=Jolutions AUTOMATISMES Sous-traiter nos automa condition de garder le co v ‘Acteur majeur surle marché des machi- nes d'épitaxie par jets moléculaires, le Francais Riber vient de robotiser le sys- ‘téme dalimentation de ses machines. Cette innovation Ia conduit a revoir la ‘commande, Une solution baséesur des automates, des commandes de mo- teurs, des réseaux Ethemet de B&R, a ét8 retenue. Au-dela des choix techni- ques, la maniere d'aborder la sous- traltance a été complétementrevue. Le motd'ordreest désormais « Onnesous- ‘raite que ce queYonmaitrise»,sortede complément au «Pas de délégation sans contrdle» que fon apprend dans les écoles demanagement. Ws gros contas engrangés récemment en Chine ou en Afrique du Nord ont une fois de pls fcalisé es projecteurs sur les grands fourisseuxs d'équipements Jourds, dans lenucaire, énergie, les twans- ports ou le militaire. L'industre francaise est jugéeaune des performances de quelques mastodontes, ce qui est la longue exaspé- rant pour les pests industriel, qu se batent eux uss uber est de ceux. Avec environ 15 millions euros de chiffre d'affaires et une petite centaine de personnes, cette soci francaise ‘strarement’ 'honneur Bt pourtant, malgré tun volume de production relativement mo. deste (une quinzaine de machines par an) Riber est conn dans le monde enter. Dans univers des semi-condueteus, ibe est un des tous premiers fournisseurs mondiaux abet et desde cr pase pedi ens vekane lest pled ed (outs iran Sac try de be, eet de ae 9 poeta de cud ages Pores cyte prac ast ops lent a EET, apt ae puts dee outpaces dle machines pour process MBE. MBE signs fie "Molecular Beam Epitaxy” ou "épitaxe par jes molélirs” (BM). Is'agit dune tech Spécialiste mondialement connu des machines df épitaxie par jets molécu lates, Riber ses attaqué ilyaunedizaine dannées marché des machines de production, > Ces machines comporta pas maldautomatismes, société francaise s'est dot dun service spécialisé en lectricitéautomatismes, >» Son expétience ll enseigh ‘uilfautéviter de sous trater les applications io vena pas a mattis, > Coté fournisseur, Riber Sappulefortement surB8 dont apprécle es produ tla capacté apporeru service de qualité, méme pour des séries mites,L’épitaxie par jets moléculaires Lépitaxie par jets moléculaires (en anglais MBE, pour “Molecular Beam Epi consisted déposer la surface fun substiat. ‘des atomes ou des molecules de matraux ultra purs solids ou ‘g22(codmium,hydrogéne, glum, arsenic phosphore, indium, sicium, germanium, carbone, omposés base de nitrue, conyde de zinc ec). Les matéiaux en question sont chautésd plus de 1000°C, | equi provoque eur évaportion. Vopération se fit sous un vide tis pousé (108 10” tor, soit 10" 10" pascal ain éviter {out choc srl parcours et surtoutles contamination. ‘Des caches pacts surla source du materia et commands teen cause complement ote fon deboder Latechnique de éptaxie par jets moléculares est notamment utlisée pour éaliser des composants électroniques optodlactio: niques (entreautres des diodes laser et céclairage) et hyper- frequences (pour les communications sans il és performants, ain que des composants mettant en cure la détection de ‘champs magnétiques tes que ls capteurs magnétorésstants et les capteurs effet Hal, Les composants réalsés avec la technologie MBE consomment moins d énergie, travallent a plus hautes fréquences et présentent Lune meilleurelinéaité que lescomposantssliciur. épitarea jets moléculaires est également largement utlisée en laboratoire dans le cadre des études de physique des slides, our par exemple étudier les interactions entrees électrons ou encore es effets des spins (rotation des électrons sur eux-mémes). Cette technique est par exemple utilise pour étudir la supra- conductvitéa température ambiante 1a easton des automatism.» Iya une quinzaine d’années,& une époque (i les solutions d’automatismes n’ étaient pas stabilisées comme elles le sont atujourdhui,Riber avait un service de déve- Joppement d'informatique et d’automatis- ‘mes en interne, qui avait particuligrement Aéveloppé I électronique de contrle-com- ‘mand du proces, es faces avant