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Chapitre-4 MOSFET2
Chapitre-4 MOSFET2
I. Introduction
En 1930, L. Lilienfeld de l'Université de Leipzig dépose un brevet qui décrit un élément qui
ressemble au transistor MOS (Métal Oxyde Semiconducteur).
En 1958, les MOS peuvent être réalisés avec succès par Schokley.
Aujourd'hui le transistor MOS constitue l'élément fondamental des CI numériques à large échelle.
Le transistor MOS combine:
Petites dimensions
Vitesse élevée
Consommation faible
Gain élevé
q qS
Ec
EF
Ev
Une structure MOS est constituée d’une couche d’oxyde isolant (SiO2) d’épaisseur d incluse
entre une métallisation et un substrat Silicium.
II.2- Propriétés de la structure MOS idéale
Les travaux de sortie du métal et du SC sont identiques ms m s 0
Pas d’états d’interface
Les seules charges qui existent dans la capacité sont celles induites par l’application de la
polarisation V sur la grille en métal. Elles sont égales et opposées sur le métal et dans le SC
Isolant parfait: Il n’y a pas de transfert de charges à travers l’oxyde 2
II.3- Régimes de fonctionnement
1- Régimes de bandes plates VG = 0
VG métal S.C. type P N.V
Métal
Oxyde q
q m
Ec
qs
Sc EFm EFs
Ev
3
Structure de bandes en régime de bandes plates pour des capacités MIS Type N et
Type P
2- Régime d’accumulation VG < 0:
Des charges négatives apparaissent côté métal
Des charges positives apparaissent donc côté Sc à l’interface avec l’isolant
VG < 0
M O S (P)
-
-q.n
Ec
qVG EFi
EFs
Ev
5
2- Régime de déplétion VG > 0:
Ec
EFi
EFs
qVG -
déplétion de trous (accepteurs ionisés non Ev
compensés)
-q.n (x)
6
2- Régime d’inversion VG >> 0:
-q.n (x)
VG >> 0
-
M O S (P)
-q.Na
Ec
EFi
EFs
qVG - - Ev
Semiconducteur (P)
Semiconducteur (N)
II.4- Condition d’inversion:
q ( s Fi ) ( E FS Ei )
n surf ni .e kT
ni .e kT
q ( s Fi ) ( Ei E FS )
p surf ni .e kT
ni .e kT
q Fi kT N A
Dans la région neutre: p 0 N A ni exp FI ln
kT q ni
Inversion: n surf p surf s Fi
kT N A
Forte inversion: n surf N A s 2 Fi 2 ln
q ni
Remarque
En réalité, en forte inversion , la couche conductrice d’inversion écrante le volume du Sc, d’où :
s reste constant à 2Fi
2 s
Wdép Wmax 2 Fi
qN A 9
II.5- Tension de seuil (Capacité MOS idéale)
La tension de seuil est la tension de grille pour laquelle le régime d’inversion est obtenu
S
C eq ?
Cinv Cdép = sc .A/Wdép
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Caractéristique C(V) Haute Fréquence (HF)-Basse Fréquence (LF)
C
Cox Basse fréquence
CFB
0 V
1 2 3 4
1 : accumulation
2 : déplétion (idem jonction P/N)
3 : faible inversion
4 : forte inversion
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II.2- Structure MOS réelle
La structure MOS réelle est caractérisée par les propriétés suivantes:
La différence des travaux de sortie du métal est non nulle ms m s 0
VFB1 ms pour se mettre en bandes plates
Translation de ms
Charges dans l’oxyde
Charge équivalente Qox à l’interface Oxyde / Métal (S.C. type N)
Qox
V FB 2 C
C ox
Tension de seuil V
Qss Qox
Vth V VFB V ms
*
th
*
th
C ox C ox 12
III Rappel
III.1- Structure du transistor MOS
NMOSFET PMOSFET
Objectif:
Maximiser Ion
Minimiser Ioff
III.1- Types de transistors
Que ce soit pour un NMOSFET ou un PMOSFET on distingue:
Le Transistor à enrichissement: le canal est normalement vide de porteurs à VGS = 0,
et ce n’est qu’en appliquant une ddp > 0 pour un NMOSFET et < 0 pour un PMOSFET
qu’on crée le canal
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IV Modes de fonctionnement
ID
VG
VD
Tous les potentiels sont référés à celui de l'électrode du substrat (B: Bulk).
IV.1- Equilibre
Pour des potentiels nuls sur les 4 électrodes (G, D, S et B), les deux jonctions SB et DB
sont entièrement bloquées.
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IV.2- Faible inversion
En ce régime, une très faible densité d’e- traverse les jonctions SB et DB et donne en
réalité naissance à un courant extrêmement faible quand le potentiel de drain est
supérieur à celui de source
Remarque: En réalité, on doit appliquer sur la grille une tension VFB pour atteindre
l’équilibre du fait de la différence de matériau entre la grille et le semiconducteur. Cette
tension est appelée tension de bandes plates (Flat-Band). 17
IV.4- Conduction
En ce régime, les deux jonctions conduisent toutes les deux, cependant on augmente le
potentiel d’une des deux électrodes (souvent le drain).
