Product - Catalogue French

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Catalogue des Produits

Tout un Univers de Produits pour la
Spectromtrie de Masse

Analyse des Gaz
Caractrisation Plasma
Etudes de Catalyse
Science des Surfaces

Hiden Analytical Ltd., 420 Europa Blvd., Warrington, WA5 7UN, Grande Bretagne
www.HidenAnalytical.com : E-mail : info@hiden.co.uk
N.B. : les spcifications du prsent document sont susceptibles dtre modifies et ne peuvent tre considres comme partie dun contrat

Catalogue des produits

Introduction

Hiden Analytical fabrique des spectromtres de masse quadrupolaires (QMS)

stables, sensibles et rponse rapide

Nous proposons : Lanalyse de:
Gaz et vapeurs rsiduels dans le vide et lultra-vide
Gaz et vapeurs lors de procds mettant en uvre le vide, des pressions jusqu la pression atmosphrique et jusqu 30 bar
Vapeurs organiques volatiles
Vapeurs mtalliques et organomtalliques
Espces dissoutes dans des liquides
Ions extraits dun plasma, neutres et radicaux
Ions secondaires dans lanalyse de surface par SIMS
Analyse des espces en ions, positifs et ngatifs, neutres et radicaux neutres
Nous vous proposons des spectromtres de masse quadrupolaires optimiss jusqu 2500 uma pour lanalyse dun grand
nombre de composs organiques, organomtalliques et inorganiques

Nos mthodes danalyse:
Une spectromtrie de masse quadrupolaire associe des systmes dchantillonnage qui permettent des rsultats de grande
sensibilit et stabilit et dune haute rsolution
Les systmes dchantillonnage comprennent :
Un tube dintroduction capillaire capillaire inerte en quartz (QIC)
Une analyse jets multiples
Orifice dchantillonnage direct
Systme de prlvement de faisceau molculaire supersonique
Source dchantillonnage faisceau crois
Sonde insrer dans un solide
Sonde pour espces dissoutes
Appareils conus sur mesure pour applications particulires

Ce que nous rvlent les rsultats:
Identification des espces partir des informations de la base de donnes
Mesure quantitative de la pression partielle
Mesure prcise de la composition quantitative des gaz
Analyse de tendance les transitoires sont analyss chaque milliseconde, mesures rsolues en temps des processus
dimpulsion dans le domaine de la microseconde
Concentration de gaz dissous dans des liquides
Analyse directe des interactions vapeur/solide
Dtection de fin d'attaque lors de la gravure ionique
Profil de concentration en fonction de la profondeur par SIMS
Balayage local et imagerie de surface par nos analyseurs SIMS
SIMS statique pour lanalyse de la contamination de surface

2
N.B. : les spcifications du prsent document sont susceptibles dtre modifies et ne peuvent tre considres comme partie dun
contrat


Analyseurs de Gaz Rsiduels RGA
RGA pour lanalyse du vide et la dtection de fuites . 4
HMT, RGA haute pression pour lanalyse du vide et le contrle des procds . 5
HPR-30, RGA pompage diffrentiel pour lanalyse du vide, le contrle des procds et la dtection de fuites 6
HPR-80, RGA pour lanalyse quantitative des procds sous vide et des espces ractives / corrosives . 7
Spectromtres de Masse Quadrupolaires Triple Filtre
3F, RGA triple filter 8
PIC, spectromtres de masse avec comptage des impulsions dions . 9
EPIC, spectromtres de masse avec comptage des impulsions dions et contrle de polarisation .... 10
Composants des spectromtres de masse quadrupolaires ...... 11
Appareils de Contrle des Procds
XBS MBE, appareil de contrle / surveillance de la vitesse de dpt par faisceau crois (XBS) et par pitaxie par
faisceau molculaire (MBE) ...

12
IMP (sonde de la gravure ionique) et dtecteur de fin d'attaque lors de la gravure ionique .. 13
Analyseurs de Gaz de Laboratoire
QIC-20, analyseur de gaz/vapeur de type laboratoire .... 14
Hydra, analyseur de jets multiples de gaz/vapeur .. 15
Analyseurs de Gaz de Recherche
HPR-20 QIC, systme de niveau recherche pour lanalyse en continu dchantillons de gaz/vapeur ... 16
HPR-40, analyseur despces dissoutes . 17
HPR-50, analyseur de dpts de diamant par CVD ... 18
HPR-60, appareil de mesure des chantillons de faisceaux molculaires neutres, ioniss ou radicalaires .... 19
HPR-70, analyseur de gaz introduction pour chantillons en srie . 20
HPR-90, analyseur de gaz en ampoules scelles avec systme complet de rupture dampoule de gaz . 21
QIC-100, appareil danalyse en continu dchantillons de gaz/vapeur, domaine de masse jusqu 1000 uma 22
Vannes dEchantillonnage de Gaz
Proteus, vanne jets multiples, versions 40 et 80 voies . 23
Rampe munie de vannes jets multiples (8 voies) versions chauffe et non chauffe ... 24
Caractrisation de Catalyseur
CATLAB, un microracteur intgr et un spectromtre de masse, pour la caractrisation de catalyseur et le suivi in-
situ de lactivit du catalyseur

25
Science des Surfaces
EQS SIMS (spectromtre de masse dions secondaires), sondes pour analyse de surface prtes monter .. 26
IG, canons ions / bombardement par atome rapide (FAB) ... 27-28
SIMS - poste de travail : un instrument complet danalyse SIMS . 29
IDP, analyseur dions et de particules neutres pour les tudes de dsorption induite par des lectrons et des
photons ...

