Universidad Nacional de Ingeniera Facultad de Ciencias Escuela Profesional de Fsica

Reconocimiento de un Microscopio Electrnico de Barrido

Introduccin a la Microscopia Electrnica

ALUMNOS: GONZALES LORENZO CARLOS DAVID 20030196E

Prof. Alcides Lpez

2009-I 25 de abril del 2009

Reconocimiento de un Microscopio Electrnico de Barrido

Gonzales Lorenzo Carlos David
Facultad de Ciencias, Universidad Nacional de Ingeniera E-mail: lorentz19_3abn@hotmail.com

El SEM es uno de los dos tipos de microscopios electrnicos que se conocen. La diferencia principal con el microscopio electrnico de transmisin (TEM) es la manera en que forman y magnifican la imagen, esto hace que la informacin que se obtenga de cada uno sea distinta. El SEM posibilita conocer la morfologa superficial de la muestra esto se debe a que en el SEM el haz de electrones se focaliza sobre la superficie de la muestra de forma que realiza un barrido siguiendo una trayectoria en zigzag. Los electrones que son emitidos de la muestra son luego detectados y amplificados para formar la imagen deseada. Palabras Claves: Microscopio Electrnico de Barrido (MEB). The SEM is one of the two guys of electron microscopes that know themselves. The main difference with the electron microscope of transmission ( TEM ) is the way in which they form and they magnify the image, this makes that the information that is obtained of every one is different. The SEM makes it possible to know the superficial morphology of the sample this should to than in the SEM the electron beam is focalized on sample's surface so that he accomplishes a sweeping obeying a trajectory zigzag. The electrons that are emitted of the sample are next detected and amplified to form the desired image. Key words: Scanning Electron Microscopy (SEM).

1. Introduccin Un microscopio electrnico es aqul que utiliza electrones en lugar de fotones o luz visible para formar imgenes de objetos diminutos. Los microscopios electrnicos permiten alcanzar una capacidad de aumento muy superior a los microscopios convencionales. En el microscopio electrnico, un haz de electrones incide sobre una muestra y de la interaccin de estos electrones con los tomos de la misma, surgen seales que son captadas por algn detector o bien, proyectadas directamente sobre una pantalla. Dentro de la familia de microscopios electrnicos, se encuentran el Microscopio Electrnico de Transmisin (TEM) y el Microscopio Electrnico de Barrido (SEM). Cada uno de ellos, permite el estudio de diferentes caractersticas de una muestra. El SEM provee informacin sobre morfologa y caractersticas de la superficie, mientras que con el TEM podemos observar la estructura interna y detalles ultraestructurales. El primer microscopio electrnico fue diseado por Ernst Ruska y Max Knoll entre 1925 y 1930, quines se basaron en los estudios de LouisVictor de Broglie acerca de las propiedades

ondulatorias de los electrones y el SEM fue diseado en 1981 por Ernst Ruska, Gerd Binnig y Heinrich Rohrer. No cabe duda que estos microscopios permiten una aproximacin profunda al mundo atmico y por tanto un gran avance para las ciencias. 2. Microscopio Electrnico de Barrido (SEM) El microscopio electrnico de barrido, tambin conocido como SEM por sus siglas en ingles Scanning Electron Microscopy, es un instrumento que permite la observacin y caracterizacin superficial de materiales inorgnicos y orgnicos, entregando informacin morfolgica del material analizado. A partir de l se producen distintos tipos de seal que se generan desde la muestra y se utilizan para examinar muchas de sus caractersticas. Con el SEM se pueden realizar estudios de los aspectos morfolgicos de zonas microscpicas de los distintos materiales con los que trabajan los investigadores de la comunidad cientfica y las empresas privadas, adems del procesamiento y anlisis de las imgenes obtenidas.

