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Matériaux et composants

Partie II

Jonction P/N

Composant bipolaire

Composant à effet de champs

Matériaux et composant (II) 1/130


La jonction P/N

Matériaux et composant (II) 2/130


4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
Effet Zener Avalanche (ionisation par impact)
4. Jonction P/N
4. Jonction P/N
Jonction P/N
Aspects thermique
A fort niveau de courant il faut tenir compte de Puissance dissipée :
la résistance série de la diode.
Jonction P/N
Température maximale de jonction Tj max

Le courant de fuite en inverse d’une diode à jonction PN croît très vite avec
la température.
→ risque d’emballement thermique

La température maximale de fonctionnement appelée température


maximale de jonction Tj max est spécifiée par le constructeur.

Pour des composants silicium Tj max est toujours inférieure à 200 °C.
Jonction P/N
Courant maximal admissible

En général, le terme E0Imoy est nettement supérieur au terme R0 Ieff2


On classe donc les diodes par calibre de courant moyen maximal :
Iavg max
Le courant maximal admissible est celui qui permet à la température de
jonction de ne pas dépasser sa valeur maximale dans des conditions de
refroidissement données.
Jonction P/N
Évacuation de la chaleur
Jonction P/N
Calcul de radiateur

Une diode BYT08P est utilisée dans un convertisseur flyback.

Le courant qui la traverse est triangulaire de valeur crête 20A et


de rapport cyclique α=0,5.
20A

0 αT T
Le constructeur donne:
E0=1,1V R0=24mΩ
Calculer la puissance dissipée dans la diode.
Jonction P/N
Datasheet
Jonction P/N
Datasheet
Jonction P/N
Calcul de radiateur

Le constructeur donne:

Tj max=150°C

Rthj-b=2,5°C/W

La diode est montée sur un refroidisseur par l’intermédiaire d’un


film isolant dont la résistance thermique est

Rthb-rad=0,5°C/W
La température ambiante Tamb est de 50°C et par sécurité on
désire que la température de jonction ne dépasse pas 150°C.
Calculer la résistance thermique du radiateur nécessaire et
sa température.
Jonction P/N
Calcul de radiateur

Le radiateur est fixé à l’extérieur du boîtier de


l’appareil et on désire que sa température ne
dépasse pas 80°C par sécurité pour les
utilisateurs.
Calculer la nouvelle valeur de la résistance
thermique du radiateur adapté et la
température de jonction.
Jonction P/N
Calcul de radiateur : conditions d’utilisation
Jonction P/N
Calcul de radiateur

Le radiateur est fixé à l’extérieur du boîtier de


l’appareil et on désire que sa température ne
dépasse pas 80°C par sécurité pour les
utilisateurs.
Calculer la nouvelle valeur de la résistance
thermique du radiateur adapté et la
température de jonction.
Jonction P/N
Calcul de radiateur

Le radiateur est fixé à l’extérieur du boîtier de


l’appareil et on désire que sa température ne
dépasse pas 80°C par sécurité pour les
utilisateurs.
Calculer la nouvelle valeur de la résistance
thermique du radiateur adapté et la
température de jonction.
Composants bipolaires

Matériaux et composant (II) 34/130


Transistors bipolaires

Matériaux et composant (II) 35/130


Transistor bipolaire

Le premier transistor (bipolaire) et son brevet


5. Transistor Bipolaire
Transistor Bipolaire
Géométrie conventionnelle
Transistor bipolaire
Transistor Bipolaire
Dopage des trois régions

Le bon fonctionnement du transistor nécessite que


les trois régions soient dopées de la façon
suivante :

L’émetteur (E) est fortement dopé, car son rôle E B
est d’émettre des électrons dans la base ; C

La base (B) est moyennement dopée et très
mince (de l’ordre du μm). Son rôle est de
transmettre au collecteur la plupart des
électrons venant de l’émetteur ;

