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TABLE DE MATIERES
CHAPITRE I
GENERALITES 18
CHAPITRE II
METHODES D ELABORATION 44
CHAPITRE III
TECHNIQUES DE CARACTERISATION 55
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INTRODUCTION
La consommation d’énergie est de plus en plus croissante dans les villes, alors que la
réserve de carburant (pétrole, gaz, charbon, etc...) dans le monde entier peut être épuisée entre
2020 et 2060. Les sources d'énergies renouvelables sont nécessaires pour maintenir les types
de consommations d'énergies auxquels les gens se sont habitués, ces sources énergétiques
telles que la puissance de vent, l'énergie hydroélectrique et l'énergie solaire sont disponibles.
La conversion de la lumière du soleil en électricité est aisément disponible par
l'utilisation des cellules solaires. Plusieurs types de cellules solaires existent aujourd'hui, les
principaux matériaux étant le silicium cristallin (c-Si), le silicium amorphe (a-Si), le gallium-
arséniure (GaAs) cristallin, le cuivre-indium-gallium-disellenide (CuInGaS2) polycristallin, et
le cadmium-tellurure (CdTe) polycristallin.
Les propriétés uniques de CdTe lui font un matériau idéal pour plusieurs applications:
cellules photovoltaïques, détecteurs nucléaires, modulateurs électro-optiques de rendement
élevé et dispositifs photo réfractive. Ce matériau peut montrer les deux types de conductivités
n et p, qui fait la technologie de diode et les transistors à effet de champ. Les semi-
magnetiques à base de CdTe, comme CdMnTe, montrent des propriétés extrêmement
passionnantes qui jusqu’à maintenant n'ont pas été complètement exploitées. Le CdTe est un
composant d’alliage ternaire CdHgTe, qui est l’un des matériaux industriels principaux pour
la détection infrarouge. Le CdZnTe est employé comme substrat pour le dépôt épitaxie des
couches de HgCdTe, et en tant que détecteur nucléaire, ce qui représente une application d’un
énorme potentiel principalement pour des buts médicaux.
Les propriétés des cellules solaires à base de CdTe sont limitées, en particulier en
raison de la nature polycristalline puisque les joints de grains sont des régions de désordres,
caractérisé par la présence d’un grand nombre des états défauts due à la rupture des liaisons
atomiques et à la ségrégation des impuretés, ces états pièges fonctionnent comme des pièges
effectifs des porteurs de charges ; Ceci conduit à l’apparition d’une barrière de potentiel ce
qui empêche l’écoulement des porteurs majoritaires est minoritaires depuis un grain à un autre
ce qui est cause de la perte d’électricité, alors il affect les propriétés électriques et optiques du
matériau.
Il faut préciser que ces matériaux II-VI, tout en présentant de nombreuses possibilités
d’applications, posent néanmoins un certain nombre de problèmes lors de l’élaboration et des
traitements. D’un point de vue métallurgique, les lingots sont loin d’être aussi facilement
produits ou tirés que le Si, Ge ou GaAs, et ceci provient essentiellement de plusieurs
paramètres physiques :
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Ces éléments influent sur leurs propriétés optiques et électroniques qui peuvent être
irrémédiablement dégradées. En effet lors du tirage du CdTe ou CZT, présente la difficulté
d’obtenir de bons cristaux à cause de la présence de mâcles, de précipités de Te, Cd ou Zn, et
de nombreux joints de grains. D’un point de vue électrique, il présente des résistivités basses
dues à la présence de lacunes de Cd et de nombreux défauts complexes engendrés par les
défauts structurels qui dégradent les propriétés électroniques du matériau (µτ, ρ,…). Il est
néanmoins possible de remédier à certains de ces problèmes lors du tirage mais le coût en
temps et moyens est apparu assez lourd, tandis que la méthode d’un tirage classique, suivie
par des traitements thermiques et chimiques s’avère plus judicieuse.
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GENERALITES
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I. 1. Structure cristalline
Tous les composés MN peuvent former des cristaux de la même structure que la
blende ZnS (fig. I-1). Le groupe spatial de ce composé est F 4 3m. Chaque maille élémentaire
comporte quatre molécules de ZnS, dont les atomes occupent des positions bien déterminées,
définies par les coordonnées suivantes :
- Quatre atomes de S dans les positions : (0, 0, 0); (0, 1/2, 1/2); (1/2, 0, 1/2); (1/2, 1/2, 0).
- Quatre atomes de Zn dans les positions : (1/4,1/4,1/4); (1/4,3/4,3/4); (3/4,1/4,3/4);
(3/4,3/4,1/4).
Tout atome d'une espèce possède un entourage de 4 atomes de l'autre espèce placés aux
sommets d'un tétraèdre régulier, se trouvent à une distance (√3/4) x a. Tout atome à un
entourage de 12 atomes de la même espèce dans la deuxième sphère de coordination ; ces
derniers sont à une distance de (1/√2) x a de l'atome considéré.
b) Structure de la wurtzite
Les composés II-VI peuvent former des cristaux ayant la structure de la wurtzite qui est la
variété hexagonale de ZnS ou du zincate (ZnO).
La figure (I-2) illustre la répartition des atomes métalliques (M) et non-métalliques (N) dans
la structure de la wurtzite.
Le groupe spacial de cette structure est P63mc. Chaque maille élémentaire comporte deux
molécules de ZnS, les deux atomes de Zn occupent les positions (2/3, 1/3, 1/8) et (0, 0, 5/8);
et les deux atomes de S occupent les positions (0, 0, 0) et (2/3, 1/3, 1/2) avec u = a/c ≈ (3/8)1/2.
Chaque atome Zn est lié à quatre atomes S disposés aux sommets d'un tétraèdre.
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Autour de chaque atome on trouve 12 voisins de la 2éme sphère de coordination. Il existe une
corrélation étroite entre les structures de la blende et de la wurtzite figure (I-3) qui permet
d'établir une relation précise entre les paramètres de la maille élémentaire du réseau
hexagonale et ceux de la variété cubique du même composé :
a (hexagonal) =√2 x 1/2 x a (cubique) = (1/√2) x a (cubique).
c (hexagonal) =2 x √3/3 x a (cubique) = 2/√3 x a (cubique).
Les composés II-VI se caractérisent par des points de fusion relativement élevés et des
pressions de vapeur plus petites ceci est du à la différence des propriétés de leurs éléments
constituant ; ces matériaux se dissocient par augmentation de température selon l'équation
d'équilibre générale:
n MN (sol) = nM (gaz) + nN (gaz)
Des recherches ont permis d'établir que la phase gazeuse est composée d'atomes et de
molécules des éléments constituants, et que la vapeur des éléments du groupe VI est
essentiellement composée des molécules diatomiques. Les pressions de vapeur partielles des
constituants M(II) et N(VI) sont reliées entre elles par l'équation :
KP = PM nPNn
Où KP est la constante d'équilibre de la réaction.
1. 3. 1. Propriétés cristallographiques
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Ce groupe ponctuel comporte donc au total 24 opérations de symétrie, que se soit translation
autour d’un axe ou inversion par rapport à un point, laissent la structure cristalline de CdTe
invariante.
La figure (Fig. I-5) présente le modèle atomique de la structure blende de Zinc ; Les surfaces
(111) terminées par les atomes du groupe II (Cd) sont désignées par surfaces (111) ou
surfaces A, et celles terminées par les atomes du groupe VI (Te) sont désignées par surfaces
(1 -1 -1) ou surfaces B.
La structure Sphalérite n’a pas de centre de symétrie, ce qui confère au matériau une polarité
cristallographique le long de l’axe [111] et entraîne de ce fait une variation des propriétés
physiques et chimiques des faces (111) et (-1-1-1).
Le CdTe possède une des plus fortes ionicités des composés II-VI qui est estimée à environ
72% , ce qui conduit à supposer un renforcement des concentrations en défauts natifs, favorisé
notamment par la présence de charges électriques aux différents sites atomiques. Un rôle
important est généralement attribué à ces défauts intrinsèques dans les phénomènes
d’autocompensation des matériaux de cette famille.
Figure I-3 : La structure blende de Zinc vue à partir de la normal à la direction [111]
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Figure I-4:
4: Diagramme de phase en fonction de fraction
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Dès 1911, Kobayashi a développé les premières recherches sur CdTe, en traçant les
grandes lignes du diagramme de phase. Appel, Jenny et Bube ont établi les propriétés de la
semi-conductrice et donc effectué une étude approfondie du diagramme de phase. La thèse de
Nobel publiée en 1959 a mis en évidence l’importance des défauts natifs et les a corrélés avec
les propriétés électriques du matériau. Ces défauts natifs engendrés par les écarts à la
stoechiométrie et plus particulièrement les lacunes de cadmium sont désormais reconnus. Ces
dernières décennies, des améliorations sensibles des techniques de mesures et de la pureté des
composants utilisés ont été réalisées. Les conditions d’équilibre de CdTe ont été publiées par
Greenberg et Brebrick, surtout en ce qui concerne le domaine d’homogénéité côté tellure du
diagramme (T-x) (figure I-4), montrées aussi par Peters et al. Le diagramme est semblable à
celui d’autres semi-conducteurs II-VI. La contribution de la liaison ionique très forte de ces
matériaux révèle l’angle aigu formé par le liquidus au point de fusion maximale. Remarquons
que le liquidus est dissymétrique par rapport à l’axe de x =50%. Ce diagramme est du type
« eutectique déporté » et ne comporte qu’un seul composé défini à 50% de Te qui fond à
1092°C. Le type de la liaison chimique de CdTe a engendré un mélange à une température
légèrement supérieure au point de fusion. Rodolphe et al ont lié ce problème de surfusion
rencontré dans la cristallogenèse de CdTe à l’existence des agrégats dans le liquide.
