Capteurs de pression.

R.HATTERER , Professeur de Physique Applique au lyce la Mditerrane de La Ciotat. Sources : http://perso.club-internet.fr/gatt/ G. Asch et collaborateurs, Les capteurs en instrumentation industrielle (DU !D" G. Asch et collaborateurs, Ac#uisition de donn$e % du capteur & l'ordinateur (DU !D" Document anne(e : )*+,.pdf

page -/ ).

page )/ ).

Prsentation :
Le th/me )00- concerne la gestion $lectroni#ue d'un moteur. +our assumer cette gestion $lectroni#ue il a fallu implanter toute une s$rie de capteurs. Le capteur de r$gime moteur Le capteur de position de soupape Le capteur de position papillon Le capteur de pression d'admission Le capteur de temp$rature d'air d'admission Le capteur de temp$rature moteur La mesure du ni1eau de tension batterie Le capteur de pression d'admission est n$cessaire & la cartographie d'in2ection. 3l s'agit d'un capteur situ$ sur une carte du rac4. La pression d'admission lui est achemin$e depuis la pipe d'admission par un tu5au rigide.

page 6/ ).

Le capteur utilis$ est un capteur pi$7or$sistif de pression de la s$rie )*+, - de 8one59ell. 3l comporte #uatre capteurs r$sistifs (2auges pi$7or$sisti1es" mont$s en pont de :heatstone. ,e capteur une fois polaris$, traduit sous forme de tension, la pression positi1e ou n$gati1e r$gnant dans la tubulure d'admission.

1oir document anne(e )*+, .pdf page ;/ ).

CAPTE
&. "finitions
-.-. D$finition de la pression -.). Les diff$rentes unit$s de pression pascal (+a" bar (b" atmosph/re -.6. D$finition des pressions La pression atmosph$ri#ue La pression relati1e La pression absolue Le 1ide -.;. +ression pour les fluides (li#uide et ga7" +ression h5drostati#ue +ression due & des forces e(t$rieures +ression h5drod5nami#ue

R! "E PRE!!#$%

'. Mano()tres hydrostatiques

).-. D$finition de la fonction remplie ).). <anom/tre & tube en U ).6. <esure de la pression atmosph$ri#ue =arom/tre de >orricelli ).;. +robl/me de la capillarit$ D$finition ,as de li#uides manom$tri#ues ascension capillaire D$pression capillaire Loi de ?urin )... A1antages et incon1$nient des manom/tres & tubes A1antages 3ncon1$nients ).*. Domaine d'emploi

*. Mano()tres + dfor(ation de solide

6.-. Le manom/tre & tube de =ourdon @onctionnement Utilisation A1antages et incon1$nients 6.). <anom/tre & membrane @onctionnement Utilisation 6.6. <anom/tre de pression absolu @onctionnement Utilisation 6.;. <anom/tre & capsule @onctionnement Utilisation 6... <anom/tres pour pression diff$rentielle

page ./ ).

@onctionnement Utilisation

,. Les procds de con-ersion

;.-. ,on1ersion par 1ariation de r$sistance ;.). ?auges d'e(tensiom$trie ;.6. ?auges pi$7o-r$sisti1es +r$sentation ,aract$risti#ues m$trologi#ues ordres de grandeur. A1antages et incon1$nients ;.;. ?auges & fils tendus ;... ,on1ersion par 1ariation de capacit$ Aariation de d'$paisseur Aariation diff$rentielle de capacit$ A1antages et incon1$nients ;.*. ,on1ersion par 1ariation d'inductance A1antages et incon1$nients ;.B. ,on1ersion par effet pi$7o-$lectri#ue +r$sentation A1antages et incon1$nients

.. Les capteurs + /alance de force ou quili/re de forces

..-. +r$sentation ..). A1antages et incon1$nients

0. Mesure de la pression du -ide

*.-. +r$sentation *.). Diff$rents domaines du 1ide *.6. Les diff$rents t5pes de 2auges & 1ide

1. Trans(etteurs de pression
B.-. @onction B.). ,analisations B.6. Surcharge B.;. <ontages <esures de d$bits de li#uides <esures de d$bits de ga7 <esures de d$bits de 1apeurs

page */ ).

Capteurs de pression

&. "finitions
&.&. "finition de la pression
Un corps li#uide ou ga7eu( enferm$ dans un r$cipient, #uCil remplit enti/rement, e(erce sur toutes les parois de celui-ci une force dite de pression. La pression est une grandeur d$ri1$e du s5st/me international. Dlle est d$finie comme le #uotient d'une force par une surface.

