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Guides donde et applications


A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
Emmanuel Rosencher MNO 2 8/02/2005
2/67
1
n
2
n
2
n
Approche gomtrique
'
c

1
2
n
n
c
' sin
Angle critique de guidage
max

2
1
2
2
n
n
1 c 1 max
1 n sin n sin ON
Ouverture numrique
2
2
2
1
n n ON
Interaction onde-matire faible
c 1 ext
n sin sin
2
W
0
2
0
z #


0
W
Espace libre:
Propagation sur de petites distances
Interaction onde-matire forte
Guide optique:
Propagation sur de longues distances
3/67
Approche gomtrique
Dphasage de Fresnel
Quantification des
directions de propagation
Effet Goos-Hanschen
Pntration tunnel des photons
4/67
Guides donde et applications
A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
5/67
quations de Maxwell
0 E .
r
( ) 0 Poisson
B E
dt
d
r r
Lenz
D j E B
dt
d
c
dt
d
c
r r r r
2
0
2
1
0
1

+
Faraday Ampre
0 B .
r Absence de
monopole magntique
P E D
r r r
+
0

Vecteur dplacement
E E r q P
e
r r
r
r
) 1 (
0
Vecteur polarisation
Proprits de la matire
+
E
r
e
r
r
0 E E
2
dt
2
d
2
c
1
2

r r
Dans le vide
6/67
( )
t i
e r E E

r
r r

( ) ( ) r 1 r n
) 1 ( 2
r r
+
Dfinition de lindice optique
Onde monochromatique
( ) 0 E r n k E
2 2 2
+
r
r
r
Helmholtz
quations de Maxwell-Helmholtz
) 1 (

Susceptibilit optique linaire


0 E E
2
2
2
) 1 (
dt
d
c
1
2

+
r r

c k dans le vide
n
c
k
dans la matire
P E E
2
2
2
0
2
2
2
dt
d
c
1
dt
d
c
1
2
r r r


*
*
7/67
Optique linaire:
indice optique, vitesse de la lumire et susceptibilit linaire
( ) ( )
( )
( ) t E t r q t P
1
0

op
n
'

op
n
c
' c
( ) 1
op
1 n +
avec
Lire Le cours de Physique de Feynman
Chapitre 31 Lorigine de lindice optique
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Guides donde et applications
A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
9/67
2 / d x 0 < < ( ) ( ) ( ) 0 x E n k x E
y
2 2
1
2
y
dx
d
2
2
+
2 / d x > ( ) ( ) ( ) 0 x E n k x E
y
2 2
2
2
y
dx
d
2
2
+
Modes de propagation
( ) ( )
1
1
1
]
1


0
e x E
0
r E
z i
y

r
r
Onde transverse lectrique TE
0
2
2
dy
d

x
z
y
Attention: il y a aussi des composants H
z
z
x
0
d/2
1
n
2
n
2
n
y
( ) ( ) ( ) ( ) 0 x E r n k x E
y
2 2 2
y
2
dx
2
d
+
r
*
10/67
2 2 2
2
2 2
1
2 2 2
ON k n k n k + Rsultat utile pour la suite:
( ) x E
y
x
Modes de fuites ou de radiatifs
( ) x E
y
x
Modes guids
Modes de propagation
2 2
1
2 2
n k
2
2
2 2 2
n k
Modes guids
>
2
n k
<
1
n k

,
_

<
1
k
n

,
_

>
2
k
n

*
11/67
2 / d x 0 < <
2 / d x >
( ) ( ) 0 x E x E
y
2
y
dx
d
2
2
+
( ) ( ) 0 x E x E
y
2
y
dx
d
2
2

( ) x cos A x E
y
( ) x sin A x E
y

( )
x
y
e C x E

Modes pairs guids


Modes impairs guids
1
n
2
n
k n /
interdit
Continuum: modes radiatifs
Modes guids
n
x
( )
2 2
1
2 2 2
1
2 2
n n k n k
( )
2
2
2 2 2
2
2 2 2
n n k n k
12/67
Onde transverse lectrique TE
1
1
1
]
1


