Sommaire

Cours 2
•  Eléments de la mécanique du milieu
continu
La mécanique des MEMS
•  Poutres
et éléments de la mécanique du
milieu continu •  Ressorts
•  Masse
Dimitri Galayko •  Résonateurs
•  TD
1 2

Eléments de la mécanique du
Déformations
milieu continu
•  Théorie de l’élasticité : étude des •  Déformation relative (strain) : modification
déformations des corps solides relative de la géométrie du dispositif
élastiques soumis aux forces •  Exemple sur le cas de 2 dimensions
•  Hypothèse commune pour les corps y y Δx
x0
solides : faibles déformations relatives
•  Contrainte et déformation relative: les
notions de base
x x
3 4
Non-déformé Allongement selon x
 Déformations Déformations
•  La déformation de cisaillement :
•  La déformation (allongement) relative modification des angles d’un élément
est alors définie comme : 1 1 ⎛ Δx Δy ⎞
Δx
dans un plan xy ε xy = (α + β ) ≈ +
•  Dimension de l’unité ! εx = 2 2 ⎜⎝ x0 y0 ⎟⎠
x0 Δx
y y Δx y x0 y
x0
α
y0
Δy
x x x β
5
x 6
Non-déformé Allongement selon x Non-déformé Allongement selon x

Déformations Déformations
•  Dans cette formule, les angles sont •  L’ensemble des déformations d’un
approchés par leurs tangentes. éléments sont regroupés dans une
•  Valable pour faibles ε xy = 1 (α + β ) ≈ 1 ⎛⎜ Δx + Δy ⎞⎟ matrice symétrique (εxy=εyx):
déformations ! 2 2 ⎝ y0 x0 ⎠ ⎡ εx
Δx ε xy ⎤
y x0 y ε=⎢ ⎥
⎢ ε yx εy ⎥
⎣ ⎦
α
y0 •  Les éléments de cette matrice
Δy dépendent du repère. Comment ?
x β
x 7 8
Non-déformé Allongement selon x
 Déformations Déformations
•  Illustration de la dépendance de •  En choisissant un repère x’y’, on a… un
déformation du repère cisaillement !
•  Soit un allongement pur selon x
y y Δx y y Δx
x0 x0
y’ y’

x’ x’
x x x x
9 10
Non-déformé Allongement selon x Non-déformé Allongement selon x

Déformations Déformations
•  Illustration de la dépendance de •  En choisissant un repère différent, on a
déformation du repère (II) un pur allongement !
•  Soit un cisaillement

y Δx y Δx
x0 y x0 y y’
y’
α α
y0 y0
x’
Δy x’ Δy
x β x β
x 11
x 12
Non-déformé Allongement selon x Non-déformé Allongement selon x
 Déformations Déformation
•  Soit deux repères O et O’, avec les axes i, j, k
•  Conclusion : la matrice de déformation se et i’, j’, k’, avec la matrice de transition A.
transforme lorsque l’on change de repère.
•  Un vecteur b défini dans O sera dans le
•  Or, la déformation est sensée être invariante repère O’:
vis-à-vis du changement du repère  
b ' = Ab
•  C’est donc un tenseur
•  De même, le tenseur de déformation ε défini
•  Un tenseur : une généralisation de vecteur dans le repère O sera dans le repère O’ :
•  Un tenseur est caractérisé par les éléments
ε’=ATεA
de sa matrice dans un repère donné + par la
loi de transformation lors du changement de
repère 13 14

