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Additionneurs Ultra Basse Tension en technologie SOI 0,13µ Partiellement


Désertée

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Additionneurs Ultra Basse Tension
en technologie SOI 0,13µ Partiellement Désertée
Jean-Philippe Blanc, Hélène Lhermet, Marc Belleville

CEA-LETI, Département Systèmes pour l’Information et la Santé, Grenoble France

Résumé une isolation diélectrique. Lors de la conduc-


tion du transistor, la zone située entre la grille
Ce papier présente des résultats obtenus sur et l’oxyde arrière peut être totalement ou par-
des additionneurs 32 bits en technologie SOI tiellement désertée (cela dépend principale-
partiellement désertée 0,13µ. Une comparai- ment de l’épaisseur de la couche de Si). Cette
son est effectuée entre plusieurs variantes, uti- étude ne concerne que les transistors Partielle-
lisant soit des transistors à body flottant, ment Désertés. Un transistor SOI possède 5
tension de seuil faible ou élevée, soit des tran- noeuds: le Drain, la Source, la Grille, le Subs-
sistors DTmos. Des fonctionnements jusqu’à trat arrière, et l’équivalent de son substrat indi-
des tensions d’alimentation de 0,25V sont ob- viduel, généralement appelé «Body». Grâce à
servés. Différents enseignements sont tirés des astuces de layout, ce «body», peut rester
quant à un usage optimal des différents transis- non connecté (transistors à substrat flottant,
tors SOI. dits FB), ou être connectable de l’extérieur.
Les DTMOS sont un sous-ensemble de cette
Introduction dernière catégorie, pour lesquels la grille et le
«body» sont reliés. Notons que dans le cas
Les technologies SOI sont aujourd’hui utili-
d’une liaison simple, ceci limite la tension de
sées pour produire des circuits qui nécessitent
fonctionnement aux environs de 0,6V, seuil au
des performances avancées. C’est ainsi que
delà duquel la diode «body»/source devient
des processeurs très performants sont produits
conductrice. Les schémas et layouts des tran-
par IBM ou Motorola, par exemple. Dans ce
sistors à substrat flottant et DTMOS sont pré-
cas, c’est principalement le surcroît de vitesse
sentés Figures 1 et 2.
apporté par le SOI qui est recherché. D’autres
L’intérêt des transistors SOI à substrat flottant
applications visent par contre le très bon com-
pour les faibles tensions est lié à la modulation
portement des transistors SOI en faible ten-
dynamique de leur tension de seuil (Ref. 4).
sion/ faible consommation (Ref. 1,2).
Grâce au couplage entre grille et «body», la
Plusieurs personnes se sont intéressées aux
tension de seuil du transistor est abaissée lors-
transistors SOI DTMOS pour des applications
que le transistor devient conducteur. Dans le
en dessous de 0,6V de tension d’alimentation
cas des DTMOS, ce phénomène est encore
(Ref. 3). Dans cet article, nous présentons
amplifié, grâce au lien direct entre grille et
l’approche que nous avons menée pour com-
«body». Par contre les DTMOS occupent une
parer les mérites des transistors à substrat flot-
surface plus importante, et ont des capacités
tant et des transistors DTMOS. Des résultats
parasites plus élevées.
de caractérisation sont introduits et quelques
règles d’utilisation proposées. Additionneur 32 bits
Les transistors SOI Afin de comparer les mérites respectifs de ces
transistors, nous avons retenu un élément fré-
Un substrat SOI est constitué d’une très fine
quemment utilisé dans la littérature comme
couche de silicium mono cristallin, isolée du
point de comparaison: l’additionneur. Après
substrat silicium par une couche d’isolant
avoir optimisé l’élément de base sur 1bit (fig.
(oxyde de silicium par exemple). Les transis-
3), nous avons retenu une structure simple à
tors SOI sont réalisés dans cette fine couche de
propagation de retenue sur 32bits, l’objectif
Si, et sont donc séparés les uns des autres par
fixé n’étant pas une étude d’architecture so-
phistiquée. La technologie SOI cible comporte plus la version DTMOS devient intéressante.
des transistors Nmos et Pmos à faible tension Nous voyons ici apparaître l’influence de la
de seuil (High Speed) et à tension de seuil plus plus grande modulation de tension de seuil des
élevée (Low Leakage). Nous avons donc réali- DTMOS. Notons également que dans un fonc-
sé des variantes d’additionneur utilisant ces tionnement normal, seules les tensions infé-
deux niveaux d’implantation; nous avons éga- rieures ou égales à 0,6V sont à utiliser avec les
lement réalisé des versions DTMOS et Subs- DTMOS.
trat flottant. La figure 9 compare les temps d’addition des
versions DTMOS «High Speed» (HS) et «Low
Testabilité Leakage» (LL). La version HS n’est plus fonc-
tionnelle à 0,2V; la version LL ne l’est plus à
Un des objectifs était de pouvoir tester ces ad- 0,4V. Nous retrouvons également que la ver-
ditionneurs avec des tensions d’alimentations sion HS est la plus rapide.
très faibles (jusqu’à 0,2V). L’environnement Enfin, la figure 10 présente les courants stati-
de test ne descendant pas aussi bas, nous avons ques mesurés entre deux variantes «High
architecturé nos circuits autour d’un coeur (un Speed», à DTMOS et à substrat flottant. Au
additionneur 32bits) pouvant être alimenté en delà de 0,6V, le courant de la version DTMOS
très basse tension, un ensemble périphérique augmente rapidement, les diodes «body» sour-
assurant les entrées/sorties des données ainsi ce passant en direct.
que leur synchronisation fonctionnant sous la
tension nominale de 1,2V, et des décaleurs de Conclusions
niveau en interface (Fig 4 et 5). Dans toutes les
variantes, le décaleur de niveau en sortie utili- Cette étude a confirmé l’intérêt des technolo-
se au moins deux DTMOS. Il est apparu en si- gies SOI pour des applications à très basse ten-
mulation que ceci garantissait un fonction- sion. Si l’on fait abstraction de la surface très
nement jusqu’aux très basses tensions. nettement supérieure des DTMOS, ces der-
Une vue générale des structures de test est pré- niers ont des performances meilleures que cel-
sentée figure 6. Elle comporte quatre variantes les des transistors à substrat flottant lorsque
d’implantation ou de types de transistors. La l’on arrive dans ces tensions très faibles. Ils
dernière structure est utilisée pour mesurer les sont également plus intéressants sur des char-
temps de propagation dans les circuits peri- ges capacitives importantes. Pour le concep-
pheriques. Un détail de layout d’une structure teur, le choix DTMOS/transistors à substrat
DTMOS est présenté figure 7. flottant est donc une variable supplémentaire
qu’il peut utiliser au mieux pour optimiser sa
Tests et interprétations conception.
Ces résultats permettent également d’envisa-
Les résultats présentés ci-après ont été obtenus ger des circuits fonctionnant jusqu’à 100Mhz
avec des Nmos décentrés par rapport à la tech- sous 0,5V de tension d’alimentation.
nologie nominale. Les tensions de seuil des
Nmos «High Speed» et «Low Leakage» sont Remerciements
respectivement de 0,2V et 0,3V. Les tensions
de seuil des Pmos «High Speed» et «Low Lea- Nous souhaitons remercier particulièrement
kage» sont quant à elles de -0,3V et- 0,4V. Ces Jacques Cluzel pour les tests effectués, ainsi
tests ont montré des additionneurs fonction- que l’équipe filière SOI, process 130nm ST
nant jusqu’à 0,25V de tension d’alimentation. Micro-electronics/LETI pour leur contribution
La figure 8 présente les temps d’addition en significative à ces résultats.
fonction de la tension d’alimentation, pour des Ces travaux ont été partiellement soutenus par
variantes «High Speed» en DTMOS (Bc) et à le projet IST Saturn.
substrat flottant (Fb). Pour des tensions d’ali-
mentation élevées, la version à substrat flot-
tant est plus rapide que la version à DTMOS;
ceci s’explique simplement par les capacités
de grille plus faibles liées au layout du substrat
flottant. Par contre, plus on baisse en tension,
Références

