen Teil­ The TCP unit is inslolled in a L'appareil TCP est monte dons un
rackeinschub (6/12 Gr. 3) des partial rack module (6/12, size 3) Rack moduloire (6/12 Gr. 3) du
BALZERS-Racksystems eingebaut. of the BALZER$ rack system. The systCmc de Rack BALZERS. Sur lo
Auf der Frontplatte befinden sich front panel contains the indicator ploqu� frontale se trouvent l'ap­
dos Anzeigeinstrument (ROTATION), instrument (ROTATION), the power p□reil indicateur (ROTATION), lo
die Netzlampe (POWER) und zwei lamp (POWER) and two pushbuttons lompe de secteur (POWER) et deux
Druckschalter ''pumping unit'' und ''Pumping unit'' and ''�ieating'' with boutons-poussoirs ''pumping unit''
"heating" mit eingebauten Signal­ integral pilot lamps. At the rear et ''heating'' avec lampe de sig­
lampen. Auf der RUckseite des Ge­ of the unit, the input plugboard, nalisation incorporee. A l'arri-
rotes sind die Eingangsstecker­ the output socket board, a termi­ 8re de l'appareil sont fixes la
leistc, die Ausgangsbuchsenleiste, nal strip for connection of the rBglette a fiches d'entree, la
eine Klemmenleiste zum AnschluB pumping unit components, and the r6glette d douilles de sortie, une
der Pumpstandkomponenten und der fan are fastened. Inside the unit, reglette a bornes pour bronche­
Ventilator befestigt. Hinter dem behind the fan, the cooling ele­ ment des composants du groupe
Ventilator auf der Innenseite ment for the output stage tran­ de pompage et le ventilateur, Der­
des Ger□tes befindet sich der sistors and the power rack is in­ ri€re lo ventilateur vers l'in­
KUhlkOrper fur die Endstufentran­ stalled, t8rieur de l'appareil se trouvent
sistoren und dos Netzteil. la boite de refroidissement pour
les transistors d'8tage final et
le bloc d'alimentation.

Im GerOt eingebout sind der Lei­ The power transformer, the basic Dans l'appareil sont mantes le
stungstrafo, der Grundprint mit printed board with relay sockets, tronsformateur de puissance, le
Relaisfassungen, der Sicherungs­ the fuse and control printed circuit imprim8 de base avec
print und der Steuerprint. boards are built into the unit. prises de relais, le circuit im­
prime de s0ret8 et le circuit im­
prim8 de commande.

2.5 Uberwachungselektronik und 2.5 Control electronics and siz- 2,5 Electronigue de contrOle et
Signalausgcinge nal outputs sorties de signaux
Zur betriebssicheren Stcuerung For dependable control of the Pour assurer la fiobilit8 de la
van Pumpstand bzw, Anlagenkompo­ pumping unit or the components, commonde d'un groupe de pompage
nenten ist eine Uberwachungselek­ a control electronics has been ou des composants d'une installa­
tronik integriert, welche 2 Re­ incorporated which controls two tion, une §lectronique de contrOle
lais (dl, d2) ansteuert, deren relays (dl, d2), the potential­ a ete pr8vuc qui commande 2 re­
potentialfreie Schaltkontakte an free switching contacts of which lais (dl, d2) dont les contacts
die Eingangssteckerleiste © are run to the input plug board de commutation sans potentiel
gefUhrt sind, ©- sont amenCs a la reglette a
fiches d'entree (I).

Schaltkontakt dl (unverzOgcrter Switching contact dl (undelayed Contact de commutation dl (con­


Schaltkontakt, Steckerstifte 65 switching contact, plug pins 65 tact de commutation d action in­
und 66), schlieBt noch Erreichen and 66): closes when the speed stantan§e, fiches 65 et 66) se
des Drehzahlschaltpunktes, wel­ switch point has been reached. ferme lorsque le point de commu­
cher auf 30% der Nenndrehzahl ein­ This switch point has been set to tation de la vitesse est atteint,
gestellt ist. Der Kontakt kann 80% of the nominal speed. The con- point qui est reg1e a DO% de la

11
zum Steuern der Pumpenheizung tact can be employed for control­ vitesse nominale. On peut utili­
und z.B. der Signallampe ''Pumpe ling the pump heater and, e.g., ser ce contact pour lo commande
betriebsbereit" benutzt werden. the pilot lamp ''Pump ready''. du chauffoge de la pompe et par
ex. de lo lampe de signalisation
''Pompe pr@te d fonctionner''.

Sch□ltkontakt d2 {verzOgerter Switching contact d2 {delayed Contact de commutation d2 {con­


Schaltkontakt, Steckerstiftc 64 switching contact, plug pins b� tact de commutation d action re­
und 65), schlie8t direkt nach dem and 65): closes immediately upon tordf!e, fiches 64 et 65) se ferme
Einschalten der Steuerspannung. switching on of the control vol­ iIT1m€!diatement □pres l'enclenche­
tage. mcnt de la tension de commande.

Nech Abl□uf einer einstellbaren After o presettable time delay A expiration d'une temporisation
VerzOgerung - zur UberbrUckung has run out - for bridging the rf!glable - pour df!passer le temps
der Anlaufzeit der Pumpe - Offnet start-up time of the pump -, the de d�morrage de la pompe - le
der Kontakt, wenn der Drehzahl­ coritocl opens if the speed switch contact s'ouvre si le point de
schaltpunkt noch nicht erreicht point were not yet reached or commutation de la vitesse n'est
oder unterschritten wurde. Somit fallen below. Thus, this contact pas encore otteint ou si l'on
sollte dieser Kont□kt fUr die should be employed for the pum­ n'orrive pas d l'atteindre. On
PumpstandUberwachung eingesetzt ping unit control. peut done utiliser ce contact
werden. pour le contrOle du groupe de
pompoge.

Die Anlaufzeit ist abhangig van The start-up time is a function Le temps de d&marrage est fonc­
dem angeschlossenen Rezipienten­ of the connected volume of the tion du volume de l'enceinte d
volumen. vacuum chamber. laquelle est raccord€e la pompe,

Die VerzOgerungszeit kann ent­ The delay time can be set to ap­ La Lemporisation peut etre r€gl€e
sprechend der Anlaufzeit der Pum­ prox. 1 to 30 minutes in accor­ en fonction du temps de d€marroge
pe zwischen ca. 1 und 30 min ein­ dance with the start-up Lime. de la pompe de 1 d 30 min.
gestellt werden. Factory setting approx. 8 min. A l'usine le r€glage est fait d
Werkseinstellung ca. 8 min. environ Umin.

Der Drehzahlschaltpunkt kann von The switching point for the num­ Le point de commutation pour le
70% bis 90% der Nenndrehzahl ver­ bers of revolutions con be varied nombre de tours peut etre vari€
Ondert werden, from 70% to 90% of the nominal entre 70% et 90% du nombre de
\, erkseinstellun g 80%. speed. tours nominal.
1

Setting from the factory 80%. Enreglement par l'usine 80%.

Hinweis Note Note


Nur Ger□te TCP 270 ohne Widerstand Only devices TCP 270 without re­ Utiliser des appareils TCP 270
R 73 = 716 Hz verwenden. {Bestell­ sitance R 73, for 716 Hz output, sans resistance R 73 pour 716 Hz
nummer PM COl 201). to be connected {Code-No. seulement. {No. de catalogue
PMCOl 201). PM COl 201 ).
Zur Unterscheidung der Gerate mit For distinction of the devices Pour la distinction des appareils
716 Hz oder 1000 Hz ist unter der with 716 Hz or 1000 Hz the fre­ avec 716 Hz OU 1000 Hz la fre­
Typenbezeichnung auf dem Gercit quency to which the unit is ad­ quence ajustee est indiquee sous
die eingestellte Frequenz angege­ justed is indicated beneath the la designation du type sur l'ap­
ben. type designation. pareil.

12
R.73

d2

d1
t : R47
Ji1

ACHTUNG
Bei Frequenzumstellung darf nur
der Widerstand R73 ausgelotet wer­
den, R47 muB unbedingt im Gerat
verbleiben,
mit R 73 - 1000 Hz
ohne R 73 = 716 Hz

ATTENTION
For change of frequency only the
resistance R73 may be unsoldered.
R 47 must absolutely remain in
the unit.
with R 73 giving 1000 Hz output
without R 73 giving 716 Hz output

ATTENTION
Pour chongement de frequence seu­
lement lo resistance R73 peut @tre
dessondee, R47 doit obsolument
rester dons l'opporeil.
Fig. 7 ovec R 73 donnont 1000 Hz
sons R 73 don�ont 716 Hz
Antriebselektronik TCP 270
Electronic Drive Unit TCP 270
Commande electronique TCP 270

dl unverzogertes Relois dl Relay with no time-log dl Relois d action instantanee


d2 verzogertes Relais d2 Relay with time-lag d2 Relois d action retardee
Pl Drehzahlschaltpunkt Pl Speed switchpoint Pl Point de commutation de vitesse
P2 Anlaufphose P2 Start-up phase P2 Phase de demarrage
K Klemmenleiste Pumpstandkam- K Terminal strip, pumping unit K Reglette d bornes pour compo­
ponenten cornponen ts sants de groupe de pompage
V Ventilator V Fon V Vcntilateur
@ Netzons chluB Power connection @ Branchement secteur
@ AnschluB TPH 270/ TPU 270 � Connection oF TPH 270/ TPU 270 @ Brant:hement TPH 270/ TPU 270
R73 Widerstond fur Frequenz R73 Resistor for frequency R73 Resistance 716 Hz frequence
716 Hz (auf Sockel) 716 Hz (on base) (sur socle)

13
3. Technische Daten 3. Technical Data 3. Caracteristigues Techniques

PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO PFEIFFER TPH 110 TPU 110

Ansaugflansch Intake Socket Bride d'aspiration DN 100 ISO -K DN 100 CF


Vorvakuumflansch Fore-Vacuum-Socket Bride vide primaire NW 25 KF

Saugvermi:lgen fUr Pumping speed for Capacite d'aspira­


tion pour
Stickstoff N2 Nitrogen N2 Azote N 1/s 170
2
Helium • He Helium He Helium He 1/s 120
Wasserstoff H Hydrogen H2 Hydrogene H 1/s 170
2 2
Min. Saugvermi:lgen Minimum flow rate of Debit minimal de la
der Vorpumpe the fore pump pompe primaire 1, 5

Kompressionsverhaltnis Compression Ratio Taux de compression


8
fur N2 for N2 pour N2 3 • 10
He He He 7 • 103
H2 500
H2 H2
Enddruck Ultimate pressure Pression finale mbar 10-11
Betriebsenddruck 1 Ultimate opera- 1 Pression finale 1 mbar 1 10-10
2 tional pressure 2 operationelle 2 mbar l 10-9
3 mbar 5 70-8

Nenndrehzahl Nominal speed Vitesse nominale LI/min 43,000


Anlau fzeit Start-up Cycle Temps de demarrage min 1

01 fUllung Oil filling Charge d'huile 2 X 6

KUhlwasserbedarf Coolant Consumption Consommation eau de


bei Wassertemperotur at Water Temperature refroidissement d
15 ° c 15 ° c 15°c max, de tempe-
rature d'eau 1/h 15

Leistungsaufnahme Rating of the Puissance du chauf-


der Heizung heating fage Watt 60

Gewicht der Pumpe Weight of the pump Poids de la pompe kg 6 8

Magnetfeldstarke quer Magnetic field ,trength Force du champs mag-


zur Rotorachse max. rectangualr to the netique transversal
rotor axis d l'oxe du rotor mT 7

ID TPH 110 ON 100 1S0-K


.» HochvakuumanschluB

r-771 /T PU 110 ON 100 CF 0 Vorvakuumflansch


I G

Tl
FlutanschluB

[T
a'.)

(\J 0)
0
0
KUhlwasseranschluB

AnschluB-Antriebselektronik

�; ; jg
(D High-Vacuum Connection
0 Fare-Vacuum Flange

!0([ ,< 7I t�
G Flooding Connection

nrn----.!:====1====;7 i
0 Coolant Connection

el � f --'I
0 Connector for Electronic Drive
'----+----' i �

(D Raccordement vide eleve


0 Bride vide primoire
G Raccordement entree d'oir
�93 110 �
0 Raccordement eau de re froid is-
sement

Fig, 8 C Branchement commande electro-


nique

14
Antriebselektronik Drive Electronics Commande electronique TCP 270

Anschlu8spannung Connected voltage Tension de branche-


50 - 60 Hz 50 - 60 Hz ment 50 - 60 Hz V 110/220/240
Leistungsaufnahme Max. power input Puissance absorbee
TCP max. TCP par TCP, max. VA 300
Leistungsaufnahme Pump­ Mox, power input, pump­ Puissonce obsorbee
standkomp□nenten ing unit components p·ar comp□sants
groupe de pompoge VA 650
--------------------------·-······-····---·---------+----
Ausgongsspannung Max. output voltage Tension de sortie
ca. max. approx. max, env. V 40 =
Hochloufstrom Run-up current Couront de montee
en regime A 7
Nennfrequenz ! 2% Rated frequency+ 2% Frequence nominal
+ 2% Hz 715
Kontaktbelostung Contact load Charge des contacts V 2 Ohmsche Last 15 A
dl und d2 dl and d2 dl et d2 Ohmic load 15 A
Charge ohmique 15 A
induktive Last 7 A
Inductive load 7 A
Char�e inductive 7 A
Verzogerungszeit Time log Temporisation min 1 30
Werkseinstellung Factory setting Reglage a l'usine min 8

Leistungsaufnahme Vor­ Mox. power input, bak­ Puissonce obsorbee


pumpe bei Steuerung king pump, with control par la pompe primaire
mit Relais c7 und cfl by relays c7 and c8 avec commande par re­
max. lais c7 et c8, max. W 250

Zul. Umgebungstemperatur Permissible ambient tern- Temperature ambian-


bei WosserkUhlung peroture for water te admissible pour
cooling refroidissement d eau °C 0 - 50

Zul, Umgebungstemperotur Permissible ambient tern- Temperature ombion­


bei LuftkUhlung peroture for air cooling te admissible pour
refroidissement d air °C 0 - 35
Kobelltinge max. Mox. coble length Longueur de c6ble m 100
Abmessungen Dimensions Dimensions mm 210 X 132,5 X 245
Gewicht Weight Poids kg 7,2

r--- 209, 7 --------:1


r :--------+_77
Ir .
,------ 243 -------+--60 205, 4
ii
-,
I

....i r
I IQ. I I lO
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\
i
gj I I C\I
C')
I /213 6 I
·--- \

L·"'�
I
I
�-=-:.::: --------�-_J
.. J15 ·-- \ I ____j
LC)q34,sL-- -140
C 40-21!

15
4. Zvbehor und Bestell- 4. Accessories and 4. Acee s soi res et Bestell-Nr ./
Nummer Code ,umbers No, de command� T y p/ Type/ Type Code-No./
No. de com.

PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO-PFEIFFER TPH 110 PM P,Jl 109


PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TUR80-PFEJFFFR TPU 110 PM POl 119

Antriebsclektronik Electronic drive unii Commonde ilectronique TCP ?70 PM C01 201

Relalssatz 220 V Set of Relays 220 V Jeu de Relois 220 V PM 011 008 -T
110 V 170 V 110 V PM 011 009 -X

Hcizmanschette TPH Heating jacket TPH Chemise chauffont� TPH PM 003 413 -T
Splitterschtuz Splinter guard Pore-eclot PM 006 125 -X

Vorpumpe DUO l .5 A Fore pump DUO 1.5 A Po111pe pr .i.molre DUO 1. 5 A 220 V 50 Hz PK D40 762
mit Sicherheitsventil with safety valve avec vanne de s&curit� 220 V 60 Hz PK D,lo 7M
2ilD V 50 Hz PK D40 765
240 V 60 Hz PK D40 766

Wellschlauch 500 mm Hose 500 mm Tuyau 500 mm ON 16 KF BP 217 488 -X


750 mm 750 mm 750 mm BP 217 489 -X
Ubergangsstuck Adapter piece Piece d'adoplion D,J 25/16 KF BP 217 023 -R
KrUmmer 90 ° fland 90° C□·Jde 90 ° rn, 25 KF BP 217 003 -R

Zentrierring Al/Neopren Centering ring Al/Ne Anne!'Ju de centrage Al/Ne DN 16 KF BP 213 315 -T
Zentrierring Al/Neopre.s Centering ring Al/fJe Anneau de centrage Al/Ne DN 25 KF BP 213 316 -T

Spannring Clomping ring Anneou de serroge DN 10/16 KF BP 217 426 -T


Spann ring Clamping ring Arineau de serrage DN 20/25 KF BP 217 427 -T

Dichtring fur TPli Seal ring for TPH Joint anneou pour TPH DfJ 700 ISO -K BP 213 199 -T

Cu-Dichtung (10 St.) Capper asbestos gasket Joint en cuivre omiante


fur TPU (10 pcs.) for TPU (10 pc.) pour TPU DN 700 CF BN 845 03B -T
Ubcrwurff lonsch Rotatable flange R:ridc tournante DN 100 ISO BN 845 071 -T
Schraubensotz TPU Set of screws TPU Jeu de vis TPU DN 100 CF BN 845 013 -T

Kuhlwasserw�chter Coolant controller Contr8le�r d'eau de refroi­


ciissement TCW 001 PM coo 100

Anschlu!3garni tur Set of bolts Jeu de boulons PM 474 019 -T


Schmutzfonger R 3/8" Dirt filter R 3/8" Purgeur R 3/8" P 4161 300 2R
KUhlaggregat Cooling unit Syst�tne de refroidissement TZK 350 PM zoo 100

LuftkUhlung Air cooling Refroidissement a air 220 V 50-60 Hz PM ZOl 022


110 V 50-60 Hz PM ZOl 024

F lutventil Flooding valve Venne de remise a l'oir TVF 010 PM ZOl 000
oder or OU
Stromausfallfluter Foil-Safe flooder SystCmc de panne de courant TSF 010 PM Z01 010

PVC-Schlauch PVC hose fuyou en PVC 8 X 14/ 1 m N 2358 170 JS

Trockenvorlage Dry condenser Tube secheur TTV 001 PM ZOO 120

Flut-Steuergerat Flooder controller Appareil de commande pour


le remise d l'oir TCF 101 PM COl 061

16
5. Installation 5. Installation 5. Installation
5. 1 Hinweis 5. 1 Note 5. 1 Remarque
- Die PFEIFFER-TURBO wird mit 01- The PFEIFFER-TURBO is supplied La PFEIFFER TURBO est livree
fullung geliefert und ist mit with the requisite oil filling avec une charge d'huile et
trockener Luft geflutet. and is flooded with dry air. remplie d'air sec.
- Die Blindflansche an Hoch- und - The blind flanges on the high­ - Il ne faut enlever les brides
VorvakuumanschluB sollen erst and the fore-vacuum sockets pleines qui ferment les raccor­
unmittelbar var der Montage der should not be taken off until dements vide e1eve et vide pri­
Turbo-Molekularpumpe entfernt immediately before the pump is maire que juste avant de monter
werden. installed and assembled. lo pompe dans !'installation.
Bei der Anwesenheit eines homo­ If a homogen magnetic field nor­ En cas de presence d'un champ
genen Magnetfeldes quer zur Ro­ mal to the rotor axis strength magnetique homogene perpendi­
torachse mit Feldstarken Uber of which lies above the values culaire d l'axe du rotor avec
7mT sind geeignete AbschirmmaB­ 7mT is present, adequate shiel­ une intensite depassonte 7mT
nahmen vorzusehen, da im Rotor ding is to provide, because il faut appliquer des ecrans
WirbelstrOme entstehen, die zu idle currents could cause inad­ antimagnetiques, parce qu'un
einer unzulassig starken Er­ missible heating of the rotor. chauffage inadmissible du ro­
hitzung des Rotors fUhren kOn­ tor peut arriver, resultant des
- Only absolutely clean water of
nen. courants parasites.
low sedimentation should be
- Zur Kuhlung der Pumpe nur sau­ used for cooling the turbo-mo­ - Pour le refroidissement de la
beres Wasser mit geringer Abla­ lecular pump. pompe, n'utiliser que de l'eau
gerung verwenden. propre, deposant peu.
- The pump must be connected to a
- Zurn elektrischen AnschluB ist single-phase a.c. outlet. - Pour le bronchement electrique,
1-Phosen-Wechselstrom erforder­ il faut disposer de courant al­
lich. ternatif, monophase.

5.2 HochvakuumanschluB 5.2 High vacuum connection 5.2 Connexion vide e1eve
Die Pumpe kann in horizontaler The pump can be flanged to the va­ La pompe peut etre raccord9e d
bis vertikaler Einboulage (siehe cuum chamber in horizontal or ver­ l'enceinte horizontalement ou ver­
Fig, 2) an den Rezipienten ange­ tical position (see fig. 2). When ticalement (voir fig. 2). En cas
flanscht werden. Bei einer Verbin­ connecting the TURBO-pump to the de raccordement de la pompe TURBO
dung der TURBO-Pumpe mit dem Re­ vacuum chamber bymeans of a me­ d l'enceinte par l'intermediaire
zipienten Uber einen Federungs­ tal bellows, the pump must be an­ d'un raccord souple, il faut an­
kOrper, muB diese verankert wer­ chored because the bellows will crer la pompe au sol car en uti­
den, do bei Betrieb der Federungs­ be axiallycompressed by the pres­ lisant le raccord souple celui-ci
kOrper durch die Druckdifferenz sure difference (vacuum-ambient va etre comprime en direction
(Vakuum-Umgebungsdruck) axial zu­ temperature). For anchoring the axiole par la difference de pres­
sammengepreBt wird. Zur Veranke­ pump, four bore holes MS ore pro­ sions (vide - pression ambiante).
rung der Pumpe sind auf der Un­ vided in the lower surface of the Pour ancrer la pompe il ya 4
terseite vier Bohrungen MS vorhan­ pump. trous filetes M5 dons ·10 surface
den. inferieure.
Zurn Schutz der Pumpe gegen Fremd­ In order to protect the pump from Pour eviter que des corps etran­
kOrper soll ein Splitterschutz foreign matter, a splinter shield gers ne penetrent dans la pompe,
eingesetzt werden (siehe im Zube­ should be used {cf. 11 Accessories"). il est recommande de monter un
hOr). Das SaugvermOgen der Pumpe The volume flow rate of the pump pare-eclats {voir Accessoires).
wird durch den Splitterschutz um will only be reduced by approx. La capacit9 d 1 aspiration de la
nur ca. 15% verringert. 15%, if the splinter shield is pompe ne s'en trouve r9duite que
used. de 15% env.

Der Splitterschutz muB mit der Sieb- The splinter shield must be inser­ Le Pare-9clat doit etre install9
wOlbung nach oben in den Saugstutzen ted with the bulged side of the dons le tube d 1 aspiration avec le
eingesetzt werden. sieve upward into the suction port, c0t9 voOte du tamis en haut.

Wegen der im UHV-Bereich verstorkt As from contaminated surfaces of Comme dans le r9gion de l'ultr□-
auftretenden Gasentwicklung un­ the components considerable volu­ vide de grandes quantites de gaz
reiner Bouteile, sollten alle UHV­ mes of gas can develop in the UHV­ peuvent se former des surfaces
Teile bei grOBter Souberkeit mon­ range, all those parts should be cont□min€es, taus !es composant
tiert werden. Dichtungen und Flan­ cleaned carefully befor being as­ doivent etre soigneusement net­
sche siehe im Zubehor. sembled. Gaskets and flanges see toy9s avant le montage dons des
under "accessories 11 • installations ultra-vide. Pour
joints et brides voir ''accessoires''
5.3 VorvakuumanschluB 5.3 Fore-Vacuum Connection 5.3 Roccordement vide primaire
Um eine BelUftung des Rezipienten In order to prevent venting of Pour eviter que de !'air ne pene­
durch die Vorpumpe zu verhindern, the recipient by the fore-pump, tre dans l'enceinte d travers la
empfiehlt sich der Einbau eines the fore-vacuum line should be pompe primoire, il est recoram□n-
Sicherheitsventils in die Vorva- fitted with a pressure relief de de monter une vanne de sfucuri-

17
kuumleitung. In PFEIFFER-Vorpum­ valve . All PFEIFFER backing pumps t8 dons la canalisation de vide
pen ist ein Sicherheitsventil in­ are equipped with an incorpora­ prirnaire. Une vanne de securite
tegriert. AuBerdem sOllte in die ted safety valve. The fore-vacuum est incorporee dons le pompes
Vorvakuumleitung ein Federungs­ line should be fitted with a bel­ pr0liminaires PFEIFFER. Il est
kOrper oder Wellschlauch einge­ lows or corrugated hose from the ban 0galement de monter sur cette
baut werden, um die Ubertragung fore-pump. canalisation un raccord souple ou
von Vibrationen der Vorpumpe he­ un tube ondule pour reduire la
robzusetzen. transmission des vibrations de la
pompe primaire.
Alle Verbindungen in der Vorvaku­ All connections in the fore-vacu­ Taus les raccords sur la canalisa­
umleitung konnen mit Kleinflan­ um line can be in the form of tion de vide primaire peuvent se
schen hergestellt werden. Die er­ small flanges. The requisite com­ faired !'aide de petites brides.
forderlichen Bauelemente sind im ponents are listed in the acces- 1 Les elements de construction ne­
Abschnitt ZubehOr der Betriebson­ sory section of the Operation Ma­ cessoires sont repris au paragra­
leitung oder im Katalog oufge­ nual or in the Catalogue. phe Accessoires des Instructions
fUhrt. de Service ou dons le catalogue
g0n0ral.

5.4 Vorpumpe 5.4 Fore-Pump 5.4 Pompe primaire

Als Vorpumpe empfehlen wir unsere We recommend the employment of Comme pompe primaire, nous recom­
DUO 1.5 A. Wird eine grOBere Vor­ our DUO 1.5 A as the backing pump. mondons notre pompe DUO 1.5 A, Si
pumpe gewUnscht, kann je nach ge­ If a larger backing pump is desir­ l'on veut une pompe primaire plus
fordertem Endvakuum fUr die TPH able, a one-stage (UNO ••• ) rotary importante, on peut, selon le vide
110 eine einstufige (UNO.,.) und vane pump can be used for the TPH final d0sir0, monter pour TPH 110
fur die TPU 110 eine zweistufige 110 and a two-stage rotary vane une pompe rotative a palettes a
(DUO ••• ) Drehschiebervakuumpumpe pump (DUO •.. ) for the TPU 110, de­ un �toge (UNO.•• ) et pour TPU 110
eingesetzt werden, Bei grOBeren pending on the required ultimate une pompe d deux 0toges (DUO.,.).
Vorpumpen ist eine Steuerung mit vacuum. For bigger backing pumps Pour les pompes primaires une com­
dem Relaissatz (cl, c8) nicht a control with the set of relays monde avec le jeu de relais (cl,
mOglich. (cl, c8) is not possible. c8) n'est pas possible.

Die Pumpen zeichnen sich durch ge­ The pumps distinguish themselves Ces pompes se caract0risent par
ringe Wasserstoffentwicklung aus. by low production of hydrogen. un foible d0gagement d'hydrogene.

AuBerdem ist in den Pumpen ein The pumps include, on integral D'autre part, elles sont munies
elektropneumatisches Sicherheits­ electro-pneumatic "relief valve, d 1 une vanne de s0curit0 0lectro­
ventil integriert. Dieses Ventil which closes automatically when­ pneumatique. Ces vannes se fer­
schlieBt bei Stromausfall oder ever the power fails or the pump ment en cos de panne de courant
beim Abschalten. Gleichzeitig is stopped, simultaneously the au quand on arr&te lo pompe. En
wird die Vorpumpe geflutet. Beim fore-pump is flooded. When the meme temps, il se produit une en­
Einschalten der Vorpumpe Offnet fore-pump is started, the opening tree d 1 air dons lo pompe primaire.
dos Ventil verzOgert. Hierdurch of the valve is delayed, thus eli­ Ouand on met en morche la pompe
erUbrigt sich ein zusdtzliches minating the need for an additio­ primaire, lo vanne s'ouvre avec
Sicherheitsventil in der Vorvaku­ nal relief valve in the fore-va­ retard. Cela 0vite d'avoir O mon­
umleitung. cuum line, ter une vanne de s0curit0 suppl0-
mentaire dons la canalisation de
vide primaire.

5.5 KUhlung 5.5 Cooling 5.5 Refroidissement


Zurn AbfUhren der entstehenden Rei­ To discharge the frictional heat Pour 0liminer la chaleur dOe au
bungswdrme und der beim Heizen and the heat generated by the hea­ frottement et la choleur qui se
auftretenden W�rme mUssen die Pum­ ter, the TPH and TPU pump bea­ produit par 1'0tuvoge, il faut que
pen TPH und TPU an den Lagern ge­ rings must be cooled. les paliers des pompes TPH et TPU
kUhlt werden. soient refroidis.