Déformation Contraintes
•  Le tenseur de déformation se décompose en
somme de la composante « hydrostatique » •  Une contrainte (angl. stress): une grandeur
de dilatation et de cisaillement caractérisant les forces dans le volume d’un
corps solide
•  La dilatation (modification du volume) :
•  Est également une grandeur tensorielle
1 vol − vol0
e = εx + εy + εz = y •  Contrainte axiale ou
3 vol0
normale : F
•  Le déviateur (modification du forme) (I est la σx =
matrice identité) : Fx Fx S
•  S: l’aire de la face
1
E ' = ε − eI sur laquelle agit la force
3 15 16
x
 Contraintes Contraintes
•  Une contrainte (angl. stress): une grandeur •  Les deux types des contraintes forment
caractérisant les forces dans le volume d’un une matrice qui est, en fait, un tenseur
corps solide
•  Ce tenseur est symétrique : σij=σji
•  Est également une grandeur tensorielle
Pourquoi ? (à considérer sur un cas à 2
y •  Contrainte de cisaillement
(nommé parfois γ)
dimensions)
Fxy F
σ xy =
S Fij
•  S: l’aire de la face
σ ij =
S
Fxy sur laquelle agit la force
•  Première indice (x) : l’axe normale au plan
17 18
x •  Deuxième indice (y) : l’axe parallèle à la force

Contraintes Contraintes
•  Une matrice des contraintes est un
•  Cas des 3 dimensions:
z tenseur. Comment le démontrer ?
Le tenseur des contraintes •  Soit un élément de volume
Fz z de forme pyramidale, avec le sommet à
est une matrice 3x3 l’origine
Fzx Les forces agissent sur les F •  Soit cet élément subit un tenseur de
Fzy
Fxz surfaces d’un cube contrainte σ
Fyz Fx orthogonal aux axes
x n •  Alors, la base de la pyramide
Fxy S subit une force F dont la tension
Fy
Fyx associée (la contrainte, F/S) est
x égale à σn
•  Démonstration sur le cas à 2
y dimensions!
19 y 20
 Contraintes Lois d’élasticité
•  Ainsi, le tenseur de contrainte est une •  Relation entre la déformation et la contrainte
application linéaire définie dans axiales ou normales (à la surface)
l’espace vectorielle (x,y,z) •  Sous condition de faible déformation :

•  Il est connue qu’une telle application

σ = Eε
•  Ici, E est le module d élasticité, appellé Module d Young
dépend du repère, et donc, est un •  Pour Silicium monocristallin, E=168…187 GPa selon la direction
tenseur ! •  Pour Silicium polycristalin (polysilicium), le module d Young
dépend du process et vaut 120…175 Gpa, avec 160 GPa en
moyenne.
•  Données de confiance : celles qui ont été mesurées sur VOTRE
technologie
21 22

Lois d’élasticité Lois d’élasticité

•  Contraintes et déformation de cisaillement
•  Relation entre la déformation et la contrainte δx
axiales ou normales (à la surface) y0 δx
y S
•  Exemple pour une poutre F ε yx =
x y0
F
δ z σ yx = Gε yx
σ =E
L •  Ici G est le module de rigidité ou la constante de cisaillement
•  Il s’agit d’un paramètre du matériau
23 24
 Lois d’élasticité Lois d’élasticité
•  Contrainte uniaxiale conduit à une déformation selon
les autres axes à modification du volume •  Modification du volume suite à une contrainte
uniaxiale est caractérisé par le coefficient de
x0-δx Poisson : le rapport entre déformation
x
transversale et longitudinale
y F F εy ε
ν =− =− z
εx εx
•  Ici εx, εy et εz sont les déformations suite à
x0
une contrainte/déformation selon l’axe x
Déformation : -δx/x0 dans la direction x, •  Pour silicium : 0.15…0.36 mesuré, 0.22 est
+δy/y0 dans la direction y (δz dans la direction z, pas 25 le plus cité 26
visible)

Lois d’élasticité Lois d’élasticité

•  Coefficient de Poisson: traduit la modification •  Lien entre les trois constantes
du volume associé à une déformation selon élastiques
un axe. On peut montrer que pour petites
déformations, G=
E
2(1 + ν )

ΔV ≈ ΔxΔyΔz(1 − 2ν )ε x

27 28
 Lois d’élasticité
•  Le cas général (3D), lorsque plusieurs
contraintes / déformations sont présentes :
la loi de Hook généralisée, sous forme
tensorielle
σ = Cε ou ε = Sσ
•  Ici C est le tenseur des coefficients de
raideur (stiffness), et S est le tenseur des
coefficients de souplesse (compliance)
29
Lois d’élasticité
•  C est un tenseur du 4ème rang !
Pourquoi ?
•  C’est une application linéaire entre les 9
composants du tenseur des contraintes
et 9 composants du tenseur des
déformations: 9x9 coefficients !
•  La multiplication du C avec le tenseur
du 2ème rang ε doit donner un tenseur
du 2ème rang σ 30

