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RECHERCHE

Nanogénérateurs de courant
alternatif
par Pascal VINCENT et Anthony AYARI

Les recherches en nanotechnologie ont été largement focalisées, au départ,


sur la réalisation de composants dont les performances pourraient pallier
la fin possible des technologies silicium. La manière d’alimenter ces
composants, quant à elle, s’est limitée à une approche macroscopique.
L’émergence de stratégies originales à l’échelle nanométrique pour la
génération de signaux, notamment alternatifs, est pourtant aussi vitale que
prometteuse dans un contexte de maîtrise des énergies.

– la réduction de l’encombrement permettant une


Pascal VINCENT est maître de conférences
intégration de toujours plus de fonctionnalités dans
LPMCN-UCBL.
le même volume ;
Anthony AYARI est chargé de recherche – la réduction de la consommation d’énergie
LPMCN-CNRS. entraînant une plus grande autonomie ;
– la réduction du coût de fabrication ;
– une augmentation de la rapidité des dispositifs
1. Contexte et donc une augmentation de la plage de fréquence
L’accroissement constant de la densité de transis- de fonctionnement.
tors dans les microprocesseurs les rend de plus en De tels atouts semblent séduisants pour les appli-
plus gourmands en énergie. Cette forte cations en télécommunication avec par exemple le
consommation induit des phénomènes de dis- téléphone portable qui fonctionne à haute fré-
sipation et donc d’échauffement pouvant entraîner quence, intègre de plus en plus de fonctionnalités et
la destruction des composants. Pour éviter de tels dont les batteries ne permettent plus une auto-
regrettables incidents, d’importantes mesures nomie confortable pour les utilisateurs. Ce n’est
d’évacuation de la chaleur sont nécessaires. Mais le d’ailleurs pas un hasard si les MEMS (MicroElectro-
problème reste que, à terme, la production même Mechanical Systems ) commencent à s’implanter en
d’énergie pour faire fonctionner des nanocompo- téléphonie mobile pour le remplacement de circuits
sants risque d’être rédhibitoire. Ainsi, il a été macroscopiques fondés sur la technologie de
proposé de générer de l’énergie à l’échelle nano- l’oscillateur à quartz.
métrique par effet piézoélectrique, thermoélectrique
ou photovoltaïque. Il reste que ces phénomènes ne 1.2 Systèmes nanoélectromécaniques,
permettent pas, par eux-mêmes, de générer des
signaux alternatifs. Or, si l’on en croit la bible de NEMS
l’électronique, à savoir l’ « Horowitz » [1], en intro- Le développement de systèmes électromécaniques
duction sur les oscillateurs : « an oscillator of some à l’échelle micrométrique (MEMS), voire même à
sort is as essential an ingredient in electronics as a l’échelle nanométrique, regroupés sous le nom géné-
regulated supply of dc power... a device without an rique de NEMS, est en pleine expansion. Plus préci-
oscillator either doesn’t do anything or expects to sément, un NEMS (pour l’acronyme anglais
be driven by something else » (un oscillateur est un NanoElectroMechanical System ) est un composant
ingrédient aussi essentiel qu’un générateur qui intègre des éléments mécaniques (résonateurs,
continu... un composant sans oscillateur ne fait rien capteurs, actuateurs...) et des éléments de connec-
ou doit être piloté par quelque chose d’autre). tique électrique de dimensions nanométriques.
L’objectif est alors de combiner dans ce composant
1.1 Signaux alternatifs à l’échelle des signaux électriques et mécaniques pour : filtrer
nanométrique. ou traiter un signal, détecter des paramètres (accé-
Besoins et applications lération, pression, température, présence et
concentration d’une molécule...) ou actionner un
Les avantages attendus d’une diminution de la élément (interrupteur, micropompe, micromiroirs
taille d’un générateur de signaux alternatifs sont : orientables...). Suivant l’utilisation souhaitée, des

