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Spectroscopie Auger

Principes et performances en sonde fixe


par Jacques CAZAUX
Professeur émérite à l’université de Reims

1. Principe de l’effet Auger ...................................................................... P 2 620v2 – 4


1.1 Mécanisme .................................................................................................. — 4
1.2 Nomenclature des transitions ................................................................... — 4
1.3 Rendement Auger et rendement de fluorescence .................................... — 5
1.4 Cascade Auger............................................................................................. — 6
2. Instruments, spectres et performances ........................................... — 6
2.1 Instruments ................................................................................................. — 6
2.1.1 Résolution latérale et canon à électrons .......................................... — 7
2.1.2 Analyseur et profondeur d’analyse .................................................. — 8
2.1.3 Systèmes d’acquisition des spectres ................................................ — 11
2.1.4 Accessoires ........................................................................................ — 12
2.1.5 Autres instruments Auger ................................................................. — 12
2.2 Analyse détaillée des spectres Auger ....................................................... — 12
2.2.1 Modes d’acquisition ........................................................................... — 12
2.2.2 Paramètres influençant l’intensité du signal ................................... — 12
2.2.3 Fond continu et limites de détection ................................................ — 13
3. Analyse quantitative : relation entre l’intensité et la
concentration .......................................................................................... — 14
3.1 Évaluation simplifiée des concentrations ................................................. — 14
3.1.1 Soustraction du fond continu ............................................................ — 14
3.1.2 Relation intensité-concentration ...................................................... — 15
3.2 Approche plus élaborée de la quantification ........................................... — 15
3.2.1 Soustraction du fond continu ........................................................... — 15
3.2.2 Correction du coefficient de rétrodiffusion Auger ........................... — 15
3.2.3 Correction de la longueur d’atténuation .......................................... — 15
3.3 Précision des mesures ................................................................................ — 16
3.4 Films minces et incidence oblique ............................................................ — 16
4. Synthèse des performances et limites en sonde fixe ................... — 16
4.1 Performances .............................................................................................. — 16
4.2 Limites .......................................................................................................... — 16
4.2.1 Effets topographiques ....................................................................... — 17
4.2.2 Analyse des isolants .......................................................................... — 17
4.2.3 Modifications chimiques et autres effets d’irradiation .................... — 19
5. Conclusion ................................................................................................ — 19
Pour en savoir plus .......................................................................................... Doc. P 2 622

a spectroscopie des électrons Auger (AES : « Auger electron spectroscopy »)


L induite par les électrons est une technique d’analyse des surfaces qui permet
d’identifier les éléments (sauf H et He) constituant les toutes premières couches
atomiques (quelques nanomètres) de la surface des solides avec une résolution
latérale qui peut atteindre quelques nanomètres et une limite de détection de
quelques dizaines ou moins d’atomes identiques. Son principe repose sur le
mécanisme de l’effet Auger avec l’émission d’électrons ayant des énergies ciné-
tiques caractéristiques des éléments dont ils sont issus et indépendantes de

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l’énergie des particules excitatrices incidentes. Aux fins de microanalyse des sur-
faces, le processus Auger est généralement induit par un faisceau finement foca-
lisé d’électrons incidents de quelques kiloélectronvolts (5 à 25 keV) dans un
équipement spécifique ayant une structure analogue à celle d’un microscope
électronique à balayage qui serait doté de l’ultravide et équipé d’un analyseur
d’électrons. En microanalyse locale, la sonde électronique incidente est focalisée
sur le détail à analyser et le spectre des électrons, émis entre 50 eV et 2,5 keV est
acquis. La position énergétique des raies Auger permet de déterminer la nature
des éléments constituants et la mesure de l’intensité des raies permet, elle,
d’accéder à leur concentration (dosage ou quantification). La précision sur les
concentrations peut atteindre 5 % at/at, notamment quand les protocoles suggé-
rés par des normes ISO (qui résultent d’une coopération internationale, le pro-
gramme VAMAS) sont suivies.
Les limites de la technique sont liées aux effets perturbateurs du faisceau élec-
tronique incident qui rendent sa mise en œuvre délicate sur des matériaux iso-
lants (effets de charge) et sur les matériaux fragiles comme par exemple les
polymères (effets thermiques).
Détaillés dans le dossier suivant [P 2 621v2], les développements de la
technique concernent la possibilité d’acquérir des cartographies x, y de la
répartition des éléments superficiels (en mode balayage de la sonde inci-
dente) ou des profils en profondeur de ces mêmes éléments (en mode sonde
fixe combiné à une érosion ionique). Ses performances conduisent à des
applications privilégiées concernant les industries de la microélectronique
(analyse et contrôle des circuits à haute intégration), de la métallurgie (pour
la composition des joints de grains), de la mécanique et des traitements de
surface, voire de la catalyse (pour l’analyse ponctuelle de catalyseurs disper-
sés) ainsi que dans les laboratoires de recherche et d’application des multi-
couches métalliques, en attendant son développement prévisible dans les
différents domaines des nanotechnologies.
(0)

Notations et symboles

Symbole Unité Définition


a rendement Auger
Ax niveau x de l’atome A
c* at/at concentration atomique apparente
cA, cB at/at concentration atomique en élément A, en élément B
cm at/at concentration minimale détectable
Cm sensibilité
d0 m taille de sonde incidente
E J énergie
0
E J énergie primaire des électrons incidents
EC J énergie cinétique
EL, EX, J énergie de liaison
EY, EZ
F C ⋅ m–2 fluence
h J⋅s constante de Planck (h = 6,62 ⋅ 10–34 J ⋅ s)
h m épaisseur de l’échantillon
i rad angle d’incidence
IA A intensité du signal Auger
0
I A intensité du courant primaire

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Notations et symboles (suite)

Symbole Unité Définition


–2
J A⋅m densité de courant
ᐉ m libre parcours moyen inélastique (IMFP)
N A0 densité atomique de l’élément pur A
Nm nombre minimal d’atomes détectables
q C charge élémentaire (q = –1,6 ⋅ 10–19 C)
Q C charge
R, r coefficient de rétrodiffusion Auger
RP m pénétration maximale des particules incidentes
rmax m profondeur maximale d’échappement
des électrons secondaires
S m2 surface irradiée
tirr s durée d’irradiation
T transmission énergétique et angulaire de l’analyseur
V V tension
Vess m3 volume d’échantillon d’où provient l’essentiel du signal
VS V potentiel de surface
w m dimensions de la source
z m profondeur
Z numéro atomique
α rad demi-angle d’émission maximal des électrons entrants
α paramètre Auger
δ rendement d’émission secondaire
ε F ⋅ m–1 permittivité
λ m longueur d’atténuation
ν Hz fréquence
σ (Ax, E 0) barn section efficace d’ionisation (1 barn = 10–24 cm2)
τ s durée d’acquisition par canal
η rendement de rétrodiffusion des électrons primaires
θ rad angle d’émission, de détection
ω rendement de fluorescence
Indices
A∞ élément A pur
A/A élément A pur
A/AB élément A dans un alliage binaire AB
Exposants
A Auger
C chargé

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1. Principe de l’effet Auger Aperçu historique

Dans les années 1923-1925, Pierre Auger (1899-1993) a décou-


vert l’effet qui porte son nom à l’aide du dispositif expérimental
1.1 Mécanisme schématisé sur la figure 1, ce qui lui permit d’obtenir de nom-
breux clichés photographiques tels que celui schématisé sur la
figure 2 [1] [2]. Dans ce dispositif, des atomes de gaz rares (Ar,
Le mécanisme de l’effet Auger concerne tous les corps quel- Kr, Xe) successivement dilués dans de l’hydrogène moléculaire
que soit leur état, solide, liquide ou gazeux (sauf H et He), et il sont irradiés par un pinceau de rayons X et les trajectoires des
peut être provoqué par n’importe quel type de particule inci- électrons résultant de l’interaction entre un photon X et un
dente, ion, électron, positron ou photon X, dès lors que l’énergie atome sont visualisées dans une chambre de Wilson et photo-
de la particule est suffisante pour arracher un électron atomique. graphiées. Pierre Auger observe que l’éjection de photoélec-
trons est souvent (mais non systématiquement) accompagnée
de l’émission d’un ou de plusieurs autres électrons et il bapti-
sera le phénomène « effets tertiaire (et quaternaire) » ou « effet
photoélectrique composé ». Il observe ensuite que le change-
Appareils ment de l’énergie des photons X incidents n’affecte que l’éner-
photographiques gie des photoélectrons mais non celle des électrons
supplémentaires alors que, pour une énergie donnée des pho-
tons X, l’énergie des électrons supplémentaires change avec le
numéro atomique des atomes cibles. En évaluant la fraction
d’atomes étant le siège de l’effet composé par rapport au nom-
bre total d’atomes sièges de l’effet photoélectrique, il obtiendra
aussi, et pour la première fois, une estimation très correcte du
rendement Auger a et de son complément à l’unité, le rende-
ment de fluorescence ω. L’ensemble de son étude lui permettra
Source X
de jeter les bases théoriques des phénomènes qu’il a observés.
Cette découverte, pour fondamentale qu’elle fut, n’a pas été
Chambre de immédiatement suivie d’applications pratiques en analyse des
condensation surfaces car la sensibilité superficielle de la méthode n’aurait
permis d’analyser que les couches de contamination des échan-
tillons. Il a fallu attendre la fin des années 1960 pour que la maî-
trise de l’ultravide permette de la mettre en œuvre, d’abord dans
des appareils de diffraction d’électrons lents puis dans des ins-
Lampes à étincelles
truments spécifiques.

Un faisceau de rayons X ionise les atomes d’un gaz rare contenu dans la Un faisceau de particules incidentes (électrons, rayons X ou ions)
chambre de Wilson. éjecte un électron atomique initialement lié (énergie de liaison EX).
La lacune électronique initiale est comblée par un électron moins lié
Figure 1 – Dispositif expérimental utilisé par Pierre Auger (d’après [2]) d’un niveau électronique supérieur (énergie de liaison EY) et l’éner-
gie récupérée est spontanément (10–15 s) communiquée à un troi-
sième électron (énergie de liaison EZ avant l’éjection), l’électron
Auger, qui peut s’échapper de son atome initial avec une énergie
Xe (1 %) ; H2 (99 %) cinétique, EC, sensiblement donnée par :

EC ≈ EX – EY – EZ (1)

L’effet Auger est donc un effet non radiatif (émission d’un élec-
tron) impliquant trois niveaux électroniques qui, dès lors que la
6 lacune électronique est créée, entre en compétition avec l’émission
hν 1 5 2 4 3
(radiative) d’un photon X n’impliquant que deux niveaux électroni-
ques et dont l’énergie hν serait donnée par :

h ν = EX – EY (2)

1.2 Nomenclature des transitions


photoélectrons
électrons Auger
Les atomes 1, 2 et 3 émettent simultanément un photoélectron et un En spectroscopie Auger, les symboles utilisés pour designer un
électron Auger. L´atome 6 est sujet à une cascade Auger multiple ; électron Auger incluent le symbole chimique de l’atome concerné
les atomes 4 et 5 n´émettent pas d´électrons Auger (fluorescence X). suivi de la représentation des trois niveaux et sous-niveaux
Le changement d´énergie des rayons X incidents ne modifie pas électroniques impliqués dans le mécanisme.
l´énergie (longueur de la trajectoire) des électrons Auger alors
qu´elle modifie celle des photoélectrons. À l´inverse, la longueur des Pour le nombre quantique n, on utilise une notation inspirée de
trajectoires Auger change quand on change la nature du gaz : Kr au l’émission X, soit successivement : K pour n = 1, L pour n = 2, M
lieu de Xe, par exemple. pour n = 3. Ce nombre est suivi en indice des notations 1, 2, 3 (ou I,
II, III) dans l’ordre décroissant des énergies de liaison pour distin-
Figure 2 – Représentation schématique d’une photographie guer les différents nombres quantiques orbitaux [P 2 625] [P 2 626]
des trajectoires des photoélectrons et électrons Auger [P 2 655] [P 3 795].

