MR90949

UNIVERSITÉ DE SHERBROOKE
Faculté de génie
Département de génie mécanique
Étude et fabrication de micro-débitmètres à pression

différentielle de type orifice plat destinés à l'installation
d'une micro-turbopompe
Mémoire de maîtrise
Spécialité : génie mécanique
Amrid AMNACHE
Jury : Luc Fréchette (directeur)

Hachimi Fellouah
Jean Sébastien Plante
Sherbrooke (Québec) Canada Août, 2012
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*
A ma mère, à mon père
RÉSUMÉ
La croissance du développement des microsystèmes fluidiques de puissance dans la dernière

décennie a augmenté considérablement le besoin de développer des instruments de mesure
différents des instruments traditionnels. Le but du présent travail est l'étude et la fabrication des
micro-débitmètres à pression différentielle. Dans ce cas, le principe de calcul du débit se fait par
la mesure de la chute de pression à travers un micro-orifice dans un microcanal à section
rectangulaire. Ces micro-débitmètres à micro-organe déprimogène sont destinés pour mesurer le
débit dans les microsystèmes fluidiques opérant à gaz tels que les power MEMS. Pour ces
derniers, actuellement, il n'existe aucun micro-débitmètre sur le marché adapté pour leurs
conditions d'opération.
Dans ce mémoire, une série de 16 micro-débitmètres de type orifice plat à section rectangulaire
ont été fabriqués et testés expérimentalement. Leur géométrie est caractérisée par deux
paramètres : un coefficient de contraction allant de 0,2 à 0,8 et un rapport de forme au niveau de
l'orifice allant de 0,21 à 2,45. Le diamètre hydraulique des microcanaux varie entre 220 et
388 |am. La variation de la chute de pression à travers le micro-orifice en fonction du débit a été
mesurée pour chaque micro-débitmètre avec une pression d'entrée de 5, 6,5 et 8 bars. La plage de
débit étudiée est entre 0,2 et 100 mg/s. Le coefficient de décharge de chaque micro-débitmètre a
été déterminé. Par ailleurs, le comportement du coefficient de décharge a été étudié en fonction
du nombre de Reynolds allant de 100 à 13000, et en fonction de la perte de pression
ÀP
adimensionnée, —, allant de 0,001 à 0,6. A même dimension géométrique, les résultats
"i
expérimentaux ont montré que le coefficient de décharge est fonction du nombre de Reynolds
pour une valeur du facteur d'expansion, Y, supérieure à 0,9. Pour des valeurs de Y inférieures à
ÀP
0.9, le coefficient de décharge est dépendant de —. Les résultats expérimentaux ont été comparés
aux résultats de la simulation numérique. De cette façon, le modèle numérique a été validé.
Ce travail a permis de développer des micro-débitmètres capables de mesurer de faibles débits à

l'ordre des milligrammes par seconde (mg/s) dans les microsystèmes fluidiques de puissance.
Particulièrement, le travail a permis de répondre aux exigences de l'installation d'une micro-
turbopompe en termes de mesure du débit de gaz. De plus, l'étude approfondie des micro-
débitmètres a permis d'acquérir une connaissance plus élaborée de l'écoulement à travers ce type
de restriction dans les microcanaux rectangulaires. La caractérisation expérimentale de ce type de
micro-débitmètres a été faite pour la première fois. En effet, cette étude a permis de définir des
corrélations empiriques du coefficient de décharge spécifiques à chaque dimension géométrique.
Ces corrélations seront un bon outil de design de ce genre de mesure.
Mots clés : micro-débitmètre, coefficient de décharge, micro-turbopompe, différence de pression,

microfabrication, corrélation.
REMERCIEMENTS
Je me permets d'exprimer mes remerciements les plus sincères pour le professeur Luc Fréchette,
qui, en tant que directeur de recherche, n'a cessé de croire en mes capacités pour ce projet. Je
tiens à le remercier également pour son soutien à la fois scientifique et moral tout le long de ce
travail.
Toute ma reconnaissance à Monsieur Gholamreza Mirshekari pour sa contribution à la

fabrication des micro-débitmètres aux salles blanches.
Je tiens à remercier mon collègue du projet de recherche Monsieur Mokhtar Liamini pour son
aide précieuse et pour tous ces conseils utiles qu'il m'a prodigués.
J'adresse aussi mes remerciements à Monsieur Mohammed Omri d'avoir accepté de travailler
avec nous pour la mise en œuvre de l'article de conférence.
Je manifeste ma gratitude à Monsieur Charles Sevigny, stagiaire avec qui j'ai travaillé, pour sa
collaboration étroite dans l'élaboration du banc de test.
Je n'oublie pas d'adresser mes plus chaleureux remerciements pour Madame Estelle Bernier qui
m'a toujours soutenu et encouragé durant la réalisation de ce mémoire.
Un grand merci très spécial pour mes parents et mon frère qui m'ont tant soutenu.
Enfin merci pour toute personne ayant participé au bon déroulement de ce modeste travail.
Amrid Amnache
iii
TABLE DES MATIÈRES
REMERCIEMENTS iii
LISTE DES FIGURES vii
LISTE DES TABLEAUX ix
LISTE DES SYMBOLES xi
Introduction générale 1
1. INTRODUCTION 5
1.1 Les microsystèmes fluidiques 5
1.2 Méthodes de fabrication des microsystèmes fluidiques 6
1.3 Les écoulements à petite échelle 6
1.4 Application de la microturbine à vapeur 8
1.5 Mesure du débit des fluides dans les microsystèmes fluidiques 13
1.6 Problématique et objectifs de recherche 18
1.7 Méthodologie 20
2. CONCEPTION ET MICROFABRICATION DES MICRO-DÉBITMÈTRES À
ORIFICE PLAT 23
2.1 Introduction 23
2.2 Principe de fonctionnement 23
2.3 Hypothèses et équations principales pour les micro-débitmètres 25
2.4 Dimensions et microfabrication des micro-débitmètres à orifice plat 29
3. ÉTUDE EXPÉRIMENTALE DES MICRO-DÉBITMÈTRES À ORIFICE PLAT 37
3.1 Introduction 37
3.2 Banc d'essais et protocole expérimental 37
3.3 Résultats et interprétations 42
Conclusion générale 67
ANNEXE A : AN ANALYTICAL AND NUMERICAL STUDY OF RECTANGULAR
ORIFICE PLATE MICRO-FLOWMETERS 71
ANNEXE B : MODÉLISATION ANALYTIQUE DES MICRO-DÉBITMÈTRES
THERMIQUES 89
ANNEXE C : CONCEPT ET CALCUL DES O-RING 111
ANNEXE D : MASQUES DE PHOTOLITHOGRAPHIE 117
ANNEXE E : RECETTES DE FABRICATION DES MICRO-DÉBITMÈTRES 119
ANNEXE F : BANC D'ESSAIS DE LA MICRO-TURBOPOMPE 124
LISTE DES RÉFÉRENCES 125
LISTE DES FIGURES
Figure 1-1 Les différents régimes d'écoulement 8
Figure 1-2 Schéma d'une section de la micro-turbopompe 10
Figure 1-3 Vue éclatée de la micro-turbopompe 11
Figure 1-4 Micro-débitmètre thermique 15
Figure 1-5 Micro-contrôleur de débit 16
Figure 1-6 Micro-débitmètre à piézorésistivité 16
Figure 1-7 Type de débitmètres à organe déprimogène 18
Figure 2-1 Pertes de pression dans le macro-débitmètre et le micro-débitmètre 24
Figure 2-2 Schéma d'un micro-débitmètre à orif ice plat 30
Figure 2-3 Vue sous le microscope électronique du microcanal tranché 32
Figure 2-4 Méthode de fabrication des micro-débitmètres à orifice plat 34
Figure 2-5 Schéma de la méthode de gravure avec des murs sacrificiels 45
Figure 2-6 Puce des micro-débitmètres et une vue agrandie d'un seul micro-débitmètre 35
Figure 3-1 Schéma du dispositif expérimental pour le test des micro-débitmètres 38
Figure 3-2 Vue éclatée du packaging de micro-débitmètres 39
Figure 3-3 Banc d'essais des micro-débitmètres 40
Figure 3-4 Schéma des résistances thermiques entre le microcanal et l'air ambiant 44
Figure 3-5 Nombre de Knudsen en fonction du nombre de Reynolds à l'orifice Re0, #13 46
Figure 3-6 Tests de répétition pour le micro-débitmètre #6 46
Figure 3-7 Variation de la différence de pression en fonction du débit massique 50
Figure 3-8 Coefficient de décharge en fonction du nombre de Reynolds 56
Figure 3-9 Coefficient de décharge en fonction de la différence de pression adimensionnée 59
Figure 3-10 Coefficient de décharge en fonction de la différence de pression adimensionnée 60
Figure 3-11 Comparaison entre le débit prédit et le débit mesuré 64
Figure 3-12 Comparaison entre les résultats expérimentaux et les résultats numériques, #11 66
Figure 3-13 Comparaison entre les résultats expérimentaux et les résultats numériques, #7 66
Figure A-l Pressure drop through orifice 76
Figure A-2 Schematic domain used in the numerical simulation of the flow through 79
Figure A-3 Normalised static pressure profiles across the channel at three différent positions ....80
Figure A-4 Static pressure contours in the symmetric plane 81
Figure A-5 Normalized static pressure variation along the micro-flowmeter #3 82
Figure A-6 Velocity magnitude contours in symmetric plane 83
Figure A-7 Pressure drop versus mass flow rate through the micro-orifice 84
Figure A-8 Discharge coefficient versus channel Reynolds number 85
Figure A-9 Velocity profiles at bJ2 on half with of micro-channels 86
Figure B-l Schéma du micro-débitmètre thermique 90
Figure B-2 Longueur de développement thermique en fonction du rapport de forme 99
Figure B-3 Longueur du développement hydrodynamique et thermique 100
Figure B-4 Nombre de Nusselt en fonction du rapport de forme pour Br=Q 102
Figure B-5 Nombre de Nusselt en fonction du rapport de forme 103
Figure B-6 Profil de température adimensionnée pour différents nombres de Brinkman 104
Figure B-7 Variation de la différence de température adimensionnée 105
Figure B-8 Organigramme de design d'un micro-débitmètre thermique à canal rectangulaire... 107
Figure B-9 Puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, cas du TB 109
vii
Figure B-10 Puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, cas du JB 109
Figure B-l 1 Puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, cas de turbine .110
Figure C-l Serrage des O-ring par la méthode de la butée 114
Figure D-l Masque de photolithographie pour la formation des microcanaux 117
Figure D-2 Masque de photolithographie pour la formation des trous d'alimentation 118
viii
LISTE DES TABLEAUX
Tableau 1-1 Comparaison élémentaire entre la turbine et la micro-turbopompe à vapeur 9
Tableau 1-2 Spécifications des débitmètres à utiliser dans l'installation micro-turbopompe 12
Tableau 1-3 Comparaison des méthodes de mesure de débit 20
Tableau 2:1 Paramètres et dimensions géométriques des micro-débitmètres 31
Tableau 3-1 Groupements adimensionnels 51
Tableau 3-2 Paramètres des corrélations empiriques 62
Tableau A-l Géométrie parameters for micro-flowmeters 78
Tableau B-l Paramètres des micro-débitmètres thermiques 108
Tableau C-l Compatibilité des O-ring avec l'environnement et les fluides 112
Tableau C-2 Résistance des matériaux des O-ring à la température 113
Tableau E-l Étapes de fabrication des micro-débitmètres à orifice plat 119
Tableau E-2 Recette de la gravure profonde DRIE (étapes 7, 8, 9, 10) 122
Tableau E-3 Recette de la gravure profonde DRIE (étape 21) 123
ix
LISTE DES SYMBOLES
Symbole Définition
Abréviations en attelais
ASME American Society of Mechanical Engineering
CFD Computational Fluid Dynamics
DRIE Deep Reactive Ion Etching
FRMS Fractional root mean square
JB Journal bearing
Lab-on-chip Laboratory On a Chip
LPCVD Low Pressure Chemical vapor Déposition
MEMS Micro Electro Mechanical systems
PECVD Plasma Enhanced Chemical Vapor Déposition
RIE Reactive Ion Etching
RMS Root mean square
SOI Silicon On Insulator
TB Thrust Bearing
Variables
A Section de passage
b Largeur
C Compression du joint
Cd Coefficient de décharge
Cd' Coefficient de décharge défini par la régression
pari, par2 Constantes des corrélations
Cp Chaleur spécifique à pression constante
D Diamètre interne du joint
d Diamètre de la section du joint
Dh Diamètre hydraulique
E Module d'Young
Ec Écrasement du joint
Ep Épaisseur
RMS Erreur absolue
FRMS Erreur relative
Èp Énergie de dissipation visqueuse
F Force de compression appliquée par le joint
hc Coefficient de convection
k Rapport des chaleurs spécifique du gaz
L Largeur de la couche/Largeur du bord de l'orifice (article)
/ Longueur
Le Longueur caractéristique
Lm Libre parcours moyen
m Débit massique
P Pression
xi
pp Périmètre
Q Puissance thermique
q" Flux de chaleur
R Constante des gaz particulier
r Coefficient de corrélation
Rth Résistance thermique
S Surface
s Coefficient de sécurité
T Température
u Vitesse longitudinale fluide
V Vitesse du fluide
V Vitesse transversale du fluide
vo Volume
vx Vitesse du fluide suivant l'axe des x
X,, Longueur de l'entrée du canal
x2 Longueur totale du canal
Y Facteur d'expansion
Z Longueur de développement
Svmboles erecaues
AP Différence de pression
A7 Différence de température
AP Distance entre les deux points de mesure
a Rapport de forme de l'orifice (article)=èo/co
P Coefficient de contraction
y Conductivité thermique
s Rapport de forme de Porifice=û>/è0
e Rapport de forme du canal=bc/(o
e Profil de température adimensionné
e Température adimensionnée
t* Viscosité dynamique
V Viscosité cinématique
K Nombres adimensionnels
P Densité volumique
a Coefficient d'accommodation tangentiel
Oc Contrainte de rupture du silicium
<P Terme de dissipation visqueuse
X Incertitude de mesure ou de calcul
(Û Profondeur du canal
Nombres adimensionnels
Br Nombre de Brinkman
K Facteur d'écoulement
Kn Nombre de Knudsen
M Nombre de Mach
Nu Nombre de Nusselt
xii
Pr Nombre de Prandtl
Re Nombre de Reynolds
Indices
0 Arrêt/total/stagnation
1 Premier point de mesure
2 Deuxième point de mesure
2c microcanal chauffé des deux côtés
4c microcanal chauffé des quatre côtés
air Air
amb Ambiant
b Butée
c Canal
conv Convection
cri Critique
dis Dispositif
H Hydraulique
h Hydrodynamique
id Idéal
inlet Entrée
m Moyenne
max Maximal
o Orifice
outlet Sortie
pyrex Pyrex
rep Répétition
S Surface
Sch Schlichting
Si Silicium
Si02 Oxyde de silicium
stat Statique
t Transition
th Thermique
tôt Total
Exposants
* Adimensionné
Moyenne
r
Température adimensionnée
xiii
Introduction générale
Depuis les deux dernières décennies, la miniaturisation des systèmes est en croissance
continue. Parmi ces systèmes, se trouvent les microsystèmes manipulant des fluides qui se
démarquent habituellement dans les domaines de la biologie, la biochimie et la médecine. Par
exemple, les microsystèmes d'analyse sanguine et les laboratoires sur puce (Lab-on-chip).
Mais récemment, une nouvelle technologie de microsystèmes utilisant des fluides à haute
densité d'énergie a fait apparition dans la filiale des Power MEMS, tels que les microturbines à
vapeur et à gaz, piles à combustible miniatures et les micro-propulseurs. Ces microsystèmes
fluidiques de puissance ont pour but commun la génération ou la transformation d'énergie.
La croissance du développement des microsystèmes de puissance manipulant les fluides dans

ces dernières années a augmenté le besoin de nouvelles méthodes et technologies
d'instrumentation. Le besoin s'accentue du fait que la plupart de ces microsystèmes sont en
cours de développement dans les laboratoires de recherche. En effet, la caractérisation de ces
derniers fait intervenir beaucoup d'instruments de mesure qui sont peu accessibles par leur
nombre limité sur le marché, très coûteux et en majorité non adaptés pour ce type
d'applications et de conditions. Il est alors requis de développer des instruments plus adéquats
et appropriés. Parmi ces instruments de mesure, le plus utilisé est le débitmètre pour mesurer
le débit des fluides. Les débitmètres commerciaux existants actuellement sur le marché ne sont
pas adéquats pour mesurer des faibles débits de gaz de l'ordre des milligrammes par seconde
(mg/s) à haute température, plus que 200"C.
Comme les débitmètres traditionnels présentent en général une simplicité de fonctionnement,

il paraît intéressant de les miniaturiser afin de pouvoir les adapter à la mesure du débit dans
ces microsystèmes fluidiques. C'est dans ce contexte que s'inscrit le présent mémoire qui
concerne l'étude et la conception des micro-débitmètres à différentielle de pression de type
orifice plat. Le calcul du débit se fait à l'aide d'une mesure de la différence de pression entre
l'amont et l'aval d'un micro-orifice qui constitue une restriction dans un microcanal. Ces
micro-débitmètres sont destinés particulièrement pour mesurer les faibles débits de vapeur
d'eau dans l'installation d'une micro-turbopompe en cours de conception à l'Université de
Sherbrooke.
Ce mémoire est constitué de trois chapitres. Le premier chapitre présente une introduction
consacrée à donner un état de l'art sur les microsystèmes fluidiques et exposant les différentes
méthodes de mesure de débit. Une attention particulière est portée sur la micro-turbopompe
étant donné que les micro-débitmètres à concevoir dans le présent travail sont appelés à
mesurer les différents débits dans cette installation de caractérisation. Ainsi, cette partie fait
ressortir la problématique et les objectifs de la recherche suivie d'une méthodologie de travail.
Le deuxième chapitre s'agit d'une étude de conception suivie de la microfabrication des

micro-débitmètres. Cette partie décrit, en premier le principe de fonctionnement et le design
des micro-débitmètres à différentielle de pression de type orifice plat. Puis, le procédé de
microfabrication de ces micro-débitmètres effectuée en salles blanches de l'Université de
Sherbrooke.
Dans le troisième chapitre, après avoir fabriqué les micro-débitmètres, une étude
expérimentale de ces derniers est présentée. Par ailleurs, les résultats expérimentaux sont
analysés dans cette partie. Cette analyse permet de caractériser les micro-débitmètres et d'en
définir les équations empiriques du coefficient de décharge spécifique à chaque micro-
débitmètre.
Finalement, une conclusion générale de ce travail est présentée. Le mémoire comprend aussi
cinq annexes. L'annexe A est formé d'un article de conférence sous forme manuscrite en
anglais portant sur une étude analytique et numérique des micro-débitmètres à orifice plat. Le
but principal de cette étude est de voir la faisabilité de ces micro-débitmètres et de mieux
comprendre l'écoulement à travers ces microcanaux. Quatre configurations géométriques de
ces micro-débitmètres sont analysées par simulation numérique en utilisant un code
commercial (Ansys Fluent). Cette étude permet aussi de comparer les résultats obtenus du
coefficient de décharge aux résultats donnés par les différentes corrélations empiriques
existantes. L'annexe B présente une modélisation analytique d'une autre proposition de
mesure des faibles débits par la méthode thermique. L'annexe C explique le choix et le
montage des joints toriques O-ring dans le packaging. L'annexe D représente les masques
lithographiques utilisés dans la microfabrication des micro-débitmètres à orifice plat.
L'annexe E donne les recettes de fabrication des micro-débitmètres. Enfin, l'annexe F
représente un schéma du banc d'essais de la micro-turbopompe à vapeur détaillant toute
l'installation et tous les instruments de mesure.
CHAPITRE 1
INTRODUCTION
1.1 Les microsystèmes fluidiques
1.1.1 Microsystèmes fluidiques de puissance
L'augmentation de la densité de puissance avec la miniaturisation a poussé le développement

de diverses micromachines énergétiques fluidiques inspirées des systèmes à grande échelle
tels que les microturbines à vapeur (cycle de Rankine), microturbines à gaz (cycle de
Brayton) et les piles à combustible miniatures. Ces microsystèmes de transformation d'énergie
peuvent développer une puissance allant des (iWatts à des dizaines de Watts en utilisant
plusieurs catégories de source d'énergie telles que l'énergie solaire, cinétique et thermique
[Jacobson et Epstein, 2003]. Cette technologie de conversion d'énergie à petite échelle fait
partie de la catégorie connue par l'abréviation anglaise Power MEMS qui est proposée en
premier par les professeurs Epstein et Senturia au MIT [Jacobson et Epstein, 2003].
1.1.2 BioMEMS
Les microsystèmes fluidiques sont aussi utilisés dans le domaine de la santé (médecine,
biologie et biochimie...) qui dans ces dernières années a vu un développement remarquable.
Des bons exemples de bioMEMS manipulant les fluides sont : les microsystèmes Lab-on-chip
utilisés dans le décodage génomique et les microsystèmes d'analyse sanguine.
1.1.3 Micro-composants fluidiques
Le transport et le contrôle des fluides dans les microsystèmes requièrent des composants
spécifiques et adéquats. Les micro-composants peuvent assurer des fonctions similaires à la
grande échelle, mais pas forcément avec la même méthode de fonctionnement. Pour exemple,
les micropompes à membrane sont typiquement utilisées dans le domaine des bioMEMS.
Parfois, la combinaison de ces micro-composants constitue un microsystème tel que la
microturbine à vapeur qui est composée d'échangeurs de chaleur, pompe visqueuse, turbine et
roulements d'air [Fréchette et al., 2003].
1.2 Méthodes de fabrication des microsystèmes fluidiques
La technologie de fabrication des microsystèmes fluidiques, à l'image du reste des systèmes

microfabriqués, s'inspire des techniques de microfabrication développées pour la micro-
électronique, entre autres, photolithographie, gravure humide, gravure sèche RIE, Reactive Ion
Etching, et différents types de déposition chimique comme LPCVD, Low Pressure Chemical
vapor déposition, et PECVD, Plasma Enhanced Chemical vapor déposition. Leur fabrication,
qui nécessite parfois un arrangement en trois dimensions, sollicite d'autres procédés de
fabrication et de conception en utilisant la microfabrication de volume [Judy, 2001].
Notamment, la gravure DRIE, Deep Reactive Ion Etching, est appliquée pour la gravure
verticale et profonde du silicium. La profondeur de gravure peut atteindre 400 |am [Lee, 2006].
Cette technique est très employée dans la fabrication des différents microcanaux.
1.3 Les écoulements à petite échelle
La miniaturisation des systèmes fluidiques ne se réduit pas juste à un changement

