Mod

elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Modelisation 3D de Transducteurs
Piezoelectriques `a Ondes Acoustiques de
Surface (SAW)

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

Carlos JEREZ-HANCKES
ELEC

Directeur: Jean-Claude NED

` faire
A

Centre de Math
ematiques Appliqu
ees, Ecole
Polytechnique, Palaiseau
Departement LPMO, Institut FEMTO-ST, Besancon
TEMEX S.A., Sophia-Antipolis

Mars 2007

Table des Mati`eres

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Introduction
Physique et applications

Equations
Fondamentales

Mod`ele 2D

Mod`ele Tridimensionnel
Singularites de charge
ements Hybrides
El
Resultats

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

` faire
A

Transducteurs `a Ondes de Surface (SAW)

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Pi
ezo
electricit
e. Deplacements mecaniques (forces) sur le
substrat gen`erent differences de voltage (champ electrique), et
reciproquement.

Transducteurs `a Ondes de Surface (SAW)

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D

Pi
ezo
electricit
e. Deplacements mecaniques (forces) sur le
substrat gen`erent differences de voltage (champ electrique), et
reciproquement.
Transducteur IDT SAW

Electrodes
(InterDigital Transducers) places sur la surface du
substrat piezo-electrique (dielectrique).

Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

IDTs

Substrate

Fig.: IDT

Transducteurs `a Ondes de Surface (SAW)

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

Pi
ezo
electricit
e. Deplacements mecaniques (forces) sur le
substrat gen`erent differences de voltage (champ electrique), et
reciproquement.
Transducteur IDT SAW

Electrodes
(InterDigital Transducers) places sur la surface du
substrat piezo-electrique (dielectrique).
Interface conducteur/dielectrique

` faire
A

IDTs

Substrate

Fig.: IDT

Transducteurs `a Ondes de Surface (SAW)

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

Pi
ezo
electricit
e. Deplacements mecaniques (forces) sur le
substrat gen`erent differences de voltage (champ electrique), et
reciproquement.
Transducteur IDT SAW

Electrodes
(InterDigital Transducers) places sur la surface du
substrat piezo-electrique (dielectrique).
Interface conducteur/dielectrique
Charges electriques (voltage) et mecaniques (masse electrodes).

` faire
A

IDTs

Substrate

Fig.: IDT

Fonction de Filtrage
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Fig.: Filtre SAW

Fonction de Filtrage
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Premier IDT recoit les

signaux electromagnetiques
en modifiant lequilibre
electrique du substrat.

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Fig.: Filtre SAW

Fonction de Filtrage
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Premier IDT recoit les

signaux electromagnetiques
en modifiant lequilibre
electrique du substrat.

Onde mecanique de surface

est produite (Surface
Acoustic Wave).

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Fig.: Filtre SAW

Fonction de Filtrage
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Premier IDT recoit les

signaux electromagnetiques
en modifiant lequilibre
electrique du substrat.

Onde mecanique de surface

est produite (Surface
Acoustic Wave).

Caracteristiques
geometriques et physiques
(coefficients) etablient les
frequences de propagation.

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Fig.: Filtre SAW

Fonction de Filtrage
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Premier IDT recoit les

signaux electromagnetiques
en modifiant lequilibre
electrique du substrat.

Onde mecanique de surface

est produite (Surface
Acoustic Wave).

Caracteristiques
geometriques et physiques
(coefficients) etablient les
frequences de propagation.

Londe acoustique change

electriquement le substrat et
un deuxi`eme IDT reprend les
signaux filtres.

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Fig.: Filtre SAW

Applications I
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

Syst`emes mobiles de communications, RADAR et SONAR

Entre 10 MHz et 3
GHz.

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Resonateurs et
filtres RF, IF.
Plus de 4.5 millions
de dispositifs par
jour.

