№ образца Ar O2 % O2 Id, A Ud, V t, sec h, nm v, nm/s

N-HfZrO-38 45 5 10 0.35 328 315 92.8 0.294603

P-HfZrO-38 45 5 10 0.35 328 315 92.8 0.294603
N-HfZrO-39 40 10 20 0.35 305 590 60.8 0.103051
P-HfZrO-39 40 10 20 0.35 305 590 60.8 0.103051
N-HfZrO-40 35 15 30 0.35 285 715 84.6 0.118322
P-HfZrO-40 35 15 30 0.35 285 715 84.6 0.118322

340

330

320
Напряжение разряда, В

310

300

290

280

270

260

250
4 6 8 10 12 14 16
% O2

60.00 0.35

50.00 0.3
N-Type-1KHz
N-Type-1MHz
0.25
40.00 P-Type-1KHz
P-Type-1MHz
0.2
30.00
tgD
E

0.15

20.00
0.1

10.00
0.05

0.00 0
 20.00
0.1

10.00
0.05

0.00 0
5 10 15 20 25 30 35 5
O2,%

600

N-Type-1KHz
500 N-Type-1MHz
P-Type-1KHz
P-Type-1MHz
400
ёмкость

300

200

100

0
5 10 15 20 25 30 35

O2,%
x ============================================================================================
1MHz 1 kHz
C, pF tgD E C, pF tgD E
130 0.0952 14.17 154 0.0563 16.79
67.3 0.0715 7.34 171 0.315 18.64
213 0.182 15.21 230 0.031 16.43
59.7 0.159 4.26 247 0.232 17.64
433 0.245 43.03 503 0.047 49.98
66.6 0.122 6.62 290 0.328 28.82

0.35

0.3
Скорость нанесения, нм/c

0.25

0.2

0.15

0.1

0.05

0
5 10 15 20 25 30 35

%O2

0.35

0.3
N-Type-1KHz
N-Type-1MHz
0.25
P-Type-1KHz
P-Type-1MHz
0.2
tgD

0.15

0.1

0.05

0
 0.1

0.05

0
5 10 15 20 25 30 35
O2,%
================================================================