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Semi-conducteurs
Première année Génie Electrique
Marouane SEBGUI
2017 - 2018
Ecole Mohammadia d’Ingénieurs 1ère Année G. Électrique
Figure 1.1 : De gauche à droite, John Bardeen, William Shockley and Walter Brattain
M. SEBGUI
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En 1958 Jack Kilby réalise le premier circuit intégré. Et en 1971 Intel lance son premier
microprocesseur 4004 (2300 transistors) déclenchant la nouvelle ère du numérique. Cette dernière
va connaitre une évolution exponentielle, cette évolution est décrite par la loi de Moore.
2. La loi de Moore
La loi de Moore est une loi qui traite de l’évolution des semi-conducteurs en termes de
complexité et de puissance de calcul. Cette loi qui a été énoncée en 1965 par Gordon E. Moore qui
est un des co-fondateurs d'Intel a constitué une prédiction quasi exacte de l’évolution des semi-
conducteurs.
Gordon E. Moore, en observant l’évolution des produits d’Intel et de ses concurrents, constate
que la « complexité des circuits semi-conducteurs proposés en entrée de gamme » doublait tous les ans
à coût constant depuis 1959. Cette loi est dite « première loi de Moore » parce qu'elle a été réajustée
par Moore lui-même, en distinguant les microprocesseurs des circuits intégrés simples formés de
composants indépendants.
En effet, Moore énonce sa deuxième loi en 1975, affirmant que « le nombre de transistors des
microprocesseurs sur une puce de silicium double tous les deux ans à coût constant ». Cette prédiction
s'est révélée étonnamment exacte. De 1971 à 2001, la densité des transistors a doublé chaque 1,96
année. En conséquence, les machines électroniques sont devenues de moins en moins coûteuses et
de plus en plus puissantes.
Cette loi trace une évolution tellement énorme, que Bill Gate a eu l’idée de décrire son
importance en la comparant à l’évolution des voitures. Lors d’une exposition d’informatique
COMDEX (COMputer Dealer's EXhibition) Bill Gates déclare que si les voitures de General Motors
avaient évolué de la même vitesse que les ordinateurs, on roulerait dans des voitures de 25$, qui
consommeront 1litre pour 425km. Cette plaisanterie à laquelle GM n’a pas manqué de répondre,
permet de voir à quel point l’évolution des semi-conducteurs est exceptionnelle. Le tableau Tab. 1.1
relève cette évolution entre 1945 et 1990 (suite à une étude l’ENIAC).
Consommation Enrg 10 kW x 10 -4 1W
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en conducteur. Quoique leur conductivité reste faible en comparaison aux conducteurs, ils
présentent d’autres avantages électriques.
Les semi-conducteurs les plus évidents sont ceux qui appartiennent à la colonne 4 du tableau de
Mendeleïev (Figure 1.2). Ils se caractérisent par le fait d’avoir 4 électrons en couche de valence et
qui ont une structure cristalline.
Cette description correspond au Carbone (C), Silicium(Si), Germanium(Ge) et à l'étain (Sn).
Toutefois l’appartenance du Carbone et de l’étain à la famille des semi-conducteurs est à prendre
avec précaution. En effet, L’étain gris (α-Sn) qui constitue une structure cristalline de l’étain
(structure cubique) est une forme rare de l’étain. L’étain gris change au-dessus de 13,2°C en étain
blanc (β-Sn) qui est la forme usuelle de l’étain. Quant au carbone, il ne présente de caractéristique
semi-conducteur que lorsqu’il est à l’état cristallin c’est-à-dire sous forme de diamant. Plus encore,
sa bande de gap (un aspect qui sera traité plus loin dans ce document) est de 5,4eV ce qui dépasse la
limite de 2eV. Le diamant n’est valable en tant que semi-conducteur que pour les grandes
puissances et en haute température (Electronique de puissance).
Hélium
Nombre Atomique =2
Silicone
Nombre Atomique =14
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Type Exemples
1. La structure cristalline
Les semi-conducteurs s’organisent en structure cristalline stable. Ainsi chaque atome est en
relation de covalence avec 4 autres atomes voisins (comme le montre la Figure 1.3-a). Ces relations
de covalence sont réalisées par la mise en covalence d’1 électron par chaque atome. Ainsi, comme le
montre la Figure 1.3-b, chaque atome se retrouve avec 8 électrons sur leurs bandes de valence
atteignant une stabilité qui forme la structure cristalline du semi-conducteur. Cette structure est
représentée de façon plane dans la Figure 1.3-c.
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Ainsi donc, le semi-conducteur tel que décrit par sa structure cristalline ne dispose pas d’électron
libre. On pourrait en conclure que, ne disposant pas de porteur de charge libre, le semi-conducteur
est un isolant. Toutefois ceci n’est vrai qu’à la température de 0°K, et ceci est lié à la deuxième
caractéristique.
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basant sur le principe d’exclusion. Ainsi, dans un système composé de plusieurs atomes, les états
d’énergie se séparent pour former des états multiples plus ou moins rapprochés. Ce phénomène,
représenté par la Figure 1.5, dépend de la distance atomique (noté d).
Si le système est composé d’un très grand nombre d’atomes (ce qui est le cas de tous les cristaux
de dimensions macroscopiques), les niveaux individuels se transforment en zones énergétiques
avec un très grand nombre d’états très rapprochés. On parle, donc d’un continuum énergétique.
1/d 1/d
Figure 1.5 : Effet de la distance atomique d sur la formation des continuums énergétiques
Dans un corps solide, qui a une distance atomique connue (représentée par da dans la Figure 1.6),
on se retrouve avec des bandes d’énergie qui sont possibles pour la présence d’électrons et d’autres
qui sont interdites. En particulier, on s’intéresse aux deux bandes supérieures : la bande de
conduction et la bande de valence.
- La bande de conduction : c’est la première bande totalement vide en absence d’apport
énergétique (c’est-à-dire à la température T=0°K). Elle représente les énergies des électrons
qui échappent à l’attraction atomique et qui devient « libres ».