Domaine du Solidus
Le domaine d’existence d’un matériau c’est à dire le Solidus et sa forme déterminent
en grande partie ses propriétés électriques, or celui de CdTe est très étroit et en plus il
présente des lignes de solubilité rétrograde qui en fait une boucle, contrairement aux autres
binaires où l’on a une boucle ouverte. Son domaine d’extension est sujet à controverse, car
étant donné la faible valeur de solubilité du Cd et du Te dans la matrice de CdTe, il n’était pas
évident d’avoir un tracé précis du diagramme de phase. Ainsi le Solidus, tracé par Greenberg
et d’autres, est contesté par Ivanov qui a trouvé 3 boucles (α β γ) au lieu d’une seule. Il
explique ainsi la difficulté d’obtenir un monocristal de CdTe par les méthodes de croissance
classique, de plus le point de fusion congruente n’est pas situé au milieu mais du côté riche en
Te. Tout cela signifie que le cristal tiré et refroidi lentement présentera des inclusions de Te
ou de Cd suivant le côté du diagramme où se situe le refroidissement car lors de cette étape, et
vu la forme rétrograde du solidus, la matrice de CdTe solide retiendra l’élément en excès dans
le liquide au lieu de le rejeter ; ceci a été mis en évidence pour les cristaux tirés par THM
(Travelling Heater Method) et par la méthode Bridgman.
Cette originalité thermodynamique se révèle très gênante pour obtenir des monocristaux
uniformes nécessaires à certaines applications comme les détecteurs nucléaires ou les
substrats pour les détecteurs infrarouges.
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Les mesures de spectrométrie de masse ont montré que la molécule de CdTe n’existait
pas en phase gazeuse. Seuls les espèces Cd et Tei (i = 1 à 7) existent dans l’atmosphère en
équilibre avec le solide de CdTe. Le diagramme (P-T) (figure I-5) ne fait apparaître que les
éléments Cd et Te2. Ce diagramme représente la synthèse des travaux de Nobel, Brebrick et
Strauss, Jordan et Zupp et Greenberg. Le Cd ayant une pression de vapeur saturante élevée,
celle-ci peut atteindre des valeurs élevées à la température de fusion de CdTe, largement plus
importantes que celles de Te, ce qui implique qu’il est difficile de réaliser des tirages de
cristaux de composition stoechiométrique en creuset ouvert, d’autant plus que ceci favorise
l’évaporation ou la sublimation de Cd, source de défauts connus sous le nom de lacunes de Cd
(VCd), la seule méthode possible est alors le tirage en atmosphère confinée, ce qui nécessite un
tirage en ampoule de quartz scellée avec contrôle de pression partielle de Cd de préférence.
La base pour comprendre la nature électronique des cristaux simples de CdTe a été révélée la
première fois par D. A. Jenny et col en 1950. Le rapport entre les équilibres de phase et les
défauts avec les propriétés semiconductrices de CdTe a été développé plus tard par D. Nobel
en 1959 et raffiné par d'autres groupes de recherche durant 1960.
La structure électronique de CdTe, calculée par la méthode du pseudo-potentiel est
représentée par la figure. I-7. Elle montre un semiconducteur à gap direct, dont la structure de
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bande lui permet des transitions verticales radiatives très important entre la bande de valence
et la bande de conduction. Cette propriété est la cause principale des applications de ce
matériau dans plusieurs domaines. Le CdTe présente une large bande interdite, d’environ 1,51
eV à température ambiante (300 K), ce qui lui donne un seuil d’absorption optique dans le
domaine infrarouge, notamment en détection infrarouge et en tant que substrat pour l’épitaxie
des couches de CdHgTe.
Le matériau CdTe peut présenter les deux types de conductivité n ou p, avec des niveaux de
dopage différents ; le changement de type est aussi possible lors des recuits thermiques,
notamment sous atmosphère de Cd.
La diffusion des porteurs de charge par les imperfections du réseau cristallin, les impuretés et
les défauts étendus entraînent une réduction de la mobilité de ces derniers.
La longueur de diffusion des porteurs minoritaires est faible, elle est de l’ordre du micron
(1µm), contrairement à celle observée dans le Silicium (~ 100 µm). En effet, il à été observé
par cathodoluminescence, que la longueur de diffusion dans ce matériau, de type n, diminue
avec le dopage, passant de Lp = 5µm pour une concentration d’électron libres de
2 .1013 cm-3 à Lp = 0,13µm pour une concentration d’électron libres de 8 .1017 cm-3.
Figure I-7 : Transitions électroniques entre les extrema des bandes de valence
et de conduction: a) semiconducteur à gap direct, (les transitions
sont verticales radiatives). b) semiconducteur à gap indirect, les
transitions sont obliques (non radiatives).
I. 3. 4. Propriétés plastiques
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Les matériaux CdTe et leurs dérivés élaborés par les différentes méthodes de tirage ne
sont pas homogènes (chapitre II). Cette inhomogénéité est due : i) à la forme rétrograde du
solidus du diagramme binaire où le CdTe est élaboré en solvant de tellure, ii) à la différence
de pression partielle entre Te et Cd (PTe<<PCd), iii) à la difficulté de maîtriser le gradient de
température radial et longitudinal lors du tirage des lingots par les différentes méthodes de
croissance ainsi qu’à l’usage de proportions non stœchiométriques de tellure et de cadmium.
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I. 4. 1. Introduction
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Les joints de grain sont une source des densités élevées de défaut dans les matériaux
polycristallin de CdTe. Il existe d’autres défauts d’ordre thermique (phonons) ou
électroniques (excitons).
I. 4. 2. 1. Introduction
Les étapes de transformations pour la création d'un dispositif (fabrication d’une cellule
solaire a base de CdTe) comportent l'addition de beaucoup de diverses impuretés au cristal de
CdTe. Certains de ces derniers sont des impuretés intentionnelles telles que le cuivre et le
chlore (dopage) ; tandis que d'autres sont involontaires comme le fer [18]. D'autres étapes de
transformation incluent le recuit aux diverses températures pour différentes périodes. Ce
recuit peut créer ou annihiler beaucoup de types de défauts par à l’amélioration de la diffusion
avec augmentation de la température.
Un souci important pour les dispositifs CdTe est la mobilité (ou des coefficients de diffusion)
des divers éléments dans le matériau menant au changement du profil de dopage et
changements de la conductivité, et même d'inversions dans le type dominant de porteur de
charge dans le matériau. Parmi ces défauts localisés on distingue en particulier les lacunes
intrinsèques de cadmium, les interstitielles extrinsèques de cuivre, ainsi que les défauts reliés
au chlore. La figure I-8 présente un diagramme des niveaux profonds connus dans CdTe.
I. 4. 2. 2. Notation
L'état de charge d'un défaut sera présenté dans la notation commune de Kroger-Vink.
y
Dans cette notation, les défauts ponctuels sont identifiés comme suit : Mx
Où M est l'espèce du défaut, y son emplacement (i pour interstitiel, s pour surface, et le
symbole d'élément pour un emplacement normal du site du réseau), et x est sa charge en
respectant ces espèces originaux, (*) pour une charge positive et (′) pour une charge négative.
Un exemple de cette notation serait un interstitiel neutre de cadmium qui peut alors libérer un
électron au réseau pour devenir un défaut chargé positivement : [Cdi] [Cdi* + e + énergie].
De même, un atome de cuivre neutre dans un site interstitiel peut renoncer à un électron pour
devenir un défaut chargé positivement [Cui] [Cui* + e + énergie] ou il peut remplacer un
atome de Cd et gagner un électron pour devenir un défaut chargé négativement
[CuCd + e + énergie] [CuCd′].
Les types spécifiques de défauts ponctuels sont les défauts de Schottky et les défauts de
Frenkel. Les défauts de Schottky se rapport toujours à des lacunes. Celles-ci peuvent être un
cation ou un anion manquant au réseau. Un exemple d'un défaut de Schottky pourrait une
lacune de cadmium ou (et) une lacune de tellure dans CdTe. Les défauts de Frenkel
impliquent un atome qui a émigré de son site de réseau à une position interstitielle, un
exemple d'un défaut de Frenkel serait une lacune de cadmium et un interstitiel de cadmium.
Une variété de défauts intrinsèques liés à CdTe, et leurs positions estimées dans l'espace de
bande sera discutée. CdTe est de type p quand il est riche en tellure, ce qui implique
naturellement un excès de tellure et par conséquent une absence de cadmium du réseau dans
le cristal. Par conséquent, pour ce matériau on s'attendrait à ce que les lacunes de cadmium
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soient un défaut intrinsèque dominant. Les lacunes de cadmium peuvent être simplement
ionisées [VCd '] ou doublement ionisées [VCd ''].