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À titre d’exemple, la figure 3 représente la transition Auger


AI(KL1L2,3) de l’aluminium avec les valeurs numériques des éner- Al (KL1L2,3)
gies de liaison EL correspondantes. Sur la même figure, la notation Ec ~ 1 354 eV EC
spectroscopique des niveaux utilisée par exemple en spectroscopie (aK = 97 %)
XPS (X-ray photoelectron spectroscopy), est aussi indiquée entre
parenthèses ainsi que, à titre de comparaison, la transition condui-
sant à l’émission d’un photon X AI(Kα). Al (LVV)

Par commodité, il est fréquent d’utiliser la lettre V pour désigner 0


NV φ
les niveaux électroniques impliquant la bande de valence dans les NF OO
transitions du type CVV (pour cœur-valence-valence) et du type CCV EF
BC
(pour cœur-cœur-valence). 0
Dans certains cas, la lacune initiale peut être comblée par un élec-
tron issu de la même couche atomique (même nombre quantique n) L2,3 (2p) OO OO O O ⬃ 73
mais d’une sous-couche plus externe. Il s’agit alors d’une transition
de type Coster-Kronig qui n’est énergiquement possible que pour L1 (2s) O O ⬃ 117
certains niveaux de certains éléments de la classification périodique
car il faut que la différence EX – EY soit supérieure à l’énergie de Al Kα (ωK = 3 %)
liaison EZ de l’électron de Coster-Kronig pour que celui-ci puisse
s’échapper de l’attraction atomique. Z Z Z

À l’issue de l’effet Auger, l’atome concerné est doublement ionisé


alors qu’il n’était que simplement ionisé après la création de la
lacune initiale. L’énergie finale de cet atome est donc perturbée par K (1s) O O ⬃ 1 560
le changement de l’interaction électrostatique entre les électrons EL (eV)
(couplage j-j de la mécanique quantique appliquée à la physique
atomique) et par le changement de l’interaction spin-orbite (cou- Suggérée par la flèche en tirets sur la droite, le
plage L-S) [3]. Le résultat essentiel est que la relation (1) qui néglige mécanisme complémentaire de l´émission de Al(KLL)
ces perturbations n’est pas strictement exacte, comme on peut le conduit à l´émission de photons X : Al Kα.
vérifier sur la figure 2 en comparant l’énergie cinétique de la raie NV : niveau du vide
AI(KL1L2,3) avec l’application numérique de la relation (1) aux éner- BC : bande de conduction
φ : énergie potentielle d´extraction
gies de liaison de l’aluminium. Cela ne complique pas l’application
EF : énergie de Fermi
de la spectroscopie Auger à l’analyse des surfaces dans la mesure
NF : niveau de Fermi
où l’identification des éléments s’effectue en comparant la position
des raies obtenues sur l’échantillon à analyser aux valeurs expéri-
Figure 3 – Mécanisme de l’effet Auger pour l’aluminium conduisant
mentales obtenues sur les éléments purs (figure 4) et ces valeurs
à l’éjection d’électrons Auger Al (KLL) et Al (LMM) [ou Al (LVV)]
tabulées sont souvent incluses dans les logiciels des appareils.

De ce même point de vue pratique, plus gênante est la multiplicité


des transitions Auger appartenant à la même famille (raies du type 2 500
KLL par exemple) car les énergies cinétiques correspondantes sont EC (eV)
relativement proches les unes des autres et les raies Auger n’ont pas KLL LMM MNN
2 000
ainsi la belle simplicité des raies photoélectroniques de la spectros-
copie XPS par exemple, ni même celle des spectres d’émission X.
En effet, les transitions Auger ne sont pas soumises à des règles de 1 500
sélection, contrairement à la transition conduisant à l’émission d’un
photon X qui doit obéir à la règle ᐉ ’ = ᐉ ± 1. En revanche, le fait que 1 000
les électrons soient indiscernables permet de ne pas distinguer une
transition du type KL1L3 d’une transition du type KL3L1 puisque les NOO
500
états initiaux et finaux sont identiques, ce qui limite le nombre de
raies Auger.
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
En pratique, pour identifier un élément, il suffit donc de repé- Z
rer la position énergétique de la raie Auger la plus intense ou Raies les plus intenses Raies de moindre intensité
d’énergie cinétique la plus élevée (par exemple, la raie KL3L3) et
de la comparer à la position des raies tabulées correspondant Figure 4 – Énergie des principales raies Auger en fonction du numéro
aux différents éléments. Pour une telle comparaison, on tient atomique Z
compte de l’éventualité d’un effet de glissement chimique
(§ 2.1.2.2).
1.3 Rendement Auger et rendement
de fluorescence
Enfin, il est intéressant de noter que l’absence de règle de sélec-
tion interdit de considérer le mécanisme Auger comme le résultat
d’un processus à deux étapes : émission d’un photon X suivie d’un Une lacune électronique ayant été créée sur le niveau électroni-
effet photoélectrique interne dans lequel l’électron Auger serait en que X, le rendement Auger aXYZ représente la probabilité pour que
fait un photoélectron. En effet, la raie Auger de type KL1L1, par la transition Auger XYZ se produise avec l’éjection d’un électron
exemple, ne saurait résulter de l’émission d’un photon X de type KL1 Auger issu du niveau Z alors que le rendement de fluorescence ωXY
puisqu’une telle transition est interdite en émission X. En décrit la probabilité pour que la transition radiative XY se produise
conséquence, l’effet Auger doit être clairement considéré comme avec l’émission d’un photon. Liées à la vitesse des transitions cor-
résultant d’une interaction directe entre électrons. respondantes, ces probabilités respectives peuvent être calculées

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par la mécanique quantique ou déduites de tables compilant des


résultats expérimentaux. Représenté sur la figure 5, le résultat
1
essentiel est que, pour une lacune initiale créée dans une couche K a ω aL
(n = 1), la somme des probabilités de toutes les transitions radiati- aK
ves ω K et de toutes les transitions non radiatives a K est logiquement 0,75
égale à 100 %. Ces deux probabilités ne sont pas égales et la proba-
bilité d’émission d’électrons Auger l’emporte sur la probabilité 0,5
d’émission X dès lors que l’énergie de liaison du niveau initial est ω
inférieure à 10 keV (numéro atomique Z < 31). Ainsi, pour Mg ou Al, 0,25 Intervalle
la probabilité d’émission de rayons X Mg Kα ou Al Kα n’est que de d’analyse
analyse Auger
ω
l’ordre de 3 % alors que la probabilité d’émission d’un électron
0
Auger est 25 à 30 fois supérieure. Il en est sensiblement de même 0,1 1 10 100
pour une lacune initiale sur une des sous-couches L, M ou N, où la
EL (keV)
somme des probabilités d’émission d’électrons Auger (et éventuel-
lement Coster-Kronig) a l’emporte sur la somme des probabilités La flèche horizontale indique l’intervalle énergétique exploré
d’émission X, ω, dès lors que l’énergie de liaison du niveau initial est usuellement en spectroscopie Auger.
inférieure à quelques kiloélectronvolts.

Figure 5 – Évolution des rendements Auger et de fluorescence en


Ainsi, tous les éléments de la classification périodique (sauf H
fonction de l’énergie de liaison de l’électron initialement éjecté
et He) sont susceptibles d’émettre avec un excellent rendement
des électrons Auger dont l’énergie cinétique se situe dans
l’intervalle 50 eV à 2,5 keV. C’est la faible profondeur d’échappe-
ment élastique de tels électrons lents (∼1 nm) qui confère à la
spectroscopie Auger une sensibilité superficielle comparable à 2. Instruments, spectres
celle de la spectroscopie des photoélectrons XPS (X-ray photo-
electron spectroscopy) dont l’énergie cinétique est similaire. et performances
Pour mettre en œuvre la spectroscopie Auger induite par des élec-
1.4 Cascade Auger trons en vue de l’analyse des surfaces solides, il suffit, en principe,
de disposer d’une enceinte ultravide équipée d’un canon à électrons
Le mécanisme Auger revient à remplacer une lacune électronique et d’un analyseur (figure 7). Couvrant généralement l’intervalle
initiale par deux lacunes occupant un niveau d’énergie supérieur. Le énergétique de 50 eV à 2,5 keV, le spectre des électrons Auger ainsi
processus peut se répéter en cascade jusqu’à ce que les lacunes obtenu garantit une profondeur d’analyse inférieure à 10 nm et il
finales atteignent la bande de valence. Ce phénomène a été observé s’inscrit sur le fond continu des électrons primaires rétrodiffusés et
dès la découverte de l’effet : (voir atome 6 de la figure 2). Cette cas- en amont du spectre des électrons secondaires (figure 8). Les élec-
cade conduit à obtenir un atome d’aluminium quadruplement ionisé trons rétrodiffusés dont l’énergie est située en amont de chaque raie
par la séquence : un électron AI(KLL) suivi de deux électrons AI Auger peut renforcer l’intensité de la raie considérée par l’intermé-
(LVV). Plus le numéro de l’atome concerné est élevé et plus l’état diaire d’un coefficient de rétrodiffusion Auger, noté r. Cette contribu-
final est multiplement ionisé dès lors que la lacune électronique ini- tion rétrodiffusée n’affecte néanmoins pas la résolution latérale de
tiale affecte le niveau le plus profond. la technique qui est conditionnée par la taille de la sonde électroni-
que incidente d 0, laquelle pouvant être inférieure à 10 nm. La sensi-
La figure 6 donne un très bel exemple de cascade multiple sur un bilité de la technique permet donc d’identifier les éléments
atome de xénon. Il a suffit d’éjecter un électron de la couche K par constituant des amas de quelques centaines d’atomes ou moins
absorption d’un photon X de 60 keV, par exemple, pour récupérer avec une précision dans la quantification qui peut être de l’ordre de
un ion Xe8+. Il s’agit incontestablement de la méthode la plus écono- 5 %. Néanmoins, la technique a des limites, au premier rang des-
mique pour obtenir un résultat aussi spectaculaire. quelles on doit signaler les effets d’irradiation : désorption d’espè-
Dans les isolants, où l’absence d’électrons de conduction ne per- ces pour les objets sensibles, effets thermiques pour les polymères
met pas de neutraliser les lacunes finales, une des conséquences et effets de charge pour les isolants.
est de favoriser la transformation O2– en O0 dans les oxydes ou la
transformation F– en F+ dans les fluorures, facilitant ainsi la
désorption dans le vide d’atomes d’oxygène ou de fluor initiale-
ment superficiels. 2.1 Instruments

En résumé La spectroscopie Auger induite par des électrons est mise en


L’émission d’électrons Auger résulte d’un processus de transi- œuvre dans une enceinte ultravide (∼10–8 Pa) équipée d’un canon à
tions électroniques à trois niveaux qui se produit dans tous les électrons et d’un analyseur.
échantillons, quel que soit leur état physique (solide, liquide ou Depuis les années 1965-70 où les progrès dans l’obtention de
gazeux) et quelle que soit la nature du projectile dès lors que l’ultravide ont permis l’application de l’effet Auger à l’analyse des
celui-ci a l’énergie suffisante pour créer une lacune électronique surfaces, les instruments permettant sa mise en œuvre ont considé-
sur un niveau de cœur. L’énergie cinétique des électrons Auger rablement évolué. Cette évolution est sans commune mesure avec
est indépendante de l’énergie du projectile incident et est uni- celle affectant les autres méthodes de microanalyse car, si elle
quement spécifique du numéro atomique de l’élément excité, à concerne naturellement les progrès relatifs aux accessoires et aux
l’exclusion de H et He qui ne possèdent pas d’électrons sur les systèmes d’acquisition du signal, elle a aussi conduit à une modifi-
couches supérieures à n = 1. C’est ainsi que l’émission Auger cation profonde de l’architecture même de l’instrument. Illustrée sur
peut être induite par des ions ou des positrons aussi bien que la figure 7, cette évolution est essentiellement justifiée par la prise
par des rayons X. Des raies Auger se retrouvent donc naturelle- de conscience que la résolution latérale de la technique était condi-
ment dans les spectres acquis en spectroscopie des photoélec- tionnée par la taille de sonde incidente d 0 et non par les dimensions
trons XPS et la corrélation entre la position énergétique d’une latérales du volume irradié qui, elles, sont déterminées par les pro-
raie Auger et celle des photoélectrons qui lui ont donné nais- cessus physiques de l’interaction électron-solide. Cette prise de
sance permet d’accéder au paramètre Auger α [P 2 625] [P 2 626].
conscience a conduit à améliorer les performances du canon à élec-

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(NOO)

O1, 2, 3
(MNN) (MNN)