Las principales utilidades del SEM son la alta resolucin (~100 ), la gran profundidad de campo que le da apariencia tridimensional a las imgenes y la sencilla preparacin de las muestras. 2.1 Caractersticas del SEM Tiene una gran profundidad de campo, la cual permite que se enfoque a la vez una gran parte de la muestra. Tambin produce imgenes de alta resolucin, que significa que caractersticas espacialmente cercanas en la muestra pueden ser examinadas a una alta magnificacin. Su resolucin est entre 3 y 20 nm, dependiendo del microscopio. La preparacin de las muestras es relativamente fcil pues la mayora de SEMs slo requieren que estas sean conductoras. En el microscopio electrnico de barrido la muestra es recubierta con una capa de metal delgado, y es barrida con electrones enviados desde un can. Un detector mide la cantidad de electrones enviados que arroja la intensidad de la zona de muestra, siendo capaz de mostrar figuras en tres dimensiones, proyectados en una imagen de TV.

pulverizados metlicamente antes de su observacin. Por esta razn solamente pueden ser observados organismos muertos, y no se puede ir ms all de la textura externa que se quiera ver. Los microscopios electrnicos slo pueden ofrecer imgenes en blanco y negro puesto que no utilizan la luz. El SEM posee un can de electrones que genera el haz de electrones luego de ser calentados por muy altos voltajes; tambin tiene lentes condensadoras y objetivas; y un sistema de vaco. La diferencia principal entre el SEM y el TEM es la manera en que forman y magnifican la imagen. Esto hace que la informacin que se obtenga de cada uno sea distinta. El TEM permite el estudio de la estructura de una muestra muy delgada, en cambio el SEM posibilita conocer la morfologa superficial. Esto se debe a que en el TEM los electrones atraviesan la muestra, mientras que en el SEM el haz de electrones se focaliza sobre la superficie de la muestra de forma que realiza un barrido siguiendo una trayectoria de lneas paralelas (o en zigzag avanzando en los ejes x e y de la muestra). Luego estos electrones rebotan sobre la superficie e inciden sobre un detector, como se muestra en la figura 1. La imagen que se forma con el SEM depender en gran medida de la capacidad que tenga la muestra para emitir electrones. Adems en la superficie habr lugares que emitirn ms electrones que otros, lo que producir el contraste de la imagen. Lo obtenido es informacin morfolgica del material, o para decirlo de otra manera una imagen tridimensional. 2.2 Modo de operacin del SEM En el microscopio electrnico de barrido se hace incidir un delgado haz de electrones acelerados, con energas desde unos cientos de eV hasta unas decenas de keV (50 KeV), sobre una muestra gruesa, opaca a los electrones. Este haz se focaliza sobre la superficie de la muestra de forma que realiza un barrido de la misma siguiendo una trayectoria de lneas paralelas. De todas las formas de radiacin resultantes de la interaccin del haz incidente y la muestra hay dos realmente fundamentales en el microscopio de barrido: los electrones secundarios y los electrones retrodispersados. Los primeros son electrones de baja energa (decenas de eV) que resultan de la emisin por parte de los tomos constituyentes de la muestra (los ms cercanos a la superficie) debido a la colisin con el haz incidente. Los electrones retrodispersados sin embargo, son electrones del haz incidente que han interaccionado (colisionado) con los tomos de la

Figura 1. Esquema del funcionamiento de un SEM mostrando la deteccin y amplificacin de la seal que emiten los electrones. Son ampliamente utilizados en la biologa celular. Aunque permite una menor capacidad de aumento que el microscopio electrnico de transmisin, este permite apreciar con mayor facilidad texturas y objetos en tres dimensiones que hayan sido

