2022mulh5427 These Colard

Année 2022 N° d’ordre : (attribué par le SCD)
UNIVERSITÉ DE HAUTE-ALSACE
UNIVERSITÉ DE STRASBOURG
THÈSE
Pour l’obtention du grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ DE HAUTE-ALSACE
ÉCOLE DOCTORALE de Sciences de l’Information et de l’Ingénieur (ED 269)
Discipline : Électronique, Optronique et Systèmes
Présentée et soutenue publiquement

par
Matthias COLARD
Le 09
Le 09 décembre
Décembre 2022
2022
ÉTUDES DES ÉLÉMENTS D’INTERFAÇAGE

POUR L’ACTIVATION D’HOLOGRAMMES
PIXELISÉS, APPLICATION A LA PROJECTION
RÉTINIENNE
Sous la direction du Prof. HAEBERLE Olivier
Jury : Dr. CAMON Henri, CNRS LAAS, Toulouse (Rapporteur)

Prof. HEGGARTY Kevin, IMT Atlantique, Brest (Rapporteur)
Prof. GROSSO David, IM2NP, Marseille (Examinateur)
Dr. GHIBAUDO Elise, IMEP LAHC, Grenoble (Examinatrice)
Prof. HAEBERLE Olivier, Université de Haute Alsace (Directeur de thèse)
Dr. MARTINEZ Christophe, CEA Leti (Encadrant de thèse)
Thèse : Études des éléments d’interfaçage pour l’activation d’hologrammes pixélisés, application à la projection
rétinienne.
REMERCIEMENTS
Mon travail de thèse a été mené au sein du Laboratoire des Architectures des Systèmes
Photoniques (LASP) du CEA Leti. Durant mes trois années de thèse dans ce laboratoire il m’a
été donné l’occasion de faire de nombreuses rencontres aussi bien au sein même de mon
laboratoire d’accueil que à l’extérieur de ce dernier. Aussi, je tiens à remercier toutes les
personnes m’ayant soutenu professionnellement et personnellement tout au long de mes
années de thèse.
Tout d’abord je souhaite remercier les membres de mon jury pour avoir participé à la
valorisation scientifique de mon travail de thèse. Pour commencer merci au Professeur Henri
CAMON et au Professeur Kevin HEGGARTY, qui ont accepté d’être rapporteur de ma thèse
et dont les remarques ont permis de préciser mon travail. Je remercie également le Professeur
David GROSSO et le Docteur Elise GHIBAUDO qui ont fait partie de mon jury de soutenance.
Merci également à vous deux pour votre soutien technique et théorique sur les sujets respectifs
de la fabrication sol-gel et des phénomènes photoniques. Un grand merci également à Olivier
HAEBERLE, pour avoir accepté de diriger ma thèse, merci pour ton encadrement et ton
soutien aussi bien scientifique que personnel tout au long de ces trois années de thèses
Je tiens évidement à remercier également l’ensemble des membres du LASP pour leur
accueil chaleureux ainsi que pour leur soutien. Je tiens particulièrement à remercier
Christophe MARTINEZ qui a encadré mon travail de thèse. Merci pour la qualité de ton
encadrement et de tes connaissances que tu t’évertues à transmettre et surtout à faire
comprendre autour de toi. Un grand merci également à Yann LEE de m’avoir aidé dans la
gestion de la fabrication des lots en salle blanche en démêlant ce sac de nœuds encore et
encore. Merci également à Sylvia MEUNIER DE LA GATTA et Marie-Claude GENTET pour
votre aide technique qui m’aura été essentielle et merci pour votre bonne humeur et votre
compagnie au bureau (et pour les caramels !). Je remercie également Fabian RAINOUARD,
Paul LEGENTIL et Kyllian MILLARD pour nos échanges sur nos sujets respectifs mais aussi
pour les bons moments dans et en dehors du laboratoire. Je remercie également
particulièrement Salaheddine TOUBI que j’ai eu la chance d’encadrer pendant ma dernière
année de thèse, et dont les résultats ont permis de faire évoluer mon travail.
Je remercie également à Stéphanie LE CALVEZ pour son écoute et sa qualité de
manageur. Merci à Anis, Laurent, Frédéric, Kim et Pierre qui m’ont aidé à atteindre mes
objectifs de thèse grâce à leurs conseils et connaissances techniques. Evidement je remercie
tous les autres membres du laboratoire (Ferdinand, Éric, Jean, Olivier, Ayoub, Nathalie…)
pour leur accueil et leur compagnie.
Lors de ma thèse j’ai également eu l’occasion de travailler avec le Laboratoire
d’Assemblage et Intégration Photonique (LAIP). A ce titre je tiens à remercier Benoit RACINE
et Olivier HAON pour leurs soutien et leur encadrement concernant la partie cristaux liquides
de ma thèse. Un grand merci également à Aurélien SUHM, qui m’a soutenu dans le processus
fabrication des lots, merci pour ta réactivité et l’aide que tu m’as apportée tout au long de cette
II
rétinienne.
thèse. Merci également à l’ensemble des personnes que je n’ai pas rencontrées mais qui ont
participé à la fabrication de ces lots essentielles à ma thèse.
Je remercie également Nikita SOLODKOV et Clément ABELARD qui ont tous deux
accepté de discuter avec moi sur leurs temps libres des moyens de simulations du
comportement des cristaux liquides.
Je souhaite également remercier les membres de la start-up Solnil à Marseille, David
GROSSO et Badre KERZABI qui ont mené une recherche d’une grande qualité sur la
formulation du réseau en sol-gel et sa mise en œuvre sur nos échantillons.
Je remercie l’ensemble de mes amis, aussi bien à Grenoble, en Normandie, et un peu
partout en France pour leur soutien et les moments de détente et de ressourcement qu’ils
m’ont apporté quand j’en avais besoin.
Merci également aux membres de ma famille et plus particulièrement mes parents qui
m’ont soutenu tout au long de mes études et dans ma vie personnelle.
Finalement je tiens à remercier de tout mon cœur Alizée sans qui ce travail de recherche
n’aurait pas été possible, merci pour ton soutien, ta gentillesse et tout ce que tu apportes dans
ma vie depuis que tu y es rentrée.
III
rétinienne.
TABLE DES MATIÈRES

REMERCIEMENTS ............................................................................................................................ II
TABLE DES MATIÈRES .................................................................................................................. IV
LEXIQUE VII
INTRODUCTION 1
CHAPITRE I : CONTEXTE ET OBJECTIFS ........................................................................... 3
INTRODUCTION .................................................................................................................................... 4
I GENERALITE SUR LA REALITE AUGMENTEE ................................................................................ 4
I.A Définition de la Réalité Augmentée ..................................................................................................... 4
I.B Notions utiles pour la Réalité Augmentée ........................................................................................... 5
I.C Contexte de la réalité augmentée ....................................................................................................... 8
II NOTIONS PHYSIQUES UTILES ...................................................................................................... 10
II.A Optique guidée .................................................................................................................................. 10
II.B Optique diffractive ............................................................................................................................ 18
II.C Holographie ....................................................................................................................................... 20
II.D Cristaux liquides ................................................................................................................................ 23
III ETAT DE L’ART DES DISPOSITIFS DE REALITE AUGMENTEE ................................................... 28
III.A Combineur espace libre ..................................................................................................................... 28
III.B Combineur à base de guide d’onde ................................................................................................... 30
III.C Technologies en rupture .................................................................................................................... 30
IV LA REALITE AUGMENTEE AU CEA LETI ................................................................................. 32
IV.A Concept de projecteur rétinien au CEA .............................................................................................. 33
IV.B Projection d’une image ..................................................................................................................... 35
V OBJECTIFS DE LA THESE.............................................................................................................. 37
V.A Adressage des hologrammes pixélisés en optique espace libre ........................................................ 37
V.B Adressage des hologrammes en optique intégrée ............................................................................ 37
CONCLUSION DU CHAPITRE I ............................................................................................................. 39
CHAPITRE II : METHODES D’ADRESSAGE DES HOLOGRAMMES PIXELISES........ 40
INTRODUCTION DU CHAPITRE II ........................................................................................................ 41
I PRINCIPE D’AUTO FOCALISATION ............................................................................................... 41
I.A Auto-focalisation à l’aide d’un masque ............................................................................................. 41
I.B Auto-focalisation à l’aide de points émissifs ..................................................................................... 47
I.C Auto-focalisation d’une image à l’aide de DPE aléatoire .................................................................. 49
I.D Optimisation de l’utilisation des hologrammes pixélisés .................................................................. 52
II HOLOGRAMMES PIXELISES ......................................................................................................... 56
II.A Ecriture des hologrammes pixélisés .................................................................................................. 57
II.B Processus d’écriture des hologrammes pixélisés ............................................................................... 59
III ADRESSAGE DES HOLOGRAMMES PIXELISES EN OPTIQUE ESPACE LIBRE ............................... 61
III.A Principe de fonctionnement du banc ................................................................................................. 62
III.B Choix du masque dynamique ............................................................................................................ 63
III.C Alignement de l’adressage ................................................................................................................ 70
IV METHODE D’ADRESSAGE DES HOLOGRAMMES PIXELISES EN OPTIQUE INTEGREE ................. 75
IV.A Spécification de l’adressage en optique intégrée .............................................................................. 75
IV.B Etat de l’art des briques d’activation ................................................................................................ 79
IV.C Approches d’activation proposées .................................................................................................... 82
IV.D Modification de la différence d’indice des dents du réseau .............................................................. 83
IV.E Modification du recouvrement entre le réseau et le mode guidé ..................................................... 84
CONCLUSION DU CHAPITRE II............................................................................................................ 87
CHAPITRE III : ACTIVATION EN OPTIQUE ESPACE LIBRE ........................................... 88
IV
rétinienne.
INTRODUCTION DU CHAPITRE III ....................................................................................................... 89

I TEST DU BANC D’ACTIVATION EN OPTIQUE A ESPACE LIBRE ..................................................... 89
I.A Contraste du SLM .............................................................................................................................. 89
I.B Projection d’image ............................................................................................................................ 90
II ADRESSAGE PASSIF DES HOLOGRAMMES PIXELISES................................................................... 92
II.A Système de lecture passif des hologrammes pixélisés ...................................................................... 92
II.B Mesures de lecture passive ............................................................................................................... 93
II.C Traitement de la mesure de lecture passive ...................................................................................... 97
II.D Modification de la taille de la pupille d’adressage ............................................................................ 99
II.E Optimisations de la projection statique ............................................................................................ 99
III ADRESSAGE SELECTIF DES HOLOGRAMMES PIXELISES ......................................................... 103
III.A Adressage à l’aide d’un faisceau non structuré ............................................................................... 103
III.B Adressage à l’aide d’un faisceau structuré ...................................................................................... 104
IV ADRESSAGE SEQUENTIEL ET DYNAMIQUE ............................................................................ 111
IV.A Projection avec traitement de la mesure ........................................................................................ 112
IV.B Projection sans traitement de la mesure ......................................................................................... 113
CONCLUSION DU CHAPITRE III ........................................................................................................ 116
CHAPITRE IV : ACTIVATION EN OPTIQUE ESPACE INTEGRE ................................... 117
INTRODUCTION DU CHAPITRE IV..................................................................................................... 118
I DIMENSIONNEMENT DES APPROCHES ENVISAGEE .................................................................... 118
I.A Dimensionnement de l’approche par effacement du réseau .......................................................... 118
I.A Approche par déconfinement du mode guidé ................................................................................. 128
II ARCHITECTURES D’ADRESSAGE ............................................................................................... 131
II.A Architecture d’adressage optique ................................................................................................... 131
II.B Architecture des électrodes d’adressage ......................................................................................... 134
III METHODES DE CARACTERISATION........................................................................................ 137
III.A Goniomètre en optique intégrée ..................................................................................................... 137
III.B Rétro-goniomètre en optique espace libre ...................................................................................... 138
III.C Microscope polarisant en transmission ........................................................................................... 139
IV MISE EN ŒUVRE DES COMPOSANTS ...................................................................................... 140
IV.A Procédé de fabrication des électrodes............................................................................................. 140
IV.B Procédés de fabrication des réseaux ............................................................................................... 141
IV.C Fabrication des réseaux de diffraction par procédé sol-gel............................................................. 143
I.B Réalisation des cellules de cristaux liquides .................................................................................... 147
V TEST DE L’EFFACEMENT DES RESEAUX .................................................................................... 152
V.A Théorie de la diffraction par un réseau de phase en transmission .................................................. 153
V.B Test d’un effacement en polarisation avec cristaux liquides ........................................................... 155
V.C Test de l’activation de l’effacement des réseaux de diffraction ...................................................... 157
VI TEST DES CELLULES PAR DECONFINEMENT .......................................................................... 158
VI.A Test de l’adressage électrique des cellules ...................................................................................... 158
VI.B Mesure de déconfinement............................................................................................................... 159
CONCLUSION DU CHAPITRE IV ........................................................................................................ 162
CONCLUSION ET PERSPECTIVES ............................................................................................ 163
REALISATION DES OBJECTIFS INITIAUX ........................................................................................... 163
Adressage des hologrammes pixélisés en optique espace .......................................................................... 163
Adressage des hologrammes en optique intégrée ...................................................................................... 163
PERSPECTIVES .................................................................................................................................. 165
Perspective pour l’adressage en optique espace libre ................................................................................. 165
Perspectives pour l’adressage en optique intégrée ..................................................................................... 165
RÉFÉRENCES 167
LISTE DES PUBLICATIONS REALISEES PENDANT LA THESE......................................... 174
ANNEXES 175
V
rétinienne.
A I. AUGMENTATION DE LA DYNAMIQUE DE MESURE ................................................................. 175

A II. MESURE DE L’EPAISSEUR DES CELLULES .......................................................................... 178
VI
rétinienne.
LEXIQUE
5CB : 4-Cyano-4'-pentylbiphenyl (cristal liquide)
AZO : Aluminum Zinc Oxide
BARC : Bottom Anti-Reflective Coating
BS : Beam Splitter
CEA : Commissariat à l’Energie Atomique,
CL : Cristaux liquides
CMOS : Complementary Metal-Oxide-Semiconductor
CrNi : Chrome Niquel
DMD : Digital Micromirror Device
DOPT : Département d’Optique et Photonique
DPE : Distribution de Points d’Emission
DPH : Distribution de Pixel Holographique
EME : Egein Mode Expension
FDTD : Finite-Difference Time-Domain
FEM : Finite-Element Method
FOV : Field Of View, angle de vue
HDR : High Dynamic Range
HPDLC : Holographic Polymer Dispersed Liquid Crystal
HMD : Head Mounted Display
Hoel : Pixel Holographique (Holographic element)
IPS : In Plane Switching
IR : Infra-Rouge
ITO : Oxyde d'Indium-étain
LASP : Laboratoire d’Architecture de Système Photonique
LCD : Liquid Crystal Device
LCoS : Liquid Crystal on Silicon
Leti : Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information
LIDAR : Light Detection And Ranging
LPCVD : Low-Pressure Chemical Vapor Deposition
MEB : Microscopie électronique à balayage
MEMS : MicroSystèmes ElectroMécaniques
VII
rétinienne.
MMI : Multimode Interferometer

MZI : Interféromètre de Mach-Zehnder
OPA : Optical Phased Array, antenne à réseau de phase optique
PAN : Planar aligned nematic (liquid crystal)
PE : Point d’émission
PECVD : Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
PICs : Photonic Intagrated Circuits
RA : Réalité Augmentée
RM : Réalité Mixte
RV : Réalité Virtuelle
SiN : Nitrure de Silicium
SISP : Service d’Integration des Système Photonique
SNR : Signal to Noise Ratio
SLM : Spatial Light Modulator
TCO : Transparent Conductive Oxide
TE : Transverse Electric (polarisation)
TIR : Réflexion totale interne
TLER : résine de photolithographie
TM : Transverse Magnetic (polarisation)
VAN : Vertical aligned nematic (liquid crystal)
VIII
rétinienne.
INTRODUCTION
Depuis plusieurs années maintenant, la réalité augmentée attire de nombreux acteurs
académiques et industriels. Cette application est pressentie par certains comme la prochaine
révolution de l’information de notre société qui remplacera le smartphone. Pourtant malgré des
avancées technologiques de pointes et des investissement massifs de certains grands
acteurs, tel que Microsoft, Google ou plus récemment Méta, les produits peinent à être adoptés
par le grand public. Pourtant l’engouement de ce dernier pour la réalité augmentée ne faiblit
pas depuis plus de 10 ans [1]. Partant de ce constat, plusieurs acteurs académiques tentent
de développer des concepts en rupture avec les produits déjà présents sur le marché, à la
recherche du dispositif qui permettra de réellement lancer le domaine de la réalité augmentée.
C’est dans ce contexte que le CEA Leti a développé un nouveau concept de projecteur
rétinien. Dans ce concept, l’ensemble des éléments permettant la formation de l’image sont
intégrés directement dans le verre de la lunette transparent. Le principe de projection s’appuie
sur des circuits photoniques et des composants holographiques pixélisés permettant à eux
deux de distribuer la lumière devant l’œil et former des faisceaux pouvant créer des images
directement sur la rétine. Pour développer ce concept une équipe d’une dizaine de personnes
environ travaille sur différents sujets. Les problématiques soulevées par ce sujet de recherche
sont nombreuses, et concernent, notamment, l’optique diffractive, l’optique intégrée,
l’holographie, les technologies de fabrication mais également des problématiques
mathématiques et électroniques. Un des points clefs du système est la liaison entre les blocs
de l’optique intégrée et l’holographie c’est-à-dire l’interfaçage du composant holographique.
Lors de ce travail de thèse, je me suis intéressé à cette problématique d’interfaçage des
hologrammes pixélisés en orientant mon travail sur deux points : l’interfaçage des
hologrammes en optique espace libre et en optique intégrée. Le premier point d’étude aura
permis de développer un banc de lecture dynamique d’hologrammes pixélisés en optique
espace libre. Ce banc permet notamment de démontrer plusieurs phénomènes dans
l’activation des hologrammes pixélisés. Le second point d’étude a permis de proposer et de
dimensionner deux architectures d’extraction actives depuis les guides d’ondes vers les
hologrammes pixélisés basés sur l’utilisation de cristaux liquides. De premiers tests
d’activation ont été réalisés et on mit en évidence des effets d’interaction entre les guides
d’ondes et une couche de cristaux liquides.
Ce manuscrit comporte quatre Chapitres de développement et un Chapitre de
Conclusion :
Le premier Chapitre permet de poser le contexte de la Réalité augmentée. J’y présente
les différentes applications ainsi que les notions clefs permettant la bonne compréhension de
la suite du manuscrit. Après avoir exposé plusieurs produits existants, je décrirai le concept
développé par le CEA Leti pour poser les contours et les spécificités du travail de recherche.
1
rétinienne.
Dans le second Chapitre je développerai la théorie de l’auto focalisation, principe physique

à la base du dispositif de projection rétinienne tel qu’il est imaginé. J’appliquerai ensuite ce
principe à l’utilisation d’hologrammes pixélisés pour la projection d’images simples. Cette
étude permettra notamment de mettre en évidence des effets physiques théoriques qui
permettront par la suite l’interprétation des résultats expérimentaux. A la suite de cette étude
je dimensionnerai le banc d’interfaçage, en optique espace libre, des hologrammes pixélisés.
Je proposerai ensuite deux architectures d’interfaçage en optique intégrée basées sur
l’utilisation des cristaux liquides.
Le Chapitre III présente les résultats expérimentaux de l’activation des hologrammes
pixélisés en optique espace libre. Plusieurs éléments sont observés en partant d’une activation
statique pour aller vers une activation dynamique des hologrammes pixélisés. Ces résultats
auront permis de démontrer la capacité à former des images à l’aide de distribution
d’hologrammes pixélisés marquant une avancée importante dans le projet de projection
rétinienne.
Dans le Quatrième Chapitre, je présenterai des éléments de dimensionnement des deux
approches d’activation d’extraction en optique intégrée présentées au Chapitre II. J’exposerai
ensuite les étapes de fabrication permettant de réaliser ces deux approches et je conclurai par
des résultats expérimentaux de l’activation de l’extraction.
Enfin dans un dernier Chapitre je réaliserai une conclusion des résultats obtenus au cours
de la thèse et présenterai des perspectives envisageables pour la suite du projet de projection
retienne.
2
rétinienne.
CHAPITRE I :
Contexte et Objectifs
INTRODUCTION .................................................................................................................................... 4
I GENERALITE SUR LA REALITE AUGMENTEE ................................................................................ 4
I.A Définition de la Réalité Augmentée ..................................................................................................... 4
I.B Notions utiles pour la Réalité Augmentée ........................................................................................... 5
I.B.1 Système proche de l’œil ................................................................................................................................... 5
I.B.2 Angle de vue et résolution angulaire ............................................................................................................... 6
I.B.3 Eye box ............................................................................................................................................................. 6
I.B.4 Conflit accommodation-vergence .................................................................................................................... 7
I.C Contexte de la réalité augmentée ....................................................................................................... 8
II NOTIONS PHYSIQUES UTILES ...................................................................................................... 10
II.A Optique guidée .................................................................................................................................. 10
II.A.1 Cas d’un guide d’onde plan ....................................................................................................................... 10
II.A.2 Interaction et recouvrement du mode guidé ............................................................................................ 13
II.A.3 Cas d’un guide d’onde 2D .......................................................................................................................... 14
II.A.4 Réseaux de couplage : ............................................................................................................................... 15
II.B Optique diffractive ............................................................................................................................ 18
II.C Holographie ....................................................................................................................................... 20
II.D Cristaux liquides ................................................................................................................................ 23
II.D.1 Les groupes de cristaux liquides ................................................................................................................ 23
II.D.2 Effets d’orientation des cristaux liquides à l’équilibre ............................................................................... 24
II.D.3 Effets d’anisotropie diélectrique et optique .............................................................................................. 26
III ETAT DE L’ART DES DISPOSITIFS DE REALITE AUGMENTEE ................................................... 28
III.A Combineur espace libre ..................................................................................................................... 28
III.A.1 Combineur bird bath et prisme TIR ........................................................................................................... 28
III.A.2 Combineur holographique ......................................................................................................................... 29
III.B Combineur à base de guide d’onde ................................................................................................... 30
III.C Technologies en rupture .................................................................................................................... 30
III.C.1 Hologrammes dynamiques en optique intégré ......................................................................................... 31
III.C.2 Balayage rétinien en optique intégré ........................................................................................................ 31
IV LA REALITE AUGMENTEE AU CEA LETI ................................................................................. 32
IV.A Concept de projecteur rétinien au CEA .............................................................................................. 33
IV.B Projection d’une image ..................................................................................................................... 35
V OBJECTIFS DE LA THESE.............................................................................................................. 37
V.A Adressage des hologrammes pixélisés en optique espace libre ........................................................ 37
V.B Adressage des hologrammes en optique intégrée ............................................................................ 37
CONCLUSION DU CHAPITRE I ............................................................................................................. 39
3
rétinienne.
Introduction
De nombreuses applications permettent aujourd’hui la perception d’informations de plus
en plus complexes, en synchronisation avec l’environnement. Pour la plupart de ces
applications, le maintien de la perception du monde réel simultanément à la perception de
l’information reste un caractère clef du développement des dispositifs. C’est dans ce cadre
que la notion « Réalité Augmentée » (RA) prend un intérêt grandissant : ce concept consiste
en la superposition d’une image de synthèse au-dessus d’une image du monde réel perçue
par un utilisateur. Après un développement constant dans le monde militaire, notamment en
soutient au pilotage [2], la RA connaît un développement croissant dans le monde de l’industrie
et de la recherche ces dernières années [2]. Plusieurs domaines sont concernés par cette
technologie, tels que le sport, l’automobile [3], la santé [4] [5]. Néanmoins les développements
autour de la RA pour le grand public font face à de nombreux défis technologiques [2] pour
afficher une image de qualité, à l’aide de dispositifs d’un coût raisonnable, avec des facteurs
de formes cohérents pour une utilisation prolongée et quotidienne.
Dans ce premier chapitre, je vais introduire le contexte et les objectifs de la thèse menée
dans le cadre d’un projet de développement d’un système de projection rétinienne au CEA
Leti.
I Généralité sur la Réalité Augmentée

Dans cette partie, je présente l’environnement des applications proches de l’œil : je
parcours notamment plusieurs notions utiles à leur compréhension et leur comparaison.
I.A Définition de la Réalité Augmentée

La Réalité Augmentée (RA) se définie dans un premier temps comme la perception par
un utilisateur du monde réel, augmenté d’un ajout virtuel d’images synthétiques dans son
champ de vision [2]. Le but majeur de cette application est d’augmenter l’accessibilité
d’informations pour l’utilisateur qui peut visualiser le monde réel et les éléments virtuels sur un
même plan. A titre d’exemple de systèmes et de dispositifs pouvant être associés à la RA, on
peut citer les smartphones filmant en direct une scène et ajoutant des informations par-dessus
la scène réelle [6], les casques et cockpits militaires pour les pilotes d’avions [3] et les lunettes
intelligentes pouvant afficher des informations dans le champ de vision d’un utilisateur (telle
que les « Google Glass » de la marque Google [7]).
Dans le cadre de cette thèse je me concentre sur des dispositifs d’affichage pouvant être
portés sur la tête : on regroupe ces dispositifs sous le terme générique anglais HMD (Head
Mounted Display). Les applications qui utilisent ces dispositifs peuvent être répertoriées en
trois grandes catégories : la Réalité Virtuelle (RV), la Réalité Mixte (RM) et ce que j’appellerai,
par abus de langage, les applications de RA (comprenant les lunettes intelligentes). Pour
qualifier ces différentes catégories, il est nécessaire d’introduire plusieurs notions d’optique
associées à la RA et aux HMD.
4
rétinienne.
I.B Notions utiles pour la Réalité Augmentée

I.B.1 Système proche de l’œil
Les systèmes d’affichage proches de l’œil sont une catégorie à part de dispositifs, car ils
nécessitent des moyens optiques complexes pour pouvoir afficher une image devant l’œil de
l’utilisateur. En effet, le fonctionnement de l’œil humain ne permet pas d’accommoder sur des
objets situés à une distance trop faible. Ainsi, comme représenté à la Figure I-1 (a), si on utilise
un écran classique positionné proche de l’œil, l’utilisateur ne pourra pas voir l’image projetée
de manière nette.
Figure I-1 : Schématisation du fonctionnement d’un système proche de l’œil. (a), un µécran est positionné devant l’œil et ne
peux pas être focalisé sur la rétine car trop proche de l’œil, l’ajout d’une lentille en (b) permet de focaliser à la fois
l’environnement et l’image projetée, mais la vue est obstruée par le système. En (c), on utilise un combineur pour visualiser à
la fois l’environnement et l’image.
Pour compenser la proximité de l’imageur, rendant l’image floue, il est nécessaire d’utiliser
un élément optique. La solution la plus évidente est d’utiliser une lentille convergente
permettant de percevoir les faisceaux provenant de l’écran comme des faisceaux émis par
des points à grande distance de l’œil. Comme on peut le voir à la Figure I-1 (b), l’utilisation
d’une lentille peut permettre de voir nettement simultanément l’image virtuelle (la pomme au
premier plan) et le monde réel (le pommier en arrière-plan). On peut également utiliser d’autres
méthodes de projection d’image n’utilisant pas des µ-écran [8] mais des scans de faisceaux
lasers collimatés [8]–[10] .
Comme la majorité des µ-écrans et sources de lumière sont opaques, l’utilisation de ce
type de montage devant l’œil va causer une obstruction partielle voir totale de la vue du monde
réel. Dans le cas des dispositifs de RA (excepté les dispositifs « video see through » qui sont
en partie décrits dans ce Chapitre), il peut être nécessaire de réduire l’opacité du système pour
conserver une vision de l‘environnement. Pour cela, il est possible, comme représenté à la
Figure I-1(c), d’ajouter un élément optique permettant de combiner les faisceaux de
l’environnement virtuel et réel [1]. Ce composant optique que j’appellerai combineur (combiner
en anglais), doit être partiellement transparent et rediriger l’image de l’écran vers l’œil.
5
rétinienne.
I.B.2 Angle de vue et résolution angulaire

L’angle de vue (ou FOV en anglais) permet de quantifier l’étendue angulaire occupée par
l’image du point de vue de l’utilisateur. Comme représenté aux Figure I-2 (a) et (b) le FOV d’un
dispositif est à comparer avec les angles de perception visuelle généralement admis pour l’être
humain [1].
Plus le FOV d’un dispositif sera proche de celui de l’utilisateur, meilleure sera l’immersion.
Dans la plupart des dispositifs, on quantifie le FOV par l’angle formé par la diagonale de
l’image projetée, comme représenté à la Figure I 2 (b). L’obtention de FOV larges passe
souvent par l’utilisation d’optiques de grandes tailles qui rendent les dispositifs compliqués à
être portés pour une utilisation quotidienne. On note également plusieurs techniques
permettant d’augmenter le FOV de manière artificielle [11], [12].
Figure I-2 : a) Représentation d’un angle de vue horizontal de 50° en comparaison avec les angles de vue accessibles pour
l’humain. b) angles de vue horizontaux et verticaux d’un humain et mise en évidence du FOV diagonal utilisé comme élément
de comparaison des systèmes de RA[1]
La résolution angulaire d’un dispositif est également un élément primordial dans la qualité
de l’image projetée. Cette résolution se mesure en pixels par degré et est souvent en
concurrence avec le FOV : en effet, plus le FOV est large plus le nombre de pixels nécessaire
pour la couvrir avec une bonne résolution est important.
I.B.3 Eye box

La eye box (ou boite à œil en français) représente le volume dans lequel il est possible de
placer l’œil de l’utilisateur sans créer une dégradation trop importante de l’image projetée. Il
existe plusieurs moyens de quantification de cette notion, la plus courante étant de définir la
zone dans laquelle l’œil perçoit au minimum 30% de l’intensité émise par les pixels extrêmes
de l’image projetée [1] comme représenté à la Figure I-3 (b). Il est fréquent que l’augmentation
du FOV cause une diminution de la eye box en éloignant les pixels extrêmes.
6
rétinienne.
Figure I-3 : a) Représentation du volume occupé par la eye-box dans le cas d’un dispositif proche de l’œil, b) coupe à une
distance donnée de l’œil de l’intensité perçue des pixels extrêmes. La eye-box se définie comme la zone permettant de
percevoir au minimum 30% de l’ensemble de l’image
La notion de eye box est importante pour l’utilisateur car une eye box faible implique des
réglages conséquents de la monture du dispositif pour garder l’œil dans la zone utile de
projection. Ces réglages doivent être faits au cas par cas pour contrebalancer les différences
de morphologie des utilisateurs. Dans certains cas, tel que l’utilisation de sources directives
comme les scans lasers, il peut être nécessaire de répliquer l’image projetée dans des eye
box différentes [12], [13] comme représenté aux Figure I-4 (a) et (b).
Figure I-4 : a) Représentation d’une eye-box de taille réduite, causée par des sources directives et/ou une optique trop petite,
b) Réplication de la sortie du système à deux positions différentes permettant d’augmenter la eye box du système
I.B.4 Conflit accommodation-vergence

Dans le cas de la projection d’une image avec un dispositif binoculaire, l’utilisateur peut
ressentir un inconfort à cause du conflit entre deux phénomènes optiques.
 La vergence, liée à la rotation relative nécessaire à chaque œil pour visualiser un objet,
se quantifie par la distance de vergence représentée à la Figure I-5.
 L’accommodation liée à la focalisation faite par le cristallin de l’œil, et permet

d’observer net un objet [14], [15].
Dans le cas d’une observation classique, ces deux distances sont accordées, mais dans
le cas d’une projection d’image avec un système optique, il est possible que ces deux
distances ne soient pas les mêmes comme représenté à la Figure I-5 b), ce qui peut causer
un inconfort. Certaines équipes proposent l’utilisation de systèmes optiques actifs à base de
cristaux liquides pour adapter le pouvoir de focalisation de la lentille en fonction de la distance
où regarde l’utilisateur [16]–[18]
7
rétinienne.
Figure I-5 : Mise en évidence du conflit accommodation vergence, a) cas de l’observation d’un objet réel, les distances de
vergence et d’accommodation sont les mêmes ce qui ne cause pas de conflit. Dans le cas b) la distance d’accommodation reste
proche de l’utilisateur (focalisant l’écran du dispositif) alors que la profondeur de l’objet projeté augmente la distance de
vergence (image extraite de [10]).
Les différentes notions introduites dans cette partie donnent un premier aperçu des
besoins relatifs au développement des dispositifs proches de l’œil. A ces notions, il est possible
d’ajouter des besoins plus classiques tels que la gamme de couleurs projetées, la réduction
des distorsions de l’image, la luminosité ou encore l’autonomie de la batterie.
I.C Contexte de la réalité augmentée

La Réalité Augmentée évolue dans l’environnement des dispositifs proches de l’œil : cette
catégorie regroupe plusieurs dispositifs, se différenciant par leurs applications plus ou moins
proches de l’environnement réel. Les trois applications évoquées dans cette partie sont
représentées à la Figure I-6 : on distingue la Réalité Virtuelle (RV), la réalité mixte (RM) et
enfin la Réalité Augmentée (RA) objet de ce Chapitre.
 La RV est l’application la plus éloignée de l’environnement réel, elle utilise des

visiocasques opaques obstruant totalement la vision de l’environnement réel [19]. L’image
projetée est souvent bien résolue et sur des FOV très larges. A la Figure I-6 on représente
un exemple d’expérience de RV où, l’utilisateur est immergé dans l’Egypte antique sans
réellement s’y trouver. Ici les images projetées sont à 3 dimensions, obligeant à gérer le
conflit d’accommodation et de vergence. Ce type d’application est dédiée à une utilisation
occasionnelle sur des durées limitées et dans un environnement personnel. On retrouve
dans cette catégorie des produits très aboutis tels que le casque Occulus Quest 2 de la
société Meta [20] ou encore le casque de la marque HTC, le HTC Vive Pro 2 [21].
 La RM est une application utilisant également des visiocasques, mais cette application
rend compte de l’environnement de l’utilisateur [1]. On distingue dans cette application
deux types de dispositifs. Les dispositifs « Video see through », qui sont des casques
opaques, avec des caméras permettant de filmer l’environnement et de le restituer en
direct devant l’utilisateur. Les dispositifs « Optical see through » sont des casques utilisant
8
rétinienne.
des combineurs comme décrits à la Figure I-1 (c) et permettent de voir l’environnement à
travers le système optique. La partie centrale de la Figure I-6 donne un exemple
d’utilisation de la RM : ici l’utilisateur est dans un musée sur le thème de l’Egypte antique :
la RM permet d’afficher une image d’un scribe animant la visite de manière interactive.
L’image projetée a un FOV large (typiquement 50° [22]–[24]) et une bonne résolution
angulaire (typiquement 30 pixels/deg). Dans le cas du dispositif « Optical see through » le
combineur peut légèrement dégrader la vision du monde réel. Pour ce qui est de l’image
projetée, elle ne peut pas être sombre, par exemple les cheveux noirs du scribe
n’apparaissent pas à la Figure I-6. Dans le cas des dispositifs « Video see through »,
l’utilisation de l’occlusion numérique permet d’afficher des images sombres. Le monde réel
perçu par l’utilisateur reste virtuel ainsi il peut être totalement transformé. Dans le cas des
dispositifs « optical see through » l’occlusion numérique est impossible. La RM cible des
utilisations périodiques de durée moyenne, favorisant l’interaction avec le monde réel. Les
casques HTC ZED Mini [25] ou le casque Lynx-R1 [26] de la start-up Lynx sont deux
exemples de dispositifs « Video see through ». Pour les dispositifs « Optical see through »
on peut donner les exemples des casques Hololens 2 de Microsoft [23] ainsi que les
MagicLeap 2 de la marque Magic Leap [24].
 La RA est l’application concernée par ce mémoire de thèse, elle utilise des dispositifs plus
proches de lunettes de vue classiques. L’optimisation de la compacité se fait au détriment
du type d’informations accessibles, qui sont plus limitées et moins immersives que pour
les applications de RV et de RM. On observe notamment une diminution du FOV et de la
résolution angulaire (typiquement le FOV peut être de 15° [27] mais peut atteindre des
valeurs plus grandes comme montrer dans [28]). Par exemple dans la partie droite de la
Figure I-6 , l’utilisateur est ici encore dans un musée sur l’Egypte antique mais cette fois,
l’environnement réel est plus important que l’image projetée qui consiste en un rappel de
rendez-vous. Ces informations en 2D ne souffrent pas de conflit vergence/accommodation.
Cette application vise des utilisations quotidiennes et de longues durées. Ainsi le confort,
la compacité et l’autonomie du dispositif sont primordiaux. On peut donner comme
exemple à cette application les North Focals de l’entreprise North [29]
Comme nous pouvons le voir à la Figure I-6, le domaine des dispositifs proches de l’œil
englobe un large spectre d’applications. Parmi ces différentes applications les lunettes
intelligentes sont les dispositifs qui visent une plus longue durée d’utilisation et une adaptation
à l’utilisation en société. À ce titre, les considérations de facteur de forme et de poids prennent
une importance toute particulière, tout comme les notions de eye-box. Pour répondre à ces
contraintes il existe d’ores et déjà plusieurs produits basés sur des technologies différentes
que nous allons aborder dans la partie III de ce Chapitre. Avant de décrire ces différents
produits, il est nécessaire d’introduire plusieurs notions physiques nécessaires à la bonne
compréhension de ce document et au fonctionnement de différents dispositifs.
9
rétinienne.
Figure I-6 : Distinction des différentes applications des systèmes proches de l’œil, à gauche la réalité virtuelle (RV) permet
d’immerger l’utilisateur dans un monde virtuel. Au centre la Réalité Mixte (RM) permet d’observer le monde réel et ajoute une
image dynamique et interactive. A droite la réalité augmenté RA permet de visualiser le monde réel, et des images statiques
et informatives.
II Notions physiques utiles

II.A Optique guidée
L’optique guidée consiste en l’utilisation de matériaux et d’architectures pour confiner des
ondes électromagnétiques dans un milieu donné. Cette branche de l’optique a été longtemps
utilisée dans les domaines des télécommunications (notamment avec les fibres optiques) [30]
et attire aujourd’hui les domaines de la physique quantique [31], [32] ainsi que les dispositifs
d’affichage [33].
Pour guider la lumière dans un milieu il est possible d’utiliser des matériaux métalliques,
en utilisant la réflexion sur les interfaces pour propager l’onde. Il est également possible
d’utiliser des matériaux diélectriques (transparents) en utilisant la réflexion de la lumière aux
interfaces entre deux milieux. C’est ce second cas qui est généralement mis en œuvre dans
les technologies actuelles d’optique guidée, décrites par le terme anglophone Photonic
Integrated Circuits (PICs).
II.A.1 Cas d’un guide d’onde plan

Les guides d’onde plans sont des architectures simples permettant le confinement dans
des matériaux diélectriques. Ils sont constitués par au moins deux milieux avec des indices de
réfraction différents par exemple le verre et l’air ou encore le verre et le Nitrure de Silicium
𝑆𝑖3 𝑁4 noté SiN. A l’interface entre les deux milieux, une onde électromagnétique avec un angle
d’incidence 𝑖1 sera divisée en deux faisceaux suivant la loi de Snell Descartes comme
représenté à la Figure I-7 a) : un faisceau réfléchi avec un angle 𝑖𝑟 et un faisceau réfracté avec
un angle 𝑖2 tel que :
10
rétinienne.
𝑛1 sin(𝑖1 ) = 𝑛2 sin(𝑖2 ) (1.1)
𝑖𝑟 = 𝑖1 (1.2)
Dans le cas où le milieu 1, appelé le cœur, a un indice plus élevé que le milieu 2, appelé
la gaine, l’équation (1.1) permet de faire apparaitre un angle 𝑖1 limite (noté 𝑖𝑙 ) tel que :
𝑛𝑐
𝑖𝑙 = asin ( ) (1.3)
𝑛𝑔
Avec 𝑛𝑐 et 𝑛𝑔 respectivement les indices du cœur et de la gaine du guide d’onde.
Au-delà de l’angle 𝑖𝑙 il n’est plus possible de définir l’angle réfracté. Cela se traduit par une
réflexion totale interne dans le cœur du guide. Ainsi le guide d’onde va permettre de propager
l’onde électromagnétique avec des pertes négligeables comme représenté à la Figure I-7 (b).
Figure I-7 : a) Schématisation de la loi de Snell Descartes lors du passage de l’air vers le verre. B) Schématisation de l’effet de
réflexion totale interne dans un guide d’onde plan formé d’un cœur en Nitrure de Silicium et d’une gaine de verre.
Le principe de réflexion total interne (ou TIR en anglais) est un des principe clefs de la RA
permettant de rediriger le faisceau vers l’œil sans perte et à l’aide de matériaux transparents.
L’étude des guides d’ondes peut également être réalisée à l’aide de l’optique ondulatoire
permettant de traduire la propagation des ondes électromagnétiques dans les milieux [34].
Pour cela il est nécessaire d’introduire les équations de Maxwell permettant de calculer les
distributions des champs électrique et magnétique dans un milieu. Dans notre cas, les ondes
se propagent dans des diélectriques : par conséquent les charges dans les milieux, ainsi que
les courants peuvent être annulés. On obtient donc les équations de Maxwell suivantes :
⃗ .𝐵
∇ ⃗ =0 (1.4) ⃗ . ⃗E = 0
∇ (1.5)
∂𝐸⃗ (1.6) ⃗
∂𝐵 (1.7)
⃗∇ ∧ 𝐵
⃗ = 𝜖𝑟 𝜖0 𝜇0 ⃗∇ ∧ 𝐸⃗ = −
𝜕𝑡 𝜕𝑡
Dans le cas d’ondes électromagnétiques monochromatiques de pulsation 𝜔 il est possible

de simplifier les dérivées temporelles de ces équations.
On distingue deux cas de polarisations, représentés à la Figure I-8, transverse électrique
(notée TE) et transverse magnétique (notée TM). La polarisation TE (respectivement TM) est
11
rétinienne.
telle que la composante du champ électrique (respectivement magnétique) normale à la

variation d’indice soit nulle.
Figure I-8 : Schématisation d’un guide d’onde plan ainsi que les composantes électrique et magnétique dans les cas TE, TM et
TEM
Dans cette partie je résoudrai uniquement les équations de propagation dans le cas TE.
Dans ce cas, les équations (1.4) à (1.7) développées dans les différents milieux du guide
donnent un champ électrique de la forme suivante :
Ey (𝑥, 𝑦)
𝑑 2 .(𝑥−𝑑 )
−√𝛽 2 −𝑘 2 𝑛𝑠𝑢𝑝 𝑑
𝐸0 𝑒 −𝑗𝑘𝑛𝑒𝑓𝑓𝑧 . 𝑐𝑜𝑠 (√𝑘 2 𝑛𝑐2 − 𝛽 2 + 𝜓) 𝑒 2 𝑠𝑖 𝑥 >
2 2
𝑑 (1.8)
= 𝐸0 𝑒 −𝑗𝑘𝑛𝑒𝑓𝑓𝑧 . 𝑐𝑜𝑠 (√𝑘 2 𝑛𝑐2 − 𝛽 2 𝑥 + 𝜓) 𝑠𝑖 𝑥 < | |
2
𝑑 2 .(𝑥−𝑑 ) 𝑑
√𝛽 2 −𝑘 2 𝑛𝑠𝑢𝑝
𝐸0 𝑒 −𝑗𝑘𝑛𝑒𝑓𝑓𝑧 . 𝑐𝑜𝑠 (√𝑘 2 𝑛𝑐2 − 𝛽 2 − 𝜓) 𝑒 2 𝑠𝑖 𝑥 < −
{ 2 2
Avec 𝐸0 l’amplitude de l’onde électrique, 𝑘 le vecteur d’onde et 𝛽 la constante de

propagation du mode. 𝑑 est l’épaisseur du guide, 𝑛𝑐 (respectivement 𝑛𝑠𝑢𝑝 et 𝑛𝑠𝑢𝑏 ) l’indice de
réfraction du cœur (respectivement du superstrat et du substrat). Egalement 𝑛𝑒𝑓𝑓 = 𝛽/𝑘 est
l’indice effectif de l’onde guidé et 𝜓 est une constante.
Comme montré par les équations (1.8), le champ électrique de l’onde se propageant dans
le guide, il n’est pas entièrement contenu dans le cœur du guide : l’onde se propage en dehors
du guide sous la forme d’une onde évanescente. Il est notamment possible d’utiliser cette
partie de mode guidé pour interagir avec des milieux à l’extérieur du guide : l’interaction avec
ces milieux peut permettre de réaliser des analyses biologiques [35], [36], ou encore des
fonctions d’extraction comme on pourra le voir par la suite. En utilisant l’équation (1.8) ainsi
que les conditions aux limites on obtient la relation de dispersion suivante :
2 −𝑛2
𝑛𝑒𝑓𝑓 2 −𝑛2
𝑛𝑒𝑓𝑓
2 𝑠𝑢𝑏 𝑠𝑢𝑝
𝑑𝑘 √𝑛𝑐2 − 𝑛𝑒𝑓𝑓 − atan √ 2
𝑛𝑐2 −𝑛𝑒𝑓𝑓
− atan √ 2
𝑛𝑐2 −𝑛𝑒𝑓𝑓
= m𝜋 où 𝑚 ∈ ℕ (1.9)
12
rétinienne.
Le terme 𝑚 dans l’équation (1.9) traduit l’existence d’un nombre limité de valeur de 𝑛𝑒𝑓𝑓
satisfaisant les conditions de continuité aux limites. Ainsi pour une épaisseur donnée, il existe
un nombre limité de modes pouvant se propager à l’intérieur d’un guide d’onde. On note donc
ces modes 𝑇𝐸𝑚 avec 𝑚 ∈ ℕ.
Il est possible de réaliser le même type de résolution avec la polarisation TM qui fait
également apparaitre l’existence de modes guidés.
Le nombre de modes guidés dans un guide d’onde plan va dépendre de son épaisseur. Il
est notamment possible de réaliser des guides d’onde assez fins pour que seulement un mode
TE0 et/ou un mode TM0, que l’on nomme les modes fondamentaux, puissent s’y propager. Ce
type de guides est appelé monomode, il permet une meilleure stabilité du mode guidé en
évitant le transfert de puissance à d’autres modes guidés. On représente à la Figure I-9 (a)
l’évolution des indices effectifs des mode guidés, avec une longueur d’onde de 532 nm en
fonction de l’épaisseur d’un guide de SiN encapsulé par du verre.
Figure I-9 : (a) Evolution des indices de réfraction effectifs des modes guidés dans un guide en SiN encapsulé dans du verre
avec une onde de longueur d’onde de 532 nm. (b) Répartition du champ électrique du mode 𝑇𝐸0 dans un guide d’onde plan
de 180 nm d’épaisseur.
Comme on pourra la voir plus tard dans ce chapitre, les guides d’ondes plans épais,
pouvant être décrits à l’aide des réflexions totales internes, sont beaucoup utilisés dans le
domaine de la RA comme combineur. Dans le cadre de ce manuscrit de thèse nous étudierons
des guides d’ondes monomodes 2D.
II.A.2 Interaction et recouvrement du mode guidé

Un élément important soulevé par l’équation (1.8) est le fait qu’une partie du champ
électrique, et donc de la puissance, se propage en dehors du cœur du guide. Cette portion de
la puissance évanescente prend la forme d’une exponentielle dont la distribution va dépendre
des indices des différents matériaux utilisés ainsi que du mode considéré. On note par
exemple que pour un mode donné, l’utilisation d’un matériau encapsulant avec un plus fort
indice permettra d’obtenir une partie évanescente avec une décroissance plus lente en dehors
du cœur.
A partir de ce constat, il est possible d’introduire la notion de recouvrement du mode avec
les différentes couches de matériaux constituant le guide d’onde. Ce recouvrement se définit
par la proportion de puissance contenue dans la couche considérée par rapport à la puissance
13
rétinienne.
totale guidée. Ainsi le recouvrement entre un mode et une couche définie sur un domaine 𝒞
se définit comme suit :
𝒞
∫ |𝐸(𝑥). 𝐸 ∗ (𝑥)| 𝑑𝑥
𝜍= +∞ (1.10)
∫−∞ |𝐸(𝑥). 𝐸 ∗ (𝑥)| 𝑑𝑥
La Figure I-10 représente la répartition du champ électrique des modes 𝑇𝐸0 et 𝑇𝑀0 dans
un guide d’onde plan composé de matériaux différents. On donne en (c) les recouvrements
entre ces modes et les différentes couches de ce guide d’onde.
Figure I-10 : (a) Représentation d’un guide d’onde plan, ainsi que (b) la distribution de puissance des modes 𝑇𝐸0 et 𝑇𝑀0 se
propageant dans ce dernier, (c) valeurs de recouvrements entre les différentes couches du guide d’onde et les modes guidés
𝑇𝐸0 et 𝑇𝑀0.
Plusieurs technologies proposent d’utiliser cette notion de recouvrement pour réaliser des
fonctions, telle que l’identification de matériaux (comme des matériaux biologiques) [35], [36].
Il est également possible d’utiliser le recouvrement pour qualifier la perturbation d’un mode
guidé avec une couche de matériau. Ainsi plus le recouvrement entre le mode et la couche de
matériau ajoutée sera fort plus le matériau perturbera le mode guidé.
II.A.3 Cas d’un guide d’onde 2D

L’étude des modes propres peut se généraliser dans les modèles en 2D comme les guides
rectangulaires linéiques que l’on qualifiera de guide d’onde 2D. La résolution de ce type
d’architecture passe souvent par des résolutions numériques. La méthode de simulation la
plus fréquente étant l’Expansion des Modes Propres [37] (ou Eigenmode Expansion EME, en
anglais) qui consiste à résoudre les équations de Maxwell dans tous les domaines d’un
maillage défini et à propager cette solution dans une architecture.
Les Figure I-11 (b) et (c) présentent certains des modes guidés dans un guide d’onde 2D en
SiN de 400 nm de hauteur et de 500 nm de largeur. Contrairement aux guides d’ondes plans,
la différenciation entre modes guidés de polarisation TE et TM n’a plus vraiment de sens ; car
des variations de l’indice sont présentes selon les deux directions perpendiculaires à la
propagation. Par convention, les modes de polarisation TE sont les modes dont la composante
électrique est parallèle au plan du substrat, de même les modes TM ont des composantes
14
rétinienne.
magnétiques parallèles au substrat. Ces modes sont indexés par deux indices, décrivant
chacun les axes de variation du guide. On note ces modes 𝑇𝐸𝑝,𝑞 et 𝑇𝑀𝑝,𝑞 (avec (𝑝, 𝑞) ∈ ℕ2 )
Figure I-11 a) Schématisation d’un guide d’onde 1D de 400 nm de hauteur et de 500 nm de largeur en SiN encapsulé dans du
verre. (b) simulations du champ électrique permettant de calculer les modes TE guidées dans le guide d’onde, et (c) du champ
magnétique des modes TM
De même que pour les guides d’ondes plans, il est possible de dimensionner des guides
d’ondes 2D ne permettant de propager que les modes fondamentaux 𝑇𝐸0,0 et/ou 𝑇𝑀0,0 .
Typiquement un guide en SiN de 300 nm de large et de 200 nm de hauteur sera monomode
à 532 nm pour les ondes 𝑇𝐸0,0 et 𝑇𝑀0,0.
II.A.4 Réseaux de couplage :