[1] Ebina A., Kadowaki T, Sato Y, Yamaguchi


M., «Ultra low-power CMOS IC using partial-
ly-depleted SOI technology», IEEE-2000-
Custom-Integrated-Circuits-Conference.
[2] Belleville M, Faynot O, «Low Power SOI
Design», Integrated-Circuit-Design.-Power-
and-Timing-Modeling,-Optimization-and-Si-
mulation.-11th-International-Workshop,-
PATMOS- 2001.
[3] Assaderaghi, Sinitsky, Parke, Bokor, Ko,
Chenming-Hu, «Dynamic threshold-voltage
MOSFET (DTMOS) for ultra-low voltage
VLSI», IEEE-Transactions-on-Electron-De-
vices, vol.44, No 3, March 1997
[4] Sun, Gautier, Jenkins, «Floating-Body
Transient Effects in SOI MOSFETS and Cir-
cuits», Electrochemical Society Proceedings,
Vol. 96-3 Figure 3: Schéma de l’additionneur 1bit

Figures

Figure 4: Schéma du décaleur de niveau en


entrée

Figure 1: Transistors SOI à Substrat Flottant


(FB) et DTMOS

Figure 5: Schéma du décaleur de niveau en


sortie

Figure 2: Layout des transistors FB et


DTMOS
325
300
275
250
225
200

Tadd (ns)
175
150 TaddFb
125 TaddBc

100
75
50
25
0
0.25 0.3 0.4 0.6 0.8 1 1.2

Vdd (V)

Figure 8: Comparaison des Temps d’addition


entre DTMOS et FB
Figure 6: Vue globale des structures de test
300
275
250
225
200

Tadd (ns)
175
150
TaddHS
125
TaddLL
100
75
50
25
0
0.25 0.3 0.4 0.5 0.6 0.8 1 1.2

Vdd (V)

Figure 9: Comparaison des temps d’addition


entre transistors HS et LL

1.00E−004
Istandby (A)

1.00E−005
IstdbyFb
Figure 7: Détail d’un layout DTMOS IstdbyBc

1.00E−006

1.00E−007
0.25 0.3 0.4 0.6 0.8 1 1.2
Vdd (V)

Figure 10: Comparaison des courants


statiques entre DTMOS et FB

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