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Module de formation aux concepts de base d

Statistical Process Control


(Matrise Statistique des Procds)

Page 0.1

S.P.C.

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Sommaire du module
Chapitre 1 : Pourquoi ?

Chapitre 2 : Technique de base du SPC

Chapitre 3 : De l'expression du besoin la mise en


place du SPC

Page 0.2

Chapitre 4 : Les bases de donnes

Septembre 1998

Chapitre 5 : Les outils du SPC

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NEF Sud - Formation SPC

Chapitre 1

Page 0.3

Pourquoi ?

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Page 0.4

Sommaire

Septembre 1998

Pourquoi cette formation ?

1.3

Pourquoi standardiser l'usage du SPC ?

1.5

Qu'est ce qu'un procd ?

1.6

Comment matriser un procd ?

1.9

Pourquoi matriser un procd ?

1.14

Dfinition du SPC

1.16

Analyse d'un procd

1.17

Ressources et moyens

1.18

La mthode TOPS

1.20

La mthode "Contrat fournisseur / client"

1.21

La mthode FIT

1.22

La mthode CEDAC

1.23

La mthode FMEA

1.24

La mthodes JURAN

1.25

Les donnes

1.26
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Pourquoi cette formation ?


Parce que ST Microelectronics souhaite que tous les acteurs
concerns par la
matrise des procds (S.P.C) utilisent une mme mthode
dans les mmes conditions quel que soit le site.
Pour dvelopper la culture SPC, ses mthodes et outils dans

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toute lorganisation

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Pourquoi cette formation ?


Pour donner aux acteurs de terrain les moyens de comprendre
limpact du SPC sur la matrise des procds.
Pour faciliter lexpression des besoins des "clients" du SPC et
leur permettre de poser les bonnes questions au process

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control du site.

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Pourquoi standardiser l'usage du SPC ?


Pour rpondre une ncessit majeure de la stratgie du
Corporate Manufacturing qui est de mettre en oeuvre et de
dvelopper une politique agressive en matire de qualit
l'aide du SPC (et d'autres outils).
Pour rpondre aux besoins de standardisation parce que le
succs de la mise en uvre et de l'utilisation efficace du SPC
passe par l'tablissement et de respect de rgles utilises par
tous.

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Pour rpondre aux attentes de nos clients et satisfaire leurs

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besoins en terme de qualit.

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Qu'est ce qu'un procd ?


C'est un ensemble organis de moyens et d'activits qui
transforme, en leur apportant une valeur ajoute, des produits
entrants (input) en produits sortants (output).
Les moyens peuvent tre :
la matire premire,des produits(matire)
le personnel (main d'uvre)
les installations et quipements (matriel)
les techniques, gammes, modes opratoires (mthodes)

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Un procd est indissociable de son environnement (milieu)

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Qu'est ce qu'un procd ?

Matire

Main d'uvre

Procd
(valeur ajoute)

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Mthodes

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Produit

E
X
I
G
E
N
C
E
S

Matriel

Environneme
nt

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Qu'est ce qu'un procd ?


Mthode A : l'approche traditionnelle

Matire

Main d'uvre

Exigences
Conforme

Procd
(valeur ajoute)

Produit

Contrle

TRI
Non conforme

Mthodes

Matriel
Environne
ment

La fabrication produit
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Le contrle Qualit contrle et sanctionne (Bon / Mauva

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C'est une stratgie de dtection


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Comment matriser un procd ?


Mthode A : l'approche traditionnelle
Le contrle final ou le tri dtermine si les
produits sont conformes aux exigences.
Cela implique que la totalit des
ressources ncessaires pour produire le
lot considr (main d'uvre et matire
premire sont consommes pour produire
des produits conformes et des produits
non conformes.

Page 0.11

Cette mthode permet ou gnre des


pertes (scraps).

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Comment matriser un procd ?


Mthode B : l'approche base sur le traitement statistiques
(S.P.C.)

Informations

Matire

Surveillance
Amlioration

Main d'uvre

Procd
(valeur ajoute)

Mthodes

Produit

Matriel

E
X
I
G
E
N
C
E
S

C'est une stratg


de prvention

Environne
ment

Page 0.12

Informations

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Database

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Traitement
statistique

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Comment matriser un procd ?


Mthode B : Une approche base sur le traitement statistique
Par la recherche de la meilleure matrise possible du procd pour
prvenir l'apparition des dfauts
Dans le cadre de la production en srie, il s'agit, en surveillant de :

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prvenir les dysfonctionnements


mesurer les aptitudes des machines et des procds fournir des
produits conformes
combattre la variabilit afin d'obtenir un procd stable dans le
temps

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Comment matriser un procd ?


Mthode B : Une approche base sur le traitement statistique
(suite)
La connaissance des variations des machines et des procds
permet en effet :
d'amliorer et d'affiner les rglages
d'apprhender et de diminuer les drives : la qualit du produit est plus
constante
d'augmenter la performance et la stabilit des machines
d'lever le niveau de qualit des produits

Page 0.14

de faire baisser le cot de non qualit (moins de "scraps", moins de


temps morts, moins de contrles, etc)

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de mieux anticiper la production future en assurant une plus grande


scurit et une meilleure fiabilit du fonctionnement du procd.
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Comment matriser un procd ?


Mthode B : Une approche base sur le traitement statistique
(suite)
Les statistiques (S.P.C.) sont des outils objectifs qui analysent
des faits et des donnes quantitatives.
C'est un langage commun entre les oprateurs de production et les
supports pour analyser les problmes et dfinir les actions
correctives.

Page 0.15

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Pourquoi matriser un procd ?


Parce que de multiples phnomnes viennent influencer la
qualit du produit pendant les oprations inhrentes au
procd.
La variabilit des caractristiques du produit a plusieurs
causes que l'on peut regrouper en 2 catgories :

1 Les causes assignables que l'on peut identifier et sur lesquelles on


2 peut agir
Page 0.16

Les causes alatoires qui regroupent tous les autres phnomnes


caractriss par leur grand nombre, leur influence gnralement faible
et leur indpendance relative.

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Pourquoi matriser un procd ?


Le terme de "matrise statistique" (S.P.C.) exprime le fait
qu'avec des donnes releves pendant l'activit de production
et traites l'aide de techniques statistiques, il est possible de
disposer d'un systme d'information permettant de mettre en
uvre des actions de surveillance et d'amlioration du procd

Page 0.17

et donc du produit.

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Dfinition du S.P.C.
Le S.P.C. est une technique de pilotage des procds associant
des outils statistiques et la manire de les mettre en uvre qui
a pour but :
de matriser l"ensemble des facteurs comportant un procd de
fabrication
d'amliorer la qualit du produit par la suppression de toutes les
causes assignables puis par la rduction des causes alatoires

Page 0.18

de s'assurer que la qualit du produit est conforme aux


spcifications techniques et que cette qualit est reproductible dans
le temps.

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Analyse d'un procd


Les techniques du S.P.C. permettent de rpondre aux questions
suivantes :
Le procd est-il apte fabriquer des produits conformes ?
Si oui, le procd est-il stable et permet-il de maintenir le niveau de
qualit requis ?

Page 0.19

La mise en uvre du S.P.C. permet de connatre le fonctionnement


du procd et facilite la comprhension des phnomnes qui le
caractrisent.

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Ressource et moyens
Ressources mettre en uvre pour une matrise efficace des
procds

Main d'uvre

Matriel
Systme CAM

Formation SPC basique


100 % du personnel

Formation DOE
FMEA pour ingnieurs

Instruments de mesure

Formation oprateurs sur :


Stations de travail
Contrles
Systme CAM
TPM

Responsabilisation des oprateurs


Arrts immdiats
OCAPs

Spcifications de production

Logiciels d'analyse
Analyse d'quipements

Matrise
efficace du
procd
La fabrication est pilote

Steering Committee
Coordinateurs SPC
Locaux et centraux

Travail d'quipe

TOPS : rsolution de problmes

Standards Corporate SPC

DOE-FMEA
Total Productive Maintenance
Page 0.20

Partenariat avec les


fournisseurs
Systmes Poka Yok

Description des mtiers

Le CAM fournit le Control Plan


et le flow chart

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Paramtres d'entre

OCAPs en temps rel,


check-lists sur cran

SPC Champions

Mise en uvre SPC


dans tous les service
Audits Q.A.
Self-audit

Indicateurs SPC dans le MBO


Analyse Engineering et
reporting

Organisation

Mthodes

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Milieu
implication de la
hirachie

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Ressource et moyens
S.T. Microelectronics s'est dot d'un nombre limit de
mthodes pour amliorer les performances , rsoudre et
prvenir les problmes dans le cadre de sa politique TQM dont
le S.P.C.

Page 0.21

Il y a 6 autres mthodes adaptes chaque solution.

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La mthode T.O.P.S.
La mthode T.O.P.S. est utilise pour traiter les problmes
sporadiques :
elle s'attaque aux causes du problme,
elle protge le client des consquences du problme
elle met en uvre les solutions pour faire disparatre le problme
d'un faon dfinitive
elle permet de traiter aussi toutes les causes identifies lors de
l'analyse et qui peuvent crer les mmes effets vus par le client

Page 0.22

T.O.P.S

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La mthode "Contrat fournisseur/client"


Cette mthode est mise en uvre lorsque l'on veut supprimer
un dysfonctionnement inter-groupes (interfaces).
Cette mthode permet d'amliorer l'efficacit globale de travail
par l'identification des besoins rels d'informations, d'actions
et d'engagements entre les groupes
(client / fournisseur).