30
Caractrisation Plasma
EQP, analyseur de masse / dnergie dans un secteur de 45 pour les ions et les particules neutres et radicalaires . 31
PSM, analyseurs plasma en ligne, pour les ions et les particules neutres et radicalaires ... 32
ESPION, sondes de Langmuir perfectionnes pour la caractrisation lectrique des plasmas .. 33
HPR-100, poste de travail plasma, un systme complet de racteur plasma avec analyse intgrale des plasmas 34
3
contrat



Hiden RGA, Spectromtres de Masse Quadrupolaires

Analyseurs de gaz rsiduels pour lanalyse
prcise du vide
Analyseur de gaz rsiduels (RGA) /
dtection de fuites
Fuites virtuelles / dsorption
Etudes de dgazage
Cycles dtuvage
Performance de pompage
Contaminants de lenceinte / de gaz
lors de procds

Caractristiques des spectromtres de masse quadrupolaires Hiden, srie RGA, pour
lanalyse des lments prsents dans un conteneur ou obtenus au cours dun procd:
Sensibilit au PPM, domaine de masse jusqu 300 uma, interface de contrle distance (PC) ou
local
Stabilit (moins de 0,5% de variation globale pic pic sur 24 h)
Logiciel MASsoft de contrle via une interface RS232, RS485 ou systmes multiples via un rseau
Ethernet LAN
Accs rapide aux histogrammes, analyses de tendance et laffichage analogique des pics
Balayage de modes, par ex. : analyse de tendance, histogramme et affichage analogique des pics dans
des fentres multiples
Affichage simultan en temps rel sous forme de graphiques et de tableaux de donnes de lanalyse
de tendance
Curseur pour lidentification de la hauteur de pic pilot par la souris
Soustraction du fond continu en temps rel, talonnage automatique de lchelle de masse
Possibilit dexportation de donnes au format ASCII et vers tous les priphriques Windows
TM

compatibles
Possibilit dchange de donnes dynamique (DDE) pour le transfert en temps rel de donnes vers
dautres applications compatibles DDE Windows, par ex. Excel, logiciel SPC-IV de contrle
statistique de procds
4
contrat


Hiden HMT 100 RC, Analyseur de Gaz Rsiduels Haute Pression

Analyseurs de gaz rsiduels
DOUBLE MODE pour lanalyse du
vide et le contrle des procds
Contrle des procds
Analyseur de gaz rsiduels (RGA) /
dtection de fuites
Fuites virtuelles / dsorption
Etudes de dgazage
Cycles dtuvage
Performance de pompage
Contaminants de lenceinte / de gaz
lors de procds

Caractristiques des spectromtres de masse quadrupolaires Hiden RGA HMT pour
lanalyse des lments prsents dans un conteneur ou obtenus au cours dun procd:
Mode HMT pour un fonctionnement haute pression jusqu 4*10
-3
Torr (pression min 4*10
-8
Torr)
Mode RGA pour un fonctionnement de grande sensibilit avec P<10
-4
Torr (pression min 1*10
-11

Torr)
Domaine de masse 100 uma, interface de contrle distance (PC) via le logiciel MASsoft HMT
Stabilit (moins de 1% de variation globale pic pic sur 24 h)
Logiciel MASsoft HMT de contrle via une interface RS232, RS485 ou systmes multiples via un
rseau Ethernet LAN
Accs rapide, balayage de modes daffichage, par ex. : analyse de tendance et affichage analogique
dans des fentres multiples
Affichage simultan en temps rel sous forme de graphiques et de tableaux de donnes de lanalyse
de tendance
Curseur pour lidentification de la hauteur de pic pilot par la souris
Soustraction du fond continu en temps rel, talonnage automatique de lchelle de masse
Possibilit dexportation de donnes au format ASCII et vers tous les priphriques Windows
TM

compatibles
Possibilit dchange de donnes dynamique (DDE) pour le transfert en temps rel de donnes vers
dautres applications compatibles DDE Windows, par ex. Excel, logiciel SPC-IV de contrle
statistique de procds

5
contrat


Hiden HPR-30, Analyseur de Gaz obtenus lors de Procds

Pour ltude de lensemble des lments prsents
dans une enceinte ou obtenus dans votre systme
CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
Dpt sous vide, gravure / rosion par plasma
Dpts aprs arrachement
Etudes de contamination
Dtection rapide in-situ de la pression de travail
Dtection de fuites / fuites virtuelles / dsorption
Dgazage / tuvage / performance de pompage
Contaminants de lenceinte / de gaz lors de procds

Caractristiques de lanalyseur de gaz HPR-30, un analyseur de gaz compact pour le
contrle des gaz rsiduels et des procds mettant en uvre le vide:
Structure compacte de lappareil de paillasse / du chariot mobile / du support de console
Orifice direct r-entrant avec un pompage diffrentiel permettant une sensibilit et une vitesse de
rponse optimales
Echantillonnage continu de 1 mbar 10
-4
mbar
Grande sensibilit (jusqu 5 ppb), domaine de masse jusqu 1000 uma
Ionisation douce pour lanalyse de molcules organiques complexes / les tudes par APMS
1

Logiciel MASsoft de contrle via une interface RS232, RS485 ou un rseau Ethernet LAN
Vanne pneumatique de contrle pour un fonctionnement automatique avec annulation manuelle et
isolation de sauvegarde en cas de panne dlectricit ou de surpression
Acquisition des donnes et analyse de fonctionnement (panneau daffichage local des alarmes)
automatiques et simultanes

6
contrat


HPR-80, Analyseur Quantitatif de Gaz pour Espces Ractives / Corrosives

Analyse quantitative rapide des mlanges ractifs
ou corrosifs placs dans une enceinte ou obtenus
lors de procds
Etudes de la gravure ionique utilisant des ions
plasma ou des ions ractifs
CVD / PVD / MOCVD
Etudes de fabrication de plaquettes (wafer) de
semi-conducteurs
Procds sous vide / plasma
Analyse quantitative des espces ractives
Etudes des procds utilisant : HF, HCl, HBr
et les CFC

Caractristiques du HPR-80 Hiden, un appareil spcifiquement conu pour lanalyse trs
performante des gaz corrosifs et le contrle de fabrication de semi-conducteurs et des
procds sous vide:
Soufflets flexibles polis lectrolytiquement et chauffs, connecteur montage rapide
Capillaire dintroduction de calibration QIC pour des analyses quantitatives; QIC purg par flux
visqueux de gaz inerte
Pression dchantillonnage : de 1 mTorr jusqu la pression atmosphrique
Manomtre capacitif pour un contrle de la pression indpendant des gaz
Inversion de matrice, normalisation et utilisation dun pic simple comme rfrence
7
contrat