des machi- nes, es supervises, les premiers automa- tismes de transfert des plaquetes. Avec une quipe de développeurs sous la main, ait facile de fire des adaptations et des modifi Cations des logiciels, et la société ne sen privat pas, Ei est artivé ce qui arive tou- jours en pare easy avait un grand nom- bre de révsions de logiciels 8 gérer,ce qui Aevenait inextricable (autant que les lan- gages de développement et les systemes Baséesurdes régulateurs Eurotherm Basésuruneélee- tronique “maison* exploitation alent en perpétucle évolu- tion). Et comme beaucoup d'industriels, ier décide alors d'externalisercete activité de développement, qui dans le fond n' était pas son métier de base, et delimiter les d&- ‘eloppements jugés secondaires (par exem- ple de faire des terminaux opérateurs spéci- fiques qui n’apportaient pas de bonus ‘commercial). Les choses se passent plutét bien, notamment pour supervision. « Nous «von far un coher des charges, ovions cone le dvelppement et valid lesa. Cait de 'n- formatique, nous evens une experience dans edo- ‘maine, nus avons mati a station de bout en bout», rapporte Yannick Cordier: Pout les automatismes, ¢2 n'a pas été la :méme musique et la rocambolesque aven- ture d'une machine livrée au Japon allait entrainer une révision importante de a mae aiére d’aborder la sous-traitance. Le plus Basées sur un automate ‘et des variateurs BAR ‘uun automate pind Tea ea gan appr {sana utpammontn par kp aie elevoae poe ‘tee et ape cs in eps ate eee ttt en pn dre ape ade ‘rae pp plete ord eta ete PO tonnant est que cette histoire malheurewse allitconsolider des liens avec le fournisseur des automatisines, en occurrence I'Autei= chien B&R. «On ne sous-traite que ce que l'on maitrise » Les fits remontent au début des années 12000, Pour réaliser le contrdle-commande ‘du mécanisme de transfert de plaquettes de ses machines, Riberretient une solution tech- rigue tout’ fit classique basée sur un auto- ‘mate programmable de BBR. Le distibuteur dela société, qui avait un service de déve- loppement, voit cnfierle développement del applicatif La recete de application par Fiber se pase sans probléane «I fait pla- tt dite sans problme appoent, nuance Yannick Cordier En fait le déloppeur vit monte ce qu'il vouloit monte Riker naat pas & poque de compétnce pour ce type automatism ei s Gait done conenté de cl La machine est ‘ensuite expédife au Japon, accompagnée des techniciens Riber pour réaliser la mise en route sur place. Bien évidemment, une fois install, Vautomatisme de la machine ne ‘marche pas C'est souvent comme ga, donc personne ne panique, quelques échanges avec le développeurallaientapporte la so- lution. E: puis non:le développeur venait de quitter sa société et personne d'autrene con- naissit l'application.« Nous curios pu faire appl un autre sous-trutent, mais es mémes cau ses quant de provi les mémes ees nous vos Acie de prendre en charge nous-mémesVaplica- tion», indique Yannick Cordier, qui venalt alors darriver chez Rie. La société ut tout ‘deméme appl Ino pt, «ds gs de tereain comme nous, et gui conaissent les produits BaR» -MESURES 801 - JANVIER 2008 - ywwimesures.comSore eres tations demadioes de protunibe, nstieoboistasee tae desputes es les chanbes pt dispenser eat levee de wea suas ee de command de ecemert ree. Lamachine livre était une machine double avec deus automates séparés qui communi aquaient par réseau, Le réseau Ethernet initial estremplacé par un bus de terrain CAN, que Yannick Cordier maftrisait pour avoir pra tiqué. Le code automate est repris de fond en comble, Pendant plus de six mois, le ser vice automatismes s'est employé & rendre pleinement opérationnelle la machine li ‘rer au Japon ainsi qu’ une nouvelle machine en cours de développement. Pendant ce temps, d'autres projets (moins importants ‘mais qui ne pouvaient pas attendre) ont été configs & des sous-tratants, ave plus ou ‘moins de suecés Yannick Cordier dresse un consat sans nuance de cette expérience: «il ne fut pos sous-titer une foneton ou une ap cation dont on n'a ps la maftise. C'est ue eur ddemanogerent cel fit cori un risque important, iy « une