Le collecteur (C) est constitué de 2 régions,
l’une est faiblement dopée et l’autre est très
dopée.
Transistor Bipolaire
Diagramme de bandes d’un transistor NPN
Transistor Bipolaire
Les régimes de fonctionnement d’un transistor

Le fonctionnement d’un transistor dépend du type de la polarisation des jonctions


émetteur base (EB) et Base collecteur (BC).
Transistor Bipolaire
Avant établissement des ZCE Après établissement des ZCE
Transistor Bipolaire
Effet transistor

Les électrons de l’Emetteur


sont injectés dans la base

Les électrons injectés dans la base


mince sont catapultés dans le
collecteur
Transistor Bipolaire
Les courants dans un transistor bipolaire

I E =I C + I B
Transistor Bipolaire
Polarisation du transistor NPN


Polarisation base commune


Polarisation émetteur commun
Transistor Bipolaire

Effet amplificateur du courant


Transistor Bipolaire
Réseau de caractéristiques statiques du transistor
Le transistor comporte trois accès il est caractérisé par 6 grandeurs électriques :

3 courants IB, IC et IE

3 tensions VBE, VCE, VCB

4 relations indépendantes sont


nécessaires pour le caractériser
Transistor Bipolaire
Polarisation du transistor – Droites de charge statiques

Objectif de la polarisation : Fixer les valeurs des tensions VBE, VCE et des courants IB, IC
pour imposer la localisation des points de fonctionnement dans le réseau.

Exemple : polarisation directe de la base et


du collecteur par deux résistances RB et RC
Transistor Bipolaire
Réseau de caractéristiques statiques du transistor
Transistor Bipolaire
Réseau de caractéristiques statiques du transistor

NPN → grandeurs positives ; PNP → grandeurs négatives.

VBE ne dépend pratiquement pas de VCE , le réseau d'entrée ne comporte qu'une
seule courbe.

IC dépend faiblement de VCE , le réseau de transfert ne comporte souvent qu'une
seule courbe.

La puissance dissipée par un transistor est limitée à Pmax.

Le réseau de caractéristiques est donné pour une température définie.

Il existe une dispersion des caractéristiques pour des transistors de mêmes
références.

Ordres de grandeurs : VBE : 0.2 à 0,7 V ; VCE : 1 à qq 100 V ; IC : mA à A ; IB : μA.

Le point de fonctionnement peut être porté sur le réseau.
Transistor Bipolaire
Modèle simple d’un transistor en fonctionnement linéaire

Modèle simple d'un transistor en Modèle d'Ebers-Moll d'un transistor


fonctionnement linéaire Si saturation Ic ≠ β Ib
Transistor Bipolaire
Technologie
Transistor Bipolaire
Technologie
Transistor Bipolaire
Technologie
Transistor Bipolaire
Technologie

Coupe et Layout d’un


transistor bipolaire (npn)
Transistor Bipolaire
Technologie
Transistor Bipolaire
Technologie
Transistor Bipolaire
Réseau de caractéristiques statiques du transistor
Composants à effet de champs

Matériaux et composant (II) 60/130


Structures MIS (Métal-Isolant-Semiconducteur)

Cas particulier :
structure MOS (Métal-Oxyde-Semiconducteur)

Cas encore plus particulier (très répandu):


le semi-conducteur est le silicium et l'oxyde est la silice SiO 2.

A l'heure actuelle la technologie MOS a pris une extension considérable dans la


fabrication des circuits intégrés car il permet une extrême miniaturisation.

En effet, les composants Semi Conducteurs à grille isolée sont parmi les plus importants
de l'électronique moderne.
Les possibilités d'intégration très poussée ainsi que les performances atteintes les ont
imposés : dans le domaine du numérique et les applications analogiques se
développent elles aussi à grande vitesse.

