Parmi les secteurs E.E.A.

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 Avez-vous dit plasmas ?
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La foudre
en bouteille
Le mot

Définition:
Milieu ionisé électriquement neutre
dans lequel les particules chargées
peuvent se déplacer
plus ou moins librement
Du grec « πλαθω »= mouler
 Vous ne comprenez pas !
Eux non plus… !
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Les premiers Plasmas observés

Le premier Plasma de laboratoire
?
?

?
?

Oeuf de Davy
1813
 Mais même sans comprendre
on peut faire des choses...
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Activité chimique
Synthèse de l'acétylène (1862)
Marcelin Berthelot
Energie
Rayonnement
PLASMA Lampe à arc (1814)
Michael Faraday

Chaleur
Chalumeau à Arc (1880)
La première décharge (1813) Louis Clerc
Humphrey Davy
Four métallurgique à arc (1881)
Werner von Siemens
 Plasma le 4e état de la matière
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Solide Liquide Gaz Plasma

Pas de
Charges
charges
électriques
électriques
libres
libres

Très
froid tiède chaud chaud
Ajouter de l'énergie

Quelques exemples:
4e état de la Matière Interstella
matière: 99.8 Cœur des étoiles
Ionosphère
% de l'Univers
Eclairs
Flammes
 Quelques définitions
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Rayonnement
Milieu ionisé électriquement neutre
dans lequel les particules chargées
peuvent se déplacer
Electron plus ou moins librement

Ne = Ni

Degré d’ionisation:
Nombre de particules chargées
Ion
 =
Nombre total de particules
Atome Neutre
Molécule
 Plasma, convertisseur
d’énergie
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L’énergie électrique est injectée dans un plasma.

Puissance
Rayonnement

Chaleur

Elle est transformée en chaleur et rayonnement

 Pourquoi un plasma est conducteur
?
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Orbites électroniques Ion chargé positivement (He+)

(1.6x10-19 Cb)
Energie

électron
lié

noyau
électrons
liés

Électron libre
(-1.6x10-19 Cb)

Atome électriquement neutre (He)

IONISATION
 Les collisions,
un moyen pour apporter de l'énergie
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Atome neutre Elastiques

(Insensible au champ électrique) L'état interne de chaque corps
reste inchangé après la collision

Champ
électrique
E

Inélastiques
V(t)=Vo+ (eE/me)t L'état interne de chaque corps
est modifié après la collision
Electron libre
(il est accéléré sous
l'effet du champ)
 Les collisions élastiques:
Production de chaleur
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m « M et v » V
après

m v*
v
m

V
avant M
M V*

m
J Après chaque collision V = (v - v* ) + V
*

M alors V* > V
J Après plusieurs collisions l'énergie cinétique 1 *2
moyenne des particules "bleues" augmente, mais: MV = bT * alors T* > T
2
 Un type de collision inélastique:
L'excitation
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Energie Orbites vides Orbite vide

Dernière orbite Orbites peuplées

peuplée

électrons électrons

Avant: Atome non perturbé Après: Atome « excité »

 Pourquoi le plasma produit
du rayonnement ?
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t = ∆t t=t
Atome excité Atome à
Projectile (énergie Efin) son état d'origine
(énergie Eini)

TEMPS
t=0
Atome non perturbé Rayonnement émis
entre en collision (fréquence ν)
(énergie Eini)

Un atome ne peut produire

que certaines fréquences

L'énergie se conserve:
L'état stable d'un système Efin- Eini = hν
est celui de son énergie minimale Un atome ne peut produire
que certaines fréquences
 Collisions : phénomènes
très complexes
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Une famille nombreuse…

particules neutres
particule - particule
particules chargées
photon - particule

entre 2 corps
(collisions binaires)
Collisions
Inélastiques

entre 3 corps ou plus cas statistiquement rares

 Une particularité étonnante
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A l'échelle atomique, deux particules entrant en collision

ne se touchent jamais !!!

