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Université de Jijel

FST/ Département d'Electronique / M1 Microélectronique


Matière : Techniques du vide et salle blanche (MIC 09 )

Examen à distance (Mars 2021)

(1,5 pt) Q1) Donner les raisons qui obligent à utiliser le vide dans l’industrie et la recherche
scientifique.

(2 pts) Q2) a) Comment on réalise un vide secondaire ?


b) Pourquoi on différencie entre les pompes pour vide primaire et celles pour vide
secondaire ?

(1,5 pt) Q3) Quelle est la raison pour laquelle on refroidit l’huile dans une pompe à diffusion
d’huile ?

(3,5 pts) Q4) a) Combien y a-t-il de filtres de poussière utilisés dans la définition des 9 normes du
Standard Salle blanche ISO 14644-1 ?
b) Donnez ces filtres.
c) Calculer la concentration des particules de poussière de taille ≥ 0,5 µm par m3 dans la
norme ISO3.
d) En déduire le volume de 1 pied3 en m3.
(1 pt) Q5) Pourquoi on met certaines pièces (chambres) en surpression dans une salle blanche ?

(3 pts) Q6) a) L’eau du robinet contient de fines particules et molécules indésirables qui peuvent
nuire (‫ )ﻳﺄﺛﺮﻭﻥ ﺳﻠﺒﻴﺎ‬aux semiconducteurs. Nommez-les.
b) Quelles sont les deux actions qu’on réalise pour rendre cette eau utilisable ?
c) Donner un ordre de grandeur de la résistivité de l’eau après avoir réalisé ces deux
actions.
(3 pts) Q7) a) Donner les formules chimiques des produits suivants : la potasse, l’acide
fluorhydrique, l’eau oxygénée, l’ammoniac, l’acide nitrique, le diborane, le silane, la
phosphine.
b) Indiquer dans chaque cas, s’il s’agit d’un liquide ou d’un gaz.
c) Donner l’information de danger correspondant à chacun des symboles suivants :
C1 C2 C3 C4

(3 pts) Q8) a) Faire correspondre chacun des codes suivants : R1, R14 et R41, à l’indication de
risque qui lui correspond.
b) Donner pour chacun de ces codes, tous les codes de phrases de sécurité qui
pourraient leur être associés.
(1,5 pt) Q9) Donner la fonction de chacun des instruments suivants : Spin coater, aligneur de
masques, profilomètre.
Important : Ne pas recopier ce qu’il y a sur le tableau. Il faut donner une définition ou expliquer d’après ce que
vous avez compris.
***** Bon Courage***

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