5.5. 1 WassorkUhlung 5.5. 1 Water cooling 5.5. 1 Refroidissement par eau


Fig.9 Fig. 9 Fig.9
Die PFEIFFER-TURBO ist serienmds­ The PFEIFFER TURBO is equipped La, TURBO-PFEIFFER est 0quipee de
sig wassergekUhlt. Sic kann durch with a standard water cooling sy­ fa�on standard d'un systeme de re­
dos KUhlwassernetz oder van die­ stem. It can be supplied by the froidissemcnt par eau. Elle peut
sem unabhdngig Uber dos KUhlaggre­ cooling water system or indepen­ etre alimentee soit par le circuit
gat TZK 350 versorgt werden. Vor­ dently of this by the cooling d'eau de la ville, soit ind0pen­
und RUcklauf des Kuhlwasscrs kann unit TZK 350. System and return damment de celui-ci par le systeme
beliebig an den AnschlUssen 7 on­ lines of the cooling water con be de refroidissement TZK 350. On peut
geschlossen werden, connected at Connect.ion 7 as de- raccorder l'arrivee au la sortie

18
sired. d' eau indi f feremment ou roccord 7 •
Zur Uberwachung des KUhlwassers A controller is required on the Pour controler le debit de l'eau
muB ein KUhlwosserwachter ouf der discharge side for controlling il fout monter un controleur d'eou
KUhlwosseroustrittseite (siehe Zu­ the coolant flow (see Accessories) de refroidissement du cote sor­
behor) eingesetzt werden, der mit and this controller must be elec­ tie de l'eou (voir Accessoires),
dem Pumpenontrieb elektrisch zu trically interlocked with the contr3lcur qu'il fout verrouiller
verriegeln ist. (Siehe Schaltplon) pump drive (see Wiring Diagram). electriquement ovec l'entroine­
ment de lo pompt! (voir schema
electrique).
s 3 VorvokuumonschluB
� AnschluB-Antriebselektro�ik
5 Hochvakuumonschlu8
6 Flutonschlul3
7 KUhlwosseranschluB

3 Fore-Vacuum Connection
4 Connector for Electronic Drive
5 High-Vacuum Connection
6 Flooding Connection
3 7 Coolant Connection

3 Roccordcmcnt vide primoire


4 Bronchement commonde electro-
n.ique
5 Raccordement vide eleve
6 Raccordement entree d'oir
7 Raccordement eou de refrai­
dissement
Fig. 9
TPH 110 wossergekUhlt
water-cooled
d refroidissement par eau

5,5,2 LuftkUhlung 5.5.2 Air cooling 5,5.2 Refroidissement por air


Die serienmtlBig wossergekUhlte The normally wotercooled pump TPH Lo pompe TPH 110 ou TPU 110, qui
Pumpe TP.H 110 oder TPU 110 kann 110 or TPU 110 con be changed to est en serie refroidie d eou peut
durch den Einsotz eines Ventila­ air-cooling by providing a fan. etre chongee OU refroidissement d
tors ouf LuftkUhlung umgestellt Terminals for electrical connec­ oir par application d'un ventilo­
werden. In der Antriebselektronik tion of the fan ore provided in teur. Lo possibilite des connexion
sind elektrische AnschluBmoglich­ the drive electronic. The maximum electrique du ventilateur est pre­
keiten fur den Ventilator vorge­ ambient temperature for air coo­ vue dons l'entroinement electro­
sehen. Die moximole Umgebungstem­ ling is 35°c. The pump is thermi­ niqve. La temperature ambionte
perotur bei LuftkUhlung ist 35 ° C. colly protected against excessive moximole pour le refroidissement
Gegen zu hohe Temperotur ist die temperature. With rising tempera­ d air est de 35 ° C. Lo pompe a une
Pumpe thermisch geschUtzt. Bei ture the output power of the TCP protection thermique contre lo
steigender Temperotur wird die will be reduced down to 0. temperature trop elevee. Si lo
Ausgongsleistung des TCP bis ouf temperature monte lo puissance de
0 reduziert. sortie du TCP est reglee vers 0.

Der KUhlwosserwachter TCW 001 wird The cooling water controller Le controleur d'eou de refroidis­
bei Lvftkuhlung nicht angeschlos­ TCW 001 will not be connected if sement n'est pas roccorde en cos
sen, die Anschlufiklemmen om TCP air cooling is applied, the ter­ de refroidissemcnt d air. Les bor­
bzw. TCS sind noch Scholtplon zu minals on the TCP or TCS ore to nes au TCP au au TCS doivcnt etre
bri.icken. be bridged according to wiring relies par des pants d'opres sche­
diagram, ma electrique,

Montage des Ventilators Assembly of the fan Montage du ventiloteur


Fig. 10 Fig. 10 Fig. 10
- Pumpe ouf Hochvakuumflansch 1 - Put pump on high vacuum flange - Mettre lo pompe sur la bride d
stellen und GummifUBe 34 heraus­ and unscrew rubber buffers 34. vide elevee 1 et devisser les
schrauben. armortisseurs en cooutschouc,
- Holter 52, wie Foto zeigt, so - Screw on, as shown on the pic­ Visser le support 52, comme sur
onschrouben, daB die Anschroub­ ture, support 52 so that the le photo, tellement, que lo sur­
flache des Ventilators parallel fixing surface of the fan is po- face de Fixation du ventiloteur

19
zur Achse von Vorvokuum- und rollel to the axis of the fore est porolelle o l'oxe de lo con­
FlutonschluB liegt. vacuum and air inlet connection. nexion vide primoire et entree
d'oir.
Zwei Schrouben 50 herausschrau­ Unscrew two screws 50 and screw Devisser deux vis 50 et visser
ben und Halter 51 so anschrou­ on support 51 so that the fixing support 51 tellement, que la sur­
ben, da8 die Anschroubfloche des surface of the fan is in line face de fixation du ventiloteur
Ventilators zu der von Halter 52 with that of the support 52. est en ligne avec celle du sup­
fluchtet. port 52.
- Fingerschutz 59 mit zwei Schwin­ - Screw on finger protection 59 - Visser lo protection des doigts
gungsdompfern 5� anschrauben. with the vibration absorbers, 59 avec deux omortisseurs de
Beim Einschrouben des dritten When screwing on the third ab­ vibrations. Quond on visse le
Schwingungsdampfers Scheibe 60 sorber put washer 60 underneath. troisidme omortisseur il fout
unterlegen. mettre dessous lo rondelle 60,
- Ventilator 55 mit gewindelosen - Put fan 55 with the holes with­ - Mettre le ventiolteur 55 avec
L�chern auf die Schwingungsd�mp­ out thread on the vibration dam­ les trous sons filet aux armor­
fer schieben und mit den Mut­ pers and screw on with the nuts tisseurs et fixer ovec les
tern 56 anschrouben. 56 .• ecrous 56.
- Steckverbindung zum elektrischen Plug in the electrical connec­ Connecter lo fiche pour lo con­
AnschluB am Ventilator anschlies­ tion on the fan. nexion electrique au ventilo­
sen, teur.

1 50

51

54 56 55 57 58
60

( ;,

59

I C 4()•20i1

i1' ili!it �J
52

+ �
53 53

Fig. 10 34
,/-'

PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO TURBO PFEIFFER


TPH 11 0 1 TPU 11 0 TPH 110, TPU 110 TPH 110, TPU 110
34 Gummi fuB 34 Rubber buffer 34 Armortisseur en cooutschouc
50 Schrcube 50 Screw 50 Vis
51 Halter 51 Support 51 Support
52 Halter 52 Support 52 Support
53 Schraube 53 Screw 53 Vis
54 Schwingungsd�mpfer 54 Vibration damper 54 Armortisseur
56 Mutter 56 Nut 56 Ecrou
57 Kappe 57 Cap 57 Couvercle
58 Schroube 58 Screw 58 Vis
59 Finge.rschutz 59 Finger protection 59 Protection pour les doits
60 Scheibe 60 Wosher 60 Rondelle

20
- Spannungsang□be auf dem Venti­ - Check the indicated voltage of - Comparer !'indication de la ten­
lator mit der Netzspannung ver­ the fan with that of the mains, sion sur le ventialteur avec
gleichen. celle du reseua.
- Kappe 57 anschrauben. - Screw on cap 57. - Visser le couvercle 57.

Der AnschluB des Ventilators an The connection of the fan to the La connexion du ventilateur d l'en­
die Antriebselektronik TCP 270 drive electronic TCP 270 is only troinement electronique n'est pos­
ist nur in Verbindung mit dem Re­ possible in combination with the sible qu'en relation ovec le jeu
laissatz mOglich. Der Ventilator relay set. The fan is then to be de relais. Le ventilateur est
ist dann nach Schaltplan connected according switching dia­ alors d broncher d'apres le dia­
PM 001 985 -S onzuschlieBen. gram PM 001 985 -5. gramme electrique PM 001 985 -S.

5.6 FlutanschluB 5.6 Venting connection 5,6 R□ccord de remise O l'air


Es kOnnen hand- oder elektromag­ Manually operated or solenoid On peut utiliser des vannes NW 10
netsich betOtigte Ventile NW 10 KF valves, N.D. 10 KF, can be con­ KF d commande manuelle ou elec­
angeschlossen werden. nected. tromagnetique.
Zurn Schutz gegen eindringende In order to protect tho pump from Pour eviter une entree d'air hu­
Feuchtigkeit sollte die Pumpe penetrating humidity, venting mide dons la pompe, il est recom­
Uber eine Trockenvorlage TTV 001 should be performed via an air mande de proceder a la remise d
geflutet werden. drier TTV 001. l'air par l'intermediaire d'un
tube-secheur TTV 001.
Ein Sicherheitsfluten erfolgt mit When currect fails the pump is En cos de panne de courant une
dem Flut-SteuergerOt TCF 101 und vented for safety by means of the entree d'air se fait par interme­
dem Ventil TVF 010 bei Stromaus­ venting control unit TCF 101 and diaire de l'appareil de commande
fall automatisch und verzOgert in the valve TVF 010 automatically de la remise d l'air TCF 101 et
der eingestellten Zeit zwischen 1 and delayed within the preset la vanne TVF 010 automatiquernent
und 30 Minuten. Beim Einsatz des time between l and 30 minutes, et retardee dons le temps prechai­
Flutventils TSF 010 wird die Pum­ When using the air inlet valve si entre l et 30 minutes, Ouand
pe bei Stromausfall sofort ge­ TSF 010 the pump is vented in­ on utilise la vanne d'entr&e d'air
flutet. stantaneously. TSF 010 la remise d l'air se fait
sans delai.

5.7 Elektrischer AnschluB 5.7 Wiring 5.7 Branchement electrique


Die Antriebselektronik konn □ls The electronic drive uni� may L'electronique de cornmonde peut
Einschub- oder Tischgerat verwen­ be used as a rack module or 8tre utilis8e sous la forme d'un
det werden, Beim Einbau des Ein­ bench model. When inserting the tiroir de Rack ou cornme modele
schubes in Rackschrcinke ist auf module into racks, take a suffi­ de table, En montant le tiroir
ausreichende Luftzirkulation zu cient air circulation into ac­ dons une ormoire de Rack, il faut
achten. FUr das Tischgerat sind count. For the bench model, a veiller d ce que l'air puissc
gesondert Abdeckhaube und FUGe cover and feet can be supplied circuler librement taus auteur.
lieferbar. separately. Pour le mod8le de table, un capot
de protection et des pieds peu­
vent 8tre fournis sur commande
sp8ciale.

NetzanschluB Connection to mains Branchernent secteur

Der NetzanschluB ist nach den Ort­ The connection to the mains shall Le branchement secteur doit 8tre
lichen Bestimmungen auszufUhren. be carried out in accordance with etabli selon les prescription lo­
local regulations. cales en vigueur,

Wcrksseitig ist das GerOt TCP 270 The unit TCS 270 is layed out from L'appareil est pr8vu par l'usine
fUr 220/240 V Wechselstrom ausge­ the factory for A,C, 220/240 V. If pour courant alternatif 220/240 V.
legt, Es kann bei Bedarf auf llOV­ necessary it can be converted to Si n8cessaire il peut 8tre trans­
Betrieb umgestellt werden. 110 v. forme pour 110 V.

AnschluB an den Trafos m2 und - Connection to the transformers - Changer la connexion des trans­
m3 nach Schaltplan PM 001 985 -S m2 and m3 according to switching formateurs m2 et m3 d'apr8s sche­
Ondern, diagram PM 001 985 -S to be chan­ ma 8lectrique PM 001 985 -S.
ged,

EinsatzmOglichkeit des TCP 270 Applications of the TCP 270 Possibilit8s d'utilisation du TCP 271

1. Einsatz nur □ls Antriebs­ 1. As drive electronics only. 1. Utilisation seulernent comme
elektronik. commande 8le�tronique.

21
- NetzanschluB mit dem Gegenstek­ - Make the power connection with - Branchement secteur avec la cen­
ker @ nach Sch al tplan matching plug @ in accordance tre-fiche © selon schema elec­
PM 001 985 -S herstellen, Der with Wiring Diagram PM 001 985 -S. trique PM 001 985 -S.
AnschluB der Pumpe erfolgt Uber Connection of the pump is made Connexion de la pornpe se fait
Stecker @ • over plug @ . par la fiche @.

Fig. 11

RUckseite TCP 270 Steuerprint


Rear of TCP 270 Control print
Arriere du TCP 270 Circuit imprime de commande

NetzanschluB @ Power connection @ Branchement secteur


AnschluB TPH 110 oder TPU 110 ® Connection of TPH 110 or TPU 110@ Branchement TPH 110 ou TPU 110
AnschluB Pumpstandkomponenten K Connection of pumping unit K Branchement composonts du
components groupe de pompage
Anderung der Brucken bei 110 V Modification of the bridges ® Modification des pants en 110
Schaltung auf Fig, 11 ist for 110 V. Circuit in figure: V, Cablage sur la fig. en
for 220 V. 220 V. 220 V.

AnschluB fUr Uberwachungsteil - Connection of monitoring section - Le branchement sur la partie can­
an bl-b2 nur dann erforderlich, to 61-62 only required if the trole en 61-62 n'est necessaire
wenn der Relaiskontakt dl und relay contacts dl and d2 are que lorsqu'an utilise les relais
d2 benutzt werden (Beschreibung used (description in Point 2.5). de contact dl et d2 (description
unter 2,5). en 2.5).

Bei dieser Anordnung sind die For this application the push but­ Pour cette application les inter­
Druckschalter "pumping unit" und tons "pumping unit" and "heating" rupteurs d bouton "pumping unit"
"heating" auBer Funktion. AnschluB are not working, Connectio11. to et "heating" sont hors fonction.
an Klemmleiste Kist nicht mog­ the terminal strip is not possible Connexion d la r&glette a bornes
lich, da die Klemmen nur in Ver­ because the terminals are only K n'est pas possible, parce que
bindung mit dem Relaissatz (Re­ working in connection with the set les bornes ne sont en fanction
lais c7, c8) in Funktion sind. of relays (relay c7, c8), qu'en communication avec le jeu
de relois (relais c7, c8).
2. Einsatz ols Antriebselektronik 2. As drive electronics and pum­ 2. Utilisation comme comrnande
und Pumpstandsteuerung mit Re­ ping unit control, with relays electronique et commande de
lais c7 und c8 (Relaissatz im c7 and c8 (set of relays is in­ groupe de pompage c7 et c8
Zubehor angegeben). dicated under accessories). (je de relais est indique sous
accessoires).
- Pumpstandkomponen�en an rUcksei­ - Connect the pumping unit compo­ - Brancher les composants a l'ar­
tiger Klemmleiste K anschlieBen nents to the terminal strip K riere sur la reglette a bornes
(fur Zugentlastung der Kabel sor­ at the rear (provide for strain K (veiller ace que les cables
gen, AnschluBleistung Vorpumpe relief of the cables, connected ne soient pas trap tendus, puis­
max. 250 w). rating of backing pump: max. sance absorbee pompe primaire
- Relois c7 und c8 in dos Gerat 250 W). max, 250 W).
einsetzen. - Insert relays c7 and c8 into the - Placer les relais c7 et c8 dons
- NetzanschluB mit dem Gegenstek­ unit, l'appareil.
ker @ nach Schol tplan - Make the power connect.ion w.ith - Etablir le branchement secteur
PM 001 985 -S herstellen. matching plug @ in occordan ce ovec la cantre-f iche @ selon
- Ventilsteuergerat TCV kann nicht with the Wiring Diagram schema electrique PM 002 985 -S.
angeschlossen wcrden. PM 001 985 -S. - L'appareil de cammande de vanne
- The valve control unit TCV can­ TCV nc peut pas etre branche.
not be connected.