Lois d’élasticité Lois d’élasticité

•  En réalité, σ et ε n’ont que 6 éléments •  On représente parfois la loi de Hook
indépendants, car ils sont symétriques généralisé sous forme matricielle :
•  Ainsi, le tenseur C ne possède que 21
éléments indépendants dans le cas le plus ⎛ σ 1 ⎞ ⎛ C11 C12 C13 C14 C15 C16 ⎞ ⎛ ε1 ⎞
général (matériau anisotrope, …) ⎜ ⎟ ⎜ ⎟⎜ ⎟
⎜ σ 2 ⎟ ⎜ C21 C22 C23 C24 C25 C26 ⎟ ⎜ ε2 ⎟
•  En pratique des symétries présents dans le ⎜ σ 3 ⎟ ⎜ C31 C32 C33 C34 C35 C36 ⎟ ⎜ ε3 ⎟
⎜ ⎟ =⎜ ⎟⎜ ⎟
matériaux réduisent le nombre d’éléments ⎜ σ 23 ⎟ ⎜ C41 C42 C43 C44 C45 C46 ⎟ ⎜ ε 23 ⎟
indépendants ⎜
⎜
σ 31 ⎟⎟ ⎜⎜ C51 C52 C53 C54 C55 C56 ⎟⎟ ⎜
⎜
ε 31 ⎟⎟
⎜⎝ σ 12 ⎟⎠ ⎜⎝ C61 C62 C63 C64 C65 C66 ⎟⎠ ⎜⎝ ε12 ⎟⎠
31 32
 Loi d’élasticité matricielle Constantes des matériaux
•  Par ex., pour le silicium cristallin il n’y •  Résumé des constantes élastiques
en a que 3 coefficients indépendants
⎛ C11 C12 C12 0 0 0 ⎞ C11=166 GPa
⎜ ⎟
⎜ C12 C11 C12 0 0 0 ⎟ C12=64 Gpa
⎜ C12 C12 C11 0 0 0 ⎟
C44=80 GPa
C=⎜ ⎟
⎜ 0 0 0 C44 0 0 ⎟
⎜ 0 0 0 0 C44 0 ⎟
⎜ ⎟
⎜⎝ 0 0 0 0 0 C44 ⎟⎠
33 34

Expansion thermique des

Expansion thermique
matériaux
•  L’expansion thermique des matériaux est une •  Conséquences sur le dépôt de couches
source de contraintes internes minces : un « décollage » du substrat
•  Soit une poutre libre, de longueur x0 à (épais)
température T :
x0

x
•  Chauffée, elle affiche une déformation dε, et on
introduit le coefficient d’expansion thermique :
dε x
αT = 35 36
dT
 Eléments mécaniques Eléments mécaniques
•  Couche mince libérée : contraintes (1) •  Couche mince libérée : contraintes (1)

37 C. T. C. Nguyen
38

Poutres en flexion Poutres en flexion

•  Une poutre : un objet mécanique long, à
section constante, généralement •  Types de forces qui peuvent agir sur les
rectangulaire poutres :
•  Sous action des forces : les –  Ponctuelle
poutres se déforment
–  Distribuée (repartie sur toute ou une partie de la
•  Chaque partie de la poutre se surface)
déforme et subit des forces de la –  Moment de force (effort de tournevis)
part des parties voisines.
l
•  Ces phénomènes se
caractérisent par les contraintes,
les déformations et les moments
h de forces.
w •  Analyse détaillée : S. Senturia,
39 40
Microsystem Design
 Poutre et éléments de la
Poutre en flexion
mécanique du milieu continu
•  Etat des extrémités (conditions limites) •  Etude de systèmes mécaniques de milieu continu :
–  Fixée : pas de mouvement possible simulation 3D
–  Libre : tout mouvement possible •  Principe (calcul intégral-différentiel) : découpage en
–  Guidée (pinned on rollers ) : une liberté de mouvement du corps en éléments de volume infinitésimaux
–  Appuyée (pinned) •  Application à chaque élément de volume d une
•  Terminologie : hypothèse des déformations linéaires
•  poutre encastrée-encastrée, •  Application de lois dynamiques de la mécaniques
•  encastrée-libre, •  Intégration
•  encastrée-guidée, •  Calcul très lent
•  libre-libre,
•  etc.
41 42

