Accélération

Acclration
par
Alain DEVAL
Ingnieur Civil de lAronautique
Directeur Technique Adjoint de la SAGEM
et
Yvon AMAND
R 1 812
7 - 1992
Ingnieur de Recherche, SAGEM
1.
1.1
1.2
1.3
1.4
1.5
1.6
Dfinitions..................................................................................................
Vecteur acclration ....................................................................................
Acclration tangentielle, acclration normale.......................................
Mouvement rectiligne .................................................................................
Mouvement circulaire. Acclration angulaire .........................................
Petits mouvements, vibrations...................................................................
Composition des acclrations. Acclration de Coriolis ........................
2.
2.1
2.2
Units ..........................................................................................................
Units dacclration linaire .....................................................................
Units dacclration angulaire..................................................................
5
5
5
3.
Acclration due au champ de gravitation. Dfinition de g .......
4.
4.1
4.2
Principe des mesures. Classification .................................................

Principe de la mesure de lacclration .....................................................
Classification des acclromtres ..............................................................
5
5
6
5.
5.1
5.2
5.3
5.4
5.5
5.6
5.7
Acclromtres non asservis ...............................................................

Acclromtres jauges de contrainte .....................................................
Acclromtres pizorsistifs.....................................................................
Acclromtres dtection pizolectrique .............................................
Acclromtres dtection optique par occultation................................
Acclromtres fibres optiques...............................................................
Acclromtres dtection capacitive ......................................................
Acclromtres dtection inductive........................................................
7
7
7
7
8
9
9
10
6.
6.1
6.2
Acclromtres dplacements asservis.........................................

Asservissement analogique........................................................................
Asservissement numrique ........................................................................
10
10
11
7.
7.1
7.2
Acclromtres poutres vibrantes et ondes de surface ........

Acclromtres poutres vibrantes ..........................................................
Acclromtres ondes de surface ...........................................................
11
11
12
8.
8.1
8.2
8.3
Applications ..............................................................................................
Mesures de vibrations.................................................................................
Mesures des acclrations pour la navigation par inertie .......................
Mesures gographiques .............................................................................
12
12
12
13
9.
9.1
9.2
9.3
9.4
Acclromtres complexes et capteurs intgrs ...........................

Acclromtre intgrateur ..........................................................................
Acclromtre angulaire.............................................................................
Acclromtres multidirectionnels ............................................................
Microacclromtres. Acclromtres intgrs .......................................
13
13
13
14
14
Pour en savoir plus...........................................................................................
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Techniques de lIngnieur, trait Mesures et Contrle
R 1 812 - 2
Doc. R 1 812
R 1 812 1
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
ans cet article, nous nous bornerons au domaine demploi courant des
acclromtres en mcanique rationnelle.
Aprs des rappels thoriques concernant les dfinitions et les units ( 1, 2
et 3), nous aborderons les mesures ( 4) et les diffrents types dacclromtres.
Les acclromtres sont utiliss pour des applications ou des mesures trs
diverses ; citons, titre dexemples :
mesure des acclrations bord de vhicules automobiles (suspensions
actives et dtecteurs de chocs) ;
navigation et guidage par inertie concernant principalement les vhicules
(avions, hlicoptres, bateaux, sous-marins, fuses et missiles), dans le domaine
arospatial, la mcanique des satellites et les sondes spatiales ;
contrle des acclrations dans les essais de chocs ou de vibrations
dquipements et structures ;
contrles mcaniques densembles industriels ;
essais de simulation au sol ;
mesures gophysiques, godsiques et aronomiques.
Il existe une grande diversit de types dacclromtres et lon peut envisager
diffrents classements. Une premire liste ( 4.2.1) comprend des capteurs de
conception simple et non asservis. Cette classification est base sur la nature
du phnomne de dtection. La liste nest pas exhaustive, mais elle permet de
passer en revue la plupart des phnomnes physiques qui sont utiliss dans la
ralisation dun acclromtre.
Une seconde classification ( 4.2.2 et 6) concerne les acclromtres gnralement de haut de gamme dplacements asservis.
On trouvera ensuite ( 4.2.3 et 7) les acclromtres poutres vibrantes et
ondes de surface. Bien que de type en boucle ouverte, certains de ces capteurs
rivalisent en prcision avec les appareils asservis.
Une classification supplmentaire concerne les acclromtres rpartis suivant
lemploi projet ( 8).
Un dernier classement runit les acclromtres plus complexes et les capteurs
microniques et intgrs ( 9).
1. Dfinitions
avec
1.1 Vecteur acclration
on obtient :
ds
J = ------ -------- dt

tout point M en mouvement par rapport un repre (R ), on

(R )
associe le vecteur J
(M, t ) appel vecteur acclration de M
dans (R ) linstant t, dfini par :
J
(R )
d2(R )
- OM
( M, t ) = --------------dt 2
(R )
d2 s
+ ----------dt 2
/
reprsente la drive par rapport labscisse
est le vecteur unitaire de la direction daxe normal
curviligne s du vecteur unitaire tangent ,

principal : il est perpendiculaire , donc normal la
trajectoire de M ; il est orient vers le centre de
courbure de la trajectoire et fait langle + /2 avec le
O tant un point fixe dans (R ).

J
abscisse curviligne de M,
vecteur unitaire tangent la trajectoire en M, orient
dans le sens de mesure positive de s,
(M, t ) sera not, par simplification, J dans la suite.
vecteur unitaire tangent ,

1.2 Acclration tangentielle,

acclration normale
Par drivation par rapport au temps de lexpression du vecteur
vitesse :
ds
v = --------dt
R 1 812 2
(scalaire positif) est le rayon de courbure en M de la

trajectoire.
Lgalit prcdente peut scrire (figure 1) :
J = J + J
ds
J = ------ -------- dt

= ------ v 2
_______________________________________________________________________________________________________________________
Figure 1 Dcomposition de lacclration
est le vecteur dacclration normale ;

d2 s
dv
J = ----------= --------dt
dt 2
est le vecteur dacclration tangentielle.
ACCLRATION
Figure 2 Mouvement circulaire
Cette acclration, porte par la tangente MT, peut tre dirige

dans un sens ou dans lautre suivant le signe de d /dt.
d
d2
Cette drive ---------- = ----------de la vitesse angulaire du rayon OM
dt
dt 2
est dite acclration angulaire.
Acclration normale :
d
J = R --------dt

1.3 Mouvement rectiligne

Dans le cas du mouvement rectiligne, le dplacement, la vitesse
et lacclration du point M ont le mme support Ox qui est la
trajectoire de ce point ; la quantit 1/ est nulle et lon a :
J = 0
d2 x
J = ----------dt 2
Un mouvement rectiligne acclration constante est un
mouvement rectiligne uniformment acclr. Il peut tre reprsent
par lquation :
1
x = ----- t 2 + v 0 t + x 0
2
Si, de plus, le mouvement est rectiligne uniforme, alors la
vitesse est constante :
v = v0 = Cte
=0
x = v 0 t + x0
1.4 Mouvement circulaire.

Acclration angulaire
Nous pouvons dcomposer lacclration J du point M se
dplaant sur le cercle C de centre O, suivant lacclration J
normale, porte par le rayon OM, et lacclration J tangentielle,
porte par la tangente MT (figure 2).
Acclration tangentielle :
d
d2
dv
J = --------- = R ----------= R ---------dt
dt
dt 2
avec
d
= --------- vitesse angulaire.
dt
v2
= R 2 = -------R
Cette acclration est dirige vers O sur la normale MO.