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couplages avec d’autres propriétés physiques sont bases de temps. La multiplication des fonction-
également possibles (optique, magnétique, thermi- nalités et des signaux spécifiques à certains types
que...). de mesures peut donc rapidement amener à de
Un NEMS peut, dès lors, être considéré comme la réels problèmes d’intégration de ces sources AC.
réduction ultime d’une fonction plus ou moins L’intégration de ces différents signaux alternatifs
complexe, impossible ou difficile à réaliser à partir pose cependant un certain nombre de problèmes
d’un système purement électrique ou électronique. liés à l’échelle nanométrique que nous allons
Outres les avantages évoqués au paragraphe pré- exposer au paragraphe suivant et qui amènent à
cédent, la réduction d’échelle ouvre l’accès à l’utili- s’intéresser toujours davantage à la mise au point
sation de nouveaux phénomènes apparaissant à de nouvelles sources de courants alternatifs plus
l’échelle nanométrique (force de Casimir, effets adaptées à ces futurs systèmes.
quantiques...) et à une plus grande sensibilité.
Remarquons cependant que dans ces composants 1.3 Problèmes rencontrés
les parties mécaniques sont pour l’instant passives, à l’échelle nanométrique
c’est-à-dire qu’elles ne font que répondre à une
De manière générale, l’acheminement d’un signal
sollicitation (ou commande) généralement d’origine
alternatif est d’autant plus difficile que la fréquence
électrique.
augmente et le fait de réduire les dimensions du
circuit ne facilite pas cette tâche. On peut citer par
Sur le bruit et la dis- Exemple : prenons le cas de l’utilisation la plus
exemple de sérieux problèmes d’accord d’impé-
sipation dans les NEMS connue d’un NEMS à savoir la nanobalance ; la
dance car les objets nanométriques sont souvent
voir Phénomène de dis- détection de masses de plus en plus infimes (de
sipation dans les très éloignés des 50 Ω utilisés comme standard,
l’attogramme au zeptogramme, voir références [2]
nanostructures [RE 66] mais également les fortes pertes liées à la dégra-
de P. Andreucci et L. et [3]) est particulièrement intéressante afin
dation du facteur de qualité des résonateurs nano-
Durrafourg. Base d’atteindre la résolution ultime de la cellule, la
« Physique-Chimie ». métriques. Une autre source de problèmes provient
molécule voire l’atome.
de la faiblesse des signaux à détecter et de la
Dans le cas d’un NEMS, le principe physique uti- difficulté à les exploiter.
lisé est le suivant : une modification de la masse
d’un résonateur (causée, par exemple, par l’accro- Si l’on reprend l’exemple précédent de la
chage sélectif des molécules recherchées) entraîne nanobalance (voir figure 1), le signal utile est à
une variation des fréquences de résonance de ce la fréquence de résonance du nano-objet qui est
résonateur (voir figure 1). Ainsi, si f0 est la fré- également la fréquence d’excitation. Il faut donc
quence de résonance initiale du résonateur, lors détecter un signal faible, provenant d’une faible
des mesures, il faut utiliser un signal électrique variation de masse, noyé dans le signal d’entrée
d’excitation de fréquence variable pour balayer en qui fuit directement vers le circuit de détection.
fréquence aux alentours de f0 . La réponse du réso-
nateur peut alors être détectée sur une électrode
de mesure et la nouvelle fréquence de résonance, 2. Génération de signaux
f1 , correspondant à la réponse maximale du réso-
nateur, permet de remonter à la variation de alternatifs
masse. Cette détection requiert donc une source
AC sinusoïdale « de bonne qualité » pouvant fine- Il est relativement facile de réaliser une source
ment balayer les fréquences autour de f0 afin de d’énergie débitant de manière constante. C’est le
déterminer des déplacements de fréquence de cas de la pile en électricité. En revanche, la réalisa-
résonance les plus fins possibles. Le traitement du tion d’une source à débit périodique requiert un
signal de sortie requiert, quant à lui, une partie mécanisme supplémentaire afin de convertir un
électronique qui doit être également alimentée. signal continu en un signal alternatif. Dans le cas de
la dynamo, l’énergie dépensée de manière continue
par le cycliste et produisant un mouvement uni-
Encore cet exemple ne représente-t-il qu’une forme est convertie en un signal électrique de
fonction « simple» : la détection d’une fréquence de période liée à la vitesse de rotation de la roue et de
résonance. Afin de profiter au maximum des poten- la dynamo. Les paragraphes suivants présentent
tialités de ces nanocomposants, il est beaucoup plus différents mécanismes permettant la conversion
intéressant de pouvoir concevoir des systèmes plus d’un signal DC en AC.
complexes et autonomes (c’est-à-dire n’ayant pas
recours à des sources externes macroscopiques)
permettant de réaliser plusieurs types de mesures, 2.1 Progrès dans la génération
de traiter ces mesures et de pouvoir transmettre les de signaux électriques alternatifs
résultats sous forme optique ou électromagnétique. Les premières expériences portant sur des
On voit donc que le développement de ces sys- courants alternatifs remontent au milieu du
tèmes peut requérir, en plus d’une ou plusieurs ali- 19e siècle et ont conduit à la découverte des ondes
mentations DC (une réserve d’énergie), une électromagnétiques par Hertz en 1887. Il utilisait
multitude de types de signaux alternatifs suivant les alors un dispositif électromécanique (déjà ! même si
fonctionnalités envisagées et le traitement des celui-ci contrairement à ceux du paragraphe 1.2,
informations : sources basses fréquences, sources n’avait rien de nanométrique) constitué d’un éclateur
de fréquences variables, sources hautes fréquences (deux boules métalliques séparées par un écart
pour télécommunications. De ce point de vue, il est faible) dans lequel les décharges d’une bobine de
intéressant de noter que certains téléphones por- Ruhmkorff engendraient des courants alternatifs
tables utilisent déjà jusqu’à six types différents de grâce à une lame ressort. Ces expériences furent à

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Signal de sortie

Amplitude du
signal de sortie
VG VG
Signal
VSD Bruit
a c
Offset
Fréquence f0 Fréquence f1
f1 f0
Fréquence
e

VG VG

b d
a principe de fonctionnement du composant. Une tension VSD est appliquée aux bornes du nanorésona-
teur et la tension alternative, VG , est appliquée au voisinage de celui-ci. Le signal de sortie permet de détecter
la fréquence de résonance.

b lorsque la fréquence d’excitation correspond à la fréquence du résonateur, f0 , celui-ci rentre en


résonance ce qui se traduit par un pic dans l’amplitude du signal de sortie (courbe en noir sur le graphe e ).

c et d une modification de masse du nanorésonateur (représentée ici en rouge au centre du résonateur)


va se traduire par une modification de la fréquence de résonance (courbe en rouge sur le graphe e ). L’écart
entre les fréquences f0 et f1 permet de remonter à la valeur de la masse additionnelle.

e illustration de l’amplitude du signal de sortie lors des mesures. Pour réaliser une bonne mesure on
voit que le signal de résonance doit être suffisamment important pour être distinguable dans le bruit (voir
partie 1.3).