1
1
1
]
1

1
1
1
]
1

t i
z
t i
x
dt
d
y
e B
0
e B
0
E
0
dz / d
dy / d
dx / d

x y y
dz
d
B i E i E
z y
dx
d
B i E
y
dx
d
E continu
E et B continus
2 d
e C 2 d A
/
/ cos

2 d
e C 2 d A
/
/ sin




2 / d tg
2 2
1
2 2
n k
2
2
2 2 2
n k

inconnue
Continuit de E
y
et dE
y
/dz en x=d/2: modes pairs
13/67
Nombre de modes guids
1
]
1

1
]
1

ON 2 E E N
0
d
d /
ON k

Condition pour tre monomode
ON 2
0
d

<
1 2 d tg
2
2 2
ON k

/
1 2 d
2
2 2
ON k

/ cot
Solutions paires
Solutions impaires
Solution graphique
0.5 1 1.5 2 2.5 3
2
4
6
8
10
2 / d tg
1
2
2
kON

2 / d cot
d /

kON
1 2 3 4 5
*
14/67
Onde transverse magntique TM
Continuit de B
y
et 1/n
i
2
dB
y
/dz en x=d/2:
( ) ( )
1
1
1
]
1


0
e x B
0
r B
z i
y

r
r
E B
dt
d
c n
1
2 2
i
r r
avec E donn par

2
n
n
2
1
2 d tg

,
_

/

2
n
n
2
1
2 d

,
_

/ cot
Solutions paires
Solutions impaires
15/67
m 1 m
kn cos
m 1 m
kn sin
( )
2 1
2
c
2
m 1 m
kn
/
cos cos
Interprtation gomtrique
z
x
0
d/2
1
n
2
n
2
n
m

Pour chaque mode m


1
n k
1 2 d tg
2
m
2 2
ON k
m

/
Dphasage de Fresnel
+
Stationnarit de la phase
16/67
Analogie quantique
( ) ( ) ( ) ( ) 0 x E x V x
2
2 2
dx
d
m 2
+
h
( ) ( ) ( ) ( ) 0 x E x n k x E
y
2 2 2
y
dx
d
2
2
+
Helmholtz
Schrdinger
( ) ( ) x V 2 x n k
2
m
2 2
h

E 2
2
m
2
h

( ) ( ) x x E
-40 -20 20 40
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
Notamment:
( ) ( )
mn n m n m
dx x E x E E E

+

*
17/67
Dispersion modale
On introduit lindice optique effectif du mode: n
eff
c n
k
eff



2
eff
2
1
k
n n

1 2 d tg
2
2 2
ON k

/
( )
( )
1 n n tg
2
eff
2
1
2
n n
ON d
2 1
2
eff
2
1

/
Lindice n
eff
est fonction de 1/ soit encore de
Le guide est dispersif !
Lindice effectif dpend de : en effet
Exemple: n
1
= 1.8, n
2
= 1.2
ON 2
1
sm
0
d

34 1 ON .
37 0
sm
0
d
.

eff
n
/ d
0 0.5 1 1.5 2
1.2
1.3
1.4
1.5
1.6
1.7
1.8
18/67
Guides donde et applications
A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
19/67
CONFINEMENT
( )
( )
+


1
1
dx x E 2
dx x E 2
0
2
2 / d
0
2

( )
( )


2 / d
0
2
2 / d
2
dx x E
dx x E
avec
Dans un guide symtrique:
( )
d
2
2
C
x 2
2 / d
2
2 / d
2
e dx e C dx x E

( )
( )
( ) dx
2 d
0
x 2 1
2
2
A
dx x
2
2 d
0
2
A
2 d
0
dx x
2
E

+

/
cos cos
/ /
( ) d sin d
1
4
2
A

+
totale nergie
guide le dans nergie

Facteur de confinement
-6 -4 -2 2 4 6
0.2
0.4
0.6
0.8
1
1.2
1.4
20/67
( )
( )
guide le dans nergie
guide du hors nergie
d d
2 d
2
d d
e
2
A
C 2
m
m
m
1
m
2
m
1
d