Page 0.23

Contrat
fournisseur/client

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La mthode FIT
La mthode F.I.T. (Fab Improvment Team) est issue des
dmarches utilises dans la mthode JURAN et dans la
mthode T.O.P.S.
Le concept est simplifi pour permettre tout le personnel
d'une zone de fabrication (de 5 15 personnes) d'tre mobilis
pendant une courte priode (< 4 sances) :
pour traiter un problme

F.I.T.

pour amliorer un processus

Page 0.24

pour amliorer l'efficacit de la zone de fabrication

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La mthode C.E.D.A.C.
La mthode C.E.D.A.C. est mise en uvre lorsque l'on veut
mobiliser toute une quipe et focaliser les suggestions de
chacun sur un objectif.
Cette mthode est applique lorsque l'on souhaite obtenir une
amlioration "brutale" d'un indicateur dans une zone de
fabrication.

Page 0.25

C.E.D.A.C

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La mthode F.M.E.A.
La mthode F.M.E.A. (Failures Modes and Effects Analysis)
permet d'identifer et de quantifier les risques potentiels lis
un "changement".
Cette mthode a pour objectif de proposer et de mettre en
uvre des solutions et/ou amliorations pour en supprimer ou
en limiter les effets.

Page 0.26

F.M.E.A.

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La mthode JURAN
La mthode JURAN dveloppe l'habitude de progresser d'une
faon continue.
C'est une mthode de l'amlioration de la qualit
Cette mthode est mise en uvre pour mettre en vidence et
traiter les problmes chroniques (le Dr JURAN est un des papes de
la qualit aux USA et au Japon).

Page 0.27

JURAN

Septembre 1998

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NEF Sud - Formation SPC

Les donnes
Collecte des donnes
Il est ncessaire d'avoir une mthode prouve pour raliser
des chantillonnages reprsentatifs : c'est le plan
d'chantillonnage.

Si l'chantillonnage est reprsentatif, les rsultats seront valables po


Ces rsultats ne sont pas "absolument certains"
C'est pourquoi, ils sont exprims sous forme de probabilits.

Exemple d'chantillonnage aprs une opration d'oxydation


Page 0.28

Population : tous les wafers sortant du four

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Echantillonnage : 5 mesures sur 4 wafers slectionns = 20 mesures

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Les donnes
Exploitation des donnes
Le S.P.C permet avec :
un minimum de DONNEES
d'avoir un maximum d'INFORMATIONS
condition de raliser un plan d'chantillonnage reprsentatif
de la population.

L'exploitation des donnes en temps rel gnre un maximum d'inform


(oprateurs)

Page 0.29

Les informations permettent de dcider et de raliser des actions

Septembre 1998

Si il y a "action", le corollaire est le risque engendr...

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Chapitre 2

Page 0.30

Techniques de base du SPC

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Process Control Rousset

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Sommaire
L'histogramme

2.3

La loi normale

2.5

les indicateurs

2.7

Dfinitions des limites de contrle

2.8

La carte de contrle

2.9

La carte de contrle de Shewart

2.10

Utilisation de la carte de contrle de Shewart2.12


Limites d"utilisation de la carte de contrle de

Page 0.31

Shewart

Septembre 1998

2.13

Le concept de prvision

2.14

La carte de Roberts

2.15

Construction des prvisions

2.16

Construction des cartes de Roberts

2.17

Fonctionnement des cartes de Roberts

2.18

Les diffrentes cartes de contrle standards2.19


Les cartes normalises

Process Control Rousset

2.21

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L'histogramme
L'histogramme est l'outil de base du SPC .
C'est la reprsentation graphique de la distribution des valeurs
d'une caractristique
pour un chantillon
Causes spciales
"exceptionnelles"

Page 0.32

nombre

Tout phnomne
observable prsente
un certain
degr de variabilit

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Causes
communes
"naturelles"

Valeur mesure
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

L'histogramme
Les distributions peuvent se diffrencier par :
Position

Etendue

Page 0.33

Forme

Septembre 1998

Ou une combinaison des 3...

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

La loi Normale
99,73
%
95,45
%
68,20
%

On dit quune
distribution suit
la loi normale

beaucoup
quand
:

dlments sont
proches de la
moyenne

peu dlments
sont loin de la
moyenne

la courbe obtenue a
X forme
, de
une
cloche

Page 0.34

Septembre 1998

Aire =
1

laire totale = 1

moyenne

valeu
r
mesu
rer

tendue R = 6
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La loi Normale
99,73
%
95,45
%
68,20
%

Quelques formules et dfinitions

Moyenne
X1 + X2 ++Xn
X=
n

Ecart-type
n
chantillon

s=

(Xi - X)

i=1

n-1

Page 0.35

Ecart-type
population

Septembre 1998

(Xi - X)

Ecart-type

moyenne X

valeu
r
mesu
rer

limite de contrle
infrieur LLC
Process Control Rousset

limite de contrle
suprieur ULC
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Les indicateurs

Largeur de spec. Largeur de spec.


Cp
=
Etendue du process
6
=

Indice de capabilit
Cp

Moyenne - target
K =
largeur de spec / 2

Page 0.36

Indice de centrage
K

Septembre 1998

Indice de capabilit corrige


Indique la dispersion et le
centrage du process vis vis de
la spcification

CpK = [1- |K| ]Cp

Dispersion d'un process


/machine

= moyenne

% de hors contrle : indique la capacit


contrler le process
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Page 0.37

Dfinition des limites de contrles

Septembre 1998

Lorsque les causes


spciales ont t
supprimes, la
distribution doit suivre
une loi normale.

On peut alors dfinir


des limites suprieures
et infrieures de
contrle, au-del
desquelles toute
mesure
estLimit
due Control
une ou
LLC : Low
cause
spciale.
Limite
de contrle
infrieur
ULC : Upper Limit
Control ou
Limite de Contrle
Suprieur

LLC

ULC

Limites naturelles ou limites de contrle


Process Control Rousset

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La carte de contrle
Une carte de contrle est la reprsentation graphique des
vnements chronologiques avec des limites hautes et basses
partir de donnes releves pendant la production sur des
chantillons.
vale

vale
ur

ur

UL
C
cibl
e

*
*

* * *

*
*

*
*
* *

LLC

*
*

*
*
temps
= valeur
mesure

Page 0.38

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

La carte de contrle Shewart

La carte de contrle Shewart est base sur


l'chantillonnage.
Elle peut tre trace la main ou fournie par le systme
CAM.
C'est un outil simple mais
efficace qui :

Page 0.39

Septembre 1998

utilise les
limites de
contrles
tablies
statistiquemen
t

dtecte
les
incidents

3
*

ULC
target
LL
C

*
*

Process Control Rousset

permet de
ragir en
temps rel

*
*

NEF Sud - Formation SPC

La carte de contrle Shewart

Il existe 2 types de cartes de contrle SHEWART

Carte de
contrle
des moyennes

X
LL
C

Carte de
contrle
des tendues

ULC

*
*

Page 0.40

*
*

*
X1 + X2 ++Xn
X=
n

ULC

***

Septembre 1998

* *

** *

R = Xmax - Xmin

LLC =
0
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Utilisation de la carte de contrle Shewart

Utiliser la carte de contrle de Shewart pour une


amlioration continue
du process en 3 phases :
Acquisition des donnes

Rassembler les donnes


Tracer sur la carte de contrle
Contrle

(Re)calculer les limites temporaires des


donnes process
Identifier les causes assignables de variation
et ragir pour
viter qu'elles ne se reproduisent

Page 0.41

Analyse et amlioration

Septembre 1998

Quantifier les causes communes de variation


et prendre
les actions pour les rduire
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Limites d'utilisation des cartes de Shewart


Les cartes de contrles doivent servir dtecter lapparition
dun problme
ULC

cible

*
* *

driv
e

ULC
dcala
ge

cible

LLC

LLC

Page 0.42

Dans ce cas, la carte de Shewhart


permet de dtecter le problme

Septembre 1998

* * *
* *

* * *
* * *

Dans ce cas, la carte de


Shewhart ne permet pas de
dtecter le problme

Il faut donc trouver un autre type de carte


Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Le concept de prvision
Grce aux mthodes statistiques, il est possible de prvoir des
tendances futures
avec un bon de prcision :
en se basant sur l'observation du pass,
en se projetant dans le futur
Exemples :
Prvisions mtorologiques
Opinion lectorale

Page 0.43

Etudes de population

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

La carte de Roberts
La carte de Roberts dtecte le dfaut potentiel d'un quipement
avant qu'il ne soit vraiment hors contrle.
Le calcul de prvision utilise la formule suivante :

Z t+1 = 0.4 X t + 0.6 Z t

O :

Z t+1 = valeur de la prvision calcule au


temps t

Xt

= valeur de la mesure faite au

Page 0.44

temps t

Septembre 1998

Cette mthode s'appelle l'EWMA : Exponentially Weighted


Average, Z
= valeur de la prvision calcule au
t
t-1
c'est diretemps
Moyenne
mobile pondre exponentiellement
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Construction des prvisions


Prochaine
prvision

Mesure

0,4 X t

Z t+1

Dernire
prvision
0,6 Z t

Mthodes :