Il est donc particulièrement important de comprendre le fonctionnement de: la capacité


MOS, structure qui est à la base de cette technologie.
Une structure MOS est constituée :

d'une couche d'oxyde isolant (SiO2) d'épaisseur d incluse entre une couche
de métal (Aluminium ou Silicium très fortement dopé) et un substrat de
Silicium.
.
Dans cette structure les ordres de grandeurs sont :

Épaisseur d'oxyde d : quelques dizaines de
nanomètres

Épaisseur du substrat : quelques 1/10 de
millimètres

Nous allons tout d'abord nous intéresser à la structure Métal-Vide-


Semiconducteur avant de passer à la structure MOS à proprement parlé
6. Composants à effet de champs

Mise en équilibre de la structure


dV d 2V  ( x)
Vd M  SC , E  , 
dx dx 2  SC

Métal S Métal S
C C
e SC e SC eVd
e M EC
e M e SC
EF e SC
EC
EF EF EF
EV EV
dx
Système indépendant Système à l’équilibre
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
Considérons un métal et un semiconducteur dans le
vide :
Le vide NV sera le niveau de référence.
Le métal est caractérisé par :

son travail de sortie eɸm.
Le semiconducteur est caractérisé par :

son travail de sortie eɸS et

son affinité électronique eΧS.
Ces deux systèmes sont indépendants, les niveaux
de Fermi dans chacun d'eux sont respectivement à
la distance eɸm et eɸS du niveau du vide (NV).

Relions ces deux systèmes par un fil


conducteur :
ils échangent de l'énergie et constituent un seul
système thermodynamique, les niveaux de Fermi
s'alignent.
Il en résulte une différence de potentiel de contact,
analogue à la tension de diffusion de la jonction P/N,
donnée par :
e.Vd  e.m  e.S (eV )
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
Affinité électronique de quelques métaux et semiconducteur :

Isolant
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
A cette différence de potentiel Vd sont associés :


un champ électrique ⃗ =− d V

E
dx

une charge d'espace



d ²V ρ (x )
=− ε

dx ²
L'amplitude du champ électrique et la densité de la charge d'espace sont d'autant plus importantes que le
gradient du potentiel est grand.
Or puisque ΔV =cte est fixé par la différence des travaux de sortie ɸm-ɸs,
Ces valeurs sont d'autant plus grandes que la distance entre le métal et le semiconducteur est
faible.
On pourra ainsi dire que tant que cette distance est importante, le champ et la charge d'espace sont négligeables
Rapprochons maintenant de plus en plus le métal du semiconducteur :
des charges apparaissent au voisinage de la surface du métal et au voisinage de la surface du semiconducteur.
6. Composants à effet de champs

d ²V ρ (x ) ⃗
Structure Métal-Vide-Semiconducteur =− ε ⃗ =− d V
E
dx ² dx
LE SYSTÈME EST ANALOGUE À UN CONDENSATEUR PLAN dont
la tension entre les armatures est ΔV =Vd, la charge est Q=C.ΔV. ΔV =V d =cte, si d ↘
ΔV étant constant, si la distance entre le métal et le SC diminue, la ⇒ C ↗ ⇒ Q=C.ΔV↗
capacité et par suite la charge augmentent.
6. Composants à effet de champs
Structure Métal-Vide-Semiconducteur
De plus, la charge totale développée dans le métal est égale et opposée à la charge totale développée dans le
semiconducteur.
La densité d'états étant beaucoup plus grande dans le métal que dans le semiconducteur, ces charges sont
superficielles dans le métal et s'étendent davantage dans le semiconducteur :

La charge d'espace dans le métal résulte de la variation de la densité d‘e- au voisinage de la surface

La charge d'espace dans le semiconducteur résulte de la variation de la densité de porteurs libres, e- et trous,
au voisinage de la surface.