Le couplage et l’extraction de l’onde peut passer par plusieurs méthodes : il est par
exemple possible de réaliser des couplages par la tranche [38] comme représenté à la Figure
I-7 (b). On peut également utiliser des prismes permettant des angles d’incidence spécifiques
sur les guides d’ondes [39]. Ces éléments peuvent être difficiles à mettre en œuvre de manière
efficace, du fait de la petite taille des guides et de contraintes mécaniques. Il peut alors être
intéressant de mettre en œuvre un réseau de couplage qui consiste en une structure
périodique qui modifie l’angle de propagation par effet diffractif.
Le dimensionnement d’un tel type de coupleur peut être estimé analytiquement à l’aide
d’une adaptation de la loi de la diffraction par un réseau périodique [37], [40]. Le principe des
réseaux de couplage est le suivant : un faisceau de longueur d’onde 𝜆0 incident sur un réseau
périodique de période Λ va subir une déflection de manière périodique. La conservation de la
phase [37] impose alors le respect de l’équation suivante :
𝜆0
𝑛𝑒𝑓𝑓 − 𝑛0 sin(𝜃) = (1.11)
Λ
Avec 𝜃, l’angle d’émission du réseau (défini entre l’angle d’émission et la normale au plan
du circuit), 𝑛0 est l’indice de l’environnement d’émission, 𝑛𝑒𝑓𝑓 l’indice effectif du mode dans le
réseau. Cet indice effectif est donné par l’équation suivante.
𝑛𝑒𝑓𝑓 = 𝐹𝐹. 𝑛𝑒𝑓𝑓1 + (1 − 𝐹𝐹). 𝑛𝑒𝑓𝑓2 (1.12)
15
rétinienne.
Où FF est le facteur de remplissage du réseau, c’est-à-dire le pourcentage de zones

basses dans le réseau tel que représenté à la Figure I-12 (a). On note 𝑛𝑒𝑓𝑓1 l’indice effectif
d’un mode se propageant dans un guide dont les dimensions sont celles des zones hautes du
réseau et 𝑛𝑒𝑓𝑓2 celui d’un mode se propageant dans les zones basses du réseau. Ces deux
indices effectifs peuvent être calculés à l’aide des méthodes développées dans la partie
précédente. La méthode décrite ici permet aussi bien de dimensionner l’angle d’insertion d’un
réseau de couplage que l’angle d’extraction d’un réseau associé à un guide donné.
Figure I-12 : a) Schématisation d’un réseau d’extraction dans le cas d’un guide d’onde plan en SiN encapsulé dans du verre,
l’angle d’extraction de cette architecture sera déterminé par le principe de conservation de la phase.
En plus de l’angle d’extraction, la forme du réseau d’extraction va impacter l’efficacité de

ce dernier à extraire de la puissance du guide. Pour estimer cette puissance, il est possible
d’utiliser l’équation (1.13) tiré du modèle analytique des réseaux de Bragg [41], [42]. Cette
équation permet de donner l’efficacité d’un réseau (noté 𝜂), c’est-à-dire le pourcentage de
lumière extraite du réseau en fonction de la longueur du réseau 𝑙, la différence d’indice Δ𝑛 au
sein du réseau et le recouvrement entre le mode guidé et le réseau considéré 𝜍 :
𝜋. (Δ𝑛)
𝜂 = 𝑡𝑎𝑛ℎ² ( 𝜍𝑙) (1.13)
𝜆
Le modèle du réseau de Bragg concerne un effet de diffraction en retro-propagation
(𝜃 = − 𝜋⁄2), il permet de donner les tendances de comportement pour un réseau de couplage
pour des angles arbitraires. Pour une étude plus fine, des outils de simulation dédiés sont
nécessaires. De même, le calcul analytique de l’angle de diffraction d’un réseau sert de base
aux simulations numériques et permet d’anticiper le fonctionnement des architectures
développées mais des outils de simulation plus précis sont ici aussi nécessaires.
Il existe plusieurs méthodes numériques permettant de simuler les briques d’optique
guidée pouvant être développées pour la RA [37]. Parmi ces méthodes on peut citer :
 La Méthode des Eléments Finis (ou FEM), consistant à résoudre les équations de
Maxwell à chaque nœud d’un maillage.
 La méthode de calcul de Différences Finies dans le Domaine Temporel (ou FDTD), qui
consiste à utiliser la résolution des équations différentielles des champs électrique et
16
rétinienne.
magnétique pour obtenir une distribution d’amplitude de ces champs à une fréquence
donnée.
Ces différentes méthodes de simulations seront toutes les deux utilisées dans cette thèse.
Les Figure I-13 (b) et (c), représentent un exemple d’architecture simulée par FDTD d’un
réseau de couplage depuis un guide plan. Le guide d’onde plan est représenté
schématiquement en (a). La Figure I-13 (b) représente la distribution du module du champ
électrique dans un tel réseau utilisé comme réseau d’extraction, tandis que la Figure I-13 (c)
représente la distribution dans le cas d’une insertion.
Figure I-13 a) Représentation des dimensions d’un réseau d’extraction/d’insertion plan. Simulation de l’utilisation de ce réseau,
à l’aide de la méthode FDTD, (b) en extraction et (c) en insertion dans le cas d’une onde monochromatique (𝜆 = 532 𝑛𝑚).
Comme on peut le voir l’insertion et l’extraction du réseau présenté à la Figure I-13 (a) ne
sont pas totales. Dans le cas de l’insertion, seule une partie du champ est guidé et le reste est
transmis ou réfléchi. Dans le cas de l’extraction, une partie du mode couplé est réfléchie dans
le guide et une autre est émise vers le bas du réseau. Certains groupes ont proposé des
architectures originales permettant de maximiser l’insertion et l’extraction par des réseaux
[43]–[45].
Les éléments d’optique intégrés présentés ici sont des briques majeures de certains
dispositifs de RA comme on pourra le voir à la partie III.B de ce Chapitre. En effet il est possible
de réaliser des guides d’ondes dans les verres de lunettes permettant d’apporter la lumière
jusqu’au plus proche de l’œil. Les réseaux d’extractions peuvent ensuite être utilisés pour
17
rétinienne.
extraire la lumière vers l’œil. Cette thèse utilise cette technologie de guides d’ondes et de
réseaux pour développer des briques d’adressage. Un autre aspect important de la thèse, et
de la RA en général, est l’optique diffractive développée dans la prochaine partie qui peut être
utilisée pour expliquer la projection d’images sur la rétine en utilisant l’œil comme seule
optique.
II.B Optique diffractive

L’optique diffractive consiste en l’étude de la propagation d’ondes électromagnétiques
rencontrant des surfaces ou des obstacles. Pour cela on utilise un formalisme fréquentiel
permettant de décomposer toute onde électromagnétique en une somme infinie d’ondes
planes de fréquences données. Ce principe (dit de Fourier) peut être formalisé par la formule
de la transformée de Fourier d’une fonction, donnée à l’équation (1.14). Réciproquement une
fonction dépendante des fréquences de l’espace peut être décrite comme une somme infinie
de fonctions dépendantes des coordonnées de l’espace [46].
𝑓(𝑥, 𝑦) = ∬ 𝐹(𝜈𝑥 , 𝜈𝑦 )𝑒 𝑗2𝜋(𝜈𝑥 𝑥+𝜈𝑦 𝑦) 𝑑𝜈𝑥 𝑑𝜈𝑦 (1.14)
𝐹(𝜈𝑥 , 𝜈𝑦 ) = ∬ 𝑓(𝑥, 𝑦)𝑒 −𝑗2𝜋(𝜈𝑥 𝑥+𝜈𝑦 𝑦) 𝑑𝑥𝑑𝑦 (1.15)
Où (𝑥, 𝑦) sont les coordonnées de l’espace et (𝜈𝑥 , 𝜈𝑦 ) les coordonnées des fréquences
spatiales. Dans ce document on désigne la transformée de Fourier de la fonction 𝑓(𝑥, 𝑦)
évaluée en des valeurs (𝜈𝑥𝑜 , 𝜈𝑦𝑜 ) par la notation : 𝑇𝐹(𝑓(𝑥, 𝑦))[ 𝜈
𝑥𝑜 ,𝜈𝑦𝑜 ]
Dans le cas de l’étude de systèmes optiques linéaires et invariants, l’étude de la

propagation de la transformée de Fourier d’une onde permet de déduire la forme de l’onde
après propagation. Plus particulièrement dans le cas de faisceaux se propageant dans une
direction particulière il est possible d’appliquer l'approximation paraxiale où les faisceaux de
l’onde sont considérés proches de la direction de propagation (axe optique). En appliquant
cette approximation J. W. Goodman [46] démontre qu’une onde caractérisée par un champ
électrique 𝑓1 (𝑥, 𝑦) placée à une distance 𝑑 d’une lentille convergente mince donne dans le plan
focal image de cette lentille un champ électrique 𝑓2 (𝑥, 𝑦) tel que :
𝑒 𝑗𝑘(𝑓+𝑑) −𝑗𝜋(𝑑−𝑓) (𝑥 2 +𝑦 2 )
𝑓2 (𝑥, 𝑦) = 𝑒 𝜆𝑓2 𝑇𝐹(𝑓1 (𝑥, 𝑦)) 𝑥 𝑦 (1.16)
𝑗𝜆𝑓 [ , ]
𝜆𝑓 𝜆𝑓
Où 𝜆 est la longueur d’onde de la source utilisée pour observer l’objet, f la focale de la

lentille utilisée.
En plaçant à une distance 𝑑 d’une lentille un champ électrique de fonction
𝑓1 (𝑥, 𝑦) = 𝑇𝐹(𝑓(𝑥, 𝑦))[ 𝑥 𝑦
, ]
, l’équation (1.16) permet d’obtenir dans le plan focal de la lentille
𝜆𝑑 𝜆𝑑
la fonction 𝑓2 (𝑥, 𝑦) telle que :
18
rétinienne.
𝑒 𝑗𝑘(𝑓+𝑑) −𝑗𝜋(𝑑−𝑓) (𝑥 2 +𝑦 2 )
𝑓2 (𝑥, 𝑦) = 𝑒 𝜆𝑓2 𝑓(−𝑥, −𝑦) (1.17)
𝑗𝜆𝑓
L’équation (1.17) traduit qu’il est possible d’observer l’image d’un objet dans le plan focal
image d’une lentille, en plaçant dans le plan focal objet un champ électrique, traduisant la
transformée de Fourier de cet objet. L’observation de l’objet est possible uniquement grâce au
codage de l’amplitude et de la phase de l’objet dans la transformée de Fourier.
La Figure I-14 représente un exemple d’utilisation de ce principe, où un masque
structurant la phase et l’amplitude d’un faisceau permet de projeter dans le plan focal image
d’une lentille une image (ici le texte « leti CEA tech ») correspondant à la transformée de
Fourier codée par le masque.
Figure I-14 : Représentation de l’utilisation de la transformée de Fourier d’une image formée par un masque structurant la
phase et l’amplitude d’un faisceau incident, placée dans le plan focale objet d’une lentille permettant de projeter dans le
plan focale image de la lentille l’image en question (ici du texte « leti CEA tech ») retournée.
La Figure I-14 montre le cas de l’utilisation d’un masque structurant la phase et l’amplitude
d’un faisceau incident et permettant d’obtenir un objet. Ce type de structuration du faisceau
peut s’avérer complexe à réaliser du fait de la nécessité de gérer simultanément les
composantes de phase et d’amplitude.
De manière à contourner cette complexité de contrôle de la lumière, certaines équipes
proposent l’utilisation d’autres méthodes de projection de l’image utilisant des codages
uniquement en phase ou uniquement en amplitude. C’est notamment le cas de l’équipe de
Maimone et .al [47] utilisant un masque en phase associé au principe d’holographie de Fresnel
pour projeter des images en réduisant le nombre d’optiques tout en conservant une forte
luminosité. On peut également citer les travaux de Martinez et .al [48] utilisant un masque en
amplitude uniquement pour créer une diffraction permettant de reconstruire une image
souhaitée.
Pour ce qui est de ce travail de thèse, l’optique diffractive ainsi que l’équation (1.16) me
permettront de démontrer le principe d’auto-focalisation développé dans le Chapitre II.
19
rétinienne.
II.C Holographie
Un hologramme consiste en un élément capable d’enregistrer et/ou de restituer toutes les
composantes d’une onde électromagnétique, et en particulier sa partie complexe, c’est-à-dire
sa phase.
Plus spécifiquement, un hologramme analogique consiste en un film photosensible
partiellement ou totalement transparent pouvant avoir des épaisseurs variant de quelques
microns à la centaine de microns dans lequel est codée la partie complexe d’une onde.
Plusieurs matériaux peuvent être utilisés pour des applications d’holographie, tels que les
matériaux photopolymères [49] [50], les halogénures d’argent [51] ou les gélatines
bichromatées [52]. Les photopolymères sont les matériaux les plus couramment utilisés. On
peut également noter l’existence de matériaux holographiques cristallins plus épais, envisagés
pour des applications de stockage holographique [53].
Lors de la réalisation d’un hologramme, le matériau photosensible est utilisé pour
enregistrer les interférences entre deux faisceaux. Ces interférences peuvent être enregistrées
de manière surfacique , c’est le cas des hologrammes fins dont le comportement se rapproche
d’un réseau de diffraction [54]. Il est également possible d’enregistrer des interférences dans
le volume du matériau, en enregistrant les intensités des interférences comme des variations
d’indices d’un matériau photosensible, c’est le cas des hologrammes volumiques dont le
comportement se rapproche des réseaux de Bragg [54], [55]. La structure des interférences
ainsi enregistrée va agir comme une fonction optique dont la nature dépend des conditions
d’écritures.
Ce travail de thèse s’intéresse plus particulièrement aux hologrammes volumiques que je
détaillerai dans cette partie. Le cas plus simple des hologrammes fins est traité par des
ouvrages tels que [54], [55]. Dans cette partie, je décrirai le cas de l’interférence entre deux
ondes planes monochromatiques ce qui permet de décrire les cas où les hologrammes sont
utilisés pour rediriger les faisceaux et créer des décalages de phases.
Le premier faisceau d’écriture est appelé faisceau de référence, d’amplitude 𝐸𝑟 et le
second est appelé faisceau objet d’amplitude 𝐸𝑜 . Ces faisceaux se propagent avec des angles
𝜃𝑟 et 𝜃𝑜 par rapport au plan de l’hologramme comme représenté aux Figure I-15 (a) et (b). On
peut distinguer les hologrammes volumiques en transmission des hologrammes volumiques
en réflexion. Dans le cas des hologrammes en réflexion, les deux faisceaux utilisés pour
l’écriture proviennent de deux côtés différents de la lame holographique, ce qui créé des
interférences verticales sur la Figure I-15 (a). En utilisant des faisceaux provenant du même
côté, on crée un hologramme en transmission avec des franges d’interférences horizontales
comme à la Figure I-15 (b).
Le concept de projection rétinienne développé au CEA repose sur l’utilisation des
hologrammes en réflexion, c’est donc ce cas que je détaille à la suite. Pour simplifier je
considère uniquement la variation des interférences dans le plan (𝑥, 𝑦) tel que défini à la Figure
I-15 (a).
20
rétinienne.
Figure I-15 : Schématisation de l’écriture d’un hologramme pixélisé écrit à l’aide de deux faisceaux plans monochromatiques.
Dans le cas a) d’un hologramme en réflexion et dans le cas b) d’un hologramme en transmission.
Les interférences créées par les deux faisceaux dans l’hologramme sont décrites par le
calcul du module du champ au carré :
2𝜋 2𝜋 2
−𝑗 (cos 𝜃𝑟 𝑥+𝑠𝑖𝑛𝜃𝑟 𝑦) −𝑗 (cos 𝜃𝑜 𝑥+𝑠𝑖𝑛𝜃𝑜 𝑦)
𝐼(𝑥, 𝑦) = |𝐸𝑟 𝑒 𝜆𝑟 + 𝐸𝑜 𝑒 𝜆𝑟 | (1.18)
Avec 𝜆𝑟 la longueur d’onde d’écriture de l’hologramme.

En développant l’équation (1.18), et en considérant que l’intensité des interférences créée
une modification de l’indice du matériau holographique, la distribution de modulation d’indice
est décrite par l’équation :
2𝜋
Δ𝑛(𝑥, 𝑦) = 𝑛𝑜 + 𝛿𝑛 cos ( 𝐺 . 𝑟) (1.19)
𝜆
Où 𝑛𝑜 et 𝛿𝑛 sont des constantes dépendant de la sensibilité du matériau holographique,

𝐺 est le vecteur d’onde du réseau de franges d’interférences 𝐺 = (cos 𝜃𝑟 − cos 𝜃𝑜 , sin 𝜃𝑟 −
sin 𝜃𝑜 ) et 𝑟 le vecteur position 𝑟 = (𝑥, 𝑦).
Lorsque la distribution d’indice décrite par l’équation (1.19) est illuminée à l’aide d’un
faisceau de lecture plan de vecteur d’onde 𝑘𝑐 , il est possible de déterminer le faisceau résultant
à l’aide de la théorie des ondes couplées, en résolvant les équations de Maxwell dans
l’hologramme. Comme montré par H. Bjelkhagen et D. Brotherton-Radcliffe dans [55], il est
possible d’écrire le champ électrique dans l’hologramme de la manière suivante :
⃗⃗⃗⃗ ⃗⃗⃗
𝐸𝑧 (x, y) = 𝑅. 𝑒 −𝑗𝑘𝑐 .𝑟 + 𝑆. 𝑒 −𝑗𝑘𝑖 .𝑟 (1.20)
⃗⃗⃗𝑖 = ⃗⃗⃗⃗
𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑘 𝑘𝑐 − 𝐺 (1.21)
Où 𝑅 et 𝑆 sont les amplitudes de deux ondes planes, une onde transmise dans la même
direction que l’onde de lecture et une onde réfléchie dans une direction liée à l’orientation des
21
rétinienne.
franges de l’hologramme. Ces amplitudes dépendent de nombreux paramètres liés à

l’hologramme et à ses conditions d’écriture et de lecture tel que les angles des faisceaux, leurs
longueurs d’onde, l’amplitude de la modulation d’indice ou encore l’épaisseur du matériau.
Dans le cas particulier où le faisceau de lecture est le même que le faisceau de référence
utilisé à l’écriture, la seconde partie de l’équation (1.20) correspond à une onde plane identique
au faisceau objet avec une intensité 𝑅.
Un calcul rigoureux de la valeur de 𝑅 permet d’évaluer l’efficacité de réflexion de

l’hologramme dans une direction donnée et suivant une longueur d’onde donnée [55]. On trace
aux Figure I-16 (a) et (b), la dépendance angulaire et spectrale de 𝑅 dans le cas d’un
hologramme écrit avec les conditions de lecture et d’écriture associées.
Figure I-16 : Paramètres d’écriture et de lecture d’un hologramme ainsi que le calcul de la réflexion (a) en fonction de l’angle
de relecture et (b) en fonction de la longueur d’onde de relecture.
La Figure I-16 permet de mettre en évidence l’utilité des hologrammes dans le domaine
de la RA car ils permettent de rediriger des faisceaux tout en restant transparents grâce à leur
sélectivité angulaire et spectrale. De plus l’utilisation d’hologrammes peut se généraliser à des
faisceaux plus complexes que des ondes planes. Il est possible d’enregistrer d’autres fonctions
optiques tel que des lentilles tout en conservant une bonne transparence et en utilisant un
faible volume [56].
Un des désavantages de l’holographie est sa nature statique : en effet une fois un
hologramme enregistré il n’est pas possible de le modifier dynamiquement sans utiliser une
nouvelle étape d’écriture.
Certains acteurs du domaine (notamment l’entreprise Digilens [57], [58]) proposent
d’utiliser des technologies hybrides avec des cristaux liquides et des matériaux
photopolymères [59], [60] (HPDLC Holographic Polymer Disperse Liquid Crystal). Ce type de
matériau une fois écrit à la manière des hologrammes classiques, voit deux types franges se
constituer. Des franges composées de polymères densifiés et des franges composées de
cristaux liquides. L’utilisation de cristaux liquides permet de modifier électriquement l’indice de
réfraction des franges concernées, au sein de l’hologramme ce qui permet de modifier
22
rétinienne.
dynamiquement les propriétés de ces hologrammes. La technologie des cristaux liquides est
également étudiée au cours de cette thèse, la partie suivante décrit leur fonctionnement.
II.D Cristaux liquides

Les cristaux liquides (ou CL) sont des composés chimiques, naturels ou synthétiques,
ayant des caractéristiques optiques et électroniques permettant des applications dynamiques
dans différents domaines de l’optique. Leur utilisation est notamment connue pour des
applications d’afficheurs, comme les écrans LCD (Liquid Crystal Display) [61], mais également
plus récemment pour des applications photoniques [62]–[64].
II.D.1 Les groupes de cristaux liquides

Les CL sont des matériaux possédant une phase ayant des propriétés à mi-chemin entre
des solides cristallins et des liquides. Du point de vue macroscopique, ils apparaissent comme
des liquides légèrement troubles alors que du point de vue microscopique, ces matériaux sont
organisés à la manière d’agencement de cristaux, contrôlés par des énergies élastiques.
L’état de CL dépend souvent des conditions de température et de concentration dans
lesquelles vont se trouver les matériaux faisant de la notion de CL une phase intermédiaire
entre cristal et liquide [65]. Les matériaux sensibles uniquement à la température sont appelés
thermotropes tandis que ceux sensibles à la température et la concentration sont appelés
lyotropes. Dans le cadre de cette thèse j’utilise uniquement des matériaux thermotropes. Ces
derniers peuvent être composés de molécules de formes différentes. La Figure I-17 représente
des molécules de forme discoïdes ainsi que des molécules en forme de bâtonnets appelées
molécules calamitiques. Dans ce document j’étudie ce deuxième type de molécule.
Figure I-17 : Représentation de différentes formes et organisation de molécules composants des CL thermotropes a) discoïdes,
b) calamitiques nématiques, et c) calamitiques smectiques [66]
Les Figure I-17 (b) et (c) mettent en évidence la possibilité de distinguer les CL composés
de molécules calamitiques en plusieurs groupes suivant l’organisation de ces molécules. Ces
différents groupes se distinguent par des différences de degrés de liberté dans la position des
molécules permettant de se rapprocher d’une phase liquide ou d’une phase cristalline. La
phase calamitique smectique s’organise en plan de molécules orientées dans une direction
commune mais sans organisation particulière au sein des plans. Pour ce qui est des molécules
calamitiques nématiques, elles se rapprochent plus d’un liquide, les molécules n’ont pas
d’organisation spatiale particulière mais partagent une direction commune. Le groupe de CL
nématiques est le groupe le plus utilisé dans le domaine optique, c’est également celui que
23
rétinienne.
nous utiliserons pour ce projet. Le terme de CL se réfère à ce type de matériaux dans la suite
de ce document.
Comme expliqué précédemment la phase cristal liquide d’un matériau thermotrope existe
sous certaines conditions de température. La Figure I-18 représente l’évolution de
l’organisation d’un CL, composé de molécules nématiques. On peut observer une forme
cristalline lorsque la température est basse et une phase nématique isotrope où les molécules
ont perdu leur orientation commune lorsque la température est trop haute. Ces deux phases
extrêmes ne sont pas exploitables pour la plupart des dispositifs optiques. La phase nématique
intermédiaire conserve une orientation globale des CL. Cette orientation va permettre
l’apparition d’effets optiques et électriques dans le volume de CL comme on pourra le voir par
la suite, il est donc nécessaire de comprendre les phénomènes d’orientation des molécules
au sein d’une cellule de CL.
Figure I-18 : Représentation de trois phases d’un CL thermotrope composé de molécules nématiques ainsi que leur gamme de
température associée (adapté de [66])
II.D.2 Effets d’orientation des cristaux liquides à l’équilibre

L’état particulier des CL dans leur phase nématique cause des effets volumiques
d’orientation des CL les uns par rapport aux autres qui les poussent à adopter une orientation
commune. Pour traduire ce phénomène, la variation d’orientation du vecteur directeur des CL
(noté 𝑁⃗ ) est reliée à une énergie élastique volumique. Cette énergie volumique répond aux
équations de Oseen et Frank [67] :
𝐾1 2 𝐾 2 𝐾
𝑓𝑂𝑠𝑒𝑒𝑛−𝐹𝑟𝑎𝑛𝑘 = ⃗ ) + 2 (𝑁
(𝛻. 𝑁 ⃗ ) + 3 (𝑁
⃗ .∇ ∧ 𝑁 ⃗ ∧∇∧𝑁
⃗) (1.22)
2 2 2
Où 𝐾1 , 𝐾2 et 𝐾3 sont des constantes élastiques dépendantes du CL étudié.
Les trois termes de l’équation (1.22) traduisent une augmentation de l’énergie volumique
d’une couche de CL avec l’apparition de trois types de déformations élémentaires du vecteur
⃗ . Ces déformations sont les déformations en éventail, les courbures et les torsions
directeur 𝑁
respectivement associées aux constantes élastiques 𝐾1 , 𝐾2 et 𝐾3 toutes représentées à la
Figure I-19.
24
rétinienne.
⃗ des molécules d’un CL, (a)

Figure I-19 : Représentation des trois types de déformations élémentaires du vecteur directeur 𝑁
déformation en éventail, (b) torsion et (c) courbure.
A l’état d’équilibre, et sans contraintes extérieures appliquées, les CL s’orientent de

manière à minimiser l’énergie, c’est-à-dire parallèles les uns aux autres. Néanmoins, il est
possible d’appliquer des contraintes extérieures aux CL pouvant les pousser à adopter des
distributions d’orientation d’énergies non nulles. Il est notamment possible d’appliquer un
ancrage sur une surface qui imposera aux CL une orientation préférentielle. Cet ancrage va
permettre d’introduire une énergie surfacique à l’interface entre le CL et la surface d’ancrage
qui peut être traduite par la formule suivante :
1
𝑓𝑤 = 𝐶. (𝛿𝜃)2 (1.23)
2
Avec 𝐶 une constante d’ancrage dépendant de la technique utilisée pour réaliser l’ancrage
ainsi que du CL utilisé, et 𝛿𝜃 l’angle entre la direction de l’ancrage et l’orientation du vecteur
⃗ à l’interface.
𝑁
Il existe actuellement plusieurs méthodes pour réaliser des ancrages plus ou moins forts
sur les CL. Un ancrage faible permettra de rendre très réactive une couche de CL à des
contraintes extérieures (comme les champs électriques comme on pourra le voir plus tard).
Mais en contrepartie le retour à l’équilibre de cette couche de cristaux sera plus lent. Parmi les
méthodes d’ancrage envisageables on peut discerner :
 Les méthodes par frottement [68], les plus utilisées et les plus simples à mettre en
œuvre. Elles utilisent une surface traitée tel qu’un verre très propre ou un dépôt de
polymères en couche mince appelée polymide. En frottant cette surface avec un tissu,
de phénomènes électrostatiques apparaissent sur la surface de la couche. Les CL en
contact avec ces forces électrostatiques seront orientés dans la direction de
frottement. Suivant le type de matériaux d’ancrage, il est possible d’obtenir des
ancrages plus ou moins forts, par exemple un verre sans revêtement permet d’obtenir
un ancrage faible alors que les couches de polymide permettent d’obtenir un ancrage
fort.
 Les méthodes d’ancrage par nano-structurations [64], [69], consistent à réaliser des
structures, de l’ordre de la centaine de nanomètres de haut, en surface d’un substrat.
Les CL auront tendance à s’aligner parallèlement aux surfaces. Il est possible de
25
rétinienne.
réaliser différents types d’ancrages en réalisant des réseaux penchés ou bien des
nanostructures.
 Les méthodes de photo-alignement [68], [70], consistent à utiliser un matériau

photosensible tel que l’azobenzène ayant la particularité d’être constitué de molécules
pouvant s’orienter sous certaines conditions d’illumination. Par exemple en utilisant un
faisceau UV linéairement polarisé, les molécules de l’azobenzène s’orienteront
parallèles à la polarisation.
Ces effets d’ancrages permettent de contrôler l’état d’équilibre d’une couche de CL entre
deux substrats. Il est notamment possible de réaliser des hélices en réalisant des ancrages
croisés sur les substrats encapsulant. Ce contrôle de l’orientation des CL va permettre de
réaliser des fonctions physiques grâce à des effets d’anisotropie liées à la forme calamitique
des molécules.
II.D.3 Effets d’anisotropie diélectrique et optique

La forme calamitique des CL utilisés va créer des variations des constantes physiques du
CL suivant la direction dans laquelle le matériau est observé. D’un point de vue optique, les
CL vont posséder des permittivités diélectriques et magnétiques différentes suivant
l’orientation dans laquelle ils sont observés. Ces anisotropies électrique et magnétique
permettent de faire apparaitre une anisotropie optique du matériau appelée biréfringence.
L’indice perçu par une onde se propageant dans un CL nématique dépend de l’orientation
entre sa polarisation et la direction favorisée par les molécules. La biréfringence du matériau
est notée Δ𝑛 = 𝑛𝑜 − 𝑛𝑒 où 𝑛𝑒 est l’indice extraordinaire et 𝑛𝑜 est l’indice ordinaire du milieu
biréfringent tel que représenté à la Figure I-20 (a).
Figure I-20 a) Schématisation d’une molécule de CL calamitique, et mise en évidence des anisotropies optique a) et
diélectrique b) adaptées de [71].
Une onde polarisée linéairement avec un angle 𝛼𝑜𝑝𝑡 par rapport à l’orientation des CL
percevra un indice dont la valeur est dirigée par l’équation de la biréfringence.
1
−
cos2 𝛼𝑜𝑝𝑡 sin2 𝛼𝑜𝑝𝑡 2
(1.24)
𝑛𝑝𝑒𝑟𝑐𝑢 (𝛼𝑜𝑝𝑡 ) = ( + )
𝑛𝑒2 𝑛𝑜2
En plus de la propriété de biréfringence, les CL sont impactés par certains champs

magnétiques et électriques du fait de leurs anisotropies de permittivité magnétique et
diélectrique. Comme représenté à la Figure I-20 (b), on note 𝜖⊥ la permittivité perçue dans le
26
rétinienne.
cas d’une onde dont le champ électrique est perpendiculaire aux molécules et 𝜖|| la permittivité
d’une onde parallèle aux molécules. Cette anisotropie diélectrique, notée Δ𝜖 = 𝜖|| − 𝜖⊥ , va
causer sous l’application d’un champ électrique assez fort, une rotation des CL favorisant la
plus grande valeur de permittivité. Ainsi dans le cas d’une anisotropie diélectrique positive
(Δ𝜖 > 0) les molécules suivront les lignes du champ électrique comme représenté à la Figure
I-21 (a). Au contraire dans le cas d’une anisotropie diélectrique négative (Δ𝜖 < 0) les CL seront
orientés perpendiculairement aux lignes de champs comme représenté à la Figure I-21 (b).
Figure I-21 : Représentation de l’utilisation de l’anisotropie électrique d’un CL pour modifier l’orientation des molécules de
deux couches de CL à anisotropie diélectrique positive (a) et négative (b).
Le phénomène de réorientation des CL peut être traduit par une augmentation de l’énergie
volumique de la cellule de CL lorsque les CL ne sont pas orientés selon le champ électrique.
Cette variation de l’énergie est décrite par l’équation :
1 2
⃗ . 𝐸⃗ )
𝑓𝑒𝑙𝑒𝑐 = − 𝜖0 Δϵ(𝑁 (1.25)
2
Avec 𝐸⃗ le champ électrique appliqué et 𝜖0 la permittivité diélectrique du vide.
Les CL sont des matériaux répondant à une physique complexe et la détermination de

leurs comportements à l’équilibre et lors de l’application d’un champ électrique peut s’avérer
délicate. En utilisant les équations (1.22), (1.23) et (1.25) ainsi que le formalisme d’Euler
Lagrange [67], il est possible de développer des moyens de simulations basés sur des
résolutions à éléments finis (FEM) permettant de déterminer l’orientation des CL avec des
contraintes d’ancrage et des champs électriques appliqués. Ces simulations peuvent être
réalisées à l’aide de logiciels industriels (tel que LCD Masters) ou en implémentant une
résolution de problèmes à l’aide de logiciels multi-physiques (tel que Comsol)[72].
Les caractéristiques optiques et électriques des CL en font des matériaux de choix pour
les applications d’optique active. Parmi ces applications on peut citer les écrans LCD utilisant
la rotation de CL entre deux électrodes transparentes pour modifier la polarisation de la lumière
traversant la cellule. En utilisant des électrodes transparentes, il est possible de désactiver
27
rétinienne.
électriquement la rotation de la polarisation. Allié à des polariseurs et des filtres de couleurs,

il est donc possible de réaliser un afficheur.
On peut également citer les applications plus récentes de CL sur Silicium (ou Liquid
Crystal on Silicon LCoS en anglais) [71]. Cette technologie met en œuvre une cellule de CL
entre une électrode réfléchissante déposée sur Silicium et une électrode transparente. Suivant
la configuration de la cellule utilisée et la configuration du montage optique il est possible de
réaliser des fonctions de retards optiques et/ou de modulation d’amplitudes. L’utilisation de ce
type de technologie peut être envisagée pour la réalisation de dispositifs de réalité augmentée
comme c’est le cas dans le prototype proposé par l’équipe de Maimone et .al [47].
Plus récemment certains groupes ont proposé l’utilisation des CL en contact avec des
applications d’optique intégrée pour la réalisation de fonctions actives dans le domaine des
display et des télécommunications [62]–[64].
III Etat de l’art des dispositifs de Réalité Augmentée

Comme on a pu le voir dans la partie 2 de ce Chapitre la conception d’un dispositif de RA
peut nécessiter la maitrise de nombreux domaines de l’optique rendant leur conception
complexe. Plusieurs dispositifs sont d’ores et déjà en cours de commercialisation. Je présente
dans cette partie quelques-uns de ces produits permettant de mettre en évidence leurs
avantages et leurs défauts.
Les technologies utilisées peuvent être très variées mais ont comme principe commun de
séparer le dispositif de formation de l’image (scan laser ou micro-écran) et le combineur
optique. L’image doit être transportée entre ces deux éléments, pour arriver jusqu’à l’œil de
l’utilisateur. On distingue les combineurs espace libre utilisant des éléments optiques
classiques (prisme, lentilles réflectives voir hologrammes), des combineurs à base de guides
d’ondes.
III.A Combineur espace libre

Une première solution pour la réalisation du combineur est d’utiliser des éléments optiques
partiellement réfléchissants pour renvoyer le faisceau vers l’œil de l’utilisateur.
III.A.1 Combineur bird bath et prisme TIR

Les combineurs de type « bird bath » (ou fontaine à oiseaux) sont les premiers à avoir été
utilisés dans des dispositifs commerciaux, notamment dans les Google Glass 1 [73]. Le
fonctionnement de ces lunettes est décrit à la Figure I-23 (b). Un masque en amplitude à base
de CL associé à une source LED est utilisé pour créer une image. Cette image est ensuite
propagée dans un cube transparent, recouvert sur une des faces par un miroir convexe
permettant de collimater les faisceaux. Un miroir semi réfléchissant dans le cube permet
ensuite de renvoyer les faisceaux vers l’œil qui seront ensuite focalisés sur la rétine. Ce
système permet d’obtenir des FOV corrects (environ 15°) tout en conservant un design
compact. Mais la présence du combineur peut créer des réflexions parasites pouvant gêner
l’utilisateur. De plus, le passage par un Beam splitter 50/50 réduit l’efficacité du dispositif.
28
rétinienne.
Figure I-22 : (a) photographie des Google Glass V2, (b) Schématisation du fonctionnement des Google Glass V2 utilisant un
combineur « bird bath ». (c) Schématisation du fonctionnement d’une autre version de Google Glass utilisant un combineur
basé sur un prisme « free form » (l’œil et les lunettes sont représentés à des échelles différentes)
Plus récemment certaines entreprises ont proposé l’utilisation de prismes dits « free-
form » à réflexion totale interne (ou prisme TIR) comme combineur (comme c’est le cas pour
la version des Google Glass décrite par la Figure I-22 (c)). Le design extérieur reste
globalement le même, mais ici les faisceaux sont réfléchis par le prisme à plusieurs reprises
ce qui permet de les transporter devant l’œil. Une surface asphérique permet ensuite de
rediriger les faisceaux vers l’œil. Pour éviter une gêne due à cette dernière surface, un
compensateur permet de corriger les faisceaux provenant de la scène réelle. Ce type de
dispositifs permet d’augmenter la luminosité de l’image, néanmoins on peut voir que la eye-
box semble être réduite. L’observateur perçoit un combineur transparent mais ne peut pas
réellement voir au travers du fait de son épaisseur et de sa taille réduite. Cette solution
s’apparente à la famille des dispositifs « look around » pour lesquels l’information est en bord
du champ visuel (bien visible en figure I-22(a))
III.A.2 Combineur holographique

De manière à réduire le volume occupé par le combineur, il est possible d’utiliser une
couche holographique. Comme expliqué à la partie II de ce Chapitre l’hologramme va
permettre de rediriger le faisceau avec une forte sélectivité angulaire et spectrale. L’entreprise
North, développant les lunettes North Focals [29], propose d’utiliser un film holographique
photopolymère sur le verre de lunettes, associé à un scan laser basé sur des miroirs MEMS
(microsystèmes électromécaniques [10]). Le fonctionnement simplifié de ce dispositif est
représenté à la Figure I-23 (b).
29
rétinienne.
Figure I-23 : a) Photographie des lunettes North Focals, et schématisation d’un dispositif utilisant un scanneur laser à base
de MEMS associé à une couche de matériau holographique.
L’utilisation du film holographique et du scanner laser permet d’obtenir un dispositif très

compact et pouvant atteindre 20° de FOV. Néanmoins la directivité des sources lasers va
causer une forte réduction de la eye-box ce qui engendre des besoins d’alignement
personnalisés pour chaque utilisateur.
III.B Combineur à base de guide d’onde

Pour éviter les contraintes de risque d’occultation liées à l’utilisation de combineurs espace
libre (ombrage par les cils ou les cheveux), il est possible d’utiliser les verres de lunettes
comme un guide d’onde plan pour propager l’image vers l’œil. Ce type de combineur nécessite
également la formation d’une image par un micro-écran projeté par une lentille ou une source
laser, mais il est en plus nécessaire de développer des technologies d’insertion et d’extraction.
Le principe de fonctionnement simplifié de tels dispositifs est représenté à la Figure I-24 (b).
Certains dispositifs tel que les Vizux Blade (représentés à la Figure I-24 (a)) présentent des
facteurs de forme proche de lunettes classiques avec une vision binoculaire (ce qui est peu
fréquent pour les dispositifs de lunettes intelligentes) et un FOV de 19°.
Figure I-24 : a) Photographie des lunettes Vizux Blade, b) Schéma de principe des dispositifs utilisant des combineurs à base
de guide d’onde. L’image est émise par un µ-display, collimatée par une lentille et insérée à l’aide d’un réseau dans un guide
d’onde plan. Elle est ensuite extraite devant l’œil à l’aide d’un réseau d’extraction.
Il existe plusieurs méthodes pour réaliser l’insertion et l’extraction. On peut citer l’utilisation
de prismes, pour rediriger la lumière vers le guide ou vers l’œil. Mais il est également possible
de mettre en œuvre des réseaux d’insertion ou des hologrammes qui permettent une
réplication de la pupille de sortie du dispositif et donc une plus grande eye-box [1], [74].
III.C Technologies en rupture

Comme on peut le voir les dispositifs de RA actuellement sur le marché ont comme point
commun de distinguer le dispositif créant l’image du combineur. Dans cette partie je vais
30
rétinienne.
présenter deux projets en développement utilisant l’optique diffractive et la photonique sur

substrat transparent pour associer le combineur et la source d’image dans un même dispositif.
III.C.1 Hologrammes dynamiques en optique intégré

Le composant proposé par l’équipe de Notaros et al. [75] est représenté à la Figure I-25
(a) : il se base sur l’utilisation de blocs de photoniques intégrés en Nitrure de Silicium 𝑆𝑖3 𝑁4
réalisés sur substrat de verre (𝑆𝑖𝑂2 ). Le circuit photonique utilise des blocs de modulation de
phase et d’amplitude pour modifier les faisceaux émis par des antennes. Ces modulations
permettent la formation d’images comme on l’a montré dans la partie 2 de ce Chapitre. Les
Figure I-25 (b) et (c) montrent une comparaison entre la simulation de la projection d’un cube
et des résultats obtenus à l’aide d’un premier dispositif statique.
Figure I-25 : a) Représentation globale du système de projection intégré proposé par l’équipe de Notaros et al. [75], résultat
de projection simulé d’un cube et e) résultat experimental passif.
Cette architecture ainsi que la preuve de concept qui y est associée représentent une
avancée importante dans la réduction de l’encombrement des systèmes de RA. Toutefois
certains soucis de mise en œuvre subsistent telle que la faible résolution angulaire du
dispositif, la présence des ordres de diffraction dans l’image obtenue, ou encore l’adressage
des pixels qui nécessite la présence de composants électroniques (transistor et capacités) qui
causent une réduction de la transparence du composant. Enfin le dispositif présenté ici se
compose seulement de 32 pixels holographiques monochromatiques ce qui réduit la qualité
des images projetées.
III.C.2 Balayage rétinien en optique intégré

Pour réduire la complexité du système, tout en projetant des images plus complexes,
l’équipe R. Fatemi et al. [76] propose d’utiliser le système représenté à la Figure I-26. Ce
système projette uniquement des ondes planes, qui se traduiront par un point de focalisation
au fond de l’œil. Grâce à une projection séquentielle de plusieurs ondes planes avec des
angles différents, il est possible de recréer une image au fond de l’œil composée de plusieurs
pixels. Pour réaliser les ondes planes, on se base sur la même méthode que celle présentée
précédemment mais ici seule la phase des pixels est modulée pour recréer des fronts d’ondes
plans. Ainsi la résolution de l’image dépend du nombre de points que l’on peut scanner dans
une période où l’œil intègre une image, c’est-à-dire la période de persistance rétinienne [77]
[78]. Le principe de projection développé ici vise une application pour des composants de
détection d’objet utilisant des longueurs d’onde infra-rouge (IR) tels que des LIDAR à base de
31
rétinienne.
réseaux de phase optique (OPA : Optical Phase Array) [79] [80]. Néanmoins, il semble
envisageable de l’adapter à un procédé de fabrication sur substrat transparent pour des
applications de RA.
Figure I-26 : a) Représentation des différentes fonctions photoniques nécessaires à la construction du dispositif de scan rétinien
proposé par R.Fatemi et al [76]. b) Exemple de projection de plusieurs pixels et c) projection de la lettre A par scan des
différentes positions de cette lettre.
Les résultats présentés par cette équipe sont prometteurs et se basent sur de nombreuses
optimisations optique et électronique. Nous pouvons notamment citer l’utilisation de
distribution quasi-aléatoire des points d’émission, pour réduire les ordres de diffraction, ou
encore l’utilisation d’électronique particulière pour augmenter la fréquence de fonctionnement
du dispositif. Toutefois certaines difficultés de concept persistent. Tout d’abord, les angles de
projection pouvant être adressés par ce type projecteur restent limités par les propriétés
d’émission individuelle de chaque antenne. De plus l’utilisation du dispositif de scan implique
que chaque pixel projeté doit avoir un rapport signal à bruit (ou Signal to Noise Ratio SNR)
très élevé car le bruit sera commun à la projection de chaque pixel et risque de dégrader le
signal des pixels.
Dans cette partie nous avons identifié deux technologies prometteuses qui permettraient
de réduire fortement l’encombrement d’un système de RA en utilisant des principes d’optique
diffractive pour supprimer les éléments optiques encombrants des dispositifs actuels. Le
dispositif du CEA Leti qui concerne mon travail de thèse s’inscrit dans la ligne de ces concepts
innovants.
IV La réalité augmentée au CEA Leti

Le Laboratoire d’Architecture et de Système Photonique (LASP) du CEA Leti a proposé
au travers d’un brevet en 2015 [81], un concept de projecteur rétinien intégré dans un verre
32
rétinienne.
de lunettes [82]. Ce projecteur se base sur l’association de plusieurs briques technologiques

développées au CEA, notamment, la photonique en 𝑆𝑖𝑁 intégrée sur 𝑆𝑖, l’holographie, les
cristaux liquides et le packaging.
IV.A Concept de projecteur rétinien au CEA

Une vue d’artiste du fonctionnement du projecteur est représentée à la Figure I-27, ce
projecteur utilise l’effet d’auto-focalisation pour créer des points au fond de l’œil à l’aide de
fronts d’ondes composites quasi-plans. Pour cela des points d’émission sont répartis sur le
verre de lunettes, chaque point émet un faisceau dont l’enveloppe dépend de la taille du point
émetteur. De manière à réduire l’encombrement du système, nous utilisons un réseau dense
de guides 2D alimenté par des lasers intégrés pour transporter la lumière sur le verre de
lunettes vers les points d’émission.
Une fois la lumière distribuée dans le verre de lunettes, elle est extraite en plusieurs points
grâce à un adressage électronique le long des guides, créant ainsi une distribution de points
d’émission (DPE). La phase et la direction des ondes sphériques émises par les DPEs sont
contrôlées à l’aide d’hologrammes pixélisés analogiques. En utilisant une source laser avec
une cohérence temporelle suffisante, les hologrammes permettent de générer un front d’onde
plan par superposition des différents fronts d’onde d’une DPE. Cette technique de projection
pourrait être utilisée aussi bien sur des lunettes dédiées à la projection rétinienne que par-
dessus des verres de correction classique par-dessus lequel on aurait ajouté le dispositif de
projection.
Figure I-27 : Vue d’artiste du concept de projection rétinienne développé au CEA Leti (adapté de [82])
Comme le montre la Figure I-27 la mise en œuvre du dispositif de projection requiert des
expertises dans différents domaines, tel que la photonique intégrée [83]–[85], l’holographie
[86], [87] et l’optique diffractive [88]. On peut ajouter à ces éléments des compétences
nécessaires en électronique pour l’adressage de l’extraction, en optique des lasers pour la
fabrication des sources ou encore le packaging pour l’assemblage du dispositif portable.
La Figure I-28 (a) représente une activation d’un ensemble de guides d’ondes et
d’électrodes permettant de former une DPE. Les points d’émissions (PEs) sont créés à
l’intersection entre un guide d’onde et une électrode activée formant les PEs (en vert)
33
rétinienne.
permettant de composer le faisceau créant le pixel sur la rétine. Dans le cas représenté à la
Figure I-28, on peut observer que les guides d’ondes et les électrodes sont non rectilignes.
Ces formes de guides et d’électrodes permettent d’obtenir des DPE quasi aléatoires. La
nécessité de réaliser de telle distributions aléatoires sera expliquée plus en détail dans le
Chapitre II.
Figure I-28 : (a) Schématisation de l’activation d’une distribution de guides d’ondes et d’une distribution d’éléctrodes
permettant d’adresser une DPE pour projeter un pixel, adapté de [89]. (b) Représentation du fonctionnement d’un point
d’émission.
La Figure I-28 (b) décrit le fonctionnement d’un PE créé par une intersection entre un guide
d’onde et une électrode. Le guide d’onde adressé croise une électrode activée causant une
extraction de la lumière depuis le guide. Le faisceau ainsi créé interagit avec un élément
holographique pixélisé (ou hoel). Cet hoel réfléchit le faisceau vers l’œil pour former une
portion de l’onde composite qui se focalisera sur la rétine pour former un pixel.
La quantité de DPEs est un paramètre clef du dispositif de projection rétinienne : une plus
grande densité de PEs permet de projeter plus de pixels au fond l’œil. De manière à augmenter
cette densité, il est nécessaire de densifier les distributions de guides d’onde et les distributions
d’électrodes en réduisant au maximum les distances entre ces derniers. En considérant une
surface totale d’émission carrée, le nombre de PEs pouvant être projetés par le dispositif (noté
𝑁𝑃𝐸 ) est donné par la formule suivante :
𝐷𝑝2
𝑁𝑃𝐸 = (1.26)
Λ𝑔 Λ𝑒𝑙𝑒𝑐
Avec 𝐷𝑝 la taille de la pupille d’émission, Λ𝑔 le pas entre les guides et Λ 𝑒𝑙𝑒𝑐 le pas entre
les électrodes.
Il est alors possible de calculer le nombre de pixels projetés par le dispositif (noté 𝑁𝑝𝑖𝑥 ) en
estimant le nombre de PEs nécessaire pour projeter un pixel (noté 𝑛𝑃𝐸 )
34
rétinienne.
𝑁𝑃𝐸
𝑁𝑝𝑖𝑥 = (1.27)
𝑛𝑃𝐸
Un premier dimensionnement des capacités réelles de projection du dispositif a été réalisé

au sein du laboratoire [82]. Dans le cas d’une pupille d’émission carrée de coté 𝐷𝑝 = 6 𝑚𝑚,
d’un espace entre guides de Λ𝑔𝑢𝑖𝑑𝑒 = 1,5 µm et un espace entre électrodes de Λ 𝑒𝑙𝑒𝑐 = 4 µ𝑚,
il est possible de réaliser un total de 6 000 000 de PEs. En considérant que 100 PEs sont
nécessaires pour projeter un pixel on obtient un total de 60 000 pixels projetés, ce qui équivaut
à une résolution de 245 x245 pixels. Une si grande quantité de composants sur le verre de la
lunette pourrait engendrer des soucis de transparence pour l’utilisateur, il est donc important
de développer des briques technologiques transparentes pour permettre une utilisation
quotidienne. La réalisation de telles briques technologiques semble réalisable pour le CEA
Leti, en effet il est possible de réaliser des guides en SiN sur verre ainsi que des électrodes
transparentes (par exemple en ITO). De plus les hologrammes sont transparents sur un large
spectre de longueurs d’onde grâce à leur grande sélectivité spectrale, ce qui permet d’obtenir
un dispositif final transparent répondant aux attentes des utilisateurs.
IV.B Projection d’une image

Lors de la projection d’une image, il est nécessaire d’activer plusieurs distributions
d’électrodes ainsi que plusieurs distributions de guides pour projeter les différents pixels
formant une image. Néanmoins, comme expliqué dans l’article de référence du dispositif [82],
il n’est pas possible d’activer simultanément plusieurs distributions d’électrodes. Une des
conséquences principales de l’activation simultanée de plusieurs distributions d’électrodes et
la projection de pixels parasites. En effet comme représenté à la Figure I-29 , l’activation des
PE étant uniquement gérée par les intersections entre guides et électrodes, l’activation de
plusieurs distributions de guide et d’électrodes simultanément causerai l’apparition de PE
parasites.
Figure I-29 : (a) Représentation de trois DPEs à activer réparties sur des distributions de guides et d’électrodes différentes. (b)
Dans le cas d’une activation simultannée des trois DPEs l’intersection de certains guides et électrodes alimentés pour activer
les trois DPEs cause l’activation de pixels parasites qui détorioreront l’image en projetant des pixels non souhaités.
La projection d’une image complète se fera donc en balayant les distributions d’électrodes
du dispositif. La Figure I-30 représente le cas simplifié de la projection de la lettre T sur une
35
rétinienne.
matrice de 3x3 pixels. Dans cet exemple on utilise un laser par distribution de guide d’onde
(donc trois lasers), cela permettra comme on pourra le voir dans le Chapitre II d’éviter de créer
des interférences entre les pixels projetés. Dans le cas d’un dispositif complet le nombre de
lasers utilisés (𝑁𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟 ) sera égal au nombre de distribution de guides réalisées, (notée 𝑁𝐷𝐺 ) :
𝐷𝑝 1
𝑁𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟 = 𝑁𝐷𝐺 = ⌈ ⌉ (1.28)
Λ𝑔 𝑛𝐷𝐺
Avec 𝑛𝐷𝐺 le nombre de guide nécessaire pour projeter un pixel.

