Estudo da Obteno de Imagens no Microscpio Eletrnico de Varredura e Espectros na Microanlise por Energia Dispersiva

UFSC/EMC LabMat/LCMAI

Priscila Klauss
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Objetivo:

Demostrar o funcionamento do Microscpio Eletrnico de Varredura (MEV), juntamente com a Espectroscopia de Energia Dispersiva (EDS)

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1. MEV
Caractersticas:

- Obteno de Imagens de superfcies polidas ou rugosas; - Grandes Aumentos (at 900.000 vezes); Limite de Resoluo; - Aparncia Tridimensional;

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1. MEV
Componentes Bsicos:

Marca Phillips XL30 UFSC/EMC LabMat Coluna tico-eletrnica

Microssonda

Detectores Cmara de Amostra Monitor para visualizao de imagens

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1. MEV
Princpio de Funcionamento: feixe de eltrons de alta energia

incide na superfcie da amostra onde, ocorrendo uma interao, parte do feixe refletida e coletada pelo detector.

Feixe Incidente Eltrons Retroespalhados (BSE) Raio-X (EDS) Eltrons Secundrios (SE)

AMOSTRA

Corrente da Amostra Informao eltrica

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1. MEV
Origem dos sinais:

- Imagem por eltrons secundrios: provm de interaes inelsticas entre eltrons e amostra
Perda de energia com pequena mudana de direo

- Imagem por eltrons retroespalhados: provm de interaes elsticas entre eltrons e amostra
Mudana de direo sem perda aprecivel de energia. Ocorre principalmente pela interao entre os eltrons e o ncleo atmico.
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1. MEV
Imagem por Eltrons Secundrios (ES):

-Mais utilizados em MEV, pois fornecem imagem de maior resoluo; -Grande profundidade de campo; -Impresso tridimensional; -Fcil interpretao.

Imagem por Eltrons Retroespalhados (BSE)

-Contraste de composio

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1. MEV

Imagens Exemplos SE - 1

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1. MEV

Imagens Exemplos SE - 2

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1. MEV

Imagens Exemplos SE - 3

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1. MEV

Imagens Exemplos SE - 4

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1. MEV

Imagens Exemplos SE - 5

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1. MEV

Imagens Exemplos BSE - 1

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2. EDS
Funo:

- Determinao qualitativa e quantitativa da composio de uma amostra em uma certa regio;

Caracterstica:

-Rapidez na obteno do espectro;

Princpio:

-Identificao pelo raio-X emitido atravs da interao inelstica do feixe eletrnico com a amostra;
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2. EDS

Processos de Formao de Raio-X:

Seguir

Radiao Contnua

-Origina-se da desacelerao dos eltrons incidentes no ncleo, resultando na emisso eletromagntica na frequncia dos raios-X;
Espectro 1

-Resulta no Background (rudo) no espectro;

Radiao Caracterstica
-Origina-se da interao dos eltrons incidentes com os eltrons dos orbitais internos dos tomos do material; -Responsvel pela identificao do tomo presente no volume de interao; -Resulta nos Picos no espectro;
Espectro 2

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2. EDS

Exemplo Espectro 1 - Background

Retornar

Background

2. EDS

Exemplo Espectro Contnuo

Retornar

2. EDS
K
Excitao K

Energia Caracterstica do Raio-X:

Diagrama dos nveis de energia de um tomo demostrando a excitao das camadas K, L, M e N e a formao de raios-X K, K, L e M :
Eltron K rem ovido

Aumento da Energia

E m isso K
Eltron L rem ovido

L
Excitao L

L
Eltron M rem ovido

M N

M
N Eltron N rem ovido Eltron de valncia rem ovido

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2. EDS

Tipos de Anlise:

Anlise Qualitativa

Anlise Quantitativa (17/19)

3. Amostras
REQUISITOS:

-Slidas; -Sem umidade; -Composta por material condutor; (caso contrrio, recobrir com Au ou C)

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4. Consideraes Finais
Neste trabalho confirma-se a importncia e a versatilidade do MEV. Este constitui-se de uma ferramenta muito importante para o estudo da microestrutura, presena de defeitos e propriedades do material. E ao utilizar-se uma microssonda acoplada ao MEV, acrescenta-se a possibilidade de efetuar-se anlise qumica do material.

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