Partie II
●
Jonction P/N
●
Composant bipolaire
●
Composant à effet de champs
Le courant de fuite en inverse d’une diode à jonction PN croît très vite avec
la température.
→ risque d’emballement thermique
Pour des composants silicium Tj max est toujours inférieure à 200 °C.
Jonction P/N
Courant maximal admissible
0 αT T
Le constructeur donne:
E0=1,1V R0=24mΩ
Calculer la puissance dissipée dans la diode.
Jonction P/N
Datasheet
Jonction P/N
Datasheet
Jonction P/N
Calcul de radiateur
Le constructeur donne:
Tj max=150°C
Rthj-b=2,5°C/W
Rthb-rad=0,5°C/W
La température ambiante Tamb est de 50°C et par sécurité on
désire que la température de jonction ne dépasse pas 150°C.
Calculer la résistance thermique du radiateur nécessaire et
sa température.
Jonction P/N
Calcul de radiateur
I E =I C + I B
Transistor Bipolaire
Polarisation du transistor NPN
➔
Polarisation base commune
➔
Polarisation émetteur commun
Transistor Bipolaire
Objectif de la polarisation : Fixer les valeurs des tensions VBE, VCE et des courants IB, IC
pour imposer la localisation des points de fonctionnement dans le réseau.
Cas particulier :
structure MOS (Métal-Oxyde-Semiconducteur)
En effet, les composants Semi Conducteurs à grille isolée sont parmi les plus importants
de l'électronique moderne.
Les possibilités d'intégration très poussée ainsi que les performances atteintes les ont
imposés : dans le domaine du numérique et les applications analogiques se
développent elles aussi à grande vitesse.
d'une couche d'oxyde isolant (SiO2) d'épaisseur d incluse entre une couche
de métal (Aluminium ou Silicium très fortement dopé) et un substrat de
Silicium.
.
Dans cette structure les ordres de grandeurs sont :
●
Épaisseur d'oxyde d : quelques dizaines de
nanomètres
●
Épaisseur du substrat : quelques 1/10 de
millimètres
Métal S Métal S
C C
e SC e SC eVd
e M EC
e M e SC
EF e SC
EC
EF EF EF
EV EV
dx
Système indépendant Système à l’équilibre
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
Considérons un métal et un semiconducteur dans le
vide :
Le vide NV sera le niveau de référence.
Le métal est caractérisé par :
●
son travail de sortie eɸm.
Le semiconducteur est caractérisé par :
●
son travail de sortie eɸS et
●
son affinité électronique eΧS.
Ces deux systèmes sont indépendants, les niveaux
de Fermi dans chacun d'eux sont respectivement à
la distance eɸm et eɸS du niveau du vide (NV).
Isolant
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
A cette différence de potentiel Vd sont associés :
⃗
un champ électrique ⃗ =− d V
●
E
dx
dx ²
L'amplitude du champ électrique et la densité de la charge d'espace sont d'autant plus importantes que le
gradient du potentiel est grand.
Or puisque ΔV =cte est fixé par la différence des travaux de sortie ɸm-ɸs,
Ces valeurs sont d'autant plus grandes que la distance entre le métal et le semiconducteur est
faible.
On pourra ainsi dire que tant que cette distance est importante, le champ et la charge d'espace sont négligeables
Rapprochons maintenant de plus en plus le métal du semiconducteur :
des charges apparaissent au voisinage de la surface du métal et au voisinage de la surface du semiconducteur.
6. Composants à effet de champs
⃗
d ²V ρ (x ) ⃗
Structure Métal-Vide-Semiconducteur =− ε ⃗ =− d V
E
dx ² dx
LE SYSTÈME EST ANALOGUE À UN CONDENSATEUR PLAN dont
la tension entre les armatures est ΔV =Vd, la charge est Q=C.ΔV. ΔV =V d =cte, si d ↘
ΔV étant constant, si la distance entre le métal et le SC diminue, la ⇒ C ↗ ⇒ Q=C.ΔV↗
capacité et par suite la charge augmentent.
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
De plus, la charge totale développée dans le métal est égale et opposée à la charge totale développée dans le
semiconducteur.
La densité d'états étant beaucoup plus grande dans le métal que dans le semiconducteur, ces charges sont
superficielles dans le métal et s'étendent davantage dans le semiconducteur :
●
La charge d'espace dans le métal résulte de la variation de la densité d‘e- au voisinage de la surface
●
La charge d'espace dans le semiconducteur résulte de la variation de la densité de porteurs libres, e- et trous,
au voisinage de la surface.
La variation de la densité de porteurs libres est associée à la variation de la distance bande permise-niveau de
Fermi.
