Technique moderne de mesure

de pression: Capteurs de
pression diffrentiels
- Une notion polysmique -
La technique de mesure de pression a adopt plusieurs termes dsignant des
mthodes de mesure physiquement diffrentes. Au rang de ces mthodes figurent la
mesure de la pression absolue, la mesure de la pression relative et la mesure de la
pression diffrentielle. Le fait que notamment la notion de mesure de la pression
diffrentielle couvre diffrentes situations, reste ce jour inconnu de nombreux
utilisateurs. A l'aide de l'exemple des capteurs pizorsistifs, le prsent article explique
ces termes. On y dcrit notamment une version souvent employe et appele par
AMSYS [1] capteur de pression diffrentielle bidirectionnelle.

Disposition de base pour la mesure de pression diffrentielle

Illustration 1 : Le principe de la mesure de pression diffrentielle, au-dessus la mesure

de pression diffrentielle, au-dessous la mesure de pression diffrentielle
bidirectionnelle

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Mesure de la pression diffrentielle a laide dun capteur au silicium

P1
Bote plastique

Gel de protection Glob Top

Contacts

ASIC Bote plastique

Fil de connexion
Fil de connexion
P2
Cellule de mesure P1 Pressuion 1
de pression
P2 Pression 2

Illustration 2: Conception gnrale d'un capteur pizorsistif diffrentiel

La mesure de la pression diffrentielle consiste comparer deux pressions P1 et P2
exerces de l'extrieur sur le botier (voir illustration 2) de part et d'autre du capteur (voir
illustration 3). Par consquent : P1 P2 ou l'inverse P1 P2.
P1 P1 P1

Membrane Membrane Membrane

Silicium Silicium Silicium

Pyrex Pyrex Pyrex

P2 P2 P2
P1 = P2 P1 P 2 P1 P 2

Illustration 3: Comportement de la membrane de la cellule de mesure a

silicium lors d'une mesure de la pression diffrentielle aux conditions : P1
= P2, P1 < P2 und P1 > P2

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L'illustration 3 schmatise la dformation de la membrane de la cellule de mesure de la

pression diffrentielle en cas des conditions diffrents.
Pour des raisons expliques plus loin dans le texte, la plupart des capteurs de pression
diffrentielle ne peuvent traiter qu'un seul condition, soit P1/P2 1 ou P1/P2 1. Par
consquent, les capteurs auxquels s'applique cette rgle sont gnralement qualifis de
capteurs de mesure de pression diffrentielle.
Par consquent, pour les capteurs de pression dont la membrane a t optimise pour
une plage de pression, on applique de surcrot la condition savoir P1-P2 Pmax ou bien
P2-P1 Pmax. Il ne faut toutefois pas oublier que Pmax, la pression maximale admissible est
limite et spcifie par la technologie de la cellule de mesure.
Outre cette limitation par la pression maximale Pmax, il existe encore une condition dont il
faudra tenir compte suivant l'application. Il s'agit de la rsistance la pression du botier
contre la pression commune applique sur les raccords du botier. Cela signifie que P1 et
P2 ne doivent pas dpasser une certaine valeur par rapport la diffrence entre la
pression externe et interne. AMSYS qualifie cette valeur de pression systme maximale ou
pression common mode Psystem.
Exemple :Pmax = 20mbar, P1 = 10,01bar et P2 = 10bar.
P1-P2 = 10,01bar -10bar = 10mbar < Pmax, Si par sa construction le botier est conu pour
une pression de systme de maxi.5bar, aux deux entres on applique avec P1 et P2 une
pression de 5bar de plus quil est admis, ce qui peut le cas chant provoquer la
destruction du capteur.
Cela signifie quune condition ultrieure sera respecter : P1, P2 PSYSTEME