Poutre et éléments de la Poutre et éléments de la

mécanique du milieu continu mécanique du milieu continu
•  Cependant, sous hypothèses simplificatrices
et pour certains cas particuliers, on peut
analyser une poutre analytiquement
•  Ce qui nous intéresse est le paramètre
« macroscopique » : la raideur, c.a.d., la
déformation d une poutre en réaction à une
force externe appliquée.

43 44
 Poutre en flexion Poutres en flexion
•  Lorsqu’une poutre est en flexion, il y a une distribution des •  Poutre en tant qu’un ressort
déformation le long de la section de la poutre
•  L’axe neutre : non-déformée
•  L’analyse simplifiée : une poutre longue et fine

45 46

Raideur d une poutre à

Poutre en flexion
section rectangulaire
•  Une poutre est utilisée pour fabriquer Poutre Poutre encastrée/ Poutre encastrée/
y
encastrée/libre guidée encastrée
un ressort : un élément mécanique qui
affiche une déformation lorsqu’une F F F
force ponctuelle est appliquée
4L3 L3 L3
y= Fy y= Fy y= Fy
•  Le paramètre d’intérêt : la raideur EhW 3 EhW 3 16EhW 3

F w3 w3 w3
k= k = Eh 3 k = Eh 3 k = 16Eh 3
Δx 4l l l

47 L est la longueur, h est la dimension normale à la flexion

48
 Poutre mécanique : non- Poutre et éléments de la
linéarités mécanique du milieu continu
•  Une poutre réelle : non-linéaire •  Poutre encastrée-encastrée :
F=-kx pour une poutre idéale
En réalité : F=-kx-k1x3- k2x5-…
Lorsqu une poutre non-linéaire est utilisée dans un
résonateur : résonateur de Duffing, un effet non-
linéaire (cf. plus tard)

Poutre encastrée-libre

49 50

Poutre contrainte aux bouts Poutre contrainte aux bouts

•  Une contrainte axiale, la raideur de la •  Une poutre flambée
poutre change ! (le phénomène d’une
corde tendue)
F F

•  Une contrainte axiale compressive : une

poutre flambée

51 52
 Poutre contrainte aux bouts Ressort composé
•  Un ressort est souvent fait avec
plusieurs poutres, c.a.d., avec plusieurs
ressorts élémentaires :

1/keq=1/k1+1/k2

keq=k1+k2
53 54

Ressort composé
Ressort composé Poutre guidée II: ressorts repliés
Fx
Fx/4
•  Poutre guidée: L2 W2

L L1
W x
W1 Fx/4
y
z

•  è compensation des contraintes

Fx
3 3
•  Equivalent à 4 poutres encastrées-guidées : ⎛ W ⎞ λ 2 + 14αλ + 36α 2 ⎛w ⎞
k x = 2Eh ⎜ 2 ⎟ α = ⎜ 1⎟
⎝ L2 ⎠ 4λ + 41αλ + 36α
2 2
⎝w ⎠ 2
3 3
⎛W ⎞ Fx /4 ⎛ W ⎞ 8λ + 8αλ + α
2 2
L1
k x = 4Eh ⎜ ⎟ k y = 2Eh ⎜ 1 ⎟ λ=
⎝ L1 ⎠ 4λ + 10αλ + 5α L2
2 2
⎝ L ⎠ 55 56
 Ressort composé : un
Masse
exemple
Suspensions Permeate MEMS Exemple d une réalisation de la masse : une brique de Si
•  Gyroscope (Draper Labs) Masse volumique du Si : 2330 kg·m ³, verre : 2500 kg·m ³
Au : 1930 kg·m ³, fer : 7874 kg·m ³

57 58

log Devices] Gyroscope [Draper Labs.]