La variation de la densité de porteurs libres est associée à la variation de la distance bande permise-niveau de
Fermi.
Dans la mesure où le niveau de Fermi est fixé par l'équilibre thermodynamique :
il en résulte UNE COURBURE DES BANDES DE VALENCE ET DE CONDUCTION VERS LE BAS OU LE HAUT,
SUIVANT QUE LA DENSITÉ D‘E- AUGMENTE OU DIMINUE.
6. Composants à effet de champs
6. Composants à effet de champs
type N
Les différents régimes de
fonctionnement en fonction de
la polarisation VG

Régime de dépletion
des porteurs majoritaires sont
repoussés il a dépletion.

Régime d’inversion
Des porteurs minoritaire
apparaissent il a inversion des
charges au niveau de l’interface.

Interface
6. Composants à effet de champs
type N
Les différents régimes de
fonctionnement en fonction de
la polarisation VG

Régime de Bande plate


toutes les bandes sont plates

Régime d’Accumulation
des porteurs majoritaires
ici électrons
6. Composants à effet de champs
type N
Les différents régimes de
fonctionnement en fonction de
la polarisation VG

Régime de Bande plate


toutes les bandes sont plates

Régime de dépletion
des porteurs majoritaires sont
repoussés il a dépletion.
6. Composants à effet de champs
Les différents régimes de fonctionnement en fonction de des
différents travaux de sorties

(a) Accumulation

(b) Flat band

(c) Désertion – déplétion

(d) Faible inversion

(e) Forte inversion


6. Composants à effet de champs
6. Composants à effet de champs
Structure Métal Oxyde Semiconducteur
6. Composants à effet de champs
Structure Métal Oxyde Semiconducteur de type N
Le substrat est dopé avec des donneurs : 3 modèles 3 régimes de
Les porteurs majoritaires sont les électrons : capacitifs fonctionnements
Les porteurs majoritaires sont les trous :

Accumulation des porteurs


Vg> VFB majoritaires à l’interface
isolant-semiconducteur.
Régime
Ci d’ACCUMULATION

Déplétion des porteurs à


Vg< VFB l’interface
isolant-semiconducteur.

CSc Ci Régime de
DEPLETION
Zone de Charge d’Espace
6. Composants à effet de champs

Structure Métal Oxyde Semiconducteur de type N


Le substrat est dopé avec des donneurs : 3 modèles 3 régimes de
Les porteurs majoritaires sont les électrons : capacitifs fonctionnements
Les porteurs majoritaires sont les trous :

Accumulation des porteurs


Vg> VFB majoritaires à l’interface
isolant-semiconducteur.
Régime
Ci d’ACCUMULATION

Cin Accumulation de porteurs


Vg< VTH minoritaires à l’interface
v isolant-semiconducteur.
Régime
CSc Ci d’INVERSION

07/12/2021 Introduction aux semi-conducteurs


VFB
TH>< Vg 6. Composants à effet de champs
La structure MOS: Les seuils caractéristiques sur la C(V)

BF 7

C [nF]
6 Accumulation
Qi
5
++ ++ ++ Inversion Déplétion
+ ++ + ZCE
4
+ ++ + Ci
3
++ ++
++ ++ ++ HF 2
++ +
++ + Tension V
TH VFB Tension de
++ ++ de seuil 1
bandes plates
Cin CSc C
++ ++ ++ 0 i
Vs=0 Vg [V]

v -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5

C C 78/130
Composants de puissance

Matériaux et composant (II) 79/130


Tendances de l’électronique de puissance

Énergies renouvelables
– Adaptation de sources au réseau

Différentes tensions

DC vers AC ou variation de fréquence
– Optimisation de la source

Point de fonctionnement optimal Micro-onduleur enphase


Automobile
– Véhicules hybrides/électriques
– Haut rendement
– Bas coût

Aéronautique
– Augmentation de la puissance embarquée (1 MW)
– Haute fiabilité
– environnement sévère
Projet avion zéro émission @Airbus