dimensionnel, mais aussi a un impact considérable sur le fonctionnement et le comportement
des écoulements internes de ces microsystèmes fluidiques. En comparaison avec les systèmes
à l'échelle macroscopique, certains phénomènes physiques dans les microsystèmes fluidiques
deviennent plus ou moins importants, par exemple l'effet de la gravité qui devient négligeable
pour cette gamme d'écoulements. À l'opposé, les forces visqueuses, par exemple, deviennent
prépondérantes, puisque cette échelle est caractérisée par des faibles nombres de Reynolds. Il
en est de même pour les forces capillaires qui deviennent plus importantes en microfluidique.
Un autre phénomène qui augmente avec la miniaturisation est la densité d'énergie (cube
square law) [Lancu, et al., 2008]. Dans les systèmes fluidiques tels que les turbines à vapeur
ou à gaz et les moteurs à combustion, la puissance du système est proportionnelle au débit du
fluide, qui est lui aussi proportionnel à la section de passage du fluide (Le2). En effet, la
densité d'énergie (puissance/volume du système (Le3)) est inversement proportionnelle à la
longueur caractéristique, Le.
Certains de ces phénomènes sont parfois recherchés telles que les forces visqueuses dans les
micropompes visqueuses, où le fluide est transporté et pressurisé dans un microcanal en forme
spirale par l'effet de la rotation d'un disque au-dessus de ce microcanal [Kilani et al, 2002].
Un autre exemple : l'effet de la capillarité est recherché dans les imprimantes à jet d'encre
pour former et stabiliser le ménisque dans la tuyère d'injection [Ishida et al, 2007]. Aussi, la
densité d'énergie est recherchée. D'autres fois, les phénomènes qui apparaissent avec la
miniaturisation, sont des obstacles non désirés, et à contourner comme dans le transfert de
chaleur où le rapport de la chaleur perdue sur la chaleur générée augmente de façon
inversement proportionnelle avec l'échelle dimensionnelle.
L'hypothèse de l'écoulement continu est à questionner dans l'étude des écoulements à petite
échelle, puisque les phénomènes de transport dépendent de l'interaction moléculaire dont le
libre parcours moyen du fluide, Lm, n'est plus nécessairement négligeable par rapport aux
dimensions caractéristiques, Le, [Bontemps et al., 2005]. Cet effet est exprimé par un nombre
adimensionnel de Knudsen, Kn, qui détermine le degré de raréfaction de l'écoulement :
Lm
Kn.- (1.1)
Le nombre de Knudsen peut s'exprimer aussi en fonction du nombre de Reynolds, Re, et de

nombre de Mach, M, comme suit :
nk M
Kn =
N
2 Te (L2)
où k est la constante spécifique des gaz définie comme étant le rapport de la chaleur spécifique
à pression constante sur la chaleur spécifique à volume constant.
Pour des nombres de Knudsen inférieurs à 10~3, l'écoulement est dit continu sans glissement
du fluide sur la paroi et les équations de Navier-Stokes avec les conditions aux limites
conventionnelles sont donc valides. Pour des valeurs supérieures à 10~3, les conditions aux
limites conventionnelles ne sont plus valides. Cependant, les équations de Navier-Stokes sont
valides pour des valeurs du nombre de Knudsen compris entre 10-3 et 10-1 où l'écoulement
est dit toujours continu mais avec un glissement à la paroi, ce qui nécessite une modification
des conditions aux limites [Yener et al., 2005]. Pour un nombre de Knudsen supérieur à 0,1,
l'étude de l'écoulement fait intervenir d'autres modèles étant donné que les équations de
Navier-Stokes ne sont plus appropriées. La figure 1.1 illustre les différents régimes
d'écoulement en fonction du nombre de Knudsen.
Les écoulements dans les microcanaux peuvent être non continus. Par exemple, pour un
écoulement d'air à des conditions atmosphériques, si le diamètre hydraulique du microcanal
est inférieur ou égal à 80 |im, le nombre de Knudsen devient égal 0,001.
Conditions aux Conditions aux limites modifiées

limites
conventionnelles
0,001 0.1 10
h 1 1
v «V -y* -Asi ' -y ^ 'Kn
Écoulement Écoulement Régime Écoulement
continu continu avec transitoire moléculaire
glissement
Navier- Navier-Stokes Bohzraan Moléculaire

Stokes avec glissement
Figure 1-1 Les différents régimes d'écoulement et leurs modèles par rapport au nombre de
Knudsen [Yener et al., 2005]
1.4 Application de la microturbine à vapeur
1.4.1 La miniaturisation
La microturbine à vapeur de cycle Rankine fait partie des microsystèmes de puissance. La

miniaturisation de la turbine à vapeur traditionnelle n'est pas seulement un défi d'innovation.
Mais, elle représente à l'ère moderne une solution envisageable afin d'assurer une autonomie
d'énergie pour les machines mobiles. Même avec la miniaturisation de la turbine qui passe
d'une centrale de plusieurs mètres à une microcentrale de quelques millimètres, cette nouvelle
technologie présente les mêmes composants, le même principe de fonctionnement et le même
cycle thermodynamique que la turbine à vapeur traditionnelle. Cependant, il existe des
différences. Notamment, contrairement à la turbine qui adopte un arrangement en trois
dimensions, la microturbine adopte une disposition planaire en deux dimensions pour faciliter
et diminuer les étapes de microfabrication, c'est pourquoi l'utilisation d'autres matériaux tels
que le silicium et les verres. Aussi, la microturbine dispose d'un faible rendement qui est dû
aux pertes par frottement et aux pertes de chaleur qui s'avèrent être très importantes pour les
faibles échelles. Le tableau 1.1 illustre cette comparaison élémentaire entre la turbine et la
microturbine.
1.4.2 Micro-turbopompe à température ambiante
Pour explorer le potentiel de la microturbine à vapeur, une micro-turbopompe de

démonstration a été modélisée, fabriquée et testée à Columbia University [Lee, 2006]. Vis-à-
vis de la complexité de la conception de l'installation pour la microturbine à vapeur, cette
approche développée exclut l'évaporateur, le condenseur et la génératrice d'électricité, et
fonctionnait avec de l'air sec à température ambiante, d'où l'appellation de micro-turbopompe
Tableau 1-1 Comparaison élémentaire entre la turbine et la micro-turbopompe à vapeur
Propre ' *
thermodynamique
Cycle Cycle de Cycle de Rankine
thermodynamique Rankine/Hirn/resurchauffe/soutirage
Fluide moteur Eau (vapeur/liquide) Eau (vapeur/liquide)
Débit du fluide kg/s mg/s
Pression maximale ~260 bars ~30 bars
Température maximale ~600°C ~200-400°C
Puissance électrique MW 0.38W-12W par puce
Rendement global 30-40% 1-11%
Propriétés mécanique ,
Ordre de grandeur de Mètres Millimètres

l'installation
Type de la turbine Axiale/radiale Radiale
Type de la pompe Pompe centrifuge Pompe visqueuse
Échangeurs de chaleur Condenseur/Évaporateur Condenseur/Évaporateur
Nombre d'étage de la Multi-étage (HP-BP) Multi-rotors, Multi-
turbine (détente) étages
Matériaux Aciers fortement alliés Silicium/Quartz/Yttria-
stabilized zirconia
Disposition 3D Planaire-2D
au lieu de microturbine à vapeur. La figure 1.2 montre un schéma descriptif de cette micro-
turbopompe composée d'une turbine radiale et d'une pompe visqueuse. L'air pressurisé entre
au milieu du rotor et se détend à travers les aubes de la turbine suivant la direction radiale.
Cette énergie de détente fait tourner le rotor. Par conséquent, l'eau liquide est pompée dans la
pompe composée de microcanaux en forme spirale par l'effet de rotation du rotor et de la
viscosité du fluide. L'équilibre du rotor est assuré par différents coussins de stabilité appelés
bearing à savoir thrust bearing (TB) et journal bearing (JB) qui ont pour but de garder
mmlimai
l'équilibre axiale et latérale du rotor respectivement.
A i i
T Speed bump Pum|1 ,ow 1
Figure 1-2 Schéma d'une section de la micro-turbopompe [Lee, 2006]
La fabrication de cette micro-turbopompe se fait par des méthodes de micro-fabrication,

principalement des gravures DRIE, photolithographie et deux types de collage, anodique et
fusion. Cette micro-turbopompe est composée de cinq couches comme le montre la Figure 1.3
formant ainsi tous les éléments de la micro-installation. Trois principaux matériaux constituent
la micro-turbopompe, le pyrex, le silicium et l'oxyde de silicium.
10
A (Pyrex)
B (SOI)
Rotor
C(Si)
D(Si)
E (Si)
Figure 1-3 Vue éclatée de la micro-turbopompe [Lee, 2006]
1.4.3 Micro-turbopompe à vapeur
Après avoir développé une micro-turbopompe de démonstration qui a été testée avec de l'air
comprimée à température ambiante, le but est maintenant de concevoir une micro-turbopompe
qui pourrait fonctionner avec de la vapeur d'eau à haute température (200 à 250°C). C'est
l'objectif du projet de recherche microturbine à vapeur au département de génie mécanique à
l'Université de Sherbrooke. Le défi de cette nouvelle génération de micro-turbopompe est la
gestion thermique afin de minimiser le gradient de température entre la turbine et la pompe
pour assurer le bon fonctionnement [Liamini et al, 2008]. Cette micro-turbopompe aussi,
n'inclut pas les échangeurs de chaleur et la génératrice d'électricité pour la même cause :
diminuer la difficulté de conception. En effet, l'alimentation de la micro-turbopompe en
vapeur d'eau pour la turbine et les bearings, et en eau liquide pour la pompe, se fait par des
sources extérieures [Liamini et al., 2009]. Ceci implique le besoin d'un banc d'essais
spécifique à cette réalisation.
11
1.4.4 Caractérisation de la micro-turbopompe à vapeur
Afin de valider la fonctionnalité et l'efficacité de la micro-turbopompe à vapeur, il est

nécessaire de la tester et la caractériser expérimentalement. C'est pourquoi, un banc de test
spécifique à cette réalisation est en cours de développement au Laboratoire Micros à
l'Université de Sherbrooke. Le montage expérimental fait intervenir plusieurs canalisations et
instruments de mesure dans le but d'alimenter la micro-turbopompe en fluides, ainsi de
pouvoir prendre les mesures nécessaires pour la caractérisation. Le schéma du banc d'essais de
la micro-turbopompe est représenté en annexe F. Sa mise en place s'avère complexe et
coûteux. Par exemple, seulement pour l'alimentation en fluides, cette micro-turbopompe.
dispose de six entrées de fluide : une entrée pour la turbine (vapeur/air), deux entrées pour le
journal bearing (vapeur/air), deux autres pour le thrust bearing (vapeur/air) et finalement une
entrée pour la pompe (eau liquide). Ce qui ajoute à la complexité c'est l'utilisation d'une
enceinte chauffée afin d'éviter la condensation de vapeur dans les canalisations. La
température de l'enceinte peut atteindre 200"C. En effet, on est contraint à utiliser des
instruments de mesure qui résistent à ces hautes températures.
Parmi les instruments de mesure, les plus demandés sont les débitmètres pour mesurer les
différents débits de vapeur d'eau, air sec et eau liquide. Le tableau 1.2 représente le cahier des
charges du besoin de l'installation en termes de débitmètres.
Tableau 1-2 Spécifications des débitmètres à utiliser dans l'installation micro-turbopompe
2 [0,2-2 mg/s] [1-8 bars] 250°C

Thrust bearings Air/Vapeur d'eau
2 [1-20 mg/s] [1-7 bars] 250°C
Journal bearings Air/Vapeur d'eau
1 [1-100 mg/s] [1-7 bars] 250°C
Turbine Air/Vapeur d'eau
1 [1-200 mg/s] [1-6 bars] Entrée : 10°C
Pompe Eau liquide Sortie : 60°C
12
1.5 Mesure du débit des fluides dans les microsystèmes fluidiques
La mesure du débit est un des points les plus importants dans la caractérisation et le
fonctionnement des microsystèmes fluidiques. L'existence des débitmètres sur le marché n'a
pas empêché les chercheurs et les expérimentateurs de développer des techniques de mesure
spécifiques à leurs installations au laboratoire, parce qu'en général, les spécifications de ces
débitmètres sont différentes à celles voulues par les expérimentateurs.
On trouve plusieurs techniques de mesure : des techniques traditionnelles employées dans les
grandes échelles miniaturisées pour les mesurer les faibles débits, ainsi que des techniques
plus spécifiques aux écoulements à petites échelles. Plusieurs recherches et études ont été
faites pour développer des techniques de mesure afin de faire face au besoin accru du domaine
de la microfluidique en instruments de mesure de débits plus fiables, plus précis et plus
adéquats aux conditions d'instrumentation. Nous citons quelques principes les plus utilisés :
• Mesure du débit en mesurant la vitesse d'une particule ou une bulle par un suivi visuel
[Mirshekari et Brouillette, 2010];
• Mesures thermiques, par exemple : la mesure de différence de température entre deux
points suivant l'écoulement en injectant un flux de chaleur [Park et al, 2007];
• Mesure de débit à l'aide d'une déformation mécanique d'un élément qui fait obstruction à
un écoulement de fluide [Richter et al, 1999];
• Mesure du débit par les méthodes à organe déprimogène. La méthode consiste à mettre en
place des restrictions mécaniques dans une conduite afin de créer une différence de
pression mesurable pour en déduire le débit [Holman, 2001];
• Mesure du débit par une pesée du fluide. Cette technique traditionnelle est applicable
seulement pour les liquides.
Dans le même ordre d'idées, la section suivante cite en détail quelques techniques de mesure
des faibles débits en se référant à des exemples trouvés dans la littérature.
13
1.5.1 Mesure du débit par un suivi visuel
La technique par suivi visuel est l'une des méthodes les plus utilisées par les expérimentateurs
dans les laboratoires. Il s'agit de suivre une particule en déplacement emportée par
l'écoulement donnant ainsi la vitesse de l'écoulement. En effet, le débit se calcule à l'aide des
équations mathématiques appropriées dont les deux grandeurs, débit et vitesse, sont reliés
entre eux. Mirshekari et Brouillette [2010] dans leur étude sur l'écoulement compressible dans
les microcanaux, ont mis en application une technique de mesure de débit volumique par le
biais du déplacement d'une bulle de mercure dans un tube en verre muni d'une échelle.
L'écoulement du gaz qui s'accumule dans le tube fait déplacer la bulle de mercure à la même
vitesse que l'écoulement. En connaissant la section du tube et en mesurant la durée du
déplacement par une unité de distance parcourue, le débit volumique peut être calculé. Malgré
que cette méthode de mesure soit facile à implémenter, elle présente quelques inconvénients :
la durée d'un essai est limitée et la lecture se fait manuellement, ceci implique d'une part, une
précision modérée due aux erreurs de lecture, d'autre part, la mesure des faibles débits est
relativement difficile. De plus, la manipulation du mercure peut s'avérer dangereuse pour la
santé des expérimentateurs.
1.5.2 Mesure du débit à l'aide d'une mesure thermique
Le principe de mesure par la méthode thermique consiste à fournir une quantité de chaleur à
un fluide s'écoulant dans un microcanal pour ainsi calculer le débit massique en mesurant la
différence de température du fluide établi entre deux points distants du canal.
Un premier exemple sur les micro-débitmètres trouvés dans la littérature est celui développé et
fabriqué par Park [Park et al., 2007]. Ce micro-dispositif, illustré par la Figure 1.4, mesure le
débit massique du gaz ou du liquide passant dans un microcanal à surface chauffée. En
connaissant le changement de température du fluide entre l'amont et l'aval de l'élément
chauffant fait en platine, le débit massique traversant ce microcanal peut être calculé par
l'équation de conservation d'énergie. Afin d'avoir une bonne précision de mesure, une série
de thermocouples Bi-Sb ou chromel-alumel sont placés en amont et en aval de la surface
chauffée pour mesurer la température.
14
Pt-heater
Bi-Sb thermocoupte
N/O/N membrane (Chrorr^alumaimermocoupte)
N/O/N
V
B * « *
p-type (100)
1 ^
^ fr- ^ ^
^s
Àé à • V V\i
54.74°
(a) (b)
(c)
Figure 1-4 Micro-débitmètre thermique : a) Schéma du micro-débitmètre thermique, b) Photo

du micro-débitmètre. c) Photo du module complet du dispositif [Park et al., 2007]
Un deuxième exemple de micro-débitmètre fut développé par Jun [Jun et al., 2003], Il s'agit
de la même technique de mesure de l'exemple précédent, c'est-à-dire par différentielle de
température. La particularité de ce micro-débitmètre est qu'il est muni d'une micro-valve
électrostatique qui régule et contrôle le débit comme le schéma de la Figure 1.5. À l'ouverture
complète, qui correspond à un débit maximal, la micro-valve n'est pas actionnée. La
régulation du débit se fait alors avec la fermeture de la micro-valve avec la force
électrostatique. Le débit mesuré est de l'ordre des |il/min. Les électrodes de la micro-valve
électrostatique ainsi que l'élément chauffant sont fabriqués avec le couple Cr/Au. Ces
électrodes sont encapsulées avec des revêtements de Parylène afin de garantir l'isolation
électrique.
Cette technique miniaturisée présente une bonne sensibilité et précision, en revanche, la

microfabrication de ces micro-débitmètres est relativement plus complexe.
15
Figure 1-5 Micro-contrôleur de débit [Jun et al., 2003]
Une modélisation analytique d'un micro-débitmètre thermique est représentée en annexe B.

Cette modélisation a fait ressortir des outils mathématiques pour la conception de ce type de
micro-débitmètres.
1.5.3 Mesure du débit par une déformation mécanique
Un exemple des techniques de mesure développées dans la littérature est la mesure à l'aide
d'une déformation mécanique d'une membrane faisant obstruction à l'écoulement dans un
microcanal. Dans son étude expérimentale, Richter et al. [1999] ont développé une méthode
de mesure avec la technologie piézorésistive. Le passage du fluide à travers l'orifice (Figure
1.6), cause une déformation de la membrane munie d'un matériau piézorésistif. La mesure de
résistance électrique du matériau indique la déformation de la structure qui résulte du débit
traversant l'orifice. L'étude a démontré que pour la mesure de débit dans une plage de 2 à 32
ml/min avec des diamètres de l'orifice compris entre 100 et 400 |am, le capteur présente une
très bonne sensibilité avec un temps de réponse qui n'excède pas une milliseconde.
sensor
dlaphragm Q piezoresistive
pressur resistors
drop /
Ap
orifice silicon
Figure 1-6 Micro-débitmètre à piézorésistivité [Richter et al, 1999]
16
1.5.4 Mesure du débit par différentielle de pression (débitmètre à organe
déprimogène)
Cette technique de mesure représente le principe de fonctionnement de la moitié des

débitmètres industriels (à l'échelle macroscopique) dans le marché mondial [Ahmadi et Beck,
2005]. Il n'est pas surprenant de découvrir cette importante portion vu la simplicité de
fabrication, de fonctionnement et efficacité de ces débitmètres. La technique repose sur la
mise en place d'une restriction de la section du canal pour créer un effet venturi. Le
changement de section entraîne une augmentation de l'énergie cinétique du fluide qui se
traduit par la diminution de la pression statique créant ainsi une différence de pression AP. À
l'aide des équations appropriées provenant essentiellement de l'équation de Bernoulli, le débit
peut être calculé avec cette différence de pression. Il existe plusieurs types de débitmètres qui
sont définis par rapport à leur type d'organe déprimogène. La figure 1.7 montre les différents
types de ces débitmètres, il s'agit des débitmètres à orifice plat (a), à tube venturi (b) et à
tuyère (c). En ce qui concerne la fabrication pour les grandes échelles, celui à orifice plat
présente une simplicité et un coût moindre en comparaison avec les autres types
[Holman, 2001]. Cependant, le tube venturi offre une meilleure canalisation du fluide qui se
caractérise par des faibles pertes de charge irréversibles [White, 1999].
La miniaturisation de cette méthode de mesure est peu répandue puisque la plupart des
microsystèmes fluidiques se distinguent par des écoulements à faible pression, notamment
dans les BioMEMS. En effet, cette méthode de mesure est peu appropriée et présente de faible
sensibilité pour cet ordre d'écoulement. Néanmoins, l'apparition de nouveaux microsystèmes
fluidiques fonctionnant avec des pressions considérables tels que les Power MEMS, avec des
pressions qui peuvent atteindre les 30 bars [Fréchette et al., 2003], fait de cette technique de
mesure une solution intéressante. De plus, elle est plus facile à fabriquer et à intégrer dans les
microsystèmes.
17
bc i bc/2
Pi P2
b)
bc j bc/2
Débit
C)
Figure 1-7 Type de débitmètres à organe déprimogène, a) orifice plat b) Tube venturi c)
tuyère
1.6 Problématique et objectifs de recherche
Comme mentionné dans la section précédente, la caractérisation expérimentale de la micro-

turbopompe à vapeur en cours de développement à l'Université de Sherbrooke nécessite de
multiples débitmètres. Cependant, les débitmètres pour de tels faibles débits de 0.2 à 100 mg/s
mesurant le débit des gaz, à haute température jusqu'à 250 "C et à haute pression de 1 à 8 bars,
sont peu disponibles sur le marché. De plus, leur prix est excessivement cher. Par exemple : le
prix d'un contrôleur/débitmètre numérique de marque MKS® mesurant le débit avec cet ordre
de grandeur peut atteindre 20 k$ [MKS instruments, 2011]. Cependant, même si leur plage de
mesure est adaptée à l'installation micro-turbopompe, ces débitmètres ne sont pas adaptés
pour mesurer des gaz à 250 "C. Également, la partie électronique de ces débitmètres ne
résistent pas à des hautes températures de l'enceinte du banc d'essais de la micro-turbopompe,
ce qui complique sa réalisation.
18
Considérant ceci, il est possible de poser comme objectif général, pour le présent projet de
mémoire, de développer une solution appropriée pour la mesure des différents débits dans
l'installation de la micro-turbopompe à vapeur. Les enjeux scientifiques de cette approche
doivent respecter certaines conditions :
fiabilité et précision de mesure pour une plage de débit massique variant entre 0,2 et
100 mg/s
simplicité de fabrication et de mise en œuvre : la méthode de microfabrication des

micro-débitmètres doit être simple et comprenant peu d'étapes afin de réduire le coût
de fabrication
possibilité de mesurer des gaz à haute température (250"C)
facilité d'intégration à l'installation de la micro-turbopompe et pouvoir fonctionner

dans une enceinte chauffée
Dans le présent projet, la technique choisie pour la mesure du débit est celle par organe
déprimogène, c'est-à-dire, mesure à pression différentielle. Le tableau 1.3 explique le choix de
cette technique par rapport à d'autres solutions de mesure. Tout d'abord, cette technique peut
être miniaturisée facilement qui augmentera la précision de mesure des faibles débits et rend
l'intégration dans les microsystèmes plus adéquate. Ensuite, comme les micro-débitmètres à
pression différentielle dans cette étude prennent une dimension planaire (rectangulaire), la
fabrication de ces derniers est très simple. Les procédés de fabrication sont principalement :
photolithographie, collage anodique et gravure DRIE, contrairement au micro-débitmètre
thermique [Park et al., 2007], que ce dernier présente un procédé de microfabrication plus
complexe faisant appel à d'autres méthodes comme la déposition LPCVD du nitrure de
silicium et de l'oxyde de silicium, l'évaporation du bismuth et l'antimoine, et aussi la
pulvérisation du chromel. Enfin, pour l'usure dans le temps, le micro-débitmètre à organe
déprimogène est plus robuste, ne comportant aucune pièce qui subisse des cycles de
déformation comme le micro-débitmètre piézorésistif.
Le principe de la méthode à organe déprimogène est de mesurer la différence de pression entre