⬃ 0,05 N4, 5
N2, 3
N1
(LMM)
a ≈ 1
⬃ 0,62 M4, 5
M3
M2
M1

(ω = 0,08) a ≈ 0,92 f23


⬃ 4,8 L3
L2 f13
f12
L1

ω = 0,89 (a ≈ 0,11)
⬃ 34,6 K
Xe (Z = 54)
EL (keV)
8+
L´ionisation du niveau initial K du xénon peut conduire, par cascade, à un état final Xe .
Noter la valeur des énergies de liaison des différents niveaux et des rendements Auger a
et de fluorescence ω correspondants.
À droite, exemples de transitions Coster-Kronig avec les rendements f associés.
Figure 6 – Cascade Auger du xénon

trons en augmentant en particulier l’énergie primaire des électrons function) peut être décomposée en deux parties distinctes : un pic
incidents E 0. Ces tendances lourdes affectent tous les appareils étroit et très intense dû aux électrons Auger générés directement
commerciaux, ce qui n’empêche pas la diversité des solutions tech- par le faisceau primaire entrant dans l’échantillon et ayant donc une
niques particulières à chaque constructeur, notamment sur le type extension latérale donnée par la taille de la sonde primaire et un
d’analyseur, les accessoires et le traitement du signal. Ainsi, la halo dû aux électrons Auger générés par les électrons rétrodiffusés,
figure 7c ne donne qu’un exemple de solution, sans préjuger des dont le poids relatif R (par rapport au poids unitaire de la contribu-
autres solutions disponibles sur le marché. tion directe) peut être comparable à la contribution entrante
(0 < R < 1) mais est latéralement étalé sur une surface généralement
bien supérieure à celle directement éclairée par le faisceau incident.
2.1.1 Résolution latérale et canon à électrons Parce que cet étalement est beaucoup plus grand, l’amplitude locale
du halo dû aux électrons rétrodiffusés est bien plus faible que celle
du pic associé aux électrons entrants et elle n’affecte donc pas la
2.1.1.1 Résolution latérale résolution point à point, qui n’est conditionnée que par la taille de la
Les électrons incidents, de quelques kiloélectronvolts, pénètrent sonde incidente [4] [5].
dans la cible sur une épaisseur de l’ordre du micron. Ils ionisent les Pour mesurer la résolution latérale, il suffit en principe d’obtenir
atomes tout au long de leur trajet en profondeur, en générant donc par balayage de la sonde incidente le profil Auger le long d’une
photons X et électrons Auger caractéristiques comme conséquence ligne, x ’Ox, perpendiculaire à une interface abrupte (ESF : edge
des deux processus de désexcitation des atomes excités. On s’est spread function) et de dériver ce profil par rapport à x pour évaluer
donc interrogé pour savoir si la résolution latérale de la technique la largeur à mi-hauteur de la dérivée (LSF : line spread function).
AES était conditionnée par la dimension latérale du volume irradié, Cette méthode nous paraît plus rigoureuse que celle qui consiste à
elle aussi de l’ordre du micron, indépendamment de la taille de la évaluer arbitrairement la distance qui sépare les 25 % du signal des
sonde incidente d 0 (comme en microanalyse par spectroscopie 75 % d’intensité du profil ligne (ou bien 20 % et 80 %, voire 15 % et
d’émission X ou sonde de Castaing [R 6 710]) ou uniquement par la 85 %).
taille de cette sonde d 0 (comme en microscopie électronique à
balayage : MEB [P 865] [P 866]).
2.1.1.2 Canons à électrons
En fait, si l’on utilise le critère de résolution habituellement appli-
qué aux instruments d’optique, c’est-à-dire la distance minimale qui Le premier canon à électrons fut celui mis en œuvre en diffraction
permet de distinguer deux points dans le plan image, la résolution d’électrons lents (figure 7a). Équipé d’un filament en tungstène
latérale en AES est conditionnée par la taille de la sonde incidente. (cathode) et alimenté par une tension primaire faible (E0 < 3 keV), il
Illustré sur la figure 9, ce constat résulte du fait que, comme les élec- délivrait des courants primaires intenses (I 0 ≈ 1 mA) dans une sonde
trons secondaires en MEB et contrairement aux rayons X de la de taille millimétrique.
microsonde, les électrons Auger « utiles » (c’est-à-dire n’ayant pas
perdu d’énergie) ne peuvent provenir que d’une couche superficielle Le développement d’appareils spécifiques à l’analyse Auger
très faible (profondeur d’échappement de l’ordre du nanomètre). Ce conduisit ultérieurement à mettre en œuvre des canons plus perfor-
fait induit que la « fonction réponse point » (PSF : point spread mants alimentés par des tensions primaires légèrement plus

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élevées (E 0 ≈ 5 à 10 keV) et délivrant des sondes plus fines


Spectromètre 4 grilles (d 0 ≈ 1 µm) pour des courants primaires de l’ordre de 1 µA mais
avec une cathode toujours en tungstène, voire en LaB6 (figure 7b).
Dès qu’il fut clair que la résolution latérale de la spectroscopie
Auger était gouvernée par la taille de la sonde incidente, elle put
bénéficier des progrès technologiques réalisés en microscopie élec-
Canon tronique à balayage (MEB) avec l’emploi de canons à émission de
Échantillon
à électrons champ mis en œuvre dans une colonne souvent verticale et alimen-
tés par des tensions primaires atteignant des énergies de 20 à
25 keV et des courants de l’ordre du nanoampère (figure 7c).
Comme en MEB, il s’agit en effet d’obtenir sur l’échantillon une
image électronique réduite de la source d’électrons (la cathode) par
un dispositif d’optique électronique approprié qui délivre des son-
a 1965 : E 0 < 3 keV ; I 0 ~ 1 mA ; d 0 ~ 1 m m
des d’autant plus fines, à courant constant, que la tension primaire
est élevée. Le diamètre de la source est ainsi passé d’une dizaine de
microns (filament de tungstène) à une dizaine de nanomètres
Détecteur Analyseur miroir cylindrique
(pointe à émission de champ) tout en bénéficiant d’une brillance
d´électrons
secondaires
accrue passant de 104 A ⋅ cm–2 ⋅ sr–1 avec un filament en tungstène à
107 A ⋅ cm–2 ⋅ sr–1 (à E 0 ≈ 20 keV) avec une source Schottky ou à
émission de champ. De plus, on peut réduire la taille de la sonde en
diminuant le courant primaire [I0 ∝ (d 0)2/3 pour les canons à émis-
Canon à électrons : sion de champ], ce qui est possible si on utilise un système de détec-
Échantillon W ; LaB6
tion en comptage d’impulsions pour l’acquisition des spectres
Détecteur Auger (comme en XPS) et non plus un système de détection en cou-
rant. Il est ainsi désormais possible d’obtenir des résolutions latéra-
les de l’ordre de 5 à 10 nm avec des courants primaires I0 inférieurs
à 1 nA. Ces performances remarquables restent néanmoins légère-
b 1975 : E 0 ~ 5 à 10 keV ; I 0 ~ 1 ␮A ; d 0 ~ 1 ␮ m
ment inférieures à celles accessibles aux microscopes à balayage
les plus modernes car, d’une part, le rendement d’émission secon-
daire δ est bien supérieur au rendement Auger, et d’autre part, parce
que la place nécessaire autour de l’échantillon est moindre. En spec-
troscopie Auger, la nécessité d’optimiser l’efficacité de collection de
Canon à électrons : l’analyseur impose des distances de travail (distance disponible au-
canon à émission de champ dessus de l’échantillon : w.d. sur la figure 7c) plus grandes qu’en
MEB, et donc des distances focales de l’optique électronique supé-
rieures, conduisant à des images de la source électronique sur
l’échantillon plus étendues.

2.1.2 Analyseur et profondeur d’analyse


Analyseur à hémisphères
concentriques 2.1.2.1 Profondeur d’analyse, longueur d’atténuation
et libre parcours moyen inélastique

Canon à ions
Le domaine spectral exploré en analyse Auger (50 eV à 2,5 keV)
est conditionné par l’excellent rendement Auger a, proche de 100 %
et, comme en spectroscopie XPS, par la plus grande facilité d’analy-
Détecteur ser des électrons relativement lents, ce qui confère à la technique
w.d. d’électrons une très grande sensibilité superficielle. En effet, la faible profon-
secondaires deur d’analyse de la spectroscopie Auger résulte de la faible lon-
Échantillon gueur d’atténuation λ (∼1 nm) d’électrons de faible énergie
cinétique. Comme au spectroscope XPS, on considère que la proba-
bilité pour que de tels électrons générés à la profondeur z puissent
Multicanal
être détectés sans avoir perdu leur énergie initiale est donnée par
une loi d’atténuation de la forme :

exp – ( z ⁄ λ cos θ )
dans laquelle θ est l’angle de détection par rapport à la normale à la
surface, la profondeur d’analyse étant, elle, choisie arbitrairement à
Micro-ordinateur z = 3λ, soit exp(–3) ≈ 5 %.
w.d. : distance disponible au-dessus de l´échantillon À énergie cinétique identique, cette longueur d’atténuation est la
0 0 0
même que celle régissant la longueur d’atténuation des photoélec-
c 2000 : E ~ 15 à 25 keV ; I ~ 1 nA ; d ~ 10 nm trons en spectroscopie XPS. Elle est en fait comprise entre 0,5 nm et
Au cours du dernier demi-siècle, l´évolution de l´architecture de quelques nanomètres car elle croît avec l’énergie cinétique EC tout
ces instruments est essentiellement guidée par l´évolution des en dépendant de la nature du matériau dans lequel ces électrons se
analyseurs et par la réduction drastique de la taille du faisceau propagent.
incident d 0 induisant l´accroissement de l´énergie primaire E 0.
Il convient enfin de distinguer entre la longueur d’atténuation λ,
qui est une grandeur empirique facile à utiliser en pratique mais qui
Figure 7 – Instruments d’analyse Auger : évolution
repose sur l’hypothèse d’une atténuation exponentielle, et le libre

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parcours moyen inélastique ᐉ (IMFP : inelastic mean free path) qui surface de la cible. Toutefois, d’autres informations utiles sont
est une grandeur physique calculable à partir des interactions iné- accessibles en spectroscopie Auger via la mesure du glissement chi-
lastiques d’électrons lents se propageant en zigzag dans le matériau mique et l’analyse fine des raies du type CVV.
considéré [6]. Différentes expressions ont été proposées pour cha-
cune de ces grandeurs [7]. À titre d’exemple, la figure 10 repré- Comme en spectroscopie XPS, le glissement chimique en spec-
sente, l’évolution de λ résultant d’une compilation effectuée par troscopie Auger résulte du fait que l’énergie de liaison EL des élec-
Seah et Dench [8] comparée à l’évolution du libre parcours moyen trons atomiques est d’abord fonction du numéro atomique Z de
inélastique calculé par Tanuma et coll. [9] pour les quatre mêmes l’atome autour duquel ils gravitent mais aussi, dans une moindre
éléments. Les ordres de grandeur obtenus confirment l’extrême mesure, de la nature des atomes voisins. Comme le mécanisme
sensibilité superficielle (∼1 nm), des spectroscopies Auger et XPS Auger implique trois niveaux d’énergie, la mesure du glissement
[10] mais, à la lumière de certaines études critiques, leur valeur chimique Auger qui en résulte n’est pas aussi facilement interpréta-
absolue doit être manipulée avec précaution quand elle est utilisée
ble qu’en spectroscopie XPS et elle est donc moins
pour le calcul des concentrations [11] [12] (§ 3.1.2).
systématiquement utilisée. Toutefois, l’exploitation de ce glisse-
ment peut s’avérer utile dans les cartographies (x, y) ou dans les
2.1.2.2 Glissement chimique et raies CVV profils (en z), surtout quand il est très net. C’est par exemple en cas
Compte tenu de l’étendue spectrale d’une famille de raies Auger, du décalage des raies KLL et LMM de Si dans SiO2 par rapport au
une résolution énergétique de l’analyseur d’électrons de l’ordre de silicium pur pour lequel il atteint l’amplitude exceptionnelle de
1 eV est suffisante pour l’identification des éléments composant la 16 eV (dans le sens des énergies cinétiques décroissantes).

Distribution spectrale des électrons secondaires : ∂δ/ ∂EC


Intervalle d’analyse Auger

Distribution spectrale des électrons


rétrodiffusés : ∂η/∂EC
Z

Z
Al (KLL)

O (KLL)
Al (LVV) Fond continu
C (KLL)

EC (eV)
0 50 200 500 1 000 1 500 E0

∂[EN(E)]/∂E

O (KLL) Al (KLL)

Ec (eV)
200 600 1 000 1 400 1 800
400 800 1 200 1 600 2 000

L´intervalle utile d´analyse Auger se situe entre 50 eV et ∼ 2 500 eV, domaine énergétique pour lequel la probabilité d´émission Auger
est supérieure à la probabilité d´émission X. Ce spectre s´inscrit sur le fond continu dû aux électrons rétrodiffusés, ∂η/∂EC, et il
précède la distribution spectrale, très étroite mais très intense, des électrons secondaires ∂δ/∂EC.
L´exemple concerne un oxyde d´aluminium contaminé (noter la raie KLL – ou CVV – du carbone) avec la présence des raies AI (KLL)
et AI (LMM) – ou AI (LVV) – correspondant au diagramme énergétique de la figure 3. En bas, le spectre en mode dérivé du même
échantillon.

