UNIVERSITE JOSEPH FOURIER

N attribu par la bibliothque

THSE
Pour obtenir le grade de
Docteur de lUniversit Joseph Fourier

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Spcialit : Optique et Radiofrquences

prpare LInstitut de Microlectronique, dlectromagntisme, et de Photonique
dans le cadre de lcole Doctorale
lectronique, lectrotechnique, Automatique et Traitement du Signal

prsente et soutenue publiquement par

Darine KADDOUR
le 11 juillet 2007

Conception et ralisation de filtres RF passe-bas

structures priodiques et filtres Ultra Large Bande,
semi localiss en technologie planaire
Directeur de thse : Philippe Ferrari
Codirecteur de thse : Jean-Daniel Arnould
JURY
M.

Serge Toutain

Professeur des universits, Nantes

, Rapporteur

M.

Eric Rius

Professeur des universits, Brest

, Rapporteur

M.

Robert Plana

Professeur des universits, Toulouse

, Examinateur

M.

Stphane Bila

Charg de recherche CNRS, Limoges

, Examinateur

M.

Philippe Ferrari

Professeur des universits, Grenoble

, Directeur de thse

M.

Jean-Daniel Arnould

Matre de confrences, Grenoble

, Co-directeur de thse

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Remerciements
Le travail dcrit dans ce mmoire sest droul au sein de lInstitut de Microlectronique, dElectromagntisme et de Photonique (IMEP) dirig successivement par messieurs
les Professeurs Francis Balestra et Grard GUIBAUDO, que je tiens remercier pour
mavoir accueilli dans ce laboratoire.

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Ce travail de recherche a t effectu au sein de lquipe " RF-HO " sous la direction
successive de Madame la Professeur Batrice Cabon et de Monsieur le Professeur Pascal
Xavier qui je tmoigne ma sincre reconnaissance pour leur confiance et pour ltat
desprit quils ont su instaurer dans cette quipe.
Je voudrais trs sincrement remercier monsieur le Professeur Philippe Ferrari pour
avoir assur lencadrement de ce travail. Sa disponibilit, son exprience, son savoir scientifique et ses qualits humaines ont t dterminants dans laboutissement de ce travail.
Jadresse galement ma reconnaissance monsieur Jean-Daniel Arnould, co-directeur
de ma thse, pour avoir apport toute sa connaissance et son exprience et avoir largement
contribu travers ses remarques intressantes lavancement de ce travail.
Messieurs les Professeurs Serge Toutain et Eric Rius mont fait lhonneur dtre les
rapporteurs de ma thse. Quils trouvent ici, lexpression de ma profonde gratitude pour
lintrt quils ont bien voulu port ce travail. Je remercie galement Messieurs le professeur Robert Plana et Stphane Bila qui ont accept dexaminer ce travail et ont bien
voulu faire parti de mon jury de thse.
Jexprime mes remerciements pour les collgues faisant partie du groupe " Filtres et
Dispositifs reconfigurables" pour leurs conseils et les discussions fructueuses que nous
avons eu lors des runions de groupe. Merci aux thsards du laboratoire et lensemble du
personnel de lIMEP pour leur soutien, leur bonne humeur et les nombreuses discussions
abordes lors des pauses cafs. Mes remerciement les plus chaleureux vont en particulier
pour Chahla, Brigitte, Dalhila, Valrie, Anne-Marie, et Xavier que jai eu plaisir ctoyer
i

dans une ambiance conviviale.

Un grand merci mes amis qui ont gay mes soires et mes week-ends. Merci Abir,
Hla, Sami, Oussama et Hamza pour les bons moments partags. Merci aussi pour mes
amies Chambry : Asma, Mayada et Farah. Vous avez tous contribu rendre ces trois
annes plus faciles.
Je tiens remercier chaleureusement Alix pour sa gentillesse et son affection. Vous
avez rendu mon sjour sur Grenoble trs agrable. Je tiens galement remercier Guy
pour sa sympathie et son sens dhumour.
Merci ma famille qui ma toujours soutenue, pousse vers lavant et accompagne
tout au long de mon chemin.

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Pour terminer, jadresse ma profonde reconnaissance toutes celles et tous ceux que
je nai pas cits ici et qui ont contribu de prs ou de loin la ralisation de ce travail.

ii

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

iv

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Table des matires

Introduction

1 Filtres micro-ondes planaires miniatures

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1.1

1.2

1.3

1.4

1.5

Mthode classique de synthse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

1.1.1

Notions de Gain et Fonction de Filtrage . . . . . . . . . . . . . . .

Technologies planaires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

1.2.1

La technologie microruban . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

1.2.2

La technologie guide donde coplanaire . . . . . . . . . . . . . . . .

1.2.3

La technologie CPS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

1.2.4

La technologie ligne fente ou slotline . . . . . . . . . . . . . . . . 10

1.2.5

La technologie multi-couche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

Principales topologies planaires des filtres passe-bas et passe-bandes . . . . 11

1.3.1

Filtres lments localiss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

1.3.2

Filtres saut dimpdance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

1.3.3

Filtres stubs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

1.3.4

Filtres base de rsonateurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

1.3.5

Filtres dfaut de plan de masse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

1.3.6

Structures Bande Interdite lectromagntique (BIE) . . . . . . . 22

1.3.7

Topologies des filtres Ultra Large Bande . . . . . . . . . . . . . . 24

Miniaturisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
1.4.1

Gomtrie

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.4.2

Structures onde lente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
I

2 Filtres passe-bas structure priodique

2.1

32

Etude thorique de la structure priodique . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

2.1.1

Topologie du filtre passe-bas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

2.1.2

Cellule lmentaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

2.1.3

Calcul de la matrice de transfert de la cellule lmentaire . . . . . . 34

2.1.4

Calcul de la constante de propagation de la ligne quivalente la

cellule lmentaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

2.1.5

Calcul de limpdance caractristique quivalente de la cellule lmentaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

2.1.6

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2.2

Effet donde lente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

Conception du filtre passe-bas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

2.2.1

Critre pour la frquence de coupure . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

2.2.2

Critre dadaptation dans la bande passante . . . . . . . . . . . . . 41

2.2.3

Intrt de la rupture de priodicit Taprisation . . . . . . . . . . 43

2.2.4

Choix du nombre de cellules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45

2.2.5

Rappel des tapes de conception . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.6

Intrt de la technologie hybride

2.2.7

Comparaison du filtre structures priodiques et dun filtre passe-

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47

bas localis de type Tchebycheff . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48

2.3

2.4

Etude de sensibilit de la rponse du passe-bas . . . . . . . . . . . . . . . . 51

2.3.1

Impdance caractristique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

2.3.2

Longueur des lignes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

2.3.3

Valeurs des capacits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

2.3.4

Etude des pertes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53

Filtres raliss 1 GHz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

2.4.1

Prsentation des dispositifs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

2.4.2

Mesures des filtres FR4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

2.4.3

Mesures des filtres RO4003 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

2.4.4

Simulations et mesures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

2.5

Filtre en bande X ralis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

2.6

Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
II

3 Caractrisation et modlisation des capacits

3.1

3.2

71

Gnralits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
3.1.1

Proprits des condensateurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

3.1.2

Elments parasites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

3.1.3

Paramtres dune capacit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74

Etude thorique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
3.2.1

Impdance quivalente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

3.2.2

Capacit quivalente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80

3.2.3

Extraction des lments de la capacit partir de la mesure de

limpdance quivalente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

3.3

3.4

3.5

3.6

Extraction en Basse Frquence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

3.3.1

Mesures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

3.3.2

Etude de sensibilit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83

Extraction en Haute Frquence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

3.4.1

Capacit simple . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

3.4.2

Capacit insre dans un filtre passe-bas . . . . . . . . . . . . . . . 90

3.4.3

Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95

Filtres passe-bas intgrs capacit MIM

. . . . . . . . . . . . . . . . . . 96

3.5.1

Prsentation de la technologie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

3.5.2

Topologie du filtre tudi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

3.5.3

Pertes conductrices

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98

3.5.4

Pertes Dilectriques

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99

3.5.5

Conception des filtres

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106

Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109

4 Filtres passe-bande Ultra Large Bande

4.1

4.2

111

Principe de la topologie tudie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112

4.1.1

Prsentation de la topologie de base . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112

4.1.2

Prsentation de la topologie miniature semi-localise . . . . . . . . 114

Conception dun filtre prototype en technologie hybride

4.2.1

. . . . . . . . . . 116

Critre de dtermination de la frquence de coupure haute . . . . . 117

III

4.3

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

4.4

4.5

4.6

4.7

4.2.2

Optimisation de la longueur lectrique du stub

. . . . . . . . . . . 118

4.2.3

Ajout des capacits srie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121

4.2.4

Prise en compte des modles complets . . . . . . . . . . . . . . . . 121

Etude de sensibilit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122

4.3.1

Longueur des lignes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123

4.3.2

Tolrance des capacits en parallle . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123

4.3.3

Tolrance des capacits en srie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124

4.3.4

Etude des pertes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124

Dispositifs raliss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126

4.4.1

Caractrisation des vias . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127

4.4.2

Prsentation des filtres raliss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128

4.4.3

Mesures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130

Zros de transmission et lobes secondaires . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133

4.5.1

Zros de transmission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134

4.5.2

Stubs capacitivement chargs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136

4.5.3

Mesures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142

Miniaturisation par repliement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142

4.6.1

Prsentation des filtres miniaturiss . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143

4.6.2

Mesures des filtres miniaturiss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143

Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145

Conclusion

147

Annexe A. Fonctions de Filtrage

149

Annexe B. Dnormalisation de limpdance et de la frquence

154

Liste des travaux

158

Bibliographie

160

IV

Introduction
Le nombre sans cesse grandissant dutilisateurs du spectre de frquence a engendr
de nouvelles contraintes sur les lments des systmes de tlcommunication. Les filtres
micro-ondes passifs reprsentent une partie trs importante des systmes de tlcommunications modernes : systmes embarqus sur satellite, systmes de tlphonie mobile,

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

etc...
Des performances lectriques sans cesse amliores, une slectivit accrue, un moindre
encombrement et un cot de production rduit constituent les contraintes principales
devant lesquelles la conception des filtres radiofrquences et micro-ondes constitue un
grand dfi. Dans ce contexte, le dveloppement de filtres trs slectifs, possdant de faibles
niveaux de pertes et peu encombrants, est lheure actuelle un domaine dactivit dun
intrt fondamental.
Ces dernires annes, lactivit de recherche sest normment consacre ltude des
structures planaires. Les circuits planaires qui ont rcemment subi dimportants dveloppements technologiques, sont trs attractifs pour leurs faibles cots de ralisation, leur
faible poids et dimensions et leur facilit dintgration avec les circuits actifs.
Dans ce contexte, les travaux que nous prsentons dans ce manuscrit sinscrivent dans
cet axe de recherche de mise au point de mthodes de synthse originales pour la conception de filtres planaires hyperfrquences.
La premire partie de ce manuscrit est consacre lintroduction de la notion du
filtrage. Nous prsenterons ensuite les principales technologies planaires utilises dans le
domaine des micro-ondes, puis un tat de lart sur les principales topologies des filtres
planaires. Les techniques de miniaturisation les plus courantes dans le domaine des microondes sont galement dcrites. Certaines seront utilises dans nos travaux.
Le second chapitre est consacr ltude dune topologie de filtre passe-bas compact
base sur une ligne de propagation charge par des lments capacitifs. La mthode de
1

conception mise en uvre sapparente la mthode de limpdance image. Ltude de

limpdance caractristique quivalente la cellule de base nous a permis de driver des
quations de conception simples mettre en uvre , permettant dobtenir une premire
approximation de la valeur des lments constituant le filtre. Ensuite une optimisation,
en tenant compte du modle rel de chaque lment, en particulier des capacits, permet
de manire trs rapide de converger vers lobjectif du filtre fix. Les filtres ainsi raliss
possdent une forte pente de rjection et une large bande rejete. Une srie de filtres
prototypes passe-bas 1 GHz ont t conus et raliss en technologie CPW sur substrat
FR4 et RogersT M RO4003 avec un nombre de cellules allant de deux six. Lexcellent
accord entre les rsultats de simulations et de mesures a permis de valider notre approche.

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Afin de dmontrer la faisabilit de ce type de filtres vers les hautes frquences, un filtre
optimis pour la bande X a galement t ralis. Les rsultats des mesures en bon accord avec les simulations sont prsents et comments. Le dcalage entre la frquence de
coupure mesure et simule remet en question le modle des capacits utilises pour des
frquences suprieures 5 GHz environ.
Le troisime chapitre est ddi la modlisation des capacits, qui constitue une tape
importante avant de passer la conception des filtres, puisque souvent la rponse des filtres
est dgrade cause dune mauvaise matrise du modle de la capacit. Ltude thorique
du modle tenant compte de tous les lments parasites est considre. Lextraction des
paramtres des lments sries se rvle impossible avec des mesures de limpdance quivalente en basses frquences conformment ltude de sensibilit prsente. Par contre,
les mesures des paramtres S en hautes frquences assurent une meilleure modlisation
des capacits. Deux approches diffrentes ont t adoptes : la premire consiste en une
mesure directe de la capacit connecte la masse par un via alors que la seconde consiste
mesurer un filtre passe-bas structure priodique dans lequel sont insres les capacits
tester. La comparaison des deux approches est tablie et montre que le filtre passe-bas
constitue un moyen efficace et prcis pour la caractrisation des capacits. Suite ces
rsultats, des filtres passe-bas deux cellules capacits MIM ont t conus en technologies CPW et CPS (Coplanar Stripline) pour des frquences de coupure de 5 et 10 GHz
dans le but de la caractrisation de la capacit et des pertes du dilectrique de type STO.
Le dernier chapitre traite dune nouvelle topologie de filtre passe-bande Ultra Large
2

Bande base sur une combinaison dun filtre passe-bas et dun passe-haut imbriqus [1].
Cette topologie a t propose en Juin 2005, avec un filtre passe-bas ralis avec des lignes
de propagation saut dimpdance et un filtre passe-haut ralis laide de stubs en courtcircuit. Nous avons travaill sur la miniaturisation de ce filtre, en remplaant les lignes de
faible impdance caractristique par des lignes charges par des capacits, et en repliant
les stubs, ce qui ntait pas possible en terme dencombrement sur la structure de base.
Toutes les tapes de conception du filtre sont dcrites. Les mesures des filtres prototypes
raliss en technologie microruban sur substrat RO4003 pour des frquences centrales de
0,77 et 1 GHz avec des bandes passantes respectives de 142% et 150% montrent un bon
accord avec les simulations. Ces filtres dmontrent des proprites intressantes de pentes de

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

rjection (facteur de forme de 1,3 :1 au lieu de 1,5 :1) et miniaturisation (43% de rduction
de taille, et mme 86% lorsque la technique de repliement des stubs est applique) en
comparaison avec les rsultats du filtre optimis selon la topologie prsente dans [1]. En
outre, ces filtres prsentent une bonne adaptation (16 dB), de faibles pertes dinsertion
(<0,3 dB) et une bande rejete allant jusqu quatre fois la frquence de coupure haute
du filtre passe-bande.

Chapitre 1
Filtres micro-ondes planaires
miniatures

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

1.1
1.1.1

Mthode classique de synthse

Notions de Gain et Fonction de Filtrage

La mthode de synthse dun filtre micro-onde se base sur le calcul de la fonction

de filtrage. Cette fonction de filtrage correspond au gain dinsertion, souvent confondu
avec le gain transducique [2]. La distinction entre ces deux notions est donne dans les
paragraphes qui suivent.
1.1.1.1

Gain dinsertion

Le gain dinsertion dun quadriple est le rapport entre la puissance fournie la charge
PLa et la puissance fournie cette mme charge lorsquelle est directement relie au
gnrateur PLb :
GI =

PLa
PLb

(1.1)

avec PLb la puissance dlivre la charge ZL avant linsertion du quadriple et PLa la

puissance dlivre la mme charge aprs linsertion du quadriple (Figure 1.1). Ce gain
peut tre exprim en fonction de la tension ou du courant :

GI =

VLa
VLb

2


=

ILa
ILb

2
.

(1.2)

Ce gain peut galement sexprimer en fonction des termes de la matrice ABCD du

quadriple par la dtermination des valeurs des tensions aux bornes de la charge avant et
4

ZG

I Lb
+
V Lb

VG

I La

ZG
ZL

VG

+
Quadriple

V La

ZL

(a)

(b)

Figure 1.1: Circuit lectrique. (a) Charge connecte directement au gnrateur. (b) Charge avec
insertion du quadriple.

aprs linsertion du quadriple :

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008


2


ZG + ZL

 .
GI = 
A ZL + B + C Z G Z L + D Z G 

(1.3)

Dans les systmes micro-ondes, la charge et le gnrateur sont souvent adapts une
mme impdance Z0 (50 ). Dans ce cas, ZG = ZL = Z0 , et lexpression du gain dinsertion
devient :
2



2
 .
GI = 
A + B/Z0 + C Z0 + D 

(1.4)

Or, en utilisant les quations de passage de la matrice ABCD aux paramtres S, on dduit
que le gain dinsertion est dans ce cas gal au carr du module du coefficient S21 :
GI = |S21 |2 .

(1.5)

Le gain dinsertion dun quadriple passif peut tre suprieur 1, lorsque ZL nest
pas le complexe conjug de ZG . Par exemple, si ZG =90 et ZL =10 , linsertion dun
adaptateur dimpdance entre le gnrateur et la source augmente la puissance dlivre
la charge : PLa > PLb . Ce trouble peut tre vit par lintroduction de la notion du gain
transducique.
1.1.1.2

Gain transducique

Le gain transducique GT est le rapport entre la puissance fournie la charge PLa et

la puissance maximale disponible dlivre par le gnrateur PG . La puissance maximale
dlivre par le gnrateur est :
PG =

VG2
.
4 Re[(ZG )]
5

(1.6)

Le gain transducique sexprime en fonction des paramtres ABCD comme :

GT =

PLa
4 Re[ZG ] Re[ZL ]
=
.
PG
|A ZL + B + C ZG ZL + D ZG |2

(1.7)

Quand ZG et ZL sont gaux et rels, le gain dinsertion et le gain transducique sont gaux.
La mesure du gain transducique dans le cas gnral est complique du fait que lon doit
charger le quadriple par une charge complexe. En contre partie, le gain dinsertion est
directement et simplement accessible partir de la mesure sur des systmes standardiss,
ce qui la videmment rendu populaire.
1.1.1.3

Fonction de filtrage

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La reprsentation donnant lattnuation et la phase du filtre en fonction de la frquence

est une caractristique essentielle du filtre. Cest la fonction de filtrage. En utilisant lexpression gnrale de la frquence complexe p = + j , la fonction de filtrage dun filtre
donne par le paramtre S21 , se met sous la forme :
S21 (p) =

N (p)
D(p)

(1.8)

o N (p) et D(p) sont des polynmes de la variable complexe de la frquence p. Pour un

systme sans pertes, = 0 et p = j. Souvent, la conception dun filtre repose uniquement
sur sa rponse en amplitude surtout pour les systmes bande troite. Les pertes dinsertion
sont donnes en dB par :
IL =

1
= 20 log (|S21 |) .
GI

(1.9)

Comme |S21 |2 + |S11 |2 = 1 pour un systme sans pertes, les pertes par rflexion sont
exprimes par :


RL = 10 log 1 |S21 |2 .

(1.10)

Cependant, la phase dun systme est galement une caractristique trs importante,
en particulier lorsque lon considre les systmes large bande. En effet, la phase de la
fonction de filtrage renferme toutes les proprits de distortion de phase dfinies par le
retard de phase et le temps de groupe dans la bande passante. Qualitativement, une
variation de phase est souvent associe un dcalage temporel du signal. Le retard de
phase est donn par :
21 = arg (S21 ) .
6

(1.11)

Le temps de groupe correspond la pente de la courbe de phase :

g =

d21
.
d

(1.12)

Gnralement, la phase est une fonction non linaire de la frquence. Dans certaines
applications, une variation importante dans la phase du systme est souvent associe une
dtrioration de la dispersion du dispositif, ce qui peut entraner une dsynchronisation
prjudiciable des signaux filtrs.
La fonction de filtrage peut tre galement reconstruite partir de la distribution de
ses ples et zros. Les ples et les zros renferment des informations importantes sur la
slectivit, le temps de groupe et la stabilit du filtre. L tude de la distribution des ples

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et des zros est explicite dans le paragraphe suivant.

1.1.1.4

Ples et zros

La synthse dun filtre au moyen dune fonction de filtrage consiste placer les ples
et les zros de la fonction de transfert de manire obtenir une rponse frquentielle
passante/bloquante aux frquences souhaites. Les valeurs de p qui annulent la fonction
de filtrage sont les zros du filtre, et les valeurs de p pour lesquelles la fonction tend vers
linfini sont ses ples. Les zros du numrateur N (p) et du dnominateur D(p) sont donc
respectivement les zros et les ples du filtre.
La position des zros et des ples dfinit les proprits du systme. Leur rpartition
permet dtablir le lien entre la rponse en amplitude et en phase. Ils sont reprsents
dans le plan complexe de la frquence ou le plan p.
Un systme peut avoir une rpartition des ples et des zros diffrente pour une mme
rponse en amplitude. La ralisation du filtre impose de placer les ples complexes par
paire conjugue, et dassurer un nombre de ples gal ou suprieur au nombre de zros.
Les ples doivent tre situs gauche de laxe imaginaire afin dassurer la stabilit du
filtre. Dans le cas contraire, lamplitude et lnergie des oscillations augmentera exponentiellement avec le temps : une condition impossible pour un systme passif. En pratique,
la slectivit frquentielle du ple diminue lorsque lon sloigne de laxe imaginaire.
Si les zros dun filtre stable sont situs lintrieur du cercle unitaire, le filtre est
alors minimum de phase. Quand les zros sont situs en dehors de laxe imaginaire, ils
7

permettent daplatir le temps de groupe et minimiser ainsi la distortion. En pratique, les

zros sont souvent situs sur laxe imaginaire assurant ainsi une meilleure slectivit.

1.2

Technologies planaires

Compte tenu des contraintes de poids et de taille des circuits lies aux nouvelles
applications, les concepteurs de filtres se sont dirigs vers les technologies planaires. Ces
technologies prsentent de nombreux avantages parmi lesquelles une grande souplesse de
ralisation et de rglage et de faibles cots de ralisation. Dans cette partie, une tude
des diffrentes technologies utilises dans le domaine du filtrage planaire est mene.

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1.2.1

La technologie microruban

La ligne microruban est la plus utilise parmi toutes les lignes de transmission planaires. Cette technologie offre la fois la simplicit et la facilit de ralisation et dintgration dans les dispositifs micro-ondes. La gomtrie dune ligne microruban est dcrite sur
la Figure 1.2. Un ruban mtallique de largeur W est dpos sur un dilectrique dpaisseur h et de permittivit relative r . Lautre face totalement mtallise du dilectrique
constitue le plan de masse.
La ligne microruban assure une bonne gamme dimpdances caractristiques ralisables. Limpdance caractristique de la ligne, pour une permittivit donne, est dtermine par le rapport W/h. Le mode dominant qui se propage sur la ligne microruban
est un mode hybride. Cependant, compte tenu de la faible amplitude des composantes
longitudinales Ez et Hz , par rapport aux composantes transverses Et et Ht , le mode
dominant sur une ligne microruban est considr comme un mode quasi-TEM. Les quations dcrivant ces lignes ont t tablies avec une varit de techniques analytiques et
numriques [3].
W
T
h

Figure 1.2: Coupe transverse dune ligne microruban

Plusieurs variantes de lignes microruban existent, et peuvent tre utilises dans limplmentation des filtres planaires. Citons les lignes microruban enterres et les lignes
microruban suspendues ou Stripline.

1.2.2

La technologie guide donde coplanaire

La technologie guide donde coplanaire (Coplanar waveguide ou CPW) est constitue

dun ruban central mtallique de largeur W et de deux plans de masse de largeur S
situs sur la mme face du substrat (Figure 1.3). Ces trois conducteurs sont spars par
deux fentes identiques de largeur G. La symtrie de la ligne fait apparatre deux modes
de propagation possibles, un mode TEM et un mode quasi TE. Cette topologie offre

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lavantage de rassembler sur une mme face tous les conducteurs, vitant ainsi lusinage des
trous mtalliss et simplifiant donc linsertion des composants et leur interconnexion [3].
Contrairement la ligne microruban, les caractristiques des lignes CPW sont relativement peu dpendantes de lpaisseur du substrat. Les bibliothques des modles des
lignes CPW sont par contre peu fournies. Les dsavantages de cette technologie sont lis
la ncessit de lutilisation de ponts air lorsque des jonctions sont ralises, afin de
relier les masses.
T

G
h

Figure 1.3: Coupe transverse dune ligne CPW.

1.2.3

La technologie CPS

La technonologie coplanar stripline (CPS) prsente un intrt certain pour la conception des circuits intgrs radio-frquences. La gomtrie dune ligne CPS, prsente sur la
Figure 1.4, peut tre vue comme la structure duale du guide donde coplanaire. Grce la
disposition des deux rubans conducteurs sur la mme face du substrat, la ligne CPS a tous
les avantages de la ligne CPW, principalement la facilit de linsertion des composants
sries et parallles sans avoir recours aux trous mtalliss afin de les connecter au plan de
masse [3].
9

b
a

T
h

Figure 1.4: Coupe Transverse dune ligne CPS.

1.2.4

La technologie ligne fente ou slotline

La configuration dune ligne fente (slotline) est montre sur la Figure 1.5. Elle consiste
en un substrat avec une fente dans la mtallisation dune face unique du substrat.

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Figure 1.5: Coupe transverse dune ligne slotline.

Cette gomtrie planaire est convenable pour les circuits intgrs. Dans une ligne fente, le
mode de propagation est principalement TE. La topologie de ligne fente offre lavantage
de la flexibilit du circuit en ce qui concerne le report des composants en srie et en
parallle, une gamme plus large des valeurs des impdances caractristiques, llimination
du couplage entre les lignes, assurant donc une meilleure intgration. Par contre, ce type
de ligne souffre dune forte dispersion en haute frquence.

1.2.5

La technologie multi-couche

La technologie rcente LTCC (Low-Temperature Cofired Ceramic) consiste en un empilement de fines couches de dilectriques et de conducteurs mtalliques [4,5]. Elle permet
de raliser une structure cramique multi niveaux, o les niveaux de mtallisation sont
connects entre eux par lintermdiaire de trous mtalliss. Elle offre une grande souplesse
de ralisation et dintgration, rpondant au souci de miniaturisation et de rduction des
pertes par connexions.
Cette technologie permet de raliser des composants discrets (inductances, rsistances,
capacits) en technologie microruban et des filtres planaires, et dintgrer des modules
actifs en technologie MMIC.
10

En ce qui concerne les performances lectriques de cette technologie, nous pouvons citer
le problme dajustement de la frquence centrale du filtre. En pratique, les tolrances
de fabrication sont trop grandes pour pouvoir contrler les dimensions des gaps lors de
la ralisation, ce qui peut poser problme aux frquences millimtriques. Les principaux
avantages de cette technologie rsident donc dans des cots de production attractifs et
une grande intgrabilit dans un environnement MMIC.
Nous venons daborder dans cette partie, les principales technologies planaires existantes dans le domaine du filtrage micro-onde. Ces technologies peuvent tre adaptes
diffrentes topologies que nous allons dcrire.

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1.3

Principales topologies planaires des filtres passebas et passe-bandes

Les filtres planaires ont pour avantages un trs faible encombrement et poids, et un
excellent degr dintgration avec les dispositifs micro-ondes. En revanche, leurs points
faibles restent leur limitation aux faibles puissances et surtout leurs performances lectriques aux hautes frquences pour lesquelles, les pertes mtalliques, dilectriques et par
rayonnement augmentent. Une multitude de topologies planaires existent. Nous dcrivons
ici les plus communment utilises.

1.3.1

Filtres lments localiss

Ce type de filtres correspond la transcription directe dun modle quivalent basse

frquence micro-onde. Les lments ractifs localiss sont raliss en technologie CMS
pour les filtres sur PCB ou intgrs pour les filtres MMIC. Par exemple, les inductances
peuvent tre ralises sous formes de ligne en mandres et en spirale (Figure 1.6), les
capacits laide de lignes interdigites ou de dilectriques sparant la surface mtallique
(Figure 1.7). Les lments hybrides doivent avoir des dimensions gomtriques faibles
devant la longueur donde. Sur la Figure 1.6, la valeur de linductance maximale atteinte
avec une gomtrie en spirale est de 10 nH. Alors que la capacit interdigite est plus
utilise pour des faibles valeurs de la capacit (infrieure 1 pF), la valeur maximale
atteinte par une capacit MIM est de lordre de 30 pF.
En plus de la compacit, ils prsentent les avantages de faible cot et de facilit de
11

(a)

(b)

Figure 1.6: Inductances localises. (a) en mandres. (b) en spirale.

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(a)

(b)

Figure 1.7: Capacits localises. (a) interdigite. (b) MIM.

conception. Cependant, leur faible facteur de qualit qui ne dpasse pas 50, entrane des
pertes importantes.
Bien que les filtres bass sur des lments localiss prsentent un encombrement rduit,
le manque de prcision dans la modlisation, dans la caractrisation du dilectrique ainsi
que des processus de fabrication entranent un dcalage en frquence dans la rponse du
filtre et un comportement non attendu vers les hautes frquences. Cest pourquoi, de tels
dispositifs ncessitent une caractrisation large bande avant de passer la conception des
filtres. En effet, les parasites de ces lments deviennent plus importants aux frquences
leves et perturbent donc la rponse du filtre. Ces parasites sont lorigine des lobes
secondaires qui apparaissent au del de la bande passante des frquences proches des
frquences de rsonance de ces lments. Ce type de filtre est limit aux frquences infrieures aux frquences de rsonance de ces lments ractifs. Plusieurs filtres bass sur
une topologie hybride alliant des lignes de propagation et des lments ractifs localiss
sont proposs dans [611].
Une tude dveloppe sur la caractrisation des capacits est mene dans le Chapitre 3.
Les filtres prsents dans les Chapitres 2 et 4 reposent sur cette approche.
12

1.3.2

Filtres saut dimpdance

Le filtre saut dimpdance est un filtre passe-bas qui consiste en une cascade alternant
des lignes de transmission de faible et de haute impdance caractristique. Ces lignes, plus
courtes que la longueur donde, agissent comme des lments semi-localiss. En effet, une
ligne de haute impdance est quivalente une inductance srie alors quune ligne de
faible impdance remplace une capacit en parallle. Le schma de principe dun filtre
dordre 5 est donn sur la Figure 1.8.
ZL

ZC

ZL

ZC

ZL

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Figure 1.8: Circuit lectrique dun filtre saut dimpdance dordre 5.

La structure dun filtre en microruban est donne sur la Figure 1.9. Les largeurs
des lignes sont fixes par le choix des impdances caractristiques. Une faible valeur de
Zc assure une meilleure approximation de la capacit localise. Dune faon similaire,
une valeur importante de ZL est quivalente une inductance srie localise mais les
contraintes de fabrication deviennent plus fortes et les pertes augmentent.

