DEPOSICIN POR ARCO CTODICO (PULSADO Y CONTINUO)

Miguel ngel Narvez Ardila Ingeniera Mecnica Universidad Nacional De Colombia

INTRODUCCIN AL ARCO
Historia
Las descargas por arco fueron descubiertas a comienzos del siglo XIX, pero los esfuerzos serios en cuanto a sus explicaciones fsicas y en especial en el modelamiento de procesos electrdicos se dieron un siglo despus. Entre las primeras investigaciones se podran mencionar los trabajos de Stark y despus los de Compton, quien propone la emisin termoinica como la principal fuente de electrones en el ctodo; mientras que Langmuir y Mackeown defienden la emisin de campo. La importancia del flujo inico del plasma catdico en la superficie del ctodo fue subrayada por Slepian, Weizel, Rompe y Schon y despus por Ecker. Una capa densa de vapor fue asumida por Rothstein y la posible regla de excitacin atmica e iones impactando la superficie catdica fue sealada especialmente por V. Engel y Robson.

INTRODUCCIN AL ARCO
Caractersticas generales de los arcos
El arco puede definirse como una descarga que es sostenida por si sola con una baja cada de potencial en la regin catdica (potencial de excitacin o ionizacin de tomos: 10 eV). Esto deriva de la existencia de mecanismos de emisin de electrones muy eficientes (emisin termoinica, emisin por campo o emisin termoinica por campo) que hacen innecesaria la ampliacin de corriente operada en la cada catdica de una descarga glow.

INTRODUCCIN AL ARCO
Caractersticas generales de los arcos
La descarga glow es una descarga autosostenida en la cual los electrones son emitidos principalmente por bombardeo inico de un ctodo fro; en otras palabras es una descarga elctrica autosostenida que se produce en un medio gaseoso.

Zonas luminosas y zonas oscuras de la descarga glow en un tubo.

INTRODUCCIN AL ARCO
Tipos de arco
Esta clasificacin se basa en las caractersticas del proceso de emisin catdica, el estado del plasma en la columna positiva o el medio en el cual se sostiene la corriente. Los cuales son: Arco con ctodo caliente Arco con calentamiento catdico externo Arcos con ctodo fro (spots) Arco en vaco (Vacuum arc) Arcos de alta presin Arcos de muy alta presin Arcos de baja presin

INTRODUCCIN AL ARCO
Transicin glow - arco

Curva tpica del voltaje interelectrdico en funcin de la corriente a travs del circuito.

EVAPORACIN POR ARCO

Generalidades

Vapor generado en una descarga por arco.

EVAPORACIN POR ARCO

Tipos de spot
Los spots se han clasificado o se han identificado en dos tipos, el tipo 1 el cual se encuentra en conduccin a travs de superficies contaminadas (con xidos), y el tipo 2 el cual se encuentra en conduccin a travs de superficies limpias en las cuales se encuentra pocas monocapa de gas absorbido. Las tipo 1 tienen una baja tasa de erosin catdica adems de un distanciamiento grande entre los spots. Las tipo 2 al contrario presentan unas altas tasas de erosin lo que genera una cadena de crteres en el ctodo.

EVAPORACIN POR ARCO

Gotas y partculas residuales

Evaporacin por arco y generacin de micro gotas.

EVAPORACIN POR ARCO

Movimiento de los spots

Esquema del modelo del movimiento dinmico de los spots.

RECUBRIMIENTOS POR ARCO EN VACO

Principio
Este sistema basa la evaporacin y obtencin de los iones de metal, en el efecto que produce un arco voltaico de alto amperaje generado sobre la superficie de este material (ctodo). Los iones, son focalizados por un campo magntico, acelerados y proyectados sobre la pieza a recubrir por accin de una diferencia de potencial existente entre las piezas y la cmara del reactor. La energa cintica de los iones se transforma en calorfica al chocar contra la pieza y mantiene la temperatura durante la fase de recubrimiento. Los compuestos se forman al introducir, en la cmara, gases reactivos de distinta naturaleza a bajas presiones.

RECUBRIMIENTOS POR ARCO EN VACO

Equipo

Equipo para la deposicin por arco catdico.

RECUBRIMIENTOS POR ARCO EN VACO

Equipo

RECUBRIMIENTOS POR ARCO EN VACO

Resumen

RECUBRIMIENTOS POR ARCO EN VACO

Los sistemas de recubrimientos basados en arcos pueden ser descritos por tres caractersticas bsicas: duracin del pulso, electrodo donde se produce el vapor y filtrado de macropartculas.

DURACIN DEL PULSO

Generalidades De acuerdo con la duracin del pulso se pueden tener dos categoras las cuales pueden ser delineadas por la fuente de potencia del arco. Si el arco es sostenido solamente por la duracin de la descarga de un capacitor, se denomina fuente de arco pulsado. Si el arco es sostenido por una fuente de corriente DC, es llamada fuente de arco continuo, o en algunos casos cuasi continuos.

DURACIN DEL PULSO

Arco pulsado y continuo

Rasgos de arcos: a) contino; b) pulsado.

DURACIN DEL PULSO

Generacin pulso

DURACIN DEL PULSO

Comparacin pulsado y continuo
Arco pulsado: Debido a la corta duracin del arco no es necesario el enfriamiento del ctodo, y con esto se simplifica el diseo y cambio de material del ctodo. Por otra parte existen complicaciones en el diseo del confinamiento del spot del arco a la superficie ctodo debido a la duracin muy corta del arco que no deja tiempo para que el spot de arco llegue ala superficie del ctodo, para esto se debe tener un sistema de ignicin confiable, todo esto lleva a una tasa baja de deposicin.