Dans le cas de la Figure I-30, où on projette la lettre « T », une première distribution
d’électrodes est activée, correspondant à la première colonne de la matrice. Seule une
distribution de guides est activée par un des lasers permettant de projeter le point en haut à
gauche. On adresse ensuite la seconde distribution d’électrodes, à ce moment les trois lasers
sont activés permettant de projeter la barre centrale de la lettre. Enfin on adresse la dernière
distribution et seul un laser est activé pour projeter le dernier point de la lettre.
On obtient trois images : en balayant ces trois images de manière assez rapide il est
possible d’utiliser la persistance rétinienne, c’est-à-dire la capacité de l’œil à superposer des
images pour reconstruire la lettre. Ainsi le résultat perçu par l’utilisateur devrait être proche de
celui représenté en bas de la Figure I-30.
Figure I-30 : Représentation de la projection séquentielle de la lettre « T » à l’aide d’un dispositif simplifié. Ainsi que les
résultats de cette projection sans prendre en compte la persitance rétinienne (au centre) et en la prennant en compte (en bas),
adapté de [82].
36
rétinienne.
V Objectifs de la thèse
L’adressage des hologrammes pixélisés représente un point clef dans le dispositif de
projection rétinienne car il est à la base du caractère dynamique de l’image projetée. Pour
fonctionner dans un dispositif tel qu’attendu par les utilisateurs, l’adressage doit être intégré
au plus proche du verre de lunette, directement à la surface du verre grâce à des guides
d’onde. Cette approche représente un challenge technologique important et aucun des deux
éléments clefs qui la constitue n’étaient disponibles au démarrage de la thèse : ni les
hologrammes pixélisés, ni les réseaux denses de guides d’onde. Pour sécuriser le travail de
thèse deux approches d’adressage distinctes ont été suivies. La première est une centrée sur
les hologrammes avec un adressage en espace libre. La seconde est centrée sur les guides
d’ondes avec le développement d’une cellule d’activation de réseaux d’extraction à base de
cristaux liquides.
V.A Adressage des hologrammes pixélisés en optique espace libre

Le premier aspect développé dans la thèse concerne l’activation des hologrammes
pixélisés à l’aide d’un banc en optique à espace libre. Ce travail doit nous permettre de
démontrer notre capacité à réactiver une fonction d’imagerie stockée au préalable dans une
distribution d’hologrammes pixélisés. Pour réaliser cet objectif, il est nécessaire d’adresser
plusieurs étapes intermédiaires :
 Dimensionnement et mise en œuvre d’un banc de lecture holographique. Il permettra

de confirmer la capacité des hologrammes pixélisés à stocker une information. Ce
banc sera testé tout d’abord de manière statique sur des composants holographiques
simples codant une seule image.
 Dimensionnement et mise en œuvre d’un banc d’activation des hologrammes.

Construit en aval du banc précédent, il permettra de démontrer le caractère local de
l’information angulaire stockée par les hologrammes pixélisés. L’objectif sera d’abord
de démontrer l’affichage de plusieurs images à partir d’un unique composant
holographique. Dans une seconde phase, le banc intègrera l’aspect temporel de
l’affichage et permettra un affichage dynamique, cohérent avec le dispositif final
envisagé.
L’intérêt de l’activation des hologrammes pixélisés permet également d’observer les
interactions des hologrammes entre eux lors d’une activation de plusieurs hologrammes et de
proposer des solutions de dimensionnement cohérentes avec le projet de projection rétinienne
réalisé au CEA Leti.
Le résultat attendu sur cette première partie est la formation d’une série d’images dans le
plan image d’un capteur simulant la rétine.
V.B Adressage des hologrammes en optique intégrée

En parallèle à la capacité à activer les hologrammes en optique à espace libre, il est
nécessaire de mettre en œuvre une brique de photonique intégrée qui permette à terme
l’extraction de la lumière vers ces hologrammes. Cette brique d’extraction doit répondre à de
nombreux critères liés au dimensionnement du système. Elle devra en particulier s’adapter
37
rétinienne.
aux très petites dimensions envisagées pour les points d’émission (diamètre de l’ordre de
quelques microns).
Le travail pourra être séparé en deux parties :
 La première partie concerne l’étude et le dimensionnent de la technologie d’activation

des points d’émission. Le modèle d’adressage sera contraint par la disponibilité et le
design d’échantillons de démonstration dimensionnés préalablement dans un autre
travail de thèse, et encore en phase de fabrication au début de la thèse.
 La seconde partie concerne l’intégration de cette technologie au plus près des guides.
Le résultat attendu sur cette seconde partie est la preuve de concept d’une extraction
active de lumière, localisée à la surface d’un réseau dense de guides d’onde.
Idéalement au terme de la thèse les deux approches, en optique espaces libre et en
optique intégrée, seront réunies pour activer de manière dynamique des hologrammes
pixélisés à partir d’un réseau dense de guides d’onde.
38
rétinienne.
Conclusion du Chapitre I
Dans ce premier Chapitre j’ai introduit le cadre d’étude de mon travail de thèse à savoir la
Réalité Augmentée et les dispositifs optiques associés à cette application pouvant être portée
proche de l’œil. Après avoir distingué les différentes formes et applications de cette catégorie
j’ai décrit plusieurs notions physiques utiles à la compréhension de cette thèse et plusieurs
dispositifs de RA. Ces notions utiles concernent l’optique guidée, l’optique diffractive,
l’holographie et enfin les CL qui seront également des points clefs à la bonne compréhension
de cette thèse.
J’ai ensuite réalisé un tour d’horizon des produits existants, qui aura permis de mettre en
évidence les technologies déjà utilisées par les industriels et d’observer les défauts de ces
technologies justifiant l’étude d’une technologie en rupture. Partant de ces constats, j’ai
présenté deux acteurs ([75],[76]) de la recherche développant des dispositifs de lunettes
intelligentes permettant de résoudre les problèmes soulevés. Ces deux acteurs proposent des
approches de projection non conventionnelles permettant d’éviter l’utilisation d’optique et
réduisant les problèmes d’encombrement des systèmes.
Un autre acteur de ce domaine, le CEA Leti, propose la mise en œuvre d’un dispositif
utilisant conjointement la photonique intégrée, l’holographie et l’optique diffractive pour créer
un projecteur rétinien. Le principe de fonctionnement global du dispositif a été décrit dans un
premier temps. Ensuite j’ai détaillé la méthode envisagée à ce jour pour projeter une image à
l’aide d’un tel dispositif.
Après cette mise en contexte du travail mené dans cette thèse ainsi que du dispositif étudié
j’ai présenté les principaux objectifs de ce travail de thèse consistant à la conception et à la
mise en œuvre d’un adressage en optique espace libre et en optique intégrée d’une distribution
d’hologrammes pixélisés
39
rétinienne.
CHAPITRE II :
Méthodes d’adressage des
hologrammes pixélisés
INTRODUCTION DU CHAPITRE II ........................................................................................................ 41

I PRINCIPE D’AUTO FOCALISATION ............................................................................................... 41
I.A Auto-focalisation à l’aide d’un masque ............................................................................................. 41
I.A.1 Théorie de l’effet d’auto focalisation de l’œil ................................................................................................ 41
I.A.2 Vérification expérimentale ............................................................................................................................ 46
I.B Auto-focalisation à l’aide de points émissifs ..................................................................................... 47
I.C Auto-focalisation d’une image à l’aide de DPE aléatoire .................................................................. 49
I.C.1 Cas de faisceaux non cohérents entre eux ..................................................................................................... 50
I.C.2 Cas de faisceaux cohérents entre eux ............................................................................................................ 51
I.D Optimisation de l’utilisation des hologrammes pixélisés .................................................................. 52
II HOLOGRAMMES PIXELISES ......................................................................................................... 56
II.A Ecriture des hologrammes pixélisés .................................................................................................. 57
II.B Processus d’écriture des hologrammes pixélisés ............................................................................... 59
III ADRESSAGE DES HOLOGRAMMES PIXELISES EN OPTIQUE ESPACE LIBRE ............................... 61
III.A Principe de fonctionnement du banc ................................................................................................. 62
III.B Choix du masque dynamique ............................................................................................................ 63
III.B.1 Dispositif à base de micromiroirs .............................................................................................................. 63
III.B.2 Dispositifs à base de Cristaux Liquides sur Silicium ................................................................................... 67
III.B.3 Comparaison des solutions d’adressage en optique à espace libre .......................................................... 69
III.C Alignement de l’adressage ................................................................................................................ 70
IV METHODE D’ADRESSAGE DES HOLOGRAMMES PIXELISES EN OPTIQUE INTEGREE ................. 75
IV.A Spécification de l’adressage en optique intégrée .............................................................................. 75
IV.B Etat de l’art des briques d’activation ................................................................................................ 79
IV.B.1 Utilisation d’effets thermo-optiques ......................................................................................................... 80
IV.B.2 Utilisation de plasmas de porteurs libres .................................................................................................. 81
IV.B.3 Utilisation de cristaux liquides ................................................................................................................... 81
IV.C Approches d’activation proposées .................................................................................................... 82
IV.D Modification de la différence d’indice des dents du réseau .............................................................. 83
IV.E Modification du recouvrement entre le réseau et le mode guidé ..................................................... 84
CONCLUSION DU CHAPITRE II............................................................................................................ 87
40
rétinienne.
Introduction du Chapitre II
Dans ce second Chapitre je vais aborder la question des méthodes d’adressage
envisageables pour la réalisation d’un dispositif de projection rétinienne. Le but de ce Chapitre
est de lister les caractéristiques nécessaires à la réalisation du dispositif et de proposer
plusieurs pistes d’adressage. On évoquera notamment des méthodes d’adressage en optique
intégrée et en optique à espace libre qui seront détaillées plus en profondeur dans les
prochains Chapitres. Pour cela je commencerai par préciser la manière dont l’auto-focalisation
de l’œil est utilisée pour projeter une image à l’aide d’une DPE. En se basant sur la théorie de
l’optique de Fourier, je présenterai des résultats de simulations permettant d’anticiper les
problématiques liées à la projection d’images à l’aide de DPEs périodiques et aléatoires. Des
stratégies d’écritures sont ensuite données pour réduire les problématiques soulevées.
Dans un second temps, je proposerai une méthode d’adressage en optique espace libre
basée sur l’utilisation d’un masque réflectif dynamique. Cette méthode permettra de réaliser
l’étude de l’activation des hologrammes pixélisés présentée au Chapitre III. Enfin je décrirai
les caractéristiques de contraste et d’efficacité d’extraction nécessaires pour réaliser notre
dispositif de projection rétinienne. Ces caractéristiques vont permettre d’identifier, parmi
plusieurs technologies, celle potentiellement viables pour notre projet. C’est sur la base de
cette technologie que des approches d’activation de l’extraction seront développées.
I Principe d’auto focalisation

Le principe d’auto-focalisation consiste en l’utilisation de l’œil comme seul élément optique
de formation d’une image projetée. Dans le cas du dispositif développé par le CEA Leti, l’auto-
focalisation est réalisée par la génération d’un front d’onde composite quasi plan émis à l’aide
d’une distribution de points d’émission dont les phases sont accordées entre elles à l’aide
d’hologrammes pixélisés.
Ce concept se base sur un principe de synthèse d’ouverture déjà décrit dans le cadre
d’autres applications, notamment au travers des Optical Phased Array utilisés dans le domaine
des Lidar [80] ou des assemblages de télescopes pour l’astronomie [90]. Jusqu’à récemment
il n’avait pas été étudié à notre connaissance sur des applications visuelles de projection
d’image. Pour faciliter la compréhension du processus physique impliqué, ma description
commence par un cas simple de mise en œuvre : l’imagerie au travers d’une série
d’ouvertures.
I.A Auto-focalisation à l’aide d’un masque

L’étude de l’auto-focalisation peut se faire dans un premier temps par l’étude de la
propagation d’une onde à travers un masque opaque percé de trous et placé devant l’œil.
Cette approche simplifiée a notamment été traitée au laboratoire dans la première thèse
dédiée au sujet [91]. La partie qui suit propose l’étude théorique de ce type de système.
I.A.1 Théorie de l’effet d’auto focalisation de l’œil

L’œil humain permet, à son état de repos, de focaliser des images provenant de l’infini,
c’est-à-dire qu’un front d’onde plan incident sur l’œil se focalisera sur la rétine. Dans une
représentation simplifiée, l’œil peut être assimilé à un système composé d’un écran
41
rétinienne.
photorécepteur (la rétine), placé au plan focal d’une lentille convergente (le cristallin). La Figure
II-1 (a) représente schématiquement la focalisation par l’œil du front d’onde plan avec un angle
d’incidence 𝜃. En plaçant un masque entre l’œil et le faisceau plan, il est possible de conserver
partiellement l’information du faisceau incident et d’obtenir la focalisation d’un point unique sur
la rétine.
Ce principe est représenté à la Figure II-1 (b) : un masque de diamètre 𝐷𝑝 percé de trous
de diamètre 𝑎 est utilisé pour transmettre un front d’onde plan à l’œil. Chaque trou peut être
vu comme un point d’émission diffractant, le retard de l’émission des points les uns par rapport
aux autres est déterminé par l’angle 𝜃 du faisceau incident. Deux effets entrent alors en jeu
dans la propagation du faisceau. Un effet géométrique concerne l’orientation des faisceaux
issus des trous, cette orientation prolonge la direction d’incidence du faisceau. Un effet de
cohérence temporelle garantit que les faisceaux sont en phase dans la direction angulaire
ciblée et permet la génération d’un front d’onde plan composite incliné de l’angle 𝜃. Ces deux
approches que l’on peut associer à des phénomènes réfractif et diffractif constitue un axe de
travail de l’équipe de recherche « projection rétinienne » du CEA
Figure II-1 : Représentation de l’effet d’auto-focalisation dans le cas (a) d’une onde plane parallèle incidente avec un angle 𝜃
sur l’œil et, (b) d’une onde plane, identique, passant à travers un masque troué.
Il est possible de réaliser une étude analytique du système présenté à la Figure II-1 (b).
Afin d’alléger les équations, je vais mener cette étude dans le cas d’un masque à une
dimension. Il est alors possible d’écrire la fonction de transmission du masque comme une
somme de fonctions portes placées en différentes positions :
𝑁
𝐷𝑝 𝐷𝑝
𝑡(x) = ∑ Π𝑎 (𝑥 − 𝑥𝑛 ) 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑥𝑛 ∈ [− , ] (2.1)
2 2
𝑛=1
A l’aide de l’équation (1.16) d’optique diffractive développée au Chapitre I et en négligeant

la taille de la pupille de l’œil, il est possible de montrer qu’au fond de ce dernier, le champ
électrique, en une position 𝑥, sera de la forme de l’équation (2.2) et que l’intensité associée à
ce champ sera donnée par l’équation (2.3) :
𝑁
𝑥 𝑥
−𝑗 2𝜋 𝑛 𝑥
𝑔(𝑥) = 𝑎. 𝑠𝑖𝑛𝑐 (𝜋 𝑎) ∑ 𝑒 𝜆𝑓 (2.2)
𝜆𝑓
𝑛=1
42
rétinienne.
𝑁 2
𝑥 𝑥
−𝑗 2𝜋 𝑛 𝑥
2 2
𝐼(𝑥) = 𝑎 . 𝑠𝑖𝑛𝑐 (𝜋 𝑎) |∑ 𝑒 𝜆𝑓 | (2.3)
𝜆𝑓
𝑛=1
Le second terme de l’équation (2.3) représente le module au carré d’un champ

d’interférence et traduit un signal composé d’une somme de signaux sinusoïdaux à des
fréquences spatiales différentes. Le premier terme décrit une enveloppe en sinus cardinal du
signal.
Cas d’un masque périodique

Dans le cas d’un masque périodique de période Λ il est possible de simplifier l’équation
(2.3) en identifiant le terme 𝑥𝑛 = Λ. (𝑛 − 1). On obtient alors le signal de diffraction par un
réseau périodique de pas Λ :
𝜋Λ𝑁
𝑥 sin2 ( 𝑥)
𝜆𝑓
𝐼(𝑥) = 𝑎2 . 𝑠𝑖𝑛𝑐 2 (𝜋 𝑎) (2.4)
𝜆𝑓 𝜋Λ
sin2 ( 𝑥)
𝜆𝑓
Ainsi le signal perçu sur la rétine sera composé d’un pic principal, entouré de pics
secondaires, appelés les ordres de diffraction. Les positions de ces ordres vont dépendre de
la focale de l’œil 𝑓 et de la période du masque, selon l’équation suivante
𝜆
𝑥𝑚 = 𝑚. 𝑓 𝑜ù 𝑚 ∈ ℤ (2.5)
Λ
Cas d’un masque aléatoire

Dans le cas où l’on considère un masque avec une distribution finie, aléatoire de trous
dont les positions sont 𝑥𝑛 = randn , il n’est pas possible de simplifier analytiquement l’équation
(2.3). Néanmoins il est possible d’observer que la seconde partie de l’équation (2.3) est
constituée d’une somme de fonctions périodiques de périodes aléatoires. Cette équation peut
notamment être écrite comme suit :
𝑁 2
𝑥 𝑟𝑎𝑛𝑑𝑛 𝑟𝑎𝑛𝑑𝑛
2 2
𝐼(𝑥) = 𝑎 . 𝑠𝑖𝑛𝑐 (𝜋 𝑎) |∑ cos (2𝜋 𝑥) + 𝑗 sin (2𝜋 𝑥)| (2.6)
𝜆𝑓 𝜆𝑓 𝜆𝑓
𝑛=1
Les périodes de ces fonctions étant aléatoires, il est seulement possible de connaitre la
valeur de la fonction au point 𝑥 = 0 où la fonction sinus s’annule et la fonction cosinus est
égale à 1. Ainsi on obtient l’intensité suivante :
𝐼(0) = 𝑎2 . N 2 (2.7)
43
rétinienne.
Si les trous du masque sont bel et bien placés de manière aléatoire, cette valeur est le
maximum de l’intensité de la fonction et le reste de la fonction sera constitué d’un bruit plus ou
moins important dépendamment de la distribution de points utilisée. Dans la suite de ce
document le point crée au fond de l’œil par le champ projeté sera qualifier de « spel ».
Densification du nombre de points

Le fait de densifier le nombre de points, aussi bien dans le cas périodique que dans le cas
aléatoire va permettre d’améliorer le signal projeté. En effet si on considère un masque de
taille 𝐷𝑝 que l’on remplit de trous jusqu’à ce que les trous couvrent toute la surface de la pupille,
alors la somme de l’équation (2.3) peut être traduite par une intégrale sur toute la surface de
la pupille d’émission : ainsi le champ électrique tendra vers l’équation suivante :
𝐷𝑝
2
𝑥 1 𝑋
−𝑗 2𝜋 𝑥
lim 𝑔(𝑥) = 𝑎. 𝑠𝑖𝑛𝑐 (𝜋 𝑎) . ∫𝑒 𝜆𝑓 𝑑X (2.8)
𝑁→∞ 𝜆𝑓 𝐷𝑝
𝐷𝑝
−2
En reconnaissant l’intégrale comme la transformée de Fourier d’une fonction porte, et en

passant au calcul de l’intensité du champ électrique on obtient :
𝑥𝑎 𝐷𝑝 𝜋𝑥
lim 𝐼(𝑥) = 𝑎2 . 𝑠𝑖𝑛𝑐 2 (𝜋 ) . 𝑠𝑖𝑛𝑐 2 ( ) (2.9)
𝑁→∞ 𝜆𝑓 𝜆𝑓
Les deux sinus cardinaux de l’équation (2.9) ont des fréquences de variations différentes.
Comme 𝑎 ≪ 𝐷𝑝 , la deuxième fonction varie plus rapidement que la première. Cette différence
de décroissance permet de négliger le premier sinus cardinal devant le second. Ainsi dans le
cas d’un grand nombre de points, l’intensité du champ est proche du champ obtenu avec une
unique ouverture de la taille de la pupille d’émission.
Il est possible de calculer numériquement l’intensité du champ électrique d’une distribution
quelconque de points d’émissions, à l’aide de l’équation (2.3). Je représente à la Figure II-2
ce calcul numérique à 1D dans le cas de différents nombres de points (N=5, N=10, N=50),
répartis de manière aléatoire sur une pupille 4 mm Je représente également le cas d’une
émission par une pupille totalement ouverte. De manière à s’affranchir de la valeur de la focale
utilisée, les courbes sont tracées en fonction de la position angulaire sur la rétine notée 𝜙,
définie par l’équation suivante :
𝑥
𝜙 = atan ( ) (2.10)
𝑓
On peut voir que l’augmentation du nombre de trous dans le masque permet bien de
s’approcher du résultat que l’on obtiendrait dans le cas d’un trou avec une ouverture de
diamètre 𝐷𝑝 .
44
rétinienne.
Figure II-2 : Simulation à 1D de l’auto focalisation d’un spel au fond de l’œil, pour différents nombres de trous dans un masque
(répartis aléatoirement dans une pupille de 4 mm de diamètre).
De manière à quantifier la qualité du spel ainsi émis, il est nécessaire d’introduire des
grandeurs numériques. On introduit le ratio du signal utile par rapport au bruit (ou Signal to
Noise Ratio SNR en anglais) d’un spel, permettant de quantifier l’intensité du signal utile par
rapport au maximum du signal bruité. Le SNR est défini par l’équation suivante :
𝐼(0)
SNR = 10 ( ) (2.11)
max(𝐼(𝑥)) 𝜆.𝑓
|𝑥|<1.22
𝐷𝑝
Le SNR permet de mettre en évidence de possibles pics de bruits qui pourrait être
interprétés à tort comme des projections de pixels au fond de l’œil. Pour obtenir un pixel
correctement projeté au fond de l’œil, il sera nécessaire de maximiser le SNR. Au vu des
simulations présentées à la Figure II-2 il apparait clairement que le SNR va augmenter lorsque
l’on augmente le nombre de trous dans un masque jusqu’à tendre vers le SNR d’une tâche
d’Airy (soit 17.57dB).
Dans le cas où le faisceau illuminant le masque forme un angle 𝜃 avec l’axe optique, il est
possible de montrer que le champ électro-magnétique au fond de l’œil aura une intensité de
la forme de l’équation suivante :
𝑁 2
𝜋𝑎 𝑥
−𝑗 2𝜋 𝑛 (𝑥+𝑓 tan 𝜃)
𝐼𝜃 (𝑥) = 𝑎2 . 𝑠𝑖𝑛𝑐 2 ( (𝑥 + 𝑓 tan 𝜃)) . |∑ 𝑒 𝜆𝑓 | (2.12)
𝜆𝑓
𝑛=1
45
rétinienne.
On obtient un signal de la même forme que l’équation (2.3) dont les composantes du bruit
et du signal sont décalées d’une valeur −𝑓. tan(𝜃). Ainsi on observera la projection d’un spel
entourée de bruit en cette position.
La forme décrite ici peut être étendue au cas 2D en ajoutant la variable 𝑦 et la variable
angulaire associée (𝜓) et en remplaçant l’enveloppe d’équation sinus cardinal par la fonction
éclairement, définissant la diffraction par une ouverture circulaire de diamètre 𝑎 :
𝜋𝑎 √𝑥 2 + 𝑦 2
2. 𝐽1 ( sin (atan ))
𝜆 𝑓
𝐴(𝑥, 𝑦) = 𝐴0 (2.13)
𝜋𝑎 √𝑥 2 + 𝑦 2
sin (atan )
𝜆 𝑓
Avec 𝐽1 la fonction de Bessel du premier ordre et 𝐴0 l’intensité du champ au centre de la

fonction.
La Figure II-3 montre deux simulations de projection d’un spel au fond de l’œil à l’aide d’un
masque troué. Comme on peut le voir, les simulations à 2D confirment les résultats
préliminaires à 1D : pour obtenir la projection d’un unique spel peu bruité au fond de l’œil, il
est nécessaire d’augmenter le nombre de trous.
Figure II-3 : Simulation de la projection d’un spel par effet d’auto focalisation à 2D, dans le cas de 20 PEs répartis aléatoirement
sur une pupille de 4 mm de diamètre (à gauche) et dans le cas de 100 PEs répartis sur une pupille de 4 mm (à droite).
Le principe de simulation se basant sur un masque permet de poser la base de l’étude de

l’auto-focalisation par des hologrammes pixellisés.
I.A.2 Vérification expérimentale

Des mesures expérimentales ont été réalisées dans un travail de thèse antérieur, dont les
résultats ont été publiés dans l’article de la référence [88] à celui de ce document et ont permis
de démontrer expérimentalement le fonctionnement des effets d’auto-focalisation à l’aide de
plusieurs masques. La Figure II-4 (a) présente une vue de concept du banc utilisé : un faisceau
laser illumine un masque placé devant un système optique imitant le fonctionnement de l’œil.
Plusieurs types de masques sont utilisés et permettent d’évaluer les différentes architectures
pouvant être utilisées dans le prototype de projection rétinienne développé.
46
rétinienne.
Figure II-4 : a) Représentation du banc de test de l’effet d’auto-focalisation [88], utilisant un masque percé, b) résultat de la
projection en utilisant un unique trou, c) en utilisant une distribution périodique de trous d) et en utilisant une distribution
aléatoire de trous ainsi que les coupes associées à chaque mesure.
Comme on peut le voir à la Figure II-4 (b), en utilisant un masque composé d’une unique
ouverture on obtient un point unique, très large au fond de la rétine. En utilisant une distribution
périodique d’ouverture comme présenté à la Figure II-4 (c), on peut voir apparaitre un spel
principal entouré d’ordres de diffraction. Enfin en utilisant une distribution aléatoire de trous,
on obtient la projection d’un point unique appelé spel, projeté sur le fond de l’œil. Ce signal est
bruité par des interférences, comme prévu par les simulations.
I.B Auto-focalisation à l’aide de points émissifs

Dans le cas du dispositif de projection rétinienne développé, les points d’émissions (PEs)
sont disposés à l’intersection entre des guides d’ondes 2D et des lignes d’électrodes (comme
représenté à la Figure II-5). Ces intersections sont positionnées dans une surface utile appelée
la pupille d’émission. De manière à maximiser le nombre de PEs dans cette surface, il est
préférable d’utiliser des lignes de guides et d’électrodes droites. Néanmoins, comme présenté
précédemment, l’utilisation de lignes droites pour l’adressage créera des motifs quasi-
périodiques, faisant apparaitre des ordres de diffraction gênants pour la projection d’image.
De manière à optimiser le nombre de PEs tout en conservant un motif d’émission quasi-
aléatoire, le laboratoire a dimensionné des courbes en B-splines [89], [92]. Ces courbes ont
permis d’optimiser la densité de PEs tout en conservant des spels projetés avec des SNR
acceptables.
47
rétinienne.
Figure II-5 : (a) Exemple possible d’adressage de PEs appartenant à un même spel. Un ensemble de guides d’ondes est activé
(en bleu), de même qu’un ensemble d’électrodes (en rouge). A l’intersection entre ces guides et électrodes, une extraction est
activée, comme représenté en (b).
Contrairement au cas de l’utilisation d’un masque, les PEs obtenus avec l’architecture
intégrée ne permettent pas de recréer un front d’onde plan. En effet comme représenté à la
Figure II-5, le déphasage entre deux PEs successifs est donné par la distance que doit
parcourir l’onde dans le guide entre les deux PEs. Ainsi le front d’onde composite émis par le
dispositif ne sera pas plan et ne permettra pas d’utiliser l’auto-focalisation de l’œil pour projeter
un spel sur la rétine. Également la différence de chemin optique doit être prise en compte car
elle cause une perte de cohérence entre les PEs dans le cas où la cohérence temporelle du
laser serait trop faible. Pour conserver la cohérence entre les différents points d’émission la
largeur de raie du laser doit être de l’ordre de Δ𝜆 ≈ 10 𝑝𝑚 dans le cas de PEs espacés d’une
distance maximale de 1 cm.
Pour corriger les déphasages des PEs, il est prévu d’utiliser une couche holographique.
En effet comme expliqué au Chapitre I, un hologramme volumique permet de rediriger un
faisceau et d’introduire un déphasage. Ainsi cette technologie semble être idéale pour modifier
le front d’onde du système d’émission en chaque PE afin d’émettre un front d’onde composite
quasi plan dirigé suivant un angle donné, comme celui qui est observé dans le cas du masque
troué dans la partie précédente.
La Figure II-6 représente le principe d’écriture et de lecture des hologrammes pixélisés
permettant d’utiliser de manière avantageuse les propriété des hologrammes. Les PEs du
système photonique avec des phases désordonnées sont utilisés comme faisceaux de
référence pour l’écriture holographique. Des faisceaux, provenant de la projection de points
en phase, sont utilisés comme faisceaux objets, et interfèrent avec les faisceaux des PEs
permettant de créer des hologrammes localisés, comme représenté à la Figure II-6 (a). Les
hologrammes ainsi formés sont dits pixélisés car ils occupent un volume très réduit. En plus
de corriger le déphasage entre les PEs, l’utilisation d’hologrammes pixélisés permet de
rediriger les faisceaux émis dans la direction où ils se focalisent, ce qui permet de maximiser
la puissance dans la direction du spel projeté.
48
rétinienne.
Figure II-6 : Schématisation de l’utilisation des hologrammes pixélisés pour corriger le déphasage et la directivité des points
d’émission du dispositif d’émission. (a) Principe de l’enregistrement des hologrammes pixélisés en utilisant les faisceaux
extraits des guides d’ondes comme faisceaux de références, b) relecture de ces hologrammes pixélisés.
L’avantage de l’utilisation des hologrammes pixélisés est leur efficacité sélective en

longueur d’onde et en angle comme on a pu le voir à la Figure I-16. Cette sélectivité va
permettre de garder un échantillon globalement transparent tout en appliquant les fonctions
optiques nécessaires au phénomène d’auto-focalisation.
I.C Auto-focalisation d’une image à l’aide de DPE aléatoire

Comme expliqué précédemment un des avantages de l’utilisation des hologrammes
pixélisés est le fait que la position des hologrammes n’est en théorie pas corrélée avec l’angle
de projection des spels. Il est donc possible d’optimiser ces angles pour afficher des images
avec la meilleure résolution possible. Dans cette partie je décris des stratégies de projection
des spels pour améliorer la qualité de l’image dans le cas d’une DPE aléatoire. La première
partie de ce chapitre a montré que le signal projeté par une DPE aléatoire était composé du
spel projeté et d’un signal bruité enveloppé dans une fonction d’éclairement.
Dans le cadre de la projection d’une image, je distinguerai la notion de pixel de l’image
projeté de la notion de spel. ; le spel étant le signal utile physiquement projeté tel qu’on l’a
défini précédemment et le pixel étant la zone occupée par le plus petit élément adressable. La
taille de ce pixel peut notamment être donnée par la distance entre deux spels voisins. Dans
le concept développé, il est possible que le pixel projeté et le spel n’aient pas la même taille
comme représenté à la Figure II-7.
Figure II-7 : Schématisation de la différence entre spel et le pixel dans le cas de la projection rétinienne.
49
rétinienne.
Dans le cas de la projection simultanée de plusieurs spels on peut distinguer deux cas de
figure différents quant à la cohérence des faisceaux de projection utilisé :
 Les spels peuvent être projetés par des lasers différents les uns des autres ce qui
permet de négliger les interférences des spels les uns sur les autres. Cela revient donc
à sommer les intensités projetées par chaque signal comme traduit par :
2
𝐼𝑡𝑜𝑡 = ∑|𝐸𝑠𝑝𝑒𝑙 | (2.14)
𝑠𝑝𝑒𝑙
Avec 𝐸𝑠𝑝𝑒𝑙 le champ électrique d’un spel.
 On peut également considérer que les spels sont émis par un même laser, ce qui
causera des interactions entre les champs électriques des spels. Les interférences
ainsi créées par des spels projetés simultanément par un même laser seront qualifiées
« d’interférences croisées ». D’un point de vue mathématique la considération de ces
interférences revient à sommer les champs de chaque spel avant de calculer l’intensité
totale :
𝐼𝑡𝑜𝑡 = |∑ 𝐸𝑠𝑝𝑒𝑙 | (2.15)

𝑠𝑝𝑒𝑙
On étudiera de manière théorique la projection d’image dans le cas de faisceaux cohérents

et non cohérents.
I.C.1 Cas de faisceaux non cohérents entre eux

Comme expliqué précédemment, la taille du spel projeté dépend de la taille de la pupille
d’émission totale du système. Ainsi lors de la projection d’une image, il est nécessaire de
prendre en compte la taille de cette pupille dans le choix de l’angle entre les pixels projetés
pour éviter un recouvrement des spels projetés ou un éloignement trop grand créant une perte
de remplissage des pixels (i.e. une perte de la surface entre les pixels par rapport à la surface
occupée par un spel).
Pour obtenir une bonne résolution des pixels on peut se baser sur le critère de Rayleigh.
Ce critère indique l’angle limite (appelé angle de Rayleigh et noté 𝜃𝑅 ) à partir duquel il n’est
plus possible de distinguer deux spels l’un de l’autre à l’aide d’une pupille de taille 𝐷𝑝
𝜆
sin(𝜃𝑅 ) = 1.22 (2.16)
𝐷𝑝
En utilisant une pupille de 𝐷𝑝 = 4 𝑚𝑚, on obtient un angle limite de 0.56 arcmin, soit une
taille inférieure à la résolution de l’œil humain (qui est d’environ 1 arcmin dans la zone fovéale).
La Figure II-8 représente des simulations de projection de spels de taille tous égaux, à
l’aide de faisceaux non cohérents entre eux, permettant de former la lettre « R », pour
plusieurs tailles de pixels. Dans le cas (a), l’angle entre les pixels est inférieur à l’angle de
Rayleigh ce qui cause un fort recouvrement des spels, dans le cas (b), l’angle entre les pixels
50
rétinienne.
est égal à l’angle de Rayleigh permettant tout juste de différencier les spels. Enfin dans le cas
(c) les pixels sont éloignés de 1 arcmin, la résolution de l’œil humain.
Figure II-8 : Simulations de projection de la lettre « R », sur une grille de 10x10 pixels, à l’aide de DPE aléatoires répartis sur
une pupille de 4 mm, pour plusieurs valeurs d’angle entre pixels, ainsi que la coupe de la somme de deux spels dans les mêmes
conditions. Pour des angles entre pixels de 0.25 arcmin (a), 0.53 arcmin (b) et 1 arcmin (c).
La Figure II-8 (a) semble permettre d’obtenir un meilleur contraste que les deux autres
résultats, cela s’explique car les spels de deux pixels adjacents se superposent causant une
augmentation du signal par rapport au bruit comme représenté dans la partie basse de la
Figure II-8. Cet effet pourrait être utilisé de manière avantageuse pour augmenter le SNR
perçu sur une image ; toutefois on peut voir qu’il entraine également une perte de résolution,
l’image apparaissant légèrement floutée.
La meilleure résolution semble être celle avec un angle entre pixels égal à celui de
Rayleigh (cas (b)). Néanmoins, les résultats de la Figure II-8, sont simulés à l’aide d’une
résolution supérieure à celle de l’œil. Dans le cas de l’observation avec un œil il est donc inutile
de descendre à des angles entre pixels inférieur à 1 arcmin.
I.C.2 Cas de faisceaux cohérents entre eux

La Figure II-9 montre des simulations de la projection de la lettre « R », avec des pixels
espacés de 1 arcmin, à l’aide de DPE aléatoires, avec et sans interférences croisées. Dans le
cas où l’on considère les interférences croisées, on peut voir que pour le nombre de PEs
utilisé, il y a une réduction importante de la qualité des spels projetés.
51
rétinienne.
Figure II-9 Simulations de la projection de la lettre « R » à l’aide d’une DPE aléatoire de 500 points répartis sur une pupille de
4 mm. (a) Les spels sont émis par des faisceaux non cohérents. (b) Les spels sont émis par des faisceaux cohérents.
Pour éviter la disparition des signaux du fait des interférences croisées, il est nécessaire
de réduire la capacité des spels à interférer entre eux. Pour cela il est possible d’utiliser des
lasers différents pour les différents spels, comme vu dans le Chapitre précédent. Mais cela
implique l’intégration d’un grand nombre de lasers sur le dispositif de projection rétinienne. Il
est également possible de projeter les spels à des instants différents, pour décorréler
temporellement les faisceaux projetés par les différents spels. C’est l’assemblage de ces deux
options qui a été envisagé dans la mise en place du concept : mutualiser plusieurs spels pour
un seul laser mais les afficher de manière séquentielle. A chaque instant d’affichage on projette
plusieurs spels qui n’interfèrent pas entre eux car ils sont issus de lasers différents. Grâce au
séquençage de l’affichage, le nombre de lasers reste limité.
Pour aller au-delà cette approche, une autre solution a été proposée dans cette thèse et
a fait l’objet d’un dépôt de brevet. L’idée est d’optimiser l’angle de projection des pixels pour
tirer parti de la directivité de l’émission afin de réduire les interférences croisées. Je nomme,
dans la suite de ce document, « spels jumeaux », deux spels formés de manière simultanée
par une même source laser.
I.D Optimisation de l’utilisation des hologrammes pixélisés

Comme montré dans la partie I de ce Chapitre, le signal émis par la projection d’un spel
est limité par une enveloppe définie par la taille du point d’émission. En dehors de cette
enveloppe centrée, autour de la position du spel, le champ projeté est quasiment nul. Cette
absence de champ permet de limiter les interférences croisées entre deux spels jumeaux
suffisamment espacés l’un de l’autre.
Ainsi, en organisant l’écriture des hologrammes de manière à éloigner angulairement les
spels jumeaux les uns des autres, il est possible de limiter les effets des interférences croisées.
La Figure II-10 (a) schématise l’utilisation de ce principe dans un dispositif de projection
rétinienne. On donne à la Figure II-10 (b) et (c) deux simulations illustrant l’intérêt d’éloigner
deux spels jumeaux pour réduire le bruit causé par les interférences croisées.
52
rétinienne.
Figure II-10 : (a) Représentation de l’utilisation de la directivité des points d’émission dans le dispositif développé par le CEA
Leti pour réduire les interférences croisées. (b) et (c) simulations à 1D de la projection de deux spels jumeaux, dans le cas (b)
la proximité des spels cause l’apparition d’interférences croisées réduisant l’intensité du second spel, dans le cas c) ces
interférences sont réduites grâce à l’éloignement des spels jumeaux.
Il est donc possible de réduire l’impact des interférences croisées sans nécessairement
utiliser un grand nombre de lasers et sans imposer une fréquence d’affichage élevée. Pour
estimer le nombre de lasers nécessaire pour la réalisation d’un dispositif, je simule la projection
de 5 spels jumeaux projetés à différentes distances les uns des autres, à l’aide de DPE
aléatoires composées de points de 10µm. De manière à s’affranchir des effets ponctuels dus
à une DPE particulière, la simulation est réalisée plusieurs fois avec des DPE différentes, puis
la moyenne des SNR obtenus est évaluée.
La Figure II-11 (a) représente les simulations de la projection de ces 5 spels avec et sans
interférences croisées. On peut voir que la projection de 5 spels reste lisible même en
considérant les interférences croisées, toutefois, on voit apparaitre des pics dans le bruit créé
par ces interférences. Lorsque la distance entre les pixels est augmentée on peut voir une
nette diminution du bruit de fond dans les deux projections, et une réduction de l’amplitude
des pics parasites dans le cas où l’on considère les interférences croisées.
La Figure II-11 (b) donne la variation du SNR moyen (représenté sous forme de barres
d’erreurs) en fonction de la distance entre les spels jumeaux projetés. Comme on peut le voir
l’impact des interférences croisées sur le SNR est très fort pour de petits angles entre les spels
jumeaux. Lorsque l’angle entre les pixels jumeaux augmente, l’impact du bruit causé par les
interférences croisées est réduit jusqu’à devenir négligeable par rapport au bruit causé par la
projection de plusieurs spels dans le champ de vision.
53
rétinienne.
Figure II-11 : (a) Projection de 5 spels jumeaux pour différentes distances entre les pixels correspondant à ces spels, on observe
le spel central pour des points d’émissions de 10 µm de diamètre. (b) Evolution du SNR pour différentes distances entre les 5
spels jumeaux projetés dans le cas où les interférences croisées sont prises en compte ou non et dans le cas de la projection
du spel central seul.
On repère sur la Figure II-11 (b), la valeur des SNR dans le cas d’un angle entre les spels
jumeaux de 𝜔𝑅 , avec 𝜔𝑅 la position de la première annulation de la tâche d’Airy, crée par une
ouverture de largeur 𝑎 (le diamètre du point d’émission), définie à l’équation (2.13).
𝜆
𝜔𝑅 = 1.22 (2.17)
𝑎
Avec 𝜆 la longueur d’onde du faisceau.
On peut voir que pour un angle de 𝜔𝑅 entre les spels jumeaux, le SNR obtenu est
quasiment le même que l’on considère ou non les interférences croisées. Cela s’explique par
le fait qu’à une telle distance le champ projeté par une DPE est quasiment nul et il y a peu de
recouvrement entre les champs projetés par les différentes DPE.
Sur la base des simulations présenté à la Figure II-11, il est possible d’estimer la perte de
signal dû aux interférences croisées. Pour cela je soustrais le SNR obtenu sans les
interférences croisées au SNR obtenu en considérant ces interférences.
La Figure II-12 représente l’évolution de la dégradation du SNR due aux interférences
croisées pour différentes distances entre spels jumeaux, ainsi que pour différentes tailles de
points d’émissions. On peut voir que, comme anticipé, l’utilisation de points d’émission plus
petits cause une augmentation de l’interaction entre les champs des spels projetés causant
une augmentation de l’effet des interférences croisées.
54
rétinienne.
Figure II-12 : Evolution de la dégradation du SNR lors de la projection de 5 spels jumeaux en fonction de la distance entre ces
spels jumeaux, pour différentes tailles de points d’émission.
La Figure II-12 met en évidence que pour les différentes tailles de points d’émissions
considérées une distance entre les spels jumeaux d’une valeur de 𝜔𝑅 permet toujours de
négliger l’impact des interférences croisées sur le signal. Ainsi il est possible d’utiliser un laser
commun pour projeter simultanément des spels placés à un angle 𝜔𝑅 les uns des autres.
La Figure II-13, représente sur un même graphe,
 L’évolution de la perte de signal en fonction de l’angle entre deux spels jumeaux

voisins pour une taille de PE de 10 µm.
 L’évolution du nombre de lasers nécessaire à la mise en œuvre d’un dispositif avec un

FOV diagonale de 15°, 245x245 pixels projetés et une pupille d’émission carrée de
taille 𝐷𝑝 = 6 𝑚𝑚.
Ce nombre de laser peut se déterminer en estimant le nombre de spels pouvant être

projetés par un unique laser (noté 𝑚𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟 ) en fonction de l’angle entre les pixels voisins :
𝛿2
𝑚𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟 = ⌈ ⌉ (2.18)
2. 𝐹𝑂𝑉 2
Il est ensuite possible de modifier la formule (1.28) qui permettait de calculer le nombre de
lasers en considérant que chaque distribution de guide était alimentée par un unique laser. On
obtient ainsi un nouveau nombre de lasers :
𝑁𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟
𝑁𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟 ′ = (2.19)
𝑚𝑙𝑎𝑠𝑒𝑟
Dans le cas où un laser différent serait utilisé pour chaque spel jumeau, on obtiendra un
total de 400 lasers. La Figure II-13 met en évidence qu’il est possible d’utiliser seulement 13
lasers, correspondant à une distance entre spels jumeaux de 𝜔𝑅 , tout en conservant une faible
55
rétinienne.
dégradation du signal dû aux interférences croisées. Ce faible nombre de lasers permettrait

de réduire considérablement l’encombrement du système.
Figure II-13 : (a) Evolution de la dégradation du SNR obtenu lors de la projection de 5 spels jumeaux en fonction de la distance
entre ces spels, dans le cas où les interférences croisées sont prises en compte ou non. Ainsi que l’évolution du nombre de
lasers nécessaire pour réaliser un dispositif projetant 200x200 pixels sur un FOV de 15° à partir d’une pupille d’émission de 6
mm x 6 mm.
Dans le cadre du projet du CEA Leti, la fabrication des sources laser visibles n’a pas
encore été étudiée, il est donc compliqué de savoir si la réalisation de 13 lasers visibles avec
de faible largeurs de raies est réalisable dans un encombrement acceptable pour un utilisateur.
Toutefois la capacité d’utiliser la directivité des hologrammes pour réduire le nombre de lasers
est une information clef dans le développement du dispositif. Dans la prochaine partie je
décrirai les mécanismes permettant l’écriture de ces hologrammes pixélisés.
II Hologrammes pixélisés
Pour faciliter la compréhension de cette partie de la thèse je vais introduire plusieurs
termes concernant la notion d’hologramme :
 L’hologramme : c’est le composant générique de l’holographie, tel qu’il a été défini au

Chapitre I ;
 L’hologramme pixélisé : c’est un hologramme dont la structure est composée de petits

hologrammes élémentaires d’une taille typique de quelques µm ;
 Le pixel holographie (ou hoel) : l'hologramme élémentaire constitutif des hologrammes

pixélisés ;
 La distribution de pixels holographique (ou DPH) : C’est un ensemble d’hoels

permettant de projeter un spel dans une direction.
56
rétinienne.
II.A Ecriture des hologrammes pixélisés

La réalisation des DPH à la surface du dispositif intégré final constitue un des défis de
l’activité de recherche. Le principe du banc envisagé pour cette écriture finale est décrit
précisément dans l’article de référence du projet de RA lié à cette thèse [82]. La réalisation de
ce banc est menée par d’autres membres du laboratoire. Son développement nécessite d’avoir
fait aboutir les recherches sur plusieurs composants clefs, encore à l’étude, dont les
composants actifs qui font l’objet de cette thèse.
De manière à développer les DPH pour étudier leur comportement et les limitations
théoriques et pratiques des membres du laboratoire ont réalisé un banc d’écriture
holographique simplifié sur des matériaux holographiques à base de photopolymères (fournis
par l’entreprise Covestro). Le CEA Leti dispose également d’une formulation à base de
photopolymères, sous forme liquide, développée au sein du laboratoire. Néanmoins dans le
cadre de cette thèse seul la formulation de Covestro a été utilisée dans un souci de facilité de
mise en œuvre. Le banc d’écriture simplifié est conçu en optique espace libre, avec des
distributions d’hologrammes générés par des masques statiques. Il fonctionne sur le même
principe que le banc d’écriture final envisagé sur substrat photonique.
Un schéma de principe de ce banc est représenté à la Figure II-14. Il fonctionne à l’image
d’un banc de lithographie qui projette un masque sur un substrat à la différence que ce sont
deux masques identiques qui sont projetés de part et d’autre d’un substrat transparent. Le
faisceau objet et le faisceau de référence se différencient par le fait que la fibre optique du
bras objet peut être déplacée pour modifier l’angle de projection du masque sur l’échantillon.
On modifie par la même occasion la position angulaire du spel écrit dans la distribution de
points. Pour adresser des positions angulaires différentes en différents points de l’hologramme
c’est l’échantillon qui est déplacé devant les faisceaux après chaque enregistrement. Ce
déplacement de l’hologramme doit se faire sans perturber l’alignement.
Figure II-14 : Schéma de principe du banc d’écriture holographique en optique à espace libre.
57
rétinienne.
Les écritures actuellement réalisées dans le laboratoire utilisent des masques périodiques
réalisés à l’aide de masques de Chromes gravés fabriqués par la société Arnano. Un exemple
de masque utilisé est donné à la Figure II-15 (a) : il consiste en une distribution de trous
circulaires de 10 µm de diamètre et espacés de 100µm.
La configuration du banc actuellement utilisé dans le laboratoire utilise des optiques
permettant de réaliser un grossissement voisin de x 2.7 entre le masque utilisé et l’image
projetée sur la plaque holographique. Ainsi les DPH obtenus seront périodiques, d’une période
voisine de 270 µm et composés d’hologrammes circulaires dont la taille dépend du temps
d’exposition. La Figure II-15 (b) montre une photographie d’un résultat d’écriture
holographique, à l’aide d’un laser vert (532 nm) utilisant un masque périodique. Les hoels
écrits apparaissent de couleur verte, car ils sont observés en réflexion et réfléchissent la
lumière dans la gamme spectrale utilisée pour l’écriture. L’écriture des différentes DPH a
permis de recouvrir complétement la surface du matériau holographique. La juxtaposition des
hologrammes fait apparaitre une maille de hoels carrés.
Figure II-15 : (a) Photographie d’un masque avec des ouvertures périodiques réalisées dans une couche opaque deChrome
déposée sur verre. (b) Photographie d’un résultat d’écriture holographique à l’aide d’un masque périodique.
L’utilisation de masques périodiques a comme principal avantage de permettre de

facilement recouvrir toute la surface de l’échantillon en réalisant des déplacements
périodiques. Néanmoins leur utilisation rendra périodique les DPH, qui, à la relecture, feront
apparaitre des ordres de diffractions, comme prédit par l’équation (2.4). Dans le cas de
l’utilisation d’un masque statique aléatoire, il est plus complexe de recouvrir la surface de
l’échantillon sans causer des recouvrements des hologrammes. La Figure II-16 schématise
cette difficulté en comparant l’utilisation de deux masques, un périodique et un aléatoire pour
recouvrir un échantillon holographique.
58
rétinienne.
Figure II-16 : Schématisation de l’effet de recouvrement des hoels lors de l’utilisation d’un masque périodique (a) et de
l’utilisation d’un masque aléatoire (b) pour réaliser un ensemble de 5x5 DPH.
Dans le cas de l’utilisation de masques aléatoires et pour éviter les phénomènes de

recouvrement il est nécessaire d’utiliser des masques dynamiques dont la disposition des
trous peut être modifiée à chaque écriture. L’intégration de masques aléatoires dynamiques
est primordiale dans la future évolution du banc d’écriture des hoels. Il permettra de recouvrir
toute la surface de l’échantillon tout en évitant l’apparition d’ordres de diffraction des masques
périodiques.
II.B Processus d’écriture des hologrammes pixélisés

