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Molecular
Introdução
O crescimento de filmes finos através da técnica de MBE (Molecular
Bean Epitaxy) é feito através da deposição epitaxial de material em um
substrato cristalino aquecido.
O sistema de MBE
O equipamento para MBE é basicamente uma câmara de aço-inox de
diâmetro entre 360~450mm, com uma pressão residual de aproximadamente
2x10-11 torr, mantida por um sistema de bombas que pode variar. Uma opção
de combinação é utilizar bomba mecânica e de sorção para obter-se o vácuo
inicial (até 10-3 torr) e bomba iônica, de sublimação de titânio e painéis
criogênicos cheios de nitrogênio líquido para obter a condição de UHV.
Preparação da Amostra
A preparação do substrato deve ser feita de maneira a minimizar a
deposição de impurezas em sua superfície cristalina, devido aos efeitos da
interface substrato-camada ativa no desempenho das estruturas preparadas.
Geralmente as amostras passam por um processo de polimento, seguido de
corrosão quinica, lavagem com agua deionizada e destilada, secado com N2
(seco e filtrado) e aquecimento sob condições livres de poeira. O aquecimento
é realizado para criar uma camada óxida que protege da contaminação por
carbono. Comumente utiliza-se ultra-som para agitar a amostra durante a
corrosão, para facilitar a retirada das impurezas da superfície.
Crescimento do Filme
Algumas características da dinâmica de crescimento pela técnica de
MBE são observadas monitorando as variações da intensidade do padrão
Rheed obtido. As raias que formam o padrão Rheed oscilam imediatamente
após o inicio do crescimento de forma atenuada progressivamente, de acordo
com as condições de crescimento (temperatura do substrato, fluxo de arsênico,
fluxo de gálio) e do ângulo de incidência do feixe eletrônico sobre a superfície.
Essas oscilações são resultado de um crescimento bidimensional com uma
certa taxa de nucleação. A intensidade da mancha especular formada é
proporcional à reflectividade da superfície: antes do crescimento a superfície
possui reflectividade máxima, o crescimento de uma mono camada diminui a
reflectividade pela formação de ilhas bidimensionais na superfície, passando
por um minimo quando meia camada é formada. Um novo máximo de
intensidade é atingido quando uma nova mono camada é completa, podendo a
partir da medida do tempo entre dois máximos ser determinada a velocidade
de crescimento. A taxa de crescimento do filme é controlada pelo fluxo do feixe
de Ga que atinge o substrato.
Defeitos Superficiais
Os principais defeitos observados na superfície de filmes finos
crescidos pela técnica de MBE, são os defeitos ovais (simples, com buraco, com
núcleo ou geminados), atribuídos principalmente a impurezas microscópicas e
macroscópicas não-reativas e não-voláteis, depositadas no substrato durante
sua manipulação ao ambiente, antes de sua introdução ao sistema de MBE.