- La bande de valence : c’est la dernière bande occupée par les électrons (totalement ou
partiellement) en absence d’apport énergétiques. Elle contient donc, des électrons liés avec le
réseau cristallin.
- Les bandes sont séparées par une zone énergétique interdite : c’est la plage des énergies que
les électrons ne peuvent pas posséder. Cette zone s’appelle gap énergétique. C’est un
paramètre propre au matériau.
Bande de Conduction
0 Gap
Energétiqu
e
Bande de Valence
0
0 0
0 0
1/da
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la liaison entre les atomes pour former le réseau cristallin. Ils sont moins liés au noyau de l’atome.
Un apport d'énergie plus au moins faible peut les libérer de l'attraction du noyau et en faire des
électrons libres qui peuvent se déplacer et créer un courant électrique.
Le gap énergétique
Le gap énergétique est important du fait qu’il s’agit de l’énergie minimale nécessaire à un
électron pour passer de la bande de valence à la bande de conduction. Plus cette énergie est faible
plus ils ont de chances de la franchir et devenir libres. Comme le représente la Figure 1.7, dans le cas
des conducteurs, la bande de conduction et la bande de valence chevauchent et donc l’énergie de
gap est absente, elle est par contre très grande pour les isolants, et dans le cas des semi-conducteurs
cette énergie est assez faible (sauf pour le diamant).
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1. Effet de la température
Les semi-conducteurs sont des matériaux dont les caractéristiques électriques dépendent
fortement de la température. En effet, à température 0°K tous les électrons de la bande de valence
forment la liaison covalente du cristal. La moindre agitation thermique (c’est-à-dire toute
température > 0°K) est suffisante pour libérer des électrons. Ceci est dû à leurs faibles énergies de
gap.
En effet, comme le montre la Figure 1.8, l’agitation thermique entraine la libération d’un certain
nombre d’électrons qui échappent à l’attraction atomique et qui deviennent libres pour être mobiles
dans le cristal. Cette libération entraine aussi un manque de charge au niveau de la liaison qui a
perdu l’électron. Il s’agit d’une charge positive qu’on appelle un trou.
N.B. : Il est évident que le nombre de trou est exactement égal au nombre d’électrons. Ainsi le
semi-conducteur reste neutre. La libération d’électrons à juste un impact sur sa conductivité.
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Champ électrique
Figure 1.9 : Déplacement des électrons et des trous sous l’effet d’un champ électrique
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(a) (b)
Figure 1.10 : Dopage des semi-conducteurs par des atomes accepteurs et donneurs
On obtient donc un déséquilibre dans le nombre de porteurs puisqu’on aura plus d’électrons
dans le cas N et plus de trou dans le cas P. Toutefois, il faut faire attention au fait que le semi-
conducteur reste neutre. Il n’y a pas ici lieu de création de charge supplémentaire. L’excèdent de
charge négative dû aux électrons en surplus dans le cas N est compensé par la même charge positive
des ions positifs (le même raisonnement peut s’appliquer aux semi-conducteurs dopés P). La
Figure 1.11, représente pour un semi-conducteur du type N, la répartition de charges dans le cristal.
Porteurs de charge
libres (mobiles)
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A température nulle le nombre d’électrons dus au dopage est exactement égal au nombre d’ions
positifs présents dans le solide. Lorsque la température augmente, il y a création d’une nouvelle
quantité d’électrons mais une même quantité de trous est aussi créé. La somme des charges
positives (trous + ions positifs) est donc exactement égale à la charge négative d’où la neutralité du
semi-conducteur.
Il faut noter que les ions positifs ne sont pas mobiles, ils sont liés à la structure du cristal. Ils ne
peuvent donc pas transporter la charge et créer un courant électrique. Il y a donc un déséquilibre
dans les charges mobiles (libres). Il y a en effet beaucoup plus d’électrons que de trous, on dit alors
que les électrons sont les porteurs majoritaires.
Le raisonnement inverse permet de conclure qu’il y a, dans un semi-conducteur de type P, plus
de trous que d’électrons. Tout en étant dans un état de neutralité, les porteurs majoritaires dans le
semi-conducteur type P sont les trous.
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2. Semi-conducteur non-dégénéré
On appelle un semi-conducteur non dégénéré, s’il vérifie les conditions de l’équation (2.3). En
opposition, lorsque le semi-conducteur est dégénéré (soit parce que son Eg est faible, ou lorsque la
température est suffisamment élevée), il y a une importante libération d’électrons et on aboutit à un
comportement plutôt conducteur.
𝐸 − 𝐸𝐹 ≫ 𝑘𝑇
{ 𝑐 (2.3)
𝐸𝐹 − 𝐸𝑣 ≫ 𝑘𝑇
Les conditions de l’équation sont valables pour la plupart des semi-conducteurs à température
ambiante. A titre d’exemple à 300°K : kT=25meV alors que le germanium est à Eg =660 meV.
Lorsque le semi-conducteur est non-dégénéré, il peut être démontré que l’approximation de
l’équation (2.4) est possible. (Il faut faire attention au signe de la soustraction qui change)
𝐸𝐹 −𝐸
1
𝐸−𝐸𝐹 ≈𝑒 𝑘𝑇 (2.4)
1+𝑒 𝑘𝑇
Dc(E) et Dv(E) sont les fonctions densité d’état respectivement dans la bande de conduction et la
bande de valence
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1. La densité d’état
Pour un niveau d’énergie E, la densité d’Etat Dc(E) dans la bande BC et la densité d’Etat Dv(E)
dans la bande BV peuvent être approximées par l’équation (2.7). Dans cette équation ℏ est la
constante de Planck réduite, Mc et Mv sont respectivement le nombre de minimas équivalent de la BC
et la BV, et finalement mde et mdh sont respectivement les masses effectives de l’électron et du trou
suivant les 3 axes.