chance sur dix que tout se poss iene de toute fon, vous le peyerer un jour.» Hl admet toutefois que certaines tiches relativement standard, comme l’éciture du code ¢’un programme automate, puisent étre sous ena, ‘raitées sans probléme cari existe beaucoup de gens compétents pour cela, que les lan gages somt formalisés et qu'il existe de nom= breux outils pour vader le ende, Une solution homogéne pour l'ensemble des automatismes les demies générations de machines Riker sont équipées d'un robot pour assurer le transfert des plaquettes vers les chambres épitaxie. Ces robots sont de type “Frog. Jegs”(“pattes de grenouille”), cette appella tion évoquant le mode de déplacement d'un decesroboss (ce type de robot est plus cas siquement appelé tri axes), C'est une évoh tion ts importante par rapport aux machi- nes de la génération précédente, oii le transfert des plaquettes se fisalt avec des guidages lnéaires motorists, qui obigeaient les plaquettes & passer d'une chambre & autre. Sur la nouvelle machine, les cham- bres épitaxie sont disposées en cercle et le robotestchargé’alimenter directement les différentes chambres. uns le basdelae, opt singles ecrnigus de psa gt seve piers dunes permet ‘oltre aie) ‘ose es plauetes espns fig 51 ces en ev ontrelivemet Pendants ksmadines eet omoren desinerteshone maine sures esos tans ft pel des WM standard (nati es Mb Pad Autre nouveauté, les électroniques maison, utilisées jusque-la pour piloter le process & Vintérieur des chambres ’épitaxie sont dé sormais remplacées par un automate pro grammable. Te-choix du fournisseur n'a guére posé de questions: « en’ pos pour bobitude de remete cen cause des contarts dj bien en plc» jst fieYannick Cordier En car, les produits BAR ete service apporté fournissaent tout tisfaction, la société s'intérese& des applica tions méme pour des series limitées (Riber livre moins de quinze machines par an). il avait pas de raison de remette en cause ce fournisseur D'autant qu'llavait de soides, atouts techniques 4 faire valor, poursui Yannick Cordier: «Ses automates Sytem2003 2005 que nous utlisons permetent de raise dks solutions & fable encombrement. On trouve par exemple des modules comportan sg’ tos in- terface RSY32 par mole La soci et alement tes perforant dans les communications Ethernet tle "Motion Contra”, si important pour nous.» Si un fable encombrement est recherc est parce que les machines sont installées ans des salles blanches. Comme celles-ct Jesindustrelscherchent den limiter Ie volume en portant attention Ala tlle des équipements importance accordée aux couplews S232 peut surprendre, tant ce standard de com: ‘munication est en perte de vitesse. Mas es ‘machines Riber utlisent plusieurs capreurs un peu partculiers (des jauges de vide par exemple), mais eeux-ci étant produits en séries reativement limitées, leurs construc teurs ne trouvent pas de justification éeono- mique a proposer ces capteurs avec tous les standard de commmanication disponibles sur le marché (le “pen moderne” RS232 a au moins le mérit dre univers). Quant -® [MESURES 801 -JANVIER 2008 - wwrwamesures.comPlus de 40 ans d’expérience ‘Créer 1964, Ribera démarréson activité en tant que distribu: ‘eur de produits ultavide (UHV), destings aux universtés et auxlaboratoires de recherche. Quelques années plustard (en 1967), la société ntégre le groupe dinstrumentationsclentiique Instruments SA, devientfinanciérementindépendante en ressources, Lasocietéa depuis tr longtemps acquis un savoir-aire dans le domaine des procédés sous vide, qui ila permis de conduire le développement industriel dela technique de éptaxie par jets moléculaires (MBE, Molecular Bear Epitaxy) (Des 1978, Riber est un des premiers 8 mettre surle marché des machines MBE “clés en main’ etellea poursuvi sur sa lancée production muktsubstrats. Pendant longtemps la société s'est concentrée sur le marché dulaboratire st dela recherche, Cervest quien 1995 quelle sestréeliement investe sure alficle marché des équiperents de production pour industri des semi-conducteurs 1997 et entre ala bourse en 2000, ce qui lui permet accoitre ses avec la sortie de machines