Ces lacunes chargées négativement fonctionnent comme des pièges de prolongation de la duré
de vie, et peuvent dominer les défauts. Le niveau d’énergie de la lacune de cadmium
simplement ionisé [VCd'] est rapporté proche de 0,45 eV + Ev aussi bien qu'un accepteur peu
profond près de 0,14 eV + Ev. Ce niveau peu profond a une section de capture transversale de
1x10-16cm2. La lacune de cadmium doublement ionisée [VCd''] à une énergie de formation
entre de 0,8 et de 1,0eV. Ce niveau profond réside près de 0,6eV + Ev, mais a été également
rapporté plus profond proche de 0,735eV+ Ev avec une section de capture transversale proche
de 6x10-13 cm2. La densité de lacune de cadmium est généralement dans la gamme de 1.1017 à
1.1018 cm-3 pour CdTe non dopé, et certains l’estime jusqu'à 1x1019cm-3.
L'énergie de formation d'un défaut est le changement de l'énergie du cristal entre les états
initial et final (d'abord sans défaut, et puis avec le défaut). Ainsi, pour former une lacune de
cadmium [VCd'], un atome de cadmium devrait être enlevé du cristal entièrement. L'énergie
impliquée dans ce processus inclus la rupture des quatre liaisons des atomes de tellure au
commencement attachés à l'atome de cadmium. En plus il y a également les effets des atomes
autres que les proches voisins, et le calcul des énergies de formation deviennent rapidement
compliqués. Les lacunes de tellure existent également dans CdTe, mais avec des
concentrations très faibles ( pour CdTe de type p riche en Te désirées pour des applications
photovoltaïques). Celles-ci peuvent également être doublement ionisées [VTe**], mais elles
agissent en tant que donneurs plutôt qu'accepteurs, et réside près de 0,4 à 0,5 eV + Ev. Dans
CdTe de type p riche en Te il existe d'autres défauts, mais moins communs sont les accepteurs
interstitiels de tellure [Tei'], avec une énergie élevée de formation près de 3,44 eV.
Généralement le tellure en excès produira des donneurs d'anti-sites (TeCd*) qui peuvent
compenser les lacunes de cadmium. Ces défauts compensateurs sont également trouvés dans
des concentrations élevées jusqu'à 1018cm-3 dans CdTe riche en Te non dopé. Le complexe
impliquant Cd et Te est également connu sous la forme [VCdTeCd ], ce complexe peut être
neutre ou accepteur dépendant de l'état d'ionisation de la lacune de cadmium, ce niveau
profond résidant près de 0.743 eV + Ev avec une section de capture de 4.10-14 cm2.
Il existe une variété de défauts extrinsèques associés à CdTe avec des positions différentes
dans l’espace de bande interdite. Les calculs théoriques réalisés pour des positions de niveaux
profonds, sont en accord dans biens des cas avec les mesures expérimentales, mais il y a
souvent des anomalies. Bien que l'information soit disponible sur beaucoup de défauts
extrinsèques, dans CdTe comprenant Ge , Sn , Pb , Sc , Ti , V , Cr , Mn, Fe, et Co, les défauts
discutés ici seront limités au Cu, au Cl, et à leurs complexes de défauts.
Le cuivre dans CdTe peut résider dans plusieurs différents états, mais le plus commun est
l’état accepteur sur un site de cadmium [CuCd']. On distingue au moins deux niveaux ou
bandes de défauts directement associés au cuivre dans CdTe ; Le premier niveau est un
accepteur peu profond à approximativement 0,15 eV + Ev, au-dessous du niveau de Fermi de
CdTe pour des concentrations typiques en porteurs (Fig. I-8). Le deuxième niveau réside près
de 0,35eV + Ev. L’interstitiel de cuivre [Cui *] peut agir en tant que donneur. Le cuivre peut
également former des complexes neutres auto-compensateurs comme [CuCdCui].
Les défauts de chlore sont également répandus dans CdTe. Typiquement le chlore réside sur
un site de tellure [ClTe*], agissant en tant que donneur peu profond, compensant la nature
désirée de type p dans CdTe. Ce donneur peu profond est proche de EC – 0,014 eV, et est
présent dans des concentrations élevées jusqu'à 1. 1018cm-3.
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Plusieurs complexes peuvent se former à cause chlore dans CdTe. Le complexe [VCdClTe]
peut être neutre pour des lacunes uniquement ionisées de cadmium, ou un accepteur pour des
lacunes doublement ionisées de cadmium. Le complexe d'accepteur [VCdClTe] réside près de
0,12 eV + Ev. L'auto compensation de chlore se produit par l'existence de [ClTe *] et [VCdClTe]
'. Comme la majorité des semiconducteurs de la famille II-VI, le dopage de type n de CdTe
peut être obtenu par la substitution d’un élément de la colonne III (Al, Ga, In) en site
cadmium ou un élément de la colonne VII (Cl, I, Br) en site tellure. Quant au dopage p du
matériau, il se fait par la substitution des atomes de tellure du réseau par des atomes de la
colonne V (As, P, N) ou en substituant au cadmium des éléments de la colonne I (Li, Na) qui
se comportent comme des accepteurs.
La compensation est l'acte d'un défaut annulant l'effet de dopage des autres: La version la plus
simple de la compensation implique un électron d'un état donneur peu profond remplit un état
accepteur peu profond. Cet effet enlève temporairement le donateur et l'accepteur de l'action
sur le matériau. Une compensation plus compliquée implique des donneurs peu profonds, des
accepteurs peu profonds, et des états plus profonds.
Le niveau apparent de dopage d'une couche mince polycristalline CdTe est beaucoup inférieur
au niveau prévu dû au nombre de dopants. Par exemple avec la technique standard de contact
de dos de CSM (Colorado School of Mines) qui a seulement 7Ẳ de Cu, la concentration
devrait être approximativement 1. 1019 cm-3 des atomes du Cu (supposant une distribution
uniforme dans toute la couche de CdTe). Cependant les mesures standard de capacité - tension
l'estime de1.1014cm-3. Ce phénomène s'explique différemment :
• Soit les atomes de Cu ne sont pas présents dans une telle forte densité dans le volume du
CdTe.
• Soit les atomes de Cu ne sont pas tous des donneurs ou tous des accepteurs, mais se
compensent par une certaine combinaison des deux,
• Soit les atomes de Cu sont compensés par d'autres dopants ou défauts.
L’auto compensation du cuivre est complète si les donneurs cuivre (interstitiels) négligeant
complètement les accepteurs de cuivre (cadmium substitutional) comme suit: [CuCd '] = [Cui*]
Ce phénomène est susceptible d’avoir lieu dans le cas des concentrations de cuivre jusqu'à
1019cm-3 dans le cristal simple de CdTe dopé intentionnellement. Naturellement, cet équilibre
est en général non parfait, mais la compensation, même d’une forte densité des états peu
profonds de niveaux accepteurs peut facilement être entièrement compensée.
Les études sur le cristal simple de CdTe dopé intentionnellement de cuivre ont prouvé qu'il
peut être auto-compensé à plus que 99% pour des concentrations allant jusqu'a 1. 1019cm-3. Le
niveau de Fermi est très probablement épinglé en raison des densités élevées de défauts dans
CdTe. Pour la compensation, ceci est le cas pour des cristaux simples de CdTe semi-isolé, où
le niveau de Fermi est épinglé près du mi-gap. CdTe non dopé est supposé être de type p dû à
la stoechiométrie légèrement riche en Te causant des sites d'accepteur [VCd '']. Si le chlore est
rajouté à CdTe non dopé de type p, il compense ces accepteurs et rend le matériau semi-
isolant. Ceci est fait par les sites de [ClTe*].
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Figure I-9 : Diagramme de bandes de CdTe avec les niveaux d'énergie de défauts connus
Figure I-10 : Un contraste obtenu par cathodoluminescence résume l'ensemble des défauts
plans et linéaires pouvant exister dans CdTe.
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I. 4. 3. 1. Introduction
Les défauts linéaires sont formés par le glissement ou la distorsion de deux régions adjacentes
l’une par rapport à l’autre. Il existe deux types de dislocation. Les dislocations vis et les
dislocations coin. La combinaison des deux types permet d’expliquer les défauts linaires dans
les cristaux.
Les dislocations existantes dans CdTe (Figure I-9) sont crées lors de la croissance du matériau
; leur densité peut être contrôlée en agissant sur les paramètres de croissance ou par
adjonction d’impuretés comme Zn ou Mn. Elles peuvent être aussi créées artificiellement par
déformation plastique. Un essai quelconque de déformation active 12 systèmes de glissement
du type [(a/2) <1-1 0> {111}] pour un réseau cubique à faces centrées.
La présence des dislocations dans un semiconducteur affecte non seulement ses propriétés
mécaniques mais également ses propriétés électriques et optiques. Ces effets se résument
comme suit :
- La distribution potentielle du réseau est perturbée dans la région voisinant d'une dislocation,
les impuretés ont alors tendance à diffuser dans ces régions et à se concentrer autour des
dislocations.
- La formation des liaisons pendantes à l’extrémité des demi-plans réticulaires délimitant une
dislocation (surtout pour le cas des dislocations coins). Cet effet conduit à la création des
niveaux d’énergies dans la bande interdite des matériaux polycristallins.
- La présence d'une dislocation affecte la diffusion et la recombinaison des porteurs de charge.
Les états localisés dans la bande interdite jouent le rôle des centres pièges des porteurs de
charge, ce qui réduit leurs mobilités. Les dislocations affectent également la diffusion des
impuretés ainsi que leurs solubilités dans le semiconducteur, elles se comportent comme des
sites préférentiels d’accumulation pour des impuretés surtout celles qui ont une grande vitesse
de diffusion.