Prsent

Futur

Pass

La dernire prvision Z t dpend de X t et ainsi de


suite EWMA :
Exponatially Moving

Average
Coef.
0,
4

Moyenne mobile pondre


exponentiellement

Page 0.45

Septembre 1998

+
+
X

X
1

t-

X
2

t-

prend en compte 4
mesures

t+1

t-

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Construction des cartes de Roberts


Objectifs :

piger les dcalages de +/- 1,5

dfinir des nouvelles limites


+/- 1,5

agir avant lapparition des


problmes

faire des prvisions sur les


mesures

+
3

ULC

+1.
5

ULP

Xt

#
1.5

Page 0.46

-3

Septembre 1998

Mthodes :

*
+

+
Zt

Zt + 1

* : valeur
mesure

targ
et

+ : valeur

LLP

prvue
:
# * =+

Zt +1 = 0,4 Xt
+ 0,6 Zt
Xt = valeur
mesure
Zt +1 = futur
Zt = pass

LLC
temp
s

Carte de Roberts = carte de Shewhart (mesures) + calcul EWMA


(prvisions)
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Fonctionnement des cartes de Roberts


hors limites de contrle
hors limites de
prvision
ULC

+3

+1.5

Page 0.47

Septembre 1998

* + *
+ #
*

ULP

targ
et

- 1.5

LLP

-3

LLC

Rgle
s:

hors limites de contrle


(Shewhart)
et/o
u
+
hors limites de prvision
Process Control Rousset

Analyse et
Action
NEF Sud - Formation SPC

Les diffrentes cartes de contrles standard (1/2)


UCL

UCL

EWMA
MEAN
EWMA
LCL

LCL
Carte Roberts

Run, Wafer, Etendue, Ecarttype


UCL

UCL
MEAN

Page 0.48

MEAN

Septembre 1998

LCL

LCL

Carte p, np et c

X BAR
Process Control Rousset

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Les diffrentes cartes de contrles standard (2/2)


UCL

Typique
LCL
Multipurpose - 2 limites de
contrle
Warnin

UCL

g
Typique
Typique

Page 0.49

Warnin
g

Multipurpose - 1 limite de

LCL
Multipurpose - 1 limite de
contrle

contrle
Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Les cartes normalises


Principe
1 jeu de cartes unique pour plusieurs paramtres sur un
quipement
(centrage, STD)
Les mesures de diffrentes recettes apparaissent ensemble,
chronologiquement sur la mme carte de contrle
Leur valeur n'est plus la valeur d'origine mais une valeur
"normalise"

Avantages
Beaucoup moins de cartes maintenir
Dtection acclre des drives et problmes

Page 0.50

Problmes lis l'environnement, les quipements, les paramtres


d'entre plutt qu' une recette particulire

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Chapitre 3

Page 0.51

l'expression du besoin la mise en place du

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Sommaire

3.3

Les 10 tapes de la mise en place du SPC

3.4

Revue des limites de contrle d'un carte

3.6

Page 0.52

Expression d'un besoin de SPC

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Expression d'un besoin de SPC


Nouvelle station

Nouveau process
Control Process

Spec
0120724

Spec
0120724

FMEA quipement

FMEA Process

Liste des oprations


de mesure

Liste paramtres

Demande
Demande SPC
SPC meeting
meeting

Critres

Critres

Control Production

Critres

Control Prod.

Cration

oui

SPC

CDI
Check SPC

Cration
Cration
non

Changement sur
demande ingnieur (CDI)

Information
oprateurs

Page 0.53

SPC

Septembre 1998

Spec
0043631

Control Prod.

SPC paramtrage

Spec
0053179

Atelier

Paramtrage

SPC chart

IInformation oprateurs
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Les 10 tapes de la mise en place du SPC


Dterminer comment fonctionne le process

Evaluer les possibilits d'amlioration du process


Slectionner l'quipe d'amlioration du process
Dcrire compltement le process
Identifier les paramtres critiques du process

Page 0.54

1
2
3
4

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Les 10 tapes de la mise en place du SPC


Dvelopper un systme pour contrler et amliorer le process

5
6

Dfinir un plan d'chantillonnage du process


Vrifier la faisabilit (rptabilit et reproductibilit) du

systme
de mesure

Crer un systme de contrle et d'acquisition des

Page 0.55

donnes du process
(cartes de contrle)

Septembre 1998

8
9
10

Etudier la variabilit du process


Dfinir les OCAPs
Revoir priodiquement les limites de contrle

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Revue des limites de contrle d'une carte


Revue automatique

HC

Demande

Mensuel

Journalier

Atelier

Analyse SPC

Atelier

Analyse
TQM group

Demande
SPC

Check

Equipement

Process

CDI

CDI
SPC

Information
OP

Paramtrage

Page 0.56

Control Prod.

Septembre 1998

Information OP

Paramtrage
Modification
Modification
Carte
Carte de
de contrle
contrle
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Chapitre 4

Page 0.57

Les bases de donnes

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Sommaire

4.3

Stratgie IDEA

4.4

Configuration du rseau

4.5

Management des donnes

4.6

Page 0.58

Architecture du systme d'information

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Architecture du systme d'informations


KLA

Workstream

KEITHLEY

SENTRY15 Q2

SPN

ORACLE
KLA
ORACLE

KNIGHTS

SQL ACCESS

FIRMS

IDEA WS
INGRES

ORACLE

IDEA SPN

IDEA PT

SAS ACCESS
STATISTICAL
ANALYSIS

ENGWS ACCESS
DATA
VIEWERS

ORACLE
FIRMS
ORACLE

IDEA EWS

RS1 ACCESS

INSIGHT

Page 0.59

GRAPHICS

ORACLE

INGRES

ITS9000
GENESIS

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Stratgie IDEA
Une architecture commune pour un accs standardis :
Diffrentes sources de process
- donne de process (CAM system : SPN Rousset - WKS pour les
autres sites)
- rsultats de testeurs paramtriques (Keithley /Accutest E.T.)
- rsultats de testeurs l'EWS (Its9000, S15, Q2, Geneis, FTB,
HP83000)
- mesures sur les produits finis (Final Test / Back End)

Page 0.60

Stockage de ces donnes


- garantir l'intgrit des donnes issues de diffrents systmes
- une base de donnes relationnelle de type Ingres nomme IDEA
- des fichiers de type ASCII ou STDF (Standard Test Data Format)

Septembre 1998

Logiciels d'analyse
- manipulation des donnes, outils statistiques, de graphisme, de
corrlation, de control quality, de statistical process control sous SAS
ou RS1
- dveloppement d'applications en corporate ou local
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Configuration du rseau
POPEYE :
HP3000/987SW bi-pro
540 Mbyte RAM
Disk : 16 Gbytes
Logiciel : SPN
NT

BUNNY 2

NOVELL

ROUSS1

BUNNY

Page 0.61

LAVANDE

Septembre 1998

MIMOSA
IDEFIX
(Laurel et Hardy)

OLIVE

SPIROU

CIGALE

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Management des donnes


Les serveurs Laurel (data Fab) et Hardy (data EWS) servent :
stocker toutes les donnes issues de SPN sur un large historique
(18 mois pour les lots et 4 ans pour les quipements)
analyser et stocker les donnes testeurs inconnus de SPN
(ET et EWS sur 3 mois en valeurs dtailles et 1 an en summary)
donner l'utilisateur :
- un outil intgr permettant des slections / extractions / transfert de
donnes
dans un logiciel d'analyse
- un accs direct ces donnes

Page 0.62

utiliser une grande ressource de calcul :


management des standards, recalculs et mise jour sur SPN (cartes
pointes, limites de "low yield", DO, historique... )

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Chapitre 5

Page 0.63

Les outils du SPC

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Sommaire

Les diffrents tats

5.3

Comment lire un tat ?

5.4

Hors contrles

5.5

CpK

5.10

Tches de qualit

5.14

Control Plan

5.17

Cp et Cpk des paramtres critiques

5.24

OCAP

5.26

Analyse des OCAP

5.30

Vrification de la validit des limites de contrle


Page 0.64

5.31

Septembre 1998

Revue des limites de contrle

Process Control Rousset

5.32

NEF Sud - Formation SPC

Les diffrents tats


Les donnes recueillies par le systme SPN permettent
d'obtenir des tats qui constituent des outils de contrle et de
suivi des quipements et du process.
Liste des tats prsents :
HorsCpK

contrles (quipements et lots)

(quipements et lots)

Tches

qualit

"Control
Cp

Plan"

et CpK des paramtres critiques par

Page 0.65

process

Septembre 1998

OCAP

(Out of Control Action Plan)

Revue

de limites de contrle
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Comment lire un tat ?