,e #uotient est ind$pendant de lCorientation de la surface. La pression s'e(erce perpendiculairement & la surface consid$r$e.

&.'. Les diffrentes units de pression

La relation p E d@/ds d$finit, & la fois, la pression et lCunit$ de pression en tant #uCunit$ d$ri1$e. ,ette unit$, le pascal (+a", correspond dans le S5st/me 3nternational (S.3." & une pression uniforme e(erFant sur une surface de un m/tre carr$, une force totale de un ne9ton. La pression dCun pascal $tant relati1ement faible on utilise de pr$f$rence pour la mesure des pressions dans lCindustrie son multiple le bar 1alant -0. pascals. pascal 2Pa3 -0. GH06G -0- 6). GH,0; -66 -0) 6,6H* -06 *HG) -66 /ar 2/3 -0-. 0,GH06 -,0-66 GH0 -0-* -,666 -0-6 -0-6 66,H* -0-6 *H,G -0-6 -,66 -0-6 at(osph)re G,H*G -0-* 0,GHB-*B 0,G*H G*H -0-* -,6-* -0-6 GHB -0-* 66,;) -0-6 *H -0-6 -,6-* -0-6

(- pascal (- bar (- 4gf/cm) (- atmosph/re (- cm dCeau (- mm de 8g (- mb (- inch 8g (- psi (- torr

) 6

") "6 "; ". "* "B "H "G "-0 "--

Unit$ S.3. La pression dCun pascal $tant relati1ement faible on utilise de pr$f$rence pour la mesure des pressions dans lCindustrie son multiple le bar 1alant -0. pascals. ; Ancienne unit$ prati#ue dont l'usage est & $1iter. . +ression atmosph$ri#ue normale (B*cm de mercure & 0I, dans un champ de pesanteur d'intensit$ g E G.H0** m/s )". * - gramme par cm). B +our une densit$ de mercure de -6,.G.G6. H Unit$ de pression barom$tri#ue (millibar". G +ouce de mercure. -0 Unit$ ,.G.S. -Dans le domaine du 1ide on d$signe -mm8g comme une unit$ sp$cifi#ue le >orr.

page B/ ).

e4e(ple de donnes constructeur : (8one59ell J )*+, series"

tension ma(imale admissible (psi" <a(. )0 )0 ;. *0 )00 *0 *0

$tendue de mesure-) (psi"

t5pe

)*+,A )*+,= )*+,, )*+,D )*+,@ )*+,? )*+,M

L calcul$e & -. psi

. -. 60 -00 6H L 6H L

>5p. 0.). 0.; 0.). 0.0.0.0.-

<a( 0.. 0.. 0.. 0.) 0.) 0.. 0..

<in. -;.B ;B GB GB G. 6B.. 6B..

>5p. -*.B .0 -00 -00 -00 6G.. 6G..

<a( -H.B .6 -06 -06 -0. ;-.. ;-..

>5p. -*.B -0.0 *.*B 6.66 -.0 ).*6 ).*6

&.*. "finition des pressions

Dchelle de pression (bar"

pression diffrentielle La pression at(osphrique La pression atmosph$ri#ue mo5enne au ni1eau de la mer, & -. I,, est de -0-6 mbar. Dlle peut 1arier, de N ). pression mbar, a1ec la pluie ou lerelati-e beau temps. Dlle est fonction de l'altitude (h5drostati#ue". pression a/solue La pression relati-e pression ,'est la diff$rence de pression par rapport & la pression atmosph$ri#ue. ,'est atmosph$ri#ue la plus sou1ent utilis$e, car la A3DD mesurent en relatif. +our mesurer en absolu, il leur faut plupart des capteurs, soumis & la pression atmosph$ri#ue, un 1ide pouss$ dans une chambre dite de r$f$rence. D(emple : La pression de gonflage d'un pneu de 1oiture. 0 La pression a/solue ,'est la pression r$elle, dont on tient compte dans les calculs sur les ga7. Dlle est compt$e & partir de 7$ro. Oemar#ue : on peut ra2outer - bar & la pression relati1e pour a1oir une appro(imation de la pression absolue.
-)

L'$tendue de mesure (D.<."d'un capteur d$finit la plage de 1aleurs du mesurande pour les#uelles le capteur r$pond au( sp$cifications du constructeur. Les limites de cette plage $tant mmin et mma( , on pose D.<.E mma( - mmin . -6 span : diff$rence alg$bri#ue entre les limites de sortie. span E sma( - smin . -; la sensibilit$ S(m" d'un capteur, pour une 1aleur donn$e m du mesurande, est $gale au #uotient de la 1ariation de la sortie $lectri#ue s par la 1ariation correspondante du mesurande m. Un capteur est dit lin$aire si, dans l'$tendue de mesure, la sortie $lectri#ue s(m" est fonction lin$aire du mesurande m % sa sensibilit$ S est alors constante dans cette plage de fonctionnement. page H/ ).