Figure 1.9: Structure dun filtre passe-bas saut dimpdance en technologie microruban.

Les longueurs des lignes `Ci et `Li peuvent tre facilement calcules partir des valeurs
des lments ractifs et des impdances caractristiques comme suit :

`ci = Ci Zc
`Li =

Li
ZL

(1.13)
(1.14)

avec la vitesse de propagation.

Les formules de synthse bases sur lapproximation des lments localiss ont t
dveloppes dans [12] pour des fonctions de Butterworth et de Tchebychev.
13

Limplmentation de ces structures est relativement simple. Lordre du filtre peut tre
augment dans le but damliorer ses performances au dtriment bien sr de la compacit.
La ralisation de ces filtres se fait avec diffrentes technologies microruban [1316],
CPW [6, 7, 1719], CPS et slotline [17].

1.3.3

Filtres stubs

Dans le filtre saut dimpdance, la capacit en parallle est ralise par une ligne de
faible impdance caractristique. Quand limpdance est trs faible, la structure physique
ressemble plus des stubs perpendiculaires la ligne principale. Les filtres stubs peuvent
ainsi tre utiliss pour concevoir des filtres passe-bas comme le montre la Figure 1.10. Un

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stub circuit ouvert dimpdance Zs et de longueur ` est quivalent la frquence

une susceptance :
1
tan
C =
Zs


2
` pour ` < 0 /4.

Z0

(1.15)

Z0

Figure 1.10: Structure dun filtre stub en microruban.

Par contre, la rponse dun passe bas stubs nest pas identique celle dun filtre
saut dimpdance. Par exemple, un stub de longueur lectrique gale 30 la frquence
de coupure entrane un zro de transmission au triple de la frquence de coupure. La
prsence de ces zros de transmission est responsable de la modification de la rponse en
dehors de la bande passante du filtre stubs par rapport au filtre saut dimpdance.
Similaire au filtre passe-bas saut dimpdance, ce type de filtres a des applications
limites cause des lobes secondaires et de la faible slectivit.
Plusieurs filtres en technologie microruban [2022] et en CPW [23] sont cits.
Afin de rejeter les lobes secondaires, diffrentes techniques ont t proposes. Linsertion dune rsistance localise, dtriorant le facteur de qualit en haute frquence, permet
dlargir la bande de rjection jusqu plus de 5 fois la frquence de coupure tout en aug14

mentant lgrement les pertes dinsertion dans la bande passante [20]. Linsertion de fentes
dans le plan de masse [21] et le renforcement du couplage capacitif entre les stubs [22]
amliore les performances lectriques en terme de suppression des lobes secondaires.
La structure de la ligne stub est galement utilise pour raliser des filtres passebande. Lexemple de la Figure 1.11 montre des lignes de longueur /4 la frquence
centrale f0 sont chargs par des stubs court-circuits de longueur /4 ou des stubs circuit
ouvert de longueurs /2. La rponse du filtre dpend des impdances caractristiques de
la ligne principale et des stubs. Les quations de conception sont dveloppes dans [13].
Le filtre avec des stubs court-cicuits a un zro de transmission situ 2f0 et une bande
passante parasite centre 3f0 . Par contre, les zros de transmission du filtre stubs en

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circuit ouvert sont situs f0 /2 et 3f0 /2 et les bandes passantes indsirables apparaissent
aux frquences f = 0 et f = 2f0 . Ces filtres constituent de bons candidats pour la
ralisation des filtres large bande passante.

Figure 1.11: Circuit lectrique dun filtre passe-bande stubs.

De nombreux filtres sont proposs en microruban [2427] et en CPW [23, 28].

1.3.4

Filtres base de rsonateurs

Les filtres base de rsonateurs coupls sont bien adapts pour les faibles bandes
passantes, infrieures 20 %.
1.3.4.1

Rsonateurs demi-onde

Ces rsonateurs prsentent une longueur gale la moiti de la longueur donde la

frquence fondamentale de rsonance f0 . Des rsonances peuvent galement apparatre
15

aux frquences (2k + 1)f0 , avec k = 1, 2, 3, .... Les topologies de filtres rsonateurs demionde coupls en srie, en parallle et couplage crois sont prsentes dans les paragraphes
suivants.

a) Rsonateurs demi-onde coupls en srie La Figure 1.12 prsente la topologie de

filtres rsonateurs demi-onde coupls en srie. Le couplage qui se fait au niveau des gaps
entre deux rsonateurs voisins est de nature capacitive. Les valeurs des longueurs de lignes
et des susceptances sont donnes par la synthse dans [13]. La taille et les faibles valeurs des
capacits de couplage obtenues avec les gaps constituent la principale limitation de cette
topologie. Citons quelques filtres rsonateurs coupls en srie [8, 2931]. Lintroduction

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du couplage inductif dans [8] permet la suppression de la deuxime rsonance.

Figure 1.12: Topologie dun filtre rsonateurs coupls en srie.

b) Rsonateurs demi-onde coupls en parallle Ces filtres sont constitus de rsonateurs demi-onde coupls en parallle sur la moiti de leur longueur avec les rsonateurs adjacents. Cette disposition assure un plus fort couplage entre les rsonateurs
(Figure 1.13), et permet de concevoir des filtres possdant une bande passante plus large
que celle de la topologie lignes couples en srie.
Y0

Y0
Figure 1.13: Topologie dun filtre rsonateurs coupls en parallle.

Pour ce type de filtre, la frquence centrale est fixe par la longueur des lignes alors
que la bande passante est dtermine par le couplage inter-rsonateurs. Les quations de
16

synthse des paramtres gomtriques de cette structure (gap entre les lignes et longueur
et largeur des lignes) sont donnes dans [13, 32, 33].
Lorsque lordre du filtre augmente, lencombrement du filtre devient important. En
dpit de la facilit de limplmentation de cette structure, le filtre souffre de lobes secondaires aux harmoniques de la frquence centrale. La solution dajouter des filtres passe-bas
additionnels en cascade nest pas satisfaisante puisquelle augmente la surface du filtre
et introduit des pertes dinsertion supplmentaires. Une modulation priodique sinusodale [34] et carre [35] de la largeur des lignes couples, peut tre utilise pour rejeter
les harmoniques. Laddition de rsonateurs en anneau circulaire CRSS proximit des
lignes couples dans [36], dmontre leur efficacit en terme de suporession du premier

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lobe secondaire et lattnuation du second sans modification de la rponse dans la bande

passante.
Dans le but de miniaturisation, Cristal et Frankel ont repli le rsonateur en forme
de U . Ces rsonateurs, connus sous le nom de Hairpin [37] sont prsentes sur la
Figure 1.14. Plusieurs variantes de rsonateurs Hairpin miniaturiss ont t proposes.
Citons le rsonateur charg par une capacit CMS [38] ou interdigite [39]. Des rsonateurs coupls en parallle capables de contrler la suppression des lobes secondaires sont
proposs dans [38, 4042].

Figure 1.14: Layout dun filtre rsonateurs en U coupls.

c) Rsonateurs en anneaux couplage crois Les filtres couplage crois entre

rsonateurs (Figure 1.15) prsentent une bonne slectivit et de faibles pertes dinsertion
dans la bande passante. En effet, le couplage crois permet au signal davoir plusieurs
chemins entre lentre et la sortie du systme. Selon le dphasage entre les signaux, des
zros ou des ples de transmission peuvent tre crs. Le calcul de la matrice de couplage
et des facteurs de qualit partir de la fonction de filtrage a t largement utilis pour
17

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 1.15: Layout dun filtre couplage crois entre rsonateurs.

la conception des filtres rsonateurs coupls [4345]. Les mthodes de calcul rigoureuses
des diffrents types de couplage (couplage capacitif, couplage inductif et couplage mixte)
ont t dveloppes pour des rsonateurs en microruban dans [46, 47]. Des rsonateurs en
U [48] et des rsonateurs miniaturiss [30, 31, 41, 4951] sont proposs dans le double but
de rduire lencombrement et dlargir la bande rejete. Afin damliorer la slectivit, des
cascades de quatre rsonateurs sont proposes dans [32, 48].
1.3.4.2

Rsonateurs quart-donde

Ces rsonateurs distribus prsentent une longueur gale au quart de la longueur

donde la frquence fondamentale de rsonance f0 . Deux types de rsonateurs seront
dcrits : les rsonateurs en peigne et les rsonateurs interdigits.
a)Rsonateurs en peigne Les filtres rsonateurs en peigne sont plus connus sous
leur dnomination anglo-saxone filtres combline . Chaque ligne quart donde courtcircuite lune de ses deux extrmits, est relie la masse lautre extrmit par une
capacit comme prsent sur la Figure 1.16. La prsence des lments capacitifs rend la
longueur des lignes infrieure /4. La seconde bande passante se trouve alors autour de
la frquence 2f0 . Quand la valeur de la capacit de charge augmente, la longueur de la
ligne diminue, entranant donc un filtre plus compact avec une bande de rjection plus
importante. Par exemple, si les lignes font /8, la deuxime bande passante aura lieu
vers 4 fois la frquence centrale de la bande passante souhaite. En pratique, la longueur
18

minimale du rsonateur est limite par la dgradation du facteur de qualit non charg et
limportance des valeurs des capacits ncessaires. Des rsonateurs en peigne en U [52] et

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saut dimpdance [53] ont t introduits pour raliser des filtres Combline plus compacts.

Y0

Y0

Figure 1.16: Layout dun filtre combline.

b) Rsonateurs interdigits Similaires aux filtres combline , les filtres rsonateurs interdigits sont constitus de lignes de propagation quart donde ( la frquence
centrale f0 ) disposes en parallle comme le montre la Figure 1.17. Chacune de ces lignes
quart donde court-circuite lune de ses deux extrmits est en circuit ouvert lautre
extrmit. La seconde plage de frquence prsentant une rsonance se trouve alors autour de la frquence 3f0 . La rduction de lencombrement est facilement acquise grce
lutilisation des rsonateurs pseudo-interdigits en forme de U [32, 54].
1.3.4.3

Dual Behavior resonator

Le rsonateur DBR (Dual Behavior Resonator) est bas sur lassociation en parallle
de deux structures stop-bande diffrentes. Une simple ralisation consiste charger une
ligne de propagation par deux stubs parallles en circuit ouvert. Le rsonateur demionde cr par ces deux stubs permet dobtenir une bande passante centre la frquence
19

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 1.17: Layout dun filtre rsonateurs interdigits.

fondamentale f0 . La longueur des stubs tant diffrente, deux zros de transmission seront
dfinis leur frquence de rsonance situe de part et dautre de f0 . Ce rsonateur a t
introduit par Rizzi [2]. Ensuite, les quations de conception et de synthse de ce type
de filtre ont t dveloppes au LEST [55]. Loriginalit de ce filtre porte sur le contrle
indpendant de ses paramtres de rglage. Ce type de filtre offre lavantage de la facilit
de ralisation. Par contre, des lobes secondaires apparaissent aux diffrentes harmoniques.
Les stubs saut dimpdance ont galement t utiliss pour rejeter ces lobes [55, 56]. La
suppression des lobes secondaires par linsertion dune structure passe-bas dans le filtre
passe-bande est propose dans [57].

1.3.4.4

Dual mode Rsonateurs

Les besoins croissants en terme de hautes performances des systmes de communication par satellite ncessitent lutilisation des rsonateurs dual mode. Ces rsonateurs
autorisent la ralisation de filtres de rponse elliptique bande passante relative infrieure 1 %. Leur principal avantage repose sur leur configuration compacte et leur faible
cot. Comme chaque rsonateur est doublement accord en frquence, le nombre de rsonateurs ncessaires pour raliser un filtre de degr n est rduit de moiti. Le premier
rsonateur dual mode a t prsent par Wolff [58]. Plusieurs structures de rsonateurs en
microruban sous forme de patch en disque [59] ou carr [59] et danneau circulaire [59], en
20

carr [60] ont t tudies. Dans chaque structure, une dformation est ajoute en un point
faisant un angle de 45avec les axes de couplage du rsonateur. Cette perturbation symtrique facilite le couplage entre les modes orthogonaux du rsonateur (Figure 1.18). Des
patchs et des boucles triangulaires [6163] et hexagonales [64] ont galement t proposs.
Ltude a montr que la dimension de la perturbation impose le type de la rponse, Tchebyshevv ou elliptique [65]. Dans le but dutiliser efficacement toute la surface du circuit,

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surtout pour les basses frquences, des anneaux miniaturiss ont t proposs [10, 6672].

Figure 1.18: Rsonateurs dual-mode en microruban (a) disque (b) patch carr (c) anneau circulaire (d) cadre carr.

1.3.5

Filtres dfaut de plan de masse

Les applications des dfauts dans le plan de masse trouvent de nombreux avantages en
terme de miniaturisation et rejet des lobes secondaires. Ils ont t intensivement utiliss
dans la conception des filtres micro-ondes.
La perturbation de la distribution du courant dans le plan de masse cause par le
dfaut modifie les caractristiques de la ligne de transmission. Ces lments, quivalents
des rsonateurs, imposent des zros de transmission, do leurs proprits de slectivit
des frquences. La relation entre la position des zros et la forme du dfaut a t tudie
dans [73].
Diffrentes gomtries de dfaut sont proposes. Citons les trous circulaires [16,7478]
(Figure 1.19), carrs [14, 79, 80] et des fentes rectangulaires [21, 81, 82]. Insres dans un
filtre passe-bas stubs, les fentes rectangulaires augmentent la bande de rjection du
passe-bas [21].
Dautres structures ont t tudies [73, 8387] (Figure 1.20). Afin daugmenter les
21

Etched hole on
GND plane

Ground plane

Transmission
line

Figure 1.19: Schma de la structure tudie dans [78].

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degrs de libert, dlargir la bande de rejection et de miniaturiser le filtre, des dfauts

plus complexes en forme de spirale [88], de double U [89], des anneaux CRSS [90, 91]
et boucle onde lente [92] ont t conus. Dautres dfauts plus complexes en 2D gravs
dans le plan de masse ont galement t proposs dans [90, 93, 94].

r
d
d

d
s

s
a

Figure 1.20: Formes gomtriques des dfauts tudies dans [73].

Ces dfauts ont t reports sur de nombreux filtres en technologie microruban [14,
16, 7378, 8190, 9094] et quelques filtres en technologie CPW [79, 80].

1.3.6

Structures Bande Interdite lectromagntique (BIE)

Les structures bandes interdites photoniques ont t introduites en 1987 par Yablonovitch par analogie aux structures cristallines et leur bande lectronique interdite [95].
Ces structures ont t transposes dans le domaine des radiofrquences sous le nom de
structures bande interdite lectromagntique (BIE). Il sagit de lignes de transmission
22

priodiquement charges par un lment ractif. La prsence de ces lments ractifs

explique la succession des bandes de frquence permises et interdites dans la rponse
spectrale ; do leurs proprits intressantes de filtrage. Ces lignes possdent galement
la proprit de propagation dune onde lente, qui assure une meilleure compacit [2,33,96].
Les lignes de propagation priodiques non uniformes sont largement utilises pour
diffrents dispositifs comme les adaptateurs dimpdance, les rsonateurs, les coupleurs
et les filtres. La gomtrie de ces lignes priodiquement modules rduit les problmes de
discontinuits des filtres saut brusque dimpdance [34,97,98]. Les lignes priodiques en
CPW ont galement t introduites et leurs proprits ont t tudies dans [11, 99].
Les structures priodiques ont t appliques des passe-bas saut dimpdance

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[6, 7, 14, 1619] (Figure 1.21 (a)), des filtres passe-bande stubs [27], des filtres dfaut
de plan de masse [18, 7480, 84, 90, 91, 94, 100] et rsonateurs coupls [3436, 76, 94]
(Figure 1.21 (b)). Elles ont galement t utilises pour la synthse dun filtre passebande par la combinaison dun passe-bas et dun passe-haut [101]. La prsence des bandes
interdites dans la rponse de ces structures assure une large bande de rejection jusqu
8, voire 10 fois la frquence de travail. Le phnomne donde lente permet de rduire
lencombrement des filtres tudis.

(a)

(b)

Figure 1.21: Filtres structures priodiques (a) passe-bas saut dimpdance [18] (b) passe-bande
rsonateurs coupls [76].

La rupture de la priodicit ( ou taprisation) est utilise pour supprimer londulation

dans la bande passante et largir la bande de rejection des filtres. Une structure taprise
de rsonateurs saut dimpdance dans le plan de masse a t introduite dans [100]. La
caractrisation de cette structure dmontre les qualits de la taperisation en terme de rejet
de lobes secondaires. Karmakar a tudi dans [78] la taprisation des trous et des anneaux
23

circulaires gravs dans le plan de masse suivant la fonction binomiale et la fonction de

Tchebysheff. Ltude a montr que la taprisation permet de supprimer les ondulations et
de rejeter les lobes secondaires vers les hautes frquences des filtres passe-bas dfaut de
plan de masse. DOrazio a tudi la loi de Kaiser applique au rayon des cercles gravs dans
le plan de masse. Cette loi savre plus intressante en terme de performances lectriques
que les lois de Barlett, de Hanning, et de Hamming [75, 77]. La distribution de Kaiser
a t utilise plus tard par Karim, pour amliorer les performances du filtre passe-bas
saut dimpdance [80]. Le mme principe a t report sur des passe-bas dfaut de plan
de masse [16, 87].
Dans le Chapitre 3, le filtre passe-bas prsent utilise le principe des structures prio-

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diques avec taprisation.

Nous avons prsent dans ce paragraphe, les topologies classiques des filtres passebas et passe-bande. Avec lmergence des nouvelles technologies comme lUltra Large
bande, de nouvelles topologies de filtres sont apparues. Le paragraphe qui suit comprend
la dfinition de lUltra Large bande et prsente les principales topologies des filtres passebandes planaires.

1.3.7

Topologies des filtres Ultra Large Bande

LUltra Large Bande a t fortement mise en lumire ces dernires annes (en particulier depuis 2002) et plusieurs domaines dapplication de ce type de systmes de communications sont actuellement envisags.
1.3.7.1

Dfinition

Au cours de sa brve histoire, lUltra Large Bande a dabord eu une premire dfinition donne par Taylor. Selon lui, le terme ultra large bande dsigne les systmes qui
transmettent et reoivent des ondes dont la largeur de bande relative est suprieure ou
gale 25%.
La Commission Fdrale de Communications (FCC) a ensuite dfini le signal Ultra
Large bande comme un signal dont la bande passante -10 dB excde tout moment 500
MHz et 20 % de sa frquence centrale. La bande principale prvue pour lULB se situe entre
3,1 GHz et 10,6 GHz. Cette bande denviron 7 GHz de large pourrait donc ventuellement
24

tre dcompose en 14 sous canaux de 500 MHz. Un systme de communication utilisant

la totalit de la bande, ou un ensemble des sous canaux de 500 MHz ou mme un seul
canal de 500 MHz sera donc considr comme un systme ULB, condition quil respecte
les contraintes rglementaires de mise en service.
1.3.7.2

Ralisation

Les filtres stub prsents dans le paragraphe 1.3.3 ont t utiliss pour concevoir des
filtres large bande passante [2427].
Les rsonateurs coupls ne permettent pas de concevoir des filtres bande passante
suprieure 20%. En effet, pour une structure lignes couples, un fort couplage est

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ncessaire pour assurer une large bande passante. Les contraintes de fabrication imposent
une largeur de gap minimale et limitent la ralisation dun couplage lev. Le couplage
peut tre renforc de sorte que la bande passante relative soit de lordre de 40% 70% avec
une structure 3 lignes couples [28]. Rcemment, de nouvelles formules de synthse de
filtres passe-bande ligne couples bande passante de lordre de 50 % ont t proposes
dans [102]. Un renforcement du couplage capacitif des lignes en technologie microruban
se fait aussi en ajoutant des dfauts dans le plan de masse au niveau des rubans coupls
[103105]. Ce motif est quivalent un inverseur dimpdance et la bande passante du
filtre multilignes couples prsente une rduction de 70 %. Un filtre ULB construit avec
une technologie microruban sur substrat pertes absorbant le signal en hautes frquences
est prsent dans [106], avec des performances cependant mdiocres. Les mesures montrent
de fortes pertes dinsertion de 6 dB dans la bande passante et des pertes par reflexion
suprieures 4,5 dB en dehors de la bande passante.
Form par un rsonateur saut dimpdance ou modes multiples MMR et des lignes
couples de longueur /4, un filtre ULB est conu avec une bande passante de 113 % [107].
Lassociation du rsonateur MMR des lignes couples charges capacitivement a dmontr sa capacit de suppression de la premire bande passante indsirable et damlioration
des pertes dinsertion [108]. Un filtre ULB 5 ples conu avec un rsonateur multi-mode
CPW court-circuit, montre de bonnes performances en terme de pertes dinsertion et
temps de groupe [109]. Un rsonateur MMR charg par des stubs montre son intrt du
fait de leffet donde lente dans [110] (Figure 1.22 (a)).
25

Un rsonateur en anneau de longueur la frquence centrale, charg par un stub

en circuit ouvert, est tudi dans [111]. Il prsente une bande passante de 92%. Ce filtre
prsente de faibles pertes dinsertion mais souffre dune faible slectivit. Laccordabilit
de ce filtre est assure par linsertion dun varactor lextrmit du stub [112]. Une paire
de stubs court-circuits peut tre ajoute au rsonateur en anneaux pour miniaturiser le
filtre [113].
Une structure hybride microruban-CPW a t utilise pour concevoir un filtre ULB
avec 1, 2 et 3 sections [114, 115]. La section de base est constitue par deux lignes microruban spares par un gap et couples travers le substrat une ligne CPW en
circuit ouvert. Dans [116, 117](Figure 1.22 (b)), les pertes par rflexion dans la bande

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passante sont amliores en remplaant la ligne CPW par un rsonateur multimode. Ce

type de transition a t modlise par des lments localiss pour concevoir le filtre passehaut, essentiel pour le dveloppement du passe-bande [118]. Des stubs court-circuits sont
galement ajouts pour introduire des zros de transmission qui garantissent une bonne
slectivit et une meilleure rjection. Une bande de rejection plus large est obtenue par
la structure duale : transition CPW/ microruban [119]. Un filtre compact utilisant un
rsonateur CPW quart-donde coupl deux stubs en circuit ouvert en microruban est
publi dans [120].

(a)

(b)

Figure 1.22: Layout de filtres UWB (a) Rsonateur MMR [110] (b) Transition Microruban/
CPW [117].

La mthode la plus simple de la synthse dun filtre passe-bande ULB est la combinaison dun passe-bas et dun passe-haut. Le rglage des frquences de coupure se fait
indpendamment [101]. Une mthode analytique de synthse de ce type de filtre, base
sur un algorithme itratif pour une rponse de Butterworth et de Tchebysheff a t d26

veloppe dans [121]. Un filtre passe-bas saut dimpdance et un passe-haut stub en

/4 sont combins pour former des filtres ULB en microruban [1]. Ltude montre que
linsertion du passe-bas dans le passe-haut assure une plus large bande passante et une
meilleure compacit que la cascade directe des deux filtres. En technologie stripline [122],
les filtres passe-bandes gardent les mmes performances.

1.4

Miniaturisation

Pour les applications o la rduction de taille est critique, des filtres plus compacts
doivent tre dvelopps. Cependant, une miniaturisation des filtres entrane gnralement

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des pertes dinsertion croissantes et des performances rduites. La miniaturisation des

filtres planaires peut tre obtenue grce lutilisation de substrats constante dilectrique
leve ou linsertion dlments localiss, mais une modification de la gomtrie est souvent
ncessaire. De nombreuses configurations de filtres ont t proposes dans la littrature.
Ce paragraphe prsente les concepts principaux de filtres miniaturiss :
gomtrie de lignes replies
rsonateurs saut dimpdance
lignes onde lente.

1.4.1

Gomtrie

Dans le but dutiliser efficacement toute la surface du circuit, surtout pour les basses
frquences, les concepteurs de filtres ont cherch replier les lignes de transmission. Des
stubs en parallle et en srie en CPW miniaturiss sont proposs dans [23, 123] pour la
miniaturisation des filtres stubs. Des filtres stubs en microruban plus compacts sont
obtenus avec des lignes replies et des stubs court-circuits tordus relis la masse par
un via commun [24, 26] (Figure 1.23 (a)).
Les rsonateurs Hairpin ont t introduits par Cristal et Frankel en 1972 afin de
rpondre aux besoins croissants des systmes en terme de rduction de taille et de poids.
Ces rsonateurs offrent la fois les qualits de simplicit, de flexibilit et de miniaturisation. Plus tard, Sagawa a dmontr quavec des rsonateurs Hairpin miniaturiss, la
taille dun filtre 3 rsonateurs coupls en srie est rduite de moiti [38]. Il sagit dun rsonateur lignes paralllement couples aux extrmits du rsonateur. Hong et Lancaster
27

ont combin les rsonateurs en U et les filtres rsonateurs interdigits pour raliser des
filtres pseudo-interdigits [54]. Toujours dans le but de miniaturisation, les rsonateurs en
U ont t introduits sur des filtres rsonateurs couplage crois [48] (Figure 1.23 (b))
et sur les filtres Combline [52].
La miniaturisation des filtres rsonateurs coupls en srie est acquise par le repliement
en U de la ligne inductive dans [8]. Un filtre passe-bas saut dimpdance repli en U est
galement propos dans [16].
La taille dun filtre 4 rsonateurs couplage crois est rduite /4*/4 [49] (Figure 1.23 (c)) et celle du DMR est rduite de 80 % par lintermdiaire de lintroduction

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dun rsonateur miniaturis [66].

(b)

(a)

(c )
Figure 1.23: Layout de filtres miniaturiss. (a) Passe-bande stub [26]. (b) Rsonateurs replis
en U [48] (c) Rsonateurs miniaturiss [49].

1.4.2

Structures onde lente

En gnral, la taille des filtres micro-ondes est proportionnelle la longueur donde

dfinie la frquence de travail. Comme la longueur donde est proportionnelle la vitesse
de propagation vp , la rduction de vp obtenue par des lignes onde lente aboutit des
filtres plus compacts. Lintroduction des lignes onde lente permet non seulement de
28

miniaturiser le filtre mais galement parfois de rejeter les lobes secondaires vers les hautes
frquences. les structures onde lente les plus rpandues sont les rsonateurs saut
dimpdance (SIR) et les lignes charges capacitivement.
1.4.2.1

Rsonateur saut dimpdance

La structure dun rsonateur SIR conventionnel est donne sur la Figure 1.24 (a).
Le circuit lectrique quivalent se compose dune ligne de transmission charge par des
capacits en ses extrmits (Figure 1.24 (b)). Alors quune ligne non charge rsonne
la frquence pour laquelle sa longueur fait /2, le circuit de la Figure 1.24 (b) rsonne
pour des frquences plus faibles. Ltude de cette structure montre que la frquence de

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rsonance et la vitesse de propagation diminuent lorsque la capacit de charge augmente.

Le rsonateur SIR est ainsi plus compact que le rsonateur impdance caractristique
constante.
Z1
Z2

Z1

Z2

(a)

(b)

Figure 1.24: Rsonateur saut dimpdance (a) Layout (b) Circuit lectrique quivalent.

De plus, lintroduction des stubs saut dimpdance produit des zros de transmissions
supplmentaires et augmente la slectivit, comme dmontr dans [25], ce qui contribue
largir la bande de rjection des filtres. En effet, le rapport de la frquence de la deuxime
rsonance et de la frquence du fondamental est plus lev dans le cas dune ligne charge.
Les lobes secondaires sont rejets vers les hautes frquences [32]. Les caractristiques
de facteur de qualit lev, de meilleures performances lectriques et de compacit des
rsonateurs SIR de longueur /4, /2 et sont tudies dans [124]. Introduits en 1979
par Makimoto dans des filtres combline [53], les rsonateurs SIR ont t transposs aux
autres filtres passe-bandes. Citons les filtres rsonateurs coupls en srie [2931, 38],
en parallle [4042] et couplage crois [31, 32, 41, 50] (Figure 1.25) et le Dual behavior
resonator [56].
29

Figure 1.25: Layout de filtres rsonateurs saut dimpdance prsents dans [32].

1.4.2.2

Ligne capacitivement charge

Sur le mme principe que les rsonateurs SIR, les extrmits basse impdance du
rsonateur SIR peuvent tre remplaces par une capacit discrte dans le but de rduire

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la taille des filtres planaires et damliorer leur rponse large bande. Une ligne charge par
une capacit est galement une ligne onde lente. Cette capacit peut tre une capacit
CMS, une capacit interdigite ou une capacit patch.
En basse frquence, les capacits CMS sont plus compactes que les lments rpartis.
Ces capacits ont t utilises pour rduire la taille dun rsonateur en U [38, 39] et de 67
% celle du rsonateur mode double en anneau [10]. Idalement, les lments localiss
ne possdent pas de remontes parasites mais souffrent de pertes dinsertion plus leves.
Do lavantage de linsertion des capacits CMS pour largir la bande de rejection des
filtres passe-bas saut dimpdance [6, 7]. La capacit CMS utilise dans [9] produit des
zros de transmission assurant ainsi une meilleure slectivit.
Dans [70], le renforcement du couplage capacitif entre les stubs rduit la taille du
filtre grce leffet donde lente et a lavantage dloigner les frquences de rsonances du
rsonateur mode double. Des stubs onde lente sont introduits pour rduire la taille du
filtre en CPW de 60% dans [28]. De la mme manire, le rsonateur modes multiples est
miniaturis par linsertion de capacits patch au niveau de ses angles droits [72]. En effet,
les capacits patch insres dans les filtres stubs dmontrent les mmes qualits que les
capacits CMS. Les capacits sont alors localises au niveau des stubs du passe-bas [22]
ou au niveau de la ligne principale du passe-bande [27].
Les capacits interdigites sont galement utilises pour miniaturiser les rsonateurs
hairpin [39], des rsonateurs DMR [71], les filtres rsonateurs coupls en srie [8] et des
passe-bas saut dimpdance [15]
30

1.5

Conclusion

Aprs une prsentation gnrale du principe de conception dun filtre micro-onde,

nous avons dcrit une grande varit de technologies de filtres planaires. Par rapport
aux technologies volumiques, les structures planaires sont plus avantageuses en terme de
taille, de cot, dintgration et de flexibilit. Nous avons galement prsent les diffrentes
topologies planaires de filtres passe-bas et passe-bande, et nous nous sommes intresss
ltude des techniques de miniaturisation et de rejet des lobes secondaires. En effet, les
nouvelles normes sur la rglementation des tlcommunications, plus svres en terme de
performances lectriques, et la course lintgration rendent ncessaire le dveloppement

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de nouvelles technologies. Cest dans ce cadre que nos travaux de recherche sinscrivent.
Lamlioration de la slectivit et de la planit, le rejet des lobes secondaires ainsi que le
souci de miniaturisation, sont les points critiques auxquels le concepteur est aujourdhui
confront.