1 (2.𝑚𝑑𝑒 )3/2 1⁄
𝐷𝑐 (𝐸) = 2.𝜋2 𝑀𝑐 |𝐸 − 𝐸𝑐| 2
ℏ3
{ (2.7)
1 (2.𝑚𝑑ℎ )3/2 1
𝐷𝑣 (𝐸) = 2.𝜋2 𝑀𝑣 |𝐸 − 𝐸𝑣 | ⁄2
ℏ3
Il est surtout à retenir que les premiers termes de ces deux densités peuvent être pris pour
constants. Les densités dépendent du niveau d’énergie E. Dans la Figure 2.2 on représente ces deux
fonctions ainsi que leur produit. Les concentrations des porteurs données dans les équations (2.5)
et (2.6) peuvent être déduites dans les surfaces hachurées.
Il est à observer que :
- Les densités d’état Dc et Dv ne dépendent pas de la température.
- Les concentrations de porteurs de charge (n et p) sont dépendantes de la température T. Ceci
vient du fait que F(E), la probabilité d’occupation d’un niveau d’énergie E, est dépendante de
la température.
- Le niveau de Fermi n’est pas exactement localisé au milieu du gap.
- Si la seule source de création de porteurs est la température (ce qu’on appellera par la suite
semi-conducteur intrinsèque), alors le nombre de trous est égal au nombre d’électrons. Les
deux surfaces hachurées sont donc égales. On découvrira plus loin dans ce document que ceci
n’est pas toujours vrai.
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1 3
(𝑘𝑇)2 (2. 𝑚𝑑𝑒 )2 ∞ 𝐸 − 𝐸𝐶 1/2 − 𝐸−𝐸𝐶
= ∫ ( ) 𝑒 𝑘𝑇 . 𝑑𝐸
2. 𝜋 2 ℏ3 𝐸𝐶 𝑘𝑇
1 3
(𝑘𝑇)2 (2.𝑚𝑑𝑒 )2 ∞ 𝐸−𝐸𝐶 1/2 1
≈ 2.𝜋2 ℏ3
∫𝐸 ( 𝑘𝑇 ) 𝐸−𝐸𝐶 . 𝑑𝐸 (2.10)
𝐶
1+𝑒 𝑘𝑇
Cette expression est sous la forme de l’intégrale de Fermi-Dirac (équation (2.12)) pour le cas
particulier de j=1/2 et pour x=0.
1 ∞ 𝑡𝑗 2 ∞ 𝑡 1/2
𝐹𝑗 (𝑥) = 𝛤(𝑗+1) ∫0 1+𝑒 𝑡−𝑥
𝑑𝑡 en particulier 𝐹1/2 (𝑥) = ∫ 𝑑𝑡 (2.12)
√𝜋 0 1+𝑒 𝑡−𝑥
Finalement
3
𝐸𝐹 −𝐸𝐶
1 2.𝑘𝑇𝑚𝑑𝑒 2
𝑛(𝑇) = 4
( 𝜋ℏ2 ) 𝑒 𝑘𝑇 (2.14)
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Les équations (2.14) et (2.17) montrent que les deux concentrations ont la même tendance. Il est
à noter que les deux termes (Ev-EF) et (EF-Ec) ont le même signe algébrique.
Valeurs numérique
Le tableau Tab. 2.1 donne des exemples de valeurs pour Nc et Pv.
Nc (300°K) Pv (300°K)
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Attention cette loi n’est vraie que pour les semi-conducteurs non-dégénérés. Toutefois elle est
vraie pour le cas intrinsèque et aussi pour les semi-conducteurs extrinsèques (dopés). C’est-à-dire
que pour un semi-conducteur dopé pour une température T, le produit n(T).p(T) est connu, il est
égal au carré de la concentration des électrons du semi-conducteur s’il n’était pas dopé.
Ainsi donc, pour une température connue si la densité des électrons n(T) est connue celle des
trous p(T) peut être déduite (et inversement).
1 1 2
𝑛(𝑇) = 2 𝛥𝑛(𝑇) + 2 √(𝛥𝑛(𝑇)) + 4𝑛𝑖2 (𝑇) (2.24)
1 1 2
𝑝(𝑇) = 𝑛(𝑇) − 𝛥𝑛(𝑇) = − 2 𝛥𝑛(𝑇) + 2 √(𝛥𝑛(𝑇)) + 4𝑛𝑖2 (𝑇) (2.25)
Semi-conducteur type N
Pour un semi-conducteur type N fortement dopé (Δn>>ni). On peut faire l’approximation
𝑛(𝑇) ≈ 𝛥𝑛(𝑇) , ce qui revient à supposer que les électrons sont presque tous issus du dopage et
qu’on ignore les électrons issus de l’agitation thermique. Cette supposition est souvent très valable.
Dans ce cas on peut déduire plus facilement la concentration des trous qui est :
𝑛2 (𝑇)
𝑖
𝑝(𝑇) = ∆𝑛(𝑇) (2.26)
Si on suppose que la quantité d’atomes donneurs qu’on a injecté (à une concentration ND) a été
totalement ionisée on peut donc conclure que :
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𝑛𝑖2 (𝑇)
𝑝(𝑇) = 𝑁𝐷
(2.27)
La supposition de l’ionisation totale n’est normalement pas toujours vraie. En réalité, dans un
semi-conducteur à température non nulle il est possible que ce soit les atomes du semi-conducteur,
et non ceux du dopant (donneur dans ce cas), qui libèrent leurs électrons. Quand un semi-
conducteur est exposé à une énergie, on ne peut décider pratiquement de la façon par laquelle celle-
ci sera réparti. Toutefois il est a noté que l’énergie d’ionisation des atomes du dopant est très faible,
il y a donc beaucoup plus de chance que les atomes dopants s’ionisent en premier lieu. Ainsi à
température ambiante, La grande majorité des atomes du dopant sont polarisés.
