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de la
Porte CMOS
Alain GUYOT
TIM A
DEA MICROÉLECTRONIQUE
((33) 04 76 57 46 16
: Alain.Guyot@imag.fr
http://tima-cmp.imag.fr/~guyot
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique
pour l'Architecture. Unité associée au C.N.R.S. n° B0706 électrique 97
Dimensionnement électrique
Besoin : masques
- Modèle pour calculer
les dimensions optimales
électrique 98
Comportement électrique
•Modélisation
•Etablissement des équations
•Fonctionnement d'un inverseur en statique
•Détermination du seuil logique
•Courant statique
•Seuil et immunité au bruit
•Inverseur en dynamique
•Considérations simplificatrices
•Calcul des capacités parasites
•Dimensionnement d'une chaîne d'inverseurs
•Dimensionnement de portes logiques
•Latch-Up
électrique 99
MOS: modélisation du volume
e
W
n+ L n+ y
(p)
n+ L n+ y
(p)
x
électrique 100
Comportement physique à admettre
La quantité Q de porteurs attirés de la source sous la grille est linéairement proportionnelle au
champs électrique vertical produit par Vgs ( on ne prend pas en compte la tension du substrat )
Vgs +
-
quantité de porteurs
S
substrat Q = ε (Vgs - Vt)
e
La vitesse de déplacement vde ces porteurs dans le canal est linéairement proportionnelle
au champs électrique horizontal produit par Vds (on néglige la vitesse de saturation)
Vds
- + Mobilité µ Silicium GaAs
S D Electron 700 cm2 /Vs 4000 cm2 /Vs
Trous 230 cm 2 /Vs 200 cm2 /Vs
( la tension du substrat, l'Effet de Substrat , l'effet "Early sont négligés dans les circuits LOGIQUES)
électrique 101
MOS: établissement des équations
V ds
S V gs G D
dy
n+ n+ y
(p) V (y)
x
ε dQ = ε W dy ( gs -
dQ =
e
W dy ( V gs - V (y) - Vt ) I ds =
dt e dt
V V (y) - V t )
tension tension
surface du condensateur vitesse des porteurs
capacité/unité de surface/V capacité/unité de surface/V
d V (y) µε
V gs - V (y) - V t ) Vdy
dy d (y)
v= = µE=- µ Ids = W(
dt dy e
champ électrique facteur de mérite de la technologie
mobilité des porteurs
électrique 102
MOS: intégration des équations
V ds
S V gs G D
dy
µε
=2K
e n+ n+ y
V (y)
L
µε
(V gs - V (y) - V t ) Vdy
d (y) équation différentielle
Ids =
e
W
y y
⌠ ⌠
d V (y) Pas de constante d'intégration
⌡
Ids = 2
⌡
K W (V gs - V (y) - V t ) dy car V (0) = 0
0 0
Ids =2K W
L
[ (V gs - Vt ) V ds - 1
2
V ds 2 ] Equation du mode ohmique ou linéaire
électrique 103
MOS: modèles possibles
ue quadratique
linéaire 2
miq
2 (Vgs - V t ) Vds - V ds
Oh
1
R =
2 K (V gs-V t)
❶ ❷
sans modulation de profondeur (simpliste) 2 *(Vgs - V t )
sans pincement du canal (irréaliste)
générateur de courant
tangente au sommet
❸ ❹
Vgs - V t modèle pour circuits analogiques
avec régulation du courant par pincement avec influence de V ds sur la longueur