Fig.: Circuit RF - Filtres SAW

Aplications II
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Nouvelles techniques de micro-usinage ont permi le

developpement des applications comme

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Micro-Electro Mechanical
Systems (MEMS)

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Capteurs passives de
deformation, pression,
temperature.
Capteurs biomedicaux
(telemetrie).
Micro-fluides (analyse
chimique, biologiques).
RFID tags, etc.

Fig.: Giroscope MEMS-SAW IDT

Mod`ele Piezoelectrique - Hypoth`eses

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Elasticit
e lineaire, loi de Hooke
Deplacements mecaniques

ui (x) x R3

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Tenseur des deformations :

Sij =

uj 
1  ui
+
2 xj
xi

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

B
= 0
t
E =

E =
Approximation quasi-statique :

` faire
A

Deplacement electrique E et tenseur

de contraintes Tij

E
Tij = ekij Ek + Cijkl
Skl

Di = ij Ej + eijk Sjk

Mod`ele Piezoelectrique
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Sist`eme des EDP

(Newton, Poisson)

2 ul
2
2 ui
E
=
C
+
e
kij
ijkl
t 2
xj xk
xj xk
eijk

2 uk
2
Sij
= 0
xj xk
xi xj

Mod`ele Piezoelectrique
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Sist`eme des EDP

(Newton, Poisson)

2 ul
2
2 ui
E
=
C
+
e
kij
ijkl
t 2
xj xk
xj xk

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

En domaine spectrale, les

solutions sont de la forme

` faire
A

exp((tkx)) = exp((tsx))
o`
u s est le vecteur de lenteur
(slowness), s = sk/|k|,
s = 1/v et = 2f

eijk

2 uk
2
Sij
= 0
xj xk
xi xj

Mod`ele Piezoelectrique
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

Maintenant, on regarde la geometrie du probl`eme :

Cest que lon connat
Soit m le domaine metallise :
` linterface : D2 = ti2 = 0 pour R2 \ m
A
Proprietes physiques et geometriques des electrodes

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

electrodes
x3
x1
x2
Substrate

bus

Mod`ele Piezoelectrique
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

Maintenant, on regarde la geometrie du probl`eme :

Cest que lon connat
Soit m le domaine metallise :
` linterface : D2 = ti2 = 0 pour R2 \ m
A
Proprietes physiques et geometriques des electrodes

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

electrodes

bus

x3
x1
x2
Substrate

Question
Comment resumer toute linformation du substrat et du milieu
libre `a linterface ?

Formulation du probl`eme
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

La fonction (dyadic) Green est la solution du probl`eme

gq1

div
T(g
)

in R3+ 1 q 4
gq2 = 0

gq3

in R3+ 1 q 4
div D(gq ) = 0

(P+ )
gq1

T(gq ) n = (x1 , x3 ) gq2

on 1 q 4

q3

(D(g
)
+

g
)

=
(x1 , x3 )gq4
on 1 q 4
q
0
q4

+ Condition radiation

(P )

gq4 = 0

[gq4 ] = 0
+ Condition radiation

in R3 1 q 4
on 1 q 4

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Reponse
En utilisant la fonction de Green Rsur la surface
Avec elle, on doit juste resoudre m G (x, y )tg (y ) dy = ug (x)

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

Reponse
En utilisant la fonction de Green Rsur la surface
Avec elle, on doit juste resoudre m G (x, y )tg (y ) dy = ug (x)
(s, ) (4x4) relie les contraintes
En domaine spectral, G
generalisees avec les deplacements generalisees
(s, )tg
ug = G

` faire
A

o`
u ug = (u1 , u2 , u3 , ) et tg = (t1 , t2 , t3 , D2 )

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

Reponse
En utilisant la fonction de Green Rsur la surface
Avec elle, on doit juste resoudre m G (x, y )tg (y ) dy = ug (x)
(s, ) (4x4) relie les contraintes
En domaine spectral, G
generalisees avec les deplacements generalisees
(s, )tg
ug = G

` faire
A

o`
u ug = (u1 , u2 , u3 , ) et tg = (t1 , t2 , t3 , D2 )
On lobtient numericament `a partir des valeurs propres.