31

Chapitre 2
Filtres passe-bas structure priodique
Dans ce chapitre, une topologie de filtre passe-bas structure priodique est prsen-

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te. Cette structure consiste en une ligne de transmission charge priodiquement par des
capacits. Des prototypes de filtres sont raliss en technologie hybride : capacits CMS localises et lignes de transmission en technologie CPW. Ltude des structures priodiques
met en vidence la prsence de bandes permises et de bandes interdites dans la rponse
frquentielle, do leurs proprits intressantes de filtrage [2, 11, 125]. La mauvaise adaptation des structures priodiques est amliore par laddition de cellules de taprisation
lentre et la sortie de la structure [13]. Ces cellules agissent comme des adaptateurs
dimpdance de la structure priodique.
Dans ce chapitre, le paragraphe 2.1 concerne ltude thorique de la structure priodique base sur le calcul de la matrice ABCD de la cellule lmentaire. La constante
de propagation et limpdance caractristique, drives de la matrice ABCD, expliquent
la prsence des bandes interdites dans la rponse de la structure. Le phnomne donde
lente qui caractrise les structures priodiques et permet de rduire lencombrement est
galement mis en vidence.
Le paragraphe 2.2 prsente la mthode de conception des filtres passe-bas structures
priodiques. Les critres de conception qui fixent la frquence de coupure du passe-bas
et ladaptation dans la bande passante sont explicites. Lintrt de la technique de taprisation est galement prouv. Enfin, une comparaison avec un filtre de Tchebycheff
lments localiss montre que les structures priodiques offrent des performances trs
proches avec lintrt de pouvoir utiliser des valeurs normalises de capacits.
Ensuite dans le paragraphe 2.3, la sensibilit des filtres via diffrents paramtres comme
32

la valeur de limpdance caractristique, la longueur lectrique et les capacits de charge

est tudie avec une analyse de Monte Carlo. Linfluence des pertes du substrat et des
capacits y est galement tudie.
Les paragraphes 2.4 et 2.5 prsentent respectivement les rsultats exprimentaux de
filtres passe-bas raliss en technologie CPW autour de 1 GHz et 10 GHz.

2.1

Etude thorique de la structure priodique

Ltude thorique de la cellule lmentaire de la structure priodique permet de retrouver les caractristiques de bande interdite et de bande permise et la proprit donde

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lente des structures bande interdite lectromagntique. Le calcul de la matrice ABCD

est simplifi par ladoption du modle de ligne sans pertes, tout fait pertinent pour notre
tude.

2.1.1

Topologie du filtre passe-bas

La topologie de la structure du passe-bas tudi est prsente sur la Figure 2.1. Un

filtre passe-bas de n cellules se compose de n 2 cellules centrales identiques et de deux
cellules latrales de taprisation dont le rle est damliorer ladaptation dans la bande
passante. Toutes les structures ont la mme topologie. La diffrence entre les cellules
provient des valeurs diffrentes des longueurs de lignes (tap 6= ) et de la capacit de
charge (Ctap 6= Cp ).

Figure 2.1: Circuit lectrique quivalent de la topologie tudie.

Lanalyse de cette structure peut tre simplifie en considrant la structure de la

33

ligne dimpdance Z0 charge priodiquement par n capacits identiques. Ltude de la

dispersion frquentielle des paramtres de propagation dune structure priodique de n
cellules peut tre dduite de celle dune cellule unique grce au thorme de Floquet. Dans
les paragraphes suivants, ltude de la cellule lmentaire est mene.

2.1.2

Cellule lmentaire

Le circuit lectrique de la cellule lmentaire de la structure priodique tudie se

compose dune ligne de transmission dimpdance caractristique Z0 , de longueur B la
frquence de Bragg fB , charge en son milieu par une capacit parallle Cp . Le circuit
lectrique est donn par la Figure 2.2. A la frquence f , la longueur lectrique de la

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ligne de longueur physique d est donne par :

2f ref f
f
=
d,
= B
fB
c

(2.1)

o ref f est la permittivit effective de la ligne et c la clrit de la lumire dans le vide.

Les pertes de la ligne et de la capacit sont ngliges pour simplifier ltude de la cellule
lmentaire. La prise en compte des pertes augmente uniquement les pertes dinsertion
dans la bande passante, sans modifier la rponse du filtre en terme de frquence de coupure
et de pente de rjection.

Figure 2.2: Schma dune cellule lmentaire.

2.1.3

Calcul de la matrice de transfert de la cellule lmentaire

Les circuits micro-ondes sont forms en gnral par une cascade dlments simples.
Ltude dun circuit complexe est souvent base sur le calcul de la matrice ABCD qui
prsente le principal avantage de cascadabilit.
La matrice ABCD dun quadriple reprsent sur la Figure 2.3, relie les courants et
les tensions des ondes incidentes et mergentes par la relation :
34



A B
V1
V
1 .
=
C D
I1
I1
I1

(2.2)

I2
V2

V1

Figure 2.3: Quadriple.

Ltude de la cellule de base de la Figure 2.2 repose sur le calcul de la matrice ABCD

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de laquelle se dduit lexpression de la constante de propagation et limpdance caractristique dune ligne artificielle quivalente une succession de cellules lmentaires. La
matrice ABCD cascadable de la cellule lmentaire est calcule par le produit des matrices
de chacun des trois lments :

cos()
jZ0 sin()
1
0
cos()
jZ0 sin()

.
TL =
j sin()/Z0
cos()
jCp 1
j sin()/Z0
cos()

(2.3)

Aprs dveloppement, les lments de la matrice TL sont donns par :

AL = DL = cos() Z0 Cp f sin()

(2.4)

BL = j Z0 sin() Z02 Cp f (1 cos())

(2.5)

CL = j (sin()/Z0 + Cp f (1 + cos())) .

(2.6)

Les expressions de la constante de propagation et de limpdance caractristique sont

facilement calcules dans les paragraphes 1.1.4 et 1.1.5, partir des expressions des lments de la matrice ABCD.

2.1.4

Calcul de la constante de propagation de la ligne quivalente la cellule lmentaire

La cellule lmentaire peut tre assimile un tronon de ligne quivalente dimpdance caractristique ZL et de longueur lectrique L , ayant la mme matrice de transfert
TL . La matrice de transfert de ce tronon de ligne scrit comme :

cos(L )
jZL sin(L )
.
TL =
j sin(L )/ZL
cos(L )
35

(2.7)

En tablissant lquivalence avec lquation 2.4, nous pouvons crire :

AL = cos(L ) = cos() Z0 Cp f sin().

(2.8)

Deux cas sont donc tudier :

Cas 1 : Le module de AL est infrieur 1 :
|AL | = | cos(L )| = | cos() Z0 Cp f sin()| < 1.

(2.9)

Ce cas correspond un exposant de propagation imaginaire pur L = jL . L onde se

propage alors sans pertes dans la structure priodique et dfinit la bande permise de la
structure.

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Cas 2 : L 6= 0, L = 0. Le module de AL est suprieur 1 :

|AL | = | cos(L )| = | cos() Z0 Cp f sin()| > 1.

(2.10)

Dans ce cas, lexposant de propagation est rel pur L = L . Londe ne peut pas se
propager dans la structure, ce qui dfinit la bande interdite de la structure. Puisque la
ligne est sans pertes, la puissance nest pas dissipe mais elle est rflchie lentre de la
ligne.
Donc les solutions de lquation |AL | = 1, constituent les frquences de transition entre
les bandes permises et les bandes interdites de la structure priodique.
La Figure 2.4 reprsente lvolution du coefficient AL de la matrice de transfert en
fonction de la frquence normalise f /fB pour une ligne dimpdance caractristique
Z0 =170 de longueur B =38charge par une capacit Cp de susceptance normalise
yC = Z0 Cp =6,05 la frquence de Bragg (Cp =5,66 pF pour une frquence de Bragg fB
gale 1 GHz). Une impdance caractristique de 170 correspond approximativement
limpdance caractristique maximum ralisable en technologie CPW, pour un substrat
de permittivit comprise entre 3 et 6 environ.
La Figure 2.4 explique le phnomne des bandes interdites li aux structures priodiques. On trouve une alternance de bandes de frquence o la propagation est possible
lorsque AL = cos(L ) [1, 1] et des bandes o la propagation est impossible lorsque
AL = cos(L )
/ [1, 1].
Pour cet exemple, la premire bande permise stend jusqu la premire frquence de
Bragg fB alors que la deuxime plus troite est comprise entre 4, 7fB et 5fB . Ce rsultat
36

10

Bandes permises
0

-5

-10
0

3
f/f

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Figure 2.4: Evolution du coefficient AL dune cellule lmentaire compose dune ligne de transmission dimpdance caractristique Z0 =170 de longueur B =38charge par une capacit de
susceptance normalise yC =6,05 en fonction de la frquence normalise par rapport la frquence
de Bragg.

montre que les remontes parasites sont naturellement repousses cinq fois la frquence
de coupure.
A lintrieur des bandes permises, la vitesse de propagation est dfinie puisque AL =
cos(L ) [1, 1]. La Figure 2.5 reprsente lvolution de la constante de phase et de la
constante dattnuation en fonction de la frquence, avec lalternance des bandes permises
(o la constante de phase est dfinie et la constante dattnuation est nulle) et des bandes
interdites.

2.1.5

Calcul de limpdance caractristique quivalente de la cellule lmentaire

Limpdance caractristique quivalente de la structure permet galement dexpliquer

la prsence des bandes permises et des bandes interdites dans la rponse frquentielle.
Lexpression de limpdance caractristique ZL est dtermine partir des coefficients de
la matrice ABCD :
r
ZL =

BL
= Z0
CL

1 Z0 Cp f tan(/2)
.
1 + Z0 Cp f cot(/2)

(2.11)

La Figure 2.6 reprsente lvolution des parties relle et imaginaire de limpdance

caractristique quivalente ZL pour le mme exemple numrique que prcdemment. On
37

200

3,5
3
2,5

L d

L d ()

150

2
100
1,5
1

50

0,5
0

0
1

3
f/f

Figure 2.5: Evolution du coefficient AL dune cellule lmentaire compose dune ligne de transmission dimpdance caractristique Z0 =170 de longueur B =38charge par une capacit de
susceptance normalise yC =6,05 en fonction de la frquence normalise par rapport la frquence
de Bragg.

1 10

60
50

8000

Z (Ohms)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

40
30

6000

20
10

4000

0
0

0,2

0,4

0,6

0,8

1,2

1,4

Rel (Z )

2000

Imag(Z )
0

f/f

Figure 2.6: Evolution de la partie relle et imaginaire de limpdance caractristique quivalente

ZL dune cellule lmentaire compose dune ligne de transmission dimpdance caractristique
Z0 =170 de longueur B =38charge par une capacit de susceptance normalise yC =6,05 en
fonction de la frquence normalise.

voit sur le zoom que limpdance caractristique de la ligne charge sannule pour la
frquence fB qui marque le dbut de la bande interdite o limpdance caractristique
devient imaginaire pure. A lintrieur des bandes permises ZL est relle pure. Les mmes
38

bandes permises et interdites de la Figure 2.4 sont retrouves.

Ainsi ltude de limpdance caractristique quivalente suffit retrouver lensemble
des proprits des structures priodiques.

2.1.6

Effet donde lente

Le phnomne donde lente de la cellule tudie est mis en vidence par la valeur du
rapport L / en fonction de la frquence. La Figure 2.7 prsente lvolution de ce rapport
qui dpasse 3,2 dans la bande passante et montre donc que la vitesse de propagation de
londe est rduite du mme coefficient. En effet, cette cellule qui fait 38est quivalente
une ligne de 180 la frquence de Bragg. Ce phnomne donde lente est lorigine de

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

lintrt de cette structure en terme de miniaturisation.

4

L /

3,8
3,6
3,4
3,2
3
0

0,2

0,4

0,6
f/f

0,8

Figure 2.7: Evolution du rapport L / dune cellule lmentaire compose dune ligne de transmission dimpdance caractristique Z0 =170 de longueur B =38charge par une capacit de
susceptance normalise yC =6,05 en fonction de la frquence normalise.

2.2

Conception du filtre passe-bas

Dans un premier temps, la conception du filtre passe-bas est simplifie par la synthse
de la structure avec des cellules toutes identiques. Les critres fixant la frquence de
coupure et forant ladaptation dans la bande passante du passe-bas sont convenablement
choisis. Des quations de synthse, assurant une bonne approximation des lments du
filtre ont ainsi t dveloppes. Ensuite, la structure utilisant le modle complet des lignes
39

avec les pertes ainsi que des condensateurs, est optimise avec les cellules de taprisation
pour obtenir la rponse du filtre passe-bas dsire. La comparaison des performances
des filtres priodiques avec celles de filtres lments localiss de type Tchebysheff est
galement tablie.

2.2.1

Critre pour la frquence de coupure

La frquence de Bragg est la limite qui spare la premire bande permise de la premire
bande interdite [2, 11, 125]. La frquence de Bragg correspond la racine de |S21 |=0. On
prfre commencer travailler avec la frquence de Bragg fB plutt quavec la frquence
de coupure fc car les quations de conception partir de la frquence de Bragg sont plus

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

simples et donnent une solution unique contrairement fc qui correspond la racine de

lquation |S21 | = 3 dB dans une bande passante qui ondule.
Le coefficient de transmission S21 de la cellule lmentaire est li aux coefficients de la
matrice ABCD par la relation :
S21 =

2
.
AL + BL /Zr + CL Zr + DL

(2.12)

Dans la bande passante L = 0, et en utilisant les galits de lquation 2.7, le coefficient

S21 scrit comme :
2

S21 =

2 cos(L ) + j sin(L )

ZL
Zr

Zr
ZL

.

(2.13)

Le carr du module de S21 est donn par :

|S21 |2 =
1+

sin2 (L )
4

1


ZL
Zr

Zr
ZL

2 .

(2.14)

Daprs lquation 2.14, la solution de |S21 |=0 nest autre que la racine de ZL = 0
puisque les fonctions trigonomtriques sinus et cosinus sont bornes. En utilisant lexpression de ZL (quation 2.11), le premier critre qui fixe la frquence de Bragg est donn
par la relation :
yC (fB ) = B Cp Z0 =

2
.
tan(B )

(2.15)

Cette relation montre que la valeur de la capacit de charge est une fonction dcroissante de la frquence de coupure de Bragg fB , de la longueur lectrique B et de
limpdance caractristique Z0 . Lvolution de la capacit de charge en fonction de la
frquence de Bragg est prsente sur la Figure 2.8.
40

100

C p (pF)

80
60
40
20

0,2

0,4

0,6
f (GHZ)

0,8

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 2.8: Evolution de la valeur de la capacit parallle Cp en fonction de la frquence de Bragg

fB .

2.2.2

Critre dadaptation dans la bande passante

La frquence de Bragg tant fixe, la seconde tape consiste grer ladaptation dans
la bande passante. Un critre simple et efficace revient imposer un module du paramtre
S21 gal 1 au milieu de la bande passante. Dans la bande passante du filtre, on peut
crire :
|S21 |(f ) = 1.

(2.16)

En utilisant les quations 2.14 et 2.16, ladaptation dans la bande passante impose
une valeur de limpdance quivalente gale la charge de rfrence Zr :
ZL (fB /2) = Zr = 50 .

(2.17)

En reprenant lquation 2.11, on obtient en particulier la frquence fB /2 :

s
Zr = Z 0

1 21 Z0 Cp fB tan(B /4)
.
1 + 12 Z0 Cp fB cot(B /4)

(2.18)

Pour liminer le terme Z0 Cp fB , on utilise lgalit 2.15, qui fixe la frquence de Bragg
pour obtenir :
2 tan(B /2) tan(B /4)
=
2 tan(B /2) + cot(B /4)
41

Zr
Z0

2
.

(2.19)

En utilisant la formule trigonomtrique qui donne la tangente de larc double :

tan(2) =

2 tan()
,
1 tan()2

(2.20)

on obtient une quation du quatrime degr en tan(B /4) :

tan4 (B /4) + 3(1 z02 ) tan2 (B /4) z02 = 0

(2.21)

avec z0 limpdance de la ligne normalise par rapport Zr : z0 = Z0 /Zr .

(2.22)

Les relations 2.15 et 2.22 montrent que lorsque limpdance caractristique ZL crot,
les valeurs de la capacit Cp et de la longueur lectrique B diminuent. La rduction de la
longueur lectrique en fonction de limpdance normalise z0 est illustre par la Figure 2.9.
Il est clair que lutilisation de lignes haute impdance est plus intressante pour rduire
la longueur de la structure.
180
150
120

B
q ()

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

La solution de B retenue scrit alors :

s
p 4
2
2
3(1 z0 ) + 9z0 14z0 + 9
.
B = 4 arctan
2

90
60
30
1

1,5

2,5

3,5

Figure 2.9: volution de la longueur lectrique B en fonction de limpdance normalise z0 .

Si limpdance caractristique est fixe 170 , une valeur ralisable en technologie

CPW, et pour une frquence de coupure gale 1 GHz, les quations 2.15 et 2.22 donnent
une capacit de valeur 5,14 pF et une longueur lectrique de 40. La Figure 2.10 montre
42

| S21| & | S11| (dB)

-10

-20
|S |
21

-30

|S |
11

-40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

0.5

1
Frquence (GHz)

1.5

Figure 2.10: Rponse de la structure priodique forme par une ligne de transmission dimpdance
caractristque 170 , avec 6 cellules de longueur B =40 la frquence fB =1 GHz et une capacit
de charge Cp = 5,14 pF.

la rponse en frquence de la structure 6 cellules, charge par 50 . Les simulations et

les optimisations ont t ralises avec le logiciel de simulation micro-onde ADS [126]. La
rponse passe-bas est retrouve avec une frquence de coupure -3 dB gale 0,97 GHz. La
pente de rjection, dfinie entre -3 et -30 dB, est leve avec une pente de 570 dB/dcade
mais les pertes par rflexion sont de lordre de 5 dB autour de 0,92 GHz. Le filtre souffre
dune mauvaise adaptation dans la bande passante.
Les formules de conception assurent donc une bonne approximation de la longueur
lectrique de la ligne et de la valeur de la capacit de charge Cp , une fois que limpdance
caractristique Z0 des lignes et la frquence de Bragg fB sont fixes. Lajustement de la
frquence de coupure se fait par une simple optimisation de la structure priodique autour
des valeurs nominales donnes par les quations de conception.

2.2.3

Intrt de la rupture de priodicit Taprisation

Ladaptation du filtre est amliore en utilisant la technique de la taprisation. Cette

technique consiste en une rupture de la priodicit, o les cellules latrales de la structure priodique prsentent une longueur lectrique tap et une capacit de charge Ctap
diffrentes des cellules centrales. Ces cellules jouent le rle dadaptateurs dimpdance qui
ramnent une impdance quivalente de la structure 50 dans la bande passante du
43

filtre. Avec ce principe, la structure de 6 cellules est optimise pour un meilleure adaptation dans la bande passante.
On obtient des cellules latrales possdant une longueur lectrique tap =26et une
capacit de charge Ctap = 4, 4 pF, alors que les 4 cellules centrales ont une longueur
lectrique =32et une capacit de valeur Cp = 5, 66 pF. Le filtre a donc une longueur
lectrique totale gale 180 la frquence fc =1 GHz. Comme le montre la Figure 2.11,
les pertes par rflexion sont meilleures que -19 dB dans la bande passante, garantissant
ainsi une trs faible ondulation infrieure 0,05 dB dans la bande passante. La pente
de rjection du filtre est par contre plus faible pour le filtre adapt (540 dB/dcade).
Ladaptation et la pente de rjection ne peuvent pas tre simultanment amliores pour

0
sans taprisation

|S21 | & |S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

un ordre de filtre donn.

-10

avec taprisation

-20

-30

-40
0

0.5

1.5

Frquence (GHz)
Figure 2.11: Rponse du filtre tapris 6 cellules avec tap =26, =32, Ctap = 4, 4 pF et
Cp = 5, 66 pF.

De bonnes performances lectriques sont obtenues avec des valeurs optimises des
variables considres proches des valeurs donnes par les quations de conception. Lcart
est de 20% sur la valeur de la longueur lectrique alors quil est gal 10 % sur la valeur
de la capacit parallle.
La Figure 2.12 prsente la rponse large bande du filtre. A lexception des lobes secondaires qui apparaissent vers 5,8 GHz avec une amplitude de -28 dB pour le filtre tapris et
-38 dB pour la structure priodique, les remontes parasites suivantes ont des amplitudes
44

plus faibles pour la structure taprise. Les lobes secondaires sont dus aux bandes permises de la structure priodique. En effet, les Figures 2.4 et 2.6 montrent que la deuxime
bande passante a lieu autour de 5 GHz pour la structure priodique. En outre, sans la
taprisation, des lobes parasites elevs apparaissent vers 11,3 GHz avec une amplitude de
-4 dB. Les cellules de taprisation permettent de diminuer le niveau des lobes parasites
en-dessous de -28 dB. En pratique, comme ces lobes parasites sont fins (fort facteur de
qualit), ils seront fortement attnus par les pertes de la structure.
0

-100

21

|S | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-50

-150
-200

avec taprisation
sans taprisation

-250
0

10
Frquence (GHz)

15

20

Figure 2.12: Comparaison de la rponse large bande des deux filtres.

Jusqu prsent, loptimisation se faisait sans restriction sur le choix des valeurs des
capacits. Or la ralisation des filtres passe-bas structures priodiques se fait en technologie hybride et allie des lignes de transmission et des capacits CMS, avec des valeurs
normalises non continues. Nanmoins ceci ne constitue pas un rel problme car la structure propose offre une grande flexibilit vis vis du problme des valeurs des capacits
normalises. En effet, un simple ajustement des longueurs lectriques savre suffisant pour
raliser le filtre passe-bas avec les capacits normalises choisies comme les plus proches
des valeurs obtenues par optimisation.

2.2.4

Choix du nombre de cellules

Le nombre de cellules impose la pente de rjection du filtre. Lorsque le nombre de

cellules augmente, la pente de rjection du filtre crot. La croissance de la pente de rjection
45

en fonction du nombre de cellules est prsente sur la Figure 2.13. La valeur de la pente
de rjection peut tre dcrite en premire approximation par la fonction 12n2 + 8, 9n + 52.

Pente de rjection (dB/dcade)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

700
600
500
2

12 n +8,9 n +52

400
300
200
100
0
2

n
Figure 2.13: Croissance de la pente de rjection en fonction du nombre de cellules.

Une tude similaire base sur ltude du coefficient de rflexion en entre de la structure
priodique est prsente dans [127]. Des rsultats similaires sont obtenus et des filtres
hybrides et MMIC en technologie CPW sont raliss.

2.2.5

Rappel des tapes de conception

En rsum, la conception du filtre commence par le choix du nombre de cellules,

fix par la pente de rjection du filtre dsir. Limpdance caractristique des lignes est
donne par les contraintes de fabrication. Ensuite, une premire estimation de la longueur
lectrique et de la capacit de charge Cp est obtenue partir des quations 2.15 et
2.22. La structure priodique souffre par contre dune mauvaise adaptation dans la bande
passante. Ce dfaut est corrig par la technique de tapristaion qui consiste casser la
priodicit en adoptant deux cellules latrales ayant des paramtres tap et Ctap diffrents
des paramtres des cellules centrales. Finalement, la structure est optimise autour des
valeurs nominales obtenues partir des quations de conception.
46

L tap

Li

C tap

Lc

Cp

Lc

Lc

Cp

Cp

Li

Cp

L tap

C tap

Figure 2.14: Circuit lectrique du filtre passe-bas structure priodique 6 cellules avec des
lments localiss.

2.2.6

Intrt de la technologie hybride

Le choix de la technologie hybride combinant des lignes de propagation et des capacits

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

localises montes en surface est justifi par le degr de libert supplmentaire quoffre
la technologie hybride semi-rpartie par rapport un filtre lments localiss. En effet,
lutilisation de capacits CMS normalises impose une roptimisation des longueurs de
ligne qui permet le rajustement de la rponse du filtre et lobtention de la rponse
dsire. Par contre, le choix des valeurs des inductances est conditionn par les valeurs
normalises disponibles ce qui rend la roptimisation de ces valeurs impossible. Dans ce
paragraphe, un filtre passe-bas structure priodique conu partir dlments localiss
1 GHz est simul et le choix de la technologie hybride est valid.
Pour ceci, un filtre lments localiss structure priodique 6 sections dont le
circuit lectrique est montr sur la Figure 2.14 est tudi. Les lignes de propagation de forte
impdance du filtre prsent dans le paragraphe 2.2.3 sont remplaces par les inductances
quivalentes normalises les plus proches. Les valeurs des inductances quivalentes et
normalises sont donnes dans le Tableau 2.1.
Ltap (nH)

Li (nH)

Lc (nH)

quivalente

6,13

13,66

15,08

normalise

5,6

12

15

Tableau 2.1: Valeurs des inductances du filtre structure priodique lments localiss.

En simulation, les modles des inductances fournies par AVX sont considrs. La
simulation des paramtres S du filtre 6 cellules lments localiss est montre sur la
47

-10

11

| S | & | S | (dB)

-20

21

|S
-30

11

|S |
21

-40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

0.5

1
Frquence (GHz)

1.5

Figure 2.15: Simulation du filtre lements localiss 6 cellules.

Figure 2.15. La frquence de coupure simule du filtre passe-bas est de 966 MHz avec une
adaptation dgrade qui passe de -19 dB -14 dB en comparaison avec les simulations du
filtre technologie hybride de la Figure 2.11. Les pertes dans la bande passante sont plus
importantes que celles du filtre en technologie semi-rpartie. Elles sont des la rsistance
parasite des inductances AVX.
En conclusion, lutilisation des inductances CMS pose des problmes pour la conception des filtres passe-bas structure priodique du fait de leurs valeurs normalises ce
qui rend la structure difficile adapter au cahier de charge voulu. Les avantages de la
topologie hybride alliant des lignes de transmission et des capacits CMS sont lis sa
robustesse et sa flexibilit en ce qui concerne la conception des filtres.

2.2.7

Comparaison du filtre structures priodiques et dun filtre

passe-bas localis de type Tchebycheff

Il est intressant dtablir une comparaison entre les filtres structures priodiques
et des filtres localiss classiques de type de Tchebycheff. Les longueurs et le temps de
groupe des filtres de mme pente de rjection et ondulation sont compars. Un filtre de
Tchebycheff dordre 13 est ncessaire pour tablir la comparaison avec le filtre passe-bas
6 cellules prsent dans le paragraphe 2.2.3. En effet, une structure priodique de n
cellules est quivalente une structure de 2n + 1 lments ractifs, si lon considre deux
48

demi-lignes de transmission par cellule, et donc un filtre dordre 2n + 1.

Les valeurs des lments ractifs du filtre de Tchebycheff dordre 13 sont donnes dans
le Tableau 2.2, pour une ondulation rsiduelle de 0,04 dB. La Figure 2.16 compare les
paramtres S des deux filtres simuls. Les pertes par rflexion du filtre de Tchebycheff
sont de -20 dB dans la bande passante (conformment londulation de 0,04 dB choisie).
Le filtre structure priodique prsente un temps de groupe plus plat que celui du filtre
L1,7 (nH)

L2,6 (nH)

L3,5 (nH)

L4 (nH)

C1,6 (pF)

C2,5 (pF)

C3,4 (pF)

7,8

15,46

16,32

16,47

4,62

5,37

5,49

0
-5

|S21 | & |S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Tableau 2.2: Valeurs des lments ractifs du filtre de Tchebycheff.

Structure priodique
Tchebycheff

-10
-15
-20
-25
-30
-35
-40
0

0.5

1.5

Frquence (GHz)
Figure 2.16: Comparaison de la rponse du filtre passe-bas 6 cellules et du filtre Tchebycheff
dordre 13.

de Tchebycheff. La variation est de 6 ns pour la structure priodique alors quil est de

7,5 ns pour le filtre de Tchebycheff (Figure 2.17).
Afin de comparer la compacit des deux filtres, on calcule les longueurs lectriques
des lignes dimpdance 170 quivalentes aux valeurs des inductances du Tableau 2.2 en
utilisant :
i = arcsin (Li /Z) .
49

(2.23)

8
Temps de groupe (ns)

7
6

Structure priodique
Tchebycheff

5
4
3
2
1
0

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

0.5

1
1.5
Frquence (GHz)

2.5

Figure 2.17: Comparaison du temps de groupe du passe-bas 6 cellules et du Tchebycheff dordre

13.

Les valeurs des longueurs lectriques calcules 1 GHz sont donnes dans le Tableau 2.3. La longueur du filtre est rduite de 12% pour la structure priodique qui fait
180au lieu de 202pour le filtre de Tchebycheff.
1,7 ()

2,6 ()

3,5 ()

4 ()

tot ()

16,53

32,74

34,58

34,9

202,6

Tableau 2.3: Longueurs lectriques du filtre de Tchebycheff.

En conclusion, le filtre structure priodique prsente une longueur lectrique et un

temps de groupe lgrement infrieurs celui du filtre de Tchebycheff. On peut dduire
que ces filtres sont quasiment quivalents. Par contre, les valeurs des lments ractifs ncessaires pour le filtre Tchebycheff ne sont pas toutes gales : une lgre diffrence existe
entre les diffrentes valeurs de capacits. Ceci nest pas le cas pour le filtre structure
priodique qui ncessite seulement deux valeurs diffrentes Cp et Ctap et qui, par consquence, est plus simple raliser. En outre, les filtres de Tchebycheff imposent des valeurs
non normalises des capacits de charge. La structure priodique offre une bonne flexibilit vis--vis du choix des valeurs des capacits. En effet, les longueurs des lignes peuvent
tre rajustes avec les valeurs normalises des capacits les plus proches des valeurs opti50

mises. On peut conclure que le filtre structure priodique se comporte comme un filtre
Tchebycheff en terme de performances, mais quil est plus simple raliser en technologie
hybride du fait de la possibilit dajuster la longueur des lignes de propagation aux valeurs
normalises utilisables pour les capacits.

2.3

Etude de sensibilit de la rponse du passe-bas

Les diffrents paramtres tudis (limpdance caractristique Z0 , la longueur lectrique des lignes et la valeur des capacits de charge Cp ) influent sur la rponse du filtre.
Il est important de raliser une tude de sensibilit de la rponse du filtre en fonction

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

de ces paramtres afin davoir une ide sur la prcision que lon doit avoir sur chacun de
ces paramtres pour ne pas perturber la rponse du filtre. Ltude de sensibilit effectue
se base sur le principe dune analyse de Monte Carlo qui est une mthode numrique
utilisant un tirage alatoire et des techniques probabilistes des variables tudies.

2.3.1

Impdance caractristique

Ltude de sensibilit effectue sur limpdance caractristique se fait avec une variation uniforme de 5% autour de la valeur de Z0 . La variation de 5% autour de la valeur
moyenne de Z0 est une erreur raliste pouvant tre de aux erreurs de gravures ou
une mauvaise matrise des paramtres du substrat. La Figure 2.18 montre les rsulttas
de lanalyse de Monte Carlo sur les paramtres S21 et S11 pour la variation uniforme de
5% sur limpdance caractristque. La frquence de coupure du filtre est modifie de 5%,
soit

fB Z0
/ Z0
fB

= 1. Ladaptation nest que lgrement dgrade. On peut donc dire que la

variation de limpdance caractristique a un impact fort sur la frquence de coupure du

filtre. Cette forte dpendance est attendue partir de lquation 2.15.