Semi-conducteur type P
Pour un semi-conducteur de type P fortement dopé (|Δn|>>ni). On peut, de même, faire
l’approximation que (𝑇) ≈ −𝛥𝑛(𝑇) , ce qui revient à supposer que les trous sont presque tous issus
du dopage et qu’on ignore les trous issus de l’agitation thermique. On peut donc déduire n(T) :
𝑛𝑖2 (𝑇)
𝑛(𝑇) =
−∆𝑛(𝑇)
(2.28)
Si on suppose que la quantité d’atomes donneurs qu’on a injecté (à une concentration NA) a été
totalement ionisée on peut donc conclure que :
𝑛𝑖2 (𝑇)
𝑛(𝑇) = 𝑁𝐴
(2.29)
5. Le niveau de Fermi
Le niveau de Fermi intrinsèque
Dans le cas d’un semi-conducteur intrinsèque (pas d’impureté), les trous sont générés par la
libération d’électrons et donc on a :
𝐸𝑔
𝑛(𝑇) = 𝑝(𝑇) = 𝑛𝑖 (𝑇) = √𝑁𝑐 (𝑇)𝑃𝑣 (𝑇)𝑒 − 2𝑘𝑇 (2.30)
Or par définition de l’équation (2.8), on a :
𝐸𝐹𝑖 −𝐸𝐶 𝐸𝑣 −𝐸𝐹𝑖
𝑛𝑖 (𝑇) = 𝑁𝑐 (𝑇). 𝑒 𝑘𝑇 = 𝑃𝑣 (𝑇). 𝑒 𝑘𝑇 (2.31)
En combinant les deux équations (2.30) et (2.31). On peut déduire le niveau de Fermi donné par :
𝐸𝑔 𝑘𝑇 𝑃 (𝑇) 𝐸𝑔 3𝑘𝑇 𝑚
𝐸𝐹𝑖 = 𝐸𝑐 −
2
+
2
𝑙𝑛 ( 𝑣 (𝑇))
𝑁𝑐
= 𝐸𝑐 −
2
+
4
𝑙𝑛 ( 𝑑ℎ )
𝑚𝑑𝑒
(2.32)
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𝑘𝑇 𝑷𝒗 (𝑻)
T=300°K Nc (T) Pv (T) 𝑙𝑛 ( ) Eg
2 𝑵𝒄 (𝑻)
Or le premier terme n’est autre que la concentration des électrons dans le cas intrinsèque qu’on a
défini par ni (voir l’équation (2.31)), on aboutit donc à l’équation (2.34).
𝐸𝐹 −𝐸𝐹𝑖
𝑛(𝑇) = 𝑛𝑖 (𝑇). 𝑒 𝑘𝑇
{ 𝐸𝐹𝑖 −𝐸𝐹 (2.34)
𝑝(𝑇) = 𝑛𝑖 (𝑇). 𝑒 𝑘𝑇
On peut dire, à partir de l’équation (2.34), que le dopage déplace le niveau de fermi de la position
intrinsèque vers le haut dans le cas du dopage N, et vers le bas dans le cas du dopage P. Ceci est
représenté dans la Figure 2.3.
Pour déterminer le niveau de Fermi dans le cas extrinsèque on combine l’équation (2.34) avec les
équations (2.24) et (2.25). Tout calcul fait on obtient :
𝐸𝑔 3𝑘𝑇 𝑚 𝛥𝑛(𝑇) 2
𝐸𝐶 − 𝐸𝐹 = − 𝑙𝑛 ( 𝑑ℎ ) − 𝑘𝑇𝑙𝑛 ( + √( 𝛥𝑛(𝑇) ) + 1 ) (2.35)
2 4 𝑚𝑑𝑒 2𝑛𝑖 (𝑇) 2𝑛𝑖(𝑇)
𝐸𝑔 3𝑘𝑇 𝑚 −𝛥𝑛(𝑇) 2
𝐸𝐹 − 𝐸𝑉 = + 𝑙𝑛 ( 𝑚𝑑ℎ ) − 𝑘𝑇𝑙𝑛 ( 2𝑛 (𝑇) + √( 𝛥𝑛(𝑇) ) + 1 ) (2.36)
2 4 𝑑𝑒 𝑖 2𝑛 (𝑇)𝑖
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𝐸 𝐸 𝐸
Même surface
n(T)=p(T)=ni(T)
𝑛(𝑇)
𝑛(𝑇)
𝐸𝑐 𝐸𝑐 𝐸𝑐
𝐸𝐹 𝐸𝑔
𝐸𝐹𝑖
𝐸𝐹
𝐸𝑣 𝐸𝑣 𝐸𝑣
𝑝(𝑇) 𝑝(𝑇)
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8
8
1 7 1 7
2 2
4 5 4 5
6 6
3 3
(a) (b)
Figure 3.1 : Effet du champ électrique sur le déplacement des porteurs de charge
La vitesse moyenne d’un porteur sous l’effet d’un champ électrique𝜉⃗ est donnée, selon le modèle
de Drude, par l’équation (3.1)
𝑞𝜏
𝑣̅ = 2𝑚𝐶∗ 𝜉 (3.1)
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Ici q est la charge du porteur, m* sa masse effective, et τC le temps moyen de collision. Ce temps
dépend de :
La température
La concentration totale d’impuretés (donneurs et accepteurs)
La densité d’état.
On définit la mobilité d’un porteur µ comme étant la vitesse moyenne du porteur par unité de
champ électrique. Il s’agit d’une valeur positive exprimée en cm²/V.s et qui reflète la capacité du
porteur à se déplacer sous l’effet d’une force électrique. On distingue, comme exprimé dans les
équations (3.2), la mobilité des électrons µn et la mobilité des trous µp. Ces derniers sont moins
mobiles que les électrons comme on peut l’observer à travers les valeurs numériques du tableau
Tab. 3.1.
−𝑞𝑛 𝜏𝐶
𝜇𝑛 = 2 𝑚𝑒
{ 𝑞𝑝 𝜏𝐶 (3.2)
𝜇𝑝 = 2 𝑚
ℎ
On définit donc la densité du courant de diffusion 𝐽⃗⃗⃗𝑐 , par l’équation (3.3). Ici qp=-qn=e est la
charge élémentaire et σn et σp sont respectivement la conductivité des électrons et la conductivité
des trous :
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La relation d’Einstein, exprimée dans l’équation (3.5) permet de mettre en relation les deux
constantes de diffusion, les deux mobilités ainsi que la tension thermique VT.
