Micro-usinage laser

Journée CRN2

Présenté par : Guy Haché

Orford
18 juin 2004
 Micro-usinage laser
•Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
 Micro-usinage laser
•Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

•Pourquoi le µ-usinage laser?

 Micro-usinage laser
•Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

•Pourquoi le µ-usinage laser?

•On peut faire quoi?

 Micro-usinage laser
•Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

•Pourquoi le µ-usinage laser?

•On peut faire quoi?

•On va faire quoi?

Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

Schéma d’un exemple d’un matériau usiné par µ-usinage laser

Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

Schéma bloc du système de micro-usinage UV laser du GAUS

Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

Photo du système de micro-usinage laser du GAUS

Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

Photo du système de micro-usinage laser du GAUS

Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•3 tables de translation (x y z) d’une course de 5 cm

Photo du porte-échantillon
Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•3 tables de translation (x y z) d’une course de 5 cm
•1 table de rotation

Photo du porte-échantillon
Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•3 tables de translation (x y z) d’une course de 5 cm
•1 table de rotation
•Précision de 1 µm

Photo du porte-échantillon
Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•3 tables de translation (x y z) d’une course de 5 cm
•1 table de rotation
•Précision de 1 µm
•Porte-échantillon pour gaufres de 2’’ et 3’’ et lames
de verre

Photo du porte-échantillon
Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•3 tables de translation (x y z) d’une course de 5 cm
•1 table de rotation
•Précision de 1 µm
•Porte-échantillon pour gaufres de 2’’ et 3’’ et lames
de verre
•Porte-échantillon interchangeable

Photo du porte-échantillon
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
Led bleue pour vérifier si l’échantillon est percé complètement

Photo d’une image de la caméra numérique d’un échantillon de Si usiné

Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Interface Labview pour utilisateur (User-friendly)
– Déplacement position et vitesse du porte-échantillon
pour usinage et alignement
– Visualisation de l’échantillon par caméra numérique
– Contrôle de l’atténuateur et de l’obturateur
– Définition du point de référence (0 0 0)
– Utilitaire pour le calcul de paramètres d’usinage
– Possibilité d’exécuter des codes G standard pour
automatiser l’usinage
•Formats de fichier: Solidworks, .igs, .dxf .dwg
et autres
Qu’est-ce que le µ-usinage laser?

Interface Labview afin de contrôler le système de µ-usinage laser

 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
•Protection et distribution de puissance dans l’impulsion
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
•Protection et distribution de puissance dans l’impulsion
•Puissance/Fréquence typique :134 mW à 25-50 Hz
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
•Protection et distribution de puissance dans l’impulsion
•Puissance/Fréquence typique :134 mW à 25-50 Hz
•Transmission globale du système (lentilles,
atténuateur fixe, etc.) ≈ 17.5%
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
•Protection et distribution de puissance dans l’impulsion
•Puissance/Fréquence typique :134 mW à 25-50 Hz
•Transmission globale du système (lentilles,
atténuateur fixe, etc.) ≈ 17.5%
•Puissance utile : 9.625 mW
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
•Protection et distribution de puissance dans l’impulsion
•Puissance/Fréquence typique :134 mW à 25-50 Hz
•Transmission globale du système (lentilles,
atténuateur fixe, etc.) ≈ 17.5%
•Puissance utile : 9.625 mW
•Atténuateur variable supplémentaire
╚> Transmission globale ≈ jusqu’à 2.5%
 Qu’est-ce que le µ-usinage laser?
•Puissance/Fréquence maximale : 3W à 300 Hz
•Protection et distribution de puissance dans l’impulsion
•Puissance/Fréquence typique :134 mW à 25-50 Hz
•Transmission globale du système (lentilles,
atténuateur fixe, etc.) ≈ 17.5%
•Puissance utile : 9.625 mW
•Atténuateur variable supplémentaire
╚> Transmission globale ≈ jusqu’à 2.5%
•Puissance utile : 0.2406 mW
 Pourquoi le µ-usinage laser?
• Liberté 3D versus 2D

Photo d’une endoprothèse vasculaire fabriquée à l’aide de µ-usinage laser

 Pourquoi le µ-usinage laser?
• Liberté 3D versus 2D
• Matériaux divers (Si, verre, céramique, plastique,
métaux, etc.)

