Principe de fonctionnement du capteur

de vide :
Les capteurs de vide sont des dispositifs conçus pour mesurer la pression dans un environnement
donné, en particulier lorsque cette pression est très faible, proche ou égale au vide. Leur
fonctionnement repose généralement sur l'utilisation de différentes technologies, mais voici les
principes de fonctionnement généraux

 Mesure de la pression : Les capteurs de vide mesurent la pression en détectant les

variations dans un paramètre physique. Cela peut être la déformation d'une membrane, la
conductivité électrique, l'effet piézoélectrique, etc.
 Conversion en signal électrique : Une fois la pression détectée, le capteur la convertit en un
signal électrique proportionnel à la pression mesurée. Ce signal est généralement
analogique, mais peut également être numérique dans les capteurs modernes.
 Transmission et traitement du signal : Le signal électrique est ensuite transmis à un circuit
électronique de traitement. Dans ce circuit, le signal peut être amplifié, filtré et converti si
nécessaire pour l'adapter aux besoins spécifiques de l'application.
 Affichage ou utilisation du résultat : Enfin, le résultat est affiché sur un écran ou utilisé pour
contrôler un processus, selon l'objectif du capteur. Par exemple, dans le vide industriel, il
peut être utilisé pour contrôler le fonctionnement des pompes à vide ou pour surveiller le
vide dans une chambre à vide.

1-MESURE DE PRESSION :

 Déformation de membrane : Certains capteurs de vide utilisent une membrane flexible

comme élément sensible. Lorsque la pression externe change, la membrane se déforme, ce
qui modifie une propriété physique mesurable telle que la capacité électrique, la résistance
électrique ou la tension superficielle. Cette variation est ensuite convertie en un signal
électrique proportionnel à la pression.
 Conductivité électrique : Dans les capteurs de vide basés sur la conductivité électrique, un
gaz est contenu dans une chambre avec des électrodes. À des pressions plus élevées, les
molécules de gaz sont plus proches les unes des autres, augmentant la conductivité
électrique. La mesure de la conductivité électrique entre les électrodes permet d'estimer la
pression du gaz.
 Effet piézoélectrique : Certains matériaux piézoélectriques produisent une charge
électrique lorsqu'ils sont soumis à une contrainte mécanique, telle que la pression. Dans
les capteurs de vide basés sur l'effet piézoélectrique, cette charge est mesurée et convertie
en une estimation de la pression.
 Jauges de contrainte : Les jauges de contrainte sont des dispositifs utilisés pour mesurer la
déformation d'un objet sous contrainte. Dans les capteurs de vide, elles sont fixées à une
surface soumise à la pression. La déformation de la surface sous pression modifie la
résistance électrique des jauges de contrainte, ce qui peut être mesuré et utilisé pour
déterminer la pression.
 REMARQUE : La piézoélectricité est la propriété que possèdent certains matériaux de
se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement
de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique. Les deux effets sont
indissociables. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct ; le second effet
piézoélectrique inverse. Cette propriété trouve un très grand nombre d’applications dans
l’industrie et la vie quotidienne. Une application parmi les plus familières est l’allume-gaz.
Dans un allume-gaz, la pression exercée produit une tension électrique qui se décharge
brutalement sous forme d’étincelles : c'est une application de l’effet direct. De manière
plus générale, l’effet direct peut être mis à profit dans la réalisation de capteurs (capteur
de pression…) tandis que l’effet inverse permet de réaliser des actionneurs de précision
(injecteurs à commande piézoélectrique en automobile, nanomanipulateur…)

2- CONVERSION EN SIGNAL ELECTRIQUE :

 Capteurs analogiques : Dans les capteurs de vide analogiques, la conversion de la pression

en signal électrique se fait généralement à l'aide de composants électroniques simples tels
que des amplificateurs opérationnels et des ponts de Wheatstone. Par exemple, dans le
cas des jauges de contrainte, la variation de résistance est convertie en une variation de
tension à l'aide d'un pont de Wheatstone et d'un amplificateur, produisant ainsi un signal
électrique analogique proportionnel à la pression mesurée.
 Capteurs numériques : Les capteurs de vide numériques utilisent des composants
électroniques plus avancés, tels que des convertisseurs analogique-numérique (CAN), des
microcontrôleurs et des circuits de traitement du signal numérique (DSP). Dans ces
capteurs, le signal électrique analogique produit par le capteur est converti en un signal
numérique par un CAN. Ce signal numérique peut ensuite être traité et transmis sous
forme numérique, ce qui permet une communication plus précise et robuste avec d'autres
dispositifs électroniques.

