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Les exploits

de la micromcanique
MIREL SCHERER, NADGE AUMOND, FRANOIS-XAVIER LENOIR [1]
La fabrication de microproduits ne cesse de surprendre. Des microcomposants aux micromcanismes, les solutions innovantes se multiplient. En attendant les premires micro-usines
La micromcanique est aussi scrute avec minutie au Laboratoire dautomatique (LAB) de lInstitut de productique de Besanon dont les quipes travaillent darrache-pied la mise au point de nouvelles solutions. Des recherches sont menes en collaboration avec des industriels, comme le projet de micro-assemblage. Il a runi pendant quatre ans plusieurs spcialistes du domaine, comme Festo. lments indispensables pour ces applications de micromcanique, les micro-actionneurs sont sous la loupe du groupe Microrobotique du LAB. La fonctionnalit majeure dun microrobot est de gnrer des mouvements avec une rsolution nanomtrique laide dactionneurs de trs petites dimensions [submillimtriques] , prcise Philippe Lutz, chercheur au LAB et professeur lENSMM de Besanon. Le laboratoire tudie ainsi les matriaux dits actifs pour raliser ces micro-actionneurs. Parmi les ralisations du laboratoire gurent des actionneurs en alliage mmoire de forme, en polymres actifs, pizolectriques timule par les besoins de plus en plus importants de lindustrie, la micromcanique est en effervescence. Les quelques exploits que nous prsentons dans ce dossier lillustrent. Mais ce nest quune petite partie de ce qui se prpare dans les diffrents centres europens de recherche applique dans le domaine de la micromcanique. Berceau de cette industrie et par ailleurs capitale du ple de microtechniques , Besanon (Doubs) compte une kyrielle de structures ddies. La maison des microtechniques, par Montbliard et de lENSMM (cole Nationale Suprieure de Mcanique et des Microtechniques) qui sont associs au CNRS et collaborent avec le Laboratoire europen en Suisse.

Agenhor a ralis pour lindustrie horlogre des roues crantes avec des dents lastiques !

exemple, situe dans le technople Temis, dispose entre autres dune salle blanche de 350 m2 et dun centre consacr aux nouvelles technologies dusinage. Lincubateur de FrancheComt pour sa part a dj donn naissance trois entreprises dans ce domaine. En plein dveloppement, le parc dactivits Temis abrite galement linstitut Femto-ST (Franche-Comt lectronique, mcanique, thermique et optique - sciences et technologies). Ce dernier fdre cinq laboratoires de luniversit de Franche-Comt, de luniversit de technologie de Belfort[1] Extraits dun article paru dans la revue Indus-

trie et Technologies, no 881, septembre 2006.

Une rgion qui gnre de multiples projets Superbement quip, linstitut possde une vaste panoplie quasi complte de moyens de microfabrication : usinage par faisceau dions focalis (FIB), usinage chimique, photolithographie, etc. Des moyens qui ont permis ses ingnieurs de dvelopper, ds 2003, les premiers mouvements horlogers intgrs sur silicium. Aujourdhui, linstitut est engag avec le ple de microtechniques dans plusieurs projets innovants, comme Ultrasur, qui se propose dtudier le vieillissement dorigine thermique et mcanique. Le but : concevoir des transducteurs ultrasonores de haute intensit plus ables, destins la thrapie cellulaire et au traitement de surface slectif. Autre projet, Dionysos vise le dveloppement de nouvelles structures de transducteurs ondes de surface pour les ltres RF destins la tlphonie sans l. Linstitut travaille troitement avec le Centre de transfert en micro et nanotechnologies (CTMN). Cre depuis deux ans, cette plate-forme ddie aux microtechniques ralise des microcomposants et des micromcanismes qui seront produits grande chelle et met ces technologies la disposition des industriels. Les entreprises, surtout les PME qui ont peu de moyens, protent ainsi du potentiel technologique et humain de haut niveau du centre.
MARS 2007