Nom de l'tat

HORS REGLES SPC EQUIPEMENTS FAB SEMAINE 21

07:35 Friday, May 22, 1998

Page 0.66

DU 20MAY1998:06:30:00

Septembre 1998

Date de
l'impression
de l'tat

Semaine
concerne

OBS

atelier

NBRE DE
RUN
CONTROLES

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12

4BL+G
6DIFD0
6DIFF
6MESU
CVD
GRAV
IMPL
MASK
METAL
S_DIFF
S_I2/M
Total

112
64
244
2
44
257
32
77
120
308
308
952

NBRE DE
RUN HORS
CONTROLES

NBRE DE
RUN HORS
PREVISION

1
6
5
0
0
11
0
6
2
11
3
31

PROCESS CONTROL ROUSSET

0
0
5
0
2
13
2
5
2
5
6
29
J.PINATON

AU

% RUN HORS
CONTROLE

22MAY1998:06:30:00

% RUN HORS
PREVISION

0.9
9.4
2.0
0.0
0.0
4.3
0.0
7.8
1.7
3.6
1.0
3.3
'hc_par_fab_jour.sas'

Process Control Rousset

0.0
0.0
2.0
0.0
4.5
5.1
6.3
6.5
1.7
1.6
1.9
3.0

Jours de la
semaine pris en
compte dans
l'tat

Auteur et
rfrences
informatiques de
l'tat

NEF Sud - Formation SPC

Hors-contrles

Hors contrles sur les quipements

Etat journalier et par semaine

Disponibles pour la fabrication, les facilities et


les micromodules
Exemple : Tableau des rsultats des hors contrles par

Page 0.67

atelier
HORS REGLES

Septembre 1998

OBS

atelier

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12

4BL+G
6DIFD0
6DIFF
6MESU
CVD
GRAV
IMPL
MASK
METAL
S_DIFF
S_I2/M
Total

SPC EQUIPEMENTS FAB SEMAINE 21

NBRE DE
RUN
CONTROLES
112
64
244
2
44
257
32
77
120
308
308
952

07:35 Friday, May 22, 1998

DU 20MAY1998:06:30:00

AU

NBRE DE
RUN HORS
CONTROLES

% RUN HORS
CONTROLE

NBRE DE
RUN HORS
PREVISION

1
6
5
0
0
11
0
6
2
11
3
31

PROCESS CONTROL ROUSSET

0
0
5
0
2
13
2
5
2
5
6
29
J.PINATON

Process Control Rousset

22MAY1998:06:30:00
% RUN HORS
PREVISION

0.9
9.4
2.0
0.0
0.0
4.3
0.0
7.8
1.7
3.6
1.0
3.3

0.0
0.0
2.0
0.0
4.5
5.1
6.3
6.5
1.7
1.6
1.9
3.0

'hc_par_fab_jour.sas'
NEF Sud - Formation SPC

Hors-contrles

Hors contrles sur les quipements

Exemple : Dtail des hors contrles sur l'atelier 6DIFF

HORS REGLES SPC EQUIPEMENTS FAB SEMAINE 21

Type de carte
de contrle

Nom de l'atelier

07:35 Friday, May 22, 1998


DU 20MAY1998:06:30:00

AU 22MAY1998:06:30:00

----------------------------------------------- atelier=6DIFF -------------------------------------------------EQPT

8
9
10
11
12
13
14
15
16
17

6BAIEDIF
6BAIEDIF
6CFM
6CFM
6CFM
6OXWSI
6EPAIS
6EPAIS
6WATKINS
6WATKINS

STATION
6B2
6B2
6CFM1
6CFM1
6CFM1
6F14
6F66
6F68
6WJ1
6WJ4

ENG_CODE
6TS
6TS
6VA
6VA900
6VA900
6QOX
6TS
6TS
6B03WATK
6PBPSG66

FLG_CPK
Y
Y
K
Y
Y
K
Y
Y
K
K

DATE
21MAY1998:18:02:59
22MAY1998:04:04:14
20MAY1998:11:41:50
22MAY1998:03:29:14
22MAY1998:06:01:20
20MAY1998:12:49:47
22MAY1998:05:36:55
21MAY1998:18:02:28
20MAY1998:08:20:27
20MAY1998:19:55:40

Page 0.68

OBS

Septembre 1998

CHART1

CHART2

RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW

RVCN
RVCN
RVCN
RVCN
RVCN
RVCN
RVCN
RVCN
RVCN
RVCN

OUT_CTR1

OUT_CTR2

Aa
UA
UA
UA

U
U
U

Aa
Ua
UA
LH

HC
1
2
1
2
2
1
1
1
2
2

Type de hors
contrle
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Hors-contrles

Hors contrles sur les lots

Etat journalier et par semaine

Disponibles pour la fabrication, l'EWS, les facilities et


les micromodules
Exemple : Tableau des rsultats des hors contrles par
atelier
LISTE DES HORS CONTROLES PAR ATELIER:GRAVURE /DIFFUSION.......
RUN HORS REGLES SPC FAB SEMAINE 21

Page 0.69

07:41 Monday, May 25, 1998 50


DU 16MAY98:06:30:00
AU 23MAY98:06:30:00
NBRE DE
RUN
CONTROLES

NBRE DE
RUN HORS
CONTROLES

NBRE DE
RUN HORS
PREVISION

NBRE DE
RUN NON
CONTROLE

%RUN HORS
CONTROLE

%RUN HORS
PREVISION

%RUN
NON
CONTROLE

OBS

ATELIER

1
2

PHOTO
GRAVU

3539
2942

17
53

28
81

17
88

0.5
1.8

0.8
2.8

0.5
3.0

DIFFU

2115

0.3

0.2

0.4

D0

278

49

27

17.6

9.7

0.4

MET_I

1592

10

0.4

0.6

0.2

TOTAL

10466

132

151

118

1.3

1.4

1.1

PROCESS CONTROL ROUSSET


Septembre 1998

J.PINATON

Process Control Rousset

(hc_run_fab_sem.sas)
NEF Sud - Formation SPC

Hors-contrles

Hors contrles sur les lots

Nom de l'atelier

Exemple : Dtail des hors contrles sur l'atelier Diffusion


LISTE DES RUN HORS REGLES SPC FAB

07:41 Monday, May 25, 1998

53

----------------------------------------------AT=DIFFUSION -------------------------------------------------

Page 0.70

OBS

Septembre 1998

operation

parameter

prod_stat

chart1

out_typ1

date

lot

product

77
78

RBPSG65
RBPSG65

EPPROD
EPPROD

6WJ3
6WJ4

RVCN
RVCN

U
U

17MAY1998:23:50:46
22MAY1998:02:55:50

M816456P
M819176P

C906XXXY
C906XXXY

79

RCONTA15

D0

6LASER2

RCMW

Aa

20MAY1998:10:22:37

M821588

C963XXXA

80

ROXEP66

EP

6F63

TRND

LH

17MAY1998:03:50:44

M820348

V311XXXA

81

ROXEP66

EP

6F63

TRND

LH

17MAY1998:03:55:50

M820361

VS33AXXX_W

82

ROXGR77

EP

6F80

TRND

LH

19MAY1998:01:05:40

M820334

VS33AXXX_W

83

ROXIN67

EP

6F76

WVMW

20MAY1998:07:02:57

M820455

V906XXXY

84

ROXIN67

EP

6F76

WVMW

20MAY1998:07:02:57

M821495

VS33AXXX_Y

85

RPDOP69

V/I

6F59
ENG-CODE

TRND

UA

20MAY1998:23:06:28

M819151

C201XXXD

86

RPDOP69

V/I

6F59

TRND

UA

20MAY1998:23:06:28

M820337

VS33AXXX_Y

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Hors-contrles

Hors contrles sur les lots


Exemple : Visualisation graphique des hors contrle sur
les lots
100 % 100 %

9
8
R
u
n
s

6
42 %

5
h
o
r
s
S
P
C

Pour la station 6B20


5 runs sont hors contrles.
Ces 5 runs reprsentent 42 % des contrles
effectus

70 %

4
75 % 75 %

40 % 33 % 50 % 50 %

2
7 % 6 % 33 % 50 % 25 % 20 %

6F52

6F51

6F16

6CENT1

6B5

6B10

6MRC1

6GENUS1

6F26

6F23

6F28

6F27

6B20

6MRC4

6MRC5

6F25

Page 0.71

Prod_stat
Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

CpK

CpK sur les quipements

Etat mensuel

Disponibles pour la fabrication, les facilities et les

micromodules
Exemple : Liste des CpK par atelier
ALL
:
BRUT
:
CRITIQUE :

1
1
1

MESURE
MESURE
MESURE

FLAG
FLAG
FLAG

Choix des
tats

"N" et " " et "Y" et "K" et "C"


" " et "Y" et "K" et "C"
"K" et "C"
LISTE
LISTE
LISTE
LISTE

Tableau des rsultats

Nbr de

Page 0.72

atelier

Septembre 1998

CPK

Contenu des
tats

DES
DES
DES
DES

EPR500

CpK PAR ATELIER : GRAVURE /DIFFUSION/IMPLANT


CpK PAR ATELIER < 1.33
CpK PAR ATELIER < 1
DECENTRAGES > 1SIGMA
Indicateurs CPK

'PF05'

du
au

98 / 04 / 05
98 / 05 / 02

Nbr de

% CPK

Nbr de

Nbr de

Nbr de
CPK >

% CPK

Nbr de

% CPK

CPK < 1

< 1

1<CPK<1.33

1<CPK<1.33

1.33<CPK<2

1.33<CPK<2

1.33

> 1.33

CPK > 2

> 2

100.0

100.0

4BL+G

6DIFF

174

16

9.2

5.2

24

13.8

149

85.6

125

71.8

41

0.0

4.9

19.5

39

95.1

31

75.6

33.3

66.7

44

4.5

6.8

42

95.5

154

2.6

5.2
Process Control Rousset

21

13.6

142

92.2

6GEN
6MESU
CVD
GRAV

.
39

.
88.6

121
78.6
NEF Sud - Formation SPC

CpK

CpK sur les quipements


RP :nb de runs processs
RC : nb de runs contrls
RO : nb de runs hors
contrles

Exemple : Dtail des CpK pour l'atelier Implantation


EPR500

Liste des CPK

'PF05'
du
au

98 / 04 / 05
98 / 05 / 02

14

------------------------------------------------------ atelier=IMPL -------------------------------------------------------