Matériaux et composant (II) 80/130


Tendances de l’électronique de puissance
Élargissement des domaines d’application
MW - W W - kW KW - MW MW - GW

Téléphone portable Alimentation de PC


portable Variateur de vitesse

Station de conversion HVDC


(350kV)

Mêmes principes à toutes les échelles

Multiplication des convertisseurs

Apport de nouvelles fonctionnalités au système

vitesse variable

véhicule hybride
Matériaux et composant (II) 81/130
Tendances de l’électronique de puissance
Amélioration des performances


Compacité

Augmentation des densités de puissance

Augmentation de tension/courant/fréquence

Rendement

Réduction des pertes, donc du refroidissement

Augmentation d’autonomie. . .

Fiabilité

Résistance au cyclage thermique

Très longue durée de vie (30 ans)

Matériaux et composant (II) 82/130


Électronique de signal et électronique de puissance
Amélioration des performances

Électronique signal : Électronique de puissance :



Notion principale : ●
Notion principale :
le signal le rendement

Objectif : traiter l’information ●
Objectif : convertir la puissance sans

sans la dégrader en perdre

amplification ●
abaisser la tension

numérisation ●
changer la fréquence

etc. ●
etc.

Matériaux et composant (II) 83/130


Électronique de puissance = commutation

2 états stables :

Passant (interrupteur fermé) Bloqué (interrupteur ouvert)



V=0 ➔
V≠0

I≠0 ➔
I=0

Dans les deux états, pas de puissance dissipée :


P = VI = 0

Matériaux et composant (II) 84/130


Les 4 quadrants

Représentation dans le plan (I, V )



état bloqué

état passant
Tous les composants ne fonctionnent pas dans les 4
quadrants !

Matériaux et composant (II) 85/130


Les 4 quadrants - exemple de la diode

Matériaux et composant (II) 86/130


Les 4 quadrants - exemple de la diode

Matériaux et composant (II) 87/130


Les 4 quadrants - exemple de la diode

Matériaux et composant (II) 88/130


Les 4 quadrants - exemple de la diode

Matériaux et composant (II) 89/130


Les 4 quadrants - exemple de la diode

Attention aux ordres de grandeur :



tension de seuil :
≈ 1V

tension de claquage :
100-10000 V

courant de fuite :
nA-μA

courant direct :
1-1000 A

Matériaux et composant (II) 90/130


La commutation

Les commutations causent :



des pertes

des perturbations électro
magnétiques

Elles dépendent des composants mais aussi


du circuit

image source : “Dispositifs de l’électronique de puissance”, J. Arnould et


P. Merle, 1992, Hermès, Paris, tome 1, p 36)
Matériaux et composant (II) 91/130
La commutation


1 ou 2 électrodes au-dessus, une en-dessous

50-400 μm d’épaisseur, 1-10000 mm2 de de surface

surface est proportionnel au courant direct

l’épaisseur dépend de la tension et de la fabrication

Matériaux et composant (II) 92/130


Dimensions des composants

Remarque :
Les schémas de structure ne sont jamais à l’échelle !
Attention aussi aux structures cellulaires
(on ne représente qu’une cellule)

Matériaux et composant (II) 93/130


Familles de composants

Attention : tous les composants existants ne sont pas représentés.

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La diode bipolaire, base des composants actifs


Structure présente dans (presque) toutes les composants.

Jonction PN avec zone faiblement dopée N (N− , ν ou i pour intrinsèque).

Responsable de la tenue en tension du composant.

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La diode bipolaire, base des composants actifs


Structure présente dans (presque) toutes les composants.

Jonction PN avec zone faiblement dopée N (N− , ν ou i pour intrinsèque).

Responsable de la tenue en tension du composant.

