Pressions rapidement variables

par Jean-Claude GODEFROY

Ancien Chef de Subdivision, Direction de la Physique à l’ONERA

L’auteur étant décédé avant l’impression de l’article, les épreuves ont été relues
par Pierre TOUBOUL
Directeur du Département Mesures Physiques (DMPH) à l’ONERA

1. Mesure des pressions instationnaires en milieu gazeux

par la voie optique ................................................................................... R 2 090 - 2
2. Mesure de pressions instationnaires par capteurs ........................ — 3
3. Capteurs à membrane ............................................................................ — 4
3.1 Comportement en régime dynamique ...................................................... — 4
3.2 Capteurs à jauges extensométriques ........................................................ — 5
3.3 Capteurs capacitifs ...................................................................................... — 6
3.4 Capteurs à fibres optiques .......................................................................... — 6
3.5 Capteurs à réluctance variable ................................................................... — 6
3.6 Capteurs à courants de Foucault................................................................ — 7
3.7 Domaine couvert par les capteurs à membrane....................................... — 7
4. Capteurs à élément sensible ................................................................ — 8
4.1 Généralités ................................................................................................... — 8
4.2 Capteurs piézorésistifs ................................................................................ — 8
4.3 Capteurs piézoélectriques........................................................................... — 8
4.4 Capteurs magnétostrictifs........................................................................... — 9
4.5 Capteurs photoélastiques ........................................................................... — 9
4.6 Domaine couvert par les capteurs à élément sensible............................. — 10
5. Étalonnage dynamique des capteurs ................................................. — 10
5.1 Généralités ................................................................................................... — 10
5.2 Étalonnage en régime périodique de capteurs pris séparément ............ — 10
5.3 Étalonnage en régime transitoire de capteurs pris séparément ............. — 14
5.4 Étalonnage d’un ensemble de capteurs .................................................... — 15
5.5 Domaine couvert par les dispositifs d’étalonnage dynamique ............... — 16
Références bibliographiques ......................................................................... — 16

L a nécessité de détecter des pressions rapidement variables est sans doute

apparue au moment de la naissance de la téléphonie et, presque aussitôt,
leur mesure s’est imposée pour la mise au point des premières machines ther-
miques. Les capteurs étudiés et développés pour la téléphonie étaient déjà des
transducteurs de pression. Au fil du temps, la mesure des pressions rapidement
variables (ou instationnaires) s’est étendue aux trois domaines : gaz, liquides et
solides.
Il n’existe pas de frontière précise permettant de définir où s’arrêtent les pres-
sions lentement variables et où commencent les pressions rapidement
variables ; cependant il est admis que les phénomènes périodiques ayant une
fréquence supérieure à quelques hertz peuvent déjà être considérés comme
rapidement variables.
■ Les quelques exemples qui suivent illustrent le besoin constamment crois-
sant d’augmenter la connaissance des fluctuations de pression.

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● Pour les gaz on peut citer :

— en acoustique, la prise de son, l’étude des nuisances dues au bruit ;
— en thermodynamique, l’étude des moteurs à explosion ou à combustion et
des turbomachines ;
— en aérodynamique, l’étude des phénomènes donnant naissance à des
vibrations de structure ou des instabilités en mécanique du vol ;
— en détonique, l’étude des explosifs.
● Pour les liquides on citera :

— en acoustique sous-marine, le sonar ;

— en hydraulique, l’étude de la cavitation des hélices, l’étude des phénomè-
nes transitoires dans les conduites d’eau ou de pétrole.
● Pour les solides on peut citer l’étude des phénomènes transitoires créés par
le passage des véhicules dans le sous-œuvre des routes, sur les supports des
rails de chemin de fer et sur les appuis des ouvrages d’art.
On voit que la plupart des besoins se situent dans le domaine des fluides.
■ Actuellement, les mesures de pression sont le plus souvent effectuées à la
paroi, en un point, et ne donnent que peu d’informations sur l’écoulement du
fluide. Le souhait actuel est de pouvoir explorer l’écoulement sans le perturber.
Pour ce qui concerne l’écoulement lui-même, des moyens optiques, qui sont
encore plus proches du laboratoire que du domaine industriel, sont en cours de
développement pour l’analyse des trajectoires, des vitesses, des pressions et
des températures qui caractérisent l’écoulement du fluide.
À la paroi, des peintures piézosensibles, permettent une vue d’ensemble des
phénomènes. De telles peintures présentent, lorsqu’elles sont illuminées par un
laser, un rendement de fluorescence qui est fonction de la pression d’oxygène.
Ces moyens, associés aux capteurs qui jouent le rôle de référence, concourent
à la validation des modèles informatiques qui, à terme, contiendront l’ensemble
des connaissances acquises.
■ Après un aperçu des possibilités offertes par les dispositifs optiques et du
type de résultats obtenus, le présent article met l’accent sur la spécificité des
capteurs de pression instationnaire (par rapport aux capteurs statiques) et sur le
problème de leur étalonnage.

1. Mesure des pressions
instationnaires en milieu
gazeux par la voie optique
■ Les procédés optiques sont des méthodes d’imagerie.
On peut citer la strioscopie et la vélocimétrie laser [1], qui mettent
en œuvre deux faisceaux croisés, et utilisent la lumière diffusée par
les poussières ou des aérosols (diffusion de Mie) restant dans
l’écoulement. Elles permettent de connaître les vitesses.
Avec la tomographie laser [2], on obtient une imagerie de Ray-
leigh, qui utilise la lumière diffusée par les molécules, sans modifi-
cation de longueur d’onde.
Enfin, avec la diffusion Raman [3] [4], il y a modification de la lon-
gueur d’onde de la lumière diffusée, du fait de l’excitation des molé-
cules. Le signal émis dépend de la nature des molécules et permet
donc de les identifier.
■ Les pressions instationnaires dans l’écoulement peuvent être
déterminées par la tomographie laser. Cette méthode utilise la rela-
tion de thermodynamique suivante, qui lie la température d’un gaz
et sa pression :
p = n0kT (1)
avec p pression,
n0 nombre de molécules par unité de volume,
k constante de Boltzmann (k = 1,38 · 10−23 J · K−1),
T température absolue du gaz.
La connaissance de n0 et T permet de déterminer la pression p.
L’écoulement gazeux est soumis à un bref rayonnement lumineux
(10 ns) qui excite les molécules. À la cessation du rayonnement, les
molécules reviennent à un état de moindre énergie en libérant un
photon. Cette fluorescence est utilisée pour déterminer n0.
Dans l’air, l’oxygène et l’azote sont transparents au rayonnement.
Il faut donc introduire, dans l’écoulement, des molécules absorban-
tes qui permettent d’effectuer la mesure de l’intensité lumineuse
induite par la fluorescence. Les hydrocarbures polycycliques, l’iode
et, tout particulièrement, l’acétone conviennent bien pour ensemen-
cer l’écoulement [5].
● La théorie du calcul part de l’équation de Boltzmann qui repré-
sente une probabilité de présence et donne le nombre de molécules