+ +

sin
/ cos
sin
0.5 1 1.5 2 2.5 3
2
4
6
8
10
T
m
m m m m
2 d tg T / /
( )
2
m
T 1
1
m
2
2 d
+
/ cos
2
m
m
T 1
T 2
m
d
+
sin
avec
et
et
2
m
T 1
ON k
m
+

( )
2
m m
2
m
T 1 T ON d k T
1
m
+ +


m
quand
m
0
et
Les modes de plus bas indices sont les plus confins
21/67
Application une structure laser GaAs/AlGaAs
0.9 1.1 1.2 1.3
lHmL
3.25
3.3
3.35
3.4
3.45
3.5
3.55
3.6
n
Al
x
Ga
1-x
As
.1
.2
.3
.4
Variation de lindice dans AlGaAs
0 0.5 1 1.5 2
3.28
3.3
3.32
3.34
3.36
3.38
Modes guids dans GaAs/AlGaAs

GaAs
= 0.02
x
1
= 0.2
n
AlGaAs1
= 3. 274
n
AlGaAs2
= 3. 393
x
2
= 0.4
ON= 0.89
d
max
= /2ON = 0.5 m
a
puits
= 10 nm
GaAs
AlGaAs1 AlGaAs2
-1 -0.5 0.5 1
0.2
0.4
0.6
0.8
1
!!!
22/67
Guides donde et applications
A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
23/67
Thorie des modes coupls
Par construction:
( ) ( ) ( ) ( ) 0 x E r n k x E
m
2
m
2 2
m
2
dx
2
d
+
r
*
24/67
Thorie des modes coupls
Avertissements:
- calcul gnrique de trs nombreux domaines de la Physique:
optique non linaire, micro-ondes, acoustique, mcanique quantique
- archtype du calcul qui commence mal et termine bien
- demande du sang froid
Rappel: fonction lentement variable dite enveloppe
A dA<<
k 1 dz /
dz
A d
dz
A d
k
2
2
<<
A k
dz
A d
<<
( ) ( ) ( )
) ( ) ( t z i
m m
t z i
m
m m
e x E z A e x E

25/67
Thorie des modes coupls
La base des modes est complte:
( ) ( ) ( )
( )
. . , , c c e x E z A t z x E
z t i
m
m
m
m
+


0 A cst A
1 m 1

>
, par exemple:
On introduit une perturbation par exemple ( ) ( ) ( ) t r E r t r P
0 per
, ,
( ) r
perturbation
x
z
( ) ( ) t r P E r n k E
per
2
dt
2
d
0
2 2 2
, +
r r
quation fondamentale de loptolectronique
P E E
2
2
2
0
2
2
2
dt
d
c
1
dt
d
c
1
2
r r r


( )
per
1
0
P E P
r r r
+
Si P
per
= 0, les modes sont stationnaires c.a.d
cst A
m

solution
26/67
La prsence de la perturbation P
per
va coupler les modes
(cf mcanique quantique)
( ) ( ) t r P E r n k E
per
2
dt
2
d
0
2 2
2
dz
2
d
2
dx
2
d
, +

,
_

+
r
r
r
( ) ( ) ( )
( )
. . , , c c e x E z A t z x E
z t i
m
m
m
m
+


modes propres
( ) ( ) ( ) ( ) ( )

,
_

+
m
m
2 2
m
2
m m
2
dx
2
d
m
x E r n k x E x E z A
r

( ) ( ) ( )
( )
per
dt
d
0
z t i
m m
dz
d
m m
dz
d
P c c e x E z A i 2 z A
2
2
m
2
2


+
1
]
1

,
_

+

. .
fonction lentement variable
?
27/67
On projette sur le mode q: ( ) ( )
q m q m m q
dx x E x E E E
,
*



( )
( )
( )
( )
( ) ( )

