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La prcision nanomtrique faible cot avec TriNano

Le cot de la qute dincertitude la plus faible possible pour mesurer des objets de plus en plus petits augmente de faon exponentielle avec la miniaturisation. TriNano propose une solution plus prcise et moins chre par rapport ltat de lart.
fixe (palpeur). La table se dplace dans trois directions au moyen de trois plateaux de translation linaire identiques. Ces plateaux sont placs de manire orthogonale et en parallle (comme un tripode). Sur chaque plateau linaire, on a fix l'chelle gradue Engineering BV (Pays-Bas) d'un codeur linaire optique. tant donn note cependant que "dans que l'orientation de l'chelle gradue ne la majorit des cas, les varie pas par rapport la sonde, la machine pices produites en micro- TriNano respecte le principe d'Abbe sur fabrication, nexigent pas toute sa plage de mesure. On voit en effet davoir une grande plage de sur les schmas que la pointe de la sonde mesure. En effet, la plupart est toujours situe l'intersection des axes TriNano est une nouvelle machine de de ces objets ont des dimensions de quelques de mesure des codeurs. mesure de micro-coordonnes destine centimtres (pices micromcaniques, lentilles, Outre les conomies de cot videntes mesurer en 3D des objets dont les dimen- platines de montres, petits engrenages). qui dcoulent de la fabrication de trois sions vont du millimtre quelques centi- Pour mesurer ces petites pices avec une axes identiques, cette configuration permtres, avec une prcision nanomtrique. extrme prcision, nous avons dcid de crer met des mesures rapides grce son Les Machines de Mesure Tridimensionnelle une machine de mesure CMM plus rapide et excellent comportement dynamique. De plus, le fait de respecter le principe d'Abbe (CMM) existantes, respectent le principe plus conomique". en 3D permet de rduire considrabled'Abbe en 2D voire en 3D, ce principe ment les erreurs non rptables et permet tant une des mthodes privilgies pour Des mesures atteindre une incertitude nanomtrique. qui respectent le principe dAbbe une machine TriNano N100 d'atteindre une incertitude en 3D de 100 nanomtres La plupart de ces machines de mesure sur toute sa plage de mesure. La TriNano sont l'aboutissement de recherches complexes, dans le cadre desquelles le dfi Pour atteindre une incertitude de l'ordre est conue pour tre utilise avec une consiste obtenir l'incertitude la plus du nanomtre tout en conservant le carac- large gamme de capteurs. Dans la confifaible sur une grande plage de mesure. Il tre conomique des machines CMM, un guration standard, la TriNano sera fourni en rsulte que ce sont des systmes tech- nouveau principe de fonctionnement a avec un systme Gannen XM sondage. Ce niquement complexes et coteux. donc t mis au point. Ce principe utilise Gannen XM est un systme 3D fourni par Ernst Treffers, directeur du dveloppe- une table porte-pice mobile supporte Xpress Precision Engineering. Il est adapt ment commercial de Xpress Precision par des paliers air (VPL) et une sonde pour mesurer les caractristiques de taille sub-micromtrique avec l'incertitude du Sonde nanomtre. Axe Enfin, la TriNano est conue de telle sorte de mesure Palier air VPL Table quelle exclut lusage de matriaux trs Charnire porte-pice lastique faible coefficient de dilatation thermique Tte Echelle gradue du codeur (en gnral coteux). Ce qui a pour consdu codeur quence de gnrer une rduction des prix pouvant atteindre 50 % par rapport des dispositifs MMT ultra prcision classiques.
Principe de fonctionnement schmatique en 2D. gauche, la table porte-pice est en position neutre. droite, elle vient d'effectuer une translation dans le sens y. Source : Trinano La machine TriNano utilise une table porte-pice mobile afin de respecter le principe d'Abbe en 3D. Source : Trinano

Yann Clavel
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