microelectronique en incluant la physique et Ia chimie necessaires dans les

differentes etapes de fabrication, et aussi Ia discipline associae au domaine

d'application : optique, micro-fl uidique, biologic, thermique et le
comportement micro-onde avec les MEMS RF.

1.2 Historique, mice en contexte, kat actuel du marche

Le premier article concernant les MEMS RF fig publid en 1979 par Petersen,
decrivant alors la structure d'un microcommutateur sur Silicium (Petersen,
1979). Mais it a fallu attendre les annees 1990 pour que l'annee s'y intdresse en
lancant les premiers efforts de recherche consequents, ayant abouti aux premiers
produits commercialises au debut des armies 2000. En Amerique du Nord les
fonds de recherche concernant les MEMS RF sont issus principalement du
domaine militaire tel qu'indique sur la Figure 3. Dans ce cadre, cc projet de
maitrise &idle A la conception et la realisation d'un filtre accordable avec la
technologic des MEMS pour les applications microondes a etc realise en
partenariat avec Ia compagnie Ultra Electronics.

Les MEMS RF peuvent etre classes selon quatre categories d'apres Rebeiz (G.
Rebeiz, 2003) :

Les interrupteurs, inductances et capacites variables.

Les resonateurs, fillies et antennes bases sur des lignes de transmission
microusinees I haut facteur de qualite.

Les FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator) .

Lcs resonateurs ct Ores utilisant des caracteristiques purement
micaniques.