Elles Interagissent à distance

à longue portée
Collision = Interaction

à courte portée
 La preuve…
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Longue Portée Courte Portée

(Collision entre 2 électrons) (Collision entre 2 particules neutres)

v A

FC
A v

v
v

FC
FC FC
 Plasmas: un domaine
Pluridisciplinaire
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Physique
Mécanique Atomique et Moléculaire
des Fluides <10-5 Plasmas Hors
d'Equilibre
Chimie 10-2-10-4 Plasmas
Thermiques

Mécanique Génie Plasmas Froids

quantique électrique <1
Plasmas Chauds
=1

Physique
Statistique
Physique
des Surfaces 
Physique du
Rayonnement
 Les applications aujourd'hui
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Métallurgie Lampes Traitement de surface

Disjoncteurs

Ecrans à plasma

µ-Electronique Fusion Propulsion Gadgets

 L'importance économique
des plasmas
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Un exemple : l'industrie du µ-processeur

Les pôles "plasma" en France
(800 000 emplois dans le monde)
Progression Annuelle Paris
1995: 152 Milliards de $ Prévue : 8% pendant
2000: 333 Milliards de $ les 30 ans à suivre

Grenoble
Toulouse

5000 PME & PMI utilisent ou comptent

utiliser dans un avenir proche
des procédés plasma
Source: Dataquest
 µ-lithogravure
Principe de fonctionnement
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Gaz
électrodes Champ

ions
Ions
x
plasma
masque

Substrat
Pompage substrat à graver
générateur R.F.

DRAM
 Quelques applications
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CVD Laser He-Ne Applications

Dépôt des couches minces
arc Gravure
Plasma
Dopage de semi-conducteurs

Substrat

pompage pompage Antenne

µ-O

Chargeur Détecteur Electro-aimant

Aimants
permanents

Réacteur
Substrat
Plasma etching
 Sources de lumière
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Eclairage des
Monuments
Applications
Industrielles

Eclairage
Intérieur
Eclairage
Urbain

Véhicules & Signalisation

Transport &
Affichage
 Quelques chiffres
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33 milliards de lampes fonctionnent par jour  12% France

 9% Allemagne
3 140TWh Energie électrique consommée par an  21% USA
 34% Tunisie
19% de la production mondiale d’électricité  86% Tanzanie

Développement durable
Production globale FR + IT
53 TWh pour la France en 2000
Urbain 200 milliards d’Euros par an (Europe)
Services 8% Public
48% 10%Industriel
16% 16 milliards de lampes nouvelles par an
25 milliards d’Euros (CA industrie des lampes)
CA en croissance constante depuis plus de 20 ans

1 890 millions de tonnes de CO2 par an

Résidentiel
Résidentiel 80 tonnes de déchets contenant du
Tertiaire
28%
30% Hg en France par semaine
(Mils,60%
RL-5, 2003) En 1979 : 5 TWh
En 1999 : 14 TWh Nuisances Lumineuses
 Principe de fonctionnement
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Gaz: Hg (7 mTorr) et Ar (3 Torr)

Chaleur Lumière
visible

Dissipation aux
électrodes

400 mA UV
50 Hz Light

La lampe fluorescente
Dissipation au
Principe de ballast Puissance: 40 Watt
fonctionnement
 Ecrans à Plasma
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Avantages
Large surface (55" max.)
Faible épaisseur (1/10 CRT)
Faible poids (1/6 CRT)
Large angle de vision (2 LCD)
Pas de radiations
Insensible aux rayonnements EM
21"

Taille: 21" 42"

Résolution: 640x480 952x480
Couleurs: 260 k 16.7 M
Pitch: 0.66 mm 1.08 mm
Poids: 4.8 kg 18 kg
 Principe de fonctionnement
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Distance entre les plaques de verre: 100 µm

Cellule élémentaire
Résolution: 200-400 µm

Pression < 1 Torr (1/760 atm)