l'amont et l'aval (vena contracta) du micro-orifice pour calculer le débit passant à l'aide des
équations prédéfinies. La vérification des corrélations existantes du coefficient de décharge
pour les macro-débitmètres à orifice plat a montré qu'elles ne sont pas valides pour cette
19
technique miniaturisée [Amnache et al., 2010]. Ceci parce que : a) la géométrie des macro-
débitmètres traditionnels est circulaire contrairement aux micro-débitmètres étudiés dans ce
mémoire qui prennent une dimension planaire. Assurément, l'effet 3D au niveau de l'orifice
influe sur le coefficient de décharge, b) Les corrélations existantes du Cd sont en général
définies pour les écoulements à des nombres de Reynolds élevés de l'ordre de 105
[Holman, 2001]. À l'opposé, les nombres de Reynolds dans les micro-débitmètres sont
modérés et ne dépasse pas 13000 dans la présente étude.
Tableau 1.3 Comparaison des méthodes de mesure de débit
Organe 5 oui 4 5 5
déprimogène
Thermique 3 oui 4 3 4
Piézorésistif 3 oui 5 3 3
Facile=5 Excellente=5 Faible=5 Robuste=5
Complexe=l Faible=l Élevé=l Usure rapide=l
Comme il n'existe aucune étude qui a été faite sur ce type de micro-débitmètres à pression
différentielle auparavant, il serait nécessaire alors, d'étudier et de comprendre l'écoulement à
travers ce type de restriction à section rectangulaire. L'objectif sera de développer des
corrélations empiriques spécifiques qui seront un bon outil de design pour ce type de micro-
débitmètres.
1.7 Méthodologie
Le but du présent travail est de concevoir et fabriquer des micro-débitmètres à pression

différentielle de type orifice plat à section rectangulaire. La méthodologie de travail est
représentée en forme de points suivants :
• La première investigation dans ce projet de recherche est d'effectuer une étude

analytique et numérique sur les micro-débitmètres à pression différentielle. Ce travail
permettra de donner un aperçu sur le fonctionnement ainsi que d'étudier et comprendre
l'écoulement à travers les micro-orifices rectangulaires dans les microcanaux. Aussi,
cette étude permettra de vérifier si les corrélations existantes du coefficient de
20
décharge sont valides pour cette échelle et configuration. L'étude numérique permettra
d'investiguer la position optimale de mesure de pression en amont et en aval du micro-
orifice avant d'entamer la fabrication. Cette étude est présentée en annexe A sous
forme d'un article en anglais.
• En ayant un bon jugement sur le fonctionnement de ces micro-débitmètres, la

fabrication d'une large série de micro-débitmètres sera entamée pour : a) avoir
plusieurs micro-débitmètre à différentes plages de mesure de débit, b) étudier
l'influence des dimensions géométriques sur le coefficient de décharge, Cd. La
fabrication sera effectuée aux salles blanches de l'Université de Sherbrooke après avoir
élaboré la méthode de microfabrication convenable.
• Un banc d'essais sera installé pour tester et caractériser expérimentalement les micro-
débitmètres, équipé principalement de débitmètres et de capteurs de pression.
• Finalement, une étude expérimentale sera effectuée pour permettre de : a) caractériser

la plage de débit de chaque micro-débitmètre, b) définir des corrélations empiriques du
coefficient de décharge, c) valider les résultats numériques.
21
CHAPITRE 2
CONCEPTION ET MICROFABRICATION DES

MICRO-DÉBITMÈTRES À ORIFICE PLAT
2.1 Introduction
Ce chapitre présente la conception et la microfabrication des micro-débitmètres à pression

différentielle de type orifice plat. Dans une première partie, le principe de fonctionnement de
ces micro-débitmètres et les équations principales de calcul sont exposés. Par la suite, le
processus de microfabrication est expliqué en détail. Ainsi, une série de 16 micro-débitmètres
microfabriqués où leurs dimensions géométrique sont définies.
2.2 Principe de fonctionnement
Les micro-débitmètres à orifice plat sont tout simplement une miniaturisation des débitmètres
à orifice à l'échelle macro. Le principe de fonctionnement reste le même. En effet, la mesure
du débit de fluide se fait en créant un effet venturi, c'est-à-dire, introduire une restriction de
type orifice plat dans un microcanal comme le montre la Figure 2.1. Le changement de section
du microcanal introduit une augmentation de la vitesse du fluide qui se traduit par une
diminution de sa pression de Pi à P2. Ainsi, en mesurant la différence de pression AP=PI-P2,
entre l'amont et l'aval de l'orifice, le débit peut se calculer à l'aide des équations spécifiques
qui sont citées dans la section suivante.
La localisation des ports de prise de pression en amont et en aval de l'orifice, comme le

montre la Figure 2.1, est un critère très important pour avoir une bonne mesure. Pour les
macro-débitmètres à orifice plat, il existe une standardisation ASME qui dit que la distance
23
entre le premier point de mesure et l'orifice est égale au diamètre du canal, et la distance entre
l'orifice et le deuxième point de mesure est égale au demi diamètre du canal [Miller, 1996]. La
localisation en aval de l'orifice est définie pour mesurer le minimum de pression (vena
contracta). Dans l'article de conférence présenté en annexe A, des micro-débitmètres à orifice
plat ont été étudiés numériquement en utilisant cette même standardisation. Cependant,
comme les micro-débitmètres présentent une géométrie rectangulaire, la distance entre le
premier point de mesure et l'orifice devient égale à la largeur du microcanal, et la distance
entre l'orifice et le deuxième point de mesure devient égale à la demie largeur du microcanal.
Les résultats de la simulation ont montré que la standardisation ASME est applicable pour ce
type de micro-débitmètres (voir résultats de l'annexe A). En effet, les micro-débitmètres
fabriqués et présentés dans ce chapitre respectent ce critère.
I bc | bc/2 i
Pi P2
-o Débit
a) Macro-débitmètre
„ s00
eu
b) Micro-débitmètre
Longueur
Figure 2-1 Pertes de pression dans le macro-débitmètre et le micro-débitmètre
La miniaturisation introduit d'autres phénomènes qui sont négligeables dans les macro-
débitmètres. Tout d'abord, les pertes de charge linéaires ne sont plus négligeables pour les
24
micro-débitmètres car le rapport surface/périmètre diminue d'où l'augmentation des pertes par
frottement aux parois. Aussi, la géométrie rectangulaire des micro-débitmètres introduit l'effet
du rapport de forme sur les pertes de charge linéaires [Papautsky et al, 1999]. La figure 2.1
présente une comparaison qualitative de la distribution de pression pour : a) le macro-
débitmètre et b) le micro-débitmètre. Pour les macro-débitmètres, la chute de pression, AP,
entre le premier et le deuxième point de mesure est égale à la somme des pertes réversibles
dues au changement de section et les pertes singulières (contraction). Les pertes linéaires
(Pertes de Moody) sont relativement négligeables par rapport aux chutes réversibles de
pression à travers l'orifice parce que l'écoulement dans les macro-débitmètres traditionnels est
caractérisé par de très grands nombres de Reynolds, de l'ordre de 105 [Holman, 2001]. En
effet, le facteur de frottement est faible dans ce cas. Cependant, pour les micro-débitmètres, le
AP est égal à la somme des pertes réversibles et les pertes singulières, plus les pertes de charge
linéaires qui sont considérables (Nombres de Reynolds modérés, faibles rapports
surface/périmètre).
2.3 Hypothèses et équations principales pour les micro-

débitmètres
Afin de faciliter l'analyse de l'écoulement dans les micro-débitmètres pour la mesure des
débits de gaz, certaines hypothèses simplificatrices doivent être respectées :
- La première hypothèse est que l'écoulement compressible est considéré isentropique, c'est-
à-dire un écoulement adiabatique (aucun échange thermique avec le milieu extérieur), et
sans frottement. Il en résulte que la température totale T0, pression totale P0 et la densité de
stagnation pQ restent constantes entre le premier et le deuxième point de mesure.
r
Evidemment, en pratique, cette hypothèse n'est pas juste puisque les frottements sont
considérables (nombres de Reynolds modérés) et l'écoulement peut être non adiabatique.
Par contre, il est nécessaire de considérer cette hypothèse puisque cette dernière donne une
valeur de référence idéalisée du débit. Cette valeur sera corrigée par la suite à l'aide d'un
facteur correcteur.
25
- La deuxième hypothèse consiste à étudier l'écoulement à travers les microcanaux comme
étant un écoulement parfaitement continu. Dans ce cas, les équations de Navier-Stokes sont
valides. Pour satisfaire cette condition, le nombre de Knudsen défini dans le chapitre 1 doit
être inférieur à 0,001.
- La troisième hypothèse met en évidence que l'écoulement étudié est unidimensionnel. En

effet, dans les équations de Navier-Stokes, il n'y a que la vitesse longitudinale suivant l'axe
de l'écoulement qui doit être considérée.
- La quatrième hypothèse spécifiquement pour les micro-débitmètres à orifice plat concerne

la section du vena contracta qui est prise dans ce cas comme étant égale à la section de
l'orifice.
- Le fluide est considéré comme un gaz parfait
Pour un écoulement d'un gaz parfait respectant les hypothèses définies ci-dessus, les équations
principales de l'écoulement compressibles sont [Shapiro, 1953]:
T0 k-1 ,
Y = i+—2— W
k
Po k - 1 ,ik-i
1 H—-—Af2 (2.2)
P 2
Po k - 1 _ k-1
1H —M2 (2.3)
p
Ainsi que l'équation d'état du gaz donnée par l'équation suivante :
P
— - RT (2.4)
P
où R est la constante des gaz particuliers égale à 287 J/kg.K pour l'air.
Pour une même pression totale entre le premier et le deuxième point de mesure (écoulement
isentropique), le ratio des pressions statiques s'écrit comme suit :
26
k
k-1
Pi i + 2 -Mi
(2.5)
P2 l+ k~
L 2 -Ml
Les indices 1 et 2 représentent la condition au premier et au deuxième point de mesure

respectivement comme mentionné dans la Figure 2.1.
En considérant l'hypothèse disant que la section du vena contracta est égale à la section de
l'orifice, A0, le rapport, A0 sur la section du canal, Ac, est défini par l'expression 2.6 à partir
de la conservation de masse :
k+l
2(k-l)
h1+
+ k~ -Mf
2 (2.6)
l i+ k~
L + 2 -Ml
En remplaçant le nombre de Mach, M/, exprimé à partir de l'équation 2.5, dans l'équation 2.6,
le nombre de Mach au deuxième point de mesure (vena contracta), M2, s'exprime par
l'équation 2.7 en fonction du rapport des pressions statiques:
(2.7)
(
k - 1 fPt\k-l k- 1
2 \P 2 )
Le débit massique réel traversant le micro-débitmètre peut être calculé à partir de l'équation de
conservation de masse :
m = p 2 A 0 M 2y JkRT 2 (2.8)
Pour exprimer le débit massique idéal (isentropique) en fonction de la différence de pression

entre l'amont et l'aval de l'orifice ainsi que les propriétés du fluide au point 1, le nombre de
27
Mach, Afc, est remplacé par son expression donnée par l'équation 2.7 et la densité, p 2 , est
remplacée par l'équation suivante :
(2.9)
Après réarrangement, le débit massique idéal est donné par l'expression qui suit :
2 k-1-1N 05
p?\ k
f f î v - r y t é r)
mid = «
\
H"4®1)]M) J
avec A P = Px — P2 qui est la différence de pression entre le premier et le deuxième point de

mesure.
où Pi est la densité du fluide au premier point de mesure de pression, /? est le coefficient de

contraction qui est égale à la racine carrée du rapport de la section au niveau de la restriction
A0 sur la section d'entrée du canal Ac, comme le montre l'équation suivante [Holman, 2001]:
(2.11)
Le premier terme de l'équation 2.10 est appelé le facteur d'expansion [Doebelin, 2004], Y, qui
est égal à l'unité pour des fluides incompressibles. Pour un écoulement compressible
adiabatique, ce facteur s'exprime donc avec l'expression suivante :
Y= (2.12)
V.
28
Le débit massique simplifié par les hypothèses citées au début de la section (équation 2.10),
donne une valeur idéale. En réalité, l'écoulement n'est pas isentropique, les pertes de pression
totale entre le premier et le deuxième point de mesure ne sont pas négligeables. Il s'agit de
pertes de charge singulières à la restriction ainsi que les pertes de charge linéaires qui sont plus
considérables dans les micro-débitmètres relativement aux débitmètres à l'échelle macro. En
effet, ce débit idéal doit être corrigé par un facteur correcteur, appelé coefficient de décharge,
Cd, pour donner le débit massique réel m :
m = Cd mid (2.13)
Le coefficient de décharge, Cd, corrige la valeur du débit qui est calculé en négligeant des
effets qui sont réellement présents tels que les pertes de charge par frottement et l'effet du
rapport de forme.
Tel expliqué dans la section 2.2, l'écoulement dans les micro-débitmètres présente des effets
qui sont négligés dans les débitmètres à orifice plat à l'échelle macroscopique. Il est attendu
alors que les corrélations du coefficient de décharge définies pour les macro-débitmètres ne
sont pas valides. Les résultats de la simulation numérique présentés dans l'article de
conférence en annexe A montrent que le coefficient de décharge pour ce type de micro-
débitmètres est différent de celui calculé à l'aide des corrélation empiriques de Borutzky et de
Morrison [Borutzky et al., 2002], [Morrison et al., 2003]. En effet, le coefficient de décharge
spécifique aux micro-débitmètres à orifice plat est défini par des corrélations empiriques
développées expérimentalement dans le chapitre 3.
2.4 Dimensions et microfabrication des micro-débitmètres à orifice plat
2.4.1 Dimensions et caractéristiques des micro-débitmètres à orifice plat
Afin de faciliter la microfabrication, les micro-débitmètres prennent une dimension planaire.

Ainsi, chaque micro-débitmètre est constitué d'un microcanal rectangulaire d'une largeur, bc,
muni d'une restriction de largeur, b0, comme le montre la Figure 2.2. Le micro-débitmètre est
équipé de deux ports de prise de pression pour mesurer la différence de pression : une mesure
à l'amont de l'orifice, P/, et l'autre à l'aval de l'orifice, P2. La localisation des prises de
29
pression respecte la standardisation ASME [Holman, 2001]. En effet, la distance entre la
première mesure et l'orifice est égale à bc, et la distance entre l'orifice et la deuxième mesure
est égale à bJ2. Quant à la longueur de l'orifice, l0, est définie par l'équation A.8 de
l'annexe A. Tous les micro-débitmètres sont caractérisés par une même profondeur w afin de
procéder à une seule étape de gravure.
Figure 2-2 Schéma d'un micro-débitmètre à orifice plat
Les dimensions de ces micro-débitmètres sont définies pour deux objectifs: 1) satisfaire le
besoin de mesurer les débits dans l'installation de la micro-turbopompe. 2) définir l'influence
des dimensions géométriques sur les propriétés de l'écoulement. Le tableau 2.1 représente les
dimensions de 16 micro-débitmètres qui. sont caractérisés par deux principaux rapports
géométriques : le coefficient de contraction, variant de 0,2 à 0,8 et un rapport de forme ô,
exprimé par l'équation 2.14, variant de 0,21 à 2,45. Il est à noter que le rapport de forme ô est
l'inverse du rapport de forme a qui est utilisé dans l'article de l'annexe A.
Les diamètres hydrauliques de l'entrée des micro-débitmètres et de la restriction (orifice) sont

définis respectivement comme suit :
2 bcù)
Dhc = . . (2.15)
( bc + cù)
(2.16)
30
Comme la profondeur de la gravure qui forme le microcanal est une dimension critique, des
micro-débitmètres sacrificiels ont été fabriqués sur la même gaufre afin de pouvoir vérifier la
valeur de cette profondeur. De manière plus spécifique, à la fin de la fabrication, la tranche qui
comprend ces micro-débitmètres est coupée de façon à ce que ces derniers soient tranchées en
deux, coupant ainsi le microcanal. La figure 2.3 montre une vue d'un microcanal tranché sous
le microscope éléctronique. Les mesures ont permis de constater que la profondeur des
microcanaux varie entre 200 et 210 |am. Donc, une valeur moyenne de 207 |im est fixée pour
cette expérimentation.
Tableau 2-1 Paramètres et dimensions géométriques des micro-débitmètres

Micro- Ifi-â] bc b0 ta la Dhc Dh„ lo
débitmètres Oim) (nm) G™) (H«0 (fim) (fim) Dh„
#
[0,2-1,66] 3100 125 207 610 388 156 3,91
1
[0,2-2,3] 2040 90 207 400 376 125 3,19
2
[0,4-0.64] 1940 323 207 360 374 252 1,43
3
[0,4-0,65] 1940 320 207 370 374 251 1,47
4
[0,4-0,65] 1940 320 207 360 374 251 1,43
S
[0,4-0,95] 1300 217 207 250 357 212 1,18
6
[0,4-1] 1300 207 207 240 357 207 1,16
7
[0,6-0,21] 2800 1000 207 560 386 343 1,63
8
[0,6-0,67] 880 310 207 160 335 248 0,64
9
[0,6-0,67] 870 310 207 160 334 248 0,64
10
[0,6-0,97] 585 214 207 100 306 210 0,48
11
[0,6-1,25] 455 165 207 82 285 184 0,45
12
[0,6-2,45] 235 85 207 40 220 121 0,33
13
[0,8-0,34] 980 625 207 185 342 311 0,59
14
[0,8-0,97] 325 213 207 55 253 210 0,26
15
[0,8-1,3] 250 160 207 45 226 180 0,25
16
31
Figure 2-3 Vue sous le microscope électronique du microcanal tranché
2.4.2 Procédés de microfabrication des micro-débitmètres à orifice plat
Les micro-débitmètres sont fabriqués en utilisant une gaufre SOI (Silicon On Insulator), de
100 mm de diamètre, composée de deux couches de silicium (Si) de type p avec une
orientation <100> séparées d'une mince couche d'une épaisseur de 200 nm d'oxyde de
silicium (SiCh). La couche de dessus (couche du dispositif), de 200 ^m d'épaisseur est
destinée pour la formation des microcanaux. Cependant, les trous d'alimentation fluidique et
de mesure se font sur la couche de dessous (socle), de 300 |am. La figure 2.4 montre un
schéma de la méthode de microfabrication. Le processus de microfabrication comprend deux
photolithographies ce qui nécessite l'utilisation de deux masques lithographiques qui sont
schématisés en annexe C. La première photolithographie (Figure 2.4-b) du côté dispositif sert
à la formation des microcanaux et les conduites de mesure de pression à l'amont et à l'aval de
l'orifice. Après cette photolithographie, les micro-débitmètres sont formés par une gravure
DRIE sur la couche du dispositif (Figure 2.4-c). Étant donné que la gravure DRIE grave peu
l'oxyde de silicium, la gravure s'arrête automatiquement au contact de l'oxyde. Ainsi, la
profondeur des microcanaux est pratiquement la même que l'épaisseur de la couche de
32
silicium côté dispositif, qui est égale à 200 (im. Par conséquent, la profondeur est uniforme
pour tous les micro-débitmètres. Ensuite, une deuxième photolithographie (Figure 2.4-d) et
gravure (Figure 2.4-e) sur le côté socle de la gaufre sont utilisées pour la formation des trous
d'alimentation et de mesure, à savoir l'entrée et la sortie de l'écoulement dans le micro-
débitmètre ainsi que les ports pour mesurer la pression du fluide à l'amont et à l'aval de
l'orifice. Cependant, le raccordement entre la couche du dispositif (microcanaux) et la couche
du socle de la gaufre (trous d'alimentation et de mesure) est complété après un simple
soufflage d'azote sur la mince couche de l'oxyde de silicium qui se perfore facilement. La
verticalité des microcanaux est très importante pour avoir une géométrie rectangulaire bien
définie. Cette verticalité de gravure dépend de la largeur et du rapport de forme de la gravure
[Liu et al., 2006]. Pour avoir une bonne verticalité, il faut avoir de très petites ouvertures de
gravure, ainsi, de minces murs sacrificiels (2 à 4 ^m) sont formés sur la périphérie des
microcanaux laissant une ouverture de gravure très mince (2 à 5 jam, dépendamment de la
largeur du microcanal) [Sun et al., 2003] comme le montre la figure 2.5. Afin de compléter les
micro-débitmètres, la gaufre SOI est collée avec une gaufre de pyrex de 500 |im d'épaisseur
en effectuant un simple collage anodique (Figure 2.4-f). Deux points importants ont permis le
choix du pyrex. Premièrement, le matériau a une très bonne qualité de collage avec le silicium
(collage anodique) et deuxièmement, il permet, dû à sa transparence, d'avoir une visualisation
de l'écoulement du fluide dans le microcanal. Finalement, la gaufre est coupée en cinq puces
rectangulaires ayant une les dimensions de 5 cm x 1 cm x 1 mm, incluant chacune 10 micro-
débitmètres (Figure 2.6). À cause de défauts de fabrication, seulement 16 micro-débitmètres
étaient de bonne qualité et ont été sélectionnés pour les tests expérimentaux. Les étapes et les
recettes de la microfabrication de ces micro-débitmètres sont représentées en détail dans
l'annexe E.
33
a) Gaufre 1, SOI
UV
Masque 1
b) Photolithographie (microcanaux)
nr
Masque 1 (Formation du mico-canal et
les ports de mesure de pression)
c) Après la gravure du Si et le nettoyage de résine (AA')
I l l » l I
Masque 2
I ILJ B
d-1) Étalement de résine (côté socle) (BB') d-2) Exposition de résine (6B1)
d) Photolithographie (trous d'alimentation et de mesure)
e) Après la gravure du Si, perforation de la couche du SiOî et le

nettoyage de résine (BB')
Masque 2 (Formation des Trous

d'alimentation et de mesure)
Résine
|Pyrex []Silicium
|Si02|Résine
f) Collage anodique avec la gaufre 2 de pyrex
Figure 2-4 Méthode de fabrication des micro-débitmètres à orifice plat
34
a) Gaufre SOI Mur sacnfiuel
b) Gravure DRIE
c) Fin de la gravure DRIE,

murs sacrificiels détachés
d) Après nettoyage RCA
Figure 2-5 Schéma de la méthode de gravure avec des murs sacrificiels
Port de mesure de
pression (aval) Sortie du fluide
Orifice
Port de mesure de
pression (amont) Entrée du fluide
w;I;4 "û •' ' k: :il:
Figure 2-6 Puce des micro-débitmètres et une vue agrandie d'un seul micro-débitmètre
35
CHAPITRE 3
ÉTUDE EXPÉRIMENTALE DES MICRO-