sensibilit$-; (mA/psi"

erreur de lin$arit$ (K span"

plage de sortie-6 (m1"

Le -ide Le 1ide est une pression inf$rieure & la pression atmosph$ri#ue. Le 1ide parfait correspond th$ori#uement & une pression absolue nulle. 3l ne peut Ptre atteint, ni d$pass$. Quand on s'en approche, on parle alors de 1ide pouss$.

&.,. Pression pour les fluides 2liquide et 5a63

Les fluides sont $galement soumis & la force de pesanteur. ,Cest pour#uoi par e(emple, dans le cas dCune colonne li#uide, contenue dans un tube ou1ert, plac$ 1erticalement, la pression en un point <, & la distance h de la surface libre, est $gale & la pression atmosph$ri#ue po augment$e du poids de la colonne s'e(erFant sur lCunit$ de surface. De mPme, pour un fluide soumis & une acc$l$ration #uelcon#ue, il 5 a lieu de tenir compte de lCinfluence de la force dCinertie sur la pression. Pression hydrostatique R l'int$rieur d'une colonne de fluide se cr$e une pression due au poids de la masse de fluide sur la surface consid$r$e. ,ette pression est :

+our chacun des trois r$cipients, la pression au fond de ceu(-ci est identi#ue : +- E +6 E +6 E +; E rSgSh T +a D(p$rience du tonneau de +ascal :

R partir d'une certaine hauteur h, le tonneau $clate, car la pression e(erc$e par le li#uide est sup$rieure & la force de coh$sion du tonneau. Pression due + des forces e4trieures

Si la force @ agit sur un fluide enferm$, il en r$sulte une pression +o E @/S. Si l'on n$glige la pression h5drostati#ue, la pression est la mPme dans tout le li#uide. Pression hydrodyna(ique Un fluide se d$plaFant cr$e une pression suppl$mentaire + :

a1ec A la 1itesse de d$placement du fluide. La pression totale est la somme de la pression h5drostati#ue, de la pression due au( forces e(t$rieures et de la pression h5drod5nami#ue. ,elle-ci a la mPme 1aleur en tous points pour un fluide en mou1ement hori7ontal (incompressible de 1iscosit$ n$gligeable", c'est le th$or/me de =ernouilli.

page G/ ).

'. Mano()tres hydrostatiques

'.&. "finition de la fonction re(plie

La sensibilit$ de l'appareil est d'autant plus importante de r est faible.

'.'. Mano()tre + tu/e en

Sensibilit$ :

!n peut augmenter la lisibilit$ en utilisant un tube en U de sections in$gales

'.*. Mesure de la pression at(osphrique

7aro()tre de Torricelli : ,'est un tube en 1erre d'en1iron G0 cm de longueur, rempli de mercure, clos & une e(tr$mit$ :

page -0/ ).

+our une pression atmosph$ri#ue de -0-6 mbars, h E 0,BGG6 m.

'.,. Pro/l)(e de la capillarit

"finition Dans les tubes en U de faible section (U . mm", contenant un li#uide manom$tri#ue, il e(iste d'une part, des forces de coh$sion entre les mol$cules du li#uide, et d'autre part, des forces d'adh$sion entre les mol$cules du li#uide et celle du tube. +remier cas : Si les forces d'adh$sion sont sup$rieures au( forces de coh$sion, on dit #ue le li#uide mouille les parois du tube. D(emple : eau T 1erre, le m$nis#ue ainsi form$ est conca1e. Deu(i/me cas : +ar contre, les forces de coh$sion sont sup$rieures au( forces d'adh$sion, le li#uide ne mouille pas les parois du tube. D(emple : mercure T 1erre, le m$nis#ue form$ est con1e(e.

Cas de liquides (ano(triques Ascension capillaire : Un tube de 1erre de faible diam/tre (U - mm" est plong$ dans un li#uide mouillant. ,! S>A>A>3! S : Le ni1eau du li#uide dans le tube est sup$rieur au ni1eau de la surface libre du r$cipient. Le m$nis#ue conca1e dans ce cas est tangent & la paroi du tube. L'ascension capillaire est due au( tensions superficielles appli#u$es au( di1ers points du contour du m$nis#ue. La r$sultante @ de ces tensions $#uilibre le poids + du li#uide soule1$ : @ E )VOA a1ec : A E tension superficielle en /m O E ra5on du tube en m/tre. Le poids du li#uide soule1$ 1aut : + E VO )rhg. A l'$#uilibre, +

E @, donc : "pression capillaire : L'e(p$rience est identi#ue & la pr$c$dente, mais en utilisant un li#uide non mouillant (mercure". ,! S>A>A>3! S : Le ni1eau du li#uide s'abaisse dans le tube au-dessous du ni1eau de la surface libre du r$cipient.

page --/ ).