2.3.2

Longueur des lignes

Nous considrons une variation uniforme de la longueur lectrique de chaque tronon

est de 1% autour de la valeur nominale. Ladaptation se dgrade lgrement dans la
bande passante et passe -18 dB au lieu de -20 dB, la frquence de coupure est galement
modifie de 2,8% autour de sa valeur initiale soit
51

fB
/
fB

= 2, 8 (quation 2.15).

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 2.18: Etude de sensibilit des paramtres S21 et S11 avec une variation de 5% autour
de la valeur nominale de limpdance caractristique.

Figure 2.19: Etude de sensibilit des paramtres S21 et S11 avec une variation de 1% autour
de la valeur nominale de la longueur lectrique.

2.3.3

Valeurs des capacits

Lorsque la valeur nominale des capacits est modifie de 5%, la frquence de coupure
est galement modifie de 5% et les pertes par reflexion atteignent -15 dB dans la bande
52

passante. Lgalit entre la variation relative de la frquence de coupure et celle de la

capacit de charge est facilement dduite de lquation 2.15. Une simple drivation permet
dobtenir :

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

(Cp )
(fB )
=
.
fB
Cp

(2.24)

Figure 2.20: Etude de sensibilit des paramtres S21 et S11 avec une variation de 5% autour de
la valeur nominale de la capacit de charge.

2.3.4

Etude des pertes

La sensibilit de la rponse du filtre 6 cellules en fonction des pertes de la structure

est tudie dans ce paragraphe.
2.3.4.1

Pertes des capacits CMS

Les pertes des capacits ont t ngliges dans ltude prcdente. Nous tudions
prsent leur influence sur la rponse du filtre passe-bas. Les pertes dune capacit peuvent
tre modlises, comme le montre la Figure 2.21, par une rsistance Rp parallle la capacit
C tenant compte des pertes dilectriques et une rsistance srie Rs qui exprime les pertes
conductrices.
a- Pertes dilectriques
53

C
Rs
Rp
Figure 2.21: Circuit lectrique dune capacit avec pertes.

Le facteur de qualit Qd qui exprime les pertes dilectriques de la capacit est dfini
par :
Qd = Rp C .

(2.25)

Afin de simplifier ltude, toutes les capacits sont supposes avoir le mme facteur

100 et @ 1 GHz) sur les pertes dinsertion du filtre 6 cellules. Les pertes dinsertion
augmentent dune faon constante dans la bande passante lorsque le facteur de qualit est
dgrad. Lorsque le facteur de qualit diminue, la courbure au niveau de la frquence de
coupure devient aussi moins raide, la bande passante devient plus troite ce qui entrane
une diminution de la pente de rjection.
0
-2

|S21 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

de qualit. La Figure 2.22 montre leffet du facteur de qualit des capacits (Qd =10, 50,

-4
-6

Q=10
Q=50
Q=100
Q=

-8
-10
0

0.5

1.5

Frquence (GHz)
Figure 2.22: Effet du facteur de qualit de la capacit sur les pertes dinsertion du filtre passe-bas
6 cellules.

b- Pertes conductrices
Le facteur de qualit Qc qui exprime les pertes conductrices de la capacit est dfini
54

-0,2

21

|S | (dB)

-0,1

-0,3

Rs =0 Ohms
Rs= 0,1 Ohms
Rs=0,2 Ohms
Rs=0,3 Ohms

-0,4
-0,5

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

0,25

0,5

0,75
1
Frquence (GHz)

1,25

1,5

Figure 2.23: Effet de la rsistance srie de la capacit sur les pertes dinsertion du filtre passe-bas
6 cellules.

par :
Qc =

1
.
Rs C

(2.26)

La Figure 2.23 montre les simulations du module du paramtre S21 pour des valeurs de
la rsistance srie parasite Rs allant de 0 0,3 ce qui correspond une valeur raliste
du facteur de qualit Qc allant de 93 l. Les pertes dinsertion slvent 0,2 dB au
milieu de la bande passante du filtre passe-bas pour une rsistance srie parasite gale
0,3 . Laugmentation des pertes dinsertion nest pas monotone en fonction de la
frquence. Limpact li Rs est plus important autour de la frquence de coupure. Son
effet nest pas visible pour les basses frquences, ce qui est le cas contraire pour les pertes
dilectriques. Pour les capacits CMS, la valeur de la rsistance srie est plus gnante que
les pertes dilectriques, ce qui est linverse pour les capacits MIM.
2.3.4.2

Pertes du substrat

La Figure 2.24 tudie la sensibilit du filtre vis vis des pertes du substrat. Un substrat
de constante dilectrique gale 3,36 est tudi pour diffrentes valeurs de tan() allant
de 0 0,05. La Figure 2.24 montre que les pertes dinsertion atteignent au maximum 0,26
dB au milieu de la bande passante pour tan()= 0,05. Daprs ces rsultats, on dduit
que limpact des pertes du substrat est ngligeable devant celles dues la capacit.
55

|S21 | (dB)

-0,1
-0,2

tan()=0

-0,3

tan()=0,05
-0,4
-0,5
0

0,2

0,4

0,6

0,8

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 2.24: Simulations des pertes dinsertion du filtre 6 cellules avec des pertes dilectriques
pour tan()=0 0,05.

2.4

Filtres raliss 1 GHz

Deux sries de filtres ayant une frquence de coupure gale 1 GHz ont t raliss
en technologie CPW sur deux substrats diffrents : FR4 et RO4003. Le FR4 est un substrat faible cot possdant une tangente de pertes dilectriques mdiocre (tan()=0,015)
alors que le Rogers RO4003 est un substrat de bonne qualit avec tan()=0,0027. Cela
permettra de valider lutilisation dun substrat faible cot pour des frquences de lordre
du GHz.
Chaque srie comprend cinq filtres passe-bas avec un nombre de cellules allant de 2
6.Les rsultats des filtres prsents dans cette partie ont donn lieu plusieurs publications
dans des revues avec comit de lecture [128, 129] et des confrences internationales [130,
131] et nationale [132].

2.4.1

Prsentation des dispositifs

Les filtres sont raliss sur 2 substrats diffrents. Les paramtres du substrat bas cot
FR4 et du substrat RO4003 sont donns dans le Tableau 2.4.
Pour chaque substrat, cinq filtres (2 6 cellules) en technologie CPW ont t optimiss pour une frquence de coupure de 1 GHz. Le choix de limpdance caractristique
Z0 de la ligne de transmission repose sur un compromis entre les pertes de la structure
56

FR4

RO4003

3,38

0,015

0,00027

paisseur h du substrat (mm)

1,6

0,813

paisseur t de la mtallisation ( m)

35

35

Permittivit relative r
Pertes dilectriques (tan())

Tableau 2.4: Paramtres des substrats FR4 et RO4003.

et la compacit du dispositif tout en respectant les contraintes de fabrication. Une forte

impdance caractristique assure une meilleure compacit puisque la longueur lectrique

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

dcrot lorsque limpdance caractristique augmente. Par ailleurs, la ralisation de fortes

impdances caractristiques en technologie CPW impose de faibles largeurs de ruban central, ce qui entrane des pertes conductrices plus importantes. Limpdance caractristique
choisie est fixe 170 . Les paramtres gomtriques des lignes de 170 comprenant
la largeur de la ligne centrale W , des fentes S et des plans de masse G des lignes FR4 et
RO4003 sont donns dans le Tableau 2.5.
FR4

RO4003

Largeur du ruban central W

0,2 mm

0,22 mm

Largeur des fentes S

2,15 mm

1,6 mm

7 mm

5 mm

Largeur du plan de masse G

Tableau 2.5: Dimensions gomtriques des lignes FR4 et RO4003.

Du fait que limpdance caractristique est la mme pour les filtres sur FR4 et sur
RO4003, les valeurs des capacits sont les mmes pour les diffrents filtres : 4,4 pF
(2*2,2 pF) pour les capacits des cellules de taprisation et 5,66 pF (2*2,83 pF) pour
les capacits centrales. Ces valeurs correspondent respectivement aux valeurs mesures
des capacits normalises de 2,2 et 2,7 pF. Les longueurs lectriques des cellules et les
longueurs des filtres sont donnes par le Tableau 2.6.
Les filtres ont t gravs mcaniquement avec une machine graver LPFK, et des
capacits Murata CMS en boter 0603 ont t utilises. Les filtres ont t mesurs avec
57

Nombre de cellules

Longueur lectrique des cellules de taprisation ()

18

13

14

14

14

Longueur lectrique des cellules centrales ()

17

16

16

17

16

Longueur totale/

0,2

0,23

0,33

0,44

0,51

Longueur totale du filtre sur FR4 (mm)

40

47

67

87

102

Longueur totale du filtre sur RO4003 (mm)

44

50

72

96

112

Tableau 2.6: Longueurs lectriques des filtres FR4 et RO4003.

un analyseur vectoriel 8510C en utilisant une mthode de calibrage de type TRL. Une

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

photographie du filtre optimis 1GHz ralis sur RO4003 4 cellules est prsente sur
la Figure 2.25.

Figure 2.25: Photographie du filtre passe-bas 4 cellules ralis sur RO4003.

2.4.2

Mesures des filtres FR4

Les Figures 2.26 et 2.27 montrent les rsultats de mesures jusqu 10 GHz des cinq
filtres raliss sur FR4. La Figure 2.26 montre le module du paramtre S21 . Laugmentation de la pente de rjection en fonction du nombre de cellules est bien mise en vidence.
Les lobes secondaires sont attnus mieux que -35 dB jusqu 10 GHz, soit 10 fois la
frquence de coupure du filtre passe-bas, sauf pour le filtre 2 cellules dont la remonte
parasite est prvue par la simulation. Les pertes dans la bande passante sont de lordre
de 0,15 dB par cellule, soit des pertes infrieures 1 dB pour le filtre 6 cellules. La
Figure 2.27 montre que ladaptation est meilleure que -15 dB dans la bande passante.
Les caractristiques des filtres (attnuation, pertes par rflexion, ondulation dans la
bande passante, pente de rjection et lobes secondaires) sont reportes dans le Tableau 2.7.
58

0
2 sections
3 sections
4 sections
5 sections
6 sections

-10

21

|S | (dB)

-20
-30
-40
-50
-60
0

10

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 2.26: Paramtres |S21 | mesurs des filtres FR4 jusqu 10 GHz.

0
0

-10

0.2

0.4

0.6

0.8

1.2

1.4

-10

|S11| (dB)

-20

-20

-30

-30

-40

2 sections
3 sections
4 sections
5 sections
6 sections

-40

-50

-50

-60
0

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 2.27: Paramtres |S11 | mesurs des filtres FR4 jusqu 10 GHz.

2.4.3

Mesures des filtres RO4003

Les Figures 2.28 et 2.29 prsentent les rsultats de mesures des 5 filtres raliss sur
RO4003. Les caractristiques des filtres sont rsumes dans le Tableau 2.8. La meilleure
adaptation est obtenue avec le filtre quatre cellules avec des pertes par rflexion |S11 | =
23 dB dans la bande passante. Les rsultats des filtres sur RO4003 sont similaires ceux
des filtres sur FR4, lexception dune adaptation meilleure qui conduit une ondulation
59

Nombre de cellules

Attnuation 0.9 GHz (dB)

-0,28

-0,4

-0,55

-0,79

-0,95

Ondulation dans la bande passante (dB)

0,15

0,15

0,15

0,15

0,15

Pertes par rflexion (dB)

-16,1

-16,5

-15,8

-15,1

-15,5

Pente de rjection (dB/dcade)

entre -3 dB et -30 dB

-114

-196

-273

-395

-582

Lobes secondaires jusqu 10 GHz

-20 dB
vers 9,7
GHz

<-35
dB

<-35
dB

<-35
dB

<-35
dB

plus faible dans la bande passante. On peut dduire que lutilisation du substrat FR4
faible cot est tout fait pertinente.
0
-10

2 sections
3 sections
4 sections
5 sections
6 sections

-20
|S21| (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Tableau 2.7: Caractristiques lectriques des filtres FR4.

-30
-40
-50
-60
0

10

Frquence (GHz)
Figure 2.28: Paramtres |S21 | mesurs des filtres RO4003 jusqu 10 GHz.

La Figure 2.30 montre les pentes de rjection des deux familles de filtres. Les pentes de
rjection, calcules entre -3 dB et -30 dB, sont trs proches indpendamment du type de
substrat. La Figure 2.31 compare les performances des filtres 6 cellules FR4 et RO4003.
Londulation dans la bande passante est de 0,15 dB pour les filtres FR4 alors quelle est
ngligeable pour les filtres sur RO4003 grce aux faibles pertes par rflexion. Les pertes
60

0
0

-10

0.2

0.4

0.6

0.8

1.2

1.4

-10
-20

-30

-30

11

|S | (dB)

-20

-40

-40

-50

-50

2 sections
3 sections
4 sections
5 sections
6 sections

-60

-60
0

10

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 2.29: Paramtres |S11 | mesurs des filtres RO4003 jusqu 10 GHz.

Nombre de cellules

-0,35

-0,4

-0,54

-0,85

-0,94

<0,1 dB

<0,1
dB

<0,1
dB

<0,1
dB

<0,1
dB

Pertes par rflexion (dB)

-18,8

-22,2

-23,7

-19,6

-19,2

Pente de rjection (dB/dcade)

entre -3 dB et -30 dB

-120

-172

-260

-391

-560

Lobes secondaires jusqu 10 GHz

-20 dB
vers 9,4
GHz

<-40
dB

<-40
dB

<-40
dB

<-40
dB

Attnuation 0,9 GHz (dB)

Ondulation dans la bande passante (dB)

Tableau 2.8: Caractristiques lectriques des filtres RO4003.

dans la bande passante sont dues aux pertes conductrices des lignes et au facteur de qualit
des capacits CMS. La Figure 2.32 montre les rsultats de mesures des cinq filtres raliss
sur RO4003 jusqu 20 GHz. Au del de 10 GHz, des remontes parasites apparaissent pour
tous les filtres. Lamplitude des lobes secondaires augmente et leur frquence augmente
lorsque lordre du filtre augmente. Les frquences des lobes secondaires et leurs niveaux
sont rsums dans le Tableau 2.8. Lamplitude des lobes secondaires reste infrieure
-22 dB pour le filtre 6 cellules jusqu 20 GHz.
61

Pente de rjection (dB/dcade)

600
500
400
300
FR4
RO4003

200
100
2

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Nombre de sections
Figure 2.30: Pentes de rjection des filtres FR4 et RO4003.

|S |
21

-0.8
|S |
11

-1.2

11

21

|S | & | S | (dB)

-0.4

R04003
FR4

-1.6
-2
0

0.4

0.8

1.2

1.6

Frquence (GHz)
Figure 2.31: Ondulation des filtres FR4 et RO4003.

2.4.4

Simulations et mesures

Les mesures du filtre 2 cellules ralis sur RO4003 sont compares avec les simulations
sur la Figure 2.33. Un dcalage de 200 MHz, soit 5% de la valeur de la frquence de
coupure, est observ. Cest le cas pour toute la srie de filtres raliss. La remonte parasite
mesure 10 GHz nest pas prvue non plus par la simulation de la Figure 2.34. La
simulation prvoit un lobe secondaire d la deuxime bande permise vers 5,8 GHz.
62

0
2 sections
3 sections
4 sections
5 sections
6 sections

-10

|S21| (dB)

-20
-30
-40
-50
-60
0

10

15

20

Figure 2.32: Lobes secondaires des filtres sur RO4003 jusqu 20 GHz.

Comme ce lobe est trs troit, il est attnu par les pertes de la ligne du fait de son fort
facteur de qualit.
0
-5
| S21| & | S11| ((dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)

-10
-15
-20
-25
-30

Mesures
Simulations

-35
-40
0

0.4

0.8

1.2

1.6

Frquence (GHz)
Figure 2.33: Comparaison des mesures et des simulations du filtre 2 cellules sur RO4003.

Le dcalage sur la frquence de coupure est li lutilisation dun modle idal des
capacits. Avec le modle complet de la capacit de charge, ce dcalage de frquence
est compens. Les simulations montrent quune inductance parasite de 0,25 nH est suffisante pour avoir un bon accord entre les mesures et les simulations (Figure 2.35)). Cette
63

| S21| & | S11| ((dB)

-5
-10

Mesures
Simulations

-15
-20
-25
-30
-35
-40
0

10

Figure 2.34: Comparaison des mesures et des simulations du filtre 2 cellules sur RO4003.

inductance parasite est responsable de lapparition du lobe secondaire vers 10 GHz (Figure 2.36).
0
-5
-10
-15

21

11

| S | & | S | ((dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)

-20
-25
Mesures

-30

Simulations : L =0 nH

-35

Simulations : L = 0,25 nH
p

-40
0

0.4

0.8
1.2
Frquence (GHz)

1.6

Figure 2.35: Comparaison des mesures et des simulations avec et sans inductance parasite du
filtre 2 cellules sur RO4003.

La mme inductance parasite est observe pour lensemble des filtres mesurs. Cette
inductance est due linductance parasite des capacits CMS utiliss et linductance
des plots de soudure. Cette tude montre lutilit de la modlisation de llment parasite
avant de passer loptimisation du dispositif. Le travail dextraction du modle de la
64

0
Mesures

-10

Simulations : L =0 nH

-15

Simulations : L = 0,25 nH

p
p

21

11

| S | & | S | ((dB)

-5

-20
-25
-30
-35
-40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 2.36: Comparaison des mesures et des simulations avec et sans inductance parasite du
filtre 2 cellules sur RO4003.

capacit CMS est dvelopp dans le Chapitre 3.

2.5

Filtre en bande X ralis

La topologie ayant t valide pour des filtres autour de 1 GHz, le dfi a t de pouvoir
transposer les rsultats vers les frquences plus leves en utilisant toujours une technologie hybride laide des composants CMS. Pour ceci, un filtre structure priodique
a t conu pour avoir les mmes performances quun filtre fourni par K&L [133]. Les
caractristiques du filtre K&L de rfrence sont donnes par le Tableau 2.9.
fc (GHz)

12

f1dB (GHz)

10,8

VSWR

Facteur de forme

2,1 :1

1,3 :1

Dimensions (mm)
L

25,4

16,5

12,7

Tableau 2.9: Caractristiques du filtre K&L.

Le nombre de cellules du filtre passe-bas est spcifi par le facteur de forme dsir. Le
facteur de forme de 1,3 correspond une pente de rjection de 237 dB/dcade. Daprs
la Figure 2.13, un nombre de cellules gal 4 est suffisant pour dpasser le facteur de
forme cherch. Afin damliorer la pente de rjection du filtre, une structure 6 cellules
65

a nanmoins t adopte.
Le nombre de cellules tant fix, le choix de limpdance caractristique repose sur
le compromis entre la compacit et les pertes du filtre. Dans le souci davoir des pertes
acceptables dans la bande passante, limpdance des lignes a t fixe 92 . Sur un
substrat RO4003, une impdance de 92 est ralis avec une largeur de ruban central
W =0,3 mm et une fente de largeur S= 1,3 mm. Les capacits CMS utilises sont en
botier 0402 (1 mm x 0,5 mm). Des plots de soudure de longueur 0,6 mm sont ncessaires
pour faciliter la soudure et le reprage de la position exacte de la capacit.
Loptimisation du filtre passe-bas 6 cellules tenant compte du modle complet des
lignes pertes, des plots de soudure et des Ts de jonction, aboutit aux valeurs des

La rponse simule est prsente sur la Figure 2.37. Ladaptation est de 15 dB dans
la bande passante alors que la pente de rjection atteint 590 dB/dcade. La comparaison
avec le filtre K&L est tablie dans le Tableau 2.10. Ladaptation, la pente de rjection et
la compacit sont amliores.
0
-5

|S21 | & |S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

capacits Ctap = Cp =0,2 pF et des longueurs de lignes Ltap =1,7 mm et Lc =2,4 mm.

-10
-15
-20
-25
-30

|S11 |

-35

|S21 |

-40
0

10

15

20

Frquence (GHz)
Figure 2.37: Simulations du filtre 6 cellules avec Ctap = Cp =0,2 pF, Ltap =1,7 mm et
Lc =2,4 mm.

La photographie du filtre ralis est donne sur la Figure 2.38.

La Figure 2.39 montre un dsaccord entre les rsultats de mesures et les simulations. La
frquence de coupure est dcale denviron 2 GHz vers les basses frquences, ladaptation
66

fc (GHz)

11,2

f1dB (GHz)

10,8

VSWR

Facteur de forme

1,5 :1

1,1 :1

Dimensions (mm)
L

14,2

10,85

10

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Tableau 2.10: Caractristiques du filtre 6 cellules avec Ctap =0,2 pF, Ltap =1,7 mm et
Lc =2,4 mm.

Figure 2.38: Photographie du filtre 6 cellules ralis.

est galement dgrade (9 dB au lieu de 15 dB). Les pertes dinsertion sont de 1,5 dB
dans la bande passante. Par contre la pente de rjection mesure est meilleure que celle
simule (770 dB/dcade au lieu de 590 dB/dcade). Lorigine de ce dsaccord entre les
simulations et les mesures provient comme dans le cas du prototype 1 GHz des lments
parasites ngligs lors de loptimisation.
Le dcalage de la frquence de coupure et la croissance de la pente de rjection est due
linductance parasite du plot et de la capacit CMS. Afin de retrouver par simulation les
pertes mesures, la rsistance parasite de la capacit et de la soudure doivent tre prises
en considration. Les rtro-simulations prsentes sur la Figure 2.40 montrent quune inductance parasite de 0,54 nH et une rsistance de 0,4 sont ncessaires pour retrouver
un bon accord entre les simulations et la mesure. Ces rsultats montrent que la ralisation
dune rponse dsire est impossible sans la matrise des lments parasites, do limportance de la modlisation des capacits et des plots avant de passer loptimisation. Ce
travail fait lobjet de ltude mene dans le Chapitre 3.
Une roptimisation tenant compte cette fois-ci des lments parasites extraits partir
de la mesure du filtre prcdent a t ralise pour recaler la frquence de coupure. Les
valeurs optimises des longueurs sont Ltap = 1, 52 mm et Lc = 2, 22 mm avec des capacits
67

Mesures

|S21 | & |S11 | (dB)

Simulations

Mesures

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 2.39: Comparaison des mesures et des simulations du filtre passe-bas en bande X.

de 0,15 pF. La rponse obtenue est prsente sur la Figure 2.41.

Les performances des filtres mesur et r-optimis compares dans le Tableau 2.11.

Filtre

f1dB (GHz)

VSWR

Shape factor

Pertes (dB)

Dimensions (mm)
L

mesur

8,85

2,1 :1

1,08 :1

1,2

14,2

10,85

10

roptimis

10,8

1,67 :1

1,06 :1

11,9

10,85

10

Tableau 2.11: Caractristiques du filtre mesur et roptimis.

Les performances des filtres potentiellement ralisables laide des structures priodiques sont meilleures en termes de pente de rjection, dadaptation et de compacit. Par
contre les pertes dinsertion sont suprieures 1 dB. Mais compte tenu de limportance
de la pente de rjection simule, un nombre infrieur 6 cellules peut tre envisag pour
diminuer les pertes du dispositif. Je nai malheureusement pas eu le temps de raliser ce
nouveau filtre. Concernant les filtres avec des frquences de coupure autour de 10 GHz,
on peut nanmoins conclure que la synthse savre trs dlicate du fait de linfluence
dlments parasites difficilement contrlables avec une technologie bas cot.
68

|S21 | & |S11 | (dB)

Mesures

Simulations

Mesures

Frquence

( GHz )

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 2.40: Rtro-simulations et mesures du filtre passe-bas en bande X.

-10
-15

|S

21

11

| & | S | (dB)

-5

-20
-25
-30

|S |

-35

|S |

21
11

-40
0

10

15

20

Frquence (GHz)
Figure 2.41: Simulations du filtre 6 cellules avec Ctap =0,15 pF, Ltap =1,52 mm et Lc =2,22 mm.

2.6

Conclusion

Dans ce chapitre, une nouvelle topologie de filtre passe-bas base de structures priodiques a t dveloppe et valide de manire exprimentale. Une mthode simple de
conception a t dveloppe. Lutilisation des structures bande interdite lectromagntique permet dobtenir des filtres compacts et slectifs. La taprisation de la structure qui
consiste en une rupture de la priodicit aux deux extrmits permet damliorer ladapta69

tion dans la bande passante. Une srie de prototypes optimiss une frquence de coupure
gale 1 GHz a t ralis en technologie hybride, combinant des lignes CPW et des capacits CMS, sur deux substrats diffrents. Les rsultats de mesures, en bon accord avec
les simulations allient des caractristiques intressantes en terme de compacit, de pente
de rjection, de faible ondulation dans la bande passante, de rejet des lobes secondaires
et dadaptation dans la bande passante meilleure que 17 dB pour les filtres sur substrat
FR4 et 19 dB pour les filtres raliss sur substrat RO4003. Les rsultats prsents ont t
galement publis dans [128132]. La possibilit de la monte en frquence en utilisant
toujours une technologie hybride base sur des capacits CMS a t galement explore.
Un filtre passe-bas en bande X a t conu et mesur. Malgr un dcalage de 2 GHz sur la

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frquence de coupure (9,2 GHz au lieu de 11,2 GHz attendus), la possibilit de ralisation
de filtres passe-bas jusqu 10 GHz en technologie hybride laide des structures priodiques est peut-tre envisageable. Pour lensemble des filtres raliss, un dcalage sur la
frquence de coupure a t observ. Les rtro-simulations ont montr que ce dcalage est
li linductance parasite des capacits CMS et des plots de soudure, non prise en compte
lors de la conception. Lobtention de la rponse de filtrage dsire est donc conditionne
par la matrise des lments parasites prsents dans le dispositif. Limportance davoir un
modle fiable des capacits CMS est donc invitable. La caractrisation et la modlisation
des capacits CMS fait lobjet du chapitre suivant.

70

Chapitre 3
Caractrisation et modlisation des
capacits

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Si lon considre une technologie de circuit imprim ou PCB pour Printed Circuit
Board, les lments localiss prsentent un facteur de qualit plus faible que celui des
lments distribus. Ils ont par contre lavantage dtre compacts, avec des dimensions plus
courtes que la longueur donde, et donc des effets de couplage entre lments adjacents
plus faibles.
La conception de nombreux filtres RF repose ainsi sur lutilisation dlments localiss.
Les capacits localises du type CMS, patch, interdigits ou MIM sont frquemment
utilises dans la ralisation des filtres micro-ondes [611].
Des modles prcis sont ncessaires pour la conception de filtres performants. Ltablissement de ces modles ncessite un recours la caractrisation exprimentale. Cest
lobjet de ce chapitre.
Dans un premier temps, ltude thorique du modle complet dune capacit tenant
compte des tous les lments parasites est aborde. Ensuite, la faible sensibilit en basses
frquences de limpdance quivalente par rapport linductance et la rsistance srie parasites est confirme par des mesures de capacits CMS sous limpdancemtre HP4294A.
Par la suite, nous passons la caractrisation en hautes frquences o deux approches
diffrentes sont utilises. Alors que la mesure directe dune capacit savre insuffisante
pour lobtention dun modle prcis, linsertion des capacits dans un filtre passe-bas
structure priodique offre les avantages de simplicit et dune excellente prcision. En
effet, la frquence de coupure et la slectivit du filtre passe-bas assurent respectivement
lextraction des valeurs de la capacit quivalente et de linductance parasite avec une trs
71

bonne prcision. En outre, par rapport la mesure directe de la capacit qui ne permet
pas lextraction de la rsistance parasite du fait dune trs faible sensibilit, les pertes
dinsertion dans la bande passante permettent de dterminer sa valeur avec une bonne
prcision.
Enfin, et dans le but de caractriser les pertes dilectriques du Titanate de Strontium
(SrTiO3 ou STO) dans le cadre dune collaboration avec le LTM et le CEA-LETI, des
filtres passe-bas capacits MIM sont tudis. Ltude montre que la sensibilit sur les
pertes dilectriques peut tre suffisante malgr la prsence de pertes conductrices leves.
Des techniques de rduction des pertes conductrices sont proposes et une srie de filtres
en technologie CPW et CPS sont optimiss. Ces filtres sont en cours de ralisation au

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CEA-LETI.

3.1
3.1.1

Gnralits
Proprits des condensateurs

Le rle principal dun condensateur est demmagasiner une charge lectrique pendant la
phase de charge et de fournir de lnergie lectrique la dcharge. Quand une diffrence de
tension est applique entre les deux armatures dun condensateur, lnergie stocke dpend
de la charge de la capacit. La capacit est dfinie comme le pouvoir de stockage du champ
lectrique entre les deux lectrodes ou lefficacit de la structure emmagasiner de lnergie
lectrique quand une diffrence de potentiel est applique entre les deux armatures. La
valeur de la capacit dpend de la surface des lectrodes, de la distance entre les lectrodes
et du dilectrique utilis.
La valeur de la capacit C dun condensateur form par deux conducteurs est exprime
par :
C = Q /V.

(3.1)

avec Q la charge totale en Coulombs emmagasine entre les lectrodes et V la diffrence

de tension entre les deux lectrodes en Volts. Les lignes de champ vont de larmature
positive vers larmature ngative. La structure de base dune capacit montre dans la
Figure 3.1, consiste en deux armatures chacune de surface A, spares par un isolant ou un
dilectrique dpaisseur d et de permittivit relative r . La Loi de Gauss donne la charge
72

l
W
Surface (A)

e r

Figure 3.1: Configuration dun condensateur plan.

totale de chaque armature :

I
Q=

0 r Ex . ds = 0 r Ex A

(3.2)

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avec Ex (V/d) le champ lectrique produit par la diffrence de tension V et 0 la permittivit de lair. La capacit est alors donne par :
C = 0 r

A
W`
= 0 r
d
d

(3.3)

o W et ` sont respectivement la longueur et la largeur de chacune des armatures. Cette

quation ne tient pas compte de la capacit de bord.
Le dilectrique idal prsente des faibles pertes pour un facteur de qualit vide maximal, une forte constante dilectrique relative pour une faible taille physique du condensateur, une excellente stabilit en fonction de la temprature et une tension de claquage
leve. Les premiers dilectriques de bonne qualit sont le mica et le quartz. Les condensateurs au tantale de forte constante dilectrique sont utiliss, mais leur stabilit en fonction
de la temprature est mdiocre et les pertes dilectriques sont trop leves pour des applications RF. Les condensateurs cramiques prsentent une excellente stabilit et des
constantes dilectriques leves, ils sont de ce fait privilgis en RF [134].