Figure 1 – Fonctionnement d’un NEMS comme nanobalance

l’origine de l’ère des radio-communications. En 1910, Les systèmes auto-oscillants au sens large du
Edwin Armstrong réalisa qu’un Audion (un des terme peuvent être extrêmement divers. Ils incluent
premiers tubes à vide) pouvait être configuré pour les horloges, expliquent l’excitation de certains ins-
produire une oscillation beaucoup plus propre que truments à vent, sont à l’origine des ronflements et
celle d’un appareil à décharge. De plus, la période interviennent même dans les battements cardiaques.
d’oscillation pouvait être contrôlée à l’aide d’une Des auto-oscillations peuvent également survenir de
simple tension continue. On appelle un tel appareil manière inopportune et avoir à des conséquences
un VCO (Voltage Control Oscillator ). Les tubes à vide catastrophiques (déraillement de Saint-Hélier
furent alors très utilisés pendant de nombreuses (1933), destruction d’aile d’avion, destruction du
années pour des applications radio, télévision ou mili- célèbre « Takoma Bridge » en novembre 1940).
taire. Ils furent ensuite supplantés par les transistors
à base de semi-conducteurs moins volumineux, d’un La compréhension fine des mécanismes
moindre coût et nécessitant moins de puissance. d’auto-oscillation est cependant un domaine qui
peut se révéler rapidement très ardu. Ce domaine
2.2 Génération d’un signal est relié aux problèmes de stabilité (ou d’insta-
bilité), et à la physique non linéaire (une bonne
périodique. Auto-oscillation introduction à ce domaine est donnée en [4]). En
La possibilité de générer des signaux électriques outre, il importe de bien définir les différents types
alternatifs amène naturellement à l’étude des de couplage existant dans le système étudié. De
systèmes auto-oscillants c’est-à-dire des sys- plus, des auto-oscillations peuvent apparaître du
tèmes capables de provoquer spontanément des fait de couplages que l’on pouvait a priori largement
oscillations à partir d’une source d’énergie continue. négliger.

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• On peut réécrire un tel système sous la


y y forme :

x = y et y = f (x, y) = − ω 02 x − c y
(x0 , y0)
Cela signifie que nous avons ramené notre
équation différentielle d’ordre deux à deux
x x équations différentielles du premier ordre cou-
plées. Dans le cas du système mécanique
masse-ressort, x représente la position et y la
vitesse du mobile. On dit qu’un tel système
possède deux degrés de liberté, autrement dit,
a cas (c – F) > 0 b cas (c – F) < 0 il faut connaitre deux conditions initiales pour
remonter à l’unique solution du problème. Pour
représenter l’évolution de notre système au
a si (c – F ) est positif (système dissipatif), quelle cours du temps, il est commode d’avoir recours
que soit le point de départ (x0 , y0) la solution est au plan de phase. Dans ce plan, l’abscisse et
une spirale logarithmique tendant vers le point
(0,0). l’ordonnée représentent respectivement les
valeurs de x et y (voir figure 2).
b si (c – F ) est négatif (on parle de résistance
négative) le point (0,0) est stable mais tout écart
Les points d’équilibre de notre système sont
aussi faible soit-il fera diverger la solution définis comme les points (x, y) tels que
(trajectoire allant à l’infini). x = 0 et y = 0 simultanément. Dans le cas de
l’oscillateur amorti, ils se réduisent au point
Le cas particulier (c – F ) = 0, ne correspondant pas unique correspondant au point (0, 0).
à proprement parler à une auto-oscillation, est
volontairement omis. • Dans cette équation, il n’y a pas de terme de
forçage c’est-à-dire pas de terme d’excitation
dépendant du temps. Habituellement, un tel
Figure 2 – Diagramme de phase représentant
les évolutions possibles d’un oscillateur linéaire terme est introduit à droite de l’équation sous
une forme F cos(ω t ). On dit que notre système
de la forme x + (c − F )x +  02 x = 0
est autonome c’est-à-dire que, même si les
grandeurs dépendent du temps, il n’y a pas de
dépendance explicite en temps dans l’équation.
Avant d’illustrer des réalisations expérimentales Une fois ceci posé on peut enfin chercher la
nous allons donc présenter les caractéristiques prin- solution de notre problème et la représenter.
cipales liées aux phénomènes d’auto-oscillations et Regardons en particulier quelle est la représentation
décrire une manière pratique de les représenter et de cette solution dans le plan de phase.
de les interpréter.
Étant donné notre point de départ (x0 , y0) la
2.2.1 Oscillateur amorti solution est une spirale logarithmique qui tend vers
la solution (0, 0) comme montré sur la figure 2a. Le
Considérons pour commencer un système phy-
sens des flèches indique le sens positif du temps.
sique classique, l’oscillateur amorti, dont la loi
Ici, quel que soit le point de départ, on arrive dans
d’évolution est donnée par l’équation différentielle :
tous les cas au point (0, 0). On dit que ce point est
x + c x + ω 02 x = 0 stable.