sans modulation de la longueur du canal électrique 104
MOS: résumé des 3 modes
Bloqué: V gs < Vt
Ohmique: V gs > Vt et V gd > Vt
2
Ids = 2K W ( Vgs - Vt)Vds - Vds
L 2
R = 1
(zone ohmique)
2 K (V gs- Vt)
Saturé : V gs > Vt et V gd ≤ V t 2
( Vgs- Vt) ( Vgs- Vt) - V
( gs- Vt)
Ids = 2K W
L 2
Ids = K W (V gs- Vt) 2
L
électrique 105
Facteur de Gain K
µε
K = facteur de gain de la technologie =
2e
µn = mobilité des électrons ≈ 690 cm V
2 -1
s
-1
e = épaisseur du SiO 2 ≈
35 10 µF
-3
2 10 cm
cm
= 200 Å } même pour N et P
-1 -1 -2
unité de K = µF V s = µA V
Remarque importante :
-5
K n = 690 35 10
-2
-3
≈ 60 µA V La température et la
2 2 10 saturation de vitesse
-5
dégradent ces valeurs
K p = 230 35 10 ≈ 20 µA V
-2
2 2 10
-3 de 50%
électrique 106
Applications cunutesques (1)
5V 5V
K n ≈ 40 µA V -2
S D
K p ≈ 16 µA V -2 G L p = 1µ L n = 1µ
V Tn ≈ 1,0 V
W p = 1µ G W n = 1µ
D S
VTp ≈ 1,5 V
bloqué bloqué
ohmique ohmique
saturé saturé
Imax = µA Imax = µA
électrique 107
MOS: I ds /V gs
Ids Gm =
∂ Ids
∂ V gs
te
cs
Transconductance
=
ou gain du transistor
ds
V
Courant d'inversion faible (petit signal)
V gs > V t ⇒ I ds
Vt V gs
Ids = K W
L
(V gs- Vt) 2
Gm ≈ 2 K W
L
(V gs- Vt)
électrique 108
MOS: I ds /V gs
2
Ids =K W
L
V ds
Ids saturation
Saturé
V gs = 5V
que
mi
V gs = 4V
Oh
Ids L R
V gs = 3V
R= =
V ds W V gs ≥V tn
V ds
électrique 109
Zones de fonctionnement du MOS
5V MOS N
V gs = V tn
saturé
(bloqué
du côté
V ds
du drain)
partout
bloqué
tn
ohmique
Vt - V
(bloqué
gs
n
Vg V nulle part)
=
s=
d
Vd
0
0 V tn V gs 5V
électrique 110
5V MOS P
ohmique
(bloqué
tp
Vt - V
nulle part)
gs
p
Vg V
=
s=
partout
bloqué
Vd
saturé
V ds
(bloqué
du côté
du drain)
V gs = V tp
0
0 V gs 5V- Vtp 5 V
électrique 111
Zones de la caractéristique de transfert de
l ’inverseur
5V
V gs = V tn
c f
p
5V
Vt
-
gs
S
V ds pour le N
V ds pour le P
V
G
-
5V
=
ds
V
D a d
-
V
Entrée Sortie
5
Sortie
5V -
n
Vt
-
gs
D
V
s=
b g
Vd
e
G S 0
- V tp 0 Vtn 2,5 V 5V - Vtp 5V
0V
Entrée V gs pour le N
5V - V gs pour le P électrique 112
Les 5 régimes de P ohmique
l'inverseur A B
P ohmique
logique N bloqué
N saturé
A
5V P saturé
N saturé
B C
N saturé P saturé
tu ue
C
sa iq
ré
P bloqué
P hm
m ré
D
ue
oh atu
o
iq
P
N ohmique
N Ns
N bloqué
P bloqué
P saturé
D
E
E
0
N ohmique
0 V tn 2,5 V 5 V - V tp 5V électrique 113
Programme PASCAL simulant un inverseur
chargeant un condensateur
for I := 1 to N_ITER do
Begin
T := T + dT ;
Vin := SignalEntree ( T ) ;
if Vin < Vtn then Idsn := 0
else if Vout <= Vin - Vtn
then Idsn := KN * (2 * (Vin - Vtn) - Vout )) * Vout
else Idsn := KN * (Vin - Vtn) * (Vin - Vtn) ;
if Vin > 5 - Vtp then Idsp := 0
else if Vout >= Vin - Vtp
then Idsp := -KP * (2 * (Vin -(5 - Vtp)) - (Vout - 5)) * (Vout - 5)
