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Ces capteurs de pression piézorésistifs de haute précision ont fait leurs preuves durant plus de 25 années

dans des applications de haute performance commerciale et aéronautique.

La technologie piézorésistif utilise des jauges de contrainte implantées dans une membrane stable en
silicium. La membrane est coupée en dés, chacun contient un pont de jauge de contrainte. Il est protégé
du milieu extérieur par un boîtier étanche en acier inoxydable fermé par un joint métal à verre et une
membrane en acier inox.

La pression appliquée sur la membrane est transférée à l’élément sensible par un petit volume d’huile
silicone. Cette construction assure un transducteur robuste doté d’une précision excellente, une bonne
stabilité et les effets thermiques faibles. Sa robustesse est assurée par notre conception unique d'une
enceinte de confinement secondaire de fluide en cas de rupture de membrane.

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Capteur de pression piézorésistif

Qu’est-ce qu’un capteur de pression piézorésistif ?

Les capteurs de pression piézorésistifs ont pour élément de mesure un pont de Wheatstone impliquant
du silicium. Cet élément subit une extension minimale sous l’effet de la tension et modifie ainsi la
résistance électrique. Cet effet est communément appelé l’effet piézorésistif.

À quoi servent les capteurs de pression piézorésistifs ?

Les capteurs de pression piézorésistifs étant largement exempts de dérive, ils se prêtent particulièrement
à la mesure des pressions statiques.

Comment fonctionne un capteur de pression piézorésistif ?

La pression à mesurer est transmise à la puce en silicium via une membrane et une huile de silicone
incompressible. La puce est alimentée en énergie par une traversée en verre isolant et des fils de liaison.
La sortie du signal de pression est exprimée en mV. Le signal de pression est ensuite compensé en
température et amplifié en un signal de sortie V ou mA correspondant.

Quels sont les différents types de capteurs de pression piézorésistifs ?

En fonction de leur type, les capteurs de pression piézorésistifs mesurent la pression par rapport à
différents points zéro (absolue rapportée au vide, pression ambiante ou différentielle à une autre
pression). On choisira des capteurs de pression absolue, relative (jauge) ou différentielle en fonction de
l’application voulue. Le tableau ci-dessous montre les différentes configurations en fonction du type de
capteur de pression.

Les capteurs de pression piézorésistifs sont des capteurs de pression absolue, de pression relative (jauge)
ou de pression différentielle.

La protection de l'instrument est tout aussi importante que le blindage des fils. Une protection est un
boîtier en tôle qui entoure le circuit analogique. Elle est branchée à la gaine. Si des courants de terre
traversent l'élément de la jauge de contrainte ou ses fils d'alimentation, un circuit de pont Wheatstone
ne peut pas les différencier du flux généré par la source de courant. La protection garantit que les bornes
des composants électriques ont le même potentiel, ce qui empêche les flux de courant parasites.

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