DÉBITMÈTRES À ORIFICE PLAT
3.1 Introduction
Ce chapitre présente la caractérisation expérimentale des micro-débitmètres à pression

différentielle de type orifice plat. L'objectif de cette étude expérimentale est triple. Le premier
objectif est de caractériser les micro-débitmètres pour être fonctionnels afin de les intégrer au
banc d'essais de la micro-turbopompe à vapeur. Le deuxième est de mettre en place des
corrélations empiriques définissant le coefficient de décharge spécifique à chaque dimension
des micro-débitmètres. Le troisième est de valider les résultats de la simulation numérique qui
sont présentés dans l'article de conférence en annexe A.
La première partie de ce chapitre présente le banc d'essais qui a été développé pour étudier et
caractériser les micro-débitmètres. La deuxième partie expose les résultats expérimentaux
suivie d'une analyse adimensionnelle de l'écoulement à travers les micro-débitmètres pour
définir les corrélations empiriques spécifiques du coefficient de décharge.
3.2 Banc d'essais et protocole expérimental
3.2.1 Montage expérimental
La figure 3.1 représente un schéma du montage expérimental utilisé. Dans cette étude, l'air à
température ambiante est utilisé comme fluide de travail au lieu de la vapeur d'eau afin de
rendre le dispositif moins complexe. Comme les deux fluides sont considérés des gaz parfaits,
les résultats du coefficient de décharge, Cd, en utilisant de l'air ambiant seront égaux aux
résultats en utilisant de la vapeur d'eau à haute température, étant donné que le Cd serait
37
fonction seulement de nombres adimensionnels. L'entrée des micro-débitmètres est connectée
à un réservoir d'air sec sous pression où cette dernière est ajustée à l'aide d'un régulateur de
pression. L'air provenant du réservoir est filtré avant le passage dans le dispositif. Par ailleurs,
la différence de pression entre l'amont et l'aval de l'orifice est mesurée à l'aide d'un capteur
mesurant la pression différentielle. Deux capteurs de pression absolue sont aussi employés
pour mesurer la pression à l'entrée et à la sortie du micro-débitmètre afin de calculer les
propriétés du fluide et pour estimer les pertes de pression totales respectivement. Pour la
mesure et le contrôle du débit, quatre débitmètres volumiques traditionnels sont utilisés à la
sortie des micro-débitmètres, avec différentes plages de fonctionnement selon le débit prévu.
Cette technique permet d'avoir de bonnes certitudes de mesure puisque chaque plage de débit
est caractérisée par un débitmètre adéquat, réduisant ainsi l'erreur de mesure. Finalement, les
données expérimentales sont collectées par un ordinateur à l'aide d'un programme Labview.
Ordinateur
Interface d'acquisition
;
Labvtaw
Valve
Valve
Sortie
Capteur de
pression/amont
Air sous
pression Capteur de
14 contrôleurs
pression
de débit en
différentielle
altération
r~3 Capteur de
pression/sortie
Filtre HZ
|Puce des micro-débitmètres |
Packaging
Figure 3-1 Schéma du dispositif expérimental pour le test des micro-débitmètres
La puce des micro-débitmètres est encastrée dans un packaging qui est un assemblage
fabriqué spécifiquement pour cette manipulation représenté schématiquement sur la Figure 3.2
et sur une image dans la Figure 3.3. Le packaging est constitué de trois plaques minces
fabriquées en acier inoxydable afin d'éviter toutes impuretés qui pourraient boucher les
microcanaux. La plaque A comprend les canalisations d'alimentation et les prises de pression.
La plaque C sert à assurer l'équilibre de la puce puisque cette dernière s'appuie sur cette
38
plaque. Pour ce qui est de la plaque B, elle a le rôle d'une buttée mécanique dans le but
d'avoir le bon serrage du packaging et d'éviter l'écrasement de la puce. Afin d'assurer
l'étanchéité de l'air, des joints toriques O-ring faits en perfluoroelastomère sont utilisés entre
la plaque A et le dessus de la puce des micro-débitmètres pour sceller les ports fluidiques,
ainsi qu'entre la plaque C et le dessous de la puce pour maintenir l'équilibre des forces.
Couche C
Figure 3-2 Vue éclatée du packaging de micro-débitmètres
Les caractéristiques des instruments de mesure utilisés dans ce banc d'essais (Figure 3.3)
sont :
1) capteur de pression différentielle de marque Scanivalve® mesurant des pressions

différentielles allant jusqu'à 7 bars avec une incertitude de mesure de ±0,065% de la
valeur maximale.
2) débitmètres volumiques de marque MKS® avec différentes plages de fonctionnement :

le premier pouvant mesurer un débit volumique maximal de 200 sccm, le deuxième de
500 sccm, le troisième de 5000 sccm et le quatrième de 20000 sccm. L'incertitude de
mesure de ce type de débitmètres est de ±1% de la valeur maximale.
3) contrôleur de pression à lecture visuelle de marque Oméga® qui sert à réguler la

pression de l'air à la sortie du réservoir.
39
4) deux capteurs de pression de marque Oméga® disposant d'une plage de mesure allant
de 1 à 10 bars pour le premier et de 1 à 7 bar pour le deuxième. L'incertitude de
mesure est de ±0,25% de la valeur maximale.
5) Un système d'acquisition de données CompactRIO de National Instruments® reliée à

un ordinateur pour l'acquisition des données expérimentales.
Packaging
Figure 3-3 Banc d'essais des micro-débitmètres
3.2.2 Méthode et procédure de test
L'objectif de cette étude expérimentale est d'obtenir et d'analyser la variation de la chute de

pression à travers l'orifice en fonction du débit de l'air pour chaque micro-débitmètre présenté
au Tableau 2.1. La méthode consiste à faire passer un débit contrôlé à travers le micro-
débitmètre pour une pression d'entrée connue et constante puis mesurer la perte de pression
correspondante. La température de l'air d'alimentation est égale à la température ambiante de
22°C. L'augmentation du débit va jusqu'à ce que le débit maximal soit atteint. Ce débit
maximal est expliqué par : soit que le micro-débitmètre est amorcé, autrement dit le nombre de
Mach au col atteint l'unité, ou par la perte de charge dans le micro-débitmètre et la tuyauterie
est plus importante que la différence entre la pression d'entrée et la pression atmosphérique.
Chacun de ces micro-débitmètres est testé pour trois différentes pressions d'entrée (pression
au niveau du premier point de mesure) : Pj=5 bars, Pt=6,5 bars et P/=8 bars . L'acquisition de
40
données se fait par commande manuelle afin de s'assurer que le régime permanent est atteint.
Chaque donnée enregistrée est une valeur moyenne de 15 échantillons pour une durée de 30
secondes en régime permanent. Enfin, chaque test est répété deux fois dans le but de vérifier
les résultats.
3.2.3 Calcul de l'incertitude de mesure
L'exactitude des résultats expérimentaux est liée aux erreurs produites par les appareils de
mesure, aux méthodes de mesure et à l'expérimentateur. Pour cette présente étude, le calcul du
coefficient de décharge à partir des mesures expérimentales par l'équation 2.13 donne une
erreur qu'il est possible d'estimer par des considérations théoriques [Holman, 2001].
L'expression donnant l'incertitude absolue probable rcd sur le coefficient de décharge est
comme suit :
\/dCd\2 , /dCd\2 , n2 /dCd\2 (dCd\2, .2

Tcd = J[fe) (T*} + fe) M +G âp) (Tap) + (âd W. (31)
Tfh est l'incertitude absolue sur la mesure du débit (débitmètres MKS®)
Tfap est l'incertitude absolue sur la mesure de la différence de pression (Scanivalve®)
T AQ est l'incertitude absolue sur le calcul de la section de l'orifice à partir des mesures
effectuées par le microscope. L'incertitude de la mesure sur le microscope est de ±1 |am.
rPl est l'incertitude absolue sur le calcul de la densité du fluide donnée par l'équation 3.2 où la
densité volumique est calculée par l'équation d'état 3.3:
(3.2)
Pi
(3-3)
avec Tpx et rTl sont respectivement l'incertitude absolue sur la pression et la température au
premier point de mesure. L'incertitude absolue sur la mesure de température rTl est égale
à±0,5C
41
L'incertitude de mesure T CD est ajoutée à l'incertitude absolue de répétition R REP estimée dans
la section 3.3.1 afin de pouvoir déduire l'incertitude totale Ttot/Cd sur le calcul du coefficient
de décharge par l'expression suivante :
r tot/Cd (3.4)
3.3 Résultats et interprétations
3.3.1 Validation des hypothèses de calcul et de la répétitivité des mesures
La validité de l'hypothèse de l'écoulement adiabatique
Dans cette étude, l'écoulement de l'air dans les micro-débitmètres est considéré comme un
écoulement adiabatique, donc la température totale de l'air à l'entrée et à la sortie du micro-
débitmètre ne devrait pas varier (T-oi = r02). Par contre en réalité, la température totale peut
varier étant donné que l'isolation des microcanaux n'est pas idéale. Dans le présent cas, le
passage de l'écoulement à travers l'orifice provoque une augmentation de la vitesse de l'air et
du nombre de Mach. Cependant, cette augmentation induit une diminution de la température
statique. Afin de valider l'hypothèse adiabatique, l'estimation du transfert de chaleur est donc
primordiale.
La figure 3.4 est une représentation schématique des résistances thermiques du transfert de
chaleur à travers le micro-débitmètre. Il est à noter que le transfert de chaleur est supposé
unidimensionnel pour cette analyse et que le rayonnement est négligé. Rthconv/air est la
résistance thermique de convection du fluide à l'intérieur du microcanal (il s'agit de l'air dans
ce cas), RthconVfamb est la résistance thermique de convection de l'air ambiant, RthPyrex est
la résistance de conduction de la couche du pyrex, Rthsi02 est la résistance de conduction de
la couche de l'oxyde de silicium et Rthsi est la résistance de conduction de la couche de
silicium.
En prenant le cas du débitmètre #8 comme exemple de calcul, ces résistances thermiques sont
exprimées et calculées comme suit :
42
(3.5)
RtWir = h^S = (614^) x (1.63E-m*) = 100 W
K_
conv/amb (3.6)
W
Lpyrex
•pyrex 5E 4m K
•Pyrex (3.7)
Xpyre* 5 ^ _W_^ x ^ 63£-5m2) W
(3.8)
(3.9)
Le coefficient du transfert convectif dans l'air ambiant, hc amb , est estimé par une valeur
approximative prise dans la littérature [Jannot, 2003]. Cependant, le coefficient du transfert
convectif de l'air circulant dans le microcanal est calculé par la relation suivante :
Nu air y air
hCair = Qhc (3.10)
avec Nu air est le nombre de Nusselt de l'air s'écoulant dans le microcanal calculé par la
corrélation d'Edwards exprimée dans l'équation 3.11 [Çengel, 2007], développée pour un
écoulement laminaire entre deux plaques planes :
(3.11)
43
Tamb
Rthoonv/amb
Air ambiant
Rthpyrex
Rthconv/atr
© Débit
© Rthconv/air
Rthao2
Si
Rthsi
Air ambiant
Rthconv/amb
Tamb
Figure 3-4 Schéma des résistances thermiques entre le microcanal et l'air ambiant
Le nombre de Reynolds, Re, associé à un débit de 39,8 mg/s est de 1321 qui est considéré
comme un régime laminaire. Le nombre de Prandtl (Pr) pour de l'air dans ces condition est
de 0,7. Ce qui résulte en un nombre de Nusselt, Nuair — 9,5, en prenant la conductivité
thermique de l'air, yair — 0,025 W/mK [Çengel, 2007].
Le calcul des résistances thermiques a montré que la résistance de convection dans l'air
ambiant est la plus grande. En négligeant les autres résistances thermiques, la résistance
thermique totale selon deux chemins en parallèle (haut et bas) s'exprime de la manière
suivante :
3067.5 £ (3.12)
Pour un écoulement isentropique et pour les mêmes conditions (m = 39,8 mg/s, T1 = 295 K),
la température statique théorique au 2ème point de mesure calculée par l'équation 2.1 est
T2 =263 K. En effet, le transfert de chaleur maximal qui peut être généré est donné comme
suit :
44
• àTmax Tamb-T2 295 - 263
Q = n T = ~~t -= = 0,01 W (3.13)
3067,5
Pour un écoulement de fluide compressible dans un canal, en appliquant la conservation

d'énergie, la chaleur qui peut être transférée est donnée par l'expression suivante [Shapiro,
1954]:
y22 " Vx21

Q = m Cp (T2 -T0 + = rhCp(TQ2-T01) (3.14)
Par conservation d'énergie, le transfert de chaleur calculé par l'équation 3.13 induira une
différence des températures totales entre le point de mesure 1 (entrée du microcanal) et le
point 2 de mesure est égale à 0,25 K, calculée par l'équation 3.14, ce qui est une faible
variation. L'hypothèse de l'écoulement adiabatique est donc vérifiée.
Validité de l'hypothèse de l'écoulement continu
Afin de valider l'hypothèse de l'écoulement continu, la connaissance du nombre de Knudsen

est primordiale. L'estimation du nombre de Knudsen pour l'écoulement dans le micro-
débitmètre #13 est représentée sur la Figure 3.5 en fonction du nombre de Reynolds calculé au
niveau de l'orifice.
Le choix du micro-débitmètre #13 est fait puisqu'il représente le plus petit diamètre
hydraulique à la restriction Dh0, ce qui donne un plus grand nombre de Knudsen. Pour la
même raison, le nombre de Knudsen est calculé au niveau de l'orifice.
Nous pouvons constater que dans cette plage d'opération de ce micro-débimètre #13, le
nombre de Knudsen représente un minimum de 1,5 x 10~4 à un nombre Reynolds à l'orifice
Re0 = 3000. Sur toute la plage d'opération, le nombre de Knudsen ne dépasse pas la valeur
de 3,7 x 10"4 qui est très inférieur à 0,001. Au regard de ces résultats, l'hypothèse de
l'écoulement continu est vérifiée. L'écoulement continu est vérifié de la même manière pour
le reste des micro-débitmètres.
45
#13
4000 6000 8000

Reo
Figure 3-5 Nombre de Knudsen en fonction du nombre de Reynolds à l'orifice Re0, #13
Validation des résultats avec la répétitivité
Afin de s'assurer d'avoir des bons résultats, tous les tests effectués sur les micro-débitmètres
sont répétés. Ces répétitions permettent à la fois de vérifier les mesures et d'en déduire une
erreur de répétition.
x 10
14
12
10
6
o Test 1 .
4
• Test 2
2 -a- Test 3
—1Test4
0.
0 20 30 40
Débit massique (mg/s)
Figure 3-6 Tests de répétition pour le micro-débitmètre # 6
La figure 3.6 représente la variation de la chute de pression à travers le micro-débitmètre #6 en

fonction du débit massique et cela pour une même pression d'entrée qui est égale à 5 bars.
46
Quatre tests sont effectués dans des journées différentes. Il en résulte que les résultats des
différents tests se concordent avec une erreur relative maximale qui n'excède pas 1%. Il en va
de même pour tous les micro-débitmètres testés.
3.3.2 Variation de la différence de pression en fonction du débit massique
La différence de pression Ù P entre l'amont et l'aval de l'orifice est le paramètre principal pour
le calcul du débit massique, m, traversant le micro-débitmètre. Cette section met en évidence
la variation de cette différence de pression en fonction du débit massique, illustrée pour
chacun des micro-débitmètres dans la Figure 3.7. Pour chaque cas de micro-débitmètre, la
différence de pression est tracée pour trois conditions de pression d'entrée (5, 6,5 et 8 bars).
Aussi, chaque résultat expérimental est comparé au résultat calculé analytiquement pour un
écoulement idéal sous les mêmes conditions. La plage de débit mesurée s'étend jusqu'au débit
maximal pouvant passer dans le micro-débitmètre, limité par l'amorçage du col ou par les
pertes de charge.
Dans une première analyse, les résultats montrent que pour l'ensemble des micro-débitmètres,
l'allure de la variation est similaire. Notamment, la différence de pression croit d'une façon
quadratique avec l'augmentation du débit massique, ce comportement concorde avec celui
constaté dans les macro-débitmètres. De plus, pour un débit donné, la différence de pression
est plus importante pour des pressions d'entrée moins importantes. Ceci vient tout simplement
par le fait que la différence de pression AP est une fonction inverse avec la densité volumique
à l'entrée.
L'augmentation brutale de la différence de pression pour les micro-débitmètres #1, 2, 11, 12,
13, 15 et #16 indique que le micro-débitmètre est amorcé, c'est-à-dire que le nombre de Mach
au niveau de la restriction est égal à l'unité. Contrairement à ceci, pour les autres micro-
débitmètres, la perte de charge atteint la différence de pression appliquée, ce qui limite le débit
avant l'amorçage du col.
Les courbes montrent aussi que le résultat expérimental est différent du résultat analytique
d'un écoulement idéal. La différence de pression mesurée est plus importante que celle
calculée théoriquement (sauf s'il y a présence d'un choc, où la différence de pression
47
s'inverse). Cette remarque était attendue étant donné que dans les calculs, plusieurs effets sont
négligés à savoir les pertes de charge linéaires et singulières. En effet, l'équation théorique
pour le calcul doit être corrigée par le coefficient de décharge, Cd.
P =5 bars (Exp)
-o - ?!=5 bars (The)
P,=6,5 bars (Exp)
-Q-- P =6,5 bars (The)
P^S bars (Exp)

P^s bars (The)
10 20 30 40 10 20 30
Débit massique (mg/s) Débit massique (mg/s)
20 40 60 20 40 60
20 40 60 10 20 30 40 50 60
Figure 3-7 Variation de la différence de pression en fonction du débit massique
48
20 40 60 80 20 40 60 80 100
20 40 60 80 20 40 60 80
20 40 60 10 20 30 40 50
Figure 3-8 (suite) Variation de la différence de pression en fonction du débit massique
49
8
6
(L«
a.
< 4
0.5
2
0,
0 100
#15 x 10s #16
Figure 3-9 (suite) Variation de la différence de pression en fonction du débit massique
3.3.3 Coefficient de décharge
Modèle empirique du coefficient de décharge
Les résultats obtenus et présentés au-dessus suggèrent que le coefficient de décharge, Cd, n'est
pas une valeur constante, mais qu'il varie avec la variation du débit, les conditions d'entrée du
fluide dans le micro-débitmètre ainsi qu'avec la géométrie des microcanaux. Donc, le
coefficient de décharge à travers ce type de micro-débitmètres est fonction de plusieurs
paramètres.
Comme il a été précisé dans le chapitre 2, les corrélations existantes du coefficient de

décharge, utilisées dans les écoulements à grande échelle et pour des microcanaux circulaires,
ne concordent pas avec les résultats obtenus. Il est donc nécessaire et essentiel de développer
des équations empiriques du coefficient de décharge pour ce type d'écoulements. Une étude
50
adimensionnelle basée sur le théorème de Vaschy-Bukingham, connue aussi sous le nom de
théorème des n, représente une bonne méthode afin de déterminer les paramètres dépendants
pour obtenir une meilleure corrélation empirique du coefficient de décharge. Cette méthode
permet de réduire le nombre des variables dimensionnelles à un nombre plus petit de
groupements adimensionnels [White, 1999].
Le débit massique traversant le micro-débitmètre est fonction de 9 paramètres géométriques et

opérationnels, n, représentés par l'équation suivante :
™ = /(Pi. Mi» Vi, àP, bc, b0, ù), l0,mth) (3.15)
Ces variables sont définies par trois dimensions principales, masse (M), longueur (L) et
température (T). En effet, le nombre de variables répétitives, m, est égal à 3. Le nombre de
groupements adimensionnels, n, est égal à n-m=6, et sont présentés dans le tableau 3.1.
Tableau 3-1 Groupements adimensionnels
7Ti Ap AP Chute de pression AP

PiVi2 Pl adimensionnelle Pi
*2 Ml PiViDhc Nombre de Reynolds Rec

PiVibo Mi
ù) Rapport de forme de S
*3
b0 l'orifice
7T4 bc Coefficient de contraction P

hc
u
b0
•>
bo
*5 la la Longueur adimensionnelle la
b0 Dh0 du mur de l'orifice Dh0
ne m Coefficient de décharge Cd
mth
En écriture adimensionnelle, le coefficient de décharge, Cd, est donc fonction des cinq
groupements adimensionnels représentés dans le tableau 3.1 tel que :
51
(W In \
Ci = f { - , R e c ,0, S ,^ (3.16)
Le nombre de Mach n'apparaît pas dans l'équation puisqu'il est fonction de la différence de
pression adimensionnée, y-, Cette différence de pression adimensionnée est utilisée au lieu du
nombre de Mach puisqu'elle est basée sur des valeurs mesurées.
La rugosité relative (rugosité/diamètre hydraulique) de la surface des micro-débitmètres est

comprise entre 0,001 et 0.004. À partir de l'abaque de Moody [White, 1999] et pour une plage
de de Reynolds étudiée dans ce mémoire (100-13000), la variation du facteur de friction est
négligeable pour un même nombre de Reynolds. En effet, tous les micro-débitmètres ont la
même influence de la rugosité en écoulement turbulent. Pour cette cause, la rugosité relative
n'apparaît pas dans l'équation 3.16.
Tous les micro-débitmètres fabriqués et présentés dans le tableau 3.1 ont un même
rapport t2 » 5,5, qui n'est que la condition de fabrication pour que les murs de l'orifice
résistent aux forces de l'écoulement (équation A.8). En effet, le rapport géométrique, est
seulement fonction de /? et S. Dans ce cas, l'équation 3.16 peut prendre une écriture réduite :
/âP \
C d = f { — , R e c t p i Ôj (3.17)
Le coefficient de décharge, Cd, des micro-débitmètres est analysé dans la section suivante en
fonction de ces nombres adimensionnels afin de comprendre leur effet.
Variation du Cd en fonction de Rec
La figure 3.8 illustre le comportement du coefficient de décharge, Cd, en fonction du nombre

de Reynolds (calculé au niveau du premier point de mesure) pour tous les micro-débitmètres
fabriqués et testés. Il est défini et calculé par l'équation 2.13. Tous ces résultats sont tracés
pour trois différentes pressions d'entrée : Pi=5, Pj=6,5 et Pi=8 bars. À noter que les points
dont les micro-débitmètres sont amorcés (Mach=l à l'orifice) ne sont pas représentés. Les
52
graphiques montrent que le coefficient de décharge augmente brutalement pour les faibles
nombres de Reynolds, puis suit une asymptote. Ce comportement s'explique tout simplement
par le fait que l'effet des forces visqueuses tend à se minimiser avec l'augmentation du
nombre de Reynolds. Pour les micro-débitmètres #9, #10, #11, #12, #13, #15 et #16, le
coefficient de décharge se stabilise puis augmente encore une fois pour les grands nombres de
Reynolds. Cette variation de l'allure est due à l'effet de compressibilité puisque les vitesses de
l'écoulement deviennent plus importantes.
Par ailleurs, pour les cas #15 et #16, les courbes permettent d'observer que l'allure du
coefficient de décharge, Cd, présente une bosse (maximum) qui correspond à Rec=1300 avant
de se stabiliser. Ce maximum se traduit par une augmentation du coefficient de décharge
jusqu'à une valeur maximale puis diminue jusqu'à une stabilisation de l'allure. Ce résultat est
aussi observé dans le travail de Jankowski (2008) qui a étudié l'écoulement à travers des
orifices circulaires et a analysé l'effet de la longueur de l'orifice, l0, sur le coefficient de
décharge. L'auteur a constaté que le maximum apparaît quand le rapport tend vers zéro.
C'est la même observation dans le cas présent. En effet, le rapport pour les micro-
débitmètres #15 et #16 est le plus petit parmi les autres micro-débitmètres, soit 0,26 et 0,25
respectivement.
L'effet de la pression d'entrée est aussi remarqué, étant plus important pour certains micro-
débitmètres que d'autres. Pour les micro-débitmètres #1, #2, #3, #4, #5, #6, #7 et #8, la
pression d'entrée n'a pas d'effet sur la variation du coefficient de décharge, Cd, en fonction du
nombre de Reynolds puisque les trois courbes se superposent. On observe une petite
différence pour les faibles nombres de Reynolds mais cette différence rentre dans l'incertitude
de mesure. Nous pouvons dire alors que pour ces cas de micro-débitmètres le coefficient de
décharge est seulement fonction du nombre de Reynolds, pour une même dimension
géométrique. Par contre, pour les micro-débitmètres #9, #10, #11, #12, #13, #14, #15 et #16,
l'influence de la pression d'entrée est observée pour les grands nombres de Reynolds au
moment où le coefficient de décharge commence à augmenter. Ce résultat était attendu
puisque pour les grandes vitesses d'écoulement, la compressibilité est plus importante, donc le
coefficient de décharge ne serait pas seulement fonction du nombre de Reynolds mais plutôt
53
àp
de —, qui est fonction du nombre de Mach. De l'analyse des résultats, nous avons constaté que
le coefficient de décharge ne serait pas seulement fonction du nombre de Reynolds à partir

d'une valeur du facteur d'expansion Y inférieure à 0,9.
#1
-fc—#—$
0.4
P(=5 bars Q P =5 bars
P^.5 bars 0.2 P,=6.5 bars •
P(=8 bars -a- Pj=8 bars
0.
1000 1500 0 500 1000 ' 1500
Rec
#4
1
0.8 i.,,
I f r t ^ •"
f JÉBrv*
0.6
Cd
fi
0.4
•o- P =5 bars e P =5 bars
• •• Pj^.S bars 0.2 . Pj^ô.5 bars •
-e-- Pj=8 bars -q-... Pj=8 bars
0
3000 4000 5000 0 1000 2000 3000 4000 5000
Rec Rec
#5 #6
1
0.8
jjii » j M î-*
f
0.6
Cd
0.4
-e- Pt=5 bars e Pj=5 bars
0.2 « Pj=6.5 bars • • Pj=6.5 bars •
-e— P,=8 bars o Pj=8 bars
0.
0 1000 2000 3000 4000 5000 2000 3000 4000 5000
Re. Re.
Figure 3-10 Coefficient de décharge en fonction du nombre de Reynolds
54
#7 #8
a»itiiw m> m •—e—®
—-b— P =5 bars Pj—5 bars