De manière à confirmer l’alignement des faisceaux d’écriture et de lecture, de premières
écritures ont été réalisées en écrivant de manière sélective les DPH et en laissant des surfaces
vierges d’écriture. La Figure II-17 représente deux photographies d’une écriture sélective où
seuls les hoels formant le motif « R » sur une grille de 10x10 pixels ont été écrits. Dans le cas
(a) on remarque un dédoublement de la plupart des hoels, ce qui témoigne du mauvais
alignement entre les deux faisceaux. Au contraire dans le cas (b), les hoels ne présentent pas
de dédoublement, ce qui témoigne d’un bon alignement des faisceaux. Ainsi les faisceaux
objets et les faisceaux de références sont bien superposés sur le matériau holographique.
Toutefois cela n’assure pas la présence des interférences entre ces deux groupes de
faisceaux qui pourra seulement être vérifiée lors de la relecture des angles codés dans les
hoels. La Figure II-17 met également en évidence une non-homogénéité de la taille des hoels
qui peut être expliquée par la dynamique d’écriture dans le photopolymère [87].
59
rétinienne.
Figure II-17 : (a) Photographie d’un hologramme pixélisé, dans le cas d’un mauvais alignement entre les deux faisceaux
d’écritures. (b) Photographie dans le cas d’un bon alignement entre les deux faisceaux d’écritures.
Dans le cas présent, les hoels forment des lettres « R », car cela permet d’identifier le
sens dans lequel l’écriture est réalisée (la lettre R n’ayant pas d’axe de symétrie). Les angles
de projection des spels émis par cet échantillon ont été choisis pour former la lettre « R » au
fond de l’œil. Le processus d’écriture des angles dans le matériau holographique est
schématisé à la Figure II-18. On met en parallèle dans cette figure la répartition des hoels sur
l’échantillon durant l’enregistrement et la répartition des spels images projetés dans le plan de
la rétine si l’échantillon était lu après chacune des étapes.
Dans la suite de ce document j’appellerai cellule de hoel, l’ensemble des hoels voisins
appartenant à des DPH formant un carré comme représenté en pointillé noir sur la Figure II-18.
Figure II-18 : Représentation de quelques-unes des étapes d’écritures d’un échantillon où seules les DPE permettant de relire
la lettre « R » sont écrites, la partie gauche représentant la position spatiale des hologrammes pixélisés et la partie droite
l’angle codé ainsi que les ordres de diffraction dus à l’utilisation d’une DPH périodique.
Du fait de l’utilisation de DPHs périodiques, l’image projetée au fond de l’œil est répétée
par les ordres de diffraction comme représenté à la Figure II-18. La position des ordres de
diffraction dû à l’utilisation de DPHs périodiques est liée à la période de la DPH par l’équation
(2.5). Dans le cas de l’utilisation de DPH avec une période de 270 µm, les ordres de diffraction
60
rétinienne.
seront éloignés les uns des autres d’un angle Δ𝜃𝑚 = 6.8 arcmin. Ainsi pour éviter les
recouvrements entre le motif projeté et les ordres de diffraction, il est nécessaire que la gamme
angulaire de codage de ce motif projeté soit inférieure à cet angle.
La Figure II-19 représente des simulations de projections de la lettre « R » sur 10x10 pixels
à l’aide de distributions périodiques de points émissifs de 27µm espacés de 270µm réparties
sur une pupille de 4 mm. Dans un premier cas, les spels sont proches les uns des autres avec
un espacement inter-pixel de 0,25 arcmin. L’image perçue se distingue des répliques causées
par les autres ordres mais sa taille est très petite et potentiellement difficile à résoudre avec
un système d’imagerie. L’utilisation de cet espacement rendrait donc plus complexe le travail
de caractérisation de cette thèse. Dans un second cas, l’angle de vision de l’image est
augmenté en choisissant un espacement inter-pixel de 0.78 arcmin. Cependant la taille
angulaire excède la période de répétition des ordres et l’image n’est plus perceptible. Le
dernier cas présente un rendu optimum où le choix de l’angle de codage de l’image est
légèrement inférieur à l’angle de répétition des ordres. Pour ce cas un espacement inter-pixel
de 0,54 arcmin est choisi.
Figure II-19 : Simulations de projection de la lettre « R » à l’aide d’une distribution DPE périodique de 270 µm de pas répartis
sur une pupille de 4 mm, pour plusieurs valeurs d’angles entre les pixels. Pour des angles entre pixels de 0.25 arcmin (a), 0.78
arcmin (b) et 0.54 arcmin (c).
III Adressage des hologrammes pixélisés en optique espace

libre
L’adressage des hologrammes pixélisés en optique espace libre doit permettre de vérifier
la capacité d’écrire des informations angulaires précisément localisées dans les hoels. Cet
61
rétinienne.
adressage va permettre l’étude de la projection de série d’images à partir d’un seul échantillon
holographique, ainsi que les interactions entre les spels de cet hologramme lors de la
projection. On cherche notamment à observer les effets d’interférences croisées décris plus
tôt dans ce Chapitre.
III.A Principe de fonctionnement du banc

La réalisation d’un banc d’adressage en optique espace libre doit répondre à plusieurs
critères fondamentaux pour permettre de relire les hologrammes pixélisés :
 Tout d’abord, la relecture d’hologrammes nécessite l’utilisation de faisceaux avec des

caractéristiques proches de celles du faisceau de référence. Ainsi il est nécessaire
d’utiliser un faisceau incident sur l’ensemble des hologrammes avec un front d’onde plan
parallèle au substrat. Pour cela, j’utilise une fibre dont le faisceau est collimaté à l’aide
d’une lentille convexe.
 Ensuite de manière à adresser différentes DPH il est nécessaire de réaliser une fonction
de projection d’un masque. Pour cela j’utilise un système de projection 4f, qui consiste à
utiliser 2 lentilles pour réaliser une fonction de projection tout en conservant le front d’onde
plan du faisceau incident. Pour cela le masque est placé dans le plan focal image de la
première lentille : ainsi l’image du masque se formera dans le plan focal objet de la
seconde lentille. En faisant concorder le plan focal image de la première lentille avec le
plan focal objet de la seconde, on s’assure de conserver un front d’onde plan.
 Enfin le masque utilisé doit être dynamique pour permettre l’adressage localisé de
différentes DPH de manière individuelle ou simultanée. Il est nécessaire que ce masque
dynamique impacte peu le front d’onde pour remplir la première condition de la liste.
La Figure II-20 représente un schéma de principe d’un banc d’activation en optique espace
libre utilisant un masque dynamique (ou Spatial Light Modulator SLM en anglais) de type
réflectif. Je décris l’adressage des hologrammes pixélisés composant la lettre « R ». La
caractérisation de l’adressage est réalisée par deux moyens :
 L’observation de l’alignement entre les faisceaux projetés et les hologrammes à l’aide

d’une caméra d’alignement.
 La relecture des angles codés dans les hoels en utilisant un système optique imitant le
fonctionnement d’un œil composé d’une lentille et d’une caméra placée dans le plan focal
image de la lentille. Ce montage d’optique diffractive permet d’observer les angles écrits
dans les hologrammes pixélisés sous forme de spels projetés sur la caméra.
62
rétinienne.
Figure II-20 : Schéma de principe du banc de lecture des hologrammes pixélisés en optique espace libre, une lentille convexe
est utilisée pour collimater un faisceau provenant d’une fibre optique, le faisceau est ensuite modifié à l’aide d’un SLM. Le
motif du SLM est projeté sur un échantillon holographique à l’aide d’un montage 4 f. Le signal réfléchi par l’échantillon est
ensuite relu à l’aide d’un système imageant reproduisant le fonctionnement de l’œil.
Le choix du SLM dans le banc de lecture holographique doit permettre d’identifier une
technologie qui pourrait être utilisée en tant que masque dynamique pour l’évolution du banc
d’écriture présenté à la figure II-14 La partie suivante explore deux pistes de SLM pour
répondre aux applications de lecture et d’écriture holographique.
III.B Choix du masque dynamique

Dans le cadre de cette thèse je m’intéresse particulièrement aux masques réflectifs, car
ils permettent d’obtenir de meilleurs rendements lumineux que les masques en transmission.
Deux types de technologies ont été envisagées pour remplir le rôle de masque dynamique :
une technologie basée sur de µ-miroirs activables (Digital Micro-Mirror Display, DMD, en
anglais) et une technologie basée sur des Cristaux Liquide sur Silicium (LCoS).
III.B.1 Dispositif à base de micromiroirs

Les DMD sont des composants réflectifs fréquemment utilisés dans les dispositifs
d’affichage par projection [93]. Ils sont majoritairement développés par l’entreprise « Texas
Instrument » [94]. Ces composants consistent en des matrices de miroirs de taille
micrométrique (typiquement une dizaine de µm) dont les orientations sont adressables de
manière individuelle. L’adressage de ces miroirs est contrôlé à l’aide d’un circuit CMOS
(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) permettant d’activer des éléments MEMS
(MicroSystèmes ElectroMécaniques). L’activation des miroirs produit leur rotation autour d’un
point pivot.
63
rétinienne.
Dans la majorité des cas, chaque miroir peut être placé dans trois positions différentes,
comme représenté à la Figure II-21 (b) : une position de repos, ou flat state avec une
inclinaison quasiment parallèle à la surface du dispositif lorsqu’aucune tension n’est
appliquée ; une position dite « off state » lorsqu’une tension négative est appliquée, causant
une rotation d’un angle donné aux micromiroirs, typiquement -12° par rapport à la normale et
enfin, une position « on-state » lorsqu’une tension positive est appliquée, causant une rotation
symétrique par rapport à l’off state.
L’état de repos n’est pas utilisé car l’absence de contrôle précis sur la position cause une
non-uniformité des orientations des miroirs. Au contraire l’orientation des miroirs dans les cas
on et off state est contrôlée de manière très précise et répétable sur l’ensemble du dispositif.
Ainsi en appliquant une tension positive ou négative à l’aide du circuit CMOS, il est possible
de réfléchir localement le faisceau incident dans une direction ou dans une autre. En filtrant
l’état off comme représenté à la Figure II-21 (c) et en utilisant un système de projection aligné
avec l’état on, il est possible de réaliser la projection d’une image. La réalisation de différents
niveaux de gris se fait en modifiant la durée pendant laquelle les micromiroirs sont activés ou
non.
Figure II-21 a) Photographie d’un dispositif DMD de la marque Texas Instrument, b) photographie par microscope électronique
à balayage d’un DMD [95]. Schéma de principe de l’utilisation d’un DMD pour projeter une image, le faisceau d’illumination
a une incidence de -24° ce qui permet de renvoyer le faisceau de l’état ON normal à la surface du DMD, dans le cas OFF le
faisceau est dévié à un angle de 48° vers un absorbeur.
L’avantage majeur de ce type de dispositif, dans le cas d’une utilisation pour une
modulation binaire, est sa rapidité de fonctionnement, qui peut atteindre jusqu’à 32kHz [96].
Dans le cas de la lecture des DPH, cette caractéristique permettrait de réaliser une activation
individuelle rapide des DPE pour réduire les interférences croisées décrites plus tôt. Dans le
cas de l’adaptation au banc d’écriture, un fonctionnement aussi rapide n’a que peu d’intérêt
car ce sont les mouvements de fibres ainsi que l’écriture des hologrammes qui limitent la
vitesse d’écriture.
Un second avantage est le contraste théorique permis par la technologie : du fait que l’état
off soit séparé de l’état ON, il est possible en théorie d’obtenir de très bons contrastes. En
pratique la nécessité d’utiliser des prismes (prisme à Réflexion Totale Interne ou TIR [97], [98])
64
rétinienne.
pour éviter d’avoir des montages trop grands cause une diminution de ce contraste à des
valeurs typiques de l’ordre de 1 :1000.
Comme on peut le voir à la Figure II-21 (c), l’angle de projection de l’image va dépendre
de l’angle du faisceau incident (noté 𝜃𝑖𝑛 ) ainsi que de l’angle de rotation du micro-miroir dans
son état ON (noté 𝜃𝑜𝑛 ). Ainsi l’angle de projection sera donné par l’équation suivante :
𝜃𝑜𝑢𝑡 = 𝜃𝑖𝑛 − 2𝜃𝑜𝑛 (2.20)
Dans le cas de l’utilisation d’un masque dynamique dans le banc de lecture des
hologrammes pixélisés, il est nécessaire de conserver un front d’onde plan pour relire les
hologrammes avec un faisceau identique au faisceau de référence. Plus particulièrement, le
front d’onde de relecture doit être normal à la direction de propagation du faisceau.
Comme représenté à la Figure II-22, dans le cas de l’utilisation d’un DMD, le front d’onde
sera perturbé par l’angle des micromiroirs à la manière d’un réseau blazé (ou réseaux
échelettes) [99]. Si on considère un état ON à 12°, et un angle d’incidence à -24° permettant
d’obtenir une réflexion de Fresnel perpendiculaire au DMD : son front d’onde aura un angle de
+24° du fait de l’orientation globale du DMD.
Figure II-22 : (a) Représentation de l’effet de déphasage introduit par l’utilisation d’un DMD. (b) représentation des angles
d’incidence et de sortie des faisceaux dans le cas ON.
Au moment du choix du SLM, j’ai évalué un moyen de contourner ce défaut de perturbation

du front d’onde en exploitant un effet de diffraction. Les pixels du DMD se comportent comme
des miroirs diffractant répartis périodiquement sur le composant. Ainsi le caractère périodique
des miroirs va faire apparaitre des ordres de diffractions. Ces ordres de diffractions sont autant
de directions dans lesquelles le front d’onde est plan.
Dans le cas à 1D, si on considère des pixels périodiques de période Λ, alors le retard entre
deux pixels du DMD peut être calculé en considérant la Figure II-23.
65
rétinienne.
Figure II-23 : Représentation de la différence de marche entre deux faisceaux réfléchis sur deux miroirs différents d’un DM
La différence de marche entre les deux faisceaux incidents sur les miroirs est telle que :
2𝜋
Φ= (𝐴𝐶 − 𝐵𝐷) (2.21)
𝜆
Avec 𝜆 la longueur d’onde du faisceau utilisé.
En évaluant les valeurs de 𝐴𝐶 et 𝐵𝐷, la différence de marche est telle que :
2𝜋
Φ= Λ (sin(𝜃𝑖𝑛 ) − sin(𝜃𝑜𝑢𝑡 )) (2.22)
𝜆
Les ordres de diffraction correspondent alors aux angles (noté 𝜃𝑚 ) tels que la différence
de marche est un multiple de 2𝜋.
𝜆
𝜃𝑚 = asin (𝑚 − sin(𝜃𝑖𝑛 )) 𝑜ù 𝑚 ∈ ℤ (2.23)
Λ
En accordant la direction de la réflexion spéculaire (𝜃𝑜𝑢𝑡 ) sur les µ-miroirs avec un ordre
de diffraction (𝜃𝑚 ), il est possible d’obtenir un front d’onde plan normal à la propagation du
faisceau. La Figure II-24 (a) représente le calcul de 𝜃𝑜𝑢𝑡 et 𝜃𝑚 dans le cas d’un DMD tel que
𝜃𝑜𝑛 = 12° et Λ = 10,8 µ𝑚 et d’un faisceau de longueur d’onde 532 nm. On peut voir que l’angle
du faisceau réfléchi par les micromiroirs à l’état ON est très proche de l’ordre de diffraction
𝑚 = −8, l’onde réfléchie par le système a donc un front d’onde quasiment normal au faisceau
de propagation. De manière à évaluer la différence d’angle entre 𝜃𝑜𝑢𝑡 et 𝜃−8, la Figure II-24
(b) représente le tracé de Δ𝜃 tel que :
Δ𝜃 = 𝜃𝑜𝑢𝑡 − 𝜃−8 (2.24)
On peut voir que la différence entre les deux angles oscille entre 0° et 1,2° pour des angles
de sortie allant de +10° à -10°. Cette différence est nulle pour un angle de sortie de 6°.
66
rétinienne.
Figure II-24 : (a) calcul de l’angle de sortie et des angles des ordres de diffraction lors de l’utilisation de différents angles
d’incidence sur le DMD utilisant des micromiroirs de 10,8 µm et un angle d’activation (𝜃𝑜𝑛 = 12°). (b) Calcul de la différence
entre l’angle de sortie et le plus proche ordre de diffraction (ici l’ordre -8).
J’ai ici décrit le cas 1D, car plus simple à visualiser que le cas 2D. En réalité le DMD est
un dispositif 2D dont les miroirs sont placés de manière diagonale comme représenté à la
Figure II-21 (b). Dans ce cas on peut utiliser un raisonnement par transformée de Fourier pour
identifier la position des angles de diffraction qui seront présents à deux dimensions. On
obtiendra alors une conclusion semblable au cas 1D où seul certains angles d’incidence
permettent de faire concorder l’angle du faisceau de sortie avec un ordre de diffraction.
Dans le cas du banc de lecture holographique, l’angle d’incidence peut être fixé : il est
possible d’utiliser un DMD pour projeter une image. Dans le cas d’une future adaptation du
masque dynamique au banc d’écriture des hologrammes pixélisés, l’angle d’incidence sur le
masque dynamique doit être modifié pour inscrire les différents angles dans les DPH. Ainsi
dans le cas de l’utilisation d’un DMD avec un banc d’écriture des hologrammes pixélisés les
variations d’angles vont créer un décalage entre le front d’onde reconstruit par les hoels et la
direction de propagation, comme représenté à la Figure II-24 (b). Cela peut causer une
dégradation des caractéristiques du dispositif. Dans la perspective de pouvoir transférer
l’utilisation du masque dynamique depuis le banc de lecture vers le banc d’écriture, un second
type de masque a été étudié pendant la thèse.
III.B.2 Dispositifs à base de Cristaux Liquides sur Silicium

La fonction de masque dynamique peut également être remplie par un modulateur
d’amplitude basé sur la technologie des Cristaux Liquides sur Silicium (LCoS). Ce type de
technologie utilise les effets de biréfringence des CL pour créer des modifications locales de
la polarisation du faisceau incident. Pour cela une couche de CL est déposée sur un substrat
de Si contrôlé par un circuit CMOS, comme représenté à la Figure II-25. Suivant l’architecture
67
rétinienne.
utilisée, les CL peuvent être ancrés verticalement ou horizontalement en fonction de leurs

anisotropies électriques (comme expliqué au Chapitre I). Lors de l’application d’une tension
électrique l’orientation des CL varie permettant de modifier ou non la polarisation du faisceau
incident.
Figure II-25 (a) Photographie d’un composant LCoS du constructeur Holoeye permettant de réaliser des modulations de phase
et/ou d’amplitude sur un faisceau. (b) Exemple d’un empilement de couches possible pour un dispositif LCoS, la couche de CL
est contrôlée électriquement à l’aide d’une contre électrode transparente et d’un circuit CMOS.
Le passage par la couche de CL aura pour effet de retarder une des composantes de la
polarisation par rapport à l’autre sur le même principe qu’une lame retardatrice. Ce
changement de la polarisation va dépendre de la nature et de l’orientation des CL, de la
polarisation entrante ainsi que de l’épaisseur de la couche de cristaux.
Il est notamment possible d’écrire la matrice de Jones traduisant le passage par la couche
de CL, la réflexion sur le substrat et le second passage par la couche de cristaux liquide. Dans
le cas particulier où les CL sont orientés dans un plan horizontal, la matrice de Jones du
composant prendra la forme de la matrice suivante :
4𝜋
(n −n (θ))e
(𝑒 0
𝜆 o p
4𝜋 ) (2.25)
− (n −n (θ))e
0 𝑒 𝜆 o p
Avec e l’épaisseur de la cellule de CL, 𝜆 la longueur d’onde de la lumière, 𝑛𝑜 l’indice

ordinaire du CL et 𝑛𝑝 (𝜃) l’indice perçu par une onde avec une polarisation horizontale. Cet
indice dépend de l’orientation des CL dans le plan horizontal suivant l’équation (1.24), évaluée
par l’angle 𝜃 formé entre le vecteur d’orientation des CL et la tangente à la cellule.
L’équation (2.25) montre que l’orientation des CL par une tension électrique permet de
modifier le déphasage induit par le composant LCoS. Il est notamment possible d’orienter le
CL pour obtenir un déphasage nul, ou un déphasage de 𝜋⁄2. La Figure II-26 représente le cas
où une polarisation linéaire orientée à 45° par rapport à l’axe du CL est utilisée. Le déphasage
de 𝜋⁄2 va se traduire par une rotation de la polarisation à 90° comme représenté à la Figure
II-26 (b), tandis qu’un déphasage nul ne va pas impacter la polarisation comme représenté à
la Figure II-26 (c).
68
rétinienne.
Figure II-26 :. (a) et (b) principe de fonctionnement d’un LCoS pour la modulation d’amplitude. Une polarisation linéaire
orientée à 45° par rapport au plan de rotation des CL passe à travers la couche de CL agissant (a) comme une lame quart-
d’onde permettant une rotation de la polarisation de 90° au second passage. (b) La fonction de lame quart d’onde est
électriquement désactivée permettant de conserver la polarisation incidente.
En associant la rotation contrôlée de la polarisation décrite à la Figure II-26 à un système

de polariseurs croisés, il est possible de réaliser un masque en amplitude dynamique. Les
contrastes obtenus avec ce type de technologie peuvent atteindre des valeurs du même ordre
de grandeur que pour les DMD (typiquement 1 :1000 voire 1 :3000).
Contrairement au cas DMD, les LCoS sont robustes à l’utilisation d’angles d’incidence de
l’ordre de ∓15°. Il a toutefois été observé qu’un défaut de planéité de l’épaisseur de cristaux
liquides pouvait créer une modification du front d’onde. Cet effet est très faible dans les
composants actuels et souvent compensé par une distribution de tensions de référence.
Différents constructeurs proposent à la vente des composants LCoS tel que Hamamatsu
ou Holoeye, qui proposent majoritairement des composants dédiés à une modulation
dynamique de la phase du faisceau (application majoritaire des LCoS). Holoeye propose
toutefois une gamme de composants (HES 6001) spécialement conçue pour la modulation
d’amplitude dans le domaine visible et proche IR.
Un défaut des LCoS en comparaison des DMD est leurs faibles fréquences de
fonctionnement (typiquement 60Hz). Certaines entreprises (telle que Forth Dimension Display)
proposent d’utiliser des CL ferroélectriques (FLCoS) [100] permettant d’atteindre des
fréquences de fonctionnement plus élevées dans un mode de fonctionnement binaire. Le
mode de fonctionnement binaire est bien adapté à notre application, néanmoins l’utilisation de
ce type de technologie ne permet pas d’atteindre des contrastes aussi bons que les
technologies classiques à base de CL nématiques.
III.B.3 Comparaison des solutions d’adressage en optique à espace libre

L’étude des solutions permettant de réaliser des masques en amplitude permet de mettre
en évidence les avantages et les inconvénients des technologies LCoS et DMD. Comme on a
pu le voir les deux solutions peuvent être adaptées pour l’utilisation dans un banc de lecture
des hologrammes pixélisés. La fréquence de fonctionnement du DMD en fait une solution
intéressante pour une activation dynamique. Toutefois l’incapacité à générer un front d’onde
69
rétinienne.
plan ne permet pas de transférer cette technologie à un futur banc d’écriture dynamique des
hologrammes. Cette contrainte favorise le choix d’un composant basé sur la technologie LCoS
qui permettra de mieux connaitre ce type de composant pour l’adapter ensuite à un banc
d’écriture des hologrammes.
Finalement, le banc de lecture des hologrammes pixélisés est réalisé à l’aide d’un masque
dynamique de la marque Holoeye, le HES 6001 VIS développé pour des applications dans le
visible en amplitude (1920x1080 pixels avec un pas de 8 µm).
III.C Alignement de l’adressage

En parallèle au choix du masque dynamique, il est important d’identifier par quel moyen
sera fait l’adressage entre ce masque et l’échantillon holographique. Comme représenté dans
le principe de fonctionnement du banc de lecture des hologrammes, à la Figure II-20, il est
nécessaire d’aligner avec précision le motif de l’adressage sur l’échantillon holographique.
Deux paramètres d’alignement sont particulièrement délicats à prendre en compte :
 La différence de périodes entre la période de la DPH et la période des pixels du SLM

projetée au niveau de l’échantillon.
 La rotation entre le SLM et l’échantillon

La mauvaise gestion de ces deux paramètres peut engendrer sur des distances plus ou
moins grandes des défauts d’adressage, comme représenté à la Figure II-27, où un motif mal
aligné est utilisé pour adresser une DPH. Ces mauvais adressages des hoels entraineront des
pertes de signal réduisant la qualité des pixels projetés.
Figure II-27 : Représentation, de deux défauts d’alignement pouvant causer des défauts d’adressage des DPE. Dans le cas (a),
une rotation du SLM de 2° cause une perte rapide de l’alignement de la DPH. Dans le cas (b), la rotation est bien réglée mais
c’est la différence de périodes entre les deux éléments qui fait défaut.
Le défaut de rotation entre le SLM et l’échantillon est corrigé à l’aide d’une pièce
mécanique permettant de tourner l’hologramme par rapport au SLM. Pour ce qui est du défaut
70
rétinienne.
de période, il est plus complexe à régler car les tailles des pixels du SLM sont fixées par le
constructeur (8 µm dans notre cas) et la période des hologrammes dépend du masque utilisé
à l’impression. Une première solution consiste à adapter les lentilles du montage 4f pour
permettre d’obtenir un grossissement compensant la différence de périodes, tel que défini à
l’équation suivante
𝛿𝑝ℎ = 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀 𝐺 (2.26)
Avec 𝛿𝑝ℎ la période des hologrammes, 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀 la période du SLM et G le grossissement

du système de projection 4f. Dans le cas d’un montage 4f le grossissement de l’image projetée
est directement lié aux focales des deux lentilles :
𝑓1
𝐺=− (2.27)
𝑓2
Comme la période des hoels peut légèrement varier du fait du réglage du banc d’écriture,
il est nécessaire de pouvoir adapter la valeur de G. Une solution consiste à utiliser une lentille
à focale variable. Mais la modification de la focale de la lentille entraine nécessairement un
réaménagement des distances entre les éléments. Cela m’a fait craindre une complexité de
mesure qui m’a amené à considérer une autre solution.
Une seconde solution pour corriger la différence de périodes entre les hoels et le SLM est
de projeter des motifs avec une résolution plus grande sur l’échantillon et de corriger la période
en activant uniquement les pixels se recouvrant avec les hologrammes à activer. En supposant
un pixel du SLM positionné au point (0,0) où se trouve un hoel d’une DPH. Les autres hoels
de la DPH seront à des positions (𝑥𝑖 , 𝑦𝑗 ) telles que :
𝑥𝑖 = 𝑁ℎ 𝛿𝑝ℎ . 𝑖 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑖 ∈ ℤ
(2.28)
𝑦𝑗 = 𝑁ℎ 𝛿𝑝ℎ . 𝑗 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑗 ∈ ℤ
Avec 𝑁ℎ la période d’hoels entre deux hoels d’une même DPH, 𝑁ℎ 𝛿𝑝ℎ étant donc la
période de la DPH.
Les autres pixels du SLM sont eux positionnés aux coordonnées (𝑢𝑝 , 𝑣𝑞 ) telles que
𝑢𝑝 = 𝛿𝑆𝐿𝑀 𝐺. 𝑝 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑝 ∈ ℤ
(2.29)
𝑣𝑞 = 𝛿𝑆𝐿𝑀 𝐺. 𝑞 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑞 ∈ ℤ
Ainsi les pixels du SLM à allumer sont ceux dont la position (𝑢𝑝 , 𝑣𝑞 ) est la plus proche de
la position des hoels de la DPH positionnée en (𝑥𝑖 , 𝑦𝑗 ). Du fait de la différence possible de
périodes entre le SLM et l’hologramme pixélisé, il est possible que les deux positions ne soient
pas exactement alignées. Dans le pire des cas le centre du pixel du SLM le plus proche d’un
hoel sera décalé du centre de cet hoel avec une erreur (𝜎𝑥 , 𝜎𝑦 ) correspondant à la moitié de la
taille du pixel projeté.
71
rétinienne.
𝐺. 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀
𝜎𝑦 = 𝜎𝑥 = (2.30)
2
Dans le cas où l’un des deux termes de l’erreur serait plus important, alors cela signifie
que le pixel choisi n’est pas le plus proche du centre de le hoel. Pour le bon fonctionnement
de cette méthode d’adressage, il est important que la taille des pixels de l’image du SLM soit
inférieure à la taille des hologrammes pour éviter des activations partielles des hologrammes.
Cette erreur d’alignement est à comparer avec la taille de le hoel, dans le cas où 𝛿𝑝ℎ =
27 µ𝑚 et 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀 = 8 µ𝑚, un grossissement de 𝐺 = 1 permet de limiter l’erreur d’alignement à 4
µm, soit 15% de la taille de l’hologramme ce qui est tolérable pour notre système en cours de
développement. Dans le cas où la taille des hoels serait réduite il pourrait être envisagé de
réduire le grossissement du système.
Ainsi les pixels du SLM à activer sont ceux dont la position respecte simultanément les
deux conditions suivantes :
𝑥𝑖 − 𝜎𝑥 < 𝑢𝑝 = 𝛿𝑆𝐿𝑀 𝐺. 𝑝 ≤ 𝑥𝑖 + 𝜎𝑥 𝑎𝑣𝑒𝑐 (𝑝, 𝑖) ∈ ℤ2

(2.31)
𝑦𝑗 − 𝜎𝑦 < 𝑣𝑞 = 𝛿𝑆𝐿𝑀 𝐺. 𝑞 ≤ 𝑦𝑗 + 𝜎𝑦 𝑎𝑣𝑒𝑐 (𝑞, 𝑗) ∈ ℤ2
Ces conditions peuvent être traduites par d’autres conditions sur le reste par la division
euclidienne de la position d’un pixel par la période de la DPH :
𝐺. 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀 𝐺. 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀
− ≤ 𝑢𝑝 𝑚𝑜𝑑[𝑁ℎ . 𝛿𝑝ℎ ] < 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑝 ∈ ℤ
2 2
(2.32)
𝐺. 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀 𝐺. 𝛿𝑝𝑆𝐿𝑀
− ≤ 𝑣𝑞 𝑚𝑜𝑑[𝑁ℎ . 𝛿𝑝ℎ ] < 𝑎𝑣𝑒𝑐 𝑞 ∈ ℤ
2 2
La Figure II-28 représente la projection d’un masque avec une période de 8 µm sur un
échantillon holographique de 27 µm de période avec un système 4f de grossissement 1.
Comme on peut le voir la méthode décrite permet bien d’adresser les hologrammes composant
une DPE aléatoire. Toutefois, la différence de taille de pixels cause un recouvrement faible
des hologrammes pixélisés lorsqu’un unique pixel est allumé. Je représente donc à La Figure
II-28 le cas où 3 pixels sont utilisés pour adresser l’hologramme.
72
rétinienne.
Figure II-28 : Représentation, à l’échelle, de l’adressage d’un échantillon avec une période de 27 µm, à l’aide d’un SLM de 8µm
de pas de pixel, en utilisant un grossissement de 𝐺 = 1. Dans le cas (a) un unique pixel est utilisé pour adresser chaque
hologramme de la DPE ce qui cause une réduction du signal, dans le cas (b) des points composés de 3x3 pixels du SLM sont
utilisés permettant d’adresser la quasi-totalité des hologrammes de la DPE.
Grâce à aux équations (2.32) il est donc possible d’adresser une unique DPH malgré une
différence de période entre la taille de l’image du SLM par système de projection et les hoels.
Pour adresser un motif périodique entier à l’aide d’une unique projection, on utilise la
même méthode de correction de périodicité pour adresser les premiers points de la cellule
d’hologramme. On utilise ensuite une méthode identique pour repérer la position des premiers
pixels du SLM adressant chaque point au sein de la cellule. La Figure II-29 montre le résultat
de l’adressage du motif « R » à l’aide de points d’adressage composés de 3x3 pixels du SLM
(soit 24 µm x 24 µm) et dans le cas de point d’adressage composés de 4x4 pixels.
Figure II-29 : Représentation, à l’échelle, du motif d’adressage permettant d’activer les hoels composant la lettre « R », sur un
échantillon de période 27 µm à l’aide d’un SLM de période 8 µm et un grossissement de 1. (a) Dans le cas de l’utilisation de
points d’adressage composés de 3x3 pixels du SLM. (b), L’utilisation de points d’adressage composés de 4x4 pixels du SLM.
73
rétinienne.
La schématisation de la Figure II-29 montre que la méthode développée permet bien

d’adresser le motif « R » même dans le cas de différence de période entre le SLM et les
hologrammes. Je note toutefois que le motif d’adressage dans le cas de l’utilisation de 3x3
pixels du SLM laisse apparaitre des bandes non adressées du fait de l’utilisation de points
d’adressage légèrement plus petits que les hologrammes. Une solution pour éviter l’apparition
de ces bandes est de rendre jointifs les points d’adressages adjacents, comme représenté à
la Figure II-30. Dans le cas de l’utilisation de points d’adressage composés de 4x4 pixels du
SLM, on observe l’adressage partiel de certains pixels qui ne sont pas nécessaires pour
adresser le motif « R ». Ces adressages partiels risquent de créer des effets d’activation
parasite que je qualifierai de cross-talk dans la suite de ce document par analogie au
phénomène pouvant être observé dans des imageurs classiques.
Figure II-30 : Représentation, à l’échelle, du motif d’adressage permettant d’activer les hoels composant la lettre « R », sur un
échantillon de période 27 µm à l’aide d’un SLM de période 8 µm et un grossissement de 1. Dans le cas de l’utilisation de points
d’adressage de 3x3 pixels du SLM rendus jointifs.
Les bandes non adressées sont donc effacées et seuls subsistent des points éteints
lorsque deux hologrammes en diagonale l’un de l’autre sont adressés simultanément et
concernés par une correction de la périodicité. Concernant le choix du grossissement, on a pu
voir qu’un grossissement 𝐺 = 1 permettait d’obtenir des résultats satisfaisants. Il est possible
de réduire ce grossissement pour réduire l’erreur d’adressage. Toutefois cela implique
d’illuminer une plus grande zone des optiques ainsi que du SLM, ce qui pourrait créer des
aberrations (notamment du fait de la non planéité du SLM dans les bords de ce dernier).
Le choix est donc fait de choisir deux lentilles, de focale de 60 mm pour le montage de
projection 4f ce qui permet de ne pas contraindre trop le montage optique mécaniquement (la
longueur du montage augmentant rapidement avec l’augmentation des focales) tout en
𝑓
conservant un F-Number inférieur à ⁄10 dans le cas d’un faisceau de 5 mm de diamètre ce
qui assure une bonne qualité de projection. Je choisis pour cette application des lentilles
biconvexes pour permettre de répondre aux problématiques de collimation et de projection
simultanées des deux lentilles. On note qu’il aurait été intéressant d’utiliser des lentilles
chromatiques pour notre application monochromatique toutefois l’utilisation de lentilles
74
rétinienne.
achromatiques permettra d’utiliser le banc dimensionné pour des hologrammes rouge vert et
bleu (RVB) pour adaptation futur du banc développé.
J’ai développé dans cette partie une méthode d’adressage robuste et adaptable à
différentes périodes d’hologrammes pixélisés dans le cas d’une activation à l’aide d’un banc
d’activation optique espace libre. La prochaine partie se concentre sur les caractéristiques
nécessaires à la fabrication d’une brique d’activation en optique intégrée.
IV Méthode d’adressage des hologrammes pixélisés en

optique intégrée
L’approche en photonique intégrée se distingue de la précédente en espace libre, elle est
nécessaire au bon fonctionnement d’un dispositif intégré tel que celui envisagé par le CEA
Leti. Je fais ensuite un état de l’art des différentes technologies d’activation en photonique
intégrée, pour identifier une technologie viable pour notre projet.
IV.A Spécification de l’adressage en optique intégrée

Plusieurs points sont d’importance majeur dans la mise en œuvre d’une technologie
d’adressage des hologrammes pixélisés. Parmi ces points, on peut citer la transparence aussi
bien des électrodes d’activation que des matériaux optoélectroniques. Il est également
nécessaire de dimensionner les technologies pour avoir une grande densité de points
d’émission et de forts contrastes. Ces différents aspects seront détaillés dans cette partie pour
justifier le choix technologique fait pour ce travail de thèse.
Densification des points d’émission
Comme on a pu le voir dans le Chapitre I, la formation des points d’émission dans le
dispositif étudié est permise par l’intersection entre des guides d’ondes et des électrodes
permettant d’activer l’extraction sur un ensemble de guides. La période entre les guides
d’ondes est contrainte à 1,5 µm, pour éviter des effets de couplages parasites de la lumière
entre les guides d’ondes. La longueur des électrodes est, elle, estimée entre 2 et 10 µm. Dans
l’idéal la période entre les électrodes doit être minimale pour permettre de densifier au
maximum les PE.
Dans cette partie je considérerai des électrodes d’une taille de 4 µm, permettant, dans le
cas de l’utilisation d’un réseau d’extraction, de mettre en œuvre 10 périodes de réseau pour
extraire une partie de la puissance d’un guide d’onde. Cette taille d’électrodes alliée à la
distance entre les guides d’onde permet de réaliser un ensemble de 6 000 000 PEs. Je
considérerai également que 100 PEs sont nécessaire à la projection d’un pixel au fond de
l’œil. Ces 100 PEs seront adressés à l’aide de groupe de 10 électrodes et de 10 guides.
Efficacité de l’extraction
La proportion de lumière extraite depuis le guide doit être maitrisée pour ne pas extraire
l’entièreté de la puissance, et conserver de la puissance pour les points d’extraction suivants
sur le guide d’onde. A l’opposé, la puissance extraite ne doit pas être trop faible pour éviter
une puissance résiduelle en bout des guides d’onde ou un signal trop faible au niveau de la
rétine.
75
rétinienne.
Dans un dispositif final, l’efficacité d’extraction ne devra pas être la même sur toute la
longueur des guides d’ondes car cela causerait une non-uniformité de la puissance extraite
dans les différents points d’une DPE. Par exemple, la Figure II-31 (a) montre l’évolution de la
puissance extraite par chaque point d’émission dans le cas d’un dispositif dont l’extraction est
constante. On peut estimer la puissance extraite par le n-ième point d’émission activé (noté
𝜂𝑛 ) à l’aide de l’équation suivante :
𝜂𝑛 = 𝑃0 . 𝜂(1 − 𝜂)𝑛 (2.33)
Avec 𝜂 l’extraction constante du dispositif et 𝑃0 la puissance injectée dans le dispositif.
Figure II-31 : (a) Evolution de la proportion de puissance extraite en fonction de la position du PE sur le guide, dans le cas
d’extractions uniformes sur tous les PEs. (b) Représentation de la non uniformité de l’émission dans le cas de 3 PEs avec une
efficacité d’extraction uniforme de 10%.
Comme montré par la Figure II-31 (b), on peut voir que les derniers points d’émission sont
alimentés par moins de puissance que les premiers, ce qui cause une diminution de la
puissance extraite. Pour pallier à cet effet, il est nécessaire d’utiliser une technologie dont la
puissance extraite puisse être modulée électriquement.
De manière à définir les efficacités nominales nécessaires pour obtenir une extraction
uniforme, j’introduis l’efficacité maximale d’extraction permise par une technologie (notée
𝜂𝑚𝑎𝑥 ). Cette efficacité permet de fixer l’efficacité du dernier PE d’un dispositif car pour obtenir
une extraction uniforme il est préférable d’utiliser l’extraction maximale à la fin du guide. Cela
permet de compenser la perte cumulée de puissance (due à l’extraction) sur les autres PEs.
A partir de la puissance maximale d’efficacité et du nombre de PEs le long d’un guide
(noté 𝑁), il est possible d’estimer la puissance nominale de chaque PE pour permettre une
extraction uniforme :
𝜂𝑚𝑎𝑥
𝜂𝑛 = (2.34)
1 + 𝜂𝑚𝑎𝑥 (𝑁 − 𝑛)
La Figure II-32 (a), représente l’évolution de la puissance nominale d’extraction le long

d’un guide comportant 10 points d’extraction actifs pour plusieurs efficacités maximales.
76
rétinienne.
La Figure II-32 (b) donne l’exemple des trois premiers PEs d’une architecture dont
l’efficacité de chaque point est définie pour obtenir une extraction uniforme à l’aide d’une
technologie permettant d’extraire au maximum une valeur 𝜂𝑚𝑎𝑥 = 10%. Ce type d’architecture
permet d’extraire environ la moitié de la puissance totale d’un guide d’onde (10x5.2%=52%),
en utilisant des efficacités d’extraction nominales variant de 5% à 10%.
Figure II-32 : Efficacité d’extraction nécessaire pour obtenir une extraction uniforme sur un composant pour différentes
extractions maximales pouvant être atteintes. (b) Représentation de l’utilisation de différentes valeurs d’efficacité d’extraction
pour obtenir une extraction uniforme de 5.2%.
Dans le cas idéal, la variation de l’efficacité devrait pouvoir varier de 10% à 100% ce qui
permettrait d’exploiter toute la puissance insérée dans le guide ; toutefois une extraction aussi
forte semble difficile à atteindre. Meynard.B [84], a réalisé des simulations d’un guide d’onde,
avec les mêmes dimensions que celles utilisées, gravées totalement pour réaliser un réseau
d’extraction avec une période de 400 nm. Dans ces simulations il est montré que pour extraire
toute la puissance d’un guide (i.e. 50% de la puissance extraite vers le haut et vers le bas dans
le cas d’un réseau classique) il est nécessaire d’utiliser 35 périodes. Ce nombre de périodes
correspond à une longueur d’extraction de 14 µm. Dans le cas de l’utilisation de 10 périodes
(c’est-à-dire d’une longueur d’extraction de 4 µm), l’auteur rapporte une extraction d’environ
78%. Toutefois le réseau réalisé ici n’est pas activable car la gravure réalisée ne peut être
modifiée. Dans le cas d’une structure activable les efficacités d’extraction seront beaucoup
plus faibles.
Dans le cas de l’utilisation de réseaux d’extraction, la modulation de l’efficacité de
l’extraction peut être faite de différentes manières. L’étude de l’équation (1.13) montre qu’il est
possible de modifier la hauteur des dents pour réduire le recouvrement entre le réseau et le
mode guidé. Il est également possible de modifier la longueur du réseau (ce qui impacte la
taille des points d’émission). Enfin il est possible d’utiliser la superposition de deux réseaux
créant un effet Moiré pour modifier l’intensité de l’onde émise [101].
Dans cette thèse, l’objectif d’extraction est une extraction constante d’environ 10% de la
lumière entrante sur une distance inférieure à 10 µm (idéalement 4 µm). Cette efficacité
d’extraction permettra de réaliser un dispositif avec une uniformité correcte tout en évitant une
perte trop importante de puissance en fin de dispositif (48% de perte en fin de dispositif).
77
rétinienne.
Extinction de l’extraction
Dans le cas du dispositif développé, les PEs d’une même DPE sont séparés par plusieurs
autres PEs appartenant à des DPE différentes. Lors de l’activation d’une DPE, les points
intermédiaires doivent être désactivés pour éviter une émission parasite. Dans le cas d’un
dispositif composé de 150 groupes d’électrodes, les PEs d’une même DPE seront séparés par
149 points en moyenne. Dans le cas où la technologie utilisée aurait un défaut d’extinction de
l’extraction causant une perte de 0.5% de la puissance à chaque point d’émission désactivé,
alors la puissance entre deux PEs diminuera de 50%.
La Figure II-33 (b) montre l’évolution de la puissance perdue entre deux points d’une
même DPE pour différents niveaux d’extraction parasite et pour différents nombres de points
d’extraction parasite.
Figure II-33 : (a) Représentation de la perte de puissance entre deux PEs d’une même DPE du fait d’extractions parasites par
des points d’émission normalement désactivés. (b) Evolution dans la puissance transmise entre deux points d’extraction d’une
même DPE en fonction de la proportion de perte parasite dans le cas de 149 PEs entre ces deux points.
Ainsi l’extraction des pixels parasites doit être limitée au maximum pour éviter de
potentielles pertes de puissance entre les PEs activés. Une perte de 0,01% de la puissance
guidée sur chacun des PEs désactivés permet de conserver 98,5% de la puissance dans le
guide entre deux points d’extraction dans le cas de la présence de 150 PEs désactivés entre
deux points d’une même DPE. Il est en théorie possible de réduire ce nombre de PEs en
reprochant les points d’une même DPE, toutefois cela impactera la taille globale de la pupille
d’émission et donc la taille du spel projeté. La perte de de puissance envisagée est à comparer
avec les pertes typiques de guidage dans les guides d’onde utilisés. Dans le cas des guides
d’ondes réalisés au CEA, les pertes des guides sont 13 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 ce qui équivaut à une perte
de 0.3% sur une distance de 10 µm (taille maximal des structures d’extraction envisagées).
Toutefois des travaux [126] ont montrés qu’il était possible de réaliser des guides avec des
matériaux semblables à ceux utilisés au CEA, mais avec des pertes de 7 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 (soit 0.16%
de perte sur 10 µm). Dans le cas de guides plus large cette perte peut même être réduite à
des valeur inférieur à 3 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 permettant d’atteindre une perte de 0.07% de la puissance
sur 10 µm. Au vue des pertes de propagation pouvant être obtenus dans les technologies
78
rétinienne.
utilisant des guides d’onde en SiN, il n’est pas nécessaire d’atteindre des pertes par extraction
inférieures à 0.01% par PE désactivé.
Après les différentes considérations de cette partie, je décide dans la suite de ce travail
de thèse de cibler une efficacité d’extraction maximale de 10% qui permet l’obtention de
caractéristiques d’efficacité globale convenable. L’efficacité reste assez peu élevée ce qui
permet de pouvoir envisager des briques d’extraction de petite taille. Concernant les pertes,
cette partie à démontrer que des pertes de 0,05% à l’état OFF équivalent à un contraste de
1 :200 permettaient d’éviter des effets de perte parasite, c’est donc ce taux de perte qui est
cibler dans ce travail de thèse.
La Figure II-34 montre l’évolution de la puissance dans un tel système entre les PEs dans
le cas de 10 PEs. L’efficacité d’extraction de chaque point a été déterminée à l’aide de
l’équation (2.34) sans prendre en compte l’effet de pertes de puissance entre les PEs activés.
Cela cause une légère non-uniformité de la puissance extraite sur les PEs, cette puissance
varie de 5,43 µW à 5,08 µW. Ainsi dans le cas considéré ici, l’extraction varie de moins de 7%
de sa valeur nominale, elle est donc considérée comme uniforme. On peut voir que pour ces
paramètres 50 % de la puissance est extraite du dispositif.
Figure II-34 : Pour une puissance initiale de 100 µW, calcul de la puissance extraite, ainsi que de la puissance transmise par les
points d’un dispositif cible en fonction des numéros PEs de ce dispositif.
Dans la prochaine partie, j’explore plusieurs technologies de photonique active permettant

de contrôler de manière électrique des caractéristiques d’extraction.
IV.B Etat de l’art des briques d’activation

Il existe d’ores et déjà dans l’état de l’art plusieurs technologies permettant de réaliser un
contrôle dynamique des caractéristiques de fonctions optiques dans des circuits de photonique
intégrée. Dans cette partie, je vais développer trois de ces technologies et évaluer si leurs
caractéristiques permettent de répondre aux problématiques de notre projet.
79
rétinienne.
IV.B.1 Utilisation d’effets thermo-optiques

Une première solution souvent exploitée pour la réalisation de composants photoniques
actifs est d’utiliser des matériaux thermo-optiques [102], [103]. Ces matériaux ont un indice de
réfraction pouvant changer lors d’une modification de la température. La plupart des matériaux
possèdent des effets thermo-optiques avec des variations de l’indice différentes selon leur
nature. On peut donner l’exemple du 𝑆𝑖𝑂2 dont l’indice de réfraction varie de 1.10−5 par degré
[104]. En utilisant des composants conducteurs, tel que le Chrome-Nickel (CrNi) ayant la
particularité de chauffer lors de l’application d’une tension, il est possible de causer un
échauffement des composants photoniques entrainant une variation de l’indice de réfraction
et donc des caractéristiques du composant.
L’équipe de Klitis et al. [105] propose d’utiliser un système photonique en Si encapsulé
dans du verre associé à des chaufferettes en CrNi, pour des applications dans des longueurs
d’onde infra-rouges (IR). Ce dispositif consiste en un réseau de Bragg permettant une réflexion
de la puissance guidée pouvant être utilisée pour des fonctions de filtrages actives. Le système
proposé est représenté schématiquement à la Figure II-35 (a) : on peut y voir le réseau de
Bragg, les chaufferettes et les PADs de contacts permettant l’application de tension.
Lors de l’activation des chaufferettes, l’indice de réfraction des modes guidés est modifié
ce qui permet de modifier la longueur d’onde réfléchie par le système. La Figure II-35 (b)
montre les résultats de cette modification de la longueur d’onde : comme on peut le voir,
l’auteur démontre un changement de longueur d’onde de l’ordre de quelques nm.
Figure II-35: (a) Représentation du dispositif de filtrage actif développé par Klitis et al [105], basé sur l’utilisation de l’effet
thermo-optique pour modifier les caractéristiques de filtrage d’un réseau de Bragg de manière active. (b) résultats
expérimentaux de la variation de la longueur d’onde transmise pour différentes tensions appliquées
L’application de cette technologie au dispositif étudié est limitée par plusieurs effets. Tout
d’abord, comme on peut le voir à la Figure II-35 (b) le filtre n’est pas désactivé ; seules ses
caractéristiques sont modifiées mais pas sa fonction. Ensuite la faible variation d’indice de
réfraction cause de faibles contrastes entre les états activé et désactivé obligeant à réaliser
des structures d’extraction longues pour observer des contrastes acceptables pour notre
application. Enfin l’utilisation de chaufferettes en CrNi rendrait le dispositif opaque et
impossible à utiliser pour une application de RA.
80
rétinienne.
IV.B.2 Utilisation de plasmas de porteurs libres