Avant de chercher à résoudre ce problème, 2.2.2 Oscillateur de Van der Pol.


faisons quelques remarques d’ordre général. Changement de signe de la dissipation
• Un tel système peut représenter un oscillateur Imaginons maintenant que l’on fasse agir une
mécanique (système masse-ressort), un force extérieure de la forme F x où F est positif
composant électrique (système RLC ) ou, de (par exemple, introduit par une résistance négative)
manière plus générale, tout système au et regardons l’effet de cette force lorsqu’on aug-
voisinage d’un point d’équilibre stable ; mente la valeur de F en partant de zéro. L’équation
se réécrit :
• Le terme ω0 représente la pulsation propre du
système : x + (c − F )x + ω 02 x = 0

Tant que (c – F ) reste positif le point (0, 0) est


k toujours stable, la solution tend juste plus lente-
ω0 = pour un système masse-ressort ;
m ment vers ce point. Lorsque le terme (c – F )
devient négatif la situation change radicalement et
1 la trajectoire devient une spirale logarithmique
ω0 = pour un système LC.
LC s’éloignant du point d’équilibre (figure 2b ). Le point
(0, 0) reste un point d’équilibre, mais ce point
• Le terme c représente, lui, le coefficient de d’équilibre devient instable : toute modification
dissipation (dû par exemple aux frottements aussi petite soit-elle par rapport à l’origine fait
visqueux ou à une résistance électrique). Dans diverger la solution. On voit dans ce cas que le sys-
la pratique c est positif et nous considérerons tème absorbe bien de l’énergie et que l’amplitude
les valeurs de c faibles (nous les noterons par- d’oscillation augmente, mais, on ne peut pas parler
fois ε ). d’auto-oscillation car le système ne revient pas

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y (u.a.)

x (t)
x (u.a.) Temps t

a b

a ,
noir marron

Figure 3 – Oscillateur de Van der Pol : diagramme de phase et évolution du système en fonction du temps pour
différentes valeurs de 

périodiquement sur la même trajectoire. Dans la férentes intensités de la dissipation durant le mou-
pratique cette divergence de la solution pourrait vement (figure 3b ). On remarque que la forme du
mener à une catastrophe dans le système. signal auto-oscillant peut être très proche d’une
Comment pourrait-on transformer le système sinusoïde ou au contraire très différente. En fait,
pour avoir une limitation des trajectoires par des oscillations proches d’une forme sinusoïdale
exemple dans le cas de la figure 2b ? On voit qu’il apparaissent dans les systèmes dans lesquels la
est inutile de rajouter un terme linéaire qui ne peut perte d’énergie durant une période est faible (faible
au mieux que faire basculer le système entre les valeur de ε et, de même, l’énergie injectée dans
états (a ) et (b ). Voyons donc l’effet que peut avoir l’oscillateur est faible) ou dans des systèmes où les
une contribution non linéaire. pertes d’énergie sont compensées en permanence.
Au contraire, lorsque la dissipation est élevée et
Soit le système défini par l’équation que quasiment toute l’énergie du système est
différentielle : échangée au cours d’un cycle, l’évolution peut être
extrêmement éloignée d’une forme sinusoïdale (voir
x + ε (x2 − 1)x + ω 02 x = 0
la courbe pour ε = 10) et l’on parle en général
d’oscillations de relaxation.
Ce système est très proche du précédent. Il s’agit
de l’équation bien connue de Van der Pol (qui intro- Un autre point important est que la fréquence des
duisit cette équation pour l’étude des battements auto-oscillations est très proche de la fréquence de
cardiaques en 1928, [5]). On voit alors que le résonance du système (ici ω 0). Dans une
terme d’amortissement est gouverné par deux auto-oscillation c’est le système qui impose la fré-
tendances : quence d’oscillation, au contraire d’un système
forcé où la fréquence est fixée par l’excitation exté-
– si x2 < 1 alors le terme 1 domine et l’amor- rieure. Un système auto-oscillant régule lui-même
tissement est négatif (cas de la figure 2b ). Donc le ses échanges d’énergie avec l’extérieur à sa propre
système proche du point d’équilibre est instable ; fréquence. Sur la figure 3 on voit que pour ε = 2
– dans le cas contraire, x2 > 1, l’amortissement (déjà très loin de l’hypothèse ε petit !) l’écart en
devient positif et donc les trajectoires se rap- fréquence reste encore faible.
prochent du point d’équilibre.
La figure 3a illustre les trajectoires qui résultent 2.2.3 Oscillateur défini par morceaux
d’un tel système et montre (en noir) l’orbite limite Un autre cas assez fréquent pouvant générer des
correspondant à l’auto-oscillation qui apparaît dans auto-oscillations est caractérisé par des systèmes
le système. Nous avons également représenté les dont l’évolution est définie par morceaux. De tels
évolutions du système en fonction du temps pour systèmes peuvent survenir lorsqu’un changement
différentes valeurs de ε ce qui correspond à dif- de paramètre se fait de manière abrupte

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0 x
vm

v
– vm m

v0

a b

a représentation de l’intensité de la force de frottement sec (frottement de Coulomb) en fonction de la


vitesse relative de l’objet par rapport au support. Ces frottements se caractérisent par des minima pour des
valeurs non nulles de vitesse (respectivement – vm et vm).

b représentation schématique d’un système dynamique où une masse m attachée à un ressort est
posée sur un tapis roulant défilant à la vitesse v0 . Un tel système est défini par morceaux (dépendant du signe
de (v – v0)) et donne lieu à l’apparition d’auto-oscillations.
y (u.a.)

f0
v0
v
– f0

x (u.a.)
c d

c représentation des forces de frottement s’exerçant sur la masse m en fonction de la vitesse de la


masse.

d représentation du diagramme de phase obtenu dans ce système. La droite correspondant à v = v0


est représentée en noir et permet de mieux voir l’effet de la transition (passage d’une équation à l’autre) sur
les trajectoires. En bleu est représenté le cercle limite.