22
3. Einsatz des TCP 270 mit dem 3. Together with the pumping unit 3. Utilisation du TCP 270 avec
PumpstandsteuergerOt TCS 101. control TCS 101. l'appareil de commande de groupe
AnschluB nach Schaltplan Connection in accordance with de pompage TCS 101. Branchement
PM 005 227 -5. Wiring Diagram PM 005 227 -5. selon schema 8lectr. PM 005 227-5.

Vorteile Advantages Avantages


AnschluB van Vorpumpen bis 550 Connection of backing pumps with Branchement de pompes primaires
Watt Wechselstrommotor mit ein­ an A.C. motor of up to 550 W with avec moteur courant alternatif
gebautem Ubertemperaturschutz. integral overtemperature protec­ jusqu'd 550 Watt avec protection
- EinschubmOglichkeit fur Flut­ tion. thermique incorporee.
steuergerOt TCF 101 oder Ven­ - Employment of vent control unit - Possibilite d'utilisation d'ap­
tilsteuergerOt TCV 101. TCF 101 or valve control unit pareil de commande d'entree d'air
- AnschluBmOglichkeit fUr Fernbc­ TCV 101 possible. TCF 101 ou d'appareil de commande
dienung (Pumpstand "EIN"-"AUS"). - Connection for remote control de vanne TCV 101.
Die Heizung der Turbo-Molekular­ (Pumping unit "ON" - "OFF") pos­ - Possibilite de branchement de
pumpe kann Uber die Fernbedie­ sible. The heater of the turbo­ commando a distance (groupe de
nung nicht geschaltet werden. molecular pump cannot be switched pomp□ge MARCHE-ARRET). Le chauf­
via the remote control. fage de la pompe turbo ne peut
� €tre mis en marche par la
commanded distance,

AnschluB PFEIFFER-TURBO-TCP Connection of PFEIFFER TURBO-TCP Bronchement TURBO-PFEIFFER-TCP


Die Verbindung erfolgt mit einem Connection is made by means of a Le branchement se fait au moyen
steckbaren mitgelieferten 3m lan­ 3m long, plug-in type connecting d'un c6ble de raccordement en­
gen Verbindungskabel (Normalaus­ cable which is delivered with the fichable de 3 m de long qui fait
fuhrung). unit (standard design). partie de la fourniture (ex&cu­
Auf besondere Bestellung kOnnen On separate order, connecting tion normale).
Verbindungskabel bis max. 100 m cables of up to 100 m length can Sur commande spE:ciale on peut
Longe geliefert werden. Bei die­ be supplied. In this calbe, the egalement livrcr un c6ble d'une
sem Kabel sind die AnschluBadern seven connecting wires of the longueur max, de 100 m. Dans ce
der Hallsondensteuerung abge­ Hall probe control ore shielded, c6ble, les 7 conducteurs de la
schirmt, wodurch StOrungen der there-by avoiding interferences commande par sondes de Hall sont
Hallsondensignale vermieden wer­ with the Hall probe signals. blindes ce qui permet d'8viter
den. des perturbations dons les sig­
naux de sondes de Hall.

ACHTUNG ATTENTION ATTENTION


Verbindungskabel TCP-TPH(TPU) nur Only insert the connecting cable Ne broncher le cable TCP-TPH
dann einstecken, wenn TCP span­ TCP-TPH (TPU) if the TCP is (TPU) que lorsque le TCP est hors
nungslos ist. Bei Nichtbeachtung dead. Other;ise, the Hall probe tension. En cos de non observation
fehlt dos Hallsondensignal, wel­ signal corresponding to the ac­ de cette regle, il manque le sig­
ches dem Istwert fur die Dreh­ tual speed is locking, which cau­ nal des sondes de Hall lequel cor­
zahl entspricht und somit den ses the controll�r to release the respond d la valeur r8elle de la
Regler veranlaBt, die hOchstmOg­ highest possible output voltage. vitesse et incite le regulateur
liche Ausgangsspannung abzuge­ If connection to the stopped mo­ d d6livrcr la tension de sortie
ben. Wird in diesem Zust□nd die tor is made in this state, a high la plus 8levee possible. Si l'on
Verbindung zum stehenden Motor current flows in, due to the in­ etablit la liaison avec le moteur
hergestellt, so flieBt oufgrund ductive resistance of the stator a l'arret, il arrive alors, du
des noch niedrigen induktiven Wi­ windings still being low, Lhus fait de la resistance inductive
derstandes der Stotorwicklungen overcharging and possibly destroy­ encore foible des enroulements du
ein hoher Strom zu, der die End­ ing the output stage transistors. stator, un courant fort qui sur­
transistoren Uberlastet und zer­ charge les transistors terminoux
stOren kann. et peut les d8truire.

Elektrischer AnschluB des ZubehOrs Electric connection of the acces­ Connexion 8lectrique des acces­
sories soires
Bei NetzanschluB 2 werden die Bau­ In the case of power connection 2, En cos de branchement 2, les com­
teile an Klemmleiste K angeschlos­ the components are connected to posants sont branches sur la r8g­
sen. terminal strip K. lette d bornes K.

Bei NetzanschluB 3 erfolgt der In the case of power connection En cos de branchement 3, le bran­
AnschluB am TCS 101. 3, connection is made to the TCS chement se fait sur le TCS 101.
101.

Bei AnschluB nach Schaltplon ist When the connection is made in ac­ En branchont selon le schema 8lec­
sichergestellt, daB die Heizung cordance with the wiring diagram, trique, on est assure que le chauf­
nur dann eingeschaltet werden it is ensured that the heater can fage n'est enclench8 que lorsque

23
kann, wenn die Turbo-Molekular­ only be switched on if the turbo la pompe turbo a atteint 80% de so
pumpe 80% der Enddrehzahl erreicht molecular pump has reached 80 per vi tesse finale.
hat, cent of its ultimate speed.

6. Betrieb 6. Operation 6. Fonctionnement

6. 1 Inbetriebnahme der Pumpe 6,1 Starting up the Pump 6. 1 Mise en service de la pompe
Wasserklihlung Water cooling Refroidissement par eau
- Var dem Einschalten der Turbo­ - Before starting the turbo-mole­ - Avant de mettre en marche la
Molekularpumpe KLihlwasserdurch­ cular pump, the coolant flow pompe turbo-moleculoire, ali­
fluB herstellen und kontrollie­ must be started and checked. menter le circuit d'eau de re­
ren. froidissem ent et le contrOler.

LuftkUhlung Air cooling Refroidissement par air


- Ventilatoren einschalten. - Switch on fans. - Enclencher les ventilateurs.
- Sind die Ventilatoren am TCP an- - If the fans ore connected to the - Siles ventilateurs sont bran-
geschlossen, werden sie gleich­ TCP, they will be switched on ches au TCP, il sont enclen-
zeitig mit der Pumpe eingeschal­ simultaneously with the pump. ches simultanement avec la pompe.
tet.

Einscholten
- Vorpumpe und Turbo-Molekularpum­ - Start the fore-pump and the tur­ - Mettre en morche simultane­
pe gleichzeitig einschalten. bo molecular pump simultane­ ment la pompe primaire et la
- Eventuell bei Pumpen mit Heiz­ ously. pompe turbo-mol8culaire,
manschette Heizung einschalten. - Switch on the pump heating - Sur les pompes poss8dant une
sleeve, if fitted, chemise chauffante, mettre en
marche le chauffage.
Der Hochlouf der PFEIFFER-TURBO The PFEIFFER TURBO runs up auto­ La mont8e en vitesse de la TURBO­
erfolgt automatisch, Die Anlauf­ matically. The time from starting PFEIFFER est automatique, La dur€e
zeit bis zum Drehzahlschaltpunkt to the speed switch point depends de d8marrage jusqu'ou point de
ist obhOngig von der Rczipienten­ upon the size of the vacuum cham­ commutation est fonction de la di­
grOBe, wenn die Uberwachung ange­ ber, In case the control unit is mension de l'enceinte. Lorsque le
schlossen ist, siche 6.5. connected, cf, point 6,5. syst€me de contrOle est branch€,
Bei blindgeflanschtem UHV-AnschluB If the UHV connection is blanked voir parag. 6.5.
erreicht die Pumpe nach ca. 1 Mi­ off, the pump will reach its no­ Avec bride UHV ferm8e, la pompe
nuten ihre Nenndrehzahl. minal speed after approx. 1 minu­ atteint so vitesse nominole au
tes. bout de 1 minutes env.

6.2 Heizen der Turbo-Molekular- 6.2 Bake-out of the Turbo-Mole- 6.2 Etuvage de la pompe turbo-
� cular Pump mol€culaire
Der Enddruck richtet sich nach der The ultimate pressure is dependent La pressio n finale d8pend de la
Sauberkeit der Pumpe und der Appa­ on the cleanliness of the pump proprete de la pompe et de l'ap­
r□tur, Um den Enddruck in mOg­ and of the vacuum chamber, In or­ pareillage. Pour atteindre la pres­
lichst kurzer Zeit zu erreichen, der to obtain the ultimate pres­ sion finale dons le temps le plus
ist es zweckmOBig, Turbo-Moleku­ sure after the shortest possible court possible, il est ban d'8tu­
l□rpumpe und Apparatur zu hei­ time, a bake-out of the pump and ver la pompe turbo-mol8culaire et
zen, !st der Rezipient direkt an­ of the chamber is definitely re­ l'apporeillage, Si un recipient
geflanscht, muB darauf geachtet commended. If the chamber is flan­ est raccorde directement sur la
werden, daB die Temperatur des ged directly, care must be taken bride, il faut veiller d ce que
Hochv□kuumflonsches beim Heizen that the temperature of the HV lo temperature de la bride vide
der Apparotur und der Pumpe 160 ° C socket will not exceed 160 ° C, 8lev6 pendant 1'€tuvage de l'ap­
nicht Uberschreitet, whilst the chamber and the pump pareillage et de la pompe ne d€­
are being heated. passe pas 16o 0 c.

Wird der Rezipient hOher als 200 °C If the chamber is heated up to Si le recipient est chauff€ dune
geheizt, muB die WOrmestrahlung more than 200 ° C, heat radiation Lemp€rature plus 8levee que 200° C
vom Rezipienten auf den Pumpenro­ from the chamber to the rotor of une radiation O partir du reci pient
tor verhindert werden. the pump must be prevented, vers le rotor de la pompe doit etre
€vi tee.

Die Heizd□uer der Pumpe und des The length of the bake cycle of La dur€e d'etuvage de la pompe et
Rezipienten richtet sich nach the pump and of the chamber is de­ du r€cipient depend de leur degr€
dem Verschmutzungsgrad und dem pendent on the degree of contami­ de pollution et de la pression fi­
gewlinschten Enddruck. Die Heiz­ nation and on the ultimate pres­ nale que l'on veut atteindre. En
dauer sollte wegen der longen Auf- sure desired, The bake should raison du temps relativement long

24
heizzeit des Rotors mindestens continue for at least four hours dont le rotor a besoin pour chauf­
4 Stunden betrogen, because of the long heat-up pe­ fer, l'etuvage devrait durer au
riod of the rotor, mains 4 heures,

6,3 Ausheizen der MeB-Systeme 6.3 Bake-out of the Measuring 6.3 Etuvage du systeme de mesure
Systems
Schlecht geheizte MeBsysteme kOn­ Poorly baked-out measuring systems Des systemes de mesure mal etuves
nen erhebliche Mengen Gos obgeben, can emit substantial quantities peuvent d8gager des quantites im­
die dos MeBergebnis verfOlschen of gas which might prejudice the portantes de gaz qui faussent les
und einen Tei! des SaugvermOgens measuring data and absorb some rCsultats et redujsent partielle­
der Pumpe in Anspruch nehmen. Dies part of pumping speed of the pump. ment le debit volume de
kann der AnlaB dofur sein, daB dos This might be one of the causes la pompe, Ce peut @tre une des
gewUnschte Hochvokuum nicht er­ of not obtaining the desired high raisons de la non obtention du
reicht wird. vacuum. vide €!eve desire.

6,4 Abschalten 6.4 Stopping 6.4 Arr8t de la pompe


Nach dem Ausschalten der Turbo-Mo­ After having stopped the turbo­ Apres arrGt de la pompe turbo-mo-
lekulorpumpe sollte die Vorvakuum­ molecular pump, the fore-vacuum 18culaire, il faut que lo canali­
leitung durch ein Ventil geschlos­ line should be closed by means of sation de vide primaire soit fer­
sen werden, um dos Eindringen van a valve in order to prevent oil m8e par une vanne, pour 8viter la
Oldcimpfen □us der Vorvakuumpumpe vapours from the backing pump p8netration des vapeurs d'huile
in die PFEIFFER-TURBO zu verhin­ from entering the PFEIFFER TURBO. en provenance de la pompe primaire
dern. Bei PFEIFFER-Vorpumpen If PFEIFFER backing pumps arc dons la TURBO-PFEIFFER. Sur les
schlieBt dos integrierte Sicher­ used, the incorporated safety pompes primaire PFEIFFER, la vanne
heitsventil automatisch. valve closes automatically. de s8curit8 incorporee se ferme
automatiquement,

Pumpe und Rezipient kOnnen direkt Immediately after stopping, the La pompe et l'enceinte peuvent
nach dem Abschalten geflutet wer­ pump and the vacuum chamber can @tre remises O l'air aussitOt
den. Das Fluten sollte spOtestcns be vented. Venting should, at the □pres arret de la pompe. La re­
bei halber Nenndrehzahl der Pumpe latest, be performed when the misc O l'air doit s'effectuer au
erfolgen. pump has reached half its nominal plus tard lorsque la pompe est
Bei TPH 110 und TPU 110 � 1 min. speed. rcdesccndue Ola moitie de so vi­
For the TPH 110 and TPU 110 �fmin. tesse nominale,
Pour TPH 110 et TPU 110., 1 min.
Wenn aus verfbhrenstechriischen If venting to atmospheric pres­ Si pour des raisons techniques,
Grunden nicht auf Atmosphciren­ sure for process purposes is not on ne doit pas remettre l'ensemble
druck geflutet werden muB, em­ required, it is recommended to 0 la pression atmosph8rique, il
pfiehlt es sich, nur auf ca. 100 just vent to approx. 100 mbar. est recommend€ d'8tablir une pres­
mbar zu fluten, sion d'env. 100 mbar,
Nach dem Abschalten KUhlwasserzu­ After stopping, block the cooling Apres arr@t de lo pompe, fermer
fuhr absperren. Besonders bei ge­ water flow, Condensates may settle l'arriv8e d'eau de refroidisse­
offnetem UHV-Flansch und hoher at the cooled surfaces, in parti­ ment. En particulier lorsque la
Luftfeuchtigkeit kOnnen sich Kon­ cular if the PFEIFFER TURBO is TURBO-PFEIFFER est ouverte et que
densate an den gekuhlten Flachen open and the atmospheric humidity l'humidite ambiante est importante,
niederschlagen, is high. des condensats peuvent se deposer
sur les surfaces refroidies.