Hiden HAL/3F, Spectromtres de Masse

Spectromtres de masse quadrupolaires triple filtre
pour analyses prcises de gaz et applications
scientifiques
Science des surfaces
Etudes de faisceaux molculaires
Dsorption utilisant un programme de
temprature en ultra-vide (UHV)
Analyseur de gaz rsiduels de haute performance
Etudes dagrgats
Dtection des fuites / fuites virtuelles
Dsorption / tudes de dgazage / cycles dtuvage
Contaminants de lenceinte / de gaz lors de
procds

Caractristiques des spectromtres de masse Hiden HAL/3F pour des applications
scientifiques et procds de haute prcision, y compris en UHV:
Grande sensibilit, dtection amliore du produit pur (100%) jusqu 5 ppb
Domaine de masse jusqu 2500 uma, talonnage automatique de lchelle de masse
Stabilit amliore sur le long terme (moins de 0,5% de variation globale pic pic sur 24 h)
Contrle de la source dions pour ionisation douce et spectromtrie de masse APMS
Sensibilit accrue dans le cas des masses leves, diamtre de ple : 6, 9 ou 12 mm
Choix parmi un large ventail de configurations dionisation, par ex. : dimensions min., XBS
Rsistance la contamination accrue par un pr-filtrage radio-frquence (RF)
Lecture de la temprature intgre dans laffichage de donnes pour les applications en dsorption
thermique
Possibilit dintgrer un appareil de comptage des impulsions dions sur un domaine dynamique de 7
dcades en continu

8
contrat


Hiden PIC, Spectromtres de Masse avec Comptage des Impulsions dIons

PIC pour analyses prcises de gaz et applications
scientifiques
Dsorption utilisant un programme de
temprature en UHV
Science des surfaces, tudes de monocristaux
Analyse de dsorption ultra-rapide
procds

Caractristiques des spectromtres de masse Hiden PIC pour des applications scientifiques
et procds de haute prcision, y compris en dsorption thermique programme (TPD) en
UHV:
Domaine de masse jusqu 2500 uma, diamtre de ple : 6, 9 ou 12 mm
Source dionisation minimale pour lanalyse in-situ en TPD
Contrle de la source dions pour une ionisation douce et spectromtrie de masse APMS
Sensibilit accrue dans le cas des masses leves, talonnage automatique de lchelle de masse
Systme de comptage des impulsions dions sur un domaine dynamique de 7 dcades en continu,
option Faraday jusqu 5*10
10

Rsistance la contamination accrue par pr-filtrage RF
Rsolution / porte dacquisition du signal : 1 s, norme TTL pour sortie externe, par ex. : cartes
lectroniques multiscalaires
Lecture de la temprature intgre dans laffichage de donnes pour des applications en dsorption
thermique
Enveloppe intgrale compatible UHV, possibilit dune enveloppe refroidie lazote liquide
Logiciel MASsoft de contrle, compatible Windows
TM
, via une interface RS232, RS485 ou un
rseau Ethernet LAN

9
contrat


Hiden EPIC, Systmes avec Comptage des Impulsions dIons et Contrle de
Rfrence de Tension

Spectromtres de masse quadrupolaires triple filtre pour
analyses prcises des gaz et applications scientifiques
Neutres, radicaux, ions positifs et ngatifs
Etudes des liaisons dlectrons
Science des surfaces, tudes de faisceaux molculaires
Dsorption utilisant un programme de temprature en
UHV
Contaminants de lenceinte / de gaz lors de procds

Caractristiques des spectromtres de masse Hiden EPIC pour des applications scientifiques
et procds de haute prcision et lanalyse des neutres, radicaux et ions en UHV:
Domaine de masse jusqu 2500 uma, diamtre de ple : 6, 9 ou 12 mm
Distribution dnergie ionique par balayage du potentiel de tension de rfrence du quadrupolaire :
100 V, option 1000 eV
Systme de comptage des impulsions dions pour un domaine dynamique de 7 dcades en continu,
option Faraday jusqu 5*10
10

Rsolution / porte dacquisition du signal : 1 s pour lobtention des distributions dnergie et de
masse en fonction du temps ou pour des tudes de temps de vol (TOF)
thermique
Enveloppe intgrale compatible UHV, possibilit dune enveloppe refroidie lazote liquide
Possibilit dvolutivit vers des spcifications plasma / SIMS

10
contrat



Composants des Spectromtres de Masse Quadrupolaires Hiden

Un large choix de montages de filtres de masse,
de sources dions et dmetteurs RF
Diamtre de ple : 6 mm, 9 mm ou 12 mm
Mono ou triple filtre
Emetteur RF 3 puissances
Sources dions fermes, ouvertes et faisceau
crois
Montage personnalis des pices
quadrupolaires

Caractristiques des composants du spectromtre de masse quadrupolaire Hiden:

Montage du spectromtre quadrupolaire avec ou sans systme de dtection
Montage du spectromtre quadrupolaire, bride de montage avec connexions lectriques radiales pour
une intgration directe du systme
Choix du diamtre de ple : 6 mm, 9 mm ou 12 mm
Emetteur RF : 2 Watts, 5 Watts ou montage distance 250 Watts
Possibilit de rglage RF pour des performances optimales en frquence et domaine de masse
Domaine de masse jusqu 2500 uma
Commande de balayage de masse : 0-10 V
Systme de comptage des impulsions dions analogique ou digital
Ioniseurs fournis avec ou sans alimentation de filament et carte lectronique (PCB) de contrle de
source
11
contrat


Hiden XBS MBE, Systme de Contrle / Surveillance de la Vitesse de Dpt par
Epitaxie par Faisceau Molculaire (MBE) et par Faisceau Crois (XBS)

avec XBS pour analyses prcises de gaz et
applications scientifiques
Surveillance et contrle par MBE
Analyse utilisant des sources faisceaux multiples
procds

Caractristiques des spectromtres de masse Hiden XBS pour des applications
scientifiques et procds de haute prcision, et les analyses par MBE:
Grande sensibilit, dtection amliore du produit pur (100%) 5 ppb, domaine de masse jusqu
510 uma
Source de faisceaux dions croiss, angle variable entre +/- 35 par rapport l'axe transversal
Ouverture du faisceau configur: 2 mm
Enveloppe intgrale compatible UHV refroidie leau
Limites de dtection jusqu 30 ions / s lors des tudes de faisceaux molculaires
Contrle de la vitesse de croissance infrieure ou gale 1 / min
TM
rseau Ethernet LAN