Dans un mouvement circulaire uniforme, = Cte et d /dt = 0,
donc :
v2
J = 0 et
J = R 2 = -------R
1.5 Petits mouvements, vibrations

Dans ce cas, on peut admettre que la trajectoire est pratiquement
linaire ; si le mouvement est priodique, la vitesse change de signe
au moins deux fois par priode ainsi que, gnralement,
lacclration.
Exemple : le mouvement sinusodal :
x = a sin t,
v = a cos t,
= a 2 sin t = 2 x
est la projection sur un axe dun mouvement circulaire uniforme o

R = a et = t ; abscisse, vitesse et acclration changent de signe
chaque demi-priode. La mesure de telles acclrations fait appel aux
acclromtres rponse rapide.
1.6 Composition des acclrations.

Acclration de Coriolis
Soit un corps solide (S ) en mouvement par rapport au corps
solide (R ) considr comme fixe de rfrence. Le point M est mobile
par rapport au solide (S ). Ce mouvement est dit mouvement relatif.
La vitesse relative correspondante est dsigne par v ( S ) (M ). un
instant t, le point M concide avec le point M t li au solide (S ) et
fixe dans (S ). Le point M t prsente une acclration par rapport au
solide (R ) fixe de rfrence. Cette acclration est dsigne par :
J
(R )
( M S ) dite acclration dentranement
enfin le solide (S ) prsente une rotation instantane linstant t par

rapport au solide (R ) fixe de rfrence, rotation qui sexprime par
R
le vecteur S .
R 1 812 3
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Dans ces conditions, le point M prsente par rapport au

solide (R ) de rfrence une acclration absolue qui se note :
J
(R )
(M )
Sa valeur est la somme des trois termes suivants :

lacclration dentranement du point M t fixe dans (S ) et
confondu avec M linstant t, dsigne comme dit prcdemment :
J
(R )
(M S )
lacclration relative qui est celle subie par M dans son

mouvement relatif par rapport au corps (S ) ; elle scrit :
J
(S )
(M )
lacclration dite complmentaire ou de Coriolis qui

correspond au double du produit vectoriel du vecteur rotation
R
instantane dfini plus haut, S , avec le vecteur vitesse relative

M dans (S ), dsign comme dj dit par v
donc :
R
2 S
(S )
(S )
( M ) ; ce produit est
(R )
(M ) = J
(R )
(M S ) + J
(S )
Dans le systme de rfrence (g ), les axes Ox Oy Oz sont orients

du point O vers des astres fixes situs linfini, la position du point O
est donc indiffrente ; en particulier, on peut le placer au point C,
centre de la sphre terrestre, auquel cas le systme de coordonnes
trirectangles galilen (g ) est CPRN.
Nota : lorientation dun axe du systme (g ) nest pas obligatoirement dirige vers un
astre, mais peut se dduire de directions dastres voisins par la connaissance exacte des
angles de ceux-ci avec laxe de rfrence.
(M )
La composition des acclrations scrit :

J
Application au mouvement dun point la surface de la Terre.

Le corps solide de repre (R ) est un systme (g ) dit galilen bti
sur des astres considrs, avec une certaine raison, comme parfaitement immobiles vis--vis de la dure des expriences physiques
courantes entreprises. Le solide (S ) en mouvement par rapport au
solide galilen est un systme (T ) li la Terre (figure 3a ).
On distingue en Oxyz le systme de coordonnes trirectangles
solidaire du solide dimmobilit absolue (g ) de rfrence. La Terre
est figure par un cercle mridien SRN o S et N sont les ples sud
et nord. Laxe SN est donc laxe de rotation terrestre. Le
mridien PCN est le mridien origine dont la trace quatoriale CP
est perpendiculaire SN et fixe dans le systme galilen, ainsi que
lest laxe SN.
On peut donc choisir le systme Oxyz tel que Oz soit parallle
SN, Ox parallle CP, et Oy parallle CR, lui-mme rayon quatorial perpendiculaire au mridien origine PCN.
(M ) + 2 S
(S )
(M )
On remarquera que, dans cette criture, J dsigne une acclration, une vitesse de rotation et v une vitesse. Lindice suprieur
entre parenthses dsigne le systme de rfrence.
Dans ces conditions, le systme (T ) li la Terre sera dfini par

les axes terrestres de coordonnes CQVN o :
CQ est la position linstant t du mridien contenant le point
mobile M ;
CV est la trace quatoriale du mridien VCN perpendiculaire
au mridien QCN dangle horaire ;
CN laxe de rotation terrestre.
Figure 3 Mouvement dun point la surface de la Terre
R 1 812 4
_______________________________________________________________________________________________________________________
Le point mobile M est galement situ sur le parallle L de

latitude . Le systme de coordonnes MXYZ li au point M
correspond aux coordonnes locales, linstant t, o MX est
lhorizontale dirige lest, MY lhorizontale nord et MZ la verticale du lieu.
La rotation de la Terre autour de laxe des ples SN est un
vecteur
g
T
:
CU
d
= --------dt
g
T
la latitude , le vecteur T a pour composantes, dans le

repre gographique (D ) li la Terre en M :
suivant MX : 0 ;
suivant MY :
suivant MZ :
g
T
g
T
En connaissant la vitesse de M exprime dans le repre

gographique (D ), le calcul de lacclration de Coriolis noffre
aucune difficult, sa valeur tant :
g
(T )
(M )
Lacclration dentranement (note Je sur la figure 3) a pour

valeur :
J
(R )
(M S) = J
(g )
t
(MD )
d
= Mm --------dt

d
= CM cos --------dt

f=m
f force applique,
m masse ponctuelle,
p = mg
avec p
do :
poids de lobjet ponctuel ;

f = p /g
Exprimer une acclration en nombre de g revient exprimer la

force agissant sur une masse m en nombre de fois son poids p.
d
= R cos --------dt
avec
On emploie le radian par seconde carre (rad/s2) et le tour par

seconde carre (tr/s2).
On utilise frquemment g (acclration de la pesanteur) comme
unit dacclration. Lquation gnrale de la dynamique tant :
(M D)
qui donne ici (figure 3b ) :

(g )
2.2 Units dacclration angulaire
acclration rsultante,
cette quation devient, dans le cas de la pesanteur :
sin .
2 T
Le centimtre par seconde carre (cm /s2) est lunit CGS. On

lappelle gal (symbole : Gal). Il nest utilis que pour le champ de
pesanteur.
avec
cos ;
ACCLRATION
rayon terrestre.
Cette acclration se dcompose suivant les axes du systme (D )