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I. 5. 1. Introduction
Dans son sens le plus général, un joint de grain est une interface de séparation de deux grains
de même matière cristalline, qui est reliés par des opérations de symétrie. Les premières
descriptions du joint de grains le considèrent comme une couche relativement fine de
matériau amorphe. Suite à l'observation de nombreuses propriétés intergranulaires présentant
un caractère anisotrope, Mott envisage un joint de grains comme une juxtaposition d'îlots de
bons et de mauvais accords entre les réseaux des grains accolés.
On distingue plusieurs types de joints de grains portant des dénominations maintenant
classiques. Lorsque le plan de joint contient l'axe de rotation R0, il s'agit d'un joint de flexion.
Read et Shokley le décrivent, quant il est faiblement désorienté par un arrangement
périodique de dislocations coins. Il peut arriver que les deux cristaux se déduisent l'un de
l'autre par symétrie par rapport au plan du joint, il s'agit d'un joint de flexion symétrique.
Dans le cas où le plan est perpendiculaire à l'axe de rotation alors c'est un joint de torsion.
(Figure I-11).
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Figure I-12:
a) Joint de flexion, l’axe de rotation appartient au plan de l’interface.
b) Joint de torsion, l’axe de rotation est normal au plan de l’interface.
Depuis la découverte des joints de grains et l’appréciation de son rôle dans la science des
matériaux un effort majeur à été dirigé pour trouver une méthode convenable pour décrire la
déviation depuis l’ordre du cristal parfaite créé par le joint de grains qui est en même temps
l’explication de ces propriétés, plusieurs et différentes approches ont été proposés :
la description géométrique
la description par les dislocations
La description par les unités structurales qui est liée à la description énergétique.
I.6. 1. Introduction
37
F.LMAI
I. 6. 2. Le contact redresseur
La propriété la plus caractéristique d’un contact métal - semiconduteur est effet redresseur qui
est la base de construction des diodes schottky. Le modèle classique du contact métal-
semiconducteur prévoit l’établissement d’une barrière de potentiel associé à une zone de
charge d’espace qui dépend de la différence des travaux de sortie du métal et du
semiconducteur, le champ électrique associé à cette charge d’espace produit un pliage
(courbure) des bandes du semiconducteur (fig. I-13). Les premières approches théoriques
proposées, concernent le contact métal semiconducteur ≪idéal ≫ prennent en compte le
transport des porteurs au-dessus de la barrière de potentiel constituée par le contact, elles
aboutissent d’abord à la loi de conduction semi empirique valable encore de nos jours, qui se
rapproche de celle d’une diode à jonction. (fig. I-15):
[ (
I = I0 exp (eV )/nkT ) - 1]
I0 = S A ٭T2exp (- eVd / kT)
I0 : courant de saturation.
A* : constante de Richardson = 4pm*qk2 /h3
S : surface de la jonction.
n : facteur d’idéalité, égale à l’unité pour un contact idéal.
38
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Figure I-14 : Diagramme énérgétique représantant la structure de bande des différents cas d’un contact
métal semiconducteur.
En réalité des travaux de recherches montrent qu’il existe un écart entre la valeur de la
hauteur de barrière mesurée expérimentalement et celle tirée de la différence entre les travaux
de sortie du semi-conducteur et du métal en contact. D’où la nécessité de considérer le contact
réel, en tenant compte d’autres paramètres autres que les travaux de sortie des deux
matériaux, comme l’influence de la technique de déposer le contact, celle du dopage du
semiconducteur, la présence d’une couche d’oxyde, et surtout la notion d’états de surface et
d’interface.
39
F.LMAI
semi-conducteur, et qui diffèrent de ceux qui existent dans son volume. Ils sont dus d’une part
à des phénomènes intrinsèques, résultants de la rupture de la périodicité cristalline, que
représente la surface du cristal, et d'autre part à des phénomènes extrinsèques résultants de
l’absorption à la surface d’atomes étrangers, suite aux traitements de surface préalables à la
mise en contact, ou à l’oxydation de la surface du semi-conducteur. La présence d’une part
d’atomes étrangers et d’autre part de la distorsion du réseau, résultant de la différence de
maille entre le semiconducteur et son oxyde, entraîne l’existence d’états de surface
extrinsèques.
Enfin, si on considère l’interface entre les deux matériaux (métal et semi-conducteur), le
réseau passe sur une distance de quelques angströms de la périodicité d’un matériau à celle de
l’autre. Il en résulte des états électroniques différents de ceux de chacun des matériaux, se
sont des états d’interface. Tous les états dont nous venons de parler sont qualifiés d’états
d’interface.
Le champ électrique est négatif est varie linéairement dans la zone de charge d’espace (fig. I-
16 b) sa valeur à l’interface est égale à :
En intégrant une deuxième fois en prenant l’origine des potentiels à l’interface (fig. I-16 c), on
obtient:
surface du semiconducteur est son volume, c’est-à-dire aux bornes de la zone de charge
d’espace.
b) Capacité
Si la structure est polarisée par une tension V, supposée positive dans le sens direct c’est à
dire quant le métal est polarisé positivement par rapport au semiconducteur, la barrière de
potentiel devient Vd − V et la zone de charge d’espace devient :
Comme la jonction PN toute variation de V entraîne une modulation de W(V) et par suite une
modulation de la charge totale développée dans le semiconducteur. Il en résulte que la
structure présente une capacité différentielle. La charge d’espace est donnée par :
Cette capacité est équivalente à celle d’un condensateur plan d’épaisseur W. On peut écrire
L’expression de C (V) sous la forme :
La courbe représentant C-2(V) est une droite dont la pente permet de déterminer la densité de
donneurs Nd. et dont l’abscisse à l’origine permet de déterminer la hauteur de barrière Vd.
41
F.LMAI
I. 6. 4. Le contact ohmique
Un bon contact ohmique doit avoir une résistance négligeable aux flux du courant,
comparée à celle du matériau, de sorte que le courant dans le dispositif est déterminé par la
caractéristique du semiconducteur ou du dispositif, plutôt que du par les propriétés du contact.
La caractéristique courant-tension devrait être linéaire (Fig. I-17). Pour un système métal -
semiconducteur se comportant selon les prévisions du modèle de Schottky-Mott.
Cela n’est pas toujours facile à réaliser surtout pour certains matériaux de type p, du fait
qu'aucun des métaux communément utilisés n’a un travail d’extraction suffisamment élevé
comparé à celui du matériau (c’est le cas de CdTe de type p). Cependant d’autres mécanismes
peuvent être mis à profit pour réaliser un contact ohmique.
- L’effet tunnel au contact métal- semiconducteur.
- Les recombinaisons dans la zone de charge d’espace.
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43
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METHODES D’ELABORATION
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En pratique les gradients de température aux interfaces de la zone fondue sont très
élevés (de l’ordre de 200°C.cm-1), ce qui induit des inclusions de Te surtout lorsque les
paramètres sont mal adaptés, par exemple : vitesse trop grande, température trop élevée, en
plus l’inconvénient majeur est la difficulté d’augmenter la taille de lingot qui par sa longueur
joue le rôle d’un doigt de refroidissement, mais la faible température de croissance permet
d’éviter les contaminations au contact de l’ampoule de quartz, la bonne reproductibilité du
procédé, la purification par le solvant et la faible densité de dislocations, tout ceci rend la
méthode privilégiée pour produire des cristaux semi isolants en vue de la détection nucléaire.
45
F.LMAI
Yang et al ont utilisé P.V.T (Physical Vapor Transport) pour élaborer du CdTe très pur et de
haute qualité. La particularité de la méthode réside dans la façon de sceller l’ampoule de
quartz, qui permet d’éviter la contamination excessive de la charge.
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II-3-1 Introduction
Elle a été inventée par Bridgman en 1925 pour la croissance des cristaux métalliques (W, Sb,
Bi, Te, Zn, Sn). Par la suite, Stockberger l’a étendue pour la croissance des cristaux
Alkalihalides (Kcl, Ncl,…).
La technique Bridgman est basée sur le principe de la migration de l’ampoule contenant le
matériau suivant un gradient de température. Dans cette technique deux configurations sont
adoptées; l’une consiste en la translation horizontale de l’ampoule (Bridgman horizontale), et
l’autre à la translation verticale (Bridgman verticale), (Fig. II.1 a, b). Dans ce qui a précédé
nous avons montré les diagrammes de phase température concentration et température-
pression (fig. II.1, II.2) et nous avons mentionné l'existence d'un domaine d'homogénéité
autour de la composition stoechiométrique qui atteint, d'après Metvedev et al, 10-1 atomes %,
soit 1020 atomes par cm3 de chaque côté de la composition stoechiométrique.
Le diagramme température-pression ou ligne des trois phases nous permet, comme nous
l'avons vu, de connaître les conditions d'élaboration, à savoir les températures de solidification
de CdTe en fonction de la pression partielle de Cd(Te).
La sublimation de CdTe - transformation qui peut être vue à travers l'équation de réaction
entre CdTe (S), Cd (g) et Te2(g) peut être arrêtée par l'application d'une surpression d'un des
deux composés; cette surpression possède en plus le rôle très important de l'ajustement de la
stoechiométrie.