. P(=6.5 bars Pj=^.5 bars
Pj=8 bars P =8 bars
1000 2000 3000 4000 5000 2000 3000 4000 5000

Rec Re.
c
#9 #10
P =5 bars P =5 bars
P(=6.5 bars P^.5 bars
P. =8 bars P. =8 bars
2000 4000 6000 8000 10000 10000

Rec
#11
P,=5 bars P,=5 bars

P,=6.5 bars P.=6.5 bars
Pj=8 bars P(=8 bars
0 2000 4000 6000 8000 10000

0
0 2000 4000 6000 8000 10000
Re. Re.
Figure 3-11 (suite) Coefficient de décharge en fonction du nombre de Reynolds
55
#13 #14
1
J
0.8 0.8
& % i (pan -f »m • (ji—» e

0.6 .
Cd
0.4 0.4
e— P =5 bars P =5 bars
0.2 » P(=6.5 bars • 0.2 P^ô.5 bars
e- P(=8 bars P^ bars
0 0
0 2000 4000 6000 8000 0 2000 4000 6000 8000 10000
Rec Re.
#15
1
0.8
0.6
Cd
0.4
a— P =5 bars P =5 bars
0.2 • P(=6.5 bars • P^.5 bars
a— P(=8 bars P. =8 bars
0.
0 2000 6000 10000 14000 0 2000 6000 10000 14000
Re. Re.
Figure 3-12 (suite) Coefficient de décharge en fonction du nombre de Reynolds
Variation du coefficient de décharge fonction de AP/Pj
Le coefficient de décharge des mêmes cas étudiés au-dessus est tracé dans cette partie en
fonction de la différence de pression adimensionnée AP/Pj (Figure 3.9). Les graphiques
montrent que le coefficient de décharge augmente de façon plus brutale pour atteindre
l'asymptote à une valeur de 0,01 pour tous les cas. Cependant, l'effet du maximum est
toujours existant pour les mêmes cas constatés en fonction du nombre de Reynolds. Par
ailleurs, pour tous les cas des micro-débitmètres, la variation de la pression d'entrée n'a pas
d'influence sur l'allure du coefficient de décharge. Ainsi, ça suggère que le coefficient de
décharge est juste une fonction de la différence de pression adimensionnée pour une même
géométrie, surtout pour les rapports de forme plus petits où le phénomène du maximum
n'apparait pas. À l'inverse, pour les cas où le maximum apparaît, l'influence de la pression
d'entrée est visible mais rentre dans l'incertitude de mesure.
56
e Pj=5 bars B Pj=5 bars
» P,=6.5 bars • P^.5 bars
Pj=8 bars P,=8 bars
0.3" 0.4
#3
0.8
<8$ 0 * tp * Offii *
0.
Cd
0.4
Pj=5 bars P =5 bars
0.2 P^.5 bars - P. =6.5 bars -
Pj=8 bars P^S bars
0:
0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3
AP/P,
#5
;j> » ilfl * 9*9

$—e—4P
-e— Pj=5 bars P. =5 bars

• Pt=6.5 bars . P =6.5 bars -
-e— P(=8 bars P =8 bars
0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3
AP/P. AP/P.
Figure 3-13 Coefficient de décharge en fonction de la différence de pression adimensionnée
57
#7 #8
fija §—m— # ® 0.8
0.6
Cd
0.4
e- P =5 bars -e- P =5 bars
» P(=6.5 bars 0.2 • P =6.5 bars
P(=8 bars -©— Pj=8 bars
0.
0.1 0.2 0.3 0.4 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1
AP/P, AP/P,
#9 #10
» nom »»
Cd <>
P}=5 bars P =5 bars

P.=6.5 bars P =6.5 bars
8 bars P =8 bars
Cd <'
P. =5 bars P =5 bars
P. =6.5 bars 0.2 P^.5 bars
P =8 bars P,=8 bars
0.2 0.3 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 .0.6

AP/P, AP/P,
Figure 3-14 (suite) Coefficient de décharge en fonction de la différence de pression

adimensionnée
58
#14
ttf 8 c '•» e
0.6
Cd
0.4
P(=5 bars « P =5 bars
0.2 P(=6.5 bars • P.=6.5 bars
Pj=8 bars P. =8 bars
0:
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
AP/P.
Cd <>
0.4
P(=5 bars P^î bars
0.2 P^.5 bars P,=6.5 bars
Pj—8 bars P,=8 bars
0.
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.2 0.3
AP/P. AP/P.
Figure 3-15 (suite) Coefficient de décharge en fonction de la différence de pression

adimensionnée
Variation du coefficient de décharge en fonction des rapports géométriques
Cette partie met en évidence l'influence du rapport de forme, ô, pour comprendre l'effet de ce
rapport sur le coefficient de décharge Cd. La figure 3.10 illustre la variation du coefficient de
décharge en fonction de la différence de pression adimensionnée. Ceci pour trois cas : /? =
0,4, /? = 0,6 et /? = 0,8. Pour chaque cas, le coefficient de décharge est tracé pour différents
rapports de forme, S. Tous les résultats sont pour une pression d'entrée de 8 bars. Il en résulte
que pour l'ensemble des coefficients de contraction, /?, le coefficient de décharge est plus
grand pour des rapports de forme Ô plus grands. Ceci vient simplement du fait que pour des
rapports de forme plus importants, le facteur de friction diminue [Papautsky et al., 1999] qui
implique une diminution de pertes de pression linéaires. De plus, dans le cas présent,
59
l'augmentation du rapport de forme 6 introduit une diminution du rapport — puisque S est
Dhn
une fonction de et par conséquent les pertes de charge linéaires diminuent aussi.
P=o,4
#3,6=0,64
#4,6=0,65
B #5,8=0,66
#6,8=0,95
#7, 8=1
#8,8=0,21
#9,8=0,67
#10,8=0,67
#11,8=0,97
#12,8=1,25
#13,6-2.45
o
0.4'
-e- #14,8=0,34
0.2
• #15,8=0,97
s- #16,8=1,3
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
AP/P.
Figure 3-16 Coefficient de décharge en fonction de la différence de pression adimensionnée

pour différents facteurs géométriques
60
3.3.4 Corrélations empiriques pour le coefficient de décharge
Dans la section 3.3.3, nous avons constaté en premier lieu que le coefficient de décharge, Cd,
peut être exprimé en fonction du nombre de Reynolds, Re, pour une faible compressibilité du
fluide (Y > 0.9). Quand la compressibilité devient plus important, le coefficient de décharge
ÀP
devient plutôt une fonction de la pression adimensionnée, —. Par la suite, nous avons
àP
remarqué que le coefficient de décharge peut être exprimé seulement en fonction de — sur
"i
toute la plage étudiée. Ce dernier résultat nous permet de développer des corrélations
AP
empiriques du coefficient de décharge seulement en fonction de —.
àP
Définir des corrélations empiriques du coefficient de décharge qui serait fonction de —
Pl
représente un avantage très important pour le calcul du débit sans avoir recours aux itérations,
étant donné que le A P et Px sont des mesures directes. Par contre, si on définit les corrélations
en fonction du nombre de Reynolds, qui est possible la plage à faible compressibilité, nous
aurons besoin de procéder à des itérations pour calculer le débit, étant donné que le nombre de
Reynolds est une fonction du débit.
Pour corréler les résultats expérimentaux du coefficient de décharge, Cd, on s'est servi de la
méthode de corrélation non linéaire. La détermination et le calcul se fait à l'aide des logiciels
XLSTAT® et MATLAB®. Afin de vérifier le degré des corrélations, chacune d'elle est
caractérisé par un coefficient de corrélation, erreur quadratique absolue et erreur quadratique
relative.
Dans l'analyse de la variation du coefficient de décharge en fonction des groupements

adimensionnels, il s'est avéré que pour une même géométrie de micro-débitmètre, le
coefficient de décharge dépend principalement de la différence de pression adimensionnée. En
revanche, l'équation modèle du coefficient de décharge pour ces cas de micro-débitmètres
peut s'écrire de la façon suivante :
61
(pari x ^r)
(3.18)
(par2 + ^)
Les paramètres parx et par2 sont déterminés à l'aide du logiciel d'analyse de données et de
statistique XLSTAT®. Le tableau 3.2 définit les paramètres des corrélations empiriques
spécifiques pour chaque micro-débitmètre avec leurs conditions d'application. Le coefficient
de corrélation r détermine l'intensité de liaison entre les valeurs expérimentales et celles
obtenues par la corrélation, et est donné par la formule suivante [Holman, 2001] :
ZÎLi( c d ^ - â Q (Cd t , c - c£)

(3.19)
où N, est le nombre de points de mesure à corréler, Cd c est le coefficient de décharge calculé

par la corrélation 3.18 et Cdm est le coefficient de décharge mesuré.
L'erreur moyenne quadratique absolue (RMS, root mean square error) ainsi que l'erreur
moyenne quadratique relative (FRMS, fractional root mean square error) sont calculées
respectivement par les équations 3.20 et 3.21 :
(3.20)
FRMS (3.21)
Les résultats mentionnés dans le tableau 3.2 montrent que les corrélations du coefficient de
décharge, Cd, donnent un bon coefficient de corrélation supérieur à 0,90 pour l'ensemble des
corrélations sauf pour le cas #15 et #16 qui prennent les valeurs 0,90 et 0,80 respectivement,
ceci est dû à la bosse dans la courbe du coefficient de décharge, Cd, telle que décrite
62
précédemment en section 3.3.3. De plus, les erreurs de la régression sont minimes, avec des
RMS dans un intervalle de ±0,026 sauf pour les cas #15 et #16 qui prennent des valeurs
de ±0,05 et ±0,06 respectivement.
Tableau 3-2 Paramètres des corrélations empiriques en fonction de la différence de pression

adimensionnée
1 pari =0,8332 Jii 5 0,2 0,97 ±0,017 ±2,4%

pai2=5,8952 e-4 p = 0,2
S = 1,66
2 parl=0,8397 jrt S 0,38 0,94 ±0,016 ±1,9%
pai2=6,7916 e-4 P = 0,2
8 = 2,3
3 parl=0,7426 JTi S 0,2 0,98 ±0,013 ±2,3%
par2=2,8906 e-4 P = 0,4
S = 0,64
4 pari =0,7567 *rj < 0,2 0,99 ±0,02 ±5,3%
par2=4,2259 e-4 p = 0,4
S = 0,65
parl=0,7567 0,98 ±0,014 ±2,8%
5 7t\ S 0,2
par2=4,4979 e-4 P — 0,4
S = 0,66
6 pari =0,7770 nx <, 0,3 0,99 ±0,012 ±1,9%
par2=3,3060 e-4 P — 0,4
S = 0,95
7 par1=0,7960 nx S 0,3 0,98 ±0,022 ±5,8%
par2=5,0742 e-4 P — 0,4
6 =1
pari =0,6272 0,99 ±0,012 ±3%
8 Jti S 0,07
par2=3,3333 e-4 P = 0,6
5 = 0,21
9 pari =0,6939 7Tj S 0,2 0,90 ±0,018 ±2,7%
par2=2,1242 e-4 P = 0,6
A = 0,67
par1=0,6942 0,95 ±0,026 ±6,3%
10 S 0,23
par2=3,0975 e-4 P = 0,6
S = 0,67
parl=0,6969 0,95 ±0,017 ±2,7%
11 par2=2,6787 e-4
iti S 0,16
P = 0,6
5 = 0,97
parl=0,7342 0,93 ±0,024 ±3,7%
12 par2=3,0343 e-4
S 0,35
P = 0,6
S = 1,25
parl=0,7850 7Tj S 0,32 0,91 ±0,022 ±3,3%
13 par2=2,1389 e-4 P = 0,6
5 = 2,45
parl=0,6479 0,98 ±0,01 ±1,8%
14 par2=2,2507 e-4
ir! S 0,17
P = 0,B
S = 0,34
15 pari =0,7442 JTj S 0,2 0,90 ±0,05 ±13,3%
par2=2,7595 e-4 P = 0,8
= 0,97
parl=0,7689
16 pai2=2,3035 e-4
îii S 0,33
0 = 0,8
0,80 ±0,06 ±15,1%
5 = 1,3
63
3.3.5 Comparaison du débit prédit par les corrélations avec le débit mesuré
Dans cette partie, le débit massique traversant les micro-débitmètres calculé à l'aide des
corrélations empiriques est comparé à celui mesuré expérimentalement. Cette comparaison
permet de démontrer la fiabilité de ces corrélations empiriques dans la prédiction et le calcul
du débit massique à partir d'une mesure de la différence de pression. La figure 3.11 représente
la comparaison entre les deux débits, expérimental et prédit à partir des corrélations
spécifiques à chaque cas (Tableau 3.2). Les résultats sont donnés sous forme de 4 graphiques.
Chaque graphique regroupe les micro-débitmètres ayant un même coefficient de
contraction,/?, (fî= [0,2-0,4-0,6-0,8]). Les points de prédiction du débit massique sont
carrément sur la même ligne médiane. Ce qui démontre une bonne prédiction du débit à l'aide
de ces corrélations. Les erreurs sur la prédiction du débit massique sont les mêmes erreurs sur
la prédiction du coefficient de décharge qui sont exprimées dans le tableau 3.2.
P=«,2 p=0,4
o #1
10 20 30 20 40 60
Débit massique mesuré (mg/s) Débit massique mesuré (mg/s)
P=0,6 (H),8
£
&
&
\5 40
° #10
0 20 40 60 20 40 60 80
Débit massique mesuré (mg/s) Débit massique mesuré (mg/s)
Figure 3-17 Comparaison entre le débit prédit et le débit mesuré
64
3.3.6 Validation des résultats de la simulation numérique
Afin de valider les résultats numériques présentés dans l'article de l'annexe A, ces derniers
sont comparés aux résultats expérimentaux. Les résultats numériques sont trouvés à partir des
conditions opératoires différentes que celles utilisées dans l'expérience. Contrairement à
l'expérience où on a utilisé de l'air à température ambiante, la simulation était faite en prenant
de la vapeur d'eau à haute température. En effet, la comparaison des résultats dimensionnels
tels que la différence de pression ou bien le débit massique, n'est pas possible. Par contre, il
est possible de comparer la variation du coefficient de décharge des deux résultats, étant donné
qu'il est fonction seulement de la différence de pression adimensionnée. Il est attendu alors
que, pour une même géométrie, le coefficient de décharge expérimental soit égal au
coefficient de décharge numérique sur une même plage de la différence de pression
adimensionnée.
La figure 3.12 montre une comparaison de la variation du coefficient de décharge entre le cas
#4 de l'annexe A (numérique) et le cas #11 du chapitre 3 (expérimental). Ces deux cas
présentent un même coefficient de contraction /? = 0,6 et pratiquement le même rapport de
forme £ ~ 1. Les courbes montrent que le coefficient de décharge calculé numériquement
concorde avec celui trouvé avec l'expérience. La concordance confirme ce qui été attendu,
c'est-à-dire, que le coefficient de décharge est seulement fonction de la différence de pression
adimensionnée quel que soit le gaz utilisé. Cette conclusion est très importante vu que ces
micro-débitmètres seront utilisés pour la mesure des débits de vapeur d'eau pour la
caractérisation de la micro-turbopompe. En effet, les micro-débitmètres pourront être utilisés
sans avoir recours à des éventuelles corrections et calibrations si l'écoulement satisfait la
condition adiabatique.
Pour confirmer la validation de la simulation numérique, une autre étude numérique a été
effectuée sur le cas #7 en utilisant de l'air à température ambiante, c'est-à-dire, aux mêmes
conditions d'opération que l'expérience. La simulation a été faite par le co-auteur de l'article
présenté en annexe A (Omri, M.). La figure 3.13 montre une comparaison entre le coefficient
de décharge trouvé par la simulation numérique et celui trouvé par l'expérience pour le même
cas #7 et avec les mêmes conditions opératoires. Nous pouvons observer que pour les deux
AP
résultats se concordent dans l'intervalle 0,06 < — < 0,3 avec une faible différence dans les
65
valeurs mais qui rentre dans l'incertitude de mesure. Ces constatations viennent confirmer que
le modèle utilisé dans la simulation numérique serait un bon moyen de conception pour ce
type de micro-débitmètres.
#11
e— Num
Figure 3-18 Comparaison entre les résultats expérimentaux et les résultats numériques, #11
#7
o Num
— Exp
Figure 3-19 Comparaison entre les résultats expérimentaux et les résultats numériques, #7
66
Conclusion générale
Sommaire
Ce travail a porté sur une étude de conception des micro-débitmètres à pression différentielle
de type orifice plat et à section rectangulaire. Dans un premier volet, une étude analytique et
numérique de cette méthode de mesure a été réalisée et elle est présentée en annexe A. L'étude
numérique visait à combler le manque de d'informations sur la localisation optimale du point
de mesure de pression en aval de l'orifice (localisation du vena contracta) et sur la validité des
corrélations existantes du coefficient de décharge. Dans ce cadre, quatre micro-débitmètres à
orifice plat avec différentes dimensions géométriques ont été étudiés. Les premières
observations de l'étude numérique ont montré, tout d'abord, que la standardisation ASME
concernant la mesure optimale à l'aval de l'orifice est applicable pour ces micro-débitmètres.
Ceci a été démontré en analysant la localisation de la pression minimale (vena contracta), qui
2
se positionne à environ -bc après l'orifice. Cette position diffère de la standardisation ASME
qui dit que la localisation du vena contracta et observée à la position bcf 2. Cependant, cette
différence représente seulement 0,4% d'erreur. En effet, cette standardisation est appliquée
pour le reste de l'étude des micro-débitmètres, et ce, afin de comparer les résultats des micro-
débitmètres avec les résultats des macro-débitmètres en utilisant des corrélations empiriques
traditionnelles. Par la suite, une autre observation a démontré que les résultats de la simulation
numérique ne concordent pas avec les résultats analytiques, faisant ainsi sortir un facteur
correcteur appelé coefficient de décharge, Cd. Ce dernier a été comparé à d'autres coefficients
de décharge calculés par les corrélations empiriques de Borutzky et Morrisson. Il s'est avéré
qu'aucune de ces corrélations n'était valide pour ce type de micro-débitmètres rectangulaires
qui présentent une dimension planaire.
Le deuxième volet de ce travail portait sur l'étude expérimentale des micro-débitmètres à

pression différentielle de type orifice plat à section rectangulaire. La fabrication de ces micro-
débitmètres est effectuée aux salles blanches de l'Université de Sherbrooke. Le diamètre
hydraulique des microcanaux varie entre 220 et 388 nm. La variation de la chute de pression
en fonction du débit a été mesurée pour les 16 micro-débitmètres étudiés pour une plage de
débit allant de 0,5 à 100 mg/s. Les résultats présentaient la même tendance de l'allure
67
observée dans les macro-débitmètres à organe déprimogène. Les résultats expérimentaux ont
montré que le coefficient de décharge est une fonction du nombre de Reynolds pour des
valeurs du coefficient d'expansion, Y, supérieures à 0,9. Pour des valeurs de Y inférieures à 0,9
où la compressibilité du fluide devient importante, le coefficient de décharge devient plutôt
AP
fonction de la différence de pression adimensionnée, —. Il a été remarqué aussi que le Cd peut
AP
être seulement dépendant de — pour toutes les valeurs de Y. Des corrélations empiriques du
AP
coefficient de décharge en fonction de — sont alors définies à partir des mesures
"l
expérimentales pour chaque micro-débitmètre. Par ailleurs, les résultats numériques de deux
micro-débitmètres ont été comparés avec les résultats expérimentaux. Cette comparaison a
permis de conclure que les résultats numériques étaient en accord avec les résultats de
l'expérience.
Contributions
Le travail présenté dans ce mémoire a contribué, en premier lieu, à la mise en œuvre des
micro-débitmètres qui peuvent être intégrés facilement dans l'installation de la micro-
turbopompe et compatible pour mesurer des débits de gaz à hautes température et pression à
l'ordre des mg/s. Les micro-débitmètres sont peu coûteux, utilisant seulement deux capteurs
de pression : le premier pour mesurer la pression absolue et l'autre, pour mesurer la pression
différentielle. De plus, la réussite de la microfabrication des micro-débitmètres a permis de
définir une méthode de microfabrication simple et peu coûteuse qui peut être utilisée pour la
microfabrication d'autres micro-débitmètres de ce genre. Toutefois, ces mêmes micro-
débitmètres peuvent mesurer une variété de gaz et de conditions d'opération (P, T) étant donné
AP
que le coefficient de décharge est défini par un nombre adimensionnel, —,
pi
si l'hypothèse de
l'écoulement adiabatique est respectée.
En deuxième lieu, dans ce travail, la démonstration, la caractérisation et la calibration des

micro-débitmètres à pression différentielle de type orifice plat à section rectangulaire, ont été
faites pour la première fois. En effet, ce travail a permis de mettre en place deux outils de
design de ces micro-débitmètres, qui ont été validés expérimentalement, à savoir les
corrélations empiriques du coefficient de décharge et la simulation numérique.
68
Finalement, le travail n'a pas seulement permis de concevoir des micro-débitmètres, mais il a
aussi permis d'étudier l'écoulement dans les microcanaux rectangulaires munis d'une
restriction. Cette contribution est intéressante, surtout puisque ce genre d'écoulement dans des
géométries planaires est très souvent rencontré dans les microsystèmes fluidiques. Par
exemple : les pertes de pression irréversibles à travers ce type de restriction se calculent
facilement en utilisant la corrélation spécifique aux dimensions géométriques.
Perspectives
Le présent travail a fait ressortir plusieurs perspectives de recherche à entreprendre :
> Il serait avantageux d'étudier numériquement le phénomène du maximum observé

dans l'allure du coefficient de décharge pour les micro-débitmètres #15 et #16 qui
présentent des petits rapports afin d'avoir une meilleure compréhension.
> Les corrélations empiriques du coefficient de décharge qui sont définies dans cette
étude, ont une plage d'application limitée (rapports de forme des micro-débitmètres
compris entre 0,21 et 2,45). Afin d'élargir cette plage d'application, une simulation
numérique en considérant d'autres géométries de micro-débitmètres, pourrait être
menée étant donné que la méthode numérique a été validée par l'expérience.
> Les micro-débitmètres fabriqués dans ce travail fonctionnent avec une mesure de la
différence de pression entre l'amont et l'aval (vena contracta) de l'orifice. En effet, il
faut avoir un capteur de pression différentielle pour mesurer cette différence. Ce serait
une excellente idée si un capteur de pression différentielle à piézorésistif serait
microfabriqué et intégré sur la même puce des micro-débitmètres.
> La simulation numérique de ces types de micro-débitmètres a montré la présence des

tourbillons en amont et aval de l'orifice. Il serait très intéressant de visualiser
expérimentalement les écoulements de fluides à travers l'orifice afin de : a) valider les
résultats numériques, b) bien comprendre la mécanique des fluides pour ce type
d'écoulement.
69
ANNEXE A
ARTICLE DE CONFERENCE :
AN ANALYTICAL AND NUMERICAL STUDY OF