(figure 3b ) :
suivant MX : 0
d
t
suivant MY : J ( g ) ( M D ) sin = R cos sin --------dt

d
t
suivant MZ : J ( g ) ( M D ) cos = R cos 2 --------dt

Exemple : un calcul simple montre que, pour une vitesse de

1 000 m/s, la force due lacclration de Coriolis nest au maximum
que de 1/ 70 du poids du mobile M et que celle due lacclration
dentranement ne dpasse pas, la surface de la Terre, 1/ 290 du
poids.
Les trois acclrations qui entrent dans la composition de
lacclration absolue de M, multiplies par la masse de M,
donnent une force laquelle sajoute la force due son poids. Ainsi,
pour connatre la force apparente due aux acclrations (indique
par un acclromtre) laquelle M est soumis, il faut retrancher son
poids.
Lacclration dentranement contribue diminuer le poids
apparent de M.
3. Acclration due au champ

de gravitation.
Dfinition de g
Tout corps soumis ce champ y subit une force f.
Soit, par exemple, un corps tombant en chute libre, Paris. Au
bout de 1 s, sa vitesse sera de 9,81 m/s ; au bout de 2 s, elle sera
deux fois plus grande, et ainsi de suite.
Lacclration due la pesanteur est donc, Paris, de 9,81 m/s2 ;
lquateur, elle est de 9,78, et, aux ples, de 9,83 m/s2.
La valeur conventionnelle adopte comme acclration normale
de la pesanteur est :
gn = 9,806 65 m/s2
alors que lacclration de la pesanteur 45o de latitude et au
niveau de la mer est voisine de 9,806 16 m/s2.
La valeur de 9,806 65 m/s2, qui est devenue, par convention, la
valeur normale de lacclration de la pesanteur, avait t obtenue
en divisant la valeur mesure autrefois au Bureau international des
p o i d s e t m e s u r e s ( 3 e C G P M , 1 9 0 1 ) p a r l e c o e f fi c i e n t
thorique 1,000 3322 de rduction 45o de latitude et au niveau de
la mer, admis cette poque.
4. Principe des mesures.

Classification
4.1 Principe de la mesure
de lacclration
2. Units
2.1 Units dacclration linaire
Lquation aux dimensions est [ ] = [LT 2 ]. Ainsi, lunit lgale
dacclration est le mtre par seconde carre (m/s2).
On ne procde quexceptionnellement et dans des dispositifs

particuliers, ne pouvant tre considrs comme des instruments
courants, la mesure des acclrations partir de la dfinition
rappele dans le paragraphe 1. On procde alors par drivation
simple de la vitesse, ou drivation double du dplacement, obtenus
gnralement par voie lectrique analogique.
R 1 812 5
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Mais la mesure la plus couramment employe est une mesure

dductive obtenue partir de la loi fondamentale de la
dynamique :
f=m
On mesure en ralit la force f laquelle est soumise une masse m
sous laction de lacclration considre, cette acclration tant
la rsultante de toutes les acclrations auxquelles est soumise la
masse m dans la direction de laxe sensible, quelles soient
dynamiques (mouvement) ou statiques (champ de pesanteur par
exemple). Un calcul simple donne alors la valeur de .
La force f peut tre value suivant deux principes.
Dans le premier cas (acclromtres fonctionnant en boucle
ouverte), la force est mesure par la connaissance dun dplacement
(pouvant tre micromtrique) dtect par un phnomne physique
proportionnel : optique, lectrique, etc. La plupart des capteurs
utilisant ce principe comportent une masse inerte (appele masse
dpreuve ou masse sismique) pouvant se dplacer en translation
ou en rotation et couple un lment ressort susceptible dopposer
la force dinertie une force proportionnelle au dplacement
(figure 4). Dans ces conditions, si lextrmit libre de llment
ressort se dplace, son longation :
x 0 = x2 x1
4.2 Classification des acclromtres

4.2.1 Classification suivant la nature
du phnomne de dtection
Les acclromtres non asservis, classs suivant le phnomne
de dtection, sont les suivants :
jauges de contrainte ;
dtection pizorsistive ;
dtection pizolectrique ;
dtection optique par occultation ;
fibres optiques ;
dtection capacitive ;
rluctance variable (dtection inductive).
Nous citerons ensuite, et pour mmoire, des principes peut-tre
encore utiliss, mais de faon confidentielle et non industrielle. Il
sagit des acclromtres :
dtection par effet Hall ;
potentiomtre ;
dtection lectromagntique, pizo-optique ;
lecture directe ;
pendule tournant.
est proportionnelle lacclration :

d2x /dt 2
Dans ce type dacclromtre, la sensibilit est dautant plus
grande que la raideur k de llment ressort est faible, ce qui est
au dtriment de la pulsation propre 0 du systme et de la
dynamique de mesure lie la limite lastique du ressort [1]. En effet,
si m est la masse de llment sensible, s la sensibilit, on a :
m
s = ------k
et
0 =
k
------m
On se heurte l au compromis classique entre rapidit et prcision,

quon surmontera dautant mieux avec des dtecteurs plus sensibles.
Dans le second cas (acclromtres fonctionnant en boucle
ferme, ou asservis), on cre une force f gale et oppose f
laide dune variable intermdiaire assurant une forte sensibilit tout
en conservant une grande raideur de liaison. On peut considrer quil
ny a pas de dplacements de la masse sismique, car ceux-ci sont
extrmement faibles grce au gain lev de la boucle.
4.2.2 Acclromtres dplacements asservis

Il sagit des acclromtres :
rappel lectromagntique aimants permanents ;
rappel au moyen de forces dorigine lectrostatique.
La boucle dasservissement, dans les deux cas, peut tre de type
analogique ou numrique.
4.2.3 Acclromtres poutres vibrantes

et ondes de surface
Bien que de type en boucle ouverte, les acclromtres poutres
vibrantes (dnomms aussi ondes de volume) rivalisent de
prcision avec les appareils asservis. Leur sensibilit est trs leve,
malgr les dplacements extrmement faibles de la masse
dpreuve. La prsentation des performances de ces appareils est
aborde au paragraphe 7.
Classs dans la mme famille, les capteurs ondes de surface
en sont au stade des tudes avances en laboratoire.
4.2.4 Classification suivant lemploi projet

Le choix dun acclromtre peut tre guid par la considration
dun certain nombre de paramtres tels que : la prcision, le prix,
la gamme dacclration et les conditions denvironnement.
Figure 4 Exemple dlment engendrant une force

proportionnelle au dplacement
R 1 812 6
Les paramtres les plus importants pour une application donne

sont cependant gnralement lamplitude et la frquence du signal
mesurer. Il y a deux raisons principales cela : on peut prvoir
leur ordre de grandeur dans la plupart des applications, et ce sont
des critres qui limitent assez rapidement les possibilits de choix
de lacclromtre.
Nous avons pris lexemple de quelques applications trs
importantes ( 8) :
mesures des vibrations ;
mesures pour la navigation par inertie ;
mesures gographiques.
_______________________________________________________________________________________________________________________
4.2.5 Acclromtres complexes

et capteurs intgrs
Les acclromtres complexes que nous citons ( 9) sont :
lacclromtre intgrateur ;
lacclromtre angulaire ;
lacclromtre multidirectionnel.
5. Acclromtres
non asservis
5.1 Acclromtres jauges
de contrainte
Une masse sismique M (figure 5) subit une force dorigine
inertielle sous laction dune acclration applique au capteur
suivant laxe Y. Cette force induit des contraintes, de traction sur
une face, de compression sur lautre face, sur une poutre monte
en porte--faux. Ces contraintes sont mesures au moyen de jauges
mtalliques rsistives colles sur cette poutre, gnralement au
nombre de quatre rparties deux par deux sur chaque face de la
poutre, cbles suivant un schma de type pont de Wheatstone
(figure 6).
Nota : se reporter aux articles Extensomtrie [R 1 850] et Capteurs jauges
extensomtriques [R 1 860] dans le prsent trait.
Les variations de contrainte dans la poutre entranent des

variations de rsistance des jauges (diminution sur une face,
augmentation sur lautre), donc lapparition dune tension de
dsquilibre du pont de mesure, fonction de lacclration dentre.
Avantages de ce type dacclromtre :
rsolution continue ;
utilisation sous alimentation alternative ou continue
(quelques volts, souvent 15 V en courant continu) ;
faible encombrement (masse de 0,5 50 g) ;
domaine de mesure : de 50 m s 2 50 000 m s 2 ;
sensibilit : typiquement 0,1 % de la pleine chelle.
Inconvnients :
performances globales moyennes (prcision denviron 0,5 %) ;
faible niveau de sortie (sauf avec amplificateur incorpor).
Constructeur : Entran.
ACCLRATION
5.2 Acclromtres pizorsistifs