+
dx x E t r P i e z A e z A
q per
2
dt
2
d
q
2
0
z
q
t i
q
dz
d
z
q
t i
q
dz
d
*
,
r


( ) ( )
( )
per
dt
d
0
z t i
m
m
m
dz
d
m
P c c e x E z A i 2
2
2
m


+

,
_


. .
Ce ntait pas si catastrophique que cela
La perturbation nourrit les modes q
( ) E 2
2
m
2
h
t
en noubliant par la dgnrescence
28/67
( ) ( ) ( ) ( )

+
dx x E r P i e z A e z A
q per
2
q
2
0
z
q
i
q
dz
d
z
q
i
q
dz
d
*


Thorie des modes coupls: rsultats
( ) ( ) ( )

dx x E r P i e z A
q per
2
q
2
0
z
q
i
q
dz
d
*
r

Fondamental pour optique non linaire, acoustique, lectronique, guide de Bragg,


Perturbation synchrone:
( ) ( )
t i
per per
e r P t r P

r r
,
Sans couplage vers larrire:
( ) 0 z A
q

*
29/67
Guides donde et applications
A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
30/67
( )
( )
( ) ( )
( )
. .c c e x E z A r P
z
M
K
m
i
m
m
m
2
x
M 0
per
+

t
r
La base des modes est complte
Mme frquence
( ) ( ) ( ) . . , c c e x E z A z x E
z i
m
m
m
m
+


( ) ( ) ( ) ( ) r E z K x r P
M M 0 per
r r
cos
M
2
M
K


avec
Guide de Bragg
D
h
M

( ) x
M

x
31/67
( )
( )
( ) ( ) ( ) dx x E x E x e z A i
q m M
z K i
m
m
2
4
M m
q
M 0 0
*

t +


( ) ( )

+
z i
q
dz
d
z i
q
dz
d q q
e z A e z A

( )
( )
( ) ( ) ( ) dx x E x E x e z A i
q m M
z K i
m
m
2
4
M m
q
M 0 0
*


m
Diffraction vers lavant
Diffraction vers larrire
Seuls transferts efficaces
( ) ( ) ( ) ( ) ( )
z i
m q m M
2
4
q
dz
d
e z dxA x E x E x i z A
q
M 0 0



+ +

*
0 K
M q m
t
mq
g
( ) ( ) ( ) ( ) ( )
z i
m q m M
2
q
4
M 0 0
q
dz
d
e z dxA x E x E x i z A
'
*

0 K
M q m
+ m '
mq
g
vers lavant
vers larrire vers larrire
Diffraction
vers larrire
32/67
Couplage du mode q vers larrire q efficace seulement si:
0 2 K 2
M
2
q M q

'
'
est le dsaccord de phase
m q
Modes coupls dz e g
z i
mq


m q m
m q m
K
K
t +
t


( ) ( )
z i
m mq q
dz
d
e z A g i z A
+ +

( ) ( )
z i
m mq q
dz
d
e z A g i z A
' +

vers lavant
vers larrire
Rflexion de Bragg: m = -q
33/67
0
Accord de phase:
0
( ) ( )
( ) ( )
z i
q q
dz
d
z i
q q
dz
d
e z A g i z A
e z A g i z A

+
+


Conditions limites: onde +q entrante de la gauche, pas donde q incidente de la droite
( ) ( )
( ) ( ) z A g i z A
z A g i z A
q q
dz
d
q q
dz
d
+
+


( )
( )
( )
( ) [ ] L z g ch z A
gL ch
0 A
q
q

+
+
( )
( )
( )
( ) [ ] L z g sh z A
gL ch i
0 A
q
q

+

Onde transmise
Onde rflchie
g dcrit la force du couplage entre les deux ondes
( )
0 q
A 0 A
+
( ) 0 L A
q

34/67
Accord de phase: interprtation vectorielle
z
+
q
A
( ) z A
q

0
L
M

gz
e

q

q

M
2
M
K


" "
4

35/67
Filtre de Bragg
0
( ) ( )
( ) ( )
z i
q q
dz
d
z i
q q
dz
d
e z A g i z A
e z A g i z A

