CAPTEURS CHIMIQUES

Cette formation donne une approche complète, théorique et pratique,

sur la fabrication et la caractérisation de capteurs chimiques. Il s’adresse
aux chercheurs, ingénieurs, techniciens et commerciaux concernés par
l’industrie de la micro-électronique et des capteurs, qui souhaitent acquérir
les notions de base en terme de technologie des capteurs chimiques..

PROGRAMME DU STAGE Caractérisation: Microscope

électronique à balayage et microscopes
Cours théoriques: sont dispensés par optiques, résistivimètre, profilomètre,
des chercheurs spécialistes du domaine, ellipsomètre, appareil de mesure de
ils illustrent les principales techniques profil de dopage...
utilisées :
• principes de fonctionnement. Responsable du stage
• Choix et élaboration des couches
sensibles.
• procédés de fabrication. Marc Respaud
Travaux pratiques (salle blanche): à Professeur des Universités
partir d’une plaquette de silicium vierge,
Intervenant
les participants exécutent toutes les
opérations technologiques d procédé de Frédéric Gessinn
fabrication des composants et circuits
intégrés ainsi que les tests de caractérisation Ingénieur de Recherche INSA
associés aux différentes étapes :
• Synthèse chimique de Nanoparticules
d’oxyde métallique (WO3)
• Elaboration des puces des capteurs et  11-15 sept. 2017
montage sur boitiers Durée du stage :
• Intégration des NPs sur puces
• Test des capteurs en température et
5 jours – 30 heures
atmosphère contrôlée
En fin de stage, un temps peut être réservé
 Tarif : 3500 €
pour aborder des questions/besoins Doctorants: 1500 €
spécifiques exprimées par les stagiaires Déjeuners et documents
(conseil, mesures ...). pédagogiques inclus.
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ÉQUIPEMENTS UTILISÉS Renseignements & inscription :
 05 61 55 92 53
Fabrication: Fours comprenant 12 tubes
pour les oxydations, diffusions, dépôts et  fcq@insa-toulouse.fr
recuits, implanteur ionique...