Ce type dappareil est une variante plus actuelle de lacclromtre
jauges de contrainte mtalliques. Celles-ci sont remplaces par des
rsistances de silicium polycristallin ou monocristallin.
Dans lune des configurations les plus courantes, la poutre en
porte--faux prsente au paragraphe prcdent est usine dans un
barreau de silicium et le pont pizorsistif est form par implantation
ionique ou par procd de diffusion. Les contraintes mcaniques
induites par lacclration impose au capteur occasionnent un
changement de rsistivit des pizorsistances implantes.
Une autre technologie, encore au stade des recherches, tend
employer un pont de dtection base de transistors bipolaires
pizosensibles, avec, comme particularit, une consommation trs
faible du pont.
Avantages des acclromtres pizorsistifs :
faible cot ;
rsolution continue ;
trs faible encombrement (typiquement masse de 0,5 5 g) ;
forte sensibilit du pont de jauges (de 10 100 fois suprieure
celle des jauges rsistives mtalliques) ;
domaine de mesure : de 10 50 000 m s 2.
Inconvnients :
performances globales moyennes (prcision denviron 0,5 %) ;
sensibilit en temprature assez leve (de 0,05 % de ltendue
de mesure par degr Celsius 0,1 % par degr Celsius).
Constructeurs : Entran, IC Sensors, Lucas, Metravib, Motorola,
Nippon Denso, Nova Sensor, Sensonor.
5.3 Acclromtres dtection

pizolectrique
Il existe un grand nombre dacclromtres de ce type. Tous
utilisent un matriau pizolectrique synthtique, gnralement une
cramique susceptible de gnrer des charges lectriques
proportionnelles aux forces qui lui sont appliques.
Une masse sismique soumise lacclration mesurer exerce
des efforts de compression ou de cisaillement sur le matriau
pizolectrique. Le signal lectrique fourni est proportionnel
lacclration (figure 7).
Du point de vue lectrique, ce type dappareil est un gnrateur
de charge haute impdance de source ; compte tenu des fuites
du matriau pizolectrique, ces acclromtres ne peuvent pas
mesurer les acclrations continues. Un cble coaxial relie le capteur un amplificateur de charge, la distance entre les deux appareils pouvant atteindre plusieurs centaines de mtres.
Figure 5 Acclromtre pizorsistif

jauges de contrainte
R 1 812 7
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Figure 6 Cblage des jauges de contrainte
Certains acclromtres comportent un pramplificateur

conditionneur incorpor, permettant une sortie basse impdance et
une longueur de cble pouvant aller jusqu 1 km. Lalimentation du
capteur et le signal de sortie utilisent le mme cble de liaison,
bifilaire.
Les gammes de frquence des acclrations mesurables
stendent de 0,2 50 000 Hz, et les niveaux dacclration
de 10 4 m s2 plus de 104 m s 2 en service permanent.
En rgle gnrale, la temprature maximale dutilisation pour les
modles courants est de 250 oC. Pour les cas limites, certains
acclromtres peuvent fonctionner jusqu 700 o C. Dans les
applications cryogniques, dautres appareils supportent 200 oC en
service permanent.
rponse en frquence leve ;
pas dalimentation en gnral (sauf version lectronique
incorpore) ;
petites dimensions possibles ;
solidit et fiabilit.
Inconvnients :
limitation en basse frquence (ne peut pas mesurer les
acclrations statiques) ;
prcision moyenne (1 2 %) ;
sensibilit thermique assez leve.
Constructeurs : Bruel et Kjaer, Endevco, Sensorex, Vibro-Meter.
5.4 Acclromtres dtection optique

par occultation
Figure 7 Acclromtres pizolectriques
Une source lumineuse, constitue par une diode

lectroluminescente, a son faisceau missif centr sur une diode
rceptrice de type diffrentiel et photorsistif. Ces deux composants
sont fixs au bti fixe du capteur (figure 8).
La masse sismique rappel classique comporte un bras qui vient
occulter le faisceau mis par la diode. En labsence dacclration,
le bras est centr sous le faisceau et les deux secteurs de la
photorsistance reoivent la mme quantit de lumire. Le pont
dtecteur est donc quilibr et la tension de sortie nulle.
Sous leffet dune acclration agissant sur la masse sismique, le
bras se dplace sous le faisceau, permettant ainsi une augmentation
de la quantit de lumire reue sur un des secteurs de rception,
et une diminution gale sur lautre.
La tension de dsquilibre du pont photorsistif est donc limage
de lacclration impose.
insensibilit au champ magntique ;
aucune perturbation mcanique apporte ;
faible consommation.
R 1 812 8
Figure 8 Dtecteur optique occultation
_______________________________________________________________________________________________________________________
ACCLRATION
Inconvnients :
sauf en cas demploi en dtecteur de zro pour acclromtre
asservi, performances modestes : un tel acclromtre en boucle
ouverte serait dune classe de 2 5 % ;
sensibilit thermique assez forte (sauf si un circuit de
compensation est ajout).
5.5 Acclromtres fibres optiques

Nota : pour les principes gnraux, se reporter larticle Capteurs fibres
optiques [R 415] dans le prsent trait.
Figure 9 Acclromtre courbure de fibre optique
On distingue deux catgories de capteurs acclromtriques

fibres optiques ; ces acclromtres sont en cours de dveloppement.
Les capteurs intrinsques, caractriss par le fait que le
paramtre devant tre mesur agit directement sur la propagation
de la lumire dans la fibre.
Les actions possibles sont multiples, comme par exemple un
changement local dindice, un changement de la longueur de fibre
ou encore un changement dintensit lumineuse par courbure de la
fibre. La figure 9 dcrit un acclromtre de ce dernier type. La masse
sismique soumise lacclration vient modifier la courbure de la
fibre, occasionnant des pertes. Le phnomne est quasi linaire.
Les capteurs extrinsques, caractriss par le fait que le
paramtre mesurer agit directement sur les proprits du faisceau lumineux travers un milieu extrieur la fibre.
On peut citer des appareils modification de couplage,
occultation de faisceau et rflexion.
Figure 10 Principe de la dtection capacitive
5.6 Acclromtres
dtection capacitive
Ces acclromtres sont, la plupart du temps, des acclromtres
dits pendulaires .
Une masse sismique en forme de plaque, ou pendule, est fixe
un bti par lintermdiaire de charnires faisant office de ressorts
de rappel (figure 10). Sous laction dune acclration impose
suivant laxe sensible, le pendule tourne dun angle tel que :
Les versions asservies, de plus grande prcision, sont dcrites

dans le paragraphe 9.3.
Le tableau 1 tablit des comparaisons entre la dtection capacitive
et les dtections pizolectrique et pizorsistive.
(0)
Tableau 1 Comparaison entre diffrentes technologies