Figure 4 – Illustration du fonctionnement de l’oscillateur défini par morceaux

(transition) ou lorsque se produit un changement de elle recommence à augmenter. C’est ce qui dans la
régime. Un exemple simple de ce type de pratique amène à distinguer des coefficients de
comportement est représenté par les frottements frottement statique ou dynamique.
de Coulomb ou frottements secs. Dans ce cas, la Regardons alors l’évolution d’une masse m
force de frottement est liée à la vitesse de l’objet attachée à un ressort et posée sur un tapis roulant
suivant une fonction semblable à la figure 4a. se déplaçant à la vitesse v 0 comme représenté sur
la figure 4b. Le fait que le tapis roulant se déplace
Simplement, on sait que quand une force est à la vitesse v 0 revient à rendre dissymétrique la force
appliquée pour déplacer une masse m, une force de de frottement qui s’apparente alors à la figure 4c.
friction f, qui s’oppose au mouvement apparaît. Ce système représente aussi le mécanisme en jeu
L’intensité de cette force f augmente jusqu’à ce avec une corde frottée comme dans le cas des cordes
qu’une valeur critique soit atteinte, et alors la masse de violon. On peut simplifier l’expression de cette
bouge. Une fois que le mouvement commence, force de frottement en considérant qu’elle vaut :
l’intensité de f décroît tant que v  vm , après quoi, f0 si (v0 − v) est positif et − f0 si (v0 − v) est négatif

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On peut alors réécrire l’équation différentielle Lorsque l’on souhaite un signal sinusoïdal, on a
sous la forme : plutôt recours à un circuit résonnant type LC ou à
un cristal de quartz. Ces circuits, comme les oscil-
 + kx = f
mx si v < v0 lateurs Colpitts ou Hartley, pour ne citer que les
0 plus connus, comportent un composant actif, tel un
 + kx = − f si v > v
mx transistor qui joue le rôle de résistance négative,
0 0
qui va compenser les pertes du résonateur.
ce qui est bien une équation différentielle définie
Pour finir, les composants à résistance diffé-
par morceaux.
rentielle négative jouent un très grand rôle pour la
On peut réécrire cette équation sous la forme : génération de signaux alternatifs notamment pour
des applications de fortes puissances et hautes fré-
mx + kx = f0 sign (v0 − v) quences. Par exemple, la diode à effet Gunn sert
depuis longtemps pour les radars routiers de type
où la fonction sign vaut 1 pour les valeurs positives Doppler, même si les radars laser commencent à
et – 1 pour les valeurs négatives. Le diagramme de les supplanter. Son fonctionnement est fondé sur le
phase de ce système montre l’existence fait qu’à forte tension continue, son courant
d’auto-oscillations comme on peut le voir sur la diminue lorsqu’on augmente la tension. Ceci conduit
figure 4d. à une instabilité et à des auto-oscillations [7] à des
fréquences de l’ordre de la dizaine de gigahertz.
2.2.4 Tuyau d’arrosage
et autres systèmes plus complexes
Dans cette partie, nous venons de présenter
Un système plus compliqué avec davantage de brièvement la faculté d’un système dynamique
degrés de liberté peut également être mis sous la à entrer spontanément en auto-oscillation en
forme d’équations différentielles du premier ordre. captant de l’énergie à l’extérieur et à entretenir,
Dans ce cas, la trajectoire doit être représentée grâce à cela, ses oscillations. Nous avons essayé
dans un espace à n dimensions où n est le nombre de montrer l’intérêt que présente le diagramme
de degrés de liberté. Remarquons que, dans les cas de phase pour une meilleure compréhension de
à deux dimensions que nous venons d’illustrer, ces phénomènes et le rôle primordial des
l’entrée en auto-oscillation était introduit par le non-linéarités pour, par exemple, stabiliser ces
biais d’une résistance négative (un frottement oscillations.
négatif). Dans des systèmes d’ordre supérieur, des On comprend dès lors que pour réaliser un
auto-oscillations peuvent survenir pour d’autres générateur AC à l’échelle nanométrique, on
raisons comme la confusion de fréquence qui est doive chercher des systèmes où l’auto-oscil-
responsable de l’instabilité du tuyau d’arrosage par lation d’un paramètre du système va entraîner
exemple. Pour ces systèmes à n dimensions, il à son tour la génération d’une oscillation pério-
devient évidemment difficile de représenter sim- dique du courant électrique. C’est le sujet de la
plement les trajectoires du système, mais l’analyse troisième partie.
à deux dimensions que nous venons de présenter
permet d’avoir une très bonne intuition des
configurations possibles.
3. Générateur AC à l’échelle
2.3 Générateurs de signaux nanométrique
alternatifs usuels
Nous allons ici présenter quelques résultats
En électronique, ces instabilités dynamiques sont
expérimentaux récents sur la réalisation de nano-
souvent réalisées avec des circuits à rétroaction à
générateurs AC. Il ne s’agit évidemment pas de
l’aide d’amplificateurs opérationnels (pour une
comparer point par point les performances de ces
revue pédagogique de la notion de retroaction,
premières réalisations avec des VCO à base de
consulter la référence [6]). La grande richesse d’uti-
semi-conducteurs actuellement sur le marché. La
lisation de l’amplificateur opérationnel provient de
comparaison est évidemment sans appel. Sans doute
la possibilité de boucler son signal de sortie sur
eut-il été tout aussi ridicule de comparer les perfor-
l’une de ses entrées. Pour un fonctionnement
mances des tout premiers composants électroniques
stable, on relie habituellement la sortie à la borne
avec les tubes à vide commerciaux de l’époque.
négative. Néanmoins, on peut faire le contraire et
obtenir assez facilement un oscillateur (il est à Nous allons plutôt essayer de voir à quoi peuvent
noter que même en reliant la sortie à la borne ressembler concrètement de tels systèmes et les
moins, on peut cependant aussi obtenir un fonction- couplages qu’ils mettent en œuvre. Dans la partie
nement instable). La raison peut être donnée par précédente, nous avons essayé de montrer quelles
l’argument suivant : un signal positif en sortie étaient les recettes à suivre pour produire un sys-
appliqué à l’entrée positive va être amplifié et donc tème auto-oscillant. Dans la pratique, les choses
fournir un signal positif plus important en sortie. sont bien sûr beaucoup plus complexes. Très peu
Cette boucle de rétroaction positive va conduire à de systèmes sont conçus, a priori, pour cette seule
une instabilité puis à la saturation de l’amplifi- fonction. Leur réalisation met en jeu tant la caracté-
cateur. En ajoutant un condensateur dans le circuit, risation et l’observation que la modélisation et
on peut introduire un retard qui va conduire à une l’amélioration des couplages intéressants. Dans les
oscillation. On peut ainsi obtenir très facilement un trois exemples que nous allons détailler, il est
oscillateur à relaxation. intéressant de constater que deux mettent en jeu