12
contrat


Hiden IMP, Sonde de Gravure Ionique Dtecteur de Fin d'Attaque

Le seul outil ddi la dtermination du
point darrt pour le contrle de la gravure
ionique avec une qualit optimale des
procds
Analyse de fin d'attaque
Dtermination des impurets de cible
Contrle de qualit / contrle statistique
de procd (SPC)
Analyse des gaz rsiduels
Dtection des fuites

Caractristiques de la sonde de gravure ionique (IMP) pompage diffrentiel,
spectromtre de masse dions secondaires renforc utilis pour lanalyse des ions
secondaires et des particules neutres mis lors de procds de la gravure ionique:
SIMS / MS de grande sensibilit avec systme de comptage des impulsions dions
Triple filtre quadrupolaire, domaine de masse standard : 300 uma
Rampe pompage diffrentiel avec bride de montage vers la chambre danalyse
Optiques ioniques avec analyseur dnergie et ioniseur intgral
Jauge de Penning et systme de verrouillage pour assurer une protection contre les surpressions
Systme de donnes intgr loutil danalyse
Programmable DDE, interface numrique parallle E / S, communication par script selon le
protocole RS232

13
contrat


QIC20, Analyseur de Gaz Atmosphriques

Analyseur compact, de paillasse, pour des
applications en production / recherche
Contrle des procds
Analyse in-situ
CVD / MOCVD
Analyse des gaz du milieu ambiant
Spectromtrie de masse pour lanalyse
thermique
Etudes de catalyse / cintiques de raction

Caractristiques de lanalyseur de gaz QIC-20 compact, de paillasse, pour le contrle des
gaz et des procds des pressions jusqu la pression atmosphrique:

Appareil de paillasse compact
Capillaire inerte en quartz (QIC) robuste, flexible et chauff (jusqu 200C)
Tuyau dintroduction direct QIC pour une rponse < 500 ms aux gaz et vapeurs
Echantillonnage continu de 1 20 cm
3
/ min de 10 mbar 2 bar
Grande sensibilit (jusqu 5 ppb)
Domaine de masse jusqu 200 ou 300 uma, sur option
Ionisation douce pour lanalyse de molcules organiques complexes
Logiciel MASsoft de contrle, via une interface RS232, RS485 ou un rseau Ethernet LAN
Mthodes danalyse quantitatives

14
contrat


Hydra, Analyseur de Jets Multiples de Gaz / Vapeur

Un ensemble spectromtre de masse / vanne de
slection pour lanalyse jets multiples
Contrle des procds multizones
Analyse despces / imagerie en
concentration

Caractristiques de lanalyseur de gaz Hydra jets multiples pour le contrle et lanalyse
de gaz, vapeurs et procds:
Configurations dchantillonnage : 20, 40 ou 80 voies, thermocouple intgral / filament chauffant
jusqu 120C
Tuyau dintroduction direct QIC, robuste, flexible et chauff pour une rponse < 500 ms aux gaz /
vapeurs
Flux de gaz de 0,01 10 l / min de 10 mbar 2 bar, balayage de 100 uma en 2,5 s
Grandes sensibilit (jusqu 5 ppb) et stabilit (< 0,5% de variation globale pic pic sur 24 h),
domaine de masse jusqu 510 uma
Aucune perturbation croise
2
donc effet mmoire ngligeable ; volume mort faible permettant
une rponse rapide
Nouvelle technique de fermeture hermtique pour un serrage efficace et longue dure de vie
(> 6 * 10
6
utilisations)
Moteur micropas entranement direct et couple lev avec encodeur rotatif incrmental pour les
mouvements partir de la position initiale en z et les mouvements en boucles fermes
Pour la gestion des mouvements : dplacement bidirectionnel pour les trajectoires les plus courtes,
acclration / dclration intelligente, maintien de la position, affichage derreur
Ionisation douce pour lanalyse des molcules organiques complexes
TM
rseau Ethernet LAN

15
contrat



HPR-20 QIC, Analyseur de Gaz Atmosphriques

applications en production / recherche
Contrle des procds
Analyse in-situ
CVD / MOCVD
thermique

Caractristiques de lanalyseur de gaz HPR QIC-20 compact, de paillasse, pour le contrle
des gaz et des procds des pressions jusqu la pression atmosphrique:

3
Possibilit dune interface dchantillonnage haute pression jusqu 30 bar
Interface de contrle automatique des flux pour une pression constante dans la source dions
Pige cryognique azote liquide pour un pompage amlior des composs condensables
Ionisation douce pour lanalyse des molcules organiques complexes
16
contrat


Hiden HPR-40, Analyseur dEspces Dissoutes

Analyse prcise des espces dissoutes prsentes
dans un conteneur ou obtenues au cours dun
procd
Analyse de carottes de sols
Analyse des processus de fermentation
Analyse de leau (estuaire, rivire ou
rservoir)
Etudes de contamination des nappes
phratiques
Contrle de la production de mthane
Etudes de lactivit microbiologique et
enzymatique
Contrle de lenvironnement
Caractristiques de lanalyseur despces dissoutes HPR-40 compact, de paillasse, pour le
contrle des gaz dissous ou produits par un procd:
Structure compacte de l'appareil de paillasse / du chariot mobile / du support de console
Grande sensibilit (jusqu 5 ppb), domaine de masse : 200, 300 ou 510 uma
Sonde pour les espces dissoutes, comprenant une membrane en silicone, avec vanne fermeture
rapide
Possibilit dune cellule de recirculation membrane pour des tudes dynamiques et approfondies
Vanne fermeture automatique rapide en cas de dfaut de la sonde
Ioniseur, piges cryogniques azote liquide pour un vide optimal / des interfrences minimales
entre spectres
Commande de vanne disolation de la rampe vide pour un dmarrage rapide distance
Ionisation douce pour lanalyse de molcules organiques complexes et les tudes par APMS
Tuyau dintroduction 4 ou 8 voies pour un chantillonnage partir de sondes multiples

