CHAPITRE 1

MEMS RF

Alin d'etablir un contexte clair, ce chapitre presente une vue d'ensemble de la

technologie des MEMS et plus particulierement des MEMS RF. Il consiste en une
synthese des developpements dans le domaine, une presentation des differentes
techniques de fabrication existantes et une description des principaux composants de
bases de la famille des MEMS RF. Pour finir les differentes techniques d'activation sont
expliquees.
1.1 Definition

Les MEMS sont des microsystemes electromecaniques, c'est-a-dire des structures

de l'ordre du micrometre possedant une possibilite de mouvement mecanique
sous I 'impulsion d'unc commande electrique. Its font partie des microsystemes,
qui designent l'ensemble des systemes faisant appel a la micro technologie dans
leur processus de fabrication. Un MEMS est done un microsysteme, mais
('inverse est faux, une puce microdlectronique faisant ogalement partie des
microsystemes. Tout au long de ce momoire nous utiliserons I'acronyme MEMS
car c'est le terme utilise dans toute l'Amerique du Nord mais attention, au Japon
le terme Micromachined est utilise, alors qu'en Europe un microsysteme peut
etre un MEMS, et vice-versa.

La grande variete des domaines d'application des MEMS ne permet pas d'en
dresser une liste exhaustive mais it est interessant de savoir qu'ils sont utilises
dans des domaines tres varies representes a la Figure 2 : Les BioMEMS pour le
domaine medical sent en expansion a I 'heure actuelle, beaucoup d'efforts de
recherche ont permis des avancees notables dont certaines ont donne lieu a des
commercialisations. C'est un domaine tres prometteur en
 Les MEMS RF sont le domaine principal dans lc cadre dc ce travail
s'interessant aux communications sans fil.

Figure 2 Domains &application des MEMS (Francais, 2003)

Quelque soit le domaine, la multidisciplinarite est une constante inherente aux

MEMS. Y interviennent la micanique, l'electronique, les techniques de
fabrication de la
microelectronique en incluant la physique et Ia chimie necessaires dans les
differentes etapes de fabrication, et aussi Ia discipline associae au domaine
d'application : optique, micro-fluidique, biologic, thermique et le comportement
micro-onde avec les MEMS RF.

1.2 Historique, mice en contexte, kat actuel du marche

Le premier article concernant les MEMS RF fig publid en 1979 par Petersen,
decrivant alors la structure d'un microcommutateur sur Silicium (Petersen,
1979). Mais it a fallu attendre les annees 1990 pour que l'annee s'y intdresse en
lancant les premiers efforts de recherche consequents, ayant abouti aux premiers
produits commercialises au debut des armies 2000. En Amerique du Nord les
fonds de recherche concernant les MEMS RF sont issus principalement du
domaine militaire tel qu'indique sur la Figure 3. Dans ce cadre, cc projet de
maitrise &idle A la conception et la realisation d'un filtre accordable avec la
technologic des MEMS pour les applications microondes a etc realise en
partenariat avec Ia compagnie Ultra Electronics.

Les MEMS RF peuvent etre classes selon quatre categories d'apres Rebeiz (G.
Rebeiz, 2003) :
 Les interrupteurs, inductances et capacites variables. Les resonateurs, fillies
et antennes bases sur des lignes de transmission micro-usinees I haut facteur de
qualite. Les FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator). Lcs resonateurs ct Ores
utilisant des caracteristiques purement micaniques.