3.1.2

Elments parasites

Le modle simple et pratique dun condensateur est donn sur la Figure 3.2. Le modle
comprend une rsistance et une inductance en srie, dues aux interconnexions et une
rsistance parallle provenant du botier et des pertes dilectriques. On pourrait ajouter
une capacit parallle correspondant au botier, mais dans le cas de notre tude son
influence est faible et nous lavons nglige.
73

Rs

Ls

Rp

Figure 3.2: Circuit quivalent dune capacit.

3.1.3

Paramtres dune capacit

Le choix dun condensateur particulier dpend de lapplication choisie. Lors de la slection du condensateur, diffrents paramtres comme la capacit, la tolrance, la stabilit
thermique ou le coefficient de temprature, le facteur de qualit, la rsistance srie, la

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frquence de rsonance, le facteur de dissipation, la tension de claquage, la rsistance

dinsolation, la constante de temps, les dimensions physiques et le cot, sont tudis. Ces
diffrents paramtres sont dfinis dans ce paragraphe.
a- Capacit
Une large gamme de valeurs de capacits est disponible pour les condensateurs en
botier CMS. Ces valeurs stendent de 0,1 pF 1 F pour les applications RF et microondes. En technologie monolithique, les valeurs vont de 0,05 100 pF.
b - Capacit quivalente
La capacit effective Ceq , diffrente de la valeur intrinsque C, est la capacit globale
du composant considr, une frquence donne. Elle est calcule partir de la partie
imaginaire de limpdance quivalente Zeq :

Ceq =

1
.
Im[Zeq ]

(3.4)

En gnral, la capacit quivalente dpend de la frquence et des valeurs des lments

parasites.
c - Tolrance
La tolrance absolue C est dfinie comme lcart maximal admis entre la valeur
nominale Cn figurant au catalogue et la valeur relle C. La tolrance relative C/Cn
exprime en pourcentage est utilise. Des condensateurs avec des tolrances de 1%,
5%, 10% et 20% sont disponibles. Alors que les circuits dadaptation ncessitent une
faible tolrance de la capacit, une tolrance de 20% est acceptable pour la construction
74

des blocs DC. La tolrance typique des capacits monolithiques est meilleure que 10%.
d - Frquence de rsonance
La frquence de rsonance est dfinie comme la frquence pour laquelle le comportement de la capacit passe de capacitif inductif. La partie imaginaire de limpdance
quivalente passe de ngatif positif et un saut de phase est observ sur la phase de
limpdance quivalente.
e - Rsistance srie quivalente
Tous les condensateurs prsentent une inductance parasite due aux connections et
armatures et une rsistance srie due aux contacts et aux connections des armatures.

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La rsistance srie, connue sous le nom de ESR (Equivalent Series Resistance), est un
paramtre important dans la conception des capacits. Des condensateurs avec de trs
faibles valeurs de ESR sont disponibles. La Figure 3.3 montre les valeurs de ESR mesures
pour des capacits AVX Accu-P 0402 . Pour le condensateur de capacit 4,7 pF, la valeur
de ESR est de 0,125 1 GHz.

Figure 3.3: Variation typique de la rsistance srie quivalente des capacits AVX Accu-P 0402
en fonction de la frquence.

f- Facteur de qualit
Le facteur de qualit dun circuit est dfini comme le rapport entre lnergie maximum
75

stocke Es dans le circuit et lnergie dissipe Ed , multipli par le facteur 2 :

Q=2

Es
.
Ed

(3.5)

Lorsquun condensateur est reprsent par la configuration de la Figure 3.2, on peut

dfinir les facteurs de qualit srie Qc tenant compte de la rsistance srie Rs et parallle
Qd correspondant aux pertes dilectriques exprimes par la rsistance parallle Rp . Les
facteurs de qualits Qc et Qd sont donns par les expressions suivantes :
1
Rs C

(3.6)

Qd = Rp C .

(3.7)

Qc =

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et

Le facteur de qualit de la capacit de la Figure 3.2 est donn par le rapport entre la
partie imaginaire de limpdance quivalente et de la partie relle :


 Im(Zeq ) 
Rp2 C
=
.
Q = 
Re(Zeq )  Rs + Rp + Rs (Rp C )2

(3.8)

En utilisant les expressions 3.6 et 3.7, lexpression du facteur de qualit de la capacit

se rduit :

Q=

1
1
Qd

1+

Rs
Rp

1
Qc

(3.9)

La Figure 3.4 montre les valeurs de Q des capacits AVX Accu-P 0402. Pour 10 pF,
Q est meilleur que 100 1 GHz.
En considrant la condition arbitraire Z = 1/C , on constate que le facteur de
qualit Q diminue avec la frquence pour une impdance constante gale 50 . On
obtient Q 500 pour 10 pF 318 MHz, Q 450 pour 4,7 pF 677 MHz et Q 250
pour 2,2 pF 1,45 GHz. Cela est d laugmentation de la rsistance srie avec la
frquence, du fait du phnomne deffet de peau.
g - Constante de temps
Dans un circuit o une capacit idale C est connecte en srie une rsistance Rs ,
et une tension DC est applique, un temps est ncessaire pour charger le condensateur
la tension applique. La constante de temps est exprime par :
= Rs C.
76

(3.10)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 3.4: Variation typique du facteur de qualit des capacits AVX Accu-P 0402 en fonction
de la frquence.

h - Tension de claquage
La tension nominale indique sur un condensateur est la tension maximum que ce
dernier pourra supporter en permanence. En cas de dpassement de la tension maximale,
un claquage du dilectrique peut se produire. Certains dilectriques solides sont auto
cicatrisants, cest dire quils ne mettent pas les armatures du condensateur en courtcircuit aprs un claquage et celui-ci peut encore tre utilis. Cette tension, qui dpend de
la distance entre les armatures et de la nature du dilectrique, dfinit le type dapplication
du condensateur.
La rsistance aux surtensions est lie la rigidit dilectrique de lisolant et son paisseur. Pour certains matriaux la rigidit dilectrique varie fortement avec la temprature,
la frquence, lhygromtrie et lpaisseur de lisolant.
i - Coefficient de temprature
Le taux de variation de la capacit en fonction de la temprature est connu sous le
nom de coefficient de temprature (TC) exprim en particules par million par degr Celsius
(ppm/C). Une faible valeur de TC est dsirable pour la plupart des applications o la
stabilit du circuit en fonction de la temprature est importante. La valeur de TC peut
tre ngative ou positive. Les condensateurs faible valeur de capacit ont une valeur de
77

TC infrieure 50 ppm /C. La valeur de TC des condensateurs mtalliques utilisant

le Nitrure de Silicium comme isolant est de lordre de +30 ppm/C.

3.2

Etude thorique

Cette partie est consacre ltude thorique du modle complet dune capacit avec
tous ses lments parasites. Les parties relle et imaginaire de limpdance caractristique
quivalente sont explicites. La capacit effective et la frquence de rsonance sont calcules. Une mthode dextraction des diffrents lments partir de limpdance quivalente
base sur un calcul matriciel est galement propose.

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3.2.1

Impdance quivalente

Limpdance quivalente du circuit prsent sur la Figure 3.2 est donne par :


Rp2 C
Rp
+ j Ls
Z = Rs +
.
1 + Rp2 C 2 2
1 + Rp2 C 2 2

(3.11)

La partie relle de limpdance quivalente scrit :

Re[Z] = Rs +

Rp
.
1 + Rp2 C 2 2

(3.12)

Daprs lgalit 3.12, la rsistance parallle a une influence sur la partie relle de
limpdance uniquement pour les basses frquences. Par contre la rsistance srie Rs est
masque vers les basses frquences par la valeur importante de Rp et ne peut tre vue
quen hautes frquences. En effet, on a :
Re[Z]0 = Rs + Rp

(3.13)

et
Re[Z] = Rs .

(3.14)

La partie imaginaire de limpdance quivalente scrit :


Im[Z] =

Rp2 C
Ls
1 + Rp2 C 2 2


.

(3.15)

Leffet de linductance est important pour les hautes frquences quand Ls nest pas
ngligeable.
78

La Figure 3.5 compare le module de limpdance dune capacit C=2 pF avec les
parasites Ls =0,25 nH, Rs =0,2 , Rp =15 K en comparaison avec celle de la capacit
idale. Le module de limpdance quivalente sannule la frquence de rsonance pour
laquelle une variation de phase brutale de -90 +90est observe. En effet, la frquence
de rsonance qui a lieu autour de 7 GHz, marque la transition du comportement capacitif
marqu par la phase de -90au comportement inductif exprim par la phase positive.
Lcart entre les impdances est croissant pour les frquences infrieures la frquence de
rsonance.
100
Modle complet
Capacit idale

| Z | (Ohms)

30

50

phase [Z]

phase [Z] ()

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40

20

10

-50

-100
2

10

12

Frquence (GHz)
Figure 3.5: Evolution du module de limpdance et de langle dune capacit C=2 pF avec les
parasites Ls =0,25 nH , Rs =0,2 , et Rp =15 K en comparaison avec limpdance de la capacit
idale.

La frquence de rsonance, solution de lquation Im[Z] = 0, est donne par :

1
fs =
2

Rp2 C

Ls
1
=
2
2
Ls Rp C
2

Ls
Rp2 C

Ls C

(3.16)

Lorsque la valeur de la rsistance Rp est importante, la frquence de rsonance du

circuit rsonnant LC gale 1/ Ls C est retrouve. La rsonance dune capacit de valeur

C=2 pF avec les parasites Ls =0,25 nH et Rp =15 K, a lieu la frquence de 7,1 GHz.
Cette frquence de rsonance est retrouve sur la Figure 3.5, comme la frquence qui
annule le module de limpdance quivalente.
79

3.2.2

Capacit quivalente

La capacit quivalente est donne par :

C + R2 C1 2
1 2 Rp2 C
1
p
Ceq =
=
.
=
Im[Z]
L 2 Rp2 C 2 + L Rp2 C 2 4
1 R2LC L C 2

(3.17)

Si lon considre trs grande la rsistance parallle, limpdance de la capacit scrit

comme :
Ceq =

C
C
=
2
1 Ls C
1 (/s )2

(3.18)

la valeur de la capacit quivalente Ceq est suprieure la valeur intrinsque C. La Figure 3.6 illustre la croissance rapide de la capacit quivalente en fonction de la frquence
normalise par rapport la frquence de rsonance. Ce phnomne explique limportance
dune faible valeur de linductance parasite. Par exemple, une inductance parasite de 0,5
nH augmente de 10 % la valeur dune capacit de 6,8 pF 800 MHz pour une frquence
de rsonance est de 2,7 GHz.

9
8
7

Ceq /C

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avec s = 1/ Ls C la frquence de rsonance. Au dessous de la frquence de rsonance,

6
5
4
3
2
1
0

0,2

0,4

0,6
f/f

0,8

Figure 3.6: Evolution du rapport de la capacit quivalente sur sa valeur intrinsque dune capacit C=2 pF avec les parasites Ls =0,25 nH, Rs =0,2 , et Rp =15 K en fonction de la frquence
normalise par rapport la frquence de rsonance.

80

3.2.3

Extraction des lments de la capacit partir de la mesure

de limpdance quivalente

Les impdancemtres permettent une mesure directe de limpdance quivalente du

circuit test. Une mthode dextraction des valeurs des lments C, Ls , Rs et Rp partir
des parties relles et imaginaire de limpdance quivalente de la capacit est prsente
dans ce paragraphe.
En considrant dans un premier temps la partie relle de limpdance quivalente,
lquation 3.12 peut se mettre sous la forme :
Re[Z] = Rp2 C 2 2 Re[Z] + Rs Rp2 C 2 2 + Rs + Rp .

(3.19)

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Cette quation se transforme en :

Re[Z] = a1 2 Re[Z] + a2 2 + a3 .

(3.20)

avec a1 = Rp2 C 2 , a2 = Rs Rp2 C 2 , et a3 = Rs + Rp . Afin dextraire les variables a1 , a2 ,

et a3 partir de la mesure directe de la partie relle de limpdance, il faut au moins
trois mesures diffrentes de Re[Z]. Pour trois points de mesures correspondant trois
frquences diffrentes, cette galit se traduit sous forme matricielle :

Re[Z]1
a1
12 Re[Z]1 12 1

2
2
2 Re[Z]2 1 1 a2 = Re[Z]2

32 Re[Z]3 32 1
a3
Re[Z]3
Donc la matrice a est calcule par :

1
a1
Re[Z]1
12 Re[Z]1 12 1

a2 = Re[Z]2 22 Re[Z]2 22 1

2
2
a3
Re[Z]3
3 Re[Z]3 3 1

(3.21)

(3.22)

A partir des coefficients a1 , a2 et a3 , les paramtres Rs , Rp et C sont facilement calculs :

Rs =

a2
a1

Rp = a3 Rs = a3 +

(3.23)
a2
a1

s
r
a1
a1
C=
=
.
Rp
a3 + aa21
81

(3.24)
(3.25)

Dune faon similaire la partie imaginaire de Z se met sous la forme :

Im(Z) = b1 + b2 3 + b3 2 Im[Z]

(3.26)

avec b1 = L Rp2 C, b2 = LRp2 C 2 , et b3 = Rp2 C 2 .

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Sous forme matricielle, lgalit se rduit :

b1
Im[Z]1
1 13 12 Im[Z]1

2 23 22 Im[Z]2 b2 = Im[Z]2

3
2
3 3 3 Im[Z]3
b3
Im[Z]3
La matrice b est gale :
1

3
2
b
Im[Z]1
1 Im[Z]1

1
1 1

b2 = Im[Z]2 2 23 22 Im[Z]2 .

3
2
3 3 3 Im[Z]3
b3
Im[Z]3

(3.27)

(3.28)

Les coefficients b1 , b2 et b3 tant calculs, lextraction de Ls , Rp et C devient possible :

Ls =

b3
b2

(3.29)

b3
b3
=
b1 Ls
b1 bb32

b3
b3
Rp =
= b3 .
C
b3

C=

(3.30)
(3.31)

b1 b

3.3

Extraction en Basse Frquence

Dans cette partie, la mesure dune srie de capacits CMS de botier 0603 effectue
jusqu 1 MHz laide de limpdancemtre HP4294, est prsente. Les valeurs de la
capacit et de la rsistance parallle sont extraites avec une bonne prcision. Labsence
de sensibilit sur la partie imaginaire de limpdance par rapport linductance parasite
est observe exprimentalement et confirme par une tude de sensibilit.

3.3.1

Mesures

Une srie de condensateurs fournis par DLI et Murata de botier 0603 est caractrise
jusqu 1 MHz avec limpdancemtre HP4294. Les valeurs des capacits sont 1,5 - 1,8 2 et 2,2 pF pour les capacits DLI et 1,5 - 1,8 - 2 et 3 pF pour les capacits Murata.
82

Les mesures de la partie relle de Z ne sont pas suffisamment reproductibles, pour permettre une extraction fiable de Rs , par manque de sensibilit. Seule la partie imaginaire
de Z est donc exploitable. Pour ces faibles frquences, lextraction de la valeur de linductance parasite Ls est cependant difficile du fait dune sensibilit galement trop faible.
Ceci sera dmontr plus loin par ltude de sensibilit prsente dans le paragraphe 3.3.2.
La Figure 3.7 montre la partie imaginaire mesure de la capacit de valeur 1,8 pF avec la
partie imaginaire dune capacit de 1,73 pF et une rsistance parallle de valeur gale

Im [Z] (Ohms)

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5 M.

-2 10

-4 10

-6 10

-8 10

Modle (C & R )
p
Mesures

0,2

0,4

0,6

0,8

Frquence (MHz)
Figure 3.7: Partie imaginaire mesure de la capacit DLI de valeur 1,8 pF

Les Tableaux 3.1 et 3.2 rsument les valeurs mesures de la capacit relle, de la
rsistance parallle et de la tolrance des condensateurs mesurs. La tolrance varie de 3
5% pour les capacits DLI alors quelle passe de 5 6% pour les capacits Murata. La
rsistance parallle Rp est de 5 M et de 8 M pour les capacits Murata lexception
de la capacit de valeur 1,8 pF qui prsente une rsistance parallle de valeur de 4,2 M.

3.3.2

Etude de sensibilit

Une tude de sensibilit pour lextraction de la capacit C, la rsistance parallle Rp

et linductance srie Ls partir de la partie imaginaire de limpdance utilisant lanalyse
de Monte Carlo est mene. Les drives partielles de la partie imaginaire de limpdance
83

Valeur nominale (pF)

Valeur mesure (pF)

Rp (M)

Tolrance (%)

1,5

1,55

1,8

1,73

1,94

2,2

2,08

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Tableau 3.1: Mesures des capacits DLI.

Valeur nominale (pF)

Valeur mesure (pF)

Rp (M)

Tolrance (%)

1,5

1,58

9,8

1,8

1,81

4,2

2,1

9,9

2,82

8,8

Tableau 3.2: Mesures des capacits Murata

quivalente par rapport ces trois lments sont galement calcules. Le cas trait est
celui dune capacit C=2 pF avec les parasites Ls =0,25 nH , Rs =0,2 , et Rp =15 K.
Cette tude confirme les rsultats de mesure.
3.3.2.1

Capacit

La Figure 3.8 montre la simulation pour une analyse de Monte Carlo de la partie
imaginaire de limpdance pour une variation relative de la capacit gale 5% autour de
la valeur nominale.
La drive partielle de la partie imaginaire de limpdance caractristique Im[Z] par
rapport la valeur de la capacit C est donne par :
Rp2 (1 + Rp2 C 2 2 )
Im[Z]
=
.
C
(1 + Rp2 C 2 2 )2
La Figure 3.9 prsente la variation relative

Im[Z] C
/C
Im[Z]

(3.32)

pour un modle dune capacit

avec tous ses parasites. La Figure 3.9 montre que la variation relative de la partie imaginaire est proche de 90% de la variation relative de la capacit pour les faibles frquences
et pour les frquences suprieures 21 MHz. La variation relative de la partie imaginaire
de limpdance quivalente est plus faible que 50 % de la variation relative de la capacit
pour des frquences comprise entre 3 MHz et 10 MHz.
84

Im[Z] (Ohms)

-2 000
-4000

-6000

-8000
0

10

15

20

25

30

35

40

Figure 3.8: Etude de sensibilit sur la partie imaginaire de Z pour un modle dune capacit
C=2 pF avec les parasites Ls =0,25 nH, Rs =0,2 , Rp =15 K pour une variation de 5% de la
capacit.

1
0,8
Im[Z] C
/C
Im[Z]

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (MHz)

0,6
0,4
0,2
0
0

10

15

20

25

30

35

40

Frquence (MHz)
Figure 3.9: Evolution de la variation relative de la partie imaginaire de limpdance quivalente
Im[Z] C
Im[Z] / C par rapport la frquence pour un modle dune capacit C=2 pF avec les parasites
Ls =0,25 nH , Rs =0,2 , Rp =15 K.

3.3.2.2

Rsistance parallle

Lanalyse de Monte Carlo de la partie imaginaire de limpdance pour une variation

relative de 5% autour de la valeur nominale de la rsistance parallle est montre sur la
Figure 3.10.
La drive partielle de la partie imaginaire de limpdance quivalente par rapport
85

Im[Z] (Ohms)

-2 000
-4000

-6000

-8000
0

10

15

20

25

30

35

40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (MHz)
Figure 3.10: Etude de sensibilit sur la partie imaginaire de Z pour un modle dune capacit
C=2 pF avec les parasites Ls =0,25 nH, Rs =0,2 , Rp =15 K pour une variation de 5% de la
rsistance parallle parasite.

la rsistance parallle Rp est donne par :

2 Rp C
Im[Z]
=
Rp
(1 + Rp2 C 2 2 )2

(3.33)

La Figure 3.11 montre que la variation relative de la partie imaginaire Im[Z]$Im[Z]

dpasse 100% de la variation relative de la rsistance parallle parasite Rp /Rp pour les
basses frquences infrieures 5 MHz. La sensibilit de la partie imaginaire de limpdance
caractristique par rapport la valeur de la rsitance parasite est importante pour les
faibles frquences.
3.3.2.3

Inductance srie

La Figure 3.12 montre quune variation de 10% autour dune valeur de 0,25 nH de
linductance parasite ne prsente aucun effet sur la partie imaginaire de limpdance quivalente du circuit tudi. Il est donc clairement irraliste de vouloir extraire la valeur de
linductance parasite partir de la mesure de limpdance pour les faibles frquences.
En effet la drive partielle de la partie imaginaire de limpdance quivalente est gale
:
Im[Z]
= .
Ls

(3.34)

La sensibilit de la partie imaginaire par rapport la valeur de linductance parasite Ls

est trs faible pour les basses frquences. La Figure 3.13 montre que la variation relative
86

Im[Z] Rp
/ Rp
Im[Z]

1,5

0,5

0
0

10

15

20

25

30

35

40

Figure 3.11: Evolution de la variation relative de la partie imaginaire de limpdance quivalente

Im[Z] Rp
Im[Z] / Rp par rapport la frquence pour un modle dune capacit C=2 pF avec les parasites
Ls =0,25 nH , Rs =0,2 , Rp =15 K.

Im[Z] (Ohms)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (MHz)

-2 000
-4000

-6000

-8000
0

10

15

20

25

30

35

40

Frquence (MHz)
Figure 3.12: Etude de sensibilit sur la partie imaginaire de Z pour un modle dune capacit
C=2 pF avec les parasites Ls =0,25 nH, Rs =0,2 , Rp =15 K pour une variation de 10% sur
linductance parasite.

de la partie imaginaire de limpdance quivalente Im[Z] est plus faible que 0,003% de la
s
variation relative de la valeur de linductance Ls ( Im[Z]
< 0, 003 L
) pour les frquences
Im[Z]
Ls

infrieures 40 MHz.
Alors que la mesure en basse frquence assure une bonne prcision sur la valeur de la
capacit C et la rsistance parasite parallle Rp , lextraction de la rsistance srie Rs et de
87

Im[Z] Ls
/ Ls
Im[Z]

3 10

-5

2 10 -5

1 10

-5

0
0

10

15

20

25

30

35

40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (MHz)
Figure 3.13: Evolution de la variation relative de la partie imaginaire de limpdance quivalente
Im[Z] Ls
Im[Z] / Ls par rapport la frquence pour un modle dune capacit C=2 pF avec les parasites
Ls =0,25 nH , Rs =0,2 , Rp =15 K.

linductance parasite Ls est impossible en basse frquence. Le paragraphe suivant prsente

une mthode dextraction de ces deux lments laide de mesures Haute Frquence HF.

3.4

Extraction en Haute Frquence

Comme lextraction de tous les lments du modle complet est impossible en BF,
les capacits sont mesures en HF avec deux approches diffrentes. La premire consiste
en une mesure directe des paramtres S de la capacit branche en srie, alors que la
deuxime mesure les capacits insres dans un filtre passe-bas structure priodique
similaire la topologie prsente dans le Chapitre 2. Ltude montre que la prcision
dextraction est meilleure avec linsertion de la capacit dans le filtre passe-bas quavec
une simple capacit.

3.4.1

Capacit simple

Des capacits simples AVX 0402 insres en parallle sur des lignes microruban sur
un substrat RO4003 (r = 3, 38, h =813 m) ont t mesures avec un analyseur vectoriel
HP8510C. Nous avons utilis un calibrage TRL avec deux standards Line 40 MHz-3 GHz
et 3 GHz-30 GHz. La Figure 3.14 montre le dispositif utilis pour la mesure de la capacit
88

connecte un via de 600 m en parallle. Des plots de soudure de 0,6 mm 0,6 mm

ont t ajouts pour souder les capacits. Deux valeurs ont t testes : 2,7 pF et 1,5 pF.

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 3.14: Photographie du dispositif utilis pour mesurer la capacit CMS.

3.4.1.1

Capacit 2,7 pF

Les paramtres S mesurs sont compars avec la simulation dune capacit idale de
2,7 pF sur la Figure 3.15. Un dsaccord entre les mesures et les simulations est observ. La
frquence de rsonance mesure (2,5 GHz) est infrieure la frquence simule (3 GHz).
Le pic sur les mesures 3 GHz provient du calibrage TRL : cette frquence constitue
la frquence de chevauchement entre les deux standards Line utiliss pour la mesure. Un
modle complet compos de la capacit en srie avec linductance et la rsistance doit tre
adopt pour rtablir laccord entre les mesures et les simulations.
Un bon accord est obtenu avec une capacit de valeur 2,64 pF en srie avec une inductance de 0,54 nH (Figure 3.16), sauf pour les frquences suprieures 5 GHz. Linductance
parasite est due la capacit et au via. La rsistance parasite ne peut pas tre extraite
avec une prcision acceptable partir de cette mesure.
3.4.1.2

Capacit 1,5 pF

La Figure 3.17 compare les rsultats de mesures de la capacit en shunt de 1,5 pF avec
les simulations pour deux couples diffrents de valeurs de Ls et C [(C=1,5 pF ; Ls =0,6 nH)
et (C=1,56 pF (4%) ; Ls =0,52 nH)]. On remarque que pour les basses frquences, un
bon accord est assur dans les deux cas. Cela signifie quil existe une ambigut dans
lextraction de C et Ls avec pour consquence une divergence pour le modle large bande
lorsque la frquence augmente. Nous verrons que la mesure indirecte des capacits insres
au sein dun filtre permet de lever cette ambigut.
89

|S21 |&|S11 | (dB)

-5
-10
-15
-20
-25
-30
Simulations
Mesures

-35
-40
1

3
4
Frquence (GHz)

Figure 3.15: Comparaison des paramtres S de la capacit de 2,7 pF avec les simulations dune
capacit idale.

0
-5

|S21 |&|S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

|S11 |

-10

|S21 |

-15
-20
-25
-30

Mesures
Simulations

-35
-40

3
4
Frquence (GHz)

Figure 3.16: Comparaison des paramtres S de la capacit de 2,7 pF avec les simulations dune
capacit C=2,64 pF et L=0,54 nH.

3.4.2

Capacit insre dans un filtre passe-bas

Dans le Chapitre 2, la forte sensibilit de la frquence de coupure du filtre passe-bas

envers la valeur de la capacit a t dmontre. Le filtre passe-bas constitue donc un
dispositif prcis de caractrisation de la capacit. Dans ce paragraphe, une structure priodique de trois cellules est utilise pour extraire le modle de la capacit. La structure
est constitue dune ligne dimpdance caractristique gale 120 charge par les capa90

|S11 |

|S21 |&|S11 | (dB)

-5
-10

|S21 |
-15
-20

Mesures
Simulations C=1,5 pF L =0,6 nH

-25

Simulations C=1,56 pF L =0,5 nH

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-30

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 3.17: Comparaison des paramtres S de la capacit de 1,5 pF avec les simulations avec
(C=1,5 pF ; Ls =0,6 nH) et(C=1,56 pF ; Ls =0,52 nH).

cits caractriser. Une ligne de largeur 250 m permet de raliser une ligne microruban
dimpdance 120 sur un substrat RO4003 (r = 3, 38, h =813 m). Quatre valeurs de
capacits ont t insres dans des filtres passe-bas et caractrises. Les capacits, les
frquences de coupure et les longueurs lectriques des lignes sont rsumes dans le Tableau 3.3. La Figure 3.18 montre la photographie du filtre passe-bas 3 ralis partir
Valeur nominale (pF)

frquence de coupure fc (GHz)

() @fc

0,4

50

1,8

1,7

62

3,9

1,1

44

6,8

0,7

50

Tableau 3.3: Valeurs des capacitances et des longueurs lectriques des filtres passe-bas.

des capacits de valeur 3,9 pF.

La rponse en frquence du filtre passe-bas ralis avec les capacits de 6,8 pF est
compare avec les simulations en utilisant dans un premier temps un modle idal de la
capacit sur les Figures 3.19 et 3.20. La Figure 3.20, qui reprsente un zoom entre 0,2 GHz
et 1,2 GHz, montre que la frquence de coupure mesure (0,65 GHz) est plus faible que
prvu. Lcart observ sur la frquence de coupure montre que la valeur de la capacit
91

Figure 3.18: Photographie du filtre passe-bas 3 ralis partir des capacits de valeur 3,9 pF.

effective est suprieure la valeur nominale de 6,8 pF.

-5

|S21 |&|S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-10
-15
-20
-25
-30
Mesures
Simulations

-35
-40
0

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 3.19: Comparaison des paramtres S mesurs du filtre passe-bas ralis avec des capacits
de 6,8 pF, avec les simulations pour une capacit idale.

Les Figures 3.21 et 3.22 comparent les mesures du filtre passe-bas trois cellules
avec les simulations avec une valeur de capacit idale de 7,2 pF. Cette valeur permet de
retrouver la frquence de coupure de 0,65 GHz sans retrouver la pente du filtre mesur
ni les frquences des lobes secondaires. On conclut donc clairement que le modle de la
capacit idale nest pas suffisant pour accorder les simulations aux mesures. En effet, il
faut adopter comme on la vu un modle avec une inductance parasite dont la capacit
quivalente est gale 7,2pF 0,65 GHz qui permettra daugmenter la slectivit du
filtre. Lorsque la valeur de linductance parasite augmente, la slectivit du filtre augmente
puisque le zro de transmission cr la rsonance du circuit LC se dcale vers les basses
92

|S21 |&|S11 | (dB)

-5
-10

Mesures
Simulations

-15
-20
-25
-30
-35
-40
0,2

0,4

0,6

0,8

1,2

Figure 3.20: Comparaison des paramtres S mesurs du filtre passe-bas ralis avec des capacits
de 6,8 pF, avec les simulations pour une capacit idale, jusqu 1,2 GHz.

0
-5

|S21 |&|S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)

Simulations
Mesures

-10
-15
-20
-25
-30
-35
-40
0

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 3.21: Comparaison des paramtres S mesurs du filtre passe-bas ralis avec des capacits
de 6,8 pF, avec les simulations pour une capacit idale de 7,2 pF jusqu 10 GHz.

frquences.
La Figure 3.23 illustre la rponse frquentielle mesure et simule avec le modle
complet de la capacit. La capacit effective gale 7,2 pF 0,65 GHz est dtermine par
la mesure de la frquence de coupure du filtre passe-bas alors que la pente de rjection
permet dajuster avec une bonne prcision la valeur de linductance parasite. Comme
le montre la Figure 3.23, un bon accord entre la simulation et la mesure est obtenu en
93

|S21 |&|S11 | (dB)

-5
-10

Simulations
Mesures

-15
-20
-25
-30
-35
-40
0,4

0,6
0,8
Frquence (GHz)

1,2

Figure 3.22: Comparaison des paramtres S mesurs du filtre passe-bas ralis avec des capacits
de 6,8 pF, avec les simulations, pour une capacit idale de 7,2 pF jusqu 1,2 GHz.

considrant une capacit de valeur 6,87 pF et une inductance parasite de valeur 0,41 nH.
0

|S21 |&|S11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

0,2

-10
Simulations
Mesures
-20

-30

-40
0,2

0,4

0,6

0,8

1,2

Frquence (GHz)
Figure 3.23: Comparaison des paramtres S mesurs du filtre passe-bas raliss avec des capacits
de 6,8 pF avec les simulations avec une capacit C=6,87 pF et une inductance Ls =0,41 nH jusqu
1,2 GHz.