Une méthode plus récemment développée pour des applications de photonique active est
l’utilisation de la variation d’indice dû à un plasma de porteur libres. Certaines équipes
proposent d’utiliser des jonctions PIN pour créer électriquement des accumulations de
porteurs libres (électrons et trous) causant une variation locale de l’indice de réfraction (de
l’ordre de 10−5) [106]. Le fonctionnement de tels dispositifs à base de jonctions PIN est décrit
plus précisément dans l’article de G.T. Reed [107].
Les Figure II-36 (a) et (b) montrent le dispositif de filtrage actif développé par l’équipe de
Zhang et.al [108] : comme on peut le voir le dispositif est composé de deux réseaux de Bragg
et d’une cavité Fabry-Pérot. L’utilisation des jonctions PIN permet ici de réaliser des
modulations sur les indices effectifs des composants. La Figure II-36 (c) montre le résultat de
la modulation du spectre réfléchie. Le contraste obtenu est meilleur que dans le cas de
l’utilisation de l’effet thermo-optique précédemment décrit. Néanmoins, ici encore, le dispositif
est réalisé à l’aide de matériaux opaques pour des applications dans le visible et les effets de
variation d’indices sont trop faibles pour espérer obtenir des tailles de composants adaptées
à notre application.
Figure II-36 (a)Représentation d’un guide d’onde en ruban avec un dopage électronique permettant de réaliser une jonction
PIN. L’indice effectif du guide peut être modifié à l’aide de l’effet de plasma de porteurs libres. (b) dispositif de filtrage actif
développé par l’équipe de Zhang et.al [108] basé sur l’effet de plasma de porteurs libres. (c) Résultats expérimentaux de la
modification du filtrage obtenus à l’aide du dispositif (b) pour différentes tensions appliquées.
IV.B.3 Utilisation de cristaux liquides

Une autre solution envisageable est d’utiliser les propriétés de fortes biréfringences des
CL pour modifier les propriétés des réseaux d’extraction. Comme on a pu le voir dans le
Chapitre I, les CL sont des matériaux biréfringents, et électriquement activables. En utilisant
une couche de CL en contact avec des guides d’ondes transportant une onde polarisée, il est
possible de réaliser des fonctions optiques activables [62]–[64]
L’équipe de Buß et .al. [109] propose en 2013 d’utiliser le dispositif représenté à la Figure
II-37 (a). Un guide d’onde plan et un réseau d’extraction réalisé dans une résine d’indice 1.58
sont recouverts d’une couche d’ITO (une électrode transparente) et d’une couche de CL (avec
81
rétinienne.
des indices 𝑛𝑜 = 1.5 et 𝑛𝑒 = 1.7). En utilisant une seconde électrode transparente de l’autre
côté de la couche de CL, il est possible de modifier l’orientation des CL et donc l’indice perçu
par une onde polarisée. Cette modification de l’indice va créer une augmentation de la
différence d’indice entre le réseau et le CL. Selon l’équation (1.13), cela va causer une
augmentation de l’interaction avec le réseau causant une augmentation de l’extraction de la
lumière.
La Figure II-37 (b) montre les résultats de l’activation et de la désactivation du réseau
d’extraction dans le cas de la propagation d’une onde TE et d’une onde TM. On peut voir que
les valeurs de contraste obtenues à l’aide de cette méthode sont faibles. Cela s’explique du
fait de la persistance du contraste dans le réseau même lorsque ce dernier devrait être
désactivé à cause d’une différence entre l’indice ordinaire du CL utilisé et l’indice du réseau.
Figure II-37 : a) Représentation du dispositif développé par l’équipe de Buß et .al [109] , un guide d’onde plan et un réseau
d’extraction sont encapsulés dans une couche de CL permettant de moduler l’extraction. b) Mesure de la modulation de
l’extraction en fonction de la tension appliquée pour une polarisation TE et TM.
Un avantage majeur d’une solution technologique basée sur l’utilisation de CL est la

transparence de ces derniers qui permet la réalisation de dispositifs pour des applications de
visualisation. Néanmoins l’architecture proposée par Buß et .al ne convient pas exactement
aux caractéristiques recherchées pour notre dispositif pour deux raisons :
 La technologie est basée sur l’utilisation de guides d’ondes plans ce qui ne permet pas de
réaliser un adressage des guides pour créer des DPE comme on souhaite le faire dans
notre dispositif.
 L’auteur n’arrive pas à obtenir une extinction totale de l’effet d’extraction ni dans le cas TE
ni dans le cas TM.
IV.C Approches d’activation proposées

Lors de ce travail de thèse deux approches d’activation ont été proposées pour réaliser
une activation intégrée tout en répondant aux contraintes exposées dans la partie 4 de ce
Chapitre. Dans ce travail de thèse j’ai pu étudier l’utilisation d’un CL pour modifier les
propriétés physiques d’un réseau ou d’un guide.
Comme on a pu le voir précédemment on peut identifier certains paramètres clefs d’une
structure de réflexion utilisant l’effet de Bragg. En effet l’équation (1.13) montre que l’intensité
82
rétinienne.
réfléchie dépend notamment du recouvrement entre le réseau et le mode guidé ainsi que de
la différence d’indice des dents du réseau. L’utilisation de cette formule permet une étude
phénoménologique du fonctionnement des réseaux d’extraction. Le comportement des
réseaux d’extraction suit une évolution similaire à celle des réseaux de Bragg. On propose
donc d’utiliser la variation de l’indice des CL, induite par la modification de leurs orientations,
pour modifier ces deux paramètres.
IV.D Modification de la différence d’indice des dents du réseau

Comme évoqué, l’équipe de Buß et al. [109], a obtenu une modulation de l’extraction
depuis un guide plan en utilisant des cristaux liquide. Selon l’auteur cette extraction est causée
par l’augmentation de la différence d’indice entre un réseau et son encapsulation en CL. Des
recherches bibliographiques supplémentaires ont permis d’identifier les travaux de A. Héliot et
al. [110] – [112]. Dans ces travaux, l’auteur expose l’utilisation de réseaux en résine, nano-
imprimés sur des guides d’ondes plans, et encapsulés dans une couche de CL. L’indice de la
résine utilisée ayant la particularité de pouvoir être modifié lors de sa fabrication, il est possible
d’obtenir un réseau avec un indice de réfraction très proche de celui du CL. Ainsi lors de la
modification de l’indice du CL, on obtient un accord entre les indices des dents et des creux
du réseau. Cet accord fait disparaitre le réseau d’un point de vue optique. Cette méthode
permet d’obtenir une très bonne extinction du réseau dans le cas où l’indice du réseau serait
modulé assez précisément. C’est également une solution technologique que nous avons
étudiée.
Le fonctionnement de cette méthode d’effacement du réseau dépend de la polarisation
utilisée et de l’orientation de cette polarisation par rapport aux cristaux liquides. Je représente
à la Figure II-38 le cas de l’utilisation de polarisations TE et TM telles que définies dans le
Chapitre I de ce manuscrit.
Dans le cas de la polarisation TE :
 Sans tension appliquée : les CL sont orientés à l’équilibre dans le sens des réseaux.
La polarisation est parallèle au substrat et perçoit un indice extraordinaire. Cet indice
entraine un fort contraste entre les dents du réseau créant une extraction du mode
guidé.
 Lorsqu’une tension est appliquée : les CL sont orientés verticalement, le mode perçoit
un indice ordinaire. Si l’indice du réseau a été bien contrôlé à sa fabrication, on observe
un accord d’indice entre le réseau et son encapsulant permettant d’effacer l’effet
d’extraction.
Dans le cas d’une polarisation TM, le principe de fonctionnement est inversé
 Sans tension appliquée : les CL sont également orientés parallèles au réseau ; le

mode se propageant avec une polarisation perpendiculaire au substrat perçoit un
indice ordinaire, effaçant le réseau.
 Lorsqu’une tension est appliquée : les CL s’orientent verticalement. Le mode perçoit

un indice extraordinaire, activant l’extraction du mode.
83
rétinienne.
Ainsi l’utilisation du mode TM présente l’avantage d’être dans une configuration dite
« normaly OFF », c’est-à-dire où les PEs sont désactivés au repos. Cette configuration est
avantageuse pour notre application embarquée où la consommation de puissance est un
aspect clef.
Figure II-38 : Représentation du fonctionnement théorique d’une brique d’extraction activable fonctionnant sur le principe
d’effacement d’un réseau. (a) Dans le cas TE, (b) Dans le cas TM.
En théorie il serait également possible d’utiliser une configuration inverse avec un réseau
dont l’indice correspond à l’indice extraordinaire du CL. Néanmoins, la configuration que nous
avons choisie a pour avantage de confiner le mode dans le guide lors de l’effacement du
réseau du fait du faible indice de l’encapsulant. Cet effet de confinement est décrit de manière
graphique à la Figure II-38.
Plusieurs interrogations sont soulevées par A. Heliot et. al dans ses travaux, telles que la
diffusion de l’onde guidée par les CL dans certaines configurations ou les tensions d’adressage
nécessaires pour obtenir une extinction satisfaisante du réseau. Malgré ces interrogations
cette méthode d’adressage semble pouvoir être adaptée à notre cas d’application de
projection rétinienne.
Du point de vue de la fabrication, l’architecture envisagée semble être réalisable par les
moyens du CEA Leti, notamment grâce aux outils de salle blanche. Seule la fabrication du
réseau avec un indice précis défini par le CL utilisé semble être un point bloquant
technologiquement. Comme on pourra le voir dans le Chapitre IV, la fabrication de ce type de
réseaux a donc été confiée à Solnil [113], [114], une start-up française issue de l’université de
Marseille, spécialisée dans la nano-structuration de réseau avec indice contrôlable.
IV.E Modification du recouvrement entre le réseau et le mode guidé

Une seconde architecture est envisagée de manière à pouvoir réaliser des échantillons
sans réaliser de réseaux dont la valeur d’indice doit être précisément accordée sur celle du
CL. Cette architecture est présentée à la Figure II-39 : une couche de CL est utilisée en guise
de superstrat du guide d’onde. En activant électriquement les CL, le mode guidé se déconfine
du cœur du guide et interagit avec un réseau d’extraction. L’indice du réseau n’a pas besoin
de correspondre à l’indice du CL.
84
rétinienne.
Un avantage de cette architecture est qu’il n’est pas nécessaire de contrôler précisément
l’orientation des CL entre les dents du réseau mais seulement leur orientation proche du guide
d’onde et au centre de la cellule. Ainsi l’activation peut être contrôlée à l’aide d’électrodes en
configuration « In Plane Switching » (ou IPS) [115]. Cette configuration consiste à positionner
les électrodes d’activation sur une seule des faces de la cellule. Dans le cas de l’application
d’une tension l’orientation des CL sera modifiée mais restera parallèle au plan des substrats.
Cette configuration d’électrode a pour nous deux avantages.
 Tout d’abord, elle permet de limiter les effets mécaniques de surface des CL dans le
cas de l’utilisation de faibles épaisseurs de CL. En effet les CL s’orienteront plus
facilement lors d’une rotation dans le plan du substrat que lors d’une rotation
perpendiculaire à ce dernier.
 Ensuite cet adressage permet d’éviter la fabrication d’électrodes sur le substrat
photonique ce qui permet l’utilisation des substrats photoniques vierges déjà existant.
Un désavantage de cette configuration d’adressage est l’incapacité d’utiliser la polarisation
TM. En effet, cette polarisation percevra uniquement un indice ordinaire avec ou sans tension
appliquée.
La Figure II-39 représente le fonctionnement simplifié de la structure d’activation par
déconfinement du mode guidé dans le cas de l’utilisation d’une polarisation TE et d’un
adressage IPS :
 Sans tension appliquée : les CL sont orientés à l’équilibre dans le sens des réseaux.
Ainsi le mode se propageant avec une polarisation parallèle au substrat perçoit un
indice extraordinaire, ce qui entraine un fort déconfinement du mode guidé et une
interaction avec le réseau d’extraction
 Lorsqu’une tension est appliquée : les CL sont orientés dans le plan de la cellule mais
perpendiculaires au réseau et à la polarisation du mode TE. Ainsi le mode perçoit un
indice ordinaire augmentant le confinement du mode dans le guide et réduisant
l’interaction avec le réseau.
Figure II-39 : Représentation du fonctionnement théorique d’une brique d’extraction activable fonctionnant sur le principe par
déconfinement du mode guidé, dans le cas TE avec un adressage IPS. A gauche sans tension l’extraction est activée, à droite
sous tension l’extraction n’est pas activée
85
rétinienne.
Comme on pourra le voir dans le Chapitre IV, des simulations permettent de montrer qu’il
est nécessaire d’utiliser une fine épaisseur de CL pour obtenir des contrastes intéressants. La
nécessité de cette fine épaisseur m’a conforté dans l’utilisation d’un adressage IPS.
86
rétinienne.
Conclusion du Chapitre II
Ce second Chapitre a permis de décrire et d’expliquer le principe d’auto-focalisation de
l’œil, principe à la base du composant de projection rétinienne développée au CEA Leti. J’y ai
notamment présenté une méthode de simulation permettant d’anticiper le résultat de la
projection d’images par des distributions de points d’émission. Après avoir décrit le procédé
d’écriture des hologrammes pixélisés, les simulations sont étendues au cas de ces
hologrammes dans le cas de distributions périodiques et aléatoires. Ces simulations
permettent de mettre en évidence les interférences croisées entre les pixels émis
simultanément par une même source laser. Une stratégie d’organisation des pixels est
proposée pour réduire l’impact de ce type d’interférences dans un dispositif futur.
De manière à réaliser une étude de l’activation des hologrammes pixélisés, un banc de
lecture des hologrammes est proposé. Ce banc se base sur un masque en amplitude utilisé
pour adresser certains groupes d’hologrammes. J’ai donc investigué deux solutions
d’adressage en optique à espace libre, une solution basée sur une matrice de micro miroirs
orientables et une solution de matrice de lames retardatrices activables basées sur des CL.
C’est cette deuxième solution qui est retenue pour le banc d’activation du fait du faible impact
de cette technologie sur le front d’onde du faisceau. J’ai également détaillé la méthode
d’adressage qui sera utilisée par la suite pour adresser des distributions périodiques
d’hologrammes en optique à espace libre. Ces éléments de conception ont été mis en œuvre
comme décrit au chapitre III, où sera présenté l’ensemble des résultats expérimentaux sur ce
mode d’activation.
Dans une dernière partie, j’ai exploré les méthodes d’adressages des hologrammes
pixélisés en optique intégrée. Pour cela j’ai exposé les caractéristiques d’extraction
nécessaires à la mise en œuvre d’un dispositif de projection rétinienne. Après avoir évoqué
plusieurs pistes technologiques permettant l’activation de fonctions optiques en photonique
intégrée, une brique d’extraction basée sur l’utilisation de CL a été retenue. A la suite de cette
identification de brique technologique deux approches d’extraction sont envisagées et seront
développées plus en profondeur dans le Chapitre IV.
87
rétinienne.
CHAPITRE III :
Activation en optique espace
libre
INTRODUCTION DU CHAPITRE III ....................................................................................................... 89

I TEST DU BANC D’ACTIVATION EN OPTIQUE A ESPACE LIBRE ..................................................... 89
I.A Contraste du SLM .............................................................................................................................. 89
I.B Projection d’image ............................................................................................................................ 90
II ADRESSAGE PASSIF DES HOLOGRAMMES PIXELISES................................................................... 92
II.A Système de lecture passif des hologrammes pixélisés ...................................................................... 92
II.B Mesures de lecture passive ............................................................................................................... 93
II.C Traitement de la mesure de lecture passive ...................................................................................... 97
II.D Modification de la taille de la pupille d’adressage ............................................................................ 99
II.E Optimisations de la projection statique ............................................................................................ 99
II.E.1 Projection d’un carré complet ................................................................................................................... 99
II.E.2 Modification du faisceau objet de l’écriture ............................................................................................ 100
III ADRESSAGE SELECTIF DES HOLOGRAMMES PIXELISES ......................................................... 103
III.A Adressage à l’aide d’un faisceau non structuré ............................................................................... 103
III.B Adressage à l’aide d’un faisceau structuré ...................................................................................... 104
III.B.1 Adressage d’un motif sur une matrice non-uniforme ............................................................................. 104
III.B.2 Adressage de motifs sur une matrice uniforme ...................................................................................... 106
III.B.3 Modification des conditions d’adressage ................................................................................................ 107
III.B.4 Adressage de divers motifs ...................................................................................................................... 110
IV ADRESSAGE SEQUENTIEL ET DYNAMIQUE ............................................................................ 111
IV.A Projection avec traitement de la mesure ........................................................................................ 112
IV.B Projection sans traitement de la mesure ......................................................................................... 113
CONCLUSION DU CHAPITRE III ........................................................................................................ 116
88
rétinienne.
Introduction du Chapitre III

Dans ce troisième Chapitre j’aborde les résultats expérimentaux obtenus lors de
l’adressage des hoels à l’aide du banc de lecture en optique en espace libre. Le but ici est de
démontrer le fonctionnement du codage d’ondes planes avec différents angles dans des DPH,
mais également de prouver la capacité à adresser de manière individuelle ou groupée ces
DPH.
Tout d’abord, je réaliserai un test des capacités du banc de projection dimensionné pour
l’adressage des hoels. Les caractéristiques observées sont le contraste du masque
dynamique ainsi que la capacité de projection du montage 4f utilisés. Je réalise ensuite une
étude de l’activation des hoels de manière passive, c’est-à-dire, sans utiliser le masque
dynamique. Cette étude permet de mettre en évidence le fonctionnement de la projection d’une
image avant d’envisager un possible adressage des DPH. Ces mesures vont également
permettre une première étude des images projetées à l’aide des hoels, notamment concernant
les effets des interférences croisées ainsi que l’impact de la pupille d’émission sur l’image.
Enfin dans un dernier temps, le masque dynamique sera utilisé pour réaliser des
adressages actifs de DPH. Ces adressages permettront de mettre en évidence la possibilité
de réaliser la projection dynamique d’images à l’aide d’échantillons d’hologrammes pixélisés
spécifiques. Les caractéristiques dynamiques du SLM seront mises à profit pour réaliser un
adressage dynamique et séquentiel des spels composant une image. Cette dernière
expérimentation mettra en évidence la diminution des interférences croisées en illuminant les
spels à des moments différents.
I Test du banc d’activation en optique à espace libre

I.A Contraste du SLM
Dans un premier temps je réalise une caractérisation du contraste pouvant être obtenu à
l’aide du masque sélectionné (LCoS 6001 VIS de Holoeye). Le contraste est une
caractéristique importante pour notre application, car un mauvais contraste impliquera une
activation partielle des hoels que l’on ne souhaite pas activer lors d’une lecture. Ainsi il est
nécessaire de quantifier le contraste global du dispositif et de chercher à l’optimiser.
Pour cela le montage de lecture holographique décrit au Chapitre II est modifié, comme
représenté à la Figure III-1 (a), en positionnant un photodétecteur au niveau de la position
prévue pour l’échantillon holographique. Les polariseurs utilisés pour obtenir une polarisation
linéaire incidente sur le SLM et pour filtrer le faisceau sont des polariseurs (LPVISE100-A) de
ThorLabs. Ces polariseurs permettent d’atteindre un taux d’extinction supérieur 1,4.104 pour
des longueurs de 532 nm. Le premier polariseur est réglé à l’aide de l’angle de Brewster pour
s’assurer une polarisation incidente verticale. Le second polariseur (l’analyseur) est réglé de
manière à minimiser la puissance incidente sur le détecteur lorsque le SLM est remplacé par
un miroir métallique. Ainsi on s’affranchit des effets du SLM et on assure l’orientation des
polariseurs de manière perpendiculaire l’un à l’autre. La position de l’analyseur (entre les
lentilles du montage 4f) est dictée par des contraintes mécaniques.
89
rétinienne.
Une fois la mesure avec le miroir réalisé, ce dernier est remplacé par le SLM. De manière
à maximiser le contraste du montage, je réalise une mesure de l’intensité lumineuse reçue par
le photodétecteur en fonction de la tension appliquée : les résultats de cette mesure sont
rapportés à la Figure III-1 (b).
Figure III-1 : (a) Montage de mesure du contraste permi par l’utilisation d’un SLM, HES 6001 VIS, dans le montage de lecture
des hologrammes pixélisés. (b) mesure de la puissance transmise par le montage en fonction de la tension appliquée au SLM
La Figure III-1 (b) montre qu’il est possible d’atteindre un très fort contraste d’environ 1: 104
à l’aide du composant sélectionné. On voit notamment que la puissance augmente très
rapidement avec la tension jusqu’à atteindre un maximum, correspondant à une rotation de
90° de la polarisation. On observe ensuite une diminution plus lente de la puissance jusqu’à
atteindre une saturation. La diminution de la puissance est due au passage de la polarisation
d’un état linéaire vers un état elliptique du fait d’une trop forte biréfringence de la cellule. Le
phénomène de saturation quant à lui est dû au fait que les CL sont d’ores et déjà orientés de
façon horizontale pour des tensions de 5 V ; ainsi l’augmentation de la tension ne permet pas
d’augmenter l’effet de biréfringence de la cellule.
I.B Projection d’image

Dans un second temps je réalise la projection d’images à l’aide du montage de lecture des
hologrammes pixélisés pour confirmer la capacité d’adressage du montage. Pour réaliser cette
mesure, le montage de lecture est modifié pour placer une caméra sans objectif dans le plan
où est positionné l’échantillon holographique par la suite. La caméra utilisée est la caméra
« UI-1490LE-M-GL » de la marque IDS avec une taille de pixel de 1,67 µm. Ce montage
représenté à la Figure III-2 (a) permet de vérifier la capacité du montage 4f à projeter l’image
du SLM sur le plan de l’échantillon sans créer d’aberrations optiques trop importantes qui
pourraient perturber l’adressage des hoels.
La Figure III-2 (b) représente le résultat de la projection d’un damier à l’aide d’une pupille
de 5 mm de diamètre.
90
rétinienne.
Figure III-2 : (a) Montage de caractérisation du système de projection dynamique utilisé dans le banc de lecture des
hologrammes pixélisés. (b) Résultat obtenu à l’aide du montage en (a) de la projection d’un damier sur une pupille de 5 mm.
Comme expliqué précédemment, une pupille de 4 mm permet de réaliser les

caractérisations des hologrammes pixélisés tout en respectant le critère de Rayleigh dans le
cas des configurations d’écritures utilisées. L’observation de la Figure III-2 (b) permet de voir
qu’il n’y a pas de distorsions notables de l’image dans un tel diamètre. On observe également
des inhomogénéités circulaires que l’on attribue à des phénomènes d’aliasing liés aux
différences de résolutions entre les pixels de la caméra et ceux du SLM.
On réalise ensuite la projection du motif d’adressage périodique telle que celui qui sera
utilisés pour caractériser les hologrammes pixélisés, c’est-à-dire une grille de points avec une
période de 270 µm. Le but ici est de vérifier la résolution de la projection de ce type de motif
qui pourrait être sujet à des aberrations optiques ou des phénomènes de cross-talk
électroniques.
La Figure III-3 représente les résultats de la projection de tels adressages à l’aide de
différentes tailles de points allant de 1x1 pixels (soit 8 µm x 8 µm) à 4x4 pixels (soit 32 µm x
32 µm).
91
rétinienne.
Figure III-3 : (a) Résultats de la projection d’une grille de points, composée de 3x3 pixels sur le SLM. (b) Coupes des intensités
mesurées lors de la projection de grilles de points en utilisant différentes tailles de points allant de 1x1 pixels (soit 8 µm x 8
µm) à 4x4 pixels (soit 32 µm x 32 µm). (c) Mesure de la largeur des points projetés à l’aide du montage.
La Figure III-3 (b) représente les coupes des intensités obtenues pour la projection des
différentes grilles d’adressages. Dans le cas de la projection de points de petites tailles (1x1
pixels et 2x2 pixels) on peut voir que la puissance des points n’est pas uniforme et qu’elle est
notamment très réduite dans la partie gauche de la coupe. Pour les points de plus grandes
tailles (3x3 pixels et 4x4 pixels), on observe une meilleure uniformité des points qui permettra
d’obtenir un adressage acceptable des hologrammes.
En plus de l’uniformité de la grille projetée, on observe à la Figure III-3 (c) la taille des
points projetés ; on sait que les hoels réalisés occuperont des zones de environs 27 µm x 27
µm. Dans le cas des points de 3 x 3 pixels on mesure une taille de point projeté d’environ 25
µm qui permet d’adresser quasi-totalement les hoels. Dans le cas de l’utilisation de 4 x 4 pixels
on observe des points de 33 µm, permettant d’adresser entièrement les hoels, mais pouvant
créer une faible activation des hoels périphériques à ceux adressés.
Les mesures de contraste et de projection réalisées dans cette partie ont permis de
confirmer la cohérence de l’utilisation du montage choisi pour réaliser un adressage des
hologrammes pixélisés.
II Adressage passif des hologrammes pixélisés

II.A Système de lecture passif des hologrammes pixélisés
Le but de l’adressage passif est de réaliser une preuve de la capacité à reconstruire les
ondes planes qui ont été enregistrées avec différentes directions angulaires dans un
hologramme pixélisé. Pour cela, on utilise le banc représenté à la Figure III-4, qui est identique
au banc de lecture des hologrammes pixélisés décrit au Chapitre II, à l’exception que le SLM
a été remplacé par un miroir. Le faisceau n’étant pas modulé par le miroir, le montage de
projection n’est pas nécessaire à la mesure ; néanmoins de manière à s’affranchir de possibles
92
rétinienne.
différences entre le montage de lecture passif et le montage de lecture dynamique, les lentilles
de projection sont conservées pour cette mesure passive.
Le système imageur permettant de relire les hologrammes pixélisés est composé d’une
lentille de 100 mm de focale permettant d’obtenir une image avec un fort grossissement sur
une caméra « UI-1490LE-M-GL » de la marque IDS. Cette caméra a la particularité d’avoir
des pixels de petites tailles (1,67 µm) ce qui permet d’obtenir des images très résolues.
Toutefois cette faible taille de pixel est choisie au détriment d’une faible dynamique de mesure
(seulement 256 niveaux de gris) et d’une faible fréquence de fonctionnement (2 Hz).
Figure III-4 : Banc passif de lecture des hologrammes pixélisés, basé sur le même principe que le banc de lecture dynamique,
mais ici le SLM est remplacé par un simple miroir. Le reste du montage (Beam Splitter et montage de projection 4 f) est
conservé pour s’affranchir de certaines différences de fonctionnement entre le banc dynamique et le banc passif.
Les échantillons d’études sont constitués de différents hologrammes pixélisés réalisés à

l’aide d’un masque périodique tel que celui décrit à la Figure II-15 permettant d’écrire une grille
d’hoels avec une période de 270 µm. Chacune des distributions d’hoels est écrite pour coder
un angle différent permettant de projeter un carré de 10 x 10 spels, dont les dimensions
permettent d’éviter les recouvrements avec les ordres de diffractions dus à la périodicité des
hoels.
II.B Mesures de lecture passive

J’étudie dans un premier temps un échantillon utilisant la méthode d’écriture sélective
décrite à la Figure II-18. Lors de l’écriture on utilise un masque périodique pour réaliser des
distributions d’hoels de 270 µm de période, et composées d’hoels de 27 µm espacés de 27
µm. Comme décrit à la Figure II-18, seuls les hoels permettant de coder le motif « R » sont
enregistrés sur l’échantillon.
La Figure III-5 représente le résultat de la lecture d’un tel échantillon hoels, lorsqu’il est
illuminé par un faisceau collimaté de 4 mm de diamètre. La présence de la lettre « R » projetée
sur le système imageur permet de confirmer le codage des angles dans la globalité de
l’échantillon holographique. Comme anticipé par les simulations du Chapitre II, le motif de la
lettre « R » est répété au fond de l’œil sous la forme d’ordres de diffraction du fait de la
93
rétinienne.
périodicité des DPEs utilisées causant la formation d’ordres de diffractions de chacun des
spels projetés.
Figure III-5 : (a) Photographie du résultat de l’écriture d’un échantillon d’hologrammes pixélisés en réalisant une écriture
sélective. (b) Résultat de la lecture de l’échantillon.
En plus des ordres de diffractions des spels projetés, on voit apparaitre à la Figure III-5,
des points de forte intensité proches de la zone où sont projetés les « R ». On note
particulièrement la présence d’un point de forte intensité au centre de l’image, causée par la
réflexion spéculaire du faisceau de lecture sur l’échantillon holographique et notamment sur
l’interface air/hologramme. Autour de ce point de réflexion spéculaire on peut voir apparaitre
des ordres de diffractions. Comme on le verra à la suite ces ordres de diffraction ne sont pas
associés au codage angulaire dans les hoels mais à la présence d’une perturbation périodique
générée par la présence des hoels. La présence des hoels et des cellules d’hologrammes à
cette interface va causer deux diffractions distinctes :
 Une première diffraction dont les ordres sont proches de l’ordre de la réflexion
spéculaire. Cette diffraction est occasionnée par les cellules holographiques, formant
des motifs périodiques se répétant avec une période de 270 µm, causant l’apparition
d’ordres de diffraction avec un angle entre les ordres, équivalent à celle séparant les
motifs « R » projetés.
 Une seconde diffraction causée par la grille dense de répartition des hoels : ces hoels
sont éloignés de 27 µm pour permettre un pavage de 10x10 pixels de chaque cellule
d’hologramme. Cette distance entre les hoels fait apparaitre des ordres de diffraction
plus éloignés les uns des autres que ceux dus à la diffraction des cellules
d’hologrammes. L’équation (2.5), prévoit que l’espacement entre les ordres dus aux
94
rétinienne.
hoels est 10 fois supérieur à celui des ordres dus aux cellules, ce qui est vérifié par la
mesure.
La Figure III-5 met également en évidence la présence d’une limite à la diffraction des
hologrammes pixélisés. En effet la projection des spels ainsi que de leurs ordres de diffraction
est limitée dans une pupille d’environ 1 deg sur l’image enregistrée par le montage imageur.
Cette zone de projection n’est pas centrée autour de la réflexion spéculaire ce qui indique que
les spels ne sont pas projetés dans une direction normale à l’échantillon. Ainsi on confirme par
cette observation la capacité des hologrammes pixélisés à rediriger le faisceau dans une
direction différente de celle du faisceau incident. Cet effet peut être exploité pour obtenir des
dispositifs avec de plus grands FOV tel qu’expliqué dans l’article de C.Martinez [116].
La taille de la zone de diffraction est caractérisée en réalisant une coupe de l’intensité
enregistrée à la Figure III-5. Pour contourner la faible dynamique de mesure de la caméra, une
mesure sur plusieurs temps de pose est nécessaire et permet d’augmenter de manière
significative la précision de la mesure. Le détail de la réalisation de cette mesure et de la
gestion des sources de bruits figure en Annexe (A.1).
Le résultat de la coupe ainsi obtenu est présenté à la Figure III-6 : ce résultat est obtenu
en observant une coupe horizontale entre les motifs « R », en passant par le centre de la zone
de diffraction. On voit apparaitre un signal bruité du fait d’un speckle dans la mesure, causé
par les interférences entre le signal des spels et des réflexions perturbatrices sur les différents
éléments du montage. La mesure est donc lissée à l’aide d’une moyenne glissante, permettant
d’obtenir la courbe en pointillé représenté à la Figure III-6. Comme expliqué dans le Chapitre
II la taille de cette courbe est liée à la taille des points d’émission (ici les hoels). De manière à
réaliser une estimation de la taille des hoels, la mesure du bruit lissé est comparée à une
fonction de la forme de l’équation (3.1).
𝜋(𝜙 − 𝐵)𝑎
𝑓(𝜙) = 𝐴 ∗ 𝑠𝑖𝑛𝑐 2 ( )+𝐷 (3.1)
𝜆
Où 𝐴 et 𝐷 sont des constantes sans unité à déterminer, 𝐵 une constante de la dimension

d’une longueur également à déterminer et enfin 𝑎 la taille estimée des hoels.
L’algorithme de correspondance permet de donner une largeur de PE de 22 µm ce qui
peut s’expliquer par le fait que les hoels ne sont pas jointifs dans l’échantillon utilisé.
95
rétinienne.
Figure III-6 : Coupe horizontale de l’intensité mesurée lors de lecture passive d’un échantillon d’hologrammes pixélises. La
coupe est réalisée entre les motifs « R » projetés, on voit toutefois apparaitre des pics de fortes intensités du fait du speckle
dû aux interférences.
De manière à caractériser plus précisément les spels projetés par l’échantillon lors de la
lecture passive, je m’intéresse aux motifs obtenus lors de cette relecture. Les Figures III-7 (a),
(b) et (c) représentent le résultat de l’extraction de plusieurs des ordres de diffractions obtenus
à la Figure III-5. Ces images projetées sont comparées avec la simulation de la projection de
la lettre « R », en prenant en compte les interférences croisées entre les spels projetés,
représentées à la Figure III-5 (d).
On peut voir que les résultats expérimentaux font apparaitre des motifs globalement plus
bruités que ceux prévus par la simulation. Cette augmentation du bruit a été investiguée par
le laboratoire et semble provenir des interférences entre le signal et des réflexions sur les
hologrammes pixélisés, ainsi que sur le film protecteur de ces hologrammes. Ces surfaces
créent des réflexions s’apparentant à une réflexion sur une surface rugueuse, créant du
speckle dans la mesure. On note également que sur certains des ordres de diffraction du motif,
les spels sont moins jointifs que dans le cas de la simulation, où la quasi-totalité des spels se
rejoignent.
Cela peut s’expliquer par la combinaison de deux effets :
 Un effet de speckle, causé par le passage dans les optiques du montage ainsi que par
les réflexions sur les couches de l’échantillon. Ce speckle intervient de manière non
contrôlée dans la formation de l’image et cause des perturbations du champ électrique
de l’image se traduisant par une modification de l’intensité.
 Le déphasage relatif entre les spels projetés qui n’est pas pris en compte dans la
simulation représentée à la Figures III-7. En effet, lors de l’écriture des hologrammes
pixélisés, les modifications des angles des faisceaux objets sont réalisés par des
mouvements mécaniques de la fibre en amont du système optique. Ce sont
certainement les mouvements de la fibre et de l’échantillon entre les écritures
introduisent des déphasages aléatoires entre les spels projetés causant une
modification des interférences croisées entre ces spels.
96
rétinienne.
Figures III-7 : (a), (b) et (c) Extraction de plusieurs ordres de diffractions du motif « R » projeté lors de la relecture passive d’un
échantillon d’hologramme pixélisé. (d) Résultat de la simulation de la projection du motif « R » obtenu en prenant en compte
les effets d’interférences croisées mais sans déphasage entre les DPEs.
Comme le montrent les Figures III-7 (a), (b), et (c), le speckle dû aux interférences ne
permet pas une caractérisation précise de la position et de la taille des spels projetés. Dans la
partie qui suit, on utilise une méthode de moyenne sur les ordres de diffraction pour s’affranchir
des effets de speckle des interférences croisées.
II.C Traitement de la mesure de lecture passive

Les Figures III-7 (a), (b), et (c), montrent l’intensité des motifs projetés dans les ordres est
différente. On peut voir notamment que certains spels jointifs dans certaines images sont
isolés dans d’autres ordres. Ainsi pour s’affranchir des perturbations dues au speckle, il peut
être intéressant de moyenner les intensités mesurées des ordres du motif projeté. Les Figures
III-8 (a) et (b) représentent le résultat obtenu en réalisant la moyenne de l’intensité de
respectivement 9 et 121 motifs diffractés ; je représente également les simulations, avec et
sans interférences croisées de la projection du motif « R ».
97
rétinienne.
Figures III-8 : (a) et (b) résultats du traitement de la mesure passive de lecture d’un échantillon d’hologrammes pixélisés,
obtenus en moyennant respectivement 9 et 121 ordres de diffractions du motif « R ». (c) et (d) résultats de la simulation de la
projection de la lettre « R » sans et avec la prise en compte des interférences croisées.
Comme on peut le voir sur la Figures III-8 (a), le traitement de l’image réalisé permet dans
un premier temps de réduire la présence du speckle dans les zones où les spels ne devraient
pas être projetés notamment entre les motifs. En augmentant le nombre d’ordres dans la
moyenne, comme c’est le cas pour la Figures III-8 (b), on peut voir que le traitement de l’image
permet de faire apparaitre distinctement les spels projetés.
L’image traitée ainsi obtenue est comparable à celle simulée à la Figures III-8 (c) qui
montre une reconstruction sans interférences entre les DPEs. Les caractéristiques des spels
projetés, aussi bien dans leurs tailles que dans leurs positions, sont très semblables entre ces
deux figures contrairement au cas de la figure III-7 (d). On note toutefois quelques différences
entre ces deux images :
 Tout d’abord, on peut voir apparaitre une non-homogénéité des spels projetés dans le
cas de la mesure expérimentale. On note notamment que la première ligne de spels
est moins intense que le reste du motif. Cela peut s’expliquer par le fait que lors de la
phase d’écriture le matériau holographique suit un comportement non homogène, avec
des hoels moins intenses au démarrage de l’écriture (visible en Figure III-4 (a)) [87].
 Ensuite, on peut voir apparaitre un pixel intense en dehors des spels projetés, dans la
partie haute à gauche du motif « R ». La période de ce spel parasite est la même que
les motifs projetés ce qui explique la conservation de ce signal parasite même après
traitement de la mesure. Son alignement avec le signal spéculaire indique qu’il
correspond à la diffraction par réflexion spéculaire du faisceau sur tous les hoels
considérés comme une perturbation périodique indépendante de leur codage
angulaire.
98
rétinienne.
Comme expliqué au Chapitre II, les caractéristiques des spels projetés dépendent des
caractéristiques du faisceau de lecture et notamment de la taille de la pupille d’adressage.
II.D Modification de la taille de la pupille d’adressage

La Figure III-9 montre les résultats de la lecture passive d’un échantillon d’hologrammes
pixélises à l’aide de faisceaux de lecture de différentes tailles. La taille du faisceau de lecture
impacte la taille des spels projetés selon la formule de la tâche d’Airy. Ainsi, plus le faisceau
de lecture sera large, plus les pixels seront résolus : cet effet est confirmé par la mesure
attestant que seule la relecture avec une pupille de 4 mm permet de distinguer les spels. Dans
le cas des pupilles de 3 mm et 2 mm, il est encore possible de distinguer la forme du motif
mais on observe un fort recouvrement des spels entre eux. Enfin dans le cas de la pupille de
1 mm, le motif n’est quasiment plus visible.
Figure III-9 : Résultats du traitement de la mesure de relecture passive d’un échantillon d’hologrammes pixélisés obtenu en
sommant 121 images, pour plusieurs tailles de faisceaux de lecture allant de 1 mm à 4 mm,
Le résultat mis en avant par la Figure III-9 prouve qu’il est nécessaire de bien dimensionner
la taille de la pupille d’émission en fonction de la résolution de l’image souhaitée. Dans le cas
considéré, l’image est projetée avec une résolution angulaire de 111 pixels par degré : une
taille de pupille inférieure à 4 mm ne permet pas d’obtenir un résultat satisfaisant. Néanmoins
dans le cas d’une résolution plus faible, une pupille de taille plus faible permettrait d’obtenir un
résultat satisfaisant.
II.E Optimisations de la projection statique

II.E.1 Projection d’un carré complet
Sur le même principe d’écriture que celui expliqué à la Figure II-18, un échantillon
permettant de projeter un carré de 10x10 spels est réalisé. Ce type d’échantillon va permettre
par la suite de réaliser l’adressage dynamique des hologrammes pixélisés objet de cette thèse.
La fabrication de tels échantillons a nécessité un développement conséquent du banc
99
rétinienne.
d’écriture pour permettre notamment un alignement optimal des faisceaux d’écritures. Ainsi
les échantillons permettant de réaliser les mesures qui vont suivre ont été disponibles
seulement en dernière année de thèse ce qui a limité leur étude.
La Figure III-10 (a) présente le résultat brut de la lecture d’un tel échantillon : la mise au
point d’un tel échantillon est plus difficile à réaliser, le motif projeté étant moins aisé à identifier.
Ce résultat met en évidence la présence des ordres de diffraction dûe à la reflexion spéculaire
toujours présente proche du pic de réflexion spéculaire. La Figure III-10 (b) représente le
traitment de la mesure en réalisant une somme sur 121 ordres de diffractions.
Figure III-10 : (a) Résultat de la lecture passive d’un échantillon holographique projetant un carré uniforme à l’aide de
distributions périodiques de points d’émission. (b) Résultat après traitement en moyennant 121 ordres de diffraction du motif
projeté. (c) Simulation de l’image attendue après traitement.
La Figure III-10 met en évidence une inhomogénéité de l’écriture des hologrammes

pixélisés, la première ligne étant faiblement écrite en comparaison des autres lignes de la
cellule projetée. On peut tout particulièrement noter que le premier spel de la matrice n’est pas
projeté : cet effet est voulu et permet de repérer le début de la cellule d’hoels pour réaliser
l’alignement entre le SLM et l’échantillon. Cet élément permettra dans la partie qui suit de
faciliter l’adressage dynamique des hoels.
Dans le cas de l’échantillon étudié, on note également que les premiers hoels de certaines
des lignes projettent des spels de faibles intensités : une observation au microscope de
l’échantillon en question a permis de montrer que les hoels en question sont moins bien écrits
que le reste de la matrice. Cette inhomogénéité tire donc sa source d’un phénomène lié à
l’écriture des hologrammes, potentiellement un manque d’insolation de ces hoels.
II.E.2 Modification du faisceau objet de l’écriture

L’utilisation d’un échantillon holographique avec des hologrammes recouvrant toute la
surface d’écriture permet de réduire les ordres de diffraction causés par la réflexion spéculaire.
Néanmoins la forte intensité du faisceau réfléchi est toujours présente et perturbe le signal.
100
rétinienne.
On peut voir que la position de cette réflexion dépend de l’échantillon, elle est notamment
centrée dans le cas de la Figure III-5 et quasiment en dehors de la zone d’observation dans le
cas de la Figure III-10.
Dans le cas d’un dispositif intégré cette source de perturbation pourra être évitée. En effet
comme représenté à la Figure III-11 (a), dans le cas d’un dispositif intégré, l’extraction du
faisceau ne sera pas faite normale au substrat mais avec un angle (typiquement 16° [117]).
Ainsi la réflexion spéculaire sera dirigée vers une zone non adressée par l’œil de l’observateur.
La réflexion spéculaire pourrait devenir gênante dans le cas d’une diffraction trop importante
des points d’extractions qui dans des cas extrêmes pourrait causer un recouvrement entre la
réflexion spéculaire et le signal. Néanmoins, même dans le cas d’une forte diffraction, le
manque d’accord de phase des points d’émissions ne permettra pas de créer un front d’ondes
se focalisant en un seul point comme le cas du montage de lecture actuel ce qui réduira
également l’impact observé sur le signal.
Figure III-11 : (a) Gestion de la réflexion spéculaire lors de la relecture des hologrammes pixélisés d’un dispositif intégré. Du
fait de l’angle d’extraction associé au réseau, le faisceau de relecture sera réfléchi avec un angle équivalent, réduisant l’impact
sur l’image projetée. (b) Dans le cas d’un dispositif en optique à espace libre, en écrivant les hologrammes avec un décalage
angulaire par rapport à la normale de l’échantillon, il est possible de réduire l’impact de la réflexion sur le signal.
Dans le cas de la lecture en optique en espace libre, il est possible de réaliser des hoels
dont les spels sont projetés dans une direction qui n’est pas normale au substrat (direction
hors axe). Pour cela on utilise les mêmes faisceaux de référence que précédemment (c’est-à-
dire avec une incidence normale au substrat), mais on utilise des faisceaux objets codant des
positions autour d’un angle hors axe. La Figure III-12 représente le résultat de la relecture d’un
tel échantillon, la réflexion spéculaire de l’échantillon est dirigée normale à l’échantillon alors
que le signal utile des hologrammes est décalé d’un angle de 2,2° par rapport à la normale de
l’échantillon. La mesure réalisée est centrée sur le résultat obtenu et montre un net décalage
entre le faisceau réfléchi et le signal utile.
101
rétinienne.
Figure III-12 : Résultat de la lecture passive d’un échantillon holographique projetant le motif « R », décalé angulairement de
la direction normale à l’échantillon (d’une valeur 𝜃𝑜𝑓𝑓𝑠𝑒𝑡 = 2,2 𝑑𝑒𝑔), la réflexion spéculaire apparait alors en dehors de
l’image projetée.
Comme on peut le voir à la Figure III-12 le décalage des spels projetés permet bien de
réduire l’impact de la réflexion spéculaire sur le résultat de la lecture des hologrammes
pixélisés. La Figure III-13 présente le résultat après traitement en moyennant les ordres de
diffraction de la mesure : on peut observer que le résultat obtenu après traitement est
légèrement plus flou que dans le cas d’une projection quasi-normal. En effet il n’est pas
possible de distinguer aussi bien les spels projetés que dans le cas des mesures précédentes.
Figure III-13 : Résultat, après traitement en moyennant 121 ordres de diffraction, de la lecture passive d’un échantillon
holographique projetant le motif « R », décalé angulairement de la direction normale à l’échantillon (d’une valeur 𝜃𝑜𝑓𝑓𝑠𝑒𝑡 =
2.2 𝑑𝑒𝑔).
102
rétinienne.
Cette détérioration du signal peut être attribuée au processus d’écriture utilisant des
angles plus grands que les écritures précédentes. En effet lors de l’écriture utilisant des
faisceaux objets angulairement décalés, les zones périphériques des optiques du banc
d’écriture seront plus utilisées que dans le cas d’échantillons classiques. L’utilisation de ces
zones peut faire apparaitre des aberrations qui peuvent causer une détérioration de l’écriture,
aussi bien au niveau de l’alignement des masques d’écriture que du front d’onde incident sur
l’échantillon.
L’étude de la dégradation du signal lors de l’écriture d’hologrammes avec des décalages
angulaires est actuellement en cours d’investigation par une partie du laboratoire : dans le cas
de ce travail de thèse, l’activation sélective des hologrammes pixélisés sera réalisée à l’aide
d’échantillons sans décalage angulaire ce qui permet de conserver une bonne qualité de spels
projetés.
Dans la perspective de réduire la présence des points de focalisation de la réflexion
spéculaire sans modifier l’angle d’écriture des hologrammes, il est également possible de
modifier la distance entre la fibre du faisceau objet et la première lentille du banc d’écriture.
Cela aura pour effet d’enregistrer une onde légèrement convergente (ou divergente suivant la
position de la fibre). Ainsi lors de la relecture de l’échantillon, le point de focalisation des spels
projetés et celui de la réflexion seront différents, ce qui permettrait de réaliser un étalement
des points créent par la réflexion spéculaire. Cette méthode d’écriture n’a pas été
expérimentée au cours de cette thèse mais son utilisation pourrait être une perspective de
développement dans un futur projet d’activation en espace libre.
III Adressage sélectif des hologrammes pixélisés

III.A Adressage à l’aide d’un faisceau non structuré
Dans un premier temps, une mesure de relecture passive de l’échantillon étudié en partie
1.B est réalisée, en remplaçant le miroir précédemment utilisé par le LCoS uniformément
activé. Dans ce cas il n’est pas nécessaire de réaliser un alignement entre l’échantillon et le
SLM. Cette mesure permet de vérifier que l’impact du LCoS sur le front d’onde ne perturbe
pas le fonctionnement du banc de lecture. Ainsi le faisceau de relecture sera composé d’une
matrice de pixels activés comme représenté à la Figure III-14 (a). La Figure III-14 (b) montre
le résultat d’une telle mesure, après traitement en moyennant les ordres de diffractions
obtenus.
103
rétinienne.
Figure III-14 : (a) Représentation de la relecture d’un échantillon d’hologrammes pixélisés, à l’aide d’un faisceau se
réfléchissant sur le SLM sans modulation. L’échantillon est composé d’une écriture sélective permettant de projeter la lettre
« R ». (b) Résultat après traitement de la lecture de l’hologramme présenté en (a).
La Figure III-14 (b) met en évidence un résultat de projection semblable à ceux obtenus
en utilisant un miroir simple. Ainsi on confirme le faible impact du SLM sur le front d’onde du
faisceau de relecture.
III.B Adressage à l’aide d’un faisceau structuré

III.B.1 Adressage d’un motif sur une matrice non-uniforme
Une première mesure utilisant la modulation par le SLM consiste à utiliser l’échantillon de
la partie 1.B (avec une écriture sélective permettant de projeter la lettre « R ») et de projeter
un faisceau de lecture uniquement sur les zones où les pixels sont écrits. En utilisant la caméra
d’alignement disposée pour observer le faisceau transmis par l’échantillon, il est possible
d’observer si le motif imagé sur l’échantillon correspond bien au motif que l’on souhaite activer.
La Figure III-15 (a) représente une image prise à l’aide de la caméra d’alignement en
utilisant une illumination uniforme : les hologrammes apparaissent comme des zones sombres
du fait de la réflexion du faisceau de lecture sur ces hologrammes. La Figure III-15 (b)
représente le cas où le motif « R » est projeté sur l’échantillon par le SLM, en utilisant des
points composés de 4x4 pixels. On observe que la majorité des zones précédemment
lumineuses ne sont plus adressées par le faisceau, ce qui démontre que seules les zones où
les hoels sont écrits sont adressées par le faisceau de lecture.
104
rétinienne.
Figure III-15 : Photographies prises à l’aide du montage d’alignement. (a) L’échantillon holographique où le motif « R » est
écrit dans une matrice de 10 x 10 hoels, l’échantillon est illuminé à l’aide d’une lumière uniforme. (b) Alignement du motif
d’adressage utilisant des points composés de 4x4 pixels du SLM et de l’échantillon présenté en (a).
Une fois l’alignement décrit par la Figure III-15 (b) effectué, une mesure de lecture est
réalisée et permet d’obtenir le résultat représenté à la Figure III-16 (b). On peut voir que
l’utilisation du faisceau modulé par le SLM permet d’obtenir un légèrement moins bruité que
celui obtenu avec un faisceau uniforme. En effet, la modulation du faisceau permet de réduire
l’intensité du faisceau incident dans des zones où les hologrammes ne sont pas écrits
réduisant ainsi la proportion de réflexion spéculaire par rapport au signal utile. Cela a pour
conséquence de réduire légèrement l’intensité des ordres de diffractions due à la réflexion
spéculaire du faisceau sur l’échantillon.
Les intensités des spels projetés dans les motifs confirment l’alignement entre le faisceau
d’illumination et l’échantillon. De même la taille des spels obtenus confirme un adressage des
hologrammes pixélisés fonctionnel sur une pupille proche de 4 mm, dans le cas de l’utilisation
de points d’adressage composés de 4x4 pixels du SLM. Cette mesure permet donc de
confirmer la capacité à utiliser le banc dynamique de lecture des hologrammes pixélisés pour
adresser une matrice périodique d’hoels.
105
rétinienne.
Figure III-16 : (a) Représentation de la relecture d’un échantillon d’hologrammes pixélisés, à l’aide d’un faisceau structuré par
un SLM. L’échantillon est formé d’une écriture sélective permettant de projeter la lettre « R ». (b) Résultat après traitement
en moyennant 121 ordres de diffraction du motif projeté.
Dans la suite de ce chapitre j’utiliserai des matrices de spels uniformes permettant de

projeter des carrés de 10x10 spels comme celui présenté à la Figure III-10. La méthode
d’adressage présentée précédemment, associée à ce type d’échantillon permet la projection
de différents motifs contraints par une résolution de 10x10 spels projetés.
III.B.2 Adressage de motifs sur une matrice uniforme