de dtecteurs acclromtriques
= C /
avec
C couple dorigine inertielle autour de laxe charnire,

raideur angulaire du pendule.
Cet angle , variation linaire en fonction de lacclration, est
mesur au moyen dun dtecteur pont capacitif. Dune faon
gnrale, une lectrode isole est fixe sur le pendule en regard de
deux lectrodes fixes, situes de part et dautre des faces pendulaires une faible distance (de quelques micromtres quelques
dizaines de micromtres).
Deux tensions alternatives gales et en opposition de phase sont
appliques sur les lectrodes fixes. La tension rsiduelle, recueillie
sur llectrode pendulaire, quantifie le dsquilibre du pont.
Les versions faible cot de ce capteur tendent tre
employes pour des applications en scurit automobile car son
bon fonctionnement peut tre vrifi facilement distance. On
envoie sur lune des lectrodes fixes un chelon de tension qui
simule une acclration par le biais de la force lectrostatique
engendre. Cette force occasionne une rotation du pendule qui est
immdiatement dtecte.
Dtection
Caractristiques
capacitive
pizolectrique
pizorsistive
Impdance
haute
haute
basse
Taille
grande
petite
moyenne
trs large
(300 oC)
moyenne
(100 oC)
large
Gamme de temprature
(250 oC)
Erreur de linarit
grande
moyenne
faible
Rponse en continu
oui
non
oui
Rponse en alternatif
(Hz)
large
(500)
trs large
(10 000)
moyenne
(100)
Amortissement
possible
difficile
raliser
possible
Sensibilit
leve
moyenne
moyenne
Circuit lectronique
associ
oui
oui
pas obligatoire
Cot (relatif)
lev (2)
lev (3)
faible (1)
R 1 812 9
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Avantages de ce type de capteur :

bande passante leve : du continu plus de 1 000 Hz,
suivant les versions ;
faible sensibilit en temprature : par exemple, 2 % de la
pleine chelle de 25 + 75 oC en boucle ouverte ;
bonne prcision (jusqu 0,1 %) ;
tendue de mesure : de 10 10 000 m s 2.
Inconvnient :
schma lectronique associ plus complexe que pour les
appareils pizorsistifs.
Constructeurs : Access Sensor, CSEM, Endevco, SAGEM, Sextant
Avionique, Vectavib.
5.7 Acclromtres dtection inductive

Ce type dappareil possde un systme de dtection de lamplitude
du mouvement lastique de la masse sismique bas sur le principe
du transformateur diffrentiel (figure 11).
Le primaire, li au botier acclromtrique, est constitu de
deux enroulements identiques connects en srie mais de sens
opposs et situs de part et dautre de la masse sismique sur
laquelle est fix le secondaire du transformateur.
Le primaire gnre donc deux flux magntiques alternatifs
gaux et en opposition de phase.
En labsence dacclration, la masse dpreuve reste centre ; les
deux flux traversant la bobine secondaire sont gaux et opposs,
la tension diffrentielle ses bornes est alors nulle.
Sous leffet dune acclration dplaant la masse sismique, les
deux flux traversant la bobine varient, lun crot, lautre dcrot ; il
apparat alors aux bornes de la bobine une tension diffrentielle
non nulle, dont lamplitude est lie au dcalage de cette masse, et
dont la phase par rapport au signal inducteur indique le sens du
dplacement.
Ce type de dtection est aussi employ sur des versions
acclromtriques dplacements asservis, au mme titre que le
dtecteur capacitif.
Constructeurs : Kearfott, SAGEM, Sensorex.
6. Acclromtres
dplacements asservis
Les acclromtres pendulaires asservis sont les instruments les
plus couramment utiliss pour les mesures acclromtriques de
moyenne et haute prcision.
Dans ces appareils, la force dorigine inertielle applique une
masse dpreuve et tendant la dplacer est compense par une
force gale et oppose cre par un systme moteur dont la
commande constitue la mesure de lacclration.
Plus prcisment, laction inertielle sur la masse sismique
provoque dabord un microdplacement de celle-ci qui dclenche
aussitt une raction du moteur couple, la ramenant sa position
initiale. Le gain de la boucle lectronique liant le dtecteur
lactionneur est tel que les dplacements de la masse dpreuve sont
extrmement faibles, rduisant ainsi les erreurs dues aux variations
de position.
Les ralisations sont trs diversifies.
Le dtecteur de position peut tre :
optique ;
capacitif ;
inductif.
De mme, le systme moteur peut tre :
lectrostatique (une solution de ce type est dcrite au paragraphe 9.3) ;
lectromagntique aimants permanents.
La prcision des appareils asservis est en gnral bien meilleure
( 0,01 % ou mieux) que celle des capteurs non asservis. Ils sont trs
performants pour mesurer des phnomnes lentement variables et
leur bande passante stend du continu quelques centaines de
hertz.
Le seuil de dtection est en gnral infrieur 105 m/s2 et leur
tendue de mesure suprieure 100 m/s2. Des versions biaxiales,
ou triaxiales, un seul botier existent.
Deux types dasservissement sont proposs : analogique ou
numrique.
Constructeurs : Ferranti, JAE, Kearfott, Litef, Litton, ONERA,
SAGEM, Sensorex, Septa, Sextant Avionique, SFIM, Sundstrand
Data Control, Systron Donner.
Gnralement, la boucle dasservissement comporte un systme
intgrateur qui donne un gain trs grand (thoriquement infini en
continu), rendant lerreur dasservissement infime.
6.1 Asservissement analogique
Figure 11 Principe de la dtection inductive
La tension fournie par le dsquilibre du dtecteur agit

directement, par lintermdiaire dune boucle dasservissement
linaire, sur le gnrateur de la force compensatrice et linformation
acclration se prsente sous la forme dune tension continue
proportionnelle lacclration.
titre dexemple, nous dcrirons succinctement un acclromtre
miniature monoaxe SAGEM (figure 12).
La masse dpreuve est constitue dun support sur lequel sont
fixs deux bobines motrices et un disque de dtection ; le tout tant
articul autour dun axe dfini par une ligne de charnires ralise
au moyen de deux amincissements flexibles, formant ainsi un
ensemble pendulaire.
Les mtallisations appliques sur les faces du disque dtecteur
isolant constituent, avec les faces internes des botiers, les armatures
de deux condensateurs variables dont lensemble forme un pont
capacitif de dtection des mouvements pendulaires.
R 1 812 10
_______________________________________________________________________________________________________________________
ACCLRATION
7. Acclromtres poutres
vibrantes et ondes
de surface
7.1 Acclromtres poutres vibrantes
Dans les acclromtres poutres vibrantes, cest une variation
de frquence qui mesure lacclration avec une excellente
prcision.
Ces appareils sont bass sur le principe suivant : un transducteur
force-frquence comporte une poutre en quartz vibrant sa
frquence fondamentale de flexion. Sous leffet dune acclration ,
une masse sismique vient contraindre la poutre et modifier sa
frquence de vibration 0 , qui devient :
1 = 0 + K 1 + f ( )
f ( ) tant une fonction dordre gal ou suprieur 2.
Pratiquement la plupart des appareils existants comportent deux
transducteurs dans lesquels lacclration impose une contrainte de
compression pour lun, une contrainte de traction pour lautre. Pour
une acclration positive par exemple :
1 = 0 + K + f1 ( )
Figure 12 Acclromtre pendulaire lectromagntique asservi
Deux aimants permanents insrs dans le circuit magntique

gnrent des champs magntiques radiaux dans deux entrefers
circulaires englobant les bobinages moteurs. La force de rappel du
pendule est :
F=BLI
avec
B
L
I
induction dans lentrefer,

longueur dveloppe des bobinages,
intensit du courant de rappel.
Lacclration est donc proportionnelle lintensit du courant

dans ce qui est dfini comme tant un moteur couple de rappel.
Les faibles entrefers existant entre lectrodes fixe et mobile
assurent par ailleurs lamortissement des mouvements pendulaires,
par action sur le gaz neutre qui baigne lappareil. Des spiraux trs
fins ralisent les liaisons lectriques (pont dtecteur et bobinages
de moteurs-couples).
6.2 Asservissement numrique