6.5 Justierung der Uberwachungs­ 6.5 Adjustment of the control 6,5 Reglage de l'electronigue de
elektronik in TCP fur auBer­ electronics in the TCP unit contrOle dons le TCP pour
ewOhnliche AnwendungsfOlle for special applications ccrtains utilisations parti­
z
_siehe 2.5) (cf. 2.5) culieres (voir 2.5)
Normalerweise ist eine Ver□nderung Usually no changing of the switch Normalement, il n 1 est par n8ces­
der Schaltpunkte nicht erforder­ points is requjred. saire de modifier les points de
lich, commutation.
Der Schaltpunkt fur die Drehzahl The speed switch point of the Le point de commutation pour la
der PFEIFFER-TURBO ist ouf 80% der PFEIFFER TURBO has been set to vitesse est r8gl8 0 80% de la vi­
zwischen 70% und 90% am Trimmpo­ be varied at the trimming poten­ fie entre 70% et 90% sur le poten­
tentiometer Pl verOndert werden. tiometer Pl from 70% to 90%. tiometre d'8quillibrage Pl.

- Wen11 bei GaseinlaB im mbar-Be­ - If the speed of the pump falls - Lorsqu'en cos d'introduction de
rcich die Drehzahl der Pumpe un­ below 80% when gos is intro­ gaz dons le domaine mbar, la vi­
ter 80% □bsinkt, k□nn dos □uto­ duced in the mbar range, an au­ tesse de la pompe descend au­
m□tische Abschalten verhindert tomatic stopping can be preven­ dessous de 80%, on peut 8viter
werden, indem man dos Potentio­ ted by setting the potentiome­ l'arr@t automaiique de la pompe
meter Pl im Uhrzeigersinn < 80% ter Pl in clockwise direktion en r8glant le potentiometre Pl
stelJ.t. to < 80%. ..:::. 80%.
(tourner le potentiometre dons
le sens des aiguilles d'une montre)

25
R73

t I R47
JI1

ACHTUNG
Bei Frequenzumstellung dorf nur
der Widerstond R73 ousgelotet wer­
den, R47 muB unbedingt im Gerat
verbleiben.
mit R 73 - 1000 Hz
1 ohne R 73 = 716 Hz

ATTENTION
For change of frequency only the
resistance R73 may be unsoldered.
R 47 must absolutely remain in
the unit.
1-Jith R 73 giving 1000 Hz output
without R 73 giving 716 Hz output

ATTENTION
Pour changement de frequence seu­
lement lo resistance R73 peut @tre
dessondee. R47 doit absolument
rester dons l'opporeil.
avec R 73 donnont 1000 Hz
sans R 73 donnont 716 Hz

Fig, 12

1 Steuerprint 1 Control print 1 Circuit imprime de commonde


2 Schroube 2 Screw 2 Vis
3-7 Steckerleiste 3-7 Plugboord 3-7 Reglette d fiche
8 Schroube 8 Screw 8 Vis
9 Seitenobdeckung 9 Lateral cover 9 Rev�tement lateral
R 73 Widerstond Frequenzum­ R 73 Resistor for frequency R 73 Resistance pour changement
stellung adjustment de frequence
Pl Potentiometer fur Drehzahl­ Pl Potentiometer for speed Pl Potentiometre pour point de
scholtpunkt switch point commutation de lo vitesse
tiefer ( � 80%)� lower ( <=- 80%)� plus bas ( <: 80%) ,,,-.,.,.
hoher ( > 80%)� higher ( 7 80%)� plus hout ( > 80%) I>\.
P2 Potenti¢meter fur Anlauf­ P2 Potentiometer for start-up P2 Potentiometre pour phase de
phase phase demarroge
longer ...--.. longer ,,.-,..,. plus long �
kUrzer 0 shorterf' plus court,...---.-

26
Wenn ous SicherheitsgrUnden If, for safety reasons, the Lorsque pour des raisons de se­
der Scholtpunkt in Abh□ngigkeit switch point should be > 80% curite, le point de commutation
der Drehz□hl > 80% sein sell, os o function of the speed, the en fonction de la vitesse doit
Potentiometer Pl entgegen dem potentiometer Pl is turned @tre > 80% (tourner le potentio­
Uhrzeigersinn verstellen, against clockwise direction. metre dons le sens inverse des
- In bestimmten Einsatzf□llen, bei aiguilles d'une montre).
- In certain applications in which
denen z.B. durch Gaseinl□B oder the speed falls below the pre­ - Dans certains cos oU par ex.
Zuscholten eines weiteren Volu­ set speed switch point as a re­ introduction de gaz ou exten­
mens der eingestellte Drehzahl­ sult of gas inlet or connection sion du volume de l'enceinte,
scholtpunkt unterschritten wird, of an additional volume etc., on posse au-dessous du point
kann durch KurzschlieBen der switching of relay d2 can be de commutation pre-regle, on
Eingongssteckerstifte a4 und a5 prevented by means of short­ peut en court-circuitant les
dos Scholten des Relais d2 ver­ circuiting the input plug pins fiches d'entree a4 et □5 empe­
hindert werden. Dies bedeutet, a3 and a5. This means that the cher le rel□is d2 de fonction­
daB in rlem gesamten Zeitbereich relay output d2 remains closed ner. Il s'ensuit que pendant
der Rel□isausgang d2 geschlossen during the entire period and tout le temps, la sortie de re­
bleibt 11nd kein Abschalten der that the plant is not stopped lais d2 rester□ fermee et que
Anlage durch die Uberwachungs­ by the control electronics. le 8lectronique de contrOle ne
elektronik erfolgt. pourra couper !'installation.

Zurn Uberb�ucken der Anlaufphase For bridging of the start-up Pour d&passer le temps de d8mar­
ist ein Schaltkontakt mit einem phase, a switching contact is rage, un contact de commande est
von 1-30 min einstellb□ren Zeit­ coupled with a timer that can be couple avec un 818ment temporise
glied gekoppelt. (Potentiometer set from 1 to 30 min (potentiome­ r8globle de ld 30 min. (Potentio-
P2). Werkseinstellung: 8 Minuten. ter P2), Factory setting: metre P2). R8glage d l'usine:
8 minutes. 8 min.

- Ist die Anlaufphase longer □ls - If the start-up phase is longer - Si la phase de d8marrage est su­
8 min (groBes Rezipientenvolu­ than 8 min, ( for large vacuum perieure d 8 min. (volume de
men), k□nn an Potentiometer P2 chamber volumes), the delay l'enceinte important), on peut
die VerzOgerungszeit verl □ ngert time can be extended by turning augmenter le temps de retarde­
werden (im Uhrzeigersinn). the potentiometer P2 clockwise. ment d l'aide du potentiometre
P2 (tourner le potentiometre
dons le sens des aiguilles d'une
montre).

6.6 Auswechseln des Steuerprint 6.6 Replacing the control print 6.6 Remplacement du circuit im-
Fig. 12 Fig. 12 prim8 de commande
Fig. 12
- Ger□t ausbauen. - Remove the unit, - D8monter l'appareil.
- Deckel abnehmen. - Remove the cover. - Enlever le couvercle.
Die beiden Schrauben (Pfeil) - Unscrew the two screws (arrow), - D8visser les deux vis (fleche),
herausschrauben, Seitenabdeckung lift lateral cover 9 by approx. soulever d'un cm. env. le reve­
9 co. 1 cm anheben und wie auf 1 cm and unfold, as shown in the tement lateral 9 et le relever
Fig. 12 dorgestellt, aufklappen. I ig. 12. comme indiqu8 sur la fig. 12.
- Steckverbindung 3 - 7 trennen. - Pull the outlet sockets 3 to 7, - Sortir les prises 3 - 7,
ACHTUNG! Die Stecker lassen sich ATTEi-.JTION ! The sockets can only ATTENTION! Les prises ne peuvent
nur durch Ziehen om Steckerge­ be got out by pulling at the @tre sortis qu'en les tivant au
h □ use wieder leisen. Ziehen am housing of the sockets. Pulling corps de la prise, Si on tive
Kabelbaum fuhrt zum AbreiBen der at the cables will tear off the au cable on peut faire rompre
Drtihte, wires. les fils,
Bohrungen auf der Breitseite des The boreholes on the broad side Les per�oges sur la partie lar­
SteckdoE�• ,uckels mUssen in of the outlet base must be direc­ ge du socle de prise doivent
Richtung Frontplatte zeigen. ted to the front panel. @tre dirigCs vers la plaque fron­
- Die beidun Schrauben 8 heraus­ - Unscrew the two screws 8 and re­ tale.
schrauben und Printplatte □b­ move printed board.
nehmen. - DE:visser les deux vis 8 et sor­
- Das Einsetzen der Austauschpl□t­ tir le circuit imprim8.
Insert the replacement printed
te erfolgt in umgekehrtem Sinn. board in reversed order. La mise en place du circuit neuf
se fait dons le sens inverse,

Achtung ! Attention ! Attention !


Nur Steuerprint mit eingestellter Build in control print with ad­ N'installer que des cartes im­
Nennfrequenz 716 Hz einbauen justed nominal frequency 716 Hz prion8es qui sont ajustees pour
(ohne R 73). only (without R 73). une fr&quence nominale de 716 Hz
(sons R 73)

27
7. Wortung 7. Maintenance 7. Entretien
Die PFEIFFER-TURBO und Antriebs­ The PFEIFFER TURBO pump and the Lo TURBO-PFEIFFER et l'electro­
elektronik sind wei tgehend wa.r­ drive electronics TCP require nique de commonde TCP ne demon­
tungs frei. very little maintenance. dent qu'un minimum d'entretien.

7,1 Olwechsel 7, 1 Oil change 7, 1 Changement d' huile

Var der ersten Inbetriebnahme im Prior to putting the pump into Avant lo premi�re mise en marche
Werk werden die beiden Dochtkam­ operation for the first time at d l'usine, on remplit les deux
mern mit je 6 cm3 01 Tl2 gefUllt. the factory, the two wick cham­ bo1tes d meche de 6 cm3 d'huile
Diese Olfullung bleibt beim Ver­ bers ore filled with 6 cm3 of T12 chacune. Cette quantite
sand in der Pumpe und ist nach ca, Tl2 oil each, This oil filling d'huile reste dons ld pompe pour
5000 Betriebsstunden zu erneuern. remains in the pump for shipment l'expedition et doit etre changee
and hos to be replaced ofter ap­ au bout de 5000 heures de fonc­
prox. 5000 operating hours. tionnement environ.

- Pumpe ous der Anlage ausbauen. - Remove pump from plant. - Sortir lo pompe de !'installa­
- Vier VerschluBschrauben herous- - Unscrew the four locking screws. tion.
schrouben. - Put down the pump horizontally - Devisser les 4 vis de fermeture.
- Pumpe horizontal so legen, daB ih such a manner that two wick - Placer lo pompe horizontalement
zwei der Dochtkammerbohrungen chamber bores ore on top and de fa�on d ce, que deux des per­
nach oben und die anderen bei­ the other two at the bottom. �oges de lo bo!te a meche soient
den nach unten zeigen. - Fill in approx. 20 cm 3 of Tl2 diriges vers le haut et les deux
- Hit Injektionsspritze ca. 20 cm 3 oil as continuously as possible outres vers le bas.
01 Tl2 in einem Zeitraum von co. into each wick chamber bore on - A l'aide d'une seringue, intro­
5 Hinuten moglichst kontinuier­ top by means of on injection sy­ duire env, 20 cm 3 d'huile T12 de
lich in jede der beiden oben ringe for approx. 5 minutes, fa�on continue en 5 min, env.
liegendeh Dochtkommerbohrungen - During the filling operation, dons chocun des deux per�oges
einfUllen, the oil draining from the cor­ diriges vers le haut.
- Wohrend des EinfUllvorganges ist responding lower wick chamber - Pendant cette operation, recueil­
dos aus der jeweiligen unteren bore hos to be collected. Do lir l'huile qui s'ecoule par les
Dochtkammerbohrung ausflieBende not reuse the collected oil. deux per�oges inferieurs. Ne pas
01 oufzufangen. Aufgefangenes - The quantity of collected oil reutiliser cette huile,
01 nicht mehr verwenden. should be approximately the same - Lo quontite d'huile recueillie
Die oufgefongene Olmenge sollte as the quantity that was filled doit correspondre d peu pres d
etwo der eingefUllten entspre­ in. celle introduite.
chen. - Close the wick chamber bores. - Refermer las per�ages.
- Dochtkommerbohrungen verschlies­ - The pump is ready for operation. - Lo pompe est prete a fonction-
sen. ner.
- Pumpe ist betriebsfertig.

Die jeweils gegenUberliegenden


Pfeile geben die Lage der Ver­
schluBschrouben zu den beiden La­
gern on.

1ne apposite arrows indicate the


position of the locking screws
with respect to the two bearings.

Les fleches qui se font face de


chaque cote indiquent la position
des vis de fermeture pour les
deux poliers.

F.ig. 13

28
7,2 Reinigung 7.2 Cleaning 7.2 Nettoyage

Bei leichter Verschmutzung z.B. When contamination is only light, En cos de legere pollution, par
durch �lniederschlage konn die e.g. oil deposits, the pump can ex. par depot d'huile, on peut
Pumpe in unzerlegtem Zustond ge­ be cleaned in assembled condi­ nettoyer lo pompe sons lo demon­
reinigt werden, Hondelt es sich tion. If however contamination is ter, Mais s'il s'agit de matieres
jedoch um schwerlosliche Medien by insoluble media or severe, the difficilement solubles ou si la
oder liegt eine extreme Ver­ pump must be stripped down com­ pompe est fortement polluee, il
schmutzung vor, mu8 die Pumpe pletely, a process which should fout demonter entierement la pom­
vollkommen demontiert werden, be carried out by our service en­ pe. Pour celo, il est necessaire
Hierzu sollte grundsatzlich unser gineers. de faire appel d nos services, de
Service herongezogen werden, de­ fa�on d assurer par lo suite un
mit die Gewohr fUr wieder einwond­ bon fonctionnement.
freies Arbeiten gegeben ist.

Ein Zeichen fur die Verschmutzung An indication of the contamina­ Un signe de pollution de lo pompe
der Pumpe ist, wenn der gewUnsch­ tion of the pump, is when the de­ est donne par lo non obtention du
te Arbeitsdruck nicht mehr in der sired working pressure con no vide de travail desire dons le
Ublichen Zeit erreicht wird, ob­ longer be obtained in the usual temps qu'il folloit ouporovont
wohl sich die Leck- und Desorp­ time, even though there hove been pour l'obtenir, et ce, quoique le
tionsrote nicht verondert hat, no changes in leak and desorption taux de fuite et taux de desorp­
rote. tion n'oient par varie.

