Rapport ; MEB

Microscopie électronique à balayage

Réalisé par Demandé par

 Younes baadou  Sadki

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Le microscope électronique a balayage

Le fonctionnement du microscope electronique a balayage repose sur la physique de !'interaction

electron/matiere [4]. L'observation d'un echantillon s'effectue par bombardement de la surface par
un faisceau d'electrons forme dans un canon (voir figure 1.11 issue de [1]). Dans ce dernier, les
electrons sont emis d'un filament C (de forme en V) en tungstene ou en hexaborure de lanthane
(LaB5) chauffe par effet Joule. Ils sont ensuite acceleres par une difference de potentiel creee entre
une cathode W placee tres proche de la pointe du filament (appelee wehnelt) et une anode A
disposee a quelques millimetres plus en avant (voir figure 1.11). Remarquons que ces deux elements
sont perces en leur centre pour laisser passer le faisceau. Cette tension acceleratrice est celle que
l'on regle sur le pupitre de commande (de 5 kV a 30 kV). Avant de rencontrer la piece a observer, le
faisceau ainsi forme traverse plusieurs dispositifs reunis dans un ensemble appele colonne op tique.
Le premier est un diaphragme (appele encore limiteur) non represente sur le schema. II est constitue
d'une plaque percee d'un trou de diametre tres faible permettant de limiter la taille du faisceau.
Plusieurs trous sont disponibles permettant d'ajuster grossierement la taille du faisceau en fonction
de la resolution souhaitee. Ensuite la taille du faisceau est encore modifiee par des

lentilles electromagnetiques L1 et L2, habituellement au nombre de deux, appelees condenseurs.

Enjouant sur la valeur du courant (de quelques 10-11 a plusieurs 10-7 A) !es traversant, on ajuste

la taille du faisceau. Plus le courant est faible et plus la taille du faisceau est fine. Le faisceau est
suppose cylindrique et son diametre apres focalisation est inferieure a 100 nm. On regle la valeur

desiree sur la pupitre (bouton probe current). La taille du faisceau visee doit etre compatible avec le
diametre du diaphragme retenu. En effet ii est illogique d 'essayer d 'atteindre une faible taille avec le
diaphragme de diametre le plus grand.

o.c.

B
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