mots-cls actionneur, lasticit, mcanique, procd, processus, production

Comment construire sa ligne de


La Fdration des industries mcaniques allemande (VDMA) prsentait la Foire de Hanovre 2006 une ligne de fabrication de microsystmes. Plusieurs partenaires industriels proposaient en grandeur nature leurs solutions dans les domaines de la fabrication, de la logistique, du contrle de la qualit, de la gestion, etc. Ainsi, la plate-forme automatise dIMSTec met en uvre des modules interconnects qui assurent le transport des palettes de fabrication, Feinmess Dresden et LPKF Motion & Control proposent des systmes de positionnement rapides et ultraprcis, Klocke Nanotechnik intgre ses lments de nanorobotique dans un systme de fabrication pour la microproduction, FRT offre des solutions de contrle-mesure adaptes la microproduction

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Les micro-usines ont un bel avenir Autre domaine de recherche du laboratoire bisontin : la mise au point de systmes de manipulation tloprs comme les outils de micromanipulation. Nous avons conu une table de positionnement XYZ faible cot, une micropince pizolectrique et un systme de tlopration par nanolevier , explique Philippe Lutz, qui souligne aussi lintrt des solutions intgres. Les micro-usines, savoir des systmes de production dont la rsolution se mesure en nanomtres et qui englobent dans un volume rduit tous les lments pour la fabrication des microproduits, auront sans doute un bel avenir , relve-t-il. Adaptes au micromonde, elles rduisent les cots et la consommation nergtique, sont portables et peuvent sinsrer dans un environnement contrl. Ces micro-usines feront merveille dans la fabrication des produits spciques dont lassemblage manuel actuel est peu productif et offre un fort potentiel dautomatisation , ajoute lexpert. Des produits ayant une dure

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Ce microrobot architecture parallle Delta, destin la fabrication de microsystmes, dveloppe des acclrations jusqu 98 m/s2

de vie trs courte et ncessitant une rorganisation constante du systme de production. Exemples : assemblage de lentilles dendoscope, de produits horlogers de luxe, de systmes hybrides (Mems et micromcanique) Philippe Lutz est convaincu, en outre, que cette approche innovante permettra de maintenir ou de relocaliser ces types de production en Europe . De lautre ct de la frontire, en Suisse, le professeur Jacques Gio-

microproduction...
Linstallation prsente la Foire de Hanovre, en avril, comporte des moyens adapts la fabrication de microsystmes. Ci-contre la plate-forme dIMSTec

vanola, directeur du Laboratoire de conception de systmes mcaniques (LCSM), approuve et signe. Nous pensons que les micro-usines connatront un dveloppement acclr , affirme le responsable du LCSM. Mes contacts en Core du Sud et au Japon conrment dailleurs limportance de ce concept pour le futur de la production en micro et nanotechnologie. Une approche qui sera, selon lexpert suisse, lun des thmes poursuivis dans le projet europen Manufuture, en cours de lancement actuellement.

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De la microfabrication au microlaboratoire Plusieurs autres laboratoires de lcole polytechnique fdrale de Lausanne (EPFL) sactivent ainsi dans le domaine de la micromcanique. Notre cole constitue un centre fdrateur de comptences dans ce domaine en collaboration avec lInstitut de microtechnique de luniversit de Neuchtel et avec le CSEM , conrme le professeur suisse. Le laboratoire tudie activement les procds de microfabrication non conventionnels comme le microfraisage haute vitesse, assist ou non par ultrasons, ou le micro-usinage par ultrasons. Nous nous intressons
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galement la mise au point des procds comme la pyrolyse slective de cramiques poreuses, le rayage et lindentation des semi-conducteurs et leur modlisation , explique Jacques Giovanola. Ces usinages ncessitent des outils et outillages dune nouvelle race, de vritables systmes mcatroniques de mise en uvre des procds. Le laboratoire travaille ainsi llaboration de microbroches dusinage trs haute vitesse (plus de 300 000 tr/min), des glissires/paliers hydro et arostatiques, des systmes de serrage