Figure 8 – Allure des spectres Auger induits par les électrons

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100 %

LSF ESF

JP (r)

d0

x’ 0 x x’ 0 x
JR (r)
–4 –3 –2 –1 0 1 2 3 4
0
1 nm

d0

dr
Φ 1 X d0 1 1+R
Φ z 0

3
1 µm

z µm z (nm)

La simulation de Monte Carlo des trajectoires d´électrons primaires de 20 keV dans une cible d´éléments légers (AI2O3) illustre le fait que la
génération des électrons Auger et des rayons X caractéristiques (ou fonction Φ (ρz) en trait continu à gauche) a lieu dans le même volume mais
les signaux émergents diffèrent par les pondérations considérablement éloignées des atténuations correspondantes (courbe en pointillé, à
gauche pour les rayons X et à droite pour les électrons Auger pour lesquels on notera le changement d´échelle). Il en résulte que seules les
valeurs en z = 0 s´identifient : Φ (0) = 1 + R. La distribution radiale des électrons Auger peut donc être décrite par la somme de deux contributions :
JP (r ) pour les électrons Auger générés par le faisceau primaire entrant et JR(r) pour les électrons Auger générés par les électrons primaires
rétrodiffusés. Le critère de pouvoir de résolution point à point conduit alors à une résolution déterminée par la taille de la sonde incidente d 0 (en
haut à gauche). Le graphe en haut à droite illustre la mesure de cette résolution à partir de la mesure à mi-hauteur de la courbe dérivée (en
pointillé) d´un profil Auger obtenu perpendiculairement à une interface abrupte (trait continu). Noter aussi que plus de 50 % du signal Auger
provient d´un cylindre de hauteur λ et de diamètre d 0 (zone grise de la figure centrale) alors que le complément provient du volume bleu
beaucoup plus étendu.

Figure 9 – Résolution latérale

La forme des raies Auger relatives aux transitions impliquant la théorique directe de la forme des raies CVV montre que cette forme
bande de valence apporte aussi sous une forme plus exploitable la est plus complexe que la simple convolution de la densité d’état de
signature des liaisons chimiques entre l’atome concerné et ses voi- la bande de valence par elle-même [13].
sins. En effet, comme l’illustre la figure 11, l’analyse fine de ces raies
permet par exemple de distinguer différentes variétés de carbone : 2.1.2.3 Résolution énergétique et analyseurs d’électrons
carbone amorphe, graphite, diamant, atomes de carbone engagés À l’exception de l’analyseur à grille qui fonctionne comme un sim-
dans des nanotubes. Ce type d’étude s’effectue souvent à l’aide ple filtre passe-bande, la fonction des analyseurs utilisés en spec-
d’une détection en mode « dérivé » en comparant la forme des raies troscopie Auger est de disperser les électrons entrants en fonction
obtenues à celle des matériaux de référence. En effet, l’analyse de leur énergie cinétique par l’application d’une tension V entre

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deux électrodes. La dispersion en énergie au niveau de la fente de


sortie est sensiblement proportionnelle à la dimension de l’analy-
10 seur, ce qui impose le choix d’analyseurs relativement encom-
λ, ᐉ(nm) brants. Par ailleurs, ces analyseurs fonctionnent comme des
dispositifs optiques stigmatiques donnant donc en un point P’, à la
sortie de l’analyseur, une image quasi ponctuelle d’une source
d’électrons monocinétiques émis au point conjugué P, à l’entrée de
l’analyseur. Les aberrations de ces dispositifs sont dues aux dimen-
sions finies w de la source émettrice et aux écarts aux conditions de
Gauss via l’influence de α, le demi-angle d’émission maximal des
électrons entrants mesuré par rapport à la trajectoire moyenne
d’équilibre. La résolution en énergie (au sens de la séparation entre
deux raies) de ces instruments ∆E obéit à une relation de la forme :
— pour les analyseurs de type CHA (concentric hemispherical
1 analyser) [P 2 625] [P 2 626] :
2
∆E ⁄ E = Aw + B α
— pour les analyseurs de type CMA (cylindrical mirror analyser) :

3
∆E ⁄ E = A′w + B′ α

Cela conduit à des valeurs typiques de ∆E/E de l’ordre 0,3 % où E


est l’énergie de passage des électrons dans l’analyseur.
Les analyseurs de type CMA ont une excellente efficacité de col-
EC (eV)
lection angulaire α , et leurs points conjugués P et P’ se situent en
0,1 dehors de l’analyseur proprement dit, ce qui impose de placer pré-
0 500 1 000 1 500 2 000
cisément l’échantillon au point P puisque la position du détecteur
est imposée en P’.
λ 艎 Les analyseurs de type CHA ont des points conjugués à l’entrée
Al Al
et à la sortie des hémisphères mais une optique électronique
Au
intercalée entre l’échantillon et l’entrée de l’analyseur donne une
Au
plus grande latitude pour le positionnement de l’échantillon. De
V V
plus, cette optique permet de choisir l’énergie de passage E des
Cu Cu électrons dans l’analyseur et d’opérer ainsi à énergie de passage
constante pour toutes les raies du spectre Auger et non à ∆E/E
Figure 10 – Longueur d’atténuation ␭ et libre parcours moyen constant (pour plus de détails, voir sur la spectroscopie XPS
inélastique ᐉ [P 2 625] [P 2 626]).
Enfin, il est utile que ces analyseurs soient dotés, en sortie, de plu-
sieurs détecteurs afin d’acquérir simultanément plusieurs parties du
spectre Auger, ce qui conduit à un gain de temps appréciable pour
l’acquisition, en parallèle, de séries de profils en profondeur ou de
cartographies caractéristiques en (x, y).

SiC WC
Graphite 2.1.3 Systèmes d’acquisition des spectres

Les dispositifs de détection situés derrière l’analyseur sont reliés


à des systèmes d’acquisition et de traitement des signaux plus ou
moins sophistiqués. La plupart des instruments commerciaux per-
Diamant mettent d’acquérir spectres, profils et images sous forme numé-
rique et ils sont livrés avec des progiciels intégrés qui permettent
d’analyser ces données.
200 300 200 300 200 300
Les opérations les plus simples concernent :
EC (eV) EC (eV) EC (eV)
— l’affichage du spectre et des images ;
— l’intégration et la mesure des aires ;
— l’addition et la soustraction des spectres ;
— le repérage des maxima et l’identification des raies.
Ces opérations sont la simple adaptation à la spectroscopie Auger
de procédures applicables à toute spectroscopie et leur exploitation
ne pose pas de problème particulier.
D’autres possibilités plus élaborées sont souvent offertes mais il
est recommandé de les employer avec prudence car elles modifient
les données initiales ; ainsi, ces dernières devront toujours être sau-
Nanotubes C TiC NiC vegardées par précaution. Il s’agit entre autres de :
— lissage de spectres ;
— décomposition des raies ;
Figure 11 – Raies Auger du carbone C(KVV) obtenues en mode dérivé — soustraction du fond continu.

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En fait, et contrairement à la spectroscopie XPS, la décomposition images filtrées, privilégie l’imagerie Auger sur l’acquisition des
des raies est peu usitée en spectroscopie Auger parce que l’effet de spectres Auger (microspectrométrie Auger). À l’inverse de l’acquisi-
glissement chimique est aussi peu exploité. Pour éviter artéfacts et tion préalable de spectres suivie par l’acquisition d’images obte-
erreurs d’interprétation, la mise en œuvre des autres procédures nues par balayage de la sonde incidente (spectromicroscopie), cet
suppose, au minimum, la connaissance des hypothèses mathémati- instrument délivre des images électroniques globales (xy), successi-
ques et physiques sous-jacentes qui ont conduit à leur élaboration. ves, correspondant chacune à une énergie présélectionnée des élec-
En effet, comme on le verra plus loin (§ 3.2), les opérations comme trons émis [15]. Citons également le microscope électronique à
la soustraction du fond continu et a fortiori la quantification peuvent balayage mis au point par Venables : il délivre un faisceau incident
être conduites en suivant des approches différentes, voire divergen- de l’ordre du nanométre à une énergie E 0 de 100 keV et est équipé
tes, et qui sont susceptibles d’évoluer en fonction de perfectionne- d’un dispositif de collection des électrons Auger à l’efficacité opti-
ments à venir. Les systèmes ainsi mis en œuvre doivent donc être male. Cela permet l’identification et l’analyse de nanoparticules
ouverts pour permettre l’intégration ultérieure de programmes plus constituées seulement de quelques atomes [16].
perfectionnés et à la fiabilité avérée.
Entre les opérations de routine et les opérations plus délicates, il
y a la déconvolution des spectres Auger par la fonction d’appareil.
Sauf dans le cas d’une analyse fine de la forme des raies de type
2.2 Analyse détaillée des spectres Auger
CVV, cette possibilité est relativement peu exploitée en spectrosco-
pie Auger mais elle peut être conduite en suivant les procédures
générales de transformées de Fourier ou de méthodes itératives uti- 2.2.1 Modes d’acquisition
lisant l’algorithme de Van Citter. Le caractère spécifique de la spec-
troscopie Auger tient au fait que la forme de la raie Auger est L’acquisition des spectres Auger peut s’effectuer soit en mode
indépendante de la largeur énergétique du faisceau incident. Ainsi, dérivé, d(N(E)/dE, soit en mode normal N(E) ou EN(E).
la déconvolution du spectre expérimental par cette largeur sera sans
■ L’acquisition en mode dérivé permet une identification rapide des
objet et limitée à la déconvolution de la fonction analyseur et à la
éléments constituant la cible car elle rend plus visible la position des
réponse des détecteurs.
pics Auger tout en supprimant artificiellement le fond continu sous
Signalons enfin la possibilité de tester la chaîne complète mise en les pics (voir graphe en bas de la figure 8). Toutefois, la mesure de
œuvre dans l’équipement (incluant la réponse des détecteurs) en la hauteur des pics ne saurait être utilisée pour la quantification des
comparant les spectres obtenus sur des échantillons témoin avec éléments (évaluation de leur concentration) car rien ne garantit que
des spectres de référence accessibles par Internet [14]. cette hauteur soit strictement proportionnelle à l’intensité des raies
(c’est-à-dire à leur aire au-dessus du fond continu), surtout quand la
transition concernée est du type CVV ou CCV. Ce type d’acquisition
2.1.4 Accessoires est obtenu par la mise en œuvre d’un amplificateur à détection syn-
chrone modulant à la fréquence f la tension appliquée aux analy-
Les principaux accessoires des appareils Auger sont : seurs de type CMA ou CHA. Ce même type d’acquisition peut être
— un détecteur d’électrons secondaires, qui permet d’obtenir obtenu avec un analyseur à grilles en le modulant à la fréquence f et
une image MEB de l’échantillon et de sélectionner la zone à en détectant le signal à la fréquence 2f.
analyser ; ■ L’acquisition en mode normal N(E), à énergie de passage
— un dispositif de décapage ionique plus ou moins sophistiqué, constante, ou EN(E), à résolution ∆E/E constante, est un préalable
qui permet de nettoyer la surface de l’échantillon préalablement à nécessaire à une bonne évaluation des concentrations mais elle
l’analyse ; impose la soustraction délicate du fond continu sous les raies
— un sas d’introduction de l’échantillon, qui évite de remettre Auger. Ces spectres peuvent être acquis soit en mode « courant »,
toute l’enceinte à la pression atmosphérique à chaque changement soit, pour des courants primaires plus faibles et donc une meilleure
d’échantillon. résolution latérale, en mode comptage d’impulsions.
Pour des études plus spécifiques comme l’épitaxie par jets molé-
culaires, l’appareil peut être aussi doté de dispositifs de transfert de
l’échantillon ou de creusets permettant son élaboration in situ. Diffé- 2.2.2 Paramètres influençant l’intensité du signal
rents autres dispositifs (chauffage, refroidissement) permettent par
ailleurs des analyses à température contrôlée. À incidence normale, l’intensité du signal Auger d’une raie parti-
culière d’un élément pur A se déduit de l’intensité des électrons
Auger qui, émis dans le vide, ont été générés entre z et z + dz, dans
2.1.5 Autres instruments Auger l’épaisseur dz :
0 0
■ Appareil mixte XPS-Auger
A
dI A∞ = I [ N A0 ⋅ σ ( A x , E )dz ] [ a xyz ( A ) ⋅ r A ⁄ A ]
(3)
Le même type d’analyseur CHA peut être mis en œuvre aussi bien [ exp – ( z ⁄ λ A ⁄ A cosθ ) ] ⋅ T ( E A )
en spectroscopie Auger qu’en spectroscopie XPS. Il est donc sédui-
sant de concevoir un appareil mixte permettant la mise en œuvre Dans cette expression l’exposant A de I signifie Auger et l’indice
des deux spectroscopies dans une enceinte unique en ajoutant par A∞ représente l’élément A pur.
exemple un canon à électrons primaires à un appareil XPS. L’intérêt Le premier terme entre crochets représente la probabilité pour
économique est évident et cela peut également présenter un intérêt qu’un électron incident d’énergie E 0 ionise le niveau x de l’atome A
technique. Toutefois, les problèmes d’encombrement autour de via sa section efficace d’ionisation σ (Ax, E 0) et N A0 est la densité ato-
l’échantillon font que les performances du canon auxiliaire sont, en mique de l’élément A pur.
terme de taille de sonde, moindres que celles des canons mis en Le deuxième terme décrit la pondération de cette ionisation par le
œuvre dans des appareils Auger spécifiques. rendement Auger, axyz (A), ainsi que le renforcement du signal par
■ Prototypes l’effet de rétrodiffusion, coefficient η, des électrons primaires, ren-
forcement qui, à incidence normale, correspondant à :
Si les appareils disponibles dans le commerce sont basés sur
l’architecture générale décrite ci-avant, il convient de signaler l’exis- 0 2
R = ( 1 ⁄ σ ( E ) )冮冮σ ( E C ) ( d η ⁄ dE C dθ ) sinθ dθ dE C (4)
tence de prototypes basés sur des approches plus originales. Il
s’agit par exemple de l’appareil initié par Bauer qui, en délivrant des avec rA/A = (1 + RA/A).