Masse Résonateur micromécaniques

Les rôles de la masse : •  Résonateurs à paramètres localisés :
-- élément constitutif pour un résonateur de second
ordre,
Filter [K. Wang, Univ. of Michigan]
-- Capteur sismique naturel
LecM 8 C. Nguyen 9/28/07 32
Masse en tant que capteur sismique : 
Soit un système soumis à une accéleration a
ou à un champ gravitation.
La masse subit alors une force :
 
F = −ma •  Il est possible de séparer la masse du ressort.
Application : mésure d accéleration, gyroscopes, Basse fréquence : accéléromètres,
versity of California
récupération d énergie vibratoire 59 16 60
gyroscopes, …
 Résonateur micromécaniques Résonateur micromécaniques
•  Résonateurs à paramètres distribués : •  On parle alors de modes de vibration
on ne peut pas distinguer la masse du
ressort
•  Le résonateur est fait avec une poutre

61 62

Résonateurs Résonateurs
•  Les modes de résonance correspondent aux ondes stationnaires •  Comment définir les paramètres du modèle
•  Pour chaque mode on définit la fréquence, la masse effective et équivalent d’un résonateur ?
la rigidité effective, pour permettre une modélisation à –  On calcule ou on mesure sa fréquence de résonance
paramètres localisés f0
Encastrée- Encastrée-libre Modèle à paramètres
encastrée –  On calcule sa raideur k
localisés
k s’appelle ”rigidité” ou ”constante de rai-
deur” du ressort. Le signe moins dans cette for-
k –  Avec la formule m=k/(2π f0)2 on trouve la masse
Fréquence de w E w E
mule signifie que la force mécanique générée par
le ressort est orienté de sorte à s’opposer à la f⃗ext effective
résonance, Hz 1.03 0.161
déformation.

l2 ρ l ρ
2 de ressort est fixé,
Dans un cas où un terminal
i.e., ∂x2 = 0, et l’axe x1 est choisi de sorte à
–  On estime expérimentalement le facteur de qualité Q
ce que la position du terminal 1 soit dans l’ori-
gine pour le ressort non-déformé, on obtient une
relation bien connue :
µ m –  On trouve µ avec la formule µ=m(2π f0)/Q
x

Ici w est la largeur (dimension dans l axe colinéaire Fx1 = −kx1 . (18)Figure 1 –
63 64
au sens de la flexion)
– Un amortisseur est également un élément
mécanique à deux terminaux mécaniques qui sont reparties (par ex., une corde vibrante). Dans
est le plus souvent considéré dans un contexte ce cours, nous ne considérons que des systèmes
unidimensionnel. Chaque terminal est donc ca- mécaniques à paramètres localisés. Une force ex-
ractérisé par sa coordonnée (x1 , x2 ). L’amor- terne peut s’exercer sur la masse.
tisseur génère une force sur chaque terminal. La dynamique d’un résonateur mécanique se
Ces forces sont proportionnelles à la vitesse de décrit par la seconde loi de Newton :
la déformation de l’amortisseur, et de la même
 Résonateurs Résonateurs
•  Effets non-linéaires dans les résonateurs :
•  Facteur de qualité des résonateurs •  Lorsqu’un résonateur subit une force non-linéaire, c.a.d.,
mécaniques, de type poutre encastrée- dont l’impédance dépend de l’amplitude:
–  Ressort non-linéaire : apparaît lorsque la relation force-
encastrée. Epaisseur 15 µm déformation est non-linéaire :
•  F=-kx-k1x3- k2x5-…
•  Ou bien, les stoppeurs : F=-kx pour petit déplacement, et les stoppeurs très
rigides limitent le déplacement à un certain niveau xmax
⎧ −kx, x < x max
⎪
Fstopper = ⎨
−k (x − x max ),sinon
⎩⎪ stopper