TRADUCTION ANGLAISE:
Operation principle of the vacuum sensor: Vacuum sensors are devices designed to measure the
pressure in a given environment, especially when this pressure is very low, close to or equal to
vacuum. Their operation generally relies on the use of different technologies, but here are the
general operating principles:

• Pressure measurement: Vacuum sensors measure pressure by detecting variations in a physical

parameter. This could be the deformation of a membrane, electrical conductivity, piezoelectric
effect, etc.

• Conversion into electrical signal: Once the pressure is detected, the sensor converts it into an
electrical signal proportional to the measured pressure. This signal is usually analog but can also be
digital in modern sensors.
 • Signal transmission and processing: The electrical signal is then transmitted to an electronic
processing circuit. In this circuit, the signal may be amplified, filtered, and converted if necessary to
suit the specific requirements of the application.

• Display or use of the result: Finally, the result is displayed on a screen or used to control a
process, depending on the sensor's objective. For example, in industrial vacuum applications, it
may be used to monitor the operation of vacuum pumps or to monitor the vacuum in a vacuum

1- PRESSURE MEASUREMENT:

• Membrane deformation: Some vacuum sensors use a flexible membrane as a sensing element.
When the external pressure changes, the membrane deforms, altering a measurable physical
property such as electrical capacitance, electrical resistance, or surface tension. This variation is
then converted into an electrical signal proportional to the pressure.

• Electrical conductivity: In vacuum sensors based on electrical conductivity, a gas is contained

within a chamber with electrodes. At higher pressures, gas molecules are closer together,
increasing electrical conductivity. Measuring electrical conductivity between the electrodes allows
estimation of gas pressure.

• Piezoelectric effect: Some piezoelectric materials produce an electric charge when subjected to
mechanical stress, such as pressure. In vacuum sensors based on the piezoelectric effect, this
charge is measured and converted into an estimation of pressure.

• Strain gauges: Strain gauges are devices used to measure the deformation of an object under
stress. In vacuum sensors, they are attached to a surface subjected to pressure. Deformation of the
surface under pressure alters the electrical resistance of the strain gauges, which can be measured
and used to determine pressure.chamber.

NOTE: Piezoelectricity is the property possessed by certain materials to electrically

polarize under the action of mechanical stress and, conversely, to deform when an electric
field is applied to them. The two effects are inseparable. The first is called the direct
piezoelectric effect; the second is the inverse piezoelectric effect. This property finds a wide
range of applications in industry and daily life. One of the most familiar applications is the
gas lighter. In a gas lighter, the pressure applied produces an electrical voltage that
discharges abruptly in the form of sparks: this is an application of the direct effect. More
generally, the direct effect can be utilized in the production of sensors (pressure sensors,
etc.), while the inverse effect enables the realization of precision actuators
(piezoelectrically controlled injectors in automobiles, nanomanipulators, etc.).

2- CONVERSION TO ELECTRICAL SIGNAL :

 Analog Sensors: In analog vacuum sensors, the conversion of pressure to an electrical

signal is typically done using simple electronic components such as operational amplifiers
and Wheatstone bridges. For example, in the case of strain gauges, the resistance variation
is converted into a voltage variation using a Wheatstone bridge and an amplifier, thus
producing an analog electrical signal proportional to the measured pressure.
 Digital Sensors: Digital vacuum sensors employ more advanced electronic components,
such as analog-to-digital converters (ADCs), microcontrollers, and digital signal processing
(DSP) circuits. In these sensors, the analog electrical signal produced by the sensor is
converted into a digital signal by an ADC. This digital signal can then be processed and
transmitted digitally, enabling more precise and robust communication with other
electronic devices.