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Le troisième terme représente l’atténuation des électrons Auger Les difficultés liées à ces différentes évaluations expliquent que
se propageant vers la surface et le dernier terme, T (EA), représente l’on ait rarement recours à une telle procédure. Dans les cas de
l’efficacité énergétique et angulaire de collection de l’analyseur et quantification généralement rencontrés, on préfère se référer aux
du détecteur pour la raie Auger considérée. intensités relatives Ι A ⁄ Ι ∞A qui correspondent au rapport entre
l’intensité I A de l’élément A à doser dans l’échantillon étudié et celle
Enfin, les indices A/A indiquent que le coefficient correspondant a
Ι AA∞ relative à un témoin A pur. Une telle comparaison permet d’évi-
trait à l’élément pur, par opposition aux indices A/AB qui concernent
ter l’évaluation délicate de termes tels que σ (Ax, E 0), axyz (A) ou T(E)
l’élément A dans un alliage binaire AB par exemple.
(§ 3.1.2).
En intégrant l’équation (3), on peut mettre l’intensité de la raie
Auger sous la forme :
2.2.3 Fond continu et limites de détection
0 0
I ∞A = I β ( A, E ) ⋅ T ( E ) (5)
2.2.3.1 Origine physique du fond continu
avec β (A, E 0) = [ N A0 σ (Ax, E 0) ⋅ λA/A cos θ )] [axyz (A) rA/A]
Les raies Auger dont l’énergie cinétique EC est inférieure à 50 eV
L’équation (5) permet d’évaluer l’ordre de grandeur du rapport s’inscrivent sur un fond continu décroissant de la distribution spec-
entre l’intensité totale d’une famille de raies Auger et l’intensité du trale des électrons secondaires dδ /dEC. Les raies Auger dont l’éner-
courant primaire, Ι ∞A ⁄ Ι 0 . En effet, ce rapport, qui vaut β (A, E0) ⋅ T(E), gie cinétique EC est supérieure à 200 eV s’inscrivent sur un fond
se simplifie car le terme [axyz (A) ⋅ rA/A] est de l’ordre de l’unité. Il continu croissant de la distribution spectrale des électrons rétrodif-
fusés dη /dEC (figure 8). Enfin, entre 50 eV et 200 eV, les deux
prend donc la forme β (A, E 0) ∼ [ N A0 σ (Ax, E 0) ⋅ λA/A ⋅ cos θ )]. Pour une contributions, secondaire et rétrodiffusée, participent à ce fond
telle évaluation, la section efficace peut être estimée à partir de : continu. La forme de la distribution spectrale des électrons rétrodif-
fusés, comme son intégrale η, dépend du numéro atomique moyen
0 10 du substrat <Z> mais pour des énergies primaires supérieures à
σ ( A x , E ) ≈ 2,5 ⋅ 10 ⁄ E L2 (6) 5 keV, η est indépendant de E 0 [20]. Le fond continu sous les raies
Auger telles que EC > 200 eV décroît donc sensiblement en 1/E 0
à l’énergie E 0 où elle est maximale, E 0 ≈ 2,7 ⋅ EL, avec EL en électron- quand l’énergie primaire E 0 croît. En terme de rapport signal sur
volts et σ en barns par atome (1 barn = 10–24 cm2). On obtient σ (Ax, bruit, cette décroissance compense partiellement la décroissance du
signal liée à la diminution de la section efficace d’ionisation quand
E 0) ≈ 10–19 cm2 pour une énergie de liaison de 500 eV et 10–17 cm2 E 0 croît. En spectroscopie Auger, le rapport signal sur fond continu
pour EL ≈ 50 eV. Avec N A0 ≈ 5 ⋅ 1022 at/cm3, λA/A ⋅ cos θ ≈ 1 nm et en d’un élément pur varie donc d’environ 1/10 pour E 0 ≈ 5 keV, jusqu’à
environ l’unité pour une énergie exceptionnelle de 100 keV. Acquis à
prenant σ (Ax, E 0) ≈ 10–18 cm2, on obtient β (A, E 0) ≈ 5 10–3, soit un E 0 = 100 keV, le spectre du silicium représenté sur la figure 12 illus-
rapport Ι ∞A ⁄ Ι 0 de l’ordre de quelque 10–4 pour une efficacité de col- tre ce point.
lection de l’analyseur de l’ordre de 10 %. Ce rapport tombe à quel-
2.2.3.2 Limites de détection : concentration minimale
que 10–5 dès lors qu’il s’agit de l’acquisition d’une raie Auger détectable et nombre minimal d’atomes détectables
particulière avec une résolution énergétique de l’ordre d’une frac-
tion d’électronvolt. ■ Quand un élément est en faible concentration sur une surface, on
admet que le signal correspondant est détectable quand son ampli-
Cette évaluation est utile car elle permet de prévoir l’intensité que tude I τA est au moins égale à trois fois le bruit, c’est-à-dire trois fois
l’on peut espérer à l’aide d’un courant primaire I0 donné. La décrois- les fluctuations statistiques du fond continu (IFCτ)1/2. En mode
sance en E L– 2 de la section efficace d’ionisation explique en parti- comptage d’impulsions, cela revient à écrire :
culier pourquoi les raies Auger de haute énergie sont moins
intenses que celles de basse énergie cinétique. 0 1⁄2
I τA = c m I τβ ( A, E ) ⋅ T ( E ) = 3 ( I FC τ )
A 0
(8)
Pour des estimations plus précises, il convient d’utiliser des
expressions plus sophistiquées pour chacun des termes de l’équa- avec cm la concentration minimale détectable (at/at),
tion (4) :
τ la durée d’acquisition par canal (s).
— pour la section efficace d’ionisation σ (Ax, E 0), on peut utiliser
les expressions analytiques de Bethe, Gryzinski, Drawin ou autres
mais il semble que l’expression proposée par Casnati et coll. donne
le meilleur accord avec les résultats expérimentaux [17] ;
— pour la longueur d’atténuation λA/A, à défaut d’utiliser les
expressions physiques donnant le libre parcours moyen inélastique, Si (KLL)
on peut avoir recours à l’expression empirique proposée par Seah et
Dench [8], la plus couramment utilisée à défaut d’être la plus précise
As (LMM)
[12] ;
— pour le coefficient de rétrodiffusion à incidence normale, J Bruit
Shimizu propose l’expression [18] : I
As
0,14 – 0,35 0,14
R A ⁄ A = ( 2,34 – 2,1 ⋅ Z )U + ( 2,58 ⋅ Z – 2,98 ) (7) OO O O
Si
Fond continu

— pour l’élément A de numéro atomique Z avec U = E 0/EL


0
— enfin, les valeurs de axyz (A) étant tabulées [19], il reste à éva-
1 300 1 600 EC (eV)
luer la transmission énergétique et angulaire de l’analyseur T(E).
Même s’il existe des logiciels permettant de passer des spectres E 0 = 100 keV ; I0 ≈ 30nA ; temps d´acquisition total ≈ 30 min
acquis par l’instrument à des spectres de référence, cette opération Le problème de la soustraction du fond continu sous la raie
est délicate à conduire car elle dépend non seulement du type d’ins- Si (KLL) est aussi illustré.
trument mis en œuvre mais aussi, entre autres, du positionnement
précis de la zone émettrice de l’échantillon par rapport à l’optique Figure 12 – Sensibilité illustrée par la détection d’une fraction
d’entrée de cet analyseur. de monocouche d’arsenic sur un substrat de silicium

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En combinant cette relation avec l’équation (5), on obtient