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

Reponse
En utilisant la fonction de Green Rsur la surface
Avec elle, on doit juste resoudre m G (x, y )tg (y ) dy = ug (x)
(s, ) (4x4) relie les contraintes
En domaine spectral, G
generalisees avec les deplacements generalisees
(s, )tg
ug = G

` faire
A

o`
u ug = (u1 , u2 , u3 , ) et tg = (t1 , t2 , t3 , D2 )
On lobtient numericament `a partir des valeurs propres.
Les vecteurs propres du sist`eme sont choisi selon les
conditions de rayonnement `a linfini.

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

On a besoin de la reponse du syst`eme dans le domaine spatial

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

On a besoin de la reponse du syst`eme dans le domaine spatial

La FFT ne peut pas etre utilise directement - existence de
singularites :
saw
P
oles lies aux SAW pures, G
44
Comportement electrostatique pour la composant G

Comportement asymptotique `a linfini G

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

On a besoin de la reponse du syst`eme dans le domaine spatial

La FFT ne peut pas etre utilise directement - existence de
singularites :
saw
P
oles lies aux SAW pures, G
44
Comportement electrostatique pour la composant G

Comportement asymptotique `a linfini G

On decompose :
ij
ij
ij
ij (s) = G
reg
saw

044 (s)i4 j4
G
(s) + G
(s) + G
(s) + G

Les contributions singulaires sont calculees

analytiquement, pour faire FFT seulement `a la partie
reguli`ere.

Fonction Green
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Lequation integrale est resolue

Z
G (x, y )tg (y ) = ug (x)
m

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

en utilisant une methode variationnelle ad hoc

Z Z
Z
t
G (x, y )tg (y )tg (x) dydx =
ug (x)tgt (x) dx
m

o`
u tgt (x) est une fonction test.
Il faut definir une base de fonctions pour rapprocher tg et
ainsi creer un systeme fini.

Table des Mati`eres

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Introduction
Physique et applications

Equations
Fondamentales

Mod`ele 2D

Mod`ele Tridimensionnel
Singularites de charge
ements Hybrides
El
Resultats

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

` faire
A

Mod`ele Bidimensionnel
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

On consid`ere seulement le plan sagittal, x3 = 0 (effets

transversaux non incluses).
x3

x1

a
substrate
x2
p

Mod`ele Bidimensionnel
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

On consid`ere seulement le plan sagittal, x3 = 0 (effets

transversaux non incluses).
x3

x1

a
substrate
x2
p

Premiers essais fonctions u(xk ) avec xk =

xXk
ak .

Mod`ele Bidimensionnel
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

On consid`ere seulement le plan sagittal, x3 = 0 (effets

transversaux non incluses).
x3

x1

a
substrate
x2
p

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

k
Premiers essais fonctions u(xk ) avec xk = xX
ak .
Polynomes de Tchebychev multiplies par leur fonction
poid, demontre etre une base optimale. Lelectrode k est
decrit comme

tik =

NT
X

k Tn (xk )
q
tin
1 xk2
n=0

o`
u NT est le degre maximum.

Mod`ele Bidimensionnel
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Succ`es des bases Tchebychev est explique par le comportement

singulaire de charges electriques

Mod`ele Bidimensionnel
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Succ`es des bases Tchebychev est explique par le comportement

singulaire de charges electriques
Distribution de charges sur un segment de ligne
Pour une ligne conductrice parfaite de longueur a, la
distribution de charges est

1/2
2
l () = 0 1 2
a
pour un potentiel fixe donne.

Mod`ele Bidimensionnel
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Succ`es des bases Tchebychev est explique par le comportement

singulaire de charges electriques
Distribution de charges sur un segment de ligne
Pour une ligne conductrice parfaite de longueur a, la
distribution de charges est

1/2
2
l () = 0 1 2
a
pour un potentiel fixe donne.
3-5 polinomes suffisent pour decrire chaque electrode.
Charges mecaniques sont rapprochees correctement - pas
necessairement singulaires.