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2. Mesure de pressions
Laser λ0 instationnaires
par capteurs
■ Les capteurs destinés à la mesure des pressions rapidement
variables peuvent être classés en deux groupes :
Laser λ3 — les capteurs à membrane (§ 3) ;
— les capteurs à élément sensible (§ 4).
● Dans les capteurs du premier groupe, le terme « membrane »
Figure 1 – Schéma simplifié du dispositif expérimental est utilisé dans un sens très large, de manière à regrouper tous les
pour la mesure de la pression capteurs constitués d’un corps d’épreuve sur lequel agit la pression
et dont on mesure la déformation ; ce corps d’épreuve est, dans la
majorité des cas, une membrane.
Les divers types de capteurs de ce groupe se distinguent donc
entre eux essentiellement par les moyens utilisés pour mesurer la
déformation traduisant la pression appliquée. Ce groupe
Caméra Caméra comprend :
2 1 — les capteurs à jauges extensométriques ;
λ 1 , λ2 — les capteurs capacitifs passifs ou actifs ;
λ2
— les capteurs à fibres optiques ;
λ1 — les capteurs à réluctance variable ;
— les capteurs à courants de Foucault.
Cette liste est, dans le cadre de cet article, volontairement limitée,
mais représente la majeure partie des types employés de nos jours.
Laser 1 Laser 2
● Dans les capteurs du second groupe, une propriété physique
Écoulement (autre que la déformation) de l’élément sensible varie sous l’effet de
Vers électronique la pression que subit cet élément du fait de son élasticité. La gran-
de synchronisation deur physique sensible à la pression et dont la variation constitue le
Vers dispositif signal de sortie du capteur peut être, suivant le matériau, la polari-
d'acquisition de données sation électrique de ce matériau, sa perméabilité magnétique, sa
résistivité électrique, sa polarisation optique, etc. Seuls les diffé-
Figure 2 – Schéma type d’un dispositif d’imagerie par tomographie rents types correspondant aux propriétés énumérées précédem-
laser ment ont été retenus ; ce sont :
— les capteurs piézorésistifs ;
— les capteurs piézoélectriques ;
dans un état d’énergie de rotation donnée, cet état dépendant lui- — les capteurs magnétostrictifs ;
même de la température : — les capteurs photoélastiques.
■ Indépendamment du groupe auquel ils appartiennent, les cap-
( 2 J + 1 )exp ( Ð B ( J + 1 ) ⁄ kT ) teurs destinés à la mesure des pressions rapidement variables peu-
n( J ) = n 0 -------------------------------------------------------------------------- (2) vent se présenter sous trois formes différentes :
B⁄T
— les capteurs de pression différentielle ;
— les capteurs de pression relative ;
équation dans laquelle, on a : — les capteurs de pression absolue.
n0 nombre de molécules total (par unité de volume)
de l’espèce dans le milieu étudié, Ces derniers capteurs sont beaucoup plus rarement utilisés en
dynamique qu’en régime statique ou très lentement variable.
J nombre quantique de rotation, ■ Une autre particularité importante est encore à signaler, sans
qu’elle soit spécifique d’un groupe donné, c’est l’aptitude offerte
B moment d’inertie de la molécule. par certains principes de mesurer ou non la composante conti-
nue de la (ou des) pression d’entrée.
L’exponentielle de l’expression représente l’énergie de rotation de Le fait qu’un capteur passe, ou ne passe pas, la composante con-
la molécule. tinue introduit des différences que l’on peut classer en trois
niveaux :
En fait, les molécules de l’écoulement se trouvent dans plusieurs — celui de la caractérisation métrologique ;
états d’énergie de rotation J = 0, J = 1, 2, 3, 4 etc. — celui de la mesure ;
— celui de l’étalonnage.
Pratiquement, on envoie deux nappes de rayonnement laser ● La caractérisation d’un capteur dynamique présente deux diffé-
superposés de longueurs d’onde différentes, par exemple λ0 et λ3, rences principales par rapport à celle d’un capteur statique :
et on mesure la fluorescence induite (figure 1). Deux longueurs
— d’une part, certaines caractéristiques complètement passées
d’ondes suffisent. On a en effet, pour deux états, un système de
sous silence pour un capteur statique sont indispensables à évaluer
deux équations de Boltzmann à deux inconnues et l’on obtient
pour un capteur dynamique ;
simultanément n0 et T.
— d’autre part, pour un capteur purement dynamique, certaines
Le dispositif expérimental comporte, pour mesurer la fluores- caractéristiques métrologiques perdent totalement leur sens ou
cence, deux caméras disposées de chaque côté de la nappe laser. bien elles ne sont plus discernables de manière indépendante et
Elles peuvent aussi être situées du même côté à condition que leurs sont alors incluses avec d’autres sous une nouvelle forme.
angles de visée permettent l’exploration de la même zone dans La première différence est bien illustrée par la nécessité d’évaluer,
l’écoulement (figure 2). pour un capteur dynamique, les réponses en amplitude et en phase,

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en fonction de la fréquence, ou encore de connaître la sensibilité du

capteur aux grandeurs induites, et par conséquent étroitement cor- 3. Capteurs à membrane
rélées au signal, par la pression. Par exemple, les fluctuations de
température accompagnant nécessairement les fluctuations de
pression dans un milieu gazeux peuvent avoir une influence non Les capteurs à jauges extensométriques (§ 3.2) et les capteurs
négligeable sur le signal de sortie des capteurs miniatures dont la capacitifs (§ 3.3) sont les plus fréquemment utilisés.
membrane ou l’élément sensible a une très faible inertie thermique.
La seconde différence réside dans le fait que l’on ne peut plus uti-
liser, pour un capteur ne passant pas la composante continue, les
définitions admises pour les capteurs passant cette composante [6]. 3.1 Comportement en régime dynamique
Certaines d’entre elles n’ont plus d’intérêt, comme par exemple
l’erreur de zéro, l’erreur de mobilité, l’erreur de répétabilité ;
d’autres ne sont plus directement discernables, comme par exem- Une membrane métallique encastrée à sa périphérie dans le
ple l’erreur d’hystérésis et même, en toute rigueur, l’erreur de linéa- corps du capteur subit des déformations élastiques proportionnelles
rité. En effet, l’erreur d’hystérésis, si elle existe, se trouve incluse aux variations de la différence des pressions qui s’exercent sur ses
dans le caractère non linéaire éventuel de la réponse en phase en deux faces. On peut distinguer deux types de déformation pour une
fonction de la fréquence ; de même, l’erreur de non-linéarité doit membrane, suivant qu’elle est utilisée en plaque rigide ou en mem-
être remplacée par une caractéristique de distorsion du signal de brane tendue :
sortie en fonction du niveau et de la fréquence de la pression mesu-
rée. — dans le premier cas, la force de rappel s’opposant à l’action
des pressions est due uniquement aux propriétés élastiques du
● Au niveau de la mesure, le fait qu’un capteur réponde ou non
métal ;
en continu ne constitue pas en soi une qualité ou un défaut, mais
l’exploitation du signal de sortie doit tenir compte de l’allure de la — dans le second cas, seulement à la précontrainte que constitue
courbe de réponse en basse fréquence, même dans le cas où les len- la tension sous laquelle la membrane a été encastrée.
tes évolutions de la pression sont étrangères au phénomène physi-
On peut définir, pour une plaque d’un métal donné, son énergie
que que l’on veut mesurer.
de déformation D :
L’analyse spectrale du signal, utilisée dans les méthodes de traite-
ment du signal, réalise, d’une manière très commode à interpréter, 3
l’extraction du signal utile contenu dans le signal brut issu du cap- Ee
D = ----------------------------- (3)
2
teur [7]. Dans le cas de la mesure de fluctuations de pression dont 12 ( 1 Ð σ )
l’amplitude est faible devant celle d’une pression continue suppor-
tant ces fluctuations, l’utilisation d’un capteur purement dynamique avec e (m) épaisseur de la membrane,
permet souvent de réduire considérablement l’étendue de mesure
que doit posséder la chaîne de mesure et d’acquisition de données E (Pa) module d’Young du métal,
associée au capteur. σ coefficient de Poisson du métal.
● Pour l’étalonnage, on conçoit que le problème est nettement
plus simple pour un capteur capable de passer la composante ■ Dans le cas d’une membrane utilisée en plaque rigide, la défor-
continue ; il peut alors être étalonné par les moyens classiques utili- mée y (m) pour un rayon 0 ≤ r ≤ R s’exprime par :
sés pour les capteurs statiques et l’étalonnage dynamique consiste
à déterminer seulement l’allure de la fonction de transfert en fonc-
2 2 2
tion de la fréquence. Cette allure étant connue, le calibrage de la (R Ð r )
y ( r ) = ------------------------- p
sensibilité s’obtient par continuité avec la valeur préalablement 64 D
déterminée à la fréquence nulle. La seule difficulté à surmonter con-
siste à s’assurer qu’il n’y a pas de phénomènes singuliers pouvant avec p (Pa) pression,
se produire entre la fréquence nulle et la fréquence la plus basse
pour laquelle l’allure du module de la fonction de transfert a été R (m) rayon de la membrane.
déterminée.
Cela conduit à une flèche au centre :
À l’opposé, lorsqu’un capteur ne passe pas la composante conti-
nue, le problème de l’étalonnage dynamique se pose dans son inté- 4
gralité. Malgré les moyens dont on dispose, ce type d’étalonnage R p
y ( 0 ) = ----------- .
recèle un certain nombre de difficultés expérimentales et réclame 64 D
généralement beaucoup de soins dans l’exécution et beaucoup de
prudence (ou d’esprit critique) dans l’interprétation des mesures la plus basse des fréquences de résonance étant alors :
effectuées.
1 ,618 D
Les remarques précédentes sont à l’origine de la large part con- f 1 ≈ --------------- ------- (4)
sacrée dans le présent article à la méthodologie de l’étalonnage R
2 ρe
dynamique, ainsi qu’à la description des principaux moyens per-
mettant de le réaliser. Cependant, la plupart des principes utilisés avec ρ masse volumique du métal.
pour la construction des capteurs de mesure des pressions rapide-
ment variables sont décrits et classés en deux catégories. ■ Dans le cas d’une membrane tendue à une tension T (N/m), la
Il est intéressant toutefois de signaler que les difficultés pré- déformée est très différente :
sentées par la construction et le développement industriel d’un
capteur ne sont généralement pas situées au niveau du choix 2 2
(R Ð r )p
d’un principe de fonctionnement ou même de l’« invention » y ( r ) = --------------------------
4T
d’un nouveau principe faisant appel à un phénomène physique
récemment découvert ; par contre, ces difficultés sont toujours
soit une flèche au centre :
situées au niveau de la technologie de fabrication, la technolo-
gie prenant ici son sens le plus large, allant par exemple de la
2
méthode d’usinage jusqu’à la méthode d’élaboration des maté- R p
riaux utilisés. y ( 0 ) = ----------
4T