A
l’expression de la concentration minimale détectable c m exprimée
3. Analyse quantitative :
en atomes par atome (at/at) quand les amplitudes sont exprimées
en nombre d’impulsions (cps) :
relation entre l’intensité
et la concentration
1⁄2
A
cm ≈ 3 ( I FC τ ) / Ι ∞A τ (9)
La détermination des concentrations des éléments et de leur
Pour fixer des ordres de grandeur, et en admettant que l’amplitude répartition dans un échantillon donné constitue le problème essentiel
du fond continu soit comparable à celle du signal, on trouve que de toute méthode de microanalyse. Si ces données étaient connues,
Ι ∞Aτ doit être de l’ordre de 10, soit I 0 τ ≈ 106 électrons incidents pour la physique des interactions est suffisamment maîtrisée pour per-
la détection d’un élément pur, ( c m A
≈ 1 ) , par l’acquisition d’une raie mettre de calculer les intensités des signaux caractéristiques qui en
résulteraient. La difficulté réside dans la recherche de la solution du
Auger particulière avec une résolution énergétique d’une fraction
problème inverse qui n’admet pas nécessairement de solution uni-
d’électronvolt. En principe, un temps d’acquisition de 0,1 ms par que car deux échantillons différents, alliage homogène d’une part et
canal (soit 10 ms pour explorer séquentiellement la centaine de stratifié d’autre part, peuvent conduire aux mêmes intensités.
canaux couvrant la totalité d’une famille de raies et le fond continu
qui l’entoure) et un courant primaire de I 0 ≈ 1 nA (1010 électrons) Comme en spectroscopie XPS, la quantification en spectroscopie
Auger a donné lieu à des activités de recherche intenses et à une lit-
suffisent donc pour identifier la présence d’un élément pur. Cet
térature particulièrement abondante. Ces activités ont été essentiel-
exemple limite induit qu’il faut multiplier le produit Ι 0 τ par 106 pour
A lement initiées par le programme de coopération internationale
obtenir une limite de détection c m de 0,1 % en portant par exemple VAMAS (Versailles Project on Advanced Materials and Standards),
le temps d’acquisition à une heure. Ce constat résulte du fait que groupe de travail technique no 2, ce qui a conduit à l’élaboration de
A
l’amélioration (sa diminution) de c m est liée à l’accroissement normes par le comité technique ISO/TC 201 Analyse chimique des
concomitant de ( I 0 τ )1/2. Il implique aussi le fait que la sensibilité surfaces, à la mise en place de bases de données, principalement
puisse être théoriquement améliorée en accroissant le temps d’acqui- celles du NIST (National Institute of Science and Technology) aux
sition, mais que cet accroissement est limité pratiquement par l’évo- États-Unis et du NPL (National Physical Laboratory) au Royaume-
lution de l’échantillon soumis à une trop longue irradiation Uni ainsi qu’à différents rapports techniques et à de nombreuses
(contamination) avec le risque d’instabilités diverses (courant, ten- publications, sans compter les standards recommandés par de
sion, porte-échantillon). Ce même constat souligne l’intérêt de dispo- l’ASTM (American Society for Testing Materials), comité E42. Il est
ser d’une acquisition parallèle (et non séquentielle) du spectre. hors de propos ici de donner le détail des procédures recomman-
dées, aussi nous limiterons-nous à décrire une approche simplifiée
Compte tenu du fait que 63 % (1 – e–1) du signal provient d’une de la quantification puis à donner un aperçu de développements
couche d’épaisseur λ (~1 nm) et que l’épaisseur d’une couche atomi- plus sophistiqués en gardant en mémoire que dans de nombreuses
situations pratiques, une analyse de routine permet d’apporter les
que est de l’ordre de 0,3 nm, on vérifie aussi que la sensibilité de la
réponses souhaitées sans avoir nécessairement recours aux métho-
spectroscopie Auger est d’une fraction de monocouche quand des plus lourdes à mettre en œuvre dont on trouvera le détail dans
cmA
≈ 1 % à 0,1 %. Ce point est illustré sur la figure 12 qui représente Pour en savoir plus [Doc. P 2 622].
la détection d’une fraction de monocouche d’arsenic sur une surface
de silicium avec I0 ≈ 30 nA et E 0 = 100 keV et un temps total d’acqui-
sition du spectre d’une demi-heure.
3.1 Évaluation simplifiée
■ La sensibilité peut aussi s’exprimer par la masse minimale détec- des concentrations
table ou mieux, par le nombre minimal d’atomes détectables Nm.
Cette évaluation peut s’effectuer en calculant le nombre d’atomes
contenus dans le volume Vess d’où vient l’essentiel du signal, nom- La détermination des concentrations des éléments constituant un
bre pondéré par la valeur de cm : Nm ≈ cm [N A0 ⋅ (d 0 ) 2λ ]. alliage homogène, ou quantification, procède de deux démarches
simultanées : l’une, expérimentale, consiste à mesurer les intensités
Avec N A0 ≈ 5 ⋅ 1022 at/cm3, cm ≈ 10–2 à 10–3, λ ≈ 1 nm, on obtient Auger des constituants, l’autre, théorique, met en œuvre la relation
une dizaine d’atomes pour une sonde de diamètre d 0 ≈ 5 nm. Un tel intensité-concentration [équation (10) ci-après].
résultat est spectaculaire car proche de la limite ultime de toute
méthode d’analyse élémentaire : la détection d’un atome unique.
Cette limite a été quasiment atteinte avec une sonde de l’ordre du 3.1.1 Soustraction du fond continu
nanomètre avec un prototype de microscope Auger mis en œuvre à
l’énergie inhabituelle de 100 keV et sur un échantillon où l’élément à La mise en œuvre de la quantification commence par la détermi-
détecter, quasiment pur, était localisé dans des nano-îlots, (voir nation de l’intensité vraie des raies Auger caractéristiques sur le
[P 2 621v2]). Toutefois, la détection d’un atome unique ne suffit pas spectre de l’échantillon à doser et éventuellement sur les spectres
à caractériser toutes les performances ultimes d’une technique de de référence des éléments purs correspondants. Cela implique donc
la soustraction du fond continu sous les raies. Il s’agit moins de
microanalyse car un tel résultat était déjà sous-jacent dans les expé-
soustraire la distribution spectrale des électrons rétrodiffusés que
riences de Pierre Auger (figure 2). Dans les résultats récents, il n’est d’éliminer les électrons Auger inélastiques qui, ayant perdu un peu
remarquable que par son association avec une localisation très fine d’énergie cinétique durant leur transport vers la surface, se retrou-
de la position des atomes, 1 nm. Malheureusement, de telles locali- vent sous le pic Auger concerné.
sations et limites de détection impliquent aussi des fluences très éle-
Comme le montre la figure 12, le point de départ I de cette sous-
vées sur l’échantillon qui ne peuvent être atteintes que sur des
traction est facile à déterminer, alors que le point final J et la courbe
échantillons relativement insensibles aux effets d’irradiation (voir reliant I à J sont plus délicats à cerner. Le problème se pose en
figure 14 et § 4.2.3). terme quasiment identique en spectroscopie XPS à cela près que le
Nota : souvent incorrectement appelée dose, la fluence F désigne le produit de la den-
fond continu est bien plus intense en spectroscopie Auger mais que
sité de particules incidentes par le temps d’irradiation, soit ici le nombre d’électrons inci- la décomposition des raies est moins systématiquement mise en
dents par unité de surface, voire la charge électrique par unité de surface (C ⋅ m–2). œuvre. Les différentes approches proposées (Sickafus :

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interpolation directe entre I et J sur une courbe log-log ; Shirley : 3.2 Approche plus élaborée
soustraction proportionnelle à l’intensité intégrée relative à la
fraction de la raie immédiatement au-dessus ; Tougaard, etc.), ont de la quantification
fait l’objet d’une analyse critique que l’on trouvera dans la référence
[21].
En fait, comme le principe de la quantification est basé sur la L’un des objectifs des programmes de coopération internationale
mesure du rapport entre les intensités d’une raie Auger donnée concerne l’amélioration de la précision de la mesure des concentra-
dans l’échantillon d’une part et dans l’élément pur d’autre part, on tions. Cela implique d’abord de définir des protocoles opérationnels
minimise les erreurs de ce rapport en appliquant strictement la pour permettre la comparaison des résultats obtenus sur des échan-
même méthodologie pour la soustraction des deux fonds continus. tillons témoins, ce qui requiert au préalable la caractérisation pré-
cise des fonctions réponse d’instruments issus de constructeurs
différents [23] [24].
3.1.2 Relation intensité-concentration Concernant la précision sur les concentrations, les progrès por-
tent sur la soustraction du fond continu (pour une mesure plus
Pour établir cette relation, on s’inspire des équations (3) et (5), ce exacte des intensités) et sur l’évaluation des facteurs de matrice, λ et
qui conduit à utiliser, dans le cas d’une alliage binaire AB de r. Dans ce but, les tendances récentes cherchent à privilégier les
concentrations atomiques cA et c B, l’expression de l’intensité rela- mesures complémentaires sur l’échantillon à analyser avec, néan-
tive à l’élément A : moins, l’aide de quelques équations et le recours assez
systématique aux bases de données (NPL et NIST) [23] [24] [25] [26]
0 ⋅ σ ( A , E 0 ) ] (λ
I AA ⁄ AB = [ I 0 [ c A N AB x A ⁄ AB cos θ ) ] ⭈ alors que l’approche simplifiée de la quantification privilégie l’utili-
(10) sation exclusive de formules de correction.
( [ a xyz ( A ) ⋅ r A ⁄ AB ] ) ⋅ T ( E A )
0
dans laquelle N AB est la densité atomique de l’alliage, λA/AB et rA/AB
étant la longueur d’atténuation et le coefficient de rétrodiffusion 3.2.1 Soustraction du fond continu
Auger des électrons Auger se propageant ou étant générés dans
l’alliage AB. À la place de procédures purement mathématiques, une approche
Outre l’homogénéité de l’alliage dans le volume analysé et la pla- plus expérimentale consiste à acquérir, à E0 ≈ 1 keV (ou mieux, à
néité de sa surface, l’expression (10) ne s’applique qu’à des maté- l’énergie de la raie Auger concernée), le spectre de perte d’énergie
riaux supposés amorphes pour ne pas avoir à prendre en compte les accompagnant le pic des électrons primaires réfléchis puis de
effets de canalisation cristalline susceptibles d’influencer la propa- déconvoluer le spectre Auger par ce spectre [27].
gation des électrons incidents et Auger. Compte tenu de l’incertitude
sur les facteurs tels que σ(Ax, E 0), axyz(A) ou T(EA), on n’utilise
qu’exceptionnellement l’expression (10) seule pour la quantification 3.2.2 Correction du coefficient de rétrodiffusion
et on préfère la combiner à l’expression correspondante relative à
l’élément A pur :
Auger
A = I 0 [ N 0 ⋅σ ( A , E 0 ) ( λ
I A∞ A x A ⁄ A ⋅ cos θ ) ] ⭈ Si les électrons Auger qui constituent le signal proviennent des
(11) premières couches atomiques, (< 20 nm), l’amplitude du signal
[ a xyz ( A ) ⋅ r A ⁄ A ] ⋅ T ( E A )
Auger associée au coefficient de rétrodiffusion Auger R dépend, via
Le rapport des relations [9] et [10] permet d’obtenir cA sous la η dans l’équation (4), de la composition du substrat sur une profon-
forme : deur d’une fraction de micron correspondant à environ 4/10 de la
pénétration maximale des particules incidentes Rp. Si on connaît la
0 ][λ
A ⁄ A ⁄ λ A ⁄ AB ] ⋅ [ r A ⁄ A ⁄ r A ⁄ AB ] ⋅ [ I A ⁄ AB ⁄ I A∞ ]
c A = [ N A0 ⁄ N AB A A (12) stratification de l’échantillon, on peut évaluer R à l’aide de simula-
tions de Monte Carlo [28]. Mais cette connaissance a priori n’est pas
Quand l’élément B est très dilué dans A, les facteurs de matrice, toujours effective. Par exemple, le signal Auger d’un film de carbone
les trois premiers termes entre crochets, sont sensiblement de quelques nanomètres d’épaisseur passe du simple au double
unitaires et cA se déduit du simple rapport [ I AA ⁄ AB ⁄ I A∞
A ] et c est selon que le substrat sous-jacent est composé d’un élément léger
B
comme le carbone ou au contraire d’un élément lourd comme l’or,
égal à 1 –cA. En revanche, si les rapports des intensités [ I AA ⁄ AB ⁄ I A∞
A ] alors que le spectre Auger – qui est uniquement conditionné par la
composition du film – ne comporte que le signal Auger du carbone.
et [ I BA ⁄ AB ⁄ I B∞
A ] – qui donnent une première estimation des concen-
L’erreur sur la quantification en composition des films risque donc
trations apparentes – suggèrent que ces concentrations sont du d’être significative, notamment lors de l’exploitation de profils
même ordre de grandeur, la prise en compte des corrections de Auger en profondeur ou de cartographies en microscopie Auger à
matrice s’avère nécessaire pour une bonne précision sur les balayage. Une méthode pour minimiser cet effet consiste à acquérir
concentrations en s’affranchissant, éventuellement, de la densité l’évolution du coefficient de rétrodiffusion η simultanément à
0 l’acquisition de l’évolution des signaux Auger puis à corriger les
N AB (inconnue d’un alliage dont on cherche à déterminer la compo-
intensités Auger à l’aide d’une expression corrélant R et η [29].
sition), par l’évaluation du rapport cA/cB tenant compte du fait que la
somme des concentrations est unitaire (cA + cB = 1). En effet, le rap-
port cA/cB est proportionnel au rapport [ I AA ⁄ AB ⁄ I A∞
A ] ⁄ [IA
B ⁄ AB ⁄ I B∞ ]
A 3.2.3 Correction de la longueur d’atténuation
A
pondéré par des termes du type F AB qui ne regroupent que les fac-
Compte tenu de la valeur très faible de λ (∼1 nm), une incertitude
teurs de matrice, λ et r. d’une fraction de nanomètre sur son évaluation entraîne une erreur
À l’aide des expressions analytiques proposées pour λ et r, il est significative dans l’estimation des concentrations. Pour minimiser
alors possible de calculer ces facteurs de matrice à partir des ces erreurs, une approche assez lourde consiste à mesurer l’inten-
sité du pic des électrons primaires réfléchis qui n’ont pas perdu
concentrations apparentes, c A* ≈ [ I AA ⁄ AB ⁄ I ∞A ] et c B* ≈ [ I AA ⁄ AB ⁄ I B∞
A ]
d’énergie à partir de la mise en œuvre de la spectroscopie de pic
puis de reporter le résultat dans le rapport cA/cB pour améliorer élastique (EPES : elastic peak electron spectroscopy) [30]. Par un cal-
l’évaluation des concentrations par itération. cul tenant compte des chocs élastiques subis par les électrons Auger

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lors de leur transport vers la surface, il est aussi possible de déduire


la longueur d’atténuation λ (∼1 nm), grandeur empirique, des cal-
4. Synthèse des performances
culs théoriques donnant le libre parcours moyen inélastique
ᐉ(IMPF), grandeur physique. Un certain nombre de bases de don-
et limites en sonde fixe
nées facilitent cette conversion [31] [32].