Page 0.73

TYPE_EQ flag_cpk PARAM


RC

Septembre 1998

6IMPFC
17
6IMPFC
6
6IMPFC
1
6IMPTC
23
6IMPTC
12
6IMPTC
5
6IMPTC
15
6IMPTC
8
6IMPMC
17
6IMPMC
13
6IMPMC
8
6IMPMC

DESCRIPTION

STATION

TARGET

MEAN

SIGMA

CP

CPK

RP

RO

999999

3.07

17

-0.08

1.58

6D5IMPFC D0 IMPL FORT FLUX 0.3um

6II1

18.00

10.68

9.91

6I15A050 IONSCAN ARSENIC 1E15 50Kev

6II1

1.00

0.99

0.04

6I15P050 IONSCAN PHOS 1E15 50 Kev

6II1

1.00

0.99

-0.06

6D3IMPTC D0 IMPLANTEUR

6II10

50.00

56.17

47.45

999999

1.27

23

6P13B025 PROMT.BORE 6.5 E13 25Kev

6II10

980.00

982.50

12.68

2.63

0.02

2.56

12

6P15A050 PROMETRIX ARSENIC 1E15 50Kev

6II10

107.00

108.45

0.60

7.78

0.10

6.98

6P15B035 PROMETRIX BORE 1.5 E15 50Kev

6II10

60.50

61.98

0.68

4.89

0.15

4.17

15

6P15P050 PROMETRIX PHOSP 1E15 50Kev

6II10

70.50

72.33

0.35

9.60

0.18

7.84

6D3IMPMC D0 IMPL MOYEN FLUX 0.3um

6II2

20.00

17.18

30.06

999999

1.42

17

6I12P160 IONSCAN PHOS 3.9E13 160Kev

6II2

3.90

3.82

0.06

2.23

-0.19

1.80

13

6I13B025 IONSCAN BORE 6.5E13 35Kev

6II2

6.50

6.39

0.06

3.69

-0.18

3.03

6D3IMPMC D0 IMPL MOYEN FLUX 0.3umProcess Control


6II3
Rousset

20.00

9.42

10.02

4/W

1.70

999999

4.51
1
NEF Sud13
- Formation
SPC

CpK

CpK sur les lots

Etat mensuel

Disponibles pour la fabrication, les facilities et les


Contenu des
tats

Choix des tats

micromodules
Exemple : Dtail des CpK par
atelier
ALL
:
BRUT
:
CRITIQUE :

1
1
10

RUN
RUN
RUN

FLAG
FLAG
FLAG

"N" et " " et "Y" et "K" et "C"


" " et "Y" et "K" et "C"
"K" et "C"

LISTE
LISTE
LISTE
LISTE
Tableau des rsultats

ENR901
Nombre de stations:

Nbr de

Page 0.74

atelier

Septembre 1998

Nbr de

% CPK

Nbr de

DES
DES
DES
DES

CpK PAR ATELIER : GRAVURE /DIFFUSION/IMPLANT .


CpK PAR ATELIER < 1.33
CpK PAR ATELIER < 1
DECENTRAGES > 1SIGMA

Analyse des CPK

562

du 98 / 04 / 05
au 98 / 05 / 02

Nombre de runs:
%

CPK

CPK < 1

< 1

1<CPK<1.33

1<CPK<1.33

35

2.9

14.3

4BL+G

10

6DIFF

166

1.8

6GEN

19

CVD

46

17345

Nbr de
1.33<CPK<2

%
1.33<CPK<2

Nbr de
CPK >

% CPK

Nbr de

1.33

> 1.33

CPK > 2

% CPK
> 2

21

60.0

29

82.9

22.9

20.0

10

100.0

80.0

20

12.0

61

36.7

143

86.1

82

49.4

19

100.0

19

100.0

4.3

17

37.0

44

95.7

27

58.7

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

CpK

CpK sur les lots

Exemple : Dtail des CpK pour l'atelier 6DIFF


ENR901

Analyse des CPK

du
au

98 / 04 / 05
98 / 05 / 02

----------------------------------------------------- atelier=6DIFF
-------------------------------------------------------

Page 0.75

OPER

Septembre 1998

RBPSG60
13
RBPSG60
12
RBPSG62
232
RBPSG62
178
RBPSG65
93
RBPSG65
125
RBPSG67
11
RCONTA15
637
RDIEL61
182
RDIEL61
13
RDIEL62
69
RDIEL65
68
RDIFC61
28
RDIFC61

cpk_flag

DESCRIPTION

ENG_CODE

STATION

TARGET

MEAN

SIGMA

CP

CPK

RP

RO

RC

D. RBPSG60

EPPROD

6WJ3

8650.00

8751.49

165.38

3.49

0.06

3.28

13

D. RBPSG60

EPPROD

6WJ4

8650.00

8718.78

157.00

3.67

0.04

3.53

12

D. RBPSG62

EPPROD

6WJ3

8000.00

7972.05

152.52

3.50

-0.02

3.44

232

D. RBPSG62

EPPROD

6WJ4

8000.00

7980.11

160.42

3.32

-0.01

3.28

178

D. RBPSG65

EPPROD

6WJ3

7700.00

7649.39

150.58

3.41

-0.03

3.30

93

D. RBPSG65

EPPROD

6WJ4

7700.00

7723.99

167.78

3.06

0.02

3.01

125

D. RBPSG67

EPPROD

6WJ4

8400.00

8485.77

146.56

3.82

0.05

3.63

11

D. RCONTA15

D0

6LASER2

6.00

3.08

2.55

999999

4.05

650

D. RDIEL61

EPPROD

6WJ1

7800.00

7719.46

232.92

2.23

-0.05

2.12

182

D. RDIEL61

EPPROD

6WJ4

7800.00

7498.96

216.15

2.41

-0.19

1.94

13

D. RDIEL62

EPPROD

6WJ1

8000.00

8271.45

327.28

1.63

0.17

1.35

69

D. RDIEL65

EPPROD

6WJ1

6000.00

6033.46

198.82

2.01

0.03

1.96

68

D. RDIFC61

V/I

6F59

2.50

2.37

0.27

1.83

-0.09

1.67

28

D. RDIFC61

V/I

6F62

2.35

0.43

1.15

-0.10

Sud - Formation
SPC
1.04 NEF20
2

Process Control Rousset


2.50

Tches de Qualit
L'tat des taches de qualit correspond au planning des contrles
Etat journalier et par semaine
effectuer

Disponibles pour la fabrication, l'EWS, les facilities et


les micromodules

Contrles effectuer jeudi par l'quipe


4
LISTE DES TACHES DE QUALITE PAR ATELIER:GRAVURE /DIFFUSION.......
PLANNING TACHE DE QUALITE

15:53 Friday, May 15, 1998

Page 0.76

------------------------------------------------------ ATE=D ------------------------------------------------------------------

Septembre 1998

STATION

ENG_CODE MON1 MON2 MON3 TUE1 TUE2 TUE3 WED1 WED2 WED3 THU1 THU2 THU4 FRI1 FRI2 FRI4 SAT5 SAT4 SUN5 SUN3 SUN4 OPTIONS

6B1
6B1
6B1
6B1
6B1
6B125
6B125
6B126
6B126
6B2
6B2
6B2
6B2
6B2
6CFM1
6CFM1
6CFM1
6CFM1
6CFM1
6CFM1

6D0
6LD
6NSC
6TS
6VA
6D0
6VA
6B126PO
6D0
6D0
6LD
6NSC
6TS
6VA
6BLD
6D0
6LD
6NSC
6TS
6VA

.
.
1
1
1
.
.
.
.
.
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1
.
1
1
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1

1
1
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1
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1
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1
1
1
1
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1
1
1
1
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1
1
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1
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1
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1
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1
1
1
1
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1
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1
1
1
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1
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1
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1
1
1
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1
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1
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1
1
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1

1
1
1
1
1
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1
1
1
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1
1
1
1
1
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1
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1
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1
1
1
.
.
.
.
1
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.
1
.
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.
.
.
.

Process Control Rousset

.
1
.
.
1
.
.
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1
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1
1
1
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1
1
1
1
.
1
1
1
1
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1
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1
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1
1
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1
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1
1
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1
1
1
1
1
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1
1
1
1
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1
1
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.

1
1
1
1
1
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1
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1
1
1
1
1

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1
1
1
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1
1
1
1
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1
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1
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1
.
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1
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1
1
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1
1
1
.
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1
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1
.
1
1
.
.
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.
.
.
.
1
1
1
.
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1
.
.
1
.
1
1
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.
.
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.
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.
.
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.
.