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Pont
de quatre Membrane
Boîtier jauges encastrée
Figure 3 – Capteur à jauges extensométriques
et la première fréquence de résonance :
0 ,3827 T
f 1 ≈ ------------------- ------- .
R ρe
Dans les deux cas, on constate que l’obtention d’une fré-
quence de résonance élevée s’accompagne d’une réduction de
la flèche au centre ; on ne peut donc construire des capteurs à
membrane ayant une large bande passante que dans la mesure
où l’on sait mesurer de très faibles déplacements.
Il est à noter que, même dans le cas où l’on utilise une mem-
brane en plaque rigide, on est amené à lui donner une légère ten-
sion dans le but d’éviter le phénomène de cloquage dont l’effet
se traduit par une non-linéarité lors d’une traversée de zéro.
3.2 Capteurs à jauges extensométriques
3.2.1 Capteurs classiques
La figure 3 représente schématiquement la structure de ces cap-
teurs. Les jauges extensométriques le plus fréquemment utilisées
sont du type métallique à trame pelliculaire. De plus en plus sou-
vent, les quatre jauges sont fabriquées simultanément sur un même
substrat comportant également leurs interconnexions pour former
un pont de Wheatstone. Pour un diamètre donné de membrane, les
positions respectives des quatre jauges sont déterminées de
manière à obtenir la plus grande sensibilité possible. La compensa-
tion thermique des jauges est ainsi très bien réalisée, compte tenu
du resserrement des tolérances d’appariement des jauges, qui peut
être obtenu par la fabrication simultanée des jauges.
3.2.2 Capteurs à membrane de silicium
Après avoir été longtemps utilisé uniquement comme substrat de
composants électroniques, puis de circuits intégrés de plus en plus
complexes, le silicium est devenu l’un des matériaux les plus
employés. Avec les techniques de micro-usinage, son emploi s’est
étendu aux corps d’épreuve de capteurs et aux microsystèmes [8].
Ainsi, le corps d’épreuve (membrane) peut comporter des élé-
ments actifs diffusés ou déposés tels que les jauges de déformation,
mais, également, une association de circuits électroniques intégrés.
Ces derniers permettent d’assurer la prise en compte des coeffi-
cients d’étalonnage, la compensation de la non-linéarité et les effets
des grandeurs d’influence (température, accélération etc.). Ces cap-
teurs sont dits « intelligents ».
Ces nouvelles techniques ont ouvert la voie à une miniaturisation
poussée et une importante augmentation des bandes passantes.
La diminution du diamètre des membranes entraîne une augmenta-
tion de leur raideur et donc une diminution de leur déformation sous
l’action d’une pression donnée. Pour retrouver une sensibilité compa-
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Partie
de la membrane
non gravée
Partie destinée Partie
de la membrane à l'encastrement de la membrane
amincie Jauges déformée
par gravure extensométriques par la pression p
Partie
de la membrane
non déformée
p
Partie
de la membrane
non déformée
(5)
Partie
de la membrane
déformée
par la pression p
Figure 4 – Membrane amincie et sa déformation
rable à celle des capteurs traditionnels, on utilise des jauges extenso-
métriques à semiconducteur piézorésistif, dont le coefficient de jauge
est de 20 à 100 fois plus grand que celui des jauges métalliques.
Cette augmentation de sensibilité s’accompagne généralement d’une
dérive thermique plus importante ; c’est pourquoi les capteurs de
pression à jauges semi-conductrices nécessitent l’emploi de circuits
de compensation thermique (quelquefois inclus dans chaque cap-
teur).
La souplesse des membranes peut, également, être améliorée par
des gravures effectuées dans l’épaisseur de celles-ci et obtenues par
gravure ionique réactive [9].
La géométrie des amincissements modifie complètement le type
de déformation subie par la membrane sous l’effet de la pression.
La figure 4 représente schématiquement une telle membrane et sa
déformation.
Ce type de déformation fait apparaître une concentration des con-
traintes dans les parties amincies où sont disposées les quatre jau-
ges connectées en pont de Wheatstone. Pour augmenter l’étendue
de mesure, les jauges sont disposées d’une manière non conven-
tionnelle, transversalement à la déformation. On montre que, dans
ces conditions, la non-linéarité apparaissant entre la variation de
résistance d’une jauge et la déformation est de type pair, autrement
dit l’erreur de non-linéarité est de même signe quel que soit le sens
de la déformée ; or, pour un pont complet, les erreurs de linéarité
des jauges individuelles s’additionnent si elles sont impaires et se
retranchent si elles sont paires. Avec une telle disposition, une
bonne linéarité de réponse est conservée jusqu’à des variations
relatives atteignant 5 %, c’est-à-dire dix fois plus que dans les dispo-
sitifs classiques où la limite se situe vers 5 x 10−3.
Les jauges associées peuvent être directement diffusées dans la
membrane, ce qui permet de bénéficier d’un facteur de jauge élevé,
ou encore être déposées en couches minces, par pulvérisation
cathodique par exemple.
Comme dans tous les dispositifs utilisant des jauges extensomé-
triques en pont (ou en demi-pont), il est nécessaire d’adjoindre au
capteur deux dispositifs de compensation en température :
— un dispositif permettant de conserver l’équilibre du pont dans la
gamme de température d’emploi ;
— un dispositif permettant de limiter la variation de sensibilité du
pont en fonction de la température.
R 2 090 − 5
PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES _____________________________________________________________________________________________________
Rainure
permettant
d'ajuster Grille
l'amortissement de protection
pneumatique Isolant (éventuelle)
Membrane Électrode Cavité
Boîtier encastrée fixe pneumatique Isolant
(éventuelle)
Figure 5 – Capteur capacitif
3.3 Capteurs capacitifs
Comme pour les capteurs à jauges extensométriques (§ 3.2), on
distingue les capteurs traditionnels et les capteurs construits à partir
des technologies mises en œuvre pour le silicium et la microélectro-
nique.
3.3.1 Capteurs traditionnels
3.3.1.1 Capteurs passifs
■ De tels capteurs comportent (figure 5) une membrane métallique
(ou avec un isolant métallisé sur une de ses faces) formant l’élec-
trode mobile d’un condensateur. La seconde électrode, fixe, est
montée dans le boîtier et isolée électriquement de ce dernier. En
règle générale, l’électrode fixe, très proche de la membrane, com-
porte des rainures (ou des trous très petits), de manière à ajuster la
résistance pneumatique destinée à amortir les oscillations de la
membrane au voisinage de sa fréquence de résonance.
■ Les procédés de mesure de variation de la capacité sont divers.
Peuvent ainsi être cités :
— la polarisation du condensateur par une tension continue et la
mesure soit des variations de tension par un amplificateur électromé-
trique, soit des variations de charge par un amplificateur de charge ;
— l’insertion du condensateur dans le résonateur d’un autooscilla-
teur et la mesure de la modulation de fréquence qui résulte du dépla-
cement de la membrane ;
— l’emploi de la technique d’impulsions, qui consiste à amplifier
la différence des impulsions transmises par deux diodes sur deux
impédances de charge identiques, en série avec le capteur d’une
part et une capacité de référence fixe d’autre part ;
— l’insertion du condensateur dans un pont d’impédance ali-
menté par une tension sinusoïdale de fréquence comprise entre
quelques kilohertz et quelques mégahertz.
Ce dernier procédé nécessite le développement de chaînes élec-
troniques spécialisées dites chaînes capacitives, dont la résolution
n’est limitée que par le bruit de l’électronique.
3.3.1.2 Capteurs actifs
Certains polymères présentent l’effet électret [10] et un certain
nombre de microphones capacitifs utilisant cette propriété de la
matière sont apparus sur le marché. Cette propriété se traduit par le
fait qu’un matériau peut être chargé électriquement et conserver les
charges avec une durée de vie très grande (dix ans à un siècle). La
présence de ces charges est équivalente à celle d’une source de force
électromotrice (f.é.m.) à l’intérieur du diélectrique ; dans ces condi-
tions, la mesure des variations de tension (ou de charge) apparaissant
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R 2 090 − 6 © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle
Membrane
p en silicium
Métallisation Métallisation Corps
périphérique centrale en verre
annulaire (circulaire) pyrex
Figure 6 – Structure d’une cellule micro-usinée simple
aux bornes du condensateur est effectuée comme dans le premier
procédé (§ 3.3.1.1), mais sans qu’il soit nécessaire de disposer d’une
tension de polarisation. La f.é.m. piégée par un capteur à électret est
couramment de l’ordre de 200 V.
De tels microphones sont essentiellement constitués d’une mem-
brane de polymère polarisé, tendue au-dessus d’une cavité réalisée
dans un corps soit métallique, soit métallisé.
La cavité peut prendre la forme d’un nid d’abeille ; on obtient alors
un microphone multicellulaire. La membrane tendue au-dessus
des cellules et au contact des parois des alvéoles se comporte comme
un ensemble de membranes élémentaires.
Sa bande passante des capteurs multicellulaires peut atteindre
facilement 100 kHz.
3.3.2 Capteurs obtenus par micro-usinage
Un exemple de capteur simple est donné figure 6 [11]. Deux capa-
cités sont formées entre la membrane et la métallisation centrale,
d’une part, entre la membrane et la métallisation annulaire, d’autre
part. La variation de capacité se produit essentiellement au niveau
de la métallisation centrale. L’insertion des deux capacités, dans un
pont par exemple, permet d’obtenir une compensation efficace des
dérives d’origine thermique.
Nombre de capteurs peuvent être obtenues par micro-usinage
[12], en associant, comme pour les capteurs à jauges (§ 3.2.2), des
propriétés physiques et des concepts de composants électroniques,
le matériau de base restant le silicium [13] [14].
3.4 Capteurs à fibres optiques
Pour la mesure de pressions variables dans les solides, on utilise
la modification des propriétés optiques d’une fibre sous l’effet des
déformations du solide ou du corps d’épreuve, déformations liées
aux variations de pression. Une telle fibre comporte le plus souvent
un capteur de type Fabry-Perot [15].
Il existe aussi un type de capteur à membrane sous laquelle une
fibre émettrice envoie un faisceau lumineux. Ce faisceau se réfléchit
sous la membrane et est capté en partie par une fibre réceptrice [16].
Les déplacements de la membrane induisent une modulation de
lumière qui peut être détectée en extrémité de fibre réceptrice.
3.5 Capteurs à réluctance variable
Les capteurs à réluctance variable utilisent la variation de l’induc-
tance d’une bobine montée dans un circuit magnétique à entrefer
_____________________________________________________________________________________________________ PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES

Bobines
montées Bobine Bobine
en série active de référence
Remplissage Membrane Boîtier
destiné à réduire Conduits Membrane
le volume mort d'arrivée encastrée
des pressions
Armatures

Figure 8 – Capteur à courants de Foucault

Figure 7 – Capteur à réluctance variable

variable. La figure 7 représente le schéma d’un capteur de pression Pression (Pa)

différentielle de ce type. Capteurs à jauges
extensométriques
La flexion de la membrane sous l’effet de la différence des pres-
1010
sions appliquées sur chacune de ses faces entraîne des variations de
signe contraire sur les entrefers des circuits magnétiques de cha- 108
cune des bobines.
En général, la perméabilité magnétique du matériau constituant les 106 Capteurs à reluctance
armatures et la membrane est suffisamment élevée pour que l’on variable Capteurs capacitifs
104 Capteurs à courants
puisse considérer que la réluctance du circuit de chaque bobine est
de Foucault
déterminée par celle de son entrefer. Dans ces conditions, l’induc- 102
tance de chacune des bobines est inversement proportionnelle à
l’épaisseur e de son entrefer ; pour un déplacement ∆e de la mem- 1
brane, les inductances s’expriment sous la forme :
10–2
K
L 1 = ----------------- ; 10–4
e + ∆e 10–2 10–1 1 10 102 103 104 105 106 107 108 109
Fréquence (Hz)
K
L 2 = ---------------- .
e Ð ∆e Figure 9 – Domaine couvert par les capteurs à membrane
L’expression de la variation relative des deux inductances est
alors :
La bobine de référence a pour but de présenter une impédance de
∆L 1  L2 Ð L1 1 ∆e même nature, mais dont la résistance correspond à celle de la bobine
------- = ---  ------------------ = --- ------
-. (6) active lorsque la membrane est au repos. Cette bobine de référence,
L 2 L2 + L1 2 e
non indispensable au fonctionnement de principe, permet de faciliter
Cette relation montre bien la proportionnalité entre le déplace- l’extraction du signal utile en connectant les deux bobines en demi-
ment de la membrane et la variation relative des deux inductances. pont ; elle assure, par ailleurs, une symétrisation du circuit électrique,
qui étend considérablement le domaine d’emploi de ces capteurs vers
D’une manière générale, les matériaux magnétiques utilisés pour
les hautes températures. Certaines réalisations permettent un fonc-
construire ces capteurs (les ferronickels par exemple) ont une résis-
tionnement à plus de 800 ˚C.
tivité pas suffisamment forte pour empêcher les courants de Fou-
cault d’apparaître dans la membrane et dans le noyau des deux
Le principe ainsi décrit fait apparaître la relation non linéaire exis-
armatures ; dès lors, l’application d’une pression différentielle fait
tant entre la variation de résistance et le déplacement de la
également apparaître une variation relative ∆R/R de la résistance
apparente des bobinages. Suivant le traitement du signal réalisé par membrane ; néanmoins, sous réserve d’utiliser des membranes très
la chaîne de mesure associée au capteur, le signal électrique de sor- raides, ce qui permet d’obtenir des fréquences propres très élevées,
tie peut être ou non influencé par cette variation relative du terme les déplacements observés peuvent être suffisamment faibles pour
réel de l’impédance des bobines. que l’on puisse assimiler la variation vraie à sa tangente dans toute
l’étendue de mesure. Dans certains cas, la chaîne électronique de
mesure associée au capteur contient un dispositif de linéarisation per-
mettant d’étendre le domaine d’emploi du capteur.
3.6 Capteurs à courants de Foucault

Les capteurs à courants de Foucault utilisent la variation de résis- 3.7 Domaine couvert par les capteurs
tance apparente présentée par une bobine lorsque cette dernière est
couplée à une plaque conductrice jouant le rôle de spire secondaire à membrane
en court-circuit. La figure 8 représente le schéma d’un tel capteur.
Lorsque, sous l’effet de la pression, la membrane se rapproche de
la bobine active, le couplage de celles-ci augmente et la résistance La figure 9 représente, dans un espace pression-fréquence, le
présentée par la bobine diminue. domaine couvert par l’ensemble des capteurs à membrane.