else Idsp := -KP * ( Vin - 5 - Vtp) * ( Vin - 5 - Vtp) ;
Vout := Vout - DT * (Idsp + Idsn) / C
end;
électrique 114
Caractéristiques de transfert de l'inverseur
ou variation du seuil logique (1)
5V
5V Wn W Κn
α= Ln
p
* Κp
G Wp Lp
p Κp
Lp rapport des
α2 = 0,1
géométries
α2 = 10
α2 = 1
Sortie
Entrée Sortie
rapport des
Vc Vc mérites
n Wn Κ
n
G Ln 5V- V tp
0V 0 Entrée
0 V tn 2,5 V 5V électrique 115
Seuil logique de l'inverseur (2)
V DD V DD
Ids sat p
p Ids sat p
Entrée Sortie
Vc =1
Ids sat n
Vc n Vc
Ids sat n
0V 0V
W 2
Courant de saturation L→ ∞ Ids sat = K
L
V gs - V T
Remarque: si on tient compte de la saturation de vitesse des porteurs, le courant Ids sat devient
V
Courant ohmique IDS Ω = K W V gs - V T - ds V ds
L 2 électrique 116
Seuil logique de l'inverseur (3)
µε Wn
K= Kn Ln
2e α= ∗
K p Wp
Lp
I ds −sat − n ( Vc − Vtn )
=1 α =1
I ds −sat − p ( Vdd − Vc − Vtp )
V
si α = 1, V c ≈ dd = 2,5 Volt
2 électrique 117
Courant statique de l'inverseur
V dd
Marge de
bruit NM 1
Ishort
La puissance dissipée
Seuil de quand les 2 transistors MOS
Vc commutation conduisent est généralement
négligeable devant celle de
la charge et décharge des
Marge de capacités parasites
bruit NM 0
0
I ds −sat − n
=1 0 V tn 2,5 V 5 V - V tp 5V µε
I ds −sat − p K=
2 2e
Wn Vdd − Vtn − Vtp
I ds −short = K n
+ α
Ln 1 électrique 118
Applications cunutesques (2)
A- Pour un inverseur , calculer:
K n ≈ 40 µA V -2 1- Le courant statique
traversant l'inverseur au
K p ≈ 16 µA V -2
seuil de commutation
Vc = 2,5 V
2- Le courant maximum fourni
ßn= 4 par le transistor P en commutation
V Tn ≈ 1,0 V
3- Le courant maximum absorbé
VTp ≈ 1,5 V par le transistor N en commutation V dd
5V
3,75 mA
Vout in
Vout
In
V
in
In = Ip
V
Ip
Statique Dynamique
électrique 120
Prise en compte du temps (2)
G Marge de
p bruit NM 1 Bruit toléré
Bruit généré
sortie
Entrée Sortie Seuil de
commutation
Somme des marges
Excursion logique
n Marge de
G bruit NM 0
0 NM 0+ NM 1
0V 0 V tn 2,5 V 5V - V tp 5V Vdd
entrée
électrique 122
Tolérance et sources de bruit (2)
V dd
NM 1
V dd -VTp sortie 1
Bruit par couplage
capacitif
valeur
gain > 1 non
logique Bruit par couplage
résistif (alimentations)
NM 0
sortie 0
V Tn
Bruit thermique
0
V dd Bruit dû aux particules
ligne
dégrade toujours
V ss
doit restaurer
électrique 123
Qu'est-ce que le délai
électrique 124
Evaluation temporelle
V dd
Seuil de délai ≠ seuil logique ⇒ On prend
2
a b c d
délai = d 1 + d 2 + d
b d2 c d 3 V dd
d1 d3
a 2
électrique 126
Remarques préliminaires (2)
électrique 127
État de l'art en modélisation des délais
électrique 128
Etablissement du modèle IC (exemple)
Vdd V dd
Sortie
p I p Sortie
Entrée
Vc
n
In
0V CL 0
Entrée
Somme des
capacités T↓ T↑
parasites
1
T↓ = Vc CL