Dans la mesure où le niveau de Fermi est fixé par l'équilibre thermodynamique :
il en résulte UNE COURBURE DES BANDES DE VALENCE ET DE CONDUCTION VERS LE BAS OU LE HAUT,
SUIVANT QUE LA DENSITÉ D‘E- AUGMENTE OU DIMINUE.
6. Composants à effet de champs
6. Composants à effet de champs
type N
Les différents régimes de
fonctionnement en fonction de
la polarisation VG
Régime de dépletion
des porteurs majoritaires sont
repoussés il a dépletion.
Régime d’inversion
Des porteurs minoritaire
apparaissent il a inversion des
charges au niveau de l’interface.
Interface
6. Composants à effet de champs
type N
Les différents régimes de
fonctionnement en fonction de
la polarisation VG
Régime d’Accumulation
des porteurs majoritaires
ici électrons
6. Composants à effet de champs
type N
Les différents régimes de
fonctionnement en fonction de
la polarisation VG
Régime de dépletion
des porteurs majoritaires sont
repoussés il a dépletion.
6. Composants à effet de champs
Les différents régimes de fonctionnement en fonction de des
différents travaux de sorties
(a) Accumulation
CSc Ci Régime de
DEPLETION
Zone de Charge d’Espace
6. Composants à effet de champs
BF 7
C [nF]
6 Accumulation
Qi
5
++ ++ ++ Inversion Déplétion
+ ++ + ZCE
4
+ ++ + Ci
3
++ ++
++ ++ ++ HF 2
++ +
++ + Tension V
TH VFB Tension de
++ ++ de seuil 1
bandes plates
Cin CSc C
++ ++ ++ 0 i
Vs=0 Vg [V]
v -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5
C C 78/130
Composants de puissance
●
Automobile
– Véhicules hybrides/électriques
– Haut rendement
– Bas coût
●
Aéronautique
– Augmentation de la puissance embarquée (1 MW)
– Haute fiabilité
– environnement sévère
Projet avion zéro émission @Airbus
●
Compacité
➔
Augmentation des densités de puissance
➔
Augmentation de tension/courant/fréquence
●
Rendement
➔
Réduction des pertes, donc du refroidissement
➔
Augmentation d’autonomie. . .
●
Fiabilité
➔
Résistance au cyclage thermique
➔
Très longue durée de vie (30 ans)
2 états stables :
➔
1 ou 2 électrodes au-dessus, une en-dessous
➔
50-400 μm d’épaisseur, 1-10000 mm2 de de surface
➔
surface est proportionnel au courant direct
➔
l’épaisseur dépend de la tension et de la fabrication
Remarque :
Les schémas de structure ne sont jamais à l’échelle !
Attention aussi aux structures cellulaires
(on ne représente qu’une cellule)
➔
Structure présente dans (presque) toutes les composants.
➔
Jonction PN avec zone faiblement dopée N (N− , ν ou i pour intrinsèque).
➔
Responsable de la tenue en tension du composant.
➔
Structure présente dans (presque) toutes les composants.
➔
Jonction PN avec zone faiblement dopée N (N− , ν ou i pour intrinsèque).
➔
Responsable de la tenue en tension du composant.
➔
à faible courant, forte résistivité de la couche ν (faible dopage)
➔
à fort courant, les zones P+ et N+ injectent des porteurs dans la zone ν (modulation)
➔
beaucoup plus de porteurs libres → fort dopage apparent → faible résistivité
➔
ces charges devront être évacuées lors de l’ouverture de la diode
→ recouvrement
➔
Il y a un compromis entre diodes rapides (faible recouvrement) et faibles pertes en
conduction (forte modulation)
→ recombinaison des porteurs, non traitée ici.
Matériaux et composant (II) 97/130
Paramètres de conception
Objectif : créer une diode avec la plus forte tenue en
tension inverse, et la plus faible chute de tension en direct.
Paramètres de conception :
●
Le niveau de dopage ND de la zone ν (définit le profil de E)
●
La largeur W de la zone ν (modifie la “résistance” en direct)
●
La tension à supporter en inverse
Matériaux et composant (II) 100/130
Protections périphériques
Couche de passivation
➔
Champ électrique supporté par le silicium : 20 V/μm (dans l’air : 2 à 6 V/μm).
➔
Création de défauts cristallins lors de la découpe des puces.
➔
Dispositifs spécifiques en périphérie pour supporter la tension (passivation).
➔
Objectif : assurer l’étalement des lignes de champ électrique dans tout le composant.