Lumière
Plaque de verre Electrode visible
Diélectrique Transparente Cathode Anode
Couche MgO -V +V

Plaque
frontale Barrière

Adressage
Plaque
luminophore
arrière
Barrière
Luminophore
Electrodes d'adressage
Plaque de verre
 Traitement de surface
par plasma
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Déstruction de
Micro-organismes

Changement de la
mouillabilité
d'une surface

avant après
après Tension: 2 - 6 kV (rms)
Puissance: 10 - 150 kW (rms)
Puiss. Vol.: qq. 10 mW/cm3
Champ électrique: 10 kV/cm
Fréquence: 1 - 8 kHz
Densité électronique: 1010 cm-3
Gaz: air (pression atmosphérique)

avant
Plasma Médecine
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Plasma Médecine
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Propulseurs pour satellites
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 Fours métallurgiques
à arc électrique
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Quelques chiffres
Puissance : 0.75 - 0.85 MW/tn
Facteur de puissance: 0.85
Temps de traitement : 1 h (max)

Les électrodes
Matériau: Graphite
Diamètre: 38 - 76 cm
Longueur : 3 m
Consommation: 1.5 - 2 kg/tn
 Découpe et Soudure
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La torche La température de la flamme

peut atteindre plusieurs dizaines
de milliers de degrés
On peut découper/souder des
plaques de quelques dizaines
de centimètres d'épaisseur
 Incinérateurs à arc
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Un incinérateur type

Déchets

Arc

"Vitrifiats"
 Incinérateurs à arc
pour déchets radioactifs
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Objectif

Vitrifier les déchets

Radioactifs enfuis

La torche consomme plusieurs Le procédé de vitrification

centaines de MW et incinère emprisonne plus de 95% de
1 tonne par heure des déchets la radioactivité définitivement
Le vitrifiat est inoffensif !
Applications « écologiques »
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La torche « Archimèdes »
 Disjoncteurs HT
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Objectif

Couper des lignes HT

Jusqu’à 1MV
Rapidement & de façon
fiable

Gaz utilisé: SF6

Très fort effet de « serre »

 Micro-décharges et composants
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• Cas d'un GGnMOS •Une des principales causes de défaillance des

circuits intégrés modernes
10µm Source
(réduction des dimensions technologiques,
complexité des procédés)
Drain
• Menace permanente
(fabrication, assemblage, test, transport,
application...)

VESD
 Défauts d’isolation et
électronique de puissance HT
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production transformation transport utilisation

Alternateurs HT Moteurs HT
Câbles HT Niveau de DP élevé
Niveau de DP élevé Niveau de DP faible
Et BT (MLI)
Transformateurs HT Niveau de DP modéré
Niveau de DP faible à
modéré

Convertisseurs
Accessoires HT statiques HT
Niveau de DP modéré Niveau de DP faible
à élevé à modéré
Plasma et aérodynamique
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 La foudre
UMR 5213

Perturbations des réseaux électriques

Perturbations des réseaux télécoms
Morts des personnes & animaux
Sécurité des aéronefs
 La foudre et les avions
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EFFETS “DIRECTS” EFFETS “INDIRECTS”

Dégâts thermo-mécaniques sur Couplages électromagnétiques sur
la structure les câblages et équipements

Antennes de télécommunication
Ordinateurs de bord
Réseaux électriques
 Satellites & télécommunications
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flux d'électrons
et d'ions satellite

+
+ + + +
+
+ gaine ionique
+ + +
+
plasma + + +
+ +
interplanétaire + ++
 Fusion nucléaire
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+ + + 4.04 MeV
D D T p
+ + + 3.27 MeV
D D 3He n

+ + + 17.6 MeV
D T 4He p

+ + + 18.3 Mev
D 3He 4He n

Problèmes
1. Il faut une température de plusieurs
millions de degrés.
2. Il faut confiner le plasma dans le
réacteur.
Les différents types de plasmas
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