4.1 Performances
3.3 Précision des mesures
La spectroscopie Auger permet l’identification de tous les élé-
ments sauf H et He. Le glissement chimique peut atteindre des
La quantification requiert d’effectuer le rapport entre l’intensité valeurs significatives, ∼15 eV, mais il est plus difficile à interpréter
d’une raie acquise sur un élément donné constituant de l’échantillon qu’en XPS, aussi les informations qu’il est susceptible de donner
et celle de la même raie sur l’élément pur ou sur un témoin de com- sont-elles moins systématiquement recherchées ? En revanche, en
position connue, strictement dans les mêmes conditions complément de l’identification, des éléments des informations chi-
d’acquisition : mêmes énergie et courant primaires, même position miques supplémentaires peuvent être déduites de l’analyse fine de
de l’objet par rapport à l’analyseur, en supposant, de plus, la même la forme des raies CVV.
rugosité de surface, un échantillon amorphe et une bonne
statistique de comptage pour l’acquisition des intensités. On aura noté que la longueur d’atténuation des électrons Auger λ
est comprise entre 0,5 et 5 nm, que la profondeur d’analyse est
En suivant l’approche simplifiée, la meilleure précision, de l’ordre égale à 3λ alors que la sensibilité de surface est bien inférieure et
de 5 % à 10 %, peut être obtenue quand, dans l’acquisition d’un pro- peut être égale à une fraction de monocouche atomique. De même,
fil ligne ou d’un profil en z, les éléments purs de référence se trou- la dimension latérale de l’aire analysée est d’une fraction de micron
vent aussi sur l’échantillon à doser, comme c’est le cas dans l’étude car elle inclut l’aire d’où sont issus les électrons Auger générés par
de l’évolution de gradients de concentration à l’interface de deux les électrons rétrodiffusés mais la résolution latérale est donnée uni-
quement par la taille de la sonde incidente d 0, qui peut être de quel-
éléments A et B. À défaut, pour l’élément pur, on peut se référer à
ques nanomètres. Le plus petit détail détectable peut être inférieur à
des bases de données fournies par le constructeur ou disponibles
d 0 et être constitué de quelques dizaines d’atomes d’un même élé-
sur Internet, ce qui impose de calibrer l’instrument en fonction des
ment ou moins. Cela signifie que si l’on peut détecter des détails
spectres de référence pour comparer des spectres acquis dans des
plus petits que d 0 leur localisation sur la surface reste liée à cette
conditions supposées identiques et en adoptant la même méthodo-
dimension, d 0. La différence entre résolution et sensibilité tient au
logie pour la suppression du fond continu sous les raies. fait que la résolution caractérise l’instrument et est donc indépen-
dante de l’objet supposé ponctuel (résolution point à point) alors
L’objectif des programmes internationaux vise, à terme, une pré-
que la taille du plus petit détail détectable (sensibilité) est fonction
cision de 1 %. Exprimé en valeur relative, cet objectif paraît accessi-
du rapport signal sur bruit et dépend donc de l’intensité du courant
ble mais il est très ambitieux si l’on songe que cela implique, en
primaire, du temps d’acquisition mais aussi de la nature de l’élé-
valeur absolue, une précision sur la mesure des longueurs d’atté- ment via l’expression de I A∞A [relation (5)]. La précision dans la quan-
nuation de 0,01 nm, soit moins du dixième de l’épaisseur d’un tification peut être de l’ordre de 5 % mais elle se réfère au dosage
atome ! d’éléments supposés distribués de façon homogène à l’intérieur
d’un volume analysé, de 3λ d’épaisseur et d’une fraction de micron
Outre les artefacts possibles (§ 4.2), il ne faut pas oublier que la
latéralement. Comme la sensibilité, elle peut être améliorée par
méthodologie concerne des échantillons homogènes dans le l’accroissement des temps d’acquisition.
volume analysé. En conséquence, la quantification de détails plus
petits que la dimension latérale d’où sont émis les électrons Auger
entrant dans l’analyseur suppose des protocoles plus compliqués à Signalons enfin que, comme pour toute technique
mettre en œuvre [4]. microanalytique, l’optimisation des performances impose des
contraintes contradictoires : l’amélioration de la résolution laté-
rale implique des sondes très fines et donc peu intenses, ce qui
va à l’encontre de l’amélioration de la sensibilité et de la préci-
3.4 Films minces et incidence oblique sion dans la quantification.

L’équation (3) peut être aisément intégrée pour obtenir l’intensité


des raies Auger à incidence oblique i, en prenant en compte en par- 4.2 Limites
ticulier la variation du coefficient de rétrodiffusion Auger R avec
l’angle d’incidence i. Dans le cas des échantillons homogènes,
l’inclinaison de l’échantillon ne pose pas de problème spécifique Les performances remarquables de la spectroscopie Auger por-
pour la quantification et la comparaison avec les éléments purs ana- tent en elles les limites inhérentes à cette technique. Ainsi, par
lysés sous la même incidence car certains effets topographiques exemple, l’excellente résolution latérale combinée à une faible pro-
peuvent être différents (§ 4.2.1). Contrairement à la spectroscopie fondeur d’analyse induit une grande sensibilité de l’intensité du
XPS où cette possibilité s’avère très utile, l’évaluation des épais- signal à la topographie de la surface analysée. De même, la diminu-
seurs des films à partir de mesures résolues angulairement par incli- tion de la taille de la sonde incidente pour un nombre d’électrons
naison progressive de l’échantillon est difficile, et donc peu utilisée, incidents donné, I 0tirr, entraîne inéluctablement la croissance de la
par la nécessaire prise en compte la dépendance de R avec i pour fluence (ou dose) sur l’échantillon car F = I 0tirr / (d 0) 2, (avec tirr :
des films minces sur substrat, tels que h ⭐ 3λ. Dans le cas d’analy- durée de l’irradiation) et les fluences F élevées qui en résultent inter-
seurs à symétrie de révolution de type CMA, s’ajoute la complexité disent l’analyse, à sonde fine, d’échantillons sensibles comme les
de la prise en compte d’un angle θ variable même quand l’incidence polymères ou induisent des complications pour l’analyse des
est fixe mais oblique. isolants.

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4.2.1 Effets topographiques l’examen et le contrôle de certains composants. Le seul recours est
l’utilisation de l’érosion ionique des bords de puits avec le risque de
redéposition d’éléments sur le fond du puits.
Pour un échantillon de composition homogène, la rugosité de la
surface influence à la fois le nombre d’électrons Auger émis et le
nombre d’électrons Auger détectés. Par rapport à une incidence nor- 4.2.2 Analyse des isolants
male, la variation locale de l’angle d’incidence i renforce le signal
Auger dû aux électrons primaires rétrodiffusés plus que celui dû aux
électrons primaires entrants (au moins pour i < 50°). La rugosité Les difficultés relatives à l’analyse des isolants par spectroscopie
entraîne aussi la variation locale de l’angle d’émission θ, et donc de Auger résultent de mécanismes bien connus mais dont les remèdes
la profondeur locale d’analyse, 3λ ⋅ cos θ. La figure 13a illustre sché- sont loin d’être évidents. Ces mécanismes concernent toute techni-
matiquement les variations de l’intensité Auger quand la sonde se que qui, comme la microscopie électronique à balayage, met en
déplace du point 1 au point 3 et il apparaît donc clairement que cet œuvre des faisceaux d’électrons de quelques kiloélectronvolts sur
effet topographique est d’autant plus marqué que la sonde est fine ce type de matériau. Ils résultent d’une compétition entre, d’une
car une sonde large moyenne ces effets. part, l’émission électronique secondaire – rendement δ – qui tend à
charger positivement l’échantillon sur une couche d’épaisseur rmax
Dans le cas d’un film mince A recouvrant partiellement un subs- correspondant à la profondeur maximale d’émission des électrons
trat B, le signal issu de A est renforcé par les électrons primaires secondaires et, d’autre part, l’injection dans l’échantillon d’électrons
s’échappant de la contre-marche dès que le faisceau incident incidents (moins les électrons rétrodiffusés de rendement η) qui
s’approche du bord de celle-ci, alors que certains électrons énergé- tend à charger l’échantillon négativement sur une couche d’épais-
tiques transmis peuvent générer des signaux issus de B (aires seur Rp correspondant à la profondeur maximale de pénétration des
hachurées de la figure 13b). électrons primaires. Au total, selon la valeur de l’énergie primaire
initiale E 0, l’échantillon se charge soit positivement, soit
L’amplitude de ces artéfacts dépend aussi de la position du détec- négativement.
teur et elle est minimisée par l’emploi d’analyseurs coaxiaux au
canon à électrons opérant à incidence (moyenne) normale. Pour les Pendant l’irradiation, la distribution algébrique des charges évolue
autres géométries, ces artéfacts peuvent au moins être identifiés par en induisant une fonction potentiel de surface VS(x, y), qui modifie à
l’enregistrement de profils ligne successifs après chaque rotation son tour la position énergétique des raies Auger mais aussi le rende-
azimutale de l’échantillon. Dans les cartographies ou les profils ment d’émission électronique secondaire et éventuellement l’énergie
Auger, on peut minimiser certains effets topographiques et certains primaire effective des électrons incidents pénétrant dans l’échan-
effets liés à la composition du substrat en divisant l’intensité des tillon. L’évolution du système est rapide et il atteint un état d’équili-
pics au-dessus du fond continu par l’amplitude de ce fond continu bre stationnaire caractérisé par un nombre d’électrons qui sortent de
car les effets topographiques influencent dans le même sens signal l’échantillon égal au nombre d’électrons qui y entrent (conservation
et fond continu. de la charge) mais aussi par la nécessité que les électrons entrants
puissent se recombiner avec les charges positives laissées par l’émis-
Enfin, la situation la plus dramatique est celle où la topographie sion secondaire. Quand le courant de fuite Iech est négligeable, cette
de l’échantillon est telle que des obstacles s’interposent dans le tra- double contrainte se traduit d’une part par δ C + ηC = 1 et d’autre part
jet direct entre le point d’impact du faisceau incident et le détecteur,
induisant non seulement l’absence de détection du signal issu du par le fait que la pénétration effective des incidents R pC doit être sen-
point d’impact mais parfois aussi la présence d’un signal parasite siblement égale à la profondeur d’échappement des électrons secon-
généré par les électrons primaires rétrodiffusés irradiant les zones daires r [l’exposant C (pour chargé) permet de distinguer le
voisines de ce point d’impact (figure 13c). Cette situation gênante rendement d’émission secondaire et le coefficient de rétrodiffusion
peut se produire dans l’examen de fond de puits ayant un rapport de l’échantillon chargé de leurs valeurs nominales (pour un échan-
d’aspect élevé, comme cela se rencontre en microélectronique dans tillon non chargé)].

A A A
IA IA IB

x x

2 3
1 Détecteur
Détecteur

Détecteur
e
A h
A

B B
w

a échantillon homogène b marche abrupte sur c puits présentant un rapport


substrat d’aspect h/w élevé

Les zones hachurées représentent le volume effectivement analysé qui dépend


de la position du détecteur.
Figure 13 – Effets topographiques

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SPECTROSCOPIE AUGER _________________________________________________________________________________________________________________

