1

4ième état de la matière

Chauffage

Énergie Photons

Champ électromagnétique

2
Video 4rth state
Classification

PA

4
 Classification
CHAUD
FROID

PA

5
 Froid Hors Equilibre Thermodynamique

e‐ 11600 à 116000 K

Degré d’ionisation :

Neutres en plus forte densité
neutre
Faible transfert de l’énergie
Electron  (majorité de chocs élastiques) 
énergétique

6
Froid Hors Equilibre Thermodynamique

+     e‐ +     e‐
Ediss(Si‐H) = 3,9 eV

Radicaux très 
réactifs

Dépôt Poudres
Gravure

7
 Plasmas thermiques
CHAUD

PA

8
Froid thermique ?

9
 Microélectronique
(jusqu’à 30 % d’une ligne de
production)

MEMS

PLASMA
FROID

Biomédicale Optique
Stérilisation,
prothèse

Agroalimentaire Métallurgie
Couches outillage,
barrières aéronautique,
Automobile
mécanique
Q cells 1’20
 Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition
• PECVD is used to apply a thin film of silicon on a substrate to make PV solar 
panels
Transparent Plasma
Clean Laser Laser Back Contact Laser Assembly
Conductor Deposition

©Phive Plasma Technologies
Technology – how to generate Plasma

Gas mixture H2:SiH4

RF
Showerhead
Plasma
Substrate
Heater

Pump

Exhaust

Confidential: ©Phive Plasma Technologies
 a‐Si Solar PV production line
70MW
= $200M

= $140M

Plasma deposition equipment makes up ~70% of the capital costs of a

thin film PV Solar manufacturing facility

Confidential: ©Phive Plasma Technologies
The Fabrication of Integrated Circuits 1’30
 Contexte

Emballage alimentaire

Contenant Γ plastiques “
. Peu chers
. Légers
. Facilement mis en forme
. recyclables

Contenu périssable
. Fraîcheur, goût, teneur en vitamines...

! Intrusion de O2 et H2O

Pb : polymères sont perméables à ces gaz !!

Séminaire du 22 Mai 2002 - CPAT
Sidel jusqu’à 2’ puis 3’31
 Contexte

Diodes Electroluminescentes Organiques

•Détérioration chimique des zones

actives organiques.
•Oxydation de l’interface électrode
metallique-polymère.

Autres • Emballage pharmaceutique.

• Protection des polymères utilisés dans l’industrie spatiale.
• Lentilles et verres ophtalmiques organiques, etc etc …
Séminaire du 22 Mai 2002 - CPAT
 Industrial plasma systems for the activation of
polypropylene bumpers for the car industry
Specifications:
· Dimensions: 6300x4500x2800mm
Without conveyor
13500x5500x2800 with conveyor
· Weight: 17000 kg
· Power: 3 phase 315 V—50 hz
· Chamber volume: 12 m3
80 kva
· Maximum 6 bumpers
· Water cooling required: 45kw
2000x1000x600 mm
· Air: 6 bar
· Throughput: 1 bumper/minute
· Pumps: 3 groups of BOC edwards
Dry pumps GV600 + EH4211
· RF generator: AE RFX 3000 with
Automatic tuner
· Siemens S7 PLC with touch screen
· Conveyor for automatic loading

Structural coatings international S.R.L. Via G. Matteotti 5/7—23877 paderno d’adda italy
Tel. +390399281250—fax +390399519878—www.Structuralcoatings.Com
PlasmaTEC Atmospheric Plasma Treating System
product video

robot_avec_plasma
Pièce en plastique
(polycarbonate ou
polymethylmetacrylate) pour
remplacer le verre. Pas
suffisamment résistante
chimiquement et
mécaniquement. Couverte
par des films de protection
déposés par plasma (ici SiO2)
Pignon couvert par
MoS2 pulvérisé
(réactive). Matériau
mou pour
autolubrification.
Plasmas froids & Santé

Les plasmas froids sont de + en + utilisés pour des applications

liées au domaine du vivant.