La question savoir si P1/P2 1 ou P1/P2 1 sont dtermins, connat une importance

non ngligeable sous l'aspect de la rsistance contre les liquides pour la structure des
capteurs de pression AMSYS.
En dtail : la face suprieure de la membrane est munie de petites surfaces de contact
mtalliques (plages de connexion en aluminium de grande puret) qui ne rsistent pas la
corrosion. En gnral, elles sont protges par une couche en gel de silicone. Puisqu'il
n'existe que des gels protection plus ou moine slective, il est impossible de garantir une
protection universelle. Il faudra donc veiller ce que les capteurs prvus soient protgs
contre les milieux de contacts ayant probablement un effet corrosif.
Le dos des capteurs de pression au silicium (dans le cas de l'exemple les AMS 4711 [2] il
s'agit de verre, oxyde de silicium et cramique) est trs rsistant aux milieux par rapport
la surface suprieure cause des plages de connexion en aluminium manquantes. Il est
par consquent souvent conseill d'appliquer les milieux ou liquides critiques du ct
infrieur des cellules de mesure, ce qui est prendre en considration lors du choix des
capteurs par rapport leur scurit d'application.

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Traitement de signaux
Vu que les capteurs de pression au silicium gnrent avec un pont de Wheatstone un
signal diffrentiel d'env. 150mV au maxi (dpendant de la sensibilit de la membrane)
comme signal pleine chelle, il est ncessaire d'installer un amplificateur
d'instrumentation afin de pouvoir traiter les signaux. Cet amplificateur renforce le signal
avec un faible dcalage et une drive afin de permettre un traitement sans problmes.
Dans l'tape suivante de conversion asymtrique le signal diffrentiel est rapport un
potentiel dtermin. En gnral, on slectionne le point zro comme valeur de rfrence,
de sorte que pour les cellules de mesure diffrentielles (dans le cas idal disposant des
mmes rsistances) on mesure la valeur 0V comme signal de sortie sans exercer une
pression. Lors du traitement des signaux suivants, cette valeur est soit digitalise et
calibre soit mise au point zro souhait en Volt ou mA l'aide d'un tage de sortie de
tension ou de courant. A l'exemple du capteur AMS 4712 [3] cette valeur est p. ex. 4mA.
V S (p.ex. 5Volt)

IO U T = f ( P1 -P2 )

V IN + U
+
IO U T
V IN - I

Amplificateur Etage de
dinstrumentation sortie

Illustration 4 : Electronique pour le traitement de signaux avec tage de sortie analogique

Si l'amplificateur d'instrumentation est dimensionn de faon ne pouvoir amplifier que
des tensions d'entre positives et si son entre positive on applique la tension plus
leve, alors on obtient la caractristique de transfert en illustration 5 avec P1>P2.

Signal de sortie IO UT

Im ax
20m A

Im in P
4mA P 1 = P2 P1max

Illustration 5 : Caractristique de transfert avec signal d'entre positif p.ex. AMS 4712

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Signal d'entre
Si la valeur sur l'entre de l'amplificateur est ngative (p.ex. V(P1) < V(P2) dans le cas
d'une lectronique conue pour le cas P1 P2 ou s'il existe un dcalage ngatif (p.ex.
dcalage amplificateur), alors le signal de sortie du capteur indiquera zro ou une valeur
correspondant zro (par exemple 4mA), jusqu' ce que le signal d'entre remplisse la
condition V(P1) V(P2), jusqu' ce que donc le signal entre soit suprieur ou gal la
valeur du dcalage ngative.

Signal de sortie IOU T

Im ax
20m A

Non-linarit apparente
Im in
P
4mA P1 P2 P1 = P 2 P 1m ax
Plage du dcalage ngatif

Illustration 6 : Caractristique de transfert avec signal d'entre ngatif ou P1<P2

L'utilisateur percevra p.ex. le dcalage ngatif existant sur l'entre de l'amplificateur se

prsentant dans la caractristique de transfert de l'illustration 6 comme s'il y avait un
dcalage, ce qui peut tre considr comme non-linarit en cas d'une mesure deux
positions. Ce dcalage (signal d'entre ngatif) doit tre pris en compte et corrig par le
systme lectronique de dtection. Cela signifie que la qualit du signal de sortie du
capteur dpend de la polarit du signal de la cellule de mesure et des caractristiques de
l'lectronique d'amplification.

