Transducteurs Ultrasonores: Modlisations et Applications

Pierre Marchal Universit du Havre, Laboratoire Ondes et Milieux Complexes, Groupe Ondes Acoustiques, CNRS FRE 3102, Le Havre

Cours de Master 2 - UE xxx - Module yyy Universit duModlisationsJanvier 2009. Havre, et Applications Transducteurs

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Introduction
Conception dun transducteur ultrasonore

Prcision / Rapidit Modlisation Ralisation

Conception Mthode / Prcision Homognit / Reproductibilit

Caractrisation

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Plan
I. Capteur
I.1) Conversion I.2) Mesure I.3) Incertitude

II. Adaptation
II.1) Electrique II.2) Acoustique

III. Transduction
III.1) Matriaux pizo-lectriques III.2) Modes de vibration III.3) Couplages lectro-mcaniques

IV. Modlisation
IV.1) 1D IV.2) 2D ou axisymtrique IV.3) 3D IV.4) Rayonnement

V. Exprience
V.1) Rsultats

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I. Capteur
1) Dfinitions Capteur : organe charg de prlever une grandeur physique mesurer et de la transformer en une grandeur exploitable. La grandeur physique mesurer, souvent appele mesurande, n'est en gnral pas directement utilisable. Elle constitue la variable d'entre (ou stimulus) du capteur.
Mesure Variable physique Mesurande Variable signal

Capteur

e
Processus physique

s
Affichage

Lois physiques rgissant le capteur

s = f(e)

Mesure de s

Connaissance de e

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I. Capteur
1) Dfinitions

Correspondance entre s(t) et e(t): fonction de transfert e(t) e(t) Inconnu

Capteur

s(t)

t Connu t

s(t)

Courbe dtalonnage ou calibration d un capteur s s

s2 s1 e1 e2 si

ei
Exploitation

e
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Etablissement talons de m
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I. Capteur
1) Dfinitions

Etalonnage

Validit dun talonnage: Linterchangeabilit dune srie de capteur dun mme type est la qualit de cette srie qui garantie lutilisateur des rsultats identiques, aux tolrance prs, chaque fois quun quelconque capteur de cette srie est utilis dans des conditions identiques. linterchangeabilit rsulte de la rigueur des procds de fabrication et des contrle en fin de fabrication.

s s = f(e) e

La rptabilit est la qualit du capteur qui assure lutilisateur de lidentit de la grandeur de sortie dans des limites spcifies, chaque fois que ce mme capteur est utilis dans des conditions identiques: mme mesurande et mmes paramtres additionnels.

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I. Capteur
1) Dfinitions

Sensibilit dun capteur s

s e

- rponse linaire pour e < e0 - sensibilit: S = ds = s

de e

Domaine de mesure du capteur Domaine de saturation du capteur

e0

- rponse faible pour e > e0 ds e - sensibilit: S = 0

de

Contrainte: constance de la sensibilit

S= ds dpend de: de
- la valeur de e - la frquence de variation de e - temps - grandeurs physiques parasites (linarit) (bande passante) (vieillissement) (grandeurs dinfluence)
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I. Capteur
1) Grandeurs dinfluence
Grandeurs physiques susceptibles dentraner un changement du signal de sortie Minimiser leurs effets Idal Rel:
Variable physique

s = f(e) s = f(e, g1, g2, )

Dduire e de s malgr gi : Rduire limportance: isolation, blindage Stabiliser: enceintes, rgulation Compenser: pont de Wheatstone.

Grandeur dinfluence Variable signal

Capteur

Temprature Caractristiques lectriques, mcaniques et dimensionnelles

enceinte thermostate

Pression, acclration Dformations

enveloppe rigide, supports antivibratoires

Humidit Constante dilectrique, rsistivit (isolation lectrique )

enceinte tanche

Champs magntiques variables ou statiques f.e.m. induites pour les premiers

et augmentation de la rsistivit pour les seconds (matriau magnto-rsistant) blindages magntiques, liaison la terre

Tension dalimentation (amplitude, frquence) Caractristiques lectriques

alimentation rgule
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I. Capteur
2) Types de capteurs

Capteurs passifs: Ils sont en gnral associs une source d alimentation et prsentent une impdance variable : ex: Jauge de contrainte (capteur d acclration), Capteurs rsistifs (photorsistance), Capacitifs (mesures de dplacement).

Capteurs actifs: Systmes dont la sortie prsente une source f.e.m., courant, charge. ex : Capteur piezo-lectrique chographie, Variation de charges, Gnratrice tachimtrique (induction E.M.).

