3 Capteurs capacitifs

Câble coaxial

électrode de mesure

électrode de garde

Pièce a mesurer

3.1 Principe

Figure 3.1 Schémas d'un capteur capacitif mesurant une pièce conductrice

Anneau de garde Corps du capteur

Électrode
de mesure

Isolants Câble coaxial

Un capteur capacitif est très généralement réalisé avec une électrode plane entourée
d'un anneau de garde. L'électrode forme avec la pièce à mesurer un condensateur plan. La
détermination de la distance d est réalisée en mesurant la capacité C du condensateur, ils sont
liés par l'équation :
ε.S
C=
d

Avec
ε est la permittivité du diélectrique existant entre le capteur et la pièce à mesurer
S est la surface de l'électrode du capteur
d est la distance à mesurer

La mesure de la capacité du condensateur est réalisée en lui injectant un courant alternatif et

en mesurant la tension qui apparaît à ses bornes. Ils sont liés par la relation :

I I .d
V = =
jω.C Jω.ε.S

Cette tension est proportionnelle à la distance d, ω = 2π f est la pulsation du courant

d'alimentation.
Une électrode de garde est placée autour de celle de mesure et son potentiel est porté à la
même valeur afin d'améliorer la linéarité en rendant les lignes de champ normales à l'électrode
centrale, elle élimine les effets de bord.

démodulateur filtre

Câble tri axial +

-
Amplificateur suiveur

Figure 3.2 Schéma d'un conditionneur utilisant une fréquence porteuse pour un capteur
capacitif.

La liaison entre le capteur et le conditionneur est généralement réalisée l'aide d'un

câble triaxial, l'âme centrale est reliée à l'électrode de mesure, le premier blindage coaxial est
relié à l'électrode de garde son potentiel est maintenu égal à celui de l'âme centrale, il écrante
ainsi toutes les masses.

+
Résistance de polarisation
- Amplificateur suiveur
+
Générateur
continu
-

Figure 3.3 Schéma d'un conditionneur permettant une très grande bande passante.

En polarisant un capteur capacitif par l'intermédiaire d'une résistance de grande valeur

(100 MΩ ) il est possible de mesurer les variations de distance à très haute fréquence, on n'est
plus limité par la fréquence de la porteuse utilisée. Pendant les variations de distance rapides
la charge électrique du condensateur formant le capteur est constante, les variations de tension
aux bornes du capteur sont proportionnelles aux variations de distance mais dans ce cas
l'information de distance absolue n'est pas disponible.
Q Q.d
V = =
C ε.S
 Câble coaxial

électrode de mesure intérieure

électrode de mesure
extérieure

Pièce à mesurer
Figure 3.4 Schéma d'un capteur capacitif mesurant une pièce isolante

Un capteur capacitif peut aussi être utilisé pour mesurer la position d'une pièce
isolante à condition que sa constante diélectrique soit différente de celle de l'air. Le
condensateur de mesure n'est plus formé entre le capteur et la pièce mais entre deux
électrodes du capteur, la réponse du capteur est fonction de la permittivité relative ε r de la
pièce mesurée, elle n'est plus linéaire, la courbe de variation de la capacité en fonction de la
distance se rapproche d'une hyperbole.

Mesure d'épaisseur
La mesure d'épaisseur de tôle ou de plaque peut être faite en utilisant deux capteurs
indépendants mais il peut être plus performant et plus économique de placer les électrodes de
mesure de part et d'autre de la pièce à mesurer

3.2 Principales caractéristiques

Les capteurs capacitifs permettent de mesurer avec précision la distance de toutes
pièces conductrices à condition que la permittivité de l'entrefer soit constante, en effectuant un
étalonnage spécifique ils peuvent aussi mesurer la position de pièces dont la permittivité est
différente de celle de l'air. Pour les pièces conductrices la réponse est indépendante de la
résistivité.

Figure 3.5 Exemples de capteurs et de conditionneurs (Fogale)

Etendue de mesure
Elles sont petites( de 10 µm à 10 mm). Un conditionneur est adapté à toute une gamme
de capteurs qui présentent les mêmes variations de capacité, leur étendue de mesure varie
comme le carré de leur diamètre (par exemple un diamètre de 8 mm pour une étendue de 1,25
mm, un diamètre de 1,13 mm pour une étendue de 25 µm)
 La justesse de mesure varie de 1% à 0,1% de l'étendue de mesure selon la qualité du
conditionneur, des réalisations particulièrement soignée permettent d'atteindre 0,01%.
C'est un moyen de mesure dépourvu d'hystérésis, la répétabilité est fonction de la
qualité du conditionneur, des résolutions inférieure au nanomètre ont été obtenues pour de
faible étendue de mesure.
Les variations de conductibilité des matériaux conducteur n'ont aucune influence sur la
justesse