+
+


0 A g A i A
q
2
q
dz
d
q
dz
d
2
2

+ + +

( )
z
2
i
e
t
( ) ( ) z A et z A
q q
+
combinaison linaire de
2 2
g 4 avec
( )
0 q
A 0 A
+
( ) 0 L A
q

( )
( )
( ) ( )
2
2 L sh i 2 L ch
2
0 A
L A
q
q
T
/ /

+

+
+
transmittivit dun filtre de Bragg
-4 -2 2 4
Db2g
0.2
0.4
0.6
0.8
1
T
gL=1
gL=2
gL=5
stop band
36/67
Technologie de guide donde pour laser Bragg
37/67
Guides donde et applications
A: Approche gomtrique:
les rayons pigs
B: quations de Maxwell
Indice optique
Rfraction
Susceptibilit linaire
C: Modes de propagations
Transverses lectriques
Transverses magntiques
Analogie quantique
Interprtation gomtrique
Dispersion modale
C: Confinement optique
application aux lasers
D: Thorie des modes coupls
fonction enveloppe
E: Guides de Bragg
accord de phase
guide de Bragg
F: Technologies des guides
dondes
Fibres optiques
Gap photoniques
38/67
FIBRES OPTIQUES
( ) r n
46 1.
45 1.
z
( ) 0 E r n k E
2 2 2
+
r
r
r
( ) ( ) ( ) 0 r n k r
2
d
d
r
1
dz
d
dr
d
dr
d
r
1
2
2
2 2
2
+ + +

coordonnes
cylindriques
z z
B ou E
Solutions sparables: ( )
( ) z t i l i
e e r


t

( ) 0 k r n
2
2
2
2
r
l
2 2 2
dr
d
dr
d
r
1

,
_

+ +
Croyez le ou non, il y a des solutions algbriques: les fonctions de Bessel
( ) ( ) ( ) r h Y c r h J c r
l 2 l 1
+ ( ) ( ) ( ) r q K c r q I c r
l 2 l 1
+
( ) 0 k r n h
2 2 2 2
> ( ) 0 k r n q
2 2 2 2
>
39/67
Dispersion modale dune fibre
40/67
FIBRES OPTIQUES
tirage de fibres
Fibres monomodes
et multimodes
41/67
vers 1.55 m: 0.2 dB/km !!
Exemple: attnuation de x dB de e
-x
pour 50 km de e
- 10
4.5 10
-5
rpteurs
42/67
1994 1996 1998 2000 2002 2004
0.01
0.1
1
P
e
t
a
B
i
t
s
/
s

.

k
m
date
6 trabits sur 2700 km
Capacit des rseaux tlcom:
doublement tous les 16 mois
soliton
CAPACITES DES SYSTEMES DE TELECOMMUNICATIONS
A FIBRES OPTIQUES
Bande passante multiplie par
le nombre de voies
43/67
Interference pattern
Grating
Core
9m
Cladding
125m
Laser
Beam
Laser
Beam

Fiber
FIBRES OPTIQUES A RESEAU DE BRAGG
44/67
LASER A FIBRES OPTIQUES DE PUISSANCE
45/67
Fabrication (e.g.)
silica glass tube (cms)
fiber
draw
~1 mm
fuse &
draw
~50 m
[ R. F. Cregan et al., Science 285, 1537 (1999) ]
Photonic Crystal Fiber: guidage dans lair
46/67
10m
5m
[ R. F. Cregan et al., Science 285, 1537 (1999) ]
Photonic Crystal Fiber: guidage dans lair
47/67
[ R. F. Cregan et al., Science 285, 1537 (1999) ]
(c/a) (not 2pc/a)
transmitted intensity
after ~ 3cm
Photonic Crystal Fiber: guidage dans lair
48/67
Cristaux photoniques
( ) 0 E x n k E
2 2
dx
d
2
2
+
r r
Fabry Prot
( ) 0 E z x n k E E
2 2
dz
d
dx
d
2
2
2
2
+ +
r r r
,
Guide donde
de Bragg
Steven G. Johnson MIT
( ) 0 E r n k E
2 2 2
+
r
r
r
( ) priodique structure r n
r
BLOCH !
1987 1887
eriodicin
one direction
2-D
periodic in
two directions
3-D
periodicin
three directions
1-D
p
49/67
E
H
TM
a
f
r
e
q
u
e
n
c
y