-----.= 3
--�----------'--� -- -
4
C:4()-152

Fig. 14

1 TPH 110, TPU 110 1 TPH 110, TPU 110 1 TPH 110, TPU 110
2 moximoler Flussigkeitsspiegel 2 max. fluid level 2 Niveou max. du fluide
3 Frigen 113 oder Freon TF 3 Frigen 113 or Freon TF 3 Frigen 113 OU Freon TF
4 Behalter 4 Reservoir 4 Reservoir

Cleaning of the pump when assem­


Reinigung im unzerlegten Zustond bled Nettoyoge sons demontage
- Pumpe obschalten und ouf Atmos- - Switch off the pump and vent it - Arr�ter la pompe et la remettre
pharendruck fluten. to atmospheric pressure. d la pression atmospherique.
- Pumpe ous der Anlage demontieren. - Diassemble pump from plant. - Sortir lo pompe de !'installa­
- Wenn vorhanden, Heizung obnehmen. - Remove heater, if any. tion.
- Pumpe senkrecht, mit AnschluB- - Put pump vertically into o suit- - S'il yo lieu, defoire la che­
flansch noch unten, in possen­ able vessel with the inlet mise chauffonte,
den Beholter stellen. flange pointing downward. - Placer la pompe verticolement,
Frigen 113 oder Freon TF in den Fill Frigen 113 or Freon TF in­ bride de roccordement vers le
Behalter fUllen, bis Edelstohl­ to the vessel until the stain­ bas, dons un recipient appro­
gehouse der Pumpe (siehe Mor­ less steel cosing of the pump prie.
kierung) eingetoucht ist. Der hos been immersed (see marking). - Introduire du Frigen 113 ou du
lockierte Tei! der Pumpe mu8 The pointed port of the pump Freon TF dons le recipient
frei bleiben. must not be immersed. jusqu'd ce que la corcasse de la
- Frigen co. 5-10 Minuten einwir­ - Let the pump be exposed to the pompe trempe dons le liquide
ken lessen. Frigen for approx. 5 to 10 mi- (voir marque). Lo partie loquee

29
- Pumpe in dieser Zeit mehrmals nutes. de la pampe ne doit pas etre
langsam heben und senken, so During this period, slowly lift imergee,
daB an den Stator- und Rotor­ and lower the pump several times - Loisser agir le Frigen 5 d 10
scheiben eine SpUlung statt­ to allow for the stator and ro- min env,
findet. tor discs to be flushed. - Pendant ce temps, soulever et
- Vorgang mit neuem Frigen minde­ - Repeat this operation at least oboisser la pompe plusieurs fois,
stens einmal wiederholen. once with fresh Frigen. ce qui provoque un rin�age des
- Pumpe aus dem Bad herausnehmen - Toke pump out of the bath and disques du stator et du rotor.
und co, 30 Minuten mit Flonsch put it on a grille or suchlike - Recommencer toute !'operation
nach unten auf einen Rost oder with flange downwards for approx, au mains une fois ovec du Fri-
ohnliches stellen, demit die 30 minutes in order to allow for gen propre.
Frigenreste verdompfen. the residual Frigen to evaporate, - Sortir lo pompe du boin et leis-
- Pumpe wieder in die Anloge mon­ - Refit the pump into the plant. ser celle-ci au mains 30 min,
tieren, bride vers le bas sur une grille
ou similaire pour que les restes
de Frigen s'evopore.
- Rementer lo pompe dons !'instal­
lation.

7,3 Logerwechsel 7.3 Replacement of the bearings 7.3 Remplacement des poliers
Ein Logerwechsel an der PFEIFFER­ The bearings of the PFEIFFER TUR­ Le remplocement des poliers sur
TURBO ist grundsotzlich beim Be­ BO con in any case be replaced une TURBO-PFEIFFER peut parfaite­
treiber moglich, d,h., die Pumpe by the customer, i.e. the pump ment se faire chez l'utilisoteur,
konn ohne erneute Auswuchtung des con be put into operation with­ c.d d. que lo pompe peut etre re­
Rotors wieder in Betrieb genommen out having to rebalance the ro­ mise en service sons nouvel equi­
werden. tor first. librage du rotor,

Zum Logerwechsel sollte der Ser­ The replacement of the bearings Pour changer les paliers, il faut
vice herangezogen werden, jedoch should be performed by the main­ faire oppel au service apres-ven­
kann der Wechsel auch von ange­ tenance department, it can, how­ te, mais l'utilisateur, si son
lerntem Personal des Betreibers ever, also be carried out by se­ personnel est entroine, peut pro­
vorgenommen werden. mi-skilled staff of the customer. ceder lui-meme d !'operation.
AuskUnfte und Montogeanweisung Particulars and assembly instruc­ Conseils et instructions de mon­
ouf Anfrage. tion upon request. tage sur demonde.

Werkzeuge fUr Logerwechsel Tools for bearing replacement Outillage pour le chongement des
paliers
Ratorhalter PM 003 427 -U Support for the rotor PM 003 427 -U Appui pour le rotor PM 003 427 -U
Abzieher fur Unter- Puller far the lower port of the Arrache pignon pour la portie
teil PM 003 425 -U pump PM 003 425 -U inferieure PM 003 425 -U
Schlussel for Lager- Spanner far the nut of the bee- Cle pour l'ecrou du
mutter PM 003 424 -X ring PM 003 424 -X polier PM 003 424 -X

8. Storungen und deren Behebung 8. Troubles and their remedies "


o, Pannes et moyens d'y remedier
Hiermit sol! die Moglichkeit ge­ This description shall enable you Les indications ci-dessous permet­
geben werden, Storungen, die to locate and possibly remedy tent de localiser et event. de re­
im TCP ouftreten kannen, zu lok□- troubles which may occur in the porer les ponnes pouvont se pro­
lisieren und evtl. zu beheben. TCP unit. duire dons le TCP.

Tritt eine Storung auf, so sollte If a trouble occurs, you should S' il y a une panne, il faut
zunachst geprUft werden: first check the following: d'□bord verifier:

- Netz und AnschluBkobel - Mains and �onnecting cable - Le secteur et le cable de bran­
- KUhlwosserfluB - Cooling water flow chement
- Varvokuurndruc k ( ..-.:: 10-1 rn bar) - Fore-vacuum pressure - La circulation de l'eau de re­
- Leckrote des Systems. ( .c: 10-1 mbar) froidissement
- Leak rate of the system. Lo pression vide primaire
( ""' 10- 1 mbar)
- Le taux de fuite du systeme.

30
8.1 Check-Liste TCP 270

I Gerat sch□ltet vor Erreich en des Drehz□hlsch□ltpunktes ob


II Nenndrehz□hl der TURBO- Pumpe wird nicht erreicht
11 Sicherung (e9, Power ) brennt durch
II Sicherung (e 10, Control) brennt durch
II TURBO-Pumpe 1·du ft nur l□ngsam
111 TURBO-Pump e lauft nicht an
•• Gerat f unktioniert nicht (Kontrallampe brennt)
II Gera t funktioniert nicht (Kontrollampe □us)

t G erat schaltet nach langerem Betrieb ab

Druck zu hoch (p � 1 mbar)


- LeckprUfung
- Vorpurnpe prUfen

falsche Netzsp□nnung
- Kabel und AnschlUsse am Eing□ng © prUfen
- Sicherung (e9) prUfen, ggf. austauschen
- Sicherung (elO) prUfen, ggf, □ustauschen

~-1-- e--- KurzschluB am Tr□fo m2 sekundarseitig


- alle Steckverbindungen auBer 16 am Steuerprint trennen
- Trafo, Gleichrichter und verb]eibende Bauteile prUfen,
ggf. □ustauschen (siehe Schaltplan)
- Leistungstransistoren, Schaltnetzteil und Endtransistoren
UberprUfen

Trafo m2 prUfen (siehe Schaltplan), ggf. aust□uschen

Trafo m3 prUfen, ggf. aust□uschen (siehe Schaltplon)

Uberhitzung des Motors oder dcr Antriebselektronik (therrni­


scher Uberlastungsschutz)
- Falsche TURBO-Pumpe an TCP
- Sch□ltnetzteil auf dem Steuerprint UbcrprUfen (siehe Fehlersuche)

Steuerprint
- Hallsondenversorgung defekt
- Drehzahlregelung defekt

H□llsonden
- defckt, prUfen, ggf. Antriebsstator austauschen

Endstufentransistoren und/oder Dioden auf Endstufenprint


- Ausgangssignale prUfen

nur bei angeschlossener Uberwachung an dl; d2

Steuerprint
- DrehzahlUberwachungsteil defekt
- Zeitglied arbe.itet nicht
- Zeitglied falsch eingestellt

·- Relais dl, d2 prUfen: Versorgungsspannung 2,1 V, DC,


ggf. austauscheri

31
8.1 Checklist, TCP 270

,. Unit switches off prior to hovi ng reached the speed switchpoint


••The roted speed of the TURBO pump is not reached
11 The fuse (e9, Power) blo WS
I The fuse (elO, Contr ol) blows
,1 The TURBO pump r uns very slowly
11 The TURBO pu mp does not start
•• The unit does not function (pilot lamp lights)
It The unit does not function (pilot lamp off)
,1 T he unit switches off ofter extended operation

Pressure too high (p =!: l mbar)


- Leak test
- Check bocking pump

Incorrect mains voltage


- Check cables and connections at input ©
- Check fuse (e9), replace if necessary
- Check fuse (elO), replace if necessary

Short-circuit at secondary side of transformer m2


- Disconnect all plugs from the control print, with
the exception of I6
- Check transformer, rectifier and remaining components,
replace if necessary (see wiring diagram)
- Check power transistors, circuit power pack and output
transistors

Check transformer m2 (see wiring diogrom),replace if necessary

Check transformer m3, replace if necessary (see wiring diagram)

Overheating of the motor or the electronic drive unit


(thermal overtemperature protection)
- Wrong TURBO pump at TCP
- Check circuit power pack on the control print (sec Troubleshooting)

Control print
- Hall probe supply defective
- Speed control defective

Holl.probes
- defective, check; replace drive stator if necessary

Output stage transistors and/or diodes on output stage print


- Check output signals

Only for monitoring system is connected to dl; d2

Control print
- Speed monitoring section defective
- Timer not functioning
- Timer not correctly set

Check relays dl, d2: Supply voltage 2-1 V D.C.,


replace .i r necessary

32
8. 1 Check-List TCP 270

u L'appareil se coupe avant d 'avoir atteint le point de commutation de lo vitesse


It La pompe TURBO n'atteint pas so vitesse nominale
II Le fusible (c9, Powe r) saute
It Le fusible (elO, Control) saute
O La pompe TURBO ne tourne que lentement
••
'. '.
La pompe TU RBO ne se met pas en marche
L'appare il ne fonctionne pas (la lampe de contr&le est allumee)
L'appareil ne fonctionne pas (la lampe de contr&le est 6teinte)
u L' appareil se coupe au bout d'un certain temps de fonctionnement

Press ion trop elevee (p ="" 1 mbar)


- verifier qu'il n'y a pas de fuite
- verifier la pompe primaire

Tension de secteur fausse


- Verifier coble et branchemen t a l 'en tree @
- Verifier le fusible (o9), event. le remplacer
- Verifier le fusible (elO), event. le remplacer

Court-circuit au transfo m2 cote secondoire


- Sortir toutes les fiches de branchement en dehors de 16 du circuit
imprime de commande
- Verifier, event. remplacer le transfo, le redresseur et les outres
elements restants (voir schema electrique)
- Verifier les transistors de puissonce, le bloc d'alimentotion de
cornmande et les transistors d'etage final

Verifier le transfo m2 (voir schema 6lectrique), event, le remplacer

Verifier le tronsfo rn3 (voir schema electriquc), event. le remplocer

Surchauffc du moteur ou du commande electronique (protection ther­


mique contre lo surcharge)
- Pornpe TURBO non adaptee au TCP
Verifier le bloc d'olimentation de comrnande sur le circuit 1m­
prime de cornmande (voir recherche des pannes)

Circuit imprime de commonde


- Alimentation des sondes de Hall defectueuse
- Regulation de la vitesse defectueuse

Sondes de Hall
- defectueuses, verifier event. remplacer le stator d'entrainernent

Transistors d'etagc final et/ou diodes sur le circuit imprime d'etage final
- Verifier les signaux de sortie

Seulement avec contr6le branch& sur dl; d2

Circuit imprime de commande


- Appareil de controle de la vitesse defec tueu,:
- Relais temporise ne fonctionne pas
- Relais temporise rnal regle

Verifier les rclais dl I d2: tension d'alim entation 24 V, DC


event, les rem placer

33
8.2 Steuerprint 8.2 Control print 8.2 Circuit imprim8 de commande

8.2. 1 Ausklappen des Steuerprints 8.2. l Unfolding the control print 8.2. 1 Enlevement du circuit im­
prim8 de commande
Der Steuerprint befindet sich von When viewed from the f rant, the Ce circuit se trouve le long de
vorn gesehen an der linken Gerti- control print is situated at the la paroi gauche de l'appareil vu
tewand. Der Print ist wie fol gt left-hand unit wall. The print de face. Pour le sortir, il faut
aus dem Geri:it auszukloppen: must be unfolded from the unit as proceder de la fa�on suivante:
follows:
- Deckel und linkes Seitenblech - Remove cover and left-hand late­ - Enlever le couvcrcle et la tOle
abnehmen. ral cover. de revetement laterale.
- Seide Befestigungsschrauben on - Loosen bath fixing screws at the - Defaire les deux vis de fixa­
Frontseite und RUckwond des front and rear of the longitu­ tion sur la plaque frontale et
Li:ingsprofils !Osen. dinal section. a l'arriere du profil longitu­
- Steuerprint onheben und seit­ - Lift the control print and un­ dinal.
lich herausklappen (Fig. 12). fold laterally (Fig. 12). - Soulever le circuit et le sor­
tir sur le c8te (Fig. 12).

8.2.2 PrUfen des Steuerprints 8.2.2 Checking the control print 8.2.2 Verification du circuit im-
prime de commande
Samtliche Steckverbindungen bis Disconnect all plug-in connec­ D8faire taus les raccords a fiche
auf 16 trennen. tions, with the exception of 16. a l'exception de 16.
Achtung ! Caution ! Attention !
Nur om Steckergehi:iuse ziehen � Only pull at the plug shell. Tirer sur la fiche et non sur le
Ziehen om Droht fUhrt zum Ab­ If you pull at the wire, this fil, ce qui aurait pour effet de
reiBen der Kabel. leads to a rupture of the cables. l'orracher.

Vor der UberprUfung des Steuer­ Prior to checking the control Avant de verifier le circuit de
prints sollten Sicherungen, Trafo print, the fuses, transformer and co�mande, il y a lieu de tester
und Gleichrichter getestet wer­ rectifier should be tested. les fusibles, le transfo et le re­
den. dresseur.
Noch dem Einschalten muB Relais After switching on, the relay d2 Apres enclenchement, il faut que
d2 anziehen und Signollampc should attract, and the pilot le relais d2 soit attir8 et que
11 Power
11
aufleuchten, lamp ''power'' should light. la lampe de signalisation ''Power''
s'allume.

d2 zieht nicht an: d2 does not attract: d2 n'est pas attire:


J6/42 -J6/4l = 220 V (110 V), Check ]6/42 ]6/41 whether it is ]6/42 J6/4l = 220 V (110 V),
elO prUfen, Betriebsspannung ICl 220 V (110 V), elO. Check opera­ verifier elO. Verifier la tension
und 2 prUfen. ting voltage of IC 1 and 2. de fonctionnement ICl et 2.