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I. Capteur
2) Capteur actif

Dfinition
Fonctionne en gnrateur. Le capteur actif est gnralement fond sur un effet physique qui assure la conversion en nergie lectrique (courant, tension, quantit dlectricit) de lnergie propre au mesurande (thermique, mcanique, rayonnement).

Principaux effets exploits

e
M2 M2

Effet thermo-lectrique : circuit de 2 conducteurs de nature diffrente T dont les jonctions sont des tempratures T1 et T2 est le sige d une 1 f.e.m. e(T1, T2). Application : dtermination dune temprature partir de la mesure de e. Effet pyro-lectrique : polarisation lectrique de certains cristaux fonction de la temprature. Application : mesure dun flux de rayonnement lumineux absorb par un tel cristal. Effet pizo-lectrique : lapplication d une contrainte mcanique sur des matriaux pizolectriques entrane une dformation et lapparition de charges lectriques de signes contraires sur les deux faces. Application : mesures de forces ou de grandeurs sy ramenant (pression, acclration). Mesure de pression acoustique.
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T2
M1

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I. Capteur
2) Capteur actif

Principaux effets exploits

Effet d induction lectromagntique : un conducteur se dplace dans un champ dinduction fixe f.e.m. proportionnelle la vitesse de dplacement Application : mesure de vitesse de dplacement Effets photolectriques : libration de charges lectriques dans la matire sous leffet dun rayonnement EM dont la longueur donde est caractristique du matriau (formule dEinstein)

Ecin = h.f WA

Effet photomissif : des lectrons librs sont mis hors du matriau clair courant collect en appliquant un champ lectrique Effet photovoltaque : des lectrons et des trous librs au voisinage dune jonction PN claire modification de la tension aux bornes de la jonction. Applications : mesure de grandeurs photomtriques en exploitant I ou U fonction de lclairement.

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I. Capteur
2) Capteur actif

Principaux effets exploits

Effet Hall : matriau (semi-conducteur) parcouru par un courant I soumis une induction B faisant un angle avec I tension VH B et I : VH = KH.I.B.sin o KH : dpend de la nature et dimensions du matriau Application : capteur de position Un aimant li l objet tudi dtermine les valeurs de B et au niveau du matriau VH fonction de la position de lobjet (traduction lectrique).

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I. Capteur
2) Capteur actif

Tableau de synthse

Mesurande Temprature Flux de rayonnement optique Force Pression Acclration Vitesse Position

Effet utilis Thermolectricit Pyrolectricit Photomission Effet photovoltaque Pizolectricit Induction lectromagntique Effet Hall

Grandeur de sortie Tension Charge Courant Tension Charge

Tension Tension

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I. Capteur
2) Capteur passif

Dfinition
Impdance dont lun des paramtres dterminants est sensible au mesurande.

Tableau de synthse
Mesurande Temprature
Trs basse temprature Flux de rayonnement optique

Caractristique lectrique sensible Rsistivit Cste dilectrique Rsistivit Rsistivit Permabilit lectrique Rsistivit Cste dilectrique Rsistivit Cste dilectrique

Matriaux Mtaux, semiconducteurs Verre Semi conducteur Alliage de Ni, SI dop Alliages ferromagntiques Matriaux magntorsistants : bismuth, Liquides isolants Chlorure de lithium Polymres
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Dformation

Position (aimant) Niveau

Humidit

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I. Capteur
2) Chane de mesure

Dfinitions
La chane de mesures est constitue de lensemble des dispositifs, y compris le capteur, rendant possible dans les meilleurs conditions la dtermination prcise de la valeur du mesurande (ex : la temprature, pression,...).

A lentre de la chane: le capteur est soumis laction du phnomne physique (mesurande). Il permet de transformer laction du mesurande en signal lectrique utilisable dans la chane de mesure.

A la sortie de la chane: le signal lectrique reu est trait et converti sous une forme qui rend possible la lecture de la valeur cherche dune mesure.