17
contrat


Hiden HPR-50, Analyseur de Gaz pour Dpt de Diamant par CVD

Analyse infrieure au ppm de tous les composants
et sous-produits de procds de croissance du
diamant
CVD
PECVD
Contrle des procds / surveillance en ligne et
en temps rel
Analyse des sous-produits
Pour une meilleure reproductibilit et qualit
des produits

Caractristiques du spectromtre de masse HPR-50 sparation de voies, un analyseur de
gaz sur mesure ddi au contrle des procds de croissance de lpaisseur de diamant:

Tube dintroduction sparation de voies rponse ultra-rapide pour lchantillonnage de faisceaux
molculaires
Tuyau dintroduction inerte chauff pour caractriser les intermdiaires ractionnels et les produits
Piges cryogniques azote liquide pour un vide optimal / des interfrences minimales entre spectres
Pression dchantillonnage de 20 400 Torr
Ionisation douce pour lanalyse de molcules organiques complexes et les tudes par APMS

18
contrat


Hiden HPR-60, Spectromtre de Masse Echantillonnage de Faisceaux
Molculaires

Pour lanalyse de faisceaux molculaires sans collisions
lors de procds grande vitesse pression
atmosphrique
Cintiques de raction
Analyse de plasma
Etudes de combustion analyse des particules
ionises dans les flammes
Etudes de catalyse
CVD / MOCVD tudes de procds de croissance
de lpaisseur de diamant
Etudes de dsorption ultra-rapide
Analyse de la dcharge luminescente pression
atmosphrique
Analyse des agrgats
Caractristiques du spectromtre de masse HPR-60 chantillonnage de faisceaux
molculaires, un analyseur de gaz compact, de paillasse, pour le contrle des analyses
approfondies de procds:
Grande sensibilit (jusqu 5 ppb), analyseurs analogiques / comptage des impulsions, jusqu
2500 uma
Analyse des neutres, ions et radicaux, possibilit danalyses faible / forte nergie
Ionisation douce pour lanalyse de molcules organiques complexes et la spectromtrie de masse
APMS
Modulateur intgral / porte dacquisition du signal : 1 s pour spectromtrie de masse rsolue dans le
temps / analyse en nergie
Rampes vide intgres, avec systme de pompage indpendant, pour un chantillonnage direct par
des orifices aligns axialement afin dobtenir une perturbation minimale des ions et radicaux
Pression dchantillonnage : 20, 100 ou 1000 mbar
Ioniseur, piges cryogniques azote liquide pour un vide optimal et des interfrences minimales
entre spectres
Possibilit de plaque avant avec refroidissement eau ou cryognique

19
contrat



Hiden HPR-70, Analyseur de Gaz Introduction pour Echantillons en Srie

Analyse quantitative infrieure au ppm de tous
les composants dans des volumes scells ou
discrets
Etudes de volumes scells
Analyse de sries dchantillons / volumes
discrets
Dtermination quantitative des chantillons
Acquisition dchantillons distance /
analyse locale

Caractristiques du spectromtre de masse HPR-70 introduction pour chantillons en
srie, un analyseur de gaz compact, de paillasse, pour lanalyse des volumes discrets ou
scells:
Structure compacte de l'appareil de paillasse / du chariot mobile / du support de console
Tuyau dintroduction direct grande sensibilit (jusqu 5 ppb)
Piges cryogniques azote liquide pour un vide optimal et des interfrences minimales entre
spectres
Expansion volumique en cascade, de 1 cm
3
10 cm
3
et jusqu' un volume de 1 litre
Echantillonnage direct par fuite molculaire sur un volume tendu
Pertes minimales dchantillon / pas de dilution par un autre gaz ni deffets de mmoire
20
contrat


HPR-90, Analyseur de Gaz en Ampoules Scelles avec Systme Complet de
Rupture dAmpoule de Gaz

Un systme unique ddi lanalyse des gaz de
remplissage des ampoules et autres tubes scells

Analyse des gaz de remplissage
Etudes de contrle de qualit
Analyse des volumes scells

Caractristiques du Hiden HPR-90, conu spcifiquement pour lanalyse de haute
performance des volumes scells:
Chambre de rupture interchangeable avec mcanisme manuel de rupture
Filtre et support dampoule scelle, maillage du filtre du tuyau dintroduction en ligne : 2 microns
Hiden HAL/3F 301 RC, spectromtre de masse quadrupolaire triple filtre
Deux systmes de turbo-pompage 240 litres/s avec pompes secondaires, rampes et jauges
Tuyau dintroduction avec vanne de fuite automatique, vanne disolation soufflets, scelle, vanne
douverture automatique, manomtre capacitif et unit de contrle des vannes
Tuyau dintroduction de calibration de gaz comprenant vannes et dispositifs dajustement
Grande sensibilit jusqu 10 ppm pour un tube scell 10 mbar
Chariot mobile entirement connect et test, jaquette dtuvage pour le spectromtre de masse

21
contrat


QIC100, Analyseur de Gaz Atmosphriques

applications en production et en recherche
Contrle des procds
Analyse in-situ
CVD / MOCVD
thermique

Caractristiques de lanalyseur de gaz QIC-100 compact, chariot mobile, pour le
contrle des gaz et des procds des pressions jusqu la pression atmosphrique:
Triple filtre quadrupolaire pour une grande sensibilit (jusqu 5 ppb)
3
Interface haute pression pour un chantillonnage jusqu 30 bar
Ionisation douce pour lanalyse de molcules organiques complexes

22
contrat


Proteus, Vanne de Slection de Gaz Jets Multiples

Un systme unique de vanne de slection
multivoies pour lanalyse jets multiples
Analyse despces
Imagerie en concentration

Caractristiques du systme de vanne de slection Proteus pour intgrer directement dans
les procds un systme de vanne multivoies:

Configurations dchantillonnage : 20, 40 ou 80 voies
Dtecteur de temprature intgral / filament chauffant jusqu 120C
Flux de gaz de 0,01 10 l / min de 10 mbar 2 bar
Aucune perturbation croise donc effet mmoire ngligeable
Volume mort faible permettant une rponse rapide
Nouvelle technique de fermeture hermtique pour un serrage efficace et longue dure de vie
(> 6 * 10
6
utilisations)
Moteur micropas entranement direct et couple lev avec encodeur rotatif incrmental pour les
mouvements partir de la position initiale en z et les mouvements en boucles fermes
Pour la gestion des mouvements : dplacement bidirectionnel pour les trajectoires les plus courtes
Acclration / dclration intelligente, maintien de la position, affichage derreur
Intgration facile un matriel danalyse, par ex. le spectromtre de masse Hiden HPR-20