On observe que l'inverseur est
un générateur de courant déclenché
⇒ I sat n
1
par le passage du seuil T↑ = Vc CL
I sat p électrique 129
Modèles possibles
pour le dimensionnement
Wn
I sat n= K n (Vdd -VTn-V c)
Ln
I=0 CL CL CL CL
début de fin de début de fin de
charge charge décharge décharge
V dd
Vdd - V Tp
V dd
2
V Tn
T↑ T↓
V dd 1 V dd 1
T↑ = CL T↓ = CL
2 I sat p 2 I sat n
électrique 131
Modèle RC pour canaux courts (3)
V dd
V dd - V Tp
V dd
2
V Tn
T↑ T↓
V dd 1
T↓ =
V dd 1
T↑ = CL CL
2 I sat p 2 I sat n
T ↑=
V dd 1 CL ⇒ ↑
T =R
CL
V dd - V T v lim C ox W W
technologie
Varie peu avec Vdd } assimilé à R
électrique 132
Considérations simplificatrices
(en dynamique)
C conn C conn
Wn Wn
Ln Ln
porte 1 porte 2
C gs transistor pour le P C gs = C gd = W p L C ox
Wp P 2
L
pour le N C gs = C gd = W n L C ox
2
Lc Capacités d'entrée:
3µ
C j = 30 nF cm -2
entrée sortie
Calculer
1- Cin et Cout
3µ 2- Le délai de l'inverseur non chargé
3- Le délai avec une sortance de n
1µ 4- La puissance dissipée à 50 Mhz
3µ
diff n C in = nF C out = nF tlim = ps
V ss = 0 V tchargé = ps Pdyn = W
électrique 137
Corrections & Conclusions (1)
1- Calcul de C in et C out
C in = ( 3µ + 10µ ) * 1 µ * 170 nF * 10 µ ≈ 2 200 nF 10
-8 -2 -8
Conclusion: Pour l'inverseur les capacités Cin & Cout sont équivalentes
-1 ?
C0 C n >> C 0
C0 C1 Ci C n >> C 0
peu de portes
à délai long
? beaucoup de
portes à délai
court
électrique 141
Adaptation des charges (3)
C0 C1 Ci Cn >> C0
C i+1 ème
Soit f i = . Le délai du i inverseur est Ti ↓↑ = (1 + f i ) Tlim
n
Ci n n
On a : Π f i = C n ; On veut minimiser Σ Ti ↓↑ proportionnel à Σ (1 + f i )
i=1 C0 i=1 i=1
Cn
Le minimum est obtenu pour fi =
n
Cn ( )
ln C 0
C 0 soit n = ln (f i )
fi + 1
ce qui revient à minimiser n (f i + 1) ≈ obtenu pour 1+ 1 - ln(f i ) = 0
ln (f i ) fi
électrique 142
Adaptation des charges (4)
C0 C1 Ci C n >> C 0
1 Cn
Donc n =
1,3
ln ( C0
)
électrique 143
Visualisation du minimum (tableur)
4.5
4.3
fi + 1
4.1 ln (f i )
3.9
3.7
3.5
électrique 144
Conservation du seuil logique
V dd
p W
a Pour conserver le équivalent
L
b p si on met 2 transistors en série,
il faut doubler le W
n n
V dd
V dd
Ids sat n Ids sat n Ids Ω n
p p
a n CL CL CL
b n
début de fin de
décharge décharge
électrique 145
Application cunutesque (4)
électrique 146
Entrance importante
plus lente
plus
rapide
électrique 147
Quel est le circuit le plus rapide ?
v a b c
électrique 148
Latch up (1)
Thyristor
+
te
et
+
ch
anode
gâ
p gâchette
n
p
n -
cathode
électrique 149
Latch up (2)
V dd
V dd
Rn
N N P+ N+ P P
βp
βn Rn
βp βn
Rp Rp
latéral vertical
Réduire βn * βp
Réduire Rn + Rp
Mettre un prise substrat tout les 40µ au maximum
Epitaxie sur P+, isolation par tranchées remplies d'oxyde, …
électrique 150