RECTANGULAR ORIFICE PLATE MICRO-
FLOWMETERS
A.l Avant propos
Auteurs et affiliation :
A. Amnache : étudiant à la maîtrise, Université de Sherbrooke, Faculté de génie,

M. Omri : professionnel de recherche, Université de Sherbrooke, Faculté de génie,

L. G. Fréchette : professeur, Université de Sherbrooke, Faculté de génie, Département

de génie mécanique
Date d'acceptation : 27 août 2010
État de l'acceptation : version finale publiée
Revue : 2010 International Mechanical Engineering Congress and Exposition (IMECE 2010).
American Society of Mechanical Engineering ASME
Référence : Amnache, A. (2010). An analytical and numerical study of rectangular orifice

plate micro-flowmeters. Dans Omri, M., Fréchette, L.G., Proc. ASME Int'l Mech. Eng.
Congress and Expo. (IMECE 2010), volume 10, Vancouver, British Columbia, Canada,
November 2010, p. 659-665.
Titre français : Étude analytique et numérique des micro-débitmètres à orifice plat

rectangulaire
71
Contribution au document : Cet article contribue au mémoire en élaborant une étude
analytique et numérique des micro-débitmètres à orifice rectangulaire. Cette investigation a
permis de voir la faisabilité de ce type de micro-débitmètres avant d'entamer leur fabrication.
Résumé français
Cet article présente la conception et l'analyse des micro-débitmètres à pression différentielle,

destinés pour mesurer de faibles débits de gaz (0.1-120 mg/s) avec des pressions statiques
d'entrée allant de 1 à 4 bars. Le dispositif du micro-débitmètre est constitué d'une obstruction
de type orifice plat dans un micro-canal rectangulaire et deux prises de pression statique en
amont et en aval de l'orifice. La particularité de cet orifice est la petite taille à l'échelle des
microns et la forme planaire en deux dimensions suivant la profondeur du micro-canal. Une
série de micro-orifices est étudiée, avec un diamètre hydraulique allant de 200 à 465 nm et un
nombre de Reynolds au niveau du microcanal inférieur à 7000. Les dimensions géométriques
sont choisies afin d'avoir une différence mesurable ainsi que d'éviter le choc au niveau du
micro-orifice. Le calcul de la différence de pression se fait à l'aide des équations analytiques
et numériquement afin d'étudier l'écoulement et l'effet 3D. Le coefficient de décharge de
chaque micro-débitmètre est déterminé par l'analyse numérique. Ce travail permettra de
développer des micro-débitmètres pour être intégrés dans des micro-dispositifs chimiques et
fluidiques où les débitmètres traditionnels ne peuvent pas être utilisés.
Mots clés : microfluidique, mesure, débitmètre, coefficient de décharge, chute de pression
72
A.2 Article sous forme manuscrite en anglais
An analytical and numerical study of rectangular orifice plate micro-

flowmeters
Amnache A.1. Omri M.2, Fréchette L. G.3

Université de Sherbrooke, Department of Mechanical Engineering
2500, Boulevard de l'Universite, Sherbrooke, QC, J1K2R1, Canada
1. Amrid.Amanche@USherbrooke.ca 2. Mohamed.Omri@USherbrooke.ca
3. Luc.Frechette@USherbrooke.ca
ABSTRACT
The paper présents the design and analysis of differential pressure micro-flowmeter, for low
flows of gases (0.1-120 mg/s) with différent inlet pressure conditions (1-4 bars). The device
consists of a planar micro orifice obstruction in a rectangular microchannel, with two pressure
ports, upstream and downstream of the constriction. The particularities of this micro orifice is
the small scale and the planar two-dimensional configuration, i.e. only in the width of the
rectangular microchannel changes. A sériés of micro orifice sizes will be studied, with
hydraulic diameters ranging from 200 to 465 |am and channel Reynolds numbers up to 7000.
The géométrie parameters of these micro orifices were determined to have a measurable
pressure drop and to avoid choking. The calculation of the pressure drop through a micro
orifice are represented using analytical équations, and modeled numerically using
computational fluid dynamics to further investigate the flow patterns and 3D effects. The
discharge coefficient is determined for each orifice micro-flowmeter by numerical analysis.
This work aims to implement integrated mass flow measurements in micro chemical and
fluidic devices that cannot use macroscopic mass flow meters, either due to their large volume,
high cost, or inability to withstand harsh environments.
Keywords: microfluidics, measurements, flowmeter, discharge coefficient, pressure drop
73
I. Introduction
The growing development of the various applications in the areas of micro chemical systems,
sensing systems, biotechnology and power MEMS (micro-electro-mechanical-system for
energy conversion) raise the need for new instrumentation adapted to these applications, such
as for the measurement of small flow rates of gases. The obstruction differential pressure
flowmeter is one of the several methods for measuring flow and accounts for about half of ail
industrial flowmeters used at macroscale [Ahmadi and Beck, 2005]. The most common type
is the orifice plate differential flowmeter, which présents a good candidate for miniaturization
due to its simplicity and low fabrication cost compared with other solutions. The pressure
differential measurement can be located away from the flow. In comparison, thermal micro-
flowmeters have the disadvantage of a more complex fabrication process [Esashi, 1991] and
difïïculties in thermal insulation at microscale [Elwenspoek, 1999]. However, the
microfabrication approach for miniaturization limits the range of geometries achievable and
the small scale affects the flow behaviour. For microdevices implemented using
photolithography and etching, the channels mostly take two-dimensional extruded-like shapes,
as opposed to circular orifices at macroscale. The fluid flows through the micro-orifice will be
three dimensional in nature and characterized by lower Reynolds numbers. The well defined
conventional corrélations and design équations that relate the flow rate to the pressure drop
across the orifice at macroscale are therefore not expected to be valid. To provide such
relations at microscale, recent research activities have aimed at characterizing the fluid flow
behaviour through différent micro-obstructions. One of the important parameters for flow
through the micro-obstruction is the discharge coefficient Cd. [Mishra and Peles, 2005]
experimentally studied incompressible and compressible flow through rectangular micro-

orifices for hydraulic diameter between 21 to 57 fAm. They observed, for incompressible flow,
that the discharge coefficient rises with increasing Reynolds number and reaches a peak and
constant value at a critical Reynolds number (200 < Recri < 500). The discharge coefficient
was found to only be a function of the ratio of orifice area and channel area as
Cd = 0.5138^ + 0.5725. For compressible flow the same authors [Mishra and Peles, 2005]
Ac
observed that Cd rises rapidly as the pressure ratio between inlet and outlet of the orifice
increased from unity and reaches a constant value for a pressure ratio equal to two, which
74
corresponds to chocked flow. However, the évolution of the discharge coefficient below
pressure ratios equal two was not characterized. [Ramamurthi and Nandakumar, 1999] studied
experimentally the effect of the orifice diameter on a discharge coefficient for water flow
through 300 to 2000 nm orifice diameter, and concluded that the orifice diameter influences
the C d , noting that smaller diameter orifices give higher discharge coefficients. [Jankovski et
al , 2008] observed that for the small orifice, the discharge coefficient does not only depend
on the orifice diameter and Reynolds number, but also on the length of the orifice. This
suggests that the fluid wall friction (Moody loss) in the orifice is not negligible.
Although multiple studies of the flow through micro-orifices can be found in the literature, the
level of understanding of the flow and its parameterization are incomplète. There is no wide
ranging corrélation to predict the discharge coefficient for moderate Reynolds number,
compressible flow in rectangular orifices, which is important and essential in the design and
characterize of orifice plate restriction. The current study aims to provide the design basis for
orifice micro-flowmeters for low flow rates of gases. This article starts by characterizing the
behaviour of compressible fluid flow through the rectangular micro-orifice over a large
Reynolds number range (from laminar to turbulent) and defines the value of discharge
coefficient for each case using a comparison between the analytical resuit and numerical
results. A set of four différent rectangular orifice plate micro-flowmeters defined to cover the
range of interest, which are analysed numerically with 3D CFD.
II. Orifice flow-meter approach
Consider the flow through an orifice, as shown in Figure A.l. Before the passage through the
orifice (point 1). The fluid has a static pressure Pi and average velocity V±. At the orifice
entrance, the fluid is accelerated due to the réduction in flow area, leading to a réduction of
static pressure. Point 2 represents the location of maximum of pressure drop, which
corresponds to the vena contracta.
In compressible fluid, the theoretical général relation between the idéal mass flow and
pressure drop (AP = Pj — P2) based on the Bernoulli and the continuity équations, and
assuming an isentropic process, is given by [Holman, 2001]:
75
rh id = Y A 0 ^2p x LP (A.
Vi-/?4
where mÉd is the idéal mass flow rate, p t is the fluid density at point 1, /? is the square root
the ratio of orifice area, A0, to channel area, Ac is the orifice area as:
/? = (A.
and Y is the expansion factor expressed for the adiabatic gas as [Doebelin, 2004]:
0.5
Y= (A.
(i-fc)
where k is the ratio of spécifié heats.
P1 P2
CD <2> <D
Flow
8 f- Case a. With Moody

loss
Length
Casa b. Without
Moody loss
O (0
10 0)
Length
Figure A-l Pressure drop through orifice
76
The mass flow rate calculated from the Eqn A.1 is the idéal value and must be corrected by the
dimensionless discharge coefficient Cd, defined as the ratio of actual over idéal flow rates.
Hence the compressible actual mass flow rate through the orifice obstruction is given by:
m = Cd y (A. 4)
This équation can be written in the équivalent form :
àP = K^ Pl V} (A. 5)
where K is a dimensionless coefficient that will be referred to as the orifice flow factor and is
given by:
l-/?4
K= (A. 6)
/?4Cd 2 Y 2
For the rectangular orifice plate micro-flowmeter, the available macroscale corrélations for the
discharge coefficient are not expected to be valid because the miniaturisation afïects the flow
behaviour and orifice shape. Instead of a circular shape, microfabricated orifices will tend to
be rectangular and of same depth as the microchannel it is integrated into. The change of area
at the orifice will be achieved by changing the channel width locally. Since the orifice is not
axisymmetric, more géométrie parameters will be needed to characterize the geometry and the
flow will be three-dimensional in nature. In orifice micro-flowmeters, the Reynolds number
range will also be lower than traditional device, spanning the range of laminar to turbulent
flow. Not only can flow patterns through the orifice be affected, but pipe friction losses
(Moody loss) are expected to become more important than at macroscale. The static pressure
profile will therefore be a combination of fiction losses (total pressure drop) and flow
accélération (dynamic pressure increase), as illustrated in Figure A.l.
III. Design of rectangular orifice micro- flowmeters
In order to study the effect of each dimensionless factors on the flow through the micro-
flowmeter and to define the value of discharge coefficient for each, four rectangular orifice
77
micro-flowmeters are designed with différent géométrie dimensions. These dimensions are
represented in Table A.l. Each micro-flowmeter is defined by two géométrie factors /?
expressed in Eqn (A.2) and the orifice aspect ratio a given as:
where /? takes value 0.6 and 0.8 and a 0.5, 0.66, 1 and 7.25. Dh c , Dh 0 , b c , b 0 are respectively
the channel hydraulic diameter, orifice hydraulic diameter, channel and orifice width.
Tableau A-l Géométrie parameters for micro-flowmeters
Devices l«,P] b. b„ 6> lo Dhc Dh,

(Jim) (jim) (jim) Oim) (jxm) (jim)
1 [0.5,0.6] 555.5 200 400 111 465 267
2 [0.66,0.6] 555.5 200 300 111 390 240
3 [7.25,0.8] 2266 1450 200 453 368 351.5
4 [1,0.6] 555.5 200 200 111 294 200
The micro-flowmeters can be entrenched in a silicon chip formed by deep reactive ion etching
of a channel with a restriction as the orifice. In order to measure the pressure différence, every
device is equipped by two pressure ports, upstream and downstream of the restriction. The
choice of the distance and localisation of these ports is taken in agreement with the American
Society of Mechanical Engineers (ASME) standardization [Miller, 1996], which spécifiés the
distance between the orifice and the upstream and downstream pressure ports to be
respectively bc and bc/2. The validity and the accuracy of this location for this type of micro-
orifice will be discussed later with the numerically results.
The length l0 of the micro-orifice typically minimized to reduce the pressure drop due to
friction in the orifice and maintain a linear response. In practice, a minimal thickness is
required to maintain structural integrity during etching and opération. To evaluate the
minimum thickness to prevent fracture of the orifice plate due to fluid forces, stress is
evaluated in each micro-orifice structure by considering it as a bending beam. We assume
small deflections of the wall, distributed load on the wall, and neglected clamping at the top
and bottom of the orifice plate, yielding :
78
3P x L 2 s
(2.8)
where, s is the safety coefficient, a c is the ultimate stress of silicon and L is the width of one
orifice edge. Actual width in Table A.1 is chosen according to this limit.
IV. Numerical analysis of flow through the micro-flowmeters
The coupled elliptic partial differential équations describing the flow field are discretized with
the finite volume method.
Figure A-2 Schematic domain used in the numerical simulation of the flow
through a quarter rectangular orifice
Second order central discretization is used for terms. Only the quarter of the considered
channel is calculated taking advantage of the inhérent symmetries (Figure A.2). The
Hexahedral staggered grid is non-uniform in ail directions: it is finer near the walls where
gradients are more important. Grid independence was tested by monitoring the variables and
residuals during the itération process and by doubling and tripling the non-uniform grid in
each direction. Hence the final used grids for the cases #4 with Xj=3 mm, ^=13 mm, and #3
with Xf=3 mm, Xf=8 mm are 200x60x40 and 300x80x40 respectively. Convergence is
declared when the cumulative residuals for ail conservation équations are less than at
least 10~8.
Since the channel Reynolds number is expected to exceed 7000, turbulence modeling could
affect the numerical prédictions. To evaluate this effect, "three-equations" models were
79
considered: 1) the standard k-e by [Launder and Spalding, 1974] (denoted as 'keps') coupled
to a wall function correction, 2) the renormalisation group model kRNG [Yakhot and Orsag,
1986], and 3) the SST k-co model of Menter [Menter et al. , 2003] under the same conditions
(device 3 with Rec=7300, m=120 mg/s, Poutiet=3.09 bar). As indicated in Figure A.3, the static
pressure profiles at the three key positions (Pi, orifice, and P2) are the same for ail models,
with an error of 2%. Ail results presented in the following sections are with the standard k-e
model associated to a wall correction.
0,5
0,45 Position 1 — — — — ...11..Bositior PjBSltiQD.2.

(Pi) I Orifice (P2)
0,4
0,35
0,3
£ 0,25
Keps
0,2
/
0,15
V SSTkw
0,1 •0r2S"+1>istat c/Pnntet— m +P^sTâïïc/F_ inTêf

0,05
0
0,98 1,03 1,08 1,13 1,18 1,23 1,28
P static/P inlet
Figure A-3 Normalised static pressure profiles across the channel at three différent positions:
Pi, orifice, and P2, for three différent models (Standard k-e, kRNG and SST k-ro)
V. Results and discussions
The characteristics of the flow through the rectangular orifice plate micro-flowmeter have
been evaluated using CFD for two geometries and over a range of operating conditions.
Pressure distribution
Figure A.4 gives the predicted static pressure in the orifice micro-flowmeters for two différent
devices. The static entrance pressure is 4 bars. Ail cases show that the choice of bc/2 for
80
measuring the minimum of the static pressure does indeed correspond to a location of lower
pressure, as expected in a vena contracta. We also notice that the minimal pressure along the
central axis also corresponds to the lowest pressure location along the wall, where the pressure
tap is located.
(a) Device #3, 80 mg/s
(b) Device #4, 12 mg/s
Figure A-4 Static pressure contours in the symmetric plane (upstream and downstream régions
have been truncated)
To better evaluate the appropriateness of the vena contracta location, figure A.5 shows the
variation of the pressure along the center axis of the micro-flowmeter #3 with 13 mm length;
the orifice is situated at 3 mm of the entrance. It can be determined that the average minimum
of the pressure is located at 1.5 mm downstream of the orifice, which corresponds to 0.66 b c .
Thus, this is slightly différent with the chosen distance of bc/2, but the différence in pressure
between these locations is small (evaluated as 0.4%). Therefore, measuring the downstream
pressure at bc/2 is appropriate.
The pressure profile also highlights the importance of the Moody loss that was depicted in
Figure A.5. In addition to the pressure variation due to the orifice, we notice a linear pressure
drop along the channel that increases with mass flow. At low Reynolds numbers, the Moody
loss was expected to be more important than in macro-scale flowmeters.
81
Orifice bc/2
wm>bIO mg/S
**20 mg/s
0,98 mg/s
40 mg/s
~50 mg/s
0.96 1 "1)0 mg/s
0.94 ^*^"""•"•"*•70 mg/s
fo.92 ~*~~80 mg/s
5a. 0.9
x
CL 0,88
m
0,84
0.92
Qfi 1 1
0 0,002 0.001 0,006 0.008 0.01 0.012 0.014 0,016
X (m)
Figure A-5 Normalized static pressure variation along the micro-flowmeter #3
Velocity distribution
Figure A.6 shows the velocity magnitude contours for the same two devices, #4 and #3,
although shown for a longer axial extend than the pressure fields shown in Figure A.4. As
expected, the flow is accelerated through the micro-orifice obstruction and downstream.
Furthermore, the recirculation zone is observed downstream of the micro-orifice, characterized
by negative velocities.
The center of the recirculation zone, which corresponds to the minimum of pressure and
maximum of velocity, is situated for both cases at around bc/2 downstream of the micro-
orifice, which agréés approximately with the results obtained in macroscales. Depending on
the operating regime, the recirculation zone can be somewhat elongated.
82
(a) mico-flowmeter #3, 80 mg/s
(b) micro-flowmeter #4,12 mg/s
Figure A-6 Velocity magnitude contours in symmetric plane
Pressure différence
Figure A.7 gives the pressure différence that would be measured across the micro-orifice
versus flow rate for the micro-flowmeters #3 and #4. The CFD results are shown along with
prédictions for idéal flow (Eqn A.l, no discharge coefficient) and for real flow with orifice
losses by using established corrélations for discharge coefficient and Eqn A.4. For sake of
évaluation, two discharge coefficient corrélations available for macroscale orifice plate
flowmeters are selected, developed by [Borutzky et al, 2002], and [Morrison et al, 2003]:
0.61^Re0
CdBorutzky ~ rz.— . rz— (A* 9)
yfRël + yfÏÏë't
0.4
^^•Morrison ~ ^1,325 ^-072 (A-10)
2 AP
E u = Wï (A'U)
where Re t is Reynolds number at transition and Re 0 is Reynolds number in the orifice.
At a given flow rate, the analytical pressure drop using Eqn A.l is significantly smaller than
other prédictions of pressure drop through the micro-flowmeter with the same dimensions,
83
except Morrison. Moreover, the trends are similar but there is no agreement between the CFD
prédictions and the existing corrélations. We conclude that the corrélations of discharge
coefficient are not valid for flow through rectangular micro-orifice in this range of opération.
We expect that Cd should be a function of more than just Rec and (3, but also the other
géométrie factors (such as a) and Mach number, and account for Moody loss.
BO
m
0 = 0.8
*
| a
1.
Imm flow rate mtfs]
(a) micro-flowmeter #3
350
300 #4 —en
p = 0.6
„ZS0 x
S. a =1
&
8-200
•S
s m
3 B
K
so
1
a —ii
i 6 1 D C K SI
Mna flow rat* [mgte]
(b) micro-flowmeter #4
Figure A-7 Pressure drop versus mass flow rate through the micro-orifice
84
Discharge coefficient
The discharge coefficient from CFD prédictions is shown in Figure A.8 to be reasonably
constant over the range of Reynolds for both micro-flowmeters, at values of Cd ~ 0.5 for
device #4 and Cd ~ 0.65 for device #3. In fact, the discharge coefficient is mostly affected by
the geometry. However, the influence of the ratio /? on the discharge coefficient is not in
agreement with the trends at macroscale, for which the Cd decreases with increasing /? ratio.
For the micro-orifice, the results show an opposite trend where the Cd increases with
deceasing ratio /? at the same Reynolds.
cm
M- #3 p = 0.8, a = 7.25
BortMl
01-
o a o D o o o o a a a o
17-
M-
u-
u-
0 ao im un
Chamw) Raynokh numiMr
(a) micro-flowmeter #3
+ OD
#4 p = 0.6, a = 1
• • • D A • • O £:
ai
# # * •
u
• • #
m 2800 3GQD
Chwnil RiynoMt nunibw
(b) micro-flowmeter #4
Figure A-8 Discharge coefficient versus channel Reynolds number
85
The second géométrie parameter is a, the orifice aspect ratio. To isolate its effect on the
discharge coefficient, device #4 are compared with #1 and #2 of which the contraction
coefficient, P, is the same and at the same Reynolds number of Rec = 4000. The calculated
discharge coefficients are 0.57, 0.60, and 0.68 respectively for a of 1 (#4), 0.66 (#2), and 0.50
(#1). The discharge coefficient is therefore found to increase with decreasing a. This is
expected since as the channel height becomes more important (lower a), the top and bottom
walls of the channel become less important and the 3D losses are less prevalent. By contrast
however, the velocity profiles are not affected by the variation of the géométrie aspect ratio a,
as shown in figure A.9 were represents the longitudinal velocity Vx distribution on the half
with of micro-channels at bc/2 for these three cases #1, #2 and #4.
0,9
0,8
0.7
x 0,6
(#4)
10,5 (#1)
x 02)
|0,4
0.3
0,2
0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5
Figure A-9 Velocity profiles at bJ2 on half width of micro-channels
VI. Conclusion
A non-traditional rectangular micro-orifice flowmeter configuration has been defined and
numerically investigated, leading to a set of four devices design that span the range of
important géométrie parameters. The général flow patterns are similar to conventional orifice
plates, with no unexpected flow structures in the range of Reynolds numbers up to 7000. The
results confirmed that, the same in macroscale, measuring the downstream minimum pressure
at bcl2 that correspond to the venna contracta is appropriate. The contributions of viscous
86
(Moody) channel losses at small scale become important, leading to an additional linear
pressure drop superimposed in the orifice pressure profile. For the micro-flowmeters studied,
the discharge coefficient is not appreciably affected by the Reynolds number, and takes a
nearly constant value of Cd= 0.50 for device #3 and Cd= 0.65 for device #4. Furthermore, for
these rectangular orifice plate micro-flowmeters, the discharge coefficient is not only a
function of /?, the contraction ratio, but also a, the orifice aspect ratio. It was shown that Cd
increases with decreasing a, as the end walls become less important.
These results have been sufficient to conclude that the corrélations of the discharge coefficient
used in macroscale for the circular orifice plates are not appropriate for the microscale
rectangular orifice considered here. Thus, it is essential to develop and correlate an empirical
équation of the discharge coefficient for this type of flow in order to have a more accurate
discharge coefficient for the design of micro-flowmeters. In fact, dimensional analysis of the
flow will be developed that helps defïne the parameters to vary in the numerical and
experimental investigations, and will be a usefiil tool for developing prédiction corrélations for
this type of flow.
87
ANNEXE B
MODÉLISATION ANALYTIQUE DES MICRO-
DÉBITMÈTRES THERMIQUES
B.l Introduction
L'annexe présente une deuxième proposition pour la mesure des faibles débits de fluide à
haute température, et particulièrement de la vapeur d'eau dans l'installation micro-turbopompe
à vapeur. En première partie, une description générale de la technique de mesure est effectuée
en définissant la géométrie du modèle, les hypothèses de calcul et les conditions aux limites.
Par la suite, l'écoulement à travers le micro-débitmètre thermique est modélisé. Enfin, une
étude paramétrique de ce type de mesure est présentée suivie par une étude de cas sur le
besoin en débitmètres de l'installation micro-turbopompe.
B.2 Description du système de mesure et géométrie du modèle
La méthode consiste à mesurer le débit d'un écoulement de fluide dans une conduite en
introduisant un flux de chaleur constant et uniforme sur toute la surface de chauffage et en
mesurant l'augmentation de température (Figure B.l). Afin de faciliter la microfabrication
(photolithographie et gravure DRIE), la conduite prend une géométrie rectangulaire. En fixant
la densité de chaleur sur les côtés hauts et bas de la conduite, la variation du débit du fluide
engendre une variation de la différence de température du fluide entre l'entré et la sortie. En
mesurant cette différence de température du fluide et en connaissant la puissance transférée au
fluide, le débit massique peut être calculé. Afin de minimiser l'incertitude sur la mesure, c'est
la température à la surface du canal qui est mesurée et non pas la température du fluide.
89
m-
Figure B-l Schéma du micro-débitmètre thermique
B.3 Hypothèses de calcul
Afin de simplifier les calculs, plusieurs hypothèses et conditions sont prises en compte:
• Régime d'écoulement laminaire stationnaire
• Rapport de forme e supérieur à 10 qui est défini comme étant le rapport entre la largeur
sur la profondeur de la conduite. L'écoulement peut être considéré bidimensionnel. Le
profil de vitesse, dans ce cas, est le même que dans un écoulement Poiseuille entre
deux plaques horizontales [Zheng et Silber, 2008]
• Écoulement incompressible. Pour satisfaire cette hypothèse, une limitation du nombre
de Mach est nécessaire. L'écoulement peut être considéré comme incompressible si le