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4. Capteurs à élément
sensible
4.1 Généralités
Le paragraphe 3 décrit les capteurs à membrane pour lesquels
une membrane est soumise aux vibrations forcées induites par les
variations de pression ; ces capteurs diffèrent donc les uns des
autres par la méthode utilisée pour transformer en signaux électri-
ques les déformations de leur membrane.
Il convient de ranger dans la catégorie des capteurs à élément sen-
sible tout capteur dans lequel un élément (quartz, verre, nickel, etc.)
voit l’une de ses propriétés physiques (piézoélectricité, biréfringence,
résistivité électrique, perméabilité magnétique, etc.) varier avec la
déformation et la variation de pression.
On distingue les capteurs conventionnels discrets et les capteurs à
structure mince qui sont généralement mis en place sur des profils de
faible épaisseur.
■ Dans les capteurs conventionnels, une membrane séparatrice
peut être disposée entre le milieu et l’élément sensible.
La membrane séparatrice transmet les variations de pression à
l’élément sensible, mais peut altérer les propriétés dynamiques des
capteurs.
■ Les capteurs constitués de films minces sont, le plus sou-
vent, rapportés par collage sur le corps d’épreuve dont on souhaite ne
pas modifier les caractéristique mécaniques.
■ Les capteurs en couches minces sont constitués de dépôts de
matériaux superposés (couche isolante, électrodes, élément sensible)
réalisés directement sur le corps d’épreuve par un procédé approprié
(pulvérisation cathodique en atmosphère raréfiée, couches dites
« épaisses » obtenues par sérigraphie au moyen de pâtes déposées
au travers d’un masque et traitées thermiquement).
4.2 Capteurs piézorésistifs
Les capteurs piézorésistifs sont plus spécialement utilisés dans le
domaine de la détonique. Ils sont destinés à mesurer des ondes de
choc (compression suivie d’une détente) créées par des explosifs
puissants, des impacts de projectiles lancés à grande vitesse, des
faisceaux de lasers de puissance ou de sources pulsées d’électrons
dont l’énergie est focalisée sur une cible.
Ces capteurs sont généralement constitués soit de fils, soit de
dépôts en couches minces de matériaux dont la résistivité électrique
varie sous l’effet d’une variation de pression. Les matériaux le plus
couramment utilisés sont le manganin, le carbone et l’ytterbium.
La variation de la résistivité, et par suite de la résistance, d’un fil ou
d’un ruban déposé est évaluée à partir de la variation de tension
mesurée aux bornes de l’élément piézorésistif sensible parcouru par
un courant constant pendant toute la durée du phénomène à obser-
ver.
4.3 Capteurs piézoélectriques
4.3.1 Principes
Les capteurs piézoélectriques utilisent la propriété que possèdent
certains cristaux de se polariser électriquement lorsqu’ils sont soumis
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à des contraintes mécaniques orientées par rapport aux axes cristal-
lographiques [17].
Pour les cristaux naturels, il s’agit de quartz, de sel de seignette ou
de la tourmaline. Seul le quartz est encore largement utilisé.
■ On a maintenant plutôt recours aux matériaux synthétiques
pour constituer les éléments sensibles.
● Pour les éléments sensibles massifs, on peut distinguer :
— les cristaux naturellement piézoélectriques :
• cristaux ioniques tels que SiO2, A,PO4, A,N, TeO2, T,3VS4,
Bi12GeO20, T,3TaSe4 ;
• cristaux semi-conducteurs tels que CdS, CdSe, AsGa ;
— les matériaux ferroélectriques ;
— les céramiques PZT [Pb(ZrxTi1−x)O3]...
● Pour les éléments sensibles minces, on citera :
— les polymères tels que le difluorure de polyvinylidène (PVDF) et
les copolymères [18]. Ce sont des matériaux pseudo-piézoélectri-
ques dont la structure se modifie sous l’effet de la pression et qui
manifestent, alors, des propriétés piézoélectriques ;
— des matériaux cristallins déposés en couches minces tels que les
céramiques PZT et le nitrure d’aluminium A,N.
Il convient de préciser que les matériaux déposés en couches min-
ces ne doivent pas être polluants, ni pour l’enceinte de dépôt, ni pour
l’équipement de pompage. Le nitrure d’aluminium n’est pas polluant ;
les matériaux contenant du cadmium, du sélénium, du plomb etc.
peuvent, eux, être polluants.
■ Les matériaux piézoélectriques présentent des propriétés pyro-
électriques qui peuvent influencer grandement la qualité de la
mesure de pression. En effet, dans un écoulement aérodynamique,
par exemple, les variations de pression sont toujours accompa-
gnées de variations de température.
4.3.2 Réalisation
■ Dans les capteurs à élément sensible massif, l’élément piézoé-
lectrique se présente sous la forme d’un disque circulaire dont
l’épaisseur est au plus égale à son diamètre. Chacune des faces pla-
nes de l’élément est métallisée, de manière à disposer de deux élec-
trodes aux bornes desquelles sont mesurées soit les variations de
tension, soit les variations de charge électrique. La face arrière
repose sur une enclume dont le matériau, la forme et les dimen-
sions sont déterminés de manière telle que les ondes qui y sont
engendrées par les variations de la pression à mesurer soient absor-
bées. La face avant est souvent protégée par une membrane métal-
lique séparatrice.
● Signalons que l’on peut augmenter la sensibilité d’un capteur
piézoélectrique soit en empilant plusieurs pastilles, soit en réalisant
un amplificateur pneumatique en jouant sur l’importance de la sur-
face de la membrane qui transmet l’effort à l’élément sensible. Dans
les deux cas, l’augmentation de la sensibilité qui en résulte est obte-
nue au prix d’une réduction de la bande passante du capteur.
● Il est à noter également que, dans les cristaux piézoélectriques,
en particulier dans le quartz, une autre propriété physique varie avec
la contrainte appliquée : c’est la fréquence de résonance. Ainsi, il est
possible de réaliser un auto-oscillateur à quartz dont les variations
relatives de fréquence sont proportionnelles à la pression à mesu-
rer. Toutefois, cette propriété est moins « sensible » et, par consé-
quent, plus difficile à détecter avec une bonne résolution. Son
emploi présente cependant un intérêt dans le cas où l’on désire
mesurer la composante continue de la pression ; néanmoins, la
bande passante utile est un peu réduite par rapport à celle dont on
peut disposer dans le cas de l’utilisation de la piézoélectricité
directe.
■ Les capteurs à structure mince présentent l’intérêt de ne pas
perturber les écoulements. Un même support peut comporter plu-
sieurs capteurs obtenus simultanément lors de l’élaboration. La
_____________________________________________________________________________________________________ PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES
Métallisations supérieures
déterminant le nombre
de capteurs et leur surface
Élément sensible
(couche mince
ou polymère)
Métallisation inférieure
commune
Couche isolante déposée
ou film de colle (pour
les polymères)
Corps d'épreuve
Figure 10 – Vue schématique en coupe d’un capteur à structure
mince
représentation schématique en coupe de la figure 10 illustre cette
possibilité.
On note l’avantage de pouvoir réaliser les connexions en prolon-
geant les métallisations, formant les électrodes, sous forme de ban-
des étroites vers la périphérie du corps d’épreuve où les
raccordements aux câbles de mesure sont effectués. Toutefois, il
faut tenir compte de la capacité réalisée des connexions (y compris
les câbles). La capacité du capteur peut alors être inférieure à celle
des connexions et minimiser le signal utile.
L’implantation de capteurs comportant un film souple se fait par
collage sur le corps d’épreuve (film mince de colle époxy ou polyi-
mide).
Lorsque la surface est gauche, il convient de prendre une contre-
forme du corps d’épreuve par moulage (résine silicone par exem-
ple). Le capteur est alors appliqué sur le corps d’épreuve, puis collé
sous pression au moyen du moule réalisé.
4.3.3 Exploitation
Les principes des dispositifs électroniques associés à ces capteurs
sont au nombre de deux.
■ Premier principe
On emploie un dispositif adaptateur d’impédance, c’est-à-dire un
électromètre à très haute impédance d’entrée (1010 Ω pour un tran-
sistor à effet de champ à jonction ; 1016 Ω pour un transistor à effet
de champ à grille isolée). Les développements de la micro-électroni-
que hybride permettent d’obtenir une miniaturisation suffisante
pour loger cet adaptateur dans la périphérie du corps d’épreuve et
de disposer ainsi d’un signal issu d’un générateur à basse impé-
dance (1 000 Ω, ou moins) facilitant son transport jusqu’aux moyens
d’acquisition de données conventionnels, tout en améliorant le rap-
port de la capacité utile à la capacité totale (§ 4.3.2).
■ Second principe
On emploie un amplificateur de charge.
S’il s’agit d’un circuit intégré monolithique pouvant loger dans la
périphérie du corps d’épreuve, comme dans le premier principe, le
transport du signal est grandement facilité (sortie d’amplificateur à
basse impédance).
S’il s’agit d’un amplificateur d’instrumentation de laboratoire, on
peut éliminer l’effet de la capacité de liaison du câble allant du cap-
teur à l’entrée de l’amplificateur. On se retrouve cependant con-
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Barreau
magnétostrictif
Membrane
transmettrice
Bobine
Boîtier
Figure 11 – Capteur magnétostrictif
fronté au rapport capacité utile à la capacité totale qui nuit à la
résolution de la mesure.
Quel que soit le procédé utilisé, les câbles placés entre le cap-
teur et l’entrée du circuit électronique doivent être
« antistatiques ». Il faut éviter le plus possible l’apparition de
charges induites par les mouvements et déformations involontai-
res des câbles.
4.4 Capteurs magnétostrictifs
Ces capteurs utilisent la variation de perméabilité magnétique
d’un barreau de métal ferromagnétique soumis à une contrainte. Cet
effet se manifeste plus particulièrement dans les alliages binaires ou
ternaires Fe, Ni, Co à grains orientés et traités thermiquement.
La figure 11 représente le schéma d’un tel capteur. L’application
d’une pression sur la membrane soumet le barreau à une contrainte
de compression. La variation de perméabilité magnétique qui en
résulte introduit une variation de l’inductance de la bobine. La
mesure de la variation de cette inductance peut être effectuée par
les différents moyens classiques, dont les deux principaux font
appel l’un à la modulation d’amplitude (utilisation d’un pont d’impé-
dance) et l’autre à la modulation de fréquence (utilisation de la
bobine dans un circuit oscillant).
En principe, ce type de capteur est sensible à la composante con-
tinue de la pression, mais l’importance de l’influence de la tempéra-
ture sur la perméabilité du barreau magnétostrictif rend souvent
impossible l’exploitation de cette composante dans le signal de sor-
tie.
Un autre inconvénient, inhérent aux propriétés physiques mises
en jeu, est l’augmentation de l’hystérésis magnétique avec la fré-
quence des variations de pression mesurées.
4.5 Capteurs photoélastiques
Les capteurs photoélastiques utilisent le phénomène de biréfrin-
gence induite dans un matériau amorphe transparent (verre, silice
fondue) par une compression uniaxiale.
La figure 12 représente la constitution schématique d’un tel cap-
teur. La pression incidente exerce un effort de compression sur l’élé-
ment sensible et module ainsi sa biréfringence induite. Un faisceau
lumineux monochromatique dirigé suivant l’axe xx’ traverse suc-
cessivement deux nicols croisés calés à ± 45˚ par rapport à l’axe de
la compression ; l’élément sensible introduit un retard de marche ∆
proportionnel à la contrainte et une lame cristalline introduit une
autre différence de marche ∆0.
R 2 090 − 9
PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES _____________________________________________________________________________________________________

Vis de réglage Pression (Pa) Capteurs

de précontrainte magnétostrictifs
Élément sensible :
parallélépipède en silice Boîtier 1010
109 Capteurs piézorésistifs
108
107
Cale d'uniformisation
Capteurs
de la contrainte 106
piézo-
Nicol 105 électriques
polariseur Nicol polariseur 4
10
103
x x' Lame cristalline 102
à biréfringence 10
naturelle 1 Capteurs
Membrane piston 10–1 photoélastiques
transmettant l'effort 10–2
10–3
10–4
Figure 12 – Capteur photoélastique 10–2 10–1 1 10 102 103 104 105 106 107 108
Fréquence (Hz)