Photo d’une endoprothèse vasculaire fabriquée à l’aide de µ-usinage laser

 Pourquoi le µ-usinage laser?
• Liberté 3D versus 2D
• Matériaux divers (Si, verre, céramique, plastique,
métaux, etc.)
• Technique hybride
Fabrication MEMS classique + µ-usinage
– Une seule opération vs. résine, litho, dévelopment, gravure

Photo d’une endoprothèse vasculaire fabriquée à l’aide de µ-usinage laser

 Pourquoi le µ-usinage laser?
• Liberté 3D versus 2D
• Matériaux divers (Si, verre, céramique, plastique,
métaux, etc.)
• Technique hybride
Fabrication MEMS classique + µ-usinage
– Une seule opération vs. résine, litho, dévelopment, gravure
• Écriture directe (Exemple: masque mécanique)

Photo d’une endoprothèse vasculaire fabriquée à l’aide de µ-usinage laser

 Pourquoi le µ-usinage laser?
• Liberté 3D versus 2D
• Matériaux divers (Si, verre, céramique, plastique,
métaux, etc.)
• Technique hybride
Fabrication MEMS classique + µ-usinage
– Une seule opération vs. résine, litho, dévelopment, gravure
• Écriture directe (Exemple: masque mécanique)
• Prototypage rapide pour de motifs de 10 microns et plus
avec maîtrise des paramètres

Photo d’une endoprothèse vasculaire fabriquée à l’aide de µ-usinage laser

 On peut faire quoi?
Laser excimère vs. Laser CO2

Photo d’un clapet pour microvalve

 On peut faire quoi?

Photo d’une pièce de plastique avec des trous µ-usinés

 On peut faire quoi?

Photo d’une patte pour un robot du GRAMS pour des applications biomédicales
 On peut faire quoi?

Vue de coupe

µ-usinage Électrodes

Nafion Titane

Électrodes

Schéma d’une tige de nafion plaquée en titane

 On peut faire quoi?
Vue de côté Vue de coupe

Photo d’une patte pour un robot du GRAMS pour des fins biomédicales
 On peut faire quoi?

Photo d’une tige pour un moteur électrostatique fabriqué par µ-usinage laser
 On peut faire quoi?
Thermocouples sur membrane de Nitrure
Vue de côté
Cr/Au Ni

Nitrure Nitride • Alignement pour faire

Silicium Silicium du Back etching
Nitrure Nitride

Vue de dessus
Marque
d’alignement Thermocouple

Pad
 On peut faire quoi?
Thermocouples sur membrane de Nitrure
Laser
Vue de côté

Nitrure Nitride
• Trou de marque
Silicium
d’alignement par
Silicium
µ-usinage laser
Nitrure Nitride

Laser
Vue de dessous
Vue de dessus
 On peut faire quoi?
Thermocouples sur membrane de Nitrure

Vue de côté • Étalement de la résine

• Lithographie de la
Nitrure membrane alignée
Silicium • Développement
Nitrure • Back etching du Nitrure
Résine
• Back etching du Silicium
Vue de dessous
 On peut faire quoi?
Avec alignement vs. sans alignement

Silicium

Photo de thermocouple sur membrane de Nitrure (vue de dessus)

 On va faire quoi?
•Tests supplémentaires sur plastique et silicium
– Ajustement des paramètres
– Difficulté à évacuer les matériaux résidus
lorsqu’on usine en profondeur
 On va faire quoi?
•Tests supplémentaires sur plastique et silicium
– Ajustement des paramètres
– Difficulté à évacuer les matériaux résidus
lorsqu’on usine en profondeur

•Ajouter un système de nettoyage plus localisé

– Jet d’air plus rapide
– Diamètre du faisceau d’air plus faible
 On va faire quoi?
•Tests supplémentaires sur plastique et silicium
– Ajustement des paramètres
– Difficulté à évacuer les matériaux résidus
lorsqu’on usine en profondeur

•Ajouter un système de nettoyage plus localisé

– Jet d’air plus rapide
– Diamètre du faisceau d’air plus faible

• Nettoyage des résidus par acide

 On va faire quoi?
• Trouver des stratégies de découpe pour des
épaisseurs de 300 microns et plus
– Résultats systématiques et non par tâtonnement
 On va faire quoi?
• Trouver des stratégies de découpe pour des
épaisseurs de 300 microns et plus
– Résultats systématiques et non par tâtonnement

• Matériaux piézocéramiques et verres

 On va faire quoi?
• Trouver des stratégies de découpe pour des
épaisseurs de 300 microns et plus
– Résultats systématiques et non par tâtonnement

• Matériaux piézocéramiques et verres

• Masque mécanique en Aluminium

 On va faire quoi?
• Trouver des stratégies de découpe pour des
épaisseurs de 300 microns et plus
– Résultats systématiques et non par tâtonnement

• Matériaux piézocéramiques et verres

• Masque mécanique en Aluminium

• Contrôle du porte échantillon et du laser par

une mannette de jeux vidéo
Questions?