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Deux particularités supplémentaires sont ajoutées


dans le système permettant l’apparition des
auto-oscillations :
– tout d’abord, le nanofil présente un rapport
d’aspect élevé (rapport longueur sur diamètre) ce
qui le rend souple et susceptible de se tordre lors
a exemple de nanofil SiC en configuration de l’application de la tension. De fait, le courant
émission de champ. Le nanofil est positionné en d’émission de champ dépend alors également de la
face de l’anode. Ici trois images correspondant à
trois tensions appliquées différentes sont superpo- position de l’extrémité du nanofil I (V , x ) ;
sées afin de montrer la torsion du nanofil. C’est la – deuxièmement, le nanofil présente une forte
dépendance en fonction de la position du courant résistance. En conséquence, du fait de la chute de
d’émission de champ qui est responsable de potentiel le long du nanofil, le potentiel à l’extré-
l’apparition des auto-oscillations. mité devient un paramètre libre (non imposé direc-
tement) qui dépend du courant d’émission.
Autrement dit, le système possède alors trois para-
Amplitude de l’auto-oscillation (µm)

40
mètres libres : la position x et la vitesse vx de l’extré-
35
mité du nanofil et le potentiel U à l’extrémité (et cinq
30 paramètres, si l’on considère également un déplace-
ment possible dans la direction y que nous néglige-
25
rons). La commande est ici la tension V continue
20 appliquée au système. La dynamique de ce système
V1 V2
se représente alors par des trajectoires dans un dia-
15
gramme de phase à trois dimensions (voir § 2) et le
10 système est caractérisé par trois équations différen-
5 tielles du premier ordre couplées dans lesquelles
apparaît notamment la variation du courant d’émis-
0 sion de champ qui dépend de x et de U.
5 Sous certaines conditions, ces couplages introduits
174 175 176 177 178 179 180 entre la partie mécanique et le comportement élec-
Tension appliquée (V) trique permettent l’apparition d’auto-oscillations et le
nanofil décrit une trajectoire fermée dans l’espace
b simulation représentant en fonction du des phases. Le courant d’émission de champ dépen-
paramètre de commande, la tension appliquée,
l’existence ou non d’auto-oscillation. En dessous de
dant de la position de l’extrémité du nanofil va alors
V1 aucune auto-oscillation n’est possible. Au-dessus posséder une partie continue et une partie alterna-
de V2 le système rentre obligatoirement en oscilla- tive à la même fréquence que l’oscillation mécani-
tion. Pour V1< V < V2 l’auto-oscillation dépend de que. Des mesures ont été réalisées sur différents
l’historique du système (voir texte). On s’attend nanofils dont les fréquences allaient de plusieurs
donc à des phénomènes de sauts et d’hystérésis
comme observé expérimentalement.
kilohertz à plusieurs mégahertz et le rapport
composante alternative/composante continue attei-
gnait 50 % sans optimisation (voir référence [8]).
Figure 5 – Auto-oscillation en émission de champ
(source Ayari et al. 2007 [8]) La modélisation du système a été réalisée pour
définir les propriétés de la mise en oscillation. Ici,
l’intérêt est de définir les régions de mise en
l’émission d’électrons comme élément moteur. C’est auto-oscillation, et éventuellement les caracté-
de manière très similaire le même phénomène qui ristiques de celles-ci, en fonction du paramètre de
assura le succès de l’Audion et des tubes à vide par commande : dans ce cas, la tension continue V
la suite. Si les dimensions et le fonctionnement sont appliquée. C’est ce qui est représenté sur la
différents, on peut cependant constater qu’une figure 5b : une amplitude nulle correspond à un
bonne idée peut resurgir à tout moment. point stationnaire (pas d’oscillation) et une amplitude
non nulle correspond à une auto-oscillation possible.
On peut distinguer trois zones sur la figure :
3.1 Générateur sous émission
de champ • Pour V < V 1 , seul le point correspondant à
x = 0 existe et aucune auto-oscillation ne peut
Le premier exemple concerne l’observation apparaître.
d’auto-oscillations mécaniques et électriques de • Pour V 1 < V < V 2 , trois solutions existent : la
nanofils pendant l’émission de champ. La figure 5a position immobile, et deux solutions non
montre un nanofil de carbure de silicium (SiC) monté nulles. En fait, on peut montrer que la solution
à l’extrémité d’une pointe de tungstène en intermédiaire est instable (courbe en noir).
configuration d’émission de champ. Dans une expé- Dans la pratique, le système ne peut être que