muestra y han sido reflejados. La intensidad de ambas emisiones vara en funcin del ngulo que forma el haz incidente con la superficie del material, es decir depende de la topografa de la muestra. La seal emitida por los electrones y radiacin resultantes del impacto se recoge mediante un detector y se amplifica para cada posicin de la sonda. Las variaciones en la intensidad de la seal que se producen conforme la sonda barre la superficie de la muestra, se utilizan para variar la intensidad de la seal en un tubo de rayos catdicos que se desplaza en sincrona con la sonda. De esta forma existe una relacin directa entre la posicin del haz de electrones y la fluorescencia producida en el tubo de rayos catdicos. El resultado es una imagen topogrfica muy ampliada de la muestra. El aumento de la imagen producido por el microscopio de barrido resulta de la relacin entre las dimensiones de la imagen final y el rea de la muestra que ha sido barrida. As, por ejemplo, si la sonda barre un rea de 1 mm2 de la muestra y la imagen en la pantalla es de 100 mm2, sta ha sido ampliada 100 veces. Este microscopio tiene un rango de aumentos que vara desde 10 hasta 200.000 con una distancia focal de 35 mm. El poder de resolucin del microscopio es determinado directamente por el rea mnima que la sonda es capaz de escanear. El menor dimetro de la sonda con un nmero mnimo de electrones. Si la muestra no es buena conductora se acostumbra a recubrirla con una pelcula conductora metlica o de carbono para evitar que sta se cargue cuando sea irradiada. El SEM dispone de varios sistemas de deteccin, gracias a esto es posible diferenciar las energas electrnicas, principalmente la seal producida por los electrones secundarios y la seal generada por los electrones retrodispersados. Con los electrones secundarios se obtiene una imagen de apariencia tridimensional como se observa en la figura 2. Con los electrones retrodispersados se obtiene una imagen en la cual se revela diferencias en la composicin qumica por diferencias de contraste. Figura 3. Imagen producida por electrones retrodispersados en un SEM.

Figura 2. Imagen tridimensional producida por electrones secundarios en un SEM.

2.3 Interior de la cmara donde se produce el haz de electrones

Dentro de la cmara de un SEM donde se produce el haz de electrones, figura 2, se genera este haz de electrones calentando el filamento, luego estn las lentes condensadoras que producen un haz muy fino, despus las lentes objetivas que enfocan el haz hacia la muestra, luego viene la muestra, y finalmente el detector que recibe los electrones que rebotan en la muestra. El detector recibir electrones con diferente intensidad, entonces puede determinarse una relacin entre la intensidad y el contraste de la imagen que se formar finalmente. Lugo del detector se coloca un amplificador, debido a que la seal que producen los electrones sobre el detector es muy dbil y por tanto muy difcil de detectar. Luego de la amplificacin esta seal es observada en la pantalla de un monitor donde finalmente se forma la imagen.

por esta razn no son usados generalmente para formar imgenes. Este tipo de radiacin es medible a partir de Z = 8. La energa es del orden de KeV. Los electrones retro dispersados, son aquellos que provienen del haz y que al chocar con la muestra retornan por el mismo camino de incidencia. Los electrones Auger, se producen cuando un electrn es arrancado de una de las capas internas del tomo, dejando una vacante o hueco, un electrn de un nivel de energa externo puede caer en esta vacancia, resultando en un exceso de energa. Este exceso de energa es frecuentemente liberada por la emisin de un fotn, aunque tambin puede ser transferida a otro electrn, el cual es emitido del tomo. Tambin ocurre que algunos electrones se quedan dentro de la muestra, estos reciben el nombre de electrones absorbidos.

3. El Hitachi S500
Este es un modelo de microscopio electrnico de barrido antiguo (aproximadamente de los 70), el Hitachi S500, que se muestra en la figura 5.