–  Amortissement non-linéaire : µ=f(v), où v est la vitesse, f() est

une fonction non-linéaire
•  Conséquence : déformation de la fonction de transfert
65 pour la première harmonique 66

Résonateur Résonateur + transducteur

Résonateur non-linéaire: modification de la fréquence Un résonateur MEMS est associé à un transducteur électrostatique
26
de résonance, apparition de bi-modalité
E. Blokhina and D. Galayko
ou piezoélectrique
Transducteur électrostatique : comb-drive ou parallel-plate, ou les
Fig. 3.11 Resonance in a
nonlinear Duffing oscillators deux
with a > 0. The larger the
amplitude of the external
force f0 , the larger the am-
plitude of forced oscillations.
The segment of the resonance
curve a0 (s ) with bi-stability
and hysteresis (shown by the
dashed lines) increases corre-
spondingly.

= (f f )/f
0 case 0
f0 = 0.2. In contrast to the linear : fréquence
shown by the grey line,normalisée
resonance in non-
linear oscillators leads to bi-stability a : amplitude
and hysteresis. normalsée
From this figure one can see that for0certain values of the frequency mismatch s 67 68
there are three overlapping branches of f0the
: facteur de non-linéarité
graph. This means that there are three
solutions for a0 found from (3.76). The further analysis of these solutions shows
that two of them are stable (shown by the solid line) while the third is not stable
(this branch is shown by the dashed line). Depending on initial conditions x(t0 ) and
v(t ), the oscillator can display forced vibrations with a large amplitude a or with
 Résonateur + transducteur Résonateur + transducteur
Un résonateur MEMS est associé à un transducteur électrostatique Un résonateur MEMS est associé à un transducteur électrostatique
ou piezoélectrique ou piezoélectrique
Transducteur électrostatique : comb-drive ou parallel-plate, ou les Transducteur électrostatique : comb-drive ou parallel-plate, ou les
deux deux

Accéléromètre à contre-réaction
mécanique :
Ici, les Cs sont là pour mesurer le
déplacement,
Cc permettent de maintenir la masse
en position d équilibre

69 70

Bibliographie Résonateurs: résumé

•  Stephen D. Senturia, Microsystem Design, Springer, 2004
•  Carol Livermore, course materials for 6.777J / 2.372J
Design and Fabrication of Microelectromechanical
Devices, Spring 2007. MIT OpenCourseWare(http://
ocw.mit.edu/), Massachusetts Institute of Technology.
Lecture 7
•  Un résonateur à paramètres localisés se décompose
en ressorts et masse
•  Les constantes k et m se calculent séparement
•  Analyse facile, se prête bien à une modélisation
VHDL-AMS
•  Généralement basse fréquence (<1MHz)

•  Un résonateur à paramètre repartis :

–  Un modèle à paramètres localisés équivalent est construit
–  Paramètrisation du modèle : à l’aide d’un logiciel de
modélisation par éléments finis

71 72
 Question TD Question TD
La structure est fabriquée en silicium, d’épaisseur h. Connaissant toutes les paramètres, exprimez :
La longueur des segments horizontaux des poutres est l1, celle des –  La raideur totale des ressorts
segments verticaux est l2, la largeur des poutres est d. –  La masse totale des ressorts
Au total, il y a N segments verticaux de chaque coté (sur le dessin, –  La valeur de la masse
N=7) –  A partir de quelle valeur de W peut on considérer ce résonateur
comme étant à paramètres localisés?

W l2 W
l1

L L
73 74

Question TD
•  Faites une application numérique pour :
L=300 µm, W=300 µm, d=2 µm, N=15, l2=4 µm, l1=120 µm, h=100 µm.
•  En supposant que le facteur de qualité du résonateur est de 100,
concevez un transducteur électrostatique capable de mettre la masse
mobile en mouvement, avec amplitude de 1 µm, à la fréquence de
résonance. Vous devez choisir le type de transducteur
•  Quelle accélération externe mettra la masse en mouvement avec la
même amplitude ?

L
75