NEF Sud - Formation SPC

Tches de Qualit
Etat rsumant les rsultats des contrles effectus par atelier

TACHES DE QUALITE FAB DE SEMAINE 21


06:50 Monday, May 25, 1998

Page 0.77

OBS

Septembre 1998

ATELIER

THEORIQUE

MANQUANT
CORRIGE

%
CORRIGE

D0

110

-4

96.364

DIFFUSION

663

-17

97.436

GRAVURE

1185

-14

98.819

I2/METAL

675

-7

98.963

PHOTO

692

-6

99.133

QA

45

100.000

SGS THOMSON

PROCESS CONTROL

ROUSSET

Process Control Rousset

30

pinaton/tq_fab_sem.sas
NEF Sud - Formation SPC

Tches de Qualit
Etat du dtail des taches de qualit effectues dans un atelier

Exemple : Dtail du contrle des taches de qualit effectus en semaine 21 par


l'atelier de diffusion

Page 0.78

TACHES DE QUALITE FAB SEMAINE 21

Septembre 1998

06:50 Monday, May 25, 1998

40

----------------------------------------------- ATEL=DIFFUSION ------------------------------------------(continued)


NON
OBS EQUIPE STATION
PARAMETRE FAIT COMMENT
Ch.1 Ch.2 HC.1 HC.2 FAIT DELTA
267
MON3
6MERC1
6VA
"
0
-1
268
MON3
6MERC2
6D0
"
0
-1
269
MON3
6MERC2
6LD
Pb EP10
0
-1
270
MON3
6MERC2
6NSC
Pb EP10
0
-1
271
MON3
6MERC2
6TS
Pb EP10
0
-1
272
MON3
6MERC2
6VA
"
0
-1
273
MON3
6RTP4
6VIRTA21
Pb EP10
RCMW
Aa
0
-1
274
MON3
6TITAN1
6NSC
"
0
-1
275
MON3
6TITAN1
6TS
Pb EP10
0
-1
276
MON3
6WJ3
6BBPSG65
Pb EP10
RVCN
U
0
-1
277
MON3
6WJ3
6PBPSG65
"
0
-1
278
FRI4
6B2
6NSC
IC
0
-1
279
FRI4
6B2
6TS
IC
0
-1
280
THU4
6CFM1
6NSC
X
0
-1
281
THU4
6CFM1
6TS
X
0
-1
282
SAT4
6F23
6D0
MQP
0
-1
283
SAT4
6F29
6D0
SM
0
-1
284
THU4
6F66
6D0
Fait le 15/05/98
0
-1
285
THU4
6F66
6EPCV
Fait le 15/05/98
0
-1
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan

Process Control Plan

Etat qui permet de visualiser les tapes de fabrication d'un


process
Exemple : Page 1 - Fiche d'identification du process
PROCESS

PROC_FAM

C5H01#6

5SHDM

FLW_CHRT

Key Contact/Phone

Date (orig.)

Date (rev.)

Edition Date (m/d/y)

5 / 27 / 1998
Core Team

C5H28#6
FLOW_REV
PART

Supplier / Plant Approval / Date

Customer Quality Approval / Date

Other Approval Date

Other Approval / Date

C753XXXY
DESCRIPT

C716XXXB C753XXXA

Page 0.79

DEPT

Septembre 1998

PF06

ROUSSET
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan

Process Control Plan

Page 0.80

Exemple : Page 2 - Glossaire

Septembre 1998

LOC : LOCATION
OPER.: OPERATION
TYP : TYPE OF OPERATION
PRO : PRODUCTION STEP
RUN : SPC STEP BY RUN
MES : SPECIFICATION CHECK BY LOT
LOC_DESC : DESCRIPTION OF THE LOCATION
SQNO : SEQUENCE NUMBER IN THE LOCATION
ENG : ENG_CODE, TYPE OF MESURE
LIB_OPER : DESCRIPTION OF THE OPERATION
CR : CRITICITY OF THE MEASURE
K : KEY CHARACTERISTIC FOR SPECIFIC REPORTING
C : KEY CHARACTERISTIC
Y : NON KEY CHARACTERISTIC, STANDARD
SPEC_MIN : MINIMUM SPECIFICATION VALUE
SPEC_MAX : MAXIMUM SPECIFICATION VALUE
TARGET : SPECIFICATION TARGET
LLC : LOWER LIMIT CONTROL
ULC : UPPER LIMIT CONTROL
NCL : NON-CONFORMING LOT CATEGORY
NB_WAFER : NUMBER OF MEASURED WAFERS BY RUN
NB_SITES : NUMBER OF MEASURES BY WAFER

CHARTS : CONTROL CHARTS TYPE


RCMN : TREND CHART
RCMW : CONTROL CHART ON MEAN
WVMW : CONTROL CHART ON DELTA RUN
RVCN : CONTROL CHART RANGE RUN
OCAP : OUT OF CONTROL ACTION PLAN
LO : LOCK OPERATION IN CASE OF OUT OF CONTROL
CT : COMMENT REQUERED, MANDATORY TO UNLOCK A LOT IN CASE OF OUT
OF CONTROL
REQ : INDICATES IF THE MEASURE IS REQUIRED
HOLD : INDICATES IF THE CHART HOLDS THE LOT

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan

Process Control Plan

Exemple : Page 3 - Dtail des tapes de fabrication

TYP
MES
MES
PRO
RUN
PRO
PRO
RUN
RUN
MES
PRO
RUN
RUN
MES
PRO
RUN
PRO

LOC_DESC
MARQUAGE LASER15
MARQUAGE LASER15
MARQUAGE LASER 15
MARQUAGE LASER 15
OX INITIAL..15
OX INITIAL..15
OX INITIAL..15
OX INITIAL..15
OX INITIAL..15
DEPOT NITRURE..15
DEPOT NITRURE..15
DEPOT NITRURE..15
DEPOT NITRURE..15
DEPOT NITRURE..15
DEPOT NITRURE..15
INSP.INSPEX. 15

SQNO
0010
0010
0015
0020
0005
0010
0020
0020
0030
0010
0020
0020
0030
0050
0060
0010

ENG
RES.MAX
RES.MAX

LIB_OPER
CR
MARQ: 6SMP1420 Plaq.P _ 1.7 2.5
MARQ: 6SMP1420 Plaq.P _ 1.7 2.5

SPEC_MIN
2.500E+00
2.500E+00

SPEC_MAX TARGET LLC


ULC
NCL NB_WAF NB_SITES CHARTS OCAP LO CT REQ HOLD
2.500E+00
0.000E+00 2.500E+00 2.500E+00 ohms
0
0
X
x
2.500E+00
0.000E+00 2.500E+00 2.500E+00 ohms
0
0
X
x

DO

0.000E+00

3.400E+01

6.000E+00

K
N

1.800E+02
2.672E+01
1.800E+02

2.200E+02

2.000E+02 1.820E+02 2.180E+02 A

2.200E+02

0.000E+00 1.820E+02 2.180E+02 A

MRB 0

0.000E+00
7.650E+02
7.650E+02

5.000E+01
1.035E+03
1.035E+03

0.000E+00
NBRE
9.000E+02 8.370E+02 9.630E+02 A
0.000E+00 8.370E+00 9.630E+02 A

4
3
MRB 0

1
3
0

TRND
TRND

0.000E+02

5.000E+01

2.000E+00

TRND

RCMW

RCMW Y

TRND Y

920C/52mn/02/02, TCA/N2
TI
EP

TRND

850C LPCVD
DOCN
EP
EP

N
K

DOCN

NBRE

TRND Y
TRND Y

Y
Y
X

Page 0.81

LOC OPER
0110 MARQ.1
MARQ.1
LASER
RCONTA15
0120 NETC105
OXIN67
ROXIN67
ROXIN67
MOXIN67
0130 NITR64
RNITR64
RNITR64
MNITR64
NETC103
RNITRDO
0133 INSPEX

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan
Lien entre Opration et Equipement

Etat qui permet de visualiser sur quels quipements sont


ralises des diffrentes oprations d'un process

OPERATION, EQUIPMENT AND WORKSTATION ON PROCESS C5SH01#6"


17:11 Wednesday, may 27
OPER
#C5S000

EQPT

WORKSTATION

eqpt-id

6HITACHI
6HITACHI
6HITACHI

6SEM1
6SEM2
6SEM3

6SEM1
6SEM2
6SEM3

6HITACHI
6HITACHI
6HITACHI

6SEM1
6SEM2
6SEM3

6SEM1
6SEM2
6SEM3

6HITACHI
6HITACHI
6HITACHI

6SEM1
6SEM2
6SEM3

6SEM1
6SEM2
6SEM3

6DNS
6DNS
6DNS

6CD12
6CD15
6CD16

6CD12
6CD15
6CD16

#C5S100

#C5S1000

Page 0.82

1256355

Septembre 1998

.
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan

Equipment Control Plan

Etat qui permet de visualiser les quipements d'un process

Page 0.83

Exemple : Page 1 - Fiche d'identification de l'quipement

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan

Equipment Control Plan

Page 0.84

Exemple : Page 2 - Glossaire

Septembre 1998

EQPT : EQUIPMENT
STAT_DESC : STATION DESCRIPTION
PARAMETER : MEASURED PARAMETER
PARAM _ DESC : MEASURED PARAMETER DESCRIPTION
NB_MEASUR : NUMBER OF MEASURE
FREQ : FREQUENCY OF THE MEASURE BY WEEK
CR : CRITICITY OF THE MEASURE
K : KEY CHARACTERISTIC FOR SPECIFIC REPORTING
C : KEY CHARACTERISTIC
Y : NON KEY CHARACTERISTIC, STANDARD
N : NON SIGNIFICANT
CHARTS : CONTROL CHARTS TYPE
RCMN : TREND CHART
RCMW : CONTROL CHART ON MEAN
WVMW : CONTROL CHART ON DELTA RUN
RVCN : CONTROL CHART RANGE RUN
LLC : LOWER LIMIT CONTROL
MEAN : CONTROL LIMIT CENTRE
ULC : UPPER LIMIT CONTROL
OCAP : OUT OF CONTROL ACTIO PLAN
ATELIER : WORKSHOP
STATUS : STATUS IN CASE OF OUT OF CONTROL
PROCEDURE : PROCEDURE IN CASE OF OUT OF CONTROL
Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Control Plan