L’adressage des hologrammes pixélisés composant des cellules uniformes est plus
complexe que l’adressage des motifs présentés précédemment. En effet dans le cas d’une
matrice uniforme, il est plus difficile de repérer le premier hoel de la cellule. Hors du fait de la
différence de remplissage entre les cellules des hologrammes et les cellules du motif projeté
(formé par les ordres de diffraction du motif), un mauvais alignement entre le motif adressé et
la cellule des hologrammes causerait une déformation de l’image.
Comme expliqué précédemment, pour faciliter cet adressage il a été décidé de ne pas
insoler le premier hoel de la cellule des hologrammes : ainsi il est possible de repérer la
périodicité de la cellule et son point de commencement, cela entraine également une perte
d’un spel comme on a déjà pu le voir à la Figure III-10 (b).
La Figure III-17 représente le résultat de l’adressage de la lettre « R » sur un échantillon
d’hologrammes projetant un carré de 10x10 spels : dans le cas de cette mesure, l’adressage
est réalisé en activant des zones de 4x4 pixels du SLM pour chaque hologramme à activer.
Cela permet d’adresser des surfaces d’environ 33 µm x33 µm, la distance entre les
hologrammes étant de 27 µm, on s’assure ainsi d’éclairer totalement les hologrammes.
106
rétinienne.
Figure III-17 : (a) Représentation de la lecture d’un échantillon d’hologrammes pixélisés composé de cellules uniformes codant
un carré. Le faisceau de relecture est structuré par un SLM ce qui permet d’illuminer seulement les hologrammes permettant
de projeter la lettre R. (b) Résultat après traitement de la mesure de lecture en moyennant 121 ordres de diffraction du motif
projeté.
Le résultat présenté à la Figure III-17 (b) obtenu en moyennant les ordres de diffraction
pour réduire le speckle dû aux interférences montre une projection du motif « R » avec une
qualité de résolution des spels proche de celle obtenue en lecture passive. On note toutefois
que certains spels sont projetés avec de faibles intensités (notamment en début et fin de ligne).
Ces spels correspondent à ceux qui avaient été précédemment identifiés lors de l’étude
passive de la matrice uniforme (voire Figure III-10) dont la cause avait été attribuée à une non
homogénéité de l’insolation.
L’utilisation de points d’émission de 33 µm x 33 µm (composés de 4 x 4 pixels du SLM),
cause l’activation partielle de certains spels en périphérie des spels nécessaires à l’affichage
du motif : je parlerai dans la suite de ce document, d’un effet de « cross-talk » On peut
notamment voir apparaitre une zone éclairée dans le bas de la lettre du fait de l’activation de
la dernière ligne de la cellule, lors de l’adressage de la première ligne de la cellule sous-
jacente.
III.B.3 Modification des conditions d’adressage

De manière à réduire l’effet de cross talk, on utilise différentes tailles de points d’adressage
permettant de réduire la zone éclairée par le système de projection. J’ai donc réalisé deux
mesures utilisant des points d’adressage des hologrammes pixélisés correspondant à 2x2
pixels du SLM activés et équivalent à 3x3 pixels du SLM.
Les Figure III-18 et Figure III-19 (a) représentent respectivement les motifs d’adressage
dans le cas de l’utilisation de points d’adressage de 2x2 et 3x3 pixels du SLM en utilisant la
méthode d’adressage développée au Chapitre II. Comme expliqué précédemment, la
différence de périodes entre le SLM et l’échantillon entraine l’apparition de bandes de pixels
du SLM non activés entre les points d’adressage.
107
rétinienne.
Figure III-18 (a) Représentation du motif d’adressage utilisé pour adresser les hologrammes pixélisés permettant de projeter
le motif « R » à l’aide de 2x2 pixels du SLM. (b) Résultats après traitement en réalisant la moyenne sur 121 ordres de diffraction
dans le cas de l’utilisation du motif d’adressage en (a).
La Figure III-18 et la Figure III-19 (b) montrent le résultat après traitement dans le cas d’un
adressage à l’aide de points d’adressage de 2x2 pixels du SLM. Sur ce résultat on voit
apparaitre le motif « R » projeté ; néanmoins contrairement au cas précédent, la résolution
des spels est dégradée et certains spels ne sont que partiellement affichés. Cela se justifie
par un adressage partiel des hologrammes pixélisés et un alignement plus difficile à réaliser.
En effet la dégradation de l’alignement va causer la réduction du nombre de hoels entièrement
activés ce qui cause une réduction du signal réfléchi par ces hoels. En comparaison la
proportion de la lumière réfléchie par les interfaces reste la même causant, une détérioration
de la mesure globale, par rapport au cas où plus de pixels sont utilisés.
(a)
( (b)(
Figure III-19 : (a) Représentation du motif d’adressage utilisé pour adresser les hologrammes pixélisés permettant de projeter
le motif « R » à l’aide de 3x3 pixels du SLM. (b) Résultats après traitement en réalisant la moyenne sur 121 ordres de diffraction
dans le cas de l’utilisation du motif d’adressage en (a).
Dans le cas de l’utilisation de points d’adressage de 24 µm x 24 µm (la Figure III-19 (b)),

le résultat de la mesure après traitement montre une meilleure résolution. On note toutefois la
présence de spels de faible intensité dont la position coïncide avec la position des lignes et
colonnes de pixels du SLM désactivés présentée à la Figure III-19 (c). Ainsi cette dégradation
108
rétinienne.
du signal est associée à la différence de périodes entre le SLM et l’échantillon holographique

qui cause un adressage partiel de certain des hoels.
La modification de la taille des points d’adressage aura également un effet sur la diffraction
des DPH. Je représente à la Figure III-20 le résultat brut de la mesure de lecture
d’hologrammes en utilisant les motifs d’adressage représentés aux Figure III-18Figure III-19
(a).
Figure III-20 (a) et (b) Résultats bruts des mesures de lecture d’un échantillon d’hologrammes pixélisés dans le cas d’un
adressage utilisant des points correspondant à respectivement 2x2 et 3x3 pixels activés du SLM, le gain de l’enregistrement
est adapté différemment pour les deux images. Dans le cas (a) l’utilisation de points d’adressages de petite taille cause
l‘augmentation de la taille de la zone de diffraction.
La Figure III-20 (a) montre une augmentation notable de la surface où les motifs sont
projetés. Cela s’explique par l’augmentation de la diffraction des points d’émission du fait de
la réduction de la surface d’émission. Dans le cas de l’utilisation de points d’émission
composés de 3x3 pixels du SLM, on peut voir à la Figure III-20 (b) que la limite de diffraction
est comparable avec les résultats obtenus par activation passive (CF Figure III-5). Cela
s’explique par la faible différence entre la taille des points d’adressage et les hoels.
109
rétinienne.
De manière à réduire la dégradation due à la différence de périodes entre le SLM et

l’échantillon, le motif d’adressage utilisant des points de 3x3 pixels est modifié permettant de
rendre jointifs les points d’activation de deux hologrammes adjacents comme décrit au
Chapitre II. On représente à la Figure III-21 (a) le motif d’adressage ainsi obtenu : ce type de
motif permet de réduire l’adressage partiel de certains hologrammes tout en évitant l’effet de
cross talk observé précédemment.
Figure III-21 : (a) Représentation de l’image projetée sur un échantillon holographique permettant d’adresser les pixels
formant la lettre « R » dans le domaine angulaire à l’aide de points d’adressage jointifs composés de 3x3 pixels du SLM (soit
24 µm x 24 µm). (b) résultat après traitement de la mesure de lecture utilisant le motif d’adressage présentée en (a).
Le résultat présenté à la Figure III-21 (b) montre que l’utilisation de points d’adressage
jointifs de 24 µm 24 µm permet d’obtenir un bon compromis entre le signal obtenu et un faible
cross-talk entre les hologrammes adressés.
III.B.4 Adressage de divers motifs

De manière à confirmer la possibilité d’afficher différents motifs, j’ai réalisé la projection
d’autres motifs permettant de former les lettres constituant le texte « CEA Leti ». Pour réaliser
la projection de ces lettres, j’ai utilisé la dernière méthode d’adressage décrite dans la partie
précédente (utilisant des points d’adressage jointifs de 3x3 pixels du SLM comme à la Figure
III-21). La Figure III-22 (b) représente le résultat obtenu après traitement de l’image en
110
rétinienne.
moyennant les ordres de diffractions de chacune des lettres.
Figure III-22 : (A), Résultats après traitement de la projection à l’aide d’un système actif des lettre C, E et A, l’utilisation de la
distribution périodique de points d’émission laisse apparaitre les ordres de diffraction. (b) Résultat après traitement de la
projection séquentielle des lettres composants le texte « CEA Leti », les ordres de diffractions sont en dehors des cadres
observés. (c) Modèle de lettre utilisé pour projeter les motifs en (b)
Les résultats de la Figure III-22 (b) sont des résultats importants dans le cadre du projet
de projection rétinienne, car ils démontrent la capacité à afficher des images de manière
dynamique à l’aide des hologrammes pixélisés et d’un banc de lecture basé sur un SLM. Un
des problèmes majeurs que l’on a pu observer durant les lectures d’hologrammes pixélisés
est la présence des interférences perturbatrices qui ont été attribuées aux interférences
croisées ainsi que du speckle causé par des réflexions parasites. Ces perturbations peuvent
être contournées par un post-traitement efficace (moyenne) mais une telle option n’est
évidemment pas transposable au cas d’un dispositif fonctionnant devant l’œil. Le seul organe
de traitement est le cerveau qui n’est heureusement pas programmable. Il faut trouver un
moyen de contourner ces problèmes pour améliorer le rendu image. L’introduction de
distributions aléatoires est un premier levier qui permet de supprimer les ordres de diffraction.
Pour la réduction des interférences croisées on peut modifier la dynamique temporelle de
l’affichage. C’est ce que je présente dans la partie suivante.
IV Adressage séquentiel et dynamique

Comme expliqué dans le Chapitre II, une solution pour réduire les interférences croisées
est de décolérer temporellement l’activation des groupes d’hoels et/ou d’utiliser des sources
lasers différentes pour ces différents groupes. Le banc d’activation développé ne permet pas
d’utiliser différentes sources lasers ; néanmoins, il est possible de réaliser un adressage
séquentiel des groupes d’hoels permettant d’afficher un à un les spels. En utilisant ce principe
on supprime les sources d’interférences.
111
rétinienne.
IV.A Projection avec traitement de la mesure

La Figure III-23 (a) représente le résultat sans traitement de la projection d’un unique spel :
on peut voir que, excepté un bruit de fond de mesure, le spel apparait nettement et sans
interférences contrairement aux spels que l’on pouvait observer à la Figures III-7. En
parcourant un à un les DPEs permettant de projeter un motif on obtient un ensemble d’images
de projection constitué des spels formant le motif sans interférences croisées. En moyennant
ces projections de spels, il est possible de reconstituer le motif entier. Pour cela on utilise
l’équation (3.2) permettant de calculer la puissance moyenne mesurée sur chaque pixel de la
caméra (𝑖, 𝑗), pendant l’affichage des spels permettant de projeter un motif.
𝑃𝑛 (𝑖, 𝑗)
𝑃𝑚𝑜𝑦 (𝑖, 𝑗) = ∑ (3.2)
𝑁
𝑛∈ℰ["𝑅"]
Avec ℰ["𝑅"], l’ensemble des indices des mesures permettant de projeter les spels
constituant le motif « R ».
Les Figure III-23 (b) et (c) représentent le résultat de la somme progressive des spels
permettant de projeter le motif « R ».
Figure III-23 : (a) et (b) Résultats obtenus en réalisant la moyenne progressive des images (respectivement 1 image en (a) et
20 images en (b)) obtenues par la projection d’un unique spel. La somme de ces images permet de faire apparaitre le motif
« R » complet représenté en (c).
Comme on peut l’observer à la Figure III-23, le SNR des spels projetés est réduit lorsque
l’on augmente le nombre de spels à observer. Cela s’explique par le fait que le signal utile de
chaque spel n’est présent que sur une des images sommées alors que le bruit de la mesure
se cumule sur toutes les images de la mesure séquentielle dégradant le résultat final obtenu.
De manière à mieux observer les spels projetés, on réalise un traitement de la mesure en
sélectionnant, pour chaque pixel de la caméra de mesure, la valeur maximale rencontrée tout
au long des 𝑁 images enregistrées pour projeter les spels du motif « R ». Pour cela on utilise
l’équation (3.3) qui permet de déterminer une telle valeur pour tout spel (𝑖, 𝑗).
𝑃𝑚𝑎𝑥 (𝑖, 𝑗) = max (𝑃𝑛 (𝑖, 𝑗)) (3.3)

𝑛∈ℰ["𝑅"]
Ce traitement permet de s’affranchir du bruit cumulé de la mesure. La Figure III-24

représente le résultat obtenu, dans le cas où l’on observe 1, 20 et 64 spels.
112
rétinienne.
Figure III-24 : (a) et (b) Résultats obtenus en sélectionnant pour chaque pixel de la caméra de mesure la valeur maximum
enregistrée pendant la projection de plusieurs images (respectivement 1 image en (a) et 20 images en (b)). Le motif final
projeté correspond à la lettre « R » dont le résultat est représenté en (c), après traitement identique à (a) et (b).
La Figure III-24 (c) permet de confirmer une bonne résolution des spels projetés
démontrant de la qualité de l’image qui pourrait être projetée à l’aide d’un dispositif utilisant
plusieurs lasers.
Les résultats de la Figure III-23 et de la Figure III-24 peuvent amener à s’interroger vis-à-
vis du fonctionnement de l’œil et du traitement du cerveau humain lorsqu’il est confronté à une
stimulation telle que la projection dynamique de points dans un intervalle court. En effet selon
[118] le fonctionnement du traitement des images par le cerveau est géré en partie en termes
de contraste, notamment, pour pouvoir détecter des contours. Ainsi le bruit de fond cumulé ne
serait pas perçu de la même manière qu’une simple augmentation du temps de pose telle
qu’exécutée à la Figure III-23. L’image perçu par le cerveau humain pourrait être à mi-chemin
entre les deux résultats de la Figure III-23 et ceux de la Figure III-24. Je n’ai pas réalisé de
recherches plus poussées sur ce domaine ; néanmoins elle semble être une piste intéressante
pour évaluer les caractéristiques du dispositif.
IV.B Projection sans traitement de la mesure

De manière à s’approcher d’un fonctionnement dynamique projetant des images sans
traitement de la mesure, il est nécessaire de réaliser un balayage des DPH à activer pour
afficher un motif. Pour permettre d’enregistrer complétement le motif, ce balayage doit être fait
dans une durée correspondante à la fréquence d’acquisition minimale de la caméra soit 0.5 s
dans notre cas (la caméra fonctionnant à une fréquence de 2 Hz). Le SLM utilisé possède une
fréquence de fonctionnement de 60 Hz, correspondant à la période nécessaire pour modifier
l’intégralité des tensions des pixels composant ce SLM. Ainsi, il est en théorie possible de
projeter une image composée de 30 spels sur une durée de 0.5 s. Néanmoins dans le cas
considéré le spel projeté sera affiché uniquement lorsqu’une quantité suffisante de hoel sera
illuminée ; ainsi le spel ne sera pas visible pendant une durée équivalente à 1⁄60𝐻𝑧 (soit
environ 17 ms). La méthode d’adressage dynamique utilisée est représentée à la Figure III-25.
113
rétinienne.
Figure III-25 : Représentation de la prise en compte du temps de chargement d’un motif d’adressage dans le processus de
projection dynamique d’un spel à une vitesse de 15 spels en 0.5 s (soit 30 Hz)
Comme représenté à la Figure III-25, il est nécessaire de réduire la fréquence de

fonctionnement du SLM pour que les spels projetés puissent être perçus avant de commencer
à modifier le motif d’adressage : on choisit donc d’utiliser une fréquence d’environ 30 Hz
correspondant à la projection de 15 spels en 0.5 s. Ce choix d’adressage permet de répartir la
période disponible entre le temps de formation de l’image et le temps où le spel est projeté
totalement.
Ainsi à l’aide du système actuel et en se limitant à la projection d’un seul spel à la fois, il
est possible de projeter uniquement des motifs composés de 15 spels au maximum. La Figure
III-26 représente les résultats de la projection des lettres composant le texte « CEA » écrites
chacune à l’aide de 12 spels. Le mesure étant intégrée sur une durée de 0.5 s, on observe
une forte composante du bruit de fond, due à des sources parasites mais également au signal
perçu lors de la formation des motifs d’adressage.
114
rétinienne.
Figure III-26 : (a), (b) et (c) Résultats obtenus en réalisant une activation dynamique des spels composant les lettres du texte
« CEA », en utilisant une fréquence d’affichage de 24 Hz et en intégrant le signal sur 0.5 s.
On démontre ici la capacité à créer une image dynamique sans traitement de la mesure.
Néanmoins, l’image est dégradée par le temps court pendant lequel est réellement projeté le
spel en comparaison du temps de chargement de l’image d’adressage.
Plusieurs solutions sont envisageables pour réduire cette dégradation :
 Une première solution est de réduire le temps de chargement de l’image en utilisant

un SLM basé sur des micromiroirs tel que ceux décrits dans la partie 4.B du Chapitre
II. En effet ces types de composants peuvent être envisagés pour une application de
lecture des hologrammes pixélisés et leur fréquence de fonctionnement est beaucoup
plus élevée que celle des SLM à base de CL tels que celui utilisé dans ce travail de
thèse.
 Une seconde solution est de faire un adressage de plusieurs DPH simultanément ce

qui permet d’obtenir un compromis entre la perte de signal due à l’activation
séquentielle et la dégradation des spels due aux interférences lors de la projection
simultanée de plusieurs spels. Je n’ai malheureusement pas eu le temps d’exploiter
cette solution.
115
rétinienne.
Conclusion du Chapitre III

Dans ce troisième Chapitre j’ai développé l’idée d’activation des hologrammes pixélisés
en optique en espace libre. Pour cela j’ai débuté ce chapitre en réalisant plusieurs mesures
permettant de tester les capacités de projection du montage de lecture développé. Après cela
j’ai réalisé des mesures d’activation passive d’hologrammes pixélisés à l’aide de faisceaux
uniformes. Ces mesures auront permis de vérifier la capacité de codage d’angles dans les
hologrammes pixélisés ainsi que de comprendre le fonctionnement de ces hologrammes. J’ai
notamment pu mettre en évidence des effets d’interférences supplémentaires aux
interférences croisées décrites au Chapitre III. Les effets mis en évidence seront primordiaux
à prendre en compte lors de développement de futurs dispositifs et constitue un sujet de
recherche qui devra être investigué plus en profondeur. Après cette vérification, j’ai réalisé la
caractérisation de différents échantillons holographiques, permettant de tester différentes
propriétés des hologrammes pixélisés. Une perspective de développement est d’utiliser des
distributions de points aléatoires qui permettrait de ne plus créer les ordres de diffraction visible
sur les mesures de ce Chapitre.
Dans un second temps j’ai utilisé le SLM sélectionné dans le Chapitre II pour réaliser une
modulation spatiale du faisceau d’adressage ce qui a permis de réaliser une activation
sélective de certaines DPH permettant de projeter différents motifs à l’aide d’un unique
échantillon holographique. Différentes stratégies d’adressages ont été testées pour identifier
les meilleures conditions d’adressage des hoels. Néanmoins les effets d’interférences exposés
dans la partie précédente ont causé de dégradations de ces images m’obligeant à réaliser des
post-traitements pour observer les images souhaitées.
Enfin dans un dernier temps, j’ai réalisé des mesures d’adressage dynamiques permettant
de s’approcher du fonctionnement nominal d’un possible dispositif de projection rétinienne tout
en s’affranchissant des effets d’interférences croisées entre les spels. Pour cela les spels sont
projetés de manière séquentielle et intégrés de manière numérique ou temporelle. Dans le cas
de la projection de motifs intégrés de manière temporelle, il apparait que la fréquence de
fonctionnement limitée du SLM ainsi que l’utilisation d’un unique laser pour tous les spels
projetés causent une perte du signal imposant de réduire le nombre de spels projetés. Ces
premiers résultats consistent en une première preuve de concept de l’utilisation des hoels pour
projeter des images de manière dynamique en utilisant l’effet d’auto-focalisation.
116
rétinienne.
CHAPITRE IV :
Activation en optique espace intégré
INTRODUCTION DU CHAPITRE IV..................................................................................................... 118

I DIMENSIONNEMENT DES APPROCHES ENVISAGEE .................................................................... 118
I.A Dimensionnement de l’approche par effacement du réseau .......................................................... 118
I.A.1 Electrode d’adressage pour l’approche par effacement .............................................................................. 119
I.A.2 Indice du réseau pour l’approche par effacement ....................................................................................... 124
I.A.3 Dimension de l’approche par effacement.................................................................................................... 127
I.A Approche par déconfinement du mode guidé ................................................................................. 128
II ARCHITECTURES D’ADRESSAGE ............................................................................................... 131
II.A Architecture d’adressage optique ................................................................................................... 131
II.B Architecture des électrodes d’adressage ......................................................................................... 134
III METHODES DE CARACTERISATION........................................................................................ 137
III.A Goniomètre en optique intégrée ..................................................................................................... 137
III.B Rétro-goniomètre en optique espace libre ...................................................................................... 138
III.C Microscope polarisant en transmission ........................................................................................... 139
IV MISE EN ŒUVRE DES COMPOSANTS ...................................................................................... 140
IV.A Procédé de fabrication des électrodes............................................................................................. 140
IV.B Procédés de fabrication des réseaux ............................................................................................... 141
IV.B.1 Réseau en Nitrure de Silicium .................................................................................................................. 141
IV.C Fabrication des réseaux de diffraction par procédé sol-gel............................................................. 143
IV.C.1 Procédé de fabrication des réseaux en sol-gel ........................................................................................ 143
IV.C.2 Adaptation du processus de fabrication du réseau ................................................................................. 146
I.B Réalisation des cellules de cristaux liquides .................................................................................... 147
IV.C.3 Ancrage des cristaux liquides .................................................................................................................. 148
IV.C.4 Cordons de colle ...................................................................................................................................... 151
IV.C.5 Réalisation des contacts électriques........................................................................................................ 152
V TEST DE L’EFFACEMENT DES RESEAUX .................................................................................... 152
V.A Théorie de la diffraction par un réseau de phase en transmission .................................................. 153
V.B Test d’un effacement en polarisation avec cristaux liquides ........................................................... 155
V.C Test de l’activation de l’effacement des réseaux de diffraction ...................................................... 157
VI TEST DES CELLULES PAR DECONFINEMENT .......................................................................... 158
VI.A Test de l’adressage électrique des cellules ...................................................................................... 158
VI.B Mesure de déconfinement............................................................................................................... 159
CONCLUSION DU CHAPITRE IV ........................................................................................................ 162
117
rétinienne.
Introduction du Chapitre IV
La démonstration de l’activation des hologrammes pixélisés en optique espace libre, faite
au Chapitre III, est une avancée importante dans le projet de projection rétinienne du CEA
Leti. Toutefois, la réalisation d’une lunette de projection avec un encombrement minimal
nécessite de réaliser l’adressage de ces hologrammes à l’aide d’un système photonique
intégré et transparent. Dans le Chapitre II, plusieurs technologies d’optique intégrée ont été
présentées et deux approches d’extraction basées sur une interaction entre la photonique et
des CL ont été proposées.
Dans ce quatrième Chapitre, je m’intéresse au dimensionnement des approches
d’activation. Ce dimensionnement sera basé sur certains résultats de simulations permettant
d’identifier certains des paramètres clefs des deux approches en vue d’une possible preuve
de fonctionnement. Je présente également les outils de caractérisation utilisés pour l’étude
des composants réalisés.
Dans un troisième temps, je détaille les moyens de fabrication permettant la conception
d’architectures pour réaliser la preuve de fonctionnement des approches d’activations
proposées. Enfin j’expose les résultats obtenus sur les échantillons dimensionnés et fabriqués.
Une des deux architectures n’a pas pu être réalisée au cours de cette thèse ; néanmoins, de
premiers tests en optique à espace libre mettent en évidence sa pertinence pour notre projet.
I Dimensionnement des approches envisagée

Pour rappel, les deux approches d’activation proposées au Chapitre II se basent
respectivement sur :
 L’effacement d’un réseau encapsulé dans une couche de CL : En modifiant

l’orientation des CL dans les dents du réseau, il est possible de modifier le contraste
d’indice du réseau permettant de contrôler la puissance de l’extraction ;
 Le déconfinement du mode guidé : la couche de CL est utilisée comme un superstrat

dont l’indice peut varier permettant de modifier le confinement du mode et de moduler
l’interaction avec un réseau de l’autre côté de la couche de CL.
Dans le cadre de ce travail de thèse, j’ai utilisé un CL nématique classique et facile
d’approvisionnement, le 5CB (ou 4-Cyano-4'-pentylbiphenyl) fabriqué et distribué par
l’entreprise Merck. Ce CL a une anisotropie diélectrique positive ainsi qu’une biréfringence
élevée de Δ𝑛 = 0.18 (𝑛𝑒 = 1.735 et 𝑛𝑜 = 1.542 à une longueur d’onde de 532 nm).
I.A Dimensionnement de l’approche par effacement du réseau

Dans le cadre de cette thèse j’utiliserai des circuits photoniques 2D déjà existants pour
permettre de démontrer les méthodes d’activation proposées. L’architecture photonique a été
dimensionnée par Basile Meynard dans une thèse ayant démarrée en 2017, deux ans avant
mon démarrage de thèse. Cette architecture se compose de guides en SiN de 300 nm de large
et de 200 nm de haut. Ces guides sont encapsulés dans un substrat de verre à une profondeur
de 20 nm sous la surface du substrat. L’architecture des circuits photoniques a été développée
pour évaluer les interactions possibles entre un réseau dense de guides, affleurant à la surface
118
rétinienne.
du substrat, et l’espace libre au-dessus du substrat : je décris cette architecture plus en détails
par la suite.
I.A.1 Electrode d’adressage pour l’approche par effacement

L’utilisation d’électrodes transparentes pour alimenter les cellules de CL est imposée dans
nos architectures par le besoin de transparence du combineur. Le CEA Leti a la capacité de
réaliser des électrodes transparentes en ITO (Indium Tin Oxide) ou en AZO (Al2O3-dopé en
ZnO). Ces deux matériaux appartiennent au groupe des TCO (Transparent Conductive Oxide)
et permettent de conduire le courant tout en étant quasiment transparent.
Ce type d’électrodes est souvent utilisé dans le domaine des afficheurs, pour adresser des
pixels. Elles sont considérées comme transparentes lorsqu’elles sont utilisées en transmission
sur ces afficheurs, car du fait de la configuration d’utilisation, les épaisseurs de matériau
traversées sont très faibles. Bien qu’un peu d’absorption y soit présente, elle ne se traduit pas
par des pertes notables du fait de la faible distance de propagation dans ces couches.
Au démarrage de la thèse nous avons fait le choix de réaliser un dépôt de ce type
d’électrodes transparentes directement sur les circuits photoniques. Ce choix était notamment
motivé par la configuration des échantillons photoniques disponibles. A ce moment de mes
recherches un effet physique a été sous-estimé et a dû être repris en compte suite à nos
premiers essais de caractérisation : dans le cas d’une utilisation en optique guidée les
propriétés d’absorption même faible des TCO peuvent causer de fortes pertes au vu de la
longueur de l’interaction entre le mode guidé et le matériau TCO. A l’inverse cependant, le
taux de recouvrement du mode et de la couche très fine de matériau électrode limite ce
phénomène d’absorption.
Ce phénomène pourrait être problématique surtout dans le cas de l’approche par
effacement du réseau où une des électrodes est sur la même face que le guide d’onde.
Considération optique
Des recherches bibliographiques ([119], [120]) permet d’obtenir les valeurs d’indice
suivantes pour l’ITO et l’AZO :
 𝑛𝐼𝑇𝑂 = 1.8813 + 𝑖0.0034019 selon [119].
 𝑛𝐴𝑍𝑂 = 1.8699 + 𝑖0.0014483 selon [120].

Pour estimer les pertes engendrées par ces deux matériaux, des simulations FDE sont
utilisées. On simule la distribution d’un mode dans une structure composée d’un cœur en SiN
et d’une électrode en TCO plane encapsulés dans un substrat de verre. En calculant le
recouvrement du mode avec l’électrode, et connaissant la valeur de l’indice imaginaire perçu
par cette proportion de mode, il est possible d’estimer un indice effectif complexe du mode
guidé, tel que défini par l’équation :
𝑛𝑒𝑓𝑓 = 𝑛𝑒𝑓𝑓 + 𝑗. 𝑘𝑒𝑓𝑓 (4.1)
119
rétinienne.
La valeur de 𝑘𝑒𝑓𝑓 traduit les pertes par absorption du système : il est alors possible de
calculer le coefficient d’absorption subit par un mode se propageant dans la structure à l’aide
de l’équation suivante :
4𝜋. 𝑘𝑒𝑓𝑓
𝛼𝑒𝑓𝑓 = (4.2)
𝜆
Ainsi la puissance transmise sur une distance 𝐿 par une telle structure peut être calculée
à l’aide de l’équation suivante :
𝑇(𝑥) = 𝑒 −𝛼𝑒𝑓𝑓.𝐿 (4.3)
Je réalise le calcul de cette transmission sur une longueur de 1 cm et pour plusieurs

paramètres de structure. La taille des guides étant d’ores et déjà fixée, les paramètres variants
sont la distance entre le guide et l’électrode ainsi que l’épaisseur de l’électrode. La Figure IV-1
représente les résultats de ces calculs de pertes en propagation, dans le cas de l’utilisation de
modes TE et TM et pour les deux électrodes transparentes proposées.
La Figure IV-1 représente le cas présentant le plus de perte (électrode en ITO et mode de
propagation TM). Les pertes par absorption dans une structure comportant une électrode
transparente peuvent atteindre des valeurs très élevées dans le cas où l’électrode est proche
du guide (jusqu’à atteindre une valeur de 800 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 ). Ces pertes sont fortement réduites
lorsque l’électrode est éloignée du guide jusqu’à atteindre des valeurs inférieures à 1 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 .
En réduisant l’épaisseur de l’électrode, il est également possible de réduire légèrement les
pertes de la structure.
Figure IV-1 : (a) Représentation de la structure en guide d’onde simulée pour estimer les pertes optiques dues à la présence
d’une électrode en TCO. (b) Résultats des pertes en 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 en fonction de l’épaisseur de l’électrode et de la distance entre
le guide en SiN et l’électrode, dans le cas où les pertes sont les plus importantes (i.e le cas de l’utilisation d’un mode TM avec
une électrode en ITO).
La technologie du CEA permet un meilleur contrôle de la qualité de l’ITO que de l’AZO.

L’épaisseur minimale d’ITO pouvant être déposée est de 40 nm : on choisit donc de réaliser
un dépôt d’une telle épaisseur. Pour ce qui est de la distance entre le guide et l’électrode, du
point de vue de la photonique, il est nécessaire d’enterrer au maximum l’électrode en TCO.
120
rétinienne.
Néanmoins du point de vue électrique, l’éloignement de l’électrode cause une réduction de la

tension appliquée aux bornes de la couche de CL. En effet l’ajout d’un diélectrique entre
l’électrode et la couche de CL provoque une chute de tension au sein de ce diélectrique.
Considération électrique
De manière à estimer la chute de tension entrainée par l’éloignement de l’électrode de la
couche de CL, je réalise des simulations basées sur la méthode FEM grâce au logiciel (LCD
Master 2D). Ces simulations permettent de résoudre les équations (1.22) à (1.25) pour
déterminer l’orientation des CL dans une cellule. La distribution alors obtenue permet de
minimiser l’énergie du système sous une valeur de tension appliquée. De manière à pouvoir
appliquer ce type de simulation à notre projet incluant des réseaux, des guides d’onde et des
CL, je fais plusieurs hypothèses simplificatrices :
 J’associe le réseau à une couche d’ancrage faible c’est-à-dire une couche d’ancrage dont
la constante d’énergie surfacique est de 10−4 𝐽. 𝑚−2 . Cette hypothèse permet de traduire
l’effet d’ancrage mécanique dans les dents des réseaux [64], [121], tout en conservant la
possibilité d’orientation des cristaux au sein du réseau. De plus cela permet d’éviter des
artefacts de simulation sur la partie supérieure des dents du réseau où en théorie aucun
ancrage n’est appliqué mais où une valeur d’ancrage doit être spécifiée pour réaliser une
simulation.
 La présence du guide d’onde en 𝑆𝑖𝑁 est négligée devant la couche de verre du fait du
faible volume occupé par le guide en comparaison de son encapsulation en 𝑆𝑖𝑂2 .
L’épaisseur de la couche de CL est fixée à 1,2 µm car c’est l’épaisseur de billes de Silice
la plus petite disponible au laboratoire. Une utilisation d’un espace minimal entre les deux
faces de la cellule permet de diminuer les tensions d’adressage. En effet l’orientation des CL
est sensible au champ électrique ; or en réduisant l’épaisseur et en gardant la tension
inchangée on augmente le champ électrique car :
𝐸⃗ = −𝑔𝑟𝑎𝑑(𝑉) (4.4)
La Figure IV-2 représente les résultats de la simulation de l’activation de la rotation des

CL au sein d’une cellule de 1,2 µm d’épaisseur, pour différentes profondeurs d’électrodes en
TCO et différentes tensions appliquées. Les simulations sont réalisées à 1D dans un premier
temps. Le cas d’une électrode à une profondeur 0 correspond au cas où l’électrode est au-
dessus du guide d’onde (cas entrainant le plus de pertes optiques) ; dans les autres cas
l’électrode est sous le guide ce qui permet de réduire les pertes optiques.
121
rétinienne.
Figure IV-2 (a) Structure simulée permettant d’estimer l’orientation des CL dans une cellule pour différentes valeurs de
profondeur d’électrode. (b) Résultats représentés en 2D de la simulation de l’orientation des CL dans une cellule adressée par
une électrode à 500 nm de profondeur (i.e. enterrée 250 nm sous le guide en SiN). (c) à (e) Résultats de la simulation de
l’orientation des CL proches de l’interface avec le guide d’onde (la ligne rouge représente la hauteur du réseau).
La Figure IV-2 montre que l’utilisation d’électrodes enterrées cause une réduction de la
réorientation des CL à l’interface avec le guide d’onde. Cette réduction va se traduire du point
de vue optique par une modification de l’indice de réfraction perçue au-dessus des réseaux.
Cette variation de l’indice de réfraction perçue par une polarisation donnée, peut-être calculée
à l’aide de l’équation de la biréfringence (1.24). Dans le cas de l’approche par effacement du
réseau, il est prévu d’utiliser les deux polarisations : je réalise donc le calcul de l’indice perçu
par des polarisations TE et TM se propageant dans un guide sous la couche de CL pour les
différentes profondeurs d’électrode d’activation.
Dans l’approche par effacement du réseau, seul l’indice perçu dans le réseau est
important, le but étant d’obtenir un indice de CL égal à celui du réseau. Pour estimer la perte
de cet accord d’indice dans le réseau, je réalise l’intégrale de l’indice perçu par les modes sur
une épaisseur correspondant aux dents du réseau :
𝑒𝑟𝑒𝑠
〈𝑛〉 = ∫ 𝑛(𝑦)𝑑𝑦 (4.5)
0
Avec 𝑒𝑟𝑒𝑠 l’épaisseur du réseau utilisé.
La Figure IV-3 représente la variation de l’indice moyen perçu 〈𝑛〉 pour différentes
profondeurs d’électrode et pour différentes tensions appliquées.
122
rétinienne.
Figure IV-3 : Simulation de l’indice des CL perçu, moyenné sur la hauteur d’une dent du réseau, par une polarisation TE dans
le cas (a) et TM dans le cas (b) et pour différentes profondeurs d’électrode et différentes tensions d’adressage.
La Figure IV-3 met en évidence un effet différent suivant la polarisation :
 Dans le cas TE, lorsque la tension est appliquée les cristaux ne sont pas totalement
réorientés, et ce indépendamment de la tension appliquée. L’éloignement de
l’électrode a pour conséquence de nécessiter une tension plus forte pour obtenir un
niveau équivalent de réorientation. Par exemple pour obtenir un indice moyen de 1,6,
une tension de 4 V est suffisante sans enterrer l’électrode, alors que pour une
profondeur de 800 nm il est nécessaire d’appliquer une tension de 7 V. L’éloignement
de l’électrode, dans le cas d’une polarisation TE, va donc impacter l’état OFF de la
structure en réduisant l’efficacité d’extinction de ce dernier. Par la suite on verra qu’il
est possible de réduire cet effet en adaptant l’indice du réseau pour réduire la
différence entre les indices des dents du réseau.
 Dans le cas TM, on observe également une réorientation partielle des CL mais l’effet
sur la structure n’est pas le même que dans le cas TE. L’impact de non uniformité
d’indice est dans ce cas observé sur le cas ON de la structure. L’éloignement de
l’électrode a pour conséquence de réduire la différence entre l’indice du réseau et celui
du CL activé. Ainsi l’extraction lors de l’activation du réseau sera réduite si l’électrode
est éloignée de la cellule.
L’éloignement de l’électrode du guide se traduit en mode TE par une dégradation de
l’effacement, et en mode TM par une dégradation de l’extraction. On en conclut que dans le
cas TE comme dans le cas TM, il est préférable d’un point de vue électrique de réduire la
profondeur à laquelle l’électrode est enterrée. Cette recommandation est en contradiction avec
la recommandation précédente, où la réduction des pertes optiques nécessitait une électrode
la plus enterrée possible. Il est donc nécessaire de faire un compromis entre les
caractéristiques optique et électronique de l’architecture.
Ma recommandation pour la mise en œuvre de l’approche par déconfinement est donc de
réaliser une électrode enterrée à 500 nm sous la cellule de CL. Du point de vue optique, cette
profondeur correspond à une distance entre l’électrode et le guide de 300 nm ce qui permet
123
rétinienne.
de conserver des pertes optiques inférieures à 1 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1. Du point de vue électronique, les
pertes de tension restent faibles ce qui permet de conserver un effet d’activation confortable
pour notre application.
Si cette recommandation n’a pas pu être mise en œuvre dans les premiers échantillons
de test du mode effacement, elle a pu être intégrée dans le prochains échantillons à venir,
notamment dans le cadre de la thèse de Kyllian Millard qui a pris la suite de l’activité de
recherche de Basile Meynard.
I.A.2 Indice du réseau pour l’approche par effacement

Comme on a pu le voir dans le cas de l’approche par effacement du réseau, en utilisant la
polarisation TE, même à l’aide de très fortes tensions, on n’observe pas un effacement total
du réseau. Du fait de la réorientation partielle des cristaux à l’interface avec le réseau, on voit
apparaitre une extraction même à l’état OFF. Pour illustrer cet effet, je simule l’orientation de
CL de 5CB, dans une cellule de 20 µm de long composé de 3 électrodes :
 Une électrode au centre sans tension appliquée, qui dans le cas de la polarisation TE
sera un point d’extraction activé ;
 Deux électrodes avec des tensions de 5 V permettant d’orienter les cristaux

perpendiculairement à la polarisation pour effacer le réseau.
La Figure IV-4 représente le résultat de cette simulation.
Figure IV-4 : Résultat de la simulation d’une cellule de CL de 1,2 µm d’épaisseur pour l’architecture par effacement du réseau
utilisée dans le cas d’une polarisation TE.
La distribution d’orientation des CL ainsi obtenue peut-être traduite en termes de

distribution d’amplitude dans le cas où l’on connait la polarisation utilisée. En effet l’orientation
des CL se traduit sous la forme d’un vecteur :
𝑁𝑥
⃗ = (𝑁𝑦 )
𝑁 (4.6)
𝑁𝑧
124
rétinienne.
En observant que la polarisation TE est uniquement orientée selon la direction y, il est

possible de déterminer l’angle entre les cristaux et la polarisation :
𝛼 = acos(𝑁𝑦 ) (4.7)
Ensuite en utilisant la formule de la biréfringence du Chapitre I on peut déduire l’indice

perçu par une telle polarisation dans la structure optique. La Figure IV-5 représente la
distribution d’indice dans la couche de CL pour une tension appliquée de 5 V sur les électrodes
des extrémités et sans tension au centre.
Figure IV-5 : Calcul de la distribution d’indice dans le cas ON avec une polarisation TE. Une tension de 5 V est appliquée sur les
électrodes des extrémités permettant la rotation des CL. On voit apparaitre un léger contraste de l’indice même dans le cas
OFF.
La Figure IV-5 montre que l’effet recherché avec les CL est partiellement atteint :
 Dans le cas ON, au centre, l’absence de tension appliquée créé bien un contraste
d’indice fort entre le superstrat et le réseau.
 Dans le cas OFF, sur les côtés, ce contraste est réduit par l’orientation verticale des
CL. Néanmoins proches du réseau, le fait que les CL ne soient réorientés que de
manière partielle cause l’apparition d’un contraste non négligeable avec l’indice du
réseau. Ce contraste non nul va causer une extraction parasite qui pourrait entrainer
des pertes dans le cas OFF.
Une solution pour réduire ces pertes consiste à augmenter la tension d’adressage comme
on a pu le voir à la Figure IV-3 (a). Une autre solution est de modifier l’indice du réseau pour
réduire la différence d’indice effectif entre les deux parties des dents du réseau. Cette
optimisation de l’indice du réseau est très dépendante de l’ancrage appliquée dans les
simulations sur la face correspondant au réseau. En pratique des tests expérimentaux
pourraient permettre d’estimer une valeur physique de la force d’ancrage d’un tel réseau. De
manière à rester le plus cohérent possible, la valeur de l’ancrage est fixée à 1. 10−4 𝑁. 𝑐𝑚−2,
valeur par défaut d’un ancrage faible. Néanmoins des tests avec un ancrage légèrement plus
faible (5.10−5 𝑁. 𝑐𝑚−2) ont permis de mettre en évidence un bien meilleur alignement de CL
125
rétinienne.
dans les réseaux d’extraction permettant de réduire la nécessité d’optimiser l’indice de ce

réseau.
La Figure IV-6 représente l’évolution des pertes de guidage dans un guide de 4,5 µm de
long pour différentes valeurs d’indices de réseau. Ces pertes de guidage sont estimées à l’aide
de simulations FDTD en propageant un mode guidé TE dans une structure à 3D constituée du
guide d’onde en 𝑆𝑖𝑁, d’une couche de CL partiellement orientée et d’un réseau de 400 nm de
période dont l’indice varie selon les simulations. En observant la distribution du champ
électrique et en la comparant au mode guidé en entrée, il est possible de déterminer la
proportion de la puissance restante dans le mode TE à la fin de la propagation. Je peux ainsi
estimer les pertes par guidage sur cette structure. Dans le cas d’une tension d’effacement de
5 V, la Figure IV-6 met en évidence un minimum des pertes par propagation pour une valeur
d’indice de réseau de 1,6278.
Figure IV-6 : Simulation des pertes de guidage dans un guide de 5 µm de long, recouvert d’un réseau et d’une couche de CL
partiellement orientés pour éteindre le réseau. On observe que les pertes évoluent en fonction de l’indice du réseau et
atteignent un minimum pour un indice de réseau de 1,6278.
La valeur d’indice optimal identifiée à la Figure IV-6 met en évidence des pertes
relativement importantes (0,86% au minimum). Une majorité de ces pertes est due à la
méthode de simulation utilisée ainsi qu’au maillage choisi pour réaliser cette optimisation. A
titre d’exemple j’ai tracé, à la Figure IV-6, les pertes obtenues sur un guide recouvert d’une
couche uniforme d’indice 1,6278 (sans la présence du réseau) dans des conditions de
simulations identiques à celles utilisées pour optimiser l’indice du réseau. En théorie cette
simulation de guide d’onde non perturbé devrait afficher une transmission totale de la
puissance (et par conséquence une perte de 0%). On observe néanmoins une perte de 0,83%.
Ces pertes proviennent en réalité de perturbations du champ électrique sur les mailles de la
simulation et de conditions aux limites imparfaites. Ainsi les pertes associées au contraste
d’indice des dents du réseau peuvent être estimées à environ 0.03% sur une distance de 4,5
µm.
Des simulations de l’extraction activée de l’approche proposées sont également réalisées
dans les modes de propagations TE et TM. Ces simulations permettent de mettre en évidence
126
rétinienne.
des transmissions du mode guidé proche de 90% lorsque l’extraction est active (92.9% pour
le mode TE et 90.7% pour le mode TM). On observe également que l’émission directive vers
le haut dans le cas du mode TE est légèrement plus élevée que dans le cas TM, (1.9% contre
0.7%). Ces résultats sont en partie liés au guide d’onde utilisés (optimisés pour une utilisation
TE) et pourrait être optimisés pour favoriser l’extraction du mode TM dans de prochains
designs.
Pour conclure, les simulations de l’extraction à l’état OFF ont permis d’identifier un
désavantage majeur à l’utilisation du mode TE avec l’approche par effacement du réseau
même si une solution a été proposée pour limiter l’impact de ce désavantage.
Dans le cas de l’utilisation de la méthode par effacement du réseau, l’indice du réseau
devra être adapté à la polarisation utilisée pour minimiser au maximum l’émission à l’état OFF.
 Dans le cas d’une polarisation TM, l’indice du réseau doit correspondre exactement à
l’indice ordinaire du CL ce qui permet un effacement total du réseau à l’état OFF.
 Dans le cas d’une polarisation TE, l’indice du réseau doit être optimisé pour compenser
le manque d’orientation des CL à l’interface avec le guide d’onde. Pour cela il est
nécessaire de réaliser des mesures permettant de déterminer la force de l’ancrage
des CL dans le réseau.
Il faut souligner qu’un avantage significatif du mode TM, en plus de permettre un
effacement total, est que l’effacement correspond à une absence de tension. Le mode de
fonctionnement nominal d’un écran de lunette informative est paradoxalement d’être éteint car
l’apport d’informations visuelles est limité en surface sur l’écran. Faire correspondre ce mode
fonctionnel à une mise sous tension comme dans le cas TE pose problème d’un point de vue
de la consommation d’énergie. Le mode TM semble donc celui qu’il faudrait privilégier.
En plus du dimensionnement réalisé dans cette partie des simulations FDTD des
architectures ont été réalisées en simulant le passage d’une onde dans une cellule de cristaux
liquide activée entre deux cellules inactives. Ces simulations permettent notamment de
montrer que les efficacités des approches proposées pourraient convenir au projet de
projection rétinienne (puissance extraite du guide proche de 10%).
I.A.3 Dimension de l’approche par effacement

La Figure IV-7 représente le dimensionnement de l’approche par effacement du réseau
après avoir pris en compte les considérations techniques de fabrication. On remarque que
l’électrode de masse a été enterrée sous le guide pour réduire les pertes dues à l’interaction
entre le mode et cette électrode. Le réseau d’extraction possède un pas de 400 nm permettant
d’être réalisé par la plupart des méthodes de lithographie du CEA. Sa hauteur est choisie à
200 nm ce qui permet de conserver un rapport de forme de 1, facilitant sa réalisation. Enfin
l’épaisseur de CL est choisie à 1,2 µm (taille minimale des espaceurs en billes de verre
disponible au CEA) ce qui permet l’utilisation de tensions d’adressage faibles. La largeur de
l’électrode n’est à l’heure actuelle pas fixée car il est nécessaire de réaliser des tests
d’efficacité de cette structure pour dimensionner des tailles d’électrodes permettant des
efficacités d’extraction en cohérence avec le projet de projection rétinienne. Dans le cadre de
127
rétinienne.
cette thèse un masque d’adressage a été réalisé avec des électrodes de taille variant de 5 µm
à 200 µm, qui permettent d’évaluer une taille d’électrode pour le dispositif.
Figure IV-7 : Représentation des dimensions envisagées pour la réalisation de la preuve de concept de l’activation utilisant
l’approche par effacement du réseau.
Comme expliqué précédemment, la nécessité d’enterrer l’électrode sous le guide d’onde

a été identifiée en seconde partie de thèse. Les échantillons disponibles dans mon travail n’ont
donc pas permis de tester l’approche par effacement du réseau en optique intégrée. Toutefois
il a été possible de tester l’effacement d’un réseau en optique espace libre, en réalisant des
réseaux de diffraction dont l’indice était égal à celui de l’indice ordinaire du CL. En étudiant les
ordres de diffraction d’un tel échantillon encapsulé dans des CL, il est possible de faire
apparaitre un effet d’effacement du réseau comme on le verra par la suite.
I.A Approche par déconfinement du mode guidé

