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Universidad Central de Venezuela

Facultad de Ciencias-Escuela de Fsica


Laboratorio de Superficies

Tcnicas de Vaco y
Bombas de Vaco
Profesores: Estudiantes:
Larez, Joszaira Lpez Marcano, Lesvia
Caracas, Febrero 2017
TCNICAS DE
VACO
Trminos y Definiciones
Presin P:
En Tecnologa de vaco se refiere a la ejercida sobre un recipiente por las
molculas del gas contenido en su interior.

1 atmsfera = 760 Torr = 1013 mBar = 1.013 x 10


Pascal.
En SI es el Pascal (1 Pa = 1 N/m2 )
(1 mBar = Torr)
1 mBar = 100 Pa
Gas
Bomba
s de Vapor
Pega
Hojilla
Vaco

Trminos y Definicion
definiciones es Vapor
Teipe
Presin Saturad
Tijera negro
Final o

Red de Cilindr
Presin Presin
difracci o de
Total Parcial
n cartn
Ley de Los Gases
Avogadro demostr:

A la misma T y P, la M de un cierto volumen de gas es proporcional a su peso molecular.


A P y T normal, un mol de cualquier gas ocupa un volumen de 24.415 litros.

Para una muestra de gas de masa M y con peso molecular PM la ley general de los gases es:
El nmero de molculas en un mol es:

La distancia L entre molculas esta dada por:



El Vaco

Menores a molculas/

Concentracin molecular, n.
Tasa de incidencia

molecular, .

Camino libre medio, .


Tiempo de formacin de una

monocapa, .
Presin
ejercida por el
gas
Vaco en
Cmara Sirve como
medida de calidad
de vaco P=
nkT
Qu sucede con
Tipos de Vaco la composicin
Concentraci
del Gas en los
n molecular
y sus grados de vaco?

Composiciones Vaco Bajo y


Vaco Alto
Medio

Vaco Ultra Alto


Produccin
Produccin de
de presiones
presionesbajas
bajas

Para seleccionar una bomba de vaco se debe en tomar en cuenta lo siguiente:

Producci
Velocidad n del Vaco
de
bombeo
Bombas
Bombas que
que
Presin Rango de condensan.
Final Parmetros Presin
remueven.

Presin de
Escape
TIPOS DE BOMBAS
Bomba Rotatoria de Paletas

Rotor.
Estator.
Paletas Giratorias.
Cubierta Fija.
Resorte.
Componentes.
Bomba Rotatoria de Paletas

Proceso de Induccin (1, Proceso de


2, 3) Aislamiento y
compresin
Bomba Rotatoria de Paletas

Presin de cmara supera la presin de escape y se abre la vlvula (Proceso de


Bomba Rotatoria de Paletas

Funcionamiento del aceite: El aceite usado en las bombas rotativas


es cuidadosamente seleccionado.Adems de proporcionar la lubricacin de
los cojinetes del rotor, debe:

Proporciona un sello entre las paletas y el rotor.


Generar el sello Do entre las puntas de las paletas y el estator.
Proporciona una refrigeracin del estator mediante la transferencia de calor
a la carcasa exterior.

Oferta proteccin contra la corrosin de las partes metlicas del gas que se
bombea.
Bomba Difusora de Aceite

Son usadas en la produccin de vaco medio, alto


y ultra alto. Ellas pertenecen al grupo de bombas
de compresin y operan con una corriente rpida
de fluido de bombeo en forma de vapor. Consiste
de:

Cuerpo cilndrico.

Calentador elctrico.

Reserva de aceite.

Inyector de tres etapas.


Tubo espiral.
Se limita a crear un gradiente de vaco y
depende de una bomba mecnica.
Bomba Difusora de Aceite

Aceites: Lo ms adecuados son los aceites


minerales, silicones y teres polifenlicos.
Las propiedades de estos aceites
determinan su escogencia de acuerdo a la
presin final deseada:

Diffelen liviano: .

Diffelen normal: .
Diffelen ultra:
Bomba Turbo Molecular


Principio:
Las partculas son bombeadas a
travs de impactos con el movimiento
rpido de la superficie de un rotor. La
forma de sta son discos que forman
con la superficie estacionaria espacios
intermedios.
La velocidad del rotor es de 16.000 a
40.000 rev/min. Esta bomba necesita
una presin de prevaco de y puede
llegar a presiones . Requiere tambin
de una bomba rotatoria de apoyo.
MEDIDORES DE
PRESIN
De
Capacitancia

Manmetros:
Termopar
1. Deformacin elstica de una
membrana o diafragma:
Manmetros de membrana
(vacos bajos).
2. Conductividad trmica de Penning (Ionizacin de ctodo
los gases: Manmetros fro)
trmicos (vacos medios).
3. Grado de ionizacin del gas:
Manmetros de ionizacin
(vacos alto y ultra alto).
GRACIAS!