Figura 4. Interior de la columna de un SEM

2.4 Interaccin del haz incidente con la muestra en el SEM

Cuando el haz de electrones choca contra la muestra, ocurren interacciones entre dichos electrones y los tomos que componen la muestra. De all surgen seales tales como: electrones secundarios, electrones retro dispersados, rayos X caractersticos, electrones Auger y ctodo luminiscentes. Todas estas seales se producen simultneamente pero cada una de ellas son captadas por detectores diferentes. Los electrones secundarios, son emitidos desde la muestra como consecuencia de las ionizaciones surgidas de las interacciones inelsticas. Por esta razn, poseen baja energa (aproximadamente 50 eV). Ellos brindan una imagen de la morfologa superficial de la muestra. Los rayos X caractersticos, se producen por transiciones de los electrones de la muestra entre los niveles que pueden ocupar en el tomo. La produccin de rayos X es muy escasa en microscopia

Figura 5. Microscopio electrnico de barrido Hitachi S500. El tablero principal de control, figura 6, tiene las siguientes partes: 1. Control de alto voltaje y filamento. 2. Iluminacin, brillo y contraste. 3. Controles de las lentes y procesamiento de imagen. 4. Selector de seal.

5. Registro de imagen por fotografa. 6. Pantalla donde se puede observar la imagen.

sometidos a tratamientos qumicos; formas de cristalizacin de minerales; control de calidad de catalizadores industriales; morfologa superficial interna de partculas polimricas, morfologa de tejidos u rgano animales y vegetales; estudio de molculas; reconocimiento de fsiles; etc.

Figura 6. Tablero de control del Hitachi S500.

En la figura 7 se muestra la columna del microscopio SEM Hitachi S500, sus partes son: 1. La cmara donde esta el filamento. 2. Las lentes magnticas. 3. El detector. En la parte inferior de la columna se observan dispositivos parecidos al detector. En estos lugares se pueden colocar algunos implementos tales como filmadoras u otros tipos de detectores. El filamento para el can de electrones del Hitachi esta dentro de la cmara que se muestra en la figura 7, para los diferentes tipos de SEM o TEM, generalmente se tiene formas diferentes de filamentos. El tiempo de vida til de un filamento es aproximadamente 100 horas. El SEM tambin tiene un sistema de refrigeracin y de vaco. Para lograr esto posee bombas de vaco, una bomba mecnica y una bomba difusora. 4. Aplicaciones del SEM EL SEM es muy utilizado para el estudio de la morfologa superficial de minerales, catalizadores, etc.; electro-depsitos; adherencia fibra-matrz en polmeros; cambios morfolgicos de materiales Figura 7. Columna del SEM Hitachi S500.

Otro ejemplo de aplicacin de la SEM en fibras textiles es el caso de la diferenciacin entre la fibra de lana y las fibras denominadas especiales, tales como el mohair y el Kashmir. El precio de las fibras especiales es mayor que el de la lana, por lo que el fraude se puede presentar por etiquetar prendas de lana como compuestas por fibras especiales. La identificacin, es decir, comprobar si una fibra es lana o fibra especial se realiza en el SEM midiendo la altura de los bordes distales de las clulas cuticulares. Se admite que si estos bordes tienen una altura superior a 0,7 m la fibra es lana y si es inferior a 0,5 m se trata de una fibra especial. Mediante el SEM se pueden distinguir estas fibras, ya que poseen una diferencia en dimetro, tal como se muestra en la figura 8.

(a)

(b)

Figura 8. Imgenes obtenidas mediante un SEM para la comparacin entre una fibra de lana (a) y especial (b), sealando con flechas las medidas de los Bordes de las clulas cuticulares (con altura superior a 0.7 m para lana e inferior a 0.5 m para la fibra especial)

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1. http://cabierta.uchile.cl/revista/28/articulos/pdf/e du3.pdf 2. http://www.slideshare.net/araoz22781/microsco pio-electronico-de-barrido-meb 3. http://www.monografias.com/trabajos/microsco pio/microscopio.shtml 4. http://www.cec.uchile.cl/~mpilleux/id42a/Trabaj os/15SEM/15SEM.doc 5. http://es.wikipedia.org/wiki/Microscopio_electr nico_de_barrido 6. http://www.itma.es/esp/03/equipamiento/archivo s/fichero5_1.zip