rience d’émission de champ habituelle, l’émetteur dans une position finale stable (courbes en
constitue la cathode et on applique une différence de marron) et donc sera, soit sur la branche du
potentiel entre l’émetteur et l’anode pour extraire haut, soit sur celle du bas. Il faut noter que le
des électrons. Ces électrons sont récupérés par système ne peut pas spontanément sauter
l’anode et le courant I ne dépend que de la tension d’une branche à une autre et l’évolution sur
V appliquée suivant une caractéristique I (V ) donnée une branche ou sur l’autre dépend de l’histoire
par l’équation dite de Fowler-Nordheim. du système donc de sa situation passée.

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Gmix (u.a.)
d
a b

12

y
200 nm 200 nm Vth
8
x
c

4
bias-tee à 17 dBm
S D ID à 19 dBm
à 21 dBm
LIA Gmix
Vbias
0 4 8 12 16
3 µm
Vbias (V)

a et b : image par microscopie électronique à balayage du dispositif avec shuttle ( a ) et sans shuttle ( b ).

c vue d’ensemble avec le circuit électrique.

d signal d’auto-oscillation pour différentes tensions continues (Vbias) et différents signaux alternatifs
(de 17 à 21 dBm). Le signal alternatif permet une détection à 10 kHz par mélange de fréquences.

Figure 6 – Electron shuttle : dispositif et amplitude des auto-oscillations en fonction de la tension


(source Kim et al. 2007 [11])

• Enfin, pour V > V2 , seul le point supérieur est été détecté par mélange de fréquence avec une
stable. L’auto-oscillation va donc apparaître source externe de fréquence proche de la fréquence
spontanément car la position immobile est d’auto-oscillation (voir figure 6d ). Les signaux
devenue instable. Ce type d’auto-oscillation obtenus sont encore faibles mais un tel dispositif,
(on parle de hard self oscillation ou d’une part, ouvre la voie vers de l’électronique à 1
auto-oscillation dure) se caractérisera donc électron à haute température (car cette géométrie
par des sauts et des phénomènes d’hystérésis défavorise le cotunneling) et, d’autre part, est
comme observé expérimentalement. intéressant pour certaines applications militaires où
un ordinateur mécanique constitué d’electron
3.2 Electron shuttle shuttle serait plus robuste face à une attaque
électromagnétique [11].
L’electron shuttle (navette à électrons) est le
descendant nanométrique de la cloche de 3.3 Générateur à transition de phase
Franklin [9], [10]. Il se compose d’un levier avec un
îlot métallique au bout (le shuttle ) placé entre deux Le groupe de Hongkun Park à Harvard a réalisé
électrodes, chacune étant maintenue à une tension un nanogénérateur de courant alternatif à l’aide
fixe mais distincte. Si le shuttle entre en contact d’un matériau dont la résistance varie brutalement
avec une électrode, il va se charger et subir une avec la température et en conjuguant des effets
accélération sous l’effet du champ électrique en d’échauffements thermiques de type Joule avec des
direction de l’électrode opposée. Au contact de effets capacitifs [12]. Ce système se rattache donc
l’autre électrode, il va échanger des charges avec à la classe des systèmes définis par morceaux pré-
celle-ci de sorte que sa nouvelle charge sera de sentés dans le paragraphe 2.2.3. Le matériau uti-
signe opposé à la précédente. Le shuttle va alors de lisé, un nanofil de WxV1–xO2 , est isolant à basse
nouveau accélérer et retourner vers la première température et subit une transition de phase vers
électrode. Donc, sous l’effet d’une simple tension un état métallique pour des températures proches
continue (la différence de potentiel entre les deux de l’ambiante. La température de transition diminue
électrodes), des charges passent d’une électrode à lorsque l’on augmente le pourcentage de tungstène.
l’autre à une fréquence correspondant à la période La composition du matériau utilisé ici pour obtenir
d’oscillation du levier et génèrent ainsi un courant un générateur est W0,01V0,99O2 qui possède une
alternatif. température de transition autour de 50 oC.
Expérimentalement, cet effet a été difficile à réa- Des oscillations électriques avaient déjà été
liser à l’échelle nanométrique, notamment à cause observées par le passé pour ce type de matériau
des pertes importantes du circuit. Le signal haute dans le cas massif, mais le signal électrique était
fréquence de l’ordre de la centaine de mégahertz a très instable, difficilement contrôlable et de faible

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Inb (µA)
Vnb
80
VO2

C Inb

40

2 µm
0
0 0,6
Vnb (V)

a caractéristique courant tension et dispositif du générateur à transition de phase.