En se servant des deux diagrammes de phases, on peut connaître, pour une pression de Cd(Te)
donnée la composition du liquide en présence du solide. L'application d'une certaine pression
de vapeur de Cd(Te) au-dessus du liquide entraîne une modification de composition du
matériau parce qu'un équilibre est établi entre la pression de vapeur de Cd(Te) au-dessus du
liquide et la pression imposée du même composant. Le contrôle de cette pression durant la
croissance est nécessaire si on veut garder la stoechiométrie du cristal à la fin de la croissance.
L’intérêt de la méthode Bridgman réside dans la possibilité de produire des cristaux de grande
taille et des monocristaux de bonne qualité, l’inconvénient étant la nécessité pour la
croissance de travailler à des températures proches du point de fusion du composé qui est
environ de (1100°C).
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48
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Le modèle le plus simple d’un four Bridgman horizontal est représenté sur la figure II.2. Une
zone chaude (hot zone): c’est la partie gauche du four où les résistances chauffantes
permettent de maintenir cette zone à une température T haute supérieure à la température de
fusion du matériau.
- Une zone froide (cold zone): c’est la partie droite du four où les résistances chauffantes
permettent de maintenir cette zone à une température T basse inférieure à la température de
fusion du matériau
- Les deux zones précédentes sont séparées par une zone démunie de résistances chauffantes,
les parois de cette zone sont adiabatiques. Ainsi la différence de température entre ces deux
zones laisse naître un gradient thermique, raison pour la quelle on l’appelle zone de transition,
zone adiabatique ou zone à gradient. La croissance est réalisée dans un creuset en quartz qui
contient le matériau CdTe.
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F.LMAI
La préparation des ampoules revêt une très grande importance dans l'élaboration de cristaux
de bonne qualité.
La réaction, à haute température, du matériau (CdTe) avec la silice peut donner du
métasilicate de cadmium SiO3Cd qui provoque l'adhérence du matériau sur la silice. Les
conséquences sont très néfastes car ceci peut conduire à la casse des tubes en plus d'une
contamination par les impuretés incluses dans la silice. Deux choses sont donc à éviter, le
contact direct du matériau avec la silice et la présence d'oxyde de cadmium (par exemple) qui
favoriseraient la formation de métasilicate de cadmium. Pour cela l'ampoule est soumise à une
préparation particulière dont le revêtement en graphite sur sa surface intérieure et le dégazage
sous 10-6 Torr à 1150°C.
Les composants, Cd, Te, Zn de pureté 6N et Mn de pureté 4N subissent eux aussi une certaine
préparation avant la synthèse. Les ampoules ayant servi à la préparation de nos cristaux ont
toutes un diamètre de 20/23 mm sauf celle qui a servi à la préparation de Cd0.9Mn0.1Te (C9)
qui avait un diamètre plus faible, elles comportent toutes un petit réservoir de cadmium dans
leur partie supérieure. L'opération suivante consiste à sceller l'ampoule sous 10-6 Torr. Un
piège à azote liquide est introduit entre la pompe secondaire et l'ampoule pour réduire les
contaminations par les huiles de pompe.
Le composé est obtenu par croissance dans un four de Bridgman (fig. II.3) après avoir subi
préalablement une présynthèse dans un premier four de Bridgman. Cette première synthèse
est effectuée en deux étapes: une montée rapide de 0 à 700°C. Au voisinage de cette
température a lieu la réaction exothermique de formation du composé. Puis on procède à
une montée lente en 24 heures de 700 à 1125°C pour achever la réaction de formation. Le
point froid utilisé dans ce four est de 800°C (température imposée à la nacelle de Cd en haut
de l'ampoule). L'ampoule est ensuite disposée dans un autre four de Bridgman, plus élaboré
que celui de la présynthèse. La croissance s'effectue toujours sous pression de vapeur de
cadmium représentée par un point froid qui varie d'une expérience à une autre entre 750°C et
850°C. La température du four est augmentée progressivement, 300°C par heure, jusqu'à
1110°C - 1120°C. La température du four supérieur contrôle la pression de vapeur de
cadmium. L'ampoule est ensuite lentement descendue dans le four à des vitesses qu'on fait
varier pour chacune des expériences (1,7 cm/jour en moyenne). Le four inférieur est maintenu
à une température supérieure à celle du four supérieur (>850°C). Après le refroidissement
normal que subit l'ampoule, le four inférieur est lentement refroidi, par programmation,
jusqu'à la température ambiante, pour limiter la densité de dislocation dans le matériau.
50
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Différents cristaux ont été préparés en vu d'améliorer la qualité cristalline de CdTe sans pour
autant négliger la taille du monocristal obtenue à la fin de la croissance. Pour réaliser cet
objectif des impuretés (Zn, Mn) ont été introduites dans la matrice de CdTe et on a agi sur un
certain nombre de paramètres de croissance pour un même type de cristal Cd0.96Zn0.04Te.
Le tableau II.1 permet d'identifier chacun des cristaux obtenus avec tous les paramètres de
croissance le concernant.
51
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II.3.4 L’effet de la contrainte thermique sur le cristal CdTe lors de la croissance par
Bridgman
L'effet négatif des dislocations dans les composants électroniques est très bien connu. Trois
phénomènes sont à l'origine de l'existence de dislocations dans la couche active d'un
composant déposé sur un substrat par épitaxie.
1) Propagation des dislocations du substrat dans la couche active durant la croissance.
2) Si le désaccord entre les paramètres cristallins de la couche et du substrat est grand, des
dislocations de non adaptation (de misfit) prennent naissance.
3) Si les paramètres s'accordent à la température de dépôt, des dislocations peuvent encore se
générer si les coefficients de dilatation du substrat et de la couche épitaxie sont différents et
engendrent une déformation supérieure à la limite élastique lors du refroidissement.
Dans les deux derniers cas les dislocations peuvent se générer même avec un substrat non
disloqué. Cela constitue un argument pour tenter d'élaborer des cristaux massifs sans
dislocations. Mais pour arriver à cet objectif il faut déjà tenter de comprendre pourquoi les
dislocations apparaissent dans un lingot en cours de croissance.
La distribution de la température dans le cristal, pendant la croissance à partir d'un bain fondu,
crée des contraintes thermiques.
La nucléation de dislocations peut être expliquée par la formation de boucles d'interstitiels ou
de lacunes pouvant ensuite agir comme des sources de Frank-Read.
Une autre explication est liée à d'éventuels glissements cristallographiques se présentant
lorsque les contraintes thermiques engendrées pendant la croissance dépassent une certaine
valeur critique nommé CRSS (Critical Resolved Shear Stress).
La propagation et la multiplication des dislocations dans le lingot sont essentiellement dues à
ces contraintes thermiques. Une bonne connaissance de l'état de contrainte du lingot peut donc
nous aider à la compréhension des phénomènes de nucléation, de propagation et de
multiplication des dislocations pendant la croissance.
Les travaux effectués par Guergouri et ses collaborateurs et par Imhoff et ses collaborateurs
ont montré que l'addition de zinc (Zn) entraîne un fort durcissement de CdTe. Ce
durcissement a été interprété à partir des observations suivantes:
- augmentation de la contrainte critique de cisaillement.
- augmentation du taux de consolidation.
L'effet de taille d'une impureté dans les métaux est considéré comme étant l'une des origines
du durcissement (augmentation de la limite d'élasticité) par solution solide.
Dans le cas de la solution solide Cd0.96Zn0.04Te, Guergouri et ses collaborateurs
considèrent, que la présence de défauts tétraédriques du type ZnTe4 engendre une compression
52
F.LMAI
locale du réseau de 4,5% qui est due à la différence des longueurs de liaison Cd-Te et Zn-Te
(tab. I.5), et constitue un obstacle à la propagation des dislocations.
Le calcul de l'énergie d'interaction élastique entre une dislocation et ce défaut permet la
détermination de la contrainte supplémentaire qu'il faut appliquer à la dislocation pour vaincre
cet effet. Des expériences de "vieillissement statique", effectuées par Imhof, ont montré que
l'effet de taille est le mécanisme dominant du durcissement de CdTe jusqu'à 0,7 Tf.
La présence de manganèse (Mn) dans CdTe entraîne une réduction de la longueur de la liaison
mais ne durcit pas le matériau. Ce qui veut dire que l'effet de taille ne peut pas être appliqué
systématiquement à toutes les impuretés.
L’addition de zinc entraîne une stabilisation de CdTe, par réduction statistique de la longueur
de liaison et augmentation concomitante de l'énergie de liaison (Tab. II.2). Cette liaison
constitue un obstacle d'autant plus difficile à franchir que l'énergie de liaison est plus
importante.
C'est donc en entravant le glissement des dislocations que le zinc réduit la densité de
dislocations au cours du processus de croissance et retarde d'autant l'apparition de la structure
cellulaire (sous-structure).
53
F.LMAI
c’est qu’elle nous permet d’avoir des lingots poly-cristallins (gros grains) de diamètre plus
important que le Bridgman classique ou le THM et avec une résistivité généralement élevée
(>1010 Ω.cm) surtout pour le CdZnTe.
Cette technique est utilisée essentiellement pour fabriquer des cellules solaires.
