-STRUCTURATION PAR ABLATION LASER NANOSECONDE DE COUCHES

MINCES DE TIO2
Faiza Meriche1, Rgis Kremer2, Azzedine Boudrioua3, Estelle Clauss4, Raouf Mechiakh5,
Rabah Bensaha5, et Eric Fogarassy6
1
2

Laboratoire dEtudes des Matriaux, Universit de Jijel, BP 98 Ouled Aissa,18000 Jijel, Algrie
Laboratoire LMOPS, CNRS UMR 7132, Universit de Metz et Suplec, 2 rue E. Belin 57070 Metz
3
Laboratoire de Physique des Lasers, Unit mixte du CNRS -Universit Paris 13
4
IREPA Laser, Pole API-Parc dinnovation, 67400 Illkirch Strasbourg
5
Laboratoire de Cramiques, Universit de Constantine, Route Ain El-Bey, 25000 Constantine,
Algrie.
6
Institut dElectronique du Solide et des Systmes, 2 rue du Loess, 67037 Strasbourg
faiza_meriche@yahoo.com

RESUME
Dans ce travail nous rapportons la ralisation de -structures bidimensionnelles (2D)
dans des couches minces de TiO2 par ablation laser en rgime nanoseconde. Les
couches de TiO2 sont dposes par le procd sol-gel sur des substrats de verre.
MOTS-CLEFS : -Structuration ; ablation laser ; TiO2.
1. INTRODUCTION
Les films minces doxyde de titane (TiO2) possdent de grandes potentialits technologiques
grce leurs proprits spcifiques (grande stabilit chimique, indice de rfraction lev,
transparence dans le visible, ) permettant leur utilisation dans la fabrication de composants
optiques et optolectroniques, dtecteurs, photocatalyseurs, guides dondes, amplificateurs optiques
intgrs, et en structures multicouches alternes (SiO2-TiO2) dans la fabrication des microcavits
optiques miroirs de Bragg. Le TiO2 est galement un bon candidat pour la fabrication de structures
photoniques pour la lumire visible [1]. Pour toutes ces raisons, loxyde de titane devrait jouer un
rle important dans la micro et nano technologie photonique. Il est donc intressant dtudier la
possibilit de raliser des structures photoniques dans ce matriau. Lirradiation du TiO2 par des
sources lasers a t rapport sur des poudres et des monocristaux [2, 3].
Dans le cadre de ce travail , nous nous sommes intresss lutilisation de lablation laser en
rgime nanoseconde pour raliser des -structures bidimensionnelles (2D) sur des couches minces
de dioxyde de titane (TiO2) dposes par le procd sol-gel sur des substrats de verre. Notre objectif
est de montrer la faisabilit de structures bande interdite photonique (BIP).
2. PROCEDURES EXPERIMENTALES
Pour cette tude nous avons utilis des films minces de dioxyde de titane de diffrentes
paisseurs dposes sur des substrats de verre par le procd sol-gel de trempage-retrait [4]. Les
couches obtenues subissent diffrents traitements thermiques dans un intervalle de temprature
allant de 350 500C pendant 2h. Ces couches sont stoechiomtriques et possdent une bonne
adhsion au substrat.
Les ablations ont t ralises avec une station Optec ProMaster fonctionnant par projection
de masque avec diffrents motifs. La station est quipe dun laser KrF excimre fournissant des
pulses 6 ns 248 nm avec une intensit et une frquence variable. En outre, cette station est quipe
dun plateau motoris de translation x-y. Lirradiation des couches a t effectue avec un masque

de 10 m de diamtre, un taux de rptition de 50 Hz et les fluences appliques varient de 0.3 2.3

J/cm2.
3. RESULTATS ET DISCUSSSION
Cette tude constitue une premire tape pour montrer la faisabilit de structures photoniques
par ablation laser en rgime nanoseconde dans les couches minces de TiO2. Notre but est dtudier
linfluence des paramtres dablation (le nombre de tirs et la fluence) sur les caractristiques des
trous ablats et doptimiser le processus dablation par un laser KrF excimre en rgime
nanoseconde.
Auparavant, nous nous sommes intresss ltude des proprits guidantes des couches
obtenues. Pour cela, nous avons utilis la spectroscopie m-Lines avec un faisceau laser He-Ne la
longueur donde 632 nm. Les rsultats obtenus pour diffrentes couches de TiO2 ont montr que ces
dernires supportent un seul mode guid en polarisation TE. La valeur de lindice de rfraction la
temprature de recuit 450C pour la polarisation TE est nTE=2.064. Les pertes optiques dans les
couches tudies sont estimes 2 dB/cm. Cette valeur montre que les couches minces de TiO2 sont
de bonne qualit optique do leur intrt pour loptique intgre.
Pour les travaux de structuration, nous avons ralis une matrice de trous cylindriques de 10
m de diamtre sur la surface de la couche avec une variation du nombre de tirs de 1 15 par pas de
1 tir en fonction de la fluence (de 0.3 2.3 J/cm2) la frquence 50Hz. Une photographie du rseau
obtenu est prsente sur la figure (1-a). Le dbut de lablation a t observ travers les
changements du contraste de la surface en utilisant un microscope optique Nomarski.
15 tirs