 Le m$nis#ue con1e(e dans ce cas est non tangent & la paroi et forme un angle a a1ec celle-ci. Dans ce cas, les forces de tension superficielle tirent 1ers le bas un certain poids du li#uide. La r$sultante @ de ces tensions $#uilibre le poids + du li#uide soule1$ : @ E )VOA cos . Le poids du li#uide soule1$ 1aut : + E VO)rhg. A l'$#uilibre, + E @, donc :

Loi de 8urin : L'ascension et la d$pression capillaire sont : +roportionnelles & la tension superficielle du li#uide. 3n1ersement proportionnelles & la masse 1olumi#ue de ce li#uide. 3n1ersement proportionnelles au diam/tre du tube capillaire utilis$.

'... A-anta5es et incon-nient des (ano()tres + tu/es

Les manom/tres & colonne de li#uide cou1rent un domaine de 0 & . -0 . +a pour la mesure de pression de ga7 uni#uement. A-anta5es : =onne pr$cision, on peut d$passer 0,- K. =onne stabilit$. ,onstruction simple et peu coWteuse. #ncon-nients : Dncombrant et fragile. 3ls sont sensibles & la temp$rature et au( 1ibrations. Les tubes doi1ent Ptre parfaitement calibr$s. Les li#uides 1is#ueu(, malpropres, les tubes gras, sont des causes d'erreurs. ,es appareils ne traduisent pas la pression mesur$e en un signal analogi#ue e(ploitable en r$gulation industrielle.

'.0. "o(aine d9e(ploi

<esure des pressions absolues, relati1es ou diff$rentielles 2us#u'& un & deu( bars. +rati#uement la colonne de li#uide ne peut d$passer deu( m/tres. O$ser1$ plutXt pour des usages en laboratoire ou comme appareils $talons.

page -)/ ).

*. Mano()tres + dfor(ation de solide

*.&. Le (ano()tre + tu/e de 7ourdon

:onctionne(ent

Le tube de =ourdon est bras$, soud$ ou 1iss$ a1ec le support de tube #ui forme g$n$ralement une pi/ce compl/te a1ec le raccord. +ar lCinterm$diaire dCun trou dans le raccord, le fluide & mesurer passe & lCint$rieur du tube. La partie mobile finale du tube se d$place lors de changement de pression (effet =ourdon". ,e d$placement #ui est proportionnel & la pression & mesurer, est transmis par lCinterm$diaire du mou1ement & lCaiguille et affich$ sur le cadran en tant #ue 1aleur de pression. Le s5st/me de mesure, le cadran et lCaiguille sont mont$s dans un boYtier.

-. ). 6. ;. .. *. B. H.

!rgane moteur, tube de =ourdon Support de tube ,apuchon du tube Secteur dent$ =iellette Dngrenage Aiguille ,adran

page -6/ ).

tilisation Les manom/tres & tube de =ourdon sont utilis$s pour la mesure de pressions positi1es ou n$gati1es de fluides ga7eu( ou li#uides, & condition #ue ceu(-ci ne soient ni hautement 1is#ueu( ni cristallisant. Les $tendues de mesure sC$talent sur toutes les plages selon D3 de 0... 0,* bar & 0. . . ;000 bars. La forme du tube d$pend de lC$tendue de mesure. +our les $tendues 2us#uC& 0... ;0 bars inclus on utilise normalement la forme en arc et & partir de 0... *0 bars la forme h$licoZdale. Les appareils sont fabri#u$s a1ec le raccordement 1ertical ou arri/re. 3l est conseill$ de ne les utiliser #u'entre le premier #uart et le dernier #uart de l'$chelle & cause de l'h5st$r$sis. 3l con1ient $galement de les prot$ger contre les ris#ues de surpression ou de d$passement d'$chelle. Le tube de =ourdon ne permet pas de mesurer les ph$nom/nes rapides et $1olutifs de pression. L'incertitude de mesure 1arie de 0,0) & 0,) K pour le domaine de mesure de 0 & 6 -0H +a. A-anta5es et incon-nients A1antages : pr$cision, domaine d'emploi. 3ncon1$nients : pri(, comple(it$