innovantes a sources gazet les bits de Enun quart side iberainstalé pus de $00 machines MBE dans le monde, aussi bien dans les aboratoes (tudes surla Physique des soides) que dans es unites de fabrication de ‘omporants électroniques optosleceoniques,hyperéquence, capteurs magnétique) Les machines de production represen tentenvronlamolté du chifre faites, autre mai se ‘épartssant de manie peu pres équibée entre les machines pourlarecherche eles acessires et pieces détacées (celles B effusion pourlavapoisation des matéiau,systémes dine tion de gaz filaments, joints, fours plateaux creusets, etc). En nombre de machines ies ls proportions entre les machines delabo et machines de production son cférentes (ux | machines de recherche pour une machine de production). Quont la réparition du chit d affaires parzanes géoaraphiques, (Europe représent environ un quart des vents, Amérique et Ise chacuneun bon tes Dans histoire recent, on retienda Facquison fen 2003) de ‘Adon, furrisseur de sources et Faménagement dans de nouveaux locaux’ Bezons en 2006) ¥ aux communications, Rie s'est fini vement convert i Bhernet, Oubliépisode de a machine livrée au Japon, oie coupleur Bihernet avait di dtre remplacé par un cou- pleur CANbus. Désormais, c'est du “fll Ethernet”: Ethernet TCP/Modbus pour les applications non critiques du point de vue ‘emporel (communications avec le supervi- seu), Bdnernet PowerLink (inventé par B&R et devemo um des grands standards Ethernet temps réel) pourles applications de contrdle axes synchronisés Tout d'abord, les commandes des moteurs pas a pas destinés & contrler les mouve- ments de déplacement des sources, des ca ches et des jauges de vide présens dans les chambres dépitaxe, ont été remplacées par dle automatisme clasique, la partie dépla- ‘cement physique étant assure par des com- ‘mandes pneumatiques ou des moteurs & ectronique intégrée {Le motion control joue un grand re ic. Le contre des axes (quatre ou cing) du robot de transfert des plaquettes est assur par des ‘moteurs brushless pilotés par des variate ‘Acopos, eux-mémes raccordés sur le réseau temps rél Fthernet Powerlink. « Pour lst cette application, t tut particuiéement ka pat motion contr, nous oon fi ope aux services techniques interes de BRR. La ealisatin de Yen Ethernet TCP/ Modbus Commande de moteurs pas. | _ Die ora pate re Ethernet Powerlink Moteurs brushless Sars dete gatas de mates Frditecedesetoates a entirenent ee essen desatnatnes Camps pati proces) st ders plot pads atone ropa. On olden de ema wl pot [apa onuenton de pgs mote bres yon, lots pr here Poern un heme seme de pplication a sous-tit, mis dans lest sect de notre nouelle politique en mare de sus-titance qui consist ne dlguer qu ce que l’an mats», rapporte Yannick Cordier, Pour a petite histoire, on relévera que 'in- tégration de la partie robotique au reste de ta machine ne s'est pas faite sans difficaé, 3 cause de problémes mécaniques. Ia fallu fire quelques modifications au niveau du contrSle-commande, mais cela n'a pas post de souci care service électricité/automats- mes de Biber matuise désormais toutes ses applications. Les process mis en ceuvre ne sont pas dan gereux (méme s certains matérianx ust, ‘comme I'asenic, ne sont pas spécialement sympathiques), les automatismes n’ont pas de grandes exigences de sécurité. Mais svagissant d’un process onéreux, on peut penser que la disponibiltéestun paramétre important. En fait, pas plus que ga. « Nous vons fit un analysed risques. Sar ces machines, Fevisquese stu ou niveau dune daillnce din tércur d'une chambre fitexe ve andesite uve mised Voir pour interveation. A ce niveau, toutes es prénuton ot été prises. Lend @ys- fonctionnement des sytémes de manvtention ds conséqaencesrativement limites: Nowsovns de Peypéience, nous ascumons risque (et mas ens aus), nos n'aons pes préu de edondance », conclut Yannick Cordier Quant au service aprés-ve ‘pour partie mécanique: 1 chonge sandr Pas question demvoyer quelqu'sn & Tautre bout du monde pour aller intervenir sur un programme automate! Jean-Francois Peyrucat Ribera adopté 46 [MESURES 801 JANVIER 2008 - wwwanesures.com