1 tir
0.3

1 tir

2 tirs

3 tirs

4 tirs

Nombre de
tirs

100 m

2.3

Fluence
(J/cm2)

(a)

(b)

Fig. 1 : (a) Matrice de trous ralise sur la couche de TiO2 par ablation laser.
(b) Lvolution de la forme dun trou en fonction du nombre de tirs (trou ralis la fluence 0.3 J/cm2).

Les photographies prsentes sur la figure (1-b) montrent les changements macroscopiques
superficiels des premiers trous structurs avec la fluence minimale (0.3 J/cm2). On a constat que
ltat de surface de la couche change ds la premire impulsion. Lablation est ralise mme avec
les valeurs minimales de la fluence et du nombre de tirs.
Lexamen de ces trous par microscopie forces atomiques (AFM) a permis la dtermination
de lvolution de la profondeur des trous en fonction des paramtres dablation. A titre dexemple,
la figure 2 montre le profile dun trou ablat en utilisant 15 tirs et la fluence 0.3 J/cm2. Il est
remarqu que les trous ablats ont des surfaces rugueuses et ondules. On constate galement
lexistence dun anneau de matire autour des zones ablates.

350

ti2trou 0
300

Z (nm)

250
200
150
100
50
0
-2

10

12

14

16

18

X (m)

Fig. 2 : Profil AFM dun trou ablat dans le TiO2 en utilisant 15 tirs et 0.3 J/cm2.

Profondeur / tir (nm)

Sur la figure 3, nous prsentons la variation du taux dablation (profondeur ablate par tir) en
fonction de la fluence. On remarque que le taux dablation dcrot avec laugmentation du nombre
de tir. Ljection de la matire en dehors des trous devient moins efficace pour le nombre de tir
lev. Ce phnomne a t dj rapport dans la littrature [5]. Aprs application des tirs successifs,
la matire fondue est resolidifie et redpose au fond des trous.
16,5
16,0
15,5
15,0
14,5
14,0
13,5
13,0
12,5
12,0
11,5
11,0
10,5
0,0

13 tirs
15 tirs

0,5

1,0

1,5

2,0

2,5

Fluence (J/cm 2)

Fig. 3 : Profondeur ablate par tir en fonction de la fluence pour 13, 14 et 15 tirs.
CONCLUSION
Nous avons obtenues des couches minces de TiO2 dposes par sol-gel sur verre. Ces couches
se comportent comme des guides donde monomodes TE0 632.8 nm avec de faibles pertes.
Nous avons utilis lablation laser nanoseconde pour raliser des structures micromtriques
2D sur ces couches. Les rsultats montrent que lirradiation par un laser excimre entrane une
diminution du taux dablation en augmentant le nombre de tir. Aussi, la surface des zones ablates
est rugueuse et ondule avec lexistence dun anneau de matire sur le bord. Ces rsultats
prliminaires nous ouvrent la voie vers une tude plus approfondie couvrant tous les trous du rseau
ralis et qui devrait nous permettre de trouver les paramtres optimaux dirradiation laser afin
dviter les dformations des trous et fabriquer des motifs optimaux pour les structures photoniques.
REFERENCES
[1] X. Wang, M. Fujimaki, K. Awazu, Optics Express, vol. 13, p. 1486, 2005.
[2] T. Le Mercier, J.-M. Mariot, P. Parent, M.-F. Fontaine, C.F. Hague, M. Quarton, Appl. Surf. Sci., vol. 86,
p. 382, 1995.

[3] Y.-J. Li, T. Matsumoto, N. Gu, M. Komiyama, Appl. Surf. Sci., vol. 237, p. 374, 2004.
[4] R. Mechiakh, F. Meriche, R. Kremer, R. Bensaha, B. Boudine, A. Boudrioua, Optical Materials, Vol. 30,
p. 645, 2007.

[5] D.C. Deshpande, A.P. Malshe., E.A. Stach, V. Radmilovic, D. Alexander, D. Doerr, D. Hirt, J. Appl.
Phys., vol. 97, p. 074316, 2005.