de micro-outils, une commande de systmes haute prcision et haute vitesse, etc. Les exploits de la micromcanique ne manquent pas non plus dans les autres pays europens. On pouvait le constater la Foire de Hanovre 2006 sur le stand de lassociation internationale IVAM qui regroupe des socits et des instituts de recherche spcialiss dans les micro et nanotechnologies. La socit britannique Tecan a mis au point des microstructures capables de ltrer des matriaux avec une tolrance de deux micromtres.

On peut ainsi sparer les particules de la poudre de diamant utilise dans lusinage. Un laboratoire danalyse biologique sur une puce : cest lexploit ralis par la socit hollandaise LioniX qui a mis au point un microlaboratoire pour la mission ExoMars prvue en 2011. Enn, la socit Fraunhofer apporte elle aussi sa pierre ldice micromcanique avec ses ralisations dans le domaine du micromoulage des mtaux par injection (-MIM), le microsoudage avec des lasers bre M. S.

LEXPLOIT DAGENHOR

Des dents lastiques pour rattraper les jeux dengrenages


Lhorloger suisse a conu un microcomposant grce aux possibilits oertes par le procd de fabrication Mimetal.
l ntait pas imaginable de fabriquer un tel composant sans la technologie Mimetal de Mimotec , lance Jean-Marc Wiederrecht, directeur de la socit dhorlogerie suisse Agenhor. La spcialit de la maison est la fabrication sur mesure de modules additionnels dhorlogerie, cest--dire de mcanismes complexes qui assurent des fonctions autres que celle de donner lheure. Nous avons conu cette roue rattrapage de jeu dengrenage pour rpondre la demande dun client qui souhaitait un afchage spcial comprenant deux aiguilles superposes et pour lequel il ntait plus possible de faire appel un spiral [ressort lame enroule] , explique-t-il. Le bureau dtudes dAgenhor a ttonn et explor plusieurs pistes durant deux ans avant de conclure que lidal serait vraiment de mettre au point des dents lastiques ! Nous avons donc fonc dans cette voie et cherch introduire une partie lastique, raconte Jean-Marc Wiederrecht. Une fois que lide tait l, tout sest bouscul. Il nous a fallu une anne de travail intensif pour parvenir lindustrialisation.

Rpondre un besoin qui dpasse les limites des pices horlogres conventionnelles

Faire appel au procd de fabrication Mimetal de Mimotec, driv de la technique LiG-UV

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La technique Mimetal permet dobtenir une roue fendue, avec une largeur minimale de la lame de 2 centimes de millimtre

Des pices monoblocs 2 m de prcision Lquipe sest dabord aperue que deux parties symtriques ne fonctionnaient pas, elle sest alors oriente vers une gomtrie asymtrique comportant une partie solide pour transmettre les forces et une autre lastique qui rattrape les jeux. Pour aboutir, Agenhor a fait appel Mimotec, dveloppeur, suisse galement, de procds de fabrication originaux drivs de la technique LiG-UV (acronyme allemand pour lithographie UV et lectroformage). Lun deux,

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baptis Mimetal, permet la fabrication de composants micromcaniques mtalliques pouvant atteindre, dans une zone locale, des facteurs de forme de 12 environ. Je crois quactuellement il ny a pas dautre solution que la technique Mimetal pour obtenir cette roue fendue, la largeur minimale de la lame est de 2 centimes de millimtre, soit trois fois plus n quun cheveu ! , senthousiasme JeanMarc Wiederrecht. Les dents mesurent pour leur part environ 2,5 diximes de millimtre de hauteur.