nombre de Mach ne dépasse pas 0,3 [White, 1999]
• Convection forcée pure. La convection naturelle est négligée ainsi que la conduction
axiale dans la direction de l'écoulement par rapport à la conduction radiale
• Forces de volume négligées
• Écoulement unidimensionnel, hydrodynamiquement et thermiquement développé
• Les propriétés du fluide sont constantes
• Fluide Newtonien
90
B.4 Problème hydrodynamique
r
B.4.1 Equation de continuité
L'équation de conservation de masse pour ce type d'écoulement et unidimensionnel et
stationnaire est donnée comme suit :
du
*r° (B1)
Ce qui signifie que la composante de vitesse u est indépendante de x. Cependant, la vitesse u

est dépendante de y, u = u(y).
B.4.2 Équation de conservation de la quantité de mouvement
L'application des hypothèses de l'écoulement et la simplification des équations de Navier-
Stokes donnent les équations suivantes :
suivant x : n f-72 = (B. 2)J

n dy dx K
suivant y : g=0 (B. 3)
L'équation B.3 implique que la pression ne dépende pas de la direction y. Elle est dépendante
de la direction x de l'écoulement. En effet, le terme ^ est constant qui est à déterminer par la
suite.
B.4.3 Conditions aux limites
Pour déterminer le profil de vitesse de l'écoulement dans la conduite, nous considérons les
conditions d'adhérence à la paroi suivantes :
y = ± f, u= 0 (B.4)
91
B.4.4 Expression analytique du profil de vitesse
Le développement de l'équation B.2 avec l'application des conditions aux frontières, le profil
de vitesse est donné par l'équation suivante :
<ù l dp
1
u(y) = ~sïTx -4®1 ^
Le profil de vitesse est parabolique et caractérisé par une vitesse maximale u max à y = 0.
La vitesse moyenne de l'écoulement est définie comme suit [White, 1999]:
a4"
1 '+
u m = - J l "(y) dy (B.6)
~2
um
m = — —— (B. 7)
12 dx v '
En remplaçant l'équation B.7 dans l'équation B.5, le profil de vitesse de l'écoulement dans
une section est donné par l'expression suivante :
«(y) = -;«m[l-4g)2] (B.8)
B.5 Problème thermique

r
B.5.1 Equation d'énergie
La forme générale de l'équation d'énergie pour un écoulement bidimensionnel stationnaire est

donnée par l'équation suivante :
>>Cp (" £ + "D = + r (j£ + 0) + 0 (B. 9)
0, est le terme de la dissipation visqueuse qui est non négligée pour de faibles nombres de
Reynolds et qui est exprimée pour un écoulement bidimensionnel sous la forme suivante :
92
[ âi
(
du _
)2+Wz
av _
+
du dv~ 2
dy + dx.
(B. 10)
d2T dT
Le terme est égal à zéro puisque le terme — est égal à une constante (écoulement
thermiquement développé). En effet, le profil de température n'est pas fonction de la direction
x le long du canal. Ainsi, le profil de température, à une section donnée, est une fonction
uniquement de la hauteur y, T = T(y).
B.5.2 Conditions aux limites
Afin de résoudre l'équation de l'énergie, deux conditions aux limites sont posées :
dT
y = 0, — = 0 (symétrie) (B. 11)
ù) /
y= ± 2 ' T (y = ± - ) = T S (B. 12)
B.5.3 Expression analytique du profil de température
En faisant un bilan thermique dans un volume de contrôle d'une longueur dx, pour un flux de
chaleur constant et pour un écoulement développé, donne l'expression suivante :
q"PP t h dx + dÊft = m cp dT m (x) (B. 13)
Le terme dÈ^ représente l'énergie due à la dissipation visqueuse et elle est exprimée par
l'expression suivante :
dÊn = J fx(^) 2 d(vo) (B. 14)
En substituant la vitesse exprimée par l'équation B.8, l'énergie de dissipation visqueuse s'écrit
de la manière suivante :
dËfi = 12 n i^ 2 a dx (B. 15)
où £ est le rapport de forme du canal qui est défini comme le rapport entre la largeur du canal
bc sur sa profondeur o) :
93
(B.16)
ù)
En remplaçant l'expression de l'énergie de dissipation visqueuse dans l'expression du bilan
thermique, le gradient de la température moyenne du fluide entre l'entrée et la sortie du
volume de contrôle s'écrit comme suit :
dT m (x) q"PP th +12/I u m 2 E

(B. 17)
dx P U m A c cp
où PP th est le périmètre chauffé, qui égal à deux fois la largeur du canal b c étant donné que
dans le cas étudié, le fluide est chauffé par seulement deux côtés du canal, soit le haut et le
bas :
PPth = 1b c (B. 18)
où A c est la section de passage du fluide calculée par l'équation suivante
A c = ù)b c (B. 19)
et q" est le flux de chaleur [W/m2] constant sur les deux côtés du canal.
La résolution et la simplification de l'équation B.9 donnent le profil de température en
fonction de la hauteur y exprimé dans l'équation B.20. Ce profil de température est pour un
canal rectangulaire chauffé de deux côtés suivant la largeur.
q" , 18jium21 3q" 9 nu m 2 9num2 5q"co

T(y) = — y4 + y - + TS (B.20)
yo>J kù)4 2yco yo>2 8k 16y
où T s est la température à la surface du côté chauffé du canal dans la même section du profil
de température.
D'une autre manière, en introduisant le nombre adimensionnel de Brinkman défini

comme étant le rapport de l'énergie des forces visqueuses dissipées sur l'énergie transférée par
la conduction thermique [Pinho et Oliveira, 1999]. Ce nombre adimensionné s'exprime par :
94
jWUm2
Br = 7Wc <R21>
L'équation du profil de température adimensionnée Q s'écrit de la manière ci-dessous en
fonction du nombre de Brinkman et de rapport de forme du microcanal:
. r [T(y) - m
<f Dh,c
9Br4(^)](^[T4(^)](!)2 9Br
;(î±!)
B.5.4 Température moyenne, coefficient de transfert convectif et nombre de

Nusselt
La température moyenne du fluide est déterminée en remplaçant le produit du profil de

température (équation B.20) et le profil de vitesse (équation B.8) dans l'équation suivante :
tù
2
T m = -i- f u ( y ) T ( y ) b e d y (B. 23)

Um"c 1,
0)
2
Après calcul et réarrangement, la température moyenne du fluide peut être exprimée en

fonction de la température à la surface et la densité de chaleur. Pour un canal chauffé de deux
côtés, l'équation de la température moyenne est :
108 n Ujn2 17 q" ù)
En combinant l'équation de la température moyenne B.24 avec la relation de Newton définie

comme :
q" = hc (T s — T m ) (B. 25)
Le coefficient de transfert par convection hc est défini par la relation suivante :
95
hc = — 77-7; (B. 26)
17 ù) 108 liu m 2
70 y + 140 q" y
Le nombre de Nusselt Nu s'exprime de la façon suivante :
hc Dh£c 1
Nu = = — — =- (B. 27)
Y 17 ù) , 108 n u m 2
70 Dh c + 140 q" Dh c
En remplaçant le terme de Brinkman dans l'équation B.27, le nombre de Nusselt dans un
microcanal rectangulaire chauffé de deux côtés et pour un écoulement entièrement développé,

s'écrit :
Nuïc = 17 f E + l\ , 108 Br 28)
140 l e )+ 140
Pour un rapport de forme qui tende vers l'infini, le nombre de Nusselt de l'équation B.28
concorde avec le résultat trouvé par Schlichting [Pinho et Oliveira, 1999] qui définit le nombre
de Nusselt pour un écoulement entre deux plaques planes chauffées par un flux constant par
l'équation suivante :
140
Nucrh — ri— — (B. 29)}
sch 17 + I08fîr ^
Pour un microcanal chauffé avec un flux de chaleur constant sur les quatre côtés du
microcanal, le périmètre chauffé se calcule comme suit :
PP th = 2(b c + a)) (B. 30)
Ainsi que le nombre de Nusselt est représenté par l'équation suivante :
Nu * c 17 (e 2 + 2e + 1\ , 108 Br (B " 31)
140 ^ p J+ 140
96
Étant donné qu'une des conditions aux limites prises en compte au début est une condition de
symétrie, le nombre de Nusselt ne peut pas être exprimé pour un chauffage à flux constant sur
un seul ou trois côtés du microcanal.
B.5.5 Expression analytique pour le calcul du débit massique
Pour un écoulement en régime permanent et développé, l'équation B.l7 peut être exprimée
d'une autre façon, soit avec les températures à la surface chauffée au lieu des températures
moyenne du fluide :
dT s (x) _ g"PP th + 12 fj. u m 2 e

dx p Ujn A c cp
L'intégration de cette équation sur toute la longueur du canal et après réarrangement, nous
donne une équation de deuxième degré du débit massique m :
12 ue AT S
——j 2 — - t— cpm + 2 q b c = 0 (B. 33)
p Aç Ax
Le débit massique du fluide peut se calculer à l'aide de cette équation. Ce débit est en fonction
de la différence de température de surface ATs entre l'entrée et la sortie du canal. Ax est la
distance entre les deux prises de mesure de température. Pour que l'équation B.33 permette
une solution, le discriminant doit être supérieur ou égale à zéro. En effet, cette condition est
nécessaire pour avoir une bonne mesure qui n'est pas biaisée. La distance maximale entre les
deux points de mesure est donnée alors par l'équation B.34 :
ATc cp
Ax < $ P (B. 34)
96 p E q b c
P2 A
Afin de bien étudier ce présent modèle et d'avoir des résultats plus généraux pour ce type de
débitmètres, l'équation B.33 est transformée en écriture adimensionnée par l'équation B.35
qui met en évidence le nombre de Brinkman, Br, défini précédemment, le nombre de
97
Reynolds, Re = p phc, le nombre de Prandtl, Pr = ainsi que des paramètres
géométriques.
, YàT
0 ' = - ^s =48Br
q"Dh e (ïTOï)(«^:)+2(7Tî)(«7?^:) <B-35>
B.6 Conditions d'application du modèle
La présente étude du micro-débitmètre thermique est un modèle très simplifié. Afin que ce
modèle satisfasse les hypothèses prises au début, trois conditions sont posées :
B.6.1 Condition 2D vs. 3D
Le modèle étudié est un écoulement Poiseuille, c'est-à-dire un écoulement unidimensionnel
entre deux plaques planes. Ce qui n'est pas le cas en réalité puisque nous sommes en présence
d'un canal rectangulaire. Cependant, en général, un tel écoulement peut être considéré comme
un écoulement Poiseuille si le rapport de forme e > 10 [Zheng et Silber, 2008].
B.6.2 Condition de la longueur de développement hydrodynamique et

thermique
Étant donné que le modèle était simplifié par l'hypothèse d'un écoulement qui est
complètement développé entre les deux prises de mesure de température (Tsl ~ Ts2), il serait
très nécessaire de connaître la longueur de développement à la fois hydrodynamique et
thermique afin de savoir à quelle distance la première mesure de température sera localisée.
En effet, il faut choisir la plus grande longueur entre la distance de développement thermique
et de développement hydrodynamique.
Dans la littérature, plusieurs études portant sur le domaine de transferts de chaleur et de la

mécanique des fluides dans les microcanaux ont été réalisées. Lee et Garimella [2006] ont
étudié la longueur de développement thermique, Zth, dans un microcanal rectangulaire pour
une gamme de rapports de forme compris entre 1 < e < 10 mettant en place la corrélation
B.36 pour le calcul de cette région d'entrée.
98
6 th.
Zk =
Re Pr Dh r
= -1,275 x 10"6£6 + 14,709 x 10"s£5 - 6,902 x 10"4£4 + 5,014
x 10"3e3 - 1,769 x 10"2f2 + 1,845 x 10"2£ + 5,691
x 10~2 (B. 36)
0.07
0.04
Figure B-2 Longueur de développement thermique en fonction du rapport de forme
La figure B.2 représente la variation de la longueur de développement thermique
a d imensionnée dans un microcanal rectangulaire en fonction du rapport de forme, E. La
distance de développement thermique adimensionnée, Z*th, diminue avec l'augmentation du

rapport de forme E. En respectant la première condition du rapport de forme qu'il doit être
supérieur ou égal à 10, nous pouvons mettre en évidence une condition sur la longueur de la
région d'entrée thermique pour £ = 10 (équation B.37). Cette longueur est maximale pour
des rapports de forme supérieurs à 10 où la longueur a tendance à diminuer.
J th
= 0,0184 (B.37)
RePrDh c
Pour le développement hydrodynamique dans de tels types de microcanaux, Duan et

Muzychka, [2010] ont étudié et développé une corrélation qui définit la longueur de
développement hydrodynamique pour des écoulements entre deux plaques planes. La
corrélation suggérée s'écrit en fonction du nombre de Reynolds Re et le nombre de
Knudsen, Kn:
99
0,315 2—a ((22 —
-a \2
ZI = 0,0112Re 1 + 6 , 7 K n - 3 7\1— KKnn) (B. 38)
Dh c 0,0175 Re + 1
Pour les écoulements spécifiques à la micro-turbopompe à vapeur et pour des géométries
prises à la suite de cette étude, le nombre de Knudsen, Kn, est négligeable et tend vers zéro. En
effet, l'équation B.38 se simplifie en donnant la corrélation développée par Chen [Duan et
Muzychka, 2010]:
0,315
ZI = + 0,0112 Re (B.39)
Dh c 0,0175 Re + 1
La figure B.3 montre la variation de la distance adimensionnée de développement thermique et

hydrodynamique en fonction du nombre de Reynolds pour un canal rectangulaire avec un
rapport de forme, s = 10. La longueur de développement croît linéairement avec

l'augmentation du nombre de Reynolds. Pour un nombre de Prandtl, Pr=0,61, la longueur
d'entrée hydrodynamique est égale à la longueur d'entrée thermique. Cependant, pour des
nombres de Prandtl supérieurs à 0,61, la longueur d'entrée thermique est plus importante que
la longueur d'entrée hydrodynamique et le contraire est juste.
hydrodynamique
thermique Pr=0,4
thermique Pr=0,6
thermique Pr=0,8
thermique Pr=l
. u
500 1000 1500 2000

Re
Figure B-3 Longueur du développement hydrodynamique et thermique
100
B.6.3 Condition de compressibilité
Comme présenté dans les hypothèses au début de l'étude, l'écoulement des gaz est considéré
comme incompressible pour les faibles nombres de Reynolds. Dans notre cas, la condition
nécessaire fixée est que le nombre de Mach de l'écoulement ne doit pas excéder 0,1.
En utilisant l'équation du nombre de Mach, la condition de compressibilité peut être
représentée de la façon suivante :
% <0,1 (B. 40)

•yJk R Tmi
où Tml est la température moyenne du fluide à l'entrée du micro-débitmètre.
En introduisant le nombre de Reynolds, l'équation B.40 devient :
p Dh c Jk R T ml
Re <L LJL (B. 41)
lQp
La condition de compressibilité peut être exprimée aussi en termes de débit massique
traversant le micro-débitmètre thermique :
(B. 42)
B.7 Étude paramétrique adimensionnelle du micro-débitmètre

thermique
Cette partie a pour intérêt d'étudier un tel type de micro-débitmètre pour n'importe quel fluide
utilisé avec n'importe quelles conditions. Elle permet en effet, de définir, de manière générale
une méthode de dimensionnement des micro-débitmètres à mesure thermique.
B.7.1 Effet du rapport de forme sur le nombre de Nusselt sans considération

des forces visqueuses
Comme déjà vu précédemment dans ce chapitre, pour un écoulement totalement développé, le

nombre de Nusselt pour un microcanal rectangulaire chauffé par un flux de chaleur constant
101
dépend du rapport de forme et du nombre Brinkman. La figure B.4 montre la variation du
nombre de Nusselt en fonction uniquement du rapport de forme, en négligeant l'effet de
l'énergie des forces visqueuses (Br=0). Le présent modèle chauffé par les quatre côtés du
microcanal est comparé à la corrélation de Shah qui exprime le nombre de Nusselt par
l'équation B.43 [Lee et Garimella, 2006] pour un écoulement entièrement développé dans un
microcanal rectangulaire chauffé des quatre côtés.
r 2,0421 3.0853 2,4765 1,0578 0,1861]

