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Les puces optiques

ou
Circuits intégrés photoniques

Raphaël K. Kribich
kkribich@um2.fr
http://www.ies.univ-montp2.fr/~kribich 1
Contenu
1. Présentation.

2. Fabrication.

3. Principes fondamentaux:
1. Confinement de la lumière.
2. Propagation de la lumière dans un guide.

4. Principaux circuits:
1. Coupleur Y.
2. Coupleur en X.
3. Interféromètres.
4. Réseau de diffraction.
2
Intérêts de l’optique
Rapidité Bande passante large

Distance Faible atténuation

Compatibilité électromagnétique Haute fréquence

Sûreté Pas de charge électrique

Sécurité Piratage difficile

Observation Imagerie

Analyse Interaction avec la matière3


Applications de la photonique
Transports Biomédical Informatique Multimedia

Éclairage Affichage
Sources lasers
Fibres optiques
Circuits intelligents
Photo détecteur Industrie
Instrumentation
Observation
Télécoms

4
Défense
Présentation des puces optiques

5
Mise en boîtier de la puce

6
Fabrication d’une fibre optique en verre

Fusion du sable à 1500°C

Fibrage
Préformation
(Chemical Vapor Deposition)

7
Verres
Un verre est un solide non-cristallin présentant le phénomène de transition vitreuse.

Silice

Quartz
(UV)

Verres d’oxyde: Visible, proche IR (< 2µm)


SiO2, GeO2, TiO2, … Indice ≥ 1.45 (sauf Verres poreux)
Vitrification
Fusion
Chalcogénures: Moyen IR (1-2µm  20µm)
Se, Te, S, … Indice # 2 - 3
+ Cd, Ga, As, Ge, …
(Verres métalliques?) Le verre est un solide qui présente le désordre d’un liquide. 88
Cristaux
YAG
Y3Al5O12
Ytterbium Aluminium Grenat
Dopé Néodyme: Nd:YAG
(inversion population)
Laser @ 1064µm

KTP
Niobate de Lithium
Phosphate de
LiNbO3
Potassium P  f (E ) ElectroOptic, AcoustoOptic
titanyl
Doublage YAG
Semi-conductors
Calcite Si, GaAs, Ge,
CaCO3 Birefrigent Csi, …

9
Polymères
Propriétés ajustables:
Imperméable, poreux, résistance au feu, corrosion,
anti-adhésion, transparence, …
Applications variées:
Emballages, isolants, conteneurs, joints, revêtement,
optique, médical, textile, …

Polycarbonate

10
Fabrication de la puce

Photorésine
Couche du matériau

Substrat
Ecriture

Développement

Suppression résine Attaque du matériau

11
Croissance d’un cristal
Evaporation des éléments par
chauffage

Vide poussé (10-8 Pa) évite les


perturbations et les impuretés

Dépôt lent (1µm / h) de couches


monoatomiques

Pompage cryogénique refroidi le


substrat et absorbe les impuretés

Température du substrat contrôle les


réactions

Suivi cristallin par diffraction


électronique

Analyse de la composition par


spectrométrie de masse
12
Dépôt de résine polymère par spin coating
1 2 3 4
Arrêt Accélération Consigne Arrêt
Dépôt Ejection Etalement Evaporation
Stabilisation

… ou dip coating

1 2 3 4
Vitesse Arrêt Consigne Décélération
Arrêt
Trempage Stabilisation Dépôt Evaporation
13 Ejection
13
Dessin des circuits

14
Révélation des images

15
15
Fabrication de circuits en polymère
1 SYNTHESE DEPOT 2

4
H
RECUIT H
+ H2O
110°C R
H

LITHOGRAPHIE
3

16
Résultats

17
L’onde électromagnétique

18
Indice de réfraction et transmission

Vitesse de déplacement dans la matière: v=c/n


Indice du matériau: n + j.k

19
Verres
Atténuation dans le verre
Un verre est un solide non-cristallin présentant le phénomène de transition vitreuse.

Silice

Quartz
(UV)

Verres d’oxyde: Visible, proche IR (< 2µm)


SiO2, GeO2, TiO2, … Indice ≥ 1.45 (sauf Verres poreux)
Vitrification

Moyen IR (1-2µm  20µm)


Fusion
Chalcogénures:
Se, Te, S, … Indice # 2 - 3
+ Cd, Ga, As, Ge, …
(Verres métalliques?) Le verre est un solide qui présente le désordre d’un liquide.
20
20
Confinement de la lumière
1/ Réflexion totale interne

21
Interférences
Interférences destructives

Interférences constructives
Modes guidés:
Chemins possibles de propagation

2/ Autocohérence
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Propriétés des modes guidés

Le confinement et le nombre de modes augmente avec:


• Taille du guide.
• Fréquence de l’onde.
• Différence des indices.

Chemin/mode 0 existe toujours, le plus rapide et le moins étalé dans la gaine.

La lumière se déplace indépendamment sur chaque mode/chemin


(pas d’échange d’énergie lumineuse entre les modes).

23
Couplage vers un mode

Excitation
24
Guide courbes & pertes de courbure

2,50E+05

2,00E+05
Pertes (dB/m)

1.31
1,50E+05
1.55
1,00E+05

5,00E+04

0,00E+00
1,00E-031,50E-032,00E-032,50E-033,00E-033,50E-034,00E-034,50E-035,00E-035,50E-036,00E-03

Rayon de courbure (m) 25


Jonction Y: division

26
Coupleur en étoile

27
Jonction Y: combinaison

28
Interféromètre Mach-Zehnder

29
Couplage par champ évanescent

30
Interférences modales

+ = 0

+ =
+ = p/2

+ =
Les deux guides sont considérés comme un seul guide
mais à double cœur. + = p

Ce guide est caractérisé par 2 modes: un symétrique + =


et un antisymétrique. + = 3p/2
Le mode symétrique est toujours le mieux confiné. + =

La différence entre les indices effectifs des modes est liées + = 2p


à la longueur d’échange d’énergie.

Cet échange d’énergie est périodique. DF 31


Interféromètre multimode:

3Lp 6Lp x z

32
Séparateur/combineur de couleurs

Cercles de Rowland

33
Réseau de diffraction
 b   a  q.K , q  0,1,2,...
b K

a K
b

a

34
Réflecteur à réseau

35
Résonateurs

36
Cristaux photoniques

37
Active circuits … Elastooptic
Acoustooptic
Electrooptic
(Pockels, Kerr)

Magnetooptic
(Faraday)

  
P   0  , E .E

Nonlinear
optics
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