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Force – FMD

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1 ... 4

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CompacDyn: 3-Komponenten-Dynamometer Fx , Fy , Fz

le
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CompacDyn: Dynamomètre à 3 composantes Fx , Fy , Fz

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9254

tp
CompacDyn: 3-Component-Dynamometer Fx , Fy , Fz
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Quarz-3-Komponenten-Dynamometer zum Dynamomètre à quartz à trois composantes Quartz 3-component dynamometer for measur-
ic

tn

ot
Messen der drei orthogonalen Komponenten pour mesurer les trois composantes orthogona- ing the three orthogonal components of a force.
tn
Ar

ui

tn
einer Kraft. Das grosse Auflösungsvermögen les d'une force. Le haute pouvoir de résolution Its high resolution allows measuring extremely

Ar

Ar
uk

ermöglicht das Messen von kleinsten dynami- permet la mesure de forces dynamiques extrê- small dynamic forces.

od

uc
schen Kräften. mement faibles.
od

pr

od
Pr

ce

Pr
• Für Schnittkraftmessungen bei Feinstbearbeitung
Pour la mesure des forces de coupe dans l'usinage de
haute précision
For cutting force measurements in extremely precise
machining
• Kleine Bauhöhe
Faible encombrement en hauteur
Low mounting height
• Für Kraftmessungen bei der Silizium-Bearbeitung
Pour la mesure des forces dans l'usinage du silicium
For force measurements in silicon processing
• Kleiner Temperaturfehler
Faible erreur thermique
Small temperature error

Technische Daten Données techniques Technical Data *

Bereich Gamme Range Fx, Fy, N –500 ... 500
Fz N –1000 ... 1000
Kalibrierter Teilbereich Gamme partielle étalonnée Calibrated partial range Fx, Fy N 0 ... 5
Fz N 0 ... 10
Überlast Surcharge Overload Fx, Fy, N –600/600
Fz N –1200/1200
Ansprechschwelle Seuil de réponse Threshold N <0,01
Empfindlichkeit Sensibilité Sensitivity Fx, Fz pC/N ≈–8,1
000-147m-05.97 (DB06.9254m)

Fy pC/N ≈–4,3
Linearität, alle Bereiche Linéarité, toutes les gammes Linearity, all ranges % FSO ≤±0,5
Hysterese, alle Bereiche Hystérésis, toutes les gammes Hysteresis, all ranges % FSO ≤0,5
Übersprechen Cross talk Cross talk % ≤±2
Steifheit Rigidité Rigidity cx, cz kN/µm >1
cy kN/µm >2
Eigenfrequenz Fréquence propre Natural frequency fo (x) kHz ≈2
(montiert auf steifer (installé sur (mounted on fo (y) kHz ≈3
Unterlage) support rigide) rigid base) fo (z) kHz ≈1,8
Betriebstemperaturbereich Gamme de température d'utilisation Operating temperature range °C 0 ... 70
Kapazität (pro Kanal) Capacité (par canal) Capacitance (of channel) pF ≈170
Isolationswiderstand Résistance d'isolement Insulation resistance TΩ >10
Masseisolation Isolé à la masse Ground isolation MΩ >100
Schutzart Degré de protection Degree of protection IP 67 **)
Gewicht Poids Weight kg 5,12

**)Mit Anschlusskabel Typen 1687B5, 1689B5 **)Avec câble de connexion types 1687B5, 1689B5 **)With connecting cable Types 1687B5, 1689B5

1 N (Newton) = 1 kg · m · s–2 = 0,1019... kp = 0,2248... lbf; 1 inch = 25,4 mm; 1 kg = 2,2046... lb; 1 Nm = 0,73756... lbft

* In all Kistler documents, the decimal sign is a comma on the line (ISO 31-0:1992).