La constitution fonctionnelle de lappareil, telle que nous lavons
dcrite au paragraphe 6.1, est la mme, mais le bouclage lectrique
est de nature diffrente.
Dans ce type dasservissement, un systme seuil situ aprs le
dtecteur permet denvoyer un ordre calibr de recalage au
gnrateur de force de recentrage, chaque fois que la tension de
sortie du dtecteur dpasse ce seuil.
On utilise donc une boucle dasservissement non linaire ;
linformation acclration se prsente sous la forme dun certain
nombre dimpulsions dlivres durant une priode dtermine (on
parle ainsi, titre dexemple, de facteur dchelle de 400 impulsions
par seconde et par g ).
Suivant lapplication vise, les signaux appliqus aux bobinages
de rappel seront de formes diffrentes.
Le principal avantage de lasservissement numrique est de
pouvoir dlivrer une information directement utilisable par un
calculateur.
2 = 0 K + f 2 ( )
La diffrence des frquences 1 2 est approximativement
linaire :
1 2 = 2 K car f1 ( ) est peu diffrent de f2 ( )
Ces appareils, relativement simples de construction, ne
consomment pratiquement pas dnergie (environ 1,5 10 8 W pour
les deux oscillateurs associs aux transducteurs). Leur prcision
rivalise avec celle des meilleurs acclromtres dplacements
asservis. La stabilit du facteur dchelle, en particulier, est
excellente.
Un exemple de ralisation est dcrit sur la figure 13.
Les transducteurs force-frquence sont raliss au moyen de
processus photolithographique. Pour viter que lencastrement des
poutres de quartz ne dgrade leurs caractristiques de rsonateurs
(notamment facteur de surtension), on utilise des formes de poutres
qui peuvent tre parfois compliques. Les formes les plus simples
sont du type double diapason (figure 14) ou trilame.
Ces poutres travaillent gnralement sous vide pour minimiser
les pertes dnergie.
La sensibilit peut atteindre 10 5 m s2.
Les gammes dynamiques de mesure stendent, suivant le cas,
de quelques diximes de g plusieurs milliers de g.
La linarit et la stabilit du facteur dchelle avoisinent 10 6.
Un des inconvnients de ce type dacclromtre est une relative
fragilit en tenue aux vibrations. En effet, chaque couple form par
un transducteur force-frquence et la masse sismique associe
constitue un systme masse-ressort ayant une rsonance trs peu
amortie. On rduit linconvnient qui en rsulte soit en employant
divers dispositifs damortissement (films gazeux ou amortisseur
dynamique), soit en diminuant la valeur des masses sismiques, ce
qui diminue la sensibilit du capteur, mais augmente la frquence
de rsonance parasite hors des spectres rencontrs par ces appareils.
Des versions miniaturises sont actuellement tudies. Dans la
plupart des cas, la tendance est lutilisation du silicium comme
matriau de base.
Constructeurs : Kearfott, ONERA, SAGEM, Sundstrand Data
Control, Systron Donner, Switek.
R 1 812 11
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Figure 13 Acclromtre plat poutres vibrantes (SAGEM)

Figure 15 Acclromtre ondes de surface
Ltendue de mesure peut atteindre plus de 2 000 m s 2. La

prcision serait estime de 10 3 10 4 de la pleine chelle.
Constructeurs : Laboratoire de Physique et Mtrologie des
Oscillateurs LPMO (Besanon), Thomson.
Figure 14 Transducteur force-frquence de type double diapason
7.2 Acclromtres ondes de surface

Les capteurs ondes de surface sont constitus doscillateurs
obtenus en bouclant une ligne retard transducteurs de surface
interdigits, au moyen dun amplificateur oprationnel (figure 15).
Chaque transducteur est form de deux lectrodes mtalliques
en forme de peigne.
Les transducteurs permettent, grce au champ lectrique cr
par la tension alternative applique aux lectrodes, de gnrer des
ondes se dplaant la surface du substrat, ce dernier tant en
matriau pizolectrique (quartz, tantalate de lithium, etc.). Ces
ondes ont une longueur donde gale la distance sparant deux
lectrodes conscutives dun mme peigne. La frquence est plus
prcisment dfinie par le retard de la ligne.
Dans le cas des acclromtres, une masse dpreuve est lie au
substrat pizolectrique et dforme celui-ci en flexion, sous laction
dune acclration applique au capteur. Cette dformation
entrane une variation dimensionnelle de la ligne, entranant une
variation du retard et donc une variation de la frquence propre
de loscillateur dont la mesure quantifie lacclration applique.
Un des problmes lis ce type de capteurs concerne leur grande
sensibilit thermique. On tend combler cet handicap en utilisant
deux voies de mesure, lune au-dessus de la poutre, lautre en
dessous, de faon ce que les contraintes de tension et compression
antagonistes entranent des variations opposes de frquence. Le
facteur dchelle de lappareil est ainsi doubl, et ce mode diffrentiel
minimise les erreurs communes en temprature.
Ces acclromtres en sont au stade des tudes avances de
laboratoire, et dans le cas probable dun dveloppement, devraient
mener des capteurs de petites dimensions (volume infrieur
au cm3) et de faible cot, car raliss au moyen de procds collectifs
base de photolithographie.
R 1 812 12
8. Applications
8.1 Mesures de vibrations
Ces mesures constituent le domaine dapplication le plus vaste
des acclromtres. On choisira des appareils susceptibles de mesurer des acclrations priodiques, gnralement frquence et
intensit leves.
Les acclromtres jauges de contrainte ( 5.1), pizorsistifs
( 5.2), dtection optique par occultation et fibres optiques ( 5.4
et 5.5) satisfont ces conditions, surtout en basse frquence et pour
des mesures sans prcision importante.
Les acclromtres dtection capacitive ( 5.6) ont une bande
passante plus leve.
Les appareils pizolectriques ( 5.3) utilisables pour des
frquences leves conviennent galement cet emploi. Toutefois,
lorsquon dsire une trs bonne prcision, ou lorsquil faut mesurer
des acclrations trs faible frquence ou en continu, les capteurs
de type asservi ( 6) sont recommands.
Nota : se reporter larticle Vibrations des structures industrielles [R 3 140] dans le
prsent trait.
8.2 Mesures des acclrations

pour la navigation par inertie
La navigation inertielle est base sur le calcul des coordonnes
dun mobile partir, principalement, des mesures des composantes
des acclrations auxquelles il est soumis. Cette navigation requiert
des mesures trs prcises, par exemple de 0 10 g 105 g prs.
Cette mthode, universellement rpandue, permet de saffranchir
des mesures magntiques, optiques ou lectromagntiques
(navigation sous-marine, navigation polaire, astronautique, etc.).
_______________________________________________________________________________________________________________________
ACCLRATION
Un quipement standard de navigation inertielle comprend

habituellement trois acclromtres, ainsi que trois gyroscopes
comme rfrence dorientation.
La position du mobile et sa vitesse sont obtenues par intgration
des informations acclromtriques.
Les acclromtres convenant cette importante application
entrent dans la classe des acclromtres dplacements asservis
( 6) et des acclromtres poutres vibrantes ( 7). Cependant,
dans certains cas o une extrme prcision est requise, on emploie
des acclromtres intgrateurs ( 9.1).
8.3 Mesures gographiques