DURACIN DEL PULSO

Comparacin pulsado y continuo
Arco contino: Estas a diferencia del pulsado tienen altas tasas de deposicin por comportamiento, pero esto eleva la temperatura del ctodo lo que obliga a disear el ctodo para que disipe ese calor, lo que conlleva a dificultades en el cambio de ctodo y limitaciones en el material de conductividad trmica baja para la elaboracin de este. El confinamiento del arco es esencial ya que se pueden presentar daos en el soporte de este y contaminacin del recubrimiento si el spot de arco sale de la superficie deseada del ctodo.

FILTROS DE LAS MACROPARTCULAS

Filtracin
Si el diseo de la fuente enfrenta la pieza de trabajo sobre una lnea de vista directa del spot de arco, y se provee un mecanismo para guiar el plasma de arco producido hasta la pieza de trabajo la fuente es definida como filtrada.

FILTROS DE LAS MACROPARTCULAS

Diseo de filtros
Categorizado por Arquitectura Cerrada

Arquitectura Abierta

FILTROS DE LAS MACROPARTCULAS

Diseo de filtros

Arquitectura cerrada

FILTROS DE LAS MACROPARTCULAS

Diseo de filtros

Rectilnea y abierto

ARTCULO
Estudio del plasma dentro de un filtro magntico en vaco
H. KELLY, A. MARQUEZ y M. PIRRERA Instituto de Fsica del Plasma, CONICET-Dpto. de Fsica, FCEN, UBA (Universidad de Buenos Aires)

ARTCULO
Resumen
En el artculo se presenta una caracterizacin del flujo inico generado por un arco continuo filtrado magnticamente y operado en vaco. El equipo incluye una cmara de descarga (donde se genera un plasma metlico), acoplada a una cmara de deposicin (donde se coloca un substrato) mediante un filtro magntico en forma de cuarto de toroide. El arco se realiza entre un ctodo cilndrico y un nodo anular refrigerados con agua, ambos de Cobre, con una corriente continua de 100 A. El filtro consiste en un cilindro de acero inoxidable doblado a 90 y con paredes corrugadas, de 500 mm. de largo y 100 mm. de dimetro interno, rodeado de bobinas generadoras de campo magntico. La intensidad de este campo es suficiente para magnetizar los electrones pero no los iones, y su mximo valor es ~ 260 G en el codo del filtro. Adems el sistema cuenta con la posibilidad de polarizar el filtro toroidal mediante una fuente DC independiente. Se presentan las mediciones de los potenciales flotantes del filtro y del plasma, y la corriente inica colectada por sondas en diferentes posiciones en funcin del campo magntico y del potencial de polarizacin del filtro.

ARTCULO
Equipo

ARTCULO
Experimentacin
El diseo del equipo permite que el filtro se pueda mantener a un potencial electrosttico flotante (Vff), o bien se pueda polarizar (Vfp), mediante una fuente DC independiente. A la salida del filtro se acopla, a travs de una pieza aislante de PVC, la cmara de deposicin. La misma tiene forma de cruz, y cuyos cuatros extremos se conectan, uno al filtro, el segundo al sistema de vaco, en el tercero se ubica el portasubstrato y en el cuarto se usa como un puerto de diagnstica de presin.

ARTCULO
Experimentacin
Para caracterizar el plasma se utiliz un electrodo plano de seccin circular cuyo dimetro es (7.0 0.1) cm. El mismo tiene la posibilidad posicionarse en tres posiciones distintas, a la entrada del filtro (posicin A), cercano al codo del toroide (posicin B) y a la salida (posicin C); tal como se esquematiza en la Figura 2. El electrodo puede mantenerse a potencial electrosttico flotante (Vsf) o bien polarizado a un potencial fijo (Vsp, usualmente negativo para colectar iones). Para polarizar la sonda se uso una fuente de tensin de corriente mxima de 1.5 A con Vsp = (- 70 1) V.

ARTCULO
Experimentacin

ARTCULO
Resultados

ARTCULO
Resultados

ARTCULO
Resultados

ARTCULO
Discusin de resultados
Se observa el crecimiento de Is con Bfiltro, lo que indica una disminucin de las prdidas electrnicas en la superficie lateral del filtro, debido a la mayor magnetizacin (confinamiento) electrnica. Definiendo la eficiencia del filtro como el cociente entre la Is de salida y la de entrada, entonces ~ 0.003 cuando el filtro est flotante. En cambio, manteniendo Bfiltro= 257 G y polarizando el filtro se observa que aumenta sustancialmente la corriente a la salida del filtro, logrndose una Ismxima ~ 45mA para Vfp > 15 V ( ~ 0.045). Con el filtro polarizado la corriente resulta 15 veces superior al valor obtenido con filtro flotante.

ARTCULO
Conclusin En conclusin el equipo DFC2 opera ptimamente con Bfiltro= 257 G y Vfp>15V, valores para los cuales se logra la mayor corriente inica sobre el substrato. En el futuro inmediato se adicionar un campo magntico de focalizacin a la entrada del filtro para mejorar la entrada de iones al filtro y as mejor la eficiencia final.