Stabilité derives
En raison de son principe les capteurs capacitifs ont une réponse stable, les très faibles
dérives qui peuvent être réduites à quelques ppm/°C proviennent des dilatations des matériaux
le constituant. Les variations de la réponse avec le temps viennent des imperfections du
conditionneur, elles peuvent être rendues très faible.
La mesure de la distance de matériaux isolants est plus sensible à la température
l'ordre de grandeur des dérives suit celui des variations des caractéristiques diélectrique du
matériau mesuré, quand la réponse du capteur n'est pas linéaire l'influence relative croit avec
la distance mesuré pour un capteur donné.

Il est possible d'obtenir une bande passante très large, jusqu'à 300 kHz en utilisant une
fréquence porteuse, plusieurs MHz ou en se servant d'une polarisation continue. Le bruit
présent sur le signal de sortie est fonction de la bande passante (0,01% pour une bande
passante de 400 Hz, 30 fois plus pour 300 kHz).

3.3 Limites d'utilisation

La simplicité de la conception des capteurs lui permet de pouvoir supporter de très
hautes températures ( jusqu'à 1200°C voir plus), et des températures cryogéniques (4°K). De
plus il peut être utilisé dans l'ultravide et sous les pressions les plus élevées (plusieurs millier
de bar).
Il est assez facile de le miniaturiser (pour de très petites étendues de mesure, le
diamètre de l'électrode de mesure a été réduit à 20 µm). Ils sont réalisables par sérigraphie, on
peut aussi utiliser les techniques de fabrication des circuits souples pour réaliser des capteurs
ultra minces.
Les étendues de mesure de ces types de capteur ne sont pas très grandes(10 mm voire
40 mm en sacrifiant la linéarité) au-delà il faudrait utiliser des capteurs de très grande taille(>
80 mm)
Pour effectuer les mesures sur les pièces conductrices, il faut réaliser une prise de
masse, même mauvaise( directe ou indirecte). S'il n'y a pas continuité, il suffit que
condensateur qui se trouve en série soit de grande capacité par rapport à celle du capteur.
Si le rayon de la pièce est très petit, il est nécessaire d'en tenir compte pour corriger la
courbe de réponse, des non-linéarités, des décalages de zéro se produisent.
L'inclinaison du capteur à une faible influence ( moins de 0,4% pour un angle inférieur
à 5 degrés).

3.4 Applications

Les capteurs capacitifs sont principalement utilisés pour mesurer de petites distances
(quelques µm à 10 mm), avec une très petite incertitude de mesure, il est possible d'obtenir
des résolutions inférieures au nanomètre et cela dans des conditions extrêmes de température
et de pression. Ils peuvent donc être utilisés pour effectuer des contrôles dimensionnels de
haute précision, comme par exemple l'étalonnage de cales-étalons, les contrôles de rectitude,
de circularité, la mesure de faux rond ou de voile. Certains ont été adaptés à la mesure de jeu
entre cylindres, d'entrefers.
Figure 3.6 Exemples de capteurs plans pour mesurer des entrefers (Capacitec)

Ils sont aussi beaucoup utilisés pour le contrôle de lignes d'arbres, de paliers, la
mesure d'épaisseur de film d'huile (même sur des segments de moteur à explosion), la mesure
de distance entre l'extrémité d'aubes et le carter de réacteurs à haute température.
Ils sont aussi intégrés dans d'autres capteurs, des capteurs de pression ou de force, ou
bien encore des accéléromètres, des extensomètres, des dilatomètres, des systèmes de mesure
de niveau et d'horizontalité. Ils ont été utilisés pour mesurer la pression exercée par le
rayonnement solaire sur un satellite.
Ils sont parfois placés dans des boucles d'asservissement d'actionneurs
piézoélectriques, de répéteur pour la micro lithographie, de palier magnétique de gyroscope
de satellite. Ils peuvent supporter des environnements ionisants pour être utilisés dans des
réacteurs nucléaires, des accélérateurs de particules. Leurs caractéristiques permettent de les
utiliser pour mesurer des vibrations à très hautes fréquences(plusieurs MHz), pour étalonner
des capteurs d'émission acoustique par exemple.
Ils sont aussi un moyen non destructif pour mesurer des épaisseurs de revêtement en
matériau isolant tel que peintures, vernis, téflon, couches antifriction sur des supports
conducteurs.