Cette technique comporte globalement trois tapes : la premire consiste structurer le ngatif de la pice dans une rsine photosensible. Pour ce faire, Mimotec fait appel des oprations classiques de photolithographie : une rsine photosensible, pralablement dpose sur un substrat de verre, est insole par une source UV au travers dun masque. La cavit ainsi ralise est alors remplie de mtal par le biais de techniques dlectroformage (bain galvanique). La pice est ensuite libre du substrat et mise lpaisseur par rodage.

Ltat de surface des ancs des pices obtenues par ce procd est quasiment parfait. Ce qui vite les retouches de polissage, un atout majeur cette chelle. De plus, cette technologie nous libre totalement du point de vue de la gomtrie , ajoute Jean-Marc Wiederrecht. Outre la libert de conception dans le plan XY, lobtention de pices monoblocs avec une prcision de plus ou moins 2 m, le procd Mimetal permet galement de gnrer des pices totalement amagntiques. N. A.

LEXPLOIT DE MICROMOTION

Un actionneur nanomtrique ultrasimple


Entran par un moteur pas pas, ce nanopositionneur ne ncessite aucun systme de mesure et peut tre utilis en boucle ouverte.
es solutions habituelles pour les applications demandant une rsolution de quelques nanomtres sont assez complexes et coteuses. La plupart des systmes sont bass sur leffet pizolectrique avec, la cl, des problmes de perte de position en cas de coupure dlectricit, de dpassement de la position et dusure locale. Ils ncessitent aussi un systme de mesure direct et un contrleur relativement onreux. monolithique avec un ratio de rduction de 50:1. Ce produit ne ncessite aucun systme de mesure et peut tre utilis en boucle ouverte au moyen dune simple commande de moteur pas pas. Ses dimensions sont seulement 20 20 50 mm pour une course de positionnement de 40 m. La rsolution pour les oprations dun demi-pas est de 1 nm, la vitesse dapproche de 20 m/s et la force de positionnement de 10 N. Selon Reinhard Degen, directeur gnral de Micromotion, ce nouveau nanopositionneur ne dpasse en aucun cas la position recherche, ce qui signie que les cycles de mise en place sont rduits au minimum.

Des cycles de mise en place rduits Micromotion, entreprise de Mayence (Allemagne), offre une alternative aux actionneurs pizolectriques pour les oprations de positionnement dans la gamme des nanomtres. Le nanopositionneur quelle propose est entran par un simple moteur pas pas 20 positions, combin un rducteur sans jeu Harmonic Drive avec rapport de transmission 1 000:1. La chane cinmatique comprend aussi un mcanisme excentrique avec 1 mm dexcentricit mont avec un roulement prcharg et un levier

Raliser un nanopositionneur simple et bon march, sans systmes de commande et avec un positionnement rapide

Un microrducteur bague flexible et des composants fabriqus par lectrodposition et moulage (variante de la technique LiGA)

La fabrication de ce nanopositionneur seffectue sans aucun assemblage, supprimant les difficults dues aux ventuelles erreurs de montage MARS 2007

Une fabrication monolithique Cet ensemble repose sur le systme de nanopositionnement Nanostage dont la particularit est de combiner la haute prcision et la haute rsolution dun mcanisme excentrique avec la structure cinmatique dune bague exible. Rappelons que le rducteur Harmonic Drive est bas sur un moyeu central elliptique o un lment denture externe dformable, le Flexspline, engrne une bague rigide denture interne. Ce principe de fonctionnement a t appliqu un microsystme de rduction ayant seulement 1 mm de longueur et 8 mm de diamtre. Avec une rptabilit et un rattrapage de jeu de moins de 10 secondes darc, il convient bien pour les applications de
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micropositionnement de haute prcision , note Reinhard Degen. Les composants sont fabriqus directement en alliage NiFe par le procd LiG direct qui est issu de la technique LiGA (Lithographie, Galvanoformung und Abformung), base sur llectrodposition et le moulage.