Kistler Instrumente AG Winterthur, CH-8408 Winterthur, Switzerland, Tel. (052) 224 11 11 Kistler Instrument Corp., Amherst, NY 14228-2171, USA, Phone (716) 691-5100
 2
Beschreibung
Das Dynamometer besteht aus vier 3-Kompo-
nenten Kraftsensoren, die unter hoher Vor-
spannung zwischen der Deckplatte und den
beiden seitlichen Grundplatten eingebaut
sind. Durch den speziellen Einbau der
Sensoren wird ein kleiner Temperaturfehler
erreicht. Die Kraftsensoren enthalten je drei
Quarz-Plattenpaare, wovon das eine auf Druck
in der y-Richtung und die beiden andern auf
Schub in der x- bzw. z-Richtung empfindlich
sind. Die Kräfte werden praktisch weglos ge-
messen.
Die Ausgänge der vier eingebauten Kraft-
sensoren sind an die 9-polige Flanschdose
ge-führt.
Die vier Sensoren sind masseisoliert einge-
baut. Damit werden Erdschleifenprobleme
weitgehend ausgeschaltet.
Das Dynamometer ist korrosionsbeständig und
gegen das Eindringen von Spritzwasser bzw.
Schneidmittel geschützt. Zusammen mit dem
Anschlusskabel Typ 1687B5 / 1689B5 ist das
Dynamometer gemäss Schutzart IP 67 dicht.
Dynamometer Typ 9254
Abmessungen
15
-0,1
0
31
9,6
32
9 DBEE 104 A 055-25
107
40
92
66
000-147m-05.97 (DB06.9254m)
ˇˇ
Description
Le dynamomètre se compose de quatre cap-
teurs de force à trois composantes montés
avec une précontrainte élevée entre la plaque
supérieure et les deux plaques de base laté-
rales. Le montage particulier des capteurs
permet d'obtenir une faible erreur thermique.
Les capteurs de force comprennent chacun
trois paires de plaquettes en quartz dont l'une
est sensible à la pression selon l'axe des y et
les deux autres au cisaillement selon l'axe des
x, resp. des z. Les forces sont mesurées pra-
tiquement sans déformation.
Les sorties des quatre capteurs de force sont
disponibles sur la prise femelle à bride à 9
pôles.
Les quatre capteurs sont montés avec isole-
ment par rapport à la masse, ce qui
permet d'éliminer largement les problèmes de
circuits de retour par la terre.
Le dynamomètre est résistant à la corrosion
et protégé contre les projections d'eau et
d'agents réfrigérants. Utilisé avec le câble de
type 1687B5/1689B5, le dynamomètre répond
aux critères du degré de protection IP 67
Dynamomètre type 9254
Dimensions
( 1)
M 6 x12/18
1
1
30
105
30
30
1
45 40 45
150
185
220
240
260
Description
The dynamometer consists of four 3-compo-
nent force sensors mounted under high pre-
load between the cover plate and the two late-
ral base plates. A low temperature error is
obtained by this special mounting of the sen-
sors. Each force sensors contains three pairs
of quartz crystal plates, of which one is sensi-
tive to pressure in the y-direction and the two
others to shear in the x and z directions. The
forces are measured practically without dis-
placement.
The outputs of the four mounted force sensors
are fed to the 9-pole flanged socket.
The four sensors are fitted so that they are
ground-isolated. This largely excludes ground
loop problems.
The dynamometer is corrosion-resistant and
protected against penetration by spray water
or cutting fluid. The dynamometer including
connecting cable Type 1687B5/1689B5 meets
the degree of protection IP 67.
Dynamometer Type 9254
Dimensions
11
6,4
7
16
Fischer
110
55
30
in.
Rm
Type 1689B5
Type 1687B5