*.'. Mano()tre + (e(/rane

:onctionne(ent

La membrane est tendue entre deu( brides. +ar un trou dans le raccord, le fluide & mesurer arri1e dans la chambre de pression en dessous de la membrane. La membrane se d$place sous lCeffet de la pression. Le d$placement de la membrane est proportionnel & la pression mesur$e et est transmis par lCinterm$diaire du mou1ement & lCaiguille et affich$ sur le cadran en tant #ue 1aleur de pression. Afin dCPtre prot$g$s contre des d$t$riorations, le s5st/me de mesure, le cadran et lCaiguille sont mont$s dans un boYtier. Dn cas de ris#ue de corrosion due & des fluides agressifs, on peut prot$ger toutes les parties en contact a1ec le fluide par enduction de plasti#ue ou par un film de protection.

;. .. *. B. H. G. -0. --. -).

=ride inf$rieure ,hambre de pression =ride sup$rieure !rgane moteur, la membrane Ais =iellette Dngrenage Aiguille ,adran

tilisation Les manom/tres & membrane sont utilis$s principalement pour la mesure de faibles pressions positi1es ou n$gati1es de fluides ga7eu( ou li#uides. Les $tendues de mesure possibles sC$talent sur toutes les plages selon D3 de 0...-* mbars & 0... ;0 bars. Les membranes de ces manom/tres sont tr/s minces et ondul$es. De par leur forme, ils sont moins sensibles au( 1ibrations #ue les manom/tres & tube et sont plus faciles & prot$ger contre les surcharges et les fluides agressifs. +our lCutilisation a1ec des fluides hautement 1is#ueu( ou cristallisants il est possible de les $#uiper de brides ou1ertes. Les appareils sont fabri#u$s a1ec un montage de membrane hori7ontal

page -;/ ).

(& angle droit par rapport au cadran" ou 1ertical (parall/le par rapport au cadran". Dtant donn$ #uCil nC5 a pas de diff$rence fondamentale de fonctionnement, la description sui1ante concerne lCe($cution la plus courante, a1ec la membrane hori7ontale.

*.*. Mano()tre de pression a/solu

:onctionne(ent Le principe de mesure de la pression absolue est ind$pendant de la forme de lCorgane moteur. La pression du fluide & mesurer est mesur$e par rapport & une pression de r$f$rence #ui doit Ptre $gale & la pression absolue (1ide absolu". ,Cest & dire le cXt$ de lCorgane moteur #ui nCest pas en contact a1ec le fluide & mesurer doit se trou1er & cette pression de r$f$rence. Selon la forme de lCorgane moteur, on lCatteint en $1acuant et $tanch$ifiant soit une chambre de r$f$rence soit le boYtier enrobant le s5st/me. La transmission du mou1ement de lCorgane moteur sCeffectue comme pour les manom/tres pour pression relati1e.

-. ). 6. ;. ..

!rgane moteur ,hambre de r$f$rence ,hambre de mesure Soufflet m$talli#ue =iellette

tilisation Les manom/tres pour pression absolue sont utilis$s pour la mesure de pression sans subir les 1ariations de la pression atmosph$ri#ue en1ironnante. Les $tendues de mesure possibles sC$talent sur toutes les plages selon D3 de 0...-0 mbar & 0...-00 bar absolue.

page -./ ).

*.,. Mano()tre + capsule

:onctionne(ent La capsule est mont$e sur le raccord soit directement soit par lCinterm$diaire dCun tube m$talli#ue. +ar un trou dans le raccord le fluide & mesurer passe & lCint$rieur de la capsule. Sous lCeffet de la pression les demi-parties de la capsule se bombent. ,e d$placement proportionnel & la pression mesur$e est transmis par lCinterm$diaire du mou1ement & lCaiguille et affich$ sur le cadran en tant #ue 1aleur de pression. Afin dCPtre prot$g$s contre des d$t$riorations, le s5st/me de mesure, le cadran et lCaiguille sont mont$s dans un boYtier.

-. ). 6. ;. .. *.

Support de lCorgane moteur !rgane moteur, la capsule =iellette <ou1ement Aiguille ,adran

tilisation Les manom/tres & capsule sont utilis$s pour la mesure de faibles et tr/s faibles pressions positi1es ou n$gati1es, sp$cialement pour des fluides ga7eu(. 3l 5 a certaines restrictions pour la mesure de li#uides. Les $tendues de mesure possibles sC$talent sur toutes les plages selon D3 de 0... ),. mbar & 0. . . *00 mbar. Les organes moteur & capsule sont une forme sp$ciale de membrane. 3ls comportent deu( membranes ondul$es concentri#uement, assembl$es de faFon $tanche en une capsule. +our les $tendues de mesure tr/s basses il est possible dCassembler plusieurs capsules pour en faire un genre de soufflet. +our les appareils t5pe de profil on utilise un soufflet con1entionnel. Les appareils sont fabri#u$s soit a1ec la capsule mont$e 1erticalement (parall/le au cadran", soit hori7ontalement (perpendiculaire au cadran". Le raccordement se fait en dessous ou & lCarri/re.

page -*/ ).