IC l (TAA 861) Pin 1 -o + 15 V IC l (TAA 861) Pin 1 ---0 + 15 V IC (TAA 861) Pin 1 ---:J + 15 V
IC 2 (XR 320) Pin 14-0 + 15 V IC 2 (XR 320) Pin 14-1 + 15 V IC 2 (XR 320) Pin 14-0 + 15 V

d2 zieht an: d2 attracts: d 2 est attire:


am Gleichrichter Gr4 + Pol ge­ Approx. 50 V D.C. at rectifier Sur le redresseur Gr4 + p ol cen­
gen Geri:ite-Null ca. 50 V DC. Gr4 + pole against zero of unit. tre le z8ro de l'apparei l env.
5 0 V DC.

PrUfen der Sponnungsversorgung Checking the voltage supply Verification de l'alimentation de


la tension

Stecker J5 aufstecken Plug in plug J5 Enfoncer lo fiche J5


J5/27 - 0 = - 4,5 V DC J5/27 0 - 4,5 V DC J5/27 0 4,5 V DC
J5/28 0 - 2,0 V DC J5/28 0 - 2,0 V DC J5/28 0 2,0 V DC
J5/30 O + 15 V DC J5/30 0 + 15 V DC J5/30 0 + 15 V DC

Falsche oder fe�lende Sponnung Check whether there is incorrect Tension mauvaise ou absente ave­
an IC 12 und T 12 UberprUfen, or no voltage at IC 12 and Tl2, rifier sur IC 12 et T 12,

Wechselspannung: A.C. voltage: Tension alternative:


J5/3l - J5/32 4 V AC J5/3l J5/32 = 4 V AC J5/3 l - J5/32 4 V AC
J5 /33 - J5/34 18 V AC J5/33 - J5/34 18 V AC J5/3 3 J5/34 18 V AC

Liegt Spannung nicht an Trafo, If the transformer is not alive, S'il n'y o pas de tension au trans­
UberprUfen. check, formateur, verifier.

34
Prufen der IC-Betriebsspannungen
Checking the IC operating voltages
Verification des tensions de fonctionnement IC

Stecker Jl bis J4 einstecken


Plug in plugs Jl to J4
En foncer les fiches Jl d J4

IC 6 + 7 Von/from/de Pin 14 0 + 15 v.
IC 4 + 5 vo n/ from/d c Pin 7 0 + 15 V
IC 4 + 5 von/from/de Pin 4 0 - 2V
IC 8 von/from/de Pin 4 + 8 0 + 15 V
IC 9 Von/from/de Pin 7 0 + 15 V
IC 9 van/from/de Pin 4 0 2 V

IC 10 von/from/de Pin 1 0 + 15 V
IC 10 van/ from/ de Pin 4 0 - 2 V
IC 11 von/from/de Pin 8 0 - 2 V
IC 11 van/from/de Pin 15 0 + 15 V

PrUfung Scholtnetzteil Checking the circuit power pack Verification bloc d'alimentotion
de commande
Mit Oszilloscope Signal on T13 mes- Measure signal at T13 with on as- Mesurer le signal au T13 avec un
sen: Basis Jl/6 gegen 0, cilloscope: base Jl/6 against 0, oscilloscope: base Jl/6 contre O.
Amplitude 50 V, 20 kHz Amplitude 50 V, 20 kHz. Amplitude 50 V, 20 kHz.

+sov

ov
- .5V

Fig. 15
Signal Scholtnetzteil
Signal from circuit power pack
Signal du block d'olimentation
de commonde

Fehlt dos Signal, dann ist bei If the signal at negative base Si le signal monque le potential
negotivem Bosispotentiol: potential is missing: de base etont negatif:
ThermofUhler om KUhlkorper und Check thermo-sensor of the cooling verifier le polepur thermique ou
im Trofo zwischen J3/19 und J3/16 and in the transformer between corps refroidissont et dons le
zu UberprUfen (co. 200 Ohm). J3/19 and J3/16 (approx. 200 Ohm). transformoteur entre J3/19 et
JJ/16 (env. 200 Ohm).

bei positivem Bosispotentiol: for positive base potential: en cos de potentiel de base posi­
tif:
Steuerprint vnd T13 ouszutauschen. Replace control print and Tl3. Remplacer le circuit imprime de
Vor erneuter Inbetriebnahme End­ Check the output stage transistors commonde et 113. Avant de remettre
stufentransistaren UberprUfen. prior to again putting it into ope- en morche, verifier les transistors
ration. d'etage final.
PrUfen der Treiberstuf� Checking the driver stage Vcrificotion de l'etage driver
Hollsondenversorgung: Holl probe supply: Alimentotion des sondes de Hall:
Spannungsversorgung Uber Rl7 (120 Voltage supply via R 17 (120 Ohm/ Alimentation de lo tension par R17
Ohm/ l W) 5 V DC. Bei vorhandener 1 W) 5 V D.C. If Holl probe supply (120 Ohm/ l W) 5 V DC, Si l'ali-

35
Hallsondenversorgung Signale mit is present, check signals by means mentotion des sondes existe, veri­
Oszilloskop prUfen, of on oscilloscope. fier les signoux ovec un oscillos­
cope.

200 s

Fig. 16
Hallsondensignnl var Operotions­
verstarker
Holl probe signal in front of ope­
rational amplifier
Signal de sondes de Holl avant orn­
pl if icotevr operationnel

gemessen zwischen measured between mesure entre


J4/25 und J4/26 J4/25 and J4/26 J4/25 et J4/26
J4/24 und J4/23 J4/24 and J4/23 J4/24 et J4/23

Mit Men- und PrUfodapter gemessen Measured with testing adopter Hesure cvec odopteur de mesure
zwischen between entre
62-63 und bl-64 bei vorhandener b2-b3 and bl-b4 if Hall probe 62-63 et bl-b4 si l'alimentotion
Hollsondenversorgung. supply is present. des sondes Holl est existent.

Die Hollsondensignole werdcn im The Holl probe signals ore further Les signoux des sondes de Holl
Operotionsverstorker weiterveror­ processed in the operational am­ sont troltes dons l'amplificoteur
beitet. plif icr. operationnel.

Fig. 17
Hollsondensignol noch Operotions­
verstorker
Hall probe signal ofter the ope­
rational omplifier
Signal de sondes de Holl apres ain­
plificotevr operationnel

gemessen zwischen measured between mesure entre


Pin 6 IC 4 und IC 5 gegen Null. Pin 6 IC 4 and IC 5 towards zero. Pin 6 IC 4 et IC 5 centre zero,

Ausgongssignol der Logik Output signal of the logic Signal de sortie de lo logique

gemessen om measured at mesure en


Pin 3, 4, 10, 11, am IC 7 gegen Pins 3, 4, 10, 11, at IC 7 towards Pin 3, 4, 10, 11, en IC 7 centre
Nul1. zero. zero.
36
Fig. 18
Ausgangssignal der Logik
Output signal of the logic
Signal de sortie de la logique

Ausgangssignale der Endstufentran­ Output signals of the output Signaux de sortie des transistors
sistoren stage transistors d'etage final
Die Amplitude andert sich in Ab­ The amplitude changes as a func­ L'amplitude varie en fonction de
hangigkeit van der Drehzahl zwi­ tion of the speed between zero la vitessc entre O et 90 V.
schen Null und 90 V. and 90 V.

Mit MeB- und PrUfadapter messen To be measured with testing sen- A mesurer avec l'adapteur de me-
zwischen: sor between: sure entre:
al - a2 al - a4 al a2 al a4 al a2 al
al - a3 al - a5 al - a3 al a5 al -
a3 al
a4
a5

fig. 19
Signal am Kollektor der Endstu­
fentronsistoren
Signal at the collector of the out­
put stage transistors
Signal au collecteur des transis­
tors d'etage final

9. Ersatzteile 9. Spare Parts 9. Pieces de rechange


Die wichtigsten, in der beiliegen­ The principal spare parts listed Les principales pieces de rechan­
den Ersatzteilliste aufgefUhrten in the enclosed Spare List can ge reprises dons la liste ci-jointe
Austauschteile sind ab Lager lie­ be supplied ex stock. sont livrables de stock.
ferbar.

Technische Anderungen bchalten Technical modifications reserved. Toutes modifications techniques


wir uns var. rE!servees ..

37
1)

1----l f-------" 012


C12 2,2n� R":O --:· p 6 �

J
1

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Rs3 69 ZPC 1CV ,K 1�
SBOE
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R 64 J 1/1
01� -(,,51,1
1N41o'.9 JSJ21

J'5-i28

Jl/4

JSl}G

Jl/1

Jl/9

C4
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IOOµf40V

Gr1
SllSCI000/700

04
11-·H.1.f.8

10

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Coolfog pi111-i:::1-
Pie�0a- ,;I,:, r�h-oic:li�:se..i;:.,t
PM 001980-S

38/39
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0

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mit Relais
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TCW 001 . App,
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TLIRBO-He1zurg,
. / Ch "" ff age TURBO
0
0 ,

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L,,ftkUhlung_,/' Air cool119.,
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I 1'Rfroid.'.ssement par "',
co Kuhlaggrega t/ CooE,g ur,_'tII Systeme de r.
�froidissemert
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I
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i TPU /TPH - 110/270
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PM005204�x

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PM001980-S

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TCP 270 I

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TCS 101
(�)·

.__ _______

1) Bei Fernbedienungsanschh,B Brue.ken eritfernen


Remover bridges ol remote control connection . I.
I
u�J
Fnlevez les ponts pour lo connexion de la tel€'comrnandc�

°
2) Bei Roumteniperatur � 24 C geschlossen 2 3 4
Clo�ed ot ambient temperature � ?4 C
°

Fermie IJ lo tAmpCrature ombiente;;::: 2� C.


°

71 Bei LuftkUhlung gebruckt


When □ir�c.oolecl bridged
En cos de refroidissement a oi� il
TS,P 011) TVI [:10
foi.it faire le pont.
6 7 9

KUhlwosserw□c:hter 2 Vorp\.Jrnpe 3 Kuhlaggregat oder Luftkuhlung 4 Hei:zung


Cooling water monitor Racking pump Coaling unit or oir cooling H�oi-ing
Controlleur ecu de refroidissement Pompe primoire Systeme de refroidissen1ent ou Chau ff ago
refroidissement par air

5 Fernbedienung 6 Stromausfall fluter 7 Flutventil Rezipient 8 HV-Venl il


Remote control Emergency venting volve Air inlet valve, chamber HV valve
1
T�lecommande Vonne de rornise d l � oir Vonne d entr8e d'a..ir, Vm1ne O vide
en cas dP. coupv:re de qouront r�cipient e1eve

9 Fl utven ti 1 TURBO-Pumpe
Air inlet v□lve TURBO pump
Vonne d' entre-e d I air/ pompe ruRRO
Fig. 7

PM 005 227-S
41
MeB-PrUfodapter Testing adopter Adopteur de contr6le
Bestell-Nr. PM 001 210 -X Code no, PM 001 210 -X No. de cotologue PM 001 210 .-X
Wird zwischen PFEIFFER-TURBO To be connected between the A broncher entre PFEIFFER-TUR­
TPH/TPU 100 bis 500 und Ver­ PFEIFFER-TURBO TPH/TPU 100 to BO TPH/TPU 100 d 500 et coble
bindungskobel der zugehorigen 500 and the connecting coble de connexion de lo commande
Antriebselektronik TCP geschol­ of the pertaining electronic electrique TCP appartenonte.
tet. drive unit TCP.

2 Verlangerungsprlnt entfallt 2 Extension print card not neces­ 2 Carte imprimee de prolongation
sary pas necessoire

3 und 4 PrUfkobel 3 und 4 Testing cable 3 et 4 Cables de prolongation


12-pol., Ausgong
12 poles input
a 12 poles
Bestell-Nr. PM 001 212 -X sortie No. de catalogue
Code no. PM 001 212 -X
12-pol., Eingong PM 001 212 -X
12 poles output
Bestell-Nr. PM OOl 281 -X
Code no. PM 001 281 -X a 12 p6les
entree No. de catalogue
Diese Kobel dienen zum elektri­
schen Anschlu8 oller Antriebs­
These cables con be used for PM 001 281 -X
the connection of oll electro­
elektronik-Gerate TCP, wenn
nic drive units TCP for the Ces cables sont d utiliser
diese fur Messungen ous dem
case that they must be removed pour taus les unites de common­
Uberrohmen TCU oder d�m Rock­
from the frame TCU or the rock de electroniques TCP, quond
schronk herousgezogen werden
cabinet. ceux-ci doivent etre enlevees
mUssen.
pour les trovoux de mesure du
chassis TCU ou du Rack modu­
loire.

5 Prufkobel fur TCS 100 5 Testing coble for TCS 100 5 Cables de prolongation pour
Bestell-Nr. PM 001 213 -X Code no. PM 001 213 -X TCS 100
Wie bei 3 und 4 Same os for 3 and 4 No. de catalogue PM 001 213 -X
comme pour 3 et 4

6 Frequenzzahler COUNTER 2001 6 Frequency counter 2001 6 Compteur de frequences 2001


Bestell-Nr, PM C 00120 Code no. PM C 00 120 No. de catalogue PM C 00 12 0
Zurn Messen der Drehfrequenz Suitable specially for measu­ Speciolement odapte pour lo
on Turbo-Molekulorpumpen be­ ring of the rotation frequency mesure des frequences roto­
sonders geeignet. of turbo molecular pumps. tives des pompes turbo-molecu­
Dos Gerat ist mit Eingangsfil­ The unit is equipped with on lofres. L'instrument est equi­
ter (Scholterstellung Filter), input filter (position of pe d'un filtre �•entree(posi­
modernen Scholtkreisen und Dio­ switch: filter) modern circuits tion de l'enclencheur: FILTER
denonzeige ousgestottet. and diode display. des circuit de bronchement mo­
Eingongssponnung: max. 220 V Input voltage: 220 V max,• dernes et d'une indication d
Frequenzbereich: 0 - 1999 Hz Range of frequency: 0 to 1999 Hz diodes.
Mofle: (b x h x 1) Dimensions: width 110 mm Tension d'entr€!.: 220 V max,
110 x 60 x 180 mm height 60 mm Gamma de fr�quences: 0 d 1999 Hz
length 180 mm Dimensions: lorgeur 110 mm
houter 60 mm
longueur 180 mm

42
Stucl<zahl Title Nr. Pos.
Quantity Benennung Des lg nation ND. Item
No. de nieces No. de cat. Pos.
Set of seals Pos. 35-38, 43, 44,
1 Dichtungssatz 1 PM 003 492 -T
Jeu de joints 46, 50, 52-- ---

---------��-���---------- -- . ·-·�------·------- ---+-1-- - - - -


--l--+-------
Rubber bu ff er
4 Gummi full 4 PM 003 477 5
Butair en coavtschouc
Pressure spring
1 Druckfeder 2 PM 003 457 9
Ressort a pression
Pressure p iece
1 DruckstUck 4 PM 003 686 10
t--+---t-+---+------------�R�o�n_.d"=d='e _R! es s ion 0