La bague exible assure le guidage et forme un systme de rduction supplmentaire. La fabrication tant faite de manire monolithique, il ny a aucun assemblage et les difficults dues aux ventuelles erreurs de montage sont supprimes.

Les applications typiques de ce nanopositionneur sont la photonique, les systmes laser, les bres optiques, loptique intgre, les microscopes, la fabrication de semi-conducteurs, les quipements pour le mdical ou pour lespace. F.-X. L.

LEXPLOIT DE USM

Des petits trous usins par ultrasons


Le procd mis au point par la start-up bisontine fait merveille dans lusinage des matriaux durs et fragiles tels le quartz, le verre ou le saphir.
ercer un trou de prol complexe dans un matriau trs dur comme le quartz, en moins de dix minutes, avec des tolrances prcises, alors que le facteur de forme (rapport du diamtre et de la hauteur) est lev ? Impossible diront les spcialistes de lusinage. Llectrorosion ne fonctionne pas, lusinage chimique est trop lent, cher et difcile utiliser, le laser provoque un chauffement qui modie les caractristiques, le microsablage nest pas assez directif, quant au RIE (Reactive Ion Etching), il ne donne pas la profondeur exige. Qu cela ne tienne, USM la fait. Comment ? En faisant appel lusinage par ultrasons , prcise tout simplement Abdellah Boulouize, cofondateur avec Marc Aiguill de USM. Ne en 2006 dun transfert de technologie du dpartement de chronomtrie, lectronique et pizolectricit de linstitut Femto-ST de Besanon (Doubs), USM est lunique entreprise franaise sur ce segment et ses clients sont dj internationaux. Boulouize. Elles sont projetes sur la surface de la pice et pntrent lintrieur en provoquant une dformation suivie dun enlvement de matire sous forme de microcopeaux. Cela se fait sans chauffement. Les proprits de la pice, aussi bien mtallurgiques, chimiques que physiques, ne sont donc pas affectes. Un outil, appel sonotrode, ralis de faon classique en acier rapide ou en titane, positionn verticalement par commodit, reproduit sa propre forme en pntrant dans la pice. Le travail dusinage est d au mouvement de grains dabrasifs, le plus souvent du carbure de bore, du carbure de silicium ou du diamant, ne dpassant pas quelques dizaines de micromtres de diamtre. Ces grains dabrasif sont en suspension dans leau, laquelle transmet bien les frquences ultrasonores. Ils sont entrans entre la pice et la sonotrode qui est excite sa frquence de rsonance (20 kHz), et cela sur des courses de 20 50 m. Cet usinage est particulirement adapt aux matriaux durs et fragiles, donc cassants, qui tels le quartz, le verre ou le saphir ne supportent pas de gradient thermique important. Lusinage est assist par ordinateur et peut tre coupl de lusinage chimique.
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Percer les matriaux trs durs et fragiles, comme le quartz

Le procd dusinage ultrasonore, mis au point par USM, perce en quelques minutes deux trous de diamtres diffrents et coaxiaux, avec une prcision de quelques micromtres

RIC GARAULT

Cet usinage permet dobtenir des trous carrs ou cylindriques ayant des dimensions de quelques millimtres 3 ou 4 m prs

Des particules abrasives acclres par ultrasons Le secret du procd ? Ce type dusinage utilise des particules abrasives qui sont acclres par la vibration ultrasonore de loutil , indique Abdellah

La matrise du gap , espace entre la pice et la sonotrode, conditionne la forme et les dimensions du perage. Ainsi, on obtient des usinages ayant des dimensions de quelques millimtres 3 ou 4 m prs. En utilisant une seule sonotrode, des trous nanmoins limits 400 m de diamtre sont ralisables sur des hauteurs de plusieurs millimtres dans du cristal de quartz ou de la cramique , note Abdellah Boulouize. La socit est aussi capable de raliser des pices simples ou complexes prsentant un facteur de forme jusqu 20, ainsi que des trous carrs ou cylindriques de 0,1 mm2 de section sur une profondeur suprieure 5 mm, voire des trous obliques. F.-X. L.