Après avoir étudié les contraintes technologiques liées à l’approche d’activation par
effacement dans la partie précédente, j’étudie dans cette partie la seconde approche
proposée, celle par déconfinement du mode guidé.
Epaisseur de la couche de cristal liquide
Pour estimer l’épaisseur de CL nécessaire pour réaliser l’approche par déconfinement du
mode, je réalise un dimensionnement utilisant la théorie des modes couplés ainsi que la
formule d’efficacité d’un réseau de Bragg (1.13). Ainsi les valeurs d’efficacité obtenues dans
cette partie ne seront surement pas équivalentes à celles associées à des réseaux
d’extraction. Néanmoins, ces simulations ont le net avantage d’être rapides à utiliser et
présentent donc un intérêt pour réaliser un premier dimensionnement des structures.
L’utilisation de la simulation des modes couplés permet notamment de déterminer
l’épaisseur de CL nécessaire pour obtenir un contraste suffisant pour notre application. Le
contraste de la réflexion de l’approche utilisée se calcule à l’aide de la formule suivante
𝑅𝑂𝑛
𝐶= (4.8)
𝑅𝑜𝑓𝑓
128
rétinienne.
Avec 𝑅𝑂𝑛 l’intensité réfléchie dans le cas On et 𝑅𝑜𝑓𝑓 l’intensité réfléchie dans le cas OFF.
Dans le cas de l’architecture par déconfinement, les électrodes sont en configuration IPS
ainsi les CL devraient rester dans le plan du substrat. Dans ce cas l’application d’une tension
poussera les CL à s’orienter perpendiculairement aux parois des dents du réseau. Du fait de
la proximité des parois des dents du réseau (environ 200 nm dans le cas idéal) la force
nécessaire pour orienter les CL sera plus importante que précédemment.
La Figure IV-8 représente le calcul du contraste, en utilisant une résolution par la méthode
des modes couplées. Les simulations sont réalisées pour différentes distances entre le guide
et le réseau et pour différentes épaisseurs de réseau tel que représenté à la Figure IV-8 (a). Il
est à noter que les creux du réseau étant remplis de CL, l’épaisseur de la couche de CL est
donc égale à la somme de l’épaisseur du réseau et de la distance entre ce dernier et le guide.
Figure IV-8 : (a) Représentation de la structure simulée pour estimer le contraste de l’efficacité de l’activation d’un réseau de
Bragg en réflexion, fonctionnant sur le principe d’effacement du réseau. (b) Résultat de la simulation du contraste de
l’efficacité en réflexion de l’approche par déconfinement, pour différentes distances entre le guide et l’électrode et différentes
épaisseurs de réseau.
L’observation de la Figure IV-8 permet de mettre en évidence une augmentation rapide du

contraste de la réflexion avec l’épaisseur de la couche de CL. Toutefois plus le réseau
d’extraction sera éloigné de la couche de CL plus la réflexion à l’état ON sera faible. Le cas
d’un réseau de 150 nm placé à une distance de 380 nm du guide (correspondant à une
épaisseur de CL de 530 nm), permet d’obtenir un contraste de 1 :1000. Ainsi il est nécessaire
de réaliser une couche de CL d’épaisseur suffisante pour éviter d’obtenir une couche dont
l’épaisseur trop faible cause des pertes à l’état OFF.
Dans le cadre de cette thèse l’épaisseur de la couche de CL a été faite à l’aide d’espaceurs
en résine (TLER). L’homogénéité de la hauteur de ces espaceurs est optimisée à 700 nm pour
des considérations technologiques. De manière à confirmer la cohérence de l’utilisation d’une
telle épaisseur de CL, je réalise une simulation, basée sur la méthode FDTD, d’une
architecture d’extraction avec une telle épaisseur de CL. De la même manière que pour
l’approche par effacement développé précédemment, la simulation est réalisée en utilisant le
logiciel « LCD Master » pour déterminer la distribution de l’orientation des CL dans la cellule.
Cette distribution, une fois traduite en variation d’indice a été utilisée dans le logiciel de
simulation FDTD (Lumerical) pour étudier la propagation du mode guidé TE dans la structure.
129
rétinienne.
La Figure IV-9 représente l’amplitude du champ électromagnétique observé dans

l’architecture, lorsque 3 électrodes sont désactivées (électrodes au centre de la structure). Les
électrodes des extrémités sont activées permettant de confiner le mode et de réduire
l’extraction.
Figure IV-9 : Simulation de la propagation d’une mode TE dans une architecture basée sur l’utilisation de l’approche par
déconfinement pour réaliser une extraction active. Representation à l’aide d’une echelle linéaire (a) et logarithmique (b).
L’observation de la Figure IV-9 (a) en échelle linéaire met en évidence qu’une majeure
partie de l’énergie reste guidée dans le cœur du guide. L’observation en échelle logarithmique
démontre du déconfinement du mode dans la zone d’extraction (en dessous des électrodes
inactives). La puissance est alors partiellement couplée dans la zone correspondant au réseau
et extraite progressivement. Ainsi ce type de d’architecture avec une épaisseur de CL de 700
nm devrait bien permettre de réaliser une activation de l’extraction. En observant la proportion
de lumière transmisse vers le haut du substrat on peut estimer l’extraction de la lumière à
environ 3.5% (l’extraction cumulée vers le haut et le bas approchant les 7%). La proportion de
lumière restant guidée dans le guide d’onde est de 87%. Les valeurs obtenues sont donc
assez proches de l’objectif fixée toutefois seul une réalisation expérimentale pourra réellement
permettre de juger de l’efficacité de l’approche.
On observe également des effets de perturbation en dessous des électrodes activées, aux
extrémités de la structure. Ces effets sont causés par une orientation partielle des CL en
dessous des électrodes du fait des faibles champs dans ces zones. Pour diminuer cet effet il
est possible d’augmenter la tension d’activation des électrodes. Il est également possible
d’envisager l’utilisation d’une électrode enterrée sous le guide d’onde pour créer une
orientation verticale des CL. Dans le cadre de ce travail de thèse je ne réaliserai pas une telle
électrode car de même que pour l’approche par effacement cela implique la fabrication de
130
rétinienne.
nouveaux échantillons photoniques. Ainsi on s’attend à observer des pertes à l’état OFF
néanmoins l’étude d’un échantillon utilisant uniquement des électrodes IPS reste intéressante
car permet la preuve de concept de l’approche proposée.
Taille des électrodes et espacement
La taille limite de lithographie de la machine qui sera utilisée pour la fabrication des
électrodes de la structure par déconfinement est de 1 µm. On cible donc cette valeur comme
taille des électrodes d’adressage ce qui permet de limiter les zones non adressées sous les
électrodes. Concernant le choix de l’espacement entre les électrodes, il est choisi à 2,5 µm
(taille typique d’une cellule de CL) ce qui permet d’obtenir une bonne uniformité entre les
électrodes d’activation sans avoir à appliquer une tension trop grande.
La Figure IV-10 représente l’architecture dimensionnée à l’aide des résultats de
simulations concernant l’épaisseur de la cellule de CL et les spécifications des tailles et
espacements des électrodes.
Figure IV-10 : Représentation de l’architecture dimensionnée pour réaliser un test d’activation de l’extraction par
déconfinement du mode guidé.
II Architectures d’adressage
De manière à pouvoir réaliser une architecture d’adressage, basée sur les deux approches
d’activation proposées il est nécessaire de réaliser un adressage optique et un adressage
électronique. L’adressage optique permettra d’activer uniquement certains guides d’une
distribution dense tandis que l’adressage électrique permettra d’activer le phénomène
d’extraction des guides ayant été adressés.
II.A Architecture d’adressage optique

Comme expliqué précédemment, l’échantillon photonique utilisé pour réaliser la fonction
d’adressage optique provient de la thèse de Basile Meynard effectuée en recouvrement partiel
de ma propre thèse.
Cet échantillon photonique permet de réaliser un adressage optique de distribution de
guides d’onde. La Figure IV-11 (b) schématise le fonctionnement simplifié de ce circuit
131
rétinienne.
photonique. Il est composé de 32 réseaux denses de guides d’onde en Nitrure de Silicium

(SiN) sur un substrat de verre (𝑆𝑖𝑂2 ). Ces réseaux denses de guides peuvent être alimentés
de trois manières différentes :
 Une première solution est d’utiliser un réseau d’insertion principal, permettant à l’aide
de multiplexeurs 1 vers 2 (basé sur des MMI) d’alimenter toute la structure de réseaux
de guides.
 La seconde solution consiste à utiliser des coupleurs secondaires permettant d’activer
seulement certains groupes de guides d’onde grâce à l’utilisation de coupleur 3dB.
 Il est également possible de réaliser un couplage par la tranche du circuit photonique,
toutefois cette dernière méthode n’a pas pût être mise en œuvre du fait de rugosité
des flancs de l’échantillon. Des méthodes de polissage de la tranche sont à ce jour
envisagées pour pouvoir utiliser cette troisième solution d’insertion.
Figure IV-11 : (a) Représentation du masque photonique (ARB2) permettant la distribution de lumière dans des réseaux de
guide d’ondes, (b) Schématisation du fonctionnement du circuit photonique utilisé pour réaliser l’adressage optique de réseaux
de guides d’onde [117].
Le dimensionnement ainsi que le détail de fabrication de ce composant photonique ont

été statués lors de la thèse évoquée précédemment. Le mode de mise en œuvre des CL et la
conception des électrodes devront donc s’adapter à cette architecture.
132
rétinienne.
L’architecture décrite par la Figure IV-11 avait pour vocation initiale de réaliser des tests
de l’interaction directe entre une distribution de guides d’onde et une couche de matériau
holographique déposée en surface. J’ai analysé comment cette configuration pouvait
également s’appliquer à une interaction avec une couche de CL.
Des structures de tests sont également présentes sur cet échantillon pour permettre de
connaitre les caractéristiques des guides et des composants formant la structure principale.
Ces structures de tests ont notamment permis de mettre en évidence les pertes des guides
d’onde composant l’architecture. Ces pertes ont été expérimentalement évaluées à 14,3 ∓
0,14 𝑑𝐵. 𝑐𝑚−1 . Ces pertes très élevées sont attribuées à des rugosités de surface des guides
d’onde causant des pertes des modes guidés [83]. Du point de vue de l’observation ces pertes
apparaissent comme des zones très diffusantes sur la longueur du guide d’onde. La Figure
IV-12 représente une photographie du phénomène de guidage dans l’architecture d’adressage
optique dans le cas d’une insertion par le réseau de couplage principal et dans le cas d’un
réseau de couplage secondaire.
Figure IV-12 : Photographie du guidage dans le circuit d’adressage optique (a) dans le cas d’une insertion par le réseau de
couplage principal permettant d’adresser l’ensemble des guides de la structure (b) dans le cas de l’insertion par un réseau de
couplage secondaire.
Dans le cas du résultat de la Figure IV-12, l’insertion de la lumière fait apparaitre une
réflexion parasite se propageant dans le substrat et faisant apparaitre une bande lumineuse
en prolongement du plan d’incidence de la fibre d’injection. On observe, dans le cas de
l’insertion par le réseau principal, les divisions de puissance amenant à la zone des réseaux
denses. Dans le cas de l’insertion secondaire on perçoit nettement la bande de guide adressée
du fait des fortes pertes de diffusion. Idéalement tous les éléments ne devraient pas être
visibles et leur présence sur la photographie confirme la perte de puissance lors de la
propagation dans les guides.
Une thèse, réalisée par Killian MILLARD, est actuellement en cours et a pour objectif de
complexifier et d’améliorer le circuit d’adressage optique. Il prévoit notamment des réseaux de
guides distribués de manière quasi-aléatoire à l’aide d’un circuit sur deux niveaux. Le
processus de fabrication dans cette thèse est également amélioré dans l’espoir de réduire la
rugosité des flancs de guide.
133
rétinienne.
II.B Architecture des électrodes d’adressage

La seconde architecture nécessaire est une architecture d’adressage électrique
permettant d’activer localement la couche de CL. Pour cela des bandes d’adressage en ITO
permettent de paver une surface équivalente à la surface d’émission de l’architecture
d’adressage optique présentée précédemment. Cette architecture constitue le substrat
supérieur de la cellule de CL. L’application d’une tension se fera à l’aide de plots de contact
en Chrome reliés électriquement aux bandes d’activation par des pistes en ITO.
J’ai choisi de réaliser également 32 électrodes d’adressage pour obtenir un écran
d’adressage de 32x32 pixels au total. Deux zones d’adressage sont réalisées :
 Une première contenant des électrodes dont la taille varie de 8 µm à 400 µm
 Une seconde zone avec des électrodes de taille constante de 195 µm, équivalente à
la taille des distributions de guides.
Figure IV-13 : Représentation des architectures d’adressage permettant de tester les deux approches d‘activation envisagées.
(a) Pour l’approche par effacement du réseau, les électrodes sont composées de bandes en ITO reliées à des plots de contact
en Chrome. (b) Pour l’approche par déconfinement du réseau les électrodes sont constituées de peignes d’électrodes de 1 µm
espacées de 2,5 µm. Une électrode sur 2 est reliée à des plots de contact de masse permettant d’alterner la tension des
électrodes.
134
rétinienne.
La disposition des pistes d’adressage dans la zone d’émission sera différente en fonction
de la méthode d’activation utilisée :
 Dans le cas de la méthode par effacement du réseau, les électrodes sont des bandes
d’électrodes dont la largeur varie comme représenté à la Figure IV-13 (b).
 Dans le cas de la méthode par déconfinement du mode guidé, les zones d’activation
sont composées de peignes d’électrodes de 1 µm se croisant. Une électrode sur deux
est reliée aux quatre plots permettant de faire un contact à la masse tandis que le reste
des électrodes permet d’appliquer la tension.
Pour les deux approches, les électrodes sont reliées à des PADS de connections en
Chrome de 250 µm par 250 µm.
Cette architecture doit également être transparente, elle est donc réalisée sur un substrat
de verre (Verre borofloat de 700 µm d’épaisseur).
Dans le cas de la réalisation d’une activation par déconfinement du mode guidé, il est
nécessaire de réaliser des réseaux d’extraction sur le substrat d’adressage électrique. Les
réseaux sont réalisés en SiN par-dessus les électrodes en ITO. Dans le cas de la réalisation
de réseaux sur Si la résolution des réseaux peut atteindre une valeur de pas minimale de 400
nm telle que prévue précédemment. Néanmoins dans le cas de notre application les réseaux
doivent être réalisés sur des substrats de verre ce qui complique l’étape de lithographie. En
effet, du fait de la transmission du faisceau de lithographie dans le verre il est réfléchi par la
face arrière du substrat (qui est opacifiée) et cause une insolation non maitrisée de la résine.
Cela cause un étalement de la zone insolée qui dégrade la qualité des réseaux, ainsi dans le
cas de la réalisation de réseaux sur des substrats de Verre la résolution minimale conseillée
passe à 600 nm de pas (contre 400 nm sur du Si). Associé aux matériaux choisis un pas de
600 nm engendrera un angle d’émission élevé (35° dans le verre), cet angle causera une
réflexion partielle de la lumière à l’interface air/verre (réflexion de Fresnel) vers le substrat ce
qui diminuera l’efficacité du dispositif. Ainsi dans le cadre de cette thèse je choisis de réaliser
3 pas de réseaux différents, 400 nm, 500 nm et 600 nm. Les réseaux de pas inférieurs à
600nm seront potentiellement dégradés par la méthode de fabrication mais dans le cas où ils
seraient bien imprimés on observera une extraction plus adaptée à notre application.
En utilisant l’équation (1.11) il est possible d’estimer les angles d’extraction dans l’air et
dans le verre de ces différentes périodes. Ces angles sont représentés dans le tableau
suivant :
Λ = 400 𝑛𝑚 Λ = 500 𝑛𝑚 Λ = 600 𝑛𝑚
Angle d’émission dans l’aire 24° 42° 58°
Angle d’émission dans le verre 16° 27° 35°
Je favorise des réseaux de taille plus grande dans la zone d’émission (qui servira de
démonstrateur d’écran de projection actif). La Figure IV-14 représente la répartition des tailles
135
rétinienne.
de réseau au-dessus des électrodes d’activation dans le cas de la méthode par

déconfinement.
Figure IV-14 : Représentation des zones d’extraction dimensionnées dans le cas de l’approche par déconfinement du mode
guidé. Des réseaux avec des pas de 600 nm, 500 nm et 400 nm sont réalisés. On réalise également des espaceurs composés
de carrés de 15 µm par 15 µm.
Enfin de manière à réaliser une cellule de CL avec une épaisseur uniforme, je réalise un
masque pour réaliser des espaceurs en résine pour la cellule par déconfinement. Ces
espaceurs sont en périphérie de la zone d’extraction et ont pour but de fixer mécaniquement
la distance entre les deux substrats lors de l’encapsulation.
Une fois les architectures d’adressage optique et électrique réalisées il sera nécessaire
de réaliser l’encapsulation des CL entre ces deux substrats. Lors de cette étape d’assemblage
il sera nécessaire d’aligner les deux zones d’adressage de chacun des substrats. L’alignement
devra également laisser accessible les plots d’adressage électrique et les réseaux de
couplage optique. La Figure IV-15 représente l’assemblage des deux architectures
d’adressage. Cette architecture devrait permettre d’adresser à la fois électriquement et
optiquement le composant.
136
rétinienne.
Figure IV-15 : Représentation de l’alignement entre les zones d’adressage optique et les zones d’adressage électronique dans
le cas de l’approche par déconfinement du mode guidé. Lors de l’adressage il est nécessaire de laisser accessibles les points
de contact électriques ainsi que les réseaux d’insertion pour réaliser un contrôle des deux aspects du composant.
Cette partie a présenté les architectures qui ont été envisagées pendant la thèse pour
réaliser la preuve de concept de l’activation dynamique par une extraction. Comme expliqué
précédemment, seule l’architecture basée sur l’effet de déconfinement a pu être réellement
testée. La méthode par effacement du réseau à elle été testée sous la forme de réseaux de
diffraction en optique espace libre intégré. Dans la prochaine partie je détaillerai les méthodes
de caractérisation et les étapes de fabrication qui ont été mises en œuvre pour la fabrication
de l’architecture d’adressage et des réseaux d’extraction pour les deux méthodes d’activation.
III Méthodes de caractérisation

III.A Goniomètre en optique intégrée
L’outil de caractérisation principal permettant de tester le fonctionnement des approches
d’activation en optique intégrée est un goniomètre dimensionné pour l’étude de réseaux
d’architecture photonique. Une photographie du goniomètre ainsi qu’un schéma de principe
sont représentés à la Figure IV-16.
Le fonctionnement de cet outil consiste à utiliser une fibre optique pour insérer de la
lumière dans un échantillon, puis à observer le comportement du circuit à l’aide d’une caméra
ou d’un photodétecteur. L’échantillon d’observation est disposé à la verticale sur un support
en rotation, il est retenu grâce à une aspiration d’air. La rotation du support permet d’appliquer
différents angles entre la fibre et l’échantillon notamment pour tester différents angles
d’insertion dans le réseau. Le module de détection du banc peut également être mis en rotation
autour de l’échantillon pour caractériser le comportement angulaire des composants
d’extraction.
137
rétinienne.
Figure IV-16 (a) Photographie du banc de caractérisation goniométrique permettant l’étude des composants photoniques. (b)
principe de fonctionnement simplifié des rotations de l’échantillon et du module de détection (extrait de [117]).
Ce banc de caractérisation est utilisé pour l’observation du guidage dans le substrat

photonique et pour les mesures de perte de propagation. Il a servi dans ma thèse aux tests
d’extraction utilisant l’approche par déconfinement.
III.B Rétro-goniomètre en optique espace libre

Le second banc de mesure utilisé est un retro-goniomètre en optique espace libre. Ce
banc de mesure a été dimensionné pour réaliser la caractérisation d’échantillons diffusant en
retro-réflexion [122].
Le fonctionnement de ce banc de caractérisation repose sur un bras d’émission utilisant
une source laser collimatée, et d’un bras de détection composé d’un photo détecteur
diaphragmé. L’échantillon à caractériser est positionné sur un porte échantillon en rotation. Le
bras d’émission est également en rotation autour de l’échantillon permettant de modifier l’angle
d’incidence sur cet échantillon. Dans le cas de la caractérisation en réflexion, le faisceau laser
est positionné du même côté que le bras de détection.
Comme représenté à la Figure IV-17 le rétro-goniomètre a été modifié pour ajouter un
contrôle de la polarisation. Ce contrôle de la polarisation est permis par l’utilisation d’un
premier polariseur fixe en sortie de la fibre optique, d’une lame retardatrice 𝜆⁄4 permettant
d’obtenir une polarisation circulaire et d’un second polariseur (analyseur) dont l’angle peut être
modifié pour filtrer les différentes polarisations. Le polariseur en sortie de fibre permet de
maintenir un axe de polarisation fixe même si des torsions apparaissent dans les fibres au
cours des phases de rotation du banc. Le contrôle de la polarisation sera dans la suite de ce
travail de thèse essentiel pour étudier le comportement des CL dans les réseaux fabriqués.
138
rétinienne.
Figure IV-17 : (a) Photographie du banc retro-goniométrique permettant la caractérisation de réseau en transmission et en
réflexion. (b) représentation du fonctionnement du retro goniomètre en transmission.
III.C Microscope polarisant en transmission

Le dernier outil de caractérisation utilisé est un microscope polarisant en transmission
permettant d’étudier l’ancrage des CL dans les cellules réalisées. Ce type de microscope
permet de mettre en évidence les effets de biréfringence. La Figure IV-18 représente le
principe de fonctionnement simplifié d’un tel microscope. Il se compose d’un microscope
éclairé par un faisceau traversant l’échantillon, de chaque côté de l’échantillon est placé un
polariseur. L’angle de l’un des deux polariseurs peut être modifié.
Dans cette thèse j’utilise le plus fréquemment une polarisation croisée des polariseurs. La
lumière traversant le premier polariseur devient linéairement polarisée. Lors du passage par
un matériau biréfringent la polarisation de la lumière est modifiée du fait de l’orientation du
matériau, de ces indices, de la longueur d’onde et de l’épaisseur traversée. La lumière
rencontre ensuite le second polariseur (analyseur) qui va filtrer une partie de la lumière en
fonction de l’échantillon traversé. Ainsi suivant l’échantillon et la gamme spectrale de la source,
les couleurs perçues témoigneront ou non de l’orientation des CL. Les Figure IV-18 (b) et (c)
présentent deux cas d’observation de cette orientation.
 Dans le cas (b), une cellule de CL sans ancrage est observée, les CL sont orientés
aléatoirement sur les faces de la cellule causant une rotation de la polarisation sur la
majeure partie de l’échantillon, le résultat obtenu est alors coloré et non uniforme sauf
dans le point de colle (matériau non biréfringent)
139
rétinienne.
 Dans le cas (c), les CL sont alignés dans le dispositif dans le même sens que le
polariseur. La lumière incidente ne perçoit donc que l’indice extraordinaire de
l’échantillon, ce qui évite une rotation de la polarisation, expliquant que l’image
apparaisse noire sauf autour du point de colle où le régime est perturbé.
Figure IV-18 : (a) Photographie du microscope polarisant en transmission utilisé pour observer les effets d’ancrages des
cellules de CL. (b) et (c) exemple de résultats visuel pour un CL avec et sans ancrage.
IV Mise en œuvre des composants

IV.A Procédé de fabrication des électrodes
La Figure IV-19 représente les principales étapes permettant de réaliser l’architecture
d’adressage électrique pour réaliser le test des deux approches proposées. Le procédé de
fabrication est le même pour les deux approches, seul change le masque de lithographie utilisé
comme on a pu le voir précédemment. Le procédé est réalisé sur un substrat de verre (en
Borofloat) opacifié par une couche de Titane recouverte de SiN. Cette couche garantit une
compatibilité sur les équipements de salle blanche. Un dépôt d’ITO est réalisé suivit d’un recuit
sous atmosphère de 𝑁2 à 190°C pour améliorer la transparence de l’ITO. Après une
lithographie pour réaliser les électrodes d’adressage, une couche de Chrome est déposée et
lithographiée pour réaliser les plots de contact. A noter que le dépôt d’ITO comme première
étape de fabrication va contraindre les autres étapes de fabrication à des températures
relativement basses pour éviter de dégrader la transparence de l’ITO (typiquement un
maximum de 300°C).
140
rétinienne.
Figure IV-19 : Représentation des étapes de fabrication de l’architecture d’adressage électronique pour les deux approches
proposées.
Dans le cas de l’approche par effacement, la fabrication de l’électrode et des contacts sont
les seules étapes de fabrication nécessaires sur le substrat supérieur de la cellule. Le réseau
ainsi que la contre électrode reliée à la masse doivent être réalisés sur le substrat inférieur
comprenant le circuit photonique. Au contraire dans le cas de l’approche par déconfinement,
le réseau doit être fabriqué directement sur les électrodes en ITO.
IV.B Procédés de fabrication des réseaux

Dans ce travail de thèse deux méthodes de fabrication des réseaux ont été utilisées : une
première méthode utilisant des moyens de lithographie et de gravure classiques permettant
de réaliser des réseaux en 𝑆𝑖𝑁 ; une seconde méthode utilisant un processus sol-gel pour
fabriquer des réseaux avec un indice contrôlable à la fabrication.
IV.B.1 Réseau en Nitrure de Silicium

La réalisation des réseaux en SiN est menée dans les salles blanches du CEA Leti. La
Figure IV-20 représente les différentes étapes permettant la fabrication des réseaux de
diffraction pour l’approche par déconfinement du mode guidé. La fabrication est réalisée sur
le substrat d’adressage électronique avant le dépôt de Chrome pour la réalisation des pads
de connexion. Une couche de 𝑆𝑖𝑂2 de 20 nm est déposée pour assurer l’adhérence du 𝑆𝑖𝑁
sur l’ITO. Une couche de 𝑆𝑖𝑁 de 250 nm est ensuite déposée puis une étape de CMP permet
d’aplanir les défauts de surface causés par la présence des électrodes en ITO. On réalise
ensuite la lithographie et la gravure du 𝑆𝑖𝑁 avec arrêt sur le 𝑆𝑖𝑂2 . Une seconde gravure est
réalisée pour enlever les résidus de SiO2 au-dessus de l’ITO notamment dans le but de
pouvoir déposer les pads de Chrome en contact avec l’ITO qui a été décrit par les étapes
représentées à la Figure IV-19.
141
rétinienne.
Figure IV-20 : Représentation des étapes de fabrication permettant de fabriquer les réseaux en SiN par-dessus les électrodes
d’adressage en ITO, pour la démonstration de l’extraction utilisant l’approche par déconfinement du mode guidé.
La plupart des étapes de fabrication sont bien contrôlées du fait de leur fréquente
utilisation. Il a toutefois fallu réaliser des tests de gravure du SIO2 avec arrêt sur couche d’ITO,
cette étape n’étant pas habituellement réalisée. La Figure IV-21 représente des photographies
réalisées au MEB d’un réseau en Verre lui-même réalisé sur un substrat de Si recouvert d’ITO.
Les échantillons observés ont permis de déterminer les conditions de gravure permettant
l’arrêt sur l’ITO.
Figure IV-21 : Photographie MEB, de la réalisation d’une gravure de SIO2 sur un substrat de Si recouvert d’une couche d’ITO.
Le but de ces photographies est de déterminer les conditions de gravure pour obtenir un arrêt de la gravure du SiO2 sur l’ITO.
Dans le cas (a), la gravure est trop forte et l’ITO a été consommé et s’est redéposé sur les réseaux en SiO2. Dans le cas (b) la
gravure s’est arrêtée sur l’ITO.
142
rétinienne.
Dans le cas de la Figure IV-21 (a), une durée de gravure trop importante a causé une
consommation de l’ITO qui s’est redéposée par-dessus le réseau en 𝑆𝑖𝑂2 recouvrant la
couche d’anti reflet (BARC). Au contraire dans le cas de la Figure IV-21 (b) la gravure permet
de s’arrêter sur la couche d’ITO sans la consommer. Ainsi la gravure du 𝑆𝑖𝑂2 avec arrêt sur
ITO est bien contrôlée permettant d’assurer la présence des électrodes sous les réseaux en
𝑆𝑖𝑁. La plupart des réseaux seront obtenus sans dégradation notable, seuls les réseaux de
400 nm sont difficiles à obtenir dans les zones périphériques du wafer 200 mm où la
lithographie est moins précise.
Dans le cas de l’approche par effacement du réseau, il est nécessaire de réaliser un
réseau dont l’indice peut être maitrisé lors de la fabrication. Le CEA Leti ne dispose pas de
méthode pour réaliser une telle fabrication elle a donc été sous-traitée à la start-up « Solnil ».
IV.C Fabrication des réseaux de diffraction par procédé sol-gel

« Solnil » développe différentes structures sur verre en utilisant un procédé sol-gel
permettant de mouler des gels dérivés de la Silice avec des oxydes métalliques. Le procédé
de fabrication du matériau utilisé a dû être modifié pour s’adapter à notre application. Dans
cette partie je détaillerai les étapes de développement qui ont permis à Solnil d’obtenir les
réseaux utilisés dans mon travail de thèse. Dans la suite de ce document le gel de Silice utilisé
pour réaliser les réseaux sera appelé le sol-gel.
L’avantage de l’utilisation du procédé sol-gel en oxyde de métal (Al2O3) avec la technologie
Solnil pour la fabrication des réseaux est la capacité à accorder l’indice de réfraction du
matériau utilisé pour la nano-impression. De plus la méthode de nano-impression permet de
réaliser avec une grande précision des motifs de taille nanométrique et à bas coût sur des
petits échantillons.
IV.C.1 Procédé de fabrication des réseaux en sol-gel

Le procédé sol-gel consiste en l’utilisation d’un gel sous la forme liquide, qui est mis en
forme à l’aide d’un moule en matériau Silicone (Polydimethylsiloxane ou PDMS). La Figure
IV-22 représente les différentes étapes permettant de réaliser un réseau composé d’alumine
de silicate contenant 70% d’𝐴𝑙2 𝑂3 sur un substrat de verre avec un dépôt fin d’ITO.
143
rétinienne.
Figure IV-22 : Schéma des étapes permettant de réaliser la nano-impression d’un réseau en sol-gel sur un substrat de verre
recouvert d’une fine couche d’ITO.
En temps normal, les températures du second recuit de la fabrication du réseau devraient

être beaucoup plus élevées de l’ordre typiquement de (1100 °C) pour permettre la densification
de la structure imprimée. Néanmoins dans le cas de l’échantillon actif et transparent que l’on
souhaite réaliser il est nécessaire de conserver la transparence de la couche d’ITO. Des
recuits à température trop élevée pourraient réduire la transparence de cette dernière : c’est
pourquoi ici il a été décidé de travailler à des températures plus faibles, ici 300°C.
Comme le montre la Figure IV-22 le procédé de fabrication d’un réseau en sol-gel requiert
relativement peu d’étapes et peut-être réalisé rapidement. Toutefois la complexité de ce
procédé repose sur la gestion précise de l’environnement dans lequel est réalisé le réseau.
Une modification de l’humidité ou de la température peut notamment créer des bulles dans la
structure imprimée ce qui détériore significativement sa qualité optique. C’est pourquoi il est
important de réaliser les étapes de moulage sous des conditions de température et d’humidité
précises.
Un des avantages de l’utilisation du procédé sol-gel est la capacité à réaliser des
moulages sur une grande diversité de substrats sans modification du procédé. Lors du travail
de thèse il a été demandé à l’entreprise Solnil de réaliser des réseaux sur des substrats de
Verre, avec et sans ITO, ainsi que des substrats de Si également avec et sans ITO. La Figure
IV-23 montre des photographies de deux échantillons comportant des réseaux avec des pas
variant de 20 µm à 900 nm imprimés sur un substrat de Silicium et un substrat de Verre. Sur
les deux photographies, les réseaux apparaissent comme des zones colorées du fait de leurs
périodicités entrainant la diffraction de la lumière d’observation à différents angles selon la
longueur d’onde et le pas du réseau.
144
rétinienne.
Figure IV-23 : (a) et (b) Photographie de réseaux réalisés à l’aide du procédé sol-gel sur un échantillon de Silicium (a) et sur un
échantillon de verre (b), les réseaux apparaissent comme des zones colorées du fait de la diffraction de la lumière par les
périodes imprimées. En (c) on représente les pas des réseaux imprimés sur les échantillons (a) et (b).
L’impression de réseaux sur des substrats de Si est utile pour réaliser des caractérisations
à l’aide d’un Microscope Electronique à Balayage (MEB) des réseaux car l’utilisation du réseau
cristallin du Si permet de réaliser le clivage des substrats pour observer les réseaux en coupe
comme on pourra le voir par la suite. Dans un premier temps des réseaux en Silice sont
réalisés avec le procédé classique de fabrication à haute température c’est-à-dire dans des
conditions de fabrication optimales. La Figure IV-24 montre des photographies MEB d’un tel
échantillon.
Figure IV-24 : (a) et (b) image d’un échantillon de réseaux réalisés dans des conditions optimales de fabrication, (a) réseau de
pas 10 µm avec des lignes de 5 µm (b) pas de 1 µm avec des lignes de 500 nm.
Comme on peut le voir à la Figure IV-24 , l’utilisation du procédé sol-gel permet d’obtenir
des réseaux d’une grande qualité. On note toutefois la présence de quelques défauts locaux
dus à des problèmes de remplissage du moule (comme à la Figure IV-24 (a)). Toutefois, ces
défauts sont peu nombreux et la qualité des réseaux est globalement très bonne.
145
rétinienne.
IV.C.2 Adaptation du processus de fabrication du réseau

Par la suite il a été nécessaire de modifier le procédé de fabrication des réseaux pour
pouvoir réaliser des réseaux avec un indice donné en accord avec les contraintes thermiques
imposées par la présence de l’ITO. De manière à conserver une électrode transparente on
impose un bilan thermique avec une température maximale de 300°C. Les matériaux ainsi que
les solvants utilisés pour la réalisation des réseaux en sol-gel ne seront pas détaillés dans
cette thèse car ce sont des secrets de fabrication de Solnil.
Une première formule avait été réalisée mais présentait des problèmes de stabilité et de
répétabilité à faible température. En effet en utilisant des températures de recuit de 300°C, le
matériau ne pouvait pas être suffisamment densifié. Cette faible densification entrainait
l’apparition de porosités, lors de la nano-impression, se remplissant d’humidité expliquant les
problèmes de stabilité.
Une seconde formulation a été développée par Solnil et a permis d’obtenir des réseaux
avec une meilleure stabilité grâce à la réduction de la taille des porosités dans le matériau.
Cette réduction à des tailles inférieures à 2 nm a permis d’empêcher la présence d’humidité
dans le matériau. La présence des porosités, même de petites tailles a toutefois causé une
diminution de l’indice perçu du matériau car les vides dans les structures impliquaient une
réduction de l’indice moyen des structures. Ainsi l’indice du matériau a été augmenté de
manière à compenser la baisse d’indice due aux vides dans les porosités. La Figure IV-25
représente une mesure élispométrique du matériau obtenu. On peut voir que l’indice à 532 nm
est 1,5439, donc très proche de la valeur souhaitée (1,542).
Figure IV-25 : Mesure de l’isométrique réalisée sur un échantillon de sol-gel dont l’indice a été optimisé pour correspondre à
l’indice ordinaire du 5CB.
La formule développée est donc mise à profit pour réaliser des réseaux sur des substrats
de verre et de Si recouverts d’une fine couche d’ITO. La Figure IV-26 représente des
photographies au MEB d’un réseau réalisé avec la formule. La température utilisée pour le
procédé est de 300°C ce qui permet de conserver une forte transparence de la couche d’ITO.
On peut noter plusieurs différences avec les réseaux obtenus à la Figure IV-24 :
 Les réseaux sont moins réguliers et des défauts apparaissent à leurs surfaces.
146
rétinienne.
 On observe également une diminution de la hauteur des réseaux, mesurée ici à 200
nm en comparaison de la première impression, mesurée à 300 nm. Cette diminution
peut être attribuée à la porosité de l’ITO causant une absorption partielle du sol-gel
lors de l’impression.
 Enfin le clivage du substrat permet de mettre en évidence des non-uniformités à

l’intérieur des réseaux qui pourraient causer des défauts optiques (pertes).
Figure IV-26 : Photographie MEB de réseaux avec un indice optimisé et un procédé de fabrication avec des températures de
300°C. (a) l’observation des réseaux montre des défauts à la surface de ces derniers. Une observation de la coupe du réseau
(b) montre la présence de l’ITO sous le réseau (couche clair) et met en évidence des défauts d’uniformité à l’intérieur du réseau.
Ainsi les réseaux obtenus permettent bien d’approcher de manière précise l’indice
ordinaire du CL choisi. De plus il a été possible de réaliser des réseaux sur un substrat d’ITO
en respectant les contraintes thermiques de ce dernier. Toutefois la diminution des
températures de recuit a causé une diminution de la qualité des réseaux. Une perspective de
recherche pour le projet serait de réaliser des réseaux à une température plus élevée pour
trouver un compromis entre la transparence de l’ITO et la qualité optique du réseau.
I.B Réalisation des cellules de cristaux liquides

Après avoir réalisé l’architecture d’adressage électronique, ainsi que les réseaux
d’extraction et l’architecture photonique étant déjà disponible (dans le cas de l’approche par
déconfinement), il est nécessaire de s’intéresser à l’encapsulation des CL entre les deux
substrats. On distingue quatre étapes pour réaliser cette encapsulation : la mise en œuvre de
l’ancrage, la réalisation du cordon de colle, le remplissage des CL et enfin le scellement de la
cellule. Ces étapes sont représentées à la Figure IV-27.
147
rétinienne.
Figure IV-27 : Représentation des étapes permettant le montage des cellules de CL permettant la démonstration du
fonctionnement des approches d’activation de l’extraction dimensionnées.
La plupart des étapes présentées à la Figure IV-27 sont maitrisées au CEA Leti ; toutefois
dans le cadre de l’utilisation de substrat photonique j’ai mené deux études pour vérifier la
faisabilité des composants :
 L’étude de l’ancrage dans le composant.
 L’étude du cordon de colle dans le cas d’une cellule de CL fine.
IV.C.3 Ancrage des cristaux liquides

Comme expliqué à la Figure IV-27 dans le cadre des échantillons fabriqués, j’ai réalisé 3
types d’ancrages : des ancrages par frottement de polyamide, par frottement de substrats et
des ancrages dans les réseaux de diffraction et d’extraction. Il a été nécessaire de réaliser une
observation de ces ancrages pour témoigner de leurs bons fonctionnements.
Ancrage des cristaux liquide dans les réseaux

Pour étudier l’ancrage des CL dans des réseaux j’observe des cellules de CL avec une
des faces de la cellule recouverte d’un réseau. J’utilise les réseaux en sol-gel, avec un indice
modifié, réalisés sur verre et réalisés sur un substrat d’ITO. Ces réseaux ont des pas allant de
20 µm à 920 nm et des hauteurs de 300 nm dans le cas du substrat de verre et de 200 nm
dans le cas du substrat d’ITO. La partie supérieure de la cellule est quant à elle un substrat de
verre recouvert de polymide frotté dans la direction parallèle au substrat.
La Figure IV-28 représente des photographies des échantillons, réalisées à l’aide du
microscope polarisant en transmission.
148
rétinienne.
Figure IV-28 : Photographies au microscope polarisant en transmission en croisant les deux polariseurs, dans le cas d’une
cellule de CL comportant des réseaux en sol-gel réalisée sur un substrat de verre (a) et sur un substrat de verre recouvert de
40 nm d’ITO (b).
La Figure IV-28 met en évidence un comportement différent des deux échantillons suivant
les substrats utilisés :
 Dans le cas du substrat en verre, les réseaux dans la cellule apparaissent sombres
indépendamment de leurs pas et de leurs positions. Cela indique que les cristaux sont
ancrés dans le sens des réseaux
 Dans le cas du substrat recouvert d’ITO, seul un réseau apparait sombre, ce réseau a
un pas de 1,5 µm et un facteur de forme de 50%. Les autres réseaux apparaissent
non uniformes et on observe un dégradé des réseaux en fonction de leurs positions.
Bien qu’encapsulés, certains réseaux (tout à gauche de l’image) avec de grands pas
ne sont quasiment pas visibles. Les réseaux du centre avec des pas allant de 940 nm
à 2 µm apparaissent partiellement visibles mais on observe une forte non-homogénéité
démontrant d’un mauvais ancrage dans les réseaux
Après une discussion avec Solnil, le défaut d’ancrage dans le cas d’une impression sur un
substrat d’ITO peut s’expliquer par la mauvaise adhérence observée lors de l’impression sur
ce matériau causant des inhomogénéités lors de l’étape de démoulage. Malgré l’ancrage
infructueux de ces CL dans les réseaux sur ITO, il sera possible d’activer l’effacement de ces
réseaux en orientant verticalement les CL dans la cellule à l’aide d’une tension.
Dans le cas de l’approche par effacement, les réseaux seront réalisés sur le substrat
photonique et l’électrode enterrée sous le verre (loin du guide). Ainsi le matériau où sera
déposé le composant sera du 𝑆𝑖𝑂2 ce qui permettra d’obtenir un ancrage semblable à celui
des réseaux de la Figure IV-28 (a). Dans le cadre de cette thèse de tels échantillons n’ont pas
pu être étudiés ; toutefois les échantillons de la Figure IV-28 ont été étudiés en transmission
comme on le verra dans la partie V de ce Chapitre.
Ancrage sur le réseau photonique pour l’approche par déconfinement
Dans un second temps j’ai observé l’ancrage des CL au-dessus du substrat photonique.
Dans le cas idéal, l’ancrage devait être réalisé en frottant simplement le substrat photonique à
l’aide d’un tissu spécialement prévu pour réaliser des ancrages. J’ai donc réalisé une première
149
rétinienne.
cellule en frottant simplement le composant photonique et en encapsulant à l’aide du réseau

par déconfinement. L’observation au microscope polarisant en transmission permet d’observer
la Figure IV-29 (a).
Figure IV-29 : (a) Photographie au microscope polarisant en transmission d’une cellule de CL dont l’une des faces est un
échantillon photonique frotté pour obtenir un ancrage perpendiculaire aux guides. L’autre face est l’échantillon d’adressage
électronique avec les réseaux d’extraction (b) Photographie d’un échantillon identique mais en réalisant un dépôt de polymide
avant le frottement.
L’observation de la Figure IV-29 (a) met clairement en évidence l’apparition des réseaux
de guide comme impactant l’ancrage des CL. Plus précisément on voit que les réseaux de
guides apparaissent lumineux en observation avec les polariseurs croisés. Cela indique que
les CL sont orientés dans le sens des guides donc dans le sens perpendiculaire au frottement
appliqué. Néanmoins les réseaux de guides devraient normalement être enterrés sous une
fine couche de verre qui a été polie par CMP : il ne devrait pas y avoir d’impact de ces réseaux
sur l’ancrage des CL.
Une explication possible à cet effet serait que le couche d’encapsulation du réseau
photonique aurait été trop fine et que lors de l’étape de polissage l’encapsulation soit
totalement consommée. Cette hypothèse est probable car une étude de l’étape de polissage
a démontré que les échantillons avaient été sûr-gravés d’environ 18 nm. L’épaisseur
d’encapsulant étant spécifiée à 20 nm, il est possible que sur certaines puces du wafer les
guides ne soient plus encapsulés. Du fait d’une différence des résistances mécaniques du SiN
et du SiO2, la sur-gravure aurait pu causer l’apparition d’une structuration de surface
expliquant l’ancrage des CL dans le sens des réseaux.
Pour remédier à ce problème un second échantillon a été réalisé en déposant une couche
de 50 nm de polymide avant de réaliser le frottement d’ancrage. L’échantillon obtenu est
observé au microscope polarisant et on observe le résultat de la Figure IV-29 (b). On ne voit
plus apparaitre les réseaux de guides. Seuls les réseaux d’extraction sur la face de
l’architecture d’adressage électrique apparaissent en sombre indiquant un ancrage réussi
dans la structure.
150
rétinienne.
IV.C.4 Cordons de colle

Dans le cadre de la réalisation d’échantillons utilisant l’approche par déconfinement du
mode guidé, on a pu voir que l’épaisseur de la cellule était plus fine que celle classiquement
utilisée dans les cellules de CL. C’est pour cela que des espaceurs en résine durcie (utilisant
la résine TLER durcie grâce à une étape de recuit) sont nécessaires.
La gestion de cellules de faible épaisseur (< 1µm) est complexe car il est nécessaire
d’utiliser une colle assez fluide pour ne pas créer de contrainte mécanique qui pourrait causer
une augmentation de l’épaisseur de la cellule. Mais il est également nécessaire d’utiliser une
colle pouvant être utilisée avec les CL. Enfin il faut contrôler l’épaisseur de colle déposée pour
éviter un étalement de la colle sur les zones actives lors de l’encapsulation.
Nous avons testé plusieurs colles pour réaliser les points de colle, notamment une colle
UV, une colle thermique non fluide utilisée habituellement pour les cellules de CL et enfin une
colle optique thermique fluide (n°360 de Epoxytech). Ces essais ont été réalisés sur des
substrats de Si, où des motifs d’espaceurs de 700 nm ont été réalisés. L’utilisation de substrat
en Silicium permet d’utiliser les interférences de la lumière visible entre les deux faisceaux
réfléchis sur les interfaces de la lame d’air pour estimer son épaisseur. Les détails théoriques
de cette méthode de caractérisation peuvent être trouvées en ANNEXE A.2. Pour la
compréhension de cette partie il est nécessaire d’observer que le spectre réfléchi dépendra
de l’épaisseur de la cellule. La couleur théorique observée en fonction de l’épaisseur de la
cellule est représentée à la Figure IV-30 (a).
L’utilisation d’une colle peu fluide a vite été écartée car créant des épaisseurs trop grandes
du fait de la difficulté à étaler la colle lors de l’encapsulation. La colle UV a également été mise
de côté du fait de la difficulté à presser la cellule mécaniquement tout en insolant efficacement
les points de colle. Enfin la colle thermique fluide a permis d’obtenir des résultats intéressants :
Dans le cas d’une dispense de la colle à la main, on observe le résultat observé à la Figure
IV-30 (b). On observe que les points de colle se sont étalés et ont quasi-totalement recouvert
la zone utile. J’ai donc réalisé d’autres échantillons en utilisant une dispense automatique
(temps-pression) qui m’a permis d’obtenir des épaisseurs de cellule comme celles de la Figure
IV-30 (c). On voit que les couleurs observées correspondent à une cellule d’une épaisseur
d’environ 400 nm au centre et avoisinant les 700 nm au niveau des zones avec des espaceurs.
Figure IV-30 : (a) Résultat de l’étude théorique de l’évolution de la couleur observée pour différentes épaisseurs de cellule
remplie d’air, (b) et (c) Observation au microscope d’une cellule, réalisée à l’aide de points de colle thermique fluide (n°360
Epoxytech). Dans le cas d’une dispense à la main (b) et d’une dispense automatique temps-pression (c)
151
rétinienne.
L’utilisation d’une colle fluide a permis d’obtenir une cellule active fonctionnelle avec une
faible épaisseur. Il est à noter que les inhomogénéités d’épaisseur sont dues à un bombement
de la cellule. Lors du remplissage par des CL ce bombement devrait être réduit, mais risque
de ne pas totalement disparaitre. Une solution pour réduire ces inhomogénéités serait de
réaliser des espaceurs dans un matériau plus résistant que la résine utilisée ce qui permettrait
d’éviter les inhomogénéités dues aux espaceurs se compressant sur les bords de la cellule,
et également de réaliser quelques motifs d’espaceur au centre de la cellule afin d’éviter son
affaissement.
Dans le cas de la preuve de concept réalisé ici on conservera cette méthode de points de
colle.
IV.C.5 Réalisation des contacts électriques

Après le remplissage des CL, effectué par capillarité, et le scellement de la cellule à l’aide
d’une colle époxy thermique, il a été nécessaire de réaliser des contacts électriques des
échantillons. Nous avons réalisé avec Salaheddine (un stagiaire de 3ème année d’école
d’ingénieur que j’ai encadré en fin de thèse) deux types d’échantillons :
 Un échantillon de diffraction en optique à espace libre, utilisant des réseaux sol-gel sur
ITO. Pour cet échantillon, les contacts sont réalisés à l’aide d’un scotch conducteur
déposé sur chacune des faces, sur lesquelles sont repris des contacts électriques par
une soudure en étain ;
 Un échantillon d’extraction exploitant l’approche de déconfinement des réseaux pour

extraire de la lumière depuis les guides d’onde. Pour cet échantillon les contacts sont
réalisés à l’aide d’une époxy conductrice à base d’argent déposée sur les plots de
contact et reliée à une carte PCB de contacts électriques.
Figure IV-31 : Photographies des contacts électriques réalisées sur les cellules après remplissage, (a) échantillon de diffraction
en optique à espace libre activable pour le test de l’effacement des réseaux. (b) échantillon d’extraction en optique intégrée
pour le test de l’approche par déconfinement du mode guidé.
V Test de l’effacement des réseaux

Comme expliqué précédemment, je n’ai pas pu évaluer expérimentalement l’approche par
effacement du réseau sur circuit de photonique du fait des fortes pertes de propagation dans
les guides.
152
rétinienne.
L’effet d’effacement du réseau a par conséquent été étudié en transmission en espace

libre avec différents pas de réseaux. Dans cette partie je présente tout d’abord une étude
théorique des effets de diffraction d’un réseau de phase, puis je compare ces résultats à l’étude
expérimentale d’un réseau de phase encapsulé dans des liquides d’indice. Enfin je teste les
réseaux encapsulés dans un CL pour observer leur effacement sous tension électrique.
V.A Théorie de la diffraction par un réseau de phase en transmission

L’étude d’un réseau de phase en transmission (en optique à espace libre) peut être menée
à l’aide de la théorie de Fourier [46]. Un réseau de phase étant un objet possédant une fonction
de transmission 𝑡(𝑥, 𝑦) tel que
𝑗2𝜋
𝑡(𝑥, 𝑦) = exp (− 𝑟(𝑥, 𝑦)) (4.9)
𝜆
Avec 𝑟(𝑥, 𝑦) une fonction traduisant le retard de l’onde traversant le réseau en un point
(𝑥, 𝑦). Dans le cas de l’étude d’un réseau à 1D, la fonction 𝑟(𝑥, 𝑦) ne dépendra que d’une
coordonnée de l’espace (ici 𝑥) ainsi :
𝑟(𝑥, 𝑦) = 𝑟(𝑥) (4.10)
Dans le cas particulier d’un réseau périodique, tel que celui représenté à la Figure IV-32,
de période 𝑎, de rapport cyclique F et de différence de marche entre les dents 𝑟𝑜 . La fonction
𝑟(𝑥) peut s’écrire
𝑁⁄2
𝑟(𝑥) = ∑ 𝑟0 . Π𝐹.Λ (𝑥 − Λ𝑛) (4.11)

𝑛=−𝑁⁄2
Avec Π𝑎 la fonction porte de largeur 𝑎 et 𝑁 le nombre de périodes comprise dans le réseau.
Figure IV-32 : Représentation de la fonction traduisant le retard de la phase en fonction de la position x dans le cas d’un réseau
de phase.
Dans le cas où une onde plane traverse cet échantillon en incidence normale, l’intensité
en champ lointain (à une distance 𝑧) sera donnée par la fonction :
1 2 𝑥
𝐼(𝑥) = 𝜆2 𝑧2 |𝑇𝐹(t(x))| Évaluée en 𝜈𝑥 = 𝜆𝑧 (4.12)
Dans notre cas d’application la différence de marche entre les dents du réseau sera liée
à la différence d’indice (notée Δ𝑛) entre les dents du réseau en sol-gel et le matériau
encapsulant ce réseau, ainsi que de l’épaisseur du réseau noté 𝑒.
153
rétinienne.
𝑟0 = 𝑒. Δ𝑛 (4.13)
La Figure IV-33 représente un exemple du calcul de figure de diffraction dans le cas d’un
échantillon avec un retard tel que 𝑟0 = 𝜆/4, avec un pas de 10 µm et un rapport cyclique de
50%. Cette méthode de calcul me permet par la suite de caractériser l’effacement du réseau
en diffraction.
Figure IV-33 : Exemple de résultat du calcul de la figure de diffraction obtenu lors de l’observation d’un réseau de phase
périodique avec les caractéristiques données, dans le cas de l’observation avec une longueur d’onde 𝜆 = 519 𝑛𝑚.
De manière à caractériser le réseau on introduit les notions d’efficacité de diffraction

relative des ordres de diffractions (noté 𝜂𝑚 avec 𝑚 le numéro de l’ordre considéré) par rapport
à l’ordre 0 défini tel que :
𝑃𝑚
𝜂𝑚 = Où 𝑚 ∈ ℤ (4.14)
𝑃0
Avec 𝑃𝑚 la puissance dans l’amplitude de l’ordre 𝑚 et 𝑃0 l’amplitude de l’ordre 0.
Dans le cadre de l’étude des réseaux je m’intéresserai tout particulièrement à l’efficacité

de diffraction de l’ordre 1. Cette efficacité sera observée en fonction de la différence d’indice
entre le réseau et son encapsulation ainsi qu’en fonction de la hauteur du réseau.
Avant l’encapsulation par des CL, les échantillons avec des réseaux en sol-gel à indice
fixé (proche de l’indice ordinaire du 5CB) ont été testés en transmission à l’aide du banc de
mesure goniométrique en espace libre représenté à la Figure IV-17. Pour réaliser ces tests les
réseaux sont encapsulés à l’aide de liquides d’indice (liquides dont l’indice est spécifié par un
constructeur, ici Cargille). On observe alors l’évolution de la diffraction de l’ordre 1 en fonction
des indices des liquides encapsulant. Ces indices sont choisis proches de l’indice du sol-gel
(𝑛𝑠𝑜𝑙−𝑔𝑒𝑙 = 1.542)pour pouvoir observer l’effacement du réseau en transmission.
La Figure IV-34 représente les résultats des mesures de l’efficacité de diffraction du

réseau de période 1 µm pour chacun des substrats de dépôt (avec et sans ITO). Ces résultats
sont comparés à des courbes obtenues en simulant la figure de diffraction à l’aide de l’équation
(4.12).
154
rétinienne.
Figure IV-34 : Mesures de l’efficacité de la diffraction (en espace libre) relative de l’ordre 1 en encapsulant les réseaux en sol-
gel dans des liquides d’indice permettant d’effacer l’effet de diffraction, comparaison avec les valeurs théoriques pour
différentes épaisseurs de réseau. (a) Dans le cas de réseaux réalisés sur un substrat de verre. (b) Dans le cas de réseau réalisé
sur substrat de Verre recouvert de 40 nm d’ITO.
La Figure IV-34 valide le principe de l’extinction du réseau de diffraction, lorsque l’indice

de l’encapsulant se rapproche de celui du réseau dans une configuration en espace libre (la
configuration en espace intégrée ne pouvant pas être testée). On observe une différence dans
les mesures réalisées sur Verre et sur ITO. Dans le cas de la mesure sur verre, les mesures
correspondent à un réseau d’une épaisseur d’environ 300 nm. Dans le cas du réseau sur ITO
la mesure indique un fonctionnement correspondant à une épaisseur de 200 nm. Ces valeurs
concordent à celles évoquées plus tôt dans ce Chapitre confirmant la différence entre les deux
échantillons.
Nous avons également réalisé des mesures sur un échantillon avec des pas de réseaux
plus faibles (de 1 µm à 200 nm). Mais les pas trop petits de ces échantillons ont rendu
complexe l’observation de l’effet d’effacement notamment du fait des forts angles de
diffractions de ces petits pas qui causent une réduction du flux pouvant être observé.
V.B Test d’un effacement en polarisation avec cristaux liquides

Après avoir testé l’effet d’effacement en modifiant la nature de l’encapsulant on réalise le
remplissage des réseaux tel qu’il a été décrit précédemment. Une fois l’échantillon remplit, il
est possible de réaliser un test d’effacement passif du réseau par les CL. Pour cela il suffit de
modifier la polarisation du faisceau incident (noté 𝛼). On identifie deux cas de fonctionnement
extrêmes :
 Le cas où la polarisation est parallèle au réseau (𝛼 = 0°, appelée polarisation TE).