23
contrat


Rampe munie de Vannes Jets Multiples (8 voies)

Un systme de vannes de slection multivoies
pour lanalyse jets multiples
Analyse despces
Imagerie en concentration

La rampe d'introduction vannes multivoies (8 voies) est un systme entirement intgr
avec quipement de contrle manuel et automatique pour relier jusqu 8 flux de gaz ou
vapeur au spectromtre de masse Hiden utilis comme analyseur de gaz:
Faible volume mort
Version chauffante disponible pour un fonctionnement jusqu 65C lors dapplications avec vapeurs
Systme de purge pour une perturbation croise minimale et un changement rapide de gaz
Possibilit de flux faibles, jusqu 1 cc/min. la pression atmosphrique
Configuration possible pour mlanges de gaz corrosifs
Configuration possible avec des sondes espces dissoutes pour de lanalyse multipoints de liquides
Mode commutation automatique avec possibilit de choisir le dlai entre chaque changement de flux
Possibilit de pompage intgral dchantillons

Vanne Hiden Proteus disponible en 20, 40 ou 80 voies pour changement de flux

(Rampe multivannes chauffe pour gaz corrosifs, avec systme de pompage intgral dchantillons)

24
contrat


HIDEN CATLAB, Microracteur pour des Etudes de Catalyse par
Spectromtrie de Masse

Caractrisation de catalyseur, mesures
cintiques et thermodynamiques
TPD, TPO, TPR, TP raction
Suivi de lactivit du catalyseur
Analyse continue en ligne des produits
Superficie de la surface mtallique
Superficie de la surface active
Cintiques de raction
Mcanismes de ractions de surface
Chaleur dadsorption

Caractristiques du microracteur HPR CATLAB pour la caractrisation des diffrentes
fonctions du catalyseur ainsi que le suivi rapide et reproductible de son activit:
Rponse rapide, four faible inertie thermique avec systme de refroidissement air intgr
Chauffage de 1 20 C / min jusqu 800 / 1000 C
Systme unique de cartouche de catalyseur interchangeable Hiden
Sonde proche de la zone chaude pour capter les gaz mis, tuyau dintroduction direct QIC pour une
rponse < 500 ms
Thermocouple au contact de lchantillon pour une mesure directe de la temprature du catalyseur
Rampe avec 2 8 flux de gaz, automatique ou manuelle, ou rampe combine gaz / vapeur
Contrle indpendant du dbit en masse dans chaque tuyau de 3 500 ml / min
Possibilit de configuration avec rampe rsistant la corrosion
Etudes continues en ligne et en temps rel avec acquisition de donnes et analyse sur PC
Thermostat dambiance et ruban chauffant afin de minimiser la condensation de liquides initiaux ou
produits
Configuration avec vanne de fermeture ou de drivation pour fermer hermtiquement le racteur et la
voie dchantillonnage de gaz

25
contrat


Hiden EQS, Spectromtre de Masse dIons Secondaires

La toute dernire sonde SIMS monter
intgrer
dans une chambre UHV pour ltude des surfaces
SIMS statique / dynamique
Systme danalyse de surface dusage gnral et
robuste
Ioniseur frontal intgral pour analyseurs de gaz
rsiduels (RGA) et par spectromtrie de masse
dions secondaires neutraliss (SNMS)
Compatible avec canon ions /
bombardement par atome rapide (FAB)
Analyse de composition et de contamination
Profil en profondeur
Dtection des fuites
Compatible avec le poste de travail SIMS
Hiden

Caractristiques du spectromtre de masse dions secondaires pompage diffrentiel EQS,
pour lanalyse des ions secondaires, positifs et ngatifs, et des particules neutres dans des
chantillons solides:
Systme de comptage des impulsions dions dune grande sensibilit sur un domaine dynamique de 7
dcades
Possibilit dimagerie SIMS rsolution submicronique
Contrle du balayage (raster) pour obtenir de meilleurs profils en profondeur
Analyseur secteur lectrostatique de 45, incrment de balayage en nergie : 0,05 eV et 0,25 eV de
largeur mi-hauteur
Perturbation minimale de la trajectoire des ions et transfert constant dions toutes les nergies
Triple filtre quadrupolaire pompage diffrentiel, domaine de masse jusqu 2500 uma
Grande sensibilit et stabilit du systme de comptage des impulsions dions

26
contrat


Hiden IG20, Canon Ions

Canon ion la pointe du progrs pour
lanalyse de surface et en profondeur
SIMS statique et dynamique
Spectroscopie dlectrons Auger
Erosion par faisceau ionique
Balayage / profil en profondeur

Caractristiques du canon ions Hiden IG20 pour la spectromtrie de masse SIMS
statique et dynamique:
Faisceau dions intense, diamtre du spot : 100 m, nergies : 0,5 5 keV
Densit de courant leve, jusqu 4,5 mA/cm
2

Source ionique impact dlectrons avec possibilit dargon ou doxygne
Instrument optique de redirection du faisceau pour une diffusion sur laxe et un balayage xy du
faisceau pour lobtention de profils de profondeur
Dplacement de 3 de la colonne du canon ions pour un rejet optimal des particules neutres
Systme de suppression du faisceau pour un arrt rapide du faisceau dans les applications de
balayage
Pompage diffrentiel de la source, pour une consommation rduite de gaz dans lenceinte
Montage de filaments doubles facile remplacer
Vitesse de balayage jusqu 64 s
Utilisation combine des sondes SIM et EQS pour un contrle direct de la vitesse et de la surface de
balayage

27
contrat


Hiden IFG200, Canon Ions ou Canon Bombardement par Atome Rapide
(FAB)

Canon ion / bombardement par atome
rapide la pointe du progrs pour lanalyse
de surface et en profondeur
Etudes SIMS statique et dynamique
Spectroscopie dlectrons Auger
Erosion par faisceau ionique
Etudes FAB/SIMS des isolants
Balayage / profil en profondeur