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Polarisation directe


à faible courant, forte résistivité de la couche ν (faible dopage)

à fort courant, les zones P+ et N+ injectent des porteurs dans la zone ν (modulation)

beaucoup plus de porteurs libres → fort dopage apparent → faible résistivité

ces charges devront être évacuées lors de l’ouverture de la diode
→ recouvrement

Il y a un compromis entre diodes rapides (faible recouvrement) et faibles pertes en
conduction (forte modulation)
→ recombinaison des porteurs, non traitée ici.
Matériaux et composant (II) 97/130
Paramètres de conception
Objectif : créer une diode avec la plus forte tenue en
tension inverse, et la plus faible chute de tension en direct.

Une diode polarisée en inverse



La surface colorée est proportionnelle à V

les pentes du champ E est proportionnel au
dopage

Matériaux et composant (II) 98/130


Paramètres de conception
Objectif : créer une diode avec la plus forte tenue en
tension inverse, et la plus faible chute de tension en direct.

Une diode polarisée en inverse



La surface colorée est proportionnelle à V

les pentes du champ E est proportionnel au
dopage

lorsque V augmente, la ZCE s’étend

si Emax >Ecritique : claquage

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Paramètres de conception
Objectif : créer une diode avec la plus forte tenue en
tension inverse, et la plus faible chute de tension en direct.

Une diode polarisée en inverse



La surface colorée est proportionnelle à V

les pentes du champ E est proportionnel au
dopage

lorsque V augmente, la ZCE s’étend

si Emax >Ecritique : claquage

si on réduit le dopage de la zone ν, E diminue

Paramètres de conception :

Le niveau de dopage ND de la zone ν (définit le profil de E)

La largeur W de la zone ν (modifie la “résistance” en direct)

La tension à supporter en inverse
Matériaux et composant (II) 100/130
Protections périphériques
Couche de passivation


Champ électrique supporté par le silicium : 20 V/μm (dans l’air : 2 à 6 V/μm).

Création de défauts cristallins lors de la découpe des puces.

Dispositifs spécifiques en périphérie pour supporter la tension (passivation).

Objectif : assurer l’étalement des lignes de champ électrique dans tout le composant.

Matériaux et composant (II) 101/130


Comportement dynamique


Les charges injectées durant la conduction doivent être
évacuées

Phénomène de recouvrement

Réduction du recouvrement → dégradation conduction

Matériaux et composant (II) 102/130


Diodes – Résumé
En résumé :

Une diode supporte une forte tension si :

Elle possède une zone faiblement dopée et relativement large

Elle aura de faibles pertes en conduction si :

on a une forte modulation dans la zone faiblement dopée, et que celle-
ci est étroite (durée de vie des porteurs)

Elle aura de faibles pertes en commutation si :

il y a peu de modulation de la zone faiblement dopée (recouvrement
faible)

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Domainesd’utilisation

Note :
Tous les composants ne sont pas représentés, et les limites évoluent constamment !

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Caractéristique d’un composant pilotable


2, 3 ou 4 quadrants suivant le type
d’interrupteur

pilotables à l’ouverture (GTO), à la fermeture
(Thyristor) ou aux deux (transistor)

la caractéristique varie suivant le niveau sur
l’électrode de commande

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MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)


Interrupteur à grille isolée

Création d’un canal par inversion ●
Version électronique de puissance

Version planaire très courante
en microélectronique ●
Même principe, mais large zone N−
pour tenir la tension

“pliage” de la structure pour la rendre
verticale
Matériaux et composant (II) 106/130
MOSFET – Caractéristique directe


Vth : tension de seuil, VGS tension grille source (= de commande)

fonctionnement nominal : zone linéaire, à VGS élevé

Comportement résistif : VDS = RDSon × ID dans la zone linéaire
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MOSFET – contributions à la résistance à l’état passant


Composant unipolaire : pas de modulation

résistivité définie par le dopage

RS : résistance de source (y compris externe)

Rch : résistance du canal (modulée par la grille)

Rn : résistance de la zone N−

RD résistance de drain (y compris externe)

Matériaux et composant (II) 108/130


MOSFET – structure cellulaire
La composante Rch est proportionnelle à la largeur de canal du MOSFET

structure cellulaire pour augmenter la densité de canal


Différentes géométries existantes (cellules carrées, hexagonales, en
bandes. . .)