*... Mano()tres pour pression diffrentielle

:onctionne(ent

Une capsule mont$e dans un boYtier $tanche r$sistant & la pression, est soumise, de lCint$rieur et de lCe(t$rieur, & une pression. La diff$rence de pression entre les deu( parties pro1o#ue un mou1ement de la capsule. ,e d$placement proportionnel & la diff$rence de pression mesur$e est transmis, par lCinterm$diaire du mou1ement & lCaiguille sur le cadran en tant #ue 1aleur de pression diff$rentielle. Les deu( pressions indi1iduelles ne sont pas affich$es.

6. !rgane moteur, la membrane ;. ,hambre de mesure (-" .. ,hambre de mesure (T" *. ,hambre de mesure B. Soupape double H. =iellette G. Le1ier de transmission -0. A(e dCentraYnement --. >ube de torsion -). <ou1ement

tilisation Les manom/tres pour pression diff$rentielle sont utilis$s pour mesurer la diff$rence de pression de deu( pressions indi1iduelles. 3ls sont construits a1ec toutes les formes dCorgane moteur tels #uCils sont utilis$s dans les manom/tres pour pression relati1e. Les plus courants sont les tubes de =ourdon, les membranes et les capsules.

page -B/ ).

,. Les procds de con-ersion

,.&. Con-ersion par -ariation de rsistance
A1antages : Signal de sortie $le1$ % Utilisable sans conditionneur % +ossibilit$ d'adapter & une 1ariation non lin$aire. 3ncon1$nients : Dur$e de 1ie % Sensibilit$ au( 1ibrations.

,.'. 8au5es d9e4tensio(trie

Des 2auges de contraintes sont coll$es sur le corps d'$preu1e. Dlles sont mont$es sur un pont de :heatstone, par deu(, ce #ui permet une compensation des grandeurs d'influences.

A1antages : +r$cision % +eut sensible au( 1ibrations. incon1$nients : @aiblesse du signal de sortie % @luage des colles

,.*. 8au5es pi6o;rsisti-es

Prsentation !n remplace le corps d'$preu1e par une 2auge pi$7o-r$sisti1e (Semi-conducteur". Le signal obtenu a1ec les 2auges e(tensiom$tri#ues diffus$es & couches minces ne d$passe gu/re une 1ingtaine de milli1olts pour lC$tendue de mesure nominale dCun capteur. 3l peut Ptre d$cupl$ a1ec des 2auges & pi$7or$sistances diffus$es dans un substrat de silicium, ce dernier $tant utilis$ directement pour la constitution du corps dC$preu1e, membrane ou barreau d5namom$tri#ue, par e(emple. Le silicium a $t$ choisi en raison de la parfaite $lasticit$ de ses mono-cristau( assurant une h5st$r$sis n$gligeable et, aussi, & cause de ses propri$t$s semiconductrices et pi$7or$sistantes permettant la r$alisation in situ, par diffusion [planar[ dCun ensemble de 2auges pou1ant

page -H/ ).