Nut II
1 Mutter II 4 PM 003 196 A 13
Ecrou II
Ball bearing
1 Spindelkugelloger V x 7/7CEO 7/19 x 6 2 P 4004 314 DX 15
t---+---t-+--+----------- Roulemcnt roinurc a billes
- An tivibrotion ring II --- --- -- ----t---t-------
l Schwingring II 2 PM 003 203 20
Bogue de vibrat i on II
1--+---t-+--+---- - - - - -- ----- --- Splash washer II------ - � -- +--+- - ---- ----+----+------
1 Spritzscheibe II 4 PM 003 197 21
1--+---t- +-
- -+-------------------- Disque de graissage----II ·-·-· -· ----- - ------t-+-------
Nvt I
1 Mutter I 4 PM 003 194 27
1---+---t-+ - - 1------ ________.E-_cccrcco""'u'--'I�---· _ ____ - ·--- ----+--t---------t--t-------�
Rillenkugellager Boll bearing
12/28 x 8, 101 T 2 N 4001 318 CT 28
____________________,R �O_Ulf'lment _rqi�ure a bill es ·--- -- - ---t -1--
- ---- ---1--+-------
Antivibration ring I
Schwingring I 2 PM 003 203 29
>---+---+-+--+-- -
Bogue de vibration I ____
Splash washer I
Spritzscheibe I 4 PM 003 195 31
[)_:i� d_.,_graissage I
Washer
1 Scheibe 2 PM 003 199 32
>--+---,--+----+-------- - - - --Disque
0-ring
0-Ring 57 X 2,5 P 4070 853 PV 35
------------=J�o�i�n�t---=a�n�nu, laire rond
0-Ring 0-ring
75 X 3 P 4071 041 PV 36
Joint annvl□ire rand -· ---------------
0-ring
0-Ring 37 X 2, 5 P 4070 853 PV 37
Joint annulaire rond

I---+--+--+- -·- ·
0-Ring 0-ring
Joint annu��i!e rend
Wick
-· t I 12, 5 X 2 1 5 1 p 4070 204 pp
---------------+--t----------t- -
38
t--- - - -
-
2 Docht 1000 mm 2 P 2255 001 41
------------'-=�- Meche ·-·.
Heizmonschette Heating jacket
Chemise --chauffante 4 PM 003 413 -T 42
--------------- ·- -- ----+-----------+--tl-------- --tl----1--- - --- - -
0-Ring 0-ring
107 X 2,5 P 4071 267 PV 43
1---+--tc--+---+------ - - -
Joint annul□ire rand
·-------�----t - - - - - ---+--+----------+--
-
---
0-;in g
0-Ring 15 X 5 P 4070 262 PV 44
Joint __annulaire
_ rond
Drohtfeder Spring
Ressort 4 PM 003 198 45
- ····-------------------·-. ·--t-----------+--+--------+--t------
4 0-Ring O-ring
5 x I 15 1 P 4070 065 PV 46
1-+---t-+--+------ - - - - - -- _Joint cm nu la ire rand -----+-- - - ---- ----+--11---- -·-+--+------
Plug screw top
2 VerschluBschrauben oben 4 PM 003 193 47
1--- -+- --+-+--+------ - - -- - --V-�i.§. d 'obtu r:atfo_n_h�o�u_t�---t-----------;----t----------+---ti--- - - - - -
Hose nipple
2 SchlauchtUlle DN 6 4 PM 003 025 48
��-- -+---+---------- --· ----�O�l�i�v�e�d�e�t�u y�a�u______ ,.

2 Hohlschr a ube Hollow screw INOX, A6


4 N 4140 837 A 49
,-- Vis creuse _ _ _ -1J 12 x 1,5
USIT ring MS-NBR
USIT-Ring P 3529 142 50
Joint en USIT LJ 12 7/18 X 1 5
Spring
1 Feder 4 PM 003 689 51
Ressort
i---t----1---i---+------------- -- ---- -- ----- -t-----------+--+--------+---t------
0-ring
0-Ring 24,8 X 1,5 P 4070 417 PP 52
Joint annulpire_rond
Plug screw bottom
2 Verschlullschraube unten 4 PM 003 192 53
��- -+-+--f---_____ _ _ _ _ _ Vis d_' obturotion bas

>---1----,f----+--+------- - - - ---- -----· -- -


-----+--------- --t-+-- - - - ---+---t-------
-

---·

D1chtungen 1
· --- ·· -·- ---··. --··· -· ----�--------------------- --
rii��s
---+--t ARTHUR PFEIFFER
Fast-wearing Paris
.9 .2 VerschleiBteile 2
c c
_____ Pieces soumises a l"usure normale -- ·------- Vakuumtechnik
·
� � ,____ ___Rep1aCemBl1Tcan only bBdone in our Factory --i---i
�� Austausch nur im Werk Les pieces ne sont remplacables qu'en L i 3 Wetzlar GmbH
��- -�::_··------- -- -+- --t
Parts not Subject lo normal Wear
Keine VerschleiBteil<? Pieces non soumtses 8 l'usure normale 4 .--------------..
o,1-------------------------------------
ErscJt2tr.-illi-:-;te hjr '.
Spare parts 11st for
Pieces de rechange pour: TPH 110 TPU 110
7905
�---42
45

44

29-

28-
37-- l\:::O::Mfil��:sq==f������t:Jil
---,-- ...,,L,�...,.......,�
1
�-'------'-� 49
I h";::=:::z:z:=::;..,,........,

/:::•
/

5 0-
-38
52-
-------51

21- 53
20 ---....______""
46 48
46

35 41 10 13 15

44
·· ··50
I --51

59

52 53

Stuckzahl Nr. Pos.


Ouanti1y Benennung Title No.
Designation Item
No. de oieces No. de cat Pos.
Screw
2 Schravbe 4 N 3060 304 X 50
Vis --
Support
1 Halter 4 PM 006. 231 -X 51
Suooort
Support
1 Halter 4 PM 006 230 -X 52
_,_. ___ 5UQQOrt
Screw
4 Schraube M 5 x 16 4 N 3059 296 X 53
-· Vis --·-·-- -- �---�---·- .,.� ..- --·-··--
Vibration damper
3 Schwingungsdampfer
Armortisseur
8 X 8 x M3 2 p 3695 702 QE 54

1 LLlfter
Fan
115 v, 50-60 Hz 2 P 5099 251 Ul 55
--·-Vcntilatevr
Fon
1 Luft er
Ventilateur
220 V, 50-60 Hz 2 P 5099 251 U2 55
Nut
3 Mutter M 3 � i, 3115 037 M 56
--- 1----·
Ecrou -
Cap
1 Kappe 4 PM 006 201 57

--
Cauvercle

-�
----
Screw
-
2 Schraube
Vis ·--
M 4 X 10 4 N 3077 253 X 58
- ____ ___
-
.,

Cable
1 Kabel
Cable
l m � p 5099 257 Z1
--·· -
Finger protection
l Fingerschvtz
Protection des doigts 4 p 5099 251 Z5 59
Dichtung"n
Seals
1
---
Joints
ARTHUR PFEIFFER
C: C
00 VerschleiBteile
Fast-wearing Parts
Pieces soumises a l'usure norma�e 2 Vakuumtechnik
"-§ �
""''
uu
>< >< Austausch nur im Werk
Replacement can only be done in our Factory
Les pieces ne sont rempla�ables qu'en usine 3 Wetzlar GmbH
WW
Keine VerschleiBteile
Parts not Subject to normal Wear
Pieces nan soumises a rusure normale 4
::,
lo
Ersatzte,lliste fur Luftkuhlung fur
.::, Spare parts list for:
Air cooling for TPH 110
a air pour TPU 110
ui
Pieces de rechangP. prnn:
Refroidissement
:::,
<(
7904

45
SlUckzahl Nr. Pos.
Title No. Item
Quantity l:lenennung
No. de nieces
DCsignatiori No. de cat Pos.
Contra 1 print 172 CJ:'.0 PM 011 002 -X
Steuerprinl
____j:arte im2rimf: de commande
Base print PM 011 002 -X
Grundprint 1n 02:.0
Corte im_pri__me de bu•e
Fuse prinL PM 011 00·1 -X
Sicherungsprint 172 0c2 .0
- Circuj_t i111primC de rusible
Connect.ion print PM 011 005 -X
Klemmenprint. 17? Ot3.0
Flranchement erint
Final stage print 172 053.0 PM 011 006 -X
Endstufenprint
_F;_:l,oqe finale 12rint

--------,---------4-1----------1-
Relay FRl l p no V 7
Rel□ i. s r 0920 02'2 E
Contacteur El es La c7
Rel a�/ FRll P 110 V
Relais
P 0920 083 E 3
Contoctcur Elesl□ c7
Relay 20 K2
P 0920 0i:J,� E 9
Relais
______C�o::cntactcur -------- -- -i----'a\•!5.
:.:: �2F�:.::..::�
220 V c8
----=-----+-+
Relo_y_ _ 2 0 K2
P 0920 085 E 10
Relais _____C�ontacteur �- 2F _110 V_ _£ _

Rectifier Gr. 4
-- ---- --- ______,�,

Gleichricl-iter p 0920 086 E 12


Redresseur IR 2i.l.M8 20fBE
Diode p 0920 OB7 E 13
Diode [) 16 DSDI 1702
Diode
..__ --------- --- ----- -
Transistor 2 I 37 72 p 0920 088 E 1'"
Transistor
Tro.n.s.istor •. ------- ---
Transistor p 0920 089 E 15
4 Trans.istor 11P 142
--- - ... Tran�ilt.oJ.· ·- -· -----��-�-�- --
Thermo sens it i.vt: el�rnent R 76
Thermofuhler' p 0920 090 E 16
.Sensc.�iQJ.Je__ _ G. 63 100 P3.4l _____l22QJ__
Dl7 - D20
- - - - --�-- .
Zr-nier Diode p 0920 091 E 17
� Zener-Diode f;ZY 97 C91
_ _[J_i od c
_____ __J,_�n.er

Power transformer rn2 P 0920 092 E 20


Leistungstra fo Tnm�_Jorrnoteii.x_ po,ir force..JJJo�rice
Control transformer P 09?0 093 E 21
Steuertrofo m3
_ __ __ Trans forn,oteur de rc_gl_age

2 Relais
l<elay 24 V dl, d2 p 0920 000 f 23
J�_on"t_9_�_1:eur

----·--···--· - - ----- -+
Typ 900
1----1--1---+---j�-�------ --· I-
Fan p 5099 ?01 CA 25
Ventilator Ventila_�_,J_J;:___ 24V, 1_(1::- 60 J:k. ---+---+ -
-

--1---------­
Varistor p 0920 026 E 27
Varistor 250 V, Li\ 15 A
Var i_s t<:>i;___

I
S-lamp grun/ g reen/vert p 0920 105 L 29
S-L cur; hte
__ _ _________ S-l_arnE.£.__ ______
_ _

· -----
Druckschalter
- · --
� -• · ,, _________ _ Pressure S1-Jit.ch ''Pumping- unit.
bl
11
p 0920 106 E 31
--- - - - -------- - �nclcn��eur a pression
Pre� sure s1.-,itch 11 heating
p 0920 107 F 32
11

Druckschalter 62
Enclencheur a_ press ion___ 1

Lm, 25 0 -:-,
6,3 A
L�;4,
G-fosc r 4666 452 35
3 G-Sicherung
G-fusible _ __ _______ e,15, e16
__ --,---i-- - -- - - - +-
G-fusc ] 5x20, 250 V,3/fi\
P 0920 -rog E 36
- r f u..ss..=i-"b-=l..sec._ _________ .. r -'e""9'---------+--+---·-------1-
f-+--,f-+-f--G- .-S_.i._c_h_e_ _u_n_g______...,.:G
seals
7'.'.C1r.':
LJ1chtungen Joints
---- ----- ARTHUR PFEIFFER
c c -
- F8St•wead ng Pa·rts
V<)rsdileiB1efle i Vakuumtechnik
�� -·---� �:::-:_��-umise�- -�·--����=--�ormale
Replacement can only be done inOW"F"act-QrY�
� -� Austausch nur im Werk 3 Wetzlar GmbH
� \.ii t------------=L_es..,_ ' _ , e s ne sont remplay.ahlcs_q_
P e_c e__ ' u_e_,in_e_______ _ _
u n____
�=
--j_

Parts not SubJect to norn1al Wear


Keine Verschl0i81cilc Pieces non sournises a l'usure normale 14
[1'GDt7t0.1lli:;f{; h,r
Soarn par·ts list for: TCP 270
Pii:ce�j Ue rechange pour
781 I

46
41 .,,0

12

2 -

17

4I

25

15

, er 210
0 45 51 5o 49 <ia ""' 13
PMSOOo41£:oer
StUckzahr Tille Nr. Pos.
Quantity Benennung lfa. Item
No. de oieces Designation No. de cat. Pos.
G-fuse 5x20, 250 V, 0,2 A
G-Sicherung P 4666 422 37
G-fu�ible clO

Al-Elko 4700 uF, 360 V


Al-Elko P 0920 094 E 40
C24
Sc l f_ inducting coil Dv. 1
Drossel P 0920 095 E 41
Gobine de r&sist□nce ZKB 455 05 002

IC TAA 861 P 0920 096 f 43

IC 2 XR 320 P 0920 097 E 44

IC 3 TBA 625 P 0920 098 E 45


------- ------- - · -- -··-·----.
2 IC 4, IC 5 MC 1456 P 0920 099 E 46
2 IC 6, IC 7 CD 4011 P 0920 100 E 47

IC 8 555 P 0920 101 E 48


-·-1--1-- ··---····--· ---- · - ..... --·-·
IC 9 741 P 0920 102 E 49

IC JO 861 P 0920 103 E 50

IC 11 SG 352� P 0920 104 E 51


J--1---··

Speed i nd.i.cotor
Drehzahlonzeiger * PM 001 290 * P 0920 018 E 53
Indicoteur du nornbra

· · - --- ·--··-----··-t------
· ----i,-1.:;gboard
Steckerleiste
Riglctte d fiche
! 12 pol. P 4720 079 tJA 55

-- -+-------
Plug board
Buchsenlcisle 12 pol. P 4720 030 NA 57
Riglette d fiche
··-·----------- ----

·-- ·-·· -----�-�--------------t

!
·r-··----
.__�. +--+--+--------- r--- ·--------t-

Dichtungen
:;ea1s
Joints 1
Fast-wearing Parts
ARTHUR PFEIFFER
.5"51------
2.2 VerschleiOtcila 2 Vakuumtechnik
-· Pieces soumises a rusure normale
"" Rep1acemellt can OllfY"be doiie in our Factory Wetzlar GmbH
ID-IV
X X Aushm�r.h nur im Werk Les pii,ces ne sont rempla<;ables qu'en usine 3

o,1---------------------------------�4.-------....i
...
WW--------·---
Parts not Subjecl to normal Wear
Kcine VerschleiBteile Pieces non sournises a l'usu;e norm.ate
=> Ersat2teilliste fur·:
.c
:::::i Sr,inrr. part� li!:il for: TCP 270
� Pieces de rc-chrrn,yr. pour:
7811

48
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BALZEAS, Societe des Basses Pressions S.A., 47, rue d'Arthehn, F-92 190 Meudon, Tel. 626 08 14, Telex 26864
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