Anwendungsbeispiele
• Schnittkraftmessung in der Feinstbear-
beitung wie:
– Waferschneiden
– Schleifen von Harddisc-Leseköpfen
• Ultrapräzisionszerspanung sprödharter
Werkstoffe
• 3-komponenten Kraftmessung von
kleinsten Kräften
• Kraftmessung bei engen Platzverhältnissen
Montage
Das Dynamometer kann mit Schrauben oder
Pratzen auf jede plangeschliffene, saubere
Montagefläche, wie z.B. auf einen Werkzeug-
maschinentisch montiert werden. Eine Montage
des Messgerätes auf einer Magnetplatte ist
ebenfalls möglich. Es ist zu beachten, dass
durch unebene Auflageflächen innere Verspan-
nungen auftreten können, welche die einzelnen
Messelemente zusätzlich stark belasten sowie
das Übersprechen vergrössern können.
Zum Aufspannen der krafteinleitenden Teile, wie
Werkstücke, stehen in der Deckplatte 16 M6
Sackgewinde zur Verfügung. Die Auflage-
flächen der krafteinleitenden Teile müssen
plangeschliffen sein, damit eine gute mecha-
nische Ankopplung an die Deckplatte erreicht
wird.
Lieferumfang: siehe Preisliste.
Zubehör
Für 3-Komponenten-Kraftmessung
Fx , Fy , Fz
• Anschlusskabel Typ 1687B5
(3adrig) Typ 1689B5
• Verlängerungskabel Typ 1688B5
(3adrig)
• Verteilkästchen Typ 5407A
Elektronik
Eine 3-komponenten-Kraftmessanlage benötigt
neben dem Dynamometer noch drei Ladungs-
verstärker, welche die Ladungssignale des
Dynamometers in Ausgangsspannungen um-
000-147m-05.97 (DB06.9254m)
wandeln, die proportional zu den auftretenden
Kräften sind.
Wafer
8x M 6 x12/17
ˇˇˇ
Exemples d'application
• Mesure des forces de coupe dans
l'usinage de haute précision, notamment:
– la coupe des tranches de silicium
– le rectifiage des têtes de lecture de
disques durs
• Usinage par enlèvement de copeaux
d’ultra-haute précision sur des matériaux
dures et fragiles
• Mesure des forces à trois composantes
de faible intensité
• Mesure des forces dans des espaces
réduits
Montage
Le dynamomètre peut être fixé au moyen de vis
ou de brides sur toute surface plane rectifiée et
propre comme p. ex. sur un plateau de machi-
ne-outil. Il est également possible de le monter
sur une plaque magnétique. Notez que toutes
les inégalités ou irrégularités de la surface de
montage peuvent avoir pour conséquence des
tensions internes engendrant des sollicitations
supplémentaires importantes sur les divers élé-
ments de mesure ainsi qu'un accroissement du
cross talk.
La plaque supérieure possède 16 taraudages
borgnes M6 pour la fixation des pièces introdui-
sant l'effort, par exemple des pièces à usiner.
Les surfaces d'appui de ces pièces doivent
être également planes et rectifiées afin de
garantir une liaison mécanique parfaite avec la
plaque supérieure.
Matériel livré: voir liste des prix
Accessoires
Pour la mesure des forces à trois
composantes Fx , Fy , Fz
• Câble de connexion Type 1687B5
(3 fils) Type 1689B5
• Câble de rallonge Type 1688B5
(3 fils)
• Boîtier de distribution Type 5407A
Electronique
Un système de mesure de force en trois com-
posantes requierd, outre le dynamomètre, trois
amplificateurs de charge qui transforment les
signaux de charge du dynamomètre en ten-
sions de sortie proportionnelles aux forces
appliquées.
Mounting plate
4x M 8 x20/28
3
Examples of application
• Cutting force measurement in precision
machining such as:
– cutting wafers
– grinding hard-disk read heads
• Ultra-high precision machining of brittle
hard materials
• 3-component force measurement of small
forces
• Force measurement in confined spaces
Mounting
The dynamometer can be mounted with screws
or clamps to any face-ground, clean mounting
surface such as on a machine tool table. The
measuring instrument can also be mounted on
a magnetic plate. It must be noted that uneven
contact surfaces may cause internal distortions,
placing additional heavy stresses on the indivi-
dual measuring elements and increasing the
cross talk.
There are 16 M6 tapped blind holes in the cover
plate for clamping the force-introducing com-
ponents such as workpieces. The contact sur-
faces of the force-introducing parts must be
surface ground to achieve good mechanical
coupling to the cover plate.
Scope of delivery: see price list
Accessories
For 3-component force measurement
Fx , Fy , Fz
• Connecting cable Type 1687B5
(3 leads) Type 1689B5
• Extension cable Type 1688B5
(3 leads)
• Distribution box Type 5407A
Electronics
A 3-component force measuring system re-
quires, in addition to the dynamometer, three
charge amplifiers, which convert the charge
signals of the dynamometer into output voltages,
which are proportional to the forces occuring.
0,005 110/220
110/27
 4
Messsystem Systèmes de mesure Measuring Systems

5019A13.
9254 Output
±10 V
1687B5 1688B5
Ch1 = Fx

pos. pos. neg. pos. Ch2 = Fy

neg. Ch3 = Fz

1689B5

pos.

pos. 3x5011A..
Fx
5407A
Fy

Fz
3x1601B..
neg.
neg. pos. pos.

IP 67 IP 65 IP 40

Schutzart / Classe de protection / Protection class DIN 40050

Kabelschema / Schéma du câble / Cable diagram

Pin.No. Output signals

1 1 1 Ground 1 1
2 2 2 X 2 2
3 3 3 -- 3 3
4 4 4 Y 4 4
000-147m-05.97 (DB06.9254m)

Input Output Input Output

(Dynamometer)
5 5 (Amplifier) 5 -- (neg.) 5 5 (pos.)
6 6 6 Z 6 6
7 7 7 -- 7 7
8 8 8 -- 8 8
9 9 9 -- 9 9

Types 1687B5 / 1689B5 Types 1688B5 / B10