𝐷𝑛 𝐷 𝑘𝑇
𝜇𝑛
= 𝜇𝑝 = 𝑞
= 𝑉𝑇 (3.5)
𝑝
𝐽⃗ = ⃗⃗⃗⃗⃗⃗
𝐽𝑐𝑛 + ⃗⃗⃗⃗⃗⃗
𝐽𝑐𝑝 + ⃗⃗⃗⃗⃗⃗
𝐽𝑑𝑛 + ⃗⃗⃗⃗⃗⃗
𝐽𝑑𝑝 (3.6)
Ce qui donne explicitement :
𝐽⃗ = 𝑞𝑝 𝜇𝑝 (𝑝. 𝜉⃗ − 𝑈𝑇 𝑔𝑟𝑎𝑑
⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗ (𝑝)) − 𝑞𝑛 𝜇𝑛 (𝑛. 𝜉⃗ + 𝑈𝑇 𝑔𝑟𝑎𝑑
⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗ (𝑛)) = ⃗⃗⃗⃗
𝐽𝑝 + ⃗⃗⃗⃗
𝐽𝑛 (3.9)
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II. Généralité
Cette partie introduit quelques notions prérequis pour l’étude des mécanismes de génération-
recombinaison.
1. Type de génération-recombinaison
On distingue deux types de mécanisme génération-recombinaison.
- La transition directe (génération ou recombinaison) se passe lorsque l’électron passe
directement de la bande de valence à la bande de conduction
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U= r - g (4.1)
Pour définir l’équilibre thermodynamique on a :
d'ou
𝑈 =𝑟−𝑔 =0 → 𝑟=𝑔 (4.2)
Lorsque la concentration des porteurs n’est pas celle de l’équilibre, c’est-à-dire que n.p≠ni². Les
mécanismes RG qui existent déjà dans le semi-conducteur s’accentuent de façon à faire disparaitre
l’excès ou le défaut. Attention cette rupture d’équilibre n’a rien à voir avec le dopage des semi-
conducteurs. Dans un semi-conducteur dopé la règle n.p=ni² est bien vérifiée.
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𝑛 = 𝑛0 + 𝑛̂
{ (4.5)
𝑝 = 𝑝0 + 𝑝̂
Où n0 et p0 sont les concentrations à l’équilibre, et 𝑛̂ et 𝑝̂ sont les perturbations en terme
d’électrons et de trous. On a donc :
D’où :
𝑛̂ 𝑝̂
𝑈=
𝜏𝑛
+
𝜏𝑝
(4.9)
La constante τn (τp) est analogue à un temps en s. Elle représente la durée de vie moyenne de
l’électron (du trou) excédentaire. C’est le temps moyen qui sépare son apparition et sa disparition
par mécanisme de recombinaison.
Il faut faire attention que :
- Il ne s’agit pas d’une moyenne arithmétique
- On n’a pas forcément n0=p0 (et par la suite τn ≠ τp) sauf si on est dans un semi-conducteur
intrinsèque.
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2. Taux de recombinaison ra et rb
Selon le modèle de Shockley - Hall – Read, le taux de recombinaison du processus a noté ra est
proportionnel à la concentration des électrons n et à celle des niveaux relais vides Ntv. On a donc :
3. Taux de génération gc et gd
Le taux de génération du processus c noté rc est proportionnel à la concentration des niveaux
relais occupés Ntv. On a donc :
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en = ep = ê (4.21)
Sous ces hypothèses on obtient :
𝑈𝑛 = 𝑛𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 (1 − 𝑓)𝑁𝑡 − ê𝑓𝑁𝑡
{ (4.22)
𝑈𝑝 = 𝑝𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑓𝑁𝑡 − ê(1 − 𝑓)𝑁𝑡
On sait qu’à l’équilibre thermodynamique on a Un=Up=0. D’où :
𝑈𝑛 = 0 = 𝑛0 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 (1 − 𝑓)𝑁𝑡 − ê𝑓𝑁𝑡
{ (4.23)
𝑈𝑝 = 0 = 𝑝0 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑓𝑁𝑡 − ê(1 − 𝑓)𝑁𝑡
Ici n0 et p0 sont respectivement les concentrations d’électrons et de trous à l’équilibre. En
multipliant les deux termes des équations du système (4.22), on aboutit à l’équation (4.23) :
ê = 𝑛𝑖 𝑆𝑉𝑡ℎ (4.26)
Le cas particulier de l’équilibre permet de déterminer ê. Dans le cas général on a :
𝑈𝑛 = 𝑛𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 (1 − 𝑓)𝑁𝑡 − 𝑛𝑖 𝑆𝑉𝑡ℎ 𝑓𝑁𝑡
{ (4.27)
𝑈𝑝 = 𝑝𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑓𝑁𝑡 − 𝑛𝑖 𝑆𝑉𝑡ℎ (1 − 𝑓)𝑁𝑡
On s’intéresse à l’étude du régime permanent où on sait qu’on a Un=Up=U (qui peut être ≠0). On a
donc :
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𝑛(1 − 𝑓) − 𝑛𝑖 𝑓 = 𝑝𝑓 − 𝑛𝑖 (1 − 𝑓) (4.30)
L’équation (4.30) permet de conclure que :
𝑛+𝑛
𝑖
𝑓 = 𝑛+𝑝+2𝑛 (4.31)
𝑖
Et par conséquent :
𝑝+𝑛
𝑖
1 − 𝑓 = 𝑛+𝑝+2𝑛 (4.32)
𝑖
On pose :
𝑛 = 𝑛0 + 𝑛̂
{ (4.34)
𝑝 = 𝑝0 + 𝑝̂
Où n0 et p0 sont respectivement les concentrations d’électrons et de trous à l’équilibre. Et 𝑛̂ et 𝑝̂ sont
les perturbations respectives de ces concentrations. On a donc :
(𝑛0 𝑝̂+𝑝0 𝑛̂) 1 (𝑛0 𝑝̂+𝑝0 𝑛̂)
𝑈 ≈ 𝑆𝑉𝑡ℎ 𝑁𝑡 = (4.35)
𝑛+𝑝+2𝑛𝑖 𝜏 𝑛+𝑝+2𝑛𝑖
Où τ définit par l’équation (2.32’) est une constante analogue à un temps en s. Elle représente la
durée de vie moyenne du porteur excédentaire dans le semi-conducteur.