La mesure de l’intensité lumineuse transmise I est effectuée par Figure 13 – Domaine couvert par les capteurs à élément sensible
un photomultiplicateur :

2 π ( ∆ + ∆0 + δ ) La fonction de transfert est obtenue après acquisition du signal du

I = I 0 sin ---------------------------------- (7) capteur au moyen d’un analyseur de spectre, puis par traitement par
λ
transformée de Fourier.
avec λ longueur d’onde,
■ L’étalonnage proprement dit nécessite l’utilisation d’une source
I0 intensité lumineuse incidente, génératrice de fluctuations de pression et d’un capteur étalon.
δ différence de marche initiale réglée par la vis de Aux basses fréquences (f < 1 kHz), il est possible d’utiliser un pis-
précontrainte. tonphone.
Ce réglage de δ par la vis permet, pour une mesure de pression Aux fréquences plus élevées, il est nécessaire d’utiliser un tube à
donnée, de placer le point d’inflexion de la caractéristique sinusoï- choc pour effectuer un étalonnage en régime transitoire.
dale au voisinage de la valeur moyenne du signal, de manière à dis-
Des générateurs piézoélectriques sont en cours d’étude pour les
poser de la plus grande sensibilité et de la meilleure linéarité
étalonnages dans le domaine des fréquences élevées.
possibles.
Dans tous les cas, une attention particulière doit être portée aux
Quoiqu’une traversée de zéro soit possible, puisque la précon- phénomènes de propagation mis en jeu.
trainte n’est jamais nulle, ce type de capteur n’est utilisé que pour
mesurer des surpressions permanentes ou rapidement variables ;
par ailleurs, il est particulièrement bien adapté aux mesures néces-
sitant une grande étendue de mesure. 5.2 Étalonnage en régime périodique
de capteurs pris séparément
4.6 Domaine couvert par les capteurs
à élément sensible 5.2.1 Pistonphones

Ce sont des générateurs de pression sinusoïdale se superposant à

La figure 13 représente, dans un espace pression-fréquence, le
domaine couvert par l’ensemble des capteurs à élément sensible.
5. Étalonnage dynamique
des capteurs
5.1 Généralités
■ La caractéristique la plus importante à connaître pour un capteur
de pression dynamique est sa fonction de transfert. Le module de
cette fonction représente l’évolution de la sensibilité du capteur en
fonction de la fréquence, alors que sa phase permet de connaître le
déphasage existant entre le signal de sortie du capteur et une pres-
sion idéalement sinusoïdale de fréquence donnée.
la pression ambiante, généralement la pression atmosphérique.
■ La variation de pression est obtenue à partir d’une variation de
volume créée par le déplacement d’un piston dans un cylindre.
Deux types de pistonphones sont utilisés.
● Le premier type délivre une pression d’amplitude donnée sur
une seule fréquence. Il est utilisé principalement pour vérifier, sur
une fréquence donnée, la sensibilité d’un capteur de pression inté-
gré dans le montage expérimental dans lequel il doit fonctionner. Le
piston est actionné par un moteur électrodynamique dont le fonc-
tionnement est bien adapté à la fréquence généralement utilisée
(250, 400 ou 1 000 Hz).
● Le second type permet de disposer de toutes les fréquences con-
tenues dans un domaine spectral donné. Il est plus spécialement uti-
lisé pour la mesure de la courbe de réponse d’un capteur. Le
mouvement de translation du piston peut être assuré soit par un sys-
tème bielle-manivelle, soit par un système à came.
Le domaine de fréquence utile s’étend de 0,05 à 250 Hz. La limite
basse fréquence est imposée par l’imperfection de l’étanchéité cylin-
dre-piston, alors que la limite haute fréquence est liée à la vitesse de

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Moteur Orifice Ressort Came

électrique Cylindre de montage
à vitesse des capteurs
variable Manivelle Bielle Piston à étalonner

Figure 14 – Pistonphone à entraînement bielle-manivelle

Chemise
Piston de rubis
rotation maximale du moteur, ainsi qu’à la tenue mécanique de l’équi-
Cavité
page mobile. de couplage
La figure 14 représente schématiquement un pistonphone à
entraînement bielle-manivelle et la figure 15 un pistonphone à Figure 15 – Coupe transversale montrant le principe
entraînement par came [19]. de fonctionnement d’un pistonphone à entraînement par came

■ Une brève investigation peut être conduite pour un pis-

tonphone du type à entraînement bielle-manivelle (figure 14).
Ce dispositif d’étalonnage peut, en effet, être considéré comme 1,5
absolu, car il est possible de calculer avec une bonne précision la 1,4
∆p
pression engendrée, à partir de la connaissance de l’environnement
po
et des dimensions de l’instrument. La fonction de transfert reliant la 1,3
variation de pression ∆p à la variation du volume ∆V créée par le ∆V
Vo 1,2
mouvement du piston peut se mettre sous la forme [20] :
1,1
∆ p ( γω )  Ð p 0 γ j ω ⁄ ω0
------------------------ =  --------- --------------------------------------------------------------------------------- (8)
∆ V ( γω ) V0 1,0
jω j ω ⁄ ω0
------ + 3 ( γ Ð 1 ) ----------------------------- Ð 1 a amplitude
ω0 th j ω ⁄ ω 0
– 170°
avec p0 pression ambiante,
V0 volume moyen de la cavité située entre le piston – 175°
mobile et le capteur à étalonner,
γ = Cp /CV quotient des capacités thermiques massiques du
gaz à pression et à volume constants, – 180°
10–1 1 10 102 103 104 105
jω variable symbolique de Laplace, w /w0
b phase
ω0 pulsation de référence donnée par la relation :
Figure 16 – Amplitude et phase de la fonction de transfert
 S 2 λ
ω 0 =  ---------- ---------- (9) [relation (8)]
3 V 0 ρC p

dans laquelle S est la surface totale des parois de la cavité, ρ et λ la

masse volumique et la conductivité thermique du gaz.
La fonction de transfert (8) est utilisable pour toutes les cavités
cylindriques dont le rapport diamètre/longueur est compris entre
0,4 et 2,5. La figure 16 représente l’amplitude et la phase de la fonc-
tion de transfert (8).

On remarque que la transition entre le régime isotherme en

basse fréquence et le régime adiabatique en haute fréquence est Capteur
relativement étendue puisqu’elle s’étale sur au moins quatre Zone sensible
à structure
décades de fréquences. mince

■ L’étalonnage d’un capteur à structure mince peut être réa-

lisé au moyen de ce type de pistonphone, dont on a déposé le fond
et qui a été mis en appui sur le capteur (figure 17).
Il est également possible de déporter le pistonphone. On a alors Plaque plane support (rigide)
recours à une « ventouse » appliquée fortement sur le capteur à
étalonner et reliée pneumatiquement au pistonphone (figure 18). Figure 17 – Étalonnage d’un capteur à structure mince au moyen
On doit s’assurer de bonne transmission de la pression p, eu égard d’un pistonphone

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Tube Couvercle
Microphone
à calibres Adaptateur 1/2" Batterie

Ventouse

Capteur
à structure
Support mince
Pistonphone

Figure 18 – Étalonnage d’un capteur à structure mince au moyen

d’une ventouse

Haut-parleur Microphone Circuit

Système de référence imprimé
d'homogénéisation
de la pression

Masse
de réglage Figure 20 – Vue en coupe d’un calibreur industriel avec microphone
de référence

Volume
Diaphragme frontal
métallique
Résistance
Élément d'égalisation
fléchissant Membrane
Volume Orifice destiné
en céramique arrière Capteur
à recevoir le capteur
de référence
à étalonner
Résonateur
de Helmoltz

Culasse et pièce
polaire magnétiques Bobine mobile

Aimant permanent

Culasse et pièce
polaire magnétiques

Oscillateur stabilisé
à diode Zener Figure 21 – Chambre de compression

Figure 19 – Vue en coupe d’une source sonore étalon industrielle

au volume de la ventouse, aux dimensions de la liaison pneumati-
que et à la fréquence de travail. Il faut également veiller à supprimer
tout phénomène vibratoire parasite au niveau du support du cap-
teur.
Dans le cas des capteurs à structure mince, on doit toujours rester
sensible aux effets thermiques engendrés par le pistonphone.
5.2.2 Calibreurs acoustiques
Ces appareils portatifs permettent l’étalonnage précis des micro-
phones. Il s’agit :
— de sources sonores étalons ; la figure 19 en donne un exemple
[19] ;
— de calibreurs comportant en plus un microphone de référence ;
la figure 20 en donne un exemple [19] ;
— enfin, de systèmes de calibration par réciprocité donnant un
étalonnage en niveau très précis (± 0,05 dB) [19].
5.2.3 Chambre de compression
La chambre de compression est constituée d’une cavité de faible
dimension dont le volume (de l’ordre de 1 cm3) est modulé par
l’ensemble moteur – membrane d’un haut-parleur. Le capteur à éta-
lonner peut être monté sur la paroi de la cavité, à côté d’un capteur
de référence destiné à mesurer la pression instantanée régnant
dans la cavité. La figure 21 représente schématiquement le disposi-
tif.
L’emploi d’un tel dispositif, dont l’encombrement et la masse sont
réduits, est plutôt réservé au contrôle du calibrage d’un capteur qu’à
son étalonnage proprement dit. Bien que la fréquence propre de
l’équipage mobile soit en général élevée (≈ 15 kHz par exemple), le
domaine de fréquence où l’utilisation du dispositif est commode sur
le terrain est souvent situé au-dessous de 1 kHz. La forme très com-
pliquée de la cavité comprise entre la membrane et le chapeau
porte-capteur est responsable de variations relativement importan-
tes du niveau de pression engendré, en fonction de la fréquence et
en fonction du point où la mesure est faite.