54
F.LMAI
TECHNIQUES DE
CARACTERISATION
55
F.LMAI
La caractérisation des défauts électriquement actifs présents dans la bande interdite des
matériaux hautement résistifs nécessite des méthodes spectroscopiques électriques bien
adaptées à ce type de semiconducteurs. Nous utilisons habituellement comme méthodes
spectroscopiques thermiques le courant stimulé thermiquement (TSC), le courant
thermoélectrique (TEES) ; la DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy)….Mais ces
techniques ont des limites dans leur utilisation soit à cause de l’augmentation du courant
d’obscurité à température ambiante pouvant masquer les défauts (cas de la TSC) soit à cause
de la haute résistivité des matériaux qui empêche l’utilisation des méthodes capacitives telle
que la DLTS…Pour remédier à ce problème nous avons utilisé la méthode PICTS (Photo
Induced Current Transient). Cette méthode est capable d’identifier les défauts se situant dans
une gamme d’énergie allant de 0,12 à 1,2eV et permet également le calcul de l’énergie
d’activation, la section efficace ainsi qu’une estimation de la concentration de ces défauts. En
effet, la PICTS est une alternative à la DLTS qui néanmoins ne permet pas de connaître le
type de défaut. Elle repose sur la mesure du courant transitoire photo-généré produit par les
charges dé-piègées thermiquement. Nous décrirons dans la suite de cette étude le principe
ainsi que les équations fondamentales de la méthode PICTS.
i) Principe de la PICTS
Le principe de la PICTS découle directement de celui de la DLTS ; le point commun entre les
deux méthodes concerne l’étude, par des techniques de corrélation des transitoires de
relaxation thermo-stimulée. Néanmoins la PICTS pose plus de problèmes à cause de
l’évolution temporelle de la transitoire du courant de dé-piégeage. En effet, en DLTS la
mesure de la capacité de la jonction permet d’avoir accès directement à la charge des pièges,
le courant transitoire ayant une forme exponentielle simple à analyser. Par contre en PICTS,
le courant de dé-piégeage dépend non seulement de l’émission thermique des porteurs mais
aussi de leur temps de recombinaison et de leur re-piégeage éventuel par le même type de
centres. Ce courant ne peut pas toujours être exprimé sous forme purement exponentielle, il
représente plutôt la somme de plusieurs exponentielles décalées.
56
F.LMAI
La réponse typique d’un photo-courant suite à une excitation lumineuse est montrée dans la
figure III-1. Pendant la durée de l’impulsion lumineuse, le photo-courant présente trois
phases : la phase de génération des porteurs libres traduite par la tranche AB, la phase de
capture partielle marquée par BC, ainsi que la saturation des pièges et l’établissement d’un
équilibre entre capture et émission (tranche CD). A l’arrêt de l’excitation optique, on observe
une décroissance rapide indiquée par DE, qui décrit la recombinaison initiale des photo-
porteurs. Et enfin la tranche EF traduit la relaxation thermique des porteurs à partir des pièges.
57
F.LMAI
L’excitation optique de l’échantillon favorise une transition bande à bande caractérisée par un
taux de génération g. Les variations de la densité n(t) des électrons libres et nt(t) des électrons
dans les pièges obéissent aux équations cinétiques suivantes :
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F.LMAI
dn(t ) n (t ) (1)
= g + e n nt − C n ( N t − nt ).n(t ) −
dt τn
dnt (2)
= C n ( N t − nt ).n(t ) − en nt
dt
d ( nt + n ) n(t ) (3)
=g−
dt τn
Ces équations décrivent des populations électroniques tendant vers un état d’équilibre. A
l’état stationnaire, les densités à l’équilibre n(0) et nt(0) s’écrivent :
gτ n C n N t (4)
n(0) = gτ n et nt (0) =
en + gτ n C n
dn (t ) n (t ) (5)
= e n nt −
dt τn
59
F.LMAI
dnt (6)
= − e n nt
dt
d ( nt + n) n (7)
=−
dt τn
Les pièges libèrent les porteurs dès la décroissance rapide du courant. L’équation (6) admet
comme solution :
nt(0) étant la densité initiale des électrons piégés à la saturation. Donc on peut écrire que
nt(0) = Nt, où Nt est la concentration totale des centres pièges comme on l’a déjà indiqué.
On peut négliger (dn(t)/dt) devant (n/τn) dans l’équation (7), car expérimentalement on est
limité à l’étude des phénomènes transitoires avec des temps aussi courts que la durée de
recombinaison des électrons. Donc la relation (7) devient :
d ( nt ) n (9)
=−
dt τn
Une simple dérivée de (8) par rapport au temps, que l’on remplace dans (9), ce qui revient à
écrire :
A l’équilibre et en égalisant les taux d’émission et de capture pour chaque type de porteurs on
peut en déduire aisément la relation entre le taux d’émission et l’énergie d’activation.
60
F.LMAI
Et (12)
en = τ t−1 = σ nVth N c exp(− )
kT
où Nc est la densité effective d’états dans la bande de conduction, Vth la vitesse thermique des
électrons libres, k la constante de Boltzmann et T la température absolue. Avec Nc est
proportionnel à T3/2 et Vth à T1/2, en s’écrit alors :
Et (13)
en = τ t−1 = Bσ nT 2 exp(− )
kT
Double porte
Le tracé de ∆i12 (T) donne le spectre PICTS double porte. L’amplitude de ce courant passe
par un maximum, si en satisfait à la condition suivante :
en t 2 − 1 (15)
en (t1 − t 2 ) = ln[ ]
e n t1 − 1
61
F.LMAI
dresser un tableau de (Tm, en) à partir duquel on peut tracer la droite d’Arrhenius Ln (Tm2/en)
= f(1/ Tm). En déterminant la pente et l’ordonnée à l’origine de cette courbe on calcule
l’énergie d’activation et la section efficace du piège.
en nt (0) (17)
∆i12 (T ) = i (t1 ) − i (t 2 ) = [exp(−en t1 ) − exp(−en t 2 )]
i (t 0 )α
où α est le coefficient d’absorption, Φ0 est le flux de photons incidents. Après une forte
excitation des centres dans le matériau Nt = nt(0), à partir des équations (16) et (17), on déduit
l’amplitude h du pic qui est directement liée à la concentration des pièges Nt, donc h
s’exprime sous la forme suivante :
en2 N t (t 2 − t1 ) (18)
h=
αΦ 0 (en t 2 − 1)
Quadruple porte
Afin de s’affranchir des difficultés causées par le traitement double porte et surtout en terme
pré-exponentiel de l’équation (11), la méthode quadruple consiste à lire le signal transitoire
entre quatre temps t0, t1, t2, t3 (Figure II-I) et à étudier le rapport thermique suivant :
i (t1 ) − i (t 2 ) (19)
Y (T ) =
i (t 0 ) − i (t 3 )
62
F.LMAI
Cette relation élimine le terme pré-exponentiel de la méthode double porte, donc elle devient
indépendante de la concentration de défauts. Balland et al ont montré que si les temps de
lecture sont choisis de telle sorte que t0 < t1 < t2 < t3 et t0 << t3, la fonction Y(T) passe par un
maximum à la température Tm de façon que en s’écrive :
t 2 − t 0 −1 (21)
en = (t 2 − t1 ) ln[ ]
t1 − t 0
D’habitude les rapports t1/t0, t2/t0 et t3/t0 sont maintenus constants et c’est t0 qui varie. Donc si
les différents types de pièges n’interfèrent pas, on obtiendra une suite de pics bien séparés.
Cette méthode donne un diagramme d’Arrhenius plus correct et plus précis, ce qui permet de
déduire l’énergie et la section efficace du piège quelle que soit sa concentration mais ne
permet pas d’estimer la valeur de la concentration.
L’excitation optique de l’échantillon dans notre cas est effectuée par des impulsions carrées
d’un rayonnement de lumières monochromatiques avec une longueur d’onde λ de l’ordre de
820 nm. La durée de ces pulses est de 1ms adaptée de telle sorte qu’elle atteigne l’effet de
saturation qui représente l’équilibre entre le piégeage et le dé-piégeage thermiques des centres
à chaque température.
L’échantillon est placé dans un cryostat où la température monte de 77K à 380K. A chaque
valeur de celle-ci, on incrémente par 2 K et on suit comme le montre la figure (III-1) le
piégeage et le dé-piégeage des centres dans le matériau en visualisant les transitoires de
courant.
63
F.LMAI
Durant la manipulation, l’échantillon est maintenu sous vide et soumis à une tension de 10V.
L’évaluation de la signature des pièges est donnée par Grossweiner, qui a utilisé dans sa
relation de l’énergie la température maximum Tm et la température à mi-hauteur T1.
L’expression de l’énergie d’activation et de la section efficace est donnée par :
Cette méthode permet un calcul rapide des énergies et des sections efficaces avec une grande
précision, surtout pour les pics bien définis et isolés.
La méthode TEES (Thermo Electric Effect Spectroscopy) est presque similaire à celle
de TSC, la seule différence réside dans le fait que les mesures s’effectuent sans polarisation
lors de la remontée en température et après l’extinction de la lumière. Suivant le signe du
courant thermoélectrique mesuré, on peut identifier s’il s’agit d’un courant dû aux électrons
ou aux trous. Comme la plupart des méthodes dédiées à la caractérisation des défauts dans les
semi-conducteurs, la TEES permet de donner les paramètres des centres pièges. Huang et al
ont utilisé l’expression suivante pour déterminer l’énergie d’activation :
Tm2 E Ea (23)
ln( ) = a + ln( )
b kTm N cVth kσ t
La méthode TEES possède l’avantage de déterminer le type donneur ou accepteur des défauts
mais l’inconvénient réside dans le très petit gradient thermique entre les deux faces de
l’échantillon qui rend le signal thermoélectrique extrêmement faible et bruyant.