Capteurs diffrentiels bidirectionnels

Outre les applications il existe des exigences pratiques pour lesquelles les deux conditions
P1 P2 aussi bien que P1 P2 sont requises dans un mme systme de pression (p.ex.
pour la ventilation et l'aration, le contrle de niveau de liquides divers, les fonctions
inspiratoires et expiratoires etc.). Cette tche de mesure ne pourrait pas tre rsolue avec
les techniques de mesures diffrentielles dcrites ci-dessus.

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pression diffrentiels
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Comme il n'existe pas de terminologie officielle consacre pour ce genre de capteurs de
mesure de pression diffrentielle, AMSYS les qualifie de capteurs de pression diffrentielle
bidirectionnels. Ils mesurent la diffrence entre deux pressions, qu'il s'agisse de pression
positive ou de dpression.

Signal de sortie I OU T

20mA

12 mA
P1min P1 = P2 P1max

4mA

Illustration 7 : Caractristiques de transfert d'un capteur de pression diffrentiel

bidirectionnel

La pression diffrentielle mesure par ces capteurs peut avoir un signe positif ou ngatif.
Par consquent, la pression P1 exerce sur la tubulure de la face suprieure de la cellule
peut tre plus leve ou plus faible que la pression P2 exerce sur la tubulure situe de
l'autre ct de la cellule et le signe peut donc varier pendant la mesure. Par consquent, la
condition suivante s'applique aux pressions P1 et P2 sur la tubulure :

Pmin P1 - P2 Pmax avec comme condition P1 , P2 PSystem

Dans la formule ci-dessus, Pmax correspond la pression finale positive maximale et Pmin
la pression finale ngative minimale des plages de mesure pour lesquelles les capteurs
ont t rgls. Psystem correspond la pression maximale exerce que peut supporter le
systme, par rapport la pression comune, exerce par l'extrieur sur le botier.

Les mesures diffrentielles bidirectionnelles ne sont ralisables qu' partir du moment o

le capteur remplit deux conditions.

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a) Le comportement de la structure de la membrane doit tre symtrique pour
permettre une dformation gale dans les deux directions et
b) Le comportement de transfert du systme lectronique li au point zro doit tre
adapt la plage d'amplification.

En ce qui concerne a), la membrane d'un capteur pizorsistif est constitue d'une fine
couche de semi-conducteur en strates (quelques micromtres). Outre la couche de
silicium en elle-mme, il s'agit en rgle gnrale d'une couche d'oxyde et de passivation.
C'est pourquoi, le comportement de la membrane pourra dpendre de la direction de la
pression. Au pire des cas, l'inversion de la direction peut mener un effet de bombage.
Les fabricants de cellules au silicium utilises pour la mesure de la pression diffrentielle
bidirectionnelle doivent donc garantir un comportement symtrique de la membrane que la
pression soit positive ou ngative.

En ce qui concerne b), le transfert des caractristiques schmatis dans l'illustration 7

ncessite un systme lectronique au niveau de l'amplificateur dont la rfrence ne doit
pas se rapporter pas au potentiel zro mais 50% de la valeur pleine chelle. A titre
d'exemple : le signal la sortie du capteur doit tre de 420mA , par consquent le point
zro de la version bidirectionnelle est fix 12mA de faon ce que pour P1 P2 le signal
s'lve de 4..12mA et que pour P1 P2 la plage aille de 12..20mA.

Rsum

Les capteurs de pression diffrentiels mesurent la diffrence entre deux pressions. On

distingue une mesure de pression diffrentielle dont les conditions de pression restent
invaries. Par consquent : la pression sur une tubulure est toujours suprieure/gale la
pression sur l'autre tubulure. La mesure d'une pression diffrentielle permettant des
surpressions aussi bien que les dpressions, est appele mesure de pression diffrentielle
bidirectionnelle comme dcrit dans l'article prcdent.
En outre explique-t-on que suivant ses applications, il faudra observer certaines conditions
lors du choix des capteurs de pression diffrentiels.

En savoir plus :
[1] Site internet : http://www.amsys-sensor.com/info/news.htm
[2] Fiche technique AMS 4711 : http://www.amsys-sensor.com/sheets/amsys.en.ams4711_e.pdf
[3] Fiche technique AMS 4712 : http://www.amsys-sensor.com/sheets/amsys.en.ams4712_e.pdf

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