former un pont. Le substrat cristallin assurant la con1ersion de la pression appli#u$e en contraintes internes est du t5pe . Les impuret$s du t5pe + sont diffus$es dans les 7ones dont lCorientation par rapport au( a(es cristallins assure une bonne sensibilit$ par la combinaison des contraintes d$1elopp$es par la d$formation du substrat. Les 2auges sont implant$es de mani/re & ce #ue les 1ariations de r$sistance en fonction des contraintes internes restent $gales et de signe oppose pour les deu( paires de 2auges. +ar e(emple pour une implantation de #uatre 2auges : O- E - O) E O6 E - O; E O La tension 1m au( bornes de la diagonale de mesure dCun pont aliment$ & courant constant 3 est : 1m E 3/; . (O- - O) T O6 - O;" E 3 . O La 1ariation relati1e de r$sistance en fonction de la contrainte a5ant pour e(pression : O/O0 E . ou est le coefficient de pi$7or$sisti1it$ du cristal (;.-0--0 m)/ par e(emple" la tension de mesure peut encore sC$crire : 1m E . 3 . O0 . La sensibilit$ peut 1arier de 0,- & 6 mA/mbar, pour les basses pressions, sui1ant la g$om$trie de la membrane et lCintensit$ 3, et de 0,) & -),. m1/bar pour des pressions allant de #uel#ues centaines de millibars & #uel#ues centaines de bars. +rati#uement cela correspond & un signal de -00 & 600 mA pour lC$tendue de mesure. Utilisables entre J;0I, et T-).I, les capteurs & 2auges diffus$es peu1ent Ptre compens$s en temp$rature par un choi( con1enable du tau( de dopage en impuret$s ,du moins dans des limites d$finies,-)0I, TH0I, par e(emple. !n peut $galement compenser les 1ariations thermi#ues des r$sistances des 2auges en introduisant dans le conditionneur un dispositif de correction command$ gr\ce & une sonde de temp$rature ?> diffus$e & cette fin dans la membrane en plus des 2auges. Caractristiques (trolo5iques. ordres de 5randeur. Lin$arit$ et h5st$r$sis : N 0,) & N ) K de lC$tendue de mesure (D.<." O$solution : bien meilleure #ue 0,- K de D.<. +r$cision : 0,- & 0,. K de D.<. Oapidit$ : fr$#uence propre de .0 487 & - <87 selon le diam/tre et lC$paisseur de la membrane Signal de sortie : .0 & -00 mA A-anta5es et incon-nients A1antages : tr/s faibles dimensions masse #uasi nulle : possibilit$ de r$aliser des membranes de diam/tre de lCordre du millim/tre% insensibilit$ au( 1ibrations et chocs 3ncon1$nient : sensibilit$ & la temp$rature #ui est limit$e & -.0C,

,.,. 8au5es + fils tendus

page -G/ ).

La longueur ac T ca est constante. La pression diminue ac et augmente bc. ,ela se sch$matise de la faFon sui1ante : A1antages : =onne fid$lit$ % @aible d$ri1e. incon1$nients : sensible au( chocs

,... Con-ersion par -ariation de capacit

<ariation de d9paisseur

La diff$rence de pression entraYne la 1ariation de l'$paisseur entre les conducteurs, d'o] une 1ariation de la capacit$ de la cellule. <ariation diffrentielle de capacit

page )0/ ).

Les pressions +- et +) sont transmises par l'interm$diaire d'une huile de silicone & la membrane d$formable, ce #ui entraYne une 1ariation de la capacit$ entre les armatures et la membrane d$formable. A-anta5es et incon-nients A1antages : @aible masse % +eu sensible au( acc$l$rations. 3ncon1$nients : Sensibilit$ & la temp$rature (sauf montage diff$rentiel" % Sortie haute imp$dance

,.0. Con-ersion par -ariation d9inductance

A-anta5es et incon-nients A1antages : @aible h5st$r$sis % >r/s bonne r$solution % Signal de sortie $le1$. 3ncon1$nients : sensible au( chocs et au( 1ibrations.

,.1. Con-ersion par effet pi6o;lectrique

Prsentation Les structures pi$7o-$lectri#ues utilis$es comme corps d'$preu1e assurent directement la transformation de la contrainte, produite par l'application d'une force @, en une charge $lectri#ue Q.

Des structures pi$7o-$lectri#ues tubulaires ont $t$ d$1elopp$es sous forme de c\ble coa(ial blind$. Dlles permettent la mesure de faibles 1ariations de pressions en milieu haute pression ou pour le contrXle de trafic. A-anta5es et incon-nients A1antages : D(cellente r$ponse en fr$#uence % <iniaturisation. 3ncon1$nients : Sensibilit$ & la temp$rature % $cessite un c\ble de liaison de faible bruit.

page )-/ ).

.. Les capteurs + /alance de force ou quili/re de forces

..&. Prsentation

Dans les capteurs de pression & $#uilibre de force, comme dans une balance, le s5st/me contrebalance les effets des forces de pression pour rester dans une position d'$#uilibre. L'intensit$ de la r$action du s5st/me est proportionnelle au( effets des forces de pression. Dans le cas de la balance, la masse < & l'$#uilibre est $gal & la masse & d$terminer. !n peut sch$matiser le fonctionnement des balances & $#uilibre de force par le sch$ma blocs sui1ant : Le capteur, ainsi #ue le s5st/me peu1ent ne pas Ptre lin$aire. Dn effet, & l'$#uilibre la position est identi#ue #uelle #ue soit la 1aleur des forces de pression (l'erreur $tant n$gligeable". !n peut donc $crire : <E@/A

..'. A-anta5es et incon-nients

A1antages : D$formation du corps d'$preu1e limit$e, ce #ui entraYne un faible ph$nom/ne d'h5st$r$sis % >r/s bonne lin$arit$. incon1$nients : +ri( % Dncombrement.

page ))/ ).