Equipment Control Plan

Page 0.85

Exemple : Page 3 - Dtail des quipements d'un process

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Cp et CpK des paramtres critiques par process

Rcapitulatif des pourcentages

REPARTITION DES CP et CPK DIFFUSION

Nbr de
CPK
117

Nbr de
CPK < 1
16

Nbr de
CPK
> 1.33

13.7

ROUSSET

84

% CPK
> 1.33
71.8

Nbr de
CPK
> 1.5
1.5

J.PINATON

% CPK
> 1.5
66.7

Nbr de
CPK > 2
48

% CPK
> 2
41

'cp_cpk_fab.sas'

Page 0.86

PROCESS CONTROL

% CPK
< 1

du : 15 MAY 1998 : 00:00:00 au 22 may :00

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

CpK des paramtres critiques par process

Dtail par opration


Exemple : Dtail par opration pour l'atelier de
Diffusion
REF : SPEC UDCS 0055897

CP ET CPK DES PARAMETRES CRITIQUES DIFFUSION


du 15 MAY 1998 :00:00:00 au 22 MAY 1998 :00:00:00

C754XXXZ
C5E11#6
operation

Page 0.87

RCONTA15
RDSOGO1
RDSOGO2
RNITR61
RNITR64
RNITR65
RNSG621
ROXCS72
ROXEP66
ROXEP71
ROXGR74
ROXGR75

Septembre 1998

SGS THOMSON

C963XXXA
C5H22#6

parameter

CP

EPX-EPX
EPX-EPX
EPX-EPX
EP
EP
EP
EPPROD
EP
EP
EP
EP
EP

2.24765
2.07973

0.39816
1.88144

1.23484
2.96966

0.98546
2.93708

2.96966

2.93708

1.60489
1.05828
1.71143

1.57818
1.03065
1.70723

1.05828
1.71143

1.03065
1.70723

1.27165

1.08278

1.27165

1.08278

PROCESS CONTROL

CPK

CP

C717XXXA
C5SF02#6

2.24765

ROUSSET

CPK

CP

0.39816

2.24765

C753XXXY
C5SH01#6
CPK
0.39816

2.93966
4.86680
1.60489
1.05828

2.93703
4.44603
1.57818
1.03065

1.25752

1.11720

1.03871

0.79827

CP

CPK

2.24765

0.69816

1.79536

1.44796

2.96966
4.86680
1.60489
1.05828

2.93708
4.44603
1.57818
1.03065

'cp_cpk_fab.sas'

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

OCAP (Out of Control Action Plan)

OCAP sur les quipements (actions en cas de hors de contrles)

Etat mensuel

Disponibles pour la fabrication et les facilities


Exemple : Tableau des ralisation d'OCAP
par atelier
LISTE DES OCAP PAR ATELIER:GRAVURE /DIFFUSION.......
EVALUATION DU NOMBRE OCAP POTENTIELS EP10

du : 04 MAI 1998
14:52 Monday, May 4, 1998

Page 0.88

OBS

Septembre 1998

atelier

Nombre
Realise

Total
Atelier

% Realise
/ Atelier

4BL+G

39

43

90.698

6DIFF

41

86

47.674

6GEN

67

13.433

6MESU

33

6TEST

CVD

76

80

95.000

DIFF

100.000

GRAV

97

146

66.438

Process Control Rousset

Nombre d'OCAP
raliss

NEF Sud - Formation SPC

OCAP (Out of Control Action Plan)

OCAP sur les quipements (actions en cas de hors de contrles)

Exemple : Dtail des OCAP pour l'atelier


6DIFF

EVALUATION DU NOMBRE OCAP POTENTIELS EP10

14:52 Monday, May 4, 1998

du : 04 MAI 1998

Page 0.89

------------------------- atelier=6DIFF --------------------------

Septembre 1998

OBS
44

DEPT
PF06

EQPT
6ADDAX

ENG_CODE
6D0

CHART1
RCMW

CHART2

REAL
1

45

PF06

6ADDAX

6EP614

RCMW

RVCN

46

PF06

6ADDAX

6EP615

RCMW

47

PF06

6ADDAX

6VIRTA15

RCMW

RVCN

48

PF06

6ADDAX

6VIRTA21

RCMW

RVCN

49

PF06

6ALLOY

6D0

RCMW

RVCN

50

PF06

6AST

6D0

RCMW

51

PF06

6AST

6EP614

RCMW

52

PF06

6AST

6EP615

RCMW

53

PF06

6AST

6VIRTA15

RCMW

RVCN

54

PF06

6AST

6VIRTA21

RCMW

RVCN

1 = OCAP ralise
- = OCAP non
ralise

1
1

1
RVCN

1
1

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

OCAP (Out of Control Action Plan)

OCAP sur les lots (actions en cas de hors de contrles)

Etat mensuel

Disponibles pour la fabrication (1 tat spar pour


chaque atelier)

Exemple : Tableau des ralisations des OCAP


par atelier
1 ETAT

SEPARE POUR CHAQUE ATELIER :GRAVURE /DIFFUSION.......

Resume OCAP OL10 par atelier du : 04 MAI 1998

Page 0.90

14:52 Monday, May 4, 1998 149

Septembre 1998

Nombre
Realise

Total
Atelier

% Realise
/ Atelier

AREA

atelier

PF06

4BL+G

12

20

60.0000

PF06

6DIFF

1444

2909

49.6391

148

6GEN

PF06

CVD

343

552

62.1377

PF06

GRAV

1106

2968

37.2642

PF06

MASK

16784

26317

63.7763

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

OCAP (Out of Control Action Plan)

OCAP sur les lots (actions en cas de hors de contrles)


Exemple : Liste des OCAP par atelier

OCAP POTENTIELS OL10 METAL du : 04 MAI 1998


14:52 Monday, May 4, 1998 151

Page 0.91

------------------ atelier=CVD -----------------------

Septembre 1998

STATION

ENG_CODE

OPER

CHART

6CVD1

EPOX

EPOXCVD5

RCMW

6CVD1

EPOX

EPOXCVD5

RVCN

6CVD1

EPOX

GRAVCVD

RCMW

6CVD1

EPOX

GRAVCVD

RVCN

6CVD1

EPOX

R4S3100

RCMW

6CVD1

EPOX

R4S3100

RVCN

6CVD1

EPOX

R4S3S00

RCMW

6CVD1

EPOX

R4S3S00

RVCN

6CVD1

EPOX

R4SS100

RCMW

6CVD1

EPOX

R4SS100

RVCN

6CVD1

EPOX

R4SSS00

RCMW

6CVD1

EPOX

R4SSS00

RVCN

6CVD1

EPOX

R5SF100
RCMW
Process Control Rousset

FAIT

NEF Sud - Formation SPC

Analyse des OCAP

Suivi des changements de statuts et commentaires sur les


quipements

The SAS System


08:11 Monday, May 25, 1998

21

---------------------------------------------- atelier=6GEN eqpt=6BAIE


-------------------------------------------------(continued)

Page 0.92

STATION

Septembre 1998

ENG_CODE

HC

DATE

OSTATUT

STATUT

COMMENT

6B20

22MAY1998:10:37:31

D0 OK A 115 PARTICULES.

6B20

22MAY1998:11:01:01

D0 OK.

6B20

22MAY1998:20:40:32

6B20

22MAY1998:20:45:34

6B20

22MAY1998:22:28:23

D0 OK 38 PART.

6B20

23MAY1998:06:54:12

CHGT BAC 1 OK.

6B20

23MAY1998:20:33:11

CHGMNT DE BAIN EN COURS.

6B20

23MAY1998:20:46:41

BAIN OK ATTENTE TP POUR D0.

6B20

23MAY1998:22:41:42

D0 OK 41PART.

6B20

24MAY1998:11:02:01

CHGT DES BAINS EN COURS....

6B20

24MAY1998:12:14:18

DOEN COURS .

6B20

24MAY1998:12:53:13

Process Control Rousset

DOOK.

EMPLOYE

NEF Sud - Formation SPC

Vrification de la validit des limites de contrle

Cet tat compare les valeurs des limites associes la carte


de contrle et les limites calcules partir des donnes
enregistres.
Toute diffrence significative entre les limites de rfrence et
les limites mesures est reporte sur cet tat.
Les limites sont calcules en utilisant les donnes recueillies
aprs le dernier changement de limites.

Page 0.93

Il faut au moins 30 valeurs pour calculer les nouvelles limites.

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Revue des limites de contrle

Revue des limites de contrles sur les quipements

Etat mensuel

Disponibles pour la fabrication, l'EWS, les facilities et le


micromodule

Exemple : Tableau rcapitulatif du nombre des cartes


contrler
LISTE

CONTROL LIMITS VALIDITY CHECK

'9709'

CHART

CONFORM

%
CONFORM

REVISION
DATE >

OBS

NUMBER

LIMITS

LIMITS

6 MONTH

1990

1174

59
PROCESS CONTROL

226

15:38 Tuesday, May 12, 1998


% REVISION
DATE >
6 MONTH
11

ROUSSET

CENTRING

% CENTRING

VARIABILITY

PROBLEMS

PROBLEMS

PROBLEMS

130

814

%
VARIABILITY
PROBLEMS
41

(prog_sas/lc_ep10.sas)

Page 0.94

SGS THOMSON

PAR ATELIER:GRAVURE /DIFFUSION.......