Alors dans ce cas si les CL sont bien alignés dans les réseaux, la lumière perçoit un
indice extraordinaire, donc un fort contraste d’indice entre les dents du réseau ;
 Le cas où la polarisation est perpendiculaire au réseau (𝛼 = 90°, appelée polarisation

TM). Dans ce cas la lumière perçoit un indice ordinaire causant un effacement du
réseau.
Cette mesure permet également de confirmer ou non le bon ancrage des CL dans les
réseaux. Dans le cas où l’efficacité de diffraction n’est pas maximum à l’état TE et minimum à
155
rétinienne.
l’état TM, les CL sont orientés autrement que dans les réseaux (soit de manière ordonnée
dans une autre direction, soit de manière aléatoire).
La Figure IV-35 représente l’évolution de l’efficacité de diffraction en fonction de l’angle
formé entre la polarisation et le réseau. Cette mesure est réalisée pour l’échantillon sur verre
pour plusieurs tailles de réseau (Figure IV-35 (a)). On réalise également une mesure identique
sur l’échantillon réalisé sur ITO (Figure IV-35 (b))
Figure IV-35 : Mesures de l’efficacité de la diffraction relative de l’ordre 1 en encapsulant les réseaux en sol-gel avec des CL, la
rotation de la polarisation permet d’adresser différents indices permettant d’effacer l’effet de diffraction. (a) Dans le cas de
réseaux réalisés sur un substrat de verre l’effet d’effacement est bien observé. (b) Dans le cas de réseau réalisé sur substrat
de Verre recouvert de 40 nm d’ITO l’ancrage aléatoire des cristaux liquide perturbe l’effet.
La Figure IV-35 (a) met en évidence une différence d’efficacité des réseaux suivant leurs
pas. Cette différence d’efficacité s’observe également en simulation et s’explique par la
différence de rapport entre le pas et la hauteur des réseaux de phase étudié ici. On note
également le fonctionnement de l’effacement dans le cas de l’utilisation des réseaux sur
substrat de verre. On peut voir qu’indépendamment de leurs périodes, l’ensemble des réseaux
sont effacés lorsque la polarisation passe de TE à TM. Au contraire dans le cas de l’échantillon
sur ITO (Figure IV-35 (b)), on observe que les deux réseaux ont des comportements très
différents, malgré leurs pas proches :
 Tout d’abord, on peut remarquer que la position de leurs minimum et maximum ne

correspond pas avec les polarisations TE et TM et ne sont pas les mêmes au sein de
l’échantillon.
 De plus on remarque que l’amplitude de variation de l’efficacité de diffraction est bien

plus faible que dans le cas où les CL sont ancrés correctement. Cela indique que les
CL sont ancrés de manière aléatoire au sein d’un réseau ce qui cause la perception
d’un indice moyen par le faisceau diffracté entrainant cette baisse de variation.
De même que les observations d’ancrages qui avaient été réalisées à l’aide du microscope
polarisant ; on observe un très bon fonctionnement du réseau en sol-gel dans le cas où ce
dernier est réalisé sur un substrat de verre. Néanmoins dans le cas de la réalisation sur un
substrat d’ITO on voit de nouveau apparaitre des effets de défauts d’alignement qui réduisent
les effets de diffraction observés. Ces défauts pourraient être liés à la présence des non-
156
rétinienne.
uniformités à l’intérieur et sur les réseaux observés à la Figure IV-26 causant des orientations
anarchiques des CL à l’interface avec le réseau.
V.C Test de l’activation de l’effacement des réseaux de diffraction

La mesure d’activation de l’effacement consiste à utiliser la couche d’ITO sur laquelle ont
été réalisés les réseaux en sol-gel pour appliquer une tension à la cellule de CL. Ainsi comme
schématisé à la Figure IV-36, lors de l’application d’une tension les CL s’orienteront
verticalement dans le réseau et le contraste d’indice devrait être diminué réduisant l’efficacité
du réseau. Cet effet dépend en théorie de la polarisation, car dans le cas TM, les CL sont
toujours perpendiculaires à la polarisation donc il n’y a pas de diminution du contraste.
Dans le cas de cette mesure on observe le réseau de 1 µm de pas en appliquant une
tension alternative de 10 kHz dont l’amplitude est contrôlée. J’utilise ici une tension alternative
pour éviter les phénomènes de migration des CL dans la cellule.
Figure IV-36 : (a) Représentation schématique de l’activation électrique de l’effacement du réseau de diffraction. Résultat
expérimental de l’évolution de l’efficacité de diffraction en fonction de la tension appliquée pour un réseau de 1 µm de période
réalisé en sol-gel sur un substrat d’ITO.
On note une efficacité de la diffraction en transmission plus faible que dans le cas passif
(observé à la Figure IV-35 (a)) et cela même sans tension appliquée, cela s’explique par la
présence de la couche d’ITO qui comme observé à la Figure IV-35 (b) dégrade l’effet de
diffraction.
La Figure IV-36 confirme la possibilité d’effacer le réseau électriquement :
 Dans le cas de l’utilisation de la polarisation TE, l’efficacité du réseau décroit très

rapidement avant d’atteindre une valeur de saturation. A cette valeur le réseau n’est
pas totalement éteint et l’augmentation de la tension ne semble pas permettre de finir
d’effacer le réseau.
 Dans le cas de la polarisation TM on observe également un effacement du réseau de

diffraction alors qu’il ne devrait pas y avoir d’effet de réseau indépendamment de la
tension appliquée. Ici encore on observe probablement l’effet du mauvais ancrage des
CL à l’équilibre. Concernant l’évolution de l’effacement on observe que l’extinction du
157
rétinienne.
réseau est moins rapide, que dans le cas TE. Cet effet est difficile à justifier néanmoins
il pourrait être dû à un ancrage global des CL plus fort dans une certaine direction du
réseau.
Pour conclure concernant les mesures sur l’approche par effacement du réseau, on a pu
démontrer la réalisation de réseaux en sol-gel dont l’indice optique peut être modifié à la
fabrication pour être accordé à celui d’un CL. La fabrication d’un tel réseau en présence d’ITO
s’est avéré complexe du fait de la nécessité de ne pas dépasser un bilan thermique de 300°C.
Néanmoins l’adaptation du procédé a permis de réaliser des réseaux avec un indice très
précis. Les mesures d’effacement du réseau en polarisation ont montré une capacité nette à
effacer un réseau réalisé sur un substrat de verre. Toutefois le passage à une impression
directement sur l’ITO a posé des problèmes de stabilité et de qualité de la surface du sol-gel.
Ces défauts ont entrainé des effets sur l’alignement des CL dans le réseau causant une perte
de l’effet d’effacement du réseau. Enfin des mesures sous tension ont permis de montrer
l’intérêt de l’approche par effacement pour réaliser une fonction photonique active.
VI Test des cellules par déconfinement

Contrairement à la méthode par effacement du réseau, la méthode par dé-confirment du
réseau a pu être réalisée sous forme de brique d’activation sur PIC. Dans cette partie je
présente quelques résultats concernant l’interaction entre le réseau de guides d’ondes et la
couche de CL.
VI.A Test de l’adressage électrique des cellules

Une première étape de test préalable à l’extraction depuis un guide d’onde est le test des
électrodes d’activation. Pour cela on observe au microscope polarisant en transmission la
cellule réalisée en appliquant une tension alternative de 10 kHz de fréquence sur les contacts
réalisés. A la Figure IV-37, l’application de la tension sur différents contacts électriques de la
cellule permet de laisser passer la lumière provenant de zones activées. Ainsi on confirme que
les contacts sont bien réalisés ce qui rend possible l’adressage de l’interaction entre les guides
d’onde et les CL
Figure IV-37 : Photographie sous microscope polarisant en transmission de la réponse en tension d’une cellule par dé
confinement du mode guidé pour une fréquence d’activation de 10 kHz.
158
rétinienne.
La partie inférieure de la Figure IV-37 met en évidence l’existence d’une tension seuil en
dessous de laquelle la cellule ne s’active pas (ici environ 6V). Cette tension de seuil est prise
en compte dans l’activation de l’effet photonique dans la partie suivante.
VI.B Mesure de déconfinement

La mesure de l’extraction active de la lumière s’avère complexe. Du fait des réflexions
parasites ainsi que des pertes de propagation déjà observées à la Figure IV-12, le signal utile
de l’extraction est rapidement bruité. La Figure IV-38 (a) montre une photographie de
l’échantillon lors de la mesure. On peut voir que, aux pertes déjà évoquées viennent s’ajouter
des pertes dues à la perturbation induite par la présence du cordon de colle et du substrat
d’adressage électrique. Le cumul de toutes ces pertes cause l’apparition d’un halo tout autour
de l’échantillon et plus particulièrement autour de la zone d’extraction.
Figure IV-38 : (a) Photographie de l’échantillon d’extraction par approche de déconfinement du mode guidé, les pertes causent
un halo autour de l’échantillon et autour de la zone d’extraction, (b) Réalisation de la mesure de l’activation du déconfinement.
Lors de l’application d’une tension, les CL s’orientent de manière à confiner le mode et à réduire les interactions avec le réseau.
Malgré les pertes rendant l’observation compliquée, nous avons réalisé une mesure de
l’extraction de la lumière. Lors de l’adressage d’un guide d’onde, on n’observe pas d’extraction
directive de la lumière projetée. Seules sont visibles des pertes par diffusion ; néanmoins lors
de l’activation de la tension on observe une nette diminution de la diffusion dans la zone
correspondant à l’intersection entre les guides adressés et l’électrode activée.
La Figure IV-39 représente la soustraction de l’état ON à l’état OFF obtenue lors de la
mesure représentée à la Figure IV-38. On ajoute à cette mesure les délimitations du réseau
de guides d’ondes adressés ainsi que les délimitations des électrodes activées pour la mesure.
159
rétinienne.
Figure IV-39 : Représentation de la soustraction de l’état ON à l’état OFF lors de la mesure d’extraction active en utilisant
l’approche par déconfinement du mode guidé.
La Figure IV-39 nous a permis de mettre en évidence une interaction entre la distribution
de guides d’ondes et la couche de CL pouvant être modulée de manière électrique. Toutefois
la caractérisation de cette extraction n’a pas été menée plus loin, à cause des pertes ainsi que
d’un manque de temps en fin de thèse.
On envisage deux interprétations possibles de l’effet mis en évidence. La première
possibilité est celle qui avait été envisagée lors du dimensionnement de l’architecture, c’est-à-
dire un déconfinement du mode guidé dans le guide 1D vers le réseau permettant une
extraction. La seconde possibilité est une diffusion du mode guidé lors de l’interaction avec la
couche de CL comme proposé par A. Héliot [111]. Cette interaction serait également modulée
par le confinement du mode dans le guide et par la modification de l’orientation des CL. La
discrimination d’un effet de l’autre devrait pouvoir âtre réalisé en observant le champ lointain
émit par le dispositif. Toutefois le bruit créé pendant la mesure rend difficile une telle mesure.
Plusieurs éléments pourraient être améliorés pour observer plus précisément le
fonctionnement de l’approche par déconfinement :
 Tout d’abord, l’utilisation d’un nouveau substrat photonique avec une encapsulation
légèrement plus grande aurait permis d’éviter les problèmes d’ancrage des cristaux
sur les guides d’ondes. Cela aurait évité de déposer une couche de polymide créant
potentiellement des pertes.
 Ensuite la fabrication de guide d’onde avec des méthodes permettant de réduire les
pertes par propagation permettrait de mieux observer les effets d’activation
 Enfin le dimensionnement d’un nouveau dispositif photonique dont les réseaux

d’insertion ne seraient pas dirigés vers la zone d’extraction permettrait de réduire les
effets des réflexions parasites. On pourrait par exemple réaliser des virages à 90°
160
rétinienne.
après l’insertion pour éviter que ces réflexions soient présentes sur les zones
d’extractions.
 Il serait également judicieux de développer des moyens d’encapsulation plus robustes

pour limiter le nombre d’échantillons rebus lors des étapes de collage de la cellule où
les étapes de pression et de collage sont difficiles à réaliser de manière répétable.
161
rétinienne.
Conclusion du Chapitre IV
Dans ce Quatrième Chapitre j’ai développé la branche d’activation en optique intégrée,

pour cela je me suis concentré sur la preuve de concept de l’extraction de la puissance d’un
guide d’onde modulable. J’ai commencé par réaliser un premier dimensionnement des deux
approches proposées précédemment au Chapitre II. Ce dimensionnement, basé sur des
simulations FDE et FDTD a mis en évidence la pertinence des deux approches envisagées.
Toutefois le dimensionnement a également permis de mettre en évidence l’incapacité de
réaliser dans le temps impartit dans la thèse une des approches envisagées, l’approche
utilisant le principe d’effacement du réseau. Ainsi seule l’approche par déconfinement du mode
guidé aura pu être testée dans cette thèse sur un réseau de guides. La méthode par
effacement du réseau a quant à elle été testée sous la forme de réseaux de diffraction en
optiques à espace libre
A la suite de ce constat j’ai présenté deux masques d’électrodes dimensionnés pour
pouvoir appliquer les approches proposées à un réseau photonique déjà existant. J’ai ensuite
détaillé les étapes de fabrication des différents éléments composant les approches proposées
et notamment le réseau à indice modulable utilisé dans l’approche par effacement du réseau.
Ces réseaux ont été caractérisés en optique espace libre en utilisant l’effacement de l’effet de
diffraction pour mettre en évidence la capacité à orienter les CL pour réduire le contraste
d’indice au sein du réseau. Ces caractérisations ont également permis de mettre en évidence
des effets de surface indésirables lors de la réalisation des réseaux directement sur des
substrats recouvert d’ITO. Ces considérations seront prises en compte pour les prochains
échantillons réalisés au CEA.
En optique intégrée, l’utilisation de l’approche par déconfinement du mode guidé a permis
de mettre en évidence un premier effet de l’interaction entre le réseau dense de guides d’onde
et une couche de CL. Toutefois la présence de fortes pertes dues à des rugosités de surface
ainsi que des effets de réflexions dans le substrat ont rendu une observation plus poussée
complexe. Des perspectives d’amélioration ont donc été données pour améliorer de possibles
futurs dispositifs de tests.
.
162
rétinienne.
Conclusion et perspectives
Dans cette dernière partie marquant l’aboutissement de ce manuscrit de thèse je dresse
la conclusion du travail de thèse en rappelant les objectifs initiaux de la thèse et en détaillant
leurs aboutissements au vu du travail réalisé. Je donnerai ensuite plusieurs perspectives
d’évolution pouvant être appliquées à court et long terme pour améliorer les résultats de ce
travail de recherche.
Réalisation des objectifs initiaux

Pour rappel, les objectifs initiaux de ce travail sur l’interfaçage des hologrammes pixélisés
étaient répartis en deux catégories : l’adressage des hologrammes pixélisés en optique
espace libre et l’adressage des hologrammes en optique intégrée. Dans cette partie je
détaillerai les différents objectifs en concluant vis à vis de leurs réussites individuelles.
Adressage des hologrammes pixélisés en optique espace

Dimensionnement et mise en œuvre d’un banc de lecture holographique statique. Un
banc de lecture statique des hologrammes a été réalisé et testé pour mettre en
évidence le fonctionnement de la projection d’images à l’aide de DPH. Les résultats
obtenus avec ce banc ont mis en évidence les effets d’interférences croisées des
hologrammes ainsi que les effets de diffractions des hologrammes pixélisés.
Dimensionnement et mise en œuvre d’un banc d’activation des hologrammes. La
réalisation de ce second banc est passée par une adaptation du banc précédent. Pour
réaliser ce banc, il a fallu étudier les technologies de masques dynamiques
disponibles. Une étude en profondeur a permis d’identifier une technologie pouvant
convenir à un banc de lecture dynamique mais également à un possible futur banc
d’écriture utilisant un masque dynamique.
Ce banc de lecture a été utilisé pour réaliser la lecture de DPH périodiques, permettant
la projection d’images de manière séquentielle. Le banc a également permis la
projection d’images dynamiques pouvant être relues sans aucun traitement
informatique. Ces mesures sont importantes pour le projet car elles sont les premières
mesures de projection d’images par effet d’auto-focalisation utilisant les hologrammes
pixélisés.
Les résultats obtenus à l’aide du banc d’optique en espace libre sont donc très
satisfaisants vis à vis des objectifs donnés et ouvrent à de nouvelles perspectives pour le projet
de projection rétinienne du CEA comme on le verra par la suite.
Adressage des hologrammes en optique intégrée

En parallèle à la capacité à activer les hologrammes en optique à espace libre, j’ai
développé des éléments d’interfaçage des hologrammes en optique intégrée.
163
rétinienne.
Etude et dimensionnent de la technologie d’activation des points d’émission. Après

avoir exploré plusieurs pistes de technologies permettant de réaliser une modulation
de l’extraction, j’ai envisagé deux approches qui auraient dû permettre de réaliser une
preuve de concept de l’activation d’un effet d’extraction. Ces approches basées sur
l’interaction entre la photonique et des CL ont été dimensionnées sur la base d’un
circuit de photonique déjà existant. L’utilisation de ce circuit photonique préexistant a
mis en défaut une des deux approches proposées qu’il n’a pas été possible de tester
pendant la thèse.
J’ai ensuite dimensionné, dessiné et fait fabriquer des masques permettant de réaliser
des architectures d’adressages électriques de deux systèmes de projections basés
sur les approches proposées.
Comme expliqué, une des architectures n’a pas pu être testée en optique intégrée.
Toutefois des tests en optique espace libre ont démontré des effets probants lors de
l’utilisation de cette approche en optique espace libre. J’ai notamment démontré des
effets d’activation et de désactivation de l’effet de diffraction d’un réseau.
La seconde architecture a, elle, put être réalisée et interfacée électriquement et
optiquement pour former un écran adressable. Cette intégration a soulevé plusieurs
problèmes de fabrication, qui ont pût être partiellement résolus. Lors de la
caractérisation de l’échantillon obtenu j’ai observé un effet d’interaction entre les
guides d’ondes et la couche de CL pouvant être activée à l’aide d’une tension.
Toutefois, du fait du manque de temps en fin de thèse ainsi que de nombreuses
sources de bruit, la mesure de l’effet n’a pas pu être étudiée plus en profondeur.
Réunir les approches en optique espace libre et en optique intégrée, pour activer de
manière dynamique des hologrammes pixélisés à partir d’un réseau photonique. Ce
dernier objectif, le plus ambitieux, n’a pas pu être réalisé au cours de la thèse
notamment aux vues de la complexité à observer un effet d’interaction entre le réseau
dense de guide à disposition et le réseau d’électrodes d’extraction réalisé. Cet effet
d’interaction entre guide d’ondes et hologrammes est un sujet que j’ai abordé en
surface, au cours de la thèse, à l’aide de simulation FDTD. Le sujet s’est avéré très
complexe à étudier, c’est pourquoi j’ai préféré me concentrer sur l’activation des
hologrammes en optique espace libre ainsi que l’activation de l’extraction d’une onde
guidé.
Pour conclure, la majorité des objectifs de la thèse ont été adressés et ont abouti à des
résultats de recherches important pour le projet de projection rétinienne. Toutefois je n’ai pas
pu adresser la problématique de l’activation des hologrammes en optique intégré. Cette
problématique a donné lieu à la création d’un sujet de thèse à part entière qui sera mené par
Salahedine TOUBI, l’étudiant que j’ai encadré lors de ma troisième année de thèse.
164
rétinienne.
Perspectives
Perspective pour l’adressage en optique espace libre
Comme j’ai pu le montrer cette thèse a permis de démontrer de premiers résultats de
projection d’images à l’aide du principe d’auto-focalisation en se basant sur l’utilisation
d’hologrammes pixélisés. La démonstration de cet effet amène de nombreuses perspectives
d’évolutions aussi bien du point de vue de l’écriture des futurs hologrammes que de possibles
améliorations du banc de lecture des hologrammes.
Concernant le banc d’écriture des hologrammes pixélisés :
 A court terme, il est possible d’envisager de réaliser des écritures de distributions
aléatoires d’hologrammes permettant de supprimer les ordres de diffraction observés dans
les mesures présentées. Ce type distribution permettrait de réaliser des images avec des
FOV plus importants que ceux limités par le recouvrement avec les ordres de diffraction.
On pourrait notamment envisager des résolutions angulaires pouvant être perçues par l’œil
humain ce qui permettrai de pouvoir projeter de premières images visibles directement au
fond de l’œil.
 A plus long terme, il est important que le montage d’écriture intègre l’utilisation de masques
dynamiques pour réaliser des distributions aléatoires sans recouvrement des hoels. On a
montré dans cette thèse que l’utilisation du masque basé sur des CL sur Si permettait de
réaliser la fonction de masque dynamique tout en conservant le front d’onde de l’onde
incidente.
Concernant le banc de lecture des hologrammes pixélisés :
 A court terme il aurait été intéressant de développer plus en profondeur l’activation des
DPH de manière dynamique. Pour cela il est envisageable d’étudier l’activation simultanée
de spels éloignés l’un de l’autre. Cette perspective devrait permettre d’obtenir des
meilleures résolutions dans le temps court d’intégration de la caméra de mesure.
 Également comme cela a été proposé dans le Chapitre III, il serait intéressant d’utiliser un
masque à base de µ-miroirs dans le banc de lecture car ces masques ont des fréquences
de fonctionnement plus rapides. Ainsi cela permettrait d’adresser plus de spels en utilisant
la méthode d’adressage dynamique.
Ces différentes perspectives pourraient permettre de converger vers un dispositif de
projection en optique espace libre pouvant être placé devant l’œil d’un utilisateur. Ce type de
dispositif ne permettrai pas de répondre aux contraintes d’encombrement soulevées dans le
Chapitre I. Néanmoins il permettrait de mettre en avant les recherches réalisées de manière
innovante.
Perspectives pour l’adressage en optique intégrée

Le sujet de l’adressage en optique intégré a rencontré un développement plus difficile que
celui en optique espace libre. Ainsi les perspectives que je propose dans cette partie seront
tournées vers des améliorations qui permettraient de valider un adressage des hologrammes
en optique intégrée.
165
rétinienne.
 A court terme, il sera nécessaire d’identifier des méthodes de fabrication des guides
d’ondes permettant de réduire les effets de pertes par propagation observés dans le
composant utilisé. En effet plusieurs travaux recensent des guides avec des dimensions
du même ordre de grandeurs que ceux utilisés mais avec des pertes bien moins grandes
[123], [124]. L’obtention de guides avec des pertes du même ordre que ces travaux
permettront une amélioration conséquente des mesures d’extraction active réalisables.
 De manière à pouvoir démontrer l’utilisation de l’approche par effacement du réseau, il
sera nécessaire de réaliser un nouveau lot de photonique intégré comportant une électrode
enterrée sous un système de projection. Ce type d’architecture est d’ores et déjà à l’étude
au travers d’un sujet de thèse mené par Kyllian MILLARD.
 Au vu des effets de structuration observés sur les réseaux de sol-gel, il serait intéressant
d’étudier plus précisément l’interaction entre un guide d’onde et un tel réseau sous
différentes conditions de fabrication (haute température et température inférieure à 300°C).
Ces études pourraient permettre de statuer sur la capacité ou non à utiliser le sol-gel pour
notre assemblage de fonctions optiques.
 Il semble également important de se pencher sur la nature du CL utilisé dans le projet pour
essayer de limiter au maximum les effets de diffusion du mode guidé observé dans le
travail de thèse mais également par d’autres auteurs [111].
Ces différentes perspectives d’études devraient permettre d’améliorer le fonctionnement
des approches d’extraction proposées. Cela permettra de se rapprocher de l’objectif qui n’a
pas été rempli pendant cette thèse qui consisté à utiliser les approches dimensionnées pour
interfacer un hologramme.
166
rétinienne.
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Liste des publications réalisées

pendant la thèse
Publications
En cours de relecture: “Sparse holographic imaging for integrated Augmented Reality near-eye display”,
C. Martinez, M. Colard, P. Legentil, S. Meunier-Della-Gata, Y. Lee, K. Millard, F. Rainouard,
En cours de redaction: “Dynamic image projection based on sparse holograms or retinal projection
display”, M. Colard, C. Martinez, F. Rainouard, O. Haberle
En cours de redaction, titre provisoire: “Study of speckle during image projection using pixelated
hologramms” F. Rainouard, M. Colard, E. Oudet ,C. Martinez, , O. Haberle
En cours de redaction, titre provisoire : “ Optimal dense and random addressing design of emissive
points in a retinal projection device” F. Rainouard, M. Colard, E. Oudet ,C. Martinez, O. Haberle
Oral
SPIE Photonic West (San Francisco) 2023, “Study and validation of switchable grating using liquid crystal
for active waveguide addressing”, M. Colard, S. TOUBI, C. Martinez, O. Haeberle
Séminaire interne CEA, « Etude des éléments d’interfaçage pour l’activation d’hologrammes pixélisés
application à la projection rétinienne », M. Colard, 04 juillet 2022, intervention de 15 minutes.
SPIE Photonic West (San Francisco) 2022, “Study of a liquid crystal impregnated diffraction grating for
active waveguide addressing” M. Colard, B. Racine, C. Martinez, O. Haeberle
application à la projection rétinienne », M. Colard, 23 juin 2021, intervention de 15 minutes.
Posters
SPIE Photonic Europe (Strasbourg) 2022, “Experimental validation of dynamic activation of pixelated
holograms for retinal projection display”, M. Colard, P. Legentil, S. Meunier-Della-Gatta, F. Rainouard,
Y. Lee, O. Haberle, C. Martinez
SPIE Photonic West (San Francisco) 2021, “Analysis of new optical addressing strategies for the
optimization of retinal projection display”, M. Colard, C. Martinez, O. Haeberlé
OSA (Montréal, virtuelle) 2020, “Switching behavior of pixelated holograms for retinal projection
display”, Matthias COLARD, Christophe MARTINEZ, Olivier HAEBERLÉ
application à la projection rétinienne », M. Colard, juillet 2020,
Posters
Déposé : “Dispositif de projection d'une image dans l'œil dans utilisateur” M. Colard, C. Martinez
174
rétinienne.
ANNEXES
A I. Augmentation de la dynamique de mesure
Dans le Chapitre III du manuscrit, il a été nécessaire de mesurer le signal émis par la
distribution d’hologrammes, notamment pour réaliser une mesure du bruit de fond de la
mesure lors de la lecture passive des hologrammes. Cela m’a permis de mettre en évidence
la diffraction des hologrammes et d’estimer une taille équivalente de ces hologrammes de 22
µm.
Pour observer ce type de courbe, il a été nécessaire de mettre au point une mesure
permettant de visualiser une grande dynamique du signal tout en conservant une grande
résolution spatiale. Pour cela j’ai utilisé une méthode inspirée du traitement de l’image dit
« High Dynamique Range » (HDR). Dans ce traitement on réalise plusieurs acquisitions de la
même scène avec des temps de poses différents et on combine les images obtenues pour
créer une image avec une plus forte dynamique.
Pour illustrer ce principe je simule la projection d’un spel avec les conditions suivantes :
 Longueur d’onde 𝜆 = 532 𝑛𝑚
 Diamètre de la pupille d’émission 𝐷𝑝 = 2 𝑚𝑚
 Taille des points d’émission 𝑎 = 50 µ𝑚
 Nombre de points 𝑁 = 120

J’échantillonne le résultat sur 256 valeurs (nombre de valeurs disponible avec la caméra
utilisée). La Figure 0-1 représente le résultat ainsi obtenu, dans le cas où l’on observe la
mesure en échelle logarithmique avec et sans échantillonnage.
Figure 0-1 : Simulation de la projection d’un spel en utilisant une DPE de 120 points, le résultat est observé en échelle
logarithmique. Dans le cas (a) l’échantillonage de l’intensité n’est pas contraint. Dans le cas (b) l’échnatillonage de l’intensité
est contraint à 256 valeurs
175
rétinienne.
En observant le résultat en échelle logarithmique on peut voir qu’il y a une perte

d’informations des intensités les plus faibles du fait de l’échantillonnage de la mesure. En
modifiant le temps de pose de la mesure, il est possible de saturer le spel de forte intensité et
de faire ressortir le bruit de la mesure. La Figure 0-2 représente une coupe de la simulation
précédente échantillonnée sur 256 valeurs mais avec deux temps de pose différents.
Figure 0-2 : Représentation de la perte d’information lors de l’échantillonage de l’intensité. (a) dans le cas où le signal n’est
pas saturé, on perd les informations de faible puissance, (b) dans le cas où le signal est saturé on perd moins d’inforamtions
sur les faibles intensités mais on perd l’information sur les zones saturées.
Dans le cas de la Figure 0-2 (b) il est possible d’observer le bruit de fond mais que la partie
de la mesure au centre de l’image est saturée ce qui cause une perte du signal. Les deux
mesures avec des temps de pose différents sont complémentaires et permettent de
reconstituer la mesure entière malgré la faible dynamique de la caméra.
Pour cela on réalise plusieurs acquisitions avec des temps d’intégrations différents. On a
alors pour chaque pixel (𝑖, 𝑗) un ensemble de valeur 𝑃𝑛 (𝑖, 𝑗) avec 𝑛 l’indice de la mesure avec
un temps de pose donné.
On souhaite à l’aide de cette matrice 3D extraire une matrice 2D avec la plus grande
dynamique possible. Pour tous les pixels, il est nécessaire d’écarter les valeurs saturées car
elle représente une perte de l’information. Ensuite on extrait la plus grande valeur enregistrée
pour un pixel donné :
𝑃(𝑖, 𝑗) = max (𝑃𝑛 (𝑖, 𝑗)) (A.1)

𝑛 ∃ 𝑃𝑛 (𝑖,𝑗)<255
J’enregistre également les temps de pose sous lesquels chaque pixel a été enregistré
dans une matrice notée 𝑇(𝑖, 𝑗). J’obtiens deux matrices, une composée de valeurs de pixels
non saturée et une composée de valeurs de temps de pose associés.
Ces deux matrices sont représentées à la Figure 0-3 dans le cas de notre exemple et dans
le cas où 5 acquisitions avec des temps de pose différents sont réalisées. De manière à
reformer la mesure, il est nécessaire de pondérer la matrice 𝑃(𝑖, 𝑗) suivant les temps de pose
permettant d’obtenir la matrice avec une dynamique augmentée 𝑃𝐻𝐷𝑅 (𝑖, 𝑗).
𝑃(𝑖, 𝑗)
𝑃𝐻𝐷𝑅 (𝑖, 𝑗) = (A.2)
𝑇(𝑖, 𝑗)
176
rétinienne.
Figure 0-3 : Exemple du traitement de la simulation de la projection d’un spel. (a) Représentation de la matrice 𝑃(𝑖, 𝑗)
contenant les valeurs non saturées de 4 mesures à des temps de pose différents. (b) représentation de la matrice 𝑇(𝑖, 𝑗). (c)
résultat de la reconstitution de la matrice 𝑃𝐻𝐷𝑅 (𝑖, 𝑗) comparé avec (d) résultat de la simulation sans contrainte
d’échantillonnage.
On observe à la Figure 0-3 (c) que le résultat de la matrice obtenue P_HDR (i, j) après
traitement est très proche de la simulation sans contrainte d’échantillonnage. Cela confirme la
pertinence de l’utilisation de la méthode développée pour augmenter la dynamique de la
mesure.
Dans le cas d’une mesure réelle, il est nécessaire de prendre en compte les différentes
sources de bruits de la mesure pouvant varier avec le temps de pose. Plusieurs sources de
bruits sont considérées :
 Le bruit électronique (ou dark shot noise)
 Le bruit de lecture (ou read noise)
 Le bruit de photon (ou photon shot noise)

De manière à s’affranchir de ces bruits j’ai réalisé des mesures sans signal utile aux
différents temps de pose (notées 𝐵𝑛 (𝑖, 𝑗)) qui ont été soustraites aux mesures réelles avec
signal notées 𝑃′𝑛 (𝑖, 𝑗) permettant d’obtenir les matrices 𝑃𝑛 (𝑖, 𝑗) nécessaires au traitement
proposé :
𝑃𝑛 (𝑖, 𝑗) = 𝑃′ 𝑛 (𝑖, 𝑗) − 𝐵𝑛 (𝑖, 𝑗) (A.3)
177
rétinienne.
A II. Mesure de l’épaisseur des cellules

Lors de la fabrication des cellules de CL dans le Chapitre IV, il est nécessaire de
caractériser l’épaisseur des cellules avant remplissage par les CL pour vérifier si les espaceurs
réalisés permettent bien d’obtenir une épaisseur proche de 700 nm.
Pour cela j’utilise une méthode basée sur l’observation du spectre obtenu en observant le
signal réfléchi par une lame d’air lors d’une observation au microscope. Cette méthode ce
base sur l’utilisation des interférences entre les faisceaux réfléchis sur les interfaces de la lame
d’air tel que montré à la Figure 0-4. En effet, le signal réfléchi sera composé de deux faisceaux
principaux, et de plusieurs faisceaux secondaires qui ne seront pas pris en compte dans le
cas du développement présenté ici. Ainsi l’intensité du faisceau réfléchi par la lame d’air sera
supposée de la forme suivante :
𝐼(𝑥) = |𝐸1 (𝑥) + 𝐸2 (𝑥)|2 (A.4)
Avec 𝐸1 (𝑥) le champ réfléchi sur la première interface (verre-air) et 𝐸2 (𝑥) réfléchi sur le
substrat de 𝑆𝑖 comme représenté à la Figure 0-4.
Figure 0-4 : Représentation des deux champs réflechi par une lame d’air entre un substrat de verre et de Si.
Les amplitudes des champs électriques réfléchis (noté 𝐴1 et 𝐴2 ) dépendent des

coefficients de réflexion de Fresnel sur chacune des interfaces. Dans le cas d’une incidence
normale de l’onde ces coefficients (noté 𝛼1 et 𝛼2 ) vont dépendre des indices des différents
matériaux :
𝑛𝑣𝑒𝑟𝑟𝑒 − 𝑛𝑎𝑖𝑟
𝛼1 = (A.5)
𝑛𝑎𝑖𝑟 + 𝑛𝑣𝑒𝑟𝑟𝑒
𝑛𝑎𝑖𝑟 − 𝑛𝑆𝑖
𝛼2 = (A.6)
𝑛𝑎𝑖𝑟 + 𝑛𝑆𝑖
Ainsi on peut déterminer les amplitudes de chacun des champs électriques du signal
mesuré :
𝐴𝑛 = 𝐸0 𝛼𝑛 Avec 𝑛 ∈ {1,2} (A.7)
Avec 𝐸0 L’amplitude du champ incident sur la lame d’air.
178
rétinienne.
Les valeurs d’indices ont une dépendance avec la longueur d’onde (notée 𝜆) d’observation
qui sera ici négligée.
En observant que la différence de marche entre les deux faisceaux est équivalente à un
aller-retour dans la lame d’air, il est possible d’écrire l’intensité réfléchie par la lame d’air
comme suit :
𝑗2𝜋 2
𝐼(𝑥, 𝜆) = 𝐸02 . |𝛼1 + 𝛼2 𝑒
−
𝜆
2𝑒(𝑥)
| (A.8)
Cette équation peut être développée pour donner l’équation suivante :

4𝜋𝑒(𝑥)
𝐼(𝑥) = 𝐸02 . (𝛼12 + 𝛼22 + 𝛼1 𝛼2 cos ( )) (A.9)
𝜆
On observe donc une dépendance en cosinus de l’épaisseur et de la longueur d’onde. En
connaissant le spectre de la source utilisée, ainsi que la réponse spectrale de la caméra
utilisée, il est possible de déterminer l’épaisseur de la lame d’air en un point donné en
mesurant le spectre réfléchi par cette dernière. Il est ainsi possible de réaliser une mesure
locale de l’épaisseur de la lame d’air. Dans le cas de notre échantillon, je souhaite obtenir
l’épaisseur sur l’ensemble de l’échantillon.
Pour cela je simule le spectre de différentes épaisseurs de lame d’air et traduit ces
spectres en couleurs à l’aide de la fonction Matlab décrite à la référence [125] pour ensuite
comparer ces couleurs aux photographies des échantillons réalisés (normalisées en fonction
des caractéristiques de la source et de la caméra utilisées). Cette fonction se base sur
l’utilisation de la norme CIE 1931 permettant, à l’aide d’un spectre donné, d’obtenir une couleur
sur un graphique de gamuts. J’obtiens alors un triplet de coordonnées (𝑋, 𝑌, 𝑍) permettant de
définir la couleur réfléchie par la lame d’air :
𝑋 = ∫ 𝐼𝑋−𝐶𝐼𝐸 (𝜆) . 𝐼(𝜆) 𝑑𝜆 (A.10)
𝑌 = ∫ 𝐼𝑌−𝐶𝐼𝐸 (𝜆) . 𝐼(𝜆) 𝑑𝜆 (A.11)
𝑍 = ∫ 𝐼𝑍−𝐶𝐼𝐸 (𝜆) . 𝐼(𝜆) 𝑑𝜆 (A.12)
Avec 𝐼𝑋−𝐶𝐼𝐸 (𝜆), 𝐼𝑌−𝐶𝐼𝐸 (𝜆) et 𝐼𝑍−𝐶𝐼𝐸 (𝜆) les fonctions colorimétriques de la norme "1931 CIE
standard observer" [126].
La Figure 0-5 (b) représente un graphique des gamuts des couleurs obtenues pour
différentes épaisseurs de lame d’air simulées.
179
rétinienne.
Figure 0-5 : (a) Représentation du spectre simulé de différentes épaisseurs de lame d’air, (b) graph des gamuts avec la
correspondance des couleurs des spectres en (a), évalué à l’aide de la norme CIE 1931.
On confirme ainsi qu’il est possible de différencier certaines épaisseurs de lame d’air à
l’aide des couleurs observées.
Il est ensuite possible de passer des coordonnées (𝑋, 𝑌, 𝑍) aux coordonnées des couleurs
(𝑅, 𝐺, 𝐵). Pour cela j’utilise la fonction xyz2rgb(XYZ) du logiciel Matlab permettant de calculer
les poids des composantes rouge verte et bleue associées à un triplet (X,Y,Z). Enfin de
manière à mieux différencier certaines épaisseurs dont la couleur est proche (typiquement les
faibles épaisseurs qui ont des couleurs en nuance de gris) je normalise les coordonnées des
couleurs (𝑅, 𝐺, 𝐵) obtenus. Pour cela je calcule l’éclairement pour chaque épaisseur simulée,
notée 𝐸(𝑒) et définit par l’équation suivante :
𝐸(𝑒) = ∫ 𝐼(𝜆, 𝑒). 𝑑𝜆 (A.13)
Je normalise ensuite les coordonnées (𝑅, 𝐺, 𝐵) par le maximum des éclairements obtenus.
J’obtiens le triplet de coordonnées normalisé (𝑅′, 𝐺′, 𝐵′) suivant :
𝐸(𝑒)
𝑅 ′ = 𝑅. (A.14)
max(𝐸(𝑒))
𝑒∈Ω
𝐸(𝑒)
𝐺 ′ = 𝐺. (A.15)
max(𝐸(𝑒))
𝑒∈Ω
′
𝐸(𝑒)
𝐵 = 𝐵. (A.16)
max(𝐸(𝑒))
𝑒∈Ω
Avec Ω l’ensemble des épaisseurs de lames d’air simulées.

La Figure 0-6 (a), représente une photographie d’une lame d’air entre un substrat de verre
et un substrat de Si, centre de l’image : on observe un contact optique entre les deux substrats.
Cette photographie est comparée à la simulation des couleurs obtenues pour différentes
épaisseurs de lame d’air allant de 0 à 1500 nm.
180
rétinienne.
Figure 0-6 : (a) Photographie d’un échantillon de verre sur Si, où un contact optique a été réalisé au centre et des franges de
couleurs correspondantes à des épaisseurs différentes de lame d’air sont visibles sur les extrémités. (b) Simulation des couleurs
réflechies pour différentes épaisseurs de lame d’air.
On observe une correspondance dans l’évolution des couleurs de la mesure et de la

simulation soulignant la pertinence de l’utilisation de la méthode de caractérisation de
l’épaisseur. Cette méthode d’observation permet de réaliser une étude qualitative de
l’épaisseur de la lame d’air ainsi que de sa variation sur le substrat ce qui est suffisant dans le
cas de notre étude d’homogénéité de l’épaisseur. Une étude plus poussée de l’épaisseur aurait
été possible en utilisant des tables d’interférences notamment en observant la couleur
réfléchie une fois la cellule de cristaux liquides remplie et en utilisant des tables d’interférences
telles que celles de Michel Levy [127].
181
Résumé de thèse vulgarisé en français :
Le CEA Leti a récemment proposé un concept de dispositif d’affichage proche de l’œil

pour les applications de réalité augmentée. Dans ce concept, les éléments optiques
permettant la formation de l’image sont intégrés dans le verre de la lunette. Le principe de
projection s’appuie sur des circuits photoniques et des composants holographiques pixélisés.
Leur association permet de distribuer la lumière devant l’œil, de manière à former des
faisceaux projetant des images sur la rétine. Les problématiques soulevées par ce sujet de
recherche sont nombreuses. Elles concernent notamment l’optique diffractive, l’optique
intégrée, l’holographie, les technologies de fabrication et également des problématiques
mathématiques et électroniques.
Cette thèse se concentre sur l’interfaçage des composants holographiques du dispositif.
Pour cela deux pistes sont étudiées : une première utilise un système optique classique basé
sur une propagation des faisceaux en optique espace libre. Une seconde piste utilise un
système en optique intégrée, réalisé sur substrat transparent. Le travail de thèse a permis de
mettre au point un banc de lecture dynamique des hologrammes pixélisés. Ce banc a permis
d’observer la projection d’images, générées par un système holographique. Plusieurs
solutions ont été proposées et mises en œuvre pour améliorer la qualité de l’image. Le travail
a également permis dimensionner et tester deux concepts d’architectures d’activation en
optique intégrée à base de cristal liquide. A la vue des résultats et des analyses de ce travail
de thèse, une configuration d’activation a été retenue pour la suite de l’activité de recherche.
Summary of thesis in English :
The CEA Leti recently proposed a concept for a near-eye display device for augmented
reality applications. In this concept, the optical elements that form the image are integrated
into the eyeglass lens. The projection principle relies on photonic circuits and pixelated
holographic components. Their combination allows for the distribution of light in front of the
eye, so as to form beams projecting images onto the retina. The issues raised by this research
topic are numerous and include, in particular, diffractive optics, integrated optics, holography,
manufacturing technologies, and also mathematical and electronic issues.
This thesis focuses on the interfacing of the holographic components of the device. To do
this, two approaches are studied: a first one uses a classical optical system based on beam
propagation in free space optics, and a second one uses an integrated optics system made on
a transparent substrate. The thesis work has made it possible to develop a dynamic reading
bench for pixelated holograms. This bench has made it possible to observe the projection of
images generated by a holographic system. Several solutions have been proposed and
implemented to improve the quality of the image. The work has also made it possible to size
and test two concepts of liquid crystal-based integrated optics activation architectures. Based
on the results and analysis of this thesis work, an activation configuration is chosen for the
continuation of the research activity

2022mulh5427 These Colard

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Année 2022 N° d’ordre : (attribué par le SCD)

Présentée et soutenue publiquement

ÉTUDES DES ÉLÉMENTS D’INTERFAÇAGE

Sous la direction du Prof. HAEBERLE Olivier

Jury : Dr. CAMON Henri, CNRS LAAS, Toulouse (Rapporteur)

TABLE DES MATIÈRES

INTRODUCTION DU CHAPITRE III ....................................................................................................... 89

A I. AUGMENTATION DE LA DYNAMIQUE DE MESURE ................................................................. 175

MMI : Multimode Interferometer

Dans le second Chapitre je développerai la théorie de l’auto focalisation, principe physique

I Généralité sur la Réalité Augmentée

I.A Définition de la Réalité Augmentée

I.B Notions utiles pour la Réalité Augmentée

I.B.2 Angle de vue et résolution angulaire

I.B.3 Eye box

I.B.4 Conflit accommodation-vergence

 L’accommodation liée à la focalisation faite par le cristallin de l’œil, et permet

I.C Contexte de la réalité augmentée

 La RV est l’application la plus éloignée de l’environnement réel, elle utilise des

II Notions physiques utiles

II.A.1 Cas d’un guide d’onde plan

𝑛1 sin(𝑖1 ) = 𝑛2 sin(𝑖2 ) (1.1)

Dans le cas d’ondes électromagnétiques monochromatiques de pulsation 𝜔 il est possible

telle que la composante du champ électrique (respectivement magnétique) normale à la

Avec 𝐸0 l’amplitude de l’onde électrique, 𝑘 le vecteur d’onde et 𝛽 la constante de

II.A.2 Interaction et recouvrement du mode guidé

II.A.3 Cas d’un guide d’onde 2D

II.A.4 Réseaux de couplage :

𝑛𝑒𝑓𝑓 = 𝐹𝐹. 𝑛𝑒𝑓𝑓1 + (1 − 𝐹𝐹). 𝑛𝑒𝑓𝑓2 (1.12)

Où FF est le facteur de remplissage du réseau, c’est-à-dire le pourcentage de zones

En plus de l’angle d’extraction, la forme du réseau d’extraction va impacter l’efficacité de

II.B Optique diffractive

𝑓(𝑥, 𝑦) = ∬ 𝐹(𝜈𝑥 , 𝜈𝑦 )𝑒 𝑗2𝜋(𝜈𝑥 𝑥+𝜈𝑦 𝑦) 𝑑𝜈𝑥 𝑑𝜈𝑦 (1.14)

𝐹(𝜈𝑥 , 𝜈𝑦 ) = ∬ 𝑓(𝑥, 𝑦)𝑒 −𝑗2𝜋(𝜈𝑥 𝑥+𝜈𝑦 𝑦) 𝑑𝑥𝑑𝑦 (1.15)

Dans le cas de l’étude de systèmes optiques linéaires et invariants, l’étude de la

Où 𝜆 est la longueur d’onde de la source utilisée pour observer l’objet, f la focale de la

la fonction 𝑓2 (𝑥, 𝑦) telle que :

Avec 𝜆𝑟 la longueur d’onde d’écriture de l’hologramme.

Où 𝑛𝑜 et 𝛿𝑛 sont des constantes dépendant de la sensibilité du matériau holographique,

franges de l’hologramme. Ces amplitudes dépendent de nombreux paramètres liés à

Un calcul rigoureux de la valeur de 𝑅 permet d’évaluer l’efficacité de réflexion de

II.D Cristaux liquides

II.D.1 Les groupes de cristaux liquides

II.D.2 Effets d’orientation des cristaux liquides à l’équilibre

Où 𝐾1 , 𝐾2 et 𝐾3 sont des constantes élastiques dépendantes du CL étudié.

⃗ des molécules d’un CL, (a)

A l’état d’équilibre, et sans contraintes extérieures appliquées, les CL s’orientent de

 Les méthodes de photo-alignement [68], [70], consistent à utiliser un matériau

II.D.3 Effets d’anisotropie diélectrique et optique

En plus de la propriété de biréfringence, les CL sont impactés par certains champs

Avec 𝐸⃗ le champ électrique appliqué et 𝜖0 la permittivité diélectrique du vide.

Les CL sont des matériaux répondant à une physique complexe et la détermination de

électriquement la rotation de la polarisation. Allié à des polariseurs et des filtres de couleurs,

III Etat de l’art des dispositifs de Réalité Augmentée

III.A Combineur espace libre

III.A.1 Combineur bird bath et prisme TIR

III.A.2 Combineur holographique

L’utilisation du film holographique et du scanner laser permet d’obtenir un dispositif très

III.B Combineur à base de guide d’onde

III.C Technologies en rupture

présenter deux projets en développement utilisant l’optique diffractive et la photonique sur

III.C.1 Hologrammes dynamiques en optique intégré

III.C.2 Balayage rétinien en optique intégré