Caractristiques du canon ions / bombardement par atome rapide Hiden IFG200 pour
la spectromtrie de masse SIMS statique et dynamique:
Faisceau ionique ou atomique de 2 mm, nergies : 0,5 5 keV
Chambre de modification de charge pour la conversion ion/atome rapide dans les tudes utilisant les
FAB
Lentilles de dflection lectrostatique pour un faisceau FAB propre
Densit de courant leve, positionnement stable
Dplacement de 3 de la colonne du canon ions pour un rejet optimal des particules neutres en
mode faisceau ionique
Possibilit dintroduire des gaz inertes et de loxygne
Pompage diffrentiel proximit de la source
Montage des filaments doubles facile remplacer
Unit de contrle entirement compatible avec le canon ion haute brillance IG20
Utilisation combine des sondes SIM et EQS pour un contrle direct de la vitesse et de la surface de
balayage

28
contrat


Poste de Travail SIMS avec Analyseur de Masse / dEnergie Ionique EQS

Une station danalyse SIMS robuste et
dusage gnral
Remplacement rapide des chantillons de
tous types
SIMS statique et dynamique
Ioniseur intgral pour analyseurs de gaz
rsiduels (RGA) et spectromtrie de masse
dions secondaires neutraliss (SNMS)
Modification de surface / tudes de
balayage
Balayage / imagerie de surface SIMS
Analyse de contamination de surface

Caractristiques du poste de travail SIMS Hiden, un appareil intgr UHV / SIMS pour
lanalyse approfondie des surfaces:
Analyseur Hiden SIMS EQS oprant sous le logiciel MASsoft pour lanalyse au ppb
Analyseur de masse et dnergie pour les ions positifs et ngatifs, les neutres et les radicaux
Choix entre le canon ion Hiden IG20 pompage diffrentiel, le FAB IFG200 ou des canons
gallium liquide de haute performance comme source dexcitation primaire
Contrle intgral du balayage du canon ion, avec porte dacquisition du signal pour les profils en
profondeur
Possibilit dun canon lectrons pour la neutralisation de la charge lors des tudes disolants
Pige cryognique azote liquide et filaments chauffants dtuvage dans la chambre vide
Transfert rapide dchantillons, support dchantillon et manipulateur avec sas de chargement
Manipulateur compatible UHV avec 4 axes, X, Y, Z et thta pour un positionnement optimal de
lchantillon
Possibilit dimagerie locale SIMS avec le programme dimagerie ESM LabVIEW SIMS
Possibilit dune bibliothque de spectres de SIMS statique
Rglage automatique de la lentille d'optique ionique SIMS et talonnage automatique de lchelle de
masse pour des performances optimales en SIMS

29
contrat


IDP, Spectromtre de Masse Triple Filtre et Analyseur dEnergie

Le seul spectromtre de masse pour lanalyse de masse
et dnergie des ions, des particules neutres et des
radicaux dans les tudes de dsorption induite par des
lectrons ou des photons
Contrle rapide de masse / dnergie des espces
dsorbes
Etudes des transitoires et du temps de vol (TOF) par
une analyse des impulsions dentre
Etudes des particules parentes et radicalaires par
spectromtrie de masse APMS
Spectres de masse de surface, mesure du rendement
ionique
Dtecteur rapide in-situ de la pression de travail
Seuils ESD et PAS, distribution en nergie des ions
Ions positifs et ngatifs, informations sur les angles de
liaison
Dtection de fuites / fuites virtuelles / dsorption

Caractristiques de la sonde de dsorption ionique Hiden IDP pour lexamen des espces
faible nergie dsorbes lors dtudes ESD, PSD ou TPD en UHV:
Systme de comptage des impulsions dions avec affichage continu des donnes sur sept dcades
Observation directe des masses et des rendements dions positifs / ngatifs, de particules neutres et
radicalaires
4 lentilles doptique ionique avec ioniseur intgral lectrons et enveloppe compatible UHV
Distribution dnergie ionique par balayage du potentiel de llectrode intermdiaire : 100 V, option
1000 eV
Triple filtre quadrupolaire de grande sensibilit, domaine de masse jusqu 2500 uma
Rsolution / porte dacquisition : 1 s pour lobtention des distributions dnergie et de masse en
fonction du temps ou permettre des tudes de temps de vol (TOF)
thermique

30
contrat


Hiden EQP, Analyseur de Masse et dEnergie pour lAnalyse du Plasma

Analyse de masse entirement rsolue en
nergie et analyse dnergie entirement
rsolue en masse de toutes les espces
prsentes dans votre plasma
Etudes drosion / de dpt
Implantation ionique / ablation laser
Analyse de gaz rsiduels / dtection de fuites
Couplage lectrode plasma suivi de ltat
de llectrode en fonctionnement
Analyse travers une fentre, lectrode de
masse, lectrode de commande

Caractristiques de lanalyseur combin masse / nergie Hiden EQP pour lanalyse des
ions positifs et ngatifs et des particules neutres et radicalaires lors de procds plasma:
Optiques dextraction dions contrles par logiciel pour une perturbation minimale du plasma
Analyseur secteur lectrostatique de 45, incrment de balayage en nergie : 0,05 eV et 0,25 eV de
largeur mi-hauteur
Perturbation minimale de la trajectoire des ions et transfert constant dions toutes les nergies
Triple filtre quadrupolaire pompage diffrentiel, domaine de masse jusqu 2500 uma
Comptage des impulsions dions de grande sensibilit et stabilit, domaine dynamique de 7 dcades
Ioniseur intgral rglable pour spectromtrie de masse APMS avec possibilit de capture dlectrons
Rsolution / porte dacquisition du signal : 1 s pour les plasmas pulss ou la distribution dnergie
et de masse en fonction du temps
Option 1000 eV, option flottante jusqu 10 KeV, option capteur de Faraday pour les plasmas de
haute densit
Possibilit dcran en mu-mtal ou radio-mtal, option pour un fonctionnement haute pression