Mod`ele Bidimensionnel - Defauts

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Diminution de taille met en relief mechanismes de pertes lies `a

la nature 3D du dispositif

Mod`ele Bidimensionnel - Defauts

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Diminution de taille met en relief mechanismes de pertes lies `a

la nature 3D du dispositif
Phenom`enes de diffraction retrouves au long de buses.
Effets capacitives.
Concentration de charges aux coins et aux aretes de la
surface metallisee.

Table des Mati`eres

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Introduction
Physique et applications

Equations
Fondamentales

Mod`ele 2D

Mod`ele Tridimensionnel
Singularites de charge
ements Hybrides
El
Resultats

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

` faire
A

Mod`ele 3D - Defis
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Calcul de la fonction Green 3D spatial

.

IEEE Trans. UFFC, vol. 53, No. 2, 2006)

(V.Laude, C.Jerez-Hanckes, S.Ballandras,

Mod`ele 3D - Defis
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction

Reduire le nombre de variables

1

Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

n =

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

On considere un nombre infini delectrodes periodiques en

x3

X
G (x1 np, x3 )
G p (x1 , x3 ) =

Introduction de nouvelles singularites donnees par la

periodicite.

Definition de bases optimales

Longeur vs. largeur > 400

` faire
A

Mod`ele 3D - Defis
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction

Reduire le nombre de variables

1

Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

n =

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

On considere un nombre infini delectrodes periodiques en

x3

X
G (x1 np, x3 )
G p (x1 , x3 ) =

Introduction de nouvelles singularites donnees par la

periodicite.

Definition de bases optimales

Longeur vs. largeur > 400

les singularites de charges pour conducteurs

Id
ee : Emuler
finis plats

` faire
A

Mod`ele 3D - Singularites de charge

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Distributions de charge aux aretes et coins des electrodes

(C.Jerez-Hanckes, V.Laude, J.C.N
ed
elec, R. Lardat, IEEE Ultrasonics Symp. 2006).

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Crit`ere denergie finie

Z


|E|2 + |H|2 d <

Mod`ele 3D - Singularites de charge

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Distributions de charge aux aretes et coins des electrodes

(C.Jerez-Hanckes, V.Laude, J.C.N
ed
elec, R. Lardat, IEEE Ultrasonics Symp. 2006).

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Crit`ere denergie finie

Z


|E|2 + |H|2 d <



Aretes : (r , , z) = r a0 (, z) + r a1 (, z) + . . .
(r , , z)

1
r 1

Mod`ele 3D - Singularites de charge

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Distributions de charge aux aretes et coins des electrodes

(C.Jerez-Hanckes, V.Laude, J.C.N
ed
elec, R. Lardat, IEEE Ultrasonics Symp. 2006).

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Crit`ere denergie finie

Z


|E|2 + |H|2 d <



Aretes : (r , , z) = r a0 (, z) + r a1 (, z) + . . .
(r , , z)

1
r 1

Pour un conducteur infiniment mince, on a 1/ r

Mod`ele 3D - Singularites de charge

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Coins : (R, , ) = R V (, )

=
O

R 1

=0

Mod`ele 3D - Singularites de charge

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Coins : (R, , ) = R V (, )
R 1

Physique et
applications

Equations
Fondamentales

=0

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

=
O

Introduction

Solutions du probl`eme des valeurs propres pour loperateur

de Laplace-Beltrami

` faire
A

S V (, ) + ( + 1)V (, ) = 0 over S
V (, ) = 0 over C

o`
u

S u =

1 2u
1 
u 
+
sin

sin

sin2 2

Mod`ele 3D - Singularites de charge

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

Solutions analytiques seulement pour cas tr`es simples. Pour les

angles qui nous interessent :
90 0.296 584

90

270 0.814 655

270

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

1
R 0.703416
1
R 0.185345

` faire
A

Plus langle est aigu plus est singulaire.