1
𝜏 = 𝑆𝑉 (4.36)
𝑡ℎ 𝑁𝑡
Normalement la durée de vie moyenne de l’électron est différente de celle du trou (comme il a
été établi dans l’équation (4.8) dans le cas de la transition directe). Toutefois, vu qu’on a supposé
que Sn ≃ Sp et Vthn ≃ Vthp il en découle que τn = τp = τ.
Cas général – pièges « non efficaces »
Dans le cas général, où en ≠ ep. On admettra que :
1
𝑓= 𝐸𝑡 −𝐸𝐹 (4.37)
1+𝑒 𝑘𝑇
D’une autre part, on sait qu’à l’équilibre on a Un = Up=0. A partir des équations (4.19) et (4.20) on a :
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𝐸𝑡 −𝐸𝐹
1−𝑓
𝑒𝑛 𝑁𝑡 = 𝑛0 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 𝑁𝑡 = 𝑛0 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 𝑁𝑡 𝑒 𝑘𝑇
𝑓
{ 𝐸𝐹 −𝐸𝑡 (4.39)
𝑓
𝑒𝑝 𝑁𝑡 = 𝑝0 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑁𝑡 1−𝑓 = 𝑝0 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑁𝑡 𝑒 𝑘𝑇
Finalement on aboutit à :
𝐸𝑡 −𝐸𝐹 𝐸𝐹 −𝐸𝑖 𝐸𝑡 −𝐸𝐹 𝐸𝑡 −𝐸𝑖
𝑒𝑛 = 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 𝑛0 𝑒 𝑘𝑇 = 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 𝑛𝑖 𝑒 𝑘𝑇 𝑒 𝑘𝑇 = 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ 𝑛𝑖 𝑒 𝑘𝑇
{ 𝐸𝐹 −𝐸𝑡 𝐸𝑖 −𝐸𝐹 𝐸𝐹 −𝐸𝑡 𝐸𝑖 −𝐸𝑡 (4.41)
𝑒𝑝 = 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑝0 𝑒 𝑘𝑇 = 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑛𝑖 𝑒 𝑘𝑇 𝑒 𝑘𝑇 = 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑛𝑖 𝑒 𝑘𝑇
L’équation (4.41) montre que les probabilités d’émission en et ep ne dépendent pas du niveau de
Fermi dans un semi-conducteur mais plutôt du niveau de Fermi intrinsèque et du niveau du piège.
On pose.
𝐸𝑡 −𝐸𝐹𝑖
𝑛𝑡 = 𝑛𝑖 𝑒 𝑘𝑇
{ 𝐸𝐹𝑖 −𝐸𝑡 (4.42)
𝑝𝑡 = 𝑛𝑖 𝑒 𝑘𝑇
On a donc :
𝑒𝑛 = 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ 𝑛𝑡
{𝑒 = 𝑆 𝑉 𝑝 (4.43)
𝑝 𝑝 𝑡ℎ 𝑡
En substituant le résultat (4.46) dans l’équation (4.44), sachant que nt.pt = ni2, on aboutit à
l’équation (4.47) qui donne les taux de recombinaison nets en régime permanent dans le cas de
piège quelconque (i.e. non efficace).
𝑆𝑛 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑁𝑡 (𝑛𝑝−𝑛𝑖 ²)
𝑈𝑛 = 𝑈𝑝 = 𝑆 (4.47)
𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 (𝑛+𝑛𝑡 )+𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 (𝑝+𝑝𝑡 )
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On pose alors :
1
𝜏𝑛 = 𝑆
𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛 𝑁𝑡
{ 1 (4.48)
𝜏𝑝 = 𝑆
𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝 𝑁𝑡
Les deux constantes sont des constantes de temps qui représentent les durées de vie moyennes
respectivement des électrons et des trous. On trouve alors que :
1 (𝑛𝑝−𝑛𝑖 ²)
𝑈𝑛 = 𝜏 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛
𝑛 (𝑛+𝑛𝑡 )+(𝑝+𝑝𝑡 )
𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝
1 (𝑛𝑝−𝑛𝑖 ²)
(4.49)
𝑈𝑝 = 𝜏 𝑆𝑝 𝑉𝑡ℎ𝑝
𝑝 (𝑛+𝑛𝑡 )+ (𝑝+𝑝𝑡 )
{ 𝑆𝑛 𝑉𝑡ℎ𝑛
Etant donné que Sn ≃ Sp et Vthn ≃ Vthp, on peut définir de façon générale que :
1 (𝑛𝑝−𝑛𝑖 ²)
𝑈𝑛 = 𝜏 (𝑛+𝑛
𝑛 𝑡 )+(𝑝+𝑝𝑡 )
{ 1 (𝑛𝑝−𝑛𝑖 ²)
(4.50)
𝑈𝑝 = 𝜏
𝑝 (𝑛+𝑛𝑡 )+(𝑝+𝑝𝑡 )
V. Recapitulation
Le tableau Tab 4.1 reprend les valeurs des taux dans les cas étudiés dans ce chapitre
RG indirect RG indirect
RG direct
Piège efficace Cas général
𝑼𝒏 = 𝒓𝒂 − 𝒈𝒅 = 𝒏𝑺𝒏 𝑽𝒕𝒉𝒏 (𝟏 − 𝒇)𝑵𝒕 − 𝒆𝒏 𝒇𝑵𝒕
Définition 𝑼 = 𝒓 − 𝒈 = 𝑪(𝒏𝒑 − 𝒏𝟐𝒊 )
𝑼𝒑 = 𝒓𝒃 − 𝒈𝒄 = 𝒑𝑺𝒑 𝑽𝒕𝒉𝒑 𝒇𝑵𝒕 − 𝒆𝒑 (𝟏 − 𝒇)𝑵𝒕
Vie moyenne 𝟏 𝟏
𝝉𝒏 = 𝝉𝒏 =
des électrons 𝑪𝒑𝟎 𝑺𝒏 𝑽𝒕𝒉𝒏 𝑵𝒕