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LEXPLOIT DU CSEM

Un microrobot Delta
Prt tre install dans lindustrie, ce dispositif extrmement vloce et prcis est destin la fabrication de microsystmes.
elta Pocket ou Delta de poche : le nom de ce robot lui va comme un gant. En effet, le systme dvelopp par le Centre suisse dlectronique et de microtechnique (CSEM) dans ses laboratoires dAlpnach (Suisse) est, selon ses dveloppeurs, le plus petit robot de ce type au monde. Notre activit de prospection industrielle dmontre que de nombreux robots disponibles sur le march sont trop grands par rapport aux microsystmes quils doivent assembler , constate Mathias Krieger, responsable marketing du CSEM.

Rigidit et lgret de la cinmatique parallle Bass sur la structure Delta, les robots conus par le centre suisse, dont celui de poche est le dernier-n, protent de la rigidit et de la lgret de cette cinmatique parallle. Ces microrobots sont destins des applications qui ncessitent des mouvements grande vitesse avec des acclrations trs importantes , prcise lexpert suisse. Parmi les applications dans lesquelles le robot de poche, dont laire de travail est de 60 60 30 mm, fera merveille (les premires installations, en cours actuellement, sont condentielles) gurent aussi bien lindustrie horlogre que celle dassemblage des micromoteurs ou des microcapteurs. Le champ dapplication est trs vaste et reste dfricher , ajoute cependant Mathias Krieger en prenant lexemple de la manipulation des cellules biologiques ou de la fabrication des lments de micro-optique. Un des avantages tant le peu despace dont ils ont besoin et la rduction des cots qui en rsulte. Un atout qui le place comme un quipement idal pour les salles propres indispen sables, par exemple, dans lindustrie lectronique.

Un systme pilot en temps rel Mais quelle est la technologie mise en uvre pour arriver cet exploit ? Bien sr, larchitecture Delta avec sa structure allge est incontournable. Tout comme les matriaux composites, trs lgers et rigides, utiliss pour les lments mobiles du robot. Un des ds que nous avons d affronter dans la conception et le calcul de ces robots a t cependant la mise au point des moteurs , souligne le responsable du CSEM. Pourquoi ? Tout simplement, parce que leurs lois de mise chelle ne sont pas trs favorables la miniaturisation. Et cest l quintervient la structure parallle qui permet aux moteurs dtre attachs aux lments de support et de ne pas se dplacer avec le robot. Autre astuce : les moteurs sont coupls directement avec les bras du robot sans aucun mcanisme de trans-

mission. Ce qui limine les jeux et les phnomnes dlasticit. Le systme est pilot par un PC classique qui se connecte une camra Web ou un autre PC via une interface Ethernet. Le CSEM a dvelopp un logiciel de pilotage temps rel bas sur le langage Java qui intgre plusieurs modules dont un serveur Web embarqu. Lutilisateur a le choix entre un systme dexploitation QNX RTOS 6.3 ou Linux 2.6. Dautres voies de dveloppement sont testes actuellement par les spcialistes du CSEM. On peut imaginer aisment la mise au point dune micro-usine qui intgrerait dans une microbote le robot de poche, un systme transfert et un dispositif de chargement/dchargement de pices. Lintgration de plusieurs robots de ce type peut aussi donner naissance de nouveaux concepts de lignes dassemblages automatiss , conclut lingnieur. M. S.

Raliser un quipement automatique capable dassurer des micro-assemblages avec prcision et grande vitesse

Un microrobot architecture parallle Delta qui dveloppe des acclrations jusqu 98 m/s2, une vitesse suprieure 3 cycles/s et une prcision de rptabilit meilleure que 2 m
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Les micromoteurs sont attachs aux lments de support et coupls directement avec les bras du robot sans mcanisme de transmission MARS 2007 TECHNOLOGIE