31
contrat


Hiden PSM, Analyseur de Masse et dEnergie pour lAnalyse du Plasma

Analyse de masse entirement rsolue en
nergie et analyse dnergie entirement
rsolue en masse de toutes les espces
prsentes dans votre plasma
Gravure par faisceau ionique
Etudes de dpt plasma
Implantation ionique / ablation laser
Analyse des gaz rsiduels
Dtection des fuites

Caractristiques du spectromtre de masse PSM pompage diffrentiel pour lanalyse des
ions secondaires et des particules neutres dans les procds plasma:
Rampe pompage diffrentiel avec bride de montage vers la chambre danalyse
Triple filtre quadrupolaire de grande sensibilit et stabilit, domaine de masse jusqu 2500 uma
Comptage des impulsions dions avec domaine dynamique de 7 dcades
Possibilit danalyse nergtique par balayage de polarisation, standard : 100eV, option 1000eV
Optiques ioniques dextraction et dexclusion avec ioniseur intgral rglable pour spectromtrie de
masse APMS avec possibilit de capture dlectrons
Porte dacquisition du signal jusqu 1 s pour les tudes en plasmas pulss ou lobtention des
distributions dnergie et de masse en fonction du temps
Analyse standard des particules neutres et radicalaires, possibilit danalyse dions +ve / -ve
Possibilit dcran en mu-mtal ou radio-mtal ; option pour un fonctionnement sous haute pression

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contrat


Hiden ESPION, Sonde de Langmuir perfectionne pour lAnalyse du Plasma

La sonde de Langmuir la plus perfectionne
et la plus fiable pour :
Erosion/gravure, dpt et nettoyage par
plasma
Procds dimpulsions plasma
Collecte dions (N
i
et G
i
)
Ralentissement des lectrons (T
e
et
FDEE)
Collecte dlectrons (N
e
)
Potentiel du plasma
Longueur de Debye, potentiel flottant

Caractristiques de la sonde de Langmuir perfectionne ESPION, pour des analyses de
plasma rapides, fiables et prcises dans lindustrie ou la recherche:
Vitesse dacquisition : 15 balayages / s, interface D-O-E pour des analyses automatiques, semi-
automatiques et manuelles
Hiden tant un pionnier dans la compensation radio-frquence passive, la sonde ESPION possde
limpdance de blocage la plus forte parmi tous les appareils commercialiss (4.25Mohm 13.56
MHz cf. 100kohm)
Chane de refroidissement du gaz inducteurs multiples pour un fonctionnement haute temprature
du plasma, remplaable par lutilisateur et permettant un rglage dautres frquences
La sonde de rfrence compense les effets de basse frquence, par ex. : variation de potentiel du
plasma (par ex. : parois de lenceinte anodises) ou bruit de fond (par ex. : alimentation lectrique)
ESPION possde les spcifications dimpulsions plasma les plus rapides de toutes les sondes
commercialises, la version standard d'ESPsoft comporte tous les circuits de commandes ncessaires
Possibilits dun entranement linaire automatique 300, 600 ou 915 mm, dune vanne disolation
verrouille, de sondes 90 et dun entranement combin linaire - rotatif
Cycle dauto-nettoyage pour limiter la contamination de la pointe de la sonde
Logiciel ESPsoft de contrle, via une interface RS232, RS485 ou un rseau Ethernet LAN

33
contrat


ICP, Poste de Travail Plasma avec Analyseur EQP de Masse et
dEnergie Ionique

Analyse combine de masse et dnergie de
toutes les espces lors de procds plasma
RF
Etudes de plasma et drosion/de la
gravure ionique
CVD / PVD / MOCVD
Modification de surface
Procds sous vide / par plasma
Nettoyage et strilisation par plasma
Dpt et modification de couches minces
Fabrication et modification de matriaux
composites

Caractristiques du poste de travail plasma Hiden, un ensemble intgr racteur RF-ICP
et analyseur de plasma pour toutes les tudes de procds plasma:
Cellule cylindrique en quartz, 100 mm de diamtre
Bobine dinduction en cuivre 4 spires, avec quipement de refroidissement et rglage de la bobine
100 mm
Gnrateur RF 13,56 MHz, jusqu 200 W avec dispositif de rglage
Ecran RF (440 x 340 x 340 mm)
Refroidissement lair, contrle du double flux manuel ou automatique
Rampe double pompage turbomolculaire mont en diffrentiel
Jauge de pression capacitive et affichage de la pression de la cellule
Analyseur de plasma Hiden EQP 500 avec variation de z sur 100 mm pilot par le logiciel MASsoft
Analyseur de masse et dnergie pour les ions positifs et ngatifs, les neutres et les radicaux

34
contrat


Outils Informatiques pour les Spectromtres de Masse Quadrupolaires Hiden

Logiciel MASsoft
Logiciel dinversion de matrice et de
calibration automatique
Logiciel SPCsoft pour le contrle statistique
des procds
Cartographie des lments chimiques par
SIMS
Logiciel danalyse TPD/TPR/TPO pour la
caractrisation de catalyseur
Drivers LabVIEW
Bibliothque de spectres de masse NIST

Lquipement des spectromtres de masse quadrupolaires Hiden inclut le logiciel MASsoft
pour PC
Divers logiciels sont proposs indpendamment pour des applications spcifiques:
Le logiciel MASsoft pour le contrle global du spectromtre de masse, lacquisition de donnes et
laffichage
Compatible Win9x, Win 2000, Win NT, Win ME, WinXP
Nouvelle application dinversion de matrice avec calibration automatique du spectromtre de masse
comprenant une dconvolution spectrale pour les mlanges de gaz complexes avec recouvrements de
spectres
Logiciel SPCsoft pour le contrle statistique automatique des procds comprenant une exploitation
automatique des donnes en provenance de plusieurs analyseurs et une conversion des donnes aux
formats SPC standards
Possibilit dimportation et dexportation de donnes avec la bibliothque de spectres de masse NIST
Logiciel danalyse automatique TPD/TPR/TPO pour la caractrisation de catalyseur, comprenant
lintgration des surfaces des pics combine aux algorithmes de la mthode UMIST pour les surfaces
mtalliques, les mesures de vitesse et dnergie dactivation de ladsorption
Cartographie des lments chimiques par SIMS pour les applications en imagerie SIMS

35
contrat

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