(
2
p
c
/
a
)


=

a
/

X
M
X M
irreducible Brillouin zone

r
k
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
Photonic Band Gap
TM bands
gap for n > ~1.75:1
Priodicit 2d, =12:1
Steven G. Johnson MIT
50/67
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
Photonic Band Gap
TM bands
E
H
TM
X M
E
z
+
E
z
(+ 90 rotated version)
Priodicit 2d, =12:1
gap for n > ~1.75:1
Steven G. Johnson MIT
51/67
U L X W K
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0
21% gap
L'
L
K'

W
U'
X
U''
U
W'
K
z
I: rod l ayer II: hol e l ayer
I.
II.
[ S. G. Johnson et al., Appl. Phys. Lett. 77, 3490 (2000) ]
gap for n > ~4:1
3d photonic crystal: complete gap , =12:1
Steven G. Johnson MIT
52/67
rod layer
hole lay er
(diamond-like: rods ~ bonds)
A
B
C
[ S. G. Johnson et al.,
Appl. Phys. Lett. 77, 3490 (2000) ]
Up to ~ 27% gap
for Si/air
hole layer
Mthode de fabrication
Steven G. Johnson MIT
53/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substra te
top view
side view
Si
Steven G. Johnson MIT
54/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substra te
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
expose/etch
holes
55/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substra te
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
backfill with
silica (SiO
2
)
& polish
56/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substra te
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
deposit another
Si layer layer 1
57/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
substra te
layer 1
A A A A
B B B B
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
dig more holes
offset
& overlapping
58/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
substra te
layer 1
A A A A
B B B B
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
backfill
59/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
substra te
layer 1
layer 2
layer 3
A A A A
B B B B
C C C C
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
etcetera
(dissolve
silica
when
done)
one
period
60/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
substra te
layer 1
layer 2
layer 3
A A A A
B B B B
C C C C
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
etcetera
one
period
hole layers
61/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
substra te
layer 1
layer 2
layer 3
A A A A
B B B B
C C C C
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
etcetera
one
period
rod layers
62/67
e-beam Fabrication: Top View
5 m
[ M. Qi, H. Smith, MIT ]
63/67
e-beam Fabrication: Side Views
(cleaving worst sample)
[ M. Qi, H. Smith, MIT ]
64/67
[ K. Ho et al., Solid State Comm. 89, 413 (1994) ] [ H. S. Szer et al., J. Mod. Opt. 41, 231 (1994) ]
Up to ~ 17% gap for Si/air
(diamond-like, bonds)
[ Figures from S. Y. Lin et al., Nature 394, 251 (1998) ]
Le cristal de tas de bois
65/67
[ S. Y. Lin et al., Nature 394, 251 (1998) ]
gap
(4 log layers = 1 period)
UV Stepper:
e-beam mask at ~4x size
+ UV through mask, focused on substrate
Good: high resolution, mass production Bad: expensive ($20 million)
http://www.sandia.gov/media/photonic.htm
Si
Le cristal de tas de bois
66/67
microspheres (diameter < 1m)
silica (SiO
2
)
sediment by gravity into
close-packed fcc lattice!
(evaporate)
Mass-production II: Colloids
67/67
fcc solid spheres do not have a gap
but fcc spherical holes in Si do have a gap
Infiltration
sub-micron colloidal spheres
Template
(synthetic opal)
3D
Remove
Template
Inverted Opal
complete band gap
~ 10% gap between 8th & 9th bands
small gap, upper bands: sensitive to disorder
[ figs courtesy
D. Norris, UMN ]
Inverse Opals
68/67
[ fig courtesy
D. Norris, UMN ]

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