Vie moyenne 𝟏 𝟏
𝝉𝒑 = 𝝉𝒑 =
des trous 𝑪𝒏𝟎 𝑺𝒑 𝑽𝒕𝒉𝒑 𝑵𝒕
𝟏 𝒏𝒑 − 𝒏𝒊 ² 𝟏 (𝒏𝒑 − 𝒏𝒊 ²)
𝑼𝒏 = 𝑼𝒏 =
U en régime ̂
𝒏 ̂
𝒑 𝝉𝒏 𝒏 + 𝒑+𝟐𝒏𝒊 𝝉𝒏 (𝒏 + 𝒏𝒕 ) + (𝒑 + 𝒑𝒕 )
𝑼= +
permanant 𝝉𝒏 𝝉𝒑 𝟏 𝒏𝒑 − 𝒏𝒊 ² 𝟏 (𝒏𝒑 − 𝒏𝒊 ²)
𝑼𝒑 = 𝑼𝒑 =
{ 𝝉𝒑 𝒏 + 𝒑+𝟐𝒏𝒊 { 𝝉𝒑 (𝒏 + 𝒏𝒕 ) + (𝒑 + 𝒑𝒕 )
Tab 4.1 : Taux nets de recombinaison
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𝑑𝑝 𝐽𝑝 (𝑥)−𝐽𝑝 (𝑥+𝑑𝑥)
𝑑𝑡
𝑆𝑑𝑥 =𝑆
𝑞𝑝
− 𝑈𝑝 𝑆𝑑𝑥 (5.2)
D’où :
𝑑𝑛 𝜕𝑛 𝜕𝜉𝑥 𝜕²𝑛
= 𝜇𝑛 𝜉𝑥 𝜕𝑥 + 𝜇𝑛 𝑛 + 𝐷𝑛 𝜕𝑥² − 𝑈𝑛
{𝑑𝑝𝑑𝑡 𝜕𝑝
𝜕𝑥
𝜕𝜉𝑥 𝜕2 𝑝
(5.5)
𝑑𝑡
= −𝜇𝑝 𝜉𝑥 𝜕𝑥 − 𝜇𝑝 𝑝 𝜕𝑥
+ 𝐷𝑝 𝜕𝑥² − 𝑈𝑝
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Ici on étudie l’injection de porteurs minoritaires en faible quantité et on suppose qu’on n’injecte
pas de porteurs majoritaires.
Dans un SC type N
On injecte une faible quantité de porteurs minoritaires c’est-à-dire des trous 𝑝̂ . On n’injecte pas
de porteurs majoritaires donc 𝑛̂ =0, d’où on peut conclure que n=n0.
On se met aussi dans le cas d’un fort dopage où :
𝑛0 𝑝̂ + 𝑝0 𝑛̂ = 𝑛0 𝑝̂ (5.8)
On sait aussi que
La solution de l’équation (5.12) donne l’évolution des porteurs minoritaires (trous) dans un
semi-conducteur de type N en absence de champ. Cette solution donnée par l’équation (5.13) est
représentée dans la Figure 5.2 – a. Ici 𝑝̂ 0 est la perturbation initiale injectée à l’instant t=0.
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−𝑡 −𝑡
𝑝̂ = 𝑝̂ (𝑡 = 0)𝑒 𝜏𝑝 = 𝑝̂ 0 𝑒 𝜏𝑝 (5.13)
Dans un SC type P
On suppose l’injection d’une faible quantité d’électrons 𝑛̂. Sans injection de porteurs majoritaires
donc 𝑝̂ =0. Et on se met aussi dans le cas d’un fort dopage par un calcul similaire on aboutit à :
𝑑𝑛̂ 1
= − 𝜏 𝑛̂ (5.14)
𝑑𝑡 𝑛
La solution de l’équation (5.14) donne l’évolution des porteurs minoritaires (électrons) dans un
semi-conducteur de type P en absence de champ. Cette solution donnée par l’équation (5.15) est
représentée dans la Figure 5.2 – b. Ici 𝑛̂0 est la perturbation initiale injectée à l’instant t=0.
−𝑡 −𝑡
𝑛̂ = 𝑛̂(𝑡 = 0)𝑒 𝜏𝑛 = 𝑛̂0 𝑒 𝜏𝑛 (5.15)
On injecte une faible quantité de porteurs minoritaires. Ceci permet d’utiliser l’équation (5.11) et
l’approximation de l’équation (5.10), dans le cas de semi-conducteur type N, afin d’aboutir à :
𝑑𝑝 𝜕2 𝑝 𝑝̂ 𝜕2 𝑝̂(𝑥) 𝑝̂(𝑥)
= 𝐷𝑝 𝜕𝑥 2 − 𝜏 = 𝐷𝑝 − (5.17)
𝑑𝑡 𝑝 𝜕𝑥 2 𝜏𝑝
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𝑑𝑛 𝜕2 𝑛 𝑛̂ 𝜕2 𝑛̂(𝑥) 𝑛̂(𝑥)
= 𝐷𝑛 𝜕𝑥 2 − 𝜏 = 𝐷𝑛 − (5.18)
𝑑𝑡 𝑛 𝜕𝑥 2 𝜏𝑛
Le fait qu’on injecte les porteurs de façon continue nous permet d’atteindre le régime permanent
(c’est-à-dire lorsque le temps d’injection dépasse largement τp et τn), on peut supposer donc que la
variation temporelle de la concentration des porteurs va finir par s’annuler. On a alors :
𝑑𝑝 𝜕2 𝑛̂(𝑥) 𝑛̂(𝑥)
= 0 = 𝐷𝑛 − dans un SC N
𝑑𝑡 𝜕𝑥 2 𝜏𝑛
{ 𝑑𝑛 𝜕2 𝑝̂(𝑥) 𝑝̂(𝑥)
(5.19)
= 0 = 𝐷𝑝 − dans un SC P
𝑑𝑡 𝜕𝑥 2 𝜏𝑝
On pose
𝐿2𝑝 = 𝐷𝑝 𝜏𝑝
{ (5.20)
𝐿2𝑛 = 𝐷𝑛 𝜏𝑛
On peut dire que les porteurs minoritaires qui sont injectés vont avoir une distribution spatiale
qui répond aux équations différentielles (5.21)
𝜕2 𝑝̂ (𝑥) 1
− ̂ (𝑥) = 0
𝑝 dans un SC N
𝜕𝑥2 𝐿2𝑝
{ (5.21)
𝜕2 𝑛̂ (𝑥) 1
− ̂ (𝑥) = 0
𝑛 dans un SC P
𝜕𝑥2 𝐿2𝑛
−𝑥 𝑥
𝑝̂ (𝑥) = 𝐴𝑝 . 𝑒𝑥𝑝 ( 𝐿 ) + 𝐵𝑝 . 𝑒𝑥𝑝 (𝐿 ) dans un SC N
{ 𝑝 𝑝
(5.22)
−𝑥 𝑥
𝑛̂(𝑥) = 𝐴𝑛 . 𝑒𝑥𝑝 ( 𝐿 ) + 𝐵𝑛 . 𝑒𝑥𝑝 (𝐿 ) dans un SC P
𝑛 𝑛
Où An, Bn, Ap et Bp sont des constantes à définir en utilisant les conditions en limites.