2 exemples :

Ö Matériaux 
biocompatibles : 
Traitement de 
l’Athérosclérose

Ö Stérilisation :
« Stylo » Plasma
Traitement de l’Athérosclérose

Athérosclérose :  ‐ 2ème cause de mortalité dans le monde

‐ 1ère dans les pays développés
‐ en constante Ê dans les pays émergents

Traitement de l’Athérosclérose
Ö Prévention (diète, activités
physiques …) 
Ö Traitement médicamenteux
Ö Chirurgie :
Ö Angioplastie, Stent
Ö Remplacement
Traitement de l’Athérosclérose

Suivant le cas, le traitement est réalisé par pose de :
Prothèse (ePTFE) : ∅ < 10 mm Stent : ∅ > 10 mm
Traitement de l’Athérosclérose

Le contact du sang avec le matériau synthétique mène à

l’adsorption de lipides et protéines.

Ce processus peut dégénérer, Illustration de la resténose

causant : Resténose, Activation de la
coagulation, Thromboses
ÖLa prothèse doit être explantée

65% des prothèses en PTFE expansé

doivent être explantées dans les cinq
premières années.

Origine du problème ?
Traitement de l’Athérosclérose

Structure d’une artère ?

Paroi interne des artères

naturelles : Endothelium

Ö Anti‐adhesif
Ö Anti‐coagulant

Ce n’est pas le cas des stents et

des prothèses en PTFE
Ö Biocompatilité

Biocompatibilité : propriété d’un matériau de provoquer une

réponse appropriée du tissu hôte dans une application spécifique.
« Stylo » Plasma

Pour faire quoi ?
Comment ?
« Stylo » Plasma
Permet de ou permettra de :
‐ traiter des infection et/ou 
inflammation
‐ éliminer les bactéries sans tuer 
les cellules adjacentes (à faible 
puissance)
‐ éliminer toutes les cellules 
vivantes (à forte puissance)
‐ cautériser des tissus sans tuer 
les cellules adjacentes
‐ traiter des tumeurs, cancer de la 
peau, …
…. principalement au stade de 
recherche en labo …
Ö Chirurgie sans scalpel !
Fonctionnement ?
« Stylo » Plasma : Fonctionnement

Il existe différents types fonctionnant à ≠ fréquences, dans ≠ gaz 

(He, Ar, …), avec ou sans électrode à la masse, …

Argon (+ air)

Nozzle

RF Needle
(27 MHz) Electrode
Ring
Electrode

ambient air
Plasma
Substrate
« Stylo » Plasma : Fonctionnement

En utilisant l’objet à traiter comme électrode à la masse :

Argon

P= 1 W; Q= 1 slm
Plasma
nozzle
RF

Filaments P= 4 W; Q= 1 slm

P= 10 W, 10 slm

ƒ Active, filamentary plasma: corona-like discharge

generated in its “own” argon atmosphere
ƒ additional effect of gas flow: electrode cooling

P= 20 W; Q= 1 slm
« Stylo » plasma : Stérilisation

Stérilisation ? Comment ?

-
+

Plasma
-
-
+
+
- +
O
+ H -
O +
UV
-
-
+ H +
O O
-
- +

Ö Espèces énergétiques, UV, radicaux O et OH (effet bactéricide), …
Principe de fonctionnement des
procédés des plasmas froids

Réactions

transfert transfert

+ +
+ +

Bombardement Diffusion
ionique

Phénomènes
hétérogènes
Rôle des ions
Gravure
 Les différents types de gravure :
Effet des ions : Pulvérisation

gravure physique : +
 Les différents types de gravure :
Effet des radicaux :

La gravure chimique :
 Les différents types de gravure :
La gravure assistée par les ions :

+
Les différents types de gravure :

70

60
Vitesse de gravure (A.min )
-1

50

40
XeF2 seul XeF2 + bombardement
30 bombardement Ar+ Ar+

20

10

0
0 200 400 600 800
Temps (s)
Les différents types de gravure :

X15000 - 20 kV
 Les différents types de gravure :
L’inhibition de la gravure :

Vitesse de dépôt de Vitesse de dépôt de

l’inhibiteur élevée l’inhibiteur faible
Exemple de réacteurs
 DEPOT ET PLASMA FROID
Précurseurs solides Substrat

Canon
à ions
Cible =
précurseur solide

Pulvérisation assistée par bombardement ionique

rf
Cible =
précurseur solide

Substrat

Pulvérisation cathodique
Précurseurs gazeux ou liquide

Précurseur
rf liquide

Précurseurs
gazeux
Substrat

Dépôt assisté par plasma (PECVD)