Questions

1- Quelle est la différence entre le microscope optique et électronique ?

Ce qui varie, c'est que le microscope électronique est doté de lentilles

électromagnétiques et d'un faisceau d'électrons, alors qu'un microscope
optique utilise un faisceau de lumière et des lentilles en verre.

Un microscope électronique (ME) est un type de microscope qui utilise un

faisceau d'électrons pour illuminer un échantillon et en créer une image très
agrandie.
2- Quels sont les différents types de microscope ?

On distingue principalement trois types de microscopies : la

microscopie optique, la microscopie électronique et la microscopie
à sonde locale.
 Interactions électrons/matière

Lorsque le faisceau d’électron entre en collision avec le matériau

de l’échantillon il va pénétrer à l’intérieur et il va se produire des
phénomènes physiques comme la production d’électrons
secondaires d’électrons rétrodiffusés ou de rayons X mais aussi
de la cathodoluminecence des électrons transmis de la chaleur
etc.

Ces interactions peuvent être utilisées pour former une image si l’on
possède le détecteur qui permettra de capter le résultat de
l’interaction.
Les électrons secondaires
Les électrons secondaires sont émis lorsque le faisceau
primaire qui a perdu une partie de son énergie excite les
atomes de l’échantillon. Les électrons secondaires
possèdent une énergie faible (autour de 50 eV) suivant un
large spectre.
Leur faible énergie est une qualité:
– Il sera possible de les dévier facilement (avec une ddp) comme le montre l’image ci
dessus pour en récupérer un grand nombre sur le détecteur et donc d’obtenir une
image avec un bon rapport signal/bruit.

– Ils ne peuvent parcourir qu’un faible trajet dans l’échantillon car ils sont très vite arrêtés
et donc proviennent d’une zone proche du faisceau ce qui donne des images avec une
très bonne résolution (avec un faisceau de 30 angströms de diamètre la résolution est
de l’ordre de 40 angströms).

Les images obtenues grâce à la détection d’électrons secondaires représentent donc

essentiellement la topographie de l’échantillon (peu de contraste de phase).

Vous pourrez remarquer la grande profondeur de champ qu’offre la microscopie

électronique sur les images qui suivent.
La détection de ces électrons fournit une information sur la topographie de
l’échantillon sur une profondeur de 10 nm. L’analyse de ces électrons permet
d’obtenir une image caractéristique de la surface.
Ces électrons représentent un bon outil pour l'observation des contours, de la
morphologie de l’échantillon.

Fibres de carbone
Les électrons rétrodiffusés
Les électrons rétrodiffusés ou back-scattered electrons
ou BSE sont des électrons du faisceau primaire qui ont
réagi de façon quasi élastique avec les atomes de
l’échantillon. Ils sont renvoyés dans une direction proche
de leur direction d’origine avec une faible perte
d’énergie.
Le détecteur d’électrons rétro-diffusés est généralement placé à la verticale
de l’échantillon dans l’axe du faisceau (afin de récolter le maximum
d’électrons rétrodiffusés) et donc la vision du relief ne sera pas très bonne
avec ce détecteur.
Par contre les éléments chimiques possédant un numéro atomique élevé
(charge positive du noyau plus grand) produisent d’avantage d’électrons
rétrodiffusés que ceux ayant un numéro atomique faible. Les zones de
l’échantillon avec numéro atomique élevé seront donc plus blanches que
celles ayant un numéro atomique faible. On appelle cela le contraste de
phase. Cette particularité est fortement appréciée pour juger de
l’homogénéité chimique d’un échantillon avant par exemple de l’analyser.
Vous pourrez vérifier sur la photo suivante réalisée sur une surface plane que
les électrons rétro-diffusés permettent de distinguer les éléments ou les
phases suivant leur numéro atomique (Z élevé en blanc et Z faible en noir)
Les rayons X
Les rayons X sont des radiations électromagnétiques.
L’énergie des photons X émis dans le MEB est comprise
entre 0.5 et 30 KeV.
Le faisceau d’électrons du microscope est capable d’éjecter des
électrons des différentes couches électroniques des atomes
constituant le matériau observé. Lorsqu’un électron est éjecté il est
remplacé par un électron d’une couche supérieure. Un photon
d’énergie égale à la différence d’énergie entre les deux couches est
émis.
Il en résulte une émission en cascade jusqu’au remplacement des
électrons des dernières couches.
Si le faisceau est capable d’éjecter des électrons de la couche la
plus profonde il y aura donc émission de toutes les raies
caractéristiques de l’atome c’est le spectre de raies.
Le rayonnement caractéristique d’un atome est constitué par des
raies qui portent le nom de la couche sur laquelle l’électron
arrive.
Dans l’ordre du plus énergétique vers le moins énergétique on
trouve les raies K, L, M,…qui sont affectées d’une lettre grecque,
et d’un chiffre pour indiquer de quelle couche et sous couche
l’électron provient.
Plus le noyau de l’atome est lourd (Z élevé) plus les énergies des
photons seront importantes.
Il se superpose au spectre de raies en rouge un spectre continu
(toutes les énergies sont présentés) en vert qui est due au
freinage des électrons par le matériau
 L'étude des photons X permet une analyse
quantitative de la composition chimique
de l'échantillon.

L’exploitation des rayons X dans le MEB est détaillé à la page microanalyse X

 Electron Auger

Lorsqu'un atome est bombardé par des rayonnements ionisants,

un électron peut être retiré d’une couche interne atomique,
laissant une place vacante, qu'un électron d’une couche de plus
haute énergie peut venir remplir, causant un dégagement
d’énergie. Cette énergie peut :
- causer l’émission d’un photon : fluorescence X ;
- être transmise à un électron atomique qui sera éjecté de l’atome :
émission d'électron Auger.
Deux vues de l'effet Auger : (a) illustre
séquentiellement les étapes impliquées dans la
désexcitation Auger. Un électron incident (ou
un photon) crée un trou de cœur dans le niveau
1s. Un électron du niveau 2s remplit le trou 1s
et l'énergie de transition est transmise à un
électron 2p qui est émis. Le niveau atomique
final a ainsi deux trous, un sur l'orbitale 2s et un
autre sur l'orbitale 2p. (b) illustre le même
processus en utilisant la notation
spectroscopique KL1L2,3.