Les acclromtres destins principalement aux travaux
scientifiques portant sur la mesure de haute prcision de la gravit
et sur la dtermination des positions des repres trigonomtriques
doivent avoir une grande sensibilit ; mais ltendue de mesure est
faible, les acclrations objets de la mesure tant quasi constantes.
9. Acclromtres complexes
et capteurs intgrs
9.1 Acclromtre intgrateur
Cet appareil fournit la valeur de lacclration et en ralise aussitt
lintgration. Son application concerne principalement les besoins
de la navigation dite par inertie ( 8.2) o lacclration nest quune
tape donnant la vitesse qui, elle-mme intgre, fournit la valeur
du chemin parcouru. Cependant, lintgration est ici ralise par le
jeu mme de lagencement mcanique de lappareil et non par
lemploi dun dispositif intgrateur indpendant.
Le modle le plus rpandu de ce type de matriels et ayant
donn lieu diverses variantes est celui utilisant un gyroscope
balourd (figure 16).
Dans ces dispositifs, lagencement gnral est celui du gyroscope dit un degr de libert. Sa ralisation habituelle est celle
du gyroscope flottant.
Dans un cylindre flotteur pivotant autour de son axe XX se
trouve une toupie dont laxe YY est perpendiculaire XX .
Une masse de balourd m affecte lensemble du flotteur crant un
couple autour de XX , sous leffet dune acclration . Cela peut
tre obtenu en dcentrant la masse de la toupie, son centre de
gravit G tant distant de laxe XX de la quantit .
Sur la figure 16, laxe ZZ de sensibilit aux acclrations est
vertical. Une acclration soumet le flotteur un couple qui tend
le faire prcessionner (vitesse angulaire ) autour de laxe ZZ .
Les pivots suivant XX interdisant cette libert, ce couple agit sur
le flotteur comme si la toupie ne tournait pas et le met en rotation
autour de XX .
Cette rotation est dtecte et commande la rotation du gyroscope
autour de ZZ par le moyen du mcanisme M. La raction
gyroscopique agit alors en crant un couple de valeur H autour
de XX (H est le moment cintique de la toupie et la vitesse de
rotation autour de ZZ ) sopposant au couple de balourd m
prs et ramenant le flotteur dans sa position initiale ( est rductible des valeurs trs faibles par la perfection des excutions et
Figure 16 Acclromtre gyroscopique intgrateur
lemploi de circuits correcteurs). Dans cet appareil, on oppose au

couple de balourd le couple gyroscopique H , ce qui permet de
peser le balourd m .
Dans ces conditions, la vitesse est la mesure de
lacclration ; langle parcouru autour de ZZ traduit la
vitesse v du mobile. En effet, lgalit des couples scrit :
H = m
do par intgration :
H = mv
Constructeur : SAGEM.
9.2 Acclromtre angulaire

Cet appareil est conu pour mesurer lacclration angulaire de
mobiles tournants. On lemploie surtout en aronautique pour des
fonctions de contrle et de stabilisation.
Tous les acclromtres linaires peuvent thoriquement mesurer
des acclrations angulaires par le biais de phnomnes centrifuges
et de traitement du signal par drivation. Toutefois, il faut alors
employer deux appareils dj complexes pour obtenir une bonne
prcision.
Un des types les plus frquemment rencontrs est lacclromtre
angulaire fluide.
Dans ce capteur, la masse sismique est constitue par un fluide
enferm dans un anneau circulaire (figure 17). Ce senseur tant de
type asservi, on trouvera un ensemble comportant une vanne, lie
un systme de dtection de sa position angulaire et un moteur
couple de rappel.
Lorsquune acclration angulaire est applique au systme, la
masse de fluide tend dplacer la vanne mcanique de sa position
neutre, le dtecteur de position dlivre alors un signal, travers un
R 1 812 13
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Figure 17 Acclromtre angulaire Systron Donner
circuit lectronique gain lev, sur le moteur couple ; celui-ci

ramne la vanne en position mdiane. Le courant dans lenroulement
du moteur couple est la mesure de lacclration applique au
capteur.
Suivant les modles, la gamme des acclrations mesurables
stend de 0,1 rad/s2 200 rad/s2.
Constructeurs : Columbia (distribu par Mecaptelec), Systron
Donner.
9.3 Acclromtres multidirectionnels

Dans ces appareils, par ailleurs de principes classiques, la masse
sismique a la possibilit de se mouvoir suivant deux ou trois axes
orthogonaux, ou axes dentre.
La SAGEM a ainsi dvelopp un capteur deux axes, de type
lectromagntique asservi.
Le pendule, comportant quatre bobines de rappel et deux
systmes capacitifs de dtection, est reli aux pices fixes au moyen
dune articulation double charnire, assurant deux degrs de
libert. Cet appareil remplace ainsi deux acclromtres monoaxes
placs suivant deux directions orthogonales.
LONERA a dvelopp un acclromtre triaxial (figure 18) conu
pour une tude de gravimtrie sur satellite. La masse sismique
paralllpipdique est suspendue lectrostatiquement dans un
champ lectrostatique asservi au moyen dlectrodes planes.
Ce systme permet la dtection capacitive des dplacements de
la masse dpreuve ainsi que lapplication de forces lectrostatiques
de recentrage, chaque face de la masse sismique formant, avec les
lectrodes en regard, les armatures de condensateurs.
noter quil ny a pas de charnire dans lappareil, les forces de
rappel, agissant suivant trois axes orthogonaux, permettant une
parfaite lvitation de la masse dpreuve.
Par un traitement appropri des signaux de sortie, on peut
mesurer lacclration applique au capteur suivant une direction
quelconque (acclromtre pluridirectionnel).
Le principal avantage de ces capteurs pluridirectionnels est le gain
de place, apprci dans le cur des centrales inertielles. On notera
cependant quen moyenne les performances sont dgrades par
rapport aux capteurs uniques (de 20 50 %).
Constructeurs : SAGEM, SFIM, ONERA.
R 1 812 14
Figure 18 Acclromtre triaxial ONERA
9.4 Microacclromtres.
Acclromtres intgrs
Une nouvelle gnration de capteurs acclromtriques est
apparue au cours des annes 80. Elle comprend des acclromtres
fabriqus suivant des processus utiliss en microlectronique. Le
matriau de base est le plus souvent du silicium, quelquefois du
quartz, sous forme de wafer (plaquette).
Les formes des pices sont obtenues au moyen de
photomasquages et dusinages chimiques, ioniques, slectifs (ou
autres techniques de photolithographie).
Ces procds de fabrication sont de type collectif et, suivant les
dimensions, on peut obtenir jusqu plusieurs centaines de pices
sur un mme substrat (dimensions actuelles maximales 3 3,
soit 7,5 cm 7,5 cm).
On peut classer ces capteurs microniques en deux catgories :
les capteurs miniatures : ces appareils font appel aux microtechnologies et leurs dimensions sont millimtriques ; les diffrentes
pices constituant la cellule dtectrice (gnralement 2 ou 3) sont
assembles par adhrence thermolectrique, voire par collage ;
les capteurs subminiatures : ces senseurs font appel aux
nanotechnologies et les dimensions sont submillimtriques ; au
moyen de techniques trs sophistiques, lappareil au complet est
usin dans un mme substrat de silicium.
Pour ces deux catgories dacclromtres, les circuits
lectroniques, associs, le plus souvent en boucle ouverte, ont un
encombrement trs suprieur celui de la cellule mcanique.
Cependant, en ce qui concerne les capteurs subminiatures, la
tendance est dincorporer, sur le mme substrat de silicium, cellule
mcanique et circuit lectronique associs. On obtient ainsi des
acclromtres intgrs.
titre dexemples, les figures 19 et 20 reprsentent deux types
dacclromtres miniaturiss. Sur la figure 19, lacclromtre trs
miniaturis (dimensions : quelques millimtres) est ralis en trois
parties thermoadhrentes. Les espaces interlectrodes sont de
quelques micromtres.
La figure 20 reprsente un acclromtre extra-plat et monobloc. La ralisation est un peigne, le rappel lectromagntique
(aimants non reprsents) et la dtection capacitive [6].
La socit Analog Devices (tats-Unis) prsente un capteur
lectrostatique de type interdigit, en silicium, avec limplantation
de tout le circuit lectronique sur le mme substrat (figure 21).
_______________________________________________________________________________________________________________________
ACCLRATION
Les principes physiques rgissant le fonctionnement de ces