Alors que le lobe secondaire damplitude -20 dB mesur autour de 2 GHz nest pas
prvu par la simulation avec la capacit idale (Figure 3.19), lintroduction de linductance
parasite permet un meilleur accord avec les mesures concernant cette remonte parasite
comme le montre la Figure 3.24. Des lobes secondaires sont galement prvus au del de
94

4 GHz. Le dcalage des frquences des lobes secondaires provient principalement de la

dispersion de la capacit en hautes frquences.

|S21 |&|S11 | (dB)

-10

-20

-30
Simulations
Mesures

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-40
0

10

Frquence (GHz)
Figure 3.24: Comparaison des paramtres S mesurs du filtre passe-bas ralis avec des capacits
de 6,8 pF, avec les simulations pour une capacit C=6,87 pF et une inductance Ls =0,41 nH,
jusqu 10 GHz.

Alors que lextraction de la rsistance srie tait impossible par la mesure directe de
la capacit, linsertion de la capacit dans un filtre passe-bas permet dextraire avec une
bonne prcision la valeur de la rsistance srie parasite. La mesure des pertes dinsertion
dans la bande passante du filtre donnent la valeur de la rsistance srie comme le montre
la Figure 3.25. Pour les filtres mesurs, une rsistance parasite de 0,2 est extraite.
Les mmes conclusions sont obtenues sur les autres filtres pour dautres valeurs de
capacits. Le Tableau 3.4 rsume les valeurs extraites de la capacit, la tolrance et linductance parasite mesures. La tolrance est infrieure 2,5% avec une inductance srie
parasite moyenne de 0,5 nH. Pour la rsistance parasite srie Rs , nous obtenons dans tous
les cas Rs = 0, 2 .

3.4.3

Conclusion

En conclusion, les mesures en basses frquences permettent dextraire la valeur de la

capacit C et la valeur de la rsistance parallle Rp . En basses frquences, les valeurs de
la rsistance srie Rs et de linductance srie Ls sont difficiles identifier. Par contre, en
95

|S21 |&|S11 | (dB)

-0,5

-1
Simulations
Mesures

-1,5

-2
0,4

0,45

0,5

0,55

0,6

0,65

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.25: Comparaison des pertes dinsertion du filtre passe-bas ralis avec des capacits
de 6,8 pF avec les simulations pour une capacit C=6,87 pF et une inductance Ls =0,41 nH et
Rs =0,2 : zoom entre 0,4 et 0,65 GHz.

Valeur nominale (pF)

0,4

1,8

3,9

6,8

Valeur mesure (pF)

0,41

1,8

3,98

6,87

Ls (nH)

0,58

0,48

0,49

0,41

Tolrance (%)

2,5

2,2

1,1

Tableau 3.4: Valeurs des capacits et de linductance parasite extraites de la mesure des filtres
passe-bas.

hautes frquences, limpact des lments sries devient plus important. Deux approches
de mesure en haute frquence ont t considres. Ltude a montr que la mesure directe
dune capacit ne constitue pas une approche prcise de lextraction de linductance parasite Ls et la rsistance parasite Rs . En revanche, linsertion de la capacit dans un filtre
passe-bas a permis dobtenir des rsultats fiables et prcis sur tous les lments parasites
du modle concret de la capacit.

3.5

Filtres passe-bas intgrs capacit MIM

Lefficacit de la topologie de filtre structure priodique pour lextraction du modle

de la capacit de charge vient dtre dmontre. En pratique, il peut sagir aussi bien
dune capacit CMS que dune capacit interdigite, patch ou MIM.
96

La caractrisation dune capacit MIM constitue un moyen pratique et efficace dextraction des paramtres des matriaux utiliss dans la ralisation des capacits MIM. La
mesure de la capacit insre dans un filtre passe-bas assure une meilleure prcision sur la
caractrisation des pertes dilectriques quune capacit simple. Ce principe est appliqu
pour caractriser le STO et modliser ses pertes dilectriques. Le travail prsent sintgre
dans une collaboration entre E. Defay du CEA-LETI, C. Valle du LTM et lIMEP-LAHC.

3.5.1

Prsentation de la technologie

Lempilement complet est schmatis sur la Figure 3.26 avec les diffrentes tapes de
fabrication. Quatre couches sont dposes sous le dilectrique : le Silicium, le SiO2 , le

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Platine et le Cuivre. Le substrat Silicium sert de support lensemble de la structure. La

couche de passivation de SiO2 assure la fois lisolation lectrique et le rle de barrire
la diffusion des atomes de Silicium qui auraient tendance migrer vers le STO durant
les diffrents traitements thermiques imposs lensemble de la structure. Cette couche a
une paisseur de 1 m.
Llectrode infrieure est un empilement de 1 m de Cuivre et de 100 nm de Platine. La
ligne de Platine doit dborder de quelques microns la ligne en Cuivre pour une meilleure
protection de la ligne en Cu. Le Platine est utilis pour sa proprit de mtal noble donc
difficile oxyder et pour son paramtre de maille proche de celui du STO.
Le STO est ensuite dpos avec un dbordement de 10 m par rapport au Platine afin
dempcher la cration de courts-circuits, llectrode suprieure tant constitue dune
couche de 1 m dAu.

3.5.2

Topologie du filtre tudi

Ltude des pertes est effectue sur un filtre passe-bas deux cellules dont le circuit
lectrique est donn sur la Figure 3.27. En utilisant une impdance caractristique des
lignes Z0 =170 , les valeurs des paramtres optimiss pour une frquence de coupure du
passe-bas fc =10 GHz sont les suivantes : 1 = 17, 2 = 36@10 GHz et Cp =0,5 pF.
Une ligne CPW avec conducteur en or (Au), dpaisseur T gale 1 m, dimpdance
caractristique de 170 sur Silicium, est obtenue pour les dimensions gomtriques suivantes : W=20 m et G=970 m. Une capacit de valeur 0,5 pF est obtenue pour une
97

SiO2

SiO2

Si

Si

(a)

(b)

Cu

Pt
SiO2

Cu

SiO2

Si

Si

(c)

(d)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Au
STO
Pt

Cu

Au

STO
Pt
SiO2

Cu

SiO2

Si

Si

(e)

( f)

Cu

Figure 3.26: Empilement. (a) Dpt SiO2 , Lithographie, Gravure SiO2 . (b) Dpt Cu. (c) CMP.
(d) Dpt Pt, Lithographie, Gravure Pt. (e) Dpt STO, Lithographie, Gravure STO, recuit. (f)
Dpt Au, Lithographie, Gravure.

surface S=225 m2 , lpaisseur du STO tant fixe d=0,4 m (r =100). La Figure 3.28
prsente les coupes dans le plan vertical du filtre au niveau de la capacit parallle et
des lignes de transmission. Les longueurs gomtriques sont les suivantes : L1 =675 m,
L2 =1,43 mm et Lc =11 m, ce qui correspond une longueur totale Lt gale 2,8 mm.
La Figure 3.29 montre les rsultats de simulation lectrique utilisant des lignes CPW
et des capacits idales sans pertes du filtre tudi. La pente de rjection est alors de
103 dB/dcade et les pertes dans la bande passante varient entre 0,4 dB et 0,7 dB entre
1 et 8 GHz.

3.5.3

Pertes conductrices

Dans le paragraphe prcdent, le modle de capacits sans pertes a t considr. La

Figure 3.28 (a) montre quil faut tenir compte des deux rsistances Rs en parallle des
aux tronons de lignes en Cu-Pt, en srie avec la capacit. La rsistance dun barreau
98

Figure 3.27: Circuit lectrique du filtre passe-bas deux cellules.

G W G

G W G

Au
Pt
STO

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Si

Si

Cu
SIO2

(a)

(b)

Figure 3.28: Coupe vertical du filtre au niveau (a) capacit (b) ligne.

mtallique dpend des proprits du conducteur et des dimensions. Elle est calcule comme
suit :
Rs =

`
1 `
G
=
=
A
A
WT

(3.35)

o est la rsistivit du conducteur en .m, la conductivit exprime en S/m et A

la surface de la section. Lapplication numrique donne une valeur de 2,9 dans le cas
considr.
Deux rsistances en parallle connectes en srie avec la capacit sont ainsi ajoutes sur
le circuit simul. La Figure 3.30 montre leffet de la rsistance srie sur les pertes autour
de la frquence de coupure du filtre. Avec une rsistance de 2,9 , les pertes passent de
0,7 1,4 dB @ 8 GHz.

3.5.4

Pertes Dilectriques

Afin de tenir compte des pertes dilectriques du STO, une rsistance parallle la capacit dont la valeur est donne par la formule Rp = 1/(C tan ) est ajoute au circuit simul. Comme les pertes dilectriques du STO varient entre 3% et 10 % (0,03<tan()<0,1).
99

|S21 |&|S11 | (dB)

-5
-10
-15
-20
-25

|S21 |

-30

|S11 |

-35
-40
0

10

15

20

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.29: Paramtres S du filtre simul avec des lignes de 170 de longueurs 1 =17,
2 =36@10 GHz et une capacit Cp =0,5 pF.

Les valeurs extrmes suivantes ont t tudies :

R = 1K
p
tan() = 0, 03
Q = 1 = 33, 3@10 GHz
tan()
et

R = 0, 3 K
p
tan() = 0, 1
Q = 1 = 10@10 GHz.
tan()
Afin dtudier les pertes dilectriques de la capacit, le cas dune capacit possdant

une rsistance parallle constante avec la frquence et celui dune capacit facteur de
qualit constant sont considrs. Le modle exact de la capacit MIM tant inconnu, les
mesures trancheront et prciseront le modle rel de la capacit MIM. Ltude suivante
fournira une comparaison des rsultats entre les deux cas.
3.5.4.1

Modle avec rsistance parallle constante

Dans le but de pouvoir sparer les pertes dilectriques des pertes conductrices de la
capacit MIM, six cas diffrents rsums dans le Tableau 3.5 ont t simuls.
Les rsultats des simulations sont donns sur des figures diffrentes pour plus de clart
(Figures 3.31 et 3.32). Sur la Figure 3.31, on considre le cas Q =10 (tan()=0,1) et sur
la Figure 3.32 le cas Q =33 (tan() = 0, 03). Leffet des pertes dilectriques apparat vers
100

|S21 | (dB)

-5
-10
0

-15

-1

-20
-25

-2

-30
-3

-35

2,5

7,5

10

-40
0

10

15

20

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.30: Influence de la rsistance srie Rs gale 2,9 sur la rponse du filtre.

Rs ()

cas sans pertes

cas sans pertes dilectriques

2,9

cas sans pertes conductrices

10

cas sans pertes conductrices

33

cas avec pertes

2,9

10

cas avec pertes

2,9

33

Tableau 3.5: Cas des pertes simuls.

les basses frquences : les pertes sont de 1,8 dB autour de 1 GHz pour Q =10 et 0,4 dB
pour Q =33.
Limpact des pertes est galement important sur le paramtre de rflexion S11 . On
conclue donc que les pertes dilectriques ne sont pas masques par les pertes conductrices
et peuvent tre dissocies, mme pour les pertes dilectriques les plus faibles (tan()=0,03).
3.5.4.2

Modle de facteur de qualit constant

On modlise les pertes dilectriques par une rsistance parallle proportionnelle la

frquence. La capacit tudie est donc facteur de qualit constant.
Nous tudions limpact des pertes dilectriques pour Q=10 (tan()=0,01) et Q=33
101

|S21 | (dB)

-1
-2
-3

Q= Rs=0
Q= Rs=2,9 Ohms
Q=10 Rs=0
Q=10 Rs=2,9 Ohms

-4
-5
0

3,75

7,5

11,25

15

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.31: Simulations du module |S21 |. Etude de linfluence mutuelle dune rsistance srie Rs
de 0,29 et dune rsistance parallle constante pour Q=10 et Q=.

(tan()=0,03), avec ou sans pertes conductrices (Rs = 2, 9 ). Le rsultat de simulation

est prsent sur la Figure 3.33.
Limpact des pertes dilectriques est le mme que celui des pertes conductrices sur le
module du paramtre S21 . En particulier, les rponses pour Q =33 et Rs =0 ou Q =
et Rs =2,9 sont presque confondues. Ceci signifie quil sera trs difficile de dissocier les
pertes dilectriques des pertes conductrices dans le cas dun modle facteur de qualit
Q constant.
Cette forme de rponse tait attendue du fait que Rp =

Q
C

diminue lorsque la fr-

quence augmente si lon considre Q=cte, ce qui entrane une augmentation des pertes
avec la frquence.
Cette tude confirme que lutilisation du filtre passe-bas permet de mettre en vidence
les pertes dilectriques du STO, que ce soit avec une modlisation par une rsistance
parallle proportionnelle la frquence ou une rsistante constante.
Par contre, dans le cas dun modle facteur de qualit Q constant, une ambigut
existe ne permettant pas de distinguer les pertes dilectriques des pertes conductrices.
Les mesures permettront videmment de faire le choix du modle concret. Mais dans le
cas dun modle Q constant ou dun modle mixte, il savre ncessaire de mesurer les
pertes conductrices indpendamment des pertes dilectriques par une autre mthode, afin
102

0
-0,5

|S21 | (dB)

-1
-1,5
Q=
Q=
Q=33
Q=33

-2
-2,5

Rs=0
Rs=2,9 Ohms
Rs=2,9 Ohms
Rs=2,9 Ohms

-3
0

3,75

7,5

11,25

15

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.32: Simulations du module |S21 |. Etude de linfluence mutuelle dune rsistance srie Rs
de 0,29 et dune rsistance parallle constante pour Q=33 et Q=.

de pouvoir extraire les pertes dilectriques. Pour ceci, des filtres capacits MIM base
de matriaux connus prsentant de faibles pertes dilectriques sont conus pour servir de
rfrence.
Il est galement vident que plus les pertes conductrices seront faibles, et plus la
prcision sur lextraction des pertes dilectriques sera bonne. Nous proposons ainsi dans
les paragraphes qui suivent des solutions visant minimiser les pertes conductrices.
Deux solutions sont proposes pour minimiser les pertes conductrices :
a- Diminuer le gap G
Daprs lquation 3.35, la rsistance srie Rs diminue lorsque G diminue. Mais la
rduction du gap dune ligne CPW entrane la rduction de limpdance caractristique
de la ligne. Comme ltude prsente dans le Chapitre 2 a dmontr que la longueur
lectrique crot lorsque limpdance caractristique diminue, le filtre sera plus long. Le
but ntant pas ici de raliser un filtre le plus compact possible, nous pouvons envisager
de diminuer le gap.
Le Tableau 3.6 montre la dcroissance de limpdance caractristique et de la rsistance
Rs avec une croissance des pertes conductrices de la ligne et des longueurs physiques en
fonction de la largeur du gap G. La rsistance Rs passe de 2,9 1,2 grce une
rduction du gap de 970 394 m. La longueur totale du filtre est de 3,22 mm au lieu de
103

0
-0,5

|S21 | (dB)

-1
-1,5
-2

Q=
Q=33
Q=10

-2,5
-3
0

12

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.33: Simulations des pertes du filtre pour le modle avec facteur de qualit constant, avec
et sans rsistance srie, pour Qd = 10, 33 et .

2,77 soit une augmentation de 16%.

G(m)

Zc ()

(dB/m)

L1 (mm)

L2 (mm)

Rs ()

970

170

0,21

0,67

1,43

2,9

653

150

0,23

0,75

1,5

1,9

394

130

0,25

0,8

1,63

1,2

Tableau 3.6: Valeurs de limpdance caractristique Zc , lattnuation , les longueurs des lignes
L1 et L2 et la rsistance srie Rs suivant les valeurs du gap G

La Figure 3.34 montre limpact de la rsistance de 1,2 sur les pertes simules pour
diffrentes valeurs du facteur de qualit Qd . Ltude est ralise dans le cas dun facteur
de qualit constant o la dissociation des pertes dilectriques et conductrices tait difficile
pour une valeur plus importante de la rsistance srie. Les pertes dilectriques sont
prsent suprieures aux pertes conductrices, mme pour Qd =33. Lintrt de la rduction
de limpdance caractristique est donc vident.
b- Augmenter la section du tronon
La rduction de Rs peut tre galement ralise par laugmentation de la section du
tronon rsistif. Lide est dutiliser des accs trapzoidaux avec un angle douverture .
La Figure 3.35 donne une vue de dessus des accs trapzodaux proposs. La rsistance
104

|S21 | (dB)

-0,5
-1
-1,5
Q=

-2

Q=10
Q=33

-2,5
-3
0

10

12

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 3.34: Pertes du filtre simul avec une impdance caractristique de 130 pour Qd = 10,
33 et , Rs =0 et Rs =2,9 .

srie dans ce cas scrit sous forme dune intgrale :

Rs =
2T

G
Lc
2

dx
+ tan()x

(3.36)

Le calcul de lintgrale donne :



2G tan

Rs =
log 1 +
.
2T tan
Lc

(3.37)

Au
Pt

Lc

STO
Cu
SIO2

Figure 3.35: Configuration du filtre avec des accs en forme de trapze.

Le Tableau 3.7 donne les valeurs de la base du trapze b et de la rsistance Rs en

fonction de langle douverture . Avec un angle douverture de 5, la rsistance srie est
105

de 0,5 . La Figure 3.36 donne les rsultats de simulation du module de S21 . La valeur
faible de la rsistance srie permettra une extraction plus prcise des pertes dilectriques,
mme dans la cas dun facteur de qualit Qd = 33.
()

b (m)

Rs ()

1,8

73

200

0,5

Tableau 3.7: Valeurs de la largeur de la base b et de la rsistance srie Rs pour =1,8 et 5.

|S21 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-0,5
-1
-1,5
Q=
Q=10
Q=33

-2
-2,5
-3
0

10

12

Frquence (GHz)
Figure 3.36: Simulations du filtre avec des tronons sous forme de trapze ayant un angle douverture de 5pour Qd = 10, 33 et .

3.5.5

Conception des filtres

Deux technologies ont t envisages pour la ralisation des filtres : CPW et CPS
(Coplanar Strip).
Le choix de raliser ces filtres en technologie CPS, prsente dans le paragraphe 1.2.3, a
t dict par un problme spcifique la technologie CPW dans le cadre de la ralisation
de capacits parallles : la rsistance de dispersion ou spreading resistance. Plusieurs
tudes [135138] mentionnent la prsence des pertes lies la sparation du courant sous
le conducteur central au niveau des capacits. Ces pertes sont modlises videmment par
une rsistance.
106

Malheureusement, nous ne disposons pas dune mthode permettant destimer la valeur

de cette rsistance. Pour cette raison, nous avons donc dcid de raliser galement les
filtres en technologie CPS afin dtre certains de disposer de mthodes fiables, et finir
peut-tre dextraire la valeur de la rsistance de dispersion en comparant les mesures en
CPW et celles en CPS. Par contre, les modles des lignes CPS ntant pas disponibles en
circuit, ceci a ncessit un recours massif la simulation lectromagntique.
3.5.5.1

Filtres en technologie CPW

Ltude des pertes conductrices a dmontr lintrt de lutilisation dune impdance

caractristique modrment leve (116 au lieu de 170 initialement) et des tronons

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

trapzodaux. Des filtres en technologie CPW ont t conus pour des frquences de
coupure de 5 et 10 GHz. Limpdance caractristique des lignes CPW gale 116 est
obtenue avec des lignes de largeur 20 m et une fente gale 290 m. Les quations de
conception du filtre passe-bas prsentes dans le chapitre 2 donnent une capacit parallle
de 0,467 pF et des longueurs lectriques 10 GHz =30. Loptimisation du filtre deux
cellules est obtenue avec une valeur de la capacit Cp =0,45 pF et des lignes de longueurs
lectriques 10 GHz 1 =27et 2 =55. Pour une paisseur d de 0,4 m de STO, la
capacit de 0,45 pF est ralise avec une surface de 20 m 10 m.
La simulation lectromagntique montre quun barreau de largeur 20m et de longueur
290 m est quivalent une inductance de 0,45 nH en srie avec une rsistance de 0,9 .
La capacit quivalente donne par lquation 3.17 gale 2,2 pF entrane un dcalage de
la frquence de coupure vers les basses frquences. En effet, la frquence de coupure passe
de 10 7,3 GHz. Une roptimisation est donc ncessaire afin de rajuster la frquence de
coupure en tenant compte de linductance parasite. Une capacit de 0,28 pF en srie avec
linductance de 0,45 nH permet de recaler la frquence de coupure 10 GHz. Signalons
que la roptimisation du filtre passe par plusieurs tapes puisque la rduction de la valeur
de la capacit entrane la rduction de sa largeur Lc dont dpend directement la valeur
de linductance parasite. Plusieurs simulations successives sont utiles pour retrouver la
rponse voulue.
Afin de minimiser la rsistance parasite de 0,9 , des accs trapzodaux sont adopts
avec les angles douverture 1, 5et 10. Des filtres possdant une frquence de coupure
107

gale 5 GHz sont galement optimiss. Les Figures 3.37 et 3.38 montrent le layout
gnral du filtre optimis en technologie CPW. Les filtres sont conus pour une mesure
avec un calibrage TRL o les accs sont de 1 mm de longueur (2500m). Les dimensions

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

gomtriques des filtres optimiss sont donnes dans le Tableau 3.8.

Figure 3.37: Layout du filtre CPW.

Figure 3.38: Zoom (a) au niveau des accs (b) au niveau de la capacit.

3.5.5.2

Filtres en technologie CPS

Comme nous lavons soulign prcdemment, les lignes CPS sont utiliss pour contourner le problme de la rsistance de dispersion qui rsulte de la division du courant dans
les lignes CPW.
108

fc (GHz)

L1 (mm)

L2 (mm)

Lc (m)

b1 (m)

b2 (m)

b3 (m)

1,09

3,01

20

30

71

122

10

0,5

1,3

8,6

16

57

108

Tableau 3.8: Valeurs des paramtres gomtriques des filtres CPW optimiss.

Des filtres en technologie CPS ont ainsi t conus. Les dimensions gomtriques a=60
m et b=120 m permettent de raliser une impdance de 114 [3]. Linductance parasite
de lordre de 0,04 nH est plus faible que celle des filtres CPW. Deux types daccs ont t
prvus afin dtablir la comparaison entre les mesures des lignes CPS avec des pointes GS
(Ground-Signal) et GSG (Ground-Signal-Ground). Le Layout du filtre CPS est montr

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

sur les Figures 3.39 et 3.40. Les valeurs des paramtres gomtriques optimiss des filtres
en technologie CPS sont prsentes dans le Tableau 3.9.

L1

L2

L1

Figure 3.39: Layout des filtres CPS.

Figure 3.40: Zoom (a) au niveau des accs (b) au niveau de la capacit.

Les dispositifs sont actuellement en cours de ralisation.

3.6

Conclusion

Ce chapitre a abord diffrentes approches de caractrisation de capacits. Les limitations de la mesure en basse frquence pour lextraction des lments sries parasites,
109

fc (GHz)

L1 (mm)

L2 (mm)

Lc (m)

b1 (m)

b2 (m)

b3 (m)

1,13

3,07

15

17

25

36

10

0,63

1,53

18

28

Tableau 3.9: Valeurs des paramtres gomtriques des filtres CPS optimiss.

ont t soulignes et confirmes par une analyse de Monte Carlo. La mesure directe de
la capacit en hautes frquences ne permet pas dobtenir une prcision acceptable sur les
valeurs de la capacit et de linductance parasite. De plus, lextraction de la rsistance
srie parasite demeure impossible avec une mesure directe. Par contre, linsertion des capacits dans un filtre passe-bas structure priodique constitue une approche efficace de

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

caractrisation et de modlisation des capacits quelque soit le type de capacit utilise.

En effet, la frquence de coupure du filtre fixe la capacit quivalente et la slectivit dtermine linductance parasite. Lvaluation de la rsistance srie, difficile avec une mesure
directe est directement dduite des pertes dinsertion dans la bande passante du filtre. On
pourra galement envisager lutilisation des filtres passe-bande qui sont plus sensibles au
facteur de qualit des capacits afin davoir une meilleure prcision sur lextraction de la
rsistance parasite.
Ce mme principe est utilis pour caractriser le matriau STO en terme de pertes
dilectriques. Ltude dun filtre passe-bas deux cellules avec des capacits MIM prouve
que les pertes dilectriques pourront tre estimes avec une bonne prcision si on limite
les pertes conductrices par lutilisation daccs trapzodaux pour connecter les capacits
et dune impdance caractristique de valeur modre. Une srie de filtres en technologies
CPW et CPS a t conue, avec des frquences de coupure de 5 et 10 GHz. Lutilisation
de la technologie CPS devrait permettre dvaluer la rsistance de dispersion spcifique
la technologie CPW.

110

Chapitre 4
Filtres passe-bande Ultra Large
Bande

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Ce dernier chapitre est consacr ltude de filtres passe-bande Ultra Large Bande
ayant des caractristiques intressantes en terme de performances lectriques et de compacit. Ces filtres sont obtenus par lamlioration de la topologie des filtres prsente
dans [1]. Le filtre de base consiste en une imbrication dune structure passe-haut stubs
dans un filtre passe-bas saut dimpdance.
Dans le Chapitre 2, nous avons mis en vidence les proprits intressantes quapporte
la topologie des lignes capacitivement charges en terme de compacit. Grce au phnomne donde lente inhrent ces lignes, leur utilisation sest fortement tendue dans le but
datteindre une bonne compacit de nombreux dispositifs [8,10,15,22,27,28,38,39,7072].
Dans ce mme but, des lignes capacitivement charges sont introduites pour remplacer
les lignes de faible impdance caractristique qui occupaient une large partie du filtre
prsent dans [1].
Le paragraphe 4.1 introduit la topologie de base. Le paragraphe 4.2 est consacr la
prsentation de la structure amliore. Une tude de sensibilit portant sur la tolrance
des capacits et la prcision de gravure dmontre ensuite la robustesse des filtres dans le
paragraphe 4.3.
Ensuite, une tude qui permet dobtenir une mthode de conception simple du filtre
passe-bande base sur la synthse de la ligne capacitivement charge prsente dans le
Chapitre 2, est dcrite dans le paragraphe 4.4. Cette mthode permet dobtenir une estimation grossire des diffrents paramtres qui est suffisante pour assurer une convergence
rapide de loptimisation ncessaire pour recaler les frquences de coupure et amliorer
111

ladaptation dans la bande passante.

Pour lobtention de rsultats pratiques de qualit, la caractrisation des capacits CMS
et des vias est une tape primordiale. Les mthodes de caractrisation des capacits CMS
ont t prsentes et un modle complet de la capacit CMS a t dvelopp dans le
Chapitre 3. Le paragraphe 4.5 prsente ensuite la caractrisation des vias base sur la
mesure dun stub court-circuit qui montre quune inductance parasite doit tre ajoute
au modle dADS. Trois filtres optimiss et mesurs sont prsents dans la dernire partie
du paragraphe 4.5. Les premiers rsultats obtenus sont intressants en terme de bonne
compacit et de pente de rjection.
Dans le paragraphe 4.6 rserv ltude de lorigine des lobes secondaires, une solution

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

de rjection de ces lobes vers les hautes frquences est propose. La mthode consiste
charger les stubs par une capacit en parallle. Ltude complte du filtre stubs chargs
est dveloppe dans cette partie et les mesures dun filtre bas sur cette topologie y sont
galement prsentes.
Enfin dans la paragraphe 4.7, nous prsentons des rsultats trs intressants en terme
de compacit, obtenus par simple repliement des stubs. Cette technique, applique deux
filtres prototypes, nous a permis dobtenir une miniaturisation du filtre importante, avec
une rduction de 70 et 75% de la taille du filtre par rapport celle du filtre stubs droits.

4.1
4.1.1

Principe de la topologie tudie

Prsentation de la topologie de base

Limbrication dun filtre passe-bas et dun filtre passe-haut constitue une mthode
simple de synthse des filtres passe-bande Ultra large Bande. Elle offre lavantage dun
contrle indpendant de chacune des frquences de coupure. La frquence de coupure
suprieure est fixe par le filtre passe-bas, alors que la frquence de coupure infrieure est
impose par le filtre passe-haut. Dans [1], deux filtres bass sur ce principe sont prsents.
Le filtre passe-bas est un filtre saut dimpdance alternant des lignes de forte et de faible
impdance caractristique. Le filtre passe-haut est un filtre stubs court-circuits spars
par des sections de longueur /4 jouant le rle dinverseurs dimpdance. Les filtres passebas et passe-haut sont conus avec les mthodes de synthse traditionnelles correspondant
112

 chaque type de filtre [13].

La bande passante relative du filtre prsent dans [1] dpasse 127% . Le layout du filtre
constitu de 4 patchs capacitifs et de 2 stubs court-circuits est prsent sur la Figure 4.1.
Les dimensions gomtriques du filtre, optimis pour une bande passante de 3 10 GHz,
sont notes sur la lgende de la Figure 4.1. Le filtre possde une longueur totale de 2 cm ce
qui correspond une longeur lectrique totale de 65 la frquence centrale de 5,5 GHz.
La comparaison entre les mesures et des simulations (Figure 4.2), montre un bon accord
pour les basses frquences. Laccord se dgrade vers les hautes frquences. Les pertes par

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

rflexion sont meilleures que -20 dB dans la bande passante.

Figure 4.1: Gomtrie du filtre 127% de bande passante. L1 =0,85 ; L2 =3,22 ; L3 =1,54 ;
L4 =3,39 ; L5 =2,27 ; Lstub =3,45 ; tout en mm.

Figure 4.2: Simulations et mesures du filtre optimis pour une bande passante relative de 127 %.

113

4.1.2

Prsentation de la topologie miniature semi-localise

Dans cette partie, la topologie prsente dans le paragraphe prcdent est modifie
afin datteindre une meilleure compacit et de meilleures performances lectriques. Les
tronons de ligne de faible impdance caractristique sont remplacs par des lignes de
propagation haute impdance charges par des capacits. Ceci constitue une approche
efficace de miniaturisation. Grce lintroduction de capacits CMS pour un prototype
hybride de filtre, la longueur du filtre est rduite de 60%. Lamlioration de la pente de
rjection basse frquence par laddition de capacits sries lentre et la sortie du filtre
est galement mise en uvre avec succs.

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

4.1.2.1

Compacit

Sur la Figure 4.1, on constate clairement que les patchs capacitifs occupent une large
portion de la surface du filtre. En effet, la longueur occupe par les lignes de faible impdance correspond un pourcentage de 66% de la longueur totale du filtre. Remplacer
ces lignes de faible impdance par des cellules capacitivement charges constitue donc une
approche efficace de miniaturisation. Un filtre passe-bande dont le circuit lectrique est
prsent sur la Figure 4.3 a t optimis pour une bande passante de 3 10 GHz sous
ADS. Dans le circuit simul, le modle des lignes microruban pertes, des T de jonctions
et des trous mtalliss sont utiliss. Les dimensions gomtriques optimises sont alors :
L1 =0,4 ; L2 =0,54 ; L3 =1,07 ; L4 =2,11 et Ls = 3, en mm. Les valeurs des capacits de
charges sont les suivantes : Cp1 =0,45 et Cp2 =0,55 pF. Le filtre fait donc une longueur
totale de 6,13 mm au lieu de 2 cm. Une rduction de longueur meilleure que 60% est
obtenue avec lintroduction des cellules de lignes capacitivement charges. Les paramtres

Figure 4.3: Circuit lectrique utilisant les cellules des lignes capacitivement charges.