La figure III-3 montre un exemple de spectre PICTS obtenu en caractérisant deux échantillons
CdTe avant et après recuit. Les énergies d’activation ainsi que les sections efficaces de ces
défauts sont présentées dans le tableau III-1.
64
F.LMAI
0,18
en,p=72s
-1
L75 avant recuit P9
0,16 L25 avant recuit
0,08
P2
0,06 P5 P6
P4
0,04 P3
0,02
0,00
50 100 150 200 250 300 350 400
Température (K)
Références
Avant
recuit
3x10-17 9x10-11 2,3x10-14 1x10-13 1x10-13
L25
4x10-17 5x10-15 1x10-13
Après
recuit
Tableau III-1 : Les énergies et les sections efficaces des défauts avant et après recuit
65
F.LMAI
VS (24)
ρ=
IL
τ R = ερ (25)
Un détecteur plan simple (planar) peut être assimilé à une capacité Cs en parallèle à une
résistance Rs. Ces deux paramètres sont liés à la géométrie de l’échantillon et permettent
d’écrire la résistivité sous forme :
Rs C s (26)
ρ=
ε
La figure (III-4) représente le circuit équivalent, l’échantillon est placé entre deux plaques
électrodes séparées de l’échantillon par deux films diélectriques εa pour bien fixer la
géométrie :
66
F.LMAI
εa
ε_ρ Cs Rs
εa
Ca
a) b)
Stibal a montré qu’en appliquant une impulsion de tension à ce circuit, la charge totale
s’exprime par :
Ca t (27)
Q(t ) = V C a + C s − C a exp(− )
Ca + Cs τe
C sτ e Q(0)τ e (28)
ρ= =
(C a + C s )ε Q(∞)ε
avec Q(0) = CaCsV/(Ca+Cs), Q(∞) = CaV et Q(τe) = 0,63 . [Q(∞) - Q(0)] + Q(0)
67
F.LMAI
Q(t)
Q(∞)
Q(τe)
t(s)
La dépendance typique de la charge Q avec le temps est présente sur la figure (III-5),
l’extraction de ces trois charges caractéristiques Q(0), Q(τe) et Q(∞) est donc simple à obtenir,
ce qui donne immédiatement la résistivité. Néanmoins les résistivités hors de l’intervalle 106-
1010 Ω.cm ne sont pas mesurées, du fait de leur temps de charge τe trop court ou trop long pour
notre dispositif électronique qui limite l’investigation par la TDCM à ce domaine.
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F.LMAI
- Le cas d’un atome unique ou à la surface d’un échantillon : lorsqu'une particule frappe cet
atome avec une énergie (E), celle-ci rebondit sur l'atome cible en lui communiquant une partie
de son énergie qui se traduit par un recul, et part donc avec une énergie plus faible (k.E). Le
facteur (k) qui caractérise la perte d'énergie subie par la particule lors de la collision, est
uniquement fonction de la masse de la particule incidente (m1), de la masse du noyau cible
(m2) et de l'angle de diffusion (θ), ce facteur appelé le facteur cinématique s’exprime :
La section efficace de diffusion est régie par la loi de Rutherford, elle est
proportionnelle à {Z2E-2[sin (θ/2)] -4} où Z est le numéro atomique de la cible.
- Le cas d’un atome en profondeur d’un échantillon : Avant d’atteindre cet atome, le faisceau
doit traverser une certaine épaisseur où il va perdre une énergie (∆E1) à l’aller et (∆E2) au
retour, en plus de la perte par le facteur (k), il sort donc de l’échantillon avec une énergie (E’).
A partir de la perte totale : aller, diffusion et retour (∆E) = (E) - (E’), et en connaissant les
tableaux des valeurs de perte d’énergie de l’ion dans la cible, on peut calculer le facteur [S] tel
que (∆x) = (∆E)x[S], on peut ainsi déduire la profondeur (∆x) de l’interaction ou l’épaisseur
d’une couche mince.
Les particules rétrodiffusées sont détectées avec un détecteur Si à barrière de surface, le signal
est traité par une chaîne électronique de spectrométrie : préamplificateur, amplificateur,
codeur analogique digital, analyseur multicanaux, qui permettra de tracer l’histogramme
comptage- énergie : le spectre RBS.
L'énergie des particules rétrodiffusées (k) permet l'identification des atomes cibles à la surface
si la résolution en masse est suffisante ainsi que l’évaluation de l’épaisseur, la concentration,
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F.LMAI
L’angle de diffusion θ est choisi généralement dans la gamme 150-170° par rapport à la
direction du faisceau incident d’ions 4He autour de 2 MeV d’énergie.
Cette méthode est particulièrement bien adaptée à l'analyse des éléments lourds dans un
substrat léger, et dans le cas contraire, c’est la méthode suivante que l’on utilise.
L’ERDA est le complément de la RBS, lorsqu'une particule d’un faisceau d’ions assez
lourd frappe un atome cible plus léger avec une énergie (E), il lui communique une énergie
suffisamment grande pour sortir, par le recul, d’un échantillon en couche mince. Si
l’échantillon est épais, on choisira des angles d’incidence et de détection rasants par rapport à
la surface de l’échantillon. Le faisceau incident est de (4He) par exemple, les particules
sortantes sont du (H, D,..) de nature différente du faisceau cette fois. Comme en RBS les lois
de la conservation d'énergie et de quantité de mouvement, du système projectile-cible nous
permettent de trouver un coefficient cinématique (k’), les pertes d’énergie du 4He et du H
dans la cible, et le filtre permettent de calculer un facteur [S’] et [S’’] pour déterminer la
concentration de H ou D présent dans la couche étudiée. Les instruments sont les mêmes que
ceux de RBS, la seule différence étant les angles rasants et la présence d’un filtre de mylar de
13µm pour arrêter les atomes lourds d’4He, de diffusion, et ne laisser passer que les atomes
légers d’H de recul, plus énergétiques, l’énergie du faisceau étant dans ce cas de 3MeV ; cette
méthode permet de détecter et doser les éléments légers tel l’H dans le Si amorphe…
70
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Rayonnement Détecteur
tecteur
Incident
Cible
Figure III-7 : Schéma des interactions ions - matière avec des angles de détection compris
entre 0° et 180°.
La figure III-8 montre un exemple des spectres obtenu par la caractérisation RBS d’un
échantillon CdTe avec un contact métallique de platine.
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F.LMAI
2dhklsinθ = nλ
En diffraction X la configuration symétrique θ/2θ est la plus utilisée dans les diffractomètres
commerciaux. Dans cette configuration le plan de l’échantillon passe par l’axe du
diffractomètre et peut tourner autour de cet axe à une vitesse constante et réglable w. Le
détecteur placé sur le même cercle que la source X se déplace à une vitesse 2ω. Le montage
est généralement à focalisation approchée dite de Bragg-Brentano. Avec cette géométrie, la
technique de diffraction X, en tant que méthode d’analyse structurale, est peu sensible à la
surface à cause de la grande pénétration des rayons X dans la matière. A l’aide d’un modèle
simple, nous pouvons calculer la profondeur analysée dans cette configuration géométrique.
(Figure III.9). Le tableau suit, présent les paramètres de la diffraction des rayons X utilisés
pour des applications métallurgiques.
Tableau III.2 Les paramètres de la diffraction des rayons X utilisés pour des
applications métallurgiques
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Les acquisitions sont effectuées à l’aide d’un goniomètre θ-2θ (X'PERT MPD Philips) par pas
de 2,5.10-3 degrés et en utilisant un détecteur linéaire (PSD) possédant 801 canaux actifs. La
radiation X utilisée est la raie Kα d’une anticathode en cuivre (λCuKα =1,54056Å). Le schéma
de l’appareillage est présenté dans la figure III.10.
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74
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La comparaison de la valeur obtenue pour le paramètre a avec les valeurs théoriques (a0 =
6.481 Å dans la fiche PSC : cF8. Mwt : 240.01. Volume (CD) : 272.22) donne des
informations sur l’état de contraintes dans la couche considérée.
Ils ne représentent qu'une fraction des particules émises. Les particules neutres produites sont
étudiées avec d'autres techniques par post-ionisation (SNMS). Par cette méthode nous
pourrons déterminer la composition, la stoechiométrie et les profils de concentrations d’un
échantillon. C’est une des techniques d’analyse les plus usitées. La figure III-11 donne les
impuretés dans le matériau CdTe obtenues par mesures SIMS.
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Na Cd
Cu Te
Fe
Si
Figure III-11: Impuretés dans le matériau CdTe obtenues par mesures SIMS
L'absorption des radiations électromagnétiques des régions visibles et UV du spectre par les
atomes libres résulte d'un changement dans la structure électronique. On l'observe lorsque la
radiation caractéristique (de résonance en général) d'un élément passe dans un nuage de
vapeur atomique de l'échantillon. L'échantillon est vaporisé par aspiration de la solution dans
une flamme ou par évaporation d'une surface chauffée électriquement. L'intensité de
l'absorption dépend directement du nombre de particules absorbant la lumière selon la loi de
Beer Lambert selon laquelle l'absorbance est proportionnelle au coefficient d'absorption
spécifique a, au trajet optique b et à la concentration c. A = axbxc
où A=logIo/I, I l’intensité après absorption par les atomes et Io l’intensité initiale de la source
lumineuse. Cependant en pratique, il faut utiliser des solutions étalons pour tracer une droite
d'étalonnage. C’est l’une des méthodes les plus sensibles, mais elle présente l’inconvénient
d’être destructive.