appareils sont par ailleurs tout fait classiques ; le senseur, en
principe du type pendulaire, est toujours bas sur la loi f = m . La
dtection est du type capacitif ou jauges de contrainte.
Les avantages de ces microstructures sont les suivants :
bas cot (grce aux procds de fabrication en mode collectif),
ce qui permet lutilisation pour le secteur automobile (scurit active
et passive des vhicules) ;
solidit, fiabilit ;
petite taille permettant laccs des domaines particuliers
(mdecine, biologie).
Les prcisions actuelles sont encore moyennes (entre 10 2
et 10 3 de la pleine chelle).
Constructeurs : Analog Devices, CSEM (Centre Suisse dlectronique et de Microtechnique), Delco (USA), ENDEVCO, ESIEE (cole
suprieure dingnieurs en lectrotechnique et lectronique),
Honey-well, IC Sensors, SAGEM, Sextant Avionique, STC (UK),
Vectavib.
Figure 19 Acclromtre capacitif miniature en silicium (doc. CSEM)
Figure 20 Capteur micro-usin sur quartz (version en boucle ferme) (doc. Sextant Avionique, LETI)
R 1 812 15
ACCLRATION ________________________________________________________________________________________________________________________
Figure 21 Acclromtre micro-usin Analog Devices
R 1 812 16
P
O
U
R
Acclration
par
E
N
Alain DEVAL
Ingnieur Civil de lAronautique
Directeur Technique Adjoint de la SAGEM
Yvon AMAND
et
Ingnieur de Recherche, SAGEM
Bibliographie
Ouvrages gnraux
[1]
[2]
[3]
[4]
[7]
ASCH (G.) et coll. Les capteurs en instrumentation industrielle. 2e d., Dunod (1991).
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Capteurs. Tome 1 : Pression. Acclration.
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Essais dvaluation. Mthodes et procdures.
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ROBERT (P.) et CABARET (P.). Micro-usinage
sur quartz appliqu un capteur
acclro mtrique. RGE, n o 10, p. 118,
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BOURA (A.), AUJAY (O.) et BOST (J.L.). A

small-sized, low cost, solid-state
accelerometer development of the AQM
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6-81
talonnage des acclromtres. talonnage en

continu.
NF E 90-152
9-83
Fixation mcanique des acclromtres.
Doc. R 1 812
7 - 1992
E 90-150
Toute reproduction sans autorisation du Centre franais dexploitation du droit de copie

est strictement interdite. Techniques de lIngnieur, trait Mesures et Contrle
Doc. R 1 812 1
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P
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Acclration

Ingnieur de Recherche, SAGEM

Acclration due au champ de gravitation. Dfinition de g .......

Principe des mesures. Classification .................................................

Acclromtres non asservis ...............................................................

Acclromtres dplacements asservis.........................................

Acclromtres poutres vibrantes et ondes de surface ........

Acclromtres complexes et capteurs intgrs ...........................

Pour en savoir plus...........................................................................................

1.1 Vecteur acclration

tout point M en mouvement par rapport un repre (R ), on

reprsente la drive par rapport labscisse

est le vecteur unitaire de la direction daxe normal

curviligne s du vecteur unitaire tangent ,

O tant un point fixe dans (R ).

(M, t ) sera not, par simplification, J dans la suite.

vecteur unitaire tangent ,

1.2 Acclration tangentielle,

(scalaire positif) est le rayon de courbure en M de la

Figure 1 Dcomposition de lacclration

est le vecteur dacclration normale ;

Figure 2 Mouvement circulaire

Cette acclration, porte par la tangente MT, peut tre dirige

1.3 Mouvement rectiligne

1.4 Mouvement circulaire.

Cette acclration est dirige vers O sur la normale MO.

1.5 Petits mouvements, vibrations

est la projection sur un axe dun mouvement circulaire uniforme o

1.6 Composition des acclrations.

( M S ) dite acclration dentranement

enfin le solide (S ) prsente une rotation instantane linstant t par

Dans ces conditions, le point M prsente par rapport au

Sa valeur est la somme des trois termes suivants :

lacclration relative qui est celle subie par M dans son

lacclration dite complmentaire ou de Coriolis qui

instantane dfini plus haut, S , avec le vecteur vitesse relative

Dans le systme de rfrence (g ), les axes Ox Oy Oz sont orients

La composition des acclrations scrit :

Application au mouvement dun point la surface de la Terre.

Dans ces conditions, le systme (T ) li la Terre sera dfini par

Figure 3 Mouvement dun point la surface de la Terre

Le point mobile M est galement situ sur le parallle L de

la latitude , le vecteur T a pour composantes, dans le

En connaissant la vitesse de M exprime dans le repre

Lacclration dentranement (note Je sur la figure 3) a pour

poids de lobjet ponctuel ;

Exprimer une acclration en nombre de g revient exprimer la

On emploie le radian par seconde carre (rad/s2) et le tour par

qui donne ici (figure 3b ) :

2.2 Units dacclration angulaire

Le centimtre par seconde carre (cm /s2) est lunit CGS. On

Cette acclration se dcompose suivant les axes du systme (D )

Exemple : un calcul simple montre que, pour une vitesse de

3. Acclration due au champ

4. Principe des mesures.

On ne procde quexceptionnellement et dans des dispositifs

Mais la mesure la plus couramment employe est une mesure

4.2 Classification des acclromtres

est proportionnelle lacclration :

On se heurte l au compromis classique entre rapidit et prcision,

4.2.2 Acclromtres dplacements asservis

4.2.3 Acclromtres poutres vibrantes

4.2.4 Classification suivant lemploi projet

Figure 4 Exemple dlment engendrant une force