S simuls jusqu 20 GHz du filtre charg 50 sont prsents sur la Figure 4.4. Les
114

pertes par rflexion sont meilleures que -19 dB assurant ainsi une bonne adaptation dans
la bande passante. La pente de rjection haute frquence est trs importante plus leve
que la pente de rjetion basse frquence. Alors que la pente de rjection haute frquence,
calcule entre -3 et -20 dB, est meilleure que 418 dB/dcade, la pente de rjection basse
frquence ne dpasse pas 28 dB/dcade. Le facteur de forme, dfini comme le rapport des
bandes passantes -20 dB et de -3 dB, est alors gal 1,46 :1.
0

|S 21 | & |S 11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-5
-10
-15
-20

|S

-25

|S

-30

21

11

|
|

-35
-40
0

10
Frquence (GHz)

15

20

Figure 4.4: Paramtres S simuls du circuit utilisant les cellules capacitivement charges.

4.1.2.2

Performances lectriques

Dans le but damliorer la rjection basse frquence, deux capacits sries sont ajoutes
lentre et la sortie du filtre pour mieux filtrer les basses frquences. Le circuit lectrique
du filtre complet est donn par la Figure 4.5. Une premire tude de sensibilit montre une

Figure 4.5: Circuit lectrique utilisant les cellules des lignes capacitivement charges et des capacits srie.

importante dgradation des performances du filtre selon la position de la capacit. Des

115

plots de soudure de 600 600 m2 compatibles avec le botier 0402 (1 mm 0,5 mm) de
la capacit CMS sont considrs dans la simulation du filtre. Les rsultats de simulation
sont prsents sur la Figure 4.6. Ladaptation est meilleure que 20 dB dans la bande
passante et les pentes de rjection sont respectivement de 89 et 435 dB/dcade pour les
basses et les hautes frquences. Le facteur de forme est ainsi amlior de 1,46 1,28 :1.

21

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

11

|S | & |S | (dB)

-5
-10

|S |

-15

|S |

21
11

-20
-25
-30
-35
-40

10
Frquence (GHz)

15

20

Figure 4.6: Paramtres S simuls du circuit utilisant les cellules capacitivement charges.

4.2

Conception dun filtre prototype en technologie hybride

Le paragraphe prcdent a dmontr lintrt de lintroduction des cellules capacitivement charges et des capacits sries aux extrmits du filtre pour lamlioration des
performances lectriques et la miniaturisation du filtre passe-bande Ultra Large Bande.
Ce paragraphe est consacr au dveloppement des quations de conception fournissant
une bonne approximation des valeurs des paramtres tudis.
Dans le but de simplification, les valeurs des longueurs lectriques des lignes et des
capacits de charge sont supposes identiques. La conception base sur ltude dune
structure parfaite (lignes de propagation sans pertes et capacits idales) seffectue en
deux tapes. Dans un premier temps, les critres fixant la frquence de coupure haute
sont dvelopps partir de ltude de la cellule lmentaire de la ligne capacitivement
116

charge. Ces critres fixent la longueur lectrique des tronons de lignes et la capacit
de charge Cp . Ensuite, la longueur du stub court-circuit s est dtermine compte tenu de
la frquence de coupure basse du filtre passe-bande. Ltude ci-dessous prsente les tapes
de conception dun filtre passe-bande hybride avec des frquences de coupure -3 dB de
0,5 et 2 GHz. Cette mthode sera utilise pour concevoir les deux filtres prsents dans
le paragraphe 4.4. Suite cette tude, une prcision de lordre de 20% est obtenue sur les
valeurs des lments du filtre passe-bande. Cette prcision suffit assurer une convergence
trs rapide lors de loptimisation du filtre complet.

4.2.1

Critre de dtermination de la frquence de coupure haute

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

La frquence de coupure haute du filtre passe-bande est dtermine par le filtre passebas. La cellule lmentaire du filtre passe-bas a t tudie dans le paragraphe 2.2 du
Chapitre 2. Les quations de synthse du filtre passe-bas sont donnes dans le paragraphe 2.3. Les expressions de ladmittance normalise de la capacit en parallle yc et la
longueur lectrique du tronon de ligne la frquence de coupure haute frquence fh
sont donnes par :
yC (fh ) = Zr Cp h =
s
= 4 arctan

3(1

z02 )

2
tan()
9z04

(4.1)
14z02

+ 9

(4.2)

Comme la longueur lectrique diminue lorsque limpdance caractristique augmente,

il est plus intressant dutiliser des lignes de forte impdance pour rduire lencombrement
du filtre. Par contre, les pertes dinsertion deviennent plus importantes et un compromis
est donc trouver pour la valeur de limpdance caractristique.
Limpdance caractristique choisie est de 120 pour une frquence de coupure fh de
2 GHz, les quations 4.1 et 4.2 donnent les valeurs suivantes pour ladmittance normalise,
la capacit de charge et la longueur lectrique : yh =1,48 ; Cp = 2,36 pF et =29. Avec ces
valeurs, un filtre passe-bas structure priodique compos de 4 cellules identiques dont le
circuit lectrique est donn par la Figure 4.7, a t simul. Les paramtres S du filtre passebas obtenu sont prsents sur la Figure 4.8. Le filtre prsente une frquence de coupure
-3 dB gale 1,92 GHz soit un dcalage de 4% par rapport la frquence de coupure
cherche. Par contre, le filtre souffre dune mauvaise adaptation dans la bande passante.
117

En effet, les pertes par rflexion sont de 9 dB 1,7 GHz. Ceci est d lutilisation de
cellules toutes identiques sans taprisation.

Figure 4.7: Circuit lectrique du filtre passe-bas avec 4 cellules.

21

11

| S | & | S | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-5
|S |

-10

21

|S 11 |

-15
-20
-25
-30
-35
-40
0

0,5

1,5

2,5

Frquence (GHz)
Figure 4.8: Simulations du filtre passe-bas avec 4 cellules avec Cp = 2,36 pF et =29.

4.2.2

Optimisation de la longueur lectrique du stub

La cellule lmentaire du filtre passe-bas tant dimensionne, le stub court-circuit fixe

la frquence de coupure basse du filtre passe-bande. La simulation montre quun stub de
longueur s =23@0,5 GHz donne une frquence de coupure basse fb de 0,5 GHz. Le stub
court-circuit rsonne la frquence pour laquelle sa longueur lectrique est quivalente
180. Le stub de 23@0,5 GHz rsonne donc la frquence de 4,1 GHz et ramne
un zro de transmission cette frquence. Comme ce zro de transmission est situ en
dehors de la bande passante, la rponse du filtre nest pas perturbe par la rsonance. Au
118

contraire, la pente de rjection haute frquence est augmente grce la prsence du zro
de transmission responsable de lapparition des remontes parasites.
La Figure 4.9 prsente le circuit du filtre passe-bande considr o toutes les sections
sont identiques.

La simulation du filtre passe-bande avec les paramtres obtenus (=29, s =23et

Cp = 2,36 pF) est donne sur la Figure 4.10. La frquence de coupure haute est gale
celle du filtre passe-bas et donc lerreur entre la valeur obtenue et cherche de la frquence
de coupure haute fh est de 4% (1,92 GHz au lieu de 2 GHz). Par contre, ladaptation
est mauvaise dans la bande passante puisque les pertes par rflexion slvent -9 dB
1,7 GHz.
0

|S 21| & |S 11| (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 4.9: Circuit lectrique du filtre passe-bande sections identiques.

-10

-20
|S |
21

-30

|S |
11

-40
0

0,5

1,5
2
Frquence (GHz)

2,5

Figure 4.10: Simulations du filtre passe-bande avec Cp = 2,36 pF, =29et s =23.

La roptimisation de la structure permet de rajuster la frquence de coupure haute

et damliorer ladaptation dans la bande passante. Pour la roptimisation, la longueur
119

1 ()

2 ()

3 ()

4 ()

Cp1 (pF)

Cp2 (pF)

Valeur optimise

22

22

28

60

2,25

2,35

Ecart

24

24

0,4

Tableau 4.1: Valeurs optimises

des lignes de transmission et la valeur des capacits en parallle ne sont plus identiques
(Figure 4.3). Le nombre de paramtres passe ainsi de 3 7, et ces nouveaux degrs
de libert vont permettre damliorer ladaptation dans la bande passante. Les valeurs
optimises des longueurs lectriques et des capacits ainsi que leur cart par rapport aux
valeurs calcules sont donnes dans le Tableau 4.1.

des longueurs lectriques et de la capacit de charge. Lcart entre les valeurs calcules
et optimises atteint 24 % dans le pire des cas. Les simulations du filtre optimis sont
donnes par la Figure 4.11. Laugmentation des degrs de libert permet de retrouver
les frquences de coupure cherches et permet damliorer ladaptation dans la bande
passante. les pertes par rflexion sont meilleures que -20 dB dans toute la bande passante.
Les capacits srie nont pas encore t ajoutes, ce qui explique la faible pente de rjection
basse frquence.

0
-5
|S 21 | & |S 11 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

On constate que les quations de synthse procurent une bonne estimation des valeurs

-10
-15
-20
-25
-30

|S |

-35

|S |

11
21

-40
0

0,5

1,5

2,5

Frquence (GHz)
Figure 4.11: Simulations du filtre passe-bande optimis.

120

4.2.3

Ajout des capacits srie

Les capacits srie Cs aux extrmits du filtre permettent daugmenter la pente de

rjection basse frquence du filtre. Limpdance de la capacit srie la frquence de
coupure basse doit tre ngligeable devant limpdance de rfrence afin de ne pas modifier
la frquence de coupure basse :
ZCs =

1
Zr
Cs LF

(4.3)

1
Zr LF

(4.4)

Cs 

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Pour une frquence de coupure basse de 0,5 GHz, la capacit Cs doit tre suprieure
6 pF pour un rapport de 10 entre limpdance de la capacit et limpdance de rfrence
(Cs  10 Zr 1 LF ).

4.2.4

Prise en compte des modles complets

Ensuite, le filtre global est optimis en prenant en compte les modles complets des
lignes microruban sur substrat RO4003 (r = 3, 38; h = 813 m ; tan() = 27.104 ),
des T de Jonctions, des vias modliss par ADS, des capacits normalises avec leur
modle complet et des plots de soudure. Les rsultats des simulations sont prsents sur
la Figure 4.12.
Les pentes de rjection basse et haute frquences sont respectivement de 75 et 266
dB/dcade ce qui donne un facteur de forme 1,3 :1. La valeur importante du facteur de
forme nest pas seulement due aux capacits srie. Linductance parasite de la capacit
CMS contribue augmenter la pente de rjection haute frquence puisquelle cre des
zros de transmission des frquences proches de la frquence de coupure haute. Leffet
de linductance parasite sera abord plus en dtail dans le paragraphe 4.5. La bande
passante -1 dB stend de 0,6 1,8 GHz avec des pertes dinsertion de 0,2 dB la
frquence centrale. Des remontes parasites apparaissent vers 6,1 GHz avec une amplitude
de -9 dB. Ladaptation dans la bande passante est meilleure que -20 dB.
Comme le montre la Figure 4.13, la variation du temps de groupe est infrieure 1,5
ns dans la bande passante.
121

|S 21| & | S 11| (dB)

-5
-10
-15

|S |
11

-20

|S |
21

-25
-30
-35
-40

3
4
Frquence (GHz)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 4.12: Simulation du filtre avec les modles complets.

Temps de groupe (ns)

2,5

1,5

0,5
0

0,5

1,5

Frquence (GHz)
Figure 4.13: Temps de groupe.

4.3

Etude de sensibilit

Afin de dterminer les contraintes de prcisions sur les longueurs gomtriques et de

tolrance sur les capacits, une tude de sensibilit avec une analyse de Monte Carlo
utilisant des variations uniformes sur les valeurs nominales a t mene. Les simulations
dmontrent que la tolrance sur la capacit en parallle constitue llment critique de la
conception du filtre passe-bande.
122

4.3.1

Longueur des lignes

La Figure 4.14 montre les modules des paramtres |S21 | et |S11 |, pour une variation
uniforme de 10 m autour de la valeur nominale de la longueur des lignes de transmission.
Ladaptation dans la bande passante nest pas dgrade. Les frquences de coupure haute

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

et basse frquence ne sont pas affectes.

Figure 4.14: Analyse de MonteCarlo avec une variation de 10 m sur la longueur des lignes de
transmission.

4.3.2

Tolrance des capacits en parallle

Les valeurs des capacits places en parallle sont modifies de 2,5% autour de leur
valeur nominale. Les rsultats de simulation sont donns sur la Figure 4.15. Les pertes
par reflexion slevent dans le pire des cas -18 dB. Ladaptation dans la bande passante
est ainsi lgrement dgrade. La frquence de coupure haute est modifie de 2,5 % dans
le pire des cas,alors que la frquence de coupure basse est seulement dcale de 1 %.
Limportante variation de la frquence de coupure haute tait videmment attendue du
fait que la frquence de coupure haute est inversement proportionnelle la valeur de la
capacit parallle (quation 4.1).
123

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 4.15: Analyse de MonteCarlo avec une variation de 2,5 % sur la valeur de la capacit en
parallle.

4.3.3

Tolrance des capacits en srie

Lorsque la capacit en srie est modifie de 2,5%, ladapataion est dgrade -18 dB
et la frquence de coupure basse est dcale de 0,5% autour de sa valeur (Figure 4.16).
Linfluence de la capacit srie est ngligeable sur la frquence de coupure haute du filtre
passe-bande. Ceci tait attendu, puisque les capacits sries ninterviennent que pour
renforcer la slectivit basse frquence et leur impdance est trs faible dans la bande
passante du filtre.

4.3.4

Etude des pertes

Cette partie traite de limpact des pertes du substrat et des capacits CMS sur les
pertes dinsertion dans la bande passante.
4.3.4.1

Pertes substrat

Les simulations prcdentes ont t effectues avec le substrat RO4003 dont les pertes
dilectriques sont donnes par tan()=0,0027. Linfluence des pertes dilectriques sur les
pertes dinsertion dans la bande passante est tudie sur la Figure 4.17. Les rsultats de
simulation de lignes sans pertes dilectriques, de lignes sur substrat RO4003 et de lignes
sur substrat FR4 (tan()=0,015) sont compars. La Figure 4.17 montre que une lgre
croissance des pertes dinsertion avec la tangente de pertes dilectriques. Lutilisation
124

-0,1
-0,12
-0,14

21

| S | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 4.16: Analyse de MonteCarlo avec 2,5 % sur la valeur de la capacit srie.

-0,16
sans pertes
RO4003
FR4

-0,18
-0,2
0,5

1,5

Frquence (GHz)
Figure 4.17: Simulation du paramtre S21 avec des lignes sans pertes, des lignes sur substrat
RO4003 et des lignes sur substrat FR4.

du substrat FR4 entrane nanmoins une dgradation des pertes dinsertion de 0,02 dB
ngligeable par rapport au substrat RO4003. Pour cette gamme de frquence, il nest donc
pas intressant dutiliser un substrat de meilleure qualit que le FR4. Fondamentalement,
cela est d au fait que le filtre prsent ne repose pas sur lutilisation de rsonateurs
coupls, avec ainsi une sensibilit moindre aux pertes des lignes de propagation.
125

4.3.4.2

Pertes lies aux capacits CMS

Jusqu prsent, un modle de capacits sans pertes a t considr. La mesure des

capacits prsente dans le Chapitre 3 a mis en vidence la prsence de la rsistance srie
parasite Rs de valeur gale 0,2 . La Figure 4.18 montre les rsultats de simulations
(|S21 |) pour une rsistance parasite srie Rs allant de 0 0,3 avec un pas de 0,1 .
Laugmentation des pertes dinsertion dans la bande passante en fonction de la frquence
est notable. En effet la rsistance srie de 0,3 entrane une augmentation des pertes
de 0,08 dB 0,7 GHz alors que les pertes dinsertion augmentent de 0,2 dB autour de
1,5 GHz. Ceci est d la dgradation du facteur de qualit des capacits CMS avec la

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

frquence.

-0,2

21

| S | (dB)

-0,1

Rs= 0 Ohms
Rs= 0,1 Ohms
Rs= 0,2 Ohms
Rs=0,3 Ohms

-0,3

-0,4
0,5

1,5

Frquence (GHz)
Figure 4.18: Paramtre S21 simul en tenant compte des pertes de la capacit avec un parameter
sweep de la rsistance srie de Rs allant de 0 0,3 .

Limpact des pertes de la capacit sur les pertes dinsertion du filtre passe-bande est
donc plus important que celui des pertes dilectriques. Ceci confirme quil nest pas utile
dutiliser substrat de haute qualit. Un substrat bas cot de type FR4 suffit.

4.4

Dispositifs raliss

Avant daborder la ralisation des filtres passe-bande, une caractrisation des capacits
et des vias est ncessaire. Dans le Chapitre 3, les capacits qui seront utiliss dans les
126

filtres optimiss ont t mesures et un modle rigoureux de la capacit a t dvelopp

dans le paragraphe 3.4.2. Dans ce paragraphe, la caractrisation des vias est suivie par la
roptimisation, la ralisation et la mesure de trois filtres Ultra Large Bande.

4.4.1

Caractrisation des vias

Le modle du Via dans ADS est quivalent un circuit form dune inductance en
srie avec une rsistance. Les expressions de linductance et de la rsistance sont donnes
par lanalyse numrique et les formules dveloppes dans [139]. Les pertes conductrices
et leffet de peau sont inclus dans le calcul de la rsistance. La valeur de la rsistance du

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

via modlise par ADS est trs faible et peut tre nglige. Lexpression de linductance
L dun via de rayon r sur un substrat dpaisseur h est donne par [139] :
"
#
!

h + r2 + h2
3
0
h log
+
r r2 + h2
L=
2
r
2

(4.5)

o 0 =4 107 est la permittivit du vide.

Le modle du via de diamtre 600 m sur substrat RO4003 qui sera utilis dans
les filtres ULB raliss a t tabli. Selon lquation 4.5, ce via est quivalent une
inductance de valeur 0,1 nH.
Un stub de 260 m de largeur et de 13,7 mm de longueur reli la masse par un
via a t ralis et mesur afin dextraire le modle rel du via. La Figure 4.19 compare
la mesure et la simulation du via. Un dcalage vers les basses frquences est not sur la
frquence de rsonance du stub thoriquement gale 6,9 GHz.
Une inductance de 0,27 nH doit tre ajoute au modle dADS pour rtablir laccord
entre les simulations et les mesures du module de S21 (Figure 4.20). Les simulations de la
phase de S21 de la Figure 4.21 confirment la valeur de linductance parasite.
En rsum, la caractrisation du via consiste mesurer le paramtre S21 (module et
phase) dun stub en court-circuit, de largeur 260 m et de longueur 13,7 mm, termin par
un via. Les mesures ont montr quune inductance parasite de 0,27 nH doit tre ajoute
en srie avec le modle du via dADS pour avoir le meilleur accord entre les simulations
et les mesures.
Les modles tant prsent tablis, la suite consiste, en tenant compte des modles
complets des lignes microruban pertes, T de jonctions, plots de soudure, trous mtalliss
127

10

|S 21| (dB)

0
-10
-20
Mesures

-30

Simulations
-40
5

7
8
Frquence (GHz)

10

Figure 4.19: Comparaison du module du paramtre S21 du stub de 260 m de largeur et de

13,7 mm mesur et simul avec le modle du via dADS.

10
0
|S 21| (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-10
-20
Mesures
Simulations (L=0,27 nH)
Simulations (L=0 nH)

-30
-40
4

7
8
Frquence (GHz)

10

Figure 4.20: Comparaison des mesures du module de S21 avec le via dADS simul en srie avec
une inductance parasite de 0,27 nH.

et capacits, optimiser les filtres ULB sous ADS.

4.4.2

Prsentation des filtres raliss

Deux filtres ULB avec une bande passante relative -3dB de 142 et 150 %, respectivement centrs 0,77 GHz (Filtre A) et 1 GHz (Filtre B), ont t conus et raliss
sur substrat RO4003 (r = 3, 38; h = 813 m ; tan() = 27.104 ; conducteur Cuivre ;
128

50

Phase [S 21] ()

-50

-100

Mesures
Simulations (L=0.27 nH)
Simulations (L=0 nH)

-150

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

7
8
Frquence (GHz)

10

Figure 4.21: Comparaison des mesures et des simulations de la phase de S21 avec le via dADS
simul en srie avec une inductance parasite de 0,27 nH.

t=35m).Les rsultats des filtres prsents dans cette partie ont donn lieu deux publications dans des confrences interantionales [140, 141] et une confrence nationale [142].
Le Tableau 4.2 donne la valeur des longueurs lectriques et des capacits des filtres.
La longueur totale des filtres est de 3,7 cm (Filtre A) et 2,9 cm (Filtre B).
1 ()

2 ()

3 ()

4 ()

s ()

Cp1 (pF)

Cp2 (pF)

Cs (pF)

Filtre A

17

26

12

1,8

3,9

6,8

Filtre B

14

16

19

13

1,5

2,7

4,7

Tableau 4.2: Valeurs des longueurs lectriques et des capacits des filtres A et B.

La Figure 4.22 prsente la photo du filtre A.

Figure 4.22: Photographie du filtre A.

129

4.4.3

Mesures

La Figure 4.23 montre les rsultats de mesure obtenus du filtre A (0,4-1,5 GHz) compars avec les simulations jusqu 2 GHz. Laccord entre les simulations et les mesures est
trs bon dans la bande passante. Les pertes dinsertion sont infrieures 0,2 dB au milieu
de la bande passante et ladaptation (|S11 |) est meilleure que 18 dB.
La Figure 4.24 montre la mesure large bande, de 0,3 10 GHz. Un lger dcalage
concernant le premier lobe secondaire entre les mesures et les simulations est observ. Le
lobe secondaire apparat autour de 4,5 GHz, soit 3 fois la frquence de coupure haute.
Le dsaccord entre les simulations et les mesures provient du manque de prcision du

dans le paragraphe 4.5.1. La mesure du temps de groupe est prsente sur la Figure 4.25.
Sa variation est infrieure 1,5 ns conformment aux simulations.
0

|S 21| & |S 11| (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

modle de la capacit en haute frquence. Lorigine des lobes secondaires sera explicite

-10

-20

-30

-40

Simulations
Mesures
0,4

0,8

1,2
Frquence (GHz)

1,6

Figure 4.23: Comparaison des paramtres S du Filtre A mesurs et simuls jusqu 2 GHz.

La comparaison des rponses mesure et simule du Filtre B jusqu 2,5 GHz est donne
sur la Figure 4.26. Une bande passante de 1,5 GHz (150%) est obtenue conformment la
simulation. Les pertes dinsertion sont infrieures 0,3 dB au milieu de la bande 1 GHz
et ladaptation est meilleure que 16 dB dans la bande passante.
La rponse large bande du filtre B est donne sur la Figure 4.27. Comme pour le
Filtre A, un dcalage de la frquence du lobe secondaire vers les basses frquences est
observ. Le premier lobe secondaire, centr la frquence de 5,7 GHz, remonte avec une
130

|S 21| & |S 11| (dB)

-10

-20

-30

-40

Simulations
Mesures
0

4
6
Frquence (GHz)

10

Temps de groupe (ns)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 4.24: Comparaison des paramtres S du Filtre A mesurs et simuls jusqu 10 GHz.

2,5
Simulations
Mesures

2
1,5
1
0,5
0

0,5

1
Frquence (GHz)

1,5

Figure 4.25: Temps de groupe simul et mesur du filtre A.

amplitude de -10 dB, soit environ 3 fois la frquence de coupure haute.

La Figure 4.28 reprsente la mesure et la simulation du temps de groupe. Sa variation
est infrieure 1,3 ns comme prvu par la simulation.
Un filtre ULB (Filtre C) bas sur la topologie dveloppe dans [1] a ensuite t conu
pour la mme bande passante que le Filtre B dans le but de comparer la taille et les
performances lectriques des deux topologies. La Figure 4.29 montre les photos des Filtres
B et C. Les dimensions gomtriques en mm du Filtre C sont les suivantes : L1 = 2,26,
131

|S 21| & |S 11| (dB)

-5
-10
-15
-20
-25
-30

Simulations
Mesures

-35
0

0,5

1
1,5
Frquence (GHz)

2,5

Figure 4.26: Comparaison des paramtres S du Filtre B mesurs et simuls jusqu 2,5 GHz.

0
-5
|S 21| & |S 11| (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

-40

-10
-15
-20
-25
-30

Simulations
Mesures

-35
-40

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 4.27: Comparaison des paramtres S du Filtre B mesurs et simuls jusqu 10 GHz.

L2 =4,49, L3 =5,6, L4 =6,58, L5 =8,97, Lstub =13,8, Whi = 0,25 et Wstub = 0,26, en mm. La
longueur totale est de 5 cm. La rduction de longueur obtenue grce lutilisation du
principe des lignes charges par des capacits est ainsi de 43% sur la longueur du filtre
(2,9 cm au lieu de 5 cm).
La Figure 4.30 compare les rsultats de mesure des Filtres B et C. Dans les deux cas,
ladaptation est meilleure que 16 dB dans la bande passante. Le facteur de forme dfini
comme le rapport de la bande dattnuation -20 dB et la bande passante -3dB est
132

Temps de groupe (ns)

2,5
Simulations
Mesures

1,5

0,5
0

0,5

1,5

Frquence (GHz)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Figure 4.28: Temps de groupe simul et mesur du filtre B.

Figure 4.29: Photographies des filtres B et C.

clairement amlior pour le filtre B miniaturis de 1,5 :1 1,3 :1.

4.5

Zros de transmission et lobes secondaires

Dans ce paragraphe, les lobes secondaires sont abords. Dans un premier temps, lorigine des zros de transmission est tudie. Ensuite, une mthode permettant de rejeter les
lobes secondaires plus loin en frquence est dcrite et mise en uvre . Lapproche consiste
charger les stubs par une capacit parallle. En outre cette technique permet de rduire
lgrement la longueur du stub. Bas sur ce principe, un filtre ULB est conu et ralis
pour une bande passante -3 dB de 0,4 1,5 GHz.
133

|S 21| & |S 11| (dB)

-10

-20

-30
Filtre B
Filtre C
-40
0

0,5

1,5

2,5

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)
Figure 4.30: Comparaison des mesures des deux filtres topologie semi-localise et rpartie.

4.5.1

Zros de transmission

La rponse simule du filtre passe-bande de la Figure 4.31 montre la prsence de trois

zros de transmissions. Le zro de transmission qui apparat vers 5,8 GHz est d la rsonance du stub : le stub fait une longueur de 16 mm (180@ 5,8 GHz). Les deux autres
zros de transmission vers 2,2 et 3,2 GHz sont dus la rsonance de lensemble capacit
parallle et inductance srie parasite. Comme deux valeurs diffrentes des capacits parallles sont utilises [1,8 pF et 3,9 pF], linductance quivalente tant la mme, on obtient
deux zros de transmissions diffrents.
Sur la Figure 4.32, nous avons reprsent les simulations du mme filtre, sans les stubs
et les capacits sries, avec des capacits parallles de valeur soit 1,8 pF, soit 3,9 pF.
Les zros de transmission du filtre passe-bande sont identiques ceux des filtres passe-bas
sachant que chacun des filtres passe-bas prsente un seul zro de transmission. La capacit
de valeur de 1,8 pF entrane un zro de transmission 3,2 GHz alors que la capacit de
3,9 pF entrane un zro de transmission 2,2 GHz. Au passage, on peut donc extraire par le
calcul la valeur de linductance due aux plots de soudure et au via en utilisant lexpression
de la frquence de rsonance dun circuit LC. La valeur de linductance calcule est de
1,33 nH pour C=1,8 pF et de 1,34 nH pour C=3,9 pF. Sachant que linductance parasite
de la capacit et du via est gale 0,54 nH (paragraphe 3.4.2), on peut conclure que
134

-50

21

| S | (dB)

-100

-150
0

Figure 4.31: Simulations large bande du module du paramtre S21 du filtre passe-bande de bande
passante -3 dB de 0,4 1,5 GHz jusqu 8 GHz.

linductance quivalente aux plots de soudure et au via modlis par ADS est de 0,8 nH
environ.
0

-50

21

| S | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Frquence (GHz)

-100
BPF
-150

LPF: Cp=1,8 pF
LPF: Cp=3,9 pF

-200
0

Frquence (GHz)
Figure 4.32: Simulations du filtre passe-bande de bande passante -3 dB de 0,4 1,5 GHz en
comparaison avec les simulations de deux filtres passe-bas avec des capacits de valeurs 1,8 pF
et 3,9 pF.

La Figure 4.33 compare les simulations des filtres passe-bande et passe-bas avec des
capacits qui seraient directement relies la masse, donc sans plots de soudure, sans via
135

et sans inductance parasite. Dans ce cas, Il ny a plus de circuit LC rsonant. Les zros
de transmission du filtre passe-bas disparaissent. Les lobes vers 11 GHz du filtre passebas sont dus aux bandes permises de la structure priodique. En ce qui concerne le filtre
passe-bande, le premier lobe secondaire qui apparat vers 6 GHz est d la rsonance du
stub.
0
-20

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

|S 21| (dB)

-40
-60
-80
BPF
LPF: C=1,8 pF
LPF: C=3,9 pF

-100
-120
-140
0

6
8
Frquence (GHz)

10

12

Figure 4.33: Simulations du filtre passe-bande de bande passante 0,4 1,5 GHz en comparaison
avec les simulations de deux filtres passe-bas avec des capacits de valeurs 1,8 pF et 3,9 pF.

En conclusion, les lobes secondaires du filtre passe-bande sont lis la prsence des
zros de transmission dont lorigine est la rsonance du stub et du circuit LC au niveau
de la capacit parallle.

4.5.2

Stubs capacitivement chargs

Afin de repousser les lobes secondaires vers les hautes frquences, en particulier le
lobe secondaire aux environs de 4,5 GHz pour le filtre ULB [0,4-1,5 GHz], lide consiste
rduire la frquence de rsonance des stubs. Pour cela, nous avons charg chaque stub
par une capacit en parallle Csp . Le circuit lectrique du filtre ULB est donne sur la
Figure 4.34.
La Figure 4.35 compare les paramtres S21 des filtres passe-bande avec des stubs
chargs par des capacits de valeur Csp =0,4 pF et des stubs non chargs. Alors que la
rponse du filtre nest pas modifie dans la bande passante, leffet de la capacit de charge
136

Figure 4.34: Circuit lectrique du filtre passe-bande avec des stubs chargs par des capacits.

apparat vers les hautes frquences. Les lobes secondaires sont repousss vers les hautes

entre 2 et 5 GHz. Les deux premiers zros de transmission vers 2,2 et 3,2 GHz proviennent
de la rsonance des capacits parallles et sont retrouvs dans la rponse du filtre passebande avec des stubs non chargs. Par contre, le troisime zro de transmission se trouve
dcal vers les basses frquences avec linsertion des capacits au niveau de stub. Ce zro
passe de 6,1 GHz 3,5 GHz, provoquant ainsi le rejet des lobes secondaires vers les hautes
frquences.
0
-20
-40
| S 21 | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

frquences. Le filtre passe-bande avec des stubs chargs prsente 3 zros de transmission

-60
-80
-100
-120

Stubs chargs

Stubs non chargs

-140
0

3
4
5
Frquence (GHz)

Figure 4.35: Comparaison des simulations de deux filtres ULB avec et sans des stubs chargs.