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Dans cette partie nous allons définir le coefficient de transmittance optique et en donner sa
signification physique, comme nous allons décrire la méthode de la détermination du gap
optique Eg du matériau.
III.4.1.1Principe de fonctionnement
On utilise une lampe à filament de tungstène (50W) comme source blanche, c'est-à-dire
émettant de la lumière dans une gamme très large de longueur d'onde couvrant l'ensemble du
spectre, visible. Cette lumière est tout d'abord filtrée spécialement par deux diaphragmes, puis
rendue parallèle en plaçant la source au foyer d'une lentille convergente. La lumière transmise
à travers l'échantillon est dispersée spectralement par le réseau, puis elle traverse un
monochromateur et est détectée ensuite par un photomultiplicateur. Les mesures sont
effectuées à température ambiante. Le schéma synoptique est montré sur la figure III.12.
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visible et proche de l'infrarouge (300-1500 nm). En exploitant ces courbes. Il est possible de
calculer l'épaisseur des films, ainsi que des caractéristiques optiques ; le seuil d'absorption
optique, le coefficient d'absorption, la largueur de queue de bande de valence et l'indice de
réfraction.
Pour déterminer le coefficient d'absorption (α), nous avons utilisé la relation de Bouguer-
Lambert-Beer ou souvent appelée tout simplement ; la loi de Beer:
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En calculant la pente logarithmique, 1/ E00 dans cette région, nous avons pu évaluer le
désordre du film, E00, en prenant l'inverse de cette pente.
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III.4.2 Thermoluminescence
Le domaine d’investigation s’étende de -100 à 300 °C. Le dispositif expérimental utilisé pour
détecter la thermoluminescence est composé aux quatre éléments essentiels :
L'excitation des matériaux est obtenue à l'aide de deux types de sources d’irradiation
l’ultraviolet (UV) et les rayons X. Ces rayonnements ionisants ne créent pas de défauts
ponctuels dans le tellurure de cadmium CdTe, car les énergies nécessaires pour déplacer les
ions sont très élevées. Le seul processus conduisant à la thermoluminescence est l’ionisation
des défauts existants dans le cristal.
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F.LMAI
L'irradiation par rayons X est dispensé à l'aide d'un générateur à anticathode, alimenté sous
une tension de 40 KV et 30 mA. La duré d’excitation est de 15 minutes à température
ambiante. Après irradiation l’échantillon est conservé dans l’azote liquide avant qu’il ne soit
monté dans le four.
Le chauffage est assuré par un petit four qui s'échauffe par effet joule. Il est relié à un
thermocouple pour mesurer la température. La vitesse de chauffage est estimée à une valeur
moyenne de 0.5°C/s.
L’acquisition des données est assurée par un micro-ordinateur à l’aide d’un logiciel
Spectramax. Ce dernier perme de:
81
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• Phase 1
Elle concerne l’irradiation de l’échantillon, effectuée à partir d’une lampe Hg. L’excitation est
maintenue pendant 10 min, le rayonnement émis se situe dans le domaine de l’UV.
Après excitation et lors du retour à l’état d’équilibre, des électrons et des trous viennent se
piéger dans des centres à l’intérieur de la bande interdite (fig. III.17.a). En plus des porteurs
qui se recombinent d’une façon classique, d’autres perdent de l’énergie sous forme de
fluorescence.
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• Phase 2
Elle consiste à exciter par chauffage, les porteurs qui ont été piégés dans la phase1. Le retour
à l’état d’équilibre qui veut dire une perte de l’énergie emmagasinée se manifeste sous forme
de luminescence (fig. III.17.b).
Cette luminescence est enregistrée sous forme de spectres I=ƒ(λ), qui permet l’identification
des centres ayant semis cette luminescence.
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Le montage expérimental est présenté sur la figure III-19. On utilise un laser pour exciter
l'échantillon qui est collé sur le doigt froid d'un réfrigérateur à cycle fermé. La lumière émise
par l'échantillon est récoltée par un système de deux lentilles et est focalisée sur
l'entrée d'un spectromètre muni d'un photomultiplicateur. Le courant produit par le
photomultiplicateur est converti en tension (par une boîte de résistances) qui elle est mesurée
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III-4-3-1-a Le laser
III-4-3-1-c Le spectromètre
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III-4-3-2 Théorie
Dans le processus de photoluminescence, des électrons sont excités par la radiation incidente
(laser). On se sert du coefficient d'absorption α (hν ) pour décrire le changement de
l'intensité lumineuse L(hν ) lorsque la lumière excitatrice traverse l'échantillon:
Traitons maintenant du cas d'un semiconducteur non dopé à 0oK. On considère toutes les
transitions possibles où le vecteur d'onde est conservé, i.e. que la probabilité de transition Pif
est indépendante de l'énergie du photon. Chaque état initial d'énergie Ei est donc couplé à
un état final d'énergie Ef où:
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Et
Alors
Avec
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Par exemple, pour un semiconducteur d'indice de réfraction n=4 dont les masses effectives
des électrons et des trous sont prises égales à la masse de l'électron libre, on a:
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On voit donc que la transition bande à bande possède un seuil situé à hν = Eg . Au fur et à
mesure que l'on augmente la température, les états situés plus haut dans les bandes d'énergie
commencent à être occupés et contribuent à l'émission de radiation. Il s'en suit donc que la
transition possède une queue, du côté des hautes énergies, qui varie rapidement avec la
température.
Une première transition consiste en un électron qui quitte un niveau donneur pour aller vers
la bande de valence. L’énergie de cette transition est donnée par :
E = Egap − ED
On peut aussi observer une transition où un électron quitte la bande de conduction
pour se retrouver sur un niveau accepteur. Dans ce cas, l’énergie de la transition est donnée
par :
E = Egap − EA
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On sait que les énergies ED et EA diffèrent selon la nature chimique de l’impureté. C’est ce qui
permet aux expériences de photoluminescence de confirmer la présence d’un type
spécifique d’impureté dans un matériau. Cependant, la théorie de la masse effective, qui est
une première approximation valable dans bien des cas, prédit la valeur des énergies ED
et EA pour un semiconducteur donné. Elle donne :
Comme la masse effective des trous est généralement plus grande que celle des électrons,
cela explique pourquoi l’énergie de liaison des niveaux accepteurs est plus grande que
celle des niveaux donneurs. Les transitions impliquant des recombinaisons entre les
électrons de niveaux donneurs et la bande de valence seront donc situées juste sous l’énergie
du gap alors que celles impliquant des transitions entre des électrons de la bande de
conduction et les niveaux accepteurs se situeront à une énergie plus faible. Certaines
transitions ne sont généralement visibles qu’à basse température.
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Annexe 1 :
Photo-DLTS.
Ec - 0.79 e ---------- P
Ec - 0.64 e Cdi++ P
Ec - 1.1 e ---------- P, Cl
Ec - 0.89 ---------- Dû à Sn P
Ec - 0.43 ---------- Dû à Sn P
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Ev + 0.2 h Impureté Au et P
Ag
Ev + 0.23 h Lacune Te P
Ev + 0.81 h ---------- P
0.54 e Cdi2+ P
0.56 e Cdi2+ P
0.67 e ---------- P
0.2 h ---------- P
0.23 h Complexe P
0.23 h Complexe P
0.3 h ---------- P
0.3 h Cu P
0.35 h ---------- P
0.42 h Complexe P
0.49 h VCd2- P
0.88 h ---------- P
0.88 h Cdi2+ P
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0.89 h ---------- P
0.63 h VCd2- P
0.71 h ---------- P
0.36 h Cu ----------
0.46 h Complexe P
0.58 h ---------- P
0.63 h VCd2- P
0.64 h ---------- P
0.34 h Cu ----------
Ev + 0.54 h VCd2- P
0.51 h VCd2- P
0.51 h VCd2- P
0.6 h VCd2- P
0.62 h VCd2- P
0.65 h VCd2- P
0.65 h VCd2- P
0.65 h VCd2- P
0.8 h ---------- P
0.84 h ---------- P
0.97 h ---------- P
0.97 h ---------- P
1.38 h ---------- P
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Précipité Te
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0.95 e P, D
0.78 e P, D
0.22 h Impureté P
superficielle
0.38 h Lacune Te P
0.45 h P
0.63 h Défaut-cristal P
Ev + 0.22 h Impureté P
(Ag,Au)
Ev + 0.38 h Lacune Te P
Ev + 0.74 h Lacune Cd P
Ev + 0.35 h ---------- D
Ev + 0.54 h Lacune Cd D
Ev + 0.43 h ----------
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0.2 e ---------- P
0.26 e ---------- P
0.85 e ---------- P
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0.14 h Centre A, Cl P, CL
0.16 h Centre A, Cl P, CL
0.11 e VCd2-/2ClTe+ P
0.06 h Tei2-/ClTe+ P
0.11 h ---------- P
0.11 h VCd2-/ClTe+, Ag P
0.12 h ---------- P
0.15 h ---------- P
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0.17 h ---------- P
0.19 h Complexe
Ec - 0.12 e VCd2-/2ClTe+ P
Ec - 0.07 e VCd2-/2ClTe+ P
Ec - 0.04 e Lacune Te PL
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site CdTe
0.03 e VCd2ClTe PL
0.135 h VCdClTe PL
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100