Separations de variable cartesiennes nest plus possible.

 ements Hybrides
Mod`ele 3D - El
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Differents bases utilisees selon la distance aux buses

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Loin des coins (T ) : Base Tchebychev (P0)

Proche des coins (F ) : Base de polin
omes du premier
ordre (P1), avec maillage triangulaire.
ck (x, y ) =

N
Tch
X

Tn (yc )
ckn p
u (xkc ) u (2yc )
2
1

y
c
n=0

 ements Hybrides
Mod`ele 3D - El
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Les charges sur F sont donnes par

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

F (x, y ) =

NF X
3
X

je Nje (x, y )

e =1j =1

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Finalement on construit le syst`eme



MFF
t
MFT

MFT
MTT



F
T


=

en faisant les integrales



h, it ii = hG (x, ), j ij , it

F
T


(5)

i, j = {F , T }

Les matrices sont pleines. Strategies doptimization.

Mod`ele 3D - Resultats cas electrostatique

Mod
elisation
3D SAW

Simulation paire delectrodes

C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

(a.u.)

100

100
80
60
40
20
0
-20
-40
-60
-80
-100

50

Mod`
ele 2D
0

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

-50
-100

2
1.5
1
x1 (m)

200
150

0.5
100
0

50
0

x3 (m)

Mod`ele 3D - Resultats cas electrostatique, substrat

isotrope.
Mod
elisation
3D SAW

Partie inferieur de lelectrode.

C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

(a.u.)
35
30

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

30

25

25

20

20

15

15

10

10

` faire
A

1.1

1.3
x1 (m)

1.5

1.7

183

181

179

175
177
x3 (m)

173

Mod`ele 3D - Resultats cas electrostatique, substrat

isotrope.
Mod
elisation
3D SAW

Partie superieur de lelectrode.

C. Jerez
(a.u.)

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

60

Mod`
ele 3D

40

Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0

80

Mod`
ele 2D

20

` faire
A
1.1
1.3
x1 (m)

1.5
1.7
30

28

26
x3 (m)

24

22

Mod`ele 3D - Resultats cas electrostatique, substrat

anisotrope
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Mod`ele 3D - Resultats
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Estimation du nombre de variables

Maillage uniforme. Nombre de noeuds necessaire fronti`ere
F et T , Ne 10
Tranches uniformes de a a : Ne2 noeuds.
Nombre de tranches K (cas typique) : 100
Donc, # de variables par electrode K Ne2 104 .
En utilisant base de Tchebychev : 3 K = 300.

Mod`ele 3D - Resultats
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Estimation du nombre de variables

Maillage uniforme. Nombre de noeuds necessaire fronti`ere
F et T , Ne 10
Tranches uniformes de a a : Ne2 noeuds.
Nombre de tranches K (cas typique) : 100
Donc, # de variables par electrode K Ne2 104 .
En utilisant base de Tchebychev : 3 K = 300.
Conclusion : le probl`eme devient gerable.

Table des Mati`eres

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez

Introduction
Physique et applications

Equations
Fondamentales

Mod`ele 2D

Mod`ele Tridimensionnel
Singularites de charge
ements Hybrides
El
Resultats

Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D
Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

` faire
A

` faire
A
Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Au niveau pratique :
Cas periodique en x1 et non-periodique en x3
(transversale).

Mod`
ele 2D

Mise en code des conditions de periodicite.

Mod`
ele 3D

Inclure charges mecaniques

Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

Theoriquement :
Calcul des conditions de rayonnement `a linfini anisotrope.
Crit`eres geneeraux pour lutilisation des bases Tchebychev
(autres)

Mod
elisation
3D SAW
C. Jerez
Introduction
Physique et
applications

Equations
Fondamentales

Mod`
ele 2D

Merci

Mod`
ele 3D
Singularit
es de
charge
ements
El
Hybrides
R
esultats

` faire
A

carlos.jerez@polytechnique.edu