Sous l’effet de ce potentiel les électrons se trouvent attirés vers l’électrode à laquelle est
appliquée la ddp V.
IV.5- Saturation
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V. Charges du canal
La structure MOS fonctionne comme un condensateur dont l’électrode inférieure est un
semiconducteur et non un métal
Une ddp VG positive entre grille et substrat crée une charge positive QG sur la grille
QG C oxVG
Pour faire circuler un courant dans le canal, il suffit d’appliquer un potentiel de D supérieur à
celui de la S, ce qui crée un champ E horizontal qui tend à déplacer les e- du canal depuis la S
vers le D
VS V VD 0 xL
A l’abscisse x, la charge par unité de longueur du canal Q’IW se déplace à la vitesse v et donne
naissance au courant ID:
dV
I D Q Wv Q W n
'
I
'
I
dx
vitesse
Q I QI' A Q I' WL
20
VD
I D dx nWQI' dV I D L nW QI' dV
VS
VD ' D ' V
W Q Q
I D n C ox
I I
dV dV
L VS C ox VS
C ox
C ox W
n Paramètre de la transconductance (µA/V2)
A L
VD
2 AL
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VII Capacités parasites dans le MOS
Avec : &
Cj,bas est définie par unité de surface, tandis que Cj,lat est définie par unité de longueur.
VIII. Courant sous seuil
Lorsque la tension de grille est inférieure à la tension de seuil, et la surface du semiconducteur se
trouve en faible inversion, le courant de drain qui lui est correspondant est appelé courant de sous
seuil «subthreshold current» ou «Swing».
Ce courant de sous seuil est très important dans la caractérisation des transistors MOS,
particulièrement ceux prévus pour les applications de faible puissance et de faible tension
d’alimentation (ex: Mémoires, logique etc). En effet, c’est ce paramètre qui décrit comment
l’interrupteur bascule entre l’état «on» et l’état off.
Le courant sous seuil peut être déterminé directement à partir de la caractéristique courant-
tension du transistor.
dVG
S ln 10 ln
dI D
En pratique, S est obtenu à partir de la pente du tronçon sous le seuil de la caractéristique ID-VG
tracée en échelle logarithmique.
S peut aussi être exprimé en fonction des éléments capacitifs:
kT C
S ln 10 1 D
q Ci
Avec, CD la capacité de déplétion et Ci la capacité de l’isolant. 25
IX. Effets de canal court
Lorsque la longueur du canal diminue, les ZCE de la source et du drain deviennent comparables à
la longueur du canal. Dans ce cas, on parle de transistor à canal court.
Ainsi, la distribution du potentiel dans le canal devient dépendante du champ électrique
transversal régi par la tension de grille et du champ électrique longitudinal régi par la tension de
drain. Le potentiel électrique devient alors bidimensionnel.
Réduire ou
Augmenter
Réduire ou
Augmenter
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IX. Effets de canal court
IX.2- DIBL et Punchthrough
2- Punchthrough
L’influence du potentiel de grille sur le courant devient faible et le courant augmente plus
rapidement en fonction de VDS. Une variation quadratique est observée et on n’a plus de
saturation de courant.
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IX. Effets de canal court
IX.2- Surface Scattering
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IX. Effets de canal court
IX.2- Saturation de la vitesse
W Vgs Vt
2
Vgs Vt
2
Pour un transistor Idéal le courant est proportionnel à VDD2 I ds Cox
L 2 2
Quand l’effet de saturation de la vitesse se manifeste le courant s’écrit: I ds CoxW Vgs Vt vmax
Ceci a pour effet d’affecter la transconductance des transistors à canaux courts en régime de
saturation: 31
IX. Effets de canal court
IX.2- Ionisation par impact
Le champ longitudinal élevé accélère les électrons et leur vitesse devient tellement élevée qu’ils
arrivent à leur tour à ioniser d’autres atomes et libérer des paires électrons-trous.
Les trous se trouvent attirés au substrat ce qui génère un courant de substrat et les électrons vers
le drain.
Les porteurs libérés peuvent eux aussi participer à ce mécanisme à leur tour et ainsi de suite.
La tension de seuil se trouve réduite et le courant se trouve ainsi fortement augmenté ce qui
conduit au claquage du transistor.
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IX. Effets de canal court
IX.2- Electrons chauds
A forts VDS, les électrons arrivent vers le drain avec une énergie cinétique très élevée et certains
arrivent à traverser la barrière de potentiel en surface et s’injectent dans l’oxyde.
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Surface du
semiconducteur
Isolant semiconducteur
Niveau du vide Niveau du vide
Iso-
lant Iso-
Métal
Semiconducteur (N) Métal lant Semiconducteur (P)
III Capacités parasites dans le MOS
Avec : &
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VII.5- Récapitulatif
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IX. Effets de canal court
IX.1- Réduction de la tension de seuil
L’expression de la tension de seuil VT est obtenue en supposant que la déplétion dans le canal
provient de l’effet de la tension de grille VGS. Cette hypothèse reste valable tant que le transistor
présente un canal long.