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I. Capteur
2) Chane de mesure
Chane de mesure = Capteur + Ensemble des dispositifs permettant la dtermination optimale du mesurande. A lentre de la chane: Injection du signal lectrique issu du capteur soumis laction du mesurande. A la sortie de la chane: Conversion du signal lectrique pour sa lecture directe: appareil cadre mobile enregistrement graphique ou oscillographique affichage ou impression dun nombre Ncessit dtalonner toute la chane de mesure Cas le plus simple: Capteur - Etalonneur ventuel - Appareil de lecture Exemples: - thermocouple + voltmtre - jauge de contrainte + pont de Wheatstone + voltmtre
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I. Capteur
2) Corps dpreuve, capteur composite Pour des raisons de cot et/ou de facilit dexploitation, le capteur nest pas sensible au mesurande mais un de ses effets. Corps dpreuve: Permet de traduire le mesurande primaire en mesurande secondaire. Structure dun capteur composite:
mesurande primaire

Corps dpreuve secondaire

mesurande

Capteur passif ou secondaire

signal lectrique

Trs utilis pour la mesure des grandeurs mcaniques dformations ou dplacements du corps dpreuve auxquelles est sensible le capteur. Exemple: Microphone lectrodynamique La membrane constitue le corps dpreuve. Mesurande primaire: pression acoustique Mesurande secondaire: dplacement de la membrane
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I. Capteur
2) Chane de mesure
Mais contraintes : - environnementales - exploitation optimale du signal d entre

Cas 1: Chane contrle par microprocesseur

1 2 MUX analogique N voies 1 N Contrle N capteurs Mmoire programme donnes Ampli Ech-bloqueur

CAN

Micropro

Interfaces entre/sortie

Disques

Clavier

Affichage

Calculateur

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I. Capteur
2) Chane de mesure

Cas 2 : Chane avec conversion tension-frquence : transmission bifilaire

1 2 MUX analogique n voies -> 1 ampli
Convertisseur tension-frquence

Compteur Dcodeur

n Diviseur N capteurs Dcodeur

Affichage n voie Dcodeur

Affichage mesure

Compteur

horloge

Compteur

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I. Capteur
2) Capteur intgr

Composant ralis par les techniques microlectroniques

mesurande

Corps d preuve (ventuel)

Capteur passif ou actif

Electronique associe

Liaisons (signal et alimentation)

Substrat Si

Contrainte thermique: 50C < T < 150C Intgration miniaturisation, cots , fiabilit , protection contre parasites Capteur simple Exploiter la sensibilit du Si diffrentes grandeurs physiques:
- Rsistances thermomtriques, jauges extensiomtriques, photocapacits, plaquettes effet Hall, photo-diodes et photo-transistors, transistors thermomtriques, ISFET, GASFET.
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I. Capteur
2) Capteur intgr

Capteur composite: Corps dpreuve en Si (ESiEacier) par micro-usinage chimique.

a) Acclromtre (poutre)

b) Capteur de pression (diaphragme)

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I. Capteur
2) Capteur intgr

Acclromtre intgr

Cas gnral lectronique intgre : compensation thermique, linarisation, amplification, conversion pour transmission, .

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I. Capteur
2) Caractristiques mtrologiques Grandeur dinfluence

Domaine Nominal dUtilisation

Grandeur mesurer Etendue de Mesure (EM) DNU : Rptabilit sans que les caractristiques du capteur soient altres

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I. Capteur
2) Caractristiques mtrologiques Grandeur dinfluence

Domaine Nominal dUtilisation Domaine de Non Dtrioration

Grandeur mesurer Etendue de Mesure (EM) DNDtrioration : plage de surcharge que le capteur peut supporter

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I. Capteur
2) Caractristiques mtrologiques Grandeur dinfluence

Domaine Nominal dUtilisation Domaine de Non Dtrioration Domaine de Non Destruction

Grandeur mesurer Etendue de Mesure (EM) DNDestruction : les caractristiques sont irrversiblement altres >talonnage

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I. Capteur
3) Erreurs et incertitudes

Erreur de mesure: Ecart entre valeur mesure et valeur vraie: - Erreur systmatique (corrige ou non), - Incertitude de mesure (estime). Erreurs systmatiques (causes systmatiques que lon peut calculer et ventuellement corriger): - de zro, dtalonnage, - provoques par les grandeurs dinfluence, - dues aux sources d alimentation, drives, offset, - de linarit. Incertitudes (causes accidentelles non rptitives non corrigibles) lies: - indterminations intrinsques au systme (hystrsis), - signaux parasites (nature alatoire), - grandeurs dinfluence non contrles.

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I. Capteur
3) Fidlit, justesse et exactitude Fidlit: Aptitude d un instrument donner des indications exemptes d erreurs systmatiques (faible cart-type). Justesse: Aptitude d un instrument donner des indications exemptes d erreurs systmatiques. Pas juste Juste Pas fidle

Exactitude: Un systme exact est juste et fidle.

Fidle

Le centre reprsente la valeur vraie

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