Semi-conducteur de longueur W infinie – porteurs injectés à x=0
Dans ce cas on peut dire que :
- Lorsque x tend vers ∞ on a la perturbation (𝑝̂ (𝑥) dans le cas du semi-conducteur N et 𝑛̂(𝑥)
dans le cas du semi-conducteur P) qui tend vers 0.
- La perturbation est injectée à x=0 donc on note 𝑝̂ (𝑥) = 𝑝̂ (0) = 𝑝̂0 dans le cas du semi-
conducteur N et 𝑛̂(𝑥) = 𝑛̂(0) = 𝑛̂0 .dans le cas du semi-conducteur P
Inclure ces deux conditions limites dans l’équation (5.22) permet de déduire que Bn=Bp=0, Ap=𝑝̂0
et An=𝑛̂0 . D’où :
−𝑥
( )
𝑝̂ (𝑥) = 𝑝̂0 𝑒 𝐿𝑝
dans un SC N
{ −𝑥
(5.23)
( )
𝑛̂(𝑥) = 𝑛̂0 𝑒 𝐿𝑛 dans un SC P
Ces deux évolutions sont représentées dans la Figure 5.3 dans les deux cas N et P. On remarque
que les distances Lp et Ln reflètent les distances que doit parcourir le porteur excédentaire dans un
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semi-conducteur avant de disparaître par effet de recombinaison. Elles sont dites longueurs de
diffusion des porteurs excédentaires. En s’éloignant de la zone d’injection la perturbation décroit
jusqu’à s’annuler lorsqu’on s’éloigne de plusieurs Lp (ou Ln).
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𝑝̂0 𝑊−𝑥
𝑝̂ (𝑥) = 𝑊 𝑠ℎ ( ) dans un SC N
𝑠ℎ( ) 𝐿𝑝
𝐿𝑝
(5.24)
𝑛̂0 𝑊−𝑥
𝑛̂(𝑥) = 𝑊 𝑠ℎ ( ) dans un SC P
{ 𝑠ℎ( ) 𝐿𝑛
𝐿𝑛
Dans le cas ou W>>Ln (ou Lp) l’équation (5.24) tend vers l’équation (5.23).
Semi-conducteur de longueur W finie très petite
Dans ce cas W<<Ln (ou Lp) l’équation (5.24) peut être approximée par développement en série
sous la forme de l’équation linéaire (5.25).
𝑥
𝑝̂ (𝑥) = 𝑝̂0 (1 − 𝑊) dans un SC N
{ 𝑥
(5.25)
𝑛̂(𝑥) = 𝑛̂0 (1 − 𝑊) dans un SC P
Ce cas est souvent rencontré dans les diodes courtes dont la dimension est faible par rapport aux
longueurs de diffusion
Généralisation
La variation de la perturbation de la concentration des porteurs change selon la rapport Ln/W
(ou Lp/W). Afin de comprendre l’effet de ce rapport on trace dans la Figure 5.5 quelques courbes de
la variation de perturbation en fonction de x/W
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- ρ(x,y,z) est la densité locale de charge dans le semi-conducteur. Elle est calculée, en chaque
point de coordonnées (x,y,z), en tenant compte de toutes les charges qui existent localement
dans le semi-conducteur (n, p, NA, ND,…)
𝜌(𝑥,𝑦,𝑧)
div(𝜉⃗) = 𝜀 (5.26)
Comme pour l’équation (5.3) on s’intéresse particulièrement aux variations suivant une direction
privilégiée, à savoir x. On aboutit donc à l’équation (5.27)
𝜕𝜉 𝜌(𝑥)
= (5.27)
𝜕𝑥 𝜀
2. Equation de Poisson
En électrostatique on a :
𝜉⃗ = −𝑔𝑟𝑎𝑑
⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗⃗ (𝑉) (5.28)
En substituant ce résultat dans l’équation de gausse (5.26) on retrouve l’équation de Poisson.
Cette équation, exprimée en (5.29), relie le potentiel à sa source.
𝜌(𝑥,𝑦,𝑧)
𝛻²𝑉 = − (5.29)
𝜀
𝜕² 𝜕² 𝜕²
Où 𝛻² est le Laplacien égal à + 𝜕𝑥² + 𝜕𝑥². Dans le cas de direction privilégiée x on a :
𝜕𝑥²
𝜕2 𝑉 𝜌(𝑥)
=− (5.29)
𝜕𝑥² 𝜀
V. Bilan global
La Figure 5.6 regroupe l’ensemble des équations utiles pour la description d’un système à base
de semi-conducteur.
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