Nu shah 4C = 8,235 [l — + -p —+— (B- «)
e— Corrélation de Shah
— Solution analytique
Figure B-4 Nombre de Nusselt en fonction du rapport de forme pour Br=0
L'examen des courbes de la Figure B.4 montre que le nombre de Nusselt du modèle proposé
avec un chauffage de quatre côtés du microcanal a exactement les mêmes valeurs que le
modèle de Shah pour des rapports de forme supérieur ou égal à 6. Ce qui confirme que
l'hypothèse d'un écoulement unidimensionnel, pour des rapports de forme supérieurs à 10, est
correcte. D'autre part, les deux modèles tendent vers une valeur constante pour des rapports de
forme plus importants. Cette valeur est égale à 8,235.
102
B.7.2 Effet du rapport de forme sur le nombre de Nusselt avec considération
des forces visqueuses
Cette partie d'analyse met en évidence l'effet de l'énergie des forces visqueuses sur le nombre
de Nusselt. Par convention, ce nombre de Brinkman est négatif pour un chauffage du fluide
[Pinho et Oliveira, 1999]. La figure B.5 représente la variation du nombre de Nusselt en
fonction du rapport de forme du microcanal pour différents nombres de Brinkman. L'analyse
de ces courbes montre que le nombre de Nusselt diminue quand le nombre de Brinkman
augmente (en valeur absolue). Cette observation s'explique par le fait que pour des nombres
de Brinkman plus importants (en valeurs absolues), une partie de la chaleur dans le fluide est
générée par l'effet des forces visqueuses et par conséquent, le transfert de chaleur par le
transfert convectif diminue.
L'influence du rapport de forme sur la variation du nombre de Nusselt est appréciable pour
des nombres de Brinkman très faibles (en valeurs absolues). Contrairement, pour des nombres
de Brinkman plus importants (en valeurs absolues), le nombre de Nusselt est pratiquement
constant pour toute la gamme de rapports de forme, 10 < £ < 30, parce que le transfert
convectif est négligeable devant l'énergie des forces visqueuses comme le montre l'équation
B.28.
10
Br=0
Br=0.1
8 Br=l
% 15 20 25 30
8
Figure B-5 Nombre de Nusselt en fonction du rapport de forme pour différents nombres de
Brinkman
103
B.7.3 Effet du nombre de Brinkman sur le profil de température
adimensionnée 9
La figure B.6 représente la variation du profil de température adimensionnée, 0, définie par
l'équation B.22 au sein du microcanal rectangulaire pour différents nombres de Brinkman,
Br = 0, Br = 0,05 et Br = 0,1, et pour deux rapports de forme, e = 10 et e = 20. Les
courbes montrent que pour des énergies de dissipation visqueuses très faibles ou nulles, c'est-
à-dire pour des nombres de Brinkman qui tendent vers zéro, la variation de température dans
le microcanal rectangulaire diminue. Par conséquent, le nombre de Nusselt augmente et
comme le transfert de chaleur augmente, la différence de température entre la surface et le
fluide diminue. Les courbes permettent d'éclaircir l'effet du rapport de forme sur la
température adimensionnée, 6, qui, pour tous les nombres de Brinkman, est moins importante
pour e = 10.
-0.05
-0.1
® -0.15
-0.2
-0.25
e=10
e=20
-0.3
-0.5 0.5
Figure B-6 Profil de température adimensionnée pour différents nombres de Brinkman
B.7.4 Effet du nombre de Brinkman sur la température adimensionnée 6'
La figure B.7 représente la variation de la différence de température axiale de surface

adimensionnée, B', entre les deux points de mesure en fonction de la distacnce axiale
104
adimensionnée. Les résultats sont représentés pour deux rapports de forme différents, e = 10
et s = 20, ainsi que trois nombre de Brinkman, Br = 0, Br = 0,05 et Br = 0,1. Ces résultats
montrent que la différence de température axiale de surface augmente de façon linéaire le long
du microcanal. Ceci s'explique, tout simplement, par le chauffage du fluide avec le flux de
chaleur constant sur la surface. Cependant, pour des nombre de Brinkman plus grands, c'est-à-
dire avec présence de dissipation d'énergie, la différence de température axiale de surface est
plus importante. L'effet du rapport de forme sur la variation de la différence de température
axiale de surface est contraire à celui de la différence de température radiale entre la surface et
le fluide. En effet, pour un a plus grand, la différence de température est plus grande. Cet effet
du rapport de forme s'accroît avec la distance axiale du microcanal et avec l'augmentation de
la dissipation visqueuse. Ces résultats permettent de faire ressortir que pour les microcanaux
plus courts, l'effet du rapport de forme peut être négligé.
80
8=10
s=20
60
Br=0,l
20
0
0 10
Ax/(Re Pr Dh )
Figure B-7 Variation de la différence de température adimensionnée en fonction de la distance

axiale adimensionnée
105
B.8 Méthode de design d'un micro-débitmètre thermique
En résumé, pour que le modèle analytique des micro-débitmètres thermiques présenté dans ce
chapitre soit applicable, les conditions proposées doivent être respectées. La figure B.8
représente un organigramme de la conception de ces micro-débitmètres thermiques qui met en
évidence ces conditions. Les conditions d'opération sont à fixer par l'opérateur à savoir, le
débit maximal, la température d'entrée du fluide et la différence de température entre les deux
points de mesure. Dans ce cas, la différence de température est fixée et régulée afin d'éviter la
surchauffe de l'élément chauffant pour les faibles débits. En effet, le changement du débit
provoque une variation du flux de chaleur qui se stabilise vers une valeur constante et non pas
une variation de la différence de température. L'application de ces conditions du modèle
donne le design du micro-débitmètre comprenant la géométrie et la position des points de
mesure de température.
106
Conditions d'opération:
™max> ATS, Tml
Calculer la section minimale

Condition de
du microcanal
compressibilité:
A
Éq. B.41
Calculer :
Condition
d'écoulement Dhc, bç, ù)
Poiseuille:
<p > 10
Calculer les longueurs de

Condition des développement :
longueurs de zh'zth
développement:
Éq. B.36 et B.39
Calculer la distance
Condition maximale entre les deux
d'application de points de mesure : Ax
'équation éq. B.33
Éq. B.34
1f
r
Fabrication
Figure B-8 Organigramme de design d'un micro-débitmètre thermique à canal rectangulaire
107
B.9 Cas de mesure de débit pour la caractérisation de la micro-
turbopompe à vapeur
L'application de l'organigramme de design pour définir les géométries des micro-débitmètres
thermiques spécifiques à l'installation micro-turbopompe, a fait sortir les résultats représentés
dans le tableau B.l. Ces micro-débitmètres sont destinés à mesurer le débit du thrust bearing,
du journal bearing et de la turbine.
Tableau B-l Paramètres des micro-débitmètres thermiques destinés pour l'installation micro-
turbopompe
mmax àTs Dh ù) bc Ax
(mg/s) (°C) (\xm) (m) (nm) (cm)
Thrust 2 10 182 100 1000 1

bearing
Journal 20 20 364 200 2000 2
bearing
Turbine 100 20 909 500 5000 2
La variation de la puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, est donnée

pour les trois cas de mesure par les Figures B.9, B.10 et B.l 1. Afin de voir l'importance
d'introduire ce terme dans les mesures, les résultats sont comparés à ceux calculés en
négligeant le terme de dissipation visqueuse dans les calculs. L'erreur relative entre le calcul
en prenant compte et en négligeant la dissipation visqueuse, augmente avec l'augmentation du
débit massique. Pour les conditions représentées dans le tableau B.l, l'erreur atteint 10% et
7% respectivement pour la mesure du débit du thrust bearing et du jounal bearing. Cette
erreur diminue avec l'utilisation d'une section de passage plus grande ou d'une différence de
température, àTs, plus importante, tel qui est le cas du micro-débitmètre mesurant le débit de
la turbine où l'erreur est inférieure à 1%. Dans ce cas, le terme de dissipation visqueuse peut
être négligé.
108
Avec le terme de dissipation visqueuse
Sans le terme de dissipation visqueuse
0.5 1
Débit massique (mgte)
Figure B-9 Puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, cas du thrust
bearing
-Avec le terme de dissipation visqueuse

Sans le terme de dissipation visqueuse
10 15 20
Débit massique (mgfe)
Figure B-10 Puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, cas du journal
bearing
109
Avec le terme de dissipation visqueuse
3.5 Sans le terme de dissipation visqueuse
2.5
0.5
100
Débit massique (mgfc)
Figure B-l 1 Puissance thermique du chauffage en fonction du débit massique, cas de la turbine
110
ANNEXE C
CONCEPT ET CALCUL DES O-RING
C.l Les joints toriques
Les joints toriques servent principalement à empêcher les fuites du fluide entre deux
connexions ou à éviter le mélange entre deux fluides dans un dispositif. Les joints toriques non
métalliques sont disponibles avec différentes forme (O-ring, U-, X-, V-, L-, I- et d'autres) [Al-
Ghathian et Tarawneh, 2005] et avec différents matériaux polymères tels que (silicone,
perfluoro-élastomère, éthylène propylène et d'autres) [Parker, 2007]. L'effet du joint est
produit par un écrasement de celui-ci par deux surfaces. Il existe plusieurs catalogues pour la
détermination des joints spécifiques pour un dispositif qui satisfait aux conditions de
fonctionnement à savoir la compatibilité du matériau avec les fluides utilisés et la résistance à
la température.
Dans le présent projet, la connexion du packaging avec les micro-débitmètres se fait par des
O-ring qui sont plus adaptés pour les canaux circulaires. Sont les mêmes O-ring qui assurent
l'étanchéité dans le packaging qui enveloppe la micro-turbopompe.
C.2 Choix des O-ring
Le choix des O-ring passe par le choix du matériau compatible. En revanche, les O-ring
choisis pour les connexions du packaging, doivent être à la fois, compatibles aux fluides
utilisés (vapeur d'eau surchauffée à 250°C, eau liquide et air sec chaud) pour la caractérisation
de la micro-turbopompe ainsi qu'ils doivent être résistant à la haute température.
C.2.1 Compatibilité avec les fluides et l'environnement
Le tableau C.l montre la compatibilité des matériaux des joints avec l'environnement et les
fluides. Il en ressort que les O-ring qui présentent de bonnes propriétés pour l'installation
111
micro-turbopompe à vapeur et micro-débitmètres sont faits avec du perfluoro-élastomère, de
l'AFLAS, du HNBR ou de l'éthylène propylène.
Tableau C-l Compatibilité des O-ring avec l'environnement et les fluides [Parker, 2007]
Compartaon of PropwItM of Commonly UmH ElMtomora
(PmPoor - - a«dsod - E<• BeHiut)
• £
•
ii „1« S 1 È
1 S S
S M i
•
l! I i
1te S*î 1 1 M 11 |1
flC
f A
EtMtomarTypa
(Polymar) il î il 11 31 p
.J Il il 1 £ s II S 1 ? 11 il
AFLAS (TFE/Prop) V GE E E G E E E G E E PF PF FG GE E
Butadlana E FG FG G F G P F F P P G GE E FG F
Butyt B FQ G E G F G P G E P GE FG G G G GE
CMortnated
L,-ALB J- G F FG PF G G GE G G FG E F FG G F E
nXyVvIflVilV
n,.hi, »i, .
Chtoroaultonatad
raiyvinjivn*
G G E FG F F G G G F E F G F F E
» »
epacntoroffyvnn Y G FG G GE G F FG FG GE E E PF G G F E
Ethytana Aorytlc A F F FG G F F P E E F E G F G PF E
Ethylana Piop^ona E GE G E GE GE G P G G P E GE GE GE E E
Ftuoraarbon V G E E PF GE F E E G E E E F GE F E
FluoroaMcona L P FG E GE P E G E P G E G P F F E
llflpiWI E FG FG G F G P F F P P G GE E FG F
Naturai Rufebor E FG FG G E G P F F P P G QE E FG F
Maoprao* C G FG FG FG F F G Q Q FG GE F FG G F E
HNBR N, K G E FG G GE F P E G E G GE FG E E G
NltrM* or Buna N N G F FG G GE F P G G E P GE FG GE FG F
Parftuorlnatad
Fluoroataatomar
V, F P E E PF F E E E G E E G PF FG GE E
folyaorytata A G P P P F F P E E E E F FG F P E
PotyaulfM* P P G G F F P P E E E P P F F E
Polywathana P E P FG G E FG P F G G E F GE E P E
SBRorBunaS G F FG G G G P FG F P P G FG GE FG F
Silicon* S P FG GE E P E F E P FG E GE P P F E
C.2.2 Résistance aux hautes températures
Un autre point important dans le choix des O-ring est la résistance à la température. En effet,
dans le cas des micro-débitmètres comme celui de la micro-turbopompe, le matériau des O-
ring doit résister à des températures qui peuvent atteindre 250°C. Le tableau C.2 montre que le
seul matériau pouvant résister à de telles températures de façon continue est le perfluoro-
élastomère.
112
Un chevauchement entre la compatibilité à l'environnement et la résistance à la température
des O-ring détermine le matériau approprié. Pour le cas du présent projet, il s'agit du
perfluoro-élastomère.
Tableau C-2 Résistance des matériaux des O-ring à la température [Parker, 2007]
Tempenrtur» Rangs for Common EMMomtrtc MatertaU

Stywe-Butedtan» Rubter(88R)
MyuraVim Rubb«r (AU EU)
Butyi nubtorfHFO
LowrTBmpwtuwi NWto Rubbf (NBR)
mi
HydroQWWÉMl MM» (HNBR)
*•••!
Hty Ifempantfura MM*Rubfeer (NBR)
wmm+
CNoopraro (Cfi)
Pntjncry<«*»ftjbbcr(ACM>
OHna (EPPM)
F» umwÈk» w-Wubb»r fFMQ;FVMQ»
TFBPropropylgne Aubber(FEPM)
Huarocaibon Rubber (FKMH
PwiMtiW D—tumi(FFKMQ
BBoom Qubbf <VMQ)
•c '100 -75 so 80 tas iso

f -14» -103 -68 •13 32 77 122 1*7 212 302 347 437 432 572
••Noiind (voofntnvndsdtofnpwibft nn0t HRHHi ExtflndsdtwnptiitufB nripttoc ihoit term only.
C.3 Serrage des O-ring
Le serrage des O-ring est très important pour assurer une bonne imperméabilité. En outre, il
existe une compression optimale définie par le constructeur qui varie entre 15 et 25% [Parker,
2007]. Le taux de compression C est donné par l'équation suivante [Pederson, 2004]:
C = ^ x 100 Ce. i)
a
Ec, est l'écrasement du joint (mm) et d, est le diamètre de la section du joint (mm).
Il y a deux méthodes pour le serrage des O-ring : l'utilisation d'une clé dynamométrique ou
l'utilisation d'une butée mécanique.
113
C.3.1 Utilisation d'une clé dynamométrique
Cette méthode consiste à calculer le couple de serrage minimal et maximal pour garantir
l'étanchéité du dispositif. Cette façon de faire reste délicate et difficile pour assurer une
compression optimale des O-ring.
C.3.2 Utilisation d'une butée d'arrêt mécanique
La méthode consiste à mettre en place une butée afin d'arrêter le serrage d'une manière
automatique (Figure C.l). L'épaisseur de la butée Epb est prédéfinie avant le serrage par
l'équation C.2 qui est une fonction de l'épaisseur du dispositif Epdis, l'écrasement du joint Ec
et le diamètre de la section du joint d.
Epb = Epdis + 2 d - 2 Ec (C.2)
a) Avant serrage
b) Après montage et serrage
Packaging
Dispositif
Figure C-l Serrage des O-ring par la méthode de la butée
114
C.4 Force de compression appliquée par le joint
Comme étant en matériau élastique, la compression des O-ring engendre une force de rappel.
Le comportement est le même qu'un ressort en compression. Pour le cas des micro-
débitmètres, l'ignorance de cette force appliquée n'a aucune conséquence puisque les couches
qui forment les micro-débitmètres sont collées par un collage anodique. Par contre, pour la
micro-turbopompe, la connaissance de la valeur de cette force appliquée est importante
puisque la micro-turbopompe est composée de plusieurs couches non collées (voir Figure 1.7).
En effet, c'est la force appliquée par les O-ring qui devrait assurer le bon contact entre ces
couches qui ont tendance à se décoller avec la force de pression du fluide à l'intérieur.
En général, la relation entre la force appliquée par l'effet de compression et le taux de

compression est calculée par l'équation suivante [Pedersen et al, 2004]:
F = ndDE[l,25 (C)1'3 + 50 (C)4] (C. 3)
D, est le diamètre interne de YO-ring et E, est le module d'Young spécifique au matériau de

Y O-ring.
115
ANNEXE D
MASQUES DE PHOTOLITHOGRAPHIE
D.l Masque #1 : formation des microcanaux
Figure D-l Masque de photolithographie pour la formation des microcanaux1
117
D.2 Masque #2 : formation des trous d'alimentation et de mesures
+-
ru m un
q e
» o
e a
o o
« D
e o
e o
e »
o «
O O o o
Figure D-2 Masque de photolithographie pour la formation des trous d'alimentation1
1Les zones à graver sont celles compris dans un polygone ou cercle fermé qui sont les zones non ombragées du
masque en utilisant une résine positive.
118
ANNEXE E
RECETTES DE FABRICATION DES MICRO-

DÉBITMÈTRES
E.l Étapes et recettes de microfabrication
Tableau E-l Étapes de fabrication des micro-débitmètres à orifice plat
( R \ 2 . S h e r b r o o k e , (,>( . ( A N VI)A
l . i s t i ' d o s é t î i | K ' s i c a l i s c c s p o u r l;> l a b r u a l i o n
1 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-20 Vitesse (rpm) : 5000

du dispositif) Étalement du HMDS Durée (s) : 30
Étaleuse : Polos
Type : HMDS
2 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-20 T (°C) : 110

du dispositif) Recuit de résine Durée (s) : 120
Méthode : Plaque chauffante

du dispositif) Étalement de résine Durée (s) : 30
Étaleuse : Polos
Type : AZ9245
du dispositif) Recuit de résine Durée (s) : 120
5 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-20 Aligneuse : OAI200
du dispositif) Exposition Mode : Intensité courante
Intensité (mW/cm2) : 15
Format du masque : 4 po
#SSE du photomasque : Masque #1 (Microcanaux)
Alignement : Oui
Mode de contact : Vacuum
Durée d'exposition (s) : 60
6 SOI / Face (couche Plasma 02 Plasmaline 2010-07-20 50 W 1 min
du dispositif)
7 SOI / Face (couche ASE-STS 2010-07-20 DEEP (rev. 2006-02-21) - Standard
du dispositif) Num STS : ASE2595-1
Durée : 01:00:00
Nombre de cycles : 180
Profondeur visée : 200 |im
119
Durée : 00:10:00
Profondeur visée : 200 nm
Durée : 00:05:00
Profondeur visée : 200 jim
10 SOI / Face (couche ASE-STS 2010-07-20 2010-07-20.xls - Non standard
Durée : 00:05:00
Profondeur visée : 200 fxm
11 SOI (au complet) Nettoyage chimique 2010-07-23 Acetone: 5 min

en bancs humides IPA: 5 min
Piranha: 15 min

socle) Étalement du HMDS Durée (s) : 30
Étaleuse : Polos
Type : HMDS

socle) Recuit de résine Durée (s) : 80

socle) Étalement de résine Durée (s) : 30
Étaleuse : Polos
Type : AZ9245
15 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-23 T(°C): 110

socle) Recuit de résine Durée (s) : 80

socle) Étalement de résine Durée (s) : 30
Étaleuse : Polos
Type : AZ9245
17 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-23 T(°C): 110

socle) Recuit de résine Durée (s): 160
18 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-23 Aligneuse : OAI806

socle) Exposition Mode : Intensité courante
Intensité (mW/cm2) : 15
Format du masque : 4 po
#SSE du photomasque : Masque #2 (trous)
Alignement : Oui
Mode de contact : Dur
Durée d'exposition (s) : 150
19 SOI / Face (couche Photolithographie > 2010-07-23 Développeur : AZ400K

socle) Développement de Durée : 5 min
résine Méthode : Immersion
20 SOI / Face (couche Plasma O2 Plasmaline 2010-07-23 50 W 1 min
socle)
120
21 SOI / Face (couche ASE-STS 2010-07-23 DEEP3 (rev. 2006-06-07) - Standard
socle) Num STS : ASE2610-2
Durée: 03:00:13
Profondeur visée : 500 (im
22 SOI+Pyrex Collage (Me Gill 2010-10-01 Type de collage : Anodique

University) Gaufïre : Pyrex (500nm)+s01 (700(im)
23 SOI+Pyrex Découpage 2010-10-29 Nature du substrat : Autre

Épaisseur :700+500 (jim)
Dimension : (mm)
Épaisseur lame :250 nm
Vitesse de découpe :1 (mm/s)
Nombre d'alignement : 2
121
E.2 Recettes détaillée de la gravure DRIE
E.2.1 Recette de la gravure DRIE des étapes 7,8,9 et 10
Tableau E-2 Recette de la gravure profonde DRIE (étapes 7, 8, 9,10)
Recette ASE
[Nom de la recette : | DEEP 1
V Stëpi
Processmode
Description
Pump down time | 0030 (rrmv.ss)
© discret»
Gas stabilisation | 00:10 (mm:ss) O continuous
Parameter switching P Tplaten 20
Parameter ramping r
Switching parameter
Start End
Pressure passivité • etch
Ramping Always
Parameters swltclna cvde «mes
ON! Un» Overrun
Etch 13.0 0.0 s
Passivation 7.0 0.0 s
Pi essuie •
Auto APC Manual APC ©
Position
Etch 82.0 %
Pasttvtton 82.0 %
Etch Passivation
Une Gaz Nam* nom (Mon) Flows (sccm)
C,F, 0.0 85.0
SF« 130.0 0.0
13.0 0.0
Ar 0.0 0.0
O On platen onty O On coil only © Simultanée us

Coil (13.56 Ninz)
Etch Passivate Ma&ÛlQfl Auto © Manual Q
Power 4300 600 W Load 39,0 %
Tune %
43.0
Platen
13.56 MHz 0-30 W Matchlna Auto ® Manual O
Power
L..J1J W Load
Tune
0.0
0.0
HBC P Active
Pressure 9600 mTorr MinFlow 10-0 sccm MaxFlowl 40.0 | sccm
122
E.2.2 Recette de la gravure DRIE de l'étape 21
Tableau E-3 Recette de la gravure profonde DRIE (étape 21)
Recette ASE
T
Nom de la recette : DEEP3
>St»pï
Gcmum al
Procèss mode
Description
Pump down time (mm:ss)
© discrets
Gas stabilisation 00:10 (mm:ss) O continuous
Parameter switching P Tplaten 20
Parameter ramping |~
Switching parameter
Start End
Pressure Etch etch
Ramping ! Alwiys
Parameters switcino cvcte times
QMMm .Pmrafl
Etch 0.0 s
Passivation 7.0 \ m l s
Pressuie •
Auto APC Manual APC ©
Position
Etch 82.9 %
Passtvttion 82.9 %
Etch Passivation
Un# Gaz Nam* Flow» (sccm) Flows (sccm)
c4F, 0.0 89.0
SF. 130.0 0.0
13.0 0.0
Ar ao 0.0
O On platert only O On coil only ©Simultaneous

Coil (13.56 Iwnz)
Etch Passivate Matchina Auto © Manual O
Power 800 Load 39.0 %
Tune %
43.0
Platen
13.56 MHz |0-30 W
w •w \ Matchina Auto 0 Manual O
Power 18 0 W Load 0.0 %
Tune %
0.0
HBC pr
Pressure mTorr MinFlw Qoo] sccm MaxFlow 40.0 | sccm
123
ANNEXE F
BANC D'ESSAIS DE LA MICRO-TURBOPOMPE
Air Alr
-caH^P) il (rpHCD-
Eau
<rm—f-f^l J i iuhrp) •n Purgt
Eau
-ff—~t&
Évaporateur (bain d'huil»)
O
Raarvolr d'Mu
pressurisés (10 bars)
<D Rasrvoir d'aau
pressurisée (S bars)
£ Tharmocouplaa
£ Capteurs de
Acquisition
pression
de donnée»
X Valvas automatiques
X Débttmètrta Réservoir
d'eau
(1 atm)
| Ordinateur |
&Q Valva manualla
Vatva Automatique
—(?) CE>—
Vtlva On/Off
-<d e>-
(T) Tharmocoupla
_IsmJ
••
(^P*^) Captaur da prasslon ®>-t- Micro-turbopompe à vapeur
O
Z Clapat anti-retour
r®
EED Filtra -CD
I •) Débltmètre
© Régulateur da pression Enceinte chauffée
(§)> Sonda optique

w r Eau
I Sortieatmosphère m
124
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Étude et fabrication de micro-débitmètres à pression

Jury : Luc Fréchette (directeur)

Sherbrooke (Québec) Canada Août, 2012

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1.5.3 Mesure du débit par une déformation mécanique

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1.6 Problématique et objectifs de recherche

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