0. Mesure de la pression du -ide

0.&. Prsentation
!n d$signe sous le terme de 2auges & 1ide, les capteurs destin$s & la mesure de la pression d'un ga7 lors#ue celleci est inf$rieure & la pression atmosph$ri#ue. Dans le domaine des basses et tr/s basses pressions la grandeur int$ressante est la densit$ de mol$cules dans le ga7 consid$r$ comme homog/ne et non plus la pression e(erc$e par le ga7.

0.'. "iffrents do(aines du -ide

!n d$finit plusieurs domaines de 1ide : Domaine de pression (en mb" Aide primaire -06 & Aide mo5en - & -0-6 Aide pouss$e -0-6 & -0-B Ultra 1ide U -0-B

0.*. Les diffrents types de =au5es + -ide

!n peut classer les 2auges & 1ide en trois groupes principau( : Les 2auges & effet m$cani#ue, Les 2auges & effet thermi#ue, Les 2auges utilisant une caract$risti#ue $lectri#ue du ga7. Le premier groupe comprend les 2auges comportant un corps d'$preu1e #ui se d$forme sous l'effet d'une pression diff$rentielle. (e(emple : le tube de =ourdon" Le deu(i/me groupe comprend les 2auges a5ants pour corps d'$preu1e un $l$ment chauff$ dont la temp$rature d'$#uilibre d$pend de la pression en1ironnante. Le mesurande-. secondaire est alors la temp$rature. Dans le troisi/me groupe de 2auges, la mesure porte directement sur le ga7 % les mol$cules sont d$nombr$es & partir du comptage du nombre d'ions #u'elles sont susceptibles de fournir sous la forme d'un courant $lectri#ue.

-.

L'assignation d'une 1aleur & une grandeur ph5si#ue ou chimi#ue est une op$ration de mesure, la grandeur ob2et de la mesure $tant appel$e le (esurande. page )6/ ).

1. Trans(etteurs de pression
1.&. :onction
Le transmetteur de pression peut fournir diff$rents t5pes d'information : Une pression relati1e % Une pression absolue % Une pression diff$rentielle image d'un d$bit ou d'un ni1eau.

1.'. Canalisations
Lors#uCelles sont connues, les propri$t$s corrosi1es du produit & mesurer doi1ent Ptre prises en compte lors du choi( du mat$riau de composition des canalisations. La d$gradation de canalisations incompatibles a1ec le produit #ui 5 circule ris#ue de perturber le proc$d$ et de pro1o#uer des blessures gra1es au personnel. A$rifier #ue les sections humides du r$seau de canalisations sont pleines.

1.*. !urchar5e
Lors de la mise sous pression, $1iter les surcharges et en particulier les coups de b$lier. Le d$passement de cette pression est susceptible dCendommager le transmetteur et de pro1o#uer des blessures gra1es au personnel. La pla#ue dCidentification indi#ue la pression ma(imale admissible

1.,. Monta5es
Mesures de d/its de liquides <onter le transmetteur & cot$ ou au-dessous des prises d'impulsion. >outes les canalisations hori7ontales doi1ent pr$senter une pente descendante. Le transmetteur doit Ptre enti/rement purg$ d'air afin d'$1iter les erreurs de mesure. >ous les robinets d'isolement des raccords de pression, doi1ent Ptre dans une position proche de l'hori7ontale. Dffectuer les branchements de pression sur le cot$ de la bride dans le d$bit hori7ontal.

Mesures de d/its de 5a6 <onter le transmetteur & cot$ ou au-dessus des prises d'impulsion. >outes les canalisations hori7ontales doi1ent pr$senter une pente montante. Dffectuer les branchements de pression sur le cot$ de la bride dans le d$bit hori7ontal.

page );/ ).

Mesures de d/its de -apeurs <onter le transmetteur au-dessous des prises d'impulsion. >outes les canalisations hori7ontales doi1ent pr$senter une pente descendante. Le transmetteur doit Ptre enti/rement purg$ d'air afin d'$1iter les erreurs de mesure. >ous les robinets d'isolement des raccords de pression doi1ent Ptre dans une position proche de la 1erticale. e pas purger les prises d'impulsion & tra1ers le transmetteur. Oincer les canalisations apr/s a1oir ferm$ les robinets sup$rieurs. Oemplir les canalisations d'eau a1ant de reprendre les mesures.

page )./ ).