A partir d’une valeur seuil en courant continu, la caractéristique présente de fortes fluctuations.
L’image par microscopie électronique à balayage en bas à droite montre le nanofil horizontal
contacté à deux électrodes d’or

Inb (mA) Vnb (V)

2 2

1 1

0 0
0 2 4
t (µS)

b amplitude des signaux de courant (en noir) et tension (en marron) pour différentes valeurs de courant

Figure 7 – Générateur à transition de phase (source Gu et al. 2007 [12])

fréquence. En passant cette fois à des objets de Le mécanisme dans l’état oscillant peut être
taille nanométrique (la dimension typique de leurs décrit grossièrement de la manière suivante :
échantillons est 200 nm × 140 nm × 760 nm) et lorsque la capacité se charge, une partie du courant
suspendus, ils ont obtenu la génération d’un signal passe dans le condensateur et pas dans le nanofil.
alternatif stable de fréquence modulable variant Plus le condensateur se charge, plus le courant
comme l’inverse de la longueur ou de la capacité du dans le nanofil augmente, augmentant d’autant la
circuit et proportionnelle au courant continu en dissipation de chaleur dans celui-ci par effet Joule.
entrée (figure 7). Cette dissipation induit une augmentation de la
Ce dispositif fonctionne suivant trois régimes température du nanofil jusqu’à ce qu’il atteigne la
selon la valeur du courant continu en entrée : température de transition.
– à faible courant, le nanofil est dans sa phase C’est là qu’interviennent l’aspect nanométrique et
isolante et agit comme un composant passif de l’intérêt d’avoir un objet suspendu. En effet, ces
résistance élevée ; deux conditions font que le nanofil est homogène
– pour une gamme de courants intermédiaires, le sur toute sa longueur et qu’il ne va transiter qu’en
nanofil génère spontanément un signal de fré- un seul endroit pour former un domaine métallique
quence fixe ; et un domaine isolant. Au contraire, sous l’effet de
– enfin, à fort courant, l’échantillon est dans sa contraintes mécaniques liées au substrat ou sur un
phase métallique et se comporte de nouveau comme échantillon de trop grande taille, plusieurs domaines
une simple résistance mais de plus faible valeur. peuvent apparaître conduisant à des instabilités et à

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une compétition désordonnée entre différents moins énergivores, nous a conduit aux systèmes
domaines. Lorsque le nanofil commence à transiter auto-oscillants permettant de générer des signaux
vers l’état métallique, sa résistance chute bruta- périodiques à partir d’une source d’énergie
lement, ce qui conduit à la décharge du conden- constante. Plus qu’une liste à la Prévert, sans réel
sateur et à une impulsion de courant. Ensuite, le intérêt pédagogique, nous avons voulu dessiner un
condensateur se recharge, donc le courant qui panorama conceptuel minimal permettant de saisir
circule dans le nanofil devient plus faible, la tempé- le cadre des systèmes réalisés actuellement, mais
rature du nanofil diminue, ce qui permet à la phase aussi des futures réalisations. Les exemples de
isolante de réapparaître sur une partie de la lon- nanogénérateurs présentés, loin d’être pour
gueur de l’échantillon. Sa résistance augmente donc l’instant compétitifs, montrent à quoi pourront res-
et le cycle recommence. Ce générateur peut pour sembler les nanogénérateurs du futur. Reste
l’instant produire des impulsions allant jusqu’à qu’au-delà de la réalisation de tel ou tel démons-
5 MHz avec une des amplitudes de courant de trateur ou de tel progrès scientifique, le dévelop-
l’ordre du milliampère et des amplitudes en tension pement de ces nanosources AC se situe dans un
de l’ordre du volt. cadre beaucoup plus général mêlant intérêts éco-
nomiques et industriels ou développement de
technologies parallèles. Nous voudrions, pour finir,
4. Conclusion insister sur le fait que le développement de sources
AC nanométriques n’a de sens que si les géné-
Dans cet article, nous avons voulu montrer que rateurs DC suivent la même réduction d’échelle.
les problèmes d’intégration des sources alternatives Cela concerne le domaine du stockage d’énergie
qui commencent à se poser (en termes de (piles, accumulateurs) ou des domaines nouveaux
consommation d’énergie, d’échauffement...) vont à s’intéressant à la récupération d’énergie,
terme devenir cruciaux avec une miniaturisation notamment par effet photovoltaïque, piézo-
toujours plus poussée des composants et une aug- électrique ou thermique. Ces dernières thématiques
mentation toujours plus grande des fonctionnalités. sont particulièrement attendues pour la réalisation
La recherche de nouvelles sources nanométriques, de systèmes réellement autonomes.

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