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Revue des limites de contrle

Revue des limites de contrles sur les quipements


Exemple : Dtail de revue des limites de contrle pour
Valeurs recalcules mais
non prises en compte
dans la carte de contrle

l'atelier 6GEN
CONTROL LIMITS TIME EXEEDED

'9709'

15:38 Tuesday, May 12, 1998

---atelier=6GEN-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------EQPT

ENG_CODE

Page 0.95

6BAIE
6B11PN13
(VARIABILITY)
6BAIE
6B11PN24
6BAIE
6B11PO13
6BAIE
6B11PO24
6BAIE
6B126PO
6BAIE
6B12D3
(VARIABILITY)
6BAIE
6B12PO
6BAIE
6B13D3HF
6BAIE
6B13PO
6BAIE
6B13POHF
6BAIE
6B13POHF
(VARIABILITY)
6BAIE
6B30D3
(VARIABILITY)
6BAIE
6B30PO
(VARIABILITY)
6BAIE
6B30POHF
(VARIABILITY)
6BAIE
6B5D3
(VARIABILITY)
6BAIE
6B6PN
Septembre 1998
6BAIE
6B6PO

CHART

STATION

REF_LCL

REF_UCL

NEW_LCL
NEW_LCL

RCMW

6B11

725.0000

875.0000

779.6400

828.9000

DISPERSION

C
C
C
K
C

RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RCMW

6B11
6B11
6B11
6B126
6B12

725.0000
550.0000
550.0000
-5.0000
10.0000

875.0000
650.0000
650.0000
15.0000
130.0000

793.2200
558.6200
560.1700
0.0000
37.0700

863.6800
607.7000
603.4200
0.0000
93.4100

*
*
*
*
*

DISPERSION
DISPERSION
DISPERSION
DISPERSION
DISPERSION

AND
AND
AND
AND

CENTRING
CENTRING
CENTRING
CENTRING

K
C
C
K
K

RCMW
RCMW
RCMW
RCMW
RVCN

6B12
6B13
6B13
6B13
6B13

490.0000
0.0000
490.0000
270.0000
0.0000

550.0000
320.0000
550.0000
330.0000
50.0000

490.6400
150.8200
489.3100
276.5500
0.0000

518.6300
337.6600
528.5200
298.9400
11.1000

*
*
*
*
*

DISPERSION
DISPERSION
DISPERSION
DISPERSION
DISPERSION

AND
AND
AND
AND

CENTRING
CENTRING
CENTRING
CENTRING

RCMW

6B30

0.0000

400.0000

94.2400

370.9000

DISPERSION

RVCN

6B30

0.0000

629.0000

0.0000

134.9800

DISPERSION

RVCN

6B30

0.0000

50.0000

0.0000

29.8700

DISPERSION

RCMW

6B5

0.0000

300.0000

83.5500

185.1000

DISPERSION

C
C

RCMW
RCMW

6B6
6B6

725.0000
875.0000
746.5100
Process 650.0000
Control Rousset 556.6100
550.0000

800.3100
587.2900

*
*

DISPERSION AND CENTRING


- Formation SPC
DISPERSION NEF
AND Sud
CENTRING

FLAG_CPK

NEW_UCL
FLAG_6M

ERR_MESS

Revue des limites de contrle

Revue des limites de contrles sur les lots

Etat mensuel

Disponibles pour la fabrication, l'EWS et le


micromodule

Exemple : Tableau rcapitulatif du nombre de cartes


revoir
LISTE

CONTROL LIMITS VALIDITY CHECK

PAR ATELIER:GRAVURE /DIFFUSION.......

'9712'

12:58 Tuesday, February 3, 1998 156

CHART

CONFORM

%
CONFORM

REVISION
DATE >

OBS

NUMBER

LIMITS

LIMITS

6 MONTH

16809

84

PROCESS CONTROL

859

6 MONTH
5

ROUSSET

CENTRING

% CENTRING

PROBLEMS

PROBLEMS

934

VARIABILITY
PROBLEMS
1122

%
VARIABILITY
PROBLEMS
7

(prog_sas/lc_ol10.sas)

Page 0.96

SGS THOMSON

14147

% REVISION
DATE >

Septembre 1998

Process Control Rousset

NEF Sud - Formation SPC

Revue des limites de contrle

Revue des limites de contrles sur les lots

Exemple : Dtail de revue des limites de contrle pour


A revoir la date Dcembre
1997

l'atelier 6DIFF
CONTROL
CONTROLLIMITS
LIMITSREVIEW
REVIEWNEEDED
NEEDED'9712'
'9712'

12:58 Tuesday, February 3, 1998 159

Page 0.97

---------------------------------------------------- atelier=6DIFF
atelier=6DIFF -------------------------------------------------------------

Septembre 1998

EQPT

OPER

ENG_CODE FLAG_CPK CHART STATION

REF_LCL

REF_UCL

NEW_LCL

6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
6CAISS
..

ROXCS61
ROXCS61
ROXCS61
ROXCS61
ROXCS61
ROXCS61
ROXCS61
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS62
ROXCS65
ROXCS65

EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP
EP

-1.5000
0.0000
0.0000
0.0000
-1.5000
-1.5000
0.0000
-1.5000
0.0000
0.0000
0.0000
-1.5000
0.0000
-1.5000
0.0000
-1.5000
-1.5000
0.0000
-1.5000
0.0000

1.5000
2.0000
2.0000
2.0000
1.5000
1.5000
2.0000
1.5000
2.0000
2.0000
2.0000
1.5000
2.0000
1.5000
2.0000
1.5000
1.5000
2.0000
1.5000
2.0000

-1.0400
0.7500
0.5700
0.3000
-1.0200
-1.3200
0.4000
-1.1300
0.7400
0.5700
0.3300
-0.9600
0.0600
-1.3600
0.0400
-1.2000
-1.3400
0.3300
-1.0400
0.7500

SGS THOMSON MICROELECTRONICS

K
K
K
K
K
K
K
Y
Y
Y
Y
Y
Y
Y
Y
Y
Y
Y
K
K

TRND
WVMW
WVMW
WVMW
TRND
TRND
WVMW
TRND
WVMW
WVMW
WVMW
TRND
WVMW
TRND
WVMW
TRND
TRND
WVMW
TRND
WVMW

6F10
6F10
6F11
6F12
6F71
6F9
6F9
6F10
6F10
6F11
6F12
6F71
6F71
6F75
6F75
6F79
6F9
6F9
6F10
6F10

PROCESS CONTROL

ROUSSET

Process Control Rousset

NEW_UCL FLAG_6M ERR_MESS


1.2600
4.4000
3.2500
3.5500
1.4400
1.1700
4.1600
1.2300
4.4700
3.4000
3.5200
1.3600
2.6200
1.2200
2.6300
1.2700
1.1800
4.1500
1.2600
4.4000

*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*
*

DISPERSION
CENTRING
CENTRING
CENTRING
DISPERSION
DISPERSION
CENTRING
DISPERSION
CENTRING
CENTRING
CENTRING
DISPERSION
CENTRING
DISPERSION
CENTRING
DISPERSION
DISPERSION
CENTRING
DISPERSION
CENTRING

(VARIABILITY)

(VARIABILITY)
(VARIABILITY)
(VARIABILITY)

(VARIABILITY)
(VARIABILITY)
(VARIABILITY)
(VARIABILITY)
(VARIABILITY)

(prog_sas/lc_ol10.sas)
NEF Sud - Formation SPC

Revue des limites de contrle


Non revues depuis 6
mois

CONTROL LIMITS TIME EXEEDED

'9712'

12:58 Tuesday, February 3, 1998 204

Page 0.98

---------------------------------------------- atelier=6DIFF ----------------------------------------------------(continued)

Septembre 1998

EQPT

ENG_CODE OPER

FLAG_CPK CHART STATION

REF_LCL

REF_UCL

NEW_LCL

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG

TRND

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG

6WATKINS

INSPEX

6WATKINS

NEW_UCL FLAG_6M ERR_MESS

6WJ3

-1.5000

1.5000

-2.3700

2.0300

WVMW

6WJ3

0.0000

2.0000

-1.1000

3.4300

TRND

6WJ4

-1.5000

1.5000

-1.8900

0.9200

RCTBPSG

WVMW

6WJ4

0.0000

2.0000

-1.1500

3.4200

INSPEX

RCTBPSG2

WVMW

6WJ2

0.0000

2.0000

-0.5500

2.0600

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG2

TRND

6WJ3

-1.5000

1.5000

-2.3700

2.0300

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG2

WVMW

6WJ3

0.0000

2.0000

-1.1000

3.4300

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG2

TRND

6WJ4

-1.5000

1.5000

-1.8900

0.9200

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG2

WVMW

6WJ4

0.0000

2.0000

-1.1500

3.4200

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG4

WVMW

6WJ2

0.0000

2.0000

-0.5500

2.0600

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG4

TRND

6WJ3

-1.5000

1.5000

-2.3700

2.0300

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG4

WVMW

6WJ3

0.0000

2.0000

-1.1000

3.4300

6WATKINS

INSPEX

RCTBPSG4

TRND

6WJ4
-1.5000
Process Control Rousset

1.5000

-1.8900

0.9200

NEF Sud - Formation SPC