●
Les charges injectées durant la conduction doivent être
évacuées
➔
Phénomène de recouvrement
●
Réduction du recouvrement → dégradation conduction
Note :
Tous les composants ne sont pas représentés, et les limites évoluent constamment !
●
2, 3 ou 4 quadrants suivant le type
d’interrupteur
●
pilotables à l’ouverture (GTO), à la fermeture
(Thyristor) ou aux deux (transistor)
●
la caractéristique varie suivant le niveau sur
l’électrode de commande
●
Interrupteur à grille isolée
●
Création d’un canal par inversion ●
Version électronique de puissance
●
Version planaire très courante
en microélectronique ●
Même principe, mais large zone N−
pour tenir la tension
●
“pliage” de la structure pour la rendre
verticale
Matériaux et composant (II) 106/130
MOSFET – Caractéristique directe
●
Vth : tension de seuil, VGS tension grille source (= de commande)
●
fonctionnement nominal : zone linéaire, à VGS élevé
●
Comportement résistif : VDS = RDSon × ID dans la zone linéaire
Matériaux et composant (II) 107/130
MOSFET – contributions à la résistance à l’état passant
●
Composant unipolaire : pas de modulation
➔
résistivité définie par le dopage
●
RS : résistance de source (y compris externe)
●
Rch : résistance du canal (modulée par la grille)
●
Rn : résistance de la zone N−
●
RD résistance de drain (y compris externe)
●
Différentes géométries existantes (cellules carrées, hexagonales, en
bandes. . .)
●
Réduction de la taille cellulaire pour augmenter encore la densité (1-2 μm
par cellule actuellement)
●
Basse tension : connectique, canal prépondérants
●
Haute tension : zone N− prépondérante
Matériaux et composant (II) 110/130
MOSFET – comportement inverse
●
La structure MOSFET devrait être bidirectionnelle en courant (2 quadrants).
●
La présence d’une diode en parrallele la rend asymétrique.
Matériaux et composant (II) 111/130
MOSFET – comportement inverse
●
La structure MOSFET devrait être bidirectionnelle en courant (2 quadrants).
●
La présence d’une diode en parrallele la rend asymétrique.
Matériaux et composant (II) 112/130
MOSFET – capacités
●
Le comportement dynamique (= en commutation) est fixé par les capacités “parasites” et le
câblage du composant.
●
On représente 3 capacités (CGS , CGD , et la capacité de la diode CDS ). Ces capacités sont
non-linéaires.
Matériaux et composant (II) 113/130
IGBT
●
Grossièrement équivalent à un MOSFET pilotant un transistor bipolaire
➔
simplicité de commande du MOSFET (grille isolée)
➔
performance à fort courant du transistor bipolaire
➔
1-3 V de chute de tension à l’état passant
●
Composant bipolaire, donc à résistance à l’état passant plus faible
Matériaux et composant (II) 114/130
Technologie – étapes de fabrication
●
Fabrication du matériau semiconducteur monocristallin
●
Découpe en tranches (wafers)
●
Réalisation des composants sur les wafers (dopage,
●
Gravure, dépôt d’oxyde, métallisations . . .)
●
plusieurs dizaines ou centaines d’étapes
●
traitement collectif (plusieurs centaines ou milliers de composants à la fois)
●
Test électrique sous pointes
●
Découpe des wafers en puces
●
Montage dans un boîtier
●
Test final
●
Procédés identiques en microélectronique et électronique de puissance
●
Tirage de lingots, ici méthode Czochralski (CZ), max ϕ=30 cm, l = 2 m
●
découpe en wafers par scie diamantée, puis polissage épaisseur dictée par la
résistance mécanique
Matériaux et composant (II) 116/130
Photolithographie (exemple oxyde)
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer
➔
insolation
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
➔
oxydation du wafer insolation ➔
➔
dépot de résine photosensible
➔
développement
➔
alignement d’un masque
➔
gravure de l’oxyde
➔
retrait de la résine
Technique indépendante du nombre de composants !
Matériaux et composant (II) 128/130
Dopages
●
Au niveau global (wafer complet)
➢
Durant la croissance cristalline du lingot
➢
Epitaxie : croissance d’une couche de silicium en surface d’un wafer
➔
permet d’obtenir un niveau de dopage plus faible que celui du wafer
●
Au niveau local
➢
Nécessite un masquage (photolithographie)
➢
diffusion, implantation ionique
●
Pour réduire la résistance électrique des
composants, on peut les amincir et ne garder
que la partie électriquement active (<100 μm)
●
La découpe permet de séparer les composants
du wafer
●
À partir de là, les traitements sont individuels
➔
coût/durée proportionnels au nombre de composants