Ce zro nest pas dtermin par la longueur gomtrique totale du stub puisque 16
mm implique une rsonance 6,1 GHz. Les simulations des stubs chargs avec la capacit
137

de valeur de 0,4 pF avec les T de jonctions, linductance parasite de la capacit et le

modle ADS du via sont compars avec la simulation du stub charg avec la capacit de
0,4 pF sans tenir compte de tous ces parasites dans la Figure 4.36. Le zro de transmission
situ 4,1 GHz sans tenir compte des parasites est dcal 3,5 GHz avec laddition des
parasites.
0

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

| S 21 | (dB)

-5
-10
-15
-20
Modle complet
Modle idal

-25
-30
0

3
4
5
Frquence (GHz)

Figure 4.36: Comparaison des modules du paramtre S21 du modle idal du stub charg et du
modle complet.

Le troisime zro est donc d la rsonance de la ligne quivalente lensemble stub

et capacit qui a lieu une frquence plus faible que la frquence de rsonance du stub
non charg. Le phnomne donde lente que prsente les lignes charges est responsable
de la diminution de la frquence de rsonance. En effet, la ligne capacitivement charge de
la Figure 4.37 prsente une longueur lectrique quivalente suprieure celle de la ligne
non charge et rsonne donc pour des frquences plus faibles. Ce circuit correspond la
cellule lmentaire du filtre passe-bas prsent dans le Chapitre 2. Le zro de transmission
du stub charg en son milieu par la capacit sans parasite est dtermin par la rsolution
graphique de lquation A = 1 qui correspond une longueur lectrique quivalente de
180avec A le coefficient de la matrice ABCD quivalente la ligne charge donne sur
la Figure 4.37.
Lexpression du coefficient A a t explicite dans le paragraphe 2.1.4. La Figure 4.38
prsente lvolution du coefficient de la cellule constitue par le stub de 16 mm de longueur
138

Figure 4.37: Circuit lectrique de la ligne de longueur lectrique s charge par une capacit Csp .

charg par une capacit de valeur Csp =0,4 pF. La frquence de rsonance est de 4 GHz.
Cette valeur est donc une bonne estimation de la valeur du zro de transmission du filtre
passe-bande puisque avec laddition des inductances parasites, la capacit quivalente
augmente et la rsonance aura lieu 3,5 GHz au lieu de 4 GHz.

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

4
2

0
-2
-4
-6
0

10
Frquence (GHz)

15

20

Figure 4.38: Evolution du coefficient A dune ligne de 16 mm charge par une capacit de 0,4 pF.

En conclusion, lutilisation dun stub capacitivement charg permet de rejeter les lobes
secondaires vers les hautes frquences. Le stub charg prsente une longueur lectrique
plus importante et la frquence de rsonance est dcale vers les basses frquences. Le
zro de transmission ainsi cr est trs proche de ceux dj existants et assure la rjection
des lobes secondaires.
4.5.2.1

Etude de la position et de la valeur de la capacit de charge des stubs

Lintrt de lintroduction des capacits dans les stubs tant dmontr, une tude
concernant la position et la valeur de la capacit a t mene. Dans la rponse du filtre
139

passe-bande avec des stubs chargs (Figure 4.35), un premier lobe secondaire trs fin
apparat vers 3,4 GHz alors que le deuxime lobe plus large atteint -4 dB 7,2 GHz. Par
la suite, on considre le critre de -40 dB pour identifier la prsence dun lobe secondaire.
Lvolution des frquences dapparition du premier lobe secondaire en fonction de la
valeur de la capacit de charge Csp pour les valeurs de Ls1 =3, 5 et 7 mm est trace sur
la Figure 4.39. La dcroissance de la frquence du premier lobe secondaire en fonction de
la valeur de la capacit de charge est bien mise en vidence. Egalement, le premier lobe
secondaire se trouve dcal vers les basses frquences lorsque la longueur Ls1 augmente
pour une valeur de capacit constante.

f (GHz)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Ls1= 7 mm
Ls1=5 mm
Ls1= 3 mm

3,5

2,5

0,2

0,4

0,6
C (pF)

0,8

sp

Figure 4.39: Evolution de la frquence du premier lobe secondaire en fonction de la valeur capacit
Csp pour Ls1 =3, 5 et 7 mm.

Sur la Figure 4.40, lamplitude du premier lobe secondaire est report en fonction de
la valeur de la capacit Csp pour Ls1 =3, 5 et 7 mm. La variation de lamplitude nest pas
une fonction monotone de la valeur de la capacit de charge Csp ni de la longueur Ls1 . Un
minimum damplitude pour C=0,4 pF est not.
En ce qui concerne le deuxime lobe secondaire, la Figure 4.41 montre la dcroissance
des frquences du deuxime lobe secondaire en fonction de la valeur de la capacit et de
la longueur Ls1 .
Donc, pour rejeter au plus loin les lobes secondaires du filtre passe bande ULB
tudi, nous avons intrt choisir la valeur et la position de la capacit qui supprime le
140

-10

Amplitude (dB)

-20
-30
-40

Ls1= 7mm

-50

Ls1= 5 mm
Ls1= 3 mm

-60
-70
0,2

0,4

0,6
C (pF)

0,8

Figure 4.40: Evolution de lamplitude du premier lobe secondaire en fonction de la valeur capacit
Csp pour Ls1 =3, 5 et 7 mm.

7
Ls1= 7mm
Ls1=5 mm
Ls1=3 mm

6,5

f (GHz)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

sp

5,5
0,2

0,4

0,6
C (pF)

0,8

sp

Figure 4.41: Evolution de la frquence du deuxime lobe secondaire en fonction de la valeur

capacit pour Ls1 =3, 5 et 8 mm.

premier lobe secondaire et rejette le plus loin le deuxime lobe. Pour rejeter le deuxime
lobe secondaire, la solution optimale correspond au couple de valeurs : Ls1 = 3 mm et
Csp = 0,2 pF. Par contre, ce couple de valeurs correspond un premier lobe secondaire
4,2 GHz damplitude -11,2 dB. Donc un compromis est tablir entre le premier et le
deuxime lobe secondaire.
141

Figure 4.42: Photographie du filtre stubs chargs.

La solution optimale correspond donc aux plus faibles valeurs de la capacit Csp et
de la longueur Ls1 qui donnent une amplitude minimale du premier lobe secondaire. Ceci

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

justifie le choix du couple C=0,4 pF et Ls1 =5 mm.

4.5.3

Mesures

La Figure 4.42 montre la photographie du filtre ULB stubs chargs optimis pour la
bande de frquence de 0,4 1,5 GHz.
Un bon accord entre les simulations et les mesures jusqu 10 GHz est observ sur la
Figure 4.43. Dans la bande passante, ladaptation mesure est meilleure que 20 dB. Les
lobes secondaires napparaissent quau del de 6 GHz, avec un dcalage de 0,3 GHz vers
les basses frquences par rapport la simulation.
Le lobe secondaire qui apparaissait vers 4,5 GHz a bien disparu du fait de lintroduction
des stubs chargs.
Ces rsultats montrent lintrt de lintroduction des stubs capacitivement chargs en
ce qui concerne la rjection des lobes secondaires jusqu plus de quatre fois la frquence
de coupure haute du filtre passe-bande.

4.6

Miniaturisation par repliement

Il est encore possible de rduire la surface du filtre en repliant les stubs, leffet des
coudes tant favorable la miniaturisation puisque ceci revient charger les stubs par des
capacits. Le repliement des stubs serait plus dlicat mettre en uvre pour la topologie
initiale du fait de la prsence des tronons de ligne faible impdance caractristique.
142

|S 21| & |S 11| (dB)

-10

-20
Simulations
-30

Mesures

-40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 4.43: Comparaison des mesures et des simulations du filtre ULB stub chargs.

4.6.1

Prsentation des filtres miniaturiss

Le layout du filtre est donn sur la Figure 4.44.

e

Figure 4.44: Layout gnral du filtre ULB avec des stubs replis.

4.6.2

Mesures des filtres miniaturiss

Deux filtres bass sur ce principe ont t optimiss pour une bande passante -3 dB
de 0,4 1,5 GHz. Afin dvaluer leffet des couplages parasites, des lignes espaces de
e=0,5 et 1 mm ont t considres pour les simulations lectriques. La Figure 4.45 montre
la photographie du filtre miniaturis avec e=1 mm. La rduction de surface atteint 70 et
75% par rapport au filtre stubs non replis. Par rapport la topologie initiale, la surface
est rduite de plus que 86%.
Les mesures et les simulations des deux filtres sont compares sur les Figures 4.46 et
4.47. Laccord entre les simulations et les mesures est bon pour les deux filtres raliss.
143

Figure 4.45: Photographie du filtre miniaturis avec e=1 mm.

Dans la bande passante, ladaptation est meilleure pour le filtre pour lequel e=1 mm

0
-5

21

11

|S | & |S | (dB)

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

(-18 dB au lieu de -15 dB).

-10
-15
-20
-25
-30

Simulations
Mesures

-35
-40
0

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 4.46: Comparaison des mesures et des simulations du filtre stubs replis avec 1 mm
despacement.

Les lobes secondaires apparaissent autour de 4,5 GHz dans les deux cas. Enfin les
pertes dinsertion en milieu de bande atteignent 0,3 dB (e=0,5 mm) et 0,4 dB (e=1 mm),
respectivement. Ces pertes dinsertion sont du mme ordre que celles du filtre stubs non
replis (0,3 dB).
En conclusion, les performances ne sont pas dgrades lorsque lon choisit un espacement e =1 mm au lieu de e =0,5 mm, et le principe de repliement propos savre tout
fait pertinent.
144

|S 21| & |S 11| (dB)

-10

-20

-30

Simulations
Mesures

-40

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

4
6
Frquence (GHz)

10

Figure 4.47: Comparaison des mesures et des simulations du filtre stubs replis avec 0,5 mm
despacement.

4.7

Conclusion

Dans ce chapitre, nous avons introduit une nouvelle topologie de filtre passe-bande
Ultra Large Bande base sur une approche hybride planaire combinant des lignes micro
ruban et des capacits CMS.
Tout dabord, nous avons prsent la topologie du filtre dorigine, de laquelle nous nous
sommes inspirs et que nous avons adopte comme point de dpart. Ce filtre consiste en
une imbrication dun filtre passe-haut stubs dans un filtre passe-bas saut dimpdance.
Lobjectif a t ensuite damliorer la faible pente de rjection basse frquence tout en
miniaturisant le filtre.
Nous avons montr que lutilisation des lignes capacitivement charges assure une
rduction meilleure que 60 % sur la longueur du filtre, grce leffet donde lente dmontr
par ces structures. Des capacits sries ont galement t ajoutes lentre et la sortie
du fin damliorer la slectivit basse frquence du filtre passe-bande.
Nous avons ensuite dvelopp une mthode de conception simple et adapte pour la
synthse des filtres Ultra Large Bande proposs. Puis, afin de valider notre approche,
deux filtres, respectivement centrs 0,77 et 1 GHz avec une bande passante -3 dB de
142 % et 150 % ont t raliss. Les rsultats de mesures en bon accord avec les simulations
sont encourageants et prometteurs en terme dadaptation (RL < -18 dB), de pentes de
145

rjection (facteur de forme =1,3 :1) et de temps de groupe ( < 1,3 ns).
Ces filtres, du fait des parasites des capacits CMS utiliss (inductance), ont linconvnient de prsenter des lobes secondaires.
Nous avons montr que lutilisation de stubs chargs par des capacits permettait de
repousser ces lobes secondaires quatre fois la frquence de coupure haute.
Enfin, nous avons montr que le principe de repliement des stubs permettait daccrotre

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

encore la miniaturisation sans dgrader les performances obtenues.

146

Conclusion
Les travaux de thse prsents dans ce manuscrit ont port sur la conception de filtres
micro-ondes planaires. Deux topologies de filtres passe-bas et passe-bande Ultra Large
Bande bases sur une approche hybride combinant des lignes de propagation et des capacits CMS ont t proposes. Aussi bien pour le filtre passe-bas que pour le filtre

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

passe-bande, une mthode de conception a t dveloppe, et des prototypes raliss en

technologie hybride ont permis de valider les approches proposes.
Dans le premier chapitre, une tude bibliographique des diffrentes solutions de filtrage dveloppes pour la ralisation des filtres passe-bas et passe-bande a t prsente. Les principales technologies planaires y ont t galement dcrites. Compte tenu des
contraintes dencombrement, une tude des techniques utilises pour la miniaturisation
des filtres micro-ondes est venue complter ce premier chapitre.
Dans une seconde partie, une topologie de filtre passe-bas, base sur une ligne de propagation priodiquement charge par des capacits a t introduite. Ltude de limpdance
caractristique quivalente de la cellule unitaire la structure priodique a permis llaboration dune mthode rigoureuse de conception du filtre passe-bas structure priodique.
La technique de taprisation qui consiste charger les extrmits de la structure priodique avec des cellules latrales diffrentes des cellules centrales a permis de rsoudre le
problme dadaptation des structures priodiques. Les mesures des filtres prototypes raliss, en bon accord avec les simulations dmontrent des proprits lectriques intressantes
en terme de rjection, dadaptation et de remontes parasites.
Le troisime chapitre a t consacr la caractrisation et la modlisation des capacits. Ltude thorique du modle complet de la capacit tenant compte de tous les
lments parasites a t considre. Il sest avr que linsertion des capacits dans un
filtre passe-bas structures priodiques est le moyen le plus fiable et le plus prcis pour
modliser la capacit considre. Sur ce principe, une srie de filtres capacits MIM a
147

t conue dans le but de caractriser des capacits et extraire les pertes dilectriques de
lisolant utilis (STO) dans le cadre dune collaboration avec le CEA-LETI et le LTM.
Enfin dans le quatrime chapitre, une nouvelle topologie de filtre passe-bande Ultra
Large Bande inspire de [1] a t mise en place. Cette topologie est base sur limbrication
dun filtre passe-haut stubs court-circuits dans un filtre passe-bas lignes capacitivement charges. Deux filtres prototypes en technologie microruban ont valid la mthode
de conception. La topologie propose a permis dobtenir une miniaturisation de 43 % sur
la longueur et une amlioration des pentes de rjection par rapport la topologie de base.
Le repliement des stubs, dlicat voire impossible en considrant la topologie de base, a
mme permis datteindre une rduction de surface de 86% par rapport la structure de

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

base. Lintroduction de filtres passe-bande base de stubs capacitivement chargs dans

le but des rejetter les lobes secondaires vers les hautes frquences a t galement valide
par les mesures.
En conclusion, le potentiel de la topologie planaire semi localise alliant des lignes de
propagation des capacits ( de type CMS pour une approche hybride) pour la ralisation
de fonctions de filtrages millimtriques performantes a t dmontr. Des mthodes de
conception simples et robustes, rpondant un objectif de miniaturisation, ont t mises
en uvre.
Les perspectives de ce travail sont nombreuses. Elles concernent la mesure des filtres
capacits MIM et la caractrisation du STO. Dautre part, la miniaturisation des filtres
ULB combinant des stubs chargs et des lignes replis peut tre galement envisage.
Enfin, lintgration des deux topologies de filtres proposs en technologie MMIC semble
pertinente pour des frquences suprieures 5 GHz o dune part les parasites des lments
CMS deviennent trs limitants et dautre part la surface des filtres devient compatible
avec une intgration en technologie MMIC.

148

Annexe A. Fonctions de Filtrage

On catgorise les filtres selon le type de modification quils imposent sur le signal
dentre. Ils sont classs en filtres passe-bas, passe-haut, passe-bande, et coupe-bande. La
synthse analytique directe des filtres passe-haut, passe-bande et coupe bande est inutile.

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

Le calcul des fonctions de ces filtres se dduisent de la synthse du prototype passe-bas.

Les spcifications dun filtre passe-bas typique sont donnes sur la Figure 4.48. Sa
bande passante se situe entre 0 et c et sa bande attnue stend de s linfini. Une
ondulation infrieure Ac est autorise dans la bande passante et lattnuation mimimale
requise en dehors de la bande attnue est suprieure As .
|S21 |(j) (dB)
0
-A c

-A s
s /c

/c

Figure 4.48: Gabarit du filtre passe-bas.

Nous commencerons par ltude des principales lois mathmatiques dcrivant les fonctions de filtrage du filtre passe-bas : Butterworth, Tchebysheff et Elliptique. Le paragraphe
1.1.3 montrera que les caractristiques des fonctions des autres types de filtres sobtiennent
par de simples transformations de frquences partir du prototype passe-bas normalis.

a - Fonction de Butterworth
Un filtre de Butterworth prsente une courbe de rponse trs plate lorigine, une
amplitude rgulire dans la bande passante et une raideur moyenne de la coupure (Fi149

gure 4.49 (a)). Le gain dinsertion dun filtre de Butterworth est donn par :
GI = |S21 (j )|2 =
1 + 2

1
 2n

(4.6)

o n est lordre du filtre, c sa pulsation de coupure et  la constante dondulation lie

londulation maximum dans la bande passante = c Ac exprim en dB par :
q

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

=

Ac

10 10 1.

(4.7)

Figure 4.49: Filtre de Butterworth. (a) Rponse en amplitude. (b) Distribution des ples.

Ce type de rponse est monotone dans la bande passante puisque la fonction de filtrage
a ses (2n-1) zros situs = 0. Pour = 0, lattnuation est nulle et augmente pour
atteindre 3 dB (=1) = c qui marque la limite entre la bande passante et la bande
attnue. On peut crire :
1
i=1 (p pi )

S21 (p) = Qn

(4.8)

avec



(2i 1)
pi = j exp
.
2n

(4.9)

Ceci montre que le filtre ne possde pas des zros de transmission finis (tous les zros
sont rejets linfini) et que ses n ples sont rpartis sur le cercle unitaire dans le demi
plan complexe gauche puisque |pi | = 1 et arg |pi | = (2i 1)/2n comme le montre la
Figure 4.49 (b).
150

b - Fonction de Tchebysheff
Les filtres de Tchebysheff prsentent une ondulation rgulire dans la bande passante,
un front de coupure raide ainsi quune dcroissance attnue dans la bande coupe ( Figure 4.50 (a)). Le gain dinsertion dun filtre de Tchebysheff est donn par :
|GI | = |S21 (j )|2 =

1
.
1 + 2 Tn2 ()

(4.10)

Dans cette expression Tn () est le polynme de Tchebysheff dordre n. La formule gnrale

de la fonction de filtrage du filtre de Tchebycheff a t calcul par Rhodes [143] :
Qn

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

S21 (p) =

( 2 + sin2 (i/n))
i=1Q
n
i=1 (p + pi )

(4.11)

avec


(2i 1)
1
pi = j cos sin j +
2n


1
1 1
= sinh
sinh
.
n


(4.12)
(4.13)

Comme le filtre de Butterworth, les zros de transmission du filtre de Tchebycheff sont

situs linfini. Par contre, les n ples de la fonction Tchebycheff sont situs sur une ellipse
dans demi-plan complexe gauche (Figure 4.50 (b)). Un filtre de Tchebysheff prsente une
meilleure slectivit que le filtre Butterworth du mme ordre et une ondulation suprieure
dans la bande passante.

Figure 4.50: Filtre de Tchebysheff. (a) Rponse en amplitude. (b) Distribution des ples.

151

c - Fonction elliptique
La rponse qui prsente une ondulation aussi bien dans la bande passante que la bande
attnue avec une transition trs rapide est donne par la fonction elliptique appele aussi
fonction de Bessel ou Thomson :
|S21 (j )|2 =

1
.
1 + Fn2 ()
2

(4.14)

Le terme Fn nest pas un polynme mais une fonction rationnelle prsentant donc des
ples et des zros. Ces filtres sont aussi connus sous les filtres le vocable Cauer. Leurs
ples sont disposs sur une ellipse comme pour le filtre de Tchebycheff et leurs zros sur

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

laxe imaginaire.

Figure 4.51: Filtre elliptique. (a) Rponse en amplitude. (b) Distribution des ples et des zros.

d - Filtre passe-tout
Les rgulateurs de phase sont largement utiliss pour compenser les variations de
phase indsirables dans les systmes de communication. Un filtre passe-tout passe toutes
les frquences avec la mme amplitude mais avec un dcalage de phase. Ceci est ralis
par la variation de la vitesse de propagation en fonction de la frquence. La fonction de
filtrage dun passe-tout est dfinie par :

S21 (p) =

D(p)
D(p)

152

(4.15)

o D(p) est le polynme de Hurwitz. Aux frquences relles (p = j), |S21 (j)|2 = 1 ;
lamplitude de la rponse est unitaire toutes les frquences, do le nom de passe-tout.
Un passe-tout est un filtre dont les zros se trouvent dans le demi-plan de droite, en
symtrie horizontale avec ses ples. Sa rponse en phase est par contre gale la somme
des contributions des zros moins la somme des contributions des ples, prs. La
structure dun passe-tout est donne par un rseau lattice symtrique [32].

e - Ralisation du prototype passe-bas

Le filtre passe-bas normalis constitue llment de base pour la synthse analytique de
tout autre type de filtre. Limplmentation du passe-bas se fait avec la mme configuration

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

de circuit, quelque soit le type de rponse voulu. Seules les valeurs des lments du circuit
lectrique changent. Le choix de la fonction de filtrage dpend de lapplication. Deux
ralisations possibles du filtre passe-bas normalis, quelque soit la fonction de filtrage, sont
montres sur la Figure 4.52. Les rsistances de gnrateur et de charge sont normalises
g0 = gn+1 = 1 aussi bien que la pulsation de coupure c = 1 rd/s. La valeurs des
lments du circuit gi pour i = 1 n reprsente une inductance srie ou une capacitance
en parallle. g0 est dfinie comme la rsistance du gnrateur ou sa conductance. De
mme gn+1 est dfinie comme la rsistance de la charge ou sa conductance. Les valeurs
des coefficients gi du filtre passe-bas normalis sont tabules dans [2, 33].
g2

g0

g1

g0

g3

g n+1

(a)

g1

g3

g2

(b)

Figure 4.52: Ralisations possibles du prototype passe-bas normalis.

153

g n +1

Annexe B. Dnormalisation de
limpdance et de la frquence
Les fonctions analytiques dcrites prcdemment sappliquent uniquement au filtre
passe-bas normalis. La synthse dun filtre quelconque de type de rponse connue sef-

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

fectue en trois tapes :

1- Trouver une fonction associant toute frquence des spcifications relles une frquence des spcifications du passe-base normalis : = f (), et en dduire les spcifications du passe-bas normalis.
2- Raliser lapproximation de ce passe-bas normalis.
3- Obtenir la ralisation du filtre cherch partir de celle du passe-bas normalis.
Dans les paragraphes qui suivent, les transformations de frquence ncessaires lapproximation des passes-bas, passe-hauts, passe-bandes, et coupe-bandes non normaliss
sont prsentes.

a - Dnormalisation de limpdance.
Les rsistances de source et de charge du prototype passe-bas sont unitaires. La dnormalisation de limpdance permet dajuster le filtre pour une impdance de source gale
Z0 . Cette tape consiste multiplier les impdances du prototype par Z0 :
e = Z0 L
L

(4.16)

e = C/Z0
C

(4.17)

fs = Z0
R

(4.18)

fL = Z0 RL
R

(4.19)

o L, C, RL sont les valeurs des lments du prototype passe-bas normalis.

154

b - Dnormalisation de la frquence.
La transformation en frquence du prototype normalis un filtre passe-bas ayant une
frquence de coupure c = 1 consiste en une simple division par le facteur c = 1 rd/s.
Il suffit donc dappliquer la transformation =

.
c

En appliquant simultanment la

dnormalisation en impdance et en frquence, les lments sont donns par

e = Z0 L
L
c
e= C .
C
Z0 c

(4.20)
(4.21)

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b.1 - Transformation passe-bas/ passe-haut

Un filtre passe-haut a les spcifications inverses du filtre passe-bas. Sa bande attnue
va de 0 s et sa bande passante stend de c linfini comme le montre la Figure 4.53.
|S21 |(j) (dB)
0
-A c

-A s
s /c

/c

Figure 4.53: Gabarit en amplitude du filtre passe-haut.

Pour passer dun passe-bas un passe-haut, la transformation en frquence est

=

c
.

(4.22)

Le signe ngatif est utilis pour convertir les inductances en capacits et vice versa.
1
Z0 c C
e = Z0 .
C
c L

e=
L

(4.23)
(4.24)

b.2 - Transformation passe-bas/ passe-bande

Un filtre passe-bande a deux bandes attnues de 0 s et de s+ linfini comme
montre la Figure 4.54. Il laisse passer les frquences entre c et c+ .
155

|S21 |(j) (dB)

0
-A c

-A s
s

c+

s+

Figure 4.54: Gabarit en amplitude du filtre passe-bande.

Le passage du filtre passe-bas au passe-bande est plus complexe. Pour un filtre passe-

tel-00267881, version 1 - 28 Mar 2008

bande de frquence de coupure c et c+ , la transformation est donne par :

1
=
F BW


(4.25)

avec
c+ c
0

0 = c c+

F BW =

(4.26)
(4.27)

avec 0 la frquence centrale du filtre et F BW sa bande passante relative. Une inductance

srie L est remplace par un circuit LC srie rsonant. Les lments du rsonateur srie
sont donns par :



1
Z0 L
F BW 0


F
BW
1
fs =
C
.
0
Z0 L

fs =
L

(4.28)
(4.29)

De mme, une capacit parallle est remplace par un rsonateur parallle LC dont les
lments sont :



1
C
fp =
C
F BW 0 Z0


F BW Z0
f
Lp =
.
0
C

(4.30)
(4.31)

b.3 - Transformation passe-bas/ coupe bande

Les spcifications dun filtre coupe-bande sont linverse dun filtre passe-bande (Figure 4.55).
156

|S21 |(j) (dB)

0
-A c

-A s
c

s+

c+

Figure 4.55: Gabarit en amplitude du filtre coupe-bande.

La transformation en coupe bande peut tre dveloppe partir de linverse de la

transformation (4.25) :

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= F BW
0

1
(4.32)

avec F BW et 0 donns par (4.26) et (4.27). Une inductance srie est transforme en un
rsonateur LC parallle dont les valeurs sont :


F BW
f
Lp =
Z0 L
0


1
1
fp =
.
C
F BW 0 Z0 L

(4.33)

Une capacit parallle est remplace par un rsonateur LC srie avec :



1
Z0
fs =
L
F BW 0 C


F BW
C
f
Cs =
.
0
Z0

(4.35)

157

(4.34)

(4.36)

Liste des travaux

Articles dans des revues comit de lecture
1.

D. Kaddour, E. Pistono, J.-M. Duchamp, J.-D. Arnould, H. Eusebe, P. Ferrari, and R. G. Harrison, A compact and selective low-pass filter with reduced spu-

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CONCEPTION ET RALISATION DE FILTRES RF PASSE-BAS

STRUCTURES PRIODIQUES ET FILTRES ULTRA LARGE BANDE,
SEMI-LOCALISS EN TECHNOLOGIE PLANAIRE
Rsum :
La technologie planaire constitue une technologie attrayante pour la ralisation de filtres, en
terme de cot, de volume, ainsi que des possibilits dintgration. Dans ce contexte, le dveloppement de filtres planaires slectifs et peu encombrants est lheure actuelle un domaine dactivit
dun intrt fondamental. Les travaux prsents dans ce manuscrit sinscrivent dans cet axe de
recherche. Aprs un tat de lart sur les diffrentes familles de filtres planaires, une nouvelle topologie de filtre passe-bas compact, constitue dune ligne de propagation priodiquement charge
par des capacits CMS, est dveloppe. Une mthode rigoureuse de conception est dveloppe et
des dmonstrateurs hybrides en technologie CPW 1 GHz sont raliss. Les mesures, en trs bon
accord avec les simulations, valident des proprits intressantes en terme de rjection, dadaptation et de remontes parasites. La monte en frquence est galement explore par la ralisation
dun filtre passe-bas en bande X. Les rsultats montrent la ncessit dune caractrisation fine
des capacits. Ensuite, une mthode de caractrisation des capacits est mise en oeuvre. Il savre
que linsertion des capacits dans des filtres passe-bas structure priodique constitue un moyen
prcis et fiable de modlisation. Une topologie de filtre passe-bande Ultra Large Bande, base
sur une imbrication dun filtre passe-haut stubs dans un filtre passe-bas lignes capacitivement
charges, est mise en place. Les mesures des prototypes en technologie micro-ruban, en bon accord avec les simulations, montrent des proprits intressantes de slectivit, de miniaturisation
et de rejet de lobes secondaires.
Mots-cls : filtre RF, filtre microonde, filtre passe-bas, filtre passe-bande, ultra large bande,
guide donde coplanaire (CPW), microruban, capacit CMS, structure priodique .

DESIGN AND REALIZATION OF LOW-PASS FILTERS WITH PERIODIC

STRUCTURES AND ULTRA WIDE BAND BAND-PASS FILTERS, IN
HYBRID PLANAR TECHNOLOGY
Abstract :
In recent years, extensive research and development efforts have been put into exploiting
planar filters for their potential qualities of low cost, tiny weight and high degree of integration.
The aim of the research work presented in this manuscript is the design and the realization
of selective and miniaturized planar filters. A new topology of compact low-pass filter with
periodic structures, constituted by a transmission line loaded by SMT capacitors, is proposed.
A rigorous design method for the low-pass filter is also implemented. The measurements of
the low-pass filters, realized near to 1 GHz in a CPW technology, in good agreement with
simulations demonstrated interesting electrical proprieties of rejection, matching and spurious
suppression. The validity of this topology is also investigated for higher frequencies with the
realization of a low-pass filter in the X-band. Several capacitors characterization approaches were
also investigated. The implementation of capacitors in a low pass filter with periodic structure
carried out constitutes the most precise way to characterize capacitors. A new topology of Ultra
Wide Band band-pass filters, based on the combination of a high pass filter with short circuited
stubs and a low pass filter with capacitively loaded lines, is proposed. The measurements of the
prototype filters realized in a microstrip technology, in good agreement with simulations, show
interesting proprieties of selectivity, miniaturization and spurious suppression.
Keywords : RF filter, microwave filter, low-pass filter, band-pass filter, ultra wide band,
coplanar waveguide, microstrip, SMT capacitor, periodic structure.