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Orifice de mise
en place du capteur
de référence et du capteur
à étalonner
Cavité Rotor
Cavité tournante
tournante Cavité Cavité
Orifice d'admission tournante tournante
Corps cylindrique
Orifice
d'échappement
a b c teurs à grande résolution, comparable par exemple à celle des
Figure 22 – Générateur de créneaux
5.2.4 Générateur de créneaux
Les générateurs de créneaux de pression se distinguent de la plu-
part des générateurs périodiques par la forme trapézoïdale (se rappro-
chant le plus possible d’un rectangle idéal) du signal engendré.
Leur réalisation pratique se présente sous diverses formes, l’une
d’entre elles est schématisée sur la figure 22. Dans la position de la
figure 22 a, la cavité C1 est déjà sous pression lorsqu’elle passe en
regard de l’orifice O où sont disposés les capteurs, la position 22 b
représente la fin de la durée du palier de pression, et la
position 22 c montre la mise à l’air libre de la cavité C1, alors que la
cavité suivante C2 est déjà comprimée par le gaz admis.
Les générateurs de créneaux sont utilisés principalement pour
étalonner les capteurs ne passant pas la composante continue ; ils
permettent en effet de déterminer aisément la fréquence de coupure
basse par l’examen de la décroissance des paliers du signal de sor-
tie du capteur. Dans le domaine des fréquences élevées, ces généra-
teurs ne dépassent pas 1 ou 2 kHz mais, par un traitement de signal
approprié, des comparaisons entre capteur à étalonner et capteur
de référence peuvent être faites sur les harmoniques 3 et 5 de la fré-
quence fondamentale des créneaux, ce qui permet d’étendre la
limite haute fréquence vers 5 à 10 kHz.
5.2.5 Excitateur électrostatique
L’appareil est schématiquement représenté sur la figure 23. Il se
compose essentiellement d’une grille métallique que l’on peut por-
ter, par l’intermédiaire de la borne de connexion, à un potentiel dif-
férent de celui du capteur à étalonner dont on dispose la membrane
le plus près possible de la surface supérieure du revêtement isolant
de la grille. Le potentiel appliqué se compose d’une haute tension
continue (de 100 à 1 000 V), additionnée d’une tension sinusoïdale
Borne Revêtement
de connexion isolant
Figure 23 – Excitateur électrostatique
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dont l’amplitude crête est au plus égale à 10 % de la tension de pola-
risation. Les forces électrostatiques qui agissent sur la membrane
du capteur sont assimilables à celles qui résulteraient de l’applica-
tion d’un champ de pression p suivant la formule :
ε0 E0 ∆ E
p = -------------------- (10)
2
d
avec ε0 permittivité du vide (valable dans l’air ambiant),
E0 tension de polarisation,
∆E tension crête de l’excitation,
d distance constante séparant la grille conductrice
de la membrane du capteur éprouvé.
L’excitateur électrostatique est réservé à l’étalonnage des cap-
microphones de prise de son. Ce dispositif est très commode
d’emploi, car il permet de soumettre le capteur en essai à une pres-
sion simulée rigoureusement indépendante de la fréquence. Il pré-
sente cependant deux inconvénients :
— il ne permet de simuler que de très basses pressions (30 µbar
au maximum) ;
— il ne permet pas un étalonnage absolu, car les formes et les
dimensions du capteur à tester distordent le champ électrostatique,
dès lors la pression effectivement simulée n’est pas rigoureusement
celle donnée par la formule (10).
5.2.6 Cavités résonnantes
Les cavités résonnantes sont utilisées pour engendrer des pres-
sions sinusoïdales dont la moyenne est la plupart du temps égale à
la pression atmosphérique.
Elles se présentent sous la forme d’un tube cylindrique dont une
des extrémités est fermée par un piston ; la position du piston per-
met de régler la fréquence propre de la cavité. La figure 24 repré-
sente le schéma d’un tel dispositif.
Le jet créé par le générateur est annulaire et turbulent, il constitue
ainsi un générateur de bruit dont le spectre est étalé sur un large
domaine de fréquence, qui excite la cavité sur sa fréquence de réso-
nance. Le mode de vibration peut être choisi en agissant, d’une part,
sur l’écartement entre le tube et le générateur, d’autre part, sur la
pression de l’air comprimé d’alimentation.
L’utilisation d’une cavité résonnante permet de tirer avantage du
facteur de surtension (de l’ordre de 10) et ainsi de créer, d’une
manière très simple, des amplitudes de pression relativement
importantes (350 mbar). En contrepartie, pour bénéficier de l’ampli-
tude maximale, il est nécessaire de diposer le capteur à étalonner,
ainsi d’ailleurs que le capteur de référence, à une position, le long de
la génératrice du cylindre, variable avec la fréquence. Compte tenu
de l’encombrement de plus en plus important nécessité pour
l’obtention des basses fréquences, les dispositifs usuels ne descen-
dent pas au-dessous de 50 Hz.
Grille Corps support
métallique isolant
R 2 090 − 13
PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES _____________________________________________________________________________________________________
Genérateur
de jet
Tube
Capteur Piston
à étalonner mobile
Arrivée
d'air
comprimé
Figure 24 – Cavité résonnante
5.3 Étalonnage en régime transitoire
de capteurs pris séparément
5.3.1 Généralités
Pour étendre le domaine utile vers les hautes fréquences ou vers
les hautes pressions, il n’est plus possible de continuer à employer
une excitation en régime harmonique. Fort heureusement, les étu-
des en aérodynamique ont permis de créer le tube à choc. Ce géné-
rateur a la particularité de délivrer des échelons de pression dont le
temps de montée est extrêmement court (voisin de 100 ns), aussi
l’analyse de Fourier de la réponse du capteur permet-elle d’obtenir
des informations valables sur la fonction de transfert de ce capteur,
jusqu’aux fréquences correspondant aux bandes passantes les plus
élevées que l’on sache atteindre. Les études encore en cours visent
à augmenter le niveau de pression atteint par les tubes à choc
actuels pour les porter de 20 bar à 1 000 bar si possible.
Indépendamment des tubes à choc, d’autres types de générateur
à haut niveau de pression (jusqu’à 5 000 bar) ont été développés,
mais leur domaine spectral est plus limité ; il s’agit principalement
des enceintes à ouverture rapide et des bombes closes.
5.3.2 Tubes à choc
Les tubes à choc comportent deux chambres à section constante
séparées par une membrane. La chambre haute pression contient le
gaz moteur et la chambre basse pression le gaz de travail. Fréquem-
ment, un seul type de gaz (air ou azote sec) est utilisé pour les deux
fonctions. La théorie fine du fonctionnement d’un tube à choc est
trop complexe pour être exposée dans cet article, elle est décrite
dans les références [21] [22].
La figure 25 représente le dispositif. En simplifiant à l’extrême le
fonctionnement, ce dernier peut être décrit de la façon suivante (la
chambre basse pression étant à la pression p0 et la chambre haute
pression à p0 + ∆p) :
Membrane
séparatrice
Chambre Percuteur
haute pression
Figure 25 – Tube à choc
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R 2 090 − 14 © Techniques de l’Ingénieur, traité Mesures et Contrôle
— au moment où le percuteur crève la membrane séparatrice,
une onde de choc d’amplitude ∆p/2 part de la membrane et se pro-
page vers le fond de la chambre basse pression avec une célérité
voisine de celle du son ;
— à l’instant où elle atteint le fond, l’onde se réfléchit en doublant
d’amplitude ; les capteurs situés sur le fond sont alors soumis à un
échelon de pression d’amplitude approximative ∆p et de durée limi-
tée par l’arrivée de l’onde de détente provenant de l’autre extrémité
du tube (cette durée est donc étroitement liée à la longueur totale du
tube).
L’application d’un tel signal de pression permet en principe de
déterminer une grande partie de la fonction de transfert, en ampli-
tude et en phase, du capteur essayé, car le temps de montée de
l’échelon est très inférieur à la microseconde et, pour les tubes de
quelques mètres de long, la durée du créneau de pression est de
l’ordre de 20 ms. Le domaine spectral utile s’étend approximative-
ment, dans ces conditions, de quelques centaines de hertz à environ
1 MHz.
Les niveaux de pression atteints par les tubes à choc sont limités,
vers le bas, à environ 100 mbar et, vers le haut, à 20 bar. La limite
basse n’est pas à caractère théorique et peut donc être abaissée ;
elle est liée au fait qu’une onde de choc n’est créée que si le déchire-
ment de la membrane est suffisamment rapide.
Le tube à choc est le plus souvent utilisé pour mesurer la forme
de la fonction de transfert d’un capteur, le calibrage en amplitude
étant obtenu par l’emploi d’un capteur de référence. Il est à noter
toutefois que le développement de la théorie du fonctionnement
permet de calculer avec une précision de l’ordre de 2 % l’ampli-
tude de l’échelon créé par un tube de construction soignée ; il est
donc possible, dans cette fourchette de précision, de considérer
le tube à choc comme un moyen absolu d’étalonnage.
5.3.3 Enceintes à ouverture rapide
Les enceintes à ouverture rapide sont utilisées principalement
lorsque l’on désire mesurer la courbe de réponse d’un capteur
jusqu’à des fréquences très basses (1 Hz ou en dessous), car la lon-
gueur qu’il faudrait donner à un tube à choc pour atteindre cet
objectif le rendrait irréalisable. En contrepartie, l’ouverture de ces
dispositifs, si rapide soit-elle, ne permet pas d’atteindre des temps
de montée de l’échelon de pression aussi courts que ceux obtenus
avec un tube à choc. Ainsi, le domaine spectral utile n’est pas limité
vers les basses fréquences (si ce n’est par la durée consacrée à
l’enregistrement de l’expérience), mais il est borné vers le haut à
100 Hz jusqu’à environ 1 kHz suivant l’organe d’ouverture choisi :
électrovanne, soupape à commande électromagnétique ou électro-
pneumatique, membrane.
Quel que soit l’organe utilisé, toutes les enceintes à ouverture
rapide se présentent suivant le schéma de la figure 26.
Capteur
à étalonner
Chambre
basse pression
Capteur
de référence
_____________________________________________________________________________________________________ PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES

Enceinte d'épreuve
où règne la pression
initiale p1 Capteur
à étalonner Chambre
Organe sourde
d'ouverture
p2 p1 Enceinte d'épreuve Capteur
où règne la pression à étalonner
A initiale p2
B Haut-parleur
ou ionophone
Microphone
Revêtement étalon
Canalisation Canalisation absorbant
de remplissage de remplissage Enceinte
ou de vidage ou de vidage arrière
de la chambre B de la chambre A du haut-parleur

Figure 26 – Enceinte à ouverture rapide

Figure 28 – Chambre sourde

Comme c’est le cas pour tous les moyens d’étalonnage relatifs, un

Membrane capteur de référence, dont les caractéristiques sont connues dans
de sécurité tout le domaine pression-fréquence du dispositif, est utilisé conjoin-
Charge
explosive tement avec le capteur à étalonner.
Capteur
à étalonner La bombe close permet de disposer d’échelons ou d’impulsions
Dispositif
dans une gamme comprise entre 100 et 5 000 bar. Le domaine spec-
de mise à feu tral couvert n’est pas très bien défini vers les hautes fréquences,
faute de pouvoir disposer de capteurs étalonnés dynamiquement
vers les hautes pressions. Vers les basses fréquences, la limite est
Masse située aux environs de 5 Hz ; cette limite est essentiellement due à la
additionnelle chute de pression occasionnée par le refroidissement des gaz au
contact des parois après l’explosion.
Figure 27 – Bombe close

Le capteur à étalonner est soumis à un échelon (p1 − p2) qui peut
être positif ou négatif ; dans le cas d’un lâcher de pression entre p1
et la pression atmosphérique, la chambre B peut être supprimée.
Les organes d’ouverture à électrovanne sont simples de concep-
tion, mais exigent de réaliser un compromis entre la section et le
temps d’ouverture. L’avantage de la soupape est de permettre la
réduction du volume de la chambre d’épreuve A, tout en offrant une
section d’ouverture importante. Le dispositif à membrane (système
comparable à celui utilisé dans les tubes à choc) permet d’atteindre
le temps d’ouverture minimal et la section de passage maximale.
5.4 Étalonnage d’un ensemble
de capteurs
Dans l’étude de phénomènes aéro-acoustiques, on a besoin, en
plus des caractéristiques des capteurs mis en œuvre, de connaître
les fonctions de transfert des capteurs convenablement disposés
par rapport à la source. On a alors recours à une chambre sourde
(ou anéchoïque), représentée schématiquement sur la figure 28.

5.3.4 Bombe close
La bombe close est un moyen d’étalonnage dynamique assez peu
répandu en dehors du domaine de la détonique. Ce moyen permet
de créer des échelons de pression de très grande amplitude, mais
dont la forme du front de montée est incontrôlable.
La bombe se présente sous la forme d’une enceinte fermée, dans
laquelle est placée une petite charge explosive dont la mise à feu
électrique peut être commandée de l’extérieur, comme le montre la
figure 27.
Lors de l’explosion de la charge, la pression à l’intérieur de
l’enceinte monte à une valeur qui dépend du volume de l’enceinte
(que l’on peut faire varier par l’emploi de masses additionnelles) et
de l’importance de la charge.
Si la membrane de sécurité est tarée pour éclater à un niveau de
pression supérieur à celui qui est atteint dans la bombe, le capteur
est soumis à un échelon de pression. Si, au contraire, la membrane
est calibrée pour éclater au cours de la montée de pression, le cap-
teur à étalonner est soumis à une impulsion de pression.
Une telle chambre est constituée par un local fermé dont les
parois intérieures sont revêtues de matériau absorbant se présen-
tant sous une forme géométrique dite en « dents de dragon », dans
le but de créer un piégeage des ondes acoustiques. Lorsqu’une telle
chambre n’est destinée qu’à l’étalonnage dynamique de capteurs de
pression, son volume intérieur utile peut être limité à 1 ou 2 m3. La
disposition décrite permet d’obtenir un local isolé du champ de
pression sonore existant dans un environnement urbain et de
recréer artificiellement, dans un faible volume, l’équivalent d’un
espace infini non perturbé.
C’est dans de telles chambres que sont étalonnés de façon abso-
lue les microphones étalons destinés à être utilisés comme capteurs
de référence.
Les différents capteurs, ainsi que le microphone étalon ou une
sortie auxiliaire de la source, seront connectés à un analyseur multi-
voies qui permettra de connaître les fonctions de transfert souhai-
tées.

Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite.
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PRESSIONS RAPIDEMENT VARIABLES _____________________________________________________________________________________________________

Liste des
Pression (Pa) mots clés Silicium§ 3.2
Capacitif§ 3.3
Pression (Pa)
Pistonphone§ 5.2.1
Calibreur§ 5.2.2
Électret§ 3.3 Compression§ 5.2.3
109 Micro-usinage§ 3.3 109
Pression Générateur§ 5.2.4
Bombes closes
108 Réluctance§ 3.5 108
Pression§ 1 Distributeurs Excitateur§ 5.2.5
107 Foucault§ 3.6 107
Optique§ 1 de créneaux
6 Cavité§ 5.2.6
Laser§10
1 Piézorésistif§ 4.2 106 Enceintes
à ouverture
Tubes à choc
1051 105 Tube§ 5.3.2
Raman§ SirènesPiézoélectrique§ 4.3 rapide
104 2
Capteur§ Magnétostrictif§ 4.4 104 Enceinte§ 5.3.3
103
Membrane§ 3 Photoélastique§ 4.5 103 Bombe§ 5.3.4
2
Jauge§103.2 Étalonnage§ 5 102 Anéchoïque§ 5.4
10 Pistonphones 10
1 Chambres sourdes 1
10–1 (haut-parleur 10–1
10–2 Chambres et iophone)
10–2
10–3 de compression
10–3
Situation
10 10 1
de10 l’article
–2 –1
10 10 10 2 3 4 105 106 107 10–2 10–1 1 10 102 103 104 105 106 107
Fréquence (Hz) Fréquence (Hz)
a dispositifs périodiques b dispositifs apériodiques
N˚ de traité : 670
FigureN˚
29 –de rubrique
Domaine couvert: par
40les dispositifs d’étalonnage
N˚ de sous-rubrique : 15
N˚ de volume : R5
5.5 Domaine couvert par les dispositifs Les dispositifs périodiques (figure 29 a) sont plutôt centrés vers
les basses pressions, alors que les dispositifs apériodiques
d’étalonnage dynamique (figure 29 b) sont tous situés vers les hautes pressions.

La figure 29 représente, dans un espace pression-fréquence, les

domaines couverts par les principaux dispositifs d’étalonnage
périodiques et apériodiques.

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