Selon donc la valeur de l’énergie primaire E 0, il y a trois types primaire n’est pas optimal pour la spectroscopie Auger car il ne per-
d’évolution gouvernés par la courbe δ = f (E 0) : met pas d’obtenir les raies Auger de haute énergie ; il conduit à une
• 0 < E 0< E1 avec E1 ≈ 50 eV pour la plupart des matériaux. Les détérioration de la résolution latérale optimale (qui requiert des
électrons primaires pénètrent peu et se recombinent facilement énergies assez élevées) ainsi qu’à une détérioration de la sensibilité
avec les charges positives. Comme initialement δ + η < 1, l’échan- optimale par accroissement du fond continu éventuellement com-
tillon se charge négativement. En spectroscopie XPS des isolants, biné à la décroissance, voire à la disparition, du signal. Opérer à inci-
c’est la région énergétique utile pour les canons à électrons (flood dence oblique permet toutefois d’accroître la valeur de l’énergie
guns) neutralisant les charges positives laissées par les photoélec- critique E 2C ;
trons émis ; — la défocalisation du faisceau primaire induit naturellement une
• E1 < E 0 < E 2C où E 2C correspond à R pC ≈ rMax et est généralement perte significative de la résolution latérale. On peut y substituer des
situé entre 1 et 3 keV pour la plupart des isolants. Les électrons pri- balayages rapides de la surface, surtout si on alterne les balayages
maires peuvent encore se recombiner facilement avec les charges à haute énergie, E 0 > E 2C, pendant lesquels on effectue les mesures
positives et comme initialement δ + η > 1, l’échantillon tend à se Auger et des balayages à basse énergie, E 0 < E 2C, pendant lesquels
charger positivement. Le potentiel de surface positif reattire les élec- l’excès antérieur de charges négatives peut être compensé par un
trons secondaires les plus lents ou gèle leur émission. Ce phéno- excès de charges positives lié à un rendement d’émission secon-
mène d’autorégulation limite le potentiel de surface à quelques daire supérieur à l’unité ;
volts, compte tenu de l’étroitesse énergétique de la distribution des — la diminution de l’épaisseur de l’échantillon reste la stratégie la
électrons secondaires (voir figure 8). Le déplacement du spectre plus efficace quand elle est possible. Elle permet de réduire drasti-
Auger de quelques électronvolts vers les faibles énergies cinétiques quement VS, surtout si on peut atteindre des épaisseurs telles que
n’affecte pas sensiblement l’analyse Auger ; h < Rp tout en restant supérieures à la profondeur de pénétration
• E 0 > E 2C. Dans ce domaine énergétique où la spectroscopie maximale des électrons rétrodiffusés h > (4/10) Rp (§ 3.2.2). En effet,
Auger est habituellement mise en œuvre, δ + η < 1 pour E 0 > E 20 et dans ce cas, (4/10)Rp < h < Rp, des électrons en excès peuvent
l’échantillon tend à se charger négativement. Après une période s’écouler de la zone irradiée vers la masse via le substrat ou le porte-
transitoire où δ + η > 1, il en est de même pour l’état stationnaire échantillon conducteur : cette évacuation contribue au courant de
quand E 2C < E 0 < E 20 car la pénétration des électrons primaires est fuite Iech supposé jusqu’ici négligeable ;
telle que Rp >> rMax [34]. Le mécanisme essentiel est alors le ralen-
tissement extérieur des électrons primaires combiné à une accéléra- — l’utilisation de dispositifs de neutralisation des charges négati-
tion externe équivalente des électrons Auger et des électrons ves excédentaires par des flux d’ions Ar+ lents (∼50 eV) irradiant la
secondaires. Le potentiel de surface au point d’impact devenant de surface, ce qui a pour effet de masquer les effets des électrons
plus en plus négatif, l’énergie effective des incidents sur l’échan- implantés plus profondément. Une large irradiation UV de la surface
tillon correspond à E – qVS (q = –1,6 ⋅ 10–19 C) et l’énergie cinétique peut aussi induire une photoconductivité permettant aux charges en
des électrons Auger (par rapport à la masse de l’analyseur) émis au excès d’être évacuées à la masse.
point d’impact est EC + qVS, ce qui fait que le spectre Auger peut sor- Le pire n’est jamais sûr et il existe des cas, difficiles à prévoir mais
tir du domaine énergétique couvert par cet analyseur, EC < 2 500 eV. favorables, où des échantillons très isolants ne se chargent pas sous
Ce phénomène évidemment très gênant est assorti, en outre, bombardement électronique très énergétique. Il s’agit par exemple
d’autres effets comme la déflection du faisceau incident et les ris- de diamants artificiels qui sont accidentellement dopés p en surface,
ques de claquage. ce qui permet d’obtenir un potentiel de surface nul par évacuation
Plus précisément pour un échantillon homogène largement irra- des charges en excès via la surface conductrice ; il s’agit aussi d’alu-
dié (ce qui permet d’obtenir une fonction potentiel de surface sensi- mines qui peuvent être analysées sous vide modéré car l’oxygène
blement constante sur toute la surface analysée), l’état stationnaire du vide résiduel environnant réduit la charge de la surface de
est caractérisé par un potentiel de surface sensiblement donné par : l’échantillon [33] [34].

qV S ≈ E 0 – E 2C (13) Malgré ces cas favorables, il n’en reste pas moins que l’analyse
des isolants à énergie primaire élevée demeure délicate, même pour
La charge Q stockée se déduit de la formule du condensateur plan des échantillons latéralement homogènes car dans le cas d’une
(Q = CV), soit : résolution latérale élevée, la fonction potentiel n’est pas uniforme
sur la totalité de l’aire irradiée et ses variations latérales peuvent
Q ≈ (ε S ⁄ h ) VS (14) induire un dédoublement des raies Auger avec un décalage moins
marqué pour les raies Auger résultant de l’excitation directe par le
avec ε la permittivité du matériau, faisceau primaire par rapport aux raies résultant de l’excitation par
les électrons rétrodiffusés. De plus, par rapport aux échantillons
S la surface irradiée, latéralement homogènes, les échantillons hétérogènes présentent
h l’épaisseur de l’échantillon. des risques supplémentaires de charge différentielle et les disposi-
Les applications numériques donnent VS ≈ –8 kV pour tifs de neutralisation peuvent être relativement inopérants, quand,
en sonde fixe, l’aire isolante chargée a la dimension de la sonde inci-
E 0 = 10 keV et E 2C ≈ 2 keV soit Q/S ≈ –3 ⋅ 10–4 C ⋅ m–2 pour dente [35]. Dans de tels cas, la seule stratégie possible est souvent
l’acquisition successive et brève de plusieurs spectres afin de
h = 1 mm et ε r ( = ε /ε 0 ) ≈ 3. Via Q ⁄ S ≈ J 0 ⋅ t irr < δ + η – 1 >. Cette remonter au spectre correspondant à fluence nulle via la mise en
très faible valeur de Q/S peut elle-même être obtenue avec une irra- œuvre de l’analyse factorielle de cette série de spectres (voir
diation de tirr de 3 s, une densité de courant de J 0 ≈ 1nA ⋅ mm–2 et [P 2 621v2]).
une valeur moyenne de δ + η – 1 de 0,1. Enfin, il est utile de noter qu’un échantillon qui a été préirradié
peut conserver des charges négatives piégées très longtemps, de
Les conséquences pratiques de ces considérations sont les
plusieurs jours à plusieurs mois, même après remise à l’air. La neu-
suivantes : pour minimiser les effets de charge, il convient de
tralisation de ces charges est donc indispensable avant une nouvelle
réduire l’énergie primaire, de défocaliser le faisceau incident, de
analyse : elle peut être obtenue par chauffage de l’échantillon. On
diminuer l’épaisseur de l’échantillon isolant ou de neutraliser les
peut aussi masquer les charges négatives implantées en profondeur
charges négatives en excès par des faisceaux auxiliaires :
par des charges positives générées par exemple par un faisceau
— la mise en œuvre d’une énergie primaire inférieure à E 2C
entraîne un certain nombre de difficultés dont la non-exploitation du d’électrons d’énergie E0 telle que E1 < E0 < E 2C (qui peut être le fais-
glissement chimique est la moindre. En effet, ce domaine d’énergie ceau primaire dont on aura diminué l’énergie) [35].

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________________________________________________________________________________________________________________ SPECTROSCOPIE AUGER

4.2.3 Modifications chimiques et autres effets ments techniques consistent donc à améliorer l’efficacité de collec-
d’irradiation tion de l’analyseur et surtout la mise en œuvre d’une acquisition
simultanée de multiples canaux du spectre (détection parallèle) afin
de réduire le temps d’acquisition et donc la fluence nécessaire à
Une des possibles conséquences des effets de charge est la modi- l’analyse. La figure 14 synthétise, pour la spectroscopie Auger,
fication chimique de l’échantillon. Outre les conséquences externes, l’accroissement nécessaire de la fluence induite par la diminution de
ces effets se traduisent par l’établissement d’un champ électrique la taille de la sonde ou l’amélioration de la sensibilité Cm avec, cor-
interne qui peut être assez intense pour conduire au claquage dié-
rélé, le risque croissant d’effets d’irradiation liés à une fluence criti-
lectrique quand l’énergie primaire est très supérieure à E 2C. Ils peu-
que spécifique à chaque type de matériau. À moins d’un ordre de
vent aussi induire des modifications chimiques de la surface via la
grandeur près, lié au meilleur rapport signal sur fond continu, des
migration d’ions mobiles sous l’effet du champ. C’est en particulier
courbes semblables peuvent être établies pour la spectroscopie XPS
le cas de l’analyse des verres, même sous forme de film mince, où
à résolution latérale supposée identique, la fluence étant alors expri-
la concentration du sodium évolue au cours de l’irradiation et du fait
mée en photons X par centimètre carré.
même de cette irradiation.
Les désorptions d’espèces stimulées par les électrons (ESD)
entraînent naturellement une modification chimique de la surface
irradiée. Les mécanismes mis en jeu ont été largement détaillés 5. Conclusion
dans la littérature [36] [37]. Pour les molécules isolées sur une sur-
face conductrice aussi bien que pour les surfaces isolantes, le
mécanisme Auger peut être un des facteurs responsables de cette Basée sur le mécanisme de l’effet Auger, la spectroscopie Auger
désorption. En effet, la transition Auger conduit à la perte par induite par les électrons peut être mise en œuvre dans un équipe-
l’atome excité d’au moins deux électrons (§ 1) et dans les isolants ; ment spécifique ayant une structure analogue à celle d’un micros-
l’absence d’électrons de conduction ne permet pas de restaurer cope électronique à balayage qui serait doté de l’ultravide et équipé
rapidement la neutralité électrique autour de cet atome. Si cet d’un analyseur d’électrons. En microanalyse locale, la sonde électro-
atome appartient à la première rangée de la classification périodi- nique incidente est focalisée sur le détail à analyser, ce qui permet
que, de Li à F, cette perte affecte directement la bande de valence. d’identifier les éléments (sauf H et He) constituant les toutes premiè-
Dans les fluorures, l’ion fluor peut être désorbé par inversion de res couches atomiques (quelques nanomètres) de la surface des
son signe, et donc de son énergie de Madelung, laissant la surface solides, avec une résolution latérale qui peut atteindre quelques
couverte d’une couche métallique flottante. De même, dans les nanomètres, une concentration minimale détectable de l’ordre de
oxydes, l’ion O2– peut devenir neutre, entraînant une réduction des 1 ‰ et une limite de détection de quelques dizaines ou moins d’ato-
métaux (ou semi-conducteurs) associés : c’est ainsi que la silice mes identiques, alors que la précision sur les concentrations peut
amorphe peut se transformer en silicium sous irradiation. atteindre 5 % at/at, notamment quand les protocoles suggérés par
des normes ISO (qui résultent d’une coopération internationale :
Le mécanisme Auger peut aussi être responsable de transforma- programme VAMAS) sont suivies.
tions morphologiques superficielles quand le carbone de matériaux
organiques voit certaines des liaisons chimiques avec ses voisins Liées à l’excellente résolution latérale entraînant des fluences éle-
brutalement coupées. Le phénomène peut s’amplifier quand les ato- vées sur la cible, les limites de la technique rendent sa mise en
mes excités appartiennent à la deuxième rangée de la classification œuvre délicate sur des matériaux isolants (effets de charge) et sur-
périodique, de Na à Cl, car la cascade Auger peut entraîner la perte tout sur les matériaux fragiles comme par exemple les polymères
de quatre électrons (transition KLL suivie de deux transitions LVV), (effets thermiques).
un mécanisme qui pourrait expliquer la recristallisation à froid du
silicium amorphe [38].
De tels mécanismes se produisent aussi quand les mêmes maté-
riaux sont soumis à des irradiations X comme on peut l’observer 1012 1015 1020 1025 1030 F (e–/cm2)
quand on utilise la radiation synchrotron. En spectroscopie XPS 1
mettant en œuvre des sources X classiques, ce phénomène est 5 · 10 9 5 · 107 5 · 105 5 · 103 50 Nm (at)
moins gênant qu’en spectroscopie Auger non pas parce que la
nature du projectile est différente mais parce que la fluence des 10–1
sources F (densité de particules reçues par unité de surface) sur
l’échantillon est beaucoup plus faible à cause d’une irradiation plus
étalée. À l’inverse, il est possible d’analyser de tels matériaux en
10–2
spectroscopie Auger à condition de défocaliser largement le fais-
ceau électronique incident, ce qui fait perdre beaucoup de l’intérêt
de la technique. Il en est de même pour l’analyse Auger des isolants 10 nm
à bas point de fusion comme les polymères, où les effets thermi- 10–3
100 nm 1 nm
ques rendent l’analyse impossible, sauf à les irradier avec un fais- µm
ceau largement défocalisé et à les déposer en films minces sur un Cm d0 µm
substrat refroidi.
Pour préciser les ordres de grandeur de la notion de défocalisation, Pour les objets sensibles la fluence critique limite la valeur de d 0
il suffit de savoir que les matériaux dits très sensibles (la plupart des et/ou de Cm. Ces estimations sont basées sur l´hypothèse d´une
0 /I 0 de l´ordre de 10–5 et
détection parallèle, t irr = τ, d´un rapport I A∞
objets biologiques et des matériaux organiques) ne peuvent supporter
que des fluences inférieures à 1 e/Å2, soit 10–3 à 10–2 ⋅ C/cm2 ou d´une densité atomique de 5 ⋅ 1022 at/cm3.
∼10 pC/µm2 et ne laissent guère le temps d’acquérir un spectre
Auger avec une résolution latérale de l’ordre du micron. Dans de tels Figure 14 – Accroissement de la fluence nécessaire à l’amélioration
cas, la résolution latérale n’est pas limitée par la plus petite taille de de la taille de la sonde incidente d 0, de la concentration minimale
sonde possible mais par la nature de l’échantillon. Les perfectionne- détectable Cm et du nombre minimal d’atomes détectables Nm

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