Réduction de la taille cellulaire pour augmenter encore la densité (1-2 μm
par cellule actuellement)

Matériaux et composant (II) 109/130


MOSFET – compromis tenue en tension/résistance


Basse tension : connectique, canal prépondérants

Haute tension : zone N− prépondérante
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MOSFET – comportement inverse


La structure MOSFET devrait être bidirectionnelle en courant (2 quadrants).

La présence d’une diode en parrallele la rend asymétrique.
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MOSFET – comportement inverse


La structure MOSFET devrait être bidirectionnelle en courant (2 quadrants).

La présence d’une diode en parrallele la rend asymétrique.
Matériaux et composant (II) 112/130
MOSFET – capacités


Le comportement dynamique (= en commutation) est fixé par les capacités “parasites” et le
câblage du composant.

On représente 3 capacités (CGS , CGD , et la capacité de la diode CDS ). Ces capacités sont
non-linéaires.
Matériaux et composant (II) 113/130
IGBT


Grossièrement équivalent à un MOSFET pilotant un transistor bipolaire

simplicité de commande du MOSFET (grille isolée)

performance à fort courant du transistor bipolaire

1-3 V de chute de tension à l’état passant

Composant bipolaire, donc à résistance à l’état passant plus faible
Matériaux et composant (II) 114/130
Technologie – étapes de fabrication


Fabrication du matériau semiconducteur monocristallin

Découpe en tranches (wafers)

Réalisation des composants sur les wafers (dopage,

Gravure, dépôt d’oxyde, métallisations . . .)

plusieurs dizaines ou centaines d’étapes

traitement collectif (plusieurs centaines ou milliers de composants à la fois)

Test électrique sous pointes

Découpe des wafers en puces

Montage dans un boîtier

Test final

Matériaux et composant (II) 115/130


Fabrication des tranches de silicium


Procédés identiques en microélectronique et électronique de puissance

Tirage de lingots, ici méthode Czochralski (CZ), max ϕ=30 cm, l = 2 m

découpe en wafers par scie diamantée, puis polissage épaisseur dictée par la
résistance mécanique
Matériaux et composant (II) 116/130
Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

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Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

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Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

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Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

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Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

Matériaux et composant (II) 121/130


Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

Matériaux et composant (II) 122/130


Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

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Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

Matériaux et composant (II) 124/130


Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

Matériaux et composant (II) 125/130


Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

Matériaux et composant (II) 126/130


Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer

insolation

dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine

Matériaux et composant (II) 127/130


Photolithographie (exemple oxyde)


oxydation du wafer insolation ➔


dépot de résine photosensible

développement

alignement d’un masque

gravure de l’oxyde

retrait de la résine
Technique indépendante du nombre de composants !
Matériaux et composant (II) 128/130
Dopages

Au niveau global (wafer complet)

Durant la croissance cristalline du lingot

Epitaxie : croissance d’une couche de silicium en surface d’un wafer

permet d’obtenir un niveau de dopage plus faible que celui du wafer

Au niveau local

Nécessite un masquage (photolithographie)

diffusion, implantation ionique

Source : Guillaume Paumier / Wikimedia Commons,


CC-BY-3.0, bâti d’epitaxie et four de diffusion

Matériaux et composant (II) 129/130


Finition des composants


Pour réduire la résistance électrique des
composants, on peut les amincir et ne garder
que la partie électriquement active (<100 μm)


La découpe permet de séparer les composants
du wafer

À partir de là, les traitements sont individuels

coût/durée proportionnels au nombre de composants